Microsoft Word _ _ _특집 이창우

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지안 변
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1 한국정밀공학회지제 32 권제 8 호 pp J. Korean Soc. Precis. Eng., Vol. 32, No. 8, pp ISSN (Print), ISSN (Online) August 2015 / 특집 직선 회전모터구동이송 회전체연구 X 대면적탄소나노튜브 / 은나노와이어투명전극필름롤투롤연속생산시스템 Roll-to-roll Continuous Manufacturing System for Carbon-Nanotube- / Silver-Nanowire- Based Large-Area Transparent Conductive Film 박장훈 1, 이창우 2, Janghoon Park 1 and Changwoo Lee 2, 1 건국대학교기계설계학과 (Department of Mechanical Design and Production Engineering, Konkuk University) 2 창원대학교기계공학부 (School of Mechanical Engineering, Changwon National University) Corresponding author: leecw@changwon.ac.kr, Tel: Manuscript received: / Revised: / Accepted: A roll-to-roll (R2R) continuous manufacturing system for a carbon-nanotube (CNT)-/silvernanowire (AgNW)- based large-area transparent conductive film was introduced in this study. The systemic guidelines of the R2R slot-die coating process including roll eccentricity, wrap angle, pump accuracy, and blower influence were discussed. To simulate the coating phenomenon, we investigated the governing parameters of the coating process by incorporating the estimated relative thickness that was defined by combining the viscocapillary model and volume model. By using experimental and mathematical approaches, an excellent transparent conductive layer with a 40 Ω/ sheet resistance and 88 % transmittance was obtained; moreover, a dimensionless number identifies the correlation between the transparent conductive film and the anti-reflection film. KEYWORDS: Large area ( 대면적 ), Carbon nanotube ( 탄소나노튜브 ), Silver nanowire ( 은나노와이어 ), Roll-to-roll ( 롤투롤 ), Slot-Die ( 슬롯 - 다이 ) 기호설명 v f = reference velocity of master speed drive roller u = input to master speed drive roller h 0 = coating gap (slot-die to film surface) H = distance between the slot-die and axis of backup roll t w = thickness of web R mean = distance between the web and centroid of geometric shape a = centroid of geometric shape b = axis of rotation e = distance between a and b θ+φ = angle between a and b μ E = effective coefficient of web/roller friction Copyright C The Korean Society for Precision Engineering This is an Open-Access article distributed under the terms of the Creative Commons Attribution Non-Commercial License ( which permits unrestricted non-commercial use, distribution, and reproduction in any medium, provided the original work is properly cited.

2 한국정밀공학회지제 32 권제 8 호 pp August 2015 / 674 β = wrap angle T 1 = upstream tension T 2 = downstream tension f r = flow rate s = drying time L = length of dryer section V = coating velocity I 0 = intensity of light striking a layer I = intensity of light transmitted through the layer α = absorbance coefficient of the layer th = layer thickness r = solid content ratio, weight percentage/100 Ca = capillary number (μv/σ) μ = viscosity of solution σ = surface tension of solution n = number of strip w = width of coated layer t e = estimated relative thickness λ = weighting factor on viscocapillary model ν = weighting factor on volume model t e_tcf = estimated relative thickness of transparent conductive film t e_ar = estimated relative thickness of anti-reflection coating layer N = dimensionless number 1. 서론 투명전극필름 (transparent conductive film: TCF) 은투명하고전도특성을지니고있는제품을말하며주로터치스크린, 디스플레이및태양전지등의생산에사용되어왔다. 1 산업계에서주로사용되어온투명전극필름은대표적으로인듐주석산화물 (indium tin oxide: ITO) 로 30에서 80 Ω/ 의면저항 (sheet resistance), 90% 의투과율 (transmittance) 을가지고있다. 2 우수한성능을가진다는장점에도불구하고 ITO는플라스틱기판위에코팅되어필름으로사용될경우취성 (brittleness) 으로인해충분한굽힘성형성 (bendability) 를가지지못하고파손된다는단점이있다. 또한 ITO는일반적으로진공증착 (vacuum deposition) 공정을기반으로하여높은균일도를얻는반면생산단가의상승을유발하였다. 최근, 저가 (low cost) 및고수율 (high throughput) 의요구에따라차세대물질로서 poly(3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate (PEDOT:PSS) 와 Fig. 1 The performances of recent research about transparent conductive film with various materials and methods 같은전도성고분자 (conducting polymer), 탄소나노튜브 (carbon nanotube: CNT) 및그래핀 (graphene) 과같은탄소기반물질, 은나노와이어 (silver nanowire: AgNW) 및은-구리메쉬 (mesh) 와같은메탈 (metal) 기반물질등이각광받고있다. 3 이물질들은습식공정 (solution process) 이가능하여다양한코팅기법을적용한연구가활발히진행되어왔다. 투명전극필름은낮은면저항과높은투과율을가지는것을생산목표로한다. Fig. 1은최근연구된투명전극물질들의각공정에따른성능을보여준다. 주목할것은두가지물질을혼합하거나다층으로코팅한하이브리드 (hybrid) 공정이한물질을사용한것보다더욱좋은성능을보여주었다. 대표적으로 AgNW/PEDOT:PSS를바 (bar) 코팅한것이면저항 25 Ω/, 투과율 90% 의성능을가져 4 전자빔 (e-beam) 증착을수행한 ITO 필름성능 (30 Ω/, 90%) 2 과유사한결과를나타냈다. 그외에슬롯-다이 (slot-die) 공정이용 AgNW/ PEDOT:PSS코팅 (40 Ω/, 80%), 5 바이용 AgNW 코팅 (110 Ω/, 87%), 6 스프레이 (spray) 공정이용 SWCNT (single wall carbon nanotube) 코팅 (150 Ω/, 90%), 7 잉크젯 (inkjet) 이용 CNT 코팅 (156 Ω/, 81%), 8 그리고증착기반그래핀 [250 Ω/, 86%] 9 및스핀 (spin) 코팅기반의 graphene/swcnt (280 Ω/, 90%) 10 필름제작사례가있다. 투명전극필름생산에는다양한공정방법이적용될수있다. 적절한공정의선택은물질의특성

3 한국정밀공학회지제 32 권제 8 호 pp August 2015 / 675 을더욱극대화시킴으로써생산속도, 생산량그리고경제적효과를도모할수있다. 앞서언급한투명전극필름에사용되어온물질도포방식을보면다양한방법들이투명전극필름생산에이용된것을알수있다. 증착기술의대표적인전자총 (e-beam) 증착방식은전자빔에서증착하고자하는타겟물질에전자가부딪히면진공분위기에서타겟물질의기화가일어나소재로증착되는방식이다. 이는 ITO 필름생산에주로사용되는방법으로많은물질에쉽게적용할수있으며균일한박막을만들수있다는장점이있다. 그러나높은설치비용및느린증착속도의단점이존재한다. 실험실규모 (lab scale) 에서주로사용되는바코팅은감겨진와이어와소재사이의간격에의해두께를제어할수있다. 쉽게모든물질에적용이가능하지만반복성이떨어지고코팅면에결함이발생할가능성이높다는단점이있다. 스핀코팅또한실험실규모에서많이사용되는방법으로, 스테이지의고속회전에따른원심력을이용해도포된용액의우수한균일도를가지는박막형성이가능하다. 그러나기판의크기에제약이있어초기시험용으로적절한방법이다할수있다. 대면적박막형성이가능한용액기반기술로는첫번째로잉크젯공정을들수있다. 일정크기 (1~10 pl) 의액적 (droplet) 이기판상에자유롭게패터닝 (patterning) 이가능하다는장점이있지만코팅면이좁고대면적코팅시에수개의노즐이필요할뿐만아니라 coffee ring 효과가수반되므로박막공정시에많은고려점이존재한다. 스프레이코팅은본연구에서사용된슬롯 - 다이코팅과유사하게균일한박막형성이가능하고롤투롤공정에도적용이가능하지만강한압력의가스분무를이용한나노와이어도포시에결함을발생시킬수있으며, 소재로의낮은도착효율의문제점이있을수있다. 본연구에서는슬롯 - 다이코팅방식을사용하였다. 슬롯 - 다이공정은노즐로부터토출되는용액이소재와메니스커스 (meniscus) 를형성하면서대면적의코팅면형성이가능하며공정조건에따른박막두께예측이용이하여양산공정에적합한방법이다. 앞서언급한코팅방법과비교해서롤투롤 (roll-to-roll: R2R) 연속생산시스템에적용하기가장적절한기술이라할수있다. 다만우수한메니스커스형성을위해소재이송, 용액토 Fig. 2 Disturbance factors to consider in coating process 출, 다이구조등의공정최적화가요구된다. 11 본연구에서는롤투롤슬롯-다이시스템에서의투명전극필름생산을위한공정에서고려되어야할여러가지설계파라미터들을제시하였다. 시스템적관점에서외란을최소화하기위한관점들을제시하였으며, 기존의슬롯-다이코팅공정모델을발전시켜새롭게제안하였다. AgNW/CNT 하이브리드용액을이용하여대면적슬롯-다이코팅을수행하였으며예측된공정모델을활용하여실험결과를분석하였다. 최종적으로우수한투명전극필름생산을위한공정조건에따른메타모델및가이드라인을제시하였다. 2. 투명전극필름생산과정 2.1 롤투롤슬롯 - 다이코팅시스템 Fig. 2 는본롤투롤슬롯 - 다이코팅공정시에고려된다양한요소를나타낸것이다. 롤투롤시스템에서웹은일정한장력을유지하며일정한속도로이송되는것이중요하다. 코팅구간에서의속도, 장력동기화는제품의품질과직접적으로연관되기때문에실험을수행하기전에선행적으로점검되어야한다. 정확한웹이송을위해백업롤은마스터속도드라이브 (master speed drive: MSD) 로설정되어그림과같이기준속도 v ref 를유지하는입력 u 를위한 PI 제어를수행하였다. 슬롯 - 다이노즐과가깝게붙어있는백업롤은정밀한진직도 (straightness) 및진원도 (roundness) 를가지지못할시코팅간극 (gap) 의변화로인해웹의진행방향또는폭방향으로의코팅면불균일성을유발할수있다. 롤편심 (roll eccentricity) 모델로부터 12 코팅간극은다음식 (1) 과같이정의될수있다.

4 한국정밀공학회지제 32 권제 8 호 pp August 2015 / 676 h = H [ t + R + esin( θ + φ)] (1) 0 w mean 필름의이송에따라편심 ( 사인항 ) 이주기적으로변할경우코팅간극또한주기적으로변화하여메니스커스형성에영향을줄수있다. 본백업롤은연마를통해 3/1000 mm 의진원도로가공되었다. 롤의감김각 (β) 은최대견인력 (traction force) 를보장하는마찰효과계수 μ E 로결정이가능하며이는다음식 (2) 와같이나타낼수있다. 13 μ 1 T ln 2 = E β T1 코팅롤에서감김각을높게설정할경우마찰효과가상승하여이송시에견인력이상승하며또한, 웹과롤사이의공기유입 (air entrainment) 을최소화할수있어코팅품질의이송에의한외란을방지할수있다. 웹이송과동일하게슬롯-다이에서토출되는용액의유량, f r 의제어또한코팅품질에영향을주는변수이다. 맥동 (surging) 현상이코팅조건설정에많은장애가될수있기때문에, 적절한펌프를설정하는것이중요하다. 본실험에서는단일편심스크류 (eccentric screw) 를가지는로터리용적펌프 (rotary positive-displacement) 를사용하였다. 펌프사용시용액은저유량부터고유량으로서서히증가시키면서기포의발생을최소화하고사전보정 (calibration) 을통해설정유량과실제유량의차이를확인해야한다. 14 슬롯-다이코팅노즐로부터용액이토출되어필름을형성한후건조공정을지나게된다. 건조시간은이송속도와건조구간의길이로다음식 (3) 과같이나타낼수있다. (2) L s = (3) V 따라서사용물질의특성및젖음코팅두께 (wet thickness) 에따라최소이송속도가결정되어야한다. 건조열원은근적외선 (near infrared), 원적외선 (far infrared), 열풍 (hot-air), 자외선 (ultra violet) 방식등이사용될수있으나본연구와같이열풍방식이사용될경우송풍기 (blower) 의유동이코팅면에물리적으로타격을줄수있으므로 circumferential slot 을설치하여유동을억제할수있다. 추가적으 Table 1 Material properties Material Parameter Unit Value Polyethylene Width mm 300 terephthalate Thickness μm 187 (PET) film Transmittance % CNT/AgNW hybrid solution AR solution Base solvent - Water Solid contents wt% Viscosity cp Surface tension (approx.) dyn/cm Base solvent - Alcohol Solid contents wt% Viscosity cp Surface tension (approx.) dyn/cm Table 2 Process conditions Process Parameter Unit Setting Tension kgf 2 Roll-to-roll Drying temp. C 110 processing Flow rate cc/min 3-9 TCF coating Coating gap μm 50 Velocity m/min 2 Washing Washing time min 1 Washing temp. C 80 AR coating Coating gap μm 30 Velocity m/min 1-2 로코팅공정에서영향을주는외란으로는먼지및이물등이있으므로나노급 (nano level) 박막을코팅시에는코팅구간의청정도 (cleanliness) 를일정하게유지시켜주어야한다. 2.2 물질및실험조건투명전극필름을구성하는물질은 AgNW 와 CNT 로선정하였다. 전공정은총세가지스텝으로이루어져있다. 첫번째코팅에서는 AgNW/ CNT 하이브리드물질을슬롯 - 다이공정을이용하여필름상에코팅하였다. 둘째로 CNT 네트워크의금속촉매 (catalyst) 및불순물제거를위해증류수를이용한세척을수행하였으며, 마지막으로투과율향상을위해무반사 (anti-reflection: AR) 코팅을수행하였다. 사용된물질및공정의상세한조건은 Table 1 및 Table 2 와같다. 선택된물질및공정조건을바탕으로실험을수행후제작된투명전극필름의성능을평가하였다. 면저항성능은 4-point 프로브 (digital multimeter 2001,

5 한국정밀공학회지제 32 권제 8 호 pp August 2015 / 677 Keithley) 를사용하였으며, 투과율은 spectrometer (Lambda 15 UV/Vis, Perkin Elmer) 를사용하였다. 그리고주사전사현미경 (scanning electron microscope, S- 4800, Hitachi) 를이용하여투명전극물질의분산정도를확인하였다. 3. 결과및분석 3.1 코팅두께의수학적모델슬롯 - 다이코팅은공정조건에따라박막두께제어가가능하다. 박막두께는투명전극필름에서면저항과투과율의성능을결정한다. 식 (4) 의 Beer- Lambert 법칙에의하면박막두께의증가에따라투과율은감소한다. 15 I I 0 10 α = th (4) 또한투명전극물질이두껍게필름을형성하게되면전자의이동이활발해져면저항이향상될수있다. 이와같이투명전극필름생산시면저항및투과율성능은상충되기때문에생산품의목표에맞는최적의두께및이를위한공정조건을확보하는것이중요하다. 코팅두께를정의하는수학적모델은대표적으로 Calvarho 16 에의해개발된 viscocapillary 모델이있다. 본모델은식 (5) 와같이나타낼수있으며, 모관값 (capillary number) 와코팅간극의관계로두께환산이가능하다는장점이있다. 본모델은젖음두께를나타내기때문에고형분계산을통해건조후두께를계산하였다. 14 t hr Ca 0 = (5) + 2/3 다만본모델은저유량한계 (low-flow limit) 에서적용이가능하며메니스커스형상을원통형 (cylindrical shape) 으로가정했을때, 즉, 속도에따라유량조건이최적화된상태에서적용이가능하기때문에코팅변수중의하나인유량조건의변화에대응하기어렵다. 속도에따른유량조건변화에따른두께특성변화를확인하기위해서는 Kang 17 에의해제안된부피모델사용이가능하다. 본모델은노즐에서토출되는용액의부피와유량조건이검사체적내에서정상상태일경우를수식으로나타낸것으로 다음식 (6) 와같이나타낼수있다. t f r nwv r = (6) 본모델의경우고점도의용액에서는뛰어난예측성을보이지만, 11 저점도용액을사용한공정에서는계산값과실험값의차이가있으며중요한공정변수인코팅간극조건이포함되지않아코팅간극변화에따른두께변화를예측하기어렵다는단점이있다. 본실험에서는 5 cp 이하의저점도용액이코팅공정에사용되었으며, 속도, 코팅간극, 유량등의조건이다양하게변화하여기존모델로는그변화를예측하기어렵다. 따라서식 (5) 와식 (6) 를결합하여식 (7) 과같이예측상대두께 (estimated relative thickness) 를정의하였다. t e h f r r λ ν Ca nwv 0 = + 2/3 Viscocapillary 및부피모델의항앞에가중치 (weighting factor) 를부여하였다. 본실험은저점도용액을사용하였기때문에유량조건을제외한공정조건의변화에따른두께값이 viscocapillary 모델에의해예측되어약 nm 의두께분포를나타냈다. 부피모델의경우정해진조건을바탕으로두께값을예측했을때 nm 의범위를나타내어 viscocapillary 모델대비 1/100 의가중치를부여하였다 (λ=1, ν=0.01). 가중치설정시고점도용액의사례 (1,800 cp 점도 ) 11 를식 (7) 에적용시부피모델의영향이매우지배적이므로가중치를 1/1 또는 10/1 로설정하는것이측정결과와비교했을경우약 76% 의정확도를나타냈다. 사용되는용액에따라서가중치는적절히선택되어야한다. 본연구에서사용된투명전극물질의경우와이어네트워크를이루고있기때문에두께를측정하는데어려움이있다. 따라서정의된예측상대두께는공정조건의변화에따른두께값의상대적인변화에따른면저항및투과율변화를관찰하는데초점을두었다. 3.2 코팅결과및측정 Fig. 3(a) 는코팅된투명전극필름의사진이다. 코팅된필름은수백미터코팅후건조기를거쳐리와인더에서롤형태로제작이완료되었으며, 샘 (7)

6 August 2015 / 678 한국정밀공학회지 제 32 권 제 8 호 pp (a) (b) Fig. 3 (a) Wound AgNW/CNT film (b) Scanning electron microscope image of AgNW/CNT network 생산된 필름의 투과율을 향상 시키기 위해 투 명전극필름 위에 무반사 코팅을 수행하였다. Figs. 4(c)-4(d)는 동일 투명전극필름 상에 수행된 무반사 코팅 두께 te_ar에 따른 면저항 및 투과율 변화를 나타낸 것이다. Fig. 4(c)를 보면 무반사 코팅의 두 께 증가에 따라 면저항도 증가하는 것을 알 수 있 다. 무반사 용액의 용질(solute)이 전극필름을 덮으 면서 전자의 이동을 방해하기 때문이라 예상된다. 투과율의 경우 Fig. 4(d)와 같이 무반사 두께의 증 가에 따라 소폭 증가하다가 다시 감소하는 것을 볼 수 있는데 이는 선행논문에 보고되었듯이 최적 무반사 두께가 존재하며, 무반사 코팅 두께가 증 가하면서 식(4)와 같이 흡광도(absorbance)가 함께 증가하기 때문이다 투명전극 및 무반사 코팅 최적화 Fig. 4 (a) Sheet resistance and (b) Transmittance value according to the estimated relative thickness of transparent conductive film, (c) Sheet resistance and (d) Transmittance value according to the estimated relative thickness of anti-reflection film 플링(sampling)된 필름의 면저항, 투과율 및 표면 측정을 수행하였다. Fig. 3(b)는 코팅된 AgNW/CNT 필름을 보여준다. AgNW가 네트워크를 이루고 있 는 것을 확인할 수 있으며 CNT의 경우 선행논문 과 같이3 상대적으로 작은 직경으로 분사되어 있 는 것을 확인할 수 있다. CNT는 AgNW에 비해 직 경이 작기 때문에 고 배율의 측정이 필요하다. 롤투롤 슬롯-다이 코팅 조건으로 계산된 투명 전극필름의 예측 상대 두께 te_tcf에 따른 면저항 및 투과율 값은 Fig. 4와 같다. Fig. 4(a)와 같이 두께의 증가는 면저항의 감소를 보여주며 최소 53.2 Ω/ 의 면저항을 나타냈다. 투과율은 Fig. 4(b)와 같이 두 께 값 증가 따라 상승하다가 감소하는 경향을 나 타냈다. 그러나 투과율 범위가 84.5%에서 최대 89%로 분포해 큰 경향성을 보여주지 않았다. 앞 절에서 언급한 것 같이 무반사 코팅의 두께 변화는 투과율 향상에 도움을 주지만 면저항 성능 에도 영향을 끼치기 때문에 최종 제품의 목표에 맞추어 조율이 필요하다. 본 절에서는 투명전극필 름의 성능과 무반사 코팅에 따른 성능을 고려하여 평가하기 위해 무차원수(dimensionless number) N을 아래 식(8)과 같이 제안하였다. N= te _ ar te _ tcf (8) 코팅 공정 조건으로부터 도출된 무차원수와 각 조건에 따른 투과율 및 면저항 값을 기반하여 3차 원 다항식 메타모델(meta model)을 아래 식(9)과 Fig. 5과 같이 나타낼 수 있다.18 f ( x, y ) = p1 + p2 x + p3 y + p4 x 2 + p5 xy + p6 y 2 p1 = 176.5( 876.8,523.7) p2 = ( ,0.1033) p3 = 3.89( 11.89,19.67) (9) p4 = ( , ) p5 = ( , ) p6 = ( , ) 구해진 모델을 통해 무차원수에 따른 박막 특 성 평가가 가능하다. Fig. 5(b)의 등고선도를 보면 작은 무차원수에서 면저항 값이 낮고 투과율이 다 양하게 분포하는 것을 알 수 있다. 무차원수의 증 가는 무반사 코팅층의 증가 또는 투명전극 물질

한국정밀공학회지제 32 권제 8 호 pp. 673-680 August 2015 / 679 후기 본논문은 2014 년도한국연구재단 (NRF- 2014R1A1A1003477) 의지원을받아수행된연구임. REFERENCES 두께의감소를의미하기때문에면저항이높게분포한다. 투과율은면저항값이낮을수록급격하게변화한다. 최적무차원수는 1.4 에서 1.

5 (a) 3D plot and (b) Contour plot of meta model which calculated by dimensionless numbers and coated layer performances (transmittance and sheet resistance) 본연구에서는롤투롤슬롯 - 다이코팅공정을통해 AgNW 및 CNT

7 한국정밀공학회지제 32 권제 8 호 pp August 2015 / 679 후기 본논문은 2014 년도한국연구재단 (NRF- 2014R1A1A ) 의지원을받아수행된연구임. REFERENCES 두께의감소를의미하기때문에면저항이높게분포한다. 투과율은면저항값이낮을수록급격하게변화한다. 최적무차원수는 1.4 에서 1.6 으로분포하며투명전극필름두께가가장높고무반사코팅두께는낮은공정조건이면저항 40 Ω/, 투과율 88% 의우수한결과를얻었다. 4. 결론 (a) (b) Fig. 5 (a) 3D plot and (b) Contour plot of meta model which calculated by dimensionless numbers and coated layer performances (transmittance and sheet resistance) 본연구에서는롤투롤슬롯 - 다이코팅공정을통해 AgNW 및 CNT 용액을이용한대면적투명전극필름을생산하였다. 추가적으로투과율향상을위해무반사코팅을전극필름상에코팅하였으며, 300 mm 폭의소재위에면저항 40 Ω/ 및투과율 88% 의투명전극필름을얻었다. 서론에서는최근투명전극필름의성능및공정기술동향을소개하였으며본론에서는롤투롤슬롯 - 다이코팅시스템에서고려되어야할설계파라미터를언급하고최적화하였으며, 공정조건변화에따른박막두께를예측하고실험결과와함께분석하였다. 본이론및실험적접근은롤투롤연속생산시스템에서슬롯 - 다이를이용한코팅공정시에생산가이드라인으로서활발히활용이가능하다사료된다. 1. Bae, S., Kim, H., Lee, Y., Xu, X., Park, J.-S., et al., Roll-to-Roll Production of 30-Inch Graphene Films for Transparent Electrodes, Nature Nanotechnology, Vol. 5, No. 8, pp , Zhu, Y., Sun, Z., Yan, Z., Jin, Z., and Tour, J. M., Rational Design of Hybrid Graphene Films for High-Performance Transparent Electrodes, ACS Nano, Vol. 5, No. 8, pp , Hecht, D. S., Hu, L., and Irvin, G., Emerging Transparent Electrodes Based on Thin Films of Carbon Nanotubes, Graphene, and Metallic Nanostructures, Advanced Materials, Vol. 23, No. 13, pp , Lee, J., Lee, P., Lee, H. B., Hong, S., Lee, I., et al., Room Temperature Nanosoldering of a Very Long Metal Nanowire Network by Conducting Polymer Assisted Joining for a Flexible Touch Panel Application, Advanced Functional Materials, Vol. 23, No. 34, pp , Wu, L. Y., Kerk, W., and Wong, C., Transparent Conductive Film by Large Area Roll-to-Roll Processing, Thin Solid Films, Vol. 544, pp , Hu, L., Kim, H. S., Lee, J.-Y., Peumans, P., and Cui, Y., Scalable Coating and Properties of Transparent, Flexible, Silver Nanowire Electrodes, ACS Nano, Vol. 4, No. 5, pp , Geng, H.-Z., Kim, K. K., So, K. P., Lee, Y. S., Chang, Y., et al., Effect of Acid Treatment on Carbon Nanotube-Based Flexible Transparent Conducting Films, Journal of the American Chemical Society, Vol. 129, No. 25, pp , Shimoni, A., Azoubel, S., and Magdassi, S., Inkjet Printing of Flexible High-Performance Carbon Nanotube Transparent Conductive Films by Coffee Ring Effect, Nanoscale, Vol. 6, No. 19, pp , Li, X., Zhu, Y., Cai, W., Borysiak, M., Han, B., et al., Transfer of Large-Area Graphene Films for High- Performance Transparent Conductive Electrodes, Nano Letters, Vol. 9, No. 12, pp , 2009.

8 한국정밀공학회지제 32 권제 8 호 pp August 2015 / Tung, V. C., Chen, L.-M., Allen, M. J., Wassei, J. K., Nelson, K., et al., Low-Temperature Solution Processing of Graphene-Carbon Nanotube Hybrid Materials for High-Performance Transparent Conductors, Nano Letters, Vol. 9, No. 5, pp , Park, J., Shin, K., and Lee, C., Improvement of Cross-Machine Directional Thickness Deviation for Uniform Pressure-Sensitive Adhesive Layer in Rollto-Roll Slot-Die Coating Process, Int. J. Precis. Eng. Manuf., Vol. 16, No. 5, pp , Shin, K.-H., Jang, J.-I., Kang, H.-K., and Song, S.-H., Compensation Method for Tension Disturbance Due to an Unknown Roll Shape in a Web Transport System, IEEE Transactions on Industry Applications, Vol. 39, No. 5, pp , Roisum, D. R., The Mechanics of Rollers, Tappi Press, Park, J., Shin, K., and Lee, C., Optimized Design for Anti-Reflection Coating Process in Roll-to-Roll Slot- Die Coating System, Robotics and Computer-Integrated Manufacturing, Vol. 30, No. 5, pp , Zaccanti, G. and Bruscaglioni, P., Deviation from the Lambert-Beer Law in the Transmittance of a Light Beam through Diffusing Media: Experimental Results, Journal of Modern Optics, Vol. 35, No. 2, pp , Carvalho, M. S. and Kheshgi, H. S., Low Flow Limit in Slot Coating: Theory and Experiments, AIChE Journal, Vol. 46, No. 10, pp , Kang, H., Park, J., and Shin, K., Statistical Analysis for the Manufacturing of Multi-Strip Patterns by Roll-to-Roll Single Slot-Die Systems, Robotics and Computer-Integrated Manufacturing, Vol. 30, No. 4, pp , Park, J. and Lee, C., Parameter Analysis for the Lateral Thickness of the Coated Layer to Improve Product Quality in Large Area Roll-to-Roll Slot-Die Coating Process, J. Korean Soc. Precis. Eng., Vol. 32, No. 2, pp , 2014.

THE JOURNAL OF KOREAN INSTITUTE OF ELECTROMAGNETIC ENGINEERING AND SCIENCE. vol. 29, no. 10, Oct ,,. 0.5 %.., cm mm FR4 (ε r =4.4)

THE JOURNAL OF KOREAN INSTITUTE OF ELECTROMAGNETIC ENGINEERING AND SCIENCE. 2018 Oct.; 29(10), 799 804. http://dx.doi.org/10.5515/kjkiees.2018.29.10.799 ISSN 1226-3133 (Print) ISSN 2288-226X (Online) Method