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2 VQC000/000 Series 0.W( 0% ) (Ma, Seal)0.W I (S, T, L, M ) IEC0 ) DeviceNet, OFIUS D, CC-Link, EtherNet/I..,.,.,,.,. SI (DeviceNet ) E0 M/M E00 DeviceNet, OFIUS D, CC-Link //, //. ) SI (). () ON/OFF,.,. E00

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4 E00 series C[dm /(s bar)] CYL.EH (//) (Closed Center) DeviceNet OFIUS D CC-Link EtherNet/I.. DeviceNet OFIUS D CC-Link S DeviceNet OFIUS D CC-Link S-Interface CNopen ControlNet EtherNet/I CC-Link : E I : E00 I ( ) E00 I : E0 I VQC000 Series S e a lvqcm00 ø0. S e VQCm a l VQC000 Series S e a lvqcm00..0 ø0. S e a l VQCm0..

5 VQC000/000 Series F T L M D MIL (D ) MIL ( ) ( ). () I () I SU EH, (, ), (, ) 0 I I I C (ø) N (ø/") C (ø.) C (ø) C (ø) M (M) N (ø/") N (ø/") N (ø/") C0 (ø0) N (ø/") C (ø) N (ø/") C (ø) C (ø) C (ø) N (ø/") N (ø/") N (ø/")

6 VQC000/000 Series CJ 0.Ma 0 0mm CM 0.Ma 0 00mm 0.Ma 0 00mm ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø ø VQC0 VQC0 VQC0 VQC0 CJ CM MC T00( ø ø m S00F-0 N00-KM T00( ø ø m S00F-0 N00-KM0

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8 lug-in VQC000 Series VVQC 0 C FD VVQC 0 C SDQ VQC000 lug-in E00 S q w e!0 r t y FLM T S u i o E0 S q 0.(e ) ) S/S-Interface,. in/out in/out w C ø. C ø C ø M M CM L ø. L ø L ø L M ø. ø ø M LM MM ), ) CM, LM, NM. ) ss y MM,. ). Nø/"Nø/" Nø/"NM LN, N. y I/O (E00 S ) ) SI. ) SI I/O. ) I/O SI,.. i (E0 S ) SI (SD0) 0 )S/S-Interface,... i (E0 S ) M M M () t SI Common SI E0 ( ) COM. DeviceNet OFIUS D CC-Link S-Interface CNopen ControlNet COM. N COM. SI COM. COM. N COM. SI COM. COM. N COM. E00 DeviceNet OFIUS D ) SI (SD0). CC-Link E00 ( ) ( ) DeviceNet OFIUS D CC-Link r (E00 S ) M( ) / ( ) ) SI. EtherNet/I EtherNet/I E () CC-Link o (E0 S ) N (COM.) N NN (COM.)!0 ) D D ) K ) N ) S ), DIN ( ) DIN ( ) ( ), ). ) -S ),. ) DIN, D( ). )-D0 DIN.. DIN -D0. ),,. ) -,. ) I. ) E00 DIN DIN. ) E00 SI (SD0), DIN (D). ) E00 DIN, DIN ( ). D nu D.

9 E00 series lug-in VQC000 Series e S ( E00 ) SI E00 ), SD0 SI DeviceNet,OFIUS D, SD CC-Link,EtherNet/I S ( E ()) I () S SD0 SDQ SDN SDV ( ( ) E00 ()) SI DeviceNet OFIUS D CC-Link F (D ) ( ),.., -K. I SI E00 () S ( E0 ()) SI E0 I0 I SD0 SDQ SDN SDV SDT SDT ) SDTC ) SDTD SDY SDZCN SDZEN ) 0, ss'y. SI DeviceNet OFIUS D CC-Link S-Interface in/out Slave Mode S-Interface in/out Slave Mode S-Interface in/out Slave Mode S-Interface in/out Slave Mode CNopen ControlNet (I0) ) EtherNet/I () () () () () () I SI E SDV CC-Link T () FD0 FD FD FD D () D ().m D () m D () m L I0 () D0 D D D 0 () ().m () m () m DC (0) M I0 () () TD0 I 0 (0) LD0 LD LD () 0.m ().m () m I () MD0 () MD ().m MD () m MD () m (-K). ) SDTC, SDTD SI, SI.. ) SDZCN SI I0.( SI I.) I () E00 SI SD E00 SI SDQ SDN SDV DeviceNet OFIUS D CC-Link EtherNet/I DeviceNet CC-Link OFIUS D NN (COM.) E00-Q00 N E00-SDN E00-SMJ E00-S SI SI N ( COM.) E00-Q0 NN E00-SDN E00-SMJ E00-S () E00 () ( )CT.0-. E00, E0 ( ), E (). E0 SI SDQ SDN SDV DeviceNet OFIUS D CC-Link S-Interface SDT (in/out Slave Mode ) S-Interface SDT (in/out Slave Mode ) S-Interface SDTC (in/out Slave Mode ) S-Interface SDTD (in/out Slave Mode ) SDY CNopen SDZCN ControlNet SDZEN EtherNet/I E SI SI SDV CC-Link ED-SMJ SI E0-SDN E0-S E0-SMJ E0-SS E0-SS E0-SS E0-SS E0-SC E0-SCN E0-SEN

10 VQC000 Series VQC 0 0 VQC000 C D E F () () ) ()() () () () () ()() () () () () ()() () ) C ) () () () () N.C. () N.O. () () () () () N.C. () (C) () () () () N.C. () N.O. () N.O. Seal 0 Seal Seal C K ) N ) ) (0.W) (0.W) (.0Ma, 0.W) Common )., K. ) Seal. ) SI COM. Common. ) F Non Lock ush () Lock() CLock() Closed Center () () () () () Exhaust Center () () () ()() ressure Center () () ) Seal D ) DCV DCV E E ) ) S DCV. ) S D Lock() () ()() ss y () M E00-DD ) E00-ED E00-DY SI E00-SDN VQC00N- VQC00N- D U I/O CT.0-. I/O ) VVQ VVQC-0CSDQNset VQC00N- set () VQC00N- set () VVQ000-0-set () E00-DDsetI/O () E00-DY seti/o ().. D.,, D.,, )SI.

11 lug-in VQC000 Series.0. ss'y VVQ SU VVQ C N EH C VVQ000---N SU VVQ000- C(SU) ø C(EH) ø VVQ000-Cm-m EH ss'y VVQC000-- S D- C,C C,M N,N N ss'y - VVQ000- -N N VVQ000- NC-() ss y I0 KQ-m VVQ0000- ss'y VVQ000-F-Lm DIN -D VVQ000- F,L,M,,S(E00) VVQC000--S S(E0) VVQC000--T(T), -S ss'y VVQ000-- C N -K ) D (EH) N00-KM N0-KM I0 I0 VVQ000-FG-mm-m CYL. 0 0 SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. COM.,. ). F.. T. L. M.

12 lug-in VQC000 Series VVQC 0 C FD VVQC 0 C SDQ VQC000 lug-in q w e!0 E00 S r t y FLM T S u i o q 0.(e ) ) S/S-Interface,. in/out in/out w C ø C ø C ø CM L ø L ø L ø ø ø ø LM MM ), ) CM, LM, NM. ) ss y MM,. ). Nø/" Nø/" Nø/" NM LN, N. t SI Common SI E0 ( ) COM. DeviceNet OFIUS D CC-Link S-Interface CNopen ControlNet COM. N COM. SI COM. COM. N COM. E00 DeviceNet OFIUS D CC-Link r (E00 S ) M( ) / ( ) )SI. y I/O (E00 S ) ) SI. ) SI I/O. ) I/O SI,.. i (E0 S ) SI (SD0) 0 EtherNet/I ) S/S-Interface,..0. i (E0 S ) M M M () EtherNet/I E () CC-Link o (E0 S ) N (COM.) N NN ( COM.)!0 ) D D ) K ) N ) S ) T ), DIN ( ) DIN ( ) ( ), U, ). ) -S ),. ) VQC000 / DIN (DIN ) I/O. DIN (DIN ).(.0 DIN.) ) DIN, D( ). )-D0 DIN.. DIN -D0. ),,. ) -,. ) I. ) U SUEH ( ), ø. ) E00 DIN DIN. 0) E00 SI (SD0), DIN (D). ) E00 DIN, DIN ( ). E00 ( ) SI ( ) COM. DeviceNet OFIUS D CC-Link COM. N COM. ) SI (SD0). D nu D.

13 series lug-in VQC000 Series e S ( E00 ) E00 SI E00 ), SD0 SI DeviceNet,OFIUS D, SD CC-Link,EtherNet/I S ( E ()) I () S ( ( ) E00 ()) SD0 SDQ SDN SDV SI DeviceNet OFIUS D CC-Link F (D ) ( ),.., -K. I SI E00 () S ( E0 ()) SI E0 I0 I SD0 SDQ SDN SDV SDT SDT ) SDTC ) SDTD SDY SDZCN SDZEN ) 0, ss'y. SI DeviceNet OFIUS D CC-Link S-Interface in/out Slave Mode S-Interface in/out Slave Mode S-Interface in/out Slave Mode S-Interface in/out Slave Mode CNopen ControlNet (I0) ) EtherNet/I () () () () () () I0 I SI E SDV CC-Link T () FD0 FD FD FD D () D ().m D () m D () m L I0 () D0 D D D () ().m () m () m DC (0) M () () TD0 I 0 (0) LD0 LD LD () 0.m ().m () m I () MD0 () MD ().m MD () m MD () m (-K). ) SDTC, SDTD SI, SI.. ) SDZCN SI I0.( SI I.) I () E00 SI SD E00 SI SDQ SDN SDV DeviceNet OFIUS D CC-Link EtherNet/I DeviceNet CC-Link OFIUS D NN (COM.) E00-Q00 N E00-SDN E00-SMJ E00-S SI SI N ( COM.) E00-Q0 NN E00-SDN E00-SMJ E00-S () E00 () ( )CT.0-. E00, E0 ( ), E (). E0 SI SDQ SDN SDV DeviceNet OFIUS D CC-Link S-Interface SDT (in/out Slave Mode ) S-Interface SDT (in/out Slave Mode ) S-Interface SDTC (in/out Slave Mode ) S-Interface SDTD (in/out Slave Mode ) SDY CNopen SDZCN ControlNet SDZEN EtherNet/I E SI SI SDV CC-Link ED-SMJ SI E0-SDN E0-S E0-SMJ E0-SS E0-SS E0-SS E0-SS E0-SC E0-SCN E0-SEN 0

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15 IN IN lug-in VQC000 Series.. ss'y VVQ SU C VVQ000---N EH C VVQ000---N SU VVQ000- C(SU) ø C(EH) ø EH VVQ000- ss'y[-] VVQ000- -N VVQ000-N-() KQ-m VVQ000- DIN -D VVQC000- F,L,M,,S(E00) VVQC000--S S(E0) VVQC000--T(T), -S (EH) N00-KM0 I0 I0 ss'y VVQ000-F-Lm ss'y VVQ000--C0 N -K ) D VVQ000-FG-mm-m CYL. 0 0 SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. COM.,. ). F.. T. L. M.

16 VQC000/000 Series lug-in () () ) ms 0.W 0.W g VQC000 /(/) //(//) C[dm /(s bar)] b Cv C[dm /(s bar)] b Cv () () () () () () Seal Seal Seal Seal VQC00 VQC0 VQC00 VQC0 () () () () () () Closed Center Exhaust Center Seal Seal Seal Seal VQC00 VQC0 VQC00 VQC () () () Closed Center () () ressure Center Seal Seal Seal VQC00 VQC0 VQC 0 C () () () Exhaust Center () () () () () ressure Center ()() () () () N.C. N.C. () N.O. N.O. (C) VQC000 () Closed Center Exhaust Center ressure Center Seal Seal Seal Seal Seal Seal Seal Seal Seal Seal Seal VQC00 VQC0 VQC00 VQC0 VQC00 VQC0 VQC00 VQC0 VQC00 VQC0 VQC 0 C ) VQC000 : C. VQC000 : C. ) JIS- ( 0.Ma,..) ON N.C. N.O.

17 lug-in VQC000/000 Series Seal Seal 0.Ma(.0Ma) 0.Ma 0.Ma 0.Ma 0.Ma 0.Ma 00 ) ushlock( ) 00m/s ) (I ) ) DCV ±0 0.Ma 0.Ma DCV DC0.W(m), DC0.W(0m) ) () DCV DC0.W(m), DC0.W(0m) ) ). ),. 000Hz,,,. ).,. ), (0.W). ), (, ), (, ) ) g VQC000 VQC000 VVQC-mmm VVQC-mmm F-D - T- S- L- M- C(ø) C0(ø0) C(ø) C(ø.) C(ø) C(ø) M(M) C(ø) C(ø) C(ø) F, L, M, ( ) T () 0 S ( ) :E00 ~:E0 VQC 00- VQC 0- VQC 00- VQC 0- () () 0 () () ). ).

18 VQC Series S VQC000/000 Series ( ) E00 VVQC S ( E00) I (L) ().. (L) L L. 0.. (.) (.).. (0) W COM E00 series () SI M D n U M, C()EH Cø DIN () (.) M, C,C,C,M(),() Cø. Cø Cø MM C()SU Cø DIN -D(DIN ). L L L L L n L0.n L0.n. n( )

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20 VQC Series S () VQC000 Series ( ) E00 VVQC S ( E00) M L (.) L(.) L. L. L 0.. I 0. 0 (.) (.) () (0). FE M SI L L M DIN (). 0.. C, C, C, M(), () Cø. Cø Cø MM D n U C()EH Cø DIN C()SU Cø. LL0. L0. n. LL n L(LL)/ L0. n L n. LDIN I/O (n) (n)

21 lug-in VQC Series S VQC000 Series ( ) E00 I VVQC S ( E00) / () LL0. L0. n. LL. n L(LL)/ L0. n L n FE (.) (.) M DIN.. (). (.) L L(.) L L. L 0. SI L C, C, C, M(),() Cø. Cø Cø MM. D n U 0. L 0. (.) () (0) M C()EH Cø DIN. C()SU Cø LDIN I/O (n) (n) SFT L M

22 VQC Series S () VQC000 Series ( ) E00 VVQC S ( E00) M (.). L L L(.) L L. I (.) (.) () (.) FE M SI. L L C0()EH( C) C0ø0 (Cø ) M. DIN. 0. C0()EH C0ø0 D n U DIN 0.. () (.) C0()SU C0ø0 0. LL0. L n. LL n L(LL)/ L n L n. C, C, C(), () Cø Cø Cø C0()SU( C) C0ø0 (Cø ) LDIN I/O (n) (n)

23 lug-in VQC Series S VQC000 Series ( ) E00 I VVQC S ( E00) / () LL0. L n. LL. n L(LL)/ L n L n FE M DIN (.) L(.) L. L L (.).. () (.) SI L C0()EH C0ø0 C0()SU C0ø0. D C, C, C(),() Cø Cø Cø 0. L. L (.) () C0()EH( : C) C0ø0 (Cø ) n U (.) 0 0. M DIN C0()SU( C) C0ø0 (Cø ) LDIN I/O (n) (n) SFT0 L M

24 VQC Series S VQC000/ 000 Series ( ) E0 VVQC S ( E0) I (L) ().. 0. (L) L L. 0.. (.) (.). 0 () (0) SI M D n U C()EH Cø M, M DIN 0 0 US W () (.) M C,C,C,M(),() Cø. Cø Cø MM C()SU Cø DIN -D(DIN ). L L L L L n L0.n L0.n.(. mm.) n( )

25 S VVQC S ( E0) () L L L L L n () (.). 0 M, (.) 0 SI C0()EH C0ø0 0 M M US W C0()SU C0ø0 (L) (L) L C,C,C(),() Cø Cø Cø lug-in VQC Series VQC000/ 000 Series ( ) E0 0. L.. C0()EH( C) C0ø0 (Cø ) D n U (.). 0 (.) C0()SU( C) C0ø0 (Cø ). () 0 M I. 0. DIN DIN -D(DIN ). Ln Ln(. mm.) n( ) SFT L M

26 0 MODEL SV (SI No.ED-SMJ) LE. D SD W LUN TE STTION NO. VQC Series S VQC000/ 000 Series ( ) E I VVQC S ( E) (L) (). CC-Link SI ED-SMJ. (L) L L 0... (.) 0 (0) (.) () 0 (). M D n U G/ C()EH Cø DIN () (.). C,C,C,M(),() Cø. Cø Cø MM C()SU Cø DIN -D(DIN ). L n L L L L L L 0mm..... L0.nL0.n.n( )

27 lug-in VQC Series S VQC000/ 000 Series ( ) E I VVQC S ( E) () (.) G/ 0 (.) SI. C0()SU C0ø0. C,C,C(),() Cø Cø Cø L n L L L L L L 0mm. (L) (L) L C0()EH C0ø0 L. 0. C0()EH( C) C0ø0 (Cø ) M D n U (.) (.). () 0 C0()SU( C) C0ø0 (Cø ) DIN DIN -D(DIN ). LnLnn( ) SFT L M

28 VQC Series F VQC000/000 Series I0 D,,. MIL D ().. D ( ) SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. COM., (SOL., SOL. ).,. (). 0 D ss'y 0 (T00-DS- 00 ) 00 ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () 0 ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () 0 ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () 0 () ( ) ) +Common Common ) Common Common.,..,,. ss'y T00-DS L D ss'y.. (.) D ss'y (L).m m m Ω/km, 0 V,, C MΩ/km, 0 0 SMC ss y T00-DS-0 T00-DS-00 T00-DS mm ø. ø0.0 Seal( ) M. 0. D-SF-N () 0.mm D ss'y 0 0 MIL-C )D 0mm. () () () () COM.

29 lug-in VQC Series F VQC000/000 Series (D ) I0 VVQC L L L L L n () D () (MIL-C-0 ) DIN -D FS.... VVQC () D () (MIL-C-0 ) DIN -D FU. L L L L L n () (.). (0) () (.) C,C,C,M(),() Cø. Cø Cø MM C0()SU C0ø0 C,C,C(),() Cø Cø Cø (L) (L) L L. 0.. U (L) (L) L L.. U.. C0()EH C0ø (.) (.) ()... M C()EH Cø DIN 0. C()SU Cø L0.n L0.n0 n( ) (.). (.) M () C0()EH( C) C0ø0 (Cø ) DIN C0()SU( C) C0ø0 (Cø ) Ln Ln0. n( ) SFT L M

30 VQC Series VQC000/000 Series I0,,. MIL (), (0) (SOL., SOL. ).,. (). ss'y 0 T00-FC - ss'y.. 0 (0).() WG 0 SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. COM. COM. ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) 0 ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) 0 ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) () () +Common () () () () () () () () () () () () () () () () () () () () () () () () ( ) ( ) ) Common 0 SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. 0 ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () COM. () ( ) COM. 0 () ( ) +Common ) Common ss'y (L).m m m ss y T00-FC- T00-FC- T00-FC- 0 T00-FC0- T00-FC0- T00-FC0- MIL-C COM. () -M() () () () () COM. (.) L ) Common Common. 0 0 COM. 0 0 COM.,..,,. ( ) (0 )

31 lug-in VQC Series VQC000/000 Series () I0 VVQC L L L L L L L L L L n n () () DIN -D U. VVQC.. (0). () (MIL-C-0 ) () (.). 0 (L) (L) L L. 0. C,C,C,M(),() Cø. Cø Cø MM. 0. (L) (L) L L () (.) (.) 0. () (MIL-C-0 ) DIN -D U C0()SU C0ø U C0()EH C0ø0 C,C,C(),() Cø Cø Cø (.) (.) () M U M C()EH Cø DIN C()SU Cø L0.n L0.n0 n( ) (.) (.) () C0()EH( C) C0ø0 (Cø ) DIN C0()SU( C) C0ø0 (Cø ) Ln Ln0. n( ) SFT L M

32 VQC Series T VQC000/000 Series I. G/.. (M). (M).,.,. M mm G/.. Nm 0... S,.Y,.Y N,.Y. VVQ000-N-T ss'y(g/)t00-0 (I ) 0 0 COM 0 COM (SOL., SOL. ).,. 0 ) Common Common. 0 SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. ( ) () SOL. 0 ( ) () SOL. 0 ( ) () COM. () +Common ( ) ) Common,..,, 0.. -K,,..,. 0 0 COM 0 COM 0

33 D D lug-in VQC Series T VQC000/000 Series () I VVQC L L L L L n () () DIN -D(DIN ). VVQC.... DIN -D(DIN ). L L L L L n () M G/. 0. () (.) () (.) () G/. 0 U (L) (L) L C,C,C,M(),() Cø. Cø Cø MM U L. 0. C0()SU C0ø0 C,C,C(),() Cø Cø Cø M U.. C()EH Cø (.) (0) (.) (L) (L) L L. 0. C0()EH C0ø0.. U (). DIN 0.. C()SU Cø L0.n L0.n. n( 0) (.). 0. (.) () M C0()SU( C) C0ø0 (Cø ) Ln Ln n( 0) C0()EH( C) C0ø0 (Cø ) DIN SFT0 L M

34 VQC Series L VQC000/000 Series I. I 0.mm 0 SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. COM. (SOL., SOL. ).,. (). ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () 0 ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () 0 ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () ( ) () () ( ) ) +Common Common ) Common Common. VVQC 0 C LD 0 Ω/km, V,, C MΩ/km, 0 ). 0mm. 0 0.m.m.0m,..,,.

35 lug-in VQC Series L VQC000/000 Series ( ) I VVQC L L L L L n VVQC L L L L L n () DIN -D(DIN ) () DIN -D(DIN ) () (.) m,.m,m. C,C,C,M(),() Cø. Cø Cø MM (.). 0.m,.m,m C0()SU C0ø0 C,C,C(),() Cø Cø Cø (L) (L) L L 0.. U (L) (L) L L U C0()EH C0ø (.). (.) M (.) () () 0.. C()EH Cø DIN C()SU Cø L0.n L0.n0 n( ) (.) 0. (.) M 0. () C0()EH( C) C0ø0 (Cø ) DIN 0.. C0()SU( C) C0ø0 (Cø ) Ln Ln0. n( ) SFT L M

36 VQC Series M VQC000/000 Series I,. I! q!! e! r! t!0 y o i u 0 (SOL., SOL. ).,. (). SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. SOL. COM. COM. 0 0 ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) () () +Common () () () () () () () () () () () () () () () () () () () () () () () () ( ) ( ) ) Common ) Common Common.,..,,. ss'y T00-MC ss'y.. L 0 ss'y ss y (L).m m m 0 ø0 0.mm ø. ø0 Seal ( ) 0 0 M T00-MC-0 T00-MC-00 T00-MC ss'y 0 0 Ω/km, 0 V,, C 000 MΩ/km, 0 ) 0mm.

37 lug-in VQC Series M VQC000/000 Series ( ) I VVQC L L L L L n VVQC L L L L L n (). ss'y T00-MC-0.m T00-MC-00m T00-MC-00m DIN -D(DIN )..... () ss'y T00-MC-0.m T00-MC-00m T00-MC-00m DIN -D(DIN ) () (.) (0) 0 0 C,C,C,M(),() Cø. Cø Cø MM (.)... (L) (L) L L. 0. () CONINVES () CONINVES C0()SU C0ø0.. C,C,C(),() Cø Cø Cø 0... U (.).. (L) (L) L L U C0()EH C0ø (.) M... (.) () (). C()EH Cø DIN 0. C()SU Cø L0.n L0.n0 n( ) (.) 0. (.) M 0. () C0()EH( C) C0ø0 (Cø ) DIN 0.. C0()SU( C) C0ø0 (Cø ) Ln Ln0. n( ) SFT L M

38 VQC000/000 Series lug-in VQC000 eqw eqw r VQC00 ()() ()()() r VQC0 ()() ()()() eq w eqw VQC00 ()() VQC0 ()() ()()() ()()() r eqw r eq w VQC00 ()() VQC00 ()() VQC0 ()() VQC0 ()() r ()()() VQC00 ()() ()()() r ()()() VQC0 ()() ()()() ()()() ()()() eq w VQC0 () () VQC0 () () r () VQCC0 () () () () () () () () () () ss'y ) ss'y.. ss'y HN ) ss'y..

39 lug-in VQC000/000 Series lug-in VQC000 r r r e VQC00 VQC00 ()( ((( ()( ((( VQC00 ()( ((( VQC00 ()( ((( q w e q w VQC00 ()( ((( e q w VQC0 VQC0 ()( ((( e q w ()( ((( e q w e q w ss'y ) ss'y.. r r r r ss'y VQC0 ()( VQC0 ()( VQC0 ( ( VQCC0 ( ( ((( ((( e q w ( ( ( ( ( ( VQC0 ()( VQC0 ( HN ( ) ss'y.. ((( ( ( ( SFT L M

40 S) FTLMVQC000/000 Series ss'y SI D ss'y ss'y U ss'y E 0 q E00 ÇìÇÖÇíÇâÇÖÇì 0 E 0 e ( 0 E y i w t r 0 E o!0!!!! (D )! ( )! ()! ()! ( )!

41 lug-in VQC000/000 Series ss'y ss'y SI q w e r t y u i o!!!! SI SI SI ss'y!0 SI D ss'y ss'y ss'y! ss'y E00-Q00 E00-Q0 E00-SDN E00-SDN E00-SMJ E00-SMJ E00-S E00-S E00-DN E00-D E00-DNC E00-DNC E00-DC E00-DC E00-DND E00-DD E00-DYN E00-DY E00- E00-ED E00-ED- E00-ED E00-ED- E0-S E0-SMJ E0-SS E0-SS E0-SS E0-SS E0-SC E0-SCN E0-SDN E0-SEN E0-IE E0-IE E0-IE E0-E E0-E ED-SMJ VVQC000-- VVQC000-F- VVQC000-- VVQC VVQC000-T0- VVQC000-L-0- VVQC000-L-- VVQC000-L-- DeviceNet, OFIUS D, CC-Link, EtherNet/I (COM.) DeviceNet, OFIUS D, CC-Link, EtherNet/I ( COM.) DeviceNet N( COM.) DeviceNet NN(COM.) CC-Link N( COM.) CC-Link NN(COM.) OFIUS D N( COM.) OFIUS D NN(COM.) NN M () N M () NN M () NN M () N M () N M () NN M () N M () NN M () N M () M () M M DIN / / DIN OFIUS D ( COM.) CC-Link(COM.) S-Interface SLVE IN/ OUT ( COM.) S-Interface SLVE IN/ OUT ( COM.) S-Interface SLVE IN/ OUT ( COM.) S-Interface SLVE IN/ OUT ( COM.) CNopen ( COM.) ControlNet ( COM.) DeviceNet ( COM.) EtherNet/I ( COM.) M M M DIN CC-Link (COM.) E SI F 0 T L 0.m L.m L.0m SFT L M! ss'y VVQC000-M- M

42 VQC000/000 Series ss'y D ss'y!d ss'y VVQC 000 VQC000 VQC000 C C0 N N VQC000 VQC000 S U ss'y VVQC VQC000 VQC C C C0 C N N N ) VQC000 VQC000 VQC000 S, ss'y! ss'y VVQC C ø. C ø C ø C ø N ø/" N ø/" N ø/" N ø/" M M 000 D C VQC000 VQC000 ) () VQC000! ss'y () VQC000 VQC000 K D S ss'y V DCV DCV VVQC000-T- VVQC000-T- ). ss'y. ) 0 (0.W) (0.W) (.0Ma, 0.W) VQC000

43 lug-in VQC000 Series VQC000 ss'y VVQ000-0-,. SU C VVQ N.( ) SU.( ) SU. set. (SU SU, SU.) SU.,. EH C VVQ N,.( ). ( ) EH. set. EH ss'y, EH ss'y. EH, EH. EH.,. SU VVQ000-,.. Seal Seal. (SU, SU EH ) Seal. EH EH ss'y SU SU D U D C(SU ) ø EH D U CEH ø U Seal SU D D EH VVQ000---C SU SU EH. EH EH ss'y ( ) SUEH SU EH ss'y ( ) U U SFT0 L M

44 VQC000 Series VQC000 VVQ000-C - (mm) ,. N,. ).. ss'y C ss'y T- - (mm) EH ss'y VVQC000---C,C,C,M,N,N,N D EH ss y U S D ss'y. EH ss'y EH D. EH. Seal Seal. (EH, SUEH ) EH Seal. EH EH D U., EH ss'y. SUEH ss'y- VVQ000-. (EH)., Exhaust Center., -.( ) ),. set. ss'y ss y, N VVQ000- N -( ) NC N NC.. "VVQ000-NC-n". -N. ) ( ) VVQ000-NC-n KQ- SUEH. 0. ød. KQ- KQ-0 KQ-0 KQ-0 L D ød /" /" /" /" KQ-0 KQ-0 KQ-0 KQ-0 L D

45 lug-in VQC000 Series VVQ CM, (), (). M. ss'y VVQ000-F-L(C,C,C,M,N,N,N. L.( ), ss'y,. ss'y, EH, N0-KM. N00-KM. DIN -D VVQ000- VVQC000--S VVQC000--T DIN. -D. DIN set set(din )., -S.,.( 0d) -S. ).. ss'y VVQ000-- C N.. ø ø/". CM. ss'y,. ss'y,. (EH ) EH ( ). ss'y(vvq000-f-l) N0-KM. N00-KM. DIN ød L D VQ000 N00-KM N0-KM mm 0 d 0 SFT L M

46 VQC000 Series VQC000 ( )VQC000 VQ000-FG--,. Exhaust Center,.,, SU. 0.Ma 0.Ma 0 0.0dm /(sbar) 0CM ) JIS- ( 0.Ma) CYL. SU () VVQ000-FG-0set VQ000-FG-CM-D VQ000-FG- IN M M C ø. C ø C ø N ø/" N ø/" C (DIN ) VVQ000-FG- 0 VVQ000-FG-0 VQ000-FG- CM-D,set VQ000-FG- CM-D,set M DIN D. Ln0n( ) L n 0 L L L L n 0 L 0 0 L L F OUT M M C ø. C ø C ø N ø/" N ø/" 0 ss'y VQ000-FG-F 0.0.Nm F D N DIN () ),. ) -DN D DIN Exhaust Center,,.,,,. (M ). Closed Centerressure Center. M ss'y.. { 0..Nm. SU. U

47 lug-in VQC000 Series VQC000 ss'y VVQ000-0-,. C N.( ) SU.( ) SU. set. SU (SU SU SU.) SU.,. SU VVQ EH C VVQ000---N,.( ). ( ) EH. set.(eh EH, set() EH.) SU VVQ000-,. EH VVQ000- EH. EH.. set EH EH.,.. Seal D U D U ss'y- VVQ000-. (EH)., Exhaust Center., -.( ) ),. SU D U D U CSU ø Seal SU Seal. EH CEH ø Seal EH Seal. set D D SU SU SU U EH EH EH U Seal Seal. (SU, SUEH ) SU EH SU EH Seal. Seal Seal. (EH, SUEH ) SU EH Seal.. ss'y ss y,.. 0. SFT L M

48 VQC000 Series VQC000 -N VVQ000-N-.. -N. n: KQ- SUEH. 0. ød 0 /" /" /" /" KQ-0 KQ-0 KQ-0 KQ-0 KQ-0 KQ-0 KQ-0 KQ- L D VVQ000-. CM,. DIN -D VVQC000- VVQC000--S VVQC000--T) DIN. -D. DIN set set(din ). DIN, -S.,.( 0d) -S. ).. (EH ) EH ( ). L D ød VQ000 mm (Cv) d 0 N00-KM ss'y VVQ000-F-LC,C,C,N,N,N., ss'y,. ss'y VVQ000-- C0 N.. ø0 ø/". CM. ss'y,.

49 IN IN lug-in VQC000 Series ( )VQC000 VQ000-FG--,. Exhaust Center,.,, SU. (.) 0 (.) (C, C ). (C, C ) VQ000-FG- 0 IN 0 c/ 0 c/ C ø C ø N ø/" N ø/" (DIN ) VVQ000-FG- 0 DIN D. VVQ000-FG-0 VQ000-FG- CC-D, set VQ000-FG- CC-D, set IN () (.). (.). 0.Ma 0.Ma 0.0dm /(sbar) 0 c.p.m c/, /, C, C Cø ss'y Cø ss'y. M. (0) (). c/, /, C, C Cø ss'y Cø ss'y. M (.). 0 F 0. n L L L L. OUT 0 c/ 0 c/ C ø C ø N ø/" N ø/" 0 ss'y 0. ) JIS- ( 0.Ma) L n L L L VQ000-FG-F (.) 0..0Nm L=n+n : D F N.. DIN c/, /, C, C Cø ss'y Cø ss'y c/ c/ DIN () ),. ) -DN Nm ~ ~ L L L = IN IN CYL. IN D n. U.. () (.) 0 (.). SU () c/, /, C, C Cø ss'y Cø ss'y,,.,,,.. Closed Centerressure Center... SU. (C, C ) (C, C ) SFT L M

50 .. (ISO/IEC), (JIS) ) ). ISO : neumatic fluid power -- General rules relating to systems. ISO : Hydraulic fluid power -- General rules relating to systems. IEC 00-: Safety of machinery -- Electrical equipment of machines.art : General requirements ISO 0-: Manipulating industrial robots -Safety. JIS 0: JIS : JIS 0-: () JIS -:...,...,....,..,..,.,,,,,,,,,,,,...,.

51 ,.. FJGTLSM

52 VQC000/000 Seriesq.,, SMC (M-0-).,,. ush(). Lock (). Non-Lock ush() Lock() < > ø. OFF ON ø. ø. OFF ON VQC000 VQC000 VQC000. ø OFF Lock() <> ON ø. ø. ø OFF ON ON VQC000 VQC000 0 Lock.. VQC000 OFF Lock() <> 0mm mm (ON) Lock. (OFF). ø. ush.(vqc000 ø ), 0 Lock.. VQC000 VQC000 Lock,.(0.Nm ) ( ).....( Lock.).( VQC000 : 0.~0.Nm, VQC000 : 0.~0.Nm) Seal

53 VQC000/000 Seriesw.,, SMC (M-0-)..... ø. ø ø ø M ø/" ø/" ø/" ø/" ss y VQC000 VQC000 ss'y VQC000 VQC000 VVQ000-0-C VVQ000-0-C VVQ000--C VVQ000-0-C VVQ000--C VVQ000--C VVQ000-0-M VVQ000-0-N VVQ000-0-N VVQ000--N VVQ000-0-N VVQ000--N VVQ000--N.,. ss y ) O-ring. ) M ss'y,.( 0.~. N m) ) 0.,.. ( VQC000 ) DC ) () () () () ( ) ( ) FJGTLSM

54 VQC000/000 Seriese.,, SMC (M-0-). ). ) w. DIN, w q I I I..,,. ) DIN. ), DIN Nm. q w set 0.,. VQC000 VVQ000-- VQC000 VVQ000-- est neumatics No.q.

55 F.,,.,,.,.,,,,,,,.,,...,. VQC000/000 Seriesr.,, SMC (M-0-)...,..,..,....,.. II, M SI... E00, E0, E,, (, ). UL. () UL0 () : 0Vrms(.V ) : ( ) ( ) (V ) 00[V] 0[V] 0[V] ()UL0 UL 0Vrms(.V) ( )., FJGTLSM

56 VQC000/000 Seriest.,, SMC (M-0-). E00,.,.... ) UL0 ()0[Vrms](.[V]) [] ( ) ( ) ) UL0 UL 0[Vrms](.[V ]) ( ),.,, V,.. [V ] 00[V] 0[V] 0[V].,. []..0 00,.,..,..,.., I.., /..,....

57 E00. (). (, ),, VQC000/000 Seriesy.,, SMC (M-0-). I/,,. ), M. ). ).,., I0,... ) ) ) ), ( ).. ( ),,..,.,...,... FJGTLSM

58 VQC000/000 Seriesu.,, SMC (M-0-). E00., LCD.,.,..,.. LC.,.. SI, SI. (0.0.N m) VQC000 VQC000,.., DeviceNet TM is a trademark of ODV..

59 (K00-0) SMC neumatics Korea Co., Ltd. ll ights eserved. TEL: F: N N *.

ITVX-A-C1

ITVX-A-C1 5.0MPa New RoHS 5.0 5.0MPa 5.0MPa 0.01 3.0 0.01 3.0MPa 3000 3000L/min ANR 5.0MPa3.0MPa Ar N2 N2O2ArO2 O2 P.2. 3W ITVX Series CAT.KS60-21A 5.0MPa ITVX2000 Series RoHS ITVX2 030 0 1 3 S 2 ITVX2000 0 ) )

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