VER.7 Machine Vision Solution Guide Book

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1 VER7 Machine Vision Solution Guide Book wwwioviscokr

2 Camera 적외선카메라 Frame Grabber 광학계 & Lens 조명 3D Module Software

Heliotis Heliotis Advancing 3D Metrology Heliotis 의광간섭단층계측 3

Heliotis 사의 HeliInspect - 핵심적인 CMOS 센서, 카메라, 광학시스템의결합 - Parallel

센서기술과고속알고리즘이접목되어 Conventional WSI 에 비해약 4 배빠른속도 - 100nm Height

3 Heliotis Heliotis Advancing 3D Metrology Heliotis 의광간섭단층계측 3 차원센서는종래의백색간섭계의정밀도를그대로유지하면서삼각계측법과동일한레벨의 고속계측을실현한특수한센서입니다 소재표면검사 Heliotis 사의 HeliInspect - 핵심적인 CMOS 센서, 카메라, 광학시스템의결합 - Parallel Optical Iow-Coherence Tomography 는실시간단층촬영 Application - 센서기술과고속알고리즘이접목되어 Conventional WSI 에 비해약 4 배빠른속도 - 100nm Height Resolution - 산업계에서요구되는속도와성능뿐만아니라합리적인가격실현 BGA 검사 마이크로렌즈검사 ( 투명체 ) 088 I Machine Vision Solution Guide

The all new heliinspect H8 NEW 이미지센서 - 해상도 : 512 x 544 - FPS : 100 만 - Smart 한 HDR 기능 Linux - 카메라내부에 Linux 설치 - 카메라와스테이지의제어를총괄 - 이미지처리도카메라내부에서실시가능 광학모듈 - 7 가지의배율을사용가능 - 간편하게교체가능 - 새로운설계로높은해상도향상 스캐너삽입

4 The all new heliinspect H8 NEW 이미지센서 - 해상도 : 512 x FPS : 100 만 - Smart 한 HDR 기능 Linux - 카메라내부에 Linux 설치 - 카메라와스테이지의제어를총괄 - 이미지처리도카메라내부에서실시가능 광학모듈 - 7 가지의배율을사용가능 - 간편하게교체가능 - 새로운설계로높은해상도향상 스캐너삽입 - 카메라내부에장착 - heliservice 경유로제어가능 - 고정밀도와표준의 2 가지종류를준비 저배율 05x 1x 2x 4x 8x Interferometer Michelson Michelson Michelson Michelson Michelson 시야 [mm x mm] 2592 x x x x x 154 WD [mm] TBD TBD NA 수평분해능 [um/pix] 고배율 10x 20x 50x 100x Interferometer Mirau Mirau Mirau Mirau 시야 [µm x µm] 1296 x x x x 123 (Nikon only) WD [mm] (Nikon / Leica) 74 / / / / na NA (Nikon / Leica) 03 / / / / na 수평분해능 [um/pix] (Nikon), na (Leica) wwwioviscokr I 089 CAMERA 적외선 CAMERA FRAME GRABBER 광학계 & LENS 조명 3D MODULE SOFTWARE

Heliotis 이미지센서 : helisens S4 280 x 292 35x 512 x 544 H6 H8 H6 vs H8 비교 heliinspect H6 -Head + WLI 전체 Z 축구동 - 최대구동거리 80 mm - 전원 off 시스캐너의낙하로인한스토퍼필수 -HeliDriver 컨트롤러를통하여센서제어

- Piezo 스테이지 : 시그마 (σ) = 10nm H8 에서는 " 표준품 " 과 " 초고정밀도 " 2 가지사양선택가능 - 표준품 ( 엔코더분해능 20nm) : 시그마 (σ) = 100nm - 초고정밀도 ( 엔코더분해능 1nm) : 시그마 (σ) = 10nm 소프트웨어 Standard GenICam

5 Heliotis 이미지센서 : helisens S4 280 x x 512 x 544 H6 H8 H6 vs H8 비교 heliinspect H6 -Head + WLI 전체 Z 축구동 - 최대구동거리 80 mm - 전원 off 시스캐너의낙하로인한스토퍼필수 -HeliDriver 컨트롤러를통하여센서제어 heliinspect H8 - WLI 만 Z 축구동 - 최대구동거리 35mm - 낙하방지용중력보정기능추가 - GenICam 인터페이스 - 카메라내부의 Linux 로제어가능 고정밀스캐너 H6 의 Z 축정밀도는 Z 축스캐너의성능에크게좌우됨 - 표준스테이지 ( 엔코더분해능 100nm) : 시그마 (σ) = 100nm - Piezo 스테이지 : 시그마 (σ) = 10nm H8 에서는 " 표준품 " 과 " 초고정밀도 " 2 가지사양선택가능 - 표준품 ( 엔코더분해능 20nm) : 시그마 (σ) = 100nm - 초고정밀도 ( 엔코더분해능 1nm) : 시그마 (σ) = 10nm 소프트웨어 Standard GenICam Interface - 표준 GenICam 인터페이스적용 - 2D 카메라와동일한카메라설정이가능 High Level API - 유저를위한파라미터설정 - 새롭게설정된측정시퀀스를제어가능 - 에뮬레이션모드 Embedded Applications - OEM 용도로오픈한개발플랫폼 090 I Machine Vision Solution Guide

6 Helilnspect H6 - 산업용백색광간섭계 고속스캔 / 고정밀도검사 / 산업용품질검사 HeliInspect tm H6 는하기처럼측정이가장까다로운 3D in-line 검사사양을만족시킬수있도록설계되었습니다 단차측정, 각도, 형태 표면거칠기, 파형, 굴곡 결함, 스크레치, 마모 평면, 동일평면상, 변형 필름두께 ( 단층촬영모드 ) H6 / WLI6 Specifications HeliInspectTM H6 Measurement head Acquisition device Light Source Dimensions (L x W x H) Weight Software HeliOptics WLI6 Interferometer WLI module Field of view Working distance Lateral resolution(xy) Numerical aperture Resolution RMS Repeatability Reflectivity of sample Mirau MIRAU-X x 222 µm mm 08 µm nm 속도 삼각계측법 ( 광단층 ) Heliotis helioptics WLI6 간섭계모듈이변경가능한산업용백색광간섭계화소신호처리를한고속 CMOS 센서 Integrated high power LED(Standard) or SLED(Optional) 147 mm x 75 mm x 45 mm 800g(WLI6 모듈제외 ) SDK 제공 (Halcon, LabView, C++, Python) Mirau MIRAU-X x 556 µm mm 2 µm nm Mirau Michelson MIRAU-X10 TG-R5 116 x 111 µm x 141 mm mm 141 mm 4 µm 5 µm nm 100 nm 100 nm < 01% to 100% Michelson TG-R x 281 mm mm 10 µm nm 정밀도 일반적인백색간섭계 Michelson TG-R x 562 mm mm 20 µm nm wwwioviscokr I 091 CAMERA 적외선 CAMERA FRAME GRABBER 광학계 & LENS 조명 3D MODULE SOFTWARE

Heliotis Helilnspect H4 대면적 3 차원검사 고속 3D 이미지센서 helisense S3 가장착된새로운측정모듈은넓은 FOV 와 sub-micrometer 수준의측정이가능합니다 H4 는유리나메탈을포함하여거의모든표면을측정하는비접촉백색광간섭계입니다 H4 는높은처리량과견고성을요구하는인라인어플리케이션을위해설계되었으며,

(Windows, Mac, Linux) H4 Specifications 측정모듈 3D sensor 2D mode light source Field of view Working distance Lateral resolution(xy) Numerical aperture vertical resolution vertical scan speed

7 Heliotis Helilnspect H4 대면적 3 차원검사 고속 3D 이미지센서 helisense S3 가장착된새로운측정모듈은넓은 FOV 와 sub-micrometer 수준의측정이가능합니다 H4 는유리나메탈을포함하여거의모든표면을측정하는비접촉백색광간섭계입니다 H4 는높은처리량과견고성을요구하는인라인어플리케이션을위해설계되었으며, 맞춤형제작모듈은장비제조업체에서사용이유용합니다 주요 - 돌출된금속면의형태검사 - 동일평면성 (Co-planarity) 측정 - 인라인품질검사 - 기하학적특징제어 - OEM 인터그레이션 - 통계학적프로세스제어 특성 - 표면 / 부피단층촬영 - 빠르고강건함 - Sub-um Resolution - 다양한표면측정 - 빠른인티그레이션을위한소프트웨어모듈 (Windows, Mac, Linux) H4 Specifications 측정모듈 3D sensor 2D mode light source Field of view Working distance Lateral resolution(xy) Numerical aperture vertical resolution vertical scan speed Reflectivity of sample Scan Module Z-stage Software helicommandertm patented smart pixel sensor helisense S3 with in-pixel signal processing of up to 1 million 2D-slices per second live-view for navigation on sample (optional) standard: red power LED options: Superluminescent Light Emitting Diode (lcenter = 840 nm, Poptical = 8 mw) 1112 x 116 mm (standard configuration) 16 mm (standard configuration) 40 µm (standard configuration) 01 (standard configuration) 100 nm standard, 20 nm in phase mode up to 50 mm per second < 01% to 100% 80 mm vertical scan range; up to 100 mm per second; glass scale with 100 nm optical encoder configuration and control of the system navigation via 2D live view (optional) graphical representation of 3D topography and profiles data processing and analysis data management and storage automation of measurement tasks (recipes) 092 I Machine Vision Solution Guide

( 주 ) 이오비스취급제품 산업용카메라 3D 프레임그래버 광학계 & 렌즈 TDI 카메라 레이져라인센서 CL 그래버 Auto Focus 모듈 고속고해상카메라 백색광간섭모듈 CL 길이연장그래버 텔레센트릭렌즈 고속라인스캔카메라 백색광슬릿빔모듈 CXP 그래버 5Mega Pixel 렌즈 저가형 GigE 디지털모아레모듈 GigE 그래버 매크로렌즈 3CCD 카메라

8 ( 주 ) 이오비스취급제품 산업용카메라 3D 프레임그래버 광학계 & 렌즈 TDI 카메라 레이져라인센서 CL 그래버 Auto Focus 모듈 고속고해상카메라 백색광간섭모듈 CL 길이연장그래버 텔레센트릭렌즈 고속라인스캔카메라 백색광슬릿빔모듈 CXP 그래버 5Mega Pixel 렌즈 저가형 GigE 디지털모아레모듈 GigE 그래버 매크로렌즈 3CCD 카메라 투명반사체모아레모듈 전처리그래버 배율렌즈 저가형라인스캔 3D 스캐너 다채널그래버 Mega Pixel 렌즈 3CCD + NIR DLP 패턴프로젝터 영상처리라이브러리 렌즈개발공급 NIR 카메라 Confocal 센서 비전 S/W 개발지원 CCTV 렌즈 SWIR 적외선카메라 고배율렌즈 적외선라인스캔 조명 케이블 레이저 열화상카메라 시료촬영제안 CL 케이블 얼라인용 UV 카메라 레이저조명 CXP케이블 계측용 Cooled 카메라 고균등광조명 아날로그케이블 파장대별레이저 스마트카메라 각종 LED 조명 파워케이블 패턴레이저 OEM 카메라 고휘도 LED 조명 특수케이블제작 조명용레이저 IR 조명 중계기 로봇 UV 조명 Fiber Extender 협동로봇 Fiber 조명 CL Repeater 산업용로봇 조명맞춤제작 CL Mux CL-Gige 변환기

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9 IOVIS CO,LTD 이오비스는 Machine Vision Component 분야의전문가들이모여영상처리 & 공장자동화분야에서고객의성공을위해핵심솔루션과엔지니어링컨설팅및편리한기술지원을제공하는머신비전 & 공장자동화전문기업입니다 오랫동안국내를포함한세계의주요협력회사들과함께성장하며쌓아온노하우를고객여러분의성공을위해아낌없이공유하고지원하며, 머신비전 & 공장자동화분야의발전과성장을위해더욱더연구하며경험해나가겠습니다 저희이오비스는꿈과고객의성공을실현시키기위해서매일협력하고배려하며, 고객여러분께수준높은기술력과편리한서비스를제공하도록최선을다하겠습니다 벤처기업 반도체협회회원 기업부설연구소 무역협회회원 특허다수보유 머신비젼협회회원 인재육성중소기업선정 경영혁신중소기업선정 서울강소기업선정

10 Camera 적외선카메라 Frame Grabber 광학계 & Lens 조명 3D Module Software

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untitled Huvitz Digital Microscope HDS-5800 Dimensions unit : mm Huvitz Digital Microscope HDS-5800 HDS-MC HDS-SS50 HDS-TS50 SUPERIORITY Smart Optical Solutions for You! Huvitz Digital Microscope HDS-5800 Contents