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1 Plasma Display Panel 의공정기술 한용규 Charged Particle Beam & Plasma Lab. / PDP Research Center Department of Electrophysics, Kwangwoon University, Seoul, Korea Contents 1. 개요 2. PDP의구조 3. PDP 제작순서 4. PDP 제작공정 5. 차세대공정 1

2 PDP 의소개 Plasma Display Panel Plasma Display Panel 가볍고얇다 넓은시야각 대화면구현에적합 빠른구동속도 간단한제작공정 2

3 Plasma Display Panel 의특징 대면적화 박형 0 100mm 경량 1/6 42 1/10 PDP CRT 광시야각 균일성 내지자계 PDP CRT 160 [Double width than LCD] 매우강한비선형성, 메모리기능, Full color화가능, 우수한온도특성 (-40 ~ 90 o C), 긴수명, 전면동시발광, 입력펄스의갯수로화면표시, 자체발광 40 인치이상대화면직시형 HDTV 급 Digital 방송에적합 PDP 의구조 3

4 AC - PDP 의구조 Sustaining electrode(ito) Front glass Dielectric layer MgO layer Bus electrode Barrier Ribs Addressing electrode Phosphors(RGB) AC - PDP 의구조 Sustain Electrode (ITO) Black Stripe Front Glass BUS Electrode (silver) Dielectric Layer MgO Phosphor (RGB) Barrier Ribs Rear Glass Dielectric Layer Address Electrode 4

5 AC - PDP 상판의구성 BUS 전극 MgO 보호막 VUV 유전체 ITO 투명전극 Plasma Glass AC - PDP 하판의구성 R,G,B 형광체 격벽 유전체 Address 전극 Glass 5

6 PDP 의발광 Discharge Discharge Discharge White light emission AC - PDP 발광구조 Sustain Electrode (ITO Electrode) Bus Electrode (Silver Electrode) Front glass Barrier Rib Dielectric layer MgO Protective layer Phosphor Rear glass White Back (Dielectric layer) Vacuum Ultra-violet Visible Light Address electrode 6

7 PDP 제작순서 PDP 제작공정 7

8 Sustain (ITO) 전극 역할및요구특성 역 할 요구특성 -높은가시광투과율 -낮은저항 - 방전유지전극 -Bus 전극과의밀착성 -균일한두께 -내열성, 내약품성 Sustain (ITO) 전극형성 Chemical Etching Scanning UV Lamp Photomask DFR Laminating UV Exposure 현상 박리 Etching 8

9 Sustain (ITO) 전극형성 차세대공정법 LASER patterning DFR Laminating UV Exposure 현상 박리 Etching Bus 전극 역할및요구특성 역 할 요구특성 - 낮은저항 -투명전극의높은저항보상 -Contrast 향상 -균일한패턴 -ITO 전극과의밀착성 -유전체와의비반응성 - 내열성 9

10 Bus 전극형성 Bus 전극형성법 Screen Printing Etching 스크린인쇄법 (Direct pattern print) -단순공정 - 전극불균일 -효율적재료이용 에칭 (Photo litho, Lift off, Photo Sens) -공정이복잡하다 - 유해용액노출 -비효율적재료이용 여러가지전극형성법 형성법 Screen Print 법 Photolithography 법 Lift-Off 법감광성 Paste 법 인쇄 Spatter 성막 DFR 도포 Paste 도포 건조 DFR 도포 노광 노광 공정도 막의품질? 소성 노광 현상 현상 치수정도? 제작한계? 현상 Paste 매립 소성 제작 Cost? 에칭 DFR 제거 DFR 제거 소성 10

11 Bus 전극형성 차세대공정법 전극 Green Sheet 법 Toner roll(ag) Cover film Used Toner roll Glass substrate UV Exposed Bus 전극형성 차세대공정법 Off set 인쇄법 Paste Silicon bracket Prominence Glass substrate 11

12 Dielectric layer 역할및요구특성 역 할 요구특성 - 낮은저항 -투명전극의높은저항보상 -Contrast 향상 -균일한패턴 -ITO 전극과의밀착성 -유전체와의비반응성 - 내열성 Dielectric layer 형성 Dielectric layer 형성법 Screen Printing Laminating * 2004 IMID LG Electronics 12

13 MgO 보호막 역할및요구특성 역 할 요구특성 -유전체보호안정된방전유지 -2차전자방출계수확보낮은방전전압 -내구성 -투과율의균일성 -높은 2차전자방출계수 MgO 박막공정법 전자빔증착법 : 전기장과자기장으로가속되어지는전자빔을시료에충돌시켜가열및증발시켜박막을형성시키는방법이다. 이때전자빔의에너지를재료표면에집중시켜고속증착및고순도증착을가능하게한다. 하지만, 전자빔증착의경우는대형기판에양질의박막을균일하게도포해야하는어려움과비교적고진공을요하는관계로생산공정상의가격이비싸다는문제점을가지고있다. 스퍼터링법 : 초기에는진공증착과동일한 torr 정도의진공도를유지하나플라즈마를일으킬수있는아르곤가스를진공실압력이약 10²torr 될때까지불어넣고, 표적재료에높은부전압 ( V) 을걸어음극으로만든다. 이때비정규글로우방전에의해발생한높은에너지 (1,000eV) 를가진불활성가스양이온이음극으로대전된표적재료표면에충돌하여표적재료를원자형태로방출시키며, 진공증착의경우보다높은 10 40eV 정도에너지를가진증기상이피처리물쪽으로이동하여응축되게함으로서표면층을형성하게하는방식이다 이온플래이팅법 : 증발되는입자를이온화하여성막을시킨다는특징이있다. 이온플래이팅으로 MgO 를성막하는경우에는막의밀착성과결정성에대한특성은스퍼터링법과비슷한특성을갖는다. 그러나고속증착 (8 nm/s) 이가능한장점이있다. 13

14 MgO 보호막 각공정의장단점 재료 형성방법 장점 단점 E-beam evaporating - 단순한공정조건 / 안정적인공정 - 높은투과율 - 두께균일성이낮음 - 높은공정비용 ( 장치비 ) MgO Ion-plating - 치밀한조직 - 높은결정성 - 내 sputtering 성우수 - 두께균일성낮음 - 높은공정비용 ( 장치비 ) Sputtering -치밀한조직 -높은결정성 -내 sputtering성우수 -낮은증착속도 -까다로운공정조건 MgO 보호막 E-Beam Evaporating Method Substrate Magnetic field Electron Filament E-beam source B F - B

15 Address 전극 역할및요구특성 역 할 요구특성 - 낮은저항 -Address 방전 -균일한패턴 -유전체와의비반응성 - 내열성 Dielectric layer (White back) 역할및요구특성 역 할 요구특성 -Address전극보호 -후면에서가시광반사전면으로의방출유도 -높은가시광반사율 -두께의균일성 15

16 Barrier Rib 역할및요구특성 역 할 요구특성 -상/ 하판간격유지 -방전영역( 셀 ) 구분 -강도및경도 -높은가시광반사율 -적절한패턴 Barrier Rib 격벽형성법 Screen Printing Sand Blast Lift-off Wet Etching Molding (Lift-off) 16

17 Barrier Rib After Sand blast 17

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hwp Full HD PDP TV 의기술개발및현황 윤차근 허은기 이병학 서 전세계적으로동시에진행되고있는대형평판TV 시장의확대와, 그속에서의 PDP와 LCD의무한경쟁은다른산업에서유사한전례를찾아볼수없을정도로치열한양상이다. PDP와 LCD의두디스플레이는물리적으로도완전히다른기술들을근거로하고있음에도, 일반적인소비자는 TV 전시매장에서 PDP와 LCD를구분하는것조차어려울정도이다.

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상호 설립일 주소 주요사업 직전사업연도말 자산총액 지배관계 근거 주요종속 회사 여부 청도우결의 전자유한공 사 2002.02.17 중국 청도 커넥터 조립 6,769,916 지분율 100% 지배회사에 미치는 영향이 큼 청도우결의 무역유한공 사 2008.04.15 중국 청도

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공주대학교생산시스템연구실 - 디스플레이및태양광자율주행자동차연구 그림 2. 유연 (Flexible) OLED 구조 하기판발광층과발광층에전류를인가하는 Anode/ Cathode 층으로구성되며, 상용화된 OLED 제품의경우발광층을포함한박막형성을위하여진공증착 (Thermal 공주대학교생산시스템연구실 디스플레이및태양광자율주행자동차연구 이응기 공주대학교기계공학과교수 eklee@kongju.ac.kr 한국과학기술원박사 (PhD) 삼성자동차연구원 삼성 SDI 생산기술연구소연구원충남테크노파크전문위원한국생산제조학회이사 ( 현 ) 공주대학교기계공학과교수 관심분야 : 진공증착공정, 롤투롤공정, OLED, 태양전지, 2 차전지 현대사회에서기술의중요성공주대학교기계공학전공의생산시스템연구실

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8) 현대 다음 11시 56분에, 문명은 11시 57분부터 시작했을 뿐이고, 근대사회의 발전은 11시 59분 30초에 겨우 시작 되었 그렇지만 인류가 생활한 마지막 30초 동안에 엄청 난 변동이 일어났 1 가속성 2 광범위성 3 동시성 4 정보통신의 발달 5 3차적 인 1) 올해 다음과 3) 보기가 다음에서 5) 독과점 6) 다음 7) 다음 학년 고사종류 과목 과목코드번호 성명 3 2009 2학기 중간고사 대비 사회 301 ( ) 덕원중 5 정보는 꼭 필요한 소수에게만 공개함 먼저 답안지에 성명,학년,계열,과목코드를 기입하십시오. 문항을 읽고 맞는 답을 답란에 표시하십시오. 문항배점은 문항위에 표시된 배점표를 참고하십시오.

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