주식회사누비콤 누비콤 T&M 사업영역 2 3 회사소개 신품계측기및공급라인 2003 년에설립된누비콤은서울본사를중심으로대전, 미국, 일본, 중국, 그리고베트남에지사를두고전세계의고객을대상으로하는전자계측기종합유통전문회사입니다. 또한누비콤은차세대보안솔루션, 네트워크 / 시스템통

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1 2018 프로빙및반도체테스트솔루션 Probe & Semiconductor

2 주식회사누비콤 누비콤 T&M 사업영역 2 3 회사소개 신품계측기및공급라인 2003 년에설립된누비콤은서울본사를중심으로대전, 미국, 일본, 중국, 그리고베트남에지사를두고전세계의고객을대상으로하는전자계측기종합유통전문회사입니다. 또한누비콤은차세대보안솔루션, 네트워크 / 시스템통합서비스, IT 유지보수, 출입통제시스템의컨설팅, 개발및구축을하는 IT 솔루션전문기업입니다. 25 개의세계유명장비메이커와공식협력관계를맺고, 8,000 여대의유명브랜드계측기기와 3,000 여대의네트워크 H/W 장비를상시운용하면서전기전자, 교육 / 연구기관, 무선통신, 항공우주, 반도체, IoT, 자동차전장, 그리고컴퓨터 / 가전등의분야에있는전세계의고객들에게공급하고있습니다. 누비콤의기업가치는 고객의제품구매비용을낮추는방법을연구하여, 이를고객에게이익이되도록함으로써궁극적으로는고객과의상생관계를유지하는것 입니다. 이를위해누비콤은업계유일의 [ 원 - 스톱토탈솔루션 ] 시스템을구축하고있습니다. 이시스템은신품뿐만아니라, 예산절감형중고제품판매및매입, 렌탈 / 리스, 수리및교정서비스, 그리고시스템통합용소프트웨어개발등을한회사에서모두할수있는역량적시스템을말합니다. 고객은여러구매절차를별도밟을필요없이누비콤한곳에서필요한모든서비스를해결할수있으므로, 예산뿐만아니라시간절약에도큰도움을얻을수있습니다. ㆍ내쇼날인스트루먼트 고객만족을위한누비콤만의토탈솔루션시스템 중고제품 ㆍ장 / 단기렌탈ㆍ렌탈후매각전환 ㆍ애버나 ㆍ장 / 단기렌탈 ㆍ테스콤 ㆍ리스형매각 ㆍ텍트로닉스ㆍ키슬리 신품계측기 ( 한국내영업 ) 정확한납기합리적가격 렌탈서비스 ㆍ저렴한보증금및월리스료 ㆍ코범수리와교정서비스 ( 에어로플렉스 ) 기술지원ㆍ그외다수ㆍ자체기술력 / 경쟁력 교정서비스 수리서비스 있는합리적인수리비 ㆍ다양한브랜드의 계측기수리가능 ㆍ40년이상의역사를가진, ㆍ제조사의서비스단종 세계적인교정전문회사 MPC와파트너쉽 제품도수리가능 ㆍ국제공인 ISO/IEC 교정랩 ㆍANSI/NCSL Z 인증 ㆍANSI/NCSL Z 인증 구분 공급사 국적 주요제품 관련산업 내셔널인스트루먼트 (NI) 미국 반도체테스트시스템, 데이터수집 / 제어시스템, 전자테스트 / 계측기기, 무선설계및테스트 반도체, 전기전자 마이크로프로스 (Micropross) 미국 NFC, e-payment 및무선전력테스팅시스템 전기전자, 자동차전장 에버나 (Averna) 미국 신호테스터, 멀티채널 RF 레코더및플레이백, RF 플레이어및신호발생기, 소프트웨어 전기전자, 자동차전장 로데슈바르츠 (R&S) 독일 신호발생기, 스펙트럼분석기, 네트워크분석기 전기전자 오실로스코프, 로직분석기, 프로토콜분석기, BERT, 신호발생기, 스펙트럼분석기, 파워미터, 텍트로닉스 (Tektronix) 미국전기전자전자계측코히런트광학솔루션, DMM, 전원공급기, 주파수카운터 / 타이머, 프로브, 액세서리 반도체테스트시스템, DMM, 소스미터, DC 전원공급시스템, 스위칭시스템, 키슬리 (Keithley) 미국 DC/AC 계측시스템, 데이터수집시스템, 배터리측정및시뮬레이터 반도체, 전기전자 취리히인스트루먼츠 (ZI) 스위스 락-인앰플리파이어, 임의파형발생기, 디지타이저, 임피던스분석기 전기전자, 물리 코범 (Cobham) 영국 항공전자테스터, GPS 시뮬레이터, 랜드모바일테스트, PXI 시스템, 무선테스트, 신호소스및분석기 항공전자, 전기전자 LCR 리서치 (LCR Research) 미국 핀셋형 0.1% LCR 미터, 핀셋형 0.5% LCR 미터 전기전자 루터텍 (rootek) 한국 RF 쉴드박스, RF 액세서리 전기전자 누비콤 (Nubicom) 한국 마이크로웨이브케이블 전기전자 RF/MW 케이블및부대용품 라디알 (Radiall) 메트켈 (Metcal) 비하이브 (Beehive) 에스케이지 (SKG) 프랑스미국미국미국 RF 테스트케이블, 동축커넥터 / 어뎁터 / 프로브, MW 수동부품, RF MW 스위치고주파남땜인두기, 실납공급기및시스템, 리워크및열풍기, 납연기정화시스템, 디지털정량토출기 EMC 프로브, 프로브어뎁터, EMC 프로브앰프, EMC 프로브케이블, RF 헬름홀츠코일, 고전력필터테스트트위저, IR 및 S/DF 테스트트위저, 픽스춰및어뎁터 전기전자, 항공전자전기전자전기전자전기전자 아폴로웨이브 (ApolloWave) 일본 매뉴얼프로브스테이션, 세미-오토메틱프로브스테이션 반도체 프로빙 티피시 (TPC) 일본 RF 프로브헤드, 듀얼 / 디퍼런셜프로브헤드, 멀티 RF 프로브헤드, DC+RF 프로브헤드, DC 프로브헤드 전기전자 기가프로브 (GigaProbe) 미국 파인피치용 TDR 프로브, TDR 및 N/A용프로브키트 전기전자 산업및환경 플루크 (Fluke) 히오키 (Hioki) 산와 (Sanwa) 테스토 (testo) 중고계측기매매 ( 비용절감솔루션 ) DMM, 클램프미터, 레이저거리계, 접지테스터, 전기테스터, 전력품질분석기, 스코프미터, 미국열화상카메라, 온도계, 절연저항계, 적외선온도계, 진동계, CNX 무선측정장비, 공기테스터일본 LCR 미터, 배터리테스터, 전력계, 데이터로거, 회로소자측정기, DMM/ 신호발생기, 환경측정기일본 DMM, 클램프미터, 저항계, 하이브리드테스터, 레이저파워미터, LCR 미터, 조도계, 습도계, 타코미터독일온도측정기, 열화상카메라, 습도측정기, 데이터기록계, 풍속계, 연소 / 배기가스측정기, 압력 / 냉동측정 환경, 전기전자 환경, 전기전자환경, 전기전자환경, 전기전자 본사 : 서울특별시영등포구경인로 775 ( 문래동 3가, 에이스하이테크시티 3동 201, 202) 자산규모 : W35,000,000,000 설립일 : 2003년 10월 2일대표 : 신동만사장직원수 : 101명 ( 2017년 10월현재 ) 고객지원센터 : 서울특별시영등포구경인로 775 ( 문래동 3가, 에이스하이테크시티 3동 202) 대전사무소 : 대전광역시유성구대덕대로 593 ( 도룡동 386-2) 대덕테크비즈센터 203호해외법인 : 勞必通電子 ( 深川 ), 누비콤 USA( 캘리포니아로즈빌 ), Reprorise( 신요코하마 ), 누비콤 Vina( 하노이 ) 취급전자계측기 : 키사이트 ( 애질런트 ), R&S, 텍트로닉스, 안리츠등, 전세계유명메이커전제품취급브랜드 : 계측기렌탈및리스 NUBICOM 사업분야 - 전자계측기신품 : NI, ZI, R&S, 텍트로닉스, 키슬리, 코범 ( 에어로플렉스 ), 세계유명메이커전제품 ( 다음페이지참조 ) - 전자계측기중고제품 : 키사이트 ( 애질런트 ), R&S, 안리츠, 텍트로닉스, 코범 ( 에어로플렉스 ) 등, 전세계유명메이커전제품 - 전자계측기렌탈 / 리스 : 키사이트 ( 애질런트 ), R&S, 안리츠, 텍트로닉스, 코범 ( 에어로플렉스 ) 등, 전세계유명메이커전제품 - 전자계측기수리 / 유지보수 : 전세계유명메이커전제품 - 전자계측기교정 : 전세계유명메이커전제품, ISO/IEC 17025, ANSI/NCSL Z , ANSI/NCSL Z 측정자동화소프트웨어개발및 SI: 측정자동화시스템, 다중안테나측정시스템 - IT 솔루션 : 차세대보안솔루션, 네트워크 / 시스템통합서비스, IT 유지보수, 출입통제시스템컨설팅 / 개발 / 주축 - B2C 제품 : 수소수발생기, 전동킥보드, 고성능스피커등 누비콤의제안및솔루션 단기 Rental Lease 형매각 중고장비판매 중고장비매입 Trade-In 시스템통합 (SI) 설명장점누비콤의제안 정해진기간동안일정금액으로장비를사용 장비가격을일정기간분할하여상환필요한장비를신장비가격대비약 40% 가격으로판매하는형태 불필요한잉여장비를현금화시킴불필요한잉여장비를매각하고필요장비를매입하는형태 기존장비들을통합및제어하는 Program 의개발 초기투자비용없음, 필요한시기만장비사용가능, 임대금액이비용으로인정 초기투자비용저렴, 추후장비사용및반납결정가능, Lease 금액기비용으로인정 구매가격최소화, 다른장비의매입기회제공 회사내현금유동성확보, 불필요한재고관리비용최소화 잉여장비의매각대금으로필요장비를매입 통합제어가용이하지않은제품군을하나의시스템으로제어가능하게함 저렴한 Rental 비용, 유연한렌탈기간조정장기렌탈시파격적 D/C 적용 중고장비의 Lease형매각저렴한보증금및월리스료미국 / 일본지사및국내외 300개이상유통채널을통해가장낮은판매가로제안 다양한유통채널을통한매각으로최대보상가제공고객의이익극대화재고관리비용절감 자동화측정관련된유무선동신뷴야의전반적토탈솔루션맞춤형시스템개발가능

3 4 Test & Measurement Test & Measurement 고객교육 T&M 교육 및 측정 자동화 솔루션 고객 교육 프로그램 수리 서비스 (Repair) 계측기 렌탈 및 리스 고객 교육 프로그램 누비콤의 제안 및 솔루션 누비콤은 고객을 위한 다양한 교육과 세미나 프로그램을 실시하고 있으며, 또한 유명 전시회에 참가하여 최신 기술과 장비를 데모 시연과 함께 누비콤은 고객을 위한 다양한 교육과 세미나 프로그램을 실시하고 있으며, 또한 유명 전시회에 참가하여 고객 여러분께 소개해 드리고 있습니다. 누비콤은 고객을 배려하는 시스템을 잘 갖추고 있는 믿을 수 있는 회사입니다. 무선통신 관련 계측기를 비롯하여 유선, 광통신, 전자측정 및 최신 기술과 장비를 데모 시연과 함께 고객 여러분께 소개해 드리고 있습니다. 시험분석기, 블루투스 및 무선랜(WLAN), 데이터 통신 시험분석기, 항공전자, 반도체, 자동차전장, IoT 측정 등, 전 제품을 취급하고 있습니다. 고객들이 지금 당장 필요로 하는 제품을 즉시 공급 가능한 시스템을 갖추고, 누비콤은 가장 빨리, 가장 정확하게, 그리고 가장 저렴하게 서비스 해 드립니다. 누비콤의 약속은 잘 갖춰져 운용되고 있는 누비콤 고객서비스센터에서 지켜지고 있습니다. 누비콤에서 A/S 가능한 전자 계측기 키사이트(HP, 애질런트), R&S, 텍트로닉스, 안리츠, 어드반테스트, 코범(에어로플렉스) 등, 전 세계 유명 메이커의 전 제품 누비콤의 시설 Adjustment System Detail Evaluation A/S의 표준을 리딩 무상 수리 1년 보증 (동일 증상/고객 과실 제외) 수리 후 무상 교정 (ISO 17025) 50 GHz 주파수 대역/광 장비 영역까지 지원 무상 배송 Pick-up 및 수리 후 배송 Cleaning 서비스 장비의 내부 및 외부 무상 Cleaning 무상 점섬 서비스 모든 제조사 계측장비 (Litepoint, Spirent, NI 및 Aeroflex의 통신 계측기 포함) 대상: 전 고객 최종 사용자, 렌탈사 및 딜러 또한 동일 조건 Incoming Inspection Total Verification System Outcoming Final Test 교정 서비스 (Calibration) 누비콤은 49년 전통의 글로벌 전자 계측기 교정 전문회사인 마이크로프리시즌 교정센터와 전략적 제휴관계를 맺고 교정 서비스를 하고 있습니다. 누비콤은 신품 계측기 뿐만 아니라 중고 계측기 매매를 비롯하여, 수리 서비스, 렌탈 그리고 측정자동화 솔루션까지 아시아 최대의 원-스톱 토탈 솔루션 시스템을 구축하고 있습니다. 세계적인 교정 전문회사 MPC 1969년 창립, 49년 역사 미국, 아시아, 중동 등 전세계 15개 국 30개 지역에 교정 LAB. 운용 MPC Korea의 장점 및 경쟁력 한국에서 Z540 인증 을 받은 특별한 교정 Lab 누비콤 고객 교육 예정 2017 누비콤 참가 예정 전시회/워크숍 중급 오실로스코프 입문 (매월, 텍트로닉스) 핸즈-온기본 교육(매월, (매월 텍트로닉스) 2회) 저랩뷰(LabView) 대역폭 오실로스코프 오토모티브 테스팅 엑스포 (3월, 킨텍스) 오토모티브 서울 모터쇼 (4월, 테스팅 킨텍스)엑스포 중급 오실로스코프 입문 (매월, 텍트로닉스) 비디오 테스팅 교육 (매월, 텍트로닉스) 저 대역폭 오실로스코프 기본 (매월, 텍트로닉스) 반도체 파라메트릭 테스팅 (연 2회, 키슬리) 비디오 테스팅 교육 (매월, 텍트로닉스) 오실로스코프 핸즈-온 교육 (매월, 누비콤) 반도체 파라메트릭 테스팅 (연 2회, 키슬리) DC 측정의 기본 및 실습교육 (매월, 누비콤) PCB 특성 임피던스 설계 및 측정 기술 세미나 (상/하반기) 서울 모터쇼 포토닉스 코리아 포토닉스 코리아 한국 반도체 학술대회 한국 반도체 학술대회 전자파 측정 기술 워크숍 전자파 측정 기술 워크숍 RF 회로기술 워크숍 2018 누비콤 고객 교육 세미나 예정 최고의 품질과 서비스로 전 세계적인 교정 LAB.으로 성장 Micro Precision Calibration Inc. MPC Korea는 한국의 교정 업체 중에서 특별하게 Z540 인증을 받은 교정 Lab.입니다. Z540 인증은 계측기의 제조사에서 규정하는 SPEC.을 기준으로 테스트 장비의 교정 교정 중, 이상 부분이 발견되면 신속히 협력사인 누비콤에서 조정(무료) 및 수리(유료) 서비스를 함께 제공함으로써 고객의 시간적 비용을 줄여 드립니다. 필요에 따라 교정 중에 대체 사용장비 제공 고객이 제품의 교정을 맡긴 기간에 사용할 수 있는 장비를 무료로 대여해 드립니다. (장비의 보유 상황에 따라 무상대여가 어려울 수도 있음) RF 회로기술 워크숍 항공 우주전자 심포지움 안테나 측정기술 워크숍 한국 반도체 대전 세미콘코리아 항공 우주전자 심포지움 안테나 측정기술 워크숍 결과를(Pass/Fail) 보증할 수 있는 시스템을 인증 받은 것을 의미 합니다. 제품 교정과 수리를 통합한 원-스톱 토탈 솔루션 2018 누비콤 참가 전시회/워크숍 2017 누비콤 주최 세미나 예정 기타 PCB 특성 임피던스 설계 및 측정 기술 세미나 (상/하반기) MICRO PRECISION CALIBRATION NFC 시장 동향 및 측정 기술 세미나 (상/하반기) KOREA 상호인정 RTS 무전기 측정 기술 세미나 (상반기) 디지털 라디오(DAB, DRM, RDS) 측정 기술 세미나 (상/하반기) 기타 초청장 및 교육/세미나 요청 전 화 : 이메일 : 초청장 및 교육/세미나 요청 전 화: 이메일: 5

4 6 Test Test& &Measurement Measurement 측정 자동화 솔루션 (NTS) 측정 자동화 솔루션(NTS) 측정 자동화 솔루션(NTS) 누비콤은 기존에 수작업을 통해 해 오던 측정 업무를 PC와 제어용 S/W로 대체하는 측정자동화 솔루션을 개발하였습니다. 누비콤은 기존에 오던장치를 측정 업무를 PC와 제어용다양한 S/W로 대체하는 측정자동화 개발하였습니다. 제어용 S/W는 각종수작업을 계측기와통해 시험해대상 자동으로 조정하여, 조건의 신호를 입력하고, 솔루션을 그 출력 결과를 분석 및 누비콤은 기존에 수작업을 통해계측기와 해 오던 측정 업무를 PC와 제어용 S/W로 대체하는 측정자동화 솔루션을신호를 개발하였습니다. 제어용출력 S/W는 각종 계측기와 제어용 S/W는 각종 장치를 자동으로 조정하여, 조건의 입력하고, 결과를 분석 및 시험 대상 데이터를 수집합니다. 누비콤의시험 측정대상 자동화 시스템은 더 빠르고, 더다양한 정밀하고, 업무 담당자의 에러를그제거하여 전체적 장치를 자동으로 조정하여, 다양한 조건의 신호를 입력하고, 그 출력 결과를 분석 및 데이터를 수집합니다. 누비콤의 측정 자동화 시스템은 더 빠르고, 더 정밀하고, 업 데이터를 수집합니다. 누비콤의 측정 자동화 시스템은 더 빠르고, 더 정밀하고, 업무 담당자의 에러를 제거하여 전체적 공정상의 리스크를 방지하기 위한 시스템입니다. 무 담당자의 에러를 제거하여 전체적 공정상의 리스크를 방지하기 위한 시스템입니다. 공정상의 리스크를 방지하기 위한 시스템입니다. 1. 측정 시스템 개요 1. 자동화 측정 자동화 시스템 개요 I. 프로브 솔루션 1. 측정 자동화 시스템 개요 PROBE SOLUTION GPIB GPIB RS232 RS232 TCP/IP TCP/IP 시험용 계측기 계측기 통신방식 시험용 계측기 NTS(누비콤 측정 자동화 시스템) 계측기 통신방식 시험 대상물 NTS(누비콤 측정 자동화 시스템) 시험 대상물 2. 주요 기능 2. 주요기능 주요RS232, 기능 LPT, TCP/IP, UDP 통신 지원 2.GPIB, GPIB, RS232, LPT, TCP/IP, UDP 통신 지원 디바이스 제어를 위한 프로그래밍 함수 GPIB, 제어를 RS232, LPT, TCP/IP,함수 UDP 통신 지원 디바이스 위한 프로그래밍 선택적 시험 기능 디바이스 제어를 위한 프로그래밍 함수 선택적 시험 기능 프로젝트 편집 기능 선택적 편집 시험기능 기능 프로젝트 시험결과 판정(Pass/Fail) 및 알림 기능 프로젝트 편집 기능 및 알림 기능 판정(Pass/Fail) 시험결과 다양한 수학식 사용 기능 시험결과 판정(Pass/Fail) 및 알림 기능 다양한 수학식 사용 시퀀스 제어문 사용기능 기능 I. 프로브 솔루션 부문에서는 미세 프로브, 프로브 헤드, 그리고 프로브스테이션을 소개 합니다. 누비콤은 위트(국내), 기가프로브(미국), T-플러스(일본), 아폴로웨이브 (일본)사와 채널 파트너 계약을 맺고, 성능은 어떤 제품에도 뒤지지 않으면서도 가격은 훨씬 저렴한 솔루션을 공급하고 있습니다. 다양한 수학식 사용 시퀀스 제어문 사용 기능기능 다양한 계측기 제품군의 측정화면을 PC에 저장 시퀀스 제어문 다양한 계측기 측정화면을 반복시험 기능제품군의 및사용 예약기능 시험 기능 PC에 저장 다양한정의 계측기 제품군의 측정화면을 PC에 DLL지원) 저장 반복시험 기능 및 예약 시험 기능 사용자 통신 프로토콜 지원(디바이스로 반복시험 기능 및생성(Excel, 예약 시험 기능 사용자 정의 통신 지원(디바이스로 시험 성적서 자동프로토콜 Multi SheetDLL지원) 지정가능) 사용자 정의 프로토콜 지원(디바이스로 DLL지원) 측정 데이터의 DB 관리 및 자료분석 기능 지정가능) 시험 성적서 자동통신 생성(Excel, Multi Sheet 본 제품들은 매년 1월에 COEX에서 열리는 세미콘 코리아 전시회에 출품하고 있습니다. 시험 성적서 자동 생성(Excel, Multi 웹을 통한 원격DB 검수 지원 측정 데이터의 관리 및 자료분석 기능 Sheet 지정가능) 웹을 측정통한 데이터의 DB지원 관리 및 자료분석 기능 원격 검수 웹을 통한 원격 검수 지원 NTS의 효과 NTS의 짧은 개발 기간 (3개월 3일) 및 짧은 우지보수 기간 (3주 1시간) TS로 Human Error Timing Loss 제거 NTS의 NTS의 효과 효과 장기간 Interval을및갖는 측정에서의 NTS의 Aging 측정값의 실시간 DB화, Mailing, 공유로 Error 제거TS로 및 조기 대응 가능 자동화일정한 개발 소요시간 유지보수 기간의Timing 장기화Error 최소화 NTS의 짧은Test 개발기능 기간및(3개월 3일) 및 짧은 우지보수 기간 (3주 1시간) 복잡한 측정 공정 및 성적서 에러 최소화 및 측정시간 단축 Human짧은 Error개발 Timing Loss 제거 NTS의 기간 (3개월 3일) 및화면 짧은 우지보수 기간 (3주 1시간) TS로 Human Error Timing Loss 제거 측정값의 신뢰도 제고 NTS의 자동 화면 Capture 기능(측정값 산출 시각의 Capture) 및 Capture 화면 성적서 자동반영으로 신뢰도 제고 복잡한 측정 공정 및 성적서 에러 최소화 및 측정시간 단축 장기간 일정한 Interval을 갖는 측정에서의 Timing Error 최소화 NTS의 Aging Test 기능 및 측정값의 실시간 DB화, Mailing, 공유로 Error 제거 및 조기 대응 가능 Pass/Fail의 실시간 공유 NTS의 측정값 실시간 DB화, Mailing, 공유로 원격관리 기능 자동화 개발 소요시간 및 유지보수 기간의 장기화 측정값의 신뢰도 제고 분산 측정시 측정값 자동 통합 NTS의 Capture 기능(측정값 산출 시각의기능 화면 Capture)및Capture 화면 성적서 자동반영으로 신뢰도 제고 NTS의 자동 측정값화면 실시간 DB화, Mailing, 공유로 원격관리 NTS의 Spy기능(기존의 시험 프로그램을 재 사용)으로 통합 자동화 가능 분산 측정시 측정값 자동 통합 Pass/Fail의 실시간 공유 NTS의 측정값 측정값 통합관리 DB기능으로 분산 측정값을 원격지 DB에 NTS의 실시간 DB화, Mailing, 공유로 원격관리 기능DUT별 자동 통합관리 가능 NTS의 개발 및 편집의 용이성 (엑셀 형식의 편집기, Pull-Down 방식의 Commom Language Reference 구축)으로 Know-How 축적 가능 NTS의 Spy기능(기존의 시험 프로그램을 재 사용)으로 통합 자동화 가능 Operating(개발, 편집, 사용) Know-How 축적 기존의 응용프로그램 자동제어 분산 측정시 측정값 자동 통합 계측기 운용상의 현안 Operating(개발, 편집, 사용) Know-How 축적 기존의 응용프로그램 자동제어 계측기 메이커의 생산 전략 의존에 따른 Risk 존재 계측기 메이커 및 모델의 종류에 따른 다른 메뉴방식 계측기 운용상의 현안 Operating(개발, 편집, 사용) Know-How 축적 Human Skill 의존 Risk 계측기 메이커의 생산 전략 의존에 따른 Risk 존재 측정 프로세스에 따른 측정법 및 결과값 획득은 엔지니어의 계측기 메이커 및 모델의 종류에 따른 다른 메뉴방식 Human Skill에 따라 측정시간 및 신뢰도가 달라짐 계측기 운용상의 현안 Human Skill 의존 Risk 측정 프로세스에 따른 측정법 및 결과값 획득은 엔지니어의 Human Skill에 따라 의존에 측정시간따른 및 신뢰도가 달라짐 계측기 메이커의 생산 전략 Risk 존재 계측기 메이커 및 모델의 종류에 따른 다른 메뉴방식 2. Apollowave 칩 12인치 프로브스테이션 저온/고온, 저전류 프로브스테이션 LED 프로브스테이션 고출력 프로브스테이션 진공 프로브스테이션 컴팩트 프로브스테이션 메니퓰레이터(Manipulator) 및 포지셔너 NTS의 Aging Test 기능 및 측정값의 실시간 DB화, Mailing, 공유로 Error 제거 및 조기 대응 가능 NTS의 자동 화면 Capture 기능(측정값 산출 시각의 화면 Capture) 및 Capture 화면 성적서 자동반영으로 신뢰도 제고 NTS의 측정값 통합관리 DB기능으로 분산 측정값을 원격지 DB에 DUT별 자동 통합관리 가능 측정값의 신뢰도 제고 Pass/Fail의 실시간 공유 기존의 응용프로그램 자동제어 엠비언트 프로브스테이션 진공 프로브스테이션 마이크로 포지셔너 플리커 노이즈 시스템 적외선 열전달 마이크로-이미징 케이블 및 테스트 키트 RF 프로브스테이션 시험측정 측정상의 현안시스템) 효과 3. NTS(누비콤 자동화 3. NTS(누비콤 측정 자동화 시스템) 효과 장기간 일정한 Interval을 갖는 측정에서의 Timing Error 최소화 1. WIT WLR 프로브스테이션 3. NTS(누비콤 측정 자동화 시스템) 효과 자동화 개발 소요시간 및 유지보수 기간의 장기화 복잡한 측정 공정 및 성적서 최소화현안 및현안 측정시간 단축 시험 측정상의 시험에러 측정상의 (주)누비콤은 각종 전자/통신 그리고 반도체 부품 등의 연구개발에서 부터 제조생산에 이르기까지 필요한 계측 및 시험분석, 그리고 측정 자동화 시스템 등을 지원 하는 종합 솔루션 전문 회사입니다. NTS의 측정값 통합관리 DB기능으로 분산 측정값을 원격지 DB에 DUT별 자동 통합관리 가능 NTS의 효과 NTS의 개발 및 편집의 용이성 NTS의 Spy기능(기존의 시험독립성 프로그램을 재 사용)으로 통합 Reference 자동화 (엑셀 형식의 편집기, Pull-Down 방식의 Language 계측기 메이커의 생산전략에 대한 확보Commom 및 계측기 운용의 최적화 가능 가능구축)으로 Know-How 축적 가능 계측기 내부 명령어를 Library로 구축한 NTS(CLR기능) 사용으로 계측기 Maker, Model의 메뉴방식에 상관없이 Control 가능 NTS의Pull-Down 효과 NTS의 개발 및 편집의 용이성 (엑셀 형식의 편집기, 방식의 Commom Language Reference 구축)으 NTS로 Human skill 의존하던 Risk 제거 계측기 메이커의 생산전략에 로 Know-How 축적 가능 대한 독립성 확보 및 계측기 운용의 최적화 가능 비숙련 엔지니어도 Enter만으로 시험 측정작업 가능 계측기 내부 명령어를 Library로 구축한 NTS(CLR기능) 사용으로 계측기 Maker, Model의 메뉴방식에 상관없이 Control 가능 LowCost 실현 가능, 측정시간 단축, 신뢰도 제고 효과 3. Giga Probe DVT30-1MM 30 GHz 듀얼 프로브 TDR 상호연결 분석 DVT40-1MM 40 GHz 듀얼 프로브 TDR/네트워크 분석기용 S-파라미터 프로브 NTS의 효과 NTS로 Human skill 의존하던 Risk 제거 비숙련 엔지니어도 Enter만으로 시험 측정작업 가능 계측기 메이커의 생산전략에 대한 독립성 확보 및 계측기 운용의 최적화 가능 LowCost 실현 가능, 측정시간 단축, 신뢰도 제고 효과 4. T-Plus 계측기 내부 명령어를 Library로 구축한 NTS(CLR기능) 사용으로 계측기 Maker, Model의 메뉴방식에 상관없이 Control 가능 Human Skill 의존 Risk NTS로 Human skill 의존하던 Risk 제거 측정 프로세스에 따른 측정법 및 결과값 획득은 엔지니어의 비숙련 엔지니어도 Enter만으로 시험측정작업 가능 Human Skill에 따라 측정시간 및 신뢰도가 달라짐 LowCost 실현 가능, 측정시간 단축, 신뢰도 제고 효과 싱글 RF 프로브 헤드 듀얼 / 디퍼런셜 RF 프로브 헤드 멀티 RF 포트 프로브 헤드 DC + RF 프로브 헤드 DC 프로브 헤드

5 WIT 제품안내 Probe Station WIT 소개 위트 (WIT) 는 2015 년, 고정밀프로브스테이션을연구개발및생산하는전문회사로출범했습니다. 깨끗하고편안한환경의실험실및조립실을갖춘새건물에서고객에게공급하기위한최고의제품을생산하고있습니다. 위트 (WIT) 는고객이원하는최상의제품즉, 정밀하면서도고장이없고또한편안하게사용할수있는프로브스테이션을생산하기위해최선을다하여노력하고있습니다. 위트 (WIT) 는항상현재보다더신선하고전문적인미래의생각으로제품을개발하고있습니다. 위트 (WIT) 는고객만족을최우선으로생각하는회사가될것을약속합니다. 위트 (WIT) 는현재보유하고있는다양한리소스들, 즉숙련된엔지니어들과그들이각자의전문분야에서오랜경험을통해서축적한노하우를언제든지최대한발휘될수있도록최선을다하여지원하고있는회사입니다. 이런과정을통해서생산된위트의프로브스테이션은믿을수있는제품으로고객에게공급이되고있습니다. 더자세한정보는 에서볼수있습니다. 주요제품소개 엠비언트프로브스테이션 (Ambient Probe Station) 진공프로브스테이션 (Vacuum Probe Station) 마이크로포지셔너 (Micro Positioner) 플리커노이즈시스템 (Flicker Noise System) 적외선열전달마이크로 - 이미징 (Infrared Thermal Micro-imaging) 케이블및테스트키트 (Cables and Test Kit)

6 Probe station & Accessories Ambient Probe Station MODEL APX-10 Noise Measurement System Flicker Noise System High-quality measurement Co-operation with R&D centers Automatic detection in transistors Model parameters extraction module Entry-level mounting system Tabletop placed probe station Rapid / Reliable warmup stage Easy expandable to functional system Vacuum Probe Station MODEL VPX-10 InfraScope Temperature Measurement Microscope System WIT WIT Temperature mapping microscope All-general-purpose system High-degree vacuum state Atmospheric gas control High-speed temperature trace option Thermoreflectance temperature mapping solution Design, packaging, reliability, microwave, RF, MEMEs LN2, LHe circulated temperature variable stage

7 Probe station & Accessories Universal ambient probe station MODEL APX-10 Model APX-10 is an universal ambient probe station which is being widely used by many universities, companies and research institutes. This model has a compact structure with an easy-to-move body. It is designed for users to change or modify components easily such as micro-positioner, probe tip, temperature variable chuck, cable connection type and the specifications of microscope on the measurement purpose of end-users. Because of its simple structure, it has advantages in maintenance and modification by the requirements of customers and environment of measurement. It is compatible to various measuring instruments. And it effectively measure electrical properties of micro-scaled elaborate device samples as positioning and controlling probes with micro-positioners. The maximum sample stage size is 300mm. Furthermore, with covering the system with the optional dark shield box, APX-10 can provide more stable and precise results by eliminating the external noise effect. Entry-level mounting system Tabletop placed probe station Rapid / Reliable stage warmup Easy expandable to functional system MODEL APX-10 Description and specification Sample Sample size 2 to 12 Nickel-plated (sample fixed with bottom-evacuation) Sample chuck evacuation Pumping speed 7L/min Ultimate pressure Pa Ports BNC, Triaxial Probing Maximum probes Device movement X,Y,Z movement Resolution Base option Tip holder 6pcs 300mm(X), 300mm(Y) 25mm x 25mm x 25mm 1μm Vacuum & magnet Triaxial & tube type Bottom plate of sample chuck is grounded for sample preparation. Micro-positioner probing can be done as looking directly through the microscope by user or as monitoring images from micro-video scope.easy expandable to functional system Hot-chuck & Controller Station footprint 300mm(118.1 in) width, 700mm(27.5 in) width, Heater footprint 400mm(157.4 in) depth, Station footprint 500mm(19.6 in) depth, 200mm(78.7 in) height 450mm(17.7 in) height Standard probe Sample stage configuration Temperature range Room Temp. ~ 200 Station weight 80kg Resolution 0.1 (±0.5) contact pad Straight tip type contact pad Bending tip type Straight tip type Bending tip type Chuck Coating Microscope Au Plated Dark shielding Standard probes and micro-tips for nano-, micro- scaled device measurements at room temperature Dark shield box(optional)-system grounded Turret 4 lens changeover turret Shielding box footprint 900mm(35.4 in) width, 900mm(35.4 in) depth, Magnification 15x to 2,000x 900mm(35.4 in) height STB probe (Spring Tension Balanced) Micro-probe(type selectable) Focus adjustment Camera mount with coaxial coarse and fine focusing wheels C-mount adapter Material Shielding box weight SCCP 20kg Dark shielding box is chuck is grounded for sample preparation. DUT Micro video scope Utility WIT 6.5x zoom lens 0.75x to 5x, 0.5x adapter, working distance 105mm 1-phase voltage 100/120/220/240VAC (+5%, -10%), 50/60Hz WIT Contact pressure between micro-tip and device contact pad is constantly retained by spring tension balancer Measurements including temperature or environmental pressure variable effects are more convenient to perform. Standard metal-chuck or Insulated hot-chuck 1.Standard ceramic type 2.Pasted ceramic type Base-system grounded Image sensor Pixel size Camera mount Resolution IMX μm x 3.2μm C-mount adapter Dynamic: 1920 x 1080 Static: 3264 x phase power 3-phase voltage 3-phase power Cooling water 2kVA recommended Not required Not required Not required Video recording: 1080 card Dark shielding box is optional for protecting samples from environmental light or touching.

8 Probe station & Accessories All-purpose evacuating probe station MODEL VPX-10 MODEL VPX-10 Description and specification Model VPX-10 is very elaborately designed all-purpose evacuating probe station which can measure device properties according to the variation of temperature (10K ~ 500K) in the vacuum beyond limits of the ambient system. Customers can choose the number of probe arms when the vacuum chamber is assembled onto a lab table from minimum 4 to maximum 6 probe arms. Furthermore, users can comparably measure device properties at the atmospheric pressure and in the high-degree (~10-6 torr) vacuum. Through innovative design of temperature conversion stage can control wide range of stage temperature; fine tuning of LN2 flowing though small tubular type of path, effective temperature transmission via pasted ceramic type chuck which also enhance the temperature transition time and the temperature resolution. Real-time high magnified micro-video system provides clear video information to a user for approaching the micro-tip to the micro-scaled sample electrodes exactly. Images can be zoomed in and out for easy sample loading and unloading. With equipped mass flow control system, internal environmental gas can be controlled easily (optional) as expanding the measuring variables for more various research application. All-general-purpose system High-degree vacuum state Atmospheric gas control LN 2, LHe circulated temp. stage Sample Sample size 2 to 4 Nickel-plated Sample chuck (sample fixed with bottom-evacuation) Sample chuck evacuation Pumping speed 7L/min Ultimate pressure Pa Ports BNC, Triaxial Hot-chuck & Controller Heater footprint 300mm(118.1 in) width 77K ~ 500K (LN2) 10K ~ 800K (He) Temperature range Temp rate: +30 /min Temp rate: -12 /min Temp resolution: ±0.5 Micro video scope 6.5x zoom lens Image sensor Output signal Pixel size Resolution Vacuum chamber footprint Chamber footprint Position Plate footprint Ultimate pressure Gas Port Ports 0.75x to 5x, 0.5x adapter, working distance 105mm IMX236 USB 2.0, composite, HDMI μm x 3.2μm Dynamic: 1920 x 1080 Static: 3264 x mm(118 in) Diameter, 200mm(78.7 in) height 800mm(315 in) Width, 800mm(315 in) Depth 1.0x10-7 Torr 1/4in NPT with valve Vacuum, Gas, Vent Resolution High Temp: ±0.5 Low Temp: ±3 Temperature varlable stage : standard or pasted ceramic Environmental gas variable chamber Standard walled chamber / thickwalled chamber selectable Optional port for gas flowing (via feed-though) Chuck Coating Temperature changeable chuck Heater footprint Temperature range Au Plated 300mm(118.1 in) width 77K ~ 500K (LN2) 10K ~ 800K (He) Temp rate: +130 /min Temp rate: -12 /min Temp resolution: ±0.5 Vibration Isolation Table Vibration Isolation Table footprint Auto Level Control Natural Frequency Load Capacity Air Supply 900mm(354 in) width, 900mm(354 in) depth, 750mm(295 in) height ±0.1 mm, Repeatability 1.2 ~ 1.5Hz, Vertical 1.5 ~ 2 Hz, Horizontal 400kg ~ 2,000kg 5 ~ 7 kgf/cm2 Air Power 200V DC, 150W Maximum temperature of 800 C with special manufacturing of thick-walled chamber and components durable high temperature Environmental gas flowing control by the balance between massflow-control and evacuated pressure Chuck Coating Au Plated Utility Probing 1-phase voltage 100/120/220/240VAC (+5%, -10%), 50/60Hz WIT Maximum probes Device movement 6pcs 210mm(X), 210mm(Y) 1-phase power 3-phase voltage 2kVA recommended Not required WIT X,Y,Z movement 25mm x 25mm x 25mm 3-phase power Not required Resolution 1μm Cooling water Not required Predominant heat transfer though pasted ceramic type temperature variable stage Base option Tip holder Vacuum & magnet Triaxial & tube type Sample chuck type is selectable.(metal plated hot-chuck type/ liquid gas flowing temperature changeable type chuck)

9 Probe station & Accessories Dual chamber probe station MODEL VPX-10DC Perfect shielding compact stage MODEL VPX-20SH VPX-10DC model has the dual chamber structure, it is able to have maximum of space efficiency using a chamber of top and bottom structure in the limited space. The configuration of multi-chambers is alternative and dual- or multi-chamber economically share apparatus such as a pump, gas controller(mfc) and vacuum components. Specifications like temperature variable range or the degree of vacuum are identical to the standard vacuum probe station VPX-10. This idea of multi-chamber system can expand the research scope. VPX-20SH model offers perfect electronic shielding as much as lowering external electronic noise effects. The probe positioning are implemented by double micro-positioning system. Firstly, inner positioners take the device electrode positions roughly and then the accurate positioning is done by outer positioning knobs after chamber evacuation. Up to 2-inch sized sample can be measured in this system with the temperature from 10K to 500K. It provides very low back-ground electronic noise and high-vacuum state as well with perfectly shielded chamber structure having few leak points in terms of evacuation and low frequency noise. Tabletop placed probe station Vertical/lateral configuration Multi-control factors environments Cost effective dual chamber having 1-control center Definitely diminished leak points Positioner bellows free chamber structure Advantageous for low electronic noise measurement External probe positioning system for post-correction after evacuation Temperature changeable chuck Probing Temperature changeable chuck Probing Heater footprint 300mm(118.1 in) width Maximum probes 6pcs Heater footprint 300mm(118.1 in) width Maximum probes 6pcs Temperature 77K ~ 500K (LN2) 10K ~ 800K (He) Temp rate: +130 /min Temp rate: -12 /min Temp resolution: ±0.5 Device movement X,Y,Z movement Resolution 210mm(X), 210mm(Y) 13mm x 13mm x 13mm 1μm Temperature 77K ~ 500K (LN2) 10K ~ 800K (He) Temp rate: +130 /min Temp rate: -12 /min Temp resolution: ±0.5 Device movement X,Y,Z movement Resolution 210mm(X), 210mm(Y) 13mm x 13mm x 13mm 1μm 200V DC, 150W Base option Vacuum & magnet Power 200V DC, 150W Base option Vacuum & magnet WIT Chuck Coating Au Plated Tip holder Triaxial & tube type Chuck Coating Au Plated Tip holder Triaxial & tube type WIT Construct your own system with the support of WIT! Whatever you want, WIT support the technology to realize your own measurement system. Be creative! Be perfect!

10 Probe station & Accessories Micropositioner DC Positioner _ D series Anti-vibration Table Table Specifications Accurate X and Y placement and precise probe over travel with easily adjusted knobs 3 linear axes with precision ball bearings DM01 Easy to detailed micro control and loading heavy-load Excellent damping effect and horizontal, vertical vibration control function Easy to conserve the working space and easy to separate/assemble Automatic power off in overload by applying the built-in circuit breaker Adjustable probe arm mounting plate Captivated stages with lead screw design DS01 Can fix the frame and optical table as possible to manufacture the M6 counter bore Mass is low and rigid is excellent honeycomb structure (can apply honeycomb optical table) Shorten stabilizing hours by removing micro vibrating of the external environment High precision cross-roller bearings Can be ordered with either. - Vacuum base - Switch type magnetic base with residual holding force Fine screw: 0.125mm pitch 13mm(0.5 inch) travel in X, Y and Z stage (Z-axis control: cs=down, ccw=up) DW05 Optic Table Model Size (mm) Thickness (mm) KOP x /100 KOP x /100 KOP x /200 KOP x /300/400 RM01 Micropositioner RF Positioner _ R series Accurate X and Y placement and precise probe over travel with easily adjusted knobs Pneumatic Support Isolation Natural Frequency Auto level control Load Capacity Air Supply pneumatic type 1.2 ~ 1.5Hz, Vertical 1.5 ~ 2 Hz, Horizontal Level control: 3 auto level control Repeatability: ±0.1mm 400kg ~ 2,000kg 5 ~ 7 kgf/cm2 Air 3 linear axes with precision ball bearings Adjustable probe arm mounting plate Overhead Table Shelf System RS01 Captivated stages with lead screw design Model Length (mm) Shelf Plate Electric Outlet (220V/110V) KOS ea High precision cross-roller bearings KOS ea WIT Can be ordered with either. - Vacuum base - Switch type magnetic base with residual holding force KOS ea Pneumatic Support WIT Fine screw: 0.125mm pitch Optical top/breadboard Thickness: 30/50/100/200/300/400t Flatness : ±0.1mm Over 1000mm2 Area Core : Tin Plate Honeycomb 13mm(0.5 inch) travel in X, Y and Z stage (Z-axis control: cs=down, ccw=up) Mounting Hole Metric : M6-25mm grid, 12.5mm border English : 1/4-1 grid, 1.5 border Application: 50 μm under PAD Hole/Core Sealing Clean Cylindrical cup

11 Probe station & Accessories Movement stage: x,y,z movement type Stage Specifications Movement stage: rotational type Stage Specifications Low cost Linear type stage Provide different kinds of manual stages (Linear, Dovetail, Rotary and etc.) Provide different kinds of sliding ways (Cross Roller, Guide, Ball Guide, Dovetail Slide) Provide different kinds of materials (Aluminum, Steel, Brass, Stainless etc.) Can organize according to requests from the customers Used for optical equipment as a testing machine, laser equipment, measurement and analysis Low cost Linear type stage Provide different kinds of manual stages (Linear, Dovetail, Rotary and etc.) Provide different kinds of sliding ways (Cross Roller, Guide, Ball Guide, Dovetail Slide) Provide different kinds of materials (Aluminum, Steel, Brass, Stainless etc.) Can organize according to requests from the customers Used for optical equipment as a testing machine, laser equipment, measurement and analysis Manual Stage Motorized Stage Manual Stage Motorized Stage X-Axis Stage XY-Axis Stage X-Axis Stage XY-Axis Stage Movement Stage Goniometer Stage Rotary Stage Z-Axis Stage Movement Stage Z-Axis Stage XY-Axis Stage Rotary Stage Alignment Stage Manual Stage Specifications Motorized Stage Specifications Manual Stage Specifications Motorized Stage Specifications Micro Head Right, Left, Center Materials Aluminum Micro Head Right, Left, Center Materials Aluminum Materials Steel (option: Aluminum) Table Dimension 80mm x 80mm x 236mm Materials Steel (option: Aluminum) Table Dimension 80mm x 80mm x 236mm WIT Dimension 125mm x 125mm x 213mm Travel Range ±15 Dimension 125mm x 125mm x 213mm Travel Range ±15 WIT Travel Range ±12.5mm (X, Y, Z) Max. Speed 20mm/sec Travel Range ±12.5mm (X, Y, Z) Max. Speed 20mm/sec Resolution 10 μm Resolution 0.002/Pulse Resolution 10 μm Resolution 0.002/Pulse Load Capacity 1 Kg Load Capacity 9 Kg Load Capacity 1 Kg Load Capacity 9 Kg Weight 9 Kg Weight 4.8 Kg Weight 9 Kg Weight 4.8 Kg

12 Measurement system Flicker Noise System AdMOS(Advanced Modeling Solutions): 1/f noise measuring systems Infrared Thermal Micro-imaging QFI(Quantum Focus Instruments): InfraScope 1/5X magnification 1X magnification 5X magnification 25X magnification The InfraScope detects and measures infrared light emanating directly from the sample. The measured temperature distributions, for different working state of a RF-MEMS switch, are given. This steady-state map offers a real time global performance overview of the RF induced phenomena, and represents a very valuable real-time investigation tool for integrated MEMS and RFIC power handling front-end. Infrared MWIR Lenses Lens 1/5X 1X 5X 15X 25X Pixel Resolution 120μm 24μm 4.8μm 1.6μm 0.96μm USAF Resolution μm 7.0μm 2.8μm 2.5μm Field of View 30.7nm 6.14mm 1.23mm 0.410mm 0.246mm Working Distance 150mm 165mm 52mm 15mm 20mm Research example : Electronic noise properties of low-dimensional materials transistors using WIT probe station Low frequency noise comparable analysis in ambient and vacuum state, or as changing environmental temperatures or gases Research example : Thermodynamics study in micro-scaled devices Heat flow study, device or package reliability against to environmental temperature in micro-size area WIT WIT Test set-up for temperature mapping

13 24 Cables and Test Kit AdMOS Noise Cables and Measurement Test Board Low electronic noise measurement cables 1. CABLE TYPE a) Triaxial type cable - Cable Length: 0.5 ~ 3m (typical) - It can be changed by customer demand. b) BNC type cable - Cable Length: 0.5 ~ 3m (typical) - It can be changed by customer demand. Apollowave 제품안내 Probe Station 2. General Description -RG-58A/U Type -Double Tinned Copper Braid Shield(95%) a) Insulation Material: PE-Polyethlene b) Inner Shield: Braid TC c) Pulling Tension: 369N d) Bend Radius/Minor Axis: 63.5mm 아폴로웨이브소개 아폴로웨이브사는 2000 년 2 월에설립되었으며, 일본오사카에위치하고있습니다. Measurement Test Board 3. Electrical Characteristics a) Characteristic Impedance: 50 (Ohm) b) Characteristic Inductor: 0.25 (μh/m) c) Capacitance Conductor: 101 (pf/m) d) Conductor DC Resistance: 31 (Ohm) e) Nom. Attention: 1Hz: (db/100m) e) Nom. Attention: 1kHz: 78.74(dB/100m) 4.Low Noise Data Sheet a) Characteristic Impedance: 50 (Ohm) b) Max. Frequency: 1 (GHz) c) Capacitance: 115 (pf/m) d) Insulation Resistance: 2.1*106(Ohm) e) Max. Operating Voltage: 1.5 (kv) 2001 년에세미 - 오토메틱웨이퍼프로브개발및고주파프로브의구개발로일본정부로부터 중소창조적활용촉진법 인증을받았습니다 년에 6GHz 프로토타입프로브카드및 TDDB/EM 프로브카드를개발하였으며, 2003 년에는고주파수수직프로브의개발로 " 지역일으킴대상 을수상하였습니다. 또한 " 반도체웨이퍼레벨일렉트로마이그레이션평가장치개발 로 중소창조적활용촉진법 인증을받았습니다. 연이어 300 mm 웨이퍼 TDDB/EM 프로브카드와 300 mm WLR 프로빙시스템및프로브카드발표로제 5 회오사카프론티어상, 창업장려부문특별상을수상하였습니다 년에프로브스테이션새로운 α 시리즈를출시하였으며, EM350 대응신뢰성시험매뉴얼프로브스테이션 PEM300 출시로 내일의일본을지탱하는건강한제품만들기중소기업 300 사 에선정되었습니다. 고 / 저온및미소전류용프로브스테이션, 고출력프로브스테이션등계속새로운제품을매년발표하는능력을인정받아 2012 년 4 월에는애질런트테크놀로지 ( 현, 키사이트 ) 와솔루션파트너계약을체결하고동사의모든제품에사용할수있는프로브스테이션을공급하고있습니다. 가장최근에는세미 - 오토메틱프로브스테이션 AP 시리즈출시했습니다. 더자세한정보는 에서볼수있습니다. Descriptions Items Description Image 제품소개 WIT NFET PNP Diode 2N7002 MOSFET (N-Channel) MMBT3906 (Transistor) TMBAT49 (Schottky Diode) 컴팩트프로브스테이션진공프로브스테이션저전류고주파수프로브스테이션 (α100) 저전류고주파수하이파워프로브스테이션 (α150/200/300) 고온및저온, 미소전류프로브스테이션 (α300cs/200cs) RF 프로브스테이션 (α100rf/200rf) WLR 프로브스테이션 (PEM300) 세미 - 오토메틱프로브스테이션 (AP-200PW) LED 프로브스테이션 (α2000lx) 고출력프로브스테이션 (α200pw) 옵션 ( 매니퓰레이터및포지셔너 ) Resistor Metal Film Resistor

14 26 프로브스테이션 27 Desk Top Type 컴팩트 프로브스테이션 간단한 IV/CV 측정에 최적의 솔루션 50 사이즈 칩 까지 측정 가능!! 340 mm (본체: 300 mm) 주요 특장점 쏠라 시뮬레이터 장착 가능 작은 사이즈, 가벼운 무게 편리한 이동성 안정적이고 정확한 측정을 위해 차폐 박스 설치 가능 간단한 구조, 저렴한 가격 200 mm 글로브 박스(Glove Box) 630 mm (본체: 400 mm) Low leak 측정 유닛 구성 예 프로브스테이션(Probe Station) 이란? 프로브스테이션은 반도체, PCB, 전자회로, 부품의 조립 공정 등을 진행하기 전에 제품의 전자적 특성을 측정하기 위해서 주요 측정 장비와 피 측정체를 연결하기 위해 사용됩니다. 본체 (50 mm stage) 마이크로 포지셔너(Micropositioner): 3 pcs 3축(Triaxial) 프로브: 3pcs 텅스텐 바늘: 25pcs/box 커넥터 판넬: TXA 4pcs 진공 펌프(Vacuum pump) 장비 도면 예 프로브스테이션은 주로 반도체 소자의 특성을 측정하는 장비로, 반도체 디바이스 와 계측 장비가 쉽게 프로빙(Probing) 될 수 있도록 도와주는 장비입니다. 프로브스테이션(Probe Station)은 프로브 카드(Probe Card)나 프로브 헤드(Probe Head)등을 이용하여 PCB나 반도체 웨이퍼(Wafer) 상에서 눈에 보이지 않는 디바이스 (Device)의 측정 포인트(Point)에 프로빙(Probing)을 쉽게 할 수 있게 해 주는 장비로 반도체 디바이스의 불량 분석에 사용 됩니다. 프로브스테이션(Probe Station)의 종류 Vacuum Probe Station 진공 프로브스테이션 4 매니퓰레이터(manipulator) 타입 α100 칩 12인치 프로브스테이션 저온/고온 및 저전류 프로브스테이션 고출력 프로브스테이션 Apollowave 컴팩트 프로브스테이션 프로브 스테이션(Probe Station)과 함께 사용되는 전자계측장비는 커버트레이서(Curve tracer), 소스 미터(Source meter), 네트워크 분석기(Network Analyzer), LCR 미터(LCR meter), 시간영역반사계(Time Domain Reflectometer), 스펙트럼분석기(Spectrum Analyzer) 등으로 측정 용도에 따라 다양하게 연결이 됩니다. 진공 정도는 10-3 Pa 지원 신호 분리 방법은 개별 사양에 대응 미세 전류도 측정 가능 스테이지도 X Y 50 가동 스테이지 크기는 100 까지 가능 Organic 디바이스 / MEMS 디바이스 재료 연구개발용 프로브 카드 타입 10-3 pa에 상응하는 진공도 스테이지의 X, Y 축을 50 mm 단위로 이동 가능 모든 종류의 커넥터(Connector) 가능 미세 전류 측정 가능 다핀 대응 프로브 카드형 프로브 카드 타입으로 여러 개의 핀(pin) 가능 진공 정도는 10-1Pa에 부응 비측정 물은 프로브 카드의 교체에 따라 부응 X,Y,Z 및 θ 스테이지에 따라 정렬 Apollowave 시스템에 따라서 DC 부터 고주파 신호 분석이 가능하도록 수동, 반 자동, 자동의 기능을 제공하며 동시에 여러 측정 포인트를 측정할 수 있습니다. 프로브 카드 타입 RF 프로브스테이션 LED 프로브스테이션 WLR 프로브스테이션 진공 프로브스테이션

15 28 프로브스테이션 29 α100 시리즈 α300cs / α200cs 알파 시리즈 프로브스테이션 고온 및 저온, 미소전류 프로브스테이션 저전류, 고주파수 용 프로브스테이션 A100은 알파시리즈 프로브스테이션 중 가장 콤팩트 한 매뉴얼 프로브스테이션 입니다. IC, 다이오드, 트랜지스터, 웨이퍼 등의 전기적인 특성을 측정하고 분석하는 용도로 사 용 됩니다. 사용자는 합리적인 가격으로 유용성과 높은 퍼포먼스를 느끼실 수 있습니다. 미세 누설전류 측정 고온 측정, 저온 측정 용 프로브스테이션 -55 C ~ 350 C 스테이션에 장착 된 콤택트 한 차폐 쉴드를 이용하여 fa 단위의 저전류 측정이 가능 하 고, 내부를 질소 또는 건공기 환경으로 변경 가능하므로 유기발광다이오드 (OLED) 측정 이 가능 합니다. Just Right, Just Fit! Optimum for chip size up to 4 inch wafer 다양한 현미경 선택 가능 다양한 스테이지(Stage) 주요 특장점 주요 특장점 표준 스펙 쏠라 시뮬레이터 장착 가능 작은 사이즈, 가벼운 무게 편리한 이동성 안정적이고 정확한 측정을 위해 차폐박스 설치 가능 간단한 구조, 저렴한 가격 Stage travel: Sub-stage travel: 웨이퍼 척 (Wafer chuck): 웨이퍼 홀더 (Wafer hold): 칩 사이즈: θ- stage travel: 크기 및 무게: X: 100mm Y: 100 mm (coarse motion) X: 14mm Y: 14 mm (micro motion) Diameter 110mm / thickness: 5 mm 진공 (Vacuuming) Max. 4 inch wafer 360 degree. / Fine: ±5 deg. W400 x H330 x D360mm, 25Kg 미세전류, 하이파워, RF 측정가능 콤팩트한 디자인 건공기 주입으로 낮은 이슬점 층의 측정 저온 측정을 위해 Thermal chuck 장착 가능 프로브 카드를 이용하여 WLR 측정 가능 다양한 측정 고성능 (APW original TXA probe, HV TXA 프로브 및 고 전류 프로브) 표준 스펙 온도 : Sub-stage travel X: 웨이퍼 척 : 칩 사이즈 : 크기 및 무게 : -55 ~ 350 C 14 mm Y: 14 mm (micro motion) 5 mm 4~12 인치 W500 H500 D365 mm, 50 Kg 빠른 포지셔닝 사용하는 스테이지 손잡이를 사용하여 자유자재로 XY 스테이지르 움직일 수 있습니다. XY 트래블(travel)범위는 척(Chuck)사이즈와 같습니다. α150/200/300 시리즈 알파 시리즈 프로브스테이션 Pulse IV 측정 시스템 지원 써모 척(Thermo chuck) 세트 매니퓰레이터(Manipulator). 애질 런트 Agilent ASU/RSU 또는 키슬리 프 리 앰프를 프로브 가까이에 마운트 할 수 있 습니다. 완벽한 얼라인먼트(Alignment). X,Y,Z 및 θ를 위해 마이크로미터를 갖춘 초정밀 스테이지(stage)를 사용합니다. 저 전류! 고주파! 하이 파워용 프로브스테이션 6, 8, 12 프로브스테이션 선택 가능 알파시리즈 프로브스테이션의 컨셉은 소형, 낮은 가격의 놓은 퍼포먼스, 유용성 입니다. 알파시리즈는 150mm ~ 300mm의 초소형 소자 측정의 필요성 증가에 따라 IC, Diode, TR, Wafer, Package등의 측정 및 분석의 다양한 요구를 충족시키기 위해 가장 유연성 이 좋은 모델로 디자인 되었습니다. PCB 홀더 Hot Chuck / Thermo Chuck / Normal Chuck / Chuck for film / Resinous Chuck Others 미세 전류, 하이 파워, RF 측정 가능 콤팩트한 디자인 건공기 주입으로 낮은 이슬점 층의 측정 저온 측정을 위해 Thermal chuck 장착 가능 프로브카드를 이용하여 WLR 측정 가능 표준 스펙 본체: 무게: Stage Travel: Sub Stage Travel: 척 크기: 웨이퍼 홀딩 방식: 고저온 및 초저누설(leakage) 프로브 카드 Apollowave Apollowave 주요 특장점 Just Right, Just Fit! Versatile, affordable and user-friendly 정밀 얼라인먼트(alignment) D:600 mm, W: 600 mm, H: 450 mm 40 kg X: 200 mm, Y: 200 mm X: 25 mm, Y: 25 mm 4~8 인치 진공 홀딩 ( 40 mhg 이상) 정밀 마이크로미터를 갖춘 X,Y,Z, 세타(Theta) 스테이지. 프로브 카드 사용을 위해 얼라인머트(alignment) 가능합니다. 빠른 포지셔닝(positioning) 사용자는 스테이지 손잡이를 사용하여 자유자재로 XY 스테이지를 움직일 수 있 습니다. XY 트래블(travel) 범위는 척(Chuck) 사이즈와 같습니다.

16 프로브스테이션 31 α100rf / α200rf AP-200PW RF 프로브스테이션 세미-오토메틱 프로브스테이션 1. XY축: 공기 완충 장치(Air suspension) 및 저울(Scale) 장착 최고의 퍼포먼스!! 높은 선형성(<3um)에 의한 정확한 프루빙 RF & DC 측정 가능 α100rf / α200rf는 가장 다용도로 사용할 수 있도록 디자인 된 프로브스테이션 시리즈 입니다. 낮은 가격으로 파워풀한 측 정 툴을 제공 합니다. 일반적으로 사용되는 M60 Manipulator는 MM Wave 측정과 RF 특성 테스트 시 정밀한 측정을 제공 합니다. 모든 종류의 RF 프로브를 장착 하여 사용 가능 합니다. (Cascade Microtech, SUSS MicroTec, GGB, 등) 플레이트 위에 4개의 매니퓰레이터 까지 사용 가능 합니다. 구성 예 α100 본체 4인치용 노멀 척(Normal chuck) 현미경 암(arm) 스테레오 현미경(with ring light) RF 매니퓰레이터(manipulator) M60 (2 pcs) 진공 펌프 (Vacuum pump) 3. T 축 Stage travel: 3 degree Resolution ability: degree Rolling speed: Max. 1 degree/sec. Stage travel: ±15 mm Resolution ability: 1 μm Repeatability: within ±3 μm Moving speed: Max. 25 mm/sec. Leak Data: Probe Leak Chuck Data: Probe Leak PEM300 WLR 프로브스테이션 WLR 테스트 특화 장비 TDDB/ EM/ NBTI 등 웨이퍼 레벨로 측정 웨이퍼 상태로 350도 고온에서 까지 측정! probe card lump를 사용하여 웨이퍼의 양방향을 모두 프루빙 할 수 있는 WRL test (TDDB, EM) 특화 장비 (WLR card) 챔버 내에 질소 제거 기능 어떠한 대미지로부터 Probe card를 보호 하기 위한 보호기능 장착 질소화의 위험성을 줄이기 위한 조절기능 장착. CCD카메라의 부드러운 이동성을 위 한 레일 기능. 350도의 고온 측정. α2000lx 컴팩트한 챔버 (N2 소모 방지) Apollowave 2. Z 축 Stage travel: 210 (x) x 300 (Y) mm Control resolution ability: 0.5 μm Scale resolution ability: 0.1 μm (옵션) Repeatability: within ±0.5 μm Accuracy: within ±20 μm Moving speed: Max. 50 mm/sec. CCD 카메라 마운트 CCD 트래블 범위: X Y 300mm 챔버에서 쉽게 웨이퍼 로드/언 로드 척 스테이지 모든 작동을 안전하게 얼라이언 먼트 가능 LED 프로브스테이션 (태양광 전지 프로브스테이션 시스템) Apollowave 30 태양 전지 평가를 위한 태양 광 시뮬레이터와 트랜지스터 특성 같은 회로 분석을 위한 광 출 력 장치가 결합된 모델 입니다 WLR 테스트 용 프로브 카드 이 프로브 카드는 신뢰성 및 수율(Yield)의 평가 방법에 사용, TDDB에 MOS 소자의 산 화막 평가, EM의 와이어링(wiring) 평가를 위한 것입니다. 베이스 상에 세라믹 PCB를 사용하여 내구성 뿐만 아니라 과 온도 변화에도 염려없습니다. 바늘은 마이크로 스트립 의 세라믹 블레이드로 만들어져, 고온에서도 높은 정밀도를 유지하면서 안정적으로 측 정 할 수 있습니다. 광범위한 온도측정을 위한 베스트 솔루션 * 키사이트(애질런트) 및 키슬리의 모든 제품과 함께 사용할 수 있습니다. Solar Cell 측정과 Display 개발에 특화 된 장비 가시광선, 적외선, 자외선 타입의 광원 선택 가능 위쪽과 아래쪽의 광원에 대한 스펙 제공 다양한 옵션, 저온 Chuck, 고온 Chuck 선택 가능 태양광 조사로 전기적 특성 샘플들을 측정 광원에 따라 가시광선 및 적외선의 조사 (아웃 사이드 보라색) 가능 스테이지 옆면에 조도계(illuminometer)및 강도계(strength meter) 설치 가능 보드 위에 써모 척(Thermo Chuck) 및 핫 척(Hot Chuck) 설치 가능

17 32 프로브스테이션 33 α200pw 고전압 및 고온의 Low Leak 측정 고출력 프로브스테이션 High Voltage, High Power 측정에 최적의 솔루션!! 주요 특장점 다양한 프로브 선택 가능, 20 kv 및 100A 측정 테스트 가능 각각의 프로브 방전 가능 빠른 포지셔닝 3 스텝의 Z축 스위칭 포지션 미세조정 가능 다양한 장비 사용 가능 (키사이트 및 키슬리 제품) 표준 스펙 본체 크기: 본체 무게: Stage travel: Sub stage travel: 척(Chuck) 크기: 웨이퍼 홀더(Wafer hold): 프로브의 리크 데이터(Leak Data) D: 600mm W: 600mm H: 450mm 40 kg X: 200mm, Y: 2 00mm X: 25mm, Y: 25mm 4~8 인치 Vacuum absorbing (400mm Hg 이상) 핫 척(Hot Chuck)의 리크 데이터(Leak Data) 고 전력용 핫 척(Hot Chuck) 및 온도 척(Thermo Chuck) 온도 범위, 노이즈 수준, 고전력, 크기 및 측정 용도 등에 따라 알맞은 척(Chuck)를 선택할 수 있습니다. 5kV, 100A 측정가능. 다양한 현미경 선택가능. Heated 형 히터(heater) 및 칠러(Chiller) 혼합형 펠티에(Peltier) 형 4 ~ 12 인치 웨이퍼 RT~400 c 온도 범위 저 노이즈, Low Leak, 스펙 및 일반 스펙 라인업 4 ~ 12 인치 웨이퍼 -55 ~ 330 c 온도 범위 저 노이즈, Low Leak 라인업 고 전력 프로브 5 인치 웨이퍼 -40 ~ 125 c 온도 범위 저 노이즈, Low Leak 라인업 신속한 온도 조정 약 20 c를 조절 가능 칠러형 보다 더 합리적 키슬리 2600 시리즈용 고전압 프로브 Needle Tip Diameter Current(DC) 25 um 8A 50 um 9A 100 um 12A 150 um 13A Apollowave Apollowave 키슬리 2600 시리즈용 고전류 프로브 * 키슬리 2600 시리즈는 시스템 소스미터 SMU 계측기 입니다. (p42 참조) 6인치 핫 척 (Hot Chuck) Leak Data

18 34 프로브스테이션 옵션매니퓰레이터및포지셔너 (Manipulator/Positioner) 다양한옵션으로다양한측정환경에대응할수있습니다. ( 타사프로브에맞게설계변경제작도가능 ) 정확한롱스트록정확하고크게작동가능정확하고컴팩트한디자인저비용고성능 Giga Probe 제품안내 Giga Probe 모델 : M60 모델 : M40 모델 : M30 모델 : M20 Apollowave 고정 : 마그네틱또는스크류타입 베이스 ( 온 / 오프레버 ) 스트록 : X,Y,Z ±6.5 mm Theta: 360 deg 선형성 (Linearity): 1 um 트래블 (Travel) 거리 : 0.5 mm/rev 커넥터 : SMA 팁재료 : W (ReW, BeCu 옵션 ) 팁구경 : 5 to 40 um 포지셔너 광학계 프로브 척 프로브카드어뎁터 α1100 α150 α200 α300 α200/300cs M20 M30 M40 M60 (RF 프로브 ) 최대 4 개 ( 동서남북배치 ) 실체현미경 금속현미경 레이저시스템 줌 CCD 트라이축프로브 트라이축캘빈프로브 동축프로브 L 자형암 동축캘빈프로브 고전압 / 고전류프로브 상온척 핫척 (Hot Chuck) 써모척 (Thermo Chuck, 칠러 ) 써모척 (Thermo Chuck, 펠티에 ) 4.5 인치용 8 인치일괄컨텍트용 12 인치일괄컨텍트용 고정 : 마그네틱또는진공베이스 ( 온 / 오프레버 ) 스트록 : X,Y,Z ±6.5 mm 선형성 (Linearity): 1 um 트래블 (Travel) 거리 : 0.5 mm/rev 마이크로미터 : 10 um 커넥터 : SSMC 팁구경 : 1 to 40 um 고정 : 마그네틱또는진공베이스 ( 온 / 오프레버 ) 스트록 : X,Y,Z ±3.2 mm 선형성 (Linearity): 1 um 트래블 (Travel) 거리 : 0.5 mm/rev 마이크로미터 : 10 um 동축프로브캘빈동축프로브 3 축 (Triaxial) 프로브암 매뉴얼 (Manual) 프로브주변기기대응표 커넥터 : TXA (P) 와이어길이 : ~3m 팁구경 : 1, 2, 5, 10, 30 um ( 텅스텐직선바늘 ) M20/M30/M40 에서조절가능 YGA 레이저 고정 : 마그네틱고무베이스 스트록 : X,Y,Z ±5 mm 선형성 (Linearity): 30 um 트래블 (Travel) 거리 : 0.5 mm/rev 마이크로미터제외 DVT 솔루션소개 DVT 솔루션사는미국캘리포니아주산케롤시에위치하고있으며, TDR 기반측정서비스를위해 2006 년에창립된회사입니다. 고속 TDR 및 S- 파라미터프로브로신호무결성에관한컨설팅과관련제품을연구 / 개발및생산을전문으로하고있습니다. DVT 솔루션사는 100 Ω 저전압디프런셜시그널링 (LVDS) 인터커넥트디자인의제품개발을위해 GigaProbesr 라는브랜드명으로 30 GHz 멀티모드디퍼런셜 TDR 프로브를개발하였습니다. 이프로브들은텍트로닉스, 애질런트, 르크로이,R&S, 안리츠등의장비들과모두호환이되는것입니다 년에는 TDR, 벡트네트워크분석기, 스펙트럼분석기에서시간과주파수측정을모두할수있는 40 GHz 멀티모드 S- 파라미터핸드프로브를개발하여업계처음으로발표하기도했습니다. DVT 솔루션사는또한 GigaProbes, Microprobes 및액티브오실로스코프프로브들을사용하여수평및수직프로빙이동시에요구되는백플레인 / 보조카드시스템등을위하여저가형벤치탑프로빙시스템에서독립형의프로빙스테이션까지다양한프로브조작기 (manipulators) 와 PCP 픽스춰를제공합니다. 더자세한정보는 에서볼수있습니다. 제품소개 * DVT30-1MM * DVT40-1MM 30 GHz Fine Pitch 용 TDR 프로브키트 40 GHz 디퍼런셜멀티모드 TDR 및 S- 파라미터프로브키트

19 TDR Probe DVT30-1MM Fine Pitch 용 TDR 프로브 DVT30-1MM Gigaprobe 는 Differential TDR 100Ω, Single TDR 50 Ω 변환가능한멀티모드 30GHz TDR 프로브로 Odd/Even mode 임피던스를정확하게측정할수있습니다. 금도금된 Diamond Tip 에의한뛰어난접촉특성은 TDR 측정시프로브접촉으로인한임피던스불연속지점이최소화되고, 프로브 Tip 이작아접촉부분이 0.5 mm 이하이므로매우짧은길이의 IC package 를분석하는데에도적합합니다. Probe Tip pitch 가 0.25 mm ~ 2.0 mm 까지자유롭게가변가능하고자주사용되는 0.8 mm, 1.0 mm, 1.27 mm Pitch 는제공되는 Pitch calibration wrench 로정밀하게조정할수있습니다. 그림 1. 편리한 Hand Held 프로빙 : EZ-hold 쿠션어댑터를사용하여미세한간격의포인트에쉽게프로빙 그림 2. Tektronix 의 PPM100 Articulating Arm 에직접연결한모습 : 기본구성품인 GPMMA 어댑터를이용해보다고대역의정밀한 TDR 측정. 제조사에상관없이모든종류의 Probe Manipulator 에연결가능 그림 3. Signal-Signal Pitch Calibration: Model 10 SMA 교정렌치로빈번히사용하는 0.8 mm, 1.0 mm, 1.27 mm 간격을조정. 프로빙위치를조정하고이외의다양한간격을정밀하게조정하기위해서는기본포함된트위저와탁상용확대경사용 그림 4. Gold Plated Conductive Diamond Probe Tips: 프로브팁의 100 여개의금도금된날카로운다이아몬드팁은프로빙을했을때, PCB pad 표면의산화막을뚫게되어솔더링을한것과같은완벽한접촉이된다. 도전성다이아몬드팁은어느각도에서프로빙을하여도안정된접촉을하게됨 전도성다이아몬드도금기술은금과니켈로도금된미세한 100 여개의날카로운다이아몬드를팁 (Tip) 에접착한것입니다. 팁 (Tip) 자체가산화되지않으며접촉시 PCB 패드의산화막을뚫고프로빙되어 10 g 의아주적은힘으로도어느각도에서든완벽한프로빙접촉을할수있게합니다. 이는솔딩 (Soldering) 을한것과같이정확하고반복가능한 TDR 측정을할수있게해줍니다 DVT40-1MM TDR 및 S- 파라미터프로브키트 Giga Probes 주요특장점 30 GHz 대역폭 True Odd Mode 100ohm 디퍼런셜임피던스 50 Ω Single-end 프로브로전환가능 TDR 측정시작점의불연속 20 mv 이하 프로브의 Fall Time이 20 ps 이내 Ground Contact 없이완전한 Balanced Differential 측정 프로브 Pitch 0.25 mm ~ 2.0 mm 가변 프로브팁 (Tip) 직경 mm 금도금된전도성다이아몬드프로브팁으로안정적인 TDR 측정 10 g 이하의적은힘으로완벽한프로빙 한개의프로브로 4가지용도로사용 : 100 Ω, 50 Ω Hand-held. 프로브 Positioner에연결한보다안정적인프로빙 프로브 Pitch 조절을위한도구기본제공 주요어플리케이션 Single Ended, Differential Insertion, 반사손실 S- 파라미터계산 : TDR 과 IConnect SW 를이용한주파수도메인분석에최적화된성능 임피던스측정 : TDR 장비단독또는보다정밀한 TDR 임피던스분석을위한 IConnect SW 를이용한 IC 패키지, 케이블, 커넥터, PCB 와 Backplane 테스트. IC 패키지의오류분석 : TDR 을이용한불량지점비파괴탐색 제품구성 Qty 2: 30 GHz TDR Probes (patent pending) Convertible to Single 50 Ω or Differential 100 Ω, with gold plated Conductive Diamond probe tips for repeatable high-bandwidth TDR measurements when probing at ANY angle Qty 2: GPMMA Attaches probe to Tektronix PPM100, PPM203B Articulating arms or any standard micro-positioner ( 그림2) Qty 1: Stainless Steel 110mm Tweezers for Fine Pitch Probe Adjustments and used to attach ground lead to convert probe to 50 Ω Qty 1: Desk-Top 5X Macro-Lens Inspection Station Qty 1: Model 10 SMA Wrench (patent pending) 주요특성 Attenuation: 1x Probe only BW: 30 GHz TDR Degradation: <5 ps Probe Pitch: 0.25 mm ~ 2.0 mm Connector Type: SMA Measured Reflected TDR Fall Time: 20 ps Impedance: 100 Ω differential, 50 Ω common mode Max Voltage: 5.0 V 3DVT30-1MM GigaProbes 는액세서리와함께견고한보관용케이스에제공되며, DVT30-1MM GigaProbes 키트는다음과같이구성되어있습니다. (DVT30-1MM-1 One probe kit 는 Probe 1 개와관련액세서리로구성 ) with Quick Calibrator Holes to set probe pitch and planarize probes to 0.8 mm, 1.0 mm, or 1.27 mm ( 그림 3) Qty 2: Hand Held Probe Sleeve Adapters with EZ-Hold Foam Cushions ( 그림 1) Qty 4: Right Angle SMA Elbows for easy routing of TDR of SMA cables ( 그림 1) Qty 1: 50 ohm conversion kit includes 2 SMA shorting caps, ground strap and shrink wrap. Qty 4: Cable 24GHz 12 SMA-SMA Cables Qty 1: Resource CD with IConnect application notes, data sheets DVT30-1MM GigaProbes 완벽한 TDR/TDT Interconnect 프로빙키트 40 GHz 100 & 50 ohm TDR Hand Probe: DVT40 Gigaprobe 는 100 오옴과 ( 차동모드 ) 50 오옴 ( 싱글엔드 ) 에서 40 GHz 까지 3.5 ps 이하의작은 Fall time 을가지는견고한휴대형프로브로서고속의전송신호의측정을위한완벽한프로브입니다. 텍트로닉스를포함한임피던스및 S- 파라미터측정장비와완벽히호환되어 S2P, S4P 등의파라미터추출을할수있는프로브솔루션입니다. 정확한시간및주파수측정측정결과로부터 S2P, S4P 파라미터추출 (De-embedding 포함 ) 하기위한 PCB, Wafer 등의주파수영역과시간영역에의신호전송특성을위해서최고의성능을제공합니다. 추가적으로 Y 커넥터어셈블리를이용하여 40 GHz 차동신호의측정함에주파수손실이나반사손실을최소화시켜드립니다. 주요특장점 40 GHz Differential Probe Fully Balanced 100 Ω Differential Signals without Ground Contact Adaptable to 50 Ω Single Ended Input Impedance Measure S2p, S4p S-parameters using configurable Ground Collars Adjustable Signal Probe Pitch (from 450um to >1.7mm) 4-6 um Conductive Diamond Plated Probe Tips for repeatable measurements ~3.5 ps Fall Time Degradation Universal Probe Design: use as Hand Probe or Mount in Micro-positioners Full Set of Probe Pitch Calibration Accessories 주요어플리케이션 시간영역측정 100 Ω 임피던스측정 PCBs, 케이블s, 회로기판 (backplanes), daughter-cards, 커넥터 50 Ω 모드사용 1 mm의결함분리 (fault Isolation) 가능한고해상도실패분석 (Failure Analysis) 주파수영역측정 2 포트디퍼런셜 TDR/TDT 측정 ( SDD11/21 반사손실및입력손실 S-파라미터를생성 ) 40 GHz 벡터네트워크분석기또는 TDR/T (2 또는 4 포트멀티모드 S-파라미터측정 ) (requires ground collar adapter). 제품구성 Qty 2: 40 GHz Differential Multimode TDR/NA S-parameter Probe 40 GHz 2.92 mm K differential connector assembly in a Y formation Gold-plated probe body and differential connector assembly Gold plated conductive diamond (4-6um) adjustable probe tips Qty 2: Custom Mount Anodized Right Angle Adapter connects DVT40 to articulating arms using a #10 screw mount. 2.5 long dowel adapter to connect probe to manipulators with compression holders Qty 2: Ultem Hand Mount Adapter designed for GigaProbes DVT40 probes. Converts DVT40 to a precise, ergonomic hand probe 주요특성 Attenuation: 1x Probe only BW: 30 GHz TDR Degradation: 3.5 ps Probe Pitch: 0.45 mm ~ 1.7 mm Connector Type: 2.92mm K-connector Measured Reflected TDR Fall Time: 20 ps Impedance : 100 Ω differential, 50 Ω common mode Max Voltage : 5.0 V Qty 1: Stainless Steel Tweezers for fine 110mm pitch adjustments. Qty 1: Steel SMA wrench to tighten cables to probes. Qty 1: Pitch setting calibration tool (.8mm, 1mm, 1.27mm) Qty 1: Desktop Macro-lens Inspection Station (5x magnification) Qty 1: 50 ohm Conversion Kit: 2 SMA short cap, 5ea 20 gauge wire and 5ea pre-cut shrink-wrap Giga Probes

20 38 TDR Probe Complete Tektronix DSA8200 TDR/T Interconnect Development Station T-Plus 제품안내 PROBE Probe SOLUTION Head 그림 5. Tektronix DSA8200 TDR system: Gigaprobe 는 80E10, 80E08, 80E04 에직접연결. PPM100 과같은 Articulating arm 을사용하여보다안정적으로프로빙 그림 8. 다양한 Probe Manipulator 로수직프로빙 티플러스 (T+) 소개 티플러스 (T-Plus) 사는일본치바현에위치하고있는 RF/ 마이크로웨이브및광학디바이스측정솔루션전문회사입니다 년 RF 프로브생산업체로출발하였으며, 1994 년에 RF 프로브카드의생산을시작으로 2003 년과 2006 년에각각 20 GHz 및 40 GHz RF 프로브카드를자체개발 / 생산하여전세계에공급하고있습니다 년에 67 GHz RF 프로브헤드를, 2010 년에는 40 GHz 테스트픽스춰, 2013 년에는 110 GHz RF 프로브헤드를연이어개발 / 생산함으로써, 일본정부로부터 300 대유망중소기업 에선정되었습니다. 최근에는 325 GHz 까지가능한웨이브가이드 (Wave Guide) 프로브를발표하였습니다. 티플러스에서는생산하는제품을요약하면다음과같습니다 : 1. 프로빙솔루션 (Probing Solution) 그림 6. Differential Rise Time: 9ps TDR pulser 출력을 DSA8200 과 50 GHz module 로측정한 Gigaprobe 의 RiseTime. 대역폭이 30 GHz 를상회. * RF 및마이크로웨이브프로브헤드 : DC-40, 50, 67, 110 GHz * 웨이브가이드 (Waveguide) 프로브 : WR15, 12, 10, 8, 6, 5, 및 WR3 * RF 테스트픽춰 : 광학모듈테스트용, 마이크로웨이브 IC 테스트용 * 매뉴얼프로브스테이션 : 고객맞춤형, 4-6, 진공척 2. 케이블솔루션 * 네트워크분석기케이블 : SMA, 2.92mm, 2.4mm, 1.85mm, 1mm * 동축케이블 : SMA, 2.92mm, 1.85mm, 1mm * DC, TXA 커넥트 * 동축어뎁터 / 동축웨이브가이드어뎁터 * 웨이브가이드튜브 : 고객맞춤형및 WR15, 12, 10, 8, 6, 5, 그리고 WR3 3. 개발중 Giga Probes 그림 7. 프로브 2 개를이용한측정 : 2 port Single & Differential S-parameter 또는 TDT 측정을위한셋업 * RF 및고속평가보드 : DC-25 GHz, 32, 40, 50 그리고 67 GHz * PCB 생산 : RF/DC PCB, Flex, 그리고세라믹 * IC/ 모듈 PCB 마운트서비스 * 측정용액세서리 : 바이어스티 (Bias Tee), 앰프, 감쇄기, 동축스위치 * 기타 제품소개 * 싱글 RF 프로브헤드 * 듀얼 / 디퍼런셜 RF 프로브헤드 * 멀티포트프로브헤드 * DC+RF 프로브헤드 * DC 프로브헤드

21 40 싱글 RF 프로브 헤드 듀얼/디퍼런설 RF 프로브 헤드 다인용 납연기 정화 시스템 싱글 RF 프로브 헤드 ~67 GHz 표준 사양 프로브 구성 주파수 커넥터 μm DC-40 GHz 2.92 mm (K) GSG DC-50 GHz 1.85 mm (V) DC-67 GHz GS(SG) DC-40 GHz 1.85 mm (V) 2.92 mm (K) 단위 S21 스펙 Min Typ S11-20 S S S S21-18 S21 S db S11 S S11 S21-18 S11 S21-15 S11 S21 RF 및 마이크로웨이브 측정 솔루션 S11 S11 Max 듀얼/디퍼런셜 RF 프로브 헤드 -0.8 S 성 능 로즈 미터 S 주요 특징 뛰어난 내구성 쉬운 핸들링 캔틸레버식 바늘 (Cantilever Needle) 고성능 (110 GHz 까지) 교정 서브스트레이트(Substrate) 가능 듀얼 RF 버티컬 타입 듀얼 RF 앵글 타입 교정 서브스트레이트 주요 스펙 ITEM -13 주파수 TPD40 시리즈 TPD50 시리즈 TPD67 시리즈 TPDA DC-40 GHz DC-50 GHz DC-67 GHz DC-110 GHz 삽입 손실 (Typ) >1 db >1 db >1 db 반사손실 (Typ) <18 db <18 db <15 db 기울기 (Skew) Less than 1 ps (between+/-) 구성 싱글 RF 프로브 헤드 GSSG, GSGSG, (SS, GSS(SSG) and Custom configuration available 커넥터 RF Microwave Measurement Solution Adjustable between GS-SG pitch 교정 서브스트레이트 (Substrate) K (2.92 mm) V (1.85 mm) V (1.85 mm) K 또는 V 가능 가능 가능 가능 Full Auto Prober applicable Tip 사용자 지정 구성, 피치 가능(Pitch Available) 고장 시 수리 후 사용가능 Same attachment compare from other brands 뛰어난 내구성 쉬운 핸들링 캔틸레버식 바늘 (Cantilever Needle) 고성능 (110 GHz) 교정 서브스트레이트(substrate) 가능 멀티 포트 프로브 헤드 RF 및 마이크로웨이브 측정 솔루션 싱글 RF 앵글 타입 싱글 RF 버티컬 타입 주요 스펙 주요 특징 ITEM TP40 시리즈 TP50 시리즈 TP67 시리즈 TP110 시리즈 DC-40 GHz DC-50 GHz DC-67 GHz DC-110 GHz 삽입 손실 (Typ) >1 db >1 db 1.3 db 1.3 db 반사손실 (Typ) <18 db <18 db <18 db <18 db 주파수 구성 커넥터 피치 교정 서브스트레이트 (Substrate) GS, SG, GSG K (2.92 mm) V (1.85 mm) V (1.85 mm) 1mm 가능 가능 가능 가능 사용자 지정 제작 독특한 프로브 레이아웃 가능 10 포트 까지 Full Auto Prober applicable Tip 사용자 지정 구성, 피치 가능(Pitch Available) Same attachment compare from other brands QUAD RF Probe TPDA (GS-SG gap adjustable) 10 Port RF 주요 스펙 110 GHz까지의 전형적인 성능 (Typical Performance up to 110 GHz) ITEM 주파수 T Plus TPD40 시리즈 TP50D 시리즈 TP67D 시리즈 DC-40 GHz DC-50 GHz DC-67 GHz 삽입 손실 (Typ) >1 db >1 db >1.3 db 반사손실 (Typ) <18 db <18 db <15 db 구성 커넥터 피치 교정 서브스트레이트 (Substrate) 사용자 구성 De-Embedding SS, GSS(SSG), GSSG, up to 10 RF port(custom configuration available) K (2.92 mm) V (1.85 mm) V (1.85 mm) GSSG, GSGSG GSSG,GSGSG GSSG,GSGSG TPDA Same Electrical performance as shown in left side (40, 50, 67 GHz) Can be adjust between GS-SG or GSG-GSG 가능 T Plus 주요 특징

22 42 싱글 RF 프로브 헤드 DC+RF 프로브 헤드 RF 및 마이크로웨이브 측정 솔루션 II. 테스트 솔루션 주요 특징 Full Auto Prober applicable Tip 사용자 지정 제작 (Custom fabrication) Same attachment compare from other brands 독특한 프로브 레이아웃 가능 2 RF 포트 (더 많은 RF 포트 가능) TEST SOLUTION DC+RF 프로브 헤드 주요 스펙 (주)누비콤은 각종 전자/통신 그리고 반도체 부품 등의 연구개발에서 부터 제조생산에 이르기까지 필요한 계측 및 시험분석, 그리고 측정 자동화 시스템 등을 지원 하는 종합 솔루션 전문 회사입니다. DC + RF 프로브 최대 핀 수 (DC/RF) 26 / 2 주파수 DC up to 67 GHz 구성 사용자 지정 구성 (Custom configuration) 커넥터 DC: Pin Header, BNC etc. 피치(Pitch) II. 테스트 솔루션 부문에서는 반도체 소자시험 장비, TDR/ PCB 테스트 솔루션장비 및 RF 테스트 솔루션 장비를 소개합니다. RF: 2.9 mm or 1.85 mm 커스톰 피치(Custom pitch) 기울기 보정(Skew Adjustment) (P/N) 가능(Available) 프로브 재료 Min 15 um / Max TBD DC 프로브 헤드 NI제품 STS T1, T2, T3 반도체 테스트 시스템 반도체 소자 시험 장비 Keysight 제품 Tungsten (W), BeCu / ASK different material 프로브 팁 지름 반도체 테스트 시스템 3458A 8.5 디지트 디지털 멀티미터 누비콤은 텍트로닉스, 키슬리, 에어로플렉스와 공식채널 파트너 계약을 맺고 있으며 키사이트의 제품도 공급합니다. 4155C/56C 반도체 파라미터 분석기 특히, 예감절감이 절실한 시기에 비용 만족시켜 드리는 리퍼버시 장비도 함께 소개합니다. Tektronix 및 Keithley 제품 B1500A 반도체 디바이스 분석기 370A 반도체특성곡선시험분석기(Curve Trace) 4200-SCS 파라미터 분석기 RF 및 마이크로웨이브 측정 솔루션 2600B 시스템소스미터 SMU 계측기 디지트 그래픽 샘플링 멀티미터 주요 특징 TDR/PCB 테스트 솔루션 Full Auto Prober applicable Tip Decoupling Capacitor Available 사용자 지정 구성 (Custom fabrication) 저가격 Same attachment compare from other brands 34 핀까지 가능 Tektronix 제품 DSA8300 디지털 샘플링 오실로스코프 DC 프로브 Keysight 제품 86100D 인피니엄 DCA-X 광대역폭 오실로스코프 주요 스펙 최대 핀 수 (DC/RF) DC14 DC26 DC34 14 / - 26 / - 34 / - RF 테스트 솔루션 T Plus 커넥터 DC: Pin Header, BNC etc. RF: 2.9 mm or 1.85 mm 반사손실 (Typ) <18 db <18 db <15 db Keysight 제품 주파수 (DC/RF) DC / - DC / - DC / - E5071C ENA 네트워크 분석기 삽입 손실 (GSS-150 um Typ) N9020A MXA 신호 분석기 반사 손실 (GSG-150 um Typ) - - ㅡ N5182A MXG RF 벡터 신호 발생기 최소 피치(Pitch) 프로브 재료 프로브 팁 지름 50 um Tungsten (W), BeCu / ASK different material Min 15 um / Max TBD Aeroflex 제품 PXI3000 RF 모듈형 측정 시스템

23 NI 반도체테스트시스템 45 반도체테스트시스템으로테스트비용절감 반도체테스트시스템 (STS, Semiconductor Test System) 시리즈는바로양산환경에서사용할수있는테스트시스템으로, 반도체생산테스트환경에적합한폼팩터에 NI 기술을접목한제품입니다. STS의일체형테스트헤드에는 NI PXI 플랫폼, Test- Stand 테스트관리소프트웨어, LabVIEW 그래픽프로그래밍이결합되어있습니다. 헤드에내장된테스터 설계에는시스템컨트롤러, DC, AC, RF 계측, DUT 인터페이싱, 장비핸들러 / 프로버도킹기계장치등생산테스터의주요구성요소가모두포함되어있습니다. 이렇게컴팩트한설계덕분에기존의 ATE 테스터보다작은작업공간에서사용가능하며전력소모량과유지보수노력이줄어들기때문에테스트비용을절약할수있습니다. 또한개방된모듈형 STS 설계를통해더욱강력한계측및연산기능을갖춘가장최신의업계표준 PXI 모듈을활용할수있습니다. STS T1 시스템하나의 18 슬롯 PXI 섀시탑재가능 STS T2 시스템최대 2 개의 18 슬롯 PXI 섀시탑재가능 STS T4 시스템최대 4 개의 18 슬롯 PXI 섀시탑재가능 STS 시리즈는 T1, T2, T4의세가지테스트시스템사이즈로구성되어있으며, 각각 1개, 2개, 4개의 18 슬롯 PXI 섀시 (4U, 19인치랙공간 ) 를탑재할수있습니다. 모든테스트시스템은공통의인터페이싱인프라를지원하므로정확한핀카운트와사이트카운트요구사항을충족시키기위해시스템을확장하거나특성화를위해시스템을축소할수있습니다. 공통의하드웨어와소프트웨어인프라로시스템을확장할수있는기능은시스템관련비용을최적화하는데도움이될뿐만아니라생산에서특성화에이르는데이터상호연관작업을단순화하므로제품출시까지의시간을단축시켜줍니다. NI 반도체테스트시스템

24 NI 반도체테스트시스템 NI 반도체테스트시스템의내부 NI PXI 플랫폼 반도체테스트시스템소프트웨어 기존의 ATE " 시스템을사용하면테스트시스템이오래되거나새로운테스 트요구사항을반영할수없는경우, 많은 비용을들여시스템을재정비해야합니다. PXI 섀시및컨트롤러 PXI 모듈형계측기 그러나 STS는오픈 PXI 아키텍처를갖추고있기때문에초기투자를보존할수있 고, 기존시스템을폐기하지않고도업그레 생산테스트셀구성 테스트관리소프트웨어 : TestStand 이드를통해개선시킬수있습니다. " 코드모듈개발 LabVIEW - Glen Peer, Director of Test, 시스템인클로저 표준도킹및인터페이싱 Integrated Device Technology RF 및혼합신호테스트에서 PXI 기반방식을사용할때의장점 STS는업계표준 PXI 하드웨어플랫폼을기반으로하여구성되었습니다. 여러업계에서두루채택하고있는 PXI는오픈플랫폼으로, PXI Systems Alliance에소속된 60개이상의벤더가 1,500개가넘는제품을생산하고있습니다. PXI 섀시는 모든시스템은상호연동가능한공통의장비인터페이스보드를공유하므로다양한핀카운트와사이트카운트요구사항을충족시키도록확장할수있습니다. 전반적으로 STS는비용최적화된고성능테스트솔루션을제공하기위해설계되었으며 RF 전력 데이터공유, 통합타이밍및동기화를위한높은대역폭의고속 PCI Express 버스를제공합니다. 또한 PXI 는최신멀티코 증폭기 (RF PA), 미세전지기계시스템 (MEMS) 가속도계, 전력관리 IC(PMIC) 등과같은 RF/ 아날로그중심반도체의 RF 및혼 어프로세서나 FPGA 와같은상용기술을사용하기위한프레임워크도제공합니다. 최첨단상용컴퓨팅성능을활용하면서 합신호테스트에이상적입니다. 도산업환경에필요한장기적수명주기요구사항을충족시키기위해 PXI 컨트롤러의프로세서는 Intel 의임베디드로드맵 에서선별되며, 이로드맵에는산업현장에서장기적으로사용하기위해설계된컨트롤러가포함되어있습니다. 모듈형오픈설계를바탕으로하는 STS 는테스트기능을개선하고향후의테스트요구사항을충족시키는프레임워크를제공합니 다. 그렇기때문에첨단 PXI 계측, 최고의상용컴퓨팅기술을탑재한최신 PXI 컨트롤러, 또는표준 19 인치랙장비로핵심구성 STS 는 DC (IV), AC, RF 를위한 NI 의첨단 PXI 모듈형계측기와함께디지털핀전자기기 (PMU) 및전원공급기와같은공 요소를업그레이드하거나보강할수있습니다. 따라서기술표준이여러차례바뀌어도테스트시스템에대한투자를보존할수 NI 반도체테스트시스템 통시스템리소스도함께활용합니다. 또한 LabVIEW와 TestStand의기능을도입하여세계최고수준의소프트웨어성능을구현합니다. STS는폭넓게사용되는 NI PXI 플랫폼을기반으로하고있지만반도체생산테스트환경의구체적인요구사항을충족시키도록설계되었습니다. 헤더에내장된테스트 설계는컴팩트한제로풋프린트 (Zero- Footprint) 시스템인클로저를제공하며, 여기에는핸들러또는프로버도킹을위한조작기가통합되어있습니다. STS에는시스템케이블링, 스프링프로브인터페이스, 공통장비인터페이스보드설계를갖춘표준장비인터베이스보드인프라, 시스템상태모니터링및시스템교정과같은시스템관리기능이통합되어있습니다. 이기능을활용하면, 반도체생산테스트셀에 STS를즉시통합할수있습니다. 있으며변화하는요구사항에효율적으로대응하여소요비용을절감할수있습니다. NI 반도체테스트시스템

25 Tx NI 반도체테스트시스템 테스트프로그램개발, 디버깅, 배포를위한강력한소프트웨어 STS 에는반도체테스트관리를위한기능이추가된 TestStand, 코드모듈개발을위한 LabVIEW, 시스템교정을위한내장시스 템기능, 진단, 리소스모니터링, 컨트롤이포함되어있습니다. RF 및혼합신호반도체테스트를위한첨단계측 핵심 STS 측정엔진은업계최초의벡터신호트랜시버 (VST) 에서혁신적인 NI SourceAdapt 기술갖춘 SMU(Source Measure Unit) 에이르기까지첨단 NI PXI 모듈형계측기를바탕으로하여구현되었습니다. NI나 PXISA의다른회원사가새로운 PXI 모듈을출시할때마다 STS의전반적인기능이향상됩니다. RF 계측 세계최고수준의 NI RF 계측모듈에는벡터신호분석기 (VSA), 신호생성기 (VSG), 파워미터, 벡터네트워크분석기 (VNA), 벡터신호트랜시버 (VST) 가포함됩니다. 26.5GHz의벡터신호분석기는동급최고의측정성능, 속도, 유연성과함께업계를선도하는다이나믹범위와 765MHz의대역폭을결합한제품입니다. NI STS 와 RF 서브시스템 RF 서브시스템 STS 에서멀티포트 RF 테스트를위한 RF 포트확장모듈을 사용할수있습니다. 이서브시스템의핵심은컴팩트한 3 슬롯 TestStand TestStand 는테스트프로그램을신속하게개발하고배포할수있도록설계되었으며, 즉시실행가능한테스트관리소프트웨어입 니다. TestStand 를사용하여여러가지프로그래밍언어로작성된코드모듈을통합하는테스트시퀀스를개발할수있습니다. 사용 자는손쉽게실행흐름과리포트, 데이터베이스로깅, 다른기업시스템으로의연결등을맞춤설정할수있습니다. STS 운영자인터페이스를통해하나의강력한인터페이스에서모든주요테스트프로그램데이터를손쉽게선택하고, 실행하고, 볼수있습니다. 포트모듈 Rx VST PXI 모듈에 RF 신호생성과분석을위한최대 200 MHz의리얼타임대역폭을제공하는 VST입니다. RF 포트확장모듈로여러개의 VST를설정할수있으며, 전체서브시스템은 STS 안에완전히내장되어있습니다. STS 는이 RF 서브시스템을활용하여유비쿼터스 RF 프런트엔드 (RFFE) IC, RF MEMS와같이최근에각광받는반도체를포함하여다양한범위의 RFIC를위서식한완벽한생산테스트플랫폼을제공합니다. 최대 48개의양방향 RF 포트 S 파라미터와광대역측정기능 자동 RF 벡터교정 안정적인솔리드상태설계 멀티사이트를지원할수있는 Test Sequence Editor 핸들러 / 프로버통합제어 강력한디버깅도구 DUT 중심테스트프로그래밍을위한핀과채널맵핑 DC 계측 운영자인터페이스 DUT binning 데이터베이스연결기능을갖춘표준테스트데이터포맷 (STDF) 지원 타사계측과의통합 SourceAdapt 기술을탑재하고있는컴팩트한고정밀고속 NI SMU를사용하면심지어캐패시티브로드가있을경우에도 SMU 응답을최적화할수있습니다. NI SMU는강력한 DC 또는전압-전류 (VI) 테스트성능을갖추고최대 100fA 전류측정해상도를제 NI 반도체테스트시스템 LabVIEW LabVIEW는복잡한기존코드설계방식과는달리직관적인그래픽개발환경을제공하므로하드웨어통합을단순화하고개발시간을단축시켜줍니다. 바로실행할수있는예제와내장템플릿및샘플프로젝트, 즉시사용할수있는엔지니어링 IP를갖춘 LabVIEW 를사용하면해당반도체장비의테스트계획에따라신속하게코드모듈을개발할수있습니다. 공하므로웨이퍼와패키지장비테스트에모두적합합니다. AC 계측 NI는최대 24 비트또는 12.5GS/s의다양한오실로스코프 / 디지타이저와최대 145MHz의아날로그대역폭을가진여러가지임의파형생성기를통해데이터컨버터, MEMS 가속도계등의반도체의 AC 계측기능을제공합니다. 디지털, 장비전력, 범용계측 NI 반도체테스트시스템 NI PXI 플랫폼은핀별파라미터측정기능을갖춘디지털계측기 (PMU), 최대 12.5Gb/s 의고속시리얼프로토콜 (HSD), 최고 60W 의범용전원공급장치, 다양한디지털및혼합신호테스트요구사항을위한 7½ 자리고성능멀티미터등의폭넓은핵심계측기능 을갖추고있습니다.

26 50 51 반도체소자시험장비 A 8.5 디지트디지털멀티미터 4155C / 4156C 반도체파라미터및디바이스분석기 리퍼버시제품 모델 3458A 는키사이트테크놀로지스에서생산되는가장빠르고정확한디지털멀티미터입니다. 최대테스트처리량은초당 100,000 번의판독속도 (4.5 디지트에서 ) 나되며, 최대 8.5 디지트의분해능으로일천만분의 1 의정확도를자랑합니다. 또한쉽고편하게사용할수있도록디자인되었으며, 제품테스트현장뿐만아니라 R&D 및교정실험실등에서어떠한 까다로운응용분야에도고성능의속도와정확도를잘발휘해줍니다. 성능요약 DC volts 분해능 : 8.5 디지트 측정속도 : /sec. (4.5 디지트에서 ) 기본 DCV 정확도 : % 측정 : DCV, ACV, DCI, ACI, 2 및 4 와이어저항, 주파수, 2 채널스캐닝, 온도 연결성 : GPIB, RS-232, Intuilink 소프트웨어 AC current SMU Measurement Range SMU Measurement Resolution SMU Measurement Accuracy VMU VMU (differential) Dual High Voltage Pulse Generator 4155C 4156C Voltage 2 µv/200 V 2 µv/200 V Current 10 fa/1 A 1 fa/1 A Voltage 2 µv 2 µv Current 10 fa 1 fa Voltage 700 µv 200 µv Current 3 pa 20 fa SMU pulse width 500 µs/100 ms 500 µs/100 ms Resolution 2 µv 2 µv Accuracy 200 µv 200 µv Resolution 0.2 µv 0.2 µv Accuracy 10 µv 10 µv Voltage range ±40V ±40V Voltage range ±200 ma ±200 ma Min. pulse width 1 µs 1 µs Min. pulse period 2 µs 2 µs 5 ranges: 0.1 V to 1000 V 8.5 to 4.5 디지트분해능 100,000 회판독속도 / 초 (4.5 디지트 ) 최대 Sensitivity: 10 nv 0.6 ppm 24 시간정확도 8 ppm (4 ppm 옵션 )/ 년 voltage reference stability Ohms 9 ranges: 10 Ω to 1 GΩ 2 및 4 와이어오옴 (with offset compensation) 50,000 판독속도 / 초 (5.5 디지트 ) 최대 Sensitivity: 10 μω 2.2 ppm 24 시간정확도 AC volts 6 ranges: 10 mv ~ 1000 V 1 Hz ~ 10 MHz 대역폭 50 readings/ 초 (all readings to specified accuracy) Choice of Sampling 또는 Analog true rms techniques 100 ppm best accuracy DC current 8 ranges: 100 na ~ 1 A 1,350 판독속도 / 초 (5.5 디지트 ) 최대 Sensitivity: 1 pa 14 ppm 24 시간정확도 5 ranges: 100 μa to 1 A 10 Hz ~ 100 khz 대역폭 50 판독속도 / 초 500 ppm 24 시간정확도주파수및주기 전압및전류범위 주파수 : 1 Hz ~ 10 MHz 주기 : 100 ns ~ 1 sec 0.01% 정확도 AC 또는 DC coupled 최대속도 100,000 readings/ 초 (4.5 디지트에서 ) (16 비트 ) 50,000 readings/ 초 (5.5 디지트에서 ) 6,000 readings/ 초 (6.5 디지트에서 ) 60 readings/ 초 (w7.5 디지트에서 ) 6 readings/ 초 (8.5 디지트에서 ) 측정셋업속도 100,000 readings/ 초 (GPIB 또는내장메모리 ) 110 오토레인지 / 초 340 기능또는 Range Changes/ 초 Post-processed math from internal memory 주요특징및사양 General: 키사이트 4155C Cost-effective, Accurate Laboratory Bench-top Parameter Analyzer 4 x Medium-power SMU, 2 x VSU and 2 x VMU Fill-in-the Blanks Front Panel Operation Includes Desktop EasyEXPERT S/W for PC-based GUI Instrument Control Measurement Capabilities: 10 Femto-amp and 0.2 μv Measurement Resolution QSCV, Stress Mode, Knob-sweep, and Stand-by Functions ±200 Volts and ±1 Amp High-Power SMU, Pulse Generator Capabilities available by optional 41501B Desktop EasyEXPERT S/W Capabilities: Drivers for all Popular Semiauto Wafer Probers Intuitive GUI-based Switching Matrix Control for the B2200A, B2201A, and E5250A Test Sequencer for Auto Testing Across an Entire Wafer Post-test Graphical Analysis and Wafer Mapping Capability General: 키사이트 4156C Highly Accurate Laboratory Bench-top Parameter Analyzer for Advanced Device Characterization 4 x High-resolution SMU, 2 x VSU and 2 x VMU Fill-in-the Blanks Front Panel Operation Includes I/CV 3.0 Lite S/W for PC-based GUI Instrument Control Measurement Capabilities: 1 Femto-amp and 0.2 μv Measurement Resolution Full Kelvin; Force, Sense and Guard Connection for each SMU QSCV, Stress Mode, Knob-sweep, Stand-by Function ±200 Volts and ±1 Amp High-Power SMU, Pulse Generator capabilities available by opt B I/CV 3.0 Lite Software Capabilities: Drivers for all of Popular Semiauto Wafer Probers Intuitive GUI-based Switching Matrix Control for the B2200A, B2201A, and E5250A Test Sequencer for Automating Testing across Entire Wafer Post-test Graphical Analysis and Wafer Mapping Capability B2200A: fa Leakage Switch Mainframe 반도체소자시험장비 응용및사용분야 고효율테스트시스템처리량정밀교정실고분해능디지타이징 더빠른테스팅 100,000 판독속도 / 초 내장테스트셋업기능 > 340/ 초 프로그램가능통합시간 : 500ns ~ 1sec 더효율적인테스트양산 More accuracy for tighter test margins 8.5 디지트해상도 2 소스 (10 V,10 kω) 교정, AC 포함 자체조정, 자체검증및자동교정 ( 전기능및범위, AC 포함 ) 최상의전송측정 8.5 디지트해상도 0.1 ppm DC volts linearity 0.1 ppm DC volts transfer capability 0.01 ppm rms internal noise 극도의정밀성 0.6 ppm (24 시간, DC volts) 2.2 ppm (24 시간, ohms) 100 ppm mid-band AC volts 8 ppm (4 ppm 옵션 )/ 년 voltage reference stability 더뛰어난파형분해능및정확도 16 ~ 24 비트해상도 100,000 ~ 0.2 샘플링 / 초 12 MHz 대역폭 Timing resolution to 10 ns 100 ps 이하타임지터 75,000 reading internal memory B2201A: 14 ch Low Leakage Switch Mainframe E5250A: Low-leakage Switch Mainframe 반도체소자시험장비

27 52 53 반도체소자시험장비 B1500A 반도체디바이스분석기 키사이트 B1500A와키사이트 4155C/56C의측정성능비교표 Keysight B1500A 1-10 SMUs 4-6 SMUs *1 1-4 HPSMUs 1 HPSMU *2 Keysight 4155C/56C CV 및 IV 파라미터특성분석솔루션윈도우기반, 터치스크린 Module Coniguration 1 GDNU (4.2 A) 1 GDNU (1.6A) *2 No VSVMUs *3 2 VSUs and 2 VMUs 1 MFCMU Not available PC 기반 - 윈도우 XP 프로페셔널 OS 및 EasyEXPERT 소프트웨어 전류 - 전압 (IV), 캐패시턴스 - 전압 (CV), 펄스발생, 빠른 IV 및시간도메인측정을 위한원 - 박스형 SMU( 소스모니터유닛 ) 및모듈형 (10 개슬롯 ) 데스크탑 EasyEXPERT 소프트웨어로오프라인데이터분석및어플리케이션 테스트개발 Measurement Resolution Current Voltage 1-5 (1-10 channels) HV-SPGUs *4 2 PGUs2 1-5 (1-10 channels) WGFMUs *4 Not available 1 fa (HRSMU) 1 fa (4156C) 0.1 fa (HRSMU + ASU) 2 μv (SMU) 0.5 μv (MPSMU & HRSMU) 0.2 μv (VMU) 측정성능 0.1 fa 및 0.5 µv 까지전류 - 전압 (IV) 측정 준정적및중간주파수캐패시턴스 - 전압 (CV) 측정 펄스 IV, NBTI 및 RTS 노이즈측정과등, 여러테스트에서신속정확한 IV 및시간도메인측정 고전력및메모리디바이스테스트에적합하도록최대 ±40 V 의고전압펄스발생 Measurment Aaccurcay (Offset) Specialized Measurment Functions Current 15 fa (10 pa range HRSMU) 20 fa (10 pa range) Voltage 120 μv (0.5 V range MPSMU & HRSMU) Standby Mode Available Available Current Offset Cancel High Speed Sampling Available Multi channel measurment 200 μv (2 V range SMU) 10 μv (0.2 V range VMU Available Single channel measurement 100 μsec. minimum interval 60 μsec. minimum interval 20,000 counts of full scale resolution (SMU) 1,000 counts of full scale resolution (SMU) Multi channel measurement, 5 ns minimun interval (WGFMU) 특장점 Pulsed Sweep Multi channel measurement (SMU or WGFMU) Single channel measurement IV 측정성능탁월 : 0.1 fz/0.5 µv 측정분해능 측정기능으로는단일및멀티채널스위프, 시간샘플링, 리스트스위프, 준정적 CV(SMU 사용 ), 직접제어및 HV-SPGU 를위한 ALWG GUI 통합캐패시턴스모듈을통해최대 5 MHz 의 CV 측정 ( 옵션 ) 0.5 µv 전압측정분해능과 10 fa, 1 fa 또는 0.1 fa 전류측정분해능으로포지셔너기반의 CV-IV 스위칭솔루션 ( 옵션 ) 내장된반자동웨이퍼프로버와테스트순차를이용하여테스트를자동화 10 ns 프로그램가능펄스폭과 ±40 V(80 V 피크투피크 ) 출력으로고전압반도체펄스발생기장치이용 ( 옵션 : HV-SPGU) ALWG 및빠른전류또는전압측정기능으로 WGFMU 이용 ( 옵션 ) 고유전율게이트유전체및 SOI 트랜지스터의특성분석을위해 10 ns 펄스 IV 솔루션이용 윈도우 GUI 기능사용자인터페이스강화및기존의표준테스트모드이용 QSCV Available Available IV knob Sweep Available Available Pulse Generator Frequency Range 1 Hz - 33 MHz (HV-SPGU) 0.1 Hz khz (PGU) Switching between IV and Measurements * WGFMU : Waveform Generator Fast Measurement Unit * ALWG : Arbitrary Linear Waveform Generation * SOI : Silicon-On-Insulator SCUU, ASU or B2200A/B2201A/E5250A E5250A * WGFMU : Waveform Generator Fast Measurement Unit * ALWG : Arbitrary Linear Waveform Generation * SOI : Silicon-On-Insulator 모듈선택가이드 반도체소자시험장비 B1510A HPSMU B1511A MPSMU B1517A HRSMU E5288A ASU 필요한슬롯수 ㅡ 1 최대전압 ±200 V ±100 V ±100 V ±100 V ㅡ 최대전류 ±1 A ±100 ma ±100 ma ±100 ma ㅡ 전압측정분해능 2 μv 0.5 μv 0.5 μv 0.5 μv ㅡ 전류측정분해능 10 fa 10 fa 1 fa 0.1 fa ㅡ B1520A MFCMU 최소 / 최대정전용량측정주파수ㅡㅡㅡㅡ 1 khz ~ 5 MHz 최대정전용량 dc Bias Capability ㅡㅡㅡㅡ ±100 V* * used with SCUU and SMU 반도체소자시험장비 B1525A (HV-SPGU) 슬롯수 1 최대전압레벨 ±40 V (80Vp-p) 최소전이시간 20 ns 최소펄스폭 12/5 ns 기타 3 레벨펄스, ALWG B1530A (WGFMU) 슬롯수 1 최소펄스폭 50 ns 피크대피크출력 10 V 전류 / 전압측정샘플속도 5ns

28 54 55 반도체소자시험장비 A/371A 고분해능커버트레이서 (Curve Trace) 리퍼버시제품 4200-SCS 시스템 반도체파라미터분석기 커서와하드카피로완전한프로그램가능 고 - 분해능 DC 파라미터측정 (370A) 고전압및전류소싱 (371A) 매트릭스소프트웨어및랩뷰 (LabView) CE 인증 사용하기쉬운모델 4200-SCS는연구소수준의 DC 그리고펄스디바이스분석, 실시간플로팅및고정밀, 펨토암페어이하의분해능을가지고있습니다. 윈도우가내장된 PC 와대용량저장장치를포함한통합특성분석시스템안에최첨단기능들이구비되어있습니다. 자체문서기능, 클릭만으로수행되는빠른인터페이스와데이터취득절차의단순화로인하여사용자는측정결과분석을신속하게할수있습니다. 모델별기본성능 텍트로닉스의 370A 고분해능커버트레이서는트랜지스터, 사이리스터 (thyristors), 다이오드, SCRs, MOSFETs, 광전자부품, 태양광전지, 반도체이용디스플레이그리고기타반도체디바이스의 DC 파라미터특성분석을하기위한장비입니다. 370A는 1 pa, 50V 측정분해능그리고 20A/2000V의소싱성능으로수많은분야의연구 / 실험실및제조 / 생산시설에서워크호스 (workhorse) 역할을하는장비입니다. 이장비는처음의테스트에서다음의테스트로쉽게변환할수있게해주는푸시버튼소스 (push button source) 및측정구조를갖춘뛰어난장비입니다. 주요특징응용분야 Model 4200-SCS Total # of SMUs Up to 9 high or medium power Current range & Resolution Voltage range & resolution C - V Module Ultra-Fast I-V 1 A / 0.1 fa ± 210 V / 1 μv Optional Optional 4200-SCS-PK1 2 medium power 100 ma / 0.1 fa 210 V / 1μV No No 4200-SCS-PK2 2 medium power 100 ma / 0.1 fa 210 V / 1μV Yes No 4200-SCS-PK3 2 medium power 2 high power 1 A / 0.1 fa ± 210 V / 1 μv Yes No Automatic Test Sequence GPIB Programmable Storage Non-Volatile Storage via GPIN Interface Waveform Comparison Dot Cursor Windowing Auxiliary Supply On Screen Readout Envelope Display Digital Storage Display and Non-Storage Mode Waveform Averaging Manual or Automated High Resolution DC Parametric Characterization of Semiconductors Incoming Inspection Manufacturing Test Process Monitoring and Quality Control Data Sheet Generation Component Matching Failure Analysis Engineering 주요특징 Modular architecture - configurable and scalable to test needs 0.1fA and 1μV SMU/PA measure resolution Multi-frequency, Quasistatic and VLF C-V measurement capabilities Two-channel, Ultra-Fast Pulse I-V module for transient & self-heating analysis Includes software drivers for leading analytical probers Instrument Modules 4210-CVU 4225-PMU 4225-RPM 4220-PGU 4200-SMU 4210-SMU 4200-PA 4210-MMPC/X C-V Instrument Ultra-Fast I-V Module Remote Amplifer/Switch High Voltage Pulse Generator Medium Power Source Measure Unit High Power Source Measure Unit Remote PreAmp Option for 4200-SMU and 4210-SMU Multi-measurement Performance Cables 커버트레이서 (Curve Trace) 선택가이드 파라메트릭커버트레이서구성 370A 371A High Power Medium Power Medium Power Low Cost 3000 Watts 220 Watts 100 Watts 100 Watts 3000 V or 400 A 2000 V or 10 A 1600 V or 20 A 100 V or 2 A 키슬리의파라메트릭커브트레이서구성은고품질의장비, 케이블, 테스트픽스처및파워디바이스특성분석을위해다양한소프트웨어로구성된완벽한솔루션입니다. 키슬리의이빌딩블록방식은장비의업그레이드를쉽게해주고, 변화하는테스트요구에맞춰장비구성을쉽게바꿀수있는이점을제공합니다. 반도체소자시험장비 GPIB Programmable GPIB Programmable Front Pannel Control Front Pannel Control Front Pannel Control Front Pannel Control Third Bias Supply Third Bias Supply Store 16 Setup & 16 Display in Memory Display Storage Option Memory Storage of 12 Setups and 1 Display Storage Option Model Type Collector/Drain Supply High Voltage Mode Collector/Drain Supply High Current Mode Step Generator Base/ Gate Supply 2600-PCT-1 Low Power 200 V/10 A 200 V/10 A 200 V/10 A 2600-PCT-2 High Current 200 V/10 A 40 V/50 A 200 V/10 A 4200-PCT-2 High Current 200 V/1 A 40 V/50 A 200 V/1 A 2600-PCT-3 High Voltage 3 kv/120 ma 200 V/10 A 200 V/10 A 반도체소자시험장비 4200-PCT-3 High Voltage 3 kv/120 ma 200 V/1 A 200 V/1 A 2600-PCT PCT-4 High Current / High Voltage High Current / High Voltage 3 kv/120 ma 40 V/50 A 200 V/10 A 3 kv/120 ma 40 V/50 A 200 V/1 A

29 56 57 반도체소자시험장비 B 시스템소스미터 SMU 계측기 디지트그래픽샘플링멀티미터 2600B 소스미터계측기는업계에서가장강력하며, 가장빠르고, 최고의고해상도를자랑하는 SMU 계측기입니다. 하나의컴팩트한패키지안에파워서플라이, 디지털멀티미터, 임의파형발생기, 전압또는전류펄스발생기, 전자부하, 트리커컨트롤러가결합되어있습니다. 업계에서가장넓은다이내믹범위를가진계측기입니다. 10A pulse 에서 0.1fA 그리고 200V 에서 100nV.0 DMM7510은정밀디지털멀티미터, 그래픽터치스크린디스플레이, 고속고분해능디지타이저의모든장점을결합한업계최초의그래픽샘플링멀티미터입니다. 디지타이저는모델 DMM7510에전례없는신호분석유연성을제공하며, 5인치고해상도터치스크린디스플레이는간편한 선택및확대 / 축소 로손쉽게측정치를관찰하고상호작용하고탐색할수있게해줍니다. 고성능과높은사용편의성의조합은테스트결과에대한최상의조건을제공합니다. 모델별기본성능 모델별기본성능 Model 설명분해능 DC Volt AC Volt DC Current AC Current 인터페이스 Model Current Max / Min Voltage Max / Min Max readings / sec No. of Channels 2601B 3A DC, 10A pulse/100 fa 40V/100nV 20, B 3A DC, 10A pulse/100 fa 40V/100nV 20, B 3A DC, 10A pulse/100 fa 40V/100nV 20, B 1.5A DC, 10A pulse/103 fa 200V/100nV 20, B 1.5A DC, 10A pulse/103 fa 200V/100nV 20, B 1.5A DC, 10A pulse/103 fa 200V/100nV 20, B 1.5A DC, 10A pulse/1fa 200V/100nV 20, B 1.5A DC, 10A pulse/0.1 fa 200V/100nV 20,000 1 주요특징 DMM7510 7½ 10 nv ~ 1010 V 100 nv ~ 707 VRMS 1 pa ~ 10.1 A 1 na ~ 10.1 A DMM7510-NFP 프론트판넬없음 7½ 10 nv ~ 1010 V 100 nv ~ 707 VRMS 1 pa ~ 10.1 A 1 na ~ 10.1 A DMM7510- RACK DMM7510-NFP- RACK 랙마운트 7½ 10 nv ~ 1010 V 100 nv ~ 707 VRMS 1 pa ~ 10.1 A 1 na ~ 10.1 A 랙 + 프론트판넬없음 7½ 10 nv ~ 1010 V 100 nv ~ 707 VRMS 1 pa ~ 10.1 A 1 na ~ 10.1 A GPIB, USB, LAN/ LXI GPIB, USB, LAN/ LXI GPIB, USB, LAN/ LXI GPIB, USB, LAN/ LXI 주요특징 기본액세서리 2636B 1.5A DC, 10A pulse/0.1 fa 200V/100nV 20, quadrant design simultaneously measures voltage, current, and resistance TSP (embedded Test Script Processor) architecture enables industry-best system-level speed Arbitrary waveform generation with 1% to 100% duty cycle Built-in software for quick and easy I-V test through web browser GPIB, LAN (LXI), USB and RS-232 3½ ~ 7½-Digit 분해능의정밀멀티미터 14 PPM 기본 1 년 DCV 정밀도 100 mv, 1 Ω 및 10 μa 범위로저준위신호측정에필요한감도제공 정확한저저항측정을위한오프셋보상기능, Kelvin Sensing ( 4-Wire ) 기능, 건식회로기능지원 1 MS/sec Digitizer 기능으로파형또는이상현상캡처및표시 표준모드에서 1,100,000 개, 또는컴팩트모드에서 2,750,000 개의측정데이터를저장할수있는대용량내부메모리버퍼 자동교정기능으로온도및시간드리프트를최소화함으로써정밀도및안정성개선 5 인치고해상도터치스크린인터페이스로더많은정보표시 전면부 USB 메모리포트를통해신속하게측정데이터및화면이미지저장가능 다양한인터페이스 : GPIB, USB 및 LAN ( LXI-compiant ) 2 년사양으로더길어진교정주기 반도체소자시험장비 Operators and Programming Manuals 2600-ALG-2: Low Noise Triax Cable with Alligator 2600-Kit:Clips, 2m (6.6 ft.) (two supplied with 2634B and 2636B, one with 2635B) Mating Screw Terminal Connectors (with strain relief and covers (2601B/2602B/2604B/2611B/2612B/2614B) CA-180-3A: TSP-Link/Ethernet Cable (two per unit) TSP Express Software Tool (embedded) Test Script Builder Software (downloadable) LabVIEW Driver (downloadable) ACS Basic Edition Software (optional) 추천액세서리 2600-BAN Std-Res Banana Test Leads Adapter Probe Kit for 2600-BAN Calibration Standard 1G ohm Resistor 주요어플리케이션 디바이스특성화, 디버깅및분석 양산테스트 / ATE 연구실및대학응용분야 내장된그래픽유틸리티 반도체소자시험장비 고속디지타이징기능 첨단트리거링옵션

30 TDR/PCB 테스트솔루션 DSA8300 시리즈 디지털샘플링오실로스코프 광샘플링모듈 Module Application Channel Bandwidth Effective Wavelength Range Calibrated Wavelength 80C07B Tributary single-, multi-mode Datacom/Telecom GHz 광대역폭 700 nm to 1650 nm 780nm, 850nm, 1310nm, 1550nm (±20nm) 까다로운고속의신호특성테스트시최상의신호충실도제공 고도로정확한장치특성화를위한업계선도적인 100 fs 미만의고유지터를포함하고 있는 DSA8300 디지털샘플링오실로스코프는광통신표준, 시간도메인반사계및 S 매개변수에대한포괄적인지원을합니다. DSA8300 디지털샘플링오실로스코프는 155 Mb/sec 에서 100 G 범위의데이터 통신을위한완전한고속물리 (PHY) 계층테스트플랫폼입니다. 80C08D 10Gb/s single-, multi-mode Datacom/Telecom 1 12 GHz 광대역폭 700 nm to 1650 nm 80C10C 100Gb/s, 40Gb/s, 25Gb/s single-mode Telecom and Datacom 780nm, 850nm, 1310nm, 1550nm (±20 nm) 1 80 GHz 광대역폭 1310 nm and 1550 nm 1310 nm, 1550 nm (±20 nm) 80C11B 10 Gb/s single-mode Datacom/Telecom 1 28 GHz 광대역폭 1100 nm to 1650 nm 1310 nm, 1550 nm (±20 nm) 80C12B 10 Gb/s single-mode Datacom/Telecom 1 12 GHz 광대역폭 700 nm to 1650 nm 850 nm, 1310 nm, 1550 nm (±20 nm) 80C14 8.5~14 Gb/s single-, multi-mode Datacom/Telecom 1 14 GHz 광대역폭 700 nm to 1650 nm 850 nm, 1310 nm, 1550 nm (±20 nm) 80C15 8.5~14Gb/s single-, multi-mode Datacom/Telecom 1 32 GHz 광대역폭 700 nm to 1650 nm 850 nm, 1310 nm, 1550 nm (±20 nm) 전기샘플링모듈 Module Application Channel Bandwidth Input impedance Input connector 80E03 Device characterization 2 20 GHz 50 ±1.0 Ω 3.5 mm female 80E04 TDR impedance and crosstalk characterization 2 20 GHz 50 ±1.0 Ω 3.5 mm female DSA8300 기본스펙 아날로그대역폭샘플속도레코드길이아날로그채널기본가격 ( 원 ) DC - 80 GHz 최대 300kS/s 50 포인트 ~16,000 포인트 (IConnect 에서 1M 포인트, 80SJNB 의경우 10M 포인트 ) 사용된샘플링모듈에따라결정 ( 최대 8 개채널 ) 44,500,000 80E07B Optimal noise/performance trade-off for jitter characterization 2 30 GHz 50 ±1.0 Ω 2.92 mm female 80E08B True differential TDR, S-parameters 2 30 GHz 50 ±1.0 Ω 2.92 mm female 80E09B High-frequency, low-noise signal Acq. & Jitter characterization 2 60 GHz 50 ±1.0 Ω 1.85 mm female 80E10B True differential TDR, S-parameters, & fault isolation 2 50 GHz 50 ±1.0 Ω 1.85 mm female 80E11 High-frequency, low-noise, signal 2 70 GHz 50 ±1.0 Ω 1.85 mm female 80E11x1 acquisition & jitter haracterization 1 70 GHz 50 ±1.0 Ω 1.85 mm female DSA8300 특장점 전기모듈신호측정정확도 : 주요특징 초저시스템지터 (<100fs, 편의사양 ) > 70GHz 모든대역폭에서업계최저시스템노이즈발생 : 최대 600µV (450µV, 편의사양 최대 380µV (280µV, 편의사양 주요장점 100fs 미만의고유지터를통해테스트장비에서사용중인, 5% 미만의신호단위간격을가진일반적으로높은비트속도 (40 및 100(4 25)Gb/s) 장치를특성화할수있음. 70GHz 대역폭을통해높은비트속도의신호를완전히특성화할수있음 높은비트속도, 낮은진폭신호획득시장비노이즈를최소화하여, 추가지터및아이닫힘으로보일수있는추가노이즈제거 전기클럭복구모듈 Module Application Type Descriptions 80A02 - Serial Data Link, Device haracterization 25 GHz, 싱글채널, 텍트로닉스전기샘플링모듈의전기정적분리를위한 EOS/ESD 보호모듈 80A03 - Compliance Testing of Electrical Signaling - High-speed Optical Comm. Testing TEKCONNECT 프로브인터페이스모듈 80A05 - Jitter, Noise, BER, Signal Impairment Analysis Bit Rates: 50 Mb/s and 12.6 Gb/s 위상기준모듈 TDR/PCB 테스트솔루션 단일메인프레임의 100fs 미만지터에서최대 6 개의채널동시에획득 광모듈에서 155Mb/s - 100Gb/s(4x25) 이더넷의모든표준속도에대해옵틱컴플라이언스테스트지원 최대 300kS/s 까지의샘플링속도로뛰어난획득처리량 DUT( 테스트대상장치 ) 에인접하여샘플러배치 독립적인교정된채널지연시간보정지원 여러디퍼런셜채널에대해높은충실도의획득이가능하여, 교차채널손상을테스트할수있으며, 여러고속시리얼채널을포함한시스템의테스트처리량향상 850, 1310 및 1550nm 의경우 155Mb/s (OC3/STM1) 에서시작하여 40 Gb/s (SONET/SDH 및 40 GBase 이더넷 ) 와 100 Gb/s 이더넷 (100GBase-SR4, -LR4 및 ER4) 에이르기까지단일및다중모드광학표준에대해비용효율적이고기능이다양한광학테스트시스템을제공 뛰어난시스템처리량으로제조또는장치특성화관련테스트시간이 4 배단축 원격샘플링헤드가 DUT 에서장비까지의케이블연결및고정으로인한신호저하를최소화하고테스트시스템제외를간소화 듀얼채널모듈에서채널지연시간보정이통합, 교정되어스큐를제거함으로써여러채널측정시신호충실도가개선 Module Application Freq. Range Input impedance Jitter 82A04B Design, Verification, and Mfg. of PC, Telecom, and Datacom Operating at 10 Gb/s 2 GHz - 60 GHz 50 Ω ±0.5 Ω AC Extremely low jitter <100 fsrms TDR/PCB 테스트솔루션

31 60 61 TDR/PCB 테스트솔루션 D 인피니엄 DCA-X 광대역오실로스코프 키사이트의 86100D DCA-X 광대역오실로스코프는 50 Mb/s ~ 80 Gb/s 대에서고속디지털설계를정확하고정밀하게측정할수있는모듈형장비입니다. 사용자는고정밀도의 TDR, TDT, S-파라미터및전기, 광학측정을할수있으며, 다양하게구비된모듈을사용하여메인프레임을구성합니다. 각자필요한측정에맞는대역폭, 필터링, 감도등을위하여구비된모듈을선택하면됩니다. 모듈선택가이드 모듈 86105C 86105D 옵션 광학채널수 전기채절수 TDR/TDT/S 파라미터 프로브파워 파형길이범위 (nm) 비여과광학대역폭 대역폭 (GHz) 파이버입력 (μm) 마스크테스트민감도 (dbm) 필터된데이터속도 (Mb/s) / / D D 주요특징 뛰어난신호무결성측정 고밀도 ASIC/FPGA 테스트및병렬설계를위해최대 16 채널 무작위 / 정기적지터및노이즈발생기포함파형시뮬레이터 최대 64 개측정결과동시표시 디임베딩및임베딩기능통합 필터링, FFT, 차동및통합기능등고급신호처리 DDPWS, UJ, J2, J9 등, 새로운측정기능 W 모든채널과기능에할당가능한수직게인및오프셋컨트롤 * DDPWS: Data Dependent Pulse Width Shrinkage * UJ: uncorrelated jitter 4 가지모드통합 오실로스코프모드 지터모드 아이 / 마스크모드 TDR/TDT 모드 응용분야 송수신기설계및제조생산 ASIC / FPGA / IC 설계및특성분석 TDR/TDT/S- 파라미터 : 시리얼버스설계 케이블및 PCB 신호무결성측정 D C C A A LBW B HBW A HBW A A N1045A 02F/02M N1045A 04F/04M N1055A 32F/32M N1055A 34F/34M N1055A 52F/52M 메인프레임기본스펙 수평시스템 (time base) Scale factor 지연 시간간격정확도 최소 최대 최소 최대 2 ps/div (with 86107A or 86100D-PTB: 500 fs/div, 500fs/div) 1 s/div 24 ns 1000 screen diameters or 10 s 1 ps + 1.0% of Δ time reading or 8 ps N1055A 54F/54M 옵션및액세서리 86100D-090 탈착형하드드라이브 86100D-092 내장하드드라이브 (default option) 86100D-200 지터분석소프트웨어, Fixed Perpetual License 86100D-201 첨단파형분석소프트웨어 지터모드작동 Time interval accuracy - jitter mode operation 1 ps 86100D-202 임피던스및 S- 파라미터소프트웨어, Fixed Perpetual License 시간간격해상도 (screen diameter)/(record length) or 62.5 fs 86100D-300 강화된진폭분석 /Rin/Q-Factor, Fixed Perpetual License 디스플레이유닛 Bits or time (TDR mode-meters) 86100D-401 아이 (Eye) 분석소프트웨어, Fixed Perpetual License 채널수 16 ( 전채널동시획득 ) 86100D-500 Productivity Package, Fixed Perpetual License TDR/PCB 테스트솔루션 수직시스템 ( 채널 ) 트리거모드 지터 조정 레코드길이 Scale, offset, activate filter, sampler bandwidth, attenuation factor, transducer conversion factors Legacy UI: 16 to 16K samples FlexDCA without pattern lock: 16 ~ 64K 샘플 FlexDCA with pattern lock: 16 ~ 34M 샘플 옵션 STR ( 표준트리거 ) 옵션 ETR ( 상향트리거 ) Limited 대역폭 DC to 100 MHz DC to 100 MHz 풀대역폭 DC to 3.2 GHz DC to 3.2 GHz 외부트리거 N/A 3 GHz to 13 GHz (15 GHz, 32 GHz with option PTB) PatternLock N/A 50 MHz to 13 GHz (50 MHz ~ 15 GHz) 민감도 200 mvpp ( 사인파입력 or 200 ps 최소펄스폭 ) 200 mvpp 사인파입력 : 50 MHz ~ 13 GHz 임피던스 최대트리거신호 50 Ω, <10% for 100 ps rise time 2 V peak-to-peak Characteristic < 1.0 ps RMS + 5*10E-5 of delay setting 1.2 ps ~ 1.7 ps RMS Maximum 1.5 ps RMS + 5*10E-5 of delay setting 1.2 ps (50 MHz to 32 GHz) in PTB mode D-AFP 모듈슬롯필러 (filler) 판넬 86100D-AX4 랙마운트키트 ( 핸들없음 ) 86100D-AXE 핸들달린랙마운트키트 86100D-ETR 고급트리거, 13 GHz BW, 패턴및모듈트리거 86100D-GPI GPID 카드인터페이스 - Installed 86100D-GPN GPIB 카드인터페이스없음 86100D-PTB 내장정밀타임베이스 86100D-SIM InfiniiSim-DCA 파형변환소프트웨어, Fixed Perpetual License 86100D-STR 표준트리거 3.2 GHz BW (default option) 86100D-UK6 테스트데이터포함 Commercial 교정인증 86100DT-200 강화된지터분석, Transportable License 86100DT-201 고급파형분석, Transportable License 86100DT-202 강화된임피던스및 S-파라미터소프트웨어, Transportable License 86100DT-300 고급 Amplitude Analysis/RIN/Q-Factor, Transportable License 86100DT-401 고급아이 (Eye) 분석, Transportable License TDR/PCB 테스트솔루션 86100DT-500 Productivity Package, Transportable License 86100DT-SIM nfiniisim-dca Waveform Transformation SW, Transportable License N5477A 샘플링스코프어댑터

32 62 63 RF 테스트솔루션 N9020A MAX 신호분석기 N9020A 표준구성 N9020A MXA 신호분석기 - Enhanced phase noise performance (1 ea.) - English localization N9020A는각분야의사용목적에맞게다양한옵션을갖추고필요에맞는어플리케이션을유연하게구성할수있도록설계된장비입니다. 또한다양한소프트웨어로비즈니스및기술요구사항을모두충족시킬수있는유연성을갖춘장비입니다. 계속해서복잡해지고있는디지털신호환경에대처할수있도록업그레이드가용이합니다. - Windows 7 Documentation - Return to Keysight Warranty - 3년 N9020A-503 주파수범위, 10 Hz ~ 3.6 GHz N9020A-B25 분석대역폭, 25 MHz N9020A-W7X 오퍼레이팅시스템, 윈도우임베디드표준 7 (1 ea.) (1 ea.) (1 ea.) N9020A 주요옵션 Frequency Range N9020A-503 Frequency range, 10 Hz to 3.6 GHz 주요성능 N9020A-508 N9020A-513 Frequency range, 10 Hz to 8.4 GHz Frequency range, 10 Hz to 13.6 GHz 주파수범위 : - 10 Hz ~ 3.6, 8.4, 13.6, 26.5 GHz 지원 N9020A-526 Preamplifier Frequency range, 10 Hz to 26.5 GHz GHz 및 1.1 THz 확장가능 ( 키사이트및타사믹서사용 ) N9020A-P03 Preamplifier, 100 khz to 3.6 GHz 분석대역폭 : 25 MHz( 기본 ), 40 MHz, 85 MHz, 125 MHz 또는 160 MHz 실시간스펙트럼분석 : 지속시간이 3.57 µs 의신호에대해 100% POI 보장 절대진폭정확도 : ±0.23 db 위상노이즈 (10 khz 오프셋에서 ): -114 dbc/hz, +20 dbm TOI DANL(Displayed Average Noise Level) - 프리앰프사용 : -166 dbm N9020A-P08 N9020A-P13 N9020A-P26 Attenuator Standard Preamplifier, 100 khz to 8.4 GHz Preamplifier, 100 khz to 13.6 GHz Preamplifier, 100 khz to 26.5 GHz Mechanical attenuator, 2 db steps, 0 to 70 db - NFE 옵션사용 : 최대 10dB 개선 N9020A-EA3 Electronic attenuator up to 3.6 GHz Analysis Bandwidth 측정어플리케이션및소프트웨어 25 가지이상측정어플리케이션 : 셀룰라통신, 무선연결, 디지털비디오및범용등 75 가지이상의고급신호분석 : VSA 소프트웨어로 N9020A 에서실행 MATLAB 데이터분석소프트웨어 : 범용데이터분석, 시각화및측정자동화 PowerSuite 원 - 버튼전력측정 ( 기본제공 ) 자동화및통신인터페이스 Standard N9020A-B40 N9020A-B85 N9020A-B1A N9020A-B1X N9020A-MPB Performance Options Standard 10 MHz/25 MHz analysis bandwidth 40 MHz analysis bandwidth 85 MHz analysis bandwidth 125 MHz analysis bandwidth 160 MHz analysis bandwidth Microwave preselector bypass Enhanced phase noise LXI 호환, SCPI 및 IVI-COM USB 2.0, 1000Base-T LAN, GPIB PSA, 8566/68 및 856x 와의원격언어호환성프로그래밍 공통 X- 시리즈사용자인터페이스 / 개방형 Windows 7 운영체제 ( 기본 ) - 기존 MXA 를 Windows XP 에서 Windows 7 로마이그레이션 N9020A-DP2 N9020A-BBA N9020A-EXM N9020A-FP2 N9020A-NFE Digital processor with 2 GB capture memory I/Q baseband inputs, analog External mixing Fast power Noise floor extension 주요스펙 N9020A-TDS Real-time Spectrum Analysis Time domain scan RF 테스트솔루션 Frequency Range, Min-Max Analysis Bandwidth Overall amplitude accuracy (95%) Dynamic Range, Max Third Order at 1 GHz Displayed Average Noise Level (DANL) Third Order Intercept 1 GHz Phase 1 GHz Standard RF Optional RF Optional 1 4 GHz 10 Hz to 26.5 GHz 25 MHz 40, 85, 125, 160 MHz 25, 40 MHz ± 0.23 db 116 db -166 dbm -166 dbm 20 dbm 10 khz offset -114 dbc/hz 1 MHz offset -136 dbc/hz N9020A-RT1 N9020A-RT2 N9020A-RTR Optional Features N9020A-EDP N9020A-EMC N9020A-ESC Rear Panel Output N9020A-CR3 N9020A-CRP N9020A-YAS Real-time analysis up to 160 MHz BW, basic detection Real-time analysis up to 160 MHz BW, optimum detection Real-time spectrum recorder and analyzer application Enhanced display package Basic EMI precompliance External source control Second IF output Arbitrary IF output Y-axis screen video output RF 테스트솔루션 Standard Attenuator Range/Step 70 db/2 db Resolution Bandwidth 1 Hz to 8 MHz

33 64 65 RF 테스트솔루션 E5071C ENA 고성능 RF 벡터네트워크분석기 N5182A MXG RF 벡터신호발생기 다양한테스트세트선택가능 : - 9 khz ~ 4.5 or 6.5 or 8.5 GHz khz ~ 4.5 or 6.5 or 8.5 GHz ( 바이어스티포함 ) khz ~ 14 or 20 GHz ( 바이어스티포함 ) 2 또는 4 포트, 최대 22 멀티포트가능 (E5092A) 낮은트레이스노이즈 : 70 khz IFBW 에서 db rms 넓은동적범위 : 130dB ( 기본 ) 높은측정속도 : 전체 2 포트교정, 401 포인트에서 9 msec 고온안정성 : 0.005dB/ C E5071C 는무선통신, 자동차, 반도체, 의학등, R&D 및제조에서 RF 부품, 멀티포트모듈, 재료 (Material) 및신호무결성등을테스트및측정하고평가하는데사용됩니다. 각분야의 사용목적에맞게포트수, 주파수, 바이어스티등을유연하게선택하여장비를구성할수있습니다. 주요스펙 주요특징 Electronic attenuator: 6 GHz Synchronize multiple MXG s for MIMO Tunable reference input: 1 ~ 50 MHz I/Q Modulation Bandwidth: 160 MHz Baseband Generator Bandwidth: 100 MHz Embedded help system Differential and single-ended I/Q outputs Suite of I/Q adjustments: gain, offsets, quadrature skew, I/Q skew, I/Q delay Save and recall instrument settings 100BaseT LAN with LXI class-c compliance, USB 2.0, GPIB interfaces 주요옵션 RF 테스트솔루션 주요옵션 E5071C-240 E5071C-245 E5071C-440 E5071C-445 E5071C-260 E5071C-265 E5071C-460 E5071C-465 E5071C-280 E5071C-285 E5071C-480 E5071C 포트 *, 9 khz ~ 4.5 GHz 2 포트 **, 100kHz ~ 4.5GHz 4 포트 *, 9 khz ~ 4.5 GHz 4 포트 **, 100kHz ~ 4.5GHz 2 포트 *, 9 khz ~ 6.5 GHz 2 포트 **, 100kHz ~ 6.5GHz 4 포트 *, 9 khz ~ 6.5 GHz 4 포트 **, 100kHz ~ 6.5GHz 2 포트 *, 9 khz ~ 8.5 GHz 2 포트 **, 100kHz ~ 8.5GHz 4 포트 *, 9 khz ~ 8.5 GHz 4 포트 **, 100kHz ~ 8.5 GHz E5071C-2D5 2 포트 **, 300kHz ~ 14GHz E5071C-4D5 4 포트 **, 300 khz ~ 14GHz E5071C-2K5 2 포트 **, 300kHz ~ 20GHz E5071C-4K5 4 포트 **, 300kHz ~ 20GHz ** 바이어스티포함 * 바이어스티제외 E5071C-008 주파수오프셋모드 E5071C-TDR 향상된시간도메인분석 E5071C-010 시간도메인분석 E5071C-790 Measurement Wizard Assistant 소프트웨어 E5071C-1E5 높은안정성타임베이스 E5071C-017 착탈식하드디스크드라이브 E5092A GHz, 최대 22 포트구성 가능멀티포트테스트세트 주요스펙 E5071C 옵션 테스트주파수전원 E5071C 240/245/ 440/445 9 또는 100 khz ~ 4.5 GHz E5071C 260/265/ 460/465 9 또는 100 khz ~ 6.5 GHz E5071C 280/285/ 480/485 9 또는 100 khz ~ 8.5 GHz E5071C 2D5/4D5 300 khz ~ 14 GHz 공급범위 -55 dbm ~ +10 dbm -85 dbm ~ +10 dbm 동적범위 트레이스노이즈 측정속도 안정성 인터페이스 테스트포트 123 db 초과 dbrms 미만 41 ms db/ C GPIB/LAN/USB 2 또는 4 포트 최대포인트수 20,001 최대채널수 160 교정 웹지원제어 픽스처시뮬레이터 내장프로그래밍 향후기능및업그레이드가능 필터튜닝한계선 내장바이어스티 프로브전력 DC 측정 SOLT, TRL, 어댑터제거 / 삽입, 알수없는 thru, ECal, 사용자특성분석 ECal, SMC, VMC 예 예 VBA 주파수오프셋모드예 ( 옵션 ) 시간도메인예 ( 옵션 ) 예 예 예 예 예 E5071C 2K5/4K5 300 khz ~ 20 GHz 주파수범위 - 옵션 503: 100 khz to 3 GHz - 옵션 506: 100 khz to 6 GHz 분해능 : 0.01 Hz 출력파워 : +13 ~ -127 dbm 레벨정확도 : ±0.6 ~ 1.7 db SSB 위상잡음 : -121 dbc/hz (at 1 GHz) (20 khz 오프셋에서 ) 하모니 (Harmonics): <-30 dbc Spurious: <-42 to <-61 dbc 스위칭속도 : <1.2 ms 지터 : 47 μui MHz, 5 MHz BW) 신호소스소프트웨어 3GPP W-CDMA HSPA LTE 3GPP2 CDMA IS-95 and cdma2000 TD-SCDMA EDGE/GSM Custom digital modulation Multitone AWGN WiMAX WLAN a/b/g WLAN DVB-T/H/C/S 125 MSa/s Baseband Generator ATSC ISDB-T DTMB NADC/PDC PHS DECT TETRA Pulse M/AM/FM T-DMB Enhanced multitone Noise power ratio Generate wide bandwidth signals up to 100 MHz 64 MSa of memory for waveform playback 16-bit DACs for excellent dynamic range Hardware resampling technology eliminates need for multiple reconstruction filters Frequency 503 Frequency range from 100 khz to 3 GHz 506 Frequency range from 100 khz to 6 GHz Performance enhancements UNZ Fast switching 1EA High output power 1EQ Low power (< -110 dbm) UNU Pulse modulation UNW Narrow pulse modulation 320 Pulse train generator 006 Instrument security 1ER Flexible reference input (1-50 MHz) 1EM Move RF output to rear panel UK6 Commercial calibration certificate with test data 099 Expanded license key upgradeability 012 LO in/out for phase coherency Vector specific options 651 Internal baseband generator (30 MSa/s, 8 MSa) 652 Internal baseband generator (60 MSa/s, 8 MSa) 654 Internal baseband generator (125 MSa/s, 8 MSa) 019 Increase baseband generator memory to 64 Msa 1EL Differential I/Q outputs 403 Calibrated AWGN UNV Enhanced dynamic range 430 Multitone and two-tone 431 Custom digital modulation 432 Phase noise impairments Waveform license 5-packs 1 to Waveform license 50-packs 1 to 10 Signal Studio software N7600B Signal Studio for 3GPP W-CDMA with HSDPA/HSUPA N7601B Signal Studio for 3GPP2 CDMA N7602B Signal Studio for GSM/EDGE N7606B Signal Studio for Bluetooth N7611B Signal Studio for broadcast radio N7612B Signal Studio for TD-SCDMA N7613B Signal Studio for (WiMAX) N7615B Signal Studio for WiMAX N7616B Signal Studio for T-DMB N7617B Signal Studio for WLAN RF 테스트솔루션 N7621B Signal Studio for multitone distortion test N7622B Signal Studio toolkit N7623B Signal Studio for digital video N7624B Signal Studio for 3GPP LTE N7625B Signal Studio for 3GPP LTE TDD

34 66 67 RF 테스트솔루션 PXI3000 RF 모듈형측정시스템 PXI 시스템 3030 시리즈 PXI RF 디지타이저 다용도 3060 시리즈 RF 컴바이너들은테스트설비에서외부로부터의 RF 신호제어에대한필요를제거하여테스트시스템디자인및보정을단순화합니다. 이모듈들은 3020 시리즈디 지털 RF 신호발생기와 3030 시리즈 RF 디지타이저들과연결되어 RF 테스트시스템에서사용됩니다. 이러한모듈과함께컴팩트한고성능저비용 RF 테스트시스템들이개발가능합니다. 에어로플렉스의 PXI 3000 시리즈는 PXI의속도및모듈성을범용무선테스트영역으로확장시켰습니다. 하나의박스솔루션내에서다중-표준테스트가기존의성능을유지하면서도원하는테스트성능을만족시킵니다. PXI의유연성은 3000 시리즈가다양한테스트영역들을지원하게합니다. 이는최신의셀룰러및무선데이터커뮤니케이션및대용량의제조환경에서중요테스트에특히탁월합니다. 각모듈의기능들은신호발생, 제어, 분석으로분류되며, 이들은이후빠르고정확한테스트솔루션및테스트소프트웨어와결합되어경쟁력과비용모두를만족시켜드립니다. 3030C C 3035C A 입력주파수 (min.) 350 khz 330 MHz 250 khz 입력주파수 (max.) 3 GHz 6 GHz 3 GHz 6 GHz 13 GHz 6 GHz 주파수해상도 1Hz~3GHz, 2Hz~6GHz, 4Hz~9GHz, 8Hz~12GHz 주파수설정시간 <250 μs <500MHz 2ms, >500MHz 325μs 입력레벨 (max.) +22dBm (8dB RF atten) +30 dbm (10 db RF atten) RF 입력감쇠 0 ~ 28dB (step 4dB) 0 to 31 db (step 1 db) 레벨정확도 <3 GHz, 0.6 db, 0.3 db typ >3 GHz 1.0 db <500 MHz <1.0 db, 0.5 db typ <3 GHz 0.7 db, 0.3 db typ <6 GHz 1.0 db >6 GHz 2.0 db 반사손실 16 db 15 db 3060 시리즈 PXI RF 컴바이너 다용도 3060 시리즈 RF 컴바이너들은테스트설비에서외부로부터의 RF 신호제어에대한필요를제거하여테스트시스템디자인및보정을단순화합니다. 이모듈들은 3020 시리즈디 지털 RF 신호발생기와 3030 시리즈 RF 디지타이저들과연결되어 RF 테스트시스템에서사용됩니다. 이러한모듈과함께컴팩트한고성능저비용 RF 테스트시스템들이개발가능합니다. 감도 (Sensitivity) Residual Spurious -145 dbm/hz typ GHz-150 typ -140 dbm/hz typ -100 dbm typ Typ 148 dbm <500 MHz <-147 dbm/hz typ 500 MHz <140 dbm/hz, -149 dbm/hz typ >6 GHz Spurious Response -75 dbc -70 dbc Version A 3066 RF 컴바이너 RF 컴바이너 with switched outputs RF 컴바이너 RF Low Loss 컴바이너 Multi-Way 액티브 RF 컴바이너 Freq. Range 250 MHz ~ 6 GHz 250 MHz ~ 6 GHz 250 MHz ~ 6 GHz 250 MHz ~ 6 GHz 250 MHz ~ 6 GHz Return Loss >20 db >20 db (up to 2.7 GHz) >9 db (above 2.7 GHz) >20 db (up to 2.7 GHz) typ 20 db (above 2.7 GHz) >20 db (up to 2.7 GHz) typ 17 db (above 2.7 GHz) >14 ( 3 GHz) >10, typ 14 (>3 GHz) Repeatabiliy Better than ±0.05 db Better than ±0.1 db Better than ±0.05 db Better than ±0.05 db <±0.1 db Freq. Response Max. Power Typically <2 db +27 dbm, 3 VDC continuous 250 MHz to 2.7 GHz typ <2 db 2.7 GHz to 6 GHz typ <6 db +30 dbm, 40 VDC continuous +33 dbm MS* 1:1 where M<0.5 ms 250 MHz to 2.7 GHz typ <2.5 db 2.7 GHz to 6 GHz typ <3.5 db +27 dbm, 3 VDC continuous +30 dbm MS* 1:8 where M <0.5 ms 250 MHz to 2.7 GHz typ <2.5 db 2.7 GHz to 6 GHz typ <3.5 db +30 dbm, 3 VDC continuous +33 dbm MS* 1:8 where M <0.5 ms Dimensions Single width 3U PXI module Single width 3U PXI module Single width 3U PXI module Single width 3U PXI module 3020 시리즈 PXI 디지털 RF 신호발생기 Typ.<1 db across any 200 MHz Typ.<0.1 db across any 10 MHz 25 dbm (RF Input) 17 dbm (RF Output) 2-slot wide x 3U PXI-Hybrid slot 고성능 3020 시리즈신호제너레이터모듈은 120 dbm 에서 +17 dbm 범위의 RF 출력을내며, 6 GHz 연속파 (CW) 및디지털신호를발생시킬수있습니다. IQCreator 신호생성 소프트웨어는디지털변조및기타복잡한파형들을설계할수있습니다. 또한아날로그 AM/FM, 디지털및 IQ 벡터변조모드들을포함하는포괄적인변조기능이제공됩니다. LO 위상잡음 (2GHz) -116 khz offset, -138 MHz offset -127 dbc 상호변조 -75 dbc (2 tone at 0 dbm) Instantaneous Bandwidth (-1 db) 36 MHz <500 MHz 20 MHz, <1 GHz 35 MHz, 1 GHz 90 MHz 160 MHz Amplitude Flatness <0.1dB over 5 MHz <0.25 db across 30 MHz <0.1dB over 5 MHz <0.25 db across 33 MHz (<2.9 GHz) <0.4 db across 33 MHz (>2.9 GHz) 0.1dB across 5 MHz 0.25 db across 15 MHz <500 MHz 0.25 db across 33 MHz >1 GHz 0.25 db across 67 MHz <1 GHz 최대샘플링속도 85 MSa/s 250 MSa/s 400 MSa/s 샘플해상도 16 or 32 bit ADC 클럭속도 MHz 250 MHz ADC 해상도 14 bit 13 bit 14 bit 샘플메모리 256 Mbyte 512 Mbyte 2 G 실시간데이터출력 트리거링 LVDS up to 90 MSa/s TTL, Data I/O, Star Trigger, Trigger Bus, Local Bus, S/W 슬롯수 2 3 슬롯타입 PXI1 PXIe Hybrid slot compatible C 3025C 3021C 3026C RF 테스트솔루션 주파수범위 1 MHz ~ 3 GHz 100 MHz ~ 6 GHz 1 MHz ~ 3 GHz 1 MHz ~ 6 GHz 100 khz ~ 3GHz 1 MHz ~ 6 GHz 주파수해상도 출력레벨 (min.) 1 Hz, (2 Hz above 3 GHz) -120 dbm 출력레벨 (max. <3 GHz) +5 dbm +5 dbm +6 dbm +6 dbm +17 dbm 출력레벨 (max. >3 GHz) NA 0 dbm NA +1 dbm +17 dbm 레벨해상도 레벨정확도 0.01 db 0.3 db typ, 1.0 db above 3 GHz 설정시간 ( 주파수 ) <250 μs <250 μs, <85 μs below 85 MHz 설정시간 ( 레벨 ) <250 μs <250 μs, <85 μs below 85 MHz 위상잡음 (<50 khz 오프셋 NA -143 dbc/hz 위상잡음 (2 khz 오프셋 -115dBc/Hz 위상잡음 (5 khz 오프셋 NA -108 dbc/hz NA -108 dbc/hz NA -108 dbc/hz 모듈레이션 CW / AM / FM / I&Q / Digital 신호대역폭 28 MHz up to 90 MHz AWG 샘플링속도 66 MSa/s 200 MSa/s AWG 샘플링해상도 AWG 샘플메모리 32 Mbyte up to 2 Gbyte 아날로그 I&Q 출력 I&Q 벡터모듈레이션입력 트리거링 실시간디지털 IQ 인터페이스 16 bit Yes (optional, single ended/differential) Yes TTL, Data I/O, Star Trigger, Trigger Bus, Local Bus, Software Yes (LVDS) 슬롯수 2 3 슬롯타입 PXI1 PXI Hybrid slot compatible 3010 시리즈 PXI RF 디지타이저 3010/3011 RF 합성기모듈은고성능주파수합성기입니다. 에러로플렉스의특허기술을이용하여, 모듈은모두하나의 3U 모듈내에서뛰어난위상노이즈성능및주파수기민성과 결합된 1 Hz 주파수정확도를제공합니다. PXI 스튜디오소프트웨어는 3000 시리즈에서 GSM/EDGE, UMTS/HSUPA, LTE (FDD), CDMA 2000 및 1xEV-DO, WiMAX, WLAN 및블루투스장치테스트를지원합니다. Version RF Synthesized Signal Generator RF Synthesized Signal Generator w/ocxo high stability 10 MHz reference Frequency Range 1.5 GHz to 3.0 GHz 1.5 GHz to 3.0 GHz Resolution 1 Hz 1 Hz Phase Noise typically -116 dbc/hz at 20 khz offset typically -116 dbc/hz at 20 khz offset Phase agile 250 μs settling time 250 μs settling time Out power Fixed level in the range -4 dbm to +3 dbm Fixed level in the range -4 dbm to +3 dbm Out impedance 50 Ω Nominal 50 Ω Nominal VSWR <2:1 <2:1 Dimensions Single width, 3U Single width, 3U RF 테스트솔루션

35 68 69 RF 테스트솔루션 A 시리즈 PXI 저노이저 RF 신호발생기 3030 시리즈 PXI RF 디지타이저 다용도 3060 시리즈 RF 컴바이너들은테스트설비에서외부로부터의 RF 신호제어에대한필요를제거하여테스트시스템디자인및보정을단순화합니다. 이모듈들은 3020 시리즈 디지털 RF 신호발생기와 3030 시리즈 RF 디지타이저들과연결되어 RF 테스트시스템에서사용됩니다. 이러한모듈과함께컴팩트한고성능저비용 RF 테스트시스템들이개발가능합니다. Frequency Range: 100 khz ~ 3 GHz or 6 GHz Output Level: -120 ~ +10 dbm or +20 dbm 200 MHz IQ Vector Modulation Bandwidth 70 db ACLR (WCDMA test model 1) Fast Frequency / Level Switching Time: typically 100 μs List Mode Operation Low SSB phase noise: < khz offset, 1 GHz carrier <-152 >10 MHz offset Phase coherent LO output FM/Phase modulation Up to 4 GByte AWG memory Internal OCXO 10 MHz frequency reference PXI Studio and IQCreator software tools 3030C C 3035C A 입력주파수 (min.) 350 khz 330 MHz 250 khz 입력주파수 (max.) 3 GHz 6 GHz 3 GHz 6 GHz 13 GHz 6 GHz 주파수해상도 1Hz~3GHz, 2Hz~6GHz, 4Hz~9GHz, 8Hz~12GHz 주파수설정시간 <250 μs <500MHz 2ms, >500MHz 325μs 입력레벨 (max.) +22dBm (8dB RF atten) +30 dbm (10 db RF atten) RF 입력감쇠 0 ~ 28dB (step 4dB) 0 to 31 db (step 1 db) 레벨정확도 <3 GHz, 0.6 db, 0.3 db typ >3 GHz 1.0 db <500 MHz <1.0 db, 0.5 db typ <3 GHz 0.7 db, 0.3 db typ <6 GHz 1.0 db >6 GHz 2.0 db 반사손실 16 db 15 db 감도 (Sensitivity) -145 dbm/hz typ GHz-150 typ -140 dbm/hz typ Typ 148 dbm <500 MHz <-147 dbm/hz typ 500 MHz <140 dbm/hz, -149 dbm/hz typ >6 GHz 3320 시리즈 PXI 16 비트듀얼채널임의파형발생기 (AWG) Residual Spurious -100 dbm typ Spurious Response -75 dbc -70 dbc LO 위상잡음 (2GHz) -116 khz offset, -138 MHz offset -127 dbc 상호변조 -75 dbc (2 tone at 0 dbm) Instantaneous Bandwidth (-1 db) 36 MHz <500 MHz 20 MHz, <1 GHz 35 MHz, 1 GHz 90 MHz 160 MHz Frequency Range: 100 khz ~ 3 GHz or 6 GHz Output Level: -120 ~ +10 dbm or +20 dbm 200 MHz IQ Vector Modulation Bandwidth 70 db ACLR (WCDMA test model 1) Fast Frequency / Level Switching Time: typically 100 μs List Mode Operation Low SSB Phase Noise: < khz offset, 1 GHz carrier <-152 >10 MHz offset Phase Coherent LO output FM/Phase Modulation Up to 4 GByte AWG Memory Internal OCXO 10 MHz Frequency Reference PXI Studio and IQCreator Software Tools Amplitude Flatness <0.1dB over 5 MHz <0.25 db across 30 MHz <0.1dB over 5 MHz <0.25 db across 33 MHz (<2.9 GHz) <0.4 db across 33 MHz (>2.9 GHz) 0.1dB across 5 MHz 0.25 db across 15 MHz <500 MHz 0.25 db across 33 MHz >1 GHz 0.25 db across 67 MHz <1 GHz 최대샘플링속도 85 MSa/s 250 MSa/s 400 MSa/s 샘플해상도 16 or 32 bit ADC 클럭속도 MHz 250 MHz ADC 해상도 14 bit 13 bit 14 bit 샘플메모리 256 Mbyte 512 Mbyte 2 G 실시간데이터출력 트리거링 LVDS up to 90 MSa/s TTL, Data I/O, Star Trigger, Trigger Bus, Local Bus, S/W 슬롯수 2 3 슬롯타입 PXI1 PXIe Hybrid slot compatible 3070A 시리즈 3010 시리즈 PXI RF 디지타이저 RF 테스트솔루션 PXI 고성능 RF 디지타이저 Frequency Range: 250 MHz to 3 GHz or 6 GHz Input levels to +30 dbm with 1 db RF step attenuation to 51 db ADC Sample rate 400 MSa/s with 14 bit resolution 80 MHz or 160 MHz instantaneous bandwidth (-1 db) 2 Gbyte sample memory Fast Frequency and Level Settling Times: <150 μs with List Mode operation Low SSB Phase Noise: -127 khz offset from 1 GHz Displayed Average Noise Level (DANL): -160 dbm/hz Compact 3-slot wide x 3U PXI Hybrid slot compatible module Internal high stability OCXO 10 MHz Frequency Reference Supplied software: - VISA pnp Driver - C /.NET for Windows 7/XP/ PXI Studio w/ general purpose FFT spectrum analysis & opt. for WLAN a,b,g,n,ac 3010/3011 RF 합성기모듈은고성능주파수합성기입니다. 에러로플렉스의특허기술을이용하여, 모듈은모두하나의 3U 모듈내에서뛰어난위상노이즈성능및주파수기민성과 결합된 1 Hz 주파수정확도를제공합니다. PXI 스튜디오소프트웨어는 3000 시리즈에서 GSM/EDGE, UMTS/HSUPA, LTE (FDD), CDMA 2000 및 1xEV-DO, WiMAX, WLAN 및블루투스장치테스트를지원합니다. Version RF Synthesized Signal Generator RF Synthesized Signal Generator w/ocxo high stability 10 MHz reference Frequency Range 1.5 GHz to 3.0 GHz 1.5 GHz to 3.0 GHz Resolution 1 Hz 1 Hz Phase Noise typically -116 dbc/hz at 20 khz offset typically -116 dbc/hz at 20 khz offset Phase agile 250 μs settling time 250 μs settling time Out power Fixed level in the range -4 dbm to +3 dbm Fixed level in the range -4 dbm to +3 dbm Out impedance 50 Ω Nominal 50 Ω Nominal VSWR <2:1 <2:1 Dimensions Single width, 3U Single width, 3U RF 테스트솔루션

36 ( 주 ) 누비콤 Nubicom,Inc. Test & Measurement ( 주 ) 누비콤은국내최대의전자계측기통합솔루션전문회사입니다. * 통합솔루션 : 신품및중고제품, 수리, 교정, 그리고렌탈등고객이원하는모든것이가능한시스템입니다. ( 주 ) 누비콤은내쇼날인스트루먼트의공식채널파트너사입니다. ( 주 ) 누비콤은텍트로닉스의공식채널파트너사입니다. ( 주 ) 누비콤은키슬리의공식채널파트너사입니다. ( 주 ) 누비콤은코범 ( 구. 에어로플렉스 ) 의공식채널파트너사입니다. ( 주 ) 누비콤은위트의공식채널파트너사입니다. ( 주 ) 누비콤은아폴로웨이브의공식채널파트너사입니다. ( 주 ) 누비콤은티플러스의공식채널파트너사입니다. ( 주 ) 누비콤은 DVT솔루션 (GigaProbes) 의공식채널파트너사입니다. 본사 (Head Office) Add : 2F, ACE hitech city, 775, Gyeongin-ro, Yeongdeungpo-gu, Seoul, Korea Te l : Fax : 주소 : 서울특별시영등포구경인로 775 ( 문래동 3 가, 에이스하이테크시티 3 동 2 층 ) 전화 : 팩스 : 고객지원센터 (CSU:Customers Support Unit) Add : 2F, ACE hitech city, 775, Gyeongin-ro, Yeongdeungpo-gu, Seoul, Korea Te l : Fax : 주소 : 서울특별시영등포구경인로 775 ( 문래동 3 가, 에이스하이테크시티 3 동 2 층 ) 전화 : 팩스 : 대전사무소 (Daejon Office) Add : Rm#203, Daedeuk Tech-Biz Center, 593, Daedeok-daero, Yuseong-gu, Daejeon, Korea Te l : FAX : 주소 : 대전광역시유성구대덕대로 593 ( 도룡동 386-2) 대덕테크비즈센터 203 호전화 : 팩스 : 이메일 : Nubicom USA Add : 970 Reserve Dr. Suite 120 Roseville, CA USA Te l : Fax : Nubicom Japan Add : 4F, Shin-yokohama214Bldg, , Shin-yokohama, Kohoku-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Japan Te l : Fax : Nubicom China Add : Nanshan District North New Road No. 1 blue light technology park C208 Shenzhen in China Tel : Nubicom Vina (Vietnam) Add : Unit 307, 3rd floor, MB Bac Ninh Building, No 24, Ly Thai To street, Dai Phuc Ward, Bac Ninh city, Bac Ninh province, Vietnam Te l : ( 주 ) 누비콤공식웹사이트 ( 주 ) 누비콤운영온라인계측기쇼핑몰

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