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1 P-K11-3A

2 SR 2 2 N2 AK 2 1

3 SMC Lock Up - SUP SMC 2

4 P.1 40 P.1 P.1,2 P.4,5 P.2,3 AF30-X2105 SUS P.5 P.7,8 2 ON/OFF P.6,7 P.5,6 3

5 P.7,8 P.3 P.3 ON/OFF P.6 P.5 P SU S P.8 2 SRH4000-X218 SRH4000-X219 SRH4000-X224 15A 20A 25A IN OUT SUS 100 / μm 4

6 P.10 IW21 -X28 IW21 -X42 IW21 -X140 IW21 -X189 IW IW21 L 0.14MPa AW30 AW30-02B-8-X480 SUS AW30--X AW30--X P.10 P.11. IL IL100-02, IL100-02,03-X Lock Up P.11 Lock Up P P.11 5

7 P.10 XYA XYB N2 P.9 P-10-5 P.1 SUP P.12 P.11 P CPA2,CPS1 CP5000 CP8000 P-K

8 VBAT HAA 40 HAW 40 L/min ANR L/min ANR HAA kW HAW kW L VBAT 3/8,1/2,3/4 5,10,20,38 IDF E/IDU E MAX.40 MAX.40 R134a HFCIDF1E 15E1/IDU3E 15E1 R407C HFCIDF22E 240D/IDU22E 75E IDF4E 75E/IDU3E 75E IDF/IDU E, D, B 45, R407C HFC IDF F IDF1E 75E IDF190D, 240D IDF370B IDU3E 75E kW 190,240kW 370kW kW m 3 /min ANR 50Hz 60Hz , , IDF100F IDF125F IDF150F 100kW 125kW 150kW m 3 /min ANR 50Hz 60Hz IDFA E EC CE AC230V 50Hz R134a HFC, R407C HFC 0 IDFA4E 75E EU IDFA F 45, AC380V, AC400V EU R407C HFC EU 1 IDFA3E 75E m 3 /h ANR CE EU IDFA100F-38 IDFA125F-38 IDFA150F-38 IDFA100F-40 IDFA125F-40 IDFA150F m 3 /h ANR CE

9 IDFB E UL AC115V, 230V 60Hz, 3AC460V 60Hz R134a HFC), R407C HFC 0 IDFB4E 75E ID 30 m 3 /h ANR L/min ANR L/min ANR IDFB3E 75E 37 F F F UL,CSA ID IDG 99 AMG IDG1 100 IDG3H 100H IDG30L 100L IDG60S 100S L/min ANR AMG L/min ANR /8 2 AFF, 0.3μm AM μm L/min ANR μm L/min ANR AFF /8 4 B AM /8 2 AMD 0.01μm AMAMD 0.01μm μm L/min ANR μm L/min ANR AMD /8 6 B AMH AMH /8 2

10 IS10 52mm, 15mm IS mA IS MPa MPa 1a IS MPa IP44 ISG2 IS2761 ISG ISG11, 21 ISG12, 22 ISG13, 23 ISG19, 29 IS MPa MPa MPa kPa MPa 1a1b 2ab 1ab1b PFM PFM 2 3 DIN L/min CO2 PF2A 5 PF2A IP65 L/min PF2W IP L/min3 PF3W 90 IP65 PF2W PF3W L/min PF2W L/min

11 ZSE30A F /ISE30A ZSE40A F /ISE40A IP ZSE30AF ZSE30A ISE30A kPa kPa MPa ZSE40AF ZSE40A ISE40A kPa kPa MPa 9.8mm 1/2 ZSE/ISE30A 10 3 ZSE10 F /ISE10 ISE70/75 H IP67 2 M12 ZSE10F ZSE10 ISE kPa kPa MPa ISE70 ISE75 ISE75H 0 1MPa 0 10MPa 0 15MPa ZSE/ISE80 IP VCR, Swagelok PSE53 ZSE80F ZSE80 ISE80 ISE80H kPa kPa MPa MPa PSE531 PSE533 PSE532 PSE kPa kPa 0 101kPa 0 1MPa PSE54 PSE541 PSE543 PSE kPa kPa 0 1MPa 4

12 IS10 52mm, 15mm IS mA IS MPa MPa 1a IS MPa IP44 ISG2 IS2761 ISG ISG11, 21 ISG12, 22 ISG13, 23 ISG19, 29 IS MPa MPa MPa kPa MPa 1a1b 2ab 1ab1b PFM PFM 2 3 DIN L/min CO2 PF2A 5 PF2A IP65 L/min PF2W IP L/min3 PF3W 90 IP65 PF2W PF3W L/min PF2W L/min

13 IFW5 3/4,1 IP42 IP44 IF3 IFW5 L/min ab IF3 L/min ab VX2 2 20% UP 10% Down 30%Down Al,, C37, SUS mmø VX21/22/23 N.C. 1/8 1/2 ø6 ø Y 2 VXK VXD 2 mmø mmø VXK21/22/23 N.C. N.O. 1/8 3/8 2 8 VXD2 N.C. N.O. 1/4 1 8A 50A VXZ 2 mmø VXZ22/23 N.C. N.O. 1/

14 VXE 1/3 2 2 VXP VXE2 VXE2 VXED2 N.C. 1/8 1/2 1/4 1 32A 50A mmø VXP21/22/23 N.C. N.O. 1/4 2 32A 50A mmø VXEZ2 1/ VXR 2 VXH ø10 2MPa 2 mmø mmø VXR21/22/23 N.C. N.O. 1/ VXH N.C. 1/4 1/2 10 VXA 2 mmø VXA21/22 N.C. N.O. 1/8 1/ FGD FGE MAX.60L/min FGDEFGDF SUS316 MAX.230L/min V SUS304 FGD Rc3/8,1/2,3/4 0.7,1MPa MAX.80 FGE R1,2 0.7MPa MAX.80 7

15 FGG MAX.350L/min V MAX.3200L/min FGA FGG Rc2 0.7MPa MAX.80 FGA JIS 10KFF A 1 B 6 B 1MPa MAX.80 MAX.3800L/min Ass'y FGB MAX.80L/min 4Mpa FGC FGB JIS 10KFF A 1 B 6 B 1MPa MAX.80 FGC JIS JPI 1/2 B 1 B 1.2,4MPa MAX.80 FGF MAX.2000L/min , 0.4, 2, 4, 6.13μm FGH FGF Rc2,4 B, 6 B 0.5MPa MAX.80 FGH Rc3/8 1 1MPa MAX.80 MAX.30L/min FQ1 FQ1 Rc1/2,3/4,1 1MPa MAX.80 8

16 HRS LCD W377 H615 D500, 40kg AC V, AC100V,115V CE, UL HRS W 1900W 2400W 5100W ±0.1 HRZ UL, SEMI CE HRZ DC 1 UL, SEMI, CE HRZ HRZ kW ±0.1 HRZ kW ±0.1 HRZD 1 2 DC SEMICE HRW UL, SEMI, CE HRZD kW 2 ±0.1 HRW kW ±0.3 HEC ULCE HEC , 600W 140, 320, 600, 1200W ± ±

17 L XL XLA XLAV() XLC XLCV() XLF XLFV() XLG XLGV() XLD XLDV() XLH XLS Seal Seal O-ring Seal Seal O-ring Seal Seal N.C. N.C. N.C. N.C. SUS316L SUS316L SUS316L ,25 XLAQ/XLDQ L XM/XY L XL L XM XLAQ XLDQ Seal Seal Seal O-ring Seal N.C. SUS316L ,50 L XMA XYA XMC XYC XMD XYD XMH XYH Seal 16 SCS13 SUS304 Seal N.C SUS316L Seal SCS13 SUS O-ring Seal N.C. SUS316L SCS13 SUS304 Seal SUS316L IW IW Rc1/4 IP8 00/IP8 01 MPa μm JISF8007 IP65 IEC TIIS Exd BT5 ATEX 2G Ex ib CT5/T6 ATEX 1G Ex ia CT4/T5/T6 HART IP5000/ IP8000 IP8100 IP8001 IP8101 Rc, NPT, G MPa 1/ mADC IP5000/5100 Rc1/4 MPa MPa

18 IL d2g4. IT Lock Up IL IS IP200 MPa MPa IP200 Rc1/ IL100 Rc1/4,3/8 1 1 MAX.0.7MPa Lock-Up IL201/211 MPa Rc1/ MAX.0.7MPa IT600 IT601 Rc1/4 MPa mADC Exd2BT4 50-VFE VEF 50-VPE VFE/50-VPE IS100 Rc1/4 MPa ab 50-VFE VFE VPE VPE mm Cv W series R 1/4 3/8 1/2 3/4 1 1/4 3/8

19 SUP P SUPR EXH A B P, EA, EB A, B Cv mm 2 5 SS5Y3-X460 SS5Y5-X460 SS5Y7-X460 SY3 20 1/8 M5 0.8 C4 ø4 C6 ø6 SY5 20 SUP EXH /4 1/8 C4 ø4 C6 ø6 C8 ø8 SY7 20 1/4 C8 ø8 C10 ø10 P A/B P A/B P A/B C6 C8 C10 A/B EA/EB A/B EA/EB A/B EA/EB )10 SS5Y75 P EA, EB SY3000 SY3320SY3220 SY3120 1/4 q w e 0.1W r51-sy t SS5Y7-49--X167 yvq , VFR, VFS CC-Link, NKE EA P EB A B A B A B A B A B EA P EB 12

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