(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) G01M 3/32 (2006.01) G01M 3/34 (2006.01) (21) 출원번호 10-2014-7010460 (22) 출원일자 ( 국제 ) 2012 년 10 월 22 일 심사청구일자 2014 년 04 월 18 일 (85) 번역문제출일자 2014 년 04 월 18 일 (65) 공개번호 10-2014-0063849 (43) 공개일자 2014 년 05 월 27 일 (86) 국제출원번호 PCT/IB2012/002116 (87) 국제공개번호 WO 2013/061130 국제공개일자 (30) 우선권주장 2013 년 05 월 02 일 JP-P-2011-235510 2011 년 10 월 26 일일본 (JP) (56) 선행기술조사문헌 JP2003065885 A JP2008008909 A* * 는심사관에의하여인용된문헌 (45) 공고일자 2015년12월14일 (11) 등록번호 10-1577329 (24) 등록일자 2015년12월08일 (73) 특허권자 도요타지도샤 ( 주 ) 일본국아이치켄도요타시도요타쵸 1 반지 (72) 발명자 야마구치데츠야 일본국아이치켄도요타시도요타쵸 1 반지, 도요타지도샤 ( 주 ) 내 (74) 대리인 특허법인 ( 유 ) 화우 전체청구항수 : 총 8 항심사관 : 김윤선 (54) 발명의명칭리크테스트방법및리크테스트장치 (57) 요약 본리크테스트방법은, 워크의검사공간내의제 1 압력및마스터챔버의공간내의제 2 압력을감압하는공정 ; 상기워크의검사공간을가습하는공정 ; 및상기워크의검사공간을수증기포화시킨상태에서, 상기워크의검사공간과상기마스터챔버의공간간의차압의변화를검출하는공정을포함한다. 또한, 상기리크테스트방법에있어서, 상기워크의검사공간내의누설은상기차압의변화로부터검출되는것을특징으로한다. 대표도 - 1 -
명세서청구범위청구항 1 리크테스트방법으로서, 워크 (W) 의검사공간 (W2) 내의제1압력및마스터챔버 (20) 의공간 (21) 내의제2압력을감압하는공정 ; 상기워크의검사공간을가습하는공정 ; 및상기워크의검사공간을수증기포화시킨상태에서, 상기워크의검사공간과상기마스터챔버의공간간의차압의변화를검출하는공정을포함하여이루어지고, 상기워크의검사공간내의누설은상기차압의변화로부터검출되는것을특징으로하는리크테스트방법. 청구항 2 제1항에있어서, 상기워크의검사공간을가습하는공정시, 상기워크의검사공간은, 상기워크에연결되는가습디바이스 (40) 에의하여, 상기워크의검사공간안으로유체를도입시켜외부로부터가습되는리크테스트방법. 청구항 3 제2항에있어서, 상기제1압력및상기제2압력은, 상기워크의검사공간안으로도입되는유체의유량을스로틀밸브 (50) 에의해조정한상태에서, 상기제1압력을감압하여상기워크의검사공간의가습과동시에감압되는리크테스트방법. 청구항 4 제1항에있어서, 상기워크의검사공간을가습하는공정시, 상기제1압력은, 상기워크의검사공간에보수성재료를배치한상태에서감압되는리크테스트방법. 청구항 5 리크테스트장치 (1) 로서, 마스터챔버 (20); 워크 (W) 의검사공간 (W2) 내의제1압력및마스터챔버의공간 (21) 내의제2압력을감압하도록구성되어있는감압디바이스 (30); 상기워크의검사공간을가습하도록구성되어있는가습디바이스 (40); 및상기워크의검사공간을수증기포화시킨상태에서, 상기워크의검사공간과상기마스터챔버의공간간의차압의변화를검출하도록구성되어있는검출디바이스 (11) 를포함하여이루어지고, 상기워크의검사공간내의누설은상기차압의변화로부터검출되는리크테스트장치. 청구항 6 제5항에있어서, 상기가습디바이스는, 상기워크에연결되어있고, 상기워크의검사공간안으로유체를도입시켜외부로부터상기워크의검사공간을가습하며, - 2 -
상기유체는수증기를포함하는리크테스트장치. 청구항 7 제6항에있어서, 상기워크의검사공간안으로도입되는유체의유량을조정하도록구성되어있는스로틀밸브 (50) 를더포함하여이루어지고, 상기제1압력및상기제2압력은, 상기워크의검사공간안으로도입되는유체의유량을상기스로틀밸브에의해조정한상태에서, 상기제1압력을감압하여상기워크의검사공간의가습과동시에감압되는리크테스트장치. 청구항 8 제5항에있어서, 상기가습디바이스는, 상기워크의검사공간에배치되는보수성재료를포함하고, 상기보수성재료내의수분은, 상기제1압력을감압하여기화되는리크테스트장치. 발명의설명 [0001] 기술분야 본발명은워크 (work) 의피검사공간, 즉워크의검사공간의누설을검출하는리크 (leak) 테스트방법및리크 테스트장치의기술에관한것이다. [0002] [0003] [0004] [0005] [0006] 배경기술종래기술에따른리크테스트방법에서는, 워크의검사공간과마스터챔버의공간을가압하고, 가압상태를유지하고있을때, 상기공간들간의차압의변화를검출함으로써상기워크의검사공간의누설을검출하고있다. 이러한리크테스트방법에의하면, 가압시워크에반력이발생한다. 그러므로, 상기워크를시일 (seal) 하는지그 (jig) 에추력을가하는실린더등이대형화된다. 즉, 리크테스트방법을행하기위한설비가대형화된다. 일본실용신안출원공보제60-111249호 (JP60-111249U) 에는, 워크의검사공간과기준탱크 ( 즉, 마스터챔버 ) 의공간을감압하고, 상기감압상태를유지하고있을때, 상기공간들간의차압의변화를차압검출기를이용하여검출하는리크테스트방법에관한기술이개시되어있다. 이러한각공간들을감압하는리크테스트방법에의하면, 워크에반력이발생하지않으므로, 리크테스트방법을행하기위한설비가소형화될수있다. 도 16은워크의검사공간내의잔류수분이증발하는방식을도시한도면이다. 도 16에도시된바와같이, 누설이검출되는워크의검사공간에는, 누설을검출하기전에행하여지는공정에서사용되는수분 ( 예를들면, 냉각수 (coolant) 등 ) 이잔류하는경우들이있다. 대기압상태에서검사공간내의잔류수분이도 16에도시되어있다. 이러한경우로는, 예를들면기계가공에의해워크들을제조하는양산환경하에서, 워크의검사공간의누설을검출하는경우등이있다. 워크의검사공간내의압력은, 공기 ( 즉, 공기분자및수증기 ) 가외부로배출됨으로써감압되기때문에, 감압의정도에따라습도가떨어진다. 감압되었을때의검사공간이도 16에도시되어있다. 즉, 워크의검사공간은, 감압시에건조된다. 워크의검사공간의누설검출은감압상태를유지해서이루어진다. 그결과, 워크의검사공간은건조한상태가유지되어, 잔류수분의기화가촉진되어버린다. 이러한잔류수분의기화에의해, 워크의검사공간내의수증기압이상승하게된다. 진공유지시의검사공간내의수증기압의상승이도 16에도시되어있다. 그러므로, 누설검출시, 검사공간의압력이변화하고, 차압변화도발생하게된다. 즉, JP60-111249U에개시된기술에의하면, 도 17a에도시된바와같이, 워크의검사공간에수분이남아있는경우, 상기워크의검사공간에누설이없는경우에도, 잔류수분의기화로인하여큰차압의변화가발생한다. 또한 JP60-111249U에개시된기술에의하면, 도 17a에도시된잔류수분의기화로인한차압의변화와, 도 17b 에도시된바와같이, 워크의검사공간에누설이있어외부로부터검사공간내에공기가유입되는경우의차압의변화간에식별하는것이가능하지않다. 도 17b에서, 검사공간에유입되는공기의흐름은화살표로표시 - 3 -
되어있다. 즉, JP60-111249U 에개시된기술에의하면, 검사공간에누설이없는워크를, 검사공간에누설이 있는워크로검출해버릴가능성이있다. 즉, 수증기압의상승으로인하여오류검출이발생해버릴가능성이있 다. 발명의내용 [0007] 해결하려는과제그러므로, 본발명은수증기압의상승에의한오류검출의발생을방지하거나최소화하는리크테스트방법및리크테스트장치를제공한다. 이하, " 수증기포화 (water-vapor saturated)" 라는용어는, 워크내의검사공간이완전히수증기포화된상태뿐만아니라, 상기워크내의검사공간이수증기압의상승으로인하여오류검출이발생하는것을방지하는정도로가습된상태를포함하는용어로사용된다. [0008] [0009] [0010] [0011] [0012] [0013] [0014] [0015] [0016] 과제의해결수단본발명의제1형태는, 워크의검사공간내의제1압력및마스터챔버의공간내의제2압력을감압하는공정 ; 상기워크의검사공간을가습하는공정 ; 및상기워크의검사공간을수증기포화시킨상태에서, 상기워크의검사공간과상기마스터챔버의공간간의차압의변화를검출하는공정을포함하는리크테스트방법에관한것이다. 또한, 이러한리크테스트방법에있어서는, 상기워크의검사공간내의누설이상기차압의변화로부터검출된다. 본발명의제1형태에있어서, 상기워크의검사공간을가습하는공정에있어서, 상기워크의검사공간은, 상기워크에연결되는가습디바이스에의하여, 상기워크의검사공간내에수증기를포함하는유체를도입함으로써외부로부터가습될수도있다. 상술된구조에있어서, 상기제1압력및상기제2압력은, 상기워크의검사공간내로도입되는유체의유량을스로틀밸브에의해조정한상태에서, 상기제1압력을감압하여상기워크의검사공간의가습과동시에감압될수도있다. 본발명의제1형태에있어서, 상기워크의검사공간을가습하는공정에있어서, 상기제1압력은, 상기워크의검사공간에보수성재료 (water-retentive material) 를배치한상태에서감압될수도있다. 본발명의제2형태는, 마스터챔버, 감압디바이스, 가습디바이스, 및검출디바이스를포함하는리크테스트장치에관한것이다. 상기감압디바이스는, 워크의검사공간내의제1압력및마스터챔버의공간내의제2압력을감압하도록구성되어있다. 상기가습디바이스는, 상기워크의검사공간을가습하도록구성되어있다. 상기검출디바이스는, 상기워크의검사공간을수증기포화시킨상태에서, 상기워크의검사공간과상기마스터챔버의공간간의차압의변화를검출하도록구성되어있다. 또한, 상기워크의검사공간내의누설은상기차압의변화로부터검출된다. 본발명의제2형태에있어서, 상기가습디바이스는, 상기워크에연결될수도있고, 상기워크의검사공간내로수증기를포함하는유체를도입함으로써외부로부터상기워크의검사공간을가습할수도있다. 상술된구조를갖는리크테스트장치는또한상기워크의검사공간내에도입되는유체의유량을조정하는스로틀밸브를포함할수도있다. 또한, 상기제1압력및상기제2압력은, 상기유체의유량을스로틀밸브에의해조정한상태에서, 상기제1압력을감압하여상기워크의검사공간의가습과동시에감압된다. 본발명의제2형태에있어서, 상기가습디바이스는, 상기워크의검사공간에배치되는보수성재료를포함할수도있고, 상기보수성재료내의수분은상기제1압력을감압하여기화될수도있다. 본발명의제2형태에있어서, 차압의변화가검출되면, 워크의검사공간은수증기포화상태로된다. 그러므로, 워크의검사공간에잔류하는수분의기화가억제되어, 상기검출공정에서수증기압의상승으로인한오류검출의발생을방지하게된다. [0017] 도면의간단한설명 본발명의예시적인실시예들의특징, 장점, 그리고기술적및산업상현저성은, 동일한부호들이동일한요소 들을나타내는첨부도면들을참조하여후술하기로한다. - 4 -
도 1은본발명의예시적인일실시예에따른리크테스트장치의구성을나타내는도면 ; 도 2는가습기구의본체의구성을나타내는도면 ; 도 3은가습기구의동작을나타내는도면 ; 도 4는밸브시퀀스를나타내는도면 ; 도 5는감압공정및가습공정에있어서의각밸브의상태를나타내는도면 ; 도 6은가습공정에있어서의워크의검사공간의습도의변화를나타내는도면 ; 도 7은평형공정및검출공정에있어서의각밸브의상태를나타내는도면 ; 도 8은예시적인실시예의리크테스트방법에있어서의워크의검사공간의상태를나타내는도면 ; 도 9는진공파괴 (vacuum break) 시의각밸브의상태를나타내는도면 ; 도 10은예시적인실시예에따른리크테스트방법을사용한시험결과들을나타내는도면 ; 도 11은리크테스트장치의제1변형예를나타내는도면 ; 도 12는리크테스트장치의제2변형예를나타내는도면 ; 도 13은리크테스트장치의제3변형예를나타내는도면 ; 도 14는제3변형예에있어서의가습공정을나타내는도면 ; 도 15는워크와감압펌프사이에리크테스트장치의본체를배치하는경우, 검사공간의감압시의공기의흐름을나타내는도면 ; 도 16은종래기술에따른워크의검사공간의잔류수분이기화하는방식을도시한도면 ; 도 17a는종래기술에따른워크의검사공간에잔류하는수분을나타내는도면 ; 및도 17b는워크의검사공간에서의누설을도시한도면이다. [0018] [0019] [0020] [0021] [0022] [0023] 발명을실시하기위한구체적인내용이하에서는, 본발명의예시적인일실시예에따른리크테스트방법및리크테스트장치 (1) 에대해설명하기로한다. 도 1에나타내는바와같이, 상기리크테스트방법및리크테스트장치 (1) 는, 워크 (W) 에형성되는검사공간 (W2) 의누설의유무를검출한다. 본예시적인실시예의워크 (W) 는실린더블록이다. 상기검사공간 (W2) 은, 실린더블록의보어 (W1) 에의해형성되는공간이다. 상기워크 (W) 및검사공간 (W2) 이본예시적인실시예로한정되는것은아니다. 상기리크테스트장치 (1) 는, 상기리크테스트장치 (1) 의본체 (10), 마스터챔버 (20), 감압펌프 (30), 가습기구 (40), 스로틀밸브 (50), 및가압펌프 (60) 등을포함한다. 상기리크테스트장치 (1) 는, 각구성부재를복수의방향제어밸브 ( 즉, 제1밸브 (VL1) 내지제6밸브 (VL6)) 및배관등에의해서로연결함으로써구성된다. 상기리크테스트장치 (1) 의본체 (10) 는, 워크 (W) 와마스터챔버 (20) 사이에배치되어있다. 상기리크테스트장치 (1) 의본체 (10) 는, 차압센서 (11) 를이용하여상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 과상기마스터챔버 (20) 의공간 (21) 간의차압의변화를검출한다. 상기리크테스트장치 (1) 의본체 (10) 의내측에는, 제2밸브 (VL2), 제3밸브 (VL3), 및제4밸브 (VL4) 가배치된다. 상기제2밸브 (VL2) 는, 제1밸브 (VL1), 및워크 (W) 와마스터챔버 (20) 사이에배치되어, 상기제2밸브 (VL2) 가온이되었을때에개방된다. 상기제2밸브 (VL2) 가개방되면, 상기워크 (W) 및마스터챔버 (20) 는, 상기제2밸브 (VL2) 에대하여상기제1밸브 (VL1) 측의배관과연통한다. 상기제2밸브 (VL2) 가폐쇄되면, 상기제1밸브 (VL1), 워크 (W), 및마스터챔버 (20) 가서로컷오프 (cut off) 된다. 상기제3밸브 (VL3) 는, 제4밸브 (VL4), 및워크 (W) 와마스터챔버 (20) 사이에배치되어, 상기제3밸브 (VL3) 가오프가되었을때에개방된다. 상기제3밸브 (VL3) 가개방되면, 상기워크 (W) 및마스터챔버 (20) 는, 상기제3밸브 (VL3) 에대하여상기제4밸브 (VL4) 측의배관과연통한다. 상기제3밸브 (VL3) 가폐쇄되면, 상기제4밸브 (VL4), 워크 (W), 및마스터챔버 (20) 가서로컷오프된다. - 5 -
[0024] [0025] [0026] [0027] [0028] [0029] [0030] [0031] [0032] [0033] [0034] 상기제4밸브 (VL4) 는, 제3밸브 (VL3) 와대기가도입되는소음기사이에배치되어, 상기제4밸브 (VL4) 가온이되었을때에개방된다. 상기제4밸브 (VL4) 가개방되면, 상기소음기는상기제4밸브 (VL4) 에대하여상기제3밸브 (VL3) 측의배관과연통한다. 상기제4밸브 (VL4) 가폐쇄되면, 상기소음기는, 상기제4밸브 (VL4) 에대하여상기제3밸브 (VL3) 측의배관과컷오프된다. 또한, 상기제3밸브 (VL3) 를턴오프시키고상기제4밸브 (VL4) 를턴온시킴으로써, 워크 (W) 및마스터챔버 (20) 가상기소음기와연통하게되어, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 과상기마스터챔버 (20) 의공간 (21) 안으로대기가도입되게된다 ( 도 9 참조 ). 상기마스터챔버 (20) 는, 그내측에형성되는공간 (21) 로부터공기가새어나가지않도록밀폐되어있는용기이다. 상기마스터챔버 (20) 는, 제1밸브 (VL1) 및제2밸브 (VL2) 를통해가압펌프 (60) 에연결되고, 제3밸브 (VL3) 및제5밸브 (VL5) 를통해감압펌프 (30) 에연결된다. 상기제5밸브 (VL5) 는, 워크 (W) 와감압펌프 (30) 사이에배치되어, 상기제5밸브 (VL5) 가온이되었을때에개방된다. 상기제5밸브 (VL5) 가개방되면, 상기워크 (W) 는상기감압펌프 (30) 와연통되고, 상기제5밸브 (VL5) 가폐쇄되면, 상기워크 (W) 는상기감압펌프 (30) 와컷오프된다. 상기감압펌프 (30) 는, 상기공간들 (W2, 21) 내의공기를흡인해서그것 ( 즉, 공기 ) 을외부로배출하므로, 상기공간들 (W2, 21) 을감압하게된다. 즉, 상기리크테스트장치 (1) 는, 감압시에흡인하는상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 내의공기가상기리크테스트장치 (1) 의본체 (10) 를통과하지않도록구성되어있다. 즉, 상기감압펌프 (30) 는상기워크 (W) 에직접적으로연결된다. 여기서, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 내의압력은제1압력으로서의역할을하고, 마스터챔버 (20) 의공간 (21) 내의압력은제2압력으로서의역할을한다. 상기가습기구 (40) 는, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을가습한다. 상기가습기구 (40) 는, 상기가습기구 (40) 의본체 (41), 순환펌프 (42), 및수조 (43) 를포함한다. 상기가습기구 (40) 는, 상기가습기구 (40) 의본체 (41) 에상기순환펌프 (42) 및상기수조 (43) 를연결함으로써구성된다. 도 2 및도 3에나타내는바와같이, 상기가습기구 (40) 의본체 (41) 에는, 복수의중공사막 (hollow fiber membranes; 41a) 이수용되어있다. 상기중공사막 (41a) 의양단부들은길이방향으로개방되어있다. 상기개구부들은서로연속해서연결되어있는데, 즉상기개구부들은한평면에서로인접하여배치되어있다. 상술된바와같이, 상기중공사막 (41a) 은튜브로형성되어있다. 상기중공사막 (41a) 은, 가습하는방향 ( 즉, 도 2가도시된지면의좌측에서우측으로향하는방향, 즉길이방향 ) 으로묶이고, 그길이방향의양단부들이서로수지 (4lb) 에의해고정된다. 도 1 및도 2에나타내는바와같이, 상기가습기구 (40) 는, 상기수조 (43) 의물 (43a) 을, 상기순환펌프 (42) 를이용하여상기가습기구 (40) 의본체 (41) 와수조 (43) 사이에서순환시킨다. 도 2에서, 상기가습기구 (40) 의본체 (41) 의상측에있는화살표 ( 즉, 길이방향에수직인방향을가리키는화살표 ) 들은상기가습기구 (40) 의본체 (41) 와상기수조 (43) 사이에서순환하는물의흐름을나타낸다. 이에따라, 상기가습기구 (40) 는, 수증기만을상기중공사막 (41a) 안으로선택적으로투과시켜, 상기중공사막 (41a) 의내측을통과하는공기를수증기포화시킨다. 여기서, 공기가수증기포화되는방식은, 도 2의상기가습기구 (40) 의본체 (41) 의좌우양측에있는화살표 ( 즉, 길이방향으로가리키는화살표 ) 들, 및도 3에나타내는수증기로표시되어있다. 이러한종류의가습기구 (40) 는, 도 1에나타내는바와같이, 제6밸브 (VL6) 를통해워크 (W) 에연결된다. 상기제6밸브 (VL6) 는, 워크 (W) 와가습기구 (40) 사이에배치되어, 상기제6밸브 (VL6) 가온이되었을때에개방된다. 상기제6밸브 (VL6) 가개방되면, 상기워크 (W) 가상기가습기구 (40) 와연통되며, 상기제6밸브 (VL6) 가폐쇄되면, 상기워크 (W) 가상기가습기구 (40) 로부터컷오프된다. 즉, 상기가습기구 (40) 는, 상기제6밸브 (VL6) 를턴온시키고, 상기가습기구 (40) 로부터상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 내로수증기포화상태의공기를도입함으로써, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을가습시킨다 ( 도 5 참조 ). 상기스로틀밸브 (50) 안으로는소음기에의해대기가도입된다. 상기스로틀밸브 (50) 의개방도를조정함으로써대기의유량이상기가습기구 (40) 안으로도입되기전에상기대기의유량이조정된다. 상기가압펌프 (60) 는, 각각의공간들 (W2, 21) 에압축에어를충전하여상기공간들 (W2, 21) 을가압하게된다. 상기가압펌프 (60) 는, 제1밸브 (VL1) 및제2밸브 (VL2) 를통해상기워크 (W) 및상기마스터챔버 (20) 에연결된다. 상기제1밸브 (VL1) 는, 가압펌프 (60) 와제2밸브 (VL2) 사이에배치되어, 상기제1밸브 (VL1) 가온이되었을때에개방된다. 상기제1밸브 (VL1) 가개방되면, 상기가압펌프 (60) 는상기제1밸브 (VL1) 에대하여제2밸브 (VL2) 측의 - 6 -
배관과연통되고, 상기제 1 밸브 (VL1) 가폐쇄되면, 상기가압펌프 (60) 는상기제 2 밸브 (VL2) 측의배관으로부터 컷오프된다. 즉, 상기공간들 (W2, 21) 을가압하는경우, 상기제 1 밸브 (VL1) 및상기제 2 밸브 (VL2) 가온된다. [0035] [0036] [0037] [0038] [0039] [0040] [0041] [0042] [0043] [0044] [0045] [0046] 상기밸브들 (VL1 내지 VL6) 은, 도시하지않는컨트롤러로부터소정의신호들을수신함으로써소정의밸브순서제어 ( 예를들면, 도 4에나타나있는바와같은밸브순서제어 ) 를행한다. 상기워크 (W) 는, 제2밸브 (VL2) 및제3밸브 (VL3) 을통해마스터챔버 (20) 에연결된다. 상기차압센서 (11) 는, 상기모든밸브들 (VL1 내지 VL6) 을닫은상태에서, 상기공간들 (W2, 21) 간의차압의변화를검출한다 ( 도 7 참조 ). 상기검사공간 (W2) 의누설을검출하면, 상기워크 (W) 에는상기검사공간 (W2) 을밀폐하는지그 (W10) 가장착된다. 본실시예에서와같이, 상기워크 (W) 가실린더블록인경우, 상기지그 (W10) 의하측에는상기워크 (W) 를시일하는하나의러버코드 (rubber cord; W11) 가장착된다. 상기워크 (W) 의상측에는, 엔진의냉각수를순환시키는워터재킷 (water jacket; W3) 이형성된다. 그러므로, 상기지그 (W10) 의상측에는, 보어 (W1) 와워터재킷 (W3) 을분리시켜상기워크 (W) 를시일하는두개의러버코드 (W11) 가장착된다. 이러한종류의지그 (W10) 에는, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 의용적을저감하기위한코어 (W12) 가설치된다. 상기지그 (W10) 에상기코어 (W12) 를설치함으로써, 누설에의한상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 내의압력변동을상대적으로크게하여, 상기차압센서 (11) 의측정값이훨씬더커지게된다. 다음으로, 리크테스트장치 (1) 를사용하여행하는리크테스트방법의동작에대해서설명하기로한다. 도 4에나타내는바와같이, 먼저본예시적인실시예의리크테스트방법에서는, 감압공정및가습공정을행한다. 도 4는상기밸브들 (VL1 내지 VL6) 의스위칭상태들을시퀀스들로서나타내고있다. 보다상세하게는, 도 4에도시된밸브시퀀스들에있어서, 상기시퀀스들을나타내는라인들이상측에위치하는경우에는, 상기밸브들 (VL1 내지 VL6) 이온이되고, 상기시퀀스들을나타내는라인들이하측에위치하는경우에는, 상기밸브들 (VL1 내지 VL6) 이오프가되는것을나타내고있다. 감압공정및가습공정에있어서는, 도 1 및도 4에나타내는바와같이, 소정의시간이경과할때까지상기밸브들 (VL1 내지 VL6) 이턴오프된다. 그리고소정의시간이경과한후, 감압공정및가습공정에있어서는, 도 4 및도 5에나타내는바와같이, 제2밸브 (VL2), 제5밸브 (VL5), 및제6밸브 (VL6) 가턴온된다. 즉, 감압공정및가습공정에있어서는, 제2밸브 (VL2), 제3밸브 (VL3), 제5밸브 (VL5), 및제6밸브 (VL6) 가개방된다. 이때, 상기감압펌프 (30) 및상기가습기구 (40) 가그동작을개시한다. 즉, 상기리크테스트장치 (1) 는, 상기감압펌프 (30) 를이용하여상기공간들 (W2, 21) 로부터공기를흡인하고, 그것 ( 즉, 공기 ) 을외부로배출한다. 도 5에나타내는화살표 R1은, 흡인되어외부로배출되는공기의흐름을나타낸다. 이러한방식으로, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법에의하여, 상기공간들 (W2, 21) 내부를감압하는감압공정을행한다. 상기공간들 (W2, 21) 을감압하는경우, 상기가습기구 (40) 의공기도상기감압펌프 (30) 에의해흡인되어, 상기가습기구 (40) 로부터상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 안으로상기수증기포화상태의공기가도입되게된다. 도 5에나타내는화살표 R2는, 도입되는수증기포화상태의공기의흐름을나타낸다. 이에따라, 도 6에나타내는바와같이, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 이점진적으로가습된다. 이러한방식으로, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법에의하여, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을가습하는가습공정을행한다. 또한, 상기가습기구 (40) 는, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을가습하기위한가습디바이스로서기능한다. 도 5에나타내는바와같이, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을가습하는경우, 상기스로틀밸브 (50) 를통해상기가습기구 (40) 안으로대기가도입된다. 즉, 상기가습기구 (40) 로부터상기워크 (W) 안으로도입되는수증기포화상태의공기의유량은, 상기감압펌프 (30) 에의해배출되는공기의유량보다적다. 따라서, 상기감압펌프 (30) 는, 상기감압펌프 (30) 에의한감압정도가상기가습기구 (40) 로부터도입되고있는공기로인하여약간저하되지만, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 내부를점진적으로감압한다. 즉, 상기리크테스트장치 (1) 에의하면, 상기가습기구 (40) 에의한영향을고려하여, 상기감압펌프 (30) 에의한감압정도가설정된다. 또한, 상기스로틀밸브 (50) 의개방도가조정된다. 본예시적인실시예에따른리크테스트방법에있어서는, 도 6에나타내는바와같이, 시간 T가경과한경우, 감압공정및가습공정이종료한다. 이때, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 내의압력은, 누설의검출시에설정된소정의압력까지감압되고, 수증기포화된다. 도 8은감압공정및가습공정시에수증기포화된상태에 - 7 -
있는상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을보여준다. [0047] [0048] [0049] [0050] [0051] [0052] [0053] [0054] [0055] 이러한방식으로, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법에있어서, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 안으로도입하는수증기포화상태의공기의유량을상기스로틀밸브 (50) 에의해조정한상태에서, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을감압함으로써상기감압공정및상기가습공정을동시에행한다. 즉, 제1압력 ( 즉, 워크 (W) 의검사공간 (W2) 내의압력 ) 및제2압력 ( 즉, 마스터챔버 (20) 의공간 (21) 내의압력 ) 은, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 안으로도입되는유체의유량을상기스로틀밸브 (50) 에의해조정한상태에서, 상기제1압력을감압시켜상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 의가습과동시에감압된다. 또한, 상기리크테스트장치는, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 안으로도입하는수증기포화상태의공기의유량을상기스로틀밸브 (50) 에의해조정한상태에서, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을감압함으로써, 상기공간들 (W2, 21) 의감압과상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 의가습을동시에행한다. 이에따라, 본예시적인실시예에따른리크테스트장치 (1) 및상기리크테스트방법은, 단지제2밸브 (VL2), 제3밸브 (VL3), 제5밸브 (VL5), 및제6밸브 (VL6) 를개방시켜상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 의감압및가습을행한다. 즉, 본예시적인실시예에따른리크테스트장치 (1) 및리크테스트방법은, 감압공정및가습공정에있어서의밸브순서제어를단순화할수있다. 상기스로틀밸브 (50) 의배치위치는, 수증기포화상태의공기의유량을조정할수있는위치이기만하면되고, 본실시예로한정되는것은아니다. 감압이이루어지면, 결과적으로상기공간들 (W2, 21) 의온도도저하한다. 그리고, 상기공간들 (W2, 21) 의온도가소정의시간이경과할때까지상승한다음, 안정화된다. 이러한종류의온도상승은누설의검출결과에영향을준다. 그러므로, 감압공정및가습공정이종료한후, 본예시적인실시예의리크테스트방법에있어서는, 도 1 및도 4에나타내는바와같이, 상기밸브들 (VL1 내지 VL6) 을턴오프시킨다음, 일정시간동안대기하는등압 (pressure-equalizing) 공정을행한다. 그결과, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법에의하면, 상기공간들 (W2, 21) 의온도가안정화된다. 상기등압공정을행한후, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법에서는, 도 4 및도 7에나타내는바와같이, 제3밸브 (VL3) 만을턴온시킨다음, 일정시간동안대기하는평형 (equilibrating) 공정을행한다. 즉, 상기평형공정에서는, 상기제3밸브 (VL3) 가폐쇄되어, 상기모든밸브들 (VL1 내지 VL6) 이폐쇄되게된다. 그결과, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법에의하면, 제3밸브 (VL3) 가폐쇄되는경우에발생하는압력변동이, 누설의검출결과들에영향을주는것을방지하게된다. 상기평형공정을행한후, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법에서는검출공정을행한다. 상기검출공정에서는, 상기밸브들 (VL1 내지 VL6) 이폐쇄된상태에서, 상기차압센서 (11) 에의해상기공간들 (W2, 21) 간의차압의변화를검출한다. 상기차압센서 (11) 의측정값이소정의임계값을초과하는경우, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법에서는, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 에누설이있다고판단한다. 따라서, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법및리크테스트장치 (1) 가, 감압된공간들 (W2, 21) 간의차압의변화로부터, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 의누설을검출하게된다. 도 8에나타내는바와같이, 상기검출공정에있어서, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 은, 소정의압력까지감압된상태에있고, 수증기포화된상태에있다. 상술된바와같이, 도 8은감압공정및가습공정시의수증기포화된상태에있는상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을보여준다. 따라서, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법에의하면, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 에수분 (W4) 이잔류하는경우에도, 상기검출공정에있어서, 상기잔류수분 (W4) 의기화가억제된다. 도 8은검출공정시에상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 내의잔류수분 (W4) 의기화가억제되는방식을보여준다. 즉, 종래기술에의하면, 잔류수분 (W4) 으로인하여차압의변화가발생하지만, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법에의하면, 상기차압의변화가억제된다. 그러므로, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법에의하면, 상기차압센서 (11) 에의해상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 에누설이있는경우에만, 차압의변화가검출된다. 상술된바와같이, 도 17b는상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 에누설이있는상태를도시하고있는도면이다. 본예시적인실시예의리크테스트방법및리크테스트장치 (1) 에따르면, 상기검사공간 (W2) 에누설이없는워크 (W) 를, 상기검사공간 (W2) 에누설이있는워크 (W) 로서검출해버리는것을방지할수있다. 즉, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법및리크테스트장치 (1) 는, 수증기압의상승으로인한오류검출의발생을 - 8 -
방지할수있다. [0056] [0057] [0058] [0059] [0060] [0061] [0062] [0063] [0064] [0065] [0066] [0067] [0068] 이러한방식으로, 본예시적인실시예의리크테스트방법에의하면, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을수증기포화시킨상태에서, 차압의변화를검출하는검출공정을행한다. 또한, 상기리크테스트장치 (1) 는, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을수증기포화시킨상태에서, 차압의변화를검출하기위한검출디바이스로서기능한다. 상기검출공정을행한후, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법에서는, 도 4 및도 9에나타내는바와같이, 제3밸브 (VL3) 를턴오프시키고제4밸브 (VL4) 를턴온시켜진공파괴를행한다. 즉, 제3밸브 (VL3) 및제4 밸브 (VL4) 를개방하여, 상기공간들 (W2, 21) 안으로대기를도입하고, 그결과상기공간들 (W2, 21) 내의압력을대기압상태가되게한다. 이에따라, 상기검사공간 (W2) 의누설의검출이종료한다. 이하, 이러한누설검출을 " 리크테스트 " 라고명명하기로한다. 상기진공파괴를행한후, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법에서는, 도 1 및도 4에나타내는바와같이, 상기밸브들 (VL1 내지 VL6) 이턴오프되고, 상기리크테스트장치 (1) 는대기상태로된다. 대기상태에서는, 리크테스트를종료한워크 (W) 가별도의검사대상워크 (W) 로대체된다. 본예시적인실시예의리크테스트방법및리크테스트장치 (1) 에의하면, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 에수분 (W4) 이잔류하고있는것이상정되는환경 ( 예를들면, 워크 (W) 들이기계가공에의해제조되는양산환경등 ) 에서도, 수증기압의상승으로인한오류검출이발생하지않아 ( 또는오류검출의발생을억제하면서 ) 리크테스트를행할수있다. 상기가습공정에서는, 상기리크테스트의결과에영향이없는범위내에서, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을가습하면된다. 반드시상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을완전히수증기포화시킬필요는없다. 다음으로, 본예시적인실시예의리크테스트방법에관한시험결과들에대해서설명하기로한다. 상기테스트에있어서는, 검사공간 (W2) 에리크가발생하지않는워크 (W) 에대하여, 본예시적인실시예의리크테스트방법을사용하는리크테스트및본예시적인실시예의리크테스트방법을사용하지않는 ( 즉, 가습공정을행하지않는 ) 리크테스트를반복해서행하였다. 또한, 차압센서 (11) 의측정값이환산되는누설량의평균값을산출하였다. 도 10은시험결과들을나타내는도면이다. 도 10의좌단에도시된막대그래프는, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 에소정량의수분 (W4) 을잔류시켜, 본예시적인실시예의리크테스트방법을사용하지않고리크테스트를행한결과를나타낸다. 이러한종류의리크테스트의결과로서, 상기리크테스트장치 (1) 의측정오차로서설정되는규정값 n을크게초과하는누설이검출되었다. 상기좌단에도시된막대그래프로부터, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 에수분 (W4) 이잔류하여, 본예시적인실시예의리크테스트방법을사용하지않고리크테스트를행하였을경우에는, 상기리크테스트의결과가, 잔류수분 (W4) 의기화에의한차압의변화에영향을받게된다는것은자명하다. 즉, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법을사용하지않고리크테스트를행하였을경우에는, 수증기압의상승으로인하여오류검출이발생해버리는것은자명하다. 상술된바와같이, 수증기압의상승으로인하여오류검출이발생하는방식이도 17a에예시되어있다. 도 10의좌우방향으로중앙에도시된막대그래프는, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 에소정량의수분 (W4) 을잔류시켜, 본예시적인실시예의리크테스트방법을사용한리크테스트를행한결과를나타낸다. 이러한종류의리크테스트의결과로서, 상기규정값 n 보다작은누설량이검출되었다. 이러한막대그래프로부터, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 에수분 (W4) 이잔류하고있는상태에서, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법을사용하여리크테스트를행하였을경우에는, 잔류수분 (W4) 의기화를억제할수있기때문에, 적절한검출결과가얻어진것이분명하다. 즉, 본예시적인실시예에따른리크테스트방법을사용하여리크테스트를행하였을경우에는, 본예시적인실시예의리크테스트방법을사용하지않은경우에서와같이, 수증기압의상승에의한오류검출의발생을방지할수있다는것이분명하다. 도 10의우단에도시된막대그래프는, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 에수분 (W4) 을잔류시키지않고, 본예시적인실시예의리크테스트방법을사용하여리크테스트를행한결과를나타낸다. 이러한종류의리크테스트의결과로서, 상기규정값 n 보다작은누설량이검출되었다. 이상에서, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 에잔류하는수분 (W4) 의유무에관계없이, 본예시적인실시예의리크 - 9 -
테스트방법을사용하여리크테스트를행하는경우에는, 적절한검출결과가얻어지는것이분명하다. [0069] [0070] [0071] [0072] [0073] [0074] [0075] [0076] [0077] [0078] [0079] [0080] [0081] 상기가습공정에있어서, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 은, 상기리크테스트의결과에영향을주지않을범위내에서가습되기만하면된다. 반드시상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을완전히수증기포화시킬필요는없다. 예를들어, 수증기포화상태는또한상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 이규정값 n 보다작은누설량이검출될정도까지가습되는상태를포함할수도있다. 도 1에나타내는바와같이, 상기리크테스트장치 (1) 는, 상기가압펌프 (60) 를이용하여상기공간들 (W2, 2 1) 을가압하고, 상기차압센서 (11) 를이용하여차압의변동을검출하는리크테스트를실시하도록구성될수도있다. 이경우, 상기리크테스트장치 (1) 는, 도 4에도시된감압공정및가습공정대신에가압공정을행할수도있다. 이러한가압공정에서는, 제1밸브 (VL1) 및제2밸브 (VL2) 를턴온시키고, 제3밸브 (VL3) 내지제6밸브 (VL 6) 를턴오프시키며, 상기공간들 (W2, 21) 에압축에어를충전하여가압한다. 상기가압공정이후는상술한바와같은리크테스트의경우와같다. 상기공간들 (W2, 21) 을감압하는리크테스트에있어서는, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을진공으로하는경우의압력까지상기워크 (W) 에압력을가할수밖에없다. 여기서, 상기리크테스트에있어서는, 상기워크 (W) 가배기되는경우의압력보다높은압력을가하여리크테스트를행하는것이바람직할수도있다. 이러한경우로서는, 예컨대상기워크 (W) 를소정의용도로사용하는경우에높은압력이가해지는부위 ( 예를들면, 워터재킷 (W3) 등 ) 에대하여리크테스트를행할수도있다. 즉, 감압펌프 (30) 및가압펌프 (60) 를이용하여상기공간들 (W2, 21) 을감압및가압하도록구성함으로써, 상기리크테스트장치 (1) 는, 상기워크 (W) 의부위에따라최적인리크테스트를행한다. 도 5에나타내는바와같이, 상기감압펌프 (30) 는, 상기워크 (W) 에직접적으로연결되도록구성되어있다. 이에따라, 상기리크테스트장치 (1) 는, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 내부의공기에수증기등을직접배출하게된다. 도 15에나타내는바와같이, 도 5에도시된가압펌프 (60) 의위치에감압펌프 (30) 를배치한다면, 상기공간들 (W2, 21) 을감압할때, 상기수증기등은상기리크테스트장치 (1) 의본체 (10) 를통과할것이다. 도 15에서, 화살표 R11은상기리크테스트장치 (1) 의본체 (10) 를통과하는수증기등의흐름을나타낸다. 이경우, 상기차압센서 (11) 등에는상기수증기가부착되어버릴수도있고, 이는차압센서 (11) 등이파손될가능성도있다. 다른한편으로, 도 5에서는, 상기감압펌프 (30) 를상기워크 (W) 에직접적으로연결함으로써상기차압센서 (11) 등이파손되는것이방지된다. 상기가습기구 (40) 의구성은본예시적인실시예로한정되는것은아니다. 예를들어, 상기가습기구 (40) 는후술하는변형예들에기술된바와같은구성일수도있다. 도 11에나타내는바와같이, 제1변형예에따른리크테스트장치 (101) 의가습기구 (140) 는, 수증기원 (141) 및버퍼탱크 (142) 를포함한다. 상기수증기원 (141) 및버퍼 (142) 는상기워크 (W) 에연결된다. 이러한제1변형예의가습기구 (140) 는, 상기수증기원 (141) 에의해수증기나물의미스트를발생시켜, 상기수증기나물의미스트를상기버퍼탱크 (142) 에저장한다. 도 12에나타내는바와같이, 제2변형예에따른리크테스트장치 (201) 의가습기구 (240) 는수증기발생탱크로구성되어, 상기워크 (W) 에연결된다. 이러한제2변형예의가습기구 (240) 는, 온수 (241) 를저장하고, 나머지공간 ( 즉, 온수 (241) 와수증기발생탱크의내부사이에형성된공간 ) 에수증기포화상태에가까운상태까지가습된공기를발생시킨다. 도 12에서, 포화된수증기는검정삼각형들로표시되어있다. 상기가습기구 (240) 는, 도시하지않은온도조정기구에의해, 저장되는온수 (241) 를소정의온도로유지한다. 제1변형예및제2변형예의가습기구 (140, 240) 를사용하여가습공정을행하는경우에는, 도 4에도시된가습공정시의밸브시퀀스에의거하여밸브들 (VL1 내지 VL6) 을제어하고, 상기감압펌프 (30) 에의해상기공간들 (W2, 21) 을감압한다. 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을감압함으로써, 제1변형예및제2변형예의가습기구 (140, 240) 는, 수증기, 물의미스트, 또는가습된공기를상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 안으로도입시킨다. 그결과, 제1변형예및제2변형예의가습기구 (140, 240) 가상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을외부로부터가습하게 - 10 -
된다. [0082] [0083] [0084] [0085] [0086] [0087] [0088] [0089] [0090] 제2변형예의가습기구 (240) 의온수 (241) 는, 가습공정시의상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 의온도보다높은온도로설정된다. 따라서, 상기가습기구 (240) 로부터도입되는가습된공기는, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 에있어서포화수증기량을초과하는수증기를포함하게된다. 그결과, 상기제2변형예의가습기구 (240) 가, 상기가습공정에서상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을수증기포화시키게된다. 이러한방식으로, 상기가습공정에서는, 상기워크 (W) 에연결되는가습기구 (40, 140, 240) 를이용하여상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 안으로유체 ( 수증기포화상태의공기, 수증기, 물의미스트, 또는가습된공기등 ) 를도입함으로써상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을외부로부터가습한다. 또한, 상기가습기구 (40, 140, 240) 는, 상기워크 (W) 에연결되어, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 안으로유체를도입시킨다. 그러므로, 상기가습기구 (40, 140, 240) 가상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을외부로부터가습하기위한가습디바이스로서기능한다. 상기제2변형예의리크테스트방법및리크테스트장치 (1, 101, 201) 는, 리크테스트가종료한워크 (W) 를교환하는것만으로도리크테스트를연속해행할수도있다. 즉, 도 4에나타내는대기상태에서의순서가단순화될수있다. 또한, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을외부로부터가습하는경우, 본예시적인실시예에서와같은중공사막 (41a) 들을사용하는가습기구 (40) 를이용하는것은, 상기가습기구 (40) 의소형화를허용한다. 도 13에나타내는바와같이, 제3변형예에따른리크테스트장치 (301) 의가습기구 (340) 는보수성재료를포함한다. 상기보수성재료는, 물을함유 ( 즉, 포함 ) 하는코어 (W112) 에장착된다. 즉, 제3변형예의리크테스트장치 (301) 에의하면, 상기가습기구 (340) 가상기워크 (W) 에연결되지않고, 본예시적인실시예에서와같이제6 밸브 (VL6) 및스로틀밸브 (50) 등이설치되지않는다 ( 도 1 참조 ). 상기보수성재료는, 감압시에상기재료의수분이기화하기쉬운소재, 예를들면큰수분-함유표면적을갖는다공질 (porous material) 로형성되어있다. 제3변형예의가습기구 (340) 를사용하여가습공정을행하는경우, 도 4에도시된가습공정시의밸브시퀀스에의거하여제1밸브 (VL1) 내지제5밸브 (VL5) 를제어하고, 상기감압펌프 (30) 를이용하여상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을감압한다. 도 14에나타내는바와같이, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을감압함으로써보수성재료내의수분의기화가촉진된다. 상기보수성재료로부터의수분의기화는도 14에나타내는수증기로표시되어있다. 그결과, 제3변형예의가습기구 (340) 는상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을내부로부터가습한다. 이러한방식으로, 상기가습공정에서는, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 에보수성재료를배치하고, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을감압한다. 결과적으로, 상기보수성재료내의수분을기화시켜, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을내부로부터가습한다. 또한, 제3변형예의가습기구 (340) 는, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을감압함으로써보수성재료내의수분을기화시켜, 상기워크 (W) 의검사공간 (W2) 을내부로부터가습하기위한가습디바이스로서기능한다. 제3변형예의리크테스트방법및리크테스트장치 (301) 에따르면, 제6밸브 (VL6) 및스로틀밸브 (50) 등을설치할필요가없어지기때문에, 밸브시퀀스를단순화할수있다. 또한, 상기리크테스트장치 (301) 의구성을간소화할수있으므로, 비용을저감할수있게된다. - 11 -
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