Microsoft Word - [29] 실란_ _

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인경 사
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1 물질안전보건자료 (Material Safety Data Sheet) 물질명 실란 (SILANE) CAS No. UN No. EC No 화학제품과 회사에 관한 정보 가. 제품명 : 실란(SILANE), SiH4 나. 제품의 권고 용도와 사용상의 제한 : 반도체 생산용 실리콘의 원료 다. 공급자 정보 : - 제조자/유통업자 회사명 : 원익 머트리얼즈 주소 : 충북 청원군 오창읍 각리 번지(오창과학산업단지) 연락처 : Tel FAX 담당부서 및 이름 : 환경안전팀 2. 유해 위험성 가. 유해 위험성 분류 : 인화성 가스 구분 1 고압가스? 압축가스 급성독성(흡입-가스) 구분 4 피부 부식성/피부 자극성 구분 2 심한 눈 손상/눈 자극성 구분 2 표적장기 전신독성(1 회) 구분 3(호흡기계 자극) 나. 예방조치문구를 포함한 경고 표지 항목 그림문자 신호어 - 위험 유해 위험 문구 - H220 극인화성 가스 - H280 고압가스 포함: 가열하면 폭발할 수 있음

2 - H332 흡입하면유해함 - H315 피부에자극을일으킴 - H319 눈에심한자극을일으킴 - H335 호흡기계자극을일으킬수있음 예방조치문구 - 예방 P210 열 스파크 화염 고열로부터멀리하시오.- 금연 P261 ( 분진 흄 가스 미스트 증기 스프레이 ) 의흡입을피하시오. P264 취급후에는취급부위를철저히씻으시오. P271 옥외또는환기가잘되는곳에서만취급하시오. P280 ( 보호장갑 보호의 보안경 안면보호구 ) 를 ( 을 ) 착용하시오. - 대응 P302+P352 피부에묻으면다량의물과비누로씻으시오. P304+P340 흡입하면신선한공기가있는곳으로옮기고호흡하기쉬운자세로안정을취하시오. P305+P351+P338 눈에묻으면몇분간물로조심해서씻으시오. 가능하면콘택트렌즈를제거하시오. 계속씻으시오. P312 불편함을느끼면의료기관 ( 의사 ) 의진찰을받으시오. P321 (...) 처치를하시오. P332+P313 피부자극이생기면의학적인조치 조언을받으시오. P337+P313 눈에대한자극이지속되면의학적인조치 조언을받으시오. P362 오염된의복은벗고다시사용전세탁하시오. P377 누출성가스화재시누출을안전하게막을수없다면불을끄려하지마시오. P381 안전하게처리하는것이가능하면모든점화원을제거하시오. - 저장 P403 환기가잘되는곳에보관하시오. P403+P233 용기는환기가잘되는곳에단단히밀폐하여저장하시오. P405 밀봉하여저장하시오. P410+P403 직사광선을피하고환기가잘되는곳에보관하시오. - 폐기 P501 ( 관련법규에명시된내용에따라 ) 내용물과용기를폐기하시오다. 유해 위험성분류기준에포함되지않는기타유해 위험성 : - NFPA 등급 : 보건 2 화재 4 반응성 3

3 3. 구성성분의명칭및함유량 화학물질명 관용명및이명 CAS 번호또는 식별번호 함유량 (wt%) SILANE SILICANE 응급조치요령 가. 눈에들어갔을때 : - 물또는식염수로최소 15 분이상눈을씻어낸다. - 병원으로옮긴다. 나. 피부에접촉했을때 : - 오염된의복과신발은벗겨서격리시킨다.. - 화상을입은경우상처부위를물로씻어낸다. - 자극이지속되면병원으로옮긴다. 다. 흡입했을때 : - 즉시신선한공기가있는곳으로이동시킨다. - 호흡하지않으면인공호흡을실시한후, 기도및혈압을유지하고가능하다면, 산소를 주입한다. - 피해자를따뜻하고편안하게한다. - 즉시병원으로옮긴다. 라. 먹었을때 : - 구토를유도하지않는다. - 병원으로옮긴다. 마. 기타의사의주의사항 : - 제품안전 DATA SHEET(MSDS) 에서조성을확인한다. 5. 폭발 화재시대처방법 가. 적절한 ( 및부적절한 ) 소화제 : - 분말소화약제, 이산화탄소 - 대형화재시, 물분무또는정규포말을사용한다. 나. 화학물질로부터생기는특정유해성 : - 독성탄소산화물이생성될수있다. 다. 화재진압시착용할보호구및예방조치 : - 위험하지않다면화재지역으로부터용기를옮긴다.

4 - 물질의누출을멈출수있을경우에만소방진화한다. - 화재가완전진화될때까지충분한양의물로용기를냉각시켜준다. - 누출부위및안전밸브에대한직접주수는결빙우려가있으므로금한다. - 화재로인해안전배기장치에서소리가나거나탱크가변색되면즉시대피한다. - 탱크가화염에휩싸였을경우에는접근하지않는다 - 화재인경우무인방수장치를활용하며, 불가능할경우외곽으로물러나서타도록 내버려둔다. - 탱크, 탱크트럭, 화물열차가화재와관련되면반경 800m 구역내접근을차단한다. ( 또한반경 800m 외곽으로의초기대피를고려한다 ) 6. 누출사고시대처방법가. 인체를보호하기위해필요한조치사항및보호구 : - 사람들을대피시킨다. - 밀폐된공간에진입하기전환기를시킨다. - 누출물을밟거나접촉하지않도록주의한다. 나. 환경을보호하기위해필요한조치사항 : - 하수구나수로로유입되지않도록주의한다. 다. 정화또는제거방법 : - 부근의모든점화원 ( 담배불또는화염, 스파크 ) 을제거한다. - 모든장비는반드시접지후사용토록한다. - 위험하지않으면누출방지조치를취한다. - 증기의발생을억제시키거나분산시키기위하여분무주수한다. - 수로, 하수구, 지하실또는밀폐공간으로유입되지않도록한다. - 가스가흩어져없어질때까지사고구역을통제한다. 7. 취급및저장방법가. 안전취급요령 : - 용기에물리적손상을가하지않도록한다. - 점화원으로부터격리시킨다. - 모든장비는접지하여사용하며방폭장비를사용한다. - 환기가잘되는곳에서만사용한다. - 실린더를끌거나, 굴리거나, 미끄러짐또는떨어뜨리지않도록주의한다. - 실린더운반시적합한핸드트럭을사용한다. - 실린더에서캡을제거하지않도록주의한다.

5 - 실린더에직접적으로화염또는열을가하지않도록주의한다. 나. 안전한저장방법 : ( 피해야할조건을포함함 ) : - 현행법규및규정에의하여저장및취급한다. - 서늘하고건조한장소에보관한다. - 환기가잘되는장소에저장하며혼합위험물질로부터격리시킨다. - 실린더는똑바로세워서저장하고밸브방출부는밀봉하고밸브안전캡을제자리에보관한다. - 저장고의온도가 125 (52 ) 를초과하지않도록한다. - 이동이잦은곳과비상탈출구에저장하지않도록한다. - 내용물이들어있는실린더와빈실린더는분리하여보관한다. - 내용물이들어있는실린더가오랜기간저장되는것을예방하기위해선입선출의저장시스템을사용한다. 8. 노출방지및개인보호구가. 화학물질의노출기준, 생물학적노출기준등 : 구성성분국내규정 ACGIH 생물학적노출기준 SILANE TWA : 5ppm, 7mg/m 3 TWA : 5ppm 자료없음나. 적절한공학적관리 : - 물질이폭발농도의위험이있는경우에는해당환기장치는방폭설비를할것. - 국소배기또는공정밀폐환기장치를설치하고, 적절한제어풍속이유지되도록관리할것. - 해당노출기준에적합한지확인한다. 다. 개인보호구 호흡기보호 : - 사용빈도가높거나노출이심한경우에는호흡용보호구가필요함. - 호흡보호는최소농도부터최대농도까지로분류되며. 사용전에경고특성을고려한다. - 방독마스크 ( 직결식소형, 유기가스용 ). - 직결식소형방독마스크 ( 유기가스용정화통및전면형 ). - 공기여과식호흡보호구 ( 유기가스용정화통및전면형 ). - 미지농도또는기타생명이나건간에급박한위험이있는경우 : 공기호흡기 ( 전면형 ). 송기마스크 ( 복합식에어라인마스크 ). 눈보호 : - 보안경을착용한다. - 눈이나피부에노출될가능성이있는경우작업장가까운곳에세안설비와세척설비를설치한다.

6 손보호 : - 적당한내화학성장갑을착용한다. - 네오프렌, 뷰틸고무, PVC, 폴리에틸렌장갑을착용한다. 신체보호 : - 안전화및적절한내화학성보호의를착용한다. 9. 물리화학적특성가. 외관 ( 물리적상태, 색등 ) : 무채색의가스나. 냄새 : 자극적인냄새다. 냄새역치 : 자료없음라. ph : 자료없음마. 녹는점 / 어는점 : -301 (-185 ) 바. 초기끓는점과끓는점범위 : -170 (-112 ) 사. 인화점 : 해당없음아. 증발속도 : 자료없음자. 인화성 ( 고체, 기체 ) : 자료없음차. 인화또는폭발범위의상한 / 하한 : % 카. 증기압 : 530 mmhg (-118 ) 타. 용해도 : 서서히반응함파. 증기밀도 : 1.3 하. 비중 : g/l at 20 거. n 옥탄올 / 물분배계수 : 자료없음너. 자연발화온도 : 자료없음더. 분해온도 : 자료없음러. 점도 : cp at 25 머. 분자량 : 안정성및반응성가. 화학적안정성및유해반응가능성 : 상온, 상압에서안정하다. 나. 피해야할조건 ( 정전기방전, 충격, 진동등 ) : - 용기에물리적손상을가하거나가열되지않도록한다. - 열, 스파크, 불꽃또는기타점화원의접촉을피한다. - 압력이가해지면용기가격렬하게폭발하고먼거리까지이동할수있다. 다. 피해야할물질 : - 안티온펜타클로라이드 : 점화

7 염기 : 가연성하이드로겐가스를분해할수있음브롬 : 점화또는폭발반응카르보닐클로라이드 : 폭발반응클로라인 : 점화또는폭발위험코발랜트클로라이드 : 점화플루오린 : 점화또는폭발위험할로겐 : 점화또는폭발위험산화제 ( 강 ) : 화재또는폭발위험산소 : 점화될수있음수산화칼륨 : 분해, 가연성하이드로겐가스방출틴 (IV) 클로라이드 : 점화라. 분해시생성되는유해물질 : 에서실리콘과수소가생성된다. 11. 독성에관한정보가. 가능성이높은노출경로에관한정보 : 자료없음나. 건강유해성정보 급성독성 ( 노출가능한모든경로에대해기재 ) - 호흡기 : LC50=4000ppm(RAT, 4hr) - 경구 : 자료없음 - 눈 / 피부 : 자료없음 피부부식성또는자극성 : 인체피부에자극성있음 심한눈손상또는자극성 : 인체눈에자극성있음 호흡기과민성 : 흡입노출시기침, 두통, 구역질, 목구멍의따가움이관찰됨 피부과민성 : 자료없음 발암성 : 자료없음 생식세포변이원성 : in vitro - Positive(salmonella typhimurium & escherichia coli) 생식독성 : 자료없음 특정표적장기독성물질 (1 회노출 ) : 인체호흡기도를자극함 특정표적장기독성물질 ( 반복노출 ) : 백혈구세포수증가함 흡인유해성 : 자료없음 12. 환경에미치는영향 가. 생태독성 : - 급성독성 : 자료없음

8 - 만성독성 : 자료없음나. 잔류성및분해성 : 자료없음다. 생물농축성 : 자료없음라. 토양이동성 : 자료없음마. 기타유해영향 : 자료없음 13. 폐기시주의사항가. 폐기방법 : - 잔여물또는사용하지않은물질을폐기하지않는다. - 규정에따라폐기한다. 나. 폐기시주의사항 : ( 오염된용기및포장의폐기방법을포함함 ) : - ( 관련법규에명시된내용에따라 ) 내용물용기를폐기하시오. 14. 운송에필요한정보가. 유엔번호 : 2203 나. 유엔적정선적명 : SILANE 다. 운송에서의위험성등급 : CLASS 2.1 라. 용기등급 : ( 해당하는경우 ) 해당없음마. 해양오염물질 ( 해당또는비해당으로표기 ) : 비해당바. 사용자가운송또는운송수단에관련해알필요가있거나필요한특별한안전대책 : F-D, S-U 15. 법적규제현황가. 산업안전보건법에의한규제 : 노출기준설정물질나. 유해화학물질관리법에의한규제 : 해당없음다. 위험물안전관리법에의한규제 : 해당없음라. 폐기물관리법에의한규제 : 해당없음마. 기타국내및외국법에의한규제 :? 국내규정 : - 고압가스안전관리법 : 이물질은고압가스안전관리법상 ( 고압가스, 독성가스 ) 규제물질 - 잔류성유기오염물질관리법 : 해당없음? 국외규정 : - 미국관리정보 (OSHA 규정 ) : 해당없음 - 미국관리정보 (CERCLA 규정 ) : 해당없음 - 미국관리정보 (EPCRA 302 규정 ) : 해당없음 - 미국관리정보 (EPCRA 304 규정 ) : 해당없음

9 - 미국관리정보 (EPCRA 313 규정 ) : 해당없음 - 미국관리정보 ( 로테르담협약물질 ) : 해당없음 - 미국관리정보 ( 스톡홀름협약물질 ) : 해당없음 - 미국관리정보 ( 몬트리올의정서물질 ) : 해당없음 - EU분류정보 ( 확정분류결과 ) : 해당없음 - EU분류정보 ( 위험문구 ) : 해당없음 - EU분류정보 ( 안전문구 ) : 해당없음 16. 기타참고사항가. 자료의출처 : - 참고문헌? HSDB http ://toxnet.nlm.nih.gov/cgi-bin/sis/htmlgen?hsdb? KOSHANET http :// NITE http :// ICSC http :// dtasht/index.htm? NCIS http ://ncis.nier.go.kr/main/index.jsp? Dolphin MSDS http ://csi.micromedex.com/framain.asp?mnu=0? CAMEO Program (EPA)? Emergency response guide book http ://csi.micromedex.com/framain.asp?mnu=0? CHRIS http ://csi.micromedex.com/framain.asp?mnu=0? RTECS http ://csi.micromedex.com/framain.asp?mnu=0? HAZARDTEXT http ://csi.micromedex.com/framain.asp?mnu=0? MEDITEXT http ://csi.micromedex.com/framain.asp?mnu=0? NIOSH http ://csi.micromedex.com/framain.asp?mnu=0? New jersey hazardous substances fact sheets http ://csi.micromedex.com/framain.asp?mnu=0? 원익머트리얼즈 MSDS_Handbook of compressed gases/ compressed gas association-3 rd ed. 나. 최초작성일자 : 다. 개정횟수및최종개정일자 : GHS 개정 1회 / 회 / 라. 기타 :

물질안전보건자료 Version No.: 1.0( 개정일 ) 1M Tris-HCl(pH8.0) 1. 화학제품과회사에관한정보 가. 제품명 : 1M Tris-HCl(pH 8.0) 나. 제품의권고용도와사용상의제한 : 연구및실험용다. 공급자정보 : 회사명 :

물질안전보건자료 Version No.: 1.0( 개정일 2012-09-10) 1M Tris-HCl(pH8.0) 1. 화학제품과회사에관한정보 가. 제품명 : 1M Tris-HCl(pH 8.0) 나. 제품의권고용도와사용상의제한 : 연구및실험용다. 공급자정보 : 회사명 : ( 주 ) 바이오니아 주소 : 대전광역시대덕구문평서로 8-11 긴급전화번호 : 042-930-8523