사용자매뉴얼 TSC 200 Series TSC 100 Series
목 차 사용전에... 1 안전한사용을위한주의사항... 1 보관방법...2 취급방법... 2 사용환경... 2 설치시주의사항... 3 운전시주의사항... 3 배선시주의사항... 4 1. 제품사양... 5 2. 각부의명칭...6 3. 외형도...8 4. 배선도... 10 5. MFC 점검방법... 11 6. 제품보증... 12 7. 연락처...13
Ver. R1-1305
TSC-200 Series, TSC-100 Series 를구입해주셔서감사드립니다. 안전사고방지와제품의오작동을방지하기위하여제품을사용하기전에본취급설명서를반드시읽어주시기바랍니다. 또한, 본취급설명서는반드시보관해주시기바랍니다. 본제품은성능개선또는구조변경등의이유로예고없이변경될수있습니다. 사용전에 경고 제품을사용하기전에반드시취급설명서를읽고숙지하여주십시오. 이취급설명서는언제든지확인할수있도록가까운장소에소중히보관하여주십시오. 제품취급설명서에서지정하는지시에대하여충분히이해하고반드시따라주십시오. 이상의지시를반드시엄수해주십시오. 지시를따르지않으면다치거나사고의염려가있습니다. 안전한사용을위한주의사항 본취급설명서에서는안전주의사항을 경고, 주의 로구분하고있습니다. 이와관련된내용을충분히이해하고본문을읽어주십시오. 경고 이표시를무시하고취급할경우사망또는중상을입을가능성이있으며, 물적손상이발생할수있습니다. 주의 이표시를무시하고취급할경우중상혹은경상의상해를입을가능성이 있으며, 물적손상이발생할수있습니다. - 1 -
주의 보관방법 1 옥외등, 직사광선, 비바람이닿지않는장소에서보관해주십시오. 2 고온다습한장소에서의보관은삼가하여주십시오. 3 부식성분위기가없는장소에보관해주십시오. 4 진동이나충격을받지않는장소에보관해주십시오. 5침수 관수가없는장소에보관해주십시오. 6 장기간보관할경우당사의출고시포장상태로보관하여주십시오. 경고 취급방법 1 본제품은정밀기기이므로취급에충분히주의해주시기바랍니다. 제품의낙하, 또는외부로부터의강한충격을받으면오작동또는누수 (leak) 의원인이됩니다. 2 제품을임의로분해하지말아주십시오. 제품을분해한경우보증이불가능하며, 임의로분해후재조립시오작동또는누수의원인이됩니다. 3 본제품을운반시본체 (body) 를잡고운반해주시기바랍니다. 케이스만을잡고이동할경우고장의원인이되며, 낙하할염려가있습니다. 경고 사용환경 1 허용온도범위 (5~50 ) 에서사용해주십시오. 허용온도범위를벗어난환경에서사용할경우계측의오차의원인이되며, 고온의경우화재의원인이됩니다. 2 직사광선, 비, 바람등이닿지않는실내환경에서사용해주십시오. 3 진동이나충격의위험이없는장소에서사용해주십시오. 4 전기적충격을가하지마십시오. 5 노이즈 (Noise) 가발생하는장소에서사용하지말아주십시오. 강한노이즈에영향을받으면오작동또는고장의원인이됩니다. - 2 -
주의 설치시주의사항 1 설치전에제품의제작사양을확인해주십시오. 접속구경 (Fitting) 유체흐름방향 ( 제품케이스의 FLOW 방향에맞게설치해주십시오.) 사용유체 ( 케이스에부착된라벨참고 ) 전원 / 신호 ( 케이스에부착된라벨참고 ) 올바른결선 ( 케이스에부착된핀정보참고 [ 배선시주의사항참고 ]) 2 배관작업시 Seal재가제품내또는배관내에들어가지않도록주의해주십시오. 3 제품의설치시배관이변형되지않도록바닥면에고정해주십시오. 4 설치후에도진동이나충격을가하지말아주십시오. 5 제품의전단에반드시레귤레이터를설치해주십시오. 제작된사양에맞는압력으로조정하여가스를공급해주십시오. 6 제품에가스의혼입된이물질이나수분이들어가지않도록전단에필터, 수분제거장치등을설치할것을권장합니다. 8 보수 점검등을위해배관전후단에별도의밸브를설치할것을권장합니다. 9 설치가완료되기전제품에전원공급을차단해주십시오. 경고 운전시주의사항 1 제작된사양의유체를공급해주십시오. 사양외유체를사용할경우제품손상이나계측의오차, 누수 (leak) 의원인이됩니다. 2 유체중에이물질이나수분의혼입이없도록해주십시오. 이물질또는수분이유입될경우계측의오차, 고장의원인이됩니다. 3 허용범위의유량, 압력 ( 제작사양참고 ), 온도 (5~50 ) 조건에서사용해주십시오. 4 제품을분리할때에는제품내부의잔류가스에주의해주십시오. 폭발또는부식성가스를사용할경우충분한퍼지후분리하십시오. 5 전원공급중에전원부에손을대지마십시오. 6 정밀한계측을위해서약 30~60분워밍업후사용해주십시오. - 3 -
주의 배선시주의사항 1 배선작업은반드시전원공급장치의전원을끈상태에서결선해주십시오. 2 전원공급은정격전압을사용해주십시오. (+14.5V ~ +24.5V / 0.5A) 3 배선에무리한굴곡이나힘이가해지지않도록해주십시오. 단선의원인이됩니다. 4 노이즈발생의원인이되는기기와사용할경우기기의 F.G. 단자를접지하는등의노이즈대책을강구해주십시오. 5 전원, 고압선등의라인과평행배선또는동일금속배관을피해주십시오. 노이즈의영향을받을수있습니다. 배선작업은 8 페이지의 배선도 를참고하시오. - 4 -
1. 제품사양 Model TSC-200 TSC-210 TSC-220 TSC-230 Flow Range (N 2 Equivalent) 3~7sccm 7~1,500 sccm 1.5~30 slm 30~100 slm Accuracy ±1.0 % of Full Scale Response Time 3.5 sec 2 sec Linearity Repeatability Control Valve Type Seal Type Signal Type Power Supply ±0.2% of Full Scale ±0.2% of Full Scale Normally Closed Rubber Analog Mode: 0~5VDC or 4~20mA +15~+24VDC Operating Temp. 5 ~ 50 (Accuracy Guaranteed: 15 ~ 35 ) Warp-up Time 15 min (Accuracy Guaranteed: 30 min) Model TSC-245 TSC-145 TSC-150 Flow Range (N 2 Equivalent) 100 ~ 400 slm 400 ~ 1,000 slm 1,000 ~ 2,000 slm Accuracy Response Time ±2.0 % of Full Scale 3.5 sec Linearity ±0.2% of Full Scale ±0.5% of Full Scale Repeatability Control Valve Type Seal Type Signal Type Power Supply ±0.3% of Full Scale Normally Closed Rubber Analog Mode: 0~5VDC or 4~20mA +15 ~ +24VDC Operating Temp. 5 ~ 50 (Accuracy Guaranteed: 15 ~ 35 ) Warp-up Time 15 min (Accuracy Guaranteed: 30 min) - 5 -
2. 각부의명칭 <TSC-200, 210, 220, 230> No. 1 2 3 4 5 Name BODY CASE FITTING D-SUB 9PIN CONNECTOR (MALE) MOUNTING HOLE - 6 -
<TSC-145, 150> No. 1 2 3 4 5 6 Name BODY CASE FITTING D-SUB 9PIN CONNECTOR (MALE) MOUNTING HOLE VALVE - 7 -
3. 외형도 [TSC-200 ~ 230] [TSC-245] - 8 -
[TSC-145 ~ 150] - 9 -
4. 배선도 D-Sub 9 Pin Connector Pin No. ElectricalConnection 1 F.G. 2 +15~+24VDC 3 N.C. 1 5 4 Signal Common 5 Valve Common 6 9 6 Signal Out 7 PowerCommon 8 Signal In 9 Valve Full Open 1) Analog Wiring 1 F.G. Power Supply 2 +15~+24VDC F.G. 3 N.C. Power 4 Signal Common Common 5 Valve Common 6 Signal Out Signal I/O Card 7 Power Common Signal In 8 Signal In Common 9 Valve Full Open Signal Out < 배선작업시참고사항 > 1Power Supply에 Common은반드시 MFC의 5번 7번에연결시켜주십시오. (Power Supply 앞단에서이어지는것이노이즈에영향을적게받습니다.) 2 4,7번은시그널레벨을같게맞추기위해연결되었으며, 전류의회귀점으로혼용불가합니다. 3 Power Supply에서온전류 (2번) 는반드시 5,7번을통해흘러나가야하며, Signal I/O Card 에서흐르는전류 (6, 8번 ) 은반드시 4번을통해서만나가야합니다. - 10 -
5. MFC 점검방법 1. 유량흐름이없을경우. 1 MFC의결선이올바르게되어있는지점검하여주십시오. 2 올바른제어신호가인가되는지점검하여주십시오. ( 제작사양참고 : 0~5VDC 또는 4~20mA) 3 MFC의후단 (Outlet) 이막혀있지않은지점검하여주십시오. 솔레노이드밸브가닫혀있거나이물질로배관이막혀있을경우또는챔버에압력이발생하여유량흐름이제한될수있습니다. 후단라인의점검이어렵다면 MFC 후단을대기로방출하여테스트를할수있습니다. 단, 대기로방출되어도인체에영향이없거나화재, 부식등의위험성이없는안전한가스를사용할경우에만테스트를진행하십시오. 4 MFC의전단라인이막혀있지않은지점검하여주십시오. 배관라인점검에앞서 MFC의전단 (Inlet) 피팅내부를점검하여주십시오. MFC 전단피팅부에이물질을걸러주는망 (Mesh) 이설치되어있습니다. 여기에배관마감재또는먼지등이누적되면가스공급이원활하지않을수있습니다. 2. Set Point와 MFC의출력신호가일치하지않을경우. 1 전원공급상태가양호한지점검하여주십시오. (+15VDC 또는 +24VDC) 2 MFC에정상적인신호가인가되고있는지점검하여주십시오. 3 MFC의출력신호를리드아웃인디게이터에서올바르게표현하고있는지점검하여주십시오. 4 제작사양에맞는압력으로가스가공급되지점검하여주십시오. 5배관에누설 (Leak) 가없는지점검하여주십시오. 3. 출력신호가불안정할경우. 1 MFC로공급되는유량의압력이일정하게유지되는지점검하여주십시오. 2전단압력과후단압력이일정하게유지되는지점검하여주십시오. 3제작사양에맞는압력으로가스가공급되지점검하여주십시오. - 11 -
6. 제품보증및 A/S 1) 보증기간 1 신제품의보증기간은출고일부터 12 개월입니다. 2 A/S 제품에대한보증기간은 A/S 완료후출고일부터 3 개월입니다. 2) 제품의보증을받을수없는경우 1 사용자과실로인한제품의손상. 2 천재지변으로인한제품의손상. 3 선정과실로인한제품의사양변경이필요한경우. 4 사용조건이바뀌어제품의사양변경이필요한경우. 5 보안라벨이훼손된경우. 6 사용자임의로제품을개조또는분해한경우. 3) A/S접수시주의사항 1 제품입고시현장에서부착한부속물은제거후제품만입고시켜주시기바랍니다. ( 예 : 브라켓, 배관등 ) 분실시책임지지않습니다. 2 부식및독성가스에사용한제품은내부에잔류가스를빼낸후보내주시기바랍니다. 3 입고시증상에대하여가능한상세하게언급해주시기바랍니다. 4) 제품의 A/S 가필요한경우제품을구매한대리점또는본사로연락바랍니다. 본제품은성능개선또는구조변경등의이유로예고없이변경될수있습니다. 본취급설명서에서기술한모든내용은해당모델에대한내용을의미합니다. 본제품은가스의유량을제어하는장치로서밸브의역할을수행하지않습니다. 리크로인해위험요소가발생하는공정및장비에는반드시밸브를설치하여주십시오. - 12 -
7. 연락처 [ 본사 ] 엠케이프리시젼주식회사 서울구로구구로동 187-10번지코오롱싸이언스밸리 1차 306호전화 : 02. 2025. 0366 팩스 : 02. 2025. 0367 홈페이지 :www.mkp.kr - 13 -