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1 Characterization Technology and Reliability (Recent Technology for the Characterization of Nanomaterials by Electron Microscopy) 1980 (STM) (AFM).,,. 1,2) ( ) ( ),.,..,,,..,,,,,,,... 41

2 .,,,,,,.. Fig. 2. <110> STEM HAADF-STEM (SEM). (TEM).. 1 Fig. 1. ( ) TEM ( ) TEM CdSe 3). (Cs) (Cs corrector). Fig. 1 2, 4, TEM Fig. 1. 3,4) (STEM) 5), (TEM) (Cs) 0.5 mm 3.8 m Fig. 2 (HAADF) 0.9., (STEM) 10 (EELS).,. CBED, STEM,. (nano-area diffraction)

3 Fig. 3. ( ) ( ) 4nm 6). Fig. 5. ( ) (0001) ( ) 9). 6) 50nm 4nm (Fig. 3)., (STEM) (END: electron nanodiffraction) 7). Fig. 4. TEM 1 nm 8).,. (TEM). 8) 1 nm (Fig. 4). (graphene). Fig. 5 c 9-13). (Ewald) 43

4 Fig. 6. ( ) ( ). 10,11). Fig. 6(a).. Fig ( HAADF: high angle annular dark field) Fig. 7. STEM ( ) HAADF, ( ), ( ) EELS. A, B. EELS 5). (Z-contrast).. 50 mrad( 2.9 ) (coherent). Fig. 7 5). A, B Fig. 7(a) Fig. 7(b). (EELS) A B. EDS EELS. 44

5 Fig. 8. STEM-EELS 8). EELS (Fig. 8) ,, 3.,,,,,. 3 (tomography),,.. 10 m (FIB) (SEM) 10 m 10nm, Fig. 9. TiN. ( ), ( ) 15) ). 3.,,,. (McGrouther) 15) 4 m (TiN) 500mN (Amira) 3. Fig (TEM)

6 Fig nm TiO2-Ag ( ) TEM ( ). Fig. 11. ( ) TEM, ( ) STEM Ru10Pt2 16). Fig. 12. STEM HAADF 19) , 16,17). Fig nm TiO 2-Ag. (a) (b) 18).,,, (delocalization), (HAADF). Fig (Ru 10Pt 2). Fig (gold leaf) 19). EDS EELS. (FFT) 20) (Fig. 13). (mesoporous) SBA-6 Fig. 14(a) Fig. 14(b). 46

7 1 TEM STEM.,.. Fig. 13. TEM 20). Fig. 14. SBA-6 ( ) ( ) 20).. (Fig. 14).,., 1.,,, ( ),, Nanotechnology for dummies, written by R. Booker and E. Boysen, Wiley Publishing Inc., USA A. I. Kirkland, L-Y. Chang, and J. L. Hutchison, Application of aberration corrected transmission electron microscopy to materials science JEOL news, 41[1] 8-11 (2006). 4. J. L. Hutchison, J. M. Titchmarsh, D. J. H. Cockayne, G. Mobus, C. J. D. Hetherington, R. C. Doole, F. Hosokawa, P. Hartel, and M. Haider, A Cs corrected HRTEM: initial application in materials science JEOL news, 37[1] 2-5 (2002) 5. M. Watanabe, D. W. Ackland, C. J. Kiely, D. B. Williams, M. Kanno, R. Hynes, and H. Sawada, The aberration corrected JEOL JEM-2200FS FEG- STEM/TEM fitted with an omega electron energy filter: performance characterization and selected application, JEOL news, 41[1] 2-7 (2006). 6. J. M. Zuo, M. Gao, J. Tao, B. Q. Li, R. Twesten, and I. Petrov, Coherent nanoarea electron diffraction, Microscopy Research and Technique, (2004). 7. J. M. Cowley, Scanning Transmission Electron Microscopy in Handbook of Microscopy for Nanotechnology, Ed. by N. Yao and Z. L. Wang, (2005). 8. J. Yun, C. Du, N. Pan, and N. Browning, Preparation and characterization of manganese oxide nanowires, paper submitted (2007). 9. X. F. Zhang, X. B. Zhang, G. Van Tendeloo, S. Amelinckx, M. Op de Beeck, and J. Van Landuyt, Carbon nano-tubes: their formation process and observation by electron microscopy, J. Crystal Growth, 130, 47

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