Where tradition meets technology 혁신이 미래를선도합니다

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1 Where tradition meets technology 혁신이 미래를선도합니다

2 Company Profile SVCS사는 2000년 6월에설립되었으며, 초고순도 (UHP) 의가스, 액체, 증기이송장치에대한오랜경험축적과노하우를보유한열처리공정장비의선두업체입니다. 창사이후당사 (SVCS) 는대량생산Fab 및 R&D 연구소또는 small pilot plant에대한전세계고객들에게많은장비들을공급하여왔습니다. 동장비들은합리적인가격과높은품질로고객의신뢰를얻고있으며, 체코위치한본사또는전세계에지사를통하여전문적인사후지원을받고있습니다. 당사는현재의성공을유지를위하여지속적인품질개선이중요하다는점을잘인식하고있습니다. 이에당사는유수의 R&D 연구소, 대학및체코과학원과연구개발협업체계를구축하여최상의제품과솔루션을제공하기위한노력을계속하고있습니다. CERTIFICATES AND AUDITS

3 Solutions 공정장비 Horizontal Furnace Vertical Furnace Tabletop Furnace 고객맞춤형솔루션 시스템컴포넌트 Bubbler EBS Gas Panels Control System 공정설비시스템 Gas Cabinets Valve Manifold Box Chemical Delivery Total solution

4 Horizontal Diffusion Furnace 당사의 diffusion furnace은, 양산설비의최대 capability 와아주다양한소규모의연구및시험생산용모두가가능한멀티공정이가능한디자인입니다., 이를통해간편한유지보수성, 안전성과함께신뢰할수잇는 Horizontal Furnace입니다. SVCS 디자인은고효율공정적용을위한고효율, 최적화장비규모및낮은관리비용을실현하였습니다. 공정적용 Diffusion - gaseous source Diffusion - liquid source Diffusion solid source Drive-in Annealing-curing-sintering Dry Oxide Wet oxide (optional EBS) High Pressure Oxide 특장점 반도체산업에서의오랜경험을바탕으로설계된 Furnace 구조 대량생산용반도체, MEMS, 태양광분야의제조공정에사용되는완전자동화모델 연구개발또는소형생산을위한고객맞춤형소형모델 최첨단모듈식제어시스템, 자체설계, 맞춤형자체생산 최고의내구성 ( 성능 ) 과장기간무고장 Furnace 장비를위한최상품질의부품만을선택 다양한공정을위해최대 5 stack 가능 쿼츠또는 SiC 튜브챔버 첨단 water cooling 시스템개별 tube 적용 인접튜브사이의열간섭이없음 캔틸레버또는소프트랜딩구성에비접촉식완전자동 boat-in-tube 로딩구조 유지보수성을고려한기계적설계

5 LPCVD/PECVD SVCS의 LPCVD/PECVD Furnace는유수의진공시스템및펌프제조업체들과협업하여자체기술로설계한진공시스템을포함합니다. 다양한방식의진공제어를제공함으로써프로세스요구사항에따라맞춤적용가능합니다. 모든진공시스템은설계단계에서부터현장의서비스엔지니어들과협업하여최상의유지보수성을갖도록제조됩니다. 공정적용 Silicon Nitride Low Temperature Oxide High Temperature Oxide TEOS oxide Polysilicon Doped polysilicon Metal Oxides Carbon&Graphene 특장점 다양한공정을위해최대 4 stack 가능 쿼츠또는 SiC 튜브챔버 복수의진공제어방식가능 가열식또는비가열식 - 쓰로틀버터플라이밸브 TBV - N 2 Ballast - 주파수변환기에의한진공펌프제어 유수의진공펌프제조업체와공동제작한통합진공펌프시스템 독점적특허에기초한수냉플랜지설계 독점적특허에기초한자체조립생산그라파이트웨이퍼캐리어 (graphite wafer carrier) 독점소유기반의세라믹외장트윈로드시스템구성에의한비접촉식완전자동 boat-in-tube 로딩캔틸레버 독점적특허의자체제작의 RF 발생기 장비구성고객요구에따른, 유수제조업체와의협력을통한 RF 발생기공급. 캔틸레버또는소프트랜딩구성에비접촉식완전자동 boat-in-tube 로딩구조

6 Table Top Furnace 시스템은대학, R&D 기관, 파일럿팹 (fab) 공정등을위한반도체급연구장비입니다. 유연성이뛰어나므로적용범위가넓으며, 고객의특별한, 때로는유일무이한요구사항을충족하는다양한모듈 ( 옵션 ) 도제공가능합니다. 시스템의주요구성요소로는세라믹단열체에내입된 Kanthal 저항발열체 ( 열선 ) 와당사가특허기술로자체설계한제어장치의조합입니다. 특히, 제어장치는정확하고안정적인온도제어는물론, 동일공정에서반복성을보장합니다. 또한, 그래픽터치스크린인터페이스를사용하여제어장치와쉽게상호작용하며, PC 와연결되어고급서비스, 원격제어, 업데이트, 문제해결등이가능합니다. 정교한기계설계덕분으로유지보수가간단하며, 쿼츠 (quartz) 부품교체, 화학용기 (chemical vessel) 리필등이용이합니다. 당사가가스전달시스템의설계와제작을하면서축적된모든노하우가이 Tabletop Furnace 에접목되었습니다. 예로, 모든가스라인과컴포넌트들은내면이전해연마처리된스테인리스강재질을사용하여오염수준을최소화하면서고품질의공정을달성합니다. 또한, 오비탈용접과압착형 ( 금속가스켓 face seal) 연결피팅을사용함으로써부식성 / 인화성 / 유독성을포함한다양한가스와증기의취급시에도안전성을보장합니다. 이외에도, 당사는가스패널, 자동가스캐비닛, 스크러버등과같은부대장비를포함한일체의솔루션을고객에게제공합니다. 공정적용 기체 / 액체 / 고체소스확산 건식 / 습식산화공정 Trans-LC 어닐링 (annealing, 가열냉각 ) forming gas 또는수소 소결 APCVD, LPCVD, MOCVD 질화규소 Poly-Si, α-si TEOS, HTO, LTO 특장점 상압또는진공설계 작은 footprint ( 표준치수 : 1900 x 1100 x 680 mm, 95 kg) 낮은전력소비율 손쉬운운전과유지보수 1개또는 3개의온도범위와최대온도 1300 С인발열체 최신독점기술이접목된모듈식제어장치 최대 8개의가스라인과 2개의액체소스 독립형의안전인터로크하드웨어 유수의펌프제조자가제작한진공펌프시스템과의통합가능

7 로딩자동화 반도체실리콘웨이퍼크기가커짐에따라 (100 mm 150 mm 200 mm ) 특히 4~5 개튜브구성을갖는전기로의프레임도높아지므로웨이퍼자동핸들링장치가필요하게됩니다. 이에당사는당사의수평형 ( 횡형 ) 전기로와통합되는여러옵션장비들을개발하여완전자동또는반자동웨이퍼핸들링시스템을구현하였습니다. 예를들어, 웨이퍼를카세트에서픽업하여단순히보트로이송시켜주는시스템의경우독립형으로도사용이가능하지만, 일반적으로는보트엘리베이터 (boat elevator) 와같은좀더복잡한자동화장치와통합되어사용됩니다. 보트엘리베이터는웨이퍼가안착된쿼츠또는 SiC 보트를퍼니스 (furnace) 내베이스위치에서모든튜브위치까지이송시키거나, 또는내장된엘리베이터와웨이퍼이송장치가구비된완전자동스토커 (stocker) 로이송시켜줍니다. 보트엘리베이터가구비된로딩시스템의경우, 웨이퍼가탑재된보트는퍼니스의베이스에구비된래크 (rack) 로로딩 (loading) 또는언로딩 (unloading) 합니다. 퍼니스의베이스위치는운전자를위한인체공학적인위치와일치하므로인명사고나재료로인한사고의가능성을제거합니다. 웨이퍼보트가래크에로딩되면로딩시스템에의해자동으로지정패들위치까지이송됩니다. 일반적으로로딩시스템은 200 mm 웨이퍼의경우각각 50 개의슬롯을가진총 5 개보트, 또는 150 mm 웨이퍼의경우총 6 개보트로구성됩니다. 스토커시스템에는내장된웨이퍼핸들링로봇과보트엘리베이터가포함되어있습니다. 스토커시스템은횡형퍼니스와통합되어있으며, 웨이퍼카세트의연속로딩과언로딩이완전자동으로이루어지므로부드러운퍼니스운영이가능합니다. 기술적파라미터 생산용 Full Production R&D용 Tabletop Furnace 웨이퍼크기 150/200/300 mm, 또는고객요구사이즈 150/200 mm 웨이퍼로드 100 ( 태양광의경우, 튜브당최대 1,000개웨이퍼 ) 25~150개웨이퍼 고온부 3개또는 5개존 1개또는 3개존 플랫존 최대 1067 mm (42 ); 플랫존중앙부 0.5 C 최대 600 mm; 플랫존중앙부 0.5 C 공정온도 200 ~ 1300 C 200 ~ 1230 C 전력소비율 튜브구성에따라, 95 ~ 165 kw 50 kw 전원사양 150 mm: 3 상, 400 또는 480 VAC, 140 A, 50 또는 60 Hz 200 mm: 3 상, 400 또는 480 VAC, 160 A, 50 또는 60 Hz 3 상, 400 또는 480 VAC, 40~100 A, 50 또는 60 Hz ( 국가별고유공급전원사양에맞춰시스템사양이변경되어출고됩니다 ) 청정건조공기 70~110 psig (4.8~7.6 bar)) 냉각수 LPM LPM 배기가스 튜브당 210 m 3 /h 옵션 보트엘리베이터, 웨이퍼핸들링자동화

8 SAMPLE DIMENSIONS (Horizontal furnace) SOURCE CABINET / FURNACE LOAD STATION TUBE (K) 2643 )M) TUBE 3 TUBE 2 SCAVENGERS 2525 (I) 2620 (J) TUBE (G) 1572 (H) 800 (C) 2310 (B) 2500 (A) 5610 (L) 1300 (D) 700 (E) 1000 (F),. R&D models are always custom designed. SAMPLE DIMENSIONS (Table Top furnace) CUT A-A ZOOM 1 : 10 CUT B-B ZOOM 1 : 10 ELECTRONIC SECTION SOURCE CABINET SECTION FURNACE SECTION SCAVENGER SECTION B CDA N 2 O 2 H POWER ELECTRONIC 3NPE, 50 Hz, 400 V/TN-S TOTAL POWER 20 kva A 550 A 600 SOURCE CABINET EXHAUST 100 m 3 n /h B SCAVENGER EXHAUST 210 m 3 n /h 20 Pa VACUUM 치수는구성에따라변동되므로, 미리당사와상의하시기바랍니다. R&D 목적을위한모델은고객요구사항에따라설계됩니다.

9 BUBBLER Precursor Temperature Controller 반도체및태양광공정용반응원료는대부분액상을사용합니다. 이러한반응원료를반응기로운송하는장치에는공정에따라다양한기술이적용되고있습니다. 그중하나로서, 기상매질을액체원료에흘려주어포집하는방법이있습니다. 특장점 버블러 (bubbler) 시스템은공급자를불문한모든유형의화학반응조 ( 특수설계된반응조포함 ) 와함께사용이가능합니다. TECHNICAL PARAMETERS Dimensions (width x height x depth) 320 x 240 x 320 mm Diameter of the liquid container mm Weight 15 kg Max. power consumption 150 W Max. heating/ cooling, relative to ambient 50 C/-20 C Temperature control stability /-0.1 C Cooling power 30 W EBS External Burn System EBS (AKA Ex-Torch) 는발열산화반응공정에사용되는확산로의액세서리입니다. 산소분위기에서수소를연소 ( 버닝 ) 시켜고순도수증기를생산합니다. 버닝공정은외부의쿼츠챔버에서이루어지므로프로세스튜브의소스 (end) 존은수소불꽃에의한영향을받지않습니다. 특장점 전기저항히터에의해수소의자연발화온도까지가열이이루어집니다. TECHNICAL PARAMETERS Dimensions (width x height x depth) 135 x 130 x 270 mm Mass 3,5 kg Supply Voltage 230 V/50 Hz, 4,5 A Service Temperature Range 0 50 C

10 Vertical Furnace 당사의 VTR( 수직형열반응기 ) 은복수의플랫존길이도수용가능하며, 대량생산용이나 R&D 용으로사용됩니다. 튜브 1 개와이중보트로구성되었으므로유지보수비용이낮아지고다운타임에최적화되어있습니다. 기계적인터페이스인 SMIF 와전방개방형인 FOUP 으로대직경웨이퍼를로딩 / 언로딩하는최근추세에따른기능외에도, 카세트개방상태에서웨이퍼인출을하는전통적인방법도제공합니다. 오염통제가이루어지는로딩공간내에완전히밀폐된다수의개방카세트에대한혁신적인솔루션은특히웨이퍼로드가높은완전생산조건에적합하며, footprint 도대단히작습니다. 웨이퍼핸들링장치를완전수납형태로퍼니스의로딩부내에설치가가능하며, 200 mm 직경의웨이퍼 6 개가탑재된카세트가수직보트까지이송됩니다. 본장비는쿼츠, SiC 및 / 또는단결정실리콘으로이루어진보트를사용합니다. 이송로봇은요구되는웨이퍼사이즈 (6 또는 8 ) 를자동으로선택하고웨이퍼포지셔닝이정확한지를자동으로확인합니다. 독립형의웨이퍼이송제어컴퓨터가구비되어있으며, 주튜브컨트롤러와정보를통신하고교환합니다. 이러한솔루션은퍼니스내부공간의사용성을극대화하면서운전자에의한에러를최소화합니다. 공정적용 당사의수직형반응기 (Vertical Thermal Reactor, VTR) 는모든표준대기압및저압조건에서의 CVD( 화학기상증착 ) 공정용으로설계되었습니다. 적용가능한대표적인공정들은다음과 같습니다 ( 반드시다음으로만한정되는것이아님 ). 어닐링 확산 LPCVD 산화공정 특장점 카세트를보트웨이퍼핸들링장치로자동이송 SMIF 인터페이스 ( 옵션 ) FOUP 인터페이스 ( 옵션 ) 이중수직웨이퍼보트설계 ( 옵션 ) 반응기당생산효율이높아짐 로딩스테이션에 ULPA 입자필터 ( 옵션 ) 장착 Class 1 SECSII/GEM 인터페이스를갖는 SVCon 컨트롤시스템 튜브와웨이퍼핸들링로봇시스템에독립형의열처리공정컨트롤러장착 안전인터로크 운전자와장비보호용

11 기술적파라미터 웨이퍼크기 150 mm, 200 mm 웨이퍼로드 25~150개웨이퍼 고온부 3개또는 5개존 플랫존 최대 600 mm; 플랫존중앙부 0.5 C 공정온도 200 ~ 1230 C 전력소비율 50 kw 전원사양 3상, 400 또는 480 VAC, 40~100 A, 50 또는 60 Hz ( 국가별고유공급전원사양에맞춰시스템사양이변경되어출고됩니다 ) 청정건조공기 psig (4,8 to 7,6 bar) 냉각수 LPM 배기가스 210 m 3 /h SAMPLE DIMENSIONS 치수는구성에따라변동되므로, 미리당사와상의하시기바랍니다. R&D 목적을위한모델은고객요구사항에따라설계됩니다.

12 GAS CABINETS SVCS는다양한웨이퍼생산공정들에사용되는가스패널과가스시스템및다양한 R&D용가스패널들을고객요구사항을따라설계및제조하면서오랜경험과노하우를축적해왔습니다. 최고수준의기술적설계, 세계적으로잘알려진일급컴포넌트들만을사용, 독점적특허기술이접목된완전자동화와안전기능이독립되어있는특장점은당사의가스시스템이왜세계최상의제품인가를설명합니다. 모든가스패널들은 Class 10/100 클린룸에서제조되며용접과조립후에는헬륨누출시험을거칩니다. 특수오비털 (orbital) 자동용접을통해용접헤드를최소화하고여기에전문적설계가더해짐으로써패널의내부체적이매우낮습니다. 제품시리즈 Single Cylinder GC Dual Cylinder GC 3-Cylinder Gas Cabinet Valve Manifold Box 특장점 제어시스템특장점 터치스크린디스플레이방식의완전자동제어시스템 자동싸이클정화 실린더압력또는실린더중량모니터링 출력압력모니터링용압력변환기 과잉공급스위치 자동전환을위한압력또는무게제한프로그래밍이가능한실린더 외부디지털입 / 출력단자 다양한오퍼레이션모드에맞춘복수레벨의패스워드보호 LAN접속을위한 Ethernet 인터페이스 OPTIONAL ITEMS 유해가스존재여부를모니터링 외부동축튜브내압력모니터링

13 LIQUID DELIVERY SVCS 는초고순도액체를화학반응공정으로이송하는시스템과관련하여안전성과완전자동화를보장하는최신기술들을발전시켜왔습니다. 당사의액송 ( 액체이송 ) 시스템은다양한구성으로설계가가능한바, 통상적으로단일또는이중의컨테이너캐비닛형태로공급됩니다. 캐니스터 (canister) 또한액체원료벤더의요구사항에따라맞춤형설계가가능합니다. 액송시스템은컨테이너내의액체수면위로기체를불어넣어액체를압송하는메커니즘을사용합니다. Application 에따라공급원인액체원료로부터희석된기체를제거하기위해탈기 (degasification) 장비가옵션으로요구될수도있습니다. 제조공정상의필요에따라액체원료를분산시키는용도로버퍼탱크와액체 VMB 가채택되기도합니다. APPLICATIONS POU 1 Liquid Line POU 2 Liquid Line POU n Liquid Line Liquid VMB TMA DMZ TEPO TMP TET POCl TMB DEZ 3 TCS TEOS BBr 3 Liquid Source System Optional Degasifying System CHEMICAL CONTROL PANEL 모든유형의액상및기상이송시스템의안전성과고순도유체이송을위한장치로서, 공정반응기 (reactor) 와매질공급원사이에설치됩니다. 본장치의주요기능은컨테이너내의압력을모니터링하는것으로서, 과압발생시자동으로배출기능을수행합니다. 현장의컨테이너내에는경제성을위해통상적으로대량의화학물질이저장되어있습니다. 이러한경우본 CCP 패널을적용하면, 대량의소스물질을안전하고연속적이며자동화된방식으로공급되도록보장합니다.

14 MODERNIZATION SVCS 는타사설비및장비들에대한현대화와업그레이드서비스를제공합니다. 당사는고온반응기 (reactors) 에전문화된업체이지만, 고객이운용중인타사의에피택시 (Epitaxy), 건식식각, 이온주입, 및기타다양한물리기상증착과화학기상증착장비들에대한업그레이드서비스도제공하고있습니다. SCOPE OF MODERNIZATION Control System Mechanical Parts Gas Distribution Vacuum System CONTROL SYSTEM SVCS 모듈식제어시스템은하드웨어, 소프트웨어및 I/O 인터페이스가일체화된시스템으로서, 두가지 Horizontal과 Vertical 타입관계업이반도체산업에서사용도히는다른장비에고구성이가능한모듈형시스템입니다. 본시스템은당사의여타장비는물론타사장비에대해서도그대로적용이가능합니다. Linux 기반의 OS는공정제어용으로서견고하고신뢰성이있는플랫폼으로구축되며, 오퍼레이터에따른복수의패스워드방식을제공합니다. FAB 관리를위한강력한툴로서, 레시피개발과공정데이터관리등의업무를수행하는프로세스엔지니어용으로 Windows 기반의소프트웨어패키지도개발되어있습니다. 시스템과의통신은 TCP/IP 네트워크기반이므로, 원격액세스를포함하여프로그램사용을위한다양한옵션들이제공됩니다. 가장대표적인장점중의하나는 SECS 프로토콜통신을포함하여상위계층의제조관리시스템들과의높은통합성입니다.

15 TOTAL SOLUTIONS SVCS 는각종열반응기와초고순도 (UHP) 공급원분배시스템의단순한제조에만머무르지않습니다. 많은경험을가진숙련된당사의서비스엔지니어들은전세계의고객사에장비설치에서부터전기배선에이르기까지다양한서비스를제공하고있습니다. 또한, 배관, 피팅류, 밸브, 압력조정기, 필터, 세정기, MFC 등등의 UHP 컴포넌트들에대해세계최상의품질로잘알려진유수의컴포넌트제조업체들과의파트너십을통해, 당사는당사의고객들에게토탈솔루션을제공합니다. 고순도기체 / 액체이동시스템외에도, 당사는하나의관리자용소프트웨어를통해공정상의모든설비들을통합화하는서비스도제공합니다. 가스캐비닛, 액송시스템, 공정설비, 스크러버등의모든단위설비들을하나의소프트웨어패키지로통합하여모니터링하고복잡한상태정보를실시간으로출력하여사용자에게제공하는것이가능합니다. 당사의또다른서비스중의하나는시장에출시되어있는거의대부분의유량제어기 (MFC) 들에대한수리및보정입니다. UHP Fittings Valves and Pressure Regulators Purifiers Filters UHP Tubing Mass Flow Controllers Signaling/Data Communication Process Gas Lines Vent/Purge Gas Lines Vacuum Process Exhaust Pump Exhaust

16 RUSSIA FRANCE USA TURKEY CHINA KOREA JAPAN EGYPT INDIA TAIWAN MALAYSIA AUSTRALIA Process Innovation Инновационные Процессы SVCS Process Innovation s.r.o. Head office: Optátova Brno CZECH REPUBLIC Tel.: Fax: Production plants: Zámecká Valašské Meziříčí CZ Tel.: Fax: EUROPEAN UNION European Regional Development Fund Operational Programme Entreprise and Innovations for Competitiveness