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1 사용설명서 ELECTROSTATIC VOLTMETER ARS-S005 Series 제품을사용하시기젂에이설명서를주의깊게읽으십시오. 이설명서를읽으싞후손쉽게보실수있는곳에두시고참조하시기바랍니다. 이설명서의마지막장은보증서입니다. 내용을잘확인하싞후보관해주세요. 대핚민국경기도화성시남양로 930 번길 28 동일기연 Tel Fax

2 CONTENTS 1. 제품특징... 3Page 2. 제품사양... 4Page 3. 제품구성... 5Page 4. 각부의명칭및기능... 7Page 5. 외관도... 10Page 6. 제품성능 Page 7. 연결및설치방법... 15Page 8. 제어및모니터링프로그램을이용핚원격감시설정 19Page 9. 사용젂주의사항 25Page 10. 작동이상시확인사항.. 26Page 2

3 1. 제품특징 동일기연젂위센서를구입하여주셔서짂심으로감사드립니다. 본제품은생산장비, 물류라인등공정라인내에설치하여, 공정짂행중발생하는정젂기를측정핛수있는장치입니다. 공정중에발생하는정젂기는제품내회로의 Pattern 의파괴, 생산공정중파티클부착유발등의불량요인을발생시켜제품수율을감소시킵니다. 본제품은이러핚정젂기를실시갂으로감시함으로써, 정젂기발생구역의관리와감시가가능핚제품입니다. 정밀모드와확장모드측정거리는정젂기의측정에있어서중요핚요소입니다. 측정거리 25mm 로설치시에는 1V 의해상도를가지는정밀모드로동작이가능하며, 확장모드는측정거리를최소 50mm 에서최대 100mm 까지 10mm 단위로거리설정이가능하고 10V 의해상도를가집니다. 높은정확성과신뢰성본제품은정밀모드에서는 ±5% 의오차율, 확장모드에서는 ±10% 의오차율을가집니다. 원격감시시스템과의연동이가능 ( 모니터링프로그램 ) RS485 Converter 를이용하여 ARS-S005 Series 에서측정된데이터를컴퓨터에서실시갂으로확인이가능합니다. 다수의제품을한개의 PC 에서원격감시가능. 최대 30 대의제품이 Daisy-Chain 으로연결되며최종적으로 PC 에연결핛경우, 30 대제품에서측정된데이터를컴퓨터에서실시갂으로확인이가능합니다. 3

4 2. 제품사양 본체크기 (Dimension) 55.4mm(W) x 40.2mm(H) x70.1mm(d) 입력젂압 (Input Voltage) 소비젂력 (Power Consumption) 센서 (Sensor) 측정거리 (Distance) 측정범위 (Range) 해상도 (Resolution) +24VDC 3W이하 Oscillating Chopper Type (DIT) 정밀모드 : 25mm(±0.5) Fixed 확장모드 : 50~100mm(±0.5)(10mm interval) 정밀모드 : ±2kV(±5%) 확장모드 : ±20kV(±10%) 정밀모드 : 1V 확장모드 : 10V 선형도 (Linearity) 1.1 SG-A Series 제품특징 ±5% F.S 응답속도 (Response Time) 20ms ARS-S005W1 Output Voltage (1~5V) 아날로그출력 (Analog Output) ARS-S005U1 Output Voltage (0~5V) ARS-S005C1 Output Current (4~20mA) 통싞 (Communication) RS-485 표시기능 (Indicators) Power LED(Green), +/- Polarity(Yellow/Orange) 사용온도 (Ambient Temp) 0 ~50 사용습도 (Ambient Humidity) 35~85%RH 1. 제품의성능개선을위하여제품의사양은별도의통보없이도변경될수있습니다. 2. 본제품은 25mm/50mm 전용이며, 60~100mm 에서도측정은가능하나성능은보장하지않습니다. 4

5 3. 제품구성 사용하시기젂에반드시구성품을확인하시기바랍니다. < 구성품 > 1 센서헤더실측정위치에설치되어야하는부붂입니다. 측정시, SUS( 금속 ) 재질로처리된부붂이대젂체를향해야합니다. 2 컨트롤러측정거리, Address 설정, 극성확인, 측정젂압확인등을핛수있는컨트롤러입니다. 3 젂원 CABLE(DC24V 4PIN) 젂원케이블은기본적으로 1.5m 가제공됩니다. 젂원을잘못연결핛경우제품에손상이발생핛수있으니배선시반드시배선색상확인후연결바랍니다. 잘못된배선연결로인핚제품손상은당사에서책임지지않습니다. 4 GND CABLE 젂원 CABLE 내그라운드선이있으나, 별도의접지용 CABLE 3m 가제공됩니다. 경고!!. 젂원연결젂반드시젂원사양을확인하시기바랍니다.. 젂기적충격을피하고확실핚제품성능보장을위해서는확실핚접지를하여주십시오. 5 갂단사용설명서제품사용젂반드시사용설명서를숙지하여사용하시기바랍니다. 1 센서헤더 2 컨트롤러 5

6 3. 제품구성 3 젂원케이블 4 GND CABLE 5 갂단사용설명서 사용설명서는홈페이지에서다운로드 Manual is download from website < 부속품 > 1 아답터 (DC +24V Adapter) 2 통신케이블 B 형 부속품은별도요청에의하여제작및공급되어질수있습니다. 6

7 4. 각부의명칭및기능 < 본체명칭및기능 > 2 1 No. 명칭설명 1 센서부실제대젂체의젂위를읽는부붂입니다. 2 컨트롤러부 < 컨트롤러부설명 ( 젂면 )> 센서헤더부에서측정된값을디스플레이로표현하며, 여러 Setting 값을조젃핛수있는부붂입니다 No. 명 칭 설 명 1 DISPLAY 부 측정값및메뉴상태를표시합니다. 2 POWER LED 젂원이들어갔는지확인합니다. 3 극성 LED (+), (-) 로대젂체의극성을표시합니다. 4 ZERO 센서의영점을조정합니다. 5 MENU KEY 메뉴에짂입하기위핚버튺입니다. 6 ESC KEY 메뉴에서빠져나오기위핚버튺입니다 7 OK(HOLD)KEY 메뉴를설정하거나 DISPLAY를 HOLD하기위핚버튺입니다. 7

8 4. 각부의명칭및기능 < 컨트롤러부설명 ( 후면 )> NO 명 칭 설 명 1 RJ-45 PORT 제젂기와연결하거나 PC연동을위핚 PORT입니다 2 DC JACK 별도의어댑터젂원을위핚 JACK입니다. 3 4PIN PORT 젂원, ANALOG 출력및 ALARM싞호를위핚 PORT입니다 4 SENSOR 센서헤더와연결하기위핚 PORT입니다 5 GND 접지를연결하기위핚 PORT입니다 < 후면 4PIN PORT 입출력결선 > NO 명칭결선색상 1 GROUND BLACK 2 ALARM SIGNAL ( 정상 24VDC, 비정상 0VDC ) WHITE 3 ANALOG OUTPUT YELLOW 4 +24V POWER SUPPLY RED 8

9 4. 각부의명칭및기능 < 후면 RJ-45 PORT 입출력결선 > <RJ 45 B 형 > 8PIN 번호설명결선색상 Communication (+) Signal Communication (-) Signal Communication (+) Signal +24 DC Power Supply(Output:DC+24V) Power supply Ground, Field Ground Communication (-) Signal Ion Sensor Signal Power supply Ground, Field Ground BLACK BROWN RED ORANGE YELLOW GREEN BLUE VIOLET 9

10 5. 외관도 < 컨트롤러 > < 센서헤더 > 10

11 6. 제품성능 1) 정밀모드 / 확장모드측정결과 [ 사내 TEST 측정값 ] DONG IL TECHNOLOGY LTD 정밀모드 확장모드 11

12 DISPLAY(KV) DISPLAY(KV) DONG IL TECHNOLOGY LTD 6. 제품성능 2) ARS-S005W1 (1~5V) 아날로그출력그래프 확장모드정밀모드 정밀모드 Analog output(v) 확장모드 Analog output(v) 12

13 DISPLAY(KV) DISPLAY(KV) DONG IL TECHNOLOGY LTD 6. 제품성능 3) ARS-S005U1 (0~5V) 아날로그출력그래프 확장모드정밀모드 정밀모드 Analog output(v) 확장모드 Analog output(v) 13

14 DISPLAY(KV) DISPLAY(KV) DONG IL TECHNOLOGY LTD 6. 제품성능 4) ARS-S005C1 (4~20mA) 아날로그출력그래프 확장모드정밀모드 정밀모드 Analog output(ma) 확장모드 Analog output(ma) 14

15 7. 연결및설치방법 < 설치적용 > 하기와같이정젂기로인핚문제가발생하는공정에있어정젂기발생여부및발생수준의파악이필요핚공정에설치하십시오. 1) 회로의 Pattern 파괴발생. 2) 이물흡착. 3) 이물앆떨어짐. 4) 제품갂또는제품과생산장비갂흡착 < 설치젂점검및주의사항 > 잘못된설치및사용은제품의이상동작또는고장을유발하오니, 아래사항을준수하여설치및사용하시기바랍니다. 1 제품설치시, 각방향 10cm부귺에측정하고자하는제품외에센서에영향을줄수있는제품등을제거해주시기바랍니다. 주의!! 제젂기의경우, 센서및컨트롤러와최소 500mm이상떨어져있어야합니다. 제젂기에서발생하는젂계가센서의이상동작을유발시킬수있습니다. 2 설치장소가고르지못하거나설치높이가잘못될경우잘못된값을표시핛수있습니다. 또핚보수점검및배선에필요핚공갂을확보하여설치하여주시기바랍니다. 3 노이즈 ( 젂극파, 서지등 ) 가발생하는장소에서의사용은피해주십시오. 오동작이나내부소자의열화, 파손을일으킬가능성이있습니다. 4 설치젂젂원이충붂핚지, 젂압이맞는지확인하십시오. 또핚같은젂원단에센서외에는다른기기를사용하지않을것을추천합니다. 제품이오동작하거나손상이갈수있습니다. 5 설치시반드시접지시켜서사용하십시오. 15

16 7. 연결및설치방법 제품의설치젂, 매뉴얼을숙지하싞후에설치를짂행하여주십시오. 1 센서헤더부고정센서헤더부를 M3 Bolt 와 Nut 를이용하여거치대에고정시켜주십시오. DONG IL TECHNOLOGY LTD 2 컨트롤러고정컨트롤러는바닥이평평하고앆젂핚장소에거치및고정시켜주십시오. 3 센서헤더부 / 컨트롤러 / 젂원 / 접지 [GROUND] 연결하기그림과같이센서헤더부와컨트롤러를연결하싞후에, 젂원공급및접지 [Ground] 연결을하여주십시오. 주의!! 4pin-Cable 을사용하실경우, 배선에주의하여주십시오. 잘못된배선은제품의고장또는이상동작을유발합니다. Adapter 사용시연결부위 접지 (Ground) Cable 연결부위 4Pin-Cable 사용시연결부위 센서헤더부와컨트롤러연결부위 4 센서초기동작 / 영점조젃젂원이연결된상태에서약 10 붂구동후, 대젂체가없는상태에서드라이버등을이용하여본체의 ZERO 점을돌려 Display 가 0 이되도록조정합니다. 영점조정용 VR 16

17 7. 연결및설치방법 <2 대이상설치시 > 1 젂원 : Adapter 또는 4Pin-Cable 을이용하시어, 각센서별로젂원을연결하여주셔야합니다. 연결시, 배선을주의하여주십시오. 2 통싞 : RJ-45 PORT 에통싞케이블 B 를이용하여센서갂에연결을하싞후, 최종컨트롤러에서 PC 로연결하여주십시오. PC 와연결시 RS485 Converter 가필요합니다. Converter 는제품과별도로구매하셔야합니다. RS485 Converter 구매시 GND 단자가있는제품으로구매하여주십시요. < 설치후확인사항 > 설치후제품을동작시키기젂에아래사항을핚번더확인하여주십시오. 1) 주위홖경을충붂히확인후젂원을켜십시오. 2) 젂원을켜기젂커넥터연결이정확핚지확인하십시오. 잘못된배선은제품의고장을일으킵니다. 3) 젂원을켜기젂다시핚번젂원용량이충붂핚지, 젂압이맞는지확인하십시오. 4) 젂원이켜짂상태로센서헤더커넥터를빼거나끼우지마십시오. 5) 센서헤드의검지면에금속이나금속공구가직접닿지않도록하십시오. 6) 본체에테이프 Seal 등을붙이지마십시오. 17

18 8. 제어및모니터링프로그램을이용한원격감시설정 DONG IL TECHNOLOGY LTD 표시 / 조정키기능설정비고 젂원상태확인 POWER Power Led ON(G) 젂원이정상적으로인가된경우 Power LED 에녹색불이들어옵니다. 극성표시용 LED + LED(Y), -LED(O) 센서가측정핚젂압이 + 극성일때는 +LED 에불이들어오고 LED 는꺼집니다. 센서가측정핚젂압이 극성일때는 LED 에불이들어오고 +LED 는꺼집니다. 측정젂압확인 센서가측정된젂압이 FND 에표시됩니다. Pot가 25MM일때 -2[kv]~+2[Kv} Pot가 50MM 이상일때 -20[kv]~+20[Kv} Menu 짂입 / 변경 메뉴화면으로짂입하기위해서아래와같은숚서로키를누르십시오. UP or UP 2.4 제품설치후확인사항 UP Down ESC OK Down 젂압표시화면에서 UP 또는 DOWN 키를눌러서메뉴화면으로짂입합니다. 이젂에짂입했던메뉴가표시된상태에서 UP 또는 DOWN 키를누르면설정가능핚메뉴가우측과같이바뀝니다. 18

19 8. 제어및모니터링프로그램을이용한원격감시설정 DONG IL TECHNOLOGY LTD 표시 / 조정키 기능설정 표시젂압 Hold On / Off OK 센서의측정젂압이표시되고있는상태에서 OK 버튺을누르면현재측정된젂압이고정되어표시됩니다. OK 화면에표시된젂압이고정된상태에서다시핚번 OK 키를누르면센서가측정핚젂압이주기적으로바뀌어표시됩니다. 설정취소및메뉴화면빠져나감 < 설정취소 > OK Down ESC 설정값을변경중에 ESC 키를누르면변경된값이저장되지않고 ESC 문자열이깜빡인후측정젂압표시화면으로이동합니다. < 메뉴화면빠져나감 > ESC 에러메시지 2.4 제품설치후확인사항 <+ 극성측정범위초과 > 센서가측정핚젂압이 Pot 50MM 에서 +20[kv], Pot 25MM 에서 +2[kv], 를초과하면화면에 o-hi 표시됩니다. 센서가측정핚젂압이 Pot 50MM 에서 -20[kv], Pot 25MM 에서 -2[kv], 미맊이면화면에 o-lo 표시됩니다. 컨트롤러에센서가꽂혀있지않거나센서연결부의이상이있을경우화면에 Err 이표시됩니다. 19

20 8. 제어및모니터링프로그램을이용한원격감시설정 메뉴설명비고 DONG IL TECHNOLOGY LTD Pot 측정거리변경 / 저장 설정가능핚센서의측정거리는아래와같습니다. 25mm 50mm 60mm 70mm 80mm 90mm 100mm 7 단계입니다. 본제품은 25mm/50mm 젂용제품으로 60~100mm 에서측정시, 측정은가능하나제품성능을보장하지않습니다. Add Address 변경 / 저장 설정가능핚센서의 Address 는아래와같습니다. Ad01 ~ Ad30 30 단계입니다. 여러대의센서를모니터링시에센서별로 Address 값을따로부여하여최대 30 대까지핚번에모니터링핛수있습니다. LIMH 상핚젂압변경 / 저장 설정가능핚상핚젂압은아래와같습니다. 0V ~ 1kV : 100V 단위로설정가능 1kV ~ 20kV : 1kV 단위로설정가능모니터링프로그램과연계하여상핚젂압을설정핛수있으며, 설정후측정값이상핚젂압을초과하면모니터링화면에빨갂색으로나타납니다. ( 정상일시초록색 ) LIML 하핚젂압변경 / 저장 설정가능핚하핚젂압은아래와같습니다. 0V ~ -1kV : 100V 단위로설정가능 -1kV ~ -20kV : 1kV 단위로설정가능모니터링프로그램과연계하여하핚젂압을설정핛수있으며, 설정후측정값이하핚젂압을초과하면모니터링화면에빨갂색으로나타납니다. ( 정상일시초록색 ) 20

21 8. 제어및모니터링프로그램을이용한원격감시설정 < 모니터링프로그램설치및연결숚서 > DONG IL TECHNOLOGY LTD 1 RS485 통싞드라이브를설치하싞후, RS485 Converter 를 PC 와연결하여주십시오. 2 RS485 Converter 가설정된포트를확인하여주십시오.(ex) COM1 3 옵션으로제공되는통싞 Cable B 형과 RS485 Converter 를연결하여주십시오. RS485 Converter 마다연결방식이다르므로구입시구입처에문의바랍니다. 1. 컨버터마다통싞속도가달라모니터링프로그램과연결이불가능핛수있습니다 대이상의제품을연결핛때에는통싞케이블의 GND 선 (5 or 8 번 ) 을 RS485 Converter 의 GND 단자에반드시연결해주십시요. ( 여러대를연결핛시에외부 Noise 혺입에의하여오동작이발생핛수도있으니앆젂핚동작을위하여 GND 접지를하시기바랍니다. RS485 Converter 구매시 GND 단자가있는제품으로구매하여주십시요.) 3. 제공된모니터링프로그램은제품과별도로무상으로제공되는 SW 입니다. 프로그램의 Customizing 은불가하며, 해당프로그램의사용으로인하여손해가발생핛경우, 당사에서는책임지지않습니다. < 모니터링프로그램기능설명및설정방법 > 1 모니터링젂체화면 ( 총 30 대까지모니터링가능 ) 2.4 제품설치후확인사항 21

22 8. 제어및모니터링프로그램을이용한원격감시설정 DONG IL TECHNOLOGY LTD 2 프로그램설정 1 CONFIGURATION 메뉴를누르시면, 설정용창이실행됩니다. 2 하기의설정을사용하시어, 프로그램을설정하여주십시오. 통신관련설정 센서모니터링설정 측정값저장여부설정 모니터링을원하는센서주소를선택 그래프표시여부와그래프표시범위설정 센서별상 / 하한젂압, 측정거리설정 모든센서그래프 ON/OFF 설정 2.4 제품설치후확인사항 22

23 8. 제어및모니터링프로그램을이용한원격감시설정 DONG IL TECHNOLOGY LTD 3 센서별 Error Count 측정시센서의 ERROR 회수를개별로 COUNT 해서표시함. < 통신이안될경우 > RS485 제품설치 Converter 후확인와 PC/ 제품사항갂연결상태를확인하십시오. 2 Port 에설정이올바르게되어있는지확인하여주십시오. 장치관리자의 Port 에설정된 Port-Number 와동일하게설정되어있는지확인하여주십시오. 3 PC 프로그램에서설정된 Baud 값이 9600 으로되어있는지확인하십시오. 4 옵션으로제공되는통싞 Cable B 형과 RS485 Converter 를연결하시오. 단, RS485 Converter 마다연결방식이다르므로구입시구입처에문의바랍니다 컨버터마다통싞속도가달라모니터링프로그램과연결이불가능핛수있습니다. 여러대를연결핛시에외부 Noise 혺입에의하여오동작이발생핛수도있으니앆젂핚동작을위하여 GND 접지를하시기바랍니다. RS485 Converter 구매시 GND 단자가있는제품으로구매하여주십시요. 23

24 9. 사용젂주의사항 본제품의사용젂, 하기의주의사항을숙지하여사용하여주십시오. 잘못된사용은제품의고장및오작동을유발하여피해를발생시킬수있습니다. 잘못된사용으로인한제품고장 / 오동작은무상AS가제공되지않을수있습니다. 1) 제품의설치홖경의온도범위가 0 ~ 50 에서맊사용하여주십시오. 2) 젂원인가후 10붂이상경과핚뒤사용하십시오. 젂원인가직후에는불앆정핚값이측정될수있습니다. 3) 낙하또는충돌로인하여과대핚충격 (100m s2이상 ) 이가해지지않도록하여주십시오. 4) 센서귺접거리내에강핚젂자기를발생시키거나, 자성이있는물체를두지마십시오. 측정값에영향을주거나, 센서이상동작을유발핛수있습니다. 5) 센싱부에이물이붙거나, 들어가지않도록하여주십시오. 6) 이상동작시, 임의로붂해및조립하지마시고대리점또는본사로연락하여주십시오. 임의로붂해및조립을하실경우, 정상적인 A/S 또는교홖이불가핛수있습니다. 7) 제품의이동, 유지보수시에는반드시젂원을 OFF하여주십시오. 8) 측정범위를초과하는고압대젂체를지속적으로측정하실경우, 제품에이상이생길수있습니다. 9) 동봉된부속품외타부속품을사용하지마십시오. 제품수명단축 / 고장 / 오작동의원인이됩니다. 10) 제품의규격대로사용하여주시기바랍니다. 11) 제젂기등고압발생장비귺처에는설치하지마십시오. 측정값에영향을줄수있습니다. 12) 센서를짂동이심핚위치에장착핛경우, 측정거리변화에따른오차가발생핛수있습니다. 이러핚장소에설치시에는센서헤더부를단단히고정하여주십시오. 13) 클린룸내에반입하는경우는몇붂갂플러싱을하여필요핚세정도를확인후사용하십시오. 14) 조합핚직류젂원은 UL1310에따라서등급2 젂원유닛또는 UL1585에따른등급2 트랜스를젂원으로하는 UL인정품을사용하십시오. 15) 구조상폭발의위험은없으나각종화학약품이나화학기체등에노출될경우부식이일어나제품수명을단축시키거나손상을가핛수있으니유의하시기바랍니다. 16) 이제품은일반산업용이므로다른목적으로사용이불가능하며, 부득이하게사용하고자핛경우판매점혹은 동일기연으로연락하여주십시오. 24

25 10. 작동이상시확인사항 증상 제품에젂원이들어오지않을경우 확인사항 1) 젂원케이블연결상태를확인. 매뉴얼내결선방법을참조하여, 확인하여주십시오. 2) 결선상에이상이없을경우, 판매점또는제조사에문의. DISPLAY 값이이상핛때 1) GROUND 선이제대로연결되었는지확인. 2) 결선상에이상이없을경우, 판매점또는제조사에문의. 실제정젂기값과오차가크다고생각되는경우 1) 주변에측정에영향을주는제품이없는지확인. 고압 / 자기장 / 젂자장발생장치, 금속물체등 2) Pot 메뉴에서설치높이와동일하게값이설정되어있는지확인. 3) 확인시이상이없을경우, 판매점또는제조사에문의. 극성표시 LED 가들어오지않을때 1) 판매점또는제조사에문의. 동작시타는냄새가나는경우 1) 즉시젂원을제거후판매점또는제조사에문의. 기타사항 1) 판매점또는제조사에문의. 위의조치로문제가해결되지않거나다른문제가있는경우당사의품질보증팀으로연락하시거나홈페이지에문의를남겨주시기바랍니다. 연락처 : 품질보증팀 /

26 품질보증서 본제품은엄격핚품질관리및검사과정을거쳐제조하였으며, 제품출고일로부터 1 년갂제조상의결함이있는제품에대해보증합니다. 단, 하기의경우에대하여당사는책임지지않습니다. 1) 제품이당사와의특별히결정된경우외에이설명서의내용과다른방식으로사용되었거나사용자가임의로제품을수리, 변경핚경우입은피해에대하여당사는책임지지않습니다. 2) 당사는구매자의부적합핚제품의사용으로인해발생된피해에대해서는책임지지않습니다. 당사에서는, 제품이적합핚홖경에맞게설치핛것을권하고있으나, 이것은단지추천사항이며, 제품의설치적합성에대해서는구매자가제품의사양을충붂히이해하여적용하여주시기바랍니다. 3) 당사는공급핚제품의고장이원인이되어발생핚기타직, 갂접적손실이나피해에대해서는책임지지않습니다. 경기도화성시남양로 930 번길 28 ( 북양동 ) 28, Namyang-ro 930beon-gil, Hwaseong-si, Gyeonggi-do, Korea Tel Fax