TX M CTX M TX MᆞCTX M Ⅱ-143 Ⅱ-144

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보미 노
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1 TX M CTX M Ⅱ-13 Ⅱ-1

高정밀 위치 결정 테이블 TX 볼스크류 TX M 직선 Points 슬라이드 테이블 롤러 안내 방식으로 궁극의 高정밀도 테이블 볼스크류 1 2

철저하게 추구해, 에어 스테이지에 요구하는 위치 결정 정밀도를 실현한 위치 리니어롤러웨이 결정 테이블 입니다. 리니어 엔코더 분해능.

발휘하는 Ｃ 루브 리니어롤러웨이 슈퍼X를 조합하였기 때문에, 궁극의 주행 정밀도가 얻어 집니다.

요잉 심플한 시스템 구성이 가능 에어 스테이지와 같은 구동용 에어 공급 장치 등이 불필요하기 때문에, 시스템 구성이 심플하게 되고, 스페이스

다양한 제품군 X 테이블 형상 주요 제품 사양 정밀도 형식과 크기 테이블 폭 치수 () () 2 2 6 32 TX2M 2 구동 정밀 볼스크류

2 高정밀 위치 결정 테이블 TX 볼스크류 TX M 직선 Points 슬라이드 테이블 롤러 안내 방식으로 궁극의 高정밀도 테이블 볼스크류 1 2 高정밀도ᆞ高강성인 정밀 위치 결정 테이블 H를 베이스로, 궁극의 롤러 안내 C루브 리니어롤러웨이 슈퍼X를 조합 구성하여, 각부 정밀도를 철저하게 추구해, 에어 스테이지에 요구하는 위치 결정 정밀도를 실현한 위치 리니어롤러웨이 결정 테이블 입니다. 리니어 엔코더 분해능.16μm의 超高정밀도 리니어 엔코더로 부터 위치 정보를 다이렉트로 피드백하여 풀 헤드 스케일 크로스 루프 제어를 구성하고, 전역의 위치 결정 정밀도를 보증하고 있습니다. 롤러 타입 직동안내기기의 채택으로 궁극의 주행 성능을 실현 3 高정밀도로 가공ᆞ조립 구성한 부품과 롤러 안내기기로 최고 레벨의 주행 성능을 발휘하는 Ｃ 루브 리니어롤러웨이 슈퍼X를 조합하였기 때문에, 궁극의 주행 정밀도가 얻어 집니다. 위치 결정 정밀도 Y 테이블 배드 시료 : C-3 X축 피칭 Y축 피칭 자세 정밀도 초 시료 : C-3 X축 Y축 CTX M X축 요잉 Y축 요잉 심플한 시스템 구성이 가능 에어 스테이지와 같은 구동용 에어 공급 장치 등이 불필요하기 때문에, 시스템 구성이 심플하게 되고, 스페이스 절감 및 장치 코스트 절감이 가능합니다. 다양한 제품군 X 테이블 형상 주요 제품 사양 정밀도 형식과 크기 테이블 폭 치수 () () TX2M 2 구동 정밀 볼스크류 반복 위치 결정 정밀도 ±.~ 직동안내기기 리니어롤러웨이(롤러 타입) 위치 결정 정밀도.3~.2 윤활 부품 내장 윤활 부품 C루브 내장 로스트 모션 테이블ᆞ배드의 재질 주철 테이블 운동의 평행도.~.11 센서 표준 장착 테이블 운동의 평행도 B ᅳ 자세 정밀도 ~11초 진직도.3~. 백레쉬 ᅳ Ⅱ Ⅱ 16 超高정밀도 리니어 엔코더 탑재에 따른 높은 위치 결정 정밀도와 분해능을 실현 리미트 센서

3 의배열예 ( 단축사양 ) TX M - / T2 1 의배열예 (2 축사양 ) CTX M / T1 C 1 형식 Ⅱ1페이지 1 형식 Ⅱ17페이지 2 크기 Ⅱ1페이지 2 크기 Ⅱ17페이지 3 X 축 Y 축 Ⅱ1 페이지 Ⅱ1 페이지 3 Ⅱ17페이지 모터어터치먼트의지정 Ⅱ17페이지 볼스크류의리드 Ⅱ17페이지 6 의지정 Ⅱ17페이지 와사양의상세사항 형식 크기 모터어터치먼트의지정 볼스크류의리드 의지정 Ⅱ-17 TX M: 高정밀위치결정테이블 TX( 단축사양 ) 크기는, 테이블폭치수를표시합니다. 표 1 에표시한크기로부터선택합니다. 표 1 에표시한로부터선택합니다. 모터어터치먼트는표 3 에서선택합니다. ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ사용하시고자하는모터에적용되는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ표 에표시한커플링이본체에취부되어출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. : 리드 1: 리드 1 무기호 : 없음 : 분해능.16~.μm ( 야스카와전기 C 서보모터용 ) 1 : 분해능.1~.2μm ( 미쯔비시전기 및파나소닉 C 서보모터용 ) 2 : 분해능.1~.μm ( 미쯔비시전기 및파나소닉 C 서보모터용 ) 스텝핑모터용어터치먼트를지정할경우는, 무기호로해주십시오. 분해능의상세사항은, 최고속도의항목을참조하여주십시오. 를지정할경우는, 표 1 을참조하여주십시오. 모터어터치먼트의지정 Ⅱ1페이지 6 볼스크류의리드 Ⅱ1페이지 7 조합방향의지정 Ⅱ1페이지 의지정 Ⅱ1페이지 와사양의상세사항 형식 크기 X 축 Y 축 모터어터치먼트의지정 볼스크류의리드 조합방향의지정 의지정 CTX M: 高정밀위치결정테이블 TX(2 축사양 ) 크기는, 테이블폭치수를표시합니다. 표 2 에표시한크기로부터선택합니다. 다른크기의테이블을조합시키는것도가능합니다. 표 2 에표시한로부터선택합니다. 여러축의를 cm 단위로표시합니다. X, Y 축에다른길이를지정가능합니다. 모터어터치먼트는표 3 에서선택합니다. ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ사용하시고자하는모터에적용되는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ표 에표시한커플링이본체에취부되어출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. : 리드 1: 리드 1 무기호 : 정방향 C : 역방향 정방향 :X 축모터측을앞에두고, Y 축모터측이오른쪽이되는조합의방향. 역방향 :X 축모터측을앞에두고, Y 축모터측이왼쪽이되는조합의방향. C 에서 Y 축 2 를선택했을경우는, 무기호로해주십시오. 무기호 : 없음 : 분해능.16~.μm ( 야스카와전기 C 서보모터용 ) 1 : 분해능.1~.2μm ( 미쯔비시전기 및파나소닉 C 서보모터용 ) 2 : 분해능.1~.μm ( 미쯔비시전기 및파나소닉 C 서보모터용 ) 스텝핑모터용어터치먼트를지정할경우는, 무기호로해주십시오. 분해능의상세사항은, 최고속도의항목을참조하여주십시오. 를지정할경우는, 표 1 을참조하여주십시오. Ⅱ-1

4 와사양의상세사항 각종특성 표 1 크기와 표 정밀도 표 2 크기와테이블폭치수및 테이블폭치수 C C 표 3 모터어터치먼트의적용 C 서보모터 사용모터의형식 종류메이커시리즈형식 스텝핑모터 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 오리엔탈모터 테이블폭치수,, 2, 2,, 2, 2,, 32,, TX2M 2, 6, 비고자세한모터사양은각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. 정격출력 W X 축 Y 축 플랜지각 C 모터어터치먼트 C TX2M SGMV-2 2 T1 SGMV- T2 Σ-Ⅴ SGMV-6 T3 SGMV- 7 T HF-KP23, HG-KR23 2 T1 J3, J HF-KP3, HG-KR3 T2 T3 HF-KP73, HG-KR73 7 T MSME2 2 T MINS MSME T6 T7 MSME 7 T R66 T9 R69 T9 R9 T11 T R911 T11 T α스텝 S66 T1 S69 T1 S9 T11 T S911 T11 T RK6ㆍRKS6 T1 RK RK9ㆍRKS9 T11 T 축사양2축사양 X축 Y 축단 TX2M C C 반복위치결정정밀도 위치결정정밀도.3 (.6) ±. 2 (±). 2 (.).3 (.6) 2 ±.. 2 (±) (.). (.13). ±. (.) (±). (.13). (.13) 6 ±..6 (±) (.16). (.2). (.7) ±. (±) ±. (±) 주 ( 1 ) 미부착시는백레쉬값을표시합니다. ( 2 ) 피칭및요잉을표시합니다. 비고 ( ) 는, 미부착시의값을표시합니다.. (.1).6 (.1). (.1) 로스트모션 ( 1 ) 테이블운동의평행도 자세정밀도 ( 2 ) 초 수직진직도 수평진직도 XY 운동의직각도 표 커플링의형식 모터어터치먼트커플링의형식메이커 커플링의관성 J C 1 - ㆍ m 2 T1 R-3C- 1 사카이제작소.21 T2 R-3C- 1 사카이제작소.7 T3 R-3C-1 1 사카이제작소.7 T R-C-1 19 사카이제작소 1.36 T R-3C- 11 사카이제작소.21 T6 R-3C- 1 사카이제작소.7 T7 R-3C-1 1 사카이제작소.7 T R-C-1 19 사카이제작소 1.36 T9 R-3C- 1 사카이제작소.21 T1 R-3C- 사카이제작소.21 T11 R-3C- 1 사카이제작소.7 T R-3C-1 1 사카이제작소.7 비고커플링의상세사양은, 각메이커카탈로그를참조해주십시오. Ⅱ-19 Ⅱ-

5 각종특성 표 6 야스카와전기모터사용시의최고속도 ( 부착의경우 ) 분해능 μm/pulse 리드 최고속도 /s 리드 (22) 2 (22). 2 (22) ().2 2 (22) (). () 주 ( 1 ) 시리얼교환유닛가첨부되어있습니다. 비고 1. ( ) 안의값은, 및 TX2M 에적용합니다. 2. 실제최고속도는, 부하조건등에따라변할수있습니다. 3. 최고속도를변경할경우는, 드라이버의전자기어비설정에의해분해능을변경해주십시오. 표 7 파나소닉 제품의모터사용시의최고속도 ( 부착의경우 ) 분해능 μm/pulse 시리얼교환유닛 ( 1 ) JZDP-D3--E 야스카와전기 최고속도 /s 리드 리드 1 신호교환유닛 ( 1 ) PE371[TT ] (22) 26 PE371[TT 1].2 2 (22) () 주 ( 1 ) 분해능에대응하는신호변환유닛이첨부되어있습니다. 비고 1. ( ) 안의값은, 및 TX2M 에적용합니다. 2. 실제최고속도는, 부하조건등에따라변할수있습니다. 3. 최고속도를변경할경우는, 본체에첨부된신호교환유닛의내부스위치에의해분해능을변경해주십시오. 표 미쯔비시전기 모터사용시의최고속도 ( 부착의경우 ) 분해능 μm/pulse 최고속도 /s 리드 리드 1 신호교환유닛 ( 1 ) PE371[TT ] (22) PE371[TT 1].2 2 (22) () 주 ( 1 ) 분해능에대응하는신호변환유닛이첨부되어있습니다. 비고 1. ( ) 안의값은, 및 TX2M 에적용합니다. 2. 실제최고속도는, 부하조건등에따라변할수있습니다. 3. 최고속도를변경할경우는, 본체에첨부된신호교환유닛의내부스위치에의해분해능을변경해주십시오. 표 9 없음의경우의최고속도 모터의종류 C 서보모터 TX2M 스텝핑모터 비고 2축사양테이블은, 각축모두단축사양테이블과동일합니다. 리드 최고속도 /s IP1 IP1 IP1 리드 표 1 의형식 항목 내용 형식 IP1R 메이커 스케일본체재질 글래스 선팽창계수 / 1-6 정밀도등급 μm/m ±1 출력신호 정현파 신호주기 Vpp/μm 1 최대조작속도 m/s 1.2 케이블직경 φ. 케이블굴곡반경 이상 표 11 야스카와전기시리얼변환유닛사양 항목 내용 메이커 야스카와전기 형식 JZDP-D3--E 신호분해능 입력 2상정현파피치의 1/26 최고응답주파수 khz 2 크기 질량.1 표 파나소닉, 미쯔비시전기 용신호변환유닛사양 항목 내용 메이커 형식 PE371[TT ] PE371[TT 1] 신호분해능 내부스위치설정에따른 최고응답주파수 내부스위치설정에따른 변환기부 2 17 크기 컨넥터부 2 17 케이블길이 1 질량.2 표 13 최대탑재질량 TX2M 볼스크류의리드 최대탑재질량 수평 수직 Ⅱ-11 Ⅱ-

6 각종특성 표 1 직동안내부의사양 /2 /2 표 1.1 볼스크류사양 1 TX2M 슬라이드유닛 2 슬라이드유닛 기본동정격하중 ( 1 ) C N 볼스크류 의종류 연삭볼스크류 연삭볼스크류 연삭볼스크류 연삭볼스크류 기본정정격하중 ( 1 ) C N TX2M 주 ( 1 ) 슬라이드유닛 1 개당값입니다. 비고 2 축사양테이블은, 각축모두단축사양테이블과동일합니다. 리드 비고 2 축사양테이블은, 각축모두단축사양테이블과동일합니다. Y l/2 l/2 l Z 슬라이드유닛 1 슬라이드유닛 3 볼스크류외경 X X l 축방향틈새 기본동정격하중 C N 기본정정격하중 C N 배치 Z 구동위치 (Y d, Z d ) Y d Y Z d 표 1.2 볼스크류사양 2 볼스크류외경전장 TX2M 표 16 테이블관성과기동토크 단축사양2축사양 TX2M C C X 축 Y 축 리드 테이블관성 J T 1 - ㆍ m 2 커플링 리드 비고 2 축사양테이블은, X 축값을표시합니다. Y 축값은, 단축사양의테이블을참조해주십시오. 관성 J C 1 - ㆍ m 2 기동토크 T S N ㆍ m 취부 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ29 를참조해주십시오. Ⅱ-13 Ⅱ-1

7 센서사양 표 17 센서타이밍차트 모터어터치먼트의치수, C, C 드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) -M관통 ( 모터브라켓에가공 ) PCD7, 9 등분배치 φ M깊이1 PCD7, 9 등분배치 C W CCW T1 φ φ3 φ +.39 T2 φ 1 모터브라켓 모터어터치먼트 -.드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) -M깊이( 모터브라켓에가공 ) PCD7, 9 등분배치 φ φ M깊이 PCD7, 9 등분배치 B ON T φ φ3 φ +.39 T6 1 ON G C OFF S/2( 1 ) S/2( 1 ) OFF 원점 ( 없음 ) 원점 ( ) 원점전 ( 포토센서 ) CW리미트 ( 포토센서 ) T9 T1 모터브라켓 2 원점센서부착의경우의커플링삽입량을표시합니다 ( 9.) 모터어터치먼트 φ φ M 깊이 T11 원점센서부착의경우의커플링삽입량을표시합니다. 3 2 ( 1) 1 φ φ 1 φ M6 관통 OFF CCW 리미트 ( 포토센서 ) 1 메카스토퍼 TX2M TX2M (E) 볼스크류의 리드 B C E F G 3 /2( 1 ) /2( 1 ) /2( 1 ) /2( 1 ) 주 ( 1 ) Ⅱ17~Ⅱ162 페이지의치수표를참조해주십시오. 비고 1. 각센서의상세사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조해주십시오 축사양테이블은, 각축모두단축사양테이블과동일합니다. (F) 단위 T3 T7 원점센서부착의경우의커플링삽입량을표시합니다 ( ) φ1 1 φ1 1 1 φ1 φ φ +.39 φ +.39 φ M 깊이 1 PCD7, 9 등분배치 -M 깊이 PCD7, 9 등분배치 -M6 관통 T T M6깊이 PCD9, 9 등분배치 3 2. φ1 1 φ1 1 φ7 +.6 φ M 깊이 1 PCD9, 9 등분배치 T 1 Ⅱ-1 Ⅱ-16

8 高정밀 위치 결정 테이블 TX -M깊이1 -M깊이1 1 -M깊이16 -M깊이 n-m탭 홀 () 리니어 엔코더 n-m탭 홀 6.6 리니어 엔코더 ( 1 ) (1) 2 13 S/2 S/2 (1) 2 S/ S/2 1 (2) B C. B 단위 주( 1 ) 전장 S 2. 1 C 배드 취부 홀 질량 참고 배드 취부 홀 전장 S 갯수 피치 n 질량 참고 B C n (2 1) T1, T에 적용합니다. Ⅱ 17 Ⅱ 1

9 高정밀위치결정테이블 TX TX2M -M1 깊이 2 -M 깊이 M1 깊이 2 -M1 깊이 () -M1 탭홀 () 1 n-m1 탭홀 (1) S/2 2 S/2 (1) (1) S/2 32 S/2 (1) 7 6 (3) 3 3 (2) S 2 전장 배드취부홀 단위 질량 ( 참고 ) S 전장 배드취부홀 질량 ( 참고 ) ( 갯수 피치 ) n TX2M TX2M TX2M- 1 2 (2 2) 223 Ⅱ-19 Ⅱ-16

10 高정밀위치결정테이블 TX C C Y 21( 1 ) 1 (3.7) M 깊이 1 n-m 탭홀 1 Y M 깊이 1 -M 깊이 1 n-m 탭홀 -M 깊이 16 (3.7) (C-32 의경우만 ) 7 (C-32 의경우만 ) (.). 1 X 21( 1 ) X 1 S 전장배드취부홀질량 ( 참고 ) X 축 Y 축 X Y n C C C C 주 ( 1 ) T1, T에적용합니다. 비고 상기이외의나다른크기의테이블조합, 케이블베어사양제작도대응가능하기때문에, 로문의해주십시오. 단위 S 전장배드취부홀질량 ( 참고 ) X 축 Y 축 X Y ( 갯수 피치 ) n C C C C (2 1) 비고상기이외의나다른크기의테이블조합, 케이블베어사양제작도대응가능하기때문에, 로문의해주십시오. Ⅱ-161 Ⅱ-162

TSL M TSL M Ⅱ-95 Ⅱ-96

TSL M TSL M Ⅱ-95 Ⅱ-96 Ⅱ-9 Ⅱ-96 정밀 위치 결정 테이블 TS M 볼스크류 직선 Points 높은 주행 정밀도와 위치 결정 정밀도 고속 및 롱 스트로크 위치 결정 테이블 볼스크류와 조합시켜, 높은 주행 정밀도와 高 정밀도 위치 결정을 실현하고 있습니다. 배드로 구성된 경량의 롱 스트로크 위치 결정 테이블 입니다. 슬라이드 테이블 1 高강도 알루미늄 합금 재질의 슬라이드 테이블과