최대분야별용도상시닫힘형고진공전자밸브 최저사용압력 Pa(abs) OUT 측 주 ) 주 ) 크로메이트 /AC 는제외 RoHS 누설량 내부 Pa m3/s 외부 Pa m3/s 2 종의피팅을구비 컴프레션피팅삽입식의튜브피팅으로, 페룰

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대건 묵
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최대분야별용도상시닫힘형고진공전자밸브 최저사용압력 0 6 Pa(abs) OUT 측 주 ) 주 ) 크로메이트 / 는제외 RoHS 누설량

Face Seal 피팅슬리브의끝단에메탈가스켓을세트하고, 너트를조이면씰링하는피팅으로, 진공부터정압까지높은씰성을유지합니다.

1 최대분야별용도상시닫힘형고진공전자밸브 최저사용압력 0 6 Pa(abs) OUT 측 주 ) 주 ) 크로메이트 / 는제외 RoHS 누설량 내부. 0 9 Pa m/s 외부. 0 Pa m/s 종의피팅을구비 컴프레션피팅삽입식의튜브피팅으로, 페룰이라고하는링을 중으로사용하여너트를조이면페룰을배관에맞물리도록하여접속합니다. Face Seal 피팅슬리브의끝단에메탈가스켓을세트하고, 너트를조이면씰링하는피팅으로, 진공부터정압까지높은씰성을유지합니다. 소비전력 사이즈 NewXS(W) 종래품 (W) XS 대XS 7 8 5% 삭감최질량 8% 삭감 XS- 일때 XS kg New 0.4kg 사용온도범위역방향가능압력정격전압 MPa(G) XS- 의경우 00V, New D 4V, V 00V, 0V, 0V, 40V, 48V, 4V, 0V 태양전지제조반도체제조액정제조의료식품 XS Series T.KS40-7

2 상시닫힘형고진공전자밸브 XS Series New 난소성 UL94V-0 준거 리드선취출 그로메트 DIN 형터미널 터미널 콘지트 평형터미널 D 소비전력 : D 사양 /B 종의경우 4.5W( 사이즈 ) 7W( 사이즈 ) 0.5W( 사이즈 ) 발진의저감 스프링을철심접동부에서몸체부로이동함으로써스프링의접촉에의한발진을저감시켰습니다. Seal 성능향상큰스프링력으로확실하게밀봉누설량 ( 내부 ) :. 0-9 Pa m /s Face Seal 피팅, 컴프레이션피팅을선택가능 고기밀배관에적용가능 컴프레션피팅 Face Seal 피팅 구성 형식 오리피스지름피팅 관접속사이즈 ( 인치 ) 최저사용압력누설량 Pa m /s ø ø ø4.5 ø6 /4 /8 Pa(abs) 내부외부 XS XS XS

3 상시 닫힘형 고진공 전자밸브 XS Series 주) 주) 크로메이트/는 제외 형식표시방법 XS S G 스페이서 밸브사이즈 오리피스 지름 무기호 피팅사이즈 사이즈 ø ø /4 사이즈 4 ø ø4.5 ø6 /4 /8 사이즈 4 ø4.5 ø6 /4 /8 몸 체를 평탄부에 고정할 때에 몸체 를 들어올리는 데에 사용하는 스페 이서입니다. 스페이서만 별도 필요 한 경우는 아래 표를 참조하십시오. 리드선 취출 피팅 종류 V S Face Seal 피팅 컴프레션 피팅 전압 B J 없음 스페이서 부착 00V 00V 0V 0V D4V DV 40V 48V 4V 0V D G 그로메트 GS 그로메트 D DIN형 터미널 DL DIN형 터미널 램프 부착 DO DIN형 터미널 커넥터 없음 T 터미널 TL 터미널 램프 부착 콘지트 F 평형 터미널 주) 표 스페이서 품번 형식 XS XS XS 품번 XSR-8- XSR-8- 주) E 미대응 특수 옵션에 대해서는 P.5를 참조하여 주십시오. 리드선 취출방향 특수

4 XS Series 사양 형식 XS- XS- XS- XS- XS-4 XS- XS-4 작동형식 상시닫힘 사용유체 공기, 비활성가스 오리피스지름 mmø 내압 MPa(G).5 최저사용압력 Pa(abs)/OUT측 0 6 최고사용압력 MPa(G)/IN측.0 최고작동압력차 MPa 주) 역방향가능압력 MPa(G) 주) 누설량 Pa m /s 주) 내부. 0 9 외부. 0 배관접속방식 Face Seal 피팅 / 컴프레션피팅 접속사이즈인치 /4 /8 /4 /8 주위온도및사용유체온도 5 60 정격전압주4) 00/0/00/0/0/40/4/48V D/4V 소비전력 W 주5) D 피상전력 V 주5) 코일온도상승값 주6) D 허용전압변동 정격전압의 ±0% 이하 허용누설전압 D 정격전압의 % 이하 정격전압의 5% 이하 코일절연의종류 B종 질량 kg 주7) Face Seal 피팅 컴프레션피팅 주 ) 작동압력차 는포트 ( 고압측 ) 과포트 ( 저압측 ) 의차이를나타냅니다. 예 ) 0.MPa 의경우포트 가진공 (Torr 이하 ) 이면, 포트 에 0.MPa(G) 까지가압가능합니다. 주 ) 역방향가능범위 는포트 이대기압인경우에포트 에서가압가능한압력을나타냅니다. 주 ) 누설량은주위온도 0, 차압 0.MPa 에서의값이며, 가스투과를제외합니다. 주 4) 는모두전파정류기부착입니다. 주 5) 소비전력, 피상전력은주위온도 0, 정격전압인가시의값입니다. ( 편차폭 : ±0%) 주 6) 주위온도 0, 정격전압인가시의값입니다. 단, 주위환경에따라변화하므로참고값입니다. 주 7) 그로메트의값입니다. 구조 작동 q w IN ( 포트) e y 포핏 r t i u OUT ( 포트) o 구성부품번호 명칭 재질 솔레노이드코일 u+fe+수지 고정철심 Fe 튜브 SUS 4 시트 ( 잔류자기차단용 ) PET 5 가동철심 ss'y FKM, SUS, 수지 (PPS) 6 스프링 SUS 7 몸체 SUS 8 O-ring FKM 9 스페이서 l : 가스접촉부 옵션설명 o 스페이서 : 몸체를평탄부에고정할때에몸체를올리는데사용하는스페이서입니다. 작동설명 솔레노이드코일q에통전하여가동철심 ss'yt가포핏에가해지는차압에따른작용력과스프링y의반력과의합성력에이기고고정철심w측에흡착되어, 포핏이열립니다. 솔레노이드코일q의통전이해제되면가동철심 ss'yt는스프링y의반력에의해고정철심w측에서이탈되고포핏은닫힙니다.

5 상시닫힘형고진공전자밸브 XS Series 외형치수도 그로메트 :G D 00 G F P 피팅사이즈 E H (L) Bs (B) ( 컴프레션피팅타입 ) 스페이서 B (Face Seal 피팅타입 ) 스페이서없음 M5 나사깊이 M 스페이서부착 G F 80 G F 단자부평형터미널접속자 50 시리즈 9 G F H H G/ 5 H 5 스페이서 그로메트 :GS 콘지트 : 평형터미널 :F 6.5 DIN 형터미널 :D 적용코드외경 ø6 ø G/ G 대변 육각 F 터미널 :T G F H 5.5 H (44) G/ J J 치수표 형식 B Bs D E F L M P [inch] (mm) 그로메트 :G 그로메트 :GS 콘지트 : 패스톤 :F DIN형터미널 :D 터미널 :T G H G H G H G H G H J G H J XS- S XS- V 50 /4 XS- S 6.5 XS- V XS-4S 64.5 /8 XS-4V XS-S / XS-V XS-4S 64.5 /8 XS-4V

6 XS Series 특수옵션 리드선취출방향특수 XS S G 표준형식을기입하여주십시오. 기호 90 리드선취출방향특수 90 리드선취출방향 IN OUT B 80 IN 80 OUT 70 IN 70 OUT 5

7 상시닫힘형고진공전자밸브 XS Series 교환부품 DIN 커넥터품번 <B 종코일용 > 전기옵션정격전압커넥터품번 없음 램프부착 D4V DV 00V 0V 00V 0V 0V 40V 4V 48V D4V DV 00V 0V 00V 0V 0V 40V 4V 48V 8G6GU GDM-L5 GDM-L6 GDM-L GDM-L GDM-L GDM-L GDM-L GDM-L GDM-L5 GDM-L5 사용하는코일절연종류에알맞은 DIN 커넥터를선정해주십시오. DIN 커넥터용가스켓품번 VW0--9-(B 종코일용 ) 평형터미널용리드선 ss'y ( 개세트 ) VX0S--6FB 6 B

8 XS Series/ 제품개별주의사항 q 사용하시기전에반드시숙지하여주십시오. 안전상주의에대해서는뒷표지, 공통주의사항에대해서는당사홈페이지의 SM 제품취급주의사항 및 취급설명서 를확인해주십시오. 경고 설계상주의 q긴급차단밸브등에는사용할수없습니다. 본카탈로그에기재되어있는밸브는긴급차단밸브등의안전확보용밸브로설계되어있지않습니다. 그와같은시스템의경우는별도로확실하게안전을확보할수있는수단을강구한뒤에사용하십시오. w장기연속통전연속으로통전하여사용한경우, 솔레노이드코일이발열됩니다. 밀폐된용기내등에서의사용을피하며통기성이좋은장소에설치하십시오. 또한, 통전시, 통전직후에는접촉하지마십시오. 경고 선정 q사용유체 q사용유체의종류사용가능한유체인지에대해서는각기종의재질을확인하고나서사용해주십시오. (P. 구성부품을참조하십시오.) w사용유체의질 < 공기 > q청정한공기를사용해주십시오. 압축공기가화학약품, 유기용제를함유하는합성유, 염분, 부식성가스등을포함할때는파괴나작동불량의원인이되므로, 사용하지말아주십시오. w필요에따라서에어필터를설치해주십시오. 밸브근처의상류측에에어필터를설치해주십시오. 여과도는 5μm 이하를선정해주십시오. e필요에따라서애프터쿨러나에어드라이어등을설치하고대책을세워주십시오. 드레인을다량으로포함한압축공기는밸브와기타공기압기기작동불량의원인이됩니다. 애프터쿨러와에어드라이어등을설치하여대책을세워주십시오. r카본가루가많이발생하는경우, 미스트세퍼레이터를밸브의상류측에설치해제거해주십시오. 컴프레서에서발생하는카본가루가많으면밸브내부에부착되어작동불량의원인이됩니다. 이상의압축공기질에대한상세사항은당사의 압축공기청정화시스템 을참조해주십시오. < 진공 > 진공배관방향 : 기본적으로 차측이저압측이되도록배관해주십시오. 또한, 이물질등의흡입이없도록주의하십시오. e주위환경사용주위온도범위내에서사용해주십시오. 제품구성재료와주위환경과의적합성을확인하고제품의외표면에유체가부착되지않도록사용해주십시오. 경고 선정 r정전기대책유체에따라서는정전기를일으키는경우가있으므로정전기대책을실시해주십시오. 주의 q누설전압특히, 스위칭소자와병렬로저항기를사용하거나스위칭소자의보호에 ー R소자 ( 서지전압보호 ) 를사용하고있는경우는각각저항기와 ー R소자를통해서누설전류가흘러밸브가 OFF하지않게될우려가있으므로주의해주십시오. 경고 전원 스위칭소자 OFF R 코일은정격전압의 5% 이하 D 코일은정격전압의 % 이하 설치 SOL. q새는양이많아지거나, 기기가적정하게작동하지않을경우에는사용을멈춰주십시오. 설치후에압축공기나전기를접속하고, 적정한기능검사를하여바르게설치되어있는것을확인해주십시오. w코일부분에외력을가하지말아주십시오. 체결시에는배관접속부의바깥측에스패너등을걸어주십시오. e기본적으로설치방향에제한은없습니다만위방향으로설치하실것을추천합니다. 코일을아래방향으로설치한경우는유체속의이물질이철심에부착하여작동불량의원인이됩니다. 특히, 누설량을엄격하게관리하는경우는코일위방향으로사용하여주십시오. r코일 ss'y부를보온재등으로보온하지말아주십시오. 동결방지용테이프히터등은배관, 몸체부에만해주십시오. 코일소손의원인이될수있습니다 t진동원이있는경우는피합니다만, 본체로부터 rm을최단거리로하며공진을일으키지않도록해주십시오. y도장하는경우제품에인쇄또는붙어있는경고표시나사양은지우거나떼어내거나글씨를덧칠하는행동은하지말아주십시오. 누설전압누설전류 7

9 XS Series/ 제품개별주의사항 w 사용하시기전에반드시숙지하여주십시오. 안전상주의에대해서는뒷표지, 공통주의사항에대해서는당사홈페이지의 SM 제품취급주의사항 및 취급설명서 를확인해주십시오. 주의 배관 q배관전의조치배관전에 Seal면은에탄올등으로클리닝하고나서부착해주십시오. w배관에어스를접속하면전해부식에의해시스템의부식하는경우가있으므로피해주십시오. e피팅의체결피팅의체결은아래방법으로실시하십시오. 체결완료후, 피팅부에서누설이없는지를확인해주십시오. 피팅의체결 Face Seal 피팅손체결후 /8회전컴프레션피팅손체결후 /4회전 r제품에배관하는경우제품에배관을접속하는경우는공급포트등이틀리지않도록해주십시오. 배선 注意주의 q배선용전선은도체단면적 0.5~.5mm 을사용해주십시오. 또한선에는무리한힘이가해지지않도록해주십시오. w전기회로는접점에서채터링의발생이없는회로를채용해주십시오. e전압은정격전압의 0%~+0% 의범위에서사용해주십시오. 직류전원으로응답성을중요시하는경우정격값의 ±5% 이내로하여주십시오. 전압강하는코일을접속한리드선부에서의수치입니다. r전기회로계가솔레노이드서지를기피하는경우전압보호회로등을솔레노이드에병렬로넣어주십시오. 또한, 서지전압보호회로부착의옵션을사용하십시오. ( 서지전압보호회로부착을사용한경우라도서지전압은발생합니다. 상세사항은당사로확인하십시오.) 사용환경使用環境경고 q 부식성가스, 화학약품, 바닷물, 물, 수증기가있는환경혹은부착되는장소에서는사용하지말아주십시오. w폭발성분위기의장소에서는사용을금하여주십시오. e진동혹은충격이발생하는장소에서는사용하지말아주십시오. r주위에열원이있어서복사열을받는장소에서는사용하지말아주십시오. t물방울, 기름및용접시의스패터등이부착되는장소에서는적절한보호대책을세워주십시오. 경고 보수점검 q제품의분리작업전에밸브온도가충분히내려갔는지확인해주십시오. 부주의로인해만지게되면화상을입을가능성이있습니다. q유체공급원을차단하여시스템내의유체압력을제거해주십시오. w전원을차단해주십시오. e제품을분리해주십시오. w저빈도사용작동불량방지를위해 0일에 회는밸브의전환작동을하여주십시오. 또한적절한상태로사용하기위해반년에 회정도정기점검을해주십시오. 8

10 XS Series/ 제품개별주의사항 e 사용하시기전에반드시숙지하여주십시오. 안전상주의에대해서는뒷표지, 공통주의사항에대해서는당사홈페이지의 SM 제품취급주의사항 및 취급설명서 를확인해주십시오. 주의 그로메트 B종코일 : WG0 절연체외경.5mm q 전기결선 주의 콘지트터미널콘지트터미널의경우는하기의마크에따라결선해주십시오. 각부의클램프는다음의수치에따라주십시오. 배관부(G/) 는전용전선관등으로확실하게 Seal하여주십시오. w 터미널커버 정격전압 리드선색 q w D 흑색 적색 00V 청색 청색 00V 적색 적색 그외 회색 회색 극성은없습니다. DIN형터미널 DIN형터미널의경우는다음과같이내부결선이되어있으므로각각전원측과결선해주십시오. + 마크 - 십자냄비머리작은나사 M 체결토크 0.5~0.6N m + M 체결토크 0.5~0.6N m 화살표시 - ( 내부결선상태도 ) 콘지트배관의체결토크는아래의수치로하여주십시오. B종코일 : WG0 절연체외경.5mm q 마크십자냄비머리작은나사 리드선 콘지트터미널 G/ 체결토크 N m 단자 No. DIN 단자 +( ) -(+) 극성은없습니다. 캡타이어코드는케이블외경 ø6~ømm까지사용할수있습니다 각부의체결은아래의수치로하여주십시오. 커넥터 가스켓 플랜지부착바인드나사체결토크 N m 와셔 적합케이블주 ) 케이블외경 ø6 ømm w 전선관배관 ( 구경 G/ 체결토크 0.5~0.6N m) 패킹 정격전압 리드선색 q w D 흑색 적색 00V 청색 청색 00V 적색 적색 그외 회색 회색 극성은없습니다. 고무패킹 바인드작은나사체결토크 N m 주 ) 케이블외경치수가 ø9~ømm 인것은고무패킹내측부분을빼고사용해주십시오. 품명패킹 주 ) 별도주문해주십시오. 품번 VW

11 XS Series/ 제품개별주의사항 r 사용하시기전에반드시숙지하여주십시오. 안전상주의에대해서는뒷표지, 공통주의사항에대해서는당사홈페이지의 SM 제품취급주의사항 및 취급설명서 를확인해주십시오. 주의注意 D용회로 그로메트, 평형터미널, 전기회로 그로메트, DIN형터미널, 콘지트터미널, 콘지트배리스터, SOL. SOL.,, 전기옵션없음 서지전압보호회로부착 DIN 형터미널, 콘지트터미널, 배리스터 SOL., 램프 서지전압보호회로 램프부착 [용회로 ] 에대해서는표준품으로서지전압보호회로가부착됩니다. 그로메트, DIN형터미널, DIN형터미널, 콘지트터미널 콘지트터미널, 콘지트 배리스터 정류소자 배리스터 정류소자 SOL. SOL. 램프 전기옵션없음 서지전압보호회로 램프부착 0

12 안전상주의 주의 : 경고 : 위험 : 여기에표시한주의사항은제품을안전하고바르게사용하여귀하와다른사람에게미치는위해나손해를미연에방지하기위한것입니다. 이들사항은위해나손해의크기와긴급함의정도를명시하기위해 주의 경고 위험 의 가지로구분되어있습니다. 모두안전에관한중요한내용이므로국제규격 (ISO/IE), 일본공업규격 (JIS) ) 및기타안전법규 ) 를반드시지켜주십시오. 취급을잘못했을때에사람이상해를입을위험이예상될때및물적손해만의발생이예상되는것 취급을잘못했을때에사람이사망혹은중상을입을가능성이예상되는것. 긴급한위험상태로피하지않으면사망혹은중상을입을가능성이예상되는것. ) ISO 444: Pneumatic fluid power -- General rules relating to systems. ISO 44: Hydraulic fluid power -- General rules relating to systems. IE 6004-: Safety of machinery -- Electrical equipment of machines. (Part : General requirements) ISO 08-99: Manipulating industrial robots -Safety. JIS B 870: 공기압시스템통칙 JIS B 86: 유압시스템통칙 JIS B 9960-: 기계류의안전성 기계의전기장치 ( 제 부 : 일반요구사항 ) JIS B 84-99: 산업용매뉴퓰레이팅로봇안전성등 ) 노동안전위생법등 경고 당사제품의적합성결정은시스템설계자또는사양을결정하는분께서판단해주십시오. 여기에게재되어있는제품은사용되는조건이다양하므로그시스템에서의적합성결정은시스템의설계자혹은사양을결정하는분께서필요에따라분석과테스트를행한후결정해주십시오. 이시스템의소기성능, 안전성의보증은시스템의적합성을결정한분의책임이됩니다. 앞으로도최신의제품카탈로그와자료에따라모든사양내용을검토하여기기의고장가능성에대한상황을고려하여시스템을구성해주십시오. 당사제품은충분한지식과경험을가진분께서취급해주십시오. 여기에게재되어있는제품은취급을잘못하면안전성이손상됩니다. 기계 장치의조립이나조작, 메인터넌스등은충분한지식과경험을가진분께서행해주십시오. 안전을확인할때까지기계 장치의취급, 기기의분해는절대로하지말아주십시오.. 기계 장치의점검과정비는피구동물체의낙하방지조치나폭주방지조치등이되어있는것을확인한후에행해주십시오.. 제품을떼어낼때는상기의안전조치등이되어있는것을확인하고에너지원과해당되는설비전원을차단하는등시스템안전을확보함과동시에사용기기의제품개별주의사항을참조, 이해하신후행해주십시오.. 기계 장치를재기동하는경우, 안전처리가되어있는것을확인하고주의해서행해주십시오. 4 다음과같은조건및환경에서의사용을피해주십시오. 피할수없는경우는안전대책상적절한배려를해주시고, 당사에연락해주시기바랍니다.. 명기되어져있는사양이외의조건이나환경, 옥외나직사일광이닿는장소에서의사용. 원자력, 철도, 항공, 우주기기, 선박, 차량, 군용, 의료기기, 음료 식료품에접촉되는기기, 연소장치, 오락기기, 긴급차단회로, 프레스용클러치 브레이크회로및안전기기등에사용및카탈로그의표준사양에맞지않는용도의경우. 사람이나재산에큰영향이예상되며특히안전이요구되어지는용도에사용 4. 인터록회로에사용하는경우는고장에대비하여기계식보호기능을마련하는등의 중인터록방식으로하여주십시오. 또한, 정기적으로점검하여정상적으로동작하고있는것을확인하십시오. 주의 당사의제품은제조업체에서사용하는용도로공급하고있습니다. 이곳에게재되어있는당사의제품은주로제조업을목적으로평화적으로이용하는데공급하고있습니다. 제조업이외에서사용하는것을검토하는경우에는당사와상담하여필요에따라사양서의교환, 계약등을해주십시오. 불분명한점등이있으면당사와상담하여주십시오. 보증및면책사항 / 적합용도의조건제품을사용하실때아래와같은 보증및면책사항, 적합용도의조건 을적용합니다. 하기내용을확인하신후당사제품을사용해주십시오. 보증및면책사항 q 당사제품에대한보증기간은사용개시일로부터 년이내또는납입후.5 년이내중먼저도래하는시점의것을적용합니다. ) 또한제품에는작동회수, 작동거리, 교환부품등이한정되어있는것이있으므로당사에확인하여주십시오. w 보증기간중에당사책임의귀책으로인한고장이나손상이명확할시에는대체품또는필요한교환부품만을제공하며추가적손실에대해서는부담하지않습니다. 또, 여기서의보증은당사제품에대한보증을의미하므로당사제품의고장에의해유발되는여타손상은보증의대상범위에서제외됩니다. e 기타제품개별의보증및면책사항도참조, 이해하신후사용하십시오. ) 진공패드는사용개시일로부터 년이내의보증기간을적용할수없습니다. 진공패드는소모부품으로제품보증기간은납입후 년입니다. 단, 보증기간중이라도진공패드를사용함으로써발생되는마모혹은고무재질의열화가원인인경우는제품보증의적용범위외가됩니다. 적합용도의조건 해외로수출하는경우에는정부가정하는법령과절차를반드시지켜주십시오. 안전상에관한주의사용시에는 SM 제품취급주의사항 및 취급설명서 를숙지하신후, 올바르게사용하여주십시오. 한국 SM 공압 ( 주 ) 서울시영등포구국회대로 6 길 4( 여의도동 ) 스카우트빌딩 8 층 TEL: FX: 주본카탈로그게재상품의사양및외관은개선을위해예고없이변경되는경우가있으므로양해해주시기바랍니다. 고객지원센터 서비스이용시간 평일 :09:00~8:00 c04 SM Pneumatics Korea o., Ltd. ll Rights Reserved. 초판 ST 인쇄 ST 940DN

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