목 차 Revision History... 3 사용전에... 4 안전수칙... 4 경고... 5 주의 제품사양 제품의명칭 외형도 제품기능...8 ~ 영점조절 상태표시및설정 배선

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신영 군
5 years ago
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1 사용자 매뉴얼 VIC D210,D220 1

2 목 차 Revision History... 3 사용전에... 4 안전수칙... 4 경고... 5 주의 제품사양 제품의명칭 외형도 제품기능...8 ~ 영점조절 상태표시및설정 배선도...10 ~ MFC 점검방법 제품보증 연락처

3 Revision History 버젼날짜버젼내용 V15.01_R R.01 버젼배포 VIC -D Series 를구입해주셔서감사드립니다. 안전사고방지와제품의오작동을방지하기위하여제품을사용하기전에본 취급설명서를반드시읽어주시기바랍니다. 또한, 본사용설명서는필요시사용할수있도록보관해주시기바랍니다. 본제품은성능개선또는구조변경등의이유로예고없이변경될수있습니다. 3

사용전에 제품을사용하기전에반드시사용설명서를읽고숙지하여주십시오. 사용설명서는언제든지확인할수있도록가까운장소에소중히보관하여주십시오. 기기취급상안전을위하여본문의경고 / 주의사항을필히준수하여주십시오. 본사용설명서에대하여충분히이해하고반드시따라주십시오. 안전수칙 본사용설명서에서는안전주의사항을 경고, 주의 로구분하고있습니다.

4 사용전에 제품을사용하기전에반드시사용설명서를읽고숙지하여주십시오. 사용설명서는언제든지확인할수있도록가까운장소에소중히보관하여주십시오. 기기취급상안전을위하여본문의경고 / 주의사항을필히준수하여주십시오. 본사용설명서에대하여충분히이해하고반드시따라주십시오. 안전수칙 본사용설명서에서는안전주의사항을 경고, 주의 로구분하고있습니다. 이와관련된내용을충분히이해하고본문을읽어주십시오. 경고 잠재적인위험상황을나타냅니다. 만약이를피하지못한다면죽음또는 심각한부상이발생할확률이있으며, 사물등에피해를입힐수도있습니다. 주의위험상황이내재되어있음을나타내며, 이를피하지못할경우경미한부상혹은중상의위험및사물에피해를입힐수도있습니다. 또한사물, 제품, 물체등에피해를입힐상황에만사용되기도합니다. 4

경고 취급방법 본제품은정밀기기이므로취급에주의해주시기바랍니다. 제품의낙하, 또는외부로부터의강한충격을받으면오작동또는누수 (leak) 의원인이됩니다. 제품을임의로분해하지마십시오. 제품을분해한경우보증이불가능하며, 임의로분해후재조립시오작동또는누수의원인이됩니다. 본제품을운반시본체 (body) 를잡고운반해주시기바랍니다.

5 경고 취급방법 본제품은정밀기기이므로취급에주의해주시기바랍니다. 제품의낙하, 또는외부로부터의강한충격을받으면오작동또는누수 (leak) 의원인이됩니다. 제품을임의로분해하지마십시오. 제품을분해한경우보증이불가능하며, 임의로분해후재조립시오작동또는누수의원인이됩니다. 본제품을운반시본체 (body) 를잡고운반해주시기바랍니다. 케이스만을잡고이동할경우고장의원인이되며, 낙하할우려가있습니다. 사용환경 허용온도범위 (5 ~ 50 ) 에서사용하여주십시오. 허용온도범위를벗어난환경에서사용할경우계측의오차, 누수 (leak) 의원인이되며, 화재의원인이됩니다. 직사광선및비, 바람등이닿지않는옥내환경에서사용하여주십시오. 진동이나충격의위험이없는장소에서사용하여주십시오. 전기적충격을가하지마십시오. 노이즈 (Noise) 가발생하는장소에서사용하지말아주십시오. 운전시주의사항 제작된사양의유체를공급하여주십시오. 사양외유체를사용할경우제품손상이나계측의오차, 누수 (leak) 의원인이됩니다. 제품내이물질이나수분유입이없도록하여주십시오. 이물질또는수분이유입될경우계측의오차, 고장의원인이됩니다. 허용범위의유량, 압력 ( 제작사양참고 ), 온도 (5~50 ) 조건에서사용해주십시오. 제품을분리할경우제품내부의잔류가스에주의하여주십시오. 폭발또는부식성가스를사용할경우퍼지후분리하십시오. 전원공급중에전원부에손을대지마십시오. 정밀한계측을위해서 15분 ~ 30분워밍업후사용하여주십시오. 5

6 주의 보관방법 옥외및직사광선, 비바람이닿지않는장소에서보관하여주십시오. 고온다습한장소에서의보관은삼가하여주십시오. 부식성분위기가없는장소에보관하여주십시오. 진동이나충격을받지않는장소에보관하여주십시오. 침수 관수가없는장소에보관하여주십시오. 장기간보관시진공포장상태로보관하여주십시오. 설치시주의사항 설치전에제작사양을확인하여주십시오. 접속구경 (Fitting) 유체흐름방향 ( 제품케이스의 FLOW 방향에맞게설치하여주십시오.) 사용유체 ( 케이스에부착된라벨참고 ) 전원 / 신호 ( 케이스에부착된라벨참고 ) 올바른결선 ( 케이스에부착된핀정보참고 [ 배선시주의사항참고 ]) 제품또는배관에파티클이들어가지않도록주의하여주십시오. 제품의설치시배관이변형되지않도록바닥면에고정하여주십시오. 제품설치후진동이나충격에주의하여주십시오. 제품의전단에반드시레귤레이터를설치하여주십시오. 제작된사양에맞는압력으로가스를공급하여주십시오. 제품에이물질또는수분이유입되지않도록전단에필터, 수분제거장치등을설치할것을권장합니다. 보수 점검등을위해배관전, 후단에별도의밸브를설치할것을권장합니다. 설치가완료되기전제품에전원공급을차단하여주십시오. 배선시주의사항 배선작업은반드시전원공급장치 off 상태에서결선하여주십시오. 전원공급은정격전압을사용하여주십시오. (+14.5V ~ +24.5V / 0.5A) 배선에무리한굴곡이나힘이가해지지않도록하여주십시오 노이즈발생의원인이되는기기와사용할경우 F.G 단자를연결하여주십시오. 전원, 고압선등의라인과평행배선또는동일금속배관을피하여주십시오. 10 ~ 11페이지 배선도 참고. 6

1. 제품사양 Model VIC-D210 VIC-D220 Flow Range (N2 Equivalent) 5 ~ 1,500 sccm 1.5 slm ~ 50 slm Accuracy ±1.0 % of Full Scale Response Time 1 sec Linearity ±0.2% of Full Scale Repeatability ±0.

7 1. 제품사양 Model VIC-D210 VIC-D220 Flow Range (N2 Equivalent) 5 ~ 1,500 sccm 1.5 slm ~ 50 slm Accuracy ±1.0 % of Full Scale Response Time 1 sec Linearity ±0.2% of Full Scale Repeatability ±0.2% of Full Scale Control Valve Type Normally Closed Seal Type Viton, Viton-ETP, PTFE, Kalrez,etc Signal Type Analog Mode: 0~5VDC or 4~20mA Digital Mode : RS485 Power Supply +15~+24VDC Operating Temp. 5 ~ 50 (Accuracy Guaranteed: 15 ~ 35 ) Warp-up Time 15 min (Accuracy Guaranteed: 30 min) 2. 제품의명칭 7

8 3. 외형도 4. 제품기능 (a) ZERO : 제품동작을시키지않은상태에서출력신호가떠있을경우. MODE 1, 2 에서는설정변경버튼으로사용 (b) MODE : MODE 상태표시확인.(MODE 0, 1, 2) (c) LED 1 : 상태표시.(MODE 0, 1, 2) <1-1 Mode 설정및표시참조 > (d) LED 2 : 설정상태표시. <1-1 Mode 설정및표시참조 > 8

9 1-1. 영점조절 ZERO 버튼을약2초간누름. ( 영점조절완료시 LED2 적색 1회점멸 ) 전단 Valve를닫고, MFC 및후단밸브를열어 MFC 전, 후단의잔류가스를제거한후 Zero Reset 을실시하여주십시오. 주의제품내부에잔류가스가존재할경우내부리크의영향으로 Zero Reset 값이정확하지않을수있습니다. 반드시제품내부의잔류가스를제거하여주십시오 MODE 상태표시및설정 제품상단의 MODE 버튼을누르면 MFC의모드변경. MODE 0, MODE 1, MODE 2 로선택이가능. (MODE 1회누름 1, 2회누름 2 ) MODE 0 : MFC 일반동작모드 ( 전원상태, Flow 상태표시 ) MODE 1 : 통신방식선택모드 ( 디지털, 아날로그 ) ZERO 버튼을이용하여디지털또는아날로그통신변경. MODE 2 : 디지털통신속도선택모드 (9600, 14400, 19200, 38400bps) ZERO 버튼을이용하여통신속도변경. < 1-1. Mode 설정및표시 > LED 1 LED 2 LED 1 LED 2 LED 1 상태표시 설정방법 녹색 ( 연속점등 ) IDLE 상태 ( 대기상태 ) X 녹색 ( 연속점등 ) FLOW 상태 ( 안정 ) X MODE 0 ( 연속점등 ) 적색 ( 연속점등 ) FLOW 상태 ( 불안정 ) X 적색 1 회입력전원 13V 이하 X 적색 2 회센서이상 1 X 적색 3 회센서이상 2 X MODE 1 (1 회점등 ) 녹색 1 회녹색 1 회 Digital(RS-485) Mode ZERO 버튼 1 회누름 녹색 1 회녹색 2 회 Analog Mode ZERO 버튼 1 회누름 녹색 2 회녹색 1 회 9600 bps 제품출고시통신속도 MODE 2 (2 회점등 ) 녹색 2 회녹색 2 회 bps ZERO 버튼 1 회누름 녹색 2 회녹색 3 회 bps ZERO 버튼 2 회누름 녹색 2 회녹색 4 회 bps ZERO 버튼 3 회누름 9

10 주의 상태확인 Mode 나설정 Mode 에서는제품이동작하지않습니다 반드시 Mode 0 에서만제품을동작시켜주십시오. 5. 배선도 D-Sub 9 Pin Pin No Electrical Connection 1 F.G ~+24VDC 3 RS 485(-) Signal Common 5 Power Common Signal Out 7 Power Common 8 Signal In 9 RS-485(+) 1) Analog Wiring 1 F.G. Power Supply 2 +15~+24VDC F.G. 3 RS 485(-) Power 4 Signal Common Common 5 Power Common 6 Signal Out Signal I/O Card 7 Power Common Signal In 8 Signal In Common 9 RS 485(+) Signal Out 10

< 배선작업시참고사항 > 1 Power Supply에 Common은반드시 MFC의 5번 7번에연결시켜주십시오. (Power Supply 앞단에서이어지는것이노이즈에영향을적게받습니다.) 2 4,7번은시그널레벨을같게맞추기위해연결되었으며, 전류의회귀점으로혼용불가합니다.

11 < 배선작업시참고사항 > 1 Power Supply에 Common은반드시 MFC의 5번 7번에연결시켜주십시오. (Power Supply 앞단에서이어지는것이노이즈에영향을적게받습니다.) 2 4,7번은시그널레벨을같게맞추기위해연결되었으며, 전류의회귀점으로혼용불가합니다. 3 Power Supply에서온전류 (2번) 는반드시 5,7번을통해흘러나가야하며, Signal I/O Card 에서흐르는전류 (6, 8번 ) 은반드시 4번을통해서만나가야합니다. 2) Digital Wiring 1 F.G. Power Supply 2 +15~+24VDC F.G. 3 RS 485(-) Power 4 Signal Common Common 5 Power Common 6 Signal Out RS 485 Converter 7 Power Common RS 485 (+) 8 Signal In 9 RS 485(+) RS 485 (-) 11

12 6. 제품점검방법 1. 유량흐름이없을경우. 1 MFC의결선이올바르게되어있는지점검하여주십시오. 2 올바른제어신호가인가되는지점검하여주십시오. ( 제작사양참고 : 0~5VDC 또는 4~20mA) 3 MFC의후단 (Outlet) 이막혀있지않은지점검하여주십시오. 솔레노이드밸브가닫혀있거나이물질로배관이막혀있을경우또는챔버에압력이발생하여유량흐름이제한될수있습니다. 후단라인의점검이어렵다면 MFC 후단을대기로방출하여테스트를할수있습니다. 단, 대기로방출되어도인체에영향이없거나화재, 부식등의위험성이없는안전한가스를사용할경우에만테스트를진행하십시오. 4 MFC의전단라인이막혀있지않은지점검하여주십시오. 배관라인점검에앞서 MFC의전단 (Inlet) 피팅내부를점검하여주십시오. MFC 전단피팅부에이물질을걸러주는망 (Mesh) 이설치되어있습니다. 여기에배관마감재또는먼지등이누적되면가스공급이원활하지않을수있습니다. 2. 입력신호와 MFC의출력신호가일치하지않을경우. 1 전원공급상태가양호한지점검하여주십시오. (+15VDC 또는 +24VDC) 2 MFC에정상적인신호가인가되고있는지점검하여주십시오. 3 MFC의출력신호를리드아웃인디게이터에서올바르게표현하고있는지점검하여주십시오. 4 제작사양에맞는압력으로가스가공급되지점검하여주십시오. 5배관에누설 (Leak) 가없는지점검하여주십시오. 3. 출력신호가불안정할경우. 1 MFC로공급되는유량의압력이일정하게유지되는지점검하여주십시오. 2전단압력과후단압력이일정하게유지되는지점검하여주십시오. 3제작사양에맞는압력으로가스가공급되지점검하여주십시오. 12

7. 제품보증 1) 보증기간 1 신제품의보증기간은출고일부터 12 개월입니다. 2 A/S 제품에대한보증기간은 A/S 완료후출고일부터 3 개월입니다. 2) 제품의보증을받을수없는경우 1 사용자과실로인한제품의손상. 2 천재지변으로인한제품의손상. 3 선정과실로인한제품의사양변경이필요한경우.

2 부식및독성가스에사용한제품은내부에잔류가스를빼낸후보내주시기바랍니다. 3 입고시증상에대하여가능한상세하게언급해주시기바랍니다. 4) 제품의 A/S 가필요한경우제품을구매한대리점또는본사로연락바랍니다. 본제품은성능개선또는구조변경등의이유로예고없이변경될수있습니다.

13 7. 제품보증 1) 보증기간 1 신제품의보증기간은출고일부터 12 개월입니다. 2 A/S 제품에대한보증기간은 A/S 완료후출고일부터 3 개월입니다. 2) 제품의보증을받을수없는경우 1 사용자과실로인한제품의손상. 2 천재지변으로인한제품의손상. 3 선정과실로인한제품의사양변경이필요한경우. 4 사용조건이바뀌어제품의사양변경이필요한경우. 5 보안라벨이훼손된경우. 6 사용자임의로제품을개조또는분해한경우. 3) A/S접수시주의사항 1 제품입고시현장에서부착한부속물은제거후제품만입고시켜주시기바랍니다. ( 예 : 브라켓, 배관등 ) 분실시책임지지않습니다. 2 부식및독성가스에사용한제품은내부에잔류가스를빼낸후보내주시기바랍니다. 3 입고시증상에대하여가능한상세하게언급해주시기바랍니다. 4) 제품의 A/S 가필요한경우제품을구매한대리점또는본사로연락바랍니다. 본제품은성능개선또는구조변경등의이유로예고없이변경될수있습니다. 본취급설명서에서기술한모든내용은해당모델에대한내용을의미합니다. 본제품은가스의유량을제어하는장치로서밸브의역할을수행하지않습니다. 리크로인해위험요소가발생하는공정및장비에는반드시밸브를설치하여주십시오. 엠케이프리시젼주식회사 서울구로구구로동 번지코오롱싸이언스밸리 1차 306호전화 : 팩스 : 홈페이지 : 13

목 차 사용전에... 1 안전한사용을위한주의사항... 1 보관방법...2 취급방법... 2 사용환경... 2 설치시주의사항... 3 운전시주의사항... 3 배선시주의사항 제품사양 각부의명칭 외형도 배선도

사용자매뉴얼 TSC 200 Series TSC 100 Series 목 차 사용전에... 1 안전한사용을위한주의사항... 1 보관방법...2 취급방법... 2 사용환경... 2 설치시주의사항... 3 운전시주의사항... 3 배선시주의사항... 4 1. 제품사양... 5 2. 각부의명칭...6 3. 외형도...8 4. 배선도... 10 5. MFC 점검방법...