소형 경량의공기압용압력센서 PSE 5 Series 고정도분리형디지털압력스위치 PSE 폭넓은유체의압력검출이가능한범용유체용압력센서 PSE 520 Series 소형 : 13W H 30Lmm( 접속부를제외 ) 경량 : 12g 센서부는소형 경량이므로, 흡착노즐등의좁은장소나가동부

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1 고정도분해형 디지털압력스위치 PSE Series 4 자릿수로읽기쉬운대형 LED 표시콘트롤러 PSE0 Series 콘트롤러의표시분해력 : 1/00 미세한압력변동에서의스위칭이가능합니다. 2CH 2 출력설정 1 대로독립된 4 개의출력이가능합니다. 다채로운스위치출력모드 히스테리시스모드, 윈도우분할모드, 그리고각각의반전출력에대응할수있습니다. 일반 공기압용 다양한단위에대응 : 단위전환기능부착 표시단위를자유롭게선택할수있습니다. 진공 정압 ( 고압용 ) 정압 ( 저압용 ) 충실한자기진단기능 kpa mmhg kgf/cm 2 bar InHg kpa MPa kgf/cm 2 bar 센서미접속, 과전류에러, 과대압력에러가표시되어문제발생을미연에방지합니다. 판넬취부, DIN 레일취부에대응가능 전면의 Panel 표면은내수구조 IP66 대응 현장의다수압력스위치를콘트롤러로집중관리가능 Auto Preset 기능 현장에서워크의흡착, 비흡착을반복하는것만으로콘트롤러가각각의압력을판독하여, 자동적으로최적값을설정합니다. Auto Shift 기능 Auto Shift 입력 ( 외부입력 ) 의압력값을 0 으로하고, 그값에서변동값으로설정할수있습니다. 548

2 소형 경량의공기압용압력센서 PSE 5 Series 고정도분리형디지털압력스위치 PSE 폭넓은유체의압력검출이가능한범용유체용압력센서 PSE 520 Series 소형 : 13W H 30Lmm( 접속부를제외 ) 경량 : 12g 센서부는소형 경량이므로, 흡착노즐등의좁은장소나가동부에직접취부가능합니다. 응답속도 소형 경량압력센서이므로, 검출부근처에센서를설치하여배관용량에따른응답지연을개선할수있습니다. 또한미세한압력변화도배관의누설을염려하지않고검출할수있습니다. 스테인레스다이아프램채용 접액 접가스부에 SUS630, 피팅부에 SUS304 를채용하여폭넓은유체의압력검출이가능하게했습니다. 내수구조 IP65 대응 ZSE ISE PS ZSP IS ZSM PF IF 4 가지배관사양 취부가간단한레듀서타입의원터치배관과 M5, R 1 /8, NPTF 1 /8 의나사접속타입배관이있습니다. P2 집중관리가능 P1 P2 P3 P4 P3 P1 P4 어느곳에나취부가능! 549

3 압력센서일반공기압용 PSE5 Series 해외규격적합기종의상세한내용은 SMC 홈페이지를참조하십시오. 형식표시방법 PSE51 압력사양 0 고압용 (0~1MPa) 1 진공용 (0~-1kPa) 2 저압용 (0~0 kpa) 배관사양 R06 6 레듀서 M5 M R1/8, M5 0.8 T01 NPTF1/8, M5 0.8 압력센서사양 / 일반공기압용 형식사용압력범위최고사용압력사용유체출력사양전원전압소비전류사용온도범위 온도특성 (25 기준 ) 25± 0~50 200kPa 공기 비부식성가스아날로그출력 (1~5V 부하임피던스 : k Ϊ이상 ) DC 12~24V( 리플 ±% 이하 ) ma이하 0~50 ( 결로없을것 ) ±1%F.S. 이하 ±1.5% F.S. 이하 반복정도내전압절연저항내진동 ±0.3% F.S. 이하외부단자와케이스사이 AC 00V 50/60Hz 1분간외부단자와케이스사이 2MΩ (DC 500V Megameter로 ) ~500Hz 진폭 1.5mm 또는가속도 98m/s 2 중작은쪽에서 X, Y, Z 방향으로각 2시간 내충격보호구조 980m/s 2 X, Y, Z방향각 3회 IP40 ) 압력센서 PSE5 시리즈를콘트롤러 PSE0 시리즈에접속한경우, 표시범위는 PSE0 시리즈에준합니다. 배관개별사양 PSE5-0~1MPa 1MPa PSE511-0~-1kPa PSE512-0~0kPa 품번케이스부재질압력검출부리드선관접속구경질량 ( 리드선미포함 ) R06 수지케이스 : PBT 6 레듀서약 7g M5 수지케이스 : PBT 피팅 : SUS 수지케이스 : PBT 피팅 : C3604BD ( 무전해니켈도금 ) T01 수지케이스 : PBT 피팅 : C3604BD ( 무전해니켈도금 ) 압력센서 : 실리콘, O-Ring: NBR 내유비닐 cabtyre cable mm 2 3심 3m M5 0.8 R1/8, M5 0.8 NPTF1/8, M5 0.8 약 g 약 12g 550

4 압력센서 PSE5 내부회로 ( ) 안의리드선색은 IEC 규격준거전인경우입니다. DC (+) 갈색 ( 적색 ) 전원 + 단자 주의 안전상의주의, 게재제품 / 공통주의사항은서문 p.34 35, 각시리즈별공통주의사항은 p.520~p.522 을확인하십시오. 주회로 외형치수도 OUT 아날로그출력흑색 ( 백색 ) DC (-) 청색 ( 흑색 ) 전원 GND 단자 ZSE ISE PS ZSP IS ZSM PF IF 13 PSE5-01 RED(+) DC12~ 24V WHITE(1) ANALOG1~5V BLACK(-) GND MAXPRESS 1MPa MADE IN JAPAN 01, T01의경우 24 (20) 육각대변 : R1/8 T01: NPTF1/8 M5 0.8 깊이 5 R 나사, NPTF 나사체결후의참고치수 M5의경우 육각대변 가스켓 ( 부속품 ) 13 M5 0.8 R06의경우 30 A 용레듀서 적용원터치피팅 H L T KQ S Y 06-M5 기타 KQ, KS 시리즈 KJ 시리즈 KJ(-X20) 시리즈 A

5 압력센서범용유체용 PSE520 Series 형식표시방법 PSE52 0 압력사양 0 고압용 {0~1MPa} 1 진공용 0~-1kPa 배관사양 01 R1/8, M R1/4, M5 0.8 T01 NPTF1/8, M5 0.8 T02 NPTF1/4, M5 0.8 압력센서사양 / 범용유체용 형식사용압력범위최고사용압력사용유체출력사양전원전압소비전류사용온도범위 온도특성 (25 기준 ) 반복정도내전압절연저항내진동내충격보호구조 재질 리드선 관접속구경 질량 25± 0~40 -~70 케이스부압력검출부 PSE520- PSE521-0~1MPa 0~-1kPa 2MPa 0.5MPa SUS304, SUS630을부식시키지않는유체아날로그출력 (1~5V 부하임피던스 : k Ϊ이상 ) DC 12~24V( 리플 ±% 이하 ) 15mA 이하 -~70 ±1% F.S. 이하 ±1% F.S. 이하 ±3% F.S. 이하 ±3% F.S. 이하 ±5.5% F.S. ±0.3% F.S. 이하 GND 단자와케이스사이 AC250V 1분간외부단자와케이스사이 0MΩ (DC50V Megameter로 ) ~55Hz 복진동폭 1.5mm X, Y, Z 방향각 2시간 294m/s 2 IP65. 다만, 케이블단을제외 케이스 : SUS304, 피팅 : SUS304 다이아프램 : SUS630 특수탄성폴리염화비닐 mm 2 01:R1/8, M5 0.8 TO1:NPTF1/8, M :R1/4, M5 0.8 TO2:NPTF1/4, M5 0.8 약 220g 552

6 압력센서 PSE520 내부회로 ( ) 안의리드선색은 IEC 규격준거전인경우입니다. 주회로 외형치수도 DC (+) 갈색 ( 적색 ) OUT 흑색 ( 백색 ) DC ( ) 청색 ( 흑색 ) 실드선 전원 + 단자 아날로그출력 전원 GND 단자 주의 안전상의주의, 게재제품 / 공통주의사항은서문 p.34 35, 각시리즈별공통주의사항은 p.520~522 을확인하십시오. ZSE ISE PS ZSP PSE520-01, T01 IS ZSM M5 0.8 깊이 5 (55.5) PF IF 01: R1/8 T01: NPTF1/8 육각대변 19 PSE520-02, T02 32 보호튜브 ( 휨방지 ) (55.5) M5 0.8 깊이 5 02: R1/4 T02: NPTF1/4 육각대변 보호튜브 ( 휨방지 ) PSE521-01, T01 (59.5) M5 0.8 깊이 대기개방튜브 01: R1/8 T01: NPTF1/8 육각대변 보호튜브 ( 휨방지 ) PSE521-02, T02 (61.5) M5 0.8 깊이 대기개방튜브 02: R1/4 T02: NPTF1/4 육각대변 보호튜브 ( 휨방지 ) R 나사, NPTF 나사체결후의참고치수 553

7 콘트롤러 PSE0 Series 형식표시방법 해외규격적합기종의상세한내용은 SMC 홈페이지를참조하십시오. 콘트롤러사양 출력사양 0 NPN 출력 1 PNP 출력 PSE 취부사항옵션 A Panel Mount B 벽취부, DIN 레일 무기호조작부커버없음 C 조작부커버부착 DIN 레일품번은 P.561을참조하십시오. M CE 대응 단위사양 무기호 M 주1) 단위전환가능부착주2) SI단위고정 무기호 Q 주1) 신계량법상 ( 일본국내는 SI단위 ), 해외용으로만판매합니다. 주2) 고정단위진공압용저압용 :kpa 고압용 :MPa, kpa 없음 CE대응품 554 형식출력사양출력점수압력표시범위표시분해력 주 1) 표시단위 동작표시등응답주파수응차온도특성 (25 기준 ) 반복정도사용전압소비전류이상표시표시사양자가진단기능 부가기능 사용온도범위내노이즈내전압절연저항내진동내충격보호구조취부방법질량 접속센서 진공압 저압용고압용 25± 0~50 공급전압전원입력전류입력 PSE0- PSE1- NPN 오픈콜렉터 30V 80mA이하 PNP 오픈콜렉터 80mA 이하 2CH 2 출력 ~-1kPa( 진공용 ), -~0kPa ( 저압용 ), -0.1~1MPa( 고압용 ) 0.1kPa( 진공용 저압용 ), 1kPa( 고압용 ) kpa, mmhg, kgf/cm 2, bar, InHg kpa, MPa, kgf/cm 2, bar ON시점등 OUT 1: 녹색 OUT 2: 적색 0Hz(ms) 히스테리시스모드 : 가변, 윈도우분할모드 : 고정 (2% F.S.) ±0.3% F.S. 이하 ±0.5% F.S. 이하 ±0.2% F.S. 이하 DC12~24V( 리플 ±% 이하 ) 250mA 이하 7 Segment LED에에러표시 4자리 2 7 Segment LED 표시샘플링주기 4회 / 초과압력, 과전류, 센서미접속, 데이터에러, 0 Clear시의압력유무 Auto Preset: 버튼 1개로흡착확인의설정가능 Auto Shift: 입력단자로 0 Clear 가능 0~50 ( 결로없을것 ) 500Vp-p 펄스폭 1μs상승 1ns 외부단자와케이스사이 AC 00V 50/60Hz 1분간외부단자와케이스사이 2MΩ (DC 500V Megameter로 ) ~500Hz 진폭 1.5mm 또는가속도 98 m /s 2 중작은쪽에서 X, Y, Z 방향각 2시간 980 m /s 2 X, Y, Z 방향각 3회판넬취부타입 : IP66( 패널조작부만가스켓사용 ), 벽취부, DIN 레일타입 : IP40 A: 판넬취부, B: 벽취부, DIN 레일 A: 약 90g B: 약 1 g 전원전압과같음 1~5V( 입력임피던스 : 0kΩ ) 4~20mA( 입력임피던스 : 250Ϊ) 주 1) 단위전환기능의부락인경우 ( 단위전환기능이있는타입은 SI 단위 (kpa 또는 MPa) 에고정되어있습니다.

8 콘트롤러 PSE0 입출력회로와접속 ( ) 내의리드선색은 IEC 규격준거전인경우입니다. 접속도 BLUE (BLACK) 센서와의접속 전압입력타입 DC12~24V 압력센서 CH.SELECT IN1 IN2 1~5V 4~20mA 6 GND (COM) BROWN (RED) 7 BLACK (WHITE) 8 9 AUTO SHIFT 전류입력타입 NPN 출력회로도 주회로 PNP 출력회로도 주회로 LED( 녹색 ) LED( 적색 ) 입출력회로도 8 LED( 녹색 ) + - 부 9 LED ( 적색 ) 하부하 6 입력회로도 (Auto Shift, 채널선택 ) 주회로 kW CH.SELECT 6 7 부하 8 부하 DC 12~24V DC 12~24V DC 12~24V ZSE ISE PS ZSP IS ZSM PF IF 주회로 GND(COM) DC12~24V IN 1~5V 압력 센서 주회로 GND(COM) DC12~24V IN 4~20mA 압력 센서 AUTO SHIFT 도같은모양입니다. AUTO Shift 방법 AUTO SHIFT 단자 을 GND6 에접속하고개방하면, LED1 은개방한순간을기준 (0) 으로압력을표시합니다. 따라서, 상대압을표시할수있습니다. 주 ) Auto Shift 를입력할때는 AUTO SHIFT 단자를최저 [msec]gnd 에접속해주십시오. GND 에접속하고있는동안 LED1 은 0 을표시합니다. 채널선택방법 CH.SELECT 단자 5가개방시, 5 채널 A가선택되고, GND6과접속되어있을때는채널 B가선택됩니다 6. 주 ) CH.SELECT 단자를 GND에접속또는개방한후, [msec] 후에채널이전환됩니다. 조작부의명칭 상한, 하한, 절대압표시 압력표시 (LED2) (LED1) 채널표시선택된채널을표시합니다. UP 버튼 ( 버튼 ) 설정값을증가시킬때사용합니다. PRESSURE SWITCH kpa MPa mmhg kgf/cm 2 bar InHg 단위표시 선택된단위를표시합니다. 출력표시, 의출력상태를표시합니다. ON 시점등. Reset 버튼 (R 버튼 ) DOWN 버튼 ( 버튼 ) 표시 0 Clear, 에러표시해제시사용합니다. 설정값을감소시킬때사용합니다. 오토 Preset 버튼 (A 버튼 ) Set 버튼 (S 버튼 ) 현재압력을직접입력할때사용합니다. 설정값, 각모드의변경시사용합니다. 555

9 PSE0 압력설정방법 설정순서 수동으로압력설정 초기설정 스위치출력을행할압력을설정합니다. 통상동작 [ 접속센서 ][ 표시단위 ] [LED2 표시모드 ] [ 출력모드 ] 를선정합니다. Auto Preset 수동으로압력설정 압력을검출하여표시스위치를동작시킵니다. 흡착을확인할때자동으로압력을설정합니다. Auto Preset 로자동설정한데이터를미세하게조정가능합니다. 압력설정방법 / 표1, 표2, 표3 표 1 압력센서의종류와최소표시단위 주 ) 표 2 LED2의표시내용 표 3 센서의종류 표시단위 PSE511, 521(-1kPa) PSE512(0kPa) PSE5, 520(1MPa) kpa MPa mmhg -1 1 kgf/cm bar 주 ) 단위전환기능부착인경우 ( 단위전환기능이없는타입은, SI 단위 (kpa 또는 MPa) 에고정되어있습니다. 출력방식 InHg 압력 진공도大 LED2( 녹색 ) 의표시내용은아래에나타낸 3 가지모드를선택할수있습니다. 시간 상한 Hold 모드 (L2_P) 다음상한값까지표시를유지합니다. 절대압표시모드 (L2_A) 대기압을기준으로압력을표시합니다. 하한 Hold 모드 (L2_b) 다음하한값까지표시를유지합니다. 출력모드와각설정값의대소관계에따라 4 가지출력형태중에서 1 개를선택할수있습니다. 또한, 1 개채널로각기독립된출력, 설정이가능하며, A, B 2 개채널을외부에서선택할수있습니다., 는외부신호로전환시킵니다. 상세한사항은채널선택방법 p.477을참조하십시오. P YES ON OFF P-2 P-1 압력, 진공도크게 H H 히스테리시스모드 H( 고정응차 )=2% F.S. 출력모드 NO ON OFF P-1 P-2 압력, 진공도크게 윈도우분할모드 도같습니다. n YES NO ON OFF ON OFF n-2 n-1 압력, 진공도크게 H H n-1 n-2 압력, 진공도크게 히스테리시스모드 H( 고정응차 )=2% F.S. 윈도우분할모드 556

10 콘트롤러 PSE0 초기설정 1. 초기설정모드 2. 접속센서의선택 3. 표시단위의선택 버튼을누르면서 S 버튼을 3 초이상눌러주십시오. S 버튼을누르면다음으로 표시단위 가설정됩니다. 버튼으로 접속센서 를선택합니다. LED2의표시 : PSE511 (-0kPa용) : PSE512 (0kPa용) : PSE5, 520 (1MPa용) 4. LED2 표시모드의선택 5. 출력모드의선택 6. 출력모드의선택 버튼, 버튼으로 표시단위 를선택합니다. (P.478 표 1 을참조하십시오.) 주 ) 단위교체기능이없는타입은선택할수있는단위가, 고압용은 MPa, kpa, 진공용과저압용은 kpa입니다. S 버튼을누르면다음에 LED 표시모드 가설정됩니다. ZSE ISE PS ZSP IS ZSM PF IF S 버튼을누르면다음에 출력모드 가설정됩니다. S 버튼을누릅니다. S 버튼을누르면설정이종료됩니다. 버튼으로 LED2의표시모드 를선택합니다. LED2의표시 : 절대압표시 : 상한 Hold : 하한 Hold 버튼으로 의출력모드 를선택합니다. LED2의표시 : : 통상모드 : 반전모드 (P.478 표 2 을참조하십시오.) (P.478 표 3 을참조하십시오.) 버튼으로 의출력모드 를선택합니다. LED2 의표시 : : 통상모드 : 반전모드 수동에의한압력설정 1. 설정값입력모드 ( 수동 ) 2. (1) 의설정값입력 3. (2) 의설정값입력 S 버튼을누르면다음에 (2) 가설정됩니다. S 버튼을누르면다음에 (3) 가설정됩니다. S 버튼을누르십시오. 3 초이하 : 선택된채널 3 초이상 : 선택되지않은채널 버튼 : 설정값을크게합니다. 버튼 : 설정값을작게합니다. R버튼 : 그때의압력값을입력합니다. (P.478 표 3 을참조하십시오.) 버튼 : 설정값을크게합니다. 버튼 : 설정값을작게합니다. R 버튼 : 그때의압력값를입력합니다. 4. (3) 의설정값입력 5. (4) 의설정값입력 S 버튼을누르면다음에 (4) 가설정됩니다. S 버튼을누르면설정이종료됩니다. 버튼 : 설정값을크게합니다. 버튼 : 설정값을작게합니다. R 버튼 : 그때의압력값을입력합니다 버튼 : 설정값을크게합니다. 버튼 : 설정값을작게합니다. R 버튼 : 그때의압력값을입력합니다 557

11 PSE0 압력설정방법 Auto Preset 1. Auto Preset 모드 2. Auto Preset 의준비 3. Auto Preset S 버튼을누르면 의 Auto Preset 이종료됩니다. A 버튼을누르십시오. 3 초이상 6 초이하선택된채널 6 초이상선택되지않은채널 흡착확인의준비 가종료되면, 그상태로 S 버튼을누르십시오. 을설정하지않을경우에는 버튼을누르십시오. 4. Auto Preset 의준비 5. Auto Preset 이상태에서흡착, 비흡착을몇회반복하십시오. 자동으로알맞은설정값이결정됩니다. A 버튼을누르면설정하지않습니다. 흡착확인의준비란, 사용노즐, 진공압이설정된상태를말합니다. S 버튼을누르면 의 Auto Preset 이종료됩니다. 다음노즐또는워크로흡착확인의준비가종료되면 S 버튼을누르십시오. 를설정하지않을경우에는 버튼을누르십시오. 이상태에서흡착, 비흡착을몇회반복하십시오. 자동으로알맞은설정값이결정됩니다. A 버튼을누르면설정되지않습니다. 기타의기능 Key Lock 조작 표시제로 Clear Auto Shift 의 Clear Key Lock 개시 Key Lock 해제 버튼과 버튼을동시에 3 초이상누르십시오. Key Lock 이개시되면채널표시등이점멸합니다. 개시와같이 버튼과 버튼을동시에 3 초이상누르면해제됩니다. 또한, 에러가발생하면자동적으로 Key Lock 은해제됩니다. R 버튼을 3 초이상누르면표시는 0 이됩니다. 단, 정격압 ±2% 이상의압력이가해진경우는 0 Clear 되지않습니다. R 버튼을 2 초이상, 3 초미만누르면표시는 0 Clear 됩니다. 558

12 콘트롤러 PSE0 에러발생시의처치 에러발생시에는다음과같이조치하십시오. 표시내용처치 센서가접속되지않습니다. 센서에규정값이상의압력이인가되어있습니다. 초기에설정된데이터가소거되어있습니다 에 120mA 이상의전류가흐르고있습니다. 에 120mA 이상의전류가흐르고있습니다., 2 에동시에 120mA 이상의전류가흐르고있습니다. 센서를접속하십시오. 센서에인가하고있는압력을낮추십시오. 가까운영업소로문의하십시오. 의부하, 배선을확인하십시오. 의부하, 배선을확인하십시오., 2 의부하, 배선을확인하십시오. 제품개별주의사항 사용전에반드시숙지하여주십시오. 안전상의주의, 게재제품 / 공통주의사항은서문 p.34 35, 각시리즈별공통주의사항은 p.520~522 를확인해주십시오. 경고 배선 1 전원에스위칭레귤레이터를사용할경우에는 FG를접지하십시오. 2 입력신호는 ms 이상에서 ON 하십시오. 주의 취부 1 판넬취부전면은 IP66 사양이되지만, 판넬취부아답터를나사로단단히고정하지않으면물등이침입할우려가있습니다. 따라서, 그림 1과같이, 나사를체결하십시오. 2 그림 2a와같이, 본체밑부분의걸이부를 DIN 레일에걸어화살표방향으로밀어붙여고정해주십시오. 분리시에는일자드라이버등으로화살표방향으로당기십시오.( 그림 2b) 참조 3 판넬취부, DIN 레일에서취부할때에는배선에과대한힘이가해지지않도록주의하십시오. ZSE ISE PS ZSP IS ZSM PF IF 0 clear 시에정격압의 2% 이상의압력이인가되어있습니다. 센서에인가되고있는압력을대기압으로하고 0 clear 하십시오. 판넬취부 그림 1 나사체결은 Panel 접촉후 1/4~1/2 회전 DIN 레일에취부 DIN 레일에서의분리 그림 2a 그림 2b 주의 기타 1 콘트롤러의 Power On Reset 시간은 0.5초입니다. 전원투입직후에는출력하지않으므로주의하십시오. 559

13 PSE0 외형치수도 A: 판넬취부 가스켓 ( 부속품 ) PRESSURE SWITCH 45 8 A 판넬취부아답터 ( 부속품 ) 표시보호커버 ( 옵션 ) (=30) M3 2-M3 8L 30 A 지시도 판넬취부용 Cut 치수 65 이상 n개밀착취부 (Panel Mount 아답터의취부방향에주의 ) 이상 L n 개밀착취부치수 : L=(48n-2.5) +1 0 적용 Panel 두께는 0.5~4mm 입니다. 밀착취부인경우에는내수성이없어집니다. 560

14 콘트롤러 PSE0 B: 벽취부, DIN 레일 (=30) 취부구멍 표시보호커버 ( 옵션 ) ZSE ISE PS PRESSURE SWITCH ZSP IS ZSM PF IF M (MAX.8) 6 50 (54) DIN 레일 L 재질 : 알루미늄 DIN 레일품번표품번 ISA-2-1 ISA-2-2 ISA-2-3 ISA-2-4 ISA-2-5 ISA-2-6 ISA-2-7 L

제품개별주의사항 사용전에반드시읽어주십시오. 안전상의주의, 게재제품 / 공통주의사항에관해서는서문 P.34,35, 각시리즈의공통주의사항은 P.5~P.522 를확인하십시오. 경고 취급. 취급시떨어지거나, 타격이가해지거나, 과대한충격 (980m/s 2 ) 이가해지지않도록하십시

제품개별주의사항 사용전에반드시읽어주십시오. 안전상의주의, 게재제품 / 공통주의사항에관해서는서문 P.34,35, 각시리즈의공통주의사항은 P.5~P.522 를확인하십시오. 경고 취급. 취급시떨어지거나, 타격이가해지거나, 과대한충격 (980m/s 2 ) 이가해지지않도록하십시 고정도디지털압력스위치 ZSE50(60) ISE50(60) 진공용 정압용 Series 스테인레스다이아프램채용측정유체가직접센서부에닿지않는스테인레스다이아프램구조 접액, 접가스부 SUS6 압력센서배관피팅 피팅부 SUS4 미세누설량 센서부, 피팅부는전자빔용접. 설비측의배관피팅에 VCR 및 Swedgelok 사용으로미세누설실현 ZSE50F / ISE50 x 0-5 Pa

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