대유량, 수동식가스압력레귤레이터 783 대유량, 수동식가스압력레귤레이터 HF 시리즈 최대유량이 2 std L/min 인소형크기 최대입구압력은 5 psig (34.4 bar) 출구압력은 15 psig (1.3 bar) 까지수동조절가능 초고순도사양에적합한 316L VIM-VAR 스텐레스강몸체 1/4 in. VCR 피팅, 1/4 in. 튜브맞대기용접, 1.5 in. 및 1.125 in. 블럭조립식연결구
784 압력레귤레이터및필터 특징 Swagelok HF 시리즈수동식가스압력레귤레이터에는고유한압력감지기능을하는부품과상호작용하는하중스프링이장착되어출구압력을정확하게조정합니다. 핸들을돌려출구압력을손쉽게조정할수있습니다. 소형크기의대유량설계로시스템부품과공정라인의좁은공간에서사용이가능합니다. 혁신적인압력감지가가능한용접다이아프램을채택하여대부분의시스템에서압력감소 (droop) 현상을줄이기위한조정이필요없습니다. 고순도설계로확실한밀페를위한전용포펫, 금속대금속외부밀폐, 내부는 5 µin (.13 µm) R a 수준의전해연마및표면처리한 316L VIM- VAR 스텐레스강몸체가특징입니다. 1.5 in. 블럭조립식모델 튜브맞대기용접연결구가있는일직선모델 최대유량은 2 std L/min 입니다. 색상으로구분된교환가능한 4 가지하중스프링을사용하여출구압력범위를진공에서 15 psig (1.3 bar) 까지조절할수있습니다. 블럭조립식레귤레이터는 IGC 과호환됩니다. 스스로중심을잡는포펫 크립 (creep) 을최소화합니다. 누설없는밀폐를위해 PCTFE 로제공됩니다. 소형핸들 시스템부품과공정라인의공간이좁은경우에도압력을손쉽게조정할수있습니다. 정확한조작을위해둘레에손가락홈및미세홈이파여있습니다. 1.125 in. 로 C- 씰과 W- 씰모두제공됩니다. 최대유량은 16 std L/min 입니다. 두가지압력범위로제공 : 진공 ~ 3 psig (2. bar) 및진공 ~ 6 psig (4.1 bar). 압력감지부품 퍼플루오르엘라스토머 (perfluoroelastomer) 포펫을사용하여뛰어난잠금기능을발휘합니다. 조정가능한출구압력 미세한핸들조정으로출구압력을조정합니다. 강제조작방지핸들을사용하면압력조정후고정할수있습니다. 기술자료 모델 압력등급 psig (bar) 온도등급 C ( F) 입구출구작동 Bakeout 공급 - 압력영향 (SPE)➀ 유량계수 (C v ) 유량 ➁ std L/min 오리피스 in. (mm) 내부체적 in. 3 (cm 3 ) 일직선및 1.5 in. 블럭조립식 1.125 in. 블럭조립식 진공 ~ 5 (34.4) 진공 ~ 15 (1.3) 진공 ~ 15 (1.3) 진공 ~ 6 ( 4.1) 23 ~ 65 ( 1 ~ 15) ~ 15 (32 ~ 32) ➀ 입구압력 1 psi 변화에대한출구압력의변화비율 ➁ 입구압력 1 psig (6.8 bar) 및출구압력 3 psig (2. bar) 15 (32) ~ 15 (32 ~ 32) 1.6.2 2 1.5.1 16.12 (3.).9 (2.3) VCR 피팅사용시,.32 (5.2).172 (2.8)
공정사양 대유량, 수동식가스압력레귤레이터 785 공정, 공정제어및공정승인에대한자세한내용은 Swagelok 공정사양특수세정및포장 (SC-11) (MS 6 63K4), 825 페이지및초고순도공정사양 (SC 1) (MS 6 61K4), 827 페이지을참조하십시오. 세정 지속적인관리상태에서탈이온수초음파세정시스템으로초고순도세정 오존비파괴약품으로특수세정 조립및 포장 공정부호 공정사양 ISO Class 4 작업공간에서실시. 레귤레이터는청정실에서진공밀폐및이중포장 특수청정공간에서실시. 레귤레이터는개별포장 P P1 초고순도공정사양 (SC 1) 특수세정및포장 (SC 11) 유체접촉면의표면조도 (R a ) 5 µin. (.13 µm) 평균, 기계가공및전해연마 테스트 1 1-9 std cm 3 /s 의누설율로내부헬륨누설테스트 구성부품의재질 일직선및 1.5 in. 블럭조립식모델 3 5 1 11 13 14 9 16 15 17 21 12 6 13 16 21 1 2 3 4 5 8 1 17 18 1 2 4 6 7 8 19 2 22 구성부품 1 라벨 ( 표시되지않음 ) 알루미늄 유체가접촉되는부분은이탤릭체로표시됩니다. ➀ 최소신장허용치 2 %. 재질등급 /ASTM 사양 폴리프로필렌 ( 강제조작방지핸들 ) 2 표준핸들파란색나일론알루미늄 661-T6 / B211 옵션핸들알루미늄 661-T6 / B211 고정나사 ( 표시되지않음 ) 합금강 / ANSI 18.3 ( 강제조작방지핸들 ) 3 하중디스크 S174 SS / A564 폴리에테르이미드 / D525 4 하중스프링 S177 SS / A313 5 보닛너트은도금 316 SS / A479 6 균형스프링 S177 SS / A313 7 댐퍼축 316 SS / A479 8 O- 링탄화플루오르 FKM 9 O- 링고정황동 36 / B16 1 보닛 S174 SS / A564 11 백업링황동 36 / B16 12 복귀디스크 폴리에테르이미드 / D525 13 다이어프램 625 / AMS 5879 합금 14 페이스플레이트 316L SS VIM-VAR / SEMI F2-35 초고순도 ➀ 15 포펫고정웨이퍼 X-75 / B637 합금 16 스템 316L SS / A479 17 포펫 PCTFE / AMS 365 Perfluoroelastomer FFKM 18 포펫중앙부 316L SS / A479 19 포펫포트밀폐 C-276 / B574 합금 2 포펫포트플러그 316 SS / A479 21 몸체 22 용접된연결구 316L SS VIM-VAR / SEMI F2-35 초고순도 ➀ 316L SS VIM-VAR / SEMI F2-35 초고순도 ➀
786 압력레귤레이터및필터 작동성능 최대입구및출구압력에서하중스프링범위 각하중스프링의작동범위에는각라인아래의영역이포함됩니다. 평균잠금압력 예 : 2 std cm 3 /min 유량의경우, 후단측흐름이차단된후출구압력의변화는약.9 psi (.6 bar) 입니다. 입구압력, bar 32. 31.8 31.6 5 std cm 3 /min 2.2 2.18 출구압력, psig 출구압력, bar 출구압력, psig 31.4 31.2 31. 3.8 3.6 3.4 3.2 2 std cm 3 /min 1 std cm 3 /min.9 psi 2.16 2.14 2.12 2.1 2.8 출구압력, bar 3. 29.8 4 1 2 3 4 5 6 2.6 시간 ( 초 ) 입구압력, psig 후단측차단지점 하중스프링 출구압력범위 psig (bar) 스프링색상 A 진공 ~ 25 (1.7) 빨간색 B 5 ~ 5 (.34 ~ 3.4) 흰색 C 1 ~ 1 (.68 ~ 6.8) 파란색 D 2 ~ 15 (1.3 ~ 1.3) 노란색 유량정보 그래프는유량이증가하고입구압력이감소함에따라발생하는출구압력의변화또는 감소 (droop) 를나타냅니다. 입구압력 5 psig (34.4 bar) 1 psig (6.8 bar) 예 : 출구압력이 3 psig 이고유량이 1 에서 6 std L/min 으로증가할때, 출구압력의차이또는감소 (droop) 는약 3.5 psi (.24 bar) 입니다. 8 5.5 7 7 5. 4.5 6 입구압력 1 psig (6.8 bar) 4.5 4. 출구압력, psig 6 5 4 3 2 1 4. 3.5 3. 2.5 2. 1.5 1..5 출구압력, bar 출구압력, psig 5 4 3 2 1 3.5 psi 3.5 3. 2.5 2. 1.5 1..5 출구압력, bar 5 1 15 2 2 4 6 8 1 공기유량, std L/min 공기유량, std L/min
대유량, 수동식가스압력레귤레이터 787 치수 치수는 in. (mm) 규격이고단지참조용이며변경될수있습니다. 직선형모델 저토크핸들 표준핸들 2. (5.8) 지름 하부 1. (25.4) 볼트원 1.48 (37.6) 지름 4.12 (15) 최대 4.17 (16) 최대 4 개의고정구멍, M5 3.8 나사,.25 (6.4) 깊이. M5 3.8 구멍에는 1-32 규격의고정용나사를사용할수있습니다. 연결구 A, in. (mm) A 맞대기용접연결구.44 (11.2) A VCR 연결구.44 (11.2) 맞대기용접 2.15 (54.6) VCR, 짧은그랜드 2.78 (7.6) VCR, 긴그랜드 3.7 (94.) 블럭조립식모델 1.5 in. 플랫폼 1.125 in. 플랫폼 표준핸들 3.97 (11) 최대 C- 씰플렛폼하부 1.5 (38.2) A 최대 C- 씰플렛폼하부 1.125 (28.6) W- 씰플렛폼하부 1.125 (28.6) 1.5 (38.2) 1.125 (28.6) 1.125 (28.6) 4 개의관통구멍, 지름.22 (5.6) 4 개의관통구멍, 지름.17 (4.4) 4 개의관통구멍, 지름.17 (4.4) 핸들 A, in. (mm) 표준 3.66 (93.) 강제조작방지 3.57 (9.7)
788 압력레귤레이터및필터 주문방법 완성된조립품을주문하려면, 레귤레이터와스프링키트를주문하십시오. 레귤레이터에는파란색소형나일론핸들만있고스프링키트는포함되지않습니다. 몸체재질 316L VIM-VAR 스텐레스강 모델 HFM3B = 일직선 MSM-HFM3B = 블럭조립식 SS HFM3B VCR4 P 연결구 VCR4 = 1/4 in. VCR 짧은그랜드 ➀ VCR4L = 1/4 in. VCR 긴그랜드 ➀ BW4 = 1/4 in. 튜브맞대기용접없음 = C- 씰블럭조립식 (MSM-HFM3B 전용 ) ➀ Swagelok VCR 분리형너트는별도주문해야합니다. 아래내용을참조하십시오. 공정 P = Swagelok 초고순도공정사양 (SC 1); 전해연마평균 R a 5 uin (.13um) P1 = Swagelok 특수세정및포장 (SC-11); 전해연마, 평균 R a 5 µin. (.13 µm) 스프링키트 스프링키트에는하중스프링, 하중디스크, 라벨및설치설명서가포함됩니다. 주문하려면원하는레귤레이터출구압력범위를기준으로스프링키트주문번호를선택하십시오. 출구압력범위 psig (bar) 진공 ~ 25 (1.7) ➀ 789 페이지저토크핸들참조. 스프링키트주문번호 177-13K-HFM-A 5 ~ 5 (.34 ~ 3.4) 177-13K-HFM-B 1 ~ 1 (.68 ~ 6.8) 177-13K-HFM-C 2 ~ 15 (1.3 ~ 1.3) 177-13K-HFM-D➀ Swagelok VCR 분리형너트 Swagelok VCR 분리형너트기술의장점 : 유연한재고관리 양끝간의짧은치수 회전가능한비용접 S174 연결구 VCR 연결구가있는레귤레이터를주문할경우, VCR 분리형너트는별도로주문해야합니다. VCR 분리형너트는현장에서조립할수있습니다. 수나사형또는암나사형으로선택하여주문하십시오. 수나사형분리형너트주문번호 : SS-4-VCR-4-SN 암나사형분리형너트주문번호 : SS-4-VCR-1-SN 아래의순서에따라부호를조합해레귤레이터주문번호를만드십시오. SS MSM-HFE P A 몸체재질 316L VIM-VAR 스텐레스강 모델수동식, 가스압력레귤레이터, 1.125 in. 블럭조립식 씰방식표시없음 = C- 씰 -W = W- 씰 핸들 -TR = 강제조작방지핸들 ( 다음페이지참조표시없음 = 표준핸들 핸들색상 -BK = 검정색 -GR = 녹색 -OR = 오렌지색 -WH = 흰색 -YW = 노란색표시없음 = 파란색 출구압력범위 A = 진공 ~ 3 psig (2. bar) B = 진공 ~ 6 psig (4.1 bar) 공정 Swagelok 초고순도공정사양 (SC 1); 전해연마, 평균 R a 5 µin. (.13 µm)
대유량, 수동식가스압력레귤레이터 789 선택사양및액세서리 공장에서조립한하중스프링 공장에서하중스프링이조립된레귤레이터를주문할수있습니다. 주문하려면레귤레이터주문번호에스프링부호를붙이십시오. 예 : SS-HFM3B-VCR4-P-A 알루미늄핸들 소형핸들 표준소형핸들은 7 가지에폭시코팅색상이있는알루미늄재질로제공됩니다. 공장에서소형알루미늄핸들이조립된 HF 시리즈수동식레귤레이터를주문하려면레귤레이터주문번호에핸들색상부호를붙이십시오. 예 : SS-HFM3B-VCR4-P-BK 출구압력범위 psig (bar) 스프링부호 진공 ~ 25 (1.7) -A 5 ~ 5 (.34 ~ 3.4) -B 1 ~ 1 (.68 ~ 6.8) -C 2 ~ 15 (1.3 ~ 1.3) -D 핸들색상 부호 검정색 -BK 파란색 녹색 오렌지색 빨간색 흰색 노란색 -BL -GR -OG -RD -WH -YW 저토크핸들 옵션인 6 편핸들을이용하면적은힘으로손쉽게조작할수있습니다. 저토크핸들은에폭시가코팅된알루미늄이며 7 가지색상으로제공됩니다. 저토크핸들은 2 ~ 15 psig (1.3 ~ 1.3 bar) 스프링키트와함께사용하면적합합니다. 이핸들은 787 페이지의그림과같이지름이 2. in. (5.8 mm) 이고, 블럭조립식레귤레이터에사용하는것은권장하지않습니다. 공장에서저토크알루미늄핸들을조립하여주문하려면그림과같이레귤레이터주문번호에 L 을넣고색상부호를붙이십시오. 예 : SS-HFML3B-VCR4-P-BK 강제조작방지핸들 조정 - 핸들상단에있는조정나사를이용하여출구압력을조정할수있습니다. 고정 - 핸들스티커를붙여조정나사조작을방지합니다. 조정 고정 유지보수키트 포펫키트 포펫키트에는포펫 1 개, 포펫포트밀폐및설치설명서가포함되어있습니다. 주문번호 : MS-3K-HFM3 산소사용시위험 산소가많은시스템의위험성에대한자세한내용은 Swagelok 산소시스템안전기술보고서 (MS 6 13K4), 831 페이지을참조하십시오. 포펫공구 포펫을설치하려면포펫교체용공구가필요합니다. 주문번호 : MS-TOOL-HFM3 주의 : 다른제조사의제품과혼용하지마십시오. MS-2-157K4, R6
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