LFE Series 전자식디지털플로스위치 압력손실 : 0.0MPa 이하 반복정도 :±.5%F.S.( 아날로그출력 ) 설치후에흐름방향변경이가능 디폴트에서의흐름방향 ( 통상흐름 ) OUT 색 화면표시 순간유량을표시 IN 고객의흐름방향 설치후에설정을변경하여흐름방향의전환가능

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유선 황
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1 색표시 New 전자식디지털플로스위치 RoHS IP65 콤팩트 경량 질량 :40g(LFE 의경우 ) 90mm 56mm 40mm 타원형상으로콤팩트한설계 역류검지가능역류에러표시 역류에러 ( 코드 LLL) 사용유체온도 :0 85 ( 상세 P.4) 소비전류 :45mA 표시소등시 Max.0% 삭감가능 표시일체형 역류 적용유체 : 물, 수용성쿨런트 ( 상세 P.7) 구성 표시일체형 / 분리형 LFE 유량범위 0.5L/min L/min 5L/min 0L/min 0L/min 50L/min 00L/min 00L/min 정격유량범위 표시유량범위 분리형 LFE 정격유량범위 표시유량범위 LFE 표시유량범위 정격유량범위 센서부 색표시모니터부 LFE Series CAT.KS00-07B

LFE Series 전자식디지털플로스위치 압력손실 : 0.0MPa 이하 반복정도 :±.

( 아날로그출력 ) 설치후에흐름방향변경이가능 디폴트에서의흐름방향 ( 통상흐름 ) OUT

IN 하기의표시를설정가능 설정값 흐름방향 적산값 라인명 상한값 / 하한값 통상흐름 (

2 LFE Series 전자식디지털플로스위치 압력손실 : 0.0MPa 이하 반복정도 :±.5%F.S.( 아날로그출력 ) 설치후에흐름방향변경이가능 디폴트에서의흐름방향 ( 통상흐름 ) OUT 색 화면표시 순간유량을표시 IN 고객의흐름방향 설치후에설정을변경하여흐름방향의전환가능 IN 하기의표시를설정가능 설정값 흐름방향 적산값 라인명 상한값 / 하한값 통상흐름 ( 좌 우 ) 통상흐름 ( 우 좌 ) OUT 건 (GUN) 가압냉각수의유량관리 적용예 수용성쿨런트의유량관리 금형냉각수의유량관리 원리 패러데이의전자유도법칙 자계속을도체가통과하면그속도에따라기전력이발생한다 을응용하여, 도전성액체의체적유량을측정합니다. 유속 (v) 전극 코일 유로 / 배관 유체 기전력 (E) 은유속 (v) 과자속밀도 (B) 에비례합니다. 기전력 (E) 체적유량은측정한기전력 (E) 을환산하여구합니다. 적은전류로자속밀도 (B) 의향상을도모하고위해, 타원형상의유로를채용하고있습니다. 특징 자속밀도 (B)

액체용플로스위치구성 시리즈 적용유체 검출방식설정최소단위보호구조 표시방식 정격유량 [L/min] 0 0.5 5 0 0 0 40 50 00 50 00 50 LFE New 0.L/min 0.5 0 물 수용성쿨런트 전자식 0.5L/min IP65 색표시.5 00 L/min 5 00 PFW 0.0L/min 0.5 4 0.

3 액체용플로스위치구성 시리즈 적용유체 검출방식설정최소단위보호구조 표시방식 정격유량 [L/min] LFE New 0.L/min 물 수용성쿨런트 전자식 0.5L/min IP65 색표시.5 00 L/min 5 00 PFW 0.0L/min L/min 6 물 에틸렌글리콜수용액 칼만와식 0.L/min IP65 색표시 5 40 L/min 0 00 L/min 염화비닐제타입 물 에틸렌글리콜수용액 칼만와식 L/min L/min IP65 색표시 PFD 0.05L/min 순수약액 칼만와식 0.L/min IP65 색표시 L/min 4 40 분리형모니터부는전면부만 IP65, 그이외는 IP40 색표시전자식디지털플로스위치 LFE Series 형식표시방법 P. 사양 ( 표시일체형 ) P. 사양 ( 분리형센서부 ) P. 유량특성 ( 압력손실 ) P.4 내부회로와배선예 P.5 각부명칭 P.6 외형치수도 P.7 I N D E X 색표시디지털플로모니터 LFE0 Series 형식표시방법 P.8 사양 P.9 내부회로와배선예 P.0 각부명칭 ( 분리형모니터부 ) P. 외형치수도 P. 기능해설 P. 제품개별주의사항 P.6 특징

색표시전자식디지털플로스위치 LFE Series 표시일체형 RoHS 형식표시방법 기호 J K 출력사양 OUT

기호 4 6 8 LFE LFE 정격유량범위 ( 유량범위 ) 기호 정격유량범위 0.5 0L/min.

/4 LFE J A 배관구경 LFE LFE 나사종류 기호무기호 N F 옵션 기호 무기호 4 5 6 7 내용 Rc

단위사양 L/min L/min L/min L/min gal/min gal/min gal/min gal/min

출력사양 J, K 의경우, 옵션 4, 5, 6, 7 은선택할수없습니다. 참고 : [L/min] =0.

785 [L/min] 옵션 / 부품품번 옵션단품이필요한경우는아래품번으로주문해주십시오.

4 색표시전자식디지털플로스위치 LFE Series 표시일체형 RoHS 형식표시방법 기호 J K 출력사양 OUT 아날로그 5V 아날로그 4 0mA 분리형센서부 표시일체형 기호 A B C D OUT NPN PNP NPN NPN 기호 LFE LFE 정격유량범위 ( 유량범위 ) 기호 정격유량범위 0.5 0L/min.5 00L/min 5 00L/min 출력사양 OUT NPN PNP 아날로그 5V 아날로그4 0mA 구경 /8 / /4 LFE J A 배관구경 LFE LFE 나사종류 기호무기호 N F 옵션 기호 무기호 내용 Rc NPT G 분리형센서부 M커넥터부착리드선 ( 길이 m) 브라켓 분리형모니터부상세는 P.8을참조해주십시오. 단위사양 L/min L/min L/min L/min gal/min gal/min gal/min gal/min 신계량법에따라일본내에서는 SI 단위이외의옵션 4, 5, 6, 7 을사용할수없습니다. 출력사양 J, K 의경우, 옵션 4, 5, 6, 7 은선택할수없습니다. 참고 : [L/min] =0.64 [gal/min] [gal/min] =.785 [L/min] 옵션 / 부품품번 옵션단품이필요한경우는아래품번으로주문해주십시오. 옵션 품번 비고 M 커넥터부착리드선 LFE--A 리드선길이 m 질량 약 75g 옵션 품번 비고 질량 브라켓 LFE--D LFE--D LFE--D LFE용태핑나사 ( 0) 4개부착 LFE용태핑나사 ( 0) 4개부착 LFE용태핑나사 ( 0) 4개부착 약 45g 약 70g 약 70g

5 색표시 전자식디지털플로스위치 LFE Series 사양 ( 표시일체형 ) 형식적용유체주) 사용가능유체도전율주) 검출방식접지주0) 정격유량범위표시유량범위설정유량범위제로컷유량주) 설정최소단위적산펄스환산값 ( 펄스폭=50ms) 사용유체온도주) 표시단위반복정도 온도특성사용압력범위주) 내압력주) 적산유량범위주4) 스위치출력 아날로그출력 응차표시방식동작표시등전원전압소비전류 내환경 인증, 규격등액접촉부재질배관구경질량 ( 본체 ) 주 8) 주위온도특성유체온도특성 최대부하전류최대인가전압내부강하전압응답시간주5) 주7) 출력보호출력모드응답시간주6) 주7) 전압출력전류출력 보호구조주 9) 사용온도범위사용습도범위 /8(0A) 약 40g LFE LFE LFE 물 액접촉부재질을부식시키지않는액체주) 5μS/cm 이상 ( 마이크로지멘스 ) 정전용량식 마이너스접지 0.5 0L/min.5 00L/min 5 00L/min L/min.0 0.0L/min 4 40L/min L/min.0 0.0L/min 4 40L/min 0.4L/min.0L/min 4L/min 0.L/min 0.5L/min L/min 0.L/pulse 0.5L/pulse L/pulse 0 85 ( 동결및결로없어야함 ) 순간유량 L/min, 적산유량 L 표시값 :±%F.S. 아날로그출력 :±.5%F.S. ±5%F.S.(5 기준 ) ±5%F.S.(5 기준 ) 0 MPa MPa L L 0.L 단위 L 단위 NPN 또는 PNP 오픈콜렉터출력 80mA DC8V NPN:V 이하 ( 부하전류 80mA일때 ) PNP:.5V 이하 ( 부하전류 80mA일때 ) 0.5s/0.5s/s/s/5s 단락보호 히스테리시스모드, 윈도우분할모드, 적산출력모드, 적산펄스출력모드에서선택 0.5s/0.5s/s/s/5s 출력전압 : 5V 출력임피던스 :kω 출력전류 :4 0mA 최대부하임피던스 :600Ω 가변 화면표시 ( 위 4자리수 7세그먼트 색표시적색 / 녹색, 아래 6자리수 세그먼트백색 ) 표시갱신주기 5회 / 초 출력, 출력: 주황 DC4V±0% 45mA 이하 ( 부하전류는포함하지않음 ) IP ( 동결및결로없어야함 ) 동작시, 보존시 :5 85%R.H.( 결로없어야함 ) CE마킹, RoHS PPS, FKM, C7 /(5A) 약 400g /4(0A) 약 50g (5A) 약 680g 주 ) P.7 적용유체일람표 를참조해주십시오. 주 ) 제로컷유량미만의유량은 0L/min 를표시합니다. 주 ) 고온액체를흘리는경우는사용압력범위 / 내압력이저하됩니다. ( 상세내용은 P.4 사용압력범위 의그래프를참조해주십시오.) 주 4) 전원 OFF 하여클리어합니다. 유지기능을선택하는것이가능합니다.( 분간격혹은 5 분간격으로선택가능 ) 5 분간격을선택했을경우, 기억소자 ( 전자부품 ) 의수명 00 만회 (4 시간통전의경우, 5 분 00 만회 =500 만분 = 약 9.5 년 ) 가한도가되므로, 유지기능을사용하는경우는사용조건에서수명을계산하여수명의한도내에서사용해주십시오. 주 5) 스텝입력에대해서설정값을 6% 로한경우의응답시간입니다. 주 6) 스텝입력에대해서 6% 의값에도달할때까지의응답시간입니다. 응답 0.5s,0.5s 일때는내부처리타이밍에따라최대 0.05s 정도의지연이발생하는경우가있습니다. 주 7) 응답시간의설정을늦게하여표시와아날로그출력의안정성이향상됩니다. ( 상세내용은 P.4 안전성 의그래프를참조해주십시오.) 주 8) 옵션을사용하는경우는옵션부품의질량을가산해주십시오. 주 9) 보호구조는 M 커넥터부착리드선을부착한상태입니다. 주 0) 배관포트부는 DC( ) / 청색선에접지되어있습니다. 플러스접지의전원은사용할수없습니다. 플러스접지환경에서사용하는경우는당사에문의해주십시오. DC(+) DC(+) 배관 배관 DC( ) DC( ) 부는 DC( ) 에접속 DC( ) DC(+) 부는 DC( ) 에접속 플러스접지의전원으로사용하면금속부에서단락하므로사용할수없습니다.

6 LFE Series 사양 ( 분리형센서부 ) 모니터부의사양은 P.9 를참조해주십시오. 본체사양 적용유체주) 사용가능유체도전율주) 검출방식접지주5) 정격유량범위사용유체온도주) 반복정도주위온도특성온도특성유체온도특성사용압력범위주) 내압력주) 응답시간주) 아날로그출력전압출력전류출력전원전압소비전류보호구조내환경사용온도범위사용습도범위인증, 규격등액접촉부재질배관구경질량 ( 본체 ) 주4) 형식 LFE LFE LFE 물 액접촉부재질을부식시키지않는액체주) 5μS/cm 이상 ( 마이크로지멘스 ) 정전용량식 마이너스접지 /8(0A) 약 5g 0.5 0L/min /(5A) 약 95g.5 00L/min 5 00L/min 0 85 ( 동결및결로없어야함 ) 아날로그출력 :±.5%F.S. ±5%F.S.(5 기준 ) ±5%F.S.(5 기준 ) 0 MPa MPa 0.5s 출력전압 : 5V 출력임피던스 :kω 출력전류 :4 0mA 최대부하임피던스 :600Ω DC4V±0% 4mA 이하 ( 부하전류는포함하지않음 ) IP ( 동결및결로없어야함 ) 동작시, 보존시 :5 85%R.H.( 결로없어야함 ) CE마킹, RoHS PPS, FKM, C7 /4(0A) 약 55g 주 ) P.8 적용유체일람표 를참조해주십시오. 주 ) 고온액체를흘리는경우는사용가능한압력범위가저하됩니다. ( 상세내용은 P.4 사용압력범위 의그래프를참조해주십시오.) 주 ) 스텝입력에대해서 6% 의값에도달할때까지의응답시간입니다. 주 4) 옵션을사용하는경우는옵션부품의질량을가산해주십시오. 주 5) 배관포트부및본체금속부는 DC( ) / 청색선에접지되어있습니다. 플러스접지의전원은사용할수없습니다. 플러스접지환경에서사용하는경우는당사에문의해주십시오. (5A) 약 675g 아날로그출력 유량 / 아날로그출력 전압출력전류출력 A V 4mA B.V 4.4mA C 5V 0mA 출력 C 아날로그출력 형식 LFE LFE LFE 정격유량 [L/min] 최소최대 B A 0 최소정격유량 최대정격유량 유량

7 색표시 전자식디지털플로스위치 LFE Series 유량특성 ( 압력손실 ) LFE 0.0 LFE 0.0 LFE 0.0 압력손실 [MPa] 압력손실 [MPa] 압력손실 [MPa] 유량 [L/min] 유량 [L/min] 유량 [L/min] 직관길이와정도 ( 참고값 ) 직관길이 [ 측정조건 ] 유체 : 수도물압력 :0.MPa [ 배관구경 ] LFE:/8inch LFE:/4inch LFE:inch 정도변화 정도변화 [%F.S.] 0 0 D D D 4D 5D 직관길이 [cm] 배관사이즈를작게하면직관길이의영향을받기쉬어집니다. 안정된계측을하기위해서는직관길이를배관구경의 5 배 (5D) 이상으로하여주십시오. 형식 LFE LFE LFE (mm) 직관길이 D 5D 안정성 사용압력범위 안정성 [%F.S.] ±4.0 ±.5 ±.0 ±.5 ±.0 ±.5 응답시간의설정을길게함으로써안전성이향상됩니다. 안정성이란, 표시와아날로그출력의편차폭을말합니다. 압력 [MPa] 사용가능범위 ±.0 ±0.5 ± 응답시간 [s] 유체온도 [ ] 고온유체를흘리는경우는사용압력범위가저하됩니다. 상기범위내에서사용해주십시오. 내압은사용압력범위의 배가됩니다. 4

8 인회로부하메배선예 ( 분리형센서부 ) 인회로내부회로와부하메LFE Series 내부회로와배선예 ( 표시일체형 ) NPN 출력타입 LFE A 인회부하메로PNP 출력타입 LFE B 갈색 DC(+) 갈색 DC(+) 흑색 OUT 백색 OUT 청색 DC( ) 부하 DC4V 인회부하메DC(+) 로갈색 흑색 OUT 백색 OUT 청색 DC( ) 부하 DC4V Max.8V, 80mA 내부강하전압 V 이하 Max.80mA 내부강하전압.5V 이하 NPN+ 아날로그출력타입 LFE C NPN+ 아날로그출력타입 LFE D 부하흑색 OUT 백색아날로그출력청색 DC( ) DC4V Max.8V, 80mA 내부강하전압 V 이하 C: 아날로그출력 5V 출력임피던스 kω D: 아날로그출력 4 0mA 부하임피던스 Ω 적산펄스출력배선예 NPN 출력타입 LFE A NPN+ 아날로그출력타입 LFE C /LFE D 흑색 OUT 백색 OUT(LFE A 만 ) 청색 DC( ) 부하부하 Max.8V, 80mA 0V 50ms 또는 50ms PNP 출력타입 LFE B 갈색 DC(+) 흑색 OUT 백색 OUT 부하부하 Max.80mA 0V 50ms 또는 50ms 적산펄스출력선택시에는동작표시등이 OFF( 소등 ) 됩니다. 아날로그출력타입 LFE J ( 전압출력타입 ) LFE K ( 전류출력타입 ) 갈색 DC(+) N.C. 백색아날로그출력 DC4V 청색 DC( ) N.C. 에는아무것도접속하지마십시오. 5

9 색표시 전자식디지털플로스위치 LFE Series 각부명칭 본체 M 커넥터부착리드선 (4 핀 ) 표시부 커넥터 배관포트부 배관포트부 브라켓 ( 옵션 ) 명칭커넥터 M 커넥터부착리드선배관포트부표시부브라켓 기능 M 커넥터부착리드선을접속하는부분입니다. 제품에전원을공급하거나출력을얻기위한리드선입니다. 배관재를접속하는부분입니다. 유량, 설정값, 에러정보등을표시하는부분입니다. 제품을설치하기위한설치금구입니다. 표시부 출력표시 ( 동작표시등 ) 메인화면 ( 색표시 ) UP 버튼 SET 버튼 명칭메인화면 (색표시 ) 서브화면 출력표시 ( 동작표시등 ) UP 버튼 SET 버튼 DOWN 버튼단위표시 기능유량값, 설정모드상태, 에러코드등을표시합니다. 적산값, 설정값, 상한 하한값, 흐름방향, 라인명을표시합니다. 설정모드시에는설정상태를표시합니다.( 상세내용은 P.) OUT, OUT의출력상태를표시합니다. ON시주황색점등모드선택, 하단화면의표시선택, ON/OFF 설정값을증가시킵니다. 각모드의변경과설정값의확정에사용합니다. 모드선택, 하단화면의표시선택, ON/OFF 설정값을감소시킵니다. 선택된단위를표시합니다. 서브화면 단위표시 DOWN 버튼 유로구조도 4 4 번호명칭재질 4 파이프 O-ring 부착물스페이서 PPS FKM C7 FKM 6

10 LFE Series 외형치수도 표시일체형 LFE// I J 접속구경 8 각대변 H K L 4 O C N M D E F G.4 P Q A B 표시일체형일때 주 ) M 커넥터부착리드선의취출방향은한쪽방향만이며, 회전하지않습니다. (U) (U) 분리형센서부 LFE// IN OUT 외형치수는표시일체형과동일합니다. 브라켓판두께약.6mm R 4 T S 브라켓없음 ( 밑면도 ) 형식 LFE LFE 4 LFE LFE 배관구경 /8 / /4 A B C D E F G H I J K L M N O P Q 주 ) 직접설치의경우, 나사체결깊이가 8mm 이되도록태핑나사를사용해주십시오. 나사는 0.7~0.8N m 의토크로체결해주십시오. R S T ø.5 깊이8.5 ø.5 깊이8.5 ø.5 깊이8.5 ø.5 깊이8.5 U.6.6 M 커넥터부착리드선 7 핀번호 핀명칭 선색 4 DC(+) OUT DC( ) OUT 갈색백색청색흑색 갈색 백색 청색 흑색 (45) (0) ø6 (000) () (4) ø5 (5) () : 청색 : 백색 4: 흑색 : 갈색 M M 커넥터부착리드선의케이블사양 공칭단면적도체외경재질절연체외경색상시스재질마감외경 AWG 약 0.9mm 무연내열 PVC 약.7mm 갈색, 백색, 흑색, 청색무연내열유성 PVC ø6

11 색표시디지털플로모니터 LFE0 Series RoHS 형식표시방법 0 LFE 0 A 타입분리형모니터부 분리형센서부는아날로그출력 5V 타입을선정하여주십시오. 적용센서 :LFE J 출력사양 기호 OUT OUT A B C D NPN PNP NPN NPN NPN PNP 아날로그 5V 아날로그4 0mA 전원 출력접속리드선있음 (m) 리드선 M V C 옵션 무기호 옵션 무기호 C 커넥터없음센서접속용커넥터 ( 개 ) 센서접속용커넥터 (e-con) 커넥터는접속되어있지않습니다. 동봉됩니다. 없음패널장착어댑터 패널장착어댑터 무기호 전원 출력접속리드선 ZS-40-W N 전원 출력접속리드선없음리드선은접속되어있지않습니다. 동봉됩니다. T 방수패킹 ( 부속품 ) 패널 전면보호커버+패널장착어댑터전면보호커버 설치나사 (M 8L) ( 부속품 ) 분리형모니터부 / 단위사양 기호 순간유량 적산유량 M G L/min gal/min L gal 신계량법에따라일본내에서는 SI단위 ( 기호 M ) 이외를사용할수없습니다. 주 ) G는주문제작사양. 참고 : [L/min] 0.64 [gal/min] [gal/min].785 [L/min] V 방수패킹 ( 부속품 ) 패널 패널장착어댑터 설치나사 (M 8L) ( 부속품 ) 옵션 / 부품품번 옵션단품이필요한경우는아래품번으로주문해주십시오. 옵션 품번 패널장착어댑터 ZS-6-B 전면보호커버+패널장착어댑터 ZS-6-C 전면보호커버만 ZS-6-0 전원 출력접속리드선 ZS-40-W 센서접속용커넥터 (e-con) ZS-8-C-5 복사용커넥터부착리드선 ZS-40-Y 비고방수패킹, 나사부착방수패킹, 나사부착패널장착어댑터등은별도주문해주십시오. 리드선길이 m 개슬레이브최대 0대까지가능 8

12 LFE0 Series 사양 형식표시유량범위설정유량범위설정최소단위적산펄스환산값표시단위정도반복정도온도특성적산유량범위주) 스위치출력최대부하전류최대인가전압내부강하전압응답시간주) 출력보호출력모드 아날로그출력 응차입출력표시방식동작표시등전원전압소비전류접속방식 내환경 인증, 규격등질량 응답시간주 ) 전압출력전류출력 보호구조사용온도범위사용습도범위내전압절연저항 유량온도 전원 출력접속리드선없음전원 출력접속리드선있음 LFE L/min.0 0.0L/min 4 40L/min (0.4L/min 미만은 0.00으로표시 ) (.0L/min 미만은 0.0으로표시 ) (4L/min 미만은 0.0으로표시 ) L/min.0 0.0L/min 4 40L/min 0.L/min 0.5L/min L/min 0.L/pulse 0.5L/pulse L/pulse 순간유량 L/min, 적산유량 L 표시값 : ±0.5%F.S., 아날로그출력 : ±0.5%F.S. ±0.5%F.S. ±0.5%F.S.(5 기준 ) L L 0.L 단위 L 단위 NPN 또는 PNP 오픈콜렉터출력 80mA DC8V NPN : V 이하 ( 부하전류 80mA일때 ) PNP :.5V 이하 ( 부하전류 80mA일때 ) 0.5s/s/s/5s 단락보호히스테리시스모드, 윈도우분할모드, 적산출력모드, 적산펄스출력모드에서선택히스테리시스모드, 윈도우분할모드에서선택 0.5s/s/s/5s( 스위치출력과연동합니다.) 출력전압 : 5V 출력임피던스 : kω 출력전류 : 4 0mA 최대부하임피던스 : DCV에서는 00Ω, DC4V에서는 600Ω 가변복사모드용입력 화면표시 ( 위 4자리수 7 세그먼트 색표시적색 / 녹색, 아래 6자리수 세그먼트백색 ) 표시갱신주기 5회 / 초출력, 출력 : 주황 DC4V±0% 50mA 이하전원출력 5P 커넥터, 센서접속 4P 커넥터 (e-con) IP40( 단, 옵션부품의패널장착어댑터와방수패킹을사용하여표시전면부만 IP65) 0 50 ( 동결및결로없어야함 ) 동작시, 보존시 : 5 85%R.H.( 결로없어야함 ) AC000V 분간충전부와케이스사이 50MΩ 이상 (DC500V Mega에서 ) 충전부와케이스사이 CE마킹, RoHS 50g 00g 주 ) 전원을 OFF 하여클리어합니다. 유지기능을선택하는것이가능합니다.( 분간격혹은 5 분간격으로선택가능 ) 5 분간격을선택했을경우, 기억소자 ( 전자부품 ) 의수명 00 만회 (4 시간통전의경우, 5 분 00 만회 =500 만분 = 약 9.5 년 ) 가한도가되므로, 유지기능을사용하는경우는사용조건에서수명을계산하여수명의범위내에서사용해주십시오. 주 ) 스텝입력에대해서설정값을 6% 값으로했을경우의응답시간입니다. 주 ) 스텝입력에대해서 6% 값에도달할때까지의응답시간입니다. 아날로그출력 유량 / 아날로그출력 전압출력전류출력 A V 4mA B.V 4.4mA C 5V 0mA 출력 C 접속센서 LFE LFE LFE 정격유량 [L/min] 최소최대 B A 0 최소정격유량 최대유량정격유량 9

13 색표시 디지털플로모니터 LFE0 Series 내부회로와배선예 NPN 출력타입 LFE0A 인회부하메로PNP 출력타입 LFE0B 갈색 DC(+) 갈색 DC(+) 흑색 OUT 백색 OUT 회색 COPY 청색 DC( ) 부하 DC4V 흑색 OUT 백색 OUT 회색 COPY 청색 DC( ) 부하 DC4V NPN+ 아날로그출력타입 LFE0C NPN+ 아날로그출력타입 LFE0D 인회로회색 COPY 부하메흑색 OUT 백색아날로그출력 청색 DC( ) 부하 DC4V 인회부하메센서입력회로 5V( 유량 ) 백색 DC(+) 로갈색 DC( ) 청색 N.C. DC(+) 갈색 4 N.C. 에는어떤것도접속하지마십시오. 메인회로적산펄스출력배선예 NPN 출력타입 LFE0A NPN+ 아날로그출력타입 LFE0C/LFE0D 흑색 OUT 백색 OUT(LFE0A만 ) 청색 DC( ) 부하부하 0V 50ms 또는 50ms PNP 출력타입 LFE0B 갈색 DC(+) 흑색 OUT 백색 OUT 부하부하 0V 50ms 또는 50ms 적산펄스출력선택시는동작표시등이 OFF( 소등 ) 됩니다. 0

14 LFE0 Series 각부명칭 ( 분리형모니터부 ) 메인화면 ( 색표시 ) 센서접속용커넥터 출력표시 ( 동작표시등 ) 서브화면 단위표시 전원 출력접속리드선 명칭메인화면 (색표시 ) 서브화면 출력표시 ( 동작표시등 ) 단위표시 UP 버튼 SET 버튼 DOWN 버튼 UP 버튼 SET 버튼 DOWN 버튼 기능유량값, 설정모드상태, 에러코드등을표시합니다. 적산값, 설정값, 상한 하한값, 유체온도, 라인명을표시합니다. 설정모드시에는설정상태를표시합니다.( 상세 P.) OUT, OUT 의출력상태를표시합니다. ON 시 : 주황색점등선택되어있는단위가표시됩니다. 모드선택, 서브화면의표시선택, ON/OFF 설정값을증가시킵니다. 각모드의선택, 설정값의확정에사용합니다. 모드선택, 서브화면의표시선택, ON/OFF 설정값을감소시킵니다. 센서접속용커넥터 4 4 PIN번호 4 단자명 DC(+) N.C./IN DC( ) INPUT 커넥터각인번호 4 리드선심선색 갈색미사용청색백색 ( 유량센서의 5V 입력 ) LFE J에부속된 M 커넥터부착리드선을사용하는경우. 흑색은접속하지마십시오. 전원 출력접속리드선 핀 No. 4 5 회색 COPY 백색 OUT 흑색 OUT 청색 DC( ) 갈색 DC(+) 000 리드선사양공칭단면적도체외경재질절연체외경색상피복재질마감외경 AWG6 약 0.5mm 가교비닐약.0mm 갈색, 청색, 흑색, 백색, 회색내유내열비닐 ø.5

15 색표시 디지털플로모니터 LFE0 Series 외형치수도 센서접속용커넥터 4P NC/IN 전원 출력접속용커넥터 5P 전면보호커버 패널장착어댑터 전면보호커버 방수패킹 패널 패널장착어댑터 패널컷치수적용패널두께 0.5 8mm 방수패킹없음 0.5 6mm 방수패킹있음 이상 R 이하 =

16 LFE Series 기능해설 출력동작순간유량에대한출력 ( 히스테리시스모드, 윈도우분할모드 ) 적산유량에대한출력, 적산출력펄스출력어느것이든선택할수있습니다. 주 ) 출하시는히스테리시스모드, 정전 ( 正転 ) 출력으로설정되어있습니다. 강제출력기능시스템가동이나메인터넌스시에출력을강제적으로 ON/OFF하여배선을확인하거나예상외의출력동작에의한시스템오작동을방지할수있습니다. 아날로그출력의경우는 ON시 5V 혹은 0mA, OFF시 V 혹은 4mA의출력이됩니다. 강제출력기능작동중에유량이증감해도통상적인출력동작은하지않습니다. 표시색출력상태에따라표시색을설정할수있습니다. 표시색을설정함으로서이상값등을시각적으로식별할수있게됩니다. ( 표시색은 OUT 설정에의존합니다.) ON 시녹색, OFF 시적색 ON 시적색, OFF 시녹색항상적색항상녹색 적산값유지기능전원을 OFF 해도적산값이클리어되지않도록할수있습니다. 측정중에 분또는 5 분간격으로기억시키고, 전원투입후에는기억하고있는값에서부터적산을계속합니다. 기억소자의수명은기입횟수 00 만회이므로이것을감안하여사용하십시오. 응답시간의설정용도에따라응답시간을선택할수있습니다. ( 출하시 초 ) 응답시간을늦게하여표시의편차를경감할수있습니다. 용접건의칩빠짐등, 보다빨리이상을검출하고싶은경우는응답시간을빠르게하여스위치출력과아날로그출력을빠르게할수있습니다. 단, 스위치출력의채터링이발생하기쉬우므로응차를크게하여사용해주십시오. 응답시간 0.5초 0.5초 초 초 5초 안정성 ±.7%F.S. ±.5%F.S. ±.7%F.S. ±.%F.S. ±0.8%F.S. 흐름방향의전환제품설치후, 유체의흐름방향을변경할수있습니다. 통상흐름 ( 좌 우 ) ( 표시일체형만해당 ) 역흐름 ( 우 좌 ) 서브화면의표시내용선택측정모드시의서브화면표시내용을설정할수있습니다. 서브화면 표시일체형 분리형모니터부 설정값표시설정값을표시합니다.(OUT의설정값은표시할수없습니다.) 적산값표시 상한표시 하한표시 적산값을표시합니다.(OUT의 상한값을표시합니다. 하한값을표시합니다. 적산값은표시할수없습니다.) 흐름방향표시흐름방향을표시합니다. ( 표시일체형만해당 ) 라인명표시라인명을표시합니다. ( 알파벳, 숫자등을최대 6자리까지입력가능 ) OFF 아무것도표시하지않습니다.

17 기능해설 LFE Series 전력절약모드의선택표시를 OFF 하여소비전력을억제할수있는 ( 약 0%) 기능입니다. 표시 OFF 시에는소수점만점멸상태가됩니다. 표시 OFF 시에아무버튼이나누르면 0 초간표시가복귀하고, 일시적으로유량등의확인이가능합니다. 비밀번호입력설정 Key Lock 시에는비밀번호입력의유무를선택할수있습니다. 초기설정은비밀번호가불필요한상태로설정되어있습니다. 상한값 / 하한값표시기능전원투입시부터현재까지의최고 ( 최저 ) 유량을검지하여갱신합니다. 상한값 ( 하한값 ) 표시모드에서는그유량을표시합니다. Key Lock 기능잘못해서설정값을바꾸어버리는등의오조작을방지하는것이가능합니다. [F] 아날로그출력의설정아날로그출력부착의경우에사용가능합니다. 아날로그출력의스팬측의출력전압 (=5V) 또는출력전류 (=0mA) 를출력하는유량값을가변할수있습니다. 조작방법 기능선택모드시에 또는 버튼을조작하고, 메인화면에 [F] 를표시시켜주십시오. 서브화면은 [AnA] 와현재의설정값을교대로표시합니다. 아날로그출력없음의경우는 [AnA] 와 [- - -] 을교대로표시합니다. 버튼을누릅니다. 서브화면 자유범위 ON 자유범위 OFF 버튼을누릅니다. OFF 의경우 ON 의경우 서브화면 또는버튼으로 5V 또는 0mA를출력하는유량값을표시해주십시오. 정격유량최대값의 0 % 에서표시가능범위의최대값의범위내에서설정할수있습니다. 아날로그출5 출하시 변경가능 력[V] 유량 [L/min] 0L/min( 아날로그-5V의경우 ) 버튼을눌러설정기능선택모드로돌아갑니다. [F] 아날로그출력설정완료 4

18 LFE Series 에러표시기능이상이나에러가발생했을때에오류장소나종류를표시합니다. 표시부 표시에러명칭내용처리방법 OUT 과전류에러 OUT 과전류에러 스위치출력 (OUT) 에 80mA 이상의부하전류가흐르고있다. 스위치출력 (OUT) 에 80mA 이상의부하전류가흐르고있다. 전원을 OFF 하고, 과전류가발생한요인을제거하고, 다시전원을투입하여주십시오. 순간유량오버 유량표시범위를넘는유량이흐르고있다. 유량을내려주십시오. 역류에러 설정한방향과반대로유량이흐르고있다. 흐름방향의설정을변경해주십시오. 999 와 를 ( 교대로표시 ) 적산유량오버 적산유량범위를넘고있다. 적산유량을클리어하여주십시오. ( 적산유량을사용하지않는경우는특히문제없습니다.) 시스템에러 내부데이터에러의경우표시됩니다. 전원을차단하고, 다시전원을투입해주십시오. 복귀하지않는경우는당사에서의조사가필요합니다. 센서에러 전원전압이 4V±0% 범위를넘고있다. 전원전압을확인한후, 전원을차단하고다시전원을투입해주십시오. 5

19 LFE Series/ 제품개별주의사항 사용전에반드시숙지하십시오. 안전상주의에관해서는뒷표지, 플로스위치 / 공통주의사항에관해서는당사홈페이지의 SMC 제품취급주의사항 및 취급설명서 를확인하십시오. 경고 설계 선정 제품에따라사용가능유체가다르므로반드시사양을확인하십시오. 스위치는방폭구조가아니므로인화성가스가있는유체는사용하지마십시오. 화재의원인이되는경우가있습니다. 액체는항상검출유로내에가득흐르게설치해주십시오. 검출유로내를가득채우지않 OUT 은상태로사용하면전극부에서올바른검출신호를얻을수없게되어정상적인계측이어려워집니다. 특히수직설치인경우는아래방향에서윗방향으로흐르게하십시오. 윗방향에서아랫방향으로흐르면기포가생기기쉬우며, 오작동의원인이됩니다. 경고 설치 배관포트부는 DC( ) / 청색선에접지되어있습니다. 플러스접지의전원은사용할수없으므로주의해주십시오. 스위치 IN측의배관사이즈가급격하게변하는배관을하지말아주십시오. 배관사이즈가급격하게줄어들거나 IN측에밸브등의오리피스가있는경우에는, 배관중의유속분포가흐트러져정확한계측을할수없게됩니다. 따라서, 이러한조치는스위치의 OUT측에서실시해주십시오또, OUT측을개방하거나과유량상태에서는캐비테이션이발생하기쉬워져, 정확한계측을할수없게될우려가있습니다. 대책으로서유체압력을높여캐비테이션을저감하는것이가능합니다. 스위치의 OUT측에오리피스를부착하는등의조치를취하고오동작유무를확인하신후, 사용해주십시오. OUT측의오리피스를전부닫힘상태로하고, 펌프를가동시키면맥동 ( 압력변동 ) 의영향으로스위치가오동작할우려가있기때문에, 오동작의유무를확인하신후, 사용해주십시오. 복수의센서를병렬로나열해사용하는경우는아래그림에서표시한설치불가범위밖에서사용해주십시오. 설치불가범위내에서설치하는경우는정도가저하합니다. 수평설치의경우는아래그림과같이표시를바닥면에대해수직으로설치하면기포의영향을받기어려워집니다. IN 0mm 0mm 설치자세 : 설치자세 : OUT OUT 50mm 설치불가범위 50mm IN 위 전극 표시부 IN 위 전극 4M 커넥터부착리드선의취출방향은한쪽방향만이며, 회전하지않으므로주의해주십시오. 유로기포아래기포의영향을받기어려움 기포 아래 기포의영향을받기쉬움 6

20 LFE Series/ 제품개별주의사항 사용전에반드시숙지하십시오. 안전상주의에관해서는뒷표지, 플로스위치 / 공통주의사항에관해서는당사홈페이지의 SMC 제품취급주의사항 및 취급설명서 를확인하십시오. 주의 스위치배관시에는배관측의배관포트부와일체인금속부분 ( 배관하는부착물 ) 에공구를걸고, 배관부재또는피팅을돌려주십시오. 이이외의공구를걸면스위치파손의원인이됩니다. 특히 M 커넥터부에공구가닿지않도록하여주십시오. 커넥터부파손의원인이됩니다. 설치 5강관배관등의유연성이없는배관은배관측으로부터의과대한모멘트하중이나진동 충격의전파를받기쉬우므로플렉시블튜브등을개재하여진동 충격이작용하지않도록하여주십시오. 특히심어긋남상태에서배관하면시공후에도장기적인부하가가해져고장 파손 물누설의원인이됩니다. 부착물대변 /8 / /4 4mm 8mm 5mm 4mm OK 플렉시블배관 모멘트하중 진동 NG 강관배관을할때에는우측적정체결토크로체결해주십시오. 토크가작은경우, 유체가누설하는경우가있습니다. 또한, 피팅류를부착하는경우는각피팅의기준에맞는토크로체결해주십시오. 나사호칭 Rc(NPT)/8 Rc(NPT)/ Rc(NPT)/4 Rc(NPT) 제품의몸체는수지제입니다. 고장 파손 물누설의원인이되므로배관시에는제품의직접응력 진동 충격이가해지지않도록하여주십시오. 특히발판이되는장소에는설치하지마십시오. 제품에직접응력 진동 충격이가해지지않도록전후의배관을제품에가능한한가까운장소에고정하여주십시오. NG NG 적정체결토크 (N m) NG NG 6 원터치피팅을사용할때에는피팅부를손으로지지하여튜브탈착의하중이제품이직접가해지지않도록하여주십시오. 튜브탈착 손으로받침 튜브 심어긋남 7안정된계측을하기위해서는제품 차측의직관길이를배관구경의 5배 (5D) 이상으로하여주십시오.(P.4 참조 ) 8사용상황에따라제품의사용압력범위와사용온도범위가다릅니다. 유체압력이나온도는사용가능범위내로사용해주십시오.(P.4 참조 ) 배관고정부 4 제품에가해지는응력 진동 충격을저감할수없는경우는여러개로고정하여주십시오. 7

21 LFE Series/ 제품개별주의사항 사용전에반드시숙지하십시오. 안전상주의에관해서는뒷표지, 플로스위치 / 공통주의사항에관해서는당사홈페이지의 SMC 제품취급주의사항 및 취급설명서 를확인하십시오. 경고 사용상주의 고온유체를사용하는경우는제품자체도고온이됩니다. 직접닿으면화상을입을가능성이있으므로주의해주십시오. 본제품의보호구조는 M 커넥터부착리드선을부착한상태이므로커넥터미접속시취급에주의해주십시오. 경고 사용환경 폭발성가스가있는환경에서는절대로사용하지마십시오. 스위치는방폭구조로되어있지않습니다. 폭발성가스환경안에서사용한경우는폭발재해를일으킬가능성이있으므로절대로사용하지마십시오. 사용유체온도및주위온도범위를지켜주십시오. 사용유체온도는 0 85, 주위온도는 0 50 입니다. 5 이하에서사용하는경우에는유체가동결하여스위치파손, 작동불량의원인이되므로동결방지를배려하여주십시오. 또한, 주위온도범위가규정내이더라도온도가급격하게변화하는장소에서는사용하지마십시오. 주위온도보다낮은온도의유체를흘리면결로에의해제품이파손되거나오작동할우려가있으므로결로하지않도록하여주십시오. 경고 보수점검 인터록회로로사용하는경우는주의해주십시오. Inter lock 회로에사용할경우는고장에대비하여 Inter lock 회로를다중으로하고정기적으로점검하여정상적으로작동하는지를확인하십시오. 주의 측정유체 도전율 5μS/cm 이상의유체를사용해주십시오. 도전율이낮은유체에는사용할수없으므로주의해주십시오. 탈이온수 ( 순수 ) 나기름등의전기가통하지않는유체는사용할수없습니다. 적용유체일람표 물질명칭 판정 비고 물탈이온수 ( 순수 ) 수용성쿨런트기름유성쿨런트바닷물 GALDEN Fluorinert 적용유체일람표는어디까지나기준입니다. 도전율이란전기가얼마나흐르기쉬운가를나타낸비율입니다. 배관내에절연물이부착되면오차의원인이됩니다. 내부수지배관을상처입히지않기위해, 시험관세정용브러시등으로배관내의부착물을제거해주십시오. 금속등의도전물이배관내전체에부착된경우는스위치가오작동할가능성이있습니다. 상기와같이부착물을제거해주십시오. 수도물의도전율 :00 00μS/cm 도전율이낮으므로물의비율이 50% 이상인경우도전율이낮으므로도전율이낮으므로재질이부식하므로도전율이낮으므로도전율이낮으므로 4 미주 ( 迷走 ) 전류가흐르고있는유체를계측하면스위치가오작동할가능성이있습니다. 펌프등의관련기기로부터의누전이나지락에의해미주전류가측정유체에흐르지않도록주의하여주십시오. 경고 측정유체 감압밸브, 유량조정밸브를확인한후, 유체를흘려주십시오. 스위치에정격이상의압력, 유량이인가되면센서부가파손될가능성이있습니다. GALDEN 는 Solvay Plastics, Fluorinert 은 M 사의등록상표입니다. 8

22 LFE Series/ 제품개별주의사항 4 사용전에반드시숙지하십시오. 안전상주의에관해서는뒷표지, 플로스위치 / 공통주의사항에관해서는당사홈페이지의 SMC 제품취급주의사항 및 취급설명서 를확인하십시오. 경고 기타 스위치는전원투입후메세지표시사이 ( 약 초 ) 는출력이 OFF 로되어있습니다만, 계측은그후수치가표시되고나서해주십시오. 제어계를정지한후설정하여주십시오. 스위치가오작동할가능성이있으므로강력한자석이나자장을가까이하지마십시오. 주의 설정유량범위와정격유량범위 정격유량범위내의값으로유량설정을하십시오. 설정유량범위란설정가능한유량범위를의미합니다. 정격유량범위란센서의제품사양 ( 정도, 반복정도등 ) 을만족하는유량범위를의미합니다. 정격유량범위를초과한값이라도설정유량범위내이면설정가능하지만사양을보증할수는없습니다. 센서 LFE LFE LFE 유량범위 0.5L/min L/min 5L/min 0L/min 0L/min 50L/min 00L/min 00L/min 0.5L/min 0L/min 0.4L/min 4L/min 0.4L/min 4L/min.5L/min 00L/min L/min 0L/min L/min 0L/min 5L/min 00L/min 4L/min 40L/min 4L/min 40L/min 정격유량범위표시유량범위설정유량범위 9

23 안전상주의 주의 : 경고 : 위험 : 여기에표시한주의사항은제품을안전하고바르게사용하여귀하와다른사람에게미치는위해나손해를미연에방지하기위한것입니다. 이들사항은위해나손해의크기와긴급함의정도를명시하기위해 주의 경고 위험 의 가지로구분되어있습니다. 모두안전에관한중요한내용이므로국제규격 (ISO/IEC), 일본공업규격 (JIS) ) 및기타안전법규 ) 를반드시지켜주십시오. 취급을잘못했을때에사람이상해를입을위험이예상될때및물적손해만의발생이예상되는것 취급을잘못했을때에사람이사망혹은중상을입을가능성이예상되는것. 긴급한위험상태로피하지않으면사망혹은중상을입을가능성이예상되는것. ) ISO 444: Pneumatic fluid power -- General rules relating to systems. ISO 44: Hydraulic fluid power -- General rules relating to systems. IEC 6004-: Safety of machinery -- Electrical equipment of machines. (Part : General requirements) ISO 08-99: Manipulating industrial robots -Safety. JIS B 870: 공기압시스템통칙 JIS B 86: 유압시스템통칙 JIS B 9960-: 기계류의안전성 기계의전기장치 ( 제 부 : 일반요구사항 ) JIS B 84-99: 산업용매뉴퓰레이팅로봇안전성등 ) 노동안전위생법등 경고 당사제품의적합성결정은시스템설계자또는사양을결정하는분께서판단해주십시오. 여기에게재되어있는제품은사용되는조건이다양하므로그시스템에서의적합성결정은시스템의설계자혹은사양을결정하는분께서필요에따라분석과테스트를행한후결정해주십시오. 이시스템의소기성능, 안전성의보증은시스템의적합성을결정한분의책임이됩니다. 앞으로도최신의제품카탈로그와자료에따라모든사양내용을검토하여기기의고장가능성에대한상황을고려하여시스템을구성해주십시오. 당사제품은충분한지식과경험을가진분께서취급해주십시오. 여기에게재되어있는제품은취급을잘못하면안전성이손상됩니다. 기계 장치의조립이나조작, 메인터넌스등은충분한지식과경험을가진분께서행해주십시오. 안전을확인할때까지기계 장치의취급, 기기의분해는절대로하지말아주십시오.. 기계 장치의점검과정비는피구동물체의낙하방지조치나폭주방지조치등이되어있는것을확인한후에행해주십시오.. 제품을떼어낼때는상기의안전조치등이되어있는것을확인하고에너지원과해당되는설비전원을차단하는등시스템안전을확보함과동시에사용기기의제품개별주의사항을참조, 이해하신후행해주십시오.. 기계 장치를재기동하는경우, 안전처리가되어있는것을확인하고주의해서행해주십시오. 4 다음과같은조건및환경에서의사용을피해주십시오. 피할수없는경우는안전대책상적절한배려를해주시고, 당사에연락해주시기바랍니다.. 명기되어져있는사양이외의조건이나환경, 옥외나직사일광이닿는장소에서의사용. 원자력, 철도, 항공, 우주기기, 선박, 차량, 군용, 의료기기, 음료 식료품에접촉되는기기, 연소장치, 오락기기, 긴급차단회로, 프레스용클러치 브레이크회로및안전기기등에사용및카탈로그의표준사양에맞지않는용도의경우. 사람이나재산에큰영향이예상되며특히안전이요구되어지는용도에사용 4. 인터록회로에사용하는경우는고장에대비하여기계식보호기능을마련하는등의 중인터록방식으로하여주십시오. 또한, 정기적으로점검하여정상적으로동작하고있는것을확인하십시오. 주의 당사의제품은제조업체에서사용하는용도로공급하고있습니다. 이곳에게재되어있는당사의제품은주로제조업을목적으로평화적으로이용하는데공급하고있습니다. 제조업이외에서사용하는것을검토하는경우에는당사와상담하여필요에따라사양서의교환, 계약등을해주십시오. 불분명한점등이있으면당사와상담하여주십시오. 보증및면책사항 / 적합용도의조건제품을사용하실때아래와같은 보증및면책사항, 적합용도의조건 을적용합니다. 하기내용을확인하신후당사제품을사용해주십시오. 보증및면책사항 q 당사제품에대한보증기간은사용개시일로부터 년이내또는납입후.5 년이내중먼저도래하는시점의것을적용합니다. ) 또한제품에는작동회수, 작동거리, 교환부품등이한정되어있는것이있으므로당사에확인하여주십시오. w 보증기간중에당사책임의귀책으로인한고장이나손상이명확할시에는대체품또는필요한교환부품만을제공하며추가적손실에대해서는부담하지않습니다. 또, 여기서의보증은당사제품에대한보증을의미하므로당사제품의고장에의해유발되는여타손상은보증의대상범위에서제외됩니다. e 기타제품개별의보증및면책사항도참조, 이해하신후사용하십시오. ) 진공패드는사용개시일로부터 년이내의보증기간을적용할수없습니다. 진공패드는소모부품으로제품보증기간은납입후 년입니다. 단, 보증기간중이라도진공패드를사용함으로써발생되는마모혹은고무재질의열화가원인인경우는제품보증의적용범위외가됩니다. 적합용도의조건 해외로수출하는경우에는정부가정하는법령과절차를반드시지켜주십시오. 안전상에관한주의사용시에는 SMC 제품취급주의사항 및 취급설명서 를숙지하신후, 올바르게사용하여주십시오. 한국 SMC 공압 ( 주 ) 서울시영등포구국회대로 6 길 4( 여의도동 ) 스카우트빌딩 8 층 TEL: FAX: 주본카탈로그게재상품의사양및외관은개선을위해예고없이변경되는경우가있으므로양해해주시기바랍니다. 고객지원센터 서비스이용시간 평일 :09:00~8:00 c04 SMC Pneumatics Korea Co., Ltd. All Rights Reserved. 초판 RR 인쇄 SX

ITVX-A-C1

ITVX-A-C1 5.0MPa New RoHS 5.0 5.0MPa 5.0MPa 0.01 3.0 0.01 3.0MPa 3000 3000L/min ANR 5.0MPa3.0MPa Ar N2 N2O2ArO2 O2 P.2. 3W ITVX Series CAT.KS60-21A 5.0MPa ITVX2000 Series RoHS ITVX2 030 0 1 3 S 2 ITVX2000 0 ) )