폴-가스카다록

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1 CONTENTS ⅛ ⅛ ½ ½ ⅛ ⅛

2 µ µ µ µ µ 2 3

3 µ µ µ 4 5

4 µ µ µ 6 7

5 8 9

6 Campatibility Guide POU Filtration Bulk O-Rings Campatibility Guide POU Filtration Bulk O-Rings E Excellent G Good at Ambient Temperatures LR Limited Recommendation NR Not Recommended Please contact Pall Microelectronics for specific recommendations. Gas Gaskleen Gaskleen IV Membralox Mini-Gaskleen /PFA-Gaskleen 316L Ultramet -L Ultramet -L Nickel Media Emflon Emflon PF Viton 1 A Silicone EPDM FEP/Viton E Excellent G Good at Ambient Temperatures LR Limited Recommendation NR Not Recommended Please contact Pall Microelectronics for specific recommendations. Gas cont d Gaskleen Gaskleen IV Membralox Mini-Gaskleen /PFA-Gaskleen 316L Ultramet -L Ultramet -L Nickel Media Emflon Emflon PF Viton 1 A Silicone EPDM FEP/Viton Air (CDA System) E E E E E E E E E E E E Ammonia (NH 3 ) NR E E NR E G G E NR NR G NR Argon (Ar) E E E E E E E E E E E E Arsine (AsH 3 ) G E E E E G G E G G G E Boron Trichloride (BCl 3 ) LR E E E E G G E LR NR NR E Boron Trifluoride (BF 3 ) NR E NR E E G NR E NR NR NR E Carbon Monoxide (CO) E E E E E NR E E E E E E Carbon Dioxide (CO 2 ) E E E E E E E E E E E E Carbon Tetrachloride (CCl 4 ) LR E E E E G LR E LR NR NR E Carbon Tetrafluoride (CF 4 ) NR E LR E E G NR E NR NR NR E Chlorine (Cl 2 ) NR E E E E G NR E NR NR NR E Diborane (B 2 H 6 ) G E E E E G E G G G G E Dichlorosilane (SiH 2 Cl 2 ) LR E E E E G LR E LR NR NR E Hexafluoroethane (C 2 F 6 ) NR E LR E E G NR E NR NR NR E Hydrogen (H 2 ) G E E E E E G E G NR G E Hydrogen Bromide (HBr) LR E E E E G LR E LR NR NR E Hydrogen Chloride (HCl) LR E E E E G LR E LR NR NR E Hydrogen Fluoride (HF) NR E NR E E G NR E NR NR NR E Nitrogen (N 2 ) E E E E E E E E E E E E Nitrogen Trifluoride (NF 3 ) NR E NR E E G NR E NR NR NR E Nitrous Oxide (N 2 O) LR E E E E E LR E G G E E Oxygen (O 2 ) NR E E E E G NR E NR NR NR E Ozone (O 3 ) NR E E E NR NR NR E NR NR NR E Phosphine (PH 3 ) G E E E E G G E G G G E Phosphorous Pentachloride (PCl 5 ) LR E E E E G LR E LR NR NR E Phosphorous Pentafluoride (PF 5 ) NR E NR E E G NR E NR NR NR E Silane (SiH 4 ) G E E E E G G E G G G E Silicon Tetrachloride (SiCl 4 ) LR E E E E G LR E LR NR NR E Stibine (SbH 3 ) G E E E E G G E G G G E Tetraethyl Orthosilicate (TEOS) G E E E E G G E G G G E Trimethyl Borane ((CH 3 ) 3 B) G E E E E G G E G G G E Trimethyl Phosphate ((CH 3 ) 3 PO 4 ) G E E E E G G E G G G E Tungsten Hexafluoride (WF 6 ) NR E NR E E G NR E NR NR NR E 10 11

7 Gas Flow Schematic General Gas Filter and Purifier Recommendation Diagram Materials Removal Application Number Filter Type of Construction Rations (μm) Bulk Non-Toxic 1 Replaceable Emflon PTFE/Polypropylene Chase/Core Non-Toxic 2 Replaceable Emflon PTFE/Polyprolylene Process Equipment 3 Gasket-Sert Nickel 200 Gasket w/316l or Hastelloy C Non-Toxic Gaskleen Assembly PTFE/Polyproylene.Stainless Steel Ultranet-L Assembly AllStainless Steel Ultramet-L Nickel Media Nickel/Stainless Steel Assembly Spec. Gas Cabinets 4 Gasket-Sert Nickel 200 Gasket w/316l of Hastelloy C Gaskleen Assembly PTFE/Stainless Steel Ultramet-L Assembly All Stainless Steel Ultramet-L Nickel Media Nickel/Stainless Steel Assembly Gas Panels/Sticks 5 Gasket-Sert Nickel 200 Gasket w/316l or Hastelloy C Gaskleen Assembly PTFE/Stainless Steel Ultramet-L Assembly All Stainless Steel Ultramet-L Nickel Media Nickel/Stainless Steel Assembly Equipment P.O.U. 6 Gaskleen Purifier All Stailess Steel Containing Reactive Material Gaskleen Purifier PPT Intercalate Reactive Metal Compounds / Stainless Steel Ultramet-L Assembly All Stainless Steel Ultramet-L 1000 Series All Stainless Steel Assembly Gaskleen Assembly PTFE/Stainless Steel Mini-Gaskleen Assembly PTFE/Stainless Steel Ultramet-L Nickel Media Nickel/Stainless Steel Assembly 12 13

8 PFA Gaskleen 6101 & Gaskleen 6101 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (Air, 20 ) 산소, 특수 가스 공정 및 불활성 가스에 적용 100% 완전성 Test 클린룸 제조 및 패킹 <GLFPF6101VM4> <GLFPF6101VM6/8> 미디어 PTFE+P.P, PTFE+PFA 하우징 SST 316L <GLF6101VM4> <SGLF6101VM6/8> 다양한 가스 호환성 높은 온도 및 압력 특성 다양한 Fitting 선택 컴팩트한 사이즈 정격여과율 10 9 연결타입 ¼ VCR, ¼ Buttweld, ½ VCR 표면처리 25μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x atm cc/sec 추천유량 500 slpm (Max. 600slpm) 최대사용압력 최대정방향차압 최대역방향차압 여과면적 232 cm2 / 0.25ft 2 (PFA) 464 cm2 / 0.5ft 2 O-링 바이톤심 테프론* * Viton과 Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) <가스클린 6101(PTFE+P.P)> 제품번호 길이(in/mm) GLF6101VM4 Gaskleen, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.56/141 GLF6101VM6/8 Gaskleen, ⅜ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.81/148 GLF6101VFM4 Gaskleen, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Female/Male 5.81/148 GLF6101SM4S Gaskleen, ¼ Compression Seal (Swagelok or Compatible) Male/Male 5.56/141 GLF6101SM6S Gaskleen, ⅜ Compression Seal (Swagelok or Compatible) Male/Male 5.81/148 GLF6101SM8 ½ Swagelok Male/Male 4.38/111 GLF6101FP4 Gaskleen, ¼ Female NPT 5.19/132 SGLF6101VM4M Short Gaskleen, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00/127 SGLF6101VM4 Short Gaskleen, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 4.94/126 SGLF6101VM6/8M Short Gaskleen, ⅜ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00/127 SGLF6101SM4S Short Gaskleen, ¼ Compression Seal (Swagelok or Compatible) Male/Male 4.19/106 SGLF6101SM6S Short Gaskleen, ⅜ Compression Seal (Swagelok or Compatible) Male/Male 5.00/127 <PFA-가스클린 6101(PTFE+PFA)> 제품번호 길이(in/mm) GLFPF6101VM4 PFA Gaskleen, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.56/141 GLFPF6101SM4S PFA Gaskleen, ¼ Compression Seal (Swagelok or Compatible) Male/Male 5.56/141 GLFPF6101SM6S PFA Gaskleen, ⅜ Compression Seal (Swagelok or Compatible) Male/Male 5.81/148 GLFPF6101VM6/8 PFA Gaskleen, ⅜ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.81/148 GLFPF6101VXM4AM PFA Gaskleen, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Female 5.56/141 SGLFPF6101VM4 Short PFA Gaskleen, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 4.94/125 SGLFPF6101VM6/8M Short PFA Gaskleen, ⅜ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00/127 SGLFPF6101SM4S Short PFA Gaskleen, ¼ Compression Seal (Swagelok or Compatible) Male/Male 4.19/

9 PMF Gasket-Sert TM Filter 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (Air, 20 ) Regulators, MFC 등을 보호 설치시 하우징 불필요 다양한 가스에 적용 가능 <Inlet 2kgf/cm 2 > CNF1004USG4 CNF1004USG6 미디어 SST 316L 가스켓 SST 316L or Nickel <Inlet 5kgf/cm 2 > CNF1004USG4 CNF1004USG6 정격여과율 0.4μm 연결타입 ¼, ⅜, ½ VCR 1), UJR 가스켓 최대사용온도 Non-Corrosine Gases: 840 / 450 내차압 / ) VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) 인라인 디자인, 설치가 용이 다양한 호환성 낮은 차압 메탈구조 제품번호 구성 연결타입 CNF1004UNG4 미디어: SST 316L, 가스켓: Nickel ¼ VCR, UJR CNF1004USG4 미디어: SST 316L, 가스켓: SST 316L ¼ VCR, UJR CNF1004USG6 미디어: SST 316L, 가스켓: SST 316L ⅜, ½ VCR, UJR 16 17

10 PSP Sealed-In-Line Filter 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (Air, 20 ) 100% 완전성 Test SST 316L 하우징 (E.P.처리) 고유량 가스 여과 Low Out Gassing / H2O, THC, 10ppb 미만 <SILF2> <SILF4> 미디어 SST 316L 하우징 316L E.P. <SILF2> <SILF4> 다양한 가스 호환성 높은 온도 및 압력 특성 정격여과율 10 9 연결타입 표면처리 헬륨 Leak 테스트 추천유량 최대사용압력 최대정방향차압 최대역방향차압 Certifications Preconditioning ½ up to 4 buttweld 1212시리즈: 10μin Ra 1 x 10-9 atm-cm3/s 2,500 slpm Eu Pressure Equipment Directive: Assemblies comply with the European Union s Pressure Equipment Directive 97/23/EC and are CE marked ASME: 168 mm(6.6 in) and 219mm (8.6 in) diameter assemblies are designed, manufactured and stamped in accordance with the ASME Code Factory preconditioned with purified N2 규격 (mm) 제품번호 연결타입 지름(in/mm) 길이(in/mm) SILF2201BW12 22 tube, ¾ buttweld 2.5/ /781 SILF2201BW16 22 tube, 1 buttweld 2.5/ /781 SILF4201BW16 22 tube, 1 buttweld 4.0/ /826 SILF4201BW24 22 tube, 1½ buttweld 4.0/ /826 SILF6201BW24 22 tube, 1½ buttweld 6.6/ /864 SILF6201BW32 22 tube, 2 buttweld 6.6/ /864 SILF8201BW48 22 tube, 3 buttweld 8.6/ /864 SILF8201BW64 22 tube, 4 buttweld 8.6/ /

11 Gasket-Sert TM PSP Filter 초기 압력 손실 - 가스유량곡선 (Air, 20 ) Regulator, MFC등을 보호 다양한 가스에 적용가능 설치시 하우징 불필요 고유량 미디어 SST 316L 가스켓 SST 316L 규격 (mm) 정격여과율 99.9% 연결타입 추천 유량 최대사용온도 최대허용차압 ¼ VCR* 가스켓 28 slpm@90psig/inlet 불활성 가스: 300 /572F 부식성 가스: 30 /86F inside out 690kPa@20 /100psid@68 F outside in 1380kPa@20 /200psid@68 F * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 인라인 디자인, 설치가 용이 낮은 차압 제품번호 구성 연결타입 CNF1104USG4 미디어: SST 316L, 가스켓: SST 316L ¼ VCR or ¼ UJR 20 21

12 ⅛ Gasket-Sert TM PSP Filter 1 1 /8 W-Seal ⅛ 초기 압력 손실 - 가스유량곡선 (Air, 20 ) 미디어 SST 316L 가스켓 SST 316L 정격여과율 99.9% 연결타입 최대사용온도 최대허용차압 1⅛ W-Seal 불활성 가스: 300 /572 부식성 가스: 300 /86 inside out 0.7MPa@38 /100psid@100 outside in 1.4MPa@38 /200psid@100 규격 (mm) 반도체 W-seal 가스 판넬용 필터 제품번호 구성 연결타입 CNF1104UPSG2 미디어: SST 316L, 가스켓: SST 316L 1 ⅛ W-seal gasket 22 23

13 Gasket-Sert TM Filter 초기 압력 손실 - 가스유량곡선 (Air, 20 ) Regulator, MFC등을 보호 다양한 가스에 적용가능 설치시 하우징 불필요 미디어 SST 316L 또는 Hastelloy C-22 가스켓 Nickel 또는 SST 316L 정격여과율 연결타입 헬륨 Leak 테스트 설계 조건 추천 유량 최대사용온도 최대허용차압 0.4μm ½, ¼ VCR* 가스켓 1 x 10-9 atm cc/sec 1 x atm cc/sec psig/inlet 불활성 가스: 450 부식성 가스: psid@840 F/27bar@ psid@100 F/52bar@38 규격 (mm) * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 인라인 디자인, 설치가 용이 다양한 호환성 낮은 차압 메탈 구조 제품번호 구성 연결타입 CNL3004VNG4 미디어: SST 316L, 가스켓: Nickel ¼ VCR CNC3004VNG4 미디어: Hastelloy C-22, 가스켓: Nickel ¼ VCR 24 25

14 Gaskleen IV Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (Air, 20 ) VIM VAR, VAR PLUS처리 100% 완전성 Test 클린룸 제조 및 패킹 Low Out Gassing / H2O,THC,10ppb 미만으로 전처리 미디어 PTFE + PFA 하우징 SST 316L E.P. For Connections 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 정격여과율 10 9 연결타입 ¼, ⅜ VCR*, ¼, ⅜ Buttweld 표면처리 7μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x atm cc/sec 추천유량 500 slpm 최대사용압력 최대정방향차압 최대역방향차압 규격 (mm) <VCR Connection> <Butt Weld Connection> * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 컴팩트한 사이즈 높은 온도 및 압력 특성 우수한 가스 치환성 제품번호 연결타입 길이(in/mm) SGLFPF6402VMM4 ¼ VCR Male/Male 5.00/127 GLFPF6402BW4 ¼ Buttweld 3.87/98 SGLFPF6402VMM6/8 ½, ⅜ VCR Male/Male 5.00/127 GLFPF6402BW6 ⅜ Buttweld 3.87/98 GLFPF6402BW8 ½ Buttweld 3.87/

15 Gaskleen V Series Filter Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) VIM VAR, VAR PLUS처리 100% 완전성 Test 클린룸 제조 및 패킹 <VMM4> <VMM8> 미디어 PTFE + PFA 하우징 SST 316L E.P. 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 정격여과율 10 9 연결타입 ¼, ⅜ VCR*, ¼, ⅜, ½ Buttweld or compression 표면처리 7μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x atm cc/sec 추천유량 1,200 slpm 최대사용압력 최대정방향차압 최대역방향차압 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) 컴팩트한 사이즈 높은 온도 및 압력 특성 우수한 가스 치환성 제품번호 연결타입 길이(in/mm) Preconditioned SGLFPF6501VMM4 ¼ Gasket Seal, (VCR or Compatible) Male/Male 5.0/127 No SGLFPF6502VMM4 ¼ Gasket Seal, (VCR or Compatible) Male/Male 5.0/127 Yes SGLFPF6501VMM8 ½ Gasket Seal, (VCR or Compatible) Male/Male 5.0/127 No SGLFPF6502VMM8 ½ Gasket Seal, (VCR or Compatible) Male/Male 5.0/127 Yes SGLFPF6501VMM12 ¾ Gasket Seal, (VCR or Compatible) Male/Male 5.5/140 No GLFPF6501VMF4 ¼ Gasket Seal, (VCR or Compatible) Male/Female 5.6/141 No SGLFPF6501SM4 ¼ Compression Seal, (Swagelok* or Compatible) Male/Male 4.4/113 No GLFPF6501SM4 ¼ Compression Seal, (Swagelok or Compatible) Male/Male 5.6/141 No SGLFPF6501SM6 ⅜ Compression Seal, (Swagelok or Compatible) Male/Male 4.6/118 No GLFPF6501SM6 ⅜ Compression Seal, (Swagelok or Compatible) Male/Male 5.8/148 No SGLFPF6501SM8 ½ Compression Seal, (Swagelok or Compatible) Male/Male 4.7/119 No * Swagelok은 Swagelok의 고유등록상표입니다

16 Gaskleen Sealed In-Line Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (N2, 20 ) 100% 완전성 Test SST 316L 하우징 (E.P.처리) 고유량 가스 여과 Low Out Gassing / H2O,THC,10ppb 미만 미디어 PTFE 하우징 316L E.P. 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 다양한 가스 호환성 높은 온도 및 압력 특성 정격여과율 10 9 연결타입 ⅜,½ VCR* & ½ Buttweld ¾ Buttweld 표면처리 1212시리즈: 10μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-6 atm cc/sec 설계조건 1 x atm cc/sec 추천유량 2,500 slpm 최대사용압력 250 psig / 17 bar 최대정방향차압 ~ ~80 최대역방향차압 최대사용온도 엠플론: 176 /80 엠플론PF: 250 /121 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) 제품번호 연결타입 길이(in/mm) Preconditioned SIL1101BW16 Emflon Element 1 Butt Weld 25 μin / 0.64 μm R a 22.59/573.8 No SIL1112BW24 Emflon Element 1½ Butt Weld 10 μin / 0.25 μm R a 22.52/572.0 Yes SILPF1112BW16 Emflon PF Element 1 Butt Weld 10 μin / 0.25 μm R a 22.59/573.8 Yes SILPF1111BW24 Emflon PF Element 1½ Butt Weld 25 μin / 0.64 μm R a 22.52/572.0 Yes SIL1212BW16 Emflon Element 1 Butt Weld 10 μin / 0.25 μm R a 32.65/829.3 Yes SIL1212BW24 Emflon Element 1½ Butt Weld 10 μin / 0.25 μm R a 32.58/827.5 Yes SILPF1212BW16 Emflon PF Element 1 Butt Weld 10 μin / 0.25 μm R a 32.65/829.3 Yes SILPF1212BW24 Emflon PF Element 1½ Butt Weld 10 μin / 0.25 μm R a 32.58/827.5 Yes 30 31

17 Micro Kleen-Change Filter Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) All teflon* 다양한 가스 호환성 * Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. 미디어 PTFE 코어, 엔드캡 PFA 440HP 규 격 (mm) 정격여과율 0.003μm 여과면적 13.5cm2/2.1in 2 연결타입 ⅛ Swagelok* 최대사용압력 58psi@77 /4bar@25 Packaging 이중포장, N2 퍼지 * Swagelok은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 제품번호 길이(in / mm) GDF3101SW2 ⅛ Swagelok fitting, Male inlet/outlet 2.9/73 100% 완전성 Test 클린룸 제조 포토 장비 및 저압용 N2 사용이 적합 32 33

18 Maxi Gaskleen 8101 / 8202 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 100% 완전성 Test SST 316L 하우징 (E.P. 처리) 미디어 PTFE 하우징 SST 316L E.P. 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 정격여과율 10 9 연결타입 ½ VCR*, ½ Buttweld 표면처리 8202시리즈: 10μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-6 atm cc/sec 설계조건 2 x atm cc/sec 추천유량 1,000 slpm (Max. 1,500 slpm) 최대사용압력 250 psig / 17 bar 최대정방향차압 ~ ~80 최대역방향차압 최대사용온도 엠플론: 176 /80 엠플론 PF: 250 /121 규격 (mm) <Code BW8 & BW12> <Code VMM8> 고유량 가스 여과에 적합 두 종류의 Fitting 선택 가능 높은 온도 및 압력 특성 컴팩트한 사이즈 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 제품번호 연결타입 길이(in/mm) GLFPF8202VMM8 Emflon PF element, ½ in gasket seal (VCR or compatible) Male/Male 7.75 / 197 GLFPF8202BW8 Emflon PF element, ½ in butt weld, 1.24mm / in wall 7.75 / 197 GLF8202VMM8 Emflon element, ½ in gasket seal (VCR or compatible) Male/Male 7.75 / 197 GLF8202BW8 Emflon element, ½ in butt weld, 1.24mm / in wall 7.75 /

19 Maxi Gaskleen 9101 / 9202 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (Air, 20 ) SST 316L 하우징 (E.P. 처리) 100% 완전성 Test 고유량 가스 여과 미디어 PTFE 하우징 316L E.P. 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 정격여과율 10 9 연결타입 ½ VCR* & ½ Buttweld ¾ Buttweld 표면처리 9202시리즈: 10μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-6 atm cc/sec 설계조건 1 x atm cc/sec 추천유량 1,700 slpm (Max. 2,000 slpm) 최대사용압력 250 psig / 17 bar 최대정방향차압 ~ ~80 최대역방향차압 최대사용온도 엠플론: 176 /80 엠플론 PF: 250 /121 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) <Code BW8 & BW12> <Code VMM8> 높은 온도 및 압력 특성 컴팩트한 사이즈 세가지 종류의 Fitting 선택 가능 제품번호 연결타입 길이(in/mm) GLFPF9202BW8 Emflon PF element, ½ in butt weld, 1.24mm / in wall / 295 GLFPF9202BW12 Emflon PF element, ¾ in butt weld, 1.65mm / in wall / 295 GLFPF9202VMM8 Emflon PF element, ½ in gasket seal (VCR or compatible) Male/Male / 258 GLF9202VMM8 Emflon element, ½ in gasket seal (VCR or compatible) Male/Male /

20 Membalox Filter Assemblies 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 고온과 내식성이 탁월 다양한 사이즈 미디어 고순도 inert alumina oxide 가스켓 PTFE 정격여과율 0.003μm 연결타입 ¼, ½ ButtWeld, VCR* 헬륨 leak test 1X10-9 atm cm3/s 설계조건 1X10-11 atm cm3/s 3 /75mm Micro Hi Flow = 30slpm 추천유량 3 /75mm Mini Hi Flow = 225slpm 3 /75mm Hi Flow = 600slpm 5 /125mm Hi Flow = 900slpm 최대허용압력 3000psig@200 /207bar@120 내차압 2500psig@200 /175bar@120 표면처리 15μin/0.38μm Ra * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 제품번호 연결타입 길이(in / mm) 직경(in / mm) MLOX /4BW ¼ Butt Weld 3.31/ /20.8 MLOX /4GS-MM ¼ Gasket Seal, Male/Male 3.31/ /20.8 MLOX /4CS ¼ Compression Seal, Male/Male 3.31/ /20.8 MLOX /4GS-MF ¼ Gasket Seal, Male/Female 2.8/ /29.7 MLOX /4BW ¼ Butt Weld 3.31/ /29.7 MLOX /4GS-MM ¼ Gasket Seal, Male/Male 3.31/ /29.7 MLOX /2GS-MM ½ Gasket Seal, Male/Male 3.31/ /29.7 MLOX /4GS-MM ¼ Gasket Seal, Male/Male 3.31/ /42.4 다양한 길이 - Micro Hi Flow = /22mm - Mini Hi Flow = 1.18 /30mm - Hi Flow 3 /75mm & 5 /125mm = 1.67 /42mm MLOX /2GS-MM ½ Gasket Seal, Male/Male 3.31/ /42.4 MLOX /4GS-MM ¼ Gasket Seal, Male/Male 5.00/ /42.4 MLOX /2GS-MM ½ Gasket Seal, Male/Male 5.00/ /42.4 MLOX /2GS-MM ½ Gasket Seal, Male/Male 11.22/ /42.4 MLOX /4GS-MM ¾ Gasket Seal, Male/Male 11.22/ /

21 Mini Gaskleen High Flow Filter Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) VAR PLUS 처리 SST 316L 하우징 (E.P.처리) 100% 완전성 Test Low Out Gassing / H2O,THC,O2 전처리 10ppb 미만으로 미디어 PTFE + PFA 하우징 SST 316L E.P. O-링 바이톤심 테프론* * Viton과 Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) PRECONDITIONED CLEANLINESS 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 높은 온도 및 압력 특성 컴팩트한 사이즈 다양한 Fitting 선택 가능 정격여과율 10 9 연결타입 ¼ VCR*, ¼ Lok, ¼ F/M VCR ¼ M/F VCR*, ¼ Buttweld 0.13μm/5µin Ra 표면처리 (gasket and butt weld fitting) 0.15μm/20µin Ra (gasket and butt weld fitting) 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-7 atm cc/sec 설계조건 1 x 10-9 atm cc/sec 추천유량 3101 시리즈: 100 slpm 최대사용압력 3, 최대정방향차압 최대역방향차압 여과면적 13.5 cm2 / 0.015ft 2 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 제품번호 길이 (in/mm) Preconditioned GLFPF3101VMM4 ¼ in Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 3.31 / 84 No GLFPF3101BW4 ¼ in Butt Weld, 0.89 mm / in wall 3.54 / 90 No GLFPF3101SM4 ¼ in Compression seal, Male inlet/oulet (Swagelok* compatible) 2.88 / 73.2 No GLFPF3101VFM4 ¼ in Gasket Seal (VCR or Compatible) Female Inlet/Male Outlet 3.47 / 88 No GLFPF3101VMF4 ¼ in Gasket Seal Outlet (VCR or Compatible) Male Inlet/Female Outlet 3.94 / 100 No GLFPF3102VMM4 ¼ in Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 3.31 / 84 Yes GLFPF3111VMM4 ¼ in Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00 / 127 No * Swagelok은 Swagelok의 고유등록상표입니다

22 Mini Ultramet-L 1100 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) P.O.U에 적합 동일한 사이즈 대비 고유량 실현 VIM VAR 처리 <316L> <Nickel> Low Out Gassing / H2O,THC,O2 10ppb 미만 미디어 SST 316L, Nickel 하우징 SST 316L E.P. 규격 (mm) 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 높은 온도 및 압력 특성 컴팩트한 사이즈 탁월한 파티클 제거 능력 폴 특허인 메탈 파이버 SST 316L 또는 Nickel 미디어 사용 정격여과율 10 9 연결타입 ¼ VCR*, ¼ Buttweld 표면처리 7μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x atm cc/sec 추천유량 15slpm(Max.30slpm) 3, 최대사용압력 , 최대허용차압 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 제품번호 연결타입 길이(in/mm) Preconditioned GLFF1100VMM4 GLFF1100VFM4 미디어: SST 316L, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) 하우징: SST 316L Male/Male 3.31/84 No 미디어: SST 316L, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) 하우징: SST 316L Female Inlet/Male Outlet 3.47/88 No GLFF1100BW4 미디어: SST 316L, 하우징: SST 316L ¼ Butt Weld, / 0.89 mm wall 1.75/42.5 No GLFF1102VMM4 GLFF1102VFM4 미디어: SST 316L, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) 하우징: SST 316L Male/Male 3.31/84 Yes 미디어: SST 316L, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) 하우징: SST 316L Female Inlet/Male Outlet 3.47/88 Yes GLFF1102BW4 미디어: SST 316L, 하우징: SST 316L ¼ Butt Weld, /0.89 mm wall 1.75/42.5 Yes GLFN1100VMM4 GLFN1100BW4 GLFN1102VMM4 GLFN1102BW4 미디어: Nickel, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) 3.31/84 No 하우징: SST 316L Male/Male 미디어: Nickel, ¼ Butt Weld, /0.89 mm wall 1.75/42.5 No 하우징: SST 316L 미디어: Nickel, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) 3.31/84 Yes 하우징: SST 316L Male/Male 미디어: Nickel, ¼ Butt Weld, /0.89 mm wall 1.75/42.5 Yes 하우징: SST 316L 42 43

23 Mini Kleen Change Filter Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) All teflon 다양한 가스 호환성 미디어 PTFE 서포트 FEP bonded PTFE 코어, 엔드캡 PFA 440HP 규 격 (mm) 정격여과율 0.003μm 여과면적 320cm2/0.344ft 2 연결타입 ⅛ Floretek*, ¼ Floretek 최대사용압력 60psig@77 /4.1bar@25 30psig@176 /2bar@80 최대허용차압 50psid@70 /3.4bar@21 * Flaretek은 Entegris의 고유등록상표입니다. 100% 완전성 Test 클린룸 제조 제품번호 길이(in / mm) GDF6406E5 ⅜ Flaretek, Male Inlet/Outlet 5.34/135.7 GDF6404E5 ¼ Flaretek, Male Inlet/Outlet 5.1/

24 VaraFine TM VFSH VFSH 비대칭 멤브레인 구조로 고유량, 저차압 실현 Table 1 Table 2 Table 3 Table 4 CDA, N2 및 불활성 가스에 사용 코드 절대여과등급 코드 길이 코드 O-링 사이즈 코드 O-링 μm 04 4 M3 222 (평판형) S 실리콘 μm M7 226 (핀 형) E EPDM μm M8 222 (핀 형) V 바이톤 A N Buna-N T F 실리콘심 테프론 바이톤심 테프론* 필터 미디어 비대칭 소수성 P.S * Viton과 Teflon은 DuPont사의 고유 등록상표입니다. 써포트, 드레인 P.P 코어, 케이지, 엔드캡 P.P O-링 실리콘(선택가능) 초기 압력 손실 - 유량곡선 (공기, 20 ) 절대여과등급 0.003μm, 0.01μm, 0.02μm 길이 4, 10, 20, 30, 40 최고사용온도 95 내차압 5.5kgf/cm2 (20 ) 1.4kgf/cm2 (95 ) <비대칭 Membrane 구조> 다양한 길이 선택 가능 (40 까지 대응) 우수한 경제적 특징 46 47

25 Small Flow Emflon 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 광범위한 적용분야 100% 완전성 Test 플리티드 카트리지 구조 <카트리지 9106/9112> <카트리지 2230/9130> 미디어 PTFE 코어 P.P O-링 바이톤*(선택가능) * Viton과 Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. <카트리지 4440/4463/9163> 정격여과율 10 9 길이 1 /25mm, 1.75 /44mm, 2.5 /64mm, 5 /127mm 직경 2.18 /55mm 추천유량 1,700 slpm (Max. 2,000 slpm) 최대사용온도 90 / 최대정방향차압 ~ ~90 제품번호 정격여과율(μm) 길이(in / mm) O-링 사이즈 / MCY9106FREH /25 115/바이톤(Internal) 우수한 파티클 제거 특성 고유량 가스 여과용 필터 고유량 vs. 낮은 차압 MCY9112FREH /44 115/바이톤(Internal) MCY9130FREH /64 209/바이톤(Internal) MCY9163FREH / /바이톤 (Internal) MDY2230FREHF /64 116/내산용바이톤(Internal) MCY4463FREHF / /내산용바이톤(Internal) MCY4440FREHF / /내산용바이톤(External) 48 49

26 Emflon 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 다양한 길이 <10" 카트리지 > 100% 완전성 Test 미디어 PTFE 하드웨어 P.P O-링 바이톤*(선택가능) * Viton과 Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. 정격여과율 10 9 여과면적 10 : 9.45ft 2 /0.88m2 10 /254mm, 20 /508mm, 길이 30 /762mm, 40 /1016mm 직경 2.75 /70mm 추천유량 150 Nm3/hr (2,500 slpm) 최대사용온도 90 / 최대정방향차압 ~ ~90 규격 (mm) A B F R E 우수한 파티클 제거 특성 고유량 vs 낮은 차압 코드 길이 코드 O-링 사이즈 (평판형) (핀 형) (핀 형) 코드 H H1 HF O-링 바이톤 바이톤심 테프론* 내산용바이톤 optional * Viton과 Teflon은 DuPont사의 고유등록상표입니다

27 Emflon PF 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 다양한 길이 All 테프론 산소가스, 특수가스 여과에 적합 100% 완전성 Test 미디어 PTFE 하드웨어 PFA 440HP O-링 바이톤*(선택가능) * Viton과 Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. 정격여과율 10 9 여과면적 5 :2.5ft 2 /0.23m2,10 :6ft 2 /0.56m2 길이 5 /127mm, 10 /254mm 직경 2.75 /70mm 추천유량 150 Nm3/hr 최대사용온도 185 / ~230 최대정방향차압 ~ ~ ~170 규격 (mm) 탁월한 파티클 제거 특성 고유량 vs 낮은 차압 높은 온도 및 압력 특성 제품번호 정격여과율 (μm) 길이 (in/mm) 코드 O-링 AB04F0023EH /127 3 바이톤심 테프론* AB1F0023EH /254 3 바이톤심 테프론 AB2F0023EH /508 3 바이톤심 테프론 * Viton과 Teflon은 DuPont사의 고유등록상표입니다

28 Ultramet-L 4000 Series Filter Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 고유량에 적합한 필터 VAR PLUS 처리 All SST 316L 미디어 SST 316L 하우징 SST 316L E.P. 정격여과율 0.003μm 연결타입 ½,¼ VCR* & ½,¼ Buttweld 표면처리 7μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x atm cc/sec 10 9 효율: 6slpm/0.2scfm 추천유량 10 4 효율: 75slpm/2.6scfm 3, 최대사용압력 1, 최대허용차압 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) L2 L1 컴팩트한 사이즈 다양한 Fitting 선택 가능 높은 온도 및 압력 특성 폴 특허인 메탈 파이버 SST 316L 미디어 사용 제품번호 연결타입 길이(in/mm) GLFF4000VM4 ¼ VCR Male/Male 3.31/84(L1) GLFF4000SM4 ¼ Swagelok* Male/Male 2.88/73(L1) GLFF4000BW4 ¼ Buttweld 1.75/45(L2) GLFF4000VMM8 ½, ⅜ VCR Male/Male 3.35/85(L1) * Swagelok은 Swagelok의 고유등록상표입니다

29 Ultramet-L 4281, 4581 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 고유량에 적합 316L 또는 Nickel 미디어 VIM VAR 처리 <GLFF4281VMM4> <GLFF4581VMM4> 미디어 SST 316L, Nickel 하우징 SST 316L E.P. <GLFN4581VMM4> 정격여과율 0.003μm 연결타입 ¼ VCR* 표면처리 10μin/0.25μm Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cm3/sec 설계조건 1 x atm cm3/sec 효율: 6slpm/0.2scfm 추천유량 10 4 효율: 75slpm/2.6scfm 효율: 50slpm/1.76scfm * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) 100% 헬륨 leak 테스트 컴팩트한 사이즈 고온 고압에 적합 제품번호 연결타입 GLFF4281VMM4 미디어: SST 316L, 하우징: SST 316L ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male / Male GLFF4581VMM4 미디어: SST 316L, 하우징: SST 316L ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male / Male GLFN4581VMM4 미디어: Nickel, 하우징: SST 316L ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male / Male 56 57

30 Ultramet-L 4400 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) Low Out Gassing / H2O,THC 10ppb 미만으로 전처리 All SST 316L VAR PLUS 처리 Dead Space가 적음 <316L> <Nickel> 미디어 SST 316L, Nickel 하우징 SST 316L E.P. 규격 (mm) 정격여과율 10 9 연결타입 ¼ VCR*, ¼ Buttweld, ½ VCR 표면처리 7μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x atm cc/sec 추천유량 50slpm (Max. 75slpm) 3, 최대사용압력 , 최대허용차압 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 탁월한 파티클 제거 능력 우수한 가스 치환성 높은 온도 및 압력 특성 컴팩트한 사이즈 <SST 316L 미디어> 제품번호 연결타입 길이(in/mm) GLFF4400VMM4 ¼ VCR Male/Male 3.31/84(L) GLFF4400BW4 ¼ Buttweld 1.75/45(L2) GLFF4400VMM8 ⅜,½ VCR Male/Male 3.31/84(L1) <Nickel 미디어> 제품번호 연결타입 길이(in/mm) GLFN4400VMM4 ¼ VCR Male/Male 3.31/84(L1) GLFN4400VMM8 ⅜,½ VCR Male/Male 3.31/84(L1) GLFN4400BW4 ¼ Buttweld 1.75/45(L2) GLFN4400VFM4 ¼ VCR Female/Male 3.31/84(L1) GLFN4400VMF4 ¼ VCR Male/Female 2.80/71(L1) 58 59

31 Ultramet-L 5500 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 고유량에 적합 SST 316L 또는 Nickel 미디어 VAR PLUS 처리 Low Out Gassing / H2O,THC,O2 전처리 10ppb 미만으로 미디어 SST 316L, Nickel 하우징 SST 316L E.P. 규격 (mm) 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 우수한 가스 치환성 탁월한 파티클 제거 능력 폴 특허인 메탈 파이버 316L미디어 사용 정격여과율 10 9 연결타입 ½,¼ VCR* & ½,¼ Buttweld 표면처리 10μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x atm cc/sec 추천유량 150slpm (Max. 200slpm) 최대사용압력 최대허용차압 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 제품번호 연결타입 길이(in/mm) Preconditioned GLFF5500VMM4 미디어, 하우징: SST 316L ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00/127 No GLFF5500VMM8 미디어, 하우징: SST 316L ½ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00/127 No GLFF5500BW4 미디어, 하우징: SST 316L ¼ Butt Weld, /0.89 mm wall 2.50/64 No GLFF5500BW8 미디어, 하우징: SST 316L ½ Butt Weld, /1.24 mm wall 2.50/64 No GLFF5502VMM4 미디어, 하우징: SST 316L ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00/127 Yes GLFF5502VMM8 미디어, 하우징: SST 316L ½ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00/127 Yes GLFF5502BW4 미디어, 하우징: SST 316L ¼ Butt Weld, / 0.89 mm wall 2.50/64 Yes GLFF5502BW8 미디어, 하우징: SST 316L ½ Butt Weld, / 1.24 mm wall 2.50/64 Yes SGLFF5500VMM4 미디어, 하우징: SST 316L ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 3.31/84 No SGLFF5500VMM8 미디어, 하우징: SST 316L ½ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 3.31/84 No SGLFF5502VMM4 미디어, 하우징: SST 316L ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 3.31/84 Yes SGLFF5502VMM8 미디어, 하우징: SST 316L ½ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 3.31/84 Yes 60 61

32 Ultramet-L 6600 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) All SST 316L VAR PLUS 처리 Low Out Gassing / H2O,THC,O2 10ppb 미만으로 전처리 미디어 SST 316L, Nickel 하우징 SST 316L E.P. 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 우수한 가스 치환성 탁월한 파티클 제거 능력 폴 특허인 메탈 파이버 316L미디어 사용 정격여과율 10 9 연결타입 ⅜, ½ VCR* Male 6601시리즈: 10μin R a 표면처리 6602시리즈: 0.7μm R max 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x atm cc/sec 추천유량 320slpm (Max. 400slpm) 최대사용압력 최대정방향차압 (Inert gas only) * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) 제품번호 길이 (in/mm) 직경 (in/mm) GLFF6601VMM8 ½ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male, 10μin / 0.25μm R a 6.06/ /76.7 GLFF6602VMM8 ½ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male, 0.7μm R max 6.06/ /

33 Ultramet-L Nickel 3600 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) Nickel미디어 필터 미디어 Nickel 하우징 SST 316L 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method # B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 정격여과율 10 9 연결타입 ¼ VCR* 표면처리 10μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x atm cc/sec 추천유량 75slpm (Max. 100slpm) 최대사용압력 3, / 최대정방향차압 / 최대역방향차압 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) 컴팩트한 사이즈 장착용이 높은 온도 및 압력 특성 제품번호 Preconditioned SGLFN3600VMM4 ¼ Gasket Seal (VCR Compatible) Male/Male No SGLFN3602VMM4 ¼ Gasket Seal (VCR Compatible) Male/Male Yes 64 65

34 Ultipleat PK Gas Filter 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 울티플릿 미디어 구조 100% 완전성 Test 필터 미디어 PTFE 써포트, 드레인 P.P 코어, 케이지, 앤드캡 P.P O-링 사이즈 #334 O-링 EPDM 정격여과율 여과면적 1.8 m2 / 19.4 ft 2 최대사용온도 50 / 122 내차압 / / 규격 (mm) 탁월한 파티클 제거 능력 초고유량 실현 낮은 내차압 제품번호 Norminal Length Seal UPK510FGJU 254mm / 10 in EPDM (U-cup) 66 67

35 Chamber Kleen TM Diffusers 가스 유량곡선 (공기, 20 ) <압력 vs 유량곡선> <압력 vs 챔버벤트시간> 360 디퓨져 설계 All SST 316L 미디어 & 디퓨져 SST 316L O-링 바이톤* * Viton과 Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) <5500 Series> <1100 Series> 정격여과율 0.003μm 1100series: NW25 ISO Vacuum Flange 연결타입 5500series: NW63 ISO Vacuum Flange 1100series: 15slpm@15psig/ 1bar inlet and oulet to full vacuum ( 10torr) 사용조건 5500series: 150slpm@15psig/ 1bar inlet and oulet to full vacuum ( 10torr) 최고사용온도 300 /149 (O-링 Flange에 따라 제한적) Vacuum chamber와 Load lock chamber 제품번호 유량(slpm) CK1100I25H 1100 Series, 미디어, 디퓨져: SST 316L, O-링: 바이톤 0-15 CK5500I63H 5500 Series, 미디어, 디퓨져: SST 316L, O-링: 바이톤

36 ½ GasKleen TM Filter Assemblies (W-Seal) ½ 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) Ultramet-L Top mount 3331 & 3200 시리즈 SST 316L 하우징 + SST 316L 미디어 또는 Nickel 미디어 Ultramet-L Top Mount: 4600 시리즈 SST 316L 하우징 + 최신 Nickel 미디어 미디어 하우징 SST 316L, Nickel & PTFE SST 316L E.P. 규격 (mm) <P/N: GTM F4A> <P/N: GTM F4A-VM4> 높은 온도 및 압력 특성 우수한 가스 치환성 파티클 제거 특성 3200 시리즈 정격여과율 10 9 연결타입 ¼ VCR* port on top of assembly 표면처리 5μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x atm cc/sec 3200 시리즈 최대사용압력 최대허용차압 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 제품번호 / 주문정보 제품번호 높이(in/mm) 추천유량(slpm) GTMF3200F4A 미디어: SST 316L, 하우징: SST 316L 1.65 / GTMF3200F4A-VM4 미디어: SST 316L, 하우징: SST 316L, ¼ VCR port 2.36 /

37 ½ Gaskleen TM Filter Assemblies 1 1 /2 (C-Seal) ½ 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) Ultramet-C Top mount 4600 시리즈 SST 316L 하우징 + Nickel 미디어 미디어 Nickel 하우징 SST 316L 규격 (mm) 정격여과율 10 9 연결타입 C-Seal 표면처리 10 µin Ra 헬륨 Leak 테스트 1x10-9 atm cc/sec 설계조건 1x10-11 atm cc/sec Nickel 시리즈 최대허용차압 높은 온도 및 압력 특성 우수한 가스 치환성 100% 완전성 test 제품번호 / 주문정보 제품번호 높이(in/mm) 넓이(in/mm) 추천유량(slpm) 파티클 제거 특성 GTMN4600CC4 미디어: Nickel 하우징: SST 316L 2.99 / / 시리즈:

38 ⅛ Gaskleen TM Filter Assemblies 1 1 /8 (C-Seal) ⅛ 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) SST 316L 하우징 고온및고압특성 미디어 SST 316L or Nickel 하우징 SST 316L Gaskleen 1013 시리즈 우수한 가스 치환 및 탈착 특성 클린룸 환경에서 제조 및 포장 Gaskleen 3600 시리즈 우수한 가스 치환 및 탈착 특성 클린룸 환경에서 제조 및 포장 Gaskleen 3101 시리즈 미디어: PTFE 코어 및 엔드캡: PFA 440HP O-링: 없음 클린룸 환경에서 제조 및 포장 정격여과율 10 9 연결타입 C-Seal, ⅛ 인터페이스 헬륨 Leak 테스트 1x10-9 atm cm 3 /s 설계조건 1x10-11 atm cm 3 /s / 최대사용압력 및 3600 시리즈 / 최대허용차압 3101 시리즈 / 규격 (mm) 제품번호 Discription 길이(in/mm) 폭(in/mm) 추천 유량(slpm) GTMF1013CC4 미디어, 하우징: SST 316L 1.4/ / GTMN1013CC4 미디어: Nickel, 하우징: SST 316L 1.4/ / GTMP3101CC4 미디어: PTFE, 하우징: SST 316L 2.98/ / TMN3600CC4 미디어: Nickel, 하우징: SST 316L 2.98/ /

39 ⅛ Gaskleen TM Filter Assemblies 1 1 /8 (W-Seal) ⅛ 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 고온및고압특성 우수한 가스 치환 및 탈착 특성 미디어 SST 316L or Nickel 하우징 SST 316L 규격 (mm) 정격여과율 10 9 연결타입 W-Seal 헬륨 Leak 테스트 1x10-9 atm cm 3 /s 설계조건 1x10-11 atm cm 3 /s 최대사용압력 / 최대허용차압 / Gaskleen 1013 시리즈 / 3700 시리즈 전해 연마된 SST 316L 하우징 클린룸 환경에서 제조 및 포장 제품번호 연결타입 길이(in/mm) 추천 유량(slpm) GTMF1013F4A 미디어, 하우징: SST 316L 1.45 / GTMN1013F4A 미디어: 니켈, 하우징: SST / GTMF3700F4A 미디어, 하우징: SST 316L 3.12 /

40 Gaskleen Light Series Filter Assemblies 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 고유량 가스 여과 미디어 PTFE 써포트 TFA3:None, TFA6:Fluoropolymer 코어, 엔드캡 PFA O-링 TFA3:바이톤심 테프론 1) TFA6:none * Viton과 Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. 정격여과율 10 9 ¼, ½ or ¾ gasket seal 연결타입 (VCR 2) or compatible) ¼, ⅜ or ½ Compression fittings 헬륨 Leak 테스트 1x10-9 atm cm 3 /s TFA3: / 최대사용압력 (S)TFA6: / TFA3: / 최대정방향차압 (S)TFA6: 20 / TFA3: 21 / 최대역방향차압 (S)TFA6: 20 / 규격 (mm) 2) VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 높은 온도 및 압력 특성 100% 완전성 검사 제품번호 연결타입 길이(in/mm) TFA3VMM4 ¼ gasket seal, (VCR or compatible) male / male 3.31 / 84 TFA6VMM4 ¼ gasket seal, (VCR or compatible) male / male 5 / 127 TFA6VMM8 ½ gasket seal, (VCR or compatible) male / male 5 / 127 TFA6VMM12 ¾ gasket seal, (VCR or compatible) male / male 5.5 / 140 STFA6SM4 ¼ compression seal, (Swagelok 3) or compatible) male / male 4.4 / 113 STFA6SM6 ⅜ compression seal, (Swagelok or compatible) male / male 4.6 / 118 STFA6SM8 ½ compression seal, (Swagelok or compatible) male / male 4.7 / 119 3) Swagelok은 Swagelok의 고유등록상표입니다

41 직경 길이 유량 압력 온도 No P/N (인치) (인치) Fitting scfm (slpm) (PSIG) (F) 전처리 유사제품 직경 길이 유량 압력 온도 No P/N (인치) (인치) Fitting scfm (slpm) (PSIG) (F) 전처리 유사제품 1 4HD Nickel VMM (14.84) No GLFF1100, Nickel Pack 2 4HD Nickel BVM (14.84) No GLFF1100, Nickel Pack 3 4HD Nickel VMM (148.40) No GLFN5500VMM8, Taper bowl 4 4HD Nickel VFF (14.84) No GLFN4400VFF4, OAL 5 4HD NI Nickel BVM (49.56) Yes 6 4HD Nickel BVM (14.84) No GLFN HD Nickel VMM (49.56) No GLFN HD Nickel VMM (316.40) No 76 MM 9 4HD Nickel BW (49.56) No GLFN HD Nickel BW (316.40) No 76 MM 11 4HD Nickel VMM (148.40) No GLFN5500VMM8, Taper bowl 12 4HD Nickel BW24 ( 0.00) No New Nickel High Flow 13 4HD Nickel VMM (14.84) No Shortened GLFN1100VMM4 14 4HD Nickel VMM (49.56) Yes GLFN4400VMM4 with OAL 15 4HD Nickel VMF (14.84) No Reversed Laser Marked GLFN1100VMF4 16 4HD Nickel VMF (49.56) Yes Shortened GLFN HD PTFE VMM ( ) No Maxi Gaskleen 18 4HD PTFE VFM (28.000) No Mini-Gaskleen 19 4HD PTFE VXM (28.00) No Mini-Gaskleen 20 4HD PTFE VF8M (420.00) No HD PTFE BW ( ) No Maxi Gaskleen with different element 22 4HD PTFE SM (420.00) No 6101's with 1/2 swagelock connections 23 4HD PTFE VMM (420.00) Yes GLFPF6202VMM4 24 4HD PTFE VMM6/ (420.00) Yes GLFPF6202VMM6/8 25 4HD PTFE VMM ( ) Yes IBM Core Gas 26 4HD PTFE VMM ( ) Yes IBM Core Gas 27 4HD PTFE VMM ( ) No Maxi-Gaskleen with Parker Ultraseal connections 28 4HD PTFE BW (980.00) No Maxi-Gaskleen 29 4HD PTFE VMM (980.00) Yes Maxi-Gaskleen. 30 4HD PTFE SM (420.00) Yes GLFPF HD PTFE JSKMM (420.00) Yes GLFPF6202 with JSK male Fittings 32 4HD PTFE O-RING 4.00 (112.00) GLFPF3101VMM4 with Chemraz O-ring 33 4HD PTFE VMM8 (0.00) No 1 around, 1 high 34 4HD PTFE BW32 (0.00) No 4 around, 2 high 35 4HD PTFE BW16 (0.00) No 2 around, 1 high 36 4HD PTFE BW32 (0.00) No 4 around, 1 high 37 4HD PTFE BW32 (0.00) No 2 around, 2 high 38 4HD PTFE BW12 (0.00) No 1 around, 1 high 39 4HD PTFE VMM (112.00) No GLFPF3101VMM4 40 4HD PTFE BW24 (0.00) No 2 around, 2 high, Super- Cheminert Element 41 4HD PTFE O-RING 4.00 (112.00) No GLFPF3000VMM4 with Kalrez O-ring 42 4HD PTFE SF4 (0.00) No GLFPF uin Ra 43 4HD PTFE BW24 (0.00) No 1 around, 2 high 44 4HD PTFE VMM (980.00) No GLFPF8202VMM8 with Certs 45 4HD PTFE MFC (28.00) No GLFPF3000MFC9 with 1/4m Boss Outlet 46 4HD PTFE BW16 (0.00) No 2 around, 1 high 47 4HD PTFE Flange (0.00) No 4 around, 2 high 48 4HD PTFE Flange (0.00) No 1 around, 1 high 49 4HD PTFE BW32 (0.00) No 4 around, 2 high, Code 15 Elements 50 4HD PTFE VMF (112.00) No GLFPF3000VMF4 51 4HD PTFE BW ( ) Yes GLFPF9202BW8, 52 4HD PTFE VMM ( ) No GLFPF8101VMM8, except 8.86" long 53 4HD PTFE O-RING 4.00 (112.00) Yes GLFPF HD PTFE VMM (112.00) No GLFPF HD PTFE BW24 (0.00) No 1 around, 2 high 56 4HD PTFE VMM16 (0.00) No 1 around, 1 high 57 4HD PTFE BW ( ) No GLFPF8101BW8, PPRO/PTFE Element 58 4HD PTFE BW16 (0.00) Yes SILPF1112BW HD PTFE VMM (980.00) No GLFPF8202VMM8 60 4HD PTFE VMM16 (0.00) Yes 1 around, 2 high 61 4HD PTFE VCO (112.00) No GLFPF HD PTFE BW16 (0.00) No 1 around, 2 high 63 4HD PTFE VFM (112.00) No GLFPF6401VFM4 64 4HD PTFE VMM (112.00) No GLFPF6401VMM4 65 4HD PTFE BW16 (0.00) Yes 66 4HD PTFE VMM ( ) No GLF HD PTFE VMM (980.00) No GLFPF HD PTFE BVM6/ (112.00) Yes GLFPF HD PTFE BVM (112.00) Yes GLFPF HD PTFE SM (980.00) No MAXI 71 4HD PTFE BW32 (0.00) No 4 around, 2 high 72 4HD PTFE BW ( ) Yes MAXI 73 4HD PTFE VMM ( ) Yes GLFPF9202VMM8 74 4HD PTFE BW24 (0.00) No 4 around, 4 high 75 4HD PTFE VMF (28.00) No GLFPF HD PTFE VMM (28.00) No GLFPF3000VMM4 with chemraz O-ring 77 4HD PTFE VMM (420.00) No SGLF6101VM6/8M 78 4HD PTFE mm Comp (420.00) No GLF HD PTFE mm Comp (420.00) No GLF HD PTFE mm Comp (420.00) No GLF HD PTFE BW32 (0.00) No 2 around, 2 high, Super- Cheminert Element 82 4HD PTFE BW (112.00) Yes GLFPF6402BW6 except finish 83 4HD PTFE VMM (28.00) No Millennium Mini 84 4HD PTFE BW ( ) No Maxi 85 4HD PTFE VMM4 (0.00) No 86 4HD PTFE mm BW 1.00 (28.00) No GLFPF

42 직경 길이 유량 압력 온도 No P/N (인치) (인치) Fitting scfm (slpm) (PSIG) (F) 전처리 유사제품 직경 길이 유량 압력 온도 No P/N (인치) (인치) Fitting scfm (slpm) (PSIG) (F) 전처리 유사제품 87 4HD PTFE VMM (980.00) No MAXI 88 4HD PTFE SM (224.00) No GLFPF6401SM4S WITH DIFFERENT CARTRIDGE 89 4HD PTFE VMM ( ) No Like GLFPF HD PTFE BW (112.00) Yes 6402 integral version 91 4HD PTFE BW (112.00) Yes 6402 integral version 92 4HD L VFF (74.20) No GLFF HD L FLTGSKT 1.77 (49.56) No GLFF HD L VMM (49.56) No 28 mm Pack 95 4HD L BVM (14.84) No GLFF1100, SST Pack 96 4HD L BW48 (0.00) No 4 sided, 4 around, 2 high 97 4HD L BW64 (0.00) No 4 Sided, 4 around, 2 high 98 4HD L BW16 (0.00) No 4 Sided, 1 around, 1 high 99 4HD L BW (74.20) No GLFF4000BW8, short 100 4HD L BW12 (0.00) No 4 Sided, 1 around, 1 high 101 4HD L BW16 (0.00) No 4 Sided, 1 around, 1 high 102 4HD L BW24 (0.00) No 4 Sided, 1 around, 1 high 103 4HD L BW24 (0.00) No 4 Sided, 1 around, 2 high 104 4HD L BW32 (0.00) No 4 Sided, 1 around, 2 high 105 4HD L BW8 (0.00) No 2 Sided, 1 around, 1 high 106 4HD L BW12 (0.00) No 2 Sided, 1 around, 1 high 107 4HD L Flange (0.00) No 4 Sided, 3 around, 2 high 108 4HD L Flange (0.00) No 4 Sided, 1 around, 1 high 109 4HD L Flange (0.00) No 4 Sided, 1 around, 1 high 110 4HD L BW48 (0.00) No 4 sided, 2 around, 2 high 111 4HD L SM (148.40) No GLFF5500SM HD L VMM (148.40) GLFF5500VMM HD L BW12 (0.00) No 4 Sided, 1 around, 1 high 114 4HD L BW16 (0.00) No 4 Sided, 1 around, 1 high 115 4HD L BW24 (0.00) No 4 Sided, 1 around, 1 high 116 4HD L BW8 (0.00) No 2 Sided, 1 around, 1 high 117 4HD L BW12 (0.00) No 2 Sided, 1 around, 1 high 118 4HD L SM 2.65 (74.20) No GLFF HD L VMM (49.56) Yes GLFF4400VMM4 with 70.5mm OAL 120 4HD L VMM (148.40) No GLFF5000VMM HD L VFM (74.20) No GLFF4000VFM HD L VFM (148.40) No GLFF5000VFM HD L Flange (0.00) No 4 sided, 4 around, 2 high 124 4HD L Flange (0.00) No 4 Sided, 1 around, 1 high 125 4HD L VMF (148.84) No GLFF1000MF HD L BW (0.00) No 4 sided, 1 around, 2 high, 40A Schedule 5S BW Connections 127 4HD L BW (0.00) No 4 sided, 1 around, 2 high, 25A Schedule 5S BW Connections 128 4HD L SM (49.56) No GLFF HD L SM (148.40) No GLFF5000SM HD L BW (14.84) No GLFF1100BW HD L VFF (49.56) No GLFF4400VFF HD L BW (74.20) No Gas Diffuser with 28 mm pack HD L BVM (49.56) Yes 134 4HD L BW (316.40) No 76 MM Low Pressure 135 4HD L BW (0.00) No 4 Sided, 1 around, 2 high, 25A schedule 5S Conx 136 4HD L BVM (14.84) No GLFF HD L VMM (49.56) No GLFF HD L VFF (74.20) No GLFF HD L SM (49.56) No GLFF HD L VMM12 (0.00) No 4 Sided, 1 around, 1 high 141 4HD L VMM (316.40) Yes 76 MM 142 4HD L VMF (14.84) No GLFF1100VMF HD L Flange (0.00) Part of Skid 144 4HD L Flange (0.00) Part of Skid HD L Flange (0.00) Part of Skid 146 4HD L VMM (74.20) Yes GLFF HD L VMM (74.20) Yes GLFF HD L BW (49.56) No GLFF HD BW (316.40) No 76 MM 150 4HD L BW (316.40) Yes 76 MM 151 4HD L VMM (14.84) No 1100 with platinum 152 4HD L VM (148.40) No GLFF HD L VMM (316.40) No 76 MM 154 4HD L A, Sch 5 (0.00) No 4 sided, 4 around, 2 high 155 4HD L A, Sch 5 (0.00) No 4 Sided, 1 Around, 1 High 156 4HD L A, Sch 5 (0.00) No 2 Sided, 1 around, 1 high 157 4HD L A, Sch 5 (0.00) No 4 Sided, 1 around, 2 high 158 4HD L A RF Flange (0.00) No 4 Sided, 1 around, 1 high 159 4HD L VM (148.40) 22 No ISO 100 Diffuser 160 4HD L C-Seal 0.07 (1.96) No 1.125" Top Mount 161 4HD L W-Seal 0.07 (1.96) No 1.125" Top Mount 162 4HD L SM (74.20) No GLFF4400 High Pressure 163 4HD L A, Sch 5 (0.00) No 2 Sided, 1 around, 1 high 164 4HD L (0.00) No 4 Sided, 3 around, 1-1 high, 2-2 high 165 4HD L VMM (49.56) Yes GLFF4400VMM4 with OAL 166 4HD L VM4 (0.00) No Diffuser using special 28mm (4400) pack.) 167 4HD L VM (49.56) No Diffuser using 28mm (4400) pack HD L VMM8 (0.00) No Special Liquid Gas Filter 169 4HD L VMF (5.60) No GLFF

43 가스 정제기 추천 일람표 Purifier AresKleen Recommended for: Argon (Ar) Butane (C 4 H 10 ) Carbon dioxide (CO 2 ) Carbon Monoxide (CO) Carbon tetrafluoride (CF 4 ) Chlorine (Cl 2 ) Cyclopropane (C 3 H 6 ) Dichlorosilane (DCS) Dimethyl ether ((CH 3 ) 2 O) Disilane (Si 2 H 6 ) Ethane (C 2 H 6 ) Germane (GeH 4 ) Helium (He) Hexafluoroethane (C 2 F 6 ) Hydrogen (H 2 ) Krypton (Kr) Methane (CH 4 ) Neon (Ne) Nitrogen (N 2 ) Nitrous oxide (N 2 O) Oxygen (O 2 ) Perfluoropropane (C 3 F 8 ) Propane (C 3 H 8 ) Silane (SiH 4 ) Sulfur hexafluoride (SF 6 ) Trichlorosilane (TCS) Xenon (Xe)

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며 오스본을 중심으로 한 작은 정부, 시장 개혁정책을 밀고 나갔다. 이에 대응 하여 노동당은 보수당과 극명히 반대되는 정강 정책을 내세웠다. 영국의 정치 상황은 새누리당과 더불어 민주당, 국민의당이 서로 경제 민주화 와 무차별적 복지공약을 앞세우며 표를 구걸하기 위한 4.13 총선, 캐머런과 오스본, 영국 보수당을 생각하다 정 영 동 중앙대 경제학과 자유경제원 인턴 우물 안 개구리인 한국 정치권의 4.13 총선이 한 달도 남지 않았다. 하지만 정당 간 정책 선거는 실종되고 오로지 표를 얻기 위한 이전투구식 경쟁이 심 화되고 있다. 정말 한심한 상황이다. 정당들은 각 당이 추구하는 이념과 정강 정책, 목표를 명확히 하고,

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