A65-A96

Size: px

Start display at page:

Download "A65-A96"

상모 운
5 years ago
Views:

1 신세기 NEW LEADER 등장 - NT 시리즈 업계 최고의 초장거리 초고속 초분해능을 실현 3개의 검출 모드 : 표준모드, 초고속모드, 초장거리/고분해능 모드 이해하기 쉬운 상대 수광레벨 표시 : -~으로 표시 F 충실한 튜닝 : 3가지 종류의 Work-less 튜닝방식을 탑재. (대상물체 없이 튜닝) 업계최초 One-Shot 출력방식 경계치(0점) 조정기능(미세조정기능) 간단한 오퍼레이션 모든 오배선으로 인한 센서 파손을 방지 상대수광 Level표시 B : 센서의 동작점을 0로하고 입광레벨을 상대적으로 + / - 수치(최대표시범위 -~)로 여유도를 표시합니다. 어떤 어플리케이션에서도 여유도의 수치표시를 보는 방법이 같기때문에 현장에서의 확인이 간단합니다. J A 어플리케이션마다 변하는 절대표시와는 달리 어떤 용도에 사용해도 같은 기준으로 쉽게 분할 표시합니다. A 어플리케이션3 어플리케이션1 어플리케이션 절대치 표시의 경 V 의 입광레벨표시(상대치표시)의 경우 0 0 분할점 Q Q 수치표시의 1디지트는 히스테리시스의 1/4광량입니다 A-71

3 앰프 유니트 형번 외 관 투광소자 형 번 납기주) N-MOS FET 오픈드레인 출력 무 1 유 3 P-MOS FET 오픈드레인 출력 무 2 유 4 적색 LED 외부리모트 튜닝기능 출력형태 주 : 상시재고품 : 수주생산품(최대2주내 공장출하) 무표시 : 완전수주생산품(상세한 것은 폐사의 대리점이나 영업소에 문의 바랍니다.) 앰프 유니트 형번 형 F 1, 3 번 DC 12 24V±10 (리플 10 ｐ-ｐ이하) 소비전력 750mW이하(전원전압 24V시 소비전류 30mA) 검출물체 불투명체 ø1이상(f003장착시) 백색지(F002장착시) 표준검출물체 응 20 이상(정격검출거리에서) 차 라이트 ON 다크 ON 스위치 절환(L-ON, D-ON절환스위치로 설정) 동작형태 N-MOS FET 오픈드레인 출력 출력형태 제어출력 타이머기능 개폐전류 ma이하(저항부하) 출력내전압 : 26.4V 잔류전압 : 2V이하(개패 전류mA) 전원단락보호회로부착 준 동작, 복귀 1ms이하 동작, 복귀 5ms이하 고속응답 동작, 복귀 120 이하 딜레이 가변 on off딜레이(1ms 1s범위에서, 200ms이하:1ms단위, 200ms 1s:ms단위) 원쇼트타이머 가변 원쇼트 오프타이머(1ms 1s범위에서, 200ms이하:1ms단위, 200ms 1s:ms단위) 투광소자 적색LED 표시기능 입광레벨, 설정상태표시, 동작표시등, 모드표시(RUN, SET, TMR, ADJ) 사용주위조도(투광면조도) P-MOS FET 오픈드레인 출력 초장거리 표 응답시간 2, 4 전원전압 B J 백열램프 : 3,000lx 이하, 태양광 : 10,000lx 이하 사용주위온도 (주) A 보존주위온도 사용주위습도 RH(단, 결로가 없을것) A 절연저항 20 이상(DC500V에서) 내전압 AC 1,000V (1분간 충전부와 케이스간) 내진동 10 55, 복진폭 1.5mm, X, Y, Z 각 방향 2시간 내충격 500m/s, X, Y, Z 각 방향 3회 중 약65g(본체만, 코드 2m 부착) 량 회로보호 2 V 전원투입시 오동작 방지 회로 부착(약 200ms), 출력역접속 보호회로부착 주. 밀착연장상태에서 사용하는 경우, 연장수에 따라 사용온도 범위가 변합니다. 1 2대 : 대 : 대 : 대 : 사용온도가 상기보다도 높을 경우에는 밀착취부를 피해주십시오. Q Q A-73

4 화이바유니트형번 앰프 유니트 사양 (화이바유니트는 전부표준재고로 준비되어 있습니다.) 투과형 () : 유니트가 장착가능한 기종입니다. 타 입 형 조합모드 Ø3mm 표 J Ø1.5mm A A 엘 보 세경화이버형, 미소물체검출 곡률 반경 R4mm 210 세경화이버형, 미소물체검출 곡률 반경 R4mm ,010 극세경 A-74 1,400 내열 150 연속사용. 180 에서 사용하는 경우는 데이타를 참조부탁합니다. F 내열200 글라스화이버 F 내한 내열 F F010 F Ø3mm 410 F009 내열 내열 내한 F Q Q F 열 선단부가 R5mm로 90 구부려져 있음 460 내 F006 세경사이드뷰슬리브형 미소 물체 검출 190 F005 V 표준스테인리스튜브형 튜브부의 구부림이 자유자재 110 1,400 F 세경내굴곡 표준스테인리스튜브형 튜브부의 구부림이 자유자재 800 1, M3 나사 표준검출형 800 1,400 F Ø2.5mm 표준검출형 세경 사이트뷰 1, F002 Ø3mm F 장거리검출형 표준타입의 2배 검출거리 2, 준 Ø3mm 280 장거리검출형 표준타입의 2배 검출거리 1,450 형번 2, 장거리 특징 1,450 B 검출거리 (mm) 태 F :표준모드, :장거리모드. :고속모드 5 세경스테인리스튜브형 광심의 경ø0.25 F015

5 :표준모드, :장거리모드. :고속모드 타 입 형 검출거리 (mm) 태 조합모드 920 4, 내약품 사이트뷰 박형 본체에서 직접취부 내약품 세경 Ø5mm , ,000 (주) 5, F023 F024 곡률반경 R2mm의 세경, 내굴곡타입 F025 B 누액검출 (파이프 취부형) 1,060 F 레이져광과 같은 좁은 평행광을 실현 곡률반경 R1mm의 세경, 내굴곡타입 165 Ø0.25mm 95 초내굴곡 세경 사이트뷰 소형 박형 흔들림 있 는 제품을 확실히검출 2,400 초내굴곡 표준 F F 극세광으로 주변물체의 반사에 영향을 받지않음. 카세트의 웨이퍼 검출에 최적 520 초내굴곡 세경 5, 570 협광심 F019 3,000 어레이 극세광으로 주변물체의 반사에 영향을 받지않음. 카세트의 웨이퍼 검출에 최적 520 Ø4mm 4,800 1,760 평행광 사이트뷰 특성데이타 평행광 톱뷰 특징 파이브(튜브)에 취부해서 사용합니다. 곡률반경 R1mm 내굴곡 타입의 세경 사이드뷰 슬리브형 미소 물체 검출용 F026 사이드뷰타입의 내약품, 내유형 불소 수지코팅 화이버 F027 M2나사를 사용하여 몸체에 서 직접취부 가능, 화이버는 4방향으로 자유자재(R1mm 타입) 허용 곡률 반경 R20mm의 내약품, 내유형, 불소수지 튜 브와 화이버 케이블을 동시 에 잘라서 그대로 엠프유니 트에 접속가능( ET 사용시) ø3 13까지 파이프 대응(프리 커트) 굴절방식으로 입광 투 광 레벨차를 충분히 확보. 어 레이타입으로 기포나 물의 잔 재의 영향을 없앰. 구부림 부 식에 강한 PFA일체 성형 파이바 케이블을 채용 J A A F028 V F029 Q Q F032 주. 이상의 수치는, 실제치를 표기하고 있습니다. 실제의 검출거리는 화이버의 길이(표준타입에서 약2m 2 4m)로 제한되어 있습니다. A-75

6 반사형 :표준모드, :장거리모드. :고속모드 () : 유니트를 장착가능한 기종입니다. 타 입 형 장거리 F 65 준 경 Ø3mm 축 M3 나사 Ø3mm 세경 사이드뷰 A 내굴곡 Ø6mm 열 A-76 F 내열150 연속사용을 F 내열200 글라스화이바 F 내열200 스테인리스튜브형 글라스화이바 F 실현 180 로 사용하는 경우는 데이터를 참조부탁합니다 50 F014 내열 F012 불소계수지코팅 화이바 내유, 내약품 220 내굴곡 화이바 곡률반경 R4mm 310 내 F011 5 F010 세경사이드뷰 슬리브 F009 세경동축화이바 위치결정에 최적 110 내약품 V 동축화이바 위치결정에 최적 F F005 세경스테인리스튜브형 튜브부위 구부림 자유 130 F004 세경화이바 소형헤드부 130 F003 세경화이바 소형헤드부 80 J F 표준스테인리스튜브형 튜브부위 곡률자재 130 동 표준검출형 F 세 F001 세경 장거리검출 24 M3나사 형번 250 장거리검출형 표준타입의 1.6배 검출거리 150 표 특징 680 B Q Q 400 A 검출거리 (mm) 세경장거리 조합모드 태

7 :표준모드, :장거리모드. :고속모드 타 형 입 검출거리 (mm) 태 조합모드 내한 내열 Ø3mm 소형 극세형 평행광 반사 어레이 초내굴곡 표준 초내굴곡 세경슬리브 초내굴곡 세경동축 M3 나사 F027 접촉식 독자적인 선단구조에 의해 액이 맺히는 것을 방지하고 액면을 안정하게 검출 2.5± ±0.5 글라스 기판이나 웨이퍼 카세트내에서 검출이 최적 F028 동 축 곡률반경 R1mm의 세경 내굴곡타입 M3 나사 M3 나사 곡률반경R2mm, 표준, 내굴곡타입 30 J A 35 접촉식 독자적인 선단구조에 의해 액이 맺히는 것을 방지하고 액면을 안정하게 검출 F 미소 스포트 F-LU07과 연결시에 Ø0.1의 스포트경을 실현 F 세경슬리브 내굴곡 세경 내굴곡 A F031 센서선단부가 액면에 접촉함으로써 액면을 검출합니다. F030 F032 B F029 곡률반경R1mm, 내굴곡세경스테인리스튜브형, 튜브부곡율이 자재 곡률반경R1mm, 세경동축 내굴곡 타입 Ø4 나사 동축 (고정도 위치 결정용) 액면검출 F026 센서선단부가 액면에 접촉함으로써 액면을 검출합니다. M3 나사 F F 좁은빔으로 주변물체의 반사에 영 향을 받지않음. 카세트 의 웨이퍼검출에 최적 33 F 초내굴곡 세경 F019 소형, 박형, 흔들림이 있는 물체를 확실히 검출 한정반사 세경스테인리스 튜브형 좁은 장소에서 의 검출에 최적 Ø6 F015 취부 ø1.5의 돌출형 소형헤드타입 110 내열 내한 M5 나사 액면검출 Ø3mm 형번 160 극세경 특징 동축M3 투광 : Ø0.5mm 1 수광 : Ø0.25mm 9 V Q Q F035 Ø1.5슬리브 내굴곡타입 허용곡률반경R4mm M3내굴곡타입 허용곡률반경R4mm F036 F037 3 A-77

8 :표준모드, :장거리모드. :고속모드 타 입 형 검출거리 (mm) 태 조합모드 동 축 세경슬리브 단구금타입 누액검출 형번 동축M4 투광 : Ø0.5mm 1 수광 : Ø0.25mm 9 F038 공간절약형 단선단구금타입 F039 굴절방식으로 입광 차광 레벨차를 충분히 확보 원터치로 센서의 본체를 탈착가능 굴곡, 부식에 강한 PFA일체 성형화이바케이블을 채용 F040 F 특징 화이버 선단의 감응부가 액체에 접속해서, 누액을 검출합니다. 부속품(별매) 특징 용도 적용화이버유니트 미소스포트(Ø0.4) 유니트 반사형화이바에 취부함으로써 7mm의 거리에서 스포트경Ø0.4mm로 집광 F010 F-LU01 장거리 미소스포트 유니트 반사형화이바에 취부함으로써 19mm의 거리에서 스포트경Ø2mm로 집광 F010 F-LU02 초미소스포트 (Ø0.1)유니트 반사형화이바에 취부함으로써 4.6mm의 거리에서 스포트경Ø0.1mm로 집광 F034 F-LU07 장거리스포트 유니트 F038에 취부함으로써 33mm의 거리에서 스포트경Ø1.0mm로 집광 F038 F-LU08 장거리유니트 투과형 화이바의 투광측과 수광측에 취부하여 검출거리를 6배로 가능 F003, F004 F010, F012 F014, F018 FE-PA-L1 사이드뷰 유니트 투과형 화이바의 투광측과 수광측에 취부하여 사이드뷰타입으로 가능 화이버헤드 취부 브라켓 화이바헤드고정에 최적 F003, F004 F010, F012 F014, F018 화이바 헤드 형태 M3 화이바 헤드 형태 M4 화이바 헤드 형태 M6 B 품 명 외 관 J A 형 번 FE-PA-S1 FE-PA-FB1 FE-PA-FB2 FE-PA-FB4 A 사용시 검출거리(표준검출거리) 미소소프트 유니트 V F-LU01 F010 초미소스포트 장거리집광스포트 유니트 유니트 F-LU07 F010 F034 7mm 19mm Q Q :표준모드, :장거리모드. :고속모드 4.6mm 장거리 유니트 FE-PA-LI 부착 F003 F004 F010 사이드뷰 유니트 FE-PA-SL부착 F003 F004 F010 : 800mm : 800mm :460mm :1,400mm :1,400mm :820mm : 150mm : 150mm : 85mm A-78 F012 F014 F018 :4,800mm :4,800mm :3,400mm :1,850mm :2,600mm :2,480mm :8,400mm :8,400mm :6,000mm :3,000mm :4,600mm :4,mm : 900mm : 900mm : 650mm : 350mm : 490mm : 460mm F012 :370mm :670mm : 70mm F014 F018 :330mm :570mm : 60mm :310mm :550mm : 55mm

9 특성도 상대수광레벨특성(수광레벨여유도) (대표예) 표준모드, F003, T004 장거리유니트 FE-PA-L1 F003, T004, T005, T006 고속모드 F001, T002 장거리모드, F F008, T009 F014 F014 장거리유니트 FE-PA-L1 B F014 사이드뷰유니트 FE-PA-S1 F017 F012 F003, T004 사이드뷰유니트 FE-PA-S1 J A A F024 V Q Q A-79

10 표준모드, 상대수광레벨[mm] 상대수광레벨[mm] F013 F022 F023, D024 F012 F F004, D005, D006 상대수광레벨[mm] F002, D003 장거리모드, F021 F015 F025 A F028 A V F029, D031 검출거리 F030 Wafer (Mirror Polish) Glass기판 Wafer (Rough Polish) 백색종이 J B Q Q A-80 고속모드

11 평행이동특성 (대표예) 표준모드, F003, T004 사이드뷰유니트 FE-PA-S1 F008, T009 F012 F014 장거리유니트 FE-PA-L1 F017 F F003, T004 장거리유니트 FE-PA-L1 F003, T004, T005, T006 고속모드 F001, T002 장거리모드, F014 F014 사이드뷰유니트 FE-PA-S1 F019 B J A F020 A V F021 Q Q F023 F021 A-81

12 표준모드, F F026 F026 F025 F024 장거리모드, B A F004, D005, D006 F012 A F002, D003 J 동작영역특성 (대표예) F013 F022 F023, D024 Q Q A-82 V 고속모드

13 표준모드, F F029, D031 F026 F026 고속모드 F025 F021 F015 장거리모드, F030 B J A A V Q Q A-83

14 외형치수도 앰프유니트 광 화이바유니트 코드 홀 F 주 1. 재질 본체 : PC/ABC알로이수지. 회색 조작부커버 : PC수지, 클리어글레이 취부 브라켓 주 2. 코드 내유형 외형Ø4.2 3심. 공칭단면적 0.2 시스색 : 회색 레버(포지션B) 조작부 커버 레버(포지션A) B J 미소스포트(Ø0.4)유니트 F-LU01 HDF010에 장착했을 경우 A 가로빗살 A V 장거리 집광 스포트 유니트 F-LU02 가로빗살 HDF010에 장착했을 경우 Q Q 초미소스포트(ø0.1)유니트 F-LU07 HDF034에 장착했을 경우 가로빗살 A-84

15 장거리 스포트 유니트 F-LU08 HDF038에 장착했을 경우 FE-PA-L1 장거리 유니트 사이드뷰 유니트 FE-PA-S1 F 취부 브라켓 FE-PA-L1 화이버경 4.5홀 2개 형 번 A규격(mm) M3 FE-PA-FB1 3.5 M4 FE-PA-FB2 4.5 M6 FE-PA-FB4 6.5 B J A A V Q Q A-85

16 튜닝차트(메뉴얼조작) 차트중의 R, P, P3는 일의 조작을 표시하고 있습니다. 검출상태(검출모드) 모드표시등 점등 R : SW(다이얼스위치)를 돌린다. P : SW(다이얼스위치)를 누른다. P3 : SW(다이얼스위치)를 3초이상 누른다. 입광레벨 표시 선택모드 입광레벨 표시선택모드로 들어갑니다. 소등 F (결정) : (취소) : 모드표시보조등 : 점등 점멸시 에서 설정내용을 선택 디지탈 표시부 PP점멸 : 피크표시 AA점멸 : 표준표시 bb점멸 : 보텀표시 --점멸 : 취소 검출능력 선택모드 SET모드로 들어갑니다. 점등 모드표시보조등 : 점등 (결정) : (취소) : 점멸시 점멸 감도설정 모드 점등 B (결정) : (취소) : 점멸시 모드표시보조등 : 광축조정시 이외 소등 J A A 타이머기능 선택모드 점등 TMR모드로 들어갑니다. 모드표시보조등 : 점등 (결정) : (취소) : 점멸시 V 점멸 점등 (결정) : ADJ모드로 들어갑니다. A-86 에서 설정내용을 선택 디지탈 표시부 to점멸 : 순간시간 출력 dt점멸 : 딜러미타이머출력 1 t점멸 : 원쇼트 출력 --점멸 : 취소 (결정) : 에서 설정내용을 선택 상세한 설정은 취급설명서를 확인해주세요 모드표시보조등 : 소등 분할치 조정모드 점등 점멸 에서 설정내용을 선택 설정내용 2치 설정(2P) 위치결정 설정(1P) BGS 설정 (bh) 기준감도 설정 (LH) 퍼센트 설정 (PH) 최대감도 설정 (hh) 풀오토설정 (FL) 광축조정모드 [0] [] --점멸 : 취소 상세한 설정은 취급설명서를 확인해주세요 딜레이타이머, 원쇼트 출력타이머 시간 설정모드 Q Q 에서 설정내용을 선택 디지탈 표시부 점멸 : 표준모드 점멸 : 장거리모드 점멸 : 고속응답모드 --점멸 : 취소 모드표시보조등 : 점등 에서 설정내용을 선택 (- )의 범위에서 설정가능

17 외부 리모트 튜닝 3, 4는 외부입력에 의한 원거리에서 다시 튜닝을 할 수가 있습니다.(처음에 메뉴얼 조작으로 설정한 튜닝을 외부 리모트 튜닝 신호 입력으로 실행시킵니다.) 분홍색선을 연결시킴으로써, 외부 리모트 튜닝을 실행시킵니다.(출력회로도를 참조해 주십시오.) 대상 튜닝은 아래와 같습니다. 2차 감도설정 [2P] 위치결정 감도설정 [1P] BGS [bh] 기준 감도설정 [LH] 퍼센트 설정 F ms 이상 open 또는 DC 9 30V 외부 리모트 튜닝 신호 OV 출력회로도 N-MOS형 (1, 3) B 적 주 회 로 출력 흑 부하 ma최대 DC12 24V 청 J 리모트튜닝 입력 분홍 A A P-MOS형 (2, 4) 적 V 주 회 로 흑 ma최대 청 리모트튜닝 입력 DC12 24V 부하 Q Q 분홍 리모트 튜닝 입력은, 3, 4 만의 기능입니다. A-87

18 (단위 : mm) 너트 타입명(A, B, C, D, E)은 형번으로는 없습니다.(이들 부품은, 각각의 화이바에 동봉되어 있습니다) 형번은 없습니다. B타입 M4 0.7 C타입 M5 0.5 D타입 M A타입 M3 0.5 F E타입 M B J 각부의 명칭 A 동작표시등(오랜지) A 모드표시등(녹) RUN, SET, TMR, ADJ 모드표시보조등(녹) 디지탈표시기(적) 라이트온 / 다크온 절환 스위치 V 화이버 고정레버 Q Q A-88 다이얼 스위치(D-SW) 조작부 커버

직접반사형 볼트형동축 최소검출물체 M 40 Ø0.0 R M 60 Ø0.0 R0 M6 0 Ø0.0 R0 케이블길이 -40~0 FD-0-F -40~0 FD-0-F -40~0 FD-60-F Ømm 40 Ø0.0 R Ømm (SUS 형, mm) 40 Ø0.0 R R) -40~

직접반사형 볼트형동축 최소검출물체 M 40 Ø0.0 R M 60 Ø0.0 R0 M6 0 Ø0.0 R0 케이블길이 -40~0 FD-0-F -40~0 FD-0-F -40~0 FD-60-F Ømm 40 Ø0.0 R Ømm (SUS 형, mm) 40 Ø0.0 R R) -40~ 직접반사형 ( 백색무광택지기준 ) 최소검출물체 M 40 Ø0.0 R M 40 Ø0.0 R 40 Ø0.0 R M (SUS 형, 90mm) M (SUS 형, 90mm) 40 Ø0.0 R R) 케이블길이 -40~0 FD--05-40~0 FD-0-05 -40~0 FD-40-05 -40~0 FDS-0-05 FDS-0-05 FDS-40-05 FDS-40-05 M6 0