일반가스용레귤레이터 구성예 1T Series 가스공급설비 가스봄베 ( 실린더 ) 가스공급설비 (1 차측고압용 ) 실린더캐비넷 가스공급압의조압 가스조압에사용 분배패널 ( 라인용 ) 프로세스툴 ( 분석기기, 레이저가공기등 ) 진공챔버 퍼지를위한퍼지가스를조압 누설검사기 검사

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혜옥 정
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1 일반가스용레귤레이터 1T Series 표준타입 제품의소형, 경량화를실현 일반산업용도까지사용가능한.52kg 97.5mm 배관구성대반도체부터다이어프램을포함한접촉유체부는 질량 내부용적을작게설계하여가스쌓임을저감 입구측고압대응 유량범위 외부장평 최24.1MPa <12slpm Pa m 3 /s 높이 컴프레션피팅 NPT 암나사 Rc 나사중선택가능 ( 시트는불소수지 ) 내식성을필요로하는경우는내부재질 Ni-Cr-Mo 합금사양도가능부동태화처리를실시 사양 정밀세정을실시 RoHS 레귤레이터AP 다이어프램밸브진공제너레이터플로스위치용기어술해자설료/공통주의사항153 추천기종

2 일반가스용레귤레이터 구성예 1T Series 가스공급설비 가스봄베 ( 실린더 ) 가스공급설비 (1 차측고압용 ) 실린더캐비넷 가스공급압의조압 가스조압에사용 분배패널 ( 라인용 ) 프로세스툴 ( 분석기기, 레이저가공기등 ) 진공챔버 퍼지를위한퍼지가스를조압 누설검사기 검사용헬륨가스의조압 레이저가공기분석기기가스충진포장기 조정가스의조압에사용캐리어가스의조압변질방지를위한비활성가스조압 관련상품 다이어프램밸브일반가스용 Series 상세내용은 WEB 카탈로그를참조해주십시오. 배관접속에 Rc, R, NPT 를시리즈화 반도체부터일반산업용도까지사용가능한표준모델 정밀세정을실시 액추에이터의높이를낮추어제품의소형, 경량화를실현 (3542, 4542) 조작포트 M5 나사 (3542, 4542) 핸들구조를개량하여제품의소형, 경량화를실현 (3652, 4652) 손잡이부착핸들을채용하여조작성, 시인성이향상 (3652, 4652) 시리즈타입몸체재질배관접속배관사이즈 에어오퍼레이트타입 매뉴얼타입 컴프레션피팅 Rc, R, NPT 1/4", 3/8" 154

3 추천기종 Series 적용유체 선정주의 적절한기기의선정은유체의적합성외에시스템디자인, 유량유지시간, 사용빈도, 주위상황, 압력조건등의파라미터에큰영향을받습니다. 특정용도, 특정파라미터에서는기기의고장등을일으키는경우가있으므로양해바랍니다. 적용유체 아르곤 할로카본 114 할로카본 115 할로카본 116 아세틸렌가스 불화비닐리덴 할로카본 134A 펜타플루오로에탄 헥사플루오로프로필렌 할로카본 R218 헥사플루오로프로필렌 프로필렌 프로판 파플루오로시크로부탄 삼불화붕소 (11) 아르신 삼염화붕소 삼불화붕소 에틸렌 디메틸실란 퍼플루오로 1,3 부타디엔 부타디엔 옥타플루오로시클로펜텐 할로카본 12B2 트리메틸실란 브로모메탄 염화메틸 플루오르메탄 메탄올 메틸실란 할로카본 21 염소 삼불화염소 일산화탄소 불화카르보닐 게르만 Ar C2Cl2F4 C2ClF5 C2F6 C2H2 C2H2F2 C2H2F4 C2HF5 C3F6 C3F8 C3H2F6 C3H6 C3H8 C4F8 1- 부탄 C4H8 n- 부탄 C4H1 11BF3 AsH3 BCl3 BF3 C2H4 C2SiH8 C4F6 C4H6 C5F8 CBr2F2 (CH3)3SiH CH3Br CH3Cl CH3F CH3OH CH3SiH3 CHCl2F Cl2 ClF3 CO COF2 GeH4 삼불화브롬화메탄 할로카본 12 삼불화염화메탄 사불화메탄 디플루오르메탄 메탄 트리플루오르메탄 이산화탄소 황화수소 셀렌화수소 브롬화수소 염화수소 불화수소 아산화질소 삼불화질소 암모니아 일산화질소 오불화인 포스핀 사산화유황 육불화유황 디실란 사염화규소 사불화규소 디클로로실란 모노실란 트리클로로실란 이산화유황 ( 아황산가스 ) SO2 디에틸텔루라이드 육불화텅스텐 하기 표시에서나타내는유체는독성가스 ( 허용농도 2ppm 이하의가스 ) 입니다. 고압가스안전법에따르면가스설비에관련된배관, 피팅및밸브의접합은테이퍼나사 (Rc, R, NPT 등 ) 에의한접합은인정하고있지않습니다. 적용유체는어디까지나기준으로서의참고이며, 제품사용을보증하는것이아닙니다. 여기에게재된것이외에는당사에확인하여주십시오. 주의 수소 헬륨 크립톤 질소 네온 산소 크세논 CBrF3 CCl2F2 CClF3 CF4 CH2F2 CH4 CHF3 CO2 H2 He Kr N2 Ne O2 Xe H2S H2Se HBr HCl HF N2O NF3 NH3 NO PF5 PH3 SF4 SF6 Si2H6 SiCl4 SiF4 SiH2Cl2 SiH4 SiHCl3 Te(C2H5)2 시스템에서의적합성결정은시스템설계자또는사양을결정하는분께서필요에따라서분석이나테스트를하고나서결정하여주십시오. 이시스템의소기성능, 안정성의보증은시스템의적합성을결정한분의책임이됩니다. 안전에문제가없는동작을확실하게하기위해적절한설치, 작동및메인터넌스를실시하시기바랍니다. WF6 레AP 155 귤레이터다이어프램밸브진공제너레이터플로스위치용어해설기술자료/공통주의사항

일반가스용레귤레이터 1T Series 입구측고압대응최대 24.1MPa 유량범위 <12slpm 내식성을필요로하는경우는내부재질 Ni-Cr-Mo 합금사양도가능 소 중유량 1 설정압력 기호 설정압력범위 1.5 to 1 psig(.34 to.7 MPa) 2 1 to 3 psig(.7 to.2 MPa) 6 2 to 6 psig(.14 to.

MPa) 재질 기호 몸체 포핏 다이어프램 S SUS 316 SUS 316 SHP Ni-Cr-Mo합금 Ni-Cr-Mo합금 사양 포트수 기호 포트수 포트위치 배관접속 4 4BR 4T 6T 4PL 4포트아래그림 ( 포트위치 ) 5PC 5포트 참조 포트위치 w 품번기입예 12TS 배관접속방식 ( 입구측q, 출구측w) 배관조합기호배관접속방식 4 4BR 4T

가스접촉부재질 t 압력계표시주 ) 기호내용무기호적용없음 MPA MPa 주 ) 압력계부착을선택한경우는 MPA 기호를붙여주십시오. 시트재질기호재질무기호 PCTFE( 표준 ) VS 폴리이미드주 ) 주 ) 재질기호 SH는선택할수없습니다.

hg to 6 psig.1~.4mpa 1 3 in.hg to 1 psig.1~.7mpa 별도주문 H 3 in.hg to 16 psig.1~1.1mpa V2 3 in.hg to 2 psig.1~1.4mpa 2 to 2 psig ~1.

또한, 게이지포트용플러그가동봉또는조립됩니다. 주3) 배관접속 4BR을선택한경우는압력계조립을선택할수없습니다. 압력계는압력계가이드 (P.88) 에서별도주문해주십시오.

4 일반가스용레귤레이터 1T Series 입구측고압대응최대 24.1MPa 유량범위 <12slpm 내식성을필요로하는경우는내부재질 Ni-Cr-Mo 합금사양도가능 소 중유량 1 설정압력 기호 설정압력범위 1.5 to 1 psig(.34 to.7 MPa) 2 1 to 3 psig(.7 to.2 MPa) 6 2 to 6 psig(.14 to.4 MPa) 1 2 to 1 psig(.14 to.7 MPa) 15 5 to 15 psig(.34 to 1. MPa) 재질 기호 몸체 포핏 다이어프램 S SUS 316 SUS 316 SHP Ni-Cr-Mo합금 Ni-Cr-Mo합금 사양 포트수 기호 포트수 포트위치 배관접속 4 4BR 4T 6T 4PL 4포트아래그림 ( 포트위치 ) 5PC 5포트 참조 포트위치 w 품번기입예 12TS 배관접속방식 ( 입구측q, 출구측w) 배관조합기호배관접속방식 4 4BR 4T 6T 4 NPT1/4 4BR Rc1/4 4T 1/4 컴프레션피팅 6T 3/8 컴프레션피팅 t q e 4PL w t qin wout eout 측엑스트라포트 rin 측게이지포트 tout 측게이지포트 형식표시방법 포트번호 q w e r 1 T S 4PL 4 4 r q e 5PC Port q w e r t 4PL 4 4 5PC 4T 4T 4 1 MPA 가스접촉부재질 t 압력계표시주 ) 기호내용무기호적용없음 MPA MPa 주 ) 압력계부착을선택한경우는 MPA 기호를붙여주십시오. 시트재질기호재질무기호 PCTFE( 표준 ) VS 폴리이미드주 ) 주 ) 재질기호 SH는선택할수없습니다. 게이지포트 ( 출구측엑스트라포트e, 입구측r, 출구측t) 주1) 압력계배관접속기호주3) psig/bar MPa 4 4BR 4T 6T 무기호게이지포트없음 압력계없음주2) 압력계없음 C (NPT1/4 플러그조립출하 ) V15 3 in.hg to 15 psig.1~.1mpa V3 3 in.hg to 3 psig.1~.2mpa 별도주문 L 3 in.hg to 6 psig.1~.4mpa 1 3 in.hg to 1 psig.1~.7mpa 별도주문 H 3 in.hg to 16 psig.1~1.1mpa V2 3 in.hg to 2 psig.1~1.4mpa 2 to 2 psig ~1.5MPa 별도주문 4 to 4 psig ~3MPa 1 to 1 psig ~7MPa 3 to 3 psig ~21MPa 4 to 4 psig ~28MPa 주1) 압력계에대한상세내용은압력계가이드 (P.158) 를참조해주십시오. 주2) 압력계없음의경우, 게이지포트는배관접속방식이 4, 4T, 6T는 NPT1/4, 4BR은 Rc1/4입니다. 또한, 게이지포트용플러그가동봉또는조립됩니다. 주3) 배관접속 4BR을선택한경우는압력계조립을선택할수없습니다. 압력계는압력계가이드 (P.88) 에서별도주문해주십시오. 재질기호 S SHP 몸체 포핏 Ni-Cr-Mo합금 다이어프램 Ni-Cr-Mo합금 시트 PCTFE( 옵션 : 폴리이미드 ) PCTFE RoHS 형식 11T 12T 16T 11T 115T 설정압력범위.5 to 1 psig 1 to 3 psig 2 to 6 psig 2 to 1 psig 5 to 15 psig (.34 to.7 MPa) (.7 to.2 MPa) (.14 to.4 MPa) (.14 to.7 MPa) (.34 to 1. MPa) 사용유체 가스접촉부재질을부식하지않아야함. 입구측압력범위 진공 ~3 psig(2.1 MPa) 진공 ~35 psig(24.1 MPa) 보증내압력 ( 입구측 ) 45 psig(3.7 MPa) 파괴압력 1 psig(69 MPa) 주위온도및사용유체온도 4~71 ( 동결없어야함 ) 외부누설 Pa m 3 /s 배관접속방식 NPT암나사, Rc나사, 컴프레션피팅 압력특성 입구측압력 1 psig(.7 MPa) 강하로설정압력 1.2 pisg(.8 MPa) 상승 설치방법 밑면설치 ( 옵션 : 브라켓장착 / 별도주문품 ) 내부용적 4.8cm 3 질량.52kg 주 ) 주 ) 질량은기준이며, 배관접속방식이나옵션등에따라다릅니다. 156

5 진공제너레이터플로스위치용어해설기술자료/공통주의사항유량특성 설정압력 (psig) 입구측압력 : 15 psig (1. MPa) 75 psig (.5 MPa) 유량 (slpm, N2) 주 주 )slpm,n2는 N2가스를흘렸을때의기준상태 (, 1atm) 의체적유량을나타냅니다. 외형치수도 압력계 :NPT ( 옵션 ) ø2.28 (ø57.8) 1 psig (.69 MPa) Inlet pressure: 15 psig (1 MPa) 2 psig (1.4 MPa) 45 psig (3 MPa) 유량 (slpm, N2) 주 설정압력 (MPa) 일반가스용레귤레이터 1T Series 설정압력 (psig) 설정압력 (MPa) 추천기종레귤레이터AP 다이어프램밸브2.7 (67.3) LP HP ø2.12 (ø53.8) 2x 컴프레션피팅 브라켓장착 / 옵션 ø1.18 (ø3) 최대 3.8 (97.5) LP HP LP HP LP HP.69 (17.5) ø1.96 (ø49.8) 2 x Rc, NPT 암나사 배관접속방식 :4,4BR.39 (1).88 (22.4) 2 x M5 x.8 깊이.25 (6.4) ( 설치구멍 ) (1/4 컴프레션피팅 : 4.4 (112)) (3/8 컴프레션피팅 : 4.6 (116)) Connections: 4T, 6T.24 (6) Bracket 2x 육각구멍부착볼트 (M5 x 6).6 (1.5).44 (11.2) LP.24 (6) HP.85 (21.5).85 (21.5) 2.17 (55).24 (6) (11.2) (11.2) 1.18 (3) 1.18 (3) 2.75 (7) 브라켓품번 : ( 육각구멍부착볼트 2 개부속 ) 재질 :SUS 질량 :47g 157

1T Series 일반가스용 Series 용압력계 ( 레귤레이터조립출하품 / 별도주문품 ) 스테인리스, 하부설치용 NPT1/4 사양 형상 하부설치타입 사용유체 가스접촉부재질을부식하지않아야함. 배관접속구경 NPT1/4 사용온도범위 4 6 ( 동결없어야함 ) 스케일의 25% 75% 의범위 :±1% F.S. 정도 상기를제외한범위 :±2% F.S. (ASME B4.

주3) 일본에서는 SI단위 (MPa) 표기상 psig/bar 단위게이지는판매할수없습니다. SI 단위일경우레귤레이터형식에 "MPa" 을표시해주십시오. 일반가스용 Series 용압력계 ( 별도주문품 ) 스테인리스, 하부설치용 R1/4 사양 형상 하부설치타입 사용유체 가스접촉부재질을부식하지않아야함.

6 1T Series 일반가스용 Series 용압력계 ( 레귤레이터조립출하품 / 별도주문품 ) 스테인리스, 하부설치용 NPT1/4 사양 형상 하부설치타입 사용유체 가스접촉부재질을부식하지않아야함. 배관접속구경 NPT1/4 사용온도범위 4 6 ( 동결없어야함 ) 스케일의 25% 75% 의범위 :±1% F.S. 정도 상기를제외한범위 :±2% F.S. (ASME B4.1 등급A) 부품세정 ASME B4.1 레벨Ⅳ 케이스 스테인리스 재질 표시창폴리카보네이트소켓 부르동관 NPT1/4 인치 (mm) 18.5 주 1 ) 압력계단품의형식입니다. 압력계단품으로출하됩니다. 주2) 레귤레이터에압력계를조립하여출하하는경우는형식표시의게이지포트에이기호를적용해주십시오. 주3) 일본에서는 SI단위 (MPa) 표기상 psig/bar 단위게이지는판매할수없습니다. SI 단위일경우레귤레이터형식에 "MPa" 을표시해주십시오. 일반가스용 Series 용압력계 ( 별도주문품 ) 스테인리스, 하부설치용 R1/4 사양 형상 하부설치타입 사용유체 가스접촉부재질을부식하지않아야함. 배관접속구경 R1/4 사용온도범위 -5~45 ( 동결없어야함 ) 스케일의 25% 75% 의범위 :±2% F.S. 정도 상기를제외한범위 :±3% F.S. (ASME B4.1 등급B) 부품세정 일반탈지세정 케이스 스테인리스 재질 표시창폴리카보네이트소켓 부르동관 형식 형식주 ) 압력범위 표시단위 GK53-S MPa GK53-S MPa MPa GK53-S MPa 47 ø58 ø12 4 ø ø ø 형식레귤레이터형식표시주2) 재질게이지포트압력계표시 압력범위 표시단위 형식주1) V15 3 in.hg to 15 psig V3 3 in.hg to 3 psig L 3 in.hg to 6 psig in.hg to 1 psig H 3 in.hg to 16 psig 주3) V2 ( 코드없음 ) 3 in.hg to 2 psig psig/bar 2 to 2 psig to 4 psig to 1 psig to 3 psig S 4 to 4 psig SHP V15.1 to.1 MPa V3.1 to.2 MPa L.1 to.4 MPa to.7 MPa H.1 to 1.1 MPa V2 MPA.1 to 1.4 MPa MPa to 1.5 MPa to 3 MPa to 7 MPa to 21 MPa to 28 MPa R1/4 주 ) 압력계단품의형식입니다. 압력계단품으로출하됩니다. 압력계는 NAGANO KEIKI CO.,LTD. 의제품입니다. 158 q 압력계를선정할때에는사용압력이압력계의최고사용압력을넘지않는지확인해주십시오. w 압력계의접속은게이지포트의위치 ( 고압측 / 저압측 ) 를확인한후, 공통주의사항 q(p.162) 의설치항목에따라배관해주십시오. e 배관후에는리크검사를실시해주십시오.

7 추천기종용기기 / 레귤레이터개별주의사항 사용하기전에반드시읽어주십시오. 안전상주의에관해서는뒷표지, 용기기 / 공통주의사항에관해서는 P.162, 163 을확인해주십시오. 취급설명서는당사홈페이지에서다운로드하여주십시오. 1 사양을확인해주십시오. 선정 기기의선정에관해서는사용가스, 사용압력 ( 입구측, 출구측 ), 사용유량, 사용온도범위등을확인한후, 본카탈로그에기재한사양범위내에서사용해주십시오. 특수한가스, 특별한용도나환경에서는사용할수없는경우가있습니다. 사용가스에대해서제품구성재료가적합하다는것을확인해주십시오. 제품형식과사용가스와의적합성에관해서는카탈로그에기재한선정가이드를확인해주십시오. 2 압력계의허용압력을확인해주십시오. 제품에압력게를부착하여사용하는경우, 사용압력이압력계의최고사용압력을넘지않는범위에서사용해주십시오. 설치 1 제품의설치방향을확인해주십시오. HP 표시가있는쪽이고압측 ( 유체입구측 ) 이고, LP 표시가있는쪽이저압측 ( 유체출구측 ) 입니다. 반드시 HP 표시가있는포트를고압측으로해주십시오. HP 표시의포트이외를고압측에배관한경우, 기기가파손또는가스누설등의원인이됩니다. 2제품설치후, 제품의내부누설을확인해주십시오. 내부누설의확인은질소등비활성가스를사용하고용도에맞게적절한시험방법을실시해주십시오. 이하의시험방법을일례로표시합니다. 단, 개요를표시하는것일뿐, 모든용도에적합하지않습니다. 1) 조압핸들을반시계방향 (DECR) 으로완전히돌리고, 조압스프링을풉니다. 그후, 입구측의가스공급용핸들을천천히열고, 가스를레귤레이터에공급해주십시오. 2) 입구측과출구측의가스용밸브를닫고, 최저 1 분간방치후출구측압력을확인해주십시오. 3) 조압핸들을시계방향 (INCR) 으로돌리고, 조정압력범위에출구측압력이안정되고최저 1 분간방치후, 출구측압력을확인해주십시오. 2), 3) 에서출구측압력이계속상승하는경우는내부누설의가능성이있으므로, 즉시사용을중지하고당사또는판매대리점에확인해주십시오. 3 부식성가스, 독성가스, 가연성가스를사용한제품을빼내는경우는제품내부및앞뒤의배관내가스를완전히배출해주십시오. 제품분리전에조압핸들을시계방향 (INCR) 으로돌리고전부열림으로한상태에서질소등의비활성가스로충분히퍼지한후잔류가스를완전히배출해주십시오. 보수점검 1 레귤레이터가고장난경우에는당사또는판매대리점에확인해주십시오. 사용상공통주의 1 레귤레이터 ( 압력조정기 ) 를차단밸브또는안전밸브로사용하지마십시오. 2가스가흐르지않는상태에서조압핸들을반시계방향 (DECR) 으로돌리지마십시오. 가스가흐르지않고출구측에압력이남은상태에서조압핸들을반시계방향 (DECR) 으로돌리면, 제품의파손원인이됩니다. 설정압력을낮춘경우는가스가흐르지않는상태에서해주십시오. 3레귤레이터의출구측에서가압하지마십시오. 설정압력이상의높은압력을출구측에가하면제품의파손원인이됩니다. 4제품의가스공급에대해조압핸들을반시계방향 (DECR) 으로완전히돌리고, 조압스프링을풀어주십시오. 그후, 입구측의가스공급용밸브를천천히풀어가스를레귤레이터에공급해주십시오. 가스공급용밸브를조작할때에는레귤레이터및압력계의정면에세우지마십시오. 입구측의가스공급용밸브를급격하게열면레귤레이터의출구측에고압의가스가들어가압력계의커버가날라가거가기기가파손되는등의중대한손상을일으킬가능성이있습니다. 5압력의조정에대해조압핸들을시계방향 (INCR) 으로회전시키면출구압력이상승합니다. 정확하게조압하기위해서는원하는유량을흘린상태에서핸들을조정해주십시오. 6설정압력을내릴때에는가스가흐른상태에서해주십시오. 설정압력을낮출때에는하류측밸브를열고유량을흘린상태에서해주십시오. 흐름이있는상태에서조압핸들을반시계방향 (DECR) 으로회전시키면출구압력이하강합니다. 7제품사용중에발진이발생하면즉시사용을중지해주십시오. 사용조건등에따라서는이상음과함께기기나출구측압력이조금씩진동하는현상 ( 발진 ) 이발생하는경우가있습니다그때는곧바로사용을중지하고, 당사혹은판매대리점에문의해주십시오. 159 레귤레이터AP 다이어프램밸브진공제너레이터플로스위치용어해설기술자료/공통주의사항

체크밸브 K Series 구조도 K2000 K 번호 명칭 재질 2 몸체커버 알루미늄다이캐스트알루미늄다이캐스트주) 주 )K2000은아연합금입니다. 교환부품 부품품번 번호 명칭 재질 K2000 K000 K000 7 밸브스프링 O-rin 링시트링 PO 스테인리스

체크밸브 K Series 구조도 K2000 K 번호 명칭 재질 2 몸체커버 알루미늄다이캐스트알루미늄다이캐스트주) 주 )K2000은아연합금입니다. 교환부품 부품품번 번호 명칭 재질 K2000 K000 K000 7 밸브스프링 O-rin 링시트링 PO 스테인리스 체크밸브 K Series RoS 큰밸브용량 낮은크래킹압력 :0.02Pa 풍부한기종 K2000-0 K2000-02 K000-02 접속구경. 9. 0 K000-0 0.2 K000-0 2 9 0 K000-0 0 K000- 사양 사용유체보증내압력최고사용압력최저사용압력주위온도및사용유체온도.Pa Pa 0.02Pa 0 ( 동결없어야함 ) 표시기호 유량특성 주 ) 유량특성은대표값입니다.