시스템제 품 Products 수 스위벨(고니오) Electronics 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스산테이지Motorized Stage 스위벨(고니오) 얼라인먼트스테이지X 진공스테이지Vacuum Stage 검자동 스테이지가이던스 Understanding

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1 자동 스테이지 Motorized Vertical Linear Stage A 시리즈 A Series 이동범위 Motion Range 테이블사이즈 Table Size 형식 Model Number ±1.5mm A05A-W2C A04A-W1 I-006page I-006page ±2.5mm A07A-W2C01 A10A-W2C01 I-008page I-012page ±4mm A05A-W1 I-006page A07A-W201 I-008page ±7mm A10A-W201 I-012page ±7.5mm A05A-X101 I-016page ±8mm 1 1 A16A-W2C I-014page ±10mm A07A-X102 A07F-X102 A07A-V1F I-016page I-016page I-010page ±12.5mm A10A-X101 I-018page A10F-X101 I-018page ±15mm A10A-32F I-014page ±25mm A16A-X1 I-020page 1 1 A16A-32F I-014page ±50mm A10A-X1T I-020page 수평내하중 (N) Horizontal Load Capacity (N)

2 시스템제 품 Products 수 스위벨(고니오) Electronics 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스산테이지Motorized Stage 스위벨(고니오) 얼라인먼트스테이지X 진공스테이지Vacuum Stage 검자동 스테이지가이던스 Understanding Motorized Vertical Linear Stage 사양표보는방법 Understanding Specifications 형식 Model Number 미러모델형식 Mirror Model Number 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 분해능 Resolution 사양표 Specifications 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20분할) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 수직도 Verticality 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price 클린그리스교환비용 Clean Room Lubricant Change Price 진공그리스교환비용 Vacuum Lubricant Change Price 동형모터교환비용 Same Size Motor Change Price 이형모터교환비용 Different Size Motor Change Price A07A-W2C01 A07A-W2C01-R 70mm 70mm 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±2.5mm 1/4- 쇄기, 볼스크류, 리드 1.0mm 1/4-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm 0.25μm/0.125μm μm 1.25mm/sec ±0.5μm 0.3μm 5μm/5mm 49N(5kgf) 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matte Anodizing 1.15kg PK544PMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선5줄 ) PK544PMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 환형20핀 ( 히로세 : RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) V3 F-116(HOME,LIMIT) 미러모델 : F-116R(HOME,LIMIT) F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT) 2,000 48,000 ~ 36,000 36,000 12,000 ~,000 ~ 설명 Description A07A-W2C01 1 형식명칭입니다. Kohzu's significant alpha-numeric model numbers offer quick product insight. 2 형식 1에대한미러사양형식입니다. Mirror symmetry of standard stage. 3 스테이지테이블면의크기입니다. Table size refers to the stage's valid mounting table size. 4 스테이지안내방식입니다. Type of guide mechanism used on this stage. 5 중심점을기준으로플러스, 마이너스로표시합니다. Stage travel range in the positive and negative directions from it's centered or neutral position. 6 스테이지의보내기방식입니다. Feeding Mechanism. 7 마이크로스텝분할수의차이에따른스테이지의각분해능입니다. Variation of the stage resolution which is defined by microstep division. 8 스테이지가동작할수있는최고속도 ( 하프스텝, 10kpps시 ) 입니다. Maximum Speed of standard stage (half step, 10kpps). 9 검사방법을참조해주세요. 검사방법P-002페이지 See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P 검사방법을참조해주세요. 검사방법P-003페이지 See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P 검사방법을참조해주세요. 검사방법P-004페이지 See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P 스테이지중앙에서의탑재가능중량입니다. Maximum load capacity is for a horizontally orientated stage with load centered on top-plate. 13 주로사용되고있는재료를말합니다. Material specification is for stage's main body components only. 14 마감의색과표면처리를말합니다. Surface finish type and color. 15 제품의중량입니다. Stage weight includes all components depicted in product photograph. 16 사용되고있는모터의형식및사양을말합니다. Motor type and specification. 17 스테이지에사용되고있는커넥터의형상과핀수입니다.( 상세는 N-018페이지 ) Connector type of standard stage. See page N 스테이지의결선형식입니다. N-034페이지 ~ Wiring type is connection of stage. N-034 page~ 19 스테이지에사용하는센서의형식입니다. Sensor model for the stage. 20 표준제품의가격을말합니다. Catalog price in Japanese currency. 21오버홀의비용을말합니다. 15페이지 Overhaul price in Japanese currency. 16 page 22클린그리스의교환비용을말합니다. C-005페이지 Clean Room Lubricant change Price in Japanese currency. See page C 진공그리스의교환비용을말합니다. C-005페이지 Vacuum Lubricant change Price in Japanese currency. See page C 표준모터와취부사이즈가같은모터로교환시의비용을말합니다. C-004페이지 Change price of same size motor's mounting as standard motor's in Japanese currency. See page C 표준모터와취부사이즈가다른모터로교환시의비용을말합니다. C-004페이지 Change price of different size motor's mounting as standard motor's in Japanese currency. See page C-004 I-002 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

3 시스템제 검안내방식 Guide Mechanism Type 크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide 크로스롤러가이드란 의 V 홈을가지는롤러레이스와원통굴림대로구성된안내방식입니다. 롤러레이스의슬라이딩면은담금질연마마무리로평면정도가높고경질로마감되어있습니다. 원통굴림대는 2 개의롤러레이스사이에서로다르게배치되어있습니다. 스테이지가구동할때에는롤러레이스사이의여러개의원통굴림대가움직이기때문에, 정지시에서움직일때의마찰변화 ( 정지마찰과동마찰의차 ) 가적고, 동작시미끄러짐이발생하기어렵습니다. 또한, 크로스롤러가이드는선접촉으로하중을지탱하기때문에볼가이드구조보다강성이좋습니다. 이크로스롤러가이드는독자적으로설계되어강한강성과높은정도를확보하였습니다. 또한롤러레이스와원통굴림대간의여압을정밀하게관리하여높은강성을유지합니다. In cross roller guides, quench hardened and precision ground bearing surfaces move upon loose hardened steel cylinders (rollers) with rotation axes oriented in alternating degree angles. Having rollers arranged in an alternating cross pattern allows preloading and operation at any angle. The roller bearings are held apart from one another by a bearing cage, which prevents adjacent rollers from touching. Since cross-roller bearing have little difference between static and dynamic friction they minimize start-to-stop slip-motion typical of other bearing types. The line contact of roller bearings along with precise roller-to-race gap management provide larger load bearing surfaces, higher preloads and meet very tight runout and stiffness specifications. 쇄기형크로스롤러가이드 쇄기형크로스롤러가이드란 1 조의크로스롤러가이드는수평면으로, 다른 1 조는정접이 1/4 이되도록 ( 약 14 ) 기울여서배치됩니다 ( 그림 -1). 한쪽에서쇄기를밀면, 중심축상에고정된테이블이상하로움직입니다. 기울여배치된크로스롤러가이드가수평방향성분의힘을지탱하기때문에, 테이블상면의모멘트하중강성이강화되어있습니다. ( 가이드를수직으로배치한 1/2 타입도있습니다.) One set of wedge type cross roller guides are mounted on the horizontal plane and the other set of guides are tilted so that tangent is 1/4 (approximately 14 degree) (see Fig. 1). If the wedge is pushed in from one side, the table fixed to the central axis moves vertically. Since the tilted cross roller guide supports the horizontal component of force, the moment load rigidity on the table top face is reinforced(1/2 type is available, which of guide is set vertically). 4 면플랫롤러가이드 Wedge Type Cross Roller Guides Tetrahedral Flat Roller 그림 -1 Fig.1 4 면플랫롤러란이동기둥의 4 방향으로원통굴림대를배치시키고그바깥쪽에는 4 개의가이드판으로구성된안내방식입니다. 이동기둥, 가이드판은담금질연마마무리로인해평면, 직각의정도가높으며경질로마감되어있습니다. 크로스롤러가이드와비교해서원통굴림대의길이, 수량이많으며접촉면적이넓어강성이좋고자세안정성이우수한구조입니다. Tetrahedral Flat Roller is guide mechanism, put the ground bearing on to four-way of transfer post, and set the four guide plate on the outside of bearing. The transfer post and guide plate are finished highly flatness, squareness and toughend by quench ground method. Compare with cross roller guide, longer than length and more quantity of the ground bearing, then bearing area is large. It is superior in terms of stiffness and angular stability as bearing contact area is large that's why longer and more quantity of the ground bearing than cross-roller guide. 품 Products 수동정 밀스테이지Manual Stage 자동제어스테이지Motorized Stage 산 스위벨(고니오) 스위벨( 고니오) 얼라인먼트스테이지X 진Electronics 공스테이지Vacuum Stage 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL I-003

4 산테이지Motorized Stage 검 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스시스템제 품 Products 수 스위벨(고니오) 스위벨(고니오) 얼라인먼트스테이지X 진자동 스테이지가이던스 Understanding Motorized Vertical Linear Stage 보내기방식 Lead Mechanism 연삭나사, 볼스크류 Ground screw, Ball screw 연삭나사 : 연사나사는높은정도로연삭가공된수나사와암나사로구성되어있습니다. 수나사와암나사는서로넓은면적에걸쳐접촉하기때문에마찰이커지지만모터의여자 OFF에따른스테이지상면의낙하를방지합니다. 또한 1회전당보내는양이작아분해능을높일수있습니다. Ground screw : The ground screw is ground at high precision and is held in place by a female screw. Since the ground screw and female screw are in contact each other over a wide area, the friction is high.it preserves the drop of stage's upper table by motor current off. In addition, it reduce the lead length per rotation, and the resolution will increase. 볼스크류 : 볼스크류는나사축과너트사이에볼을삽입한구조입니다. 나사를회전시키면, 볼이나사축과너트사이를구르면서이동하고다시제자리로돌아오도록설계되어있습니다. 볼이구르는성질을이용하기때문에마찰이적고높은전달효율로인해정마찰과동마찰의차가적어 Stick-slip이발생하기어렵습니다. Ball screw : The ball screw consists of a screw spindle, a nut, and a ball between them. When the screw is rotated, the ball rolls and moves between the ball screw spindle and the nut, and then returns to its original position. Since a ball is rolled, the friction is low, a high transmission efficiency is obtained, the difference between static friction and dynamic friction is small, and stick-slip does not easily occur. 보내기나사 + 감속기구 ( 쇄기, 벨트식, 웜 & 웜휠 ) Feed Screw + Deceleration Mechanism (Wedge, Belt Drive, Worm & Worm Wheel) 감속기구에따라모터토크를증폭시켜상하움직임에전달합니다. The deceleration mechanism increases the motor torque, and it convert the up-and-down motion. 분해능스테이지의분해능은아래계산으로구할수있습니다. p Δθ ΔX: 분해능 (mm) ΔX = (3n m) Δθ: 모터의기본스텝각 ( ) p : 보내기나사의리드 (mm) n : 감속비 ( 쇄기, 벨트식, 웜 & 웜휠 ) m: 마이크로스텝의분할수 최고속도 Maximum Speed Resolution Resolution of standard stage is calculated based on the following formula. p Δθ ΔX:Resolution (mm) ΔX = (3n m) Δθ:Basic step angle of motor ( ) p :Feed screw lead (mm) n : Reduction ratio (Wedge, Belt Drive, Worm & Worm Wheel) m:division number of micro-step 최고속도는, 고속영역에서의모터와드라이버의토크특성에의존하지만폐사에서는드라이버를하프스텝으로설정하고, 10kpps 로움직였을때의속도라정의합니다. Electronics 공스테이지Vacuum Stage Maximum speed depends on motor torque characteristics in higher speed area. However, we calculate maximum speed at 10kpps with motor in half-step mode. 스테이지의낙하에관하여 About the table drop 보내기방식으로볼스크류를이용한자동 스테이지는모터의여자를 OFF로하면스테이지상면이낙하할가능성이있습니다. 옵션으로서그러한경우의낙하를방지하기위해전자브레이크를장착할수있습니다. 상세한것은영업부로문의주세요. The motorized vertical stage which of lead mechanism is ball screw, there is possibility to drop the stage table when motor's current is turned off. As an option extra, electromagnetic brake is possible to equip. Contact us for further information. I-004 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

5 대칭스테이지 ( 미러모델 ) Reverse Stage (Mirror Model) 고객님의요청에따라커넥터와센서를좌우반전하여취부하는미러모델에대응합니다. 대응기종중 A07A-W201 과 A10A-W201 이외는커넥터부만미러사양입니다. Upon request, we can supply reverse arrangement specifications in which the connector and the sensor are mounted in reverse. Except model A07A-W201 and A10A-W201, only connector part is mounted in reverse.. 카운터보어샤프트길이 스테이지결선표 Stage Wiring List About the shaft length of counterbore 카달로그도면에서는스테이지취부시에이용하는 카운터보어샤프트길이를, Shaft Length ** mm 라고 표기합니다.( 오른쪽의좌측그림 ) 커운터보어없이직접나사를취부하는경우에는이러한 4-for M3 screws 4-for M3 screws 표기없이베이스두께가목아래치수가됩니다. Shaft Lentgh 3mm ( 오른쪽의우측그림 ) The length of counterbore s shaft for mounting is described Shaft Length ** mm (Top figure, left) in catalog drawing. If counterbore does not exist on mounting part, depth size of base will be shaft length size (Top figure, right). 자동 스테이지 Motorized Vertical Stage 형식 Model Number 결선타입 Wiring Type 센서기판형식 Sensor Type 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL 3 모터 / 정격전류 Motor / Phase Current 기본스텝각 Basic Step Angle 3 커넥터타입 Connector Type A04A-W1 V4 F-113 PX513PB/0.35A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round A04A-W1-R V4 F-113 PX513PB/0.35A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round A05A-W1 V2 F-106 PK513PB/0.35A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round A05A-W1-R V2 F-106R PK513PB/0.35A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round A05A-W2C V2 F-106 TS3664N16E2/0.75A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round A05A-W2C-R V2 F-106R TS3664N16E2/0.75A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round A07A-W201 V3 F-115R PK544PMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round A07A-W201-R V3 F-115R PK544PMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round A07A-W2C01 V3 F-116 PK544PMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round A07A-W2C01-R V3 F-116R PK544PMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round A07A-V1F X2 F-106 PK543-B/0.75A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round A10A-W201 V3 F-115R PK544PMB/0.75A 0.36 각형 20핀, 20 Pin Rectangular A10A-W201-R V3 F-115R PK544PMB/0.75A 0.36 각형 20핀, 20 Pin Rectangular A10A-W2C01 V3 F-116 PK544PMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round A10A-W2C01-R V3 F-116R PK544PMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round A10A-32F V1 F-101/F-113 PK525HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round A10A-32F-R V1 F-101/F-113 PK525HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round A16A-32F X1 F-101/F-107 PK545-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular A16A-W2C X1 F-101/F-107 PK545-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular A16A-W2C-R X1 F-101/F-107 PK545-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular A05A-X101 V3 F-116 PK523HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round A05A-X101-R V3 F-116R PK523HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round A07A-X102 V3 F-116 PK544PMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round A07A-X102-R V3 F-116R PK544PMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round A07F-X102 V3 F-116 PK544PMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round A07F-X102-R V3 F-116R PK544PMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round A10A-X101 V3 F-116 PK544PMB/0.75A 0.36 각형 20핀, 20 Pin Rectangular A10A-X101-R V3 F-116R PK544PMB/0.75A 0.36 각형 20핀, 20 Pin Rectangular A10F-X101 V3 F-116 PK544PMB/0.75A 0.36 각형 20핀, 20 Pin Rectangular A10F-X101-R V3 F-116R PK544PMB/0.75A 0.36 각형 20핀, 20 Pin Rectangular A10A-X1T X1 F-104/F-105 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular A10A-X1T-R X1 F-104/F-105 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular A16A-X1 X1 F-101/F-107 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular A16A-X1-R X1 F-101/F-107 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular 미러모델형식 에따른센서기판형식이다른기종은빨간글씨로표기하였습니다. Red colored character means different Sensor Type caused by mirror model. 모터샤프트의출력측축의끝을절단하였습니다. Cut off the edge of motor shaft's output side. 시스템제품 Products 수동정밀스테이지Manual Stage 자동제어스테이지Motorized Stage 산Electronics I-005 스위벨(고니오) 스위벨( 고니오) 얼라인먼트스테이지X 진공스테이지Vacuum Stage 검

6 산테이지Motorized Stage 자동 스테이지 / 테이블사이즈, Motorized Vertical Linear Stages / Table Size, 시스템제 실헝용Experimental A04A-W1 A05A-W1 A05A-W2C A04A-W1 A05A-W2C 품 Products 수동정밀스테이 (93) (53) (115 ) (.5 ) 지Manual Stage 자 스위벨( 고니오) 동정밀스 C 3 6± M3 Depth 4mm 8-M2 Depth 4mm Limit Sensor ( 1 8 ) M2 Depth 4mm 4-M3 Depth 6mm 스 for M3 screws C Limit Sensor 뒷면 Back Side C Limit Sensor 4-for M3 screws Shaft lemgth 2mm C Limit Sensor 저두나사 ( 부속품 ) 로취부해주세요. Mounting by low head screw (attachment) 3 0 ±1.5 Electronics 얼라인먼트스테이지X 진공스테이지Vacuum Stage 검 A05A-W (103.5) C Limit Sensor Limit Sensor 4-for M3 screws Shaft Length 3mm M2 Depth 5mm 4-M3 Depth 5mm 4-M3 Depth 3.5mm 6 56±4 C I-006 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

7 위벨( 고니오) 알루미늄 / 크로스롤러가이드 / 쇄기 / 연사나사, 볼스크류 Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Wedge / Ground Screw, Ball Screw 분해능 Resolution 1 형식 Model Number 미러모델형식 Mirror Model Number 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 수직도 Vertically 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector A04A-W1 A05A-W1 A05A-W2C A04A-W1-R A05A-W1-R A05A-W2C-R mm mm 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide 50mm 50mm ±2.5mm ±4mm ±1.5mm 1/2- 쇄기, 연사나사, 리드 0.5mm 1/2-Wedge, Ground Screw, Lead 0.5mm 2μm 0.5μm/0.25μm 0.025μm 2.5mm/sec ±0.5μm 1/4- 쇄기, 볼스크류, 리드 1.0mm 1/4-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm 0.3μm 4μm/5mm 6μm/8mm 5μm/3mm 24.5N(2.5kgf) 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing 39.2N (4kgf) 0.23kg 0.42kg 0.45kg PK513PB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.35A/ 상, 기본스텝각 0.72, 리드선 5 줄 ) PK513PB(Oriental Motor: Phase Current 0.35A, Basic Step Angle 0.72, 5-Leads) 환형 20 핀 ( 히로세 : RP13A-12JG-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC) 스테이지결선타입 2 Stage Wiring Type V4 V2 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price F-113(LIMIT) TS3664N16E2( 타마가와정기 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.72, 리드선 5 줄 ) TS3664N16E2(Tamagawa Seiki: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72, 5-Leads) F-106(HOME,LIMIT), 미러모델 : F-106R(HOME,LIMIT) F-106(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-106R(HOME,LIMIT) 145, , ,000 42,000 ~ 48,000 ~ 클린그리스교환비용 4 Clean Room Lubricant Change Price,000 36,000 진공그리스교환비용 5 Vacuum Lubricant Change Price,000 36,000 동형모터교환비용 Same Size Motor Change Price 6 이형모터교환비용 Different Size Motor Change Price 6 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. 1 Stage is inspected by half step setting. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035를참조해주세요. 2 Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를 참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002 페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018 페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환이불가합니다. It is impossible to change the motor. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 시스템제품 Products 수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics Swivel(Tilt) Swivel(Tilt) 스 스얼라인먼트스테이지X 진공스테이지Vacuum Stage 검 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL I-007

8 산테이지Motorized Stage 검 자동 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized Vertical Linear Stages / Table Size A07A-W201 A07A-W2C01 시A07A-W201 (182.5) 스위벨( 고니오) (21) 70 (112.5) (91) 70 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스스템제품 Products 수4-M4 Depth 6mm 8-M3 Depth 6mm C Limit Sensor 8 Limit Sensor C 8 65±4 스얼라인먼트스테이지X 진4-for M4 screws Shaft length 8mm A07A-W2C01 Limit Sensor C Limit Sensor (6) (66) (191) (121) 7.5 Depth 4mm φ4 Depth 4mm Electronics 공스테이지Vacuum Stage (15) 70 4-M4 Depth 8mm 8-M3 Depth 6mm 4.5 (2.5) (91) 4 15 C ±2.5 (42) (42.5) 4-for M4 screws 저두나사 ( 부속품 ) 로취부합니다. Shaft length 1mm Mounting by low head screw (attachment) (0.5) I-008 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

9 위벨( 고니오) 알루미늄 / 크로스롤러가이드 / 쇄기 / 볼스크류 Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Wedge / Ball Screw 형식 Model Number 미러모델형식 Mirror Model Number 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 분해능 Resolution 1 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20분할) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 수직도 Vertically 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 5상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 2 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002 페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018 페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. ±4mm 1/2- 쇄기, 볼스크류, 리드 1.0mm 1/2-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm 0.5μm/0.25μm 0.025μm 2.5mm/sec 1μm 5μm/8mm 1.7kg ±0.5μm 49N(5kgf) 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing ±2.5mm 1/4- 쇄기, 볼스크류, 리드 1.0mm 1/4-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm 0.25μm/0.125μm μm 1.25mm/sec 0.3μm 5μm/5mm 1.15kg PK544PMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선5줄 ) PK544PMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 환형 20핀 ( 히로세 : RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) F-115R(HOME,LIMIT) V3 F-116(HOME,LIMIT), 미러모델 : F-116R(HOME,LIMIT) F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT) 270,000 2,000 48,000 ~ 클린그리스교환비용 4 36,000 Clean Room Lubricant Change Price 진공그리스교환비용 5 36,000 Vacuum Lubricant Change Price 동형모터교환비용 6 12,000 ~ Same Size Motor Change Price 이형모터교환비용 6,000 ~ Different Size Motor Change Price 1 2 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035를참조해주세요. Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 시품 NEW A07A-W201 NEW A07A-W2C01 Products A07A-W201-R アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい A07A-W2C01-R Refer to page O-001 for information on accessory. お客様のご要望により製品の改造も承ります 70mm 70mm 수동詳しくは営業部までお問い合わせ下さい 정밀크로스롤러가이드정We appreciate the product customizing. Contact us for further information. Cross-Roller Guide 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 스템제밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 스 스얼라인먼트스테이지X 진공스테이지Vacuum Stage 검 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL I-009

10 산테이지Motorized Stage 검시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스자동 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized Vertical Linear Stages / Table Size A07A-V1F A07A-V1F 스위벨( 고니오) (115) (45) M3 Depth 8mm 4-M4 Depth 8mm 스 Limit Sensor C Limit Sensor C 96±10 4-for M4 screws Shaft length 8mm 얼라인먼트스테이지X 진Electronics 공스테이지Vacuum Stage I-010 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

11 위벨( 고니오) 알루미늄 / 4 면플랫롤러가이드 / 벨트식 / 연사나사 Aluminum Body / Tetrahedral Flat-Roller Guide/ Belt-Drive / Ground Screw 분해능 Resolution 1 형식 Model Number 미러모델형식 Mirror Model Number 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 수직도 Vertically 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 2 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price A07A-V1F 70mm 70mm 4 면플랫롤러가이드 Tetrahedral Flat-Roller Guide ±10mm 1/2- 벨트, 연삭나사, 리드 0.5mm 1/2 Belt Drive, Ground Screw, Lead 0.5mm 0.5μm/0.25μm 0.025μm 2.5mm/sec ±0.5μm 2μm 6μm/20mm 117.6N(12kgf) 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing 1.8kg PK543-B( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.72, 리드선 10 줄 ) PK543-B(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72, 10-Leads) 환형 20 핀 ( 히로세 : RP13A-12JG-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC) X2 F-106(HOME,LIMIT) 2,000 48,000 ~ 클린그리스교환비용 4 36,000 Clean Room Lubricant Change Price 진공그리스교환비용 5 36,000 Vacuum Lubricant Change Price 동형모터교환비용 6 12,000 ~ Same Size Motor Change Price 이형모터교환비용 6,000 ~ Different Size Motor Change Price 1 2 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035를참조해주세요. Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002 페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018 페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 시스템제품 Products 수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 스 스얼라인먼트스테이지X 진공스테이지Vacuum Stage 검 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL I-011

12 산테이지Motorized Stage 검5 5 시자동 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized Vertical Linear Stages / Table Size A10A-W201 A10A-W2C01 A10A-W201 스위벨( 고니오) (217) (117) (6) Depth 5mm φ5 Depth 5mm 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스스템제품 Products 수 C 80± M4 Depth 8mm 4-M3 Depth 8mm C Limit Sensor Limit Sensor for M4 screws Shaft length 6.5mm 151 스얼라인먼트스테이지X 진A10A-W2C01 Limit Sensor (219.5) (119.5) Electronics 공스테이지Vacuum Stage 8-M4 Depth 8mm 4-M3 Depth 8mm C Limit Sensor (7) (15) 5.5 Depth 5mm φ5 Depth 5mm C 50± (42) 4-for M4 screws Shaft length 3.5mm (1) I-012 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

13 위벨( 고니오) 알루미늄 / 크로스롤러가이드 / 쇄기 / 볼스크류 Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Wedge / Ball Screw 분해능 Resolution 1 형식 Model Number 미러모델형식 Mirror Model Number 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 수직도 Vertically 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 2 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price NEW A10A-W201 A10A-W201-R ±7mm 1/2- 쇄기, 볼스크류, 리드 1.0mm 1/2-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm 0.5μm/0.25μm 0.025μm 2.5mm/sec 1μm 5μm/14mm 98N(10kgf) 3.25kg mm mm 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±0.5μm 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing A10A-W2C01 A10A-W2C01-R ±2.5mm 1/4- 쇄기, 볼스크류, 리드 1.0mm 1/4-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm 0.25μm/0.125μm μm 1.25mm/sec 0.3μm 4μm/5mm 68.6N(7kgf) 2.05kg PK544PMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선 5 줄 ) PK544PMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 각형 20 핀 ( 히로세 : PC-1620, P-1620A-STA) 20Pin Rectangular (Hirose: PC-1620, P-1620A-STA) F-115R(HOME,LIMIT) V3 환형 20 핀 ( 히로세 : RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) F-116(HOME,LIMIT), 미러모델 : F-116R(HOME,LIMIT) F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT) 410, ,000,000 ~ 48,000 ~ 클린그리스교환비용 4 36,000 Clean Room Lubricant Change Price 진공그리스교환비용 5 36,000 Vacuum Lubricant Change Price 동형모터교환비용 6 12,000 ~ Same Size Motor Change Price 이형모터교환비용 6,000 ~ Different Size Motor Change Price 1 2 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035를참조해주세요. Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002 페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018 페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable NEW 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 시스템제품 Products 수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 스 스얼라인먼트스테이지X 진공스테이지Vacuum Stage 검 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL I-013

14 검 스위벨( 고니오) Electronics 얼라인먼트스테이지X 진산시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 수주후생산 Build-To-Order 스공스테이지Vacuum Stage 자동 스테이지 / 테이블사이즈, 1 1 Motorized Vertical Linear Stages / Table Size, 1 1 A16A-32F C A16A-W2C A10A-32F )49.9 (Index 4-M5 Depth 12mm 4-M5 Depth 12mm C Limit Sensor Limit Sensor 4-For M5 screws 28 (97) 1 (.1 )(261) Shaft length 9mm Limit Sensor C Limit Sensor 1 (17.2) A16A-32F (4) M4 Depth 10mm 4-M4 Depth 10mm ±25 (326) (166) A10A-32F Index C A16A-W2C Index 4-M4 Depth 8mm 4-M4 Depth 8mm C Limit Sensor Limit Sensor 4-for M4 screws Shaft length 7.5mm (188) ±15 8-M5 Depth 10mm 8-M4 Depth 8mm C 80±8 4-for M5 screws Shaft length 6mm 1 I-014 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

15 시스템제밀스테이지Manual Stage 자 검위벨( 고니오) 위벨( 고니오) 알루미늄 /4 면플랫롤러가이드, 크로스롤러가이드 / 웜 & 웜휠, 쇄기 / 볼스크류 Aluminum Body / Tetrahedral Flat-Roller Guide, Cross-Roller Guide/ Worm & Worm Wheel, Wedge / Ball Screw 분해능 Resolution 1 형식 Model Number 미러모델형식 Mirror Model Number 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 수직도 Vertically 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 2 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price A10A-32F A16A-32F A16A-W2C A10A-32F-R A16A-W2C-R mm mm 1mm 1mm 1mm 1mm 4 면플랫롤러가이드 Tetrahedral Flat-Roller Guide 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±15mm ±25mm ±8mm 1/- 웜 & 웜휠, 볼스크류, 리드 4.0mm 1/-Worm & Worm Wheel, Ball Screw, Lead 4.0mm 1/4- 쇄기, 볼스크류, 리드 1.0mm 1/4-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm 0.1μm/0.05μm 0.2μm/0.1μm 0.5μm/0.25μm 0.005μm 0.01μm 0.025μm 0.5mm/sec 1mm/sec 2.5mm/sec 2μm ±0.5μm 0.5μm 8μm/mm 8μm/50mm 10μm/16mm 294N(kgf) 4N(50kgf) 196N (20kgf) 백색마감 Clear-Matt Anodizing 알루미늄합금 Aluminum Alloy 흑색마감 Matt Black 백색마감 Clear-Matt Anodizing 4.3kg 14.5kg 7.2kg PK525HPMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선 5 줄 ) PK525HPMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 환형 20 핀 ( 히로세 : RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) V1 원점복귀시에, 영역 (DATUM) 센서를이용합니다. 측상시차광. V1 Returning direction is determined with zone sensor. side s light is intercepted in all time. F-101(HOME,LIMIT), F-113(INDEX) PK545-B( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.72, 리드선 10 줄 ) PK545-B(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72, 10-Leads) 각형 20 핀 ( 히로세 : PC-1620, P-1620A-STA) 20Pin Rectangular (Hirose: PC-1620, P-1620A-STA) X1 원점복귀시에, 영역 (DATUM) 센서를이용합니다. 측상시차광. X1 Returning direction is determined with zone sensor. side s light is intercepted in all time. 0,000 0,000 F-101(HOME,LIMIT), F-107(INDEX) X1 수주후, 생산 Build-To-Order,000 ~,000 ~ - 클린그리스교환비용 4 Clean Room Lubricant Change Price 48,000 64,000 - 진공그리스교환비용 5 Vacuum Lubricant Change Price 48,000 64,000 - 동형모터교환비용 6 Same Size Motor Change Price 12,000 ~ - 이형모터교환비용 6 Different Size Motor Change Price,000 ~ - 품 Products 수동정동정 밀스테이지Motorized Stage 산 스 스얼라인먼트스테이지X 진 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035를참조해주세요. Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. A16A-W2C의그리스교환에관해서는문의주시기바랍니다. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. Please contact us about lubricant change of A16A-W2C. 5 6 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. A16A-W2C의그리스교환에관해서는문의주시기바랍니다. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. Please contact us about lubricant change of A16A- W2C. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. A16A-W2C의모터교환에관해서는문의주시기바랍니다. Page C-004 for further information about motor change.contact us about motor change of A16A-W2C. Electronics 공스테이지Vacuum Stage 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002 페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018 페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL I-015

16 산테이지Motorized Stage 검자동 스테이지 / 테이블사이즈 50 50,70 70 Motorized Vertical Linear Stages / Table Size 50 50,70 70 시스템제 A05A-X101 A07A-X102 A07F-X102 A05A-X101 A07A-X102 A07F-X102 품 Products 수 스위벨( 고니오) C 동정밀스테이지Manual Stage 자동정 70 밀스C 59 스 얼라인먼트스테이지X 진 (4) (59) Limit Sensor C Limit Sensor 4-for M3 screws Shaft length 7.5mm 4-M3 Depth 8mm 4-M3 Depth 5mm 4-M2 Depth 5mm M4 Depth 5mm 50± (15) (21) (172.5) 50 (10) (75) 4-M4 Depth 5mm 4-M3 Depth 5mm 4-M3 Depth 5mm M4 Depth 4mm Limit Sensor C Limit Sensor 4-for M4 screws Shaft length 7mm 70±10 (15) (21) (220.5) Electronics 공스테이지Vacuum Stage I-016 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

17 위벨( 고니오) 알루미늄, 철 / 수직 X / 크로스롤러가이드 / 연삭나사 Aluminum, Steel Body / Vertical X / Cross-Roller Guide / Ground Screw 분해능 Resolution 1 형식 Model Number 미러모델형식 Mirror Model Number 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 수직도 Vertically 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 2 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price ±7.5mm 1μm 5μm/15mm 24.5N(2.5kgf) 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide 연삭나사, 리드 0.5mm Ground Screw, Lead 0.5mm 0.5μm/0.25μm 0.025μm 2.5mm/sec ±0.3μm ±10mm 1.5μm 7μm/20mm 49N(5kgf) 철 Steel 니켈도금마감 Nickel Plating 0.65kg 1.4kg 1.85kg PK523HPMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선 5 줄 ) PK523HPMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) PK544PMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선 5 줄 ) PK544PMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 환형 20 핀 ( 히로세 : RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) V3 F-116(HOME,LIMIT), 미러모델 : F-116R(HOME,LIMIT) F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT) 135, , ,000 42,000 ~ 클린그리스교환비용 4,000 Clean Room Lubricant Change Price 진공그리스교환비용 5,000 Vacuum Lubricant Change Price 동형모터교환비용 6 12,000 ~ Same Size Motor Change Price 이형모터교환비용 6,000 ~ Different Size Motor Change Price 1 2 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035 를참조해주세요. Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15 페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 시품 NEW A05A-X101 NEW A07A-X102 NEW A07F-X102 Products A05A-X101-R A07A-X102-R A07F-X102-R 50mm 50mm 70mm 70mm 수동정 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 스템제밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 스 스얼라인먼트스테이지X 진공스테이지Vacuum Stage 검 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL I-017

18 산테이지Motorized Stage 검자동 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized Vertical Linear Stages / Table Size 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스A10A-X101 A10F-X101 A10A-X101 A10F-X101 스위벨( 고니오) C (66) 4-M4 Depth 8mm 4-M4 Depth 8mm 4-M3 Depth 8mm M4 Depth 8mm (274.5) Limit Sensor 스얼라인먼트스테이지X 진 14 C Limit Sensor (6) 4-for M4 screws (17.2) Shaft length 10mm ±12.5 Electronics 공스테이지Vacuum Stage I-018 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

19 위벨( 고니오) 알루미늄, 철 / 수직 X / 크로스롤러가이드 / 연삭나사 Aluminum, Steel Body / Vertical X / Cross-Roller Guide / Ground Screw 분해능 Resolution 1 형식 Model Number 미러모델형식 Mirror Model Number 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 수직도 Vertically 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 2 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing 2.95kg 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±12.5mm 연삭나사, 리드 0.5mm Ground Screw, Lead 0.5mm 0.5μm/0.25μm 0.025μm 2.5mm/sec ±0.3μm 2μm 10μm/25mm 98N(10kgf) 철 Steel 니켈도금마감 Nickel Plating 4.15kg PK544PMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선 5 줄 ) PK544PMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 각형 20 핀 ( 히로세 : PC-1620, P-1620A-STA) 20Pin Rectangular (Hirose: PC-1620, P-1620A-STA) V3 F-101(HOME,LIMIT) 195, ,000 48,000 ~ 클린그리스교환비용 4 36,000 Clean Room Lubricant Change Price 진공그리스교환비용 5 36,000 Vacuum Lubricant Change Price 동형모터교환비용 6 12,000 ~ Same Size Motor Change Price 이형모터교환비용 6,000 ~ Different Size Motor Change Price 1 2 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035 를참조해주세요. Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15 페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 시품 NEW A10A-X101 NEW A10F-X101 Products A10A-X101-R A10F-X101-R mm mm 수동정 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 스템제밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 스 스얼라인먼트스테이지X 진공스테이지Vacuum Stage 검 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL I-019

20 산테이지Motorized Stage 검 회자동 스테이지 / 테이블사이즈,1 124 Motorized Vertical Linear Stages / Table Size,1 124 A10A-X1T A16A-X1 시A10A-X1T 73 전Rotation 스C 위벨( 고니오) Index C Limit Sensor 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스스템제품 Products 수2 3 8-M4 Depth 8mm 4-M3 Depth 8mm M4 Depth 13mm (385.5) Limit Sensor ±50 5 (25) 4 - for M4 screws Shaft length 11mm 얼라인먼트스테이지X 진 스A16A-X1 80 C Index 110 Electronics 공스테이지Vacuum Stage 10 4-M5 Depth 8mm 8-M4 Depth 8mm 8-M3 Depth 8mm M5 Depth 8.5mm Limit Sensor (3) 2 C Limit Sensor ± (17.2) for M4 screws Shaft length 11mm I-020 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

21 위벨( 고니오) 알루미늄 / 수직 X / 리니어가이드, 크로스롤러가이드 / 연삭나사 Aluminum Body / Vertical X / Linear Guide, Cross-Roller Guide / Ground Screw 분해능 Resolution 1 형식 Model Number 미러모델형식 Mirror Model Number 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 수직도 Vertically 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 2 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price A10A-X1T A10A-X1T-R mm mm 정밀리니어가이드 Linear Guide ±50mm 2μm 10μm/mm 6.8kg 연삭나사, 리드 1.0mm Ground Screw, Lead 1.0mm 2μm/1μm 0.1μm 10mm/sec ±0.5μm 98N(10kgf) 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing A16A-X1 A16A-X1-R 1mm 124mm 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±25mm 4μm 10μm/50mm 6.2kg PK566-B( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.72, 리드선10줄 ) 7 PK566-B(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72, 10-Leads) F-104(INDEX,LIMIT), F-105(HOME) 각형 20 핀 ( 히로세 : PC-1620, P-1620A-STA) 20Pin Rectangular (Hirose: PC-1620, P-1620A-STA) X1 F-101(HOME,LIMIT),F-107(INDEX) 2,000 2,000 42,000 ~,000 ~ 클린그리스교환비용 4 Clean Room Lubricant Change Price 36,000 48,000 진공그리스교환비용 5 Vacuum Lubricant Change Price 36,000 48,000 동형모터교환비용 6 15,000 ~ Same Size Motor Change Price 이형모터교환비용 6 36,000 ~ Different Size Motor Change Price 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035를참조해주세요. Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002 페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018 페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. A10A-X1T은모터샤프트의출력측축의끝을절단하였습니다. Cut off the edge of motor shaft's output side of A10A-X1T. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 시스템제품 Products 수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 스 스얼라인먼트스테이지X 진공스테이지Vacuum Stage 검 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL I-021

22 Memo