(72) 발명자 김진근 울산광역시울주군삼남면가천리 818 삼성 SDI( 주 ) 김기민 울산광역시울주군삼남면가천리 818 삼성 SDI( 주 ) - 2 -

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1 (51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) G06F 3/041 ( ) (21) 출원번호 (22) 출원일자 2008 년 07 월 11 일 심사청구일자 전체청구항수 : 총 12 항 2008 년 07 월 11 일 (54) 터치스크린패널및그제조방법 (11) 공개번호 (43) 공개일자 2010년01월22일 (71) 출원인 삼성모바일디스플레이주식회사 경기도용인시기흥구농서동산 24 번지 (72) 발명자 강성구 울산광역시울주군삼남면가천리 818 삼성 SDI( 주 ) 정태혁 울산광역시울주군삼남면가천리 818 삼성 SDI( 주 ) ( 뒷면에계속 ) (74) 대리인 신영무 (57) 요약 본발명은, 감지패턴들의반사율차가개선된터치스크린패널에관한것이다. 본발명의터치스크린패널은, 투명기판과, 상기투명기판상에형성되며제 1 방향을따라연결되도록형성된다수의제 1 감지패턴들 (X 패턴들 ) 과, 상기제 1 감지패턴들상에형성된제 1 절연막과, 상기제 1 절연막상에형성되며제 2 방향을따라연결되도록형성되되상기제 1 감지패턴들과중첩되지않도록상기제 1 감지패턴들과교호적으로배치된다수의제 2 감지패턴들 (Y 패턴들 ) 을포함하며, 상기제 1 감지패턴들사이의더미영역과상기제 2 감지패턴들사이의더미영역중적어도하나에형성된다수의더미패턴들을더포함하는것을특징으로한다. 대표도 - 도 2-1 -

2 (72) 발명자 김진근 울산광역시울주군삼남면가천리 818 삼성 SDI( 주 ) 김기민 울산광역시울주군삼남면가천리 818 삼성 SDI( 주 ) - 2 -

3 특허청구의범위청구항 1 투명기판과, 상기투명기판상에형성되며, 제1 방향을따라연결되도록형성된다수의제1 감지패턴들 (X 패턴들 ) 과, 상기제1 감지패턴들상에형성된제1 절연막과, 상기제1 절연막상에형성되며, 제2 방향을따라연결되도록형성되되상기제1 감지패턴들과중첩되지않도록상기제1 감지패턴들과교호적으로배치된다수의제2 감지패턴들 (Y 패턴들 ) 을포함하며, 상기제1 감지패턴들사이의더미영역과상기제2 감지패턴들사이의더미영역중적어도하나에형성된다수의더미패턴들을더포함하는것을특징으로하는터치스크린패널. 청구항 2 제1항에있어서, 상기더미패턴들은상기제1 감지패턴들과동일한물질로상기투명기판상에형성되며, 상기제2 감지패턴들과중첩되도록상기제2 감지패턴들의하부에배치된터치스크린패널. 청구항 3 제1항에있어서, 상기더미패턴들은상기제2 감지패턴들과동일한물질로상기제1 절연막상에형성되며, 상기제1 감지패턴들과중첩되도록상기제1 감지패턴들의상부에배치된터치스크린패널. 청구항 4 제1항에있어서, 상기더미패턴들은각각이분리된패턴을갖는터치스크린패널. 청구항 5 제1항에있어서, 상기더미패턴들은상기제1 감지패턴들사이의더미영역에배치되도록상기투명기판상에형성된다수의제1 더미패턴들과, 상기제2 감지패턴들사이의더미영역에배치되도록상기제1 절연막상에형성된다수의제2 더미패턴들을포함하는터치스크린패널. 청구항 6 제5항에있어서, 상기제1 더미패턴들은상기제2 감지패턴들과중첩되도록배치되고, 상기제2 더미패턴들은상기제1 감지패턴들과중첩되도록배치되되, 상기투명기판및제1 절연막상에교호적으로배치된제1 및제2 더미패턴은그가장자리영역일부가서로중첩되도록형성된터치스크린패널. 청구항 7 제1항에있어서, 상기제1 및제2 감지패턴들과상기더미패턴들은투명전극물질로형성된터치스크린패널. 청구항 8 제1항에있어서, - 3 -

4 상기제1 및제2 감지패턴들각각은, X 좌표가동일한하나의열또는 Y 좌표가동일한하나의행단위로서로연결되도록형성되며, 상기제1 및제2 감지패턴들이형성되는영역의가장자리에배치되어상기하나의열또는행단위의감지패턴들을위치검출라인과전기적으로연결하는다수의금속패턴들을더포함하는터치스크린패널. 청구항 9 제1항에있어서, 상기제2 감지패턴들상에형성된제2 절연막과, 상기투명기판의하부면에형성된투명접지전극및제3 절연막중적어도하나를더포함하는터치스크린패널. 청구항 10 투명기판상에제1 방향을따라연결되는다수의제1 감지패턴들 (X 패턴들 ) 을형성하는단계와, 상기제1 감지패턴들상에제1 절연막을형성하는단계와, 상기제1 절연막상에제2 방향을따라연결되도록형성되며, 상기제1 감지패턴들과중첩되지않도록배치되는다수의제2 감지패턴들 (Y 패턴들 ) 을형성하는단계를포함하며, 상기제1 감지패턴들을형성하는단계와상기제2 감지패턴들을형성하는단계중적어도하나의단계에서, 상기제1 감지패턴들사이의더미영역과상기제2 감지패턴들사이의더미영역중적어도하나에다수의더미패턴들을더형성함을특징으로하는터치스크린패널의제조방법. 청구항 11 제10항에있어서, 상기제1 및제2 감지패턴들을형성하는각단계에서, 상기투명기판및제1 절연막상의상기제1 및제2 감지패턴들사이의더미영역에각각상기더미패턴들을형성하며, 상기투명기판및제1 절연막상에각각교호적으로배치된상기더미패턴들의가장자리영역일부가서로중첩되도록형성하는터치스크린패널의제조방법. 청구항 12 제10항에있어서, 상기제2 감지패턴들상에제2 절연막을형성하는단계를더포함하는터치스크린패널의제조방법. 명세서 발명의상세한설명 <1> 기술분야 본발명은터치스크린패널및그제조방법에관한것으로, 특히감지패턴들의반사율차가개선된터치스크린 패널및그제조방법에관한것이다. <2> <3> <4> 배경기술터치스크린패널은영상표시장치등의화면에나타난지시내용을사람의손또는물체로선택하여사용자의명령을입력할수있도록한입력장치이다. 이를위해, 터치스크린패널은영상표시장치의전면 (front face) 에구비되어사람의손또는물체에직접접촉된접촉위치를전기적신호로변환한다. 이에따라, 접촉위치에서선택된지시내용이입력신호로받아들여진다. 이와같은터치스크린패널은키보드및마우스와같이영상표시장치에연결되어동작하는별도의입력장치를대체할수있기때문에그이용범위가점차확장되고있는추세이다

5 <5> <6> <7> <8> <9> 터치스크린패널을구현하는방식으로는저항막방식, 광감지방식및정전용량방식등이알려져있다. 이중정전용량방식의터치스크린패널은, 사람의손또는물체가접촉될때도전성감지패턴이주변의다른감지패턴또는접지전극등과형성하는정전용량의변화를감지함으로써, 접촉위치를전기적신호로변환한다. 여기서, 접촉면에서의접촉위치를명확히판단하기위해, 감지패턴은제1 방향을따라연결되도록형성된제1 감지패턴들 (X 패턴들 ) 과, 제2 방향을따라연결되도록형성된제2 감지패턴들 (Y 패턴들 ) 을포함하여구성된다. 이와같은제1 및제2 감지패턴들은일반적으로동일한레이어에위치된다. 이경우, 동일한 X 또는 Y 라인들에배열된감지패턴들은이들상부의절연막에형성된컨택홀을통해별도의연결패턴을형성함에의해연결된다. 이로인해, 마스크수가증가하고공정이복잡해질수있다. 한편, 터치스크린패널은액정표시패널등의표시패널상부에위치되는것으로, 표시패널에서방출되는빛은터치스크린패널을투과하여사용자에게도달하게된다. 또한, 외부로부터입사되는외광은터치스크린패널내의감지패턴들에의해반사된다. 따라서, 균일한영상을표시하기위해서는감지패턴들의반사율차를개선할필요가있다. 발명의내용 <10> 해결하고자하는과제 따라서, 본발명의목적은마스크수가저감되고공정이단순하며, 감지패턴들의반사율차가개선된터치스크 린패널및그제조방법을제공하는것이다. <11> <12> <13> <14> <15> 과제해결수단이와같은목적을달성하기위하여본발명의제1 측면은투명기판과, 상기투명기판상에형성되며제1 방향을따라연결되도록형성된다수의제1 감지패턴들 (X 패턴들 ) 과, 상기제1 감지패턴들상에형성된제1 절연막과, 상기제1 절연막상에형성되며제2 방향을따라연결되도록형성되되상기제1 감지패턴들과중첩되지않도록상기제1 감지패턴들과교호적으로배치된다수의제2 감지패턴들 (Y 패턴들 ) 을포함하며, 상기제1 감지패턴들사이의더미영역과상기제2 감지패턴들사이의더미영역중적어도하나에형성된다수의더미패턴들을더포함하는것을특징으로하는터치스크린패널을제공한다. 여기서, 상기더미패턴들은상기제1 감지패턴들과동일한물질로상기투명기판상에형성되며, 상기제2 감지패턴들과중첩되도록상기제2 감지패턴들의하부에배치될수있다. 또한, 상기더미패턴들은상기제2 감지패턴들과동일한물질로상기제1 절연막상에형성되며, 상기제1 감지패턴들과중첩되도록상기제1 감지패턴들의상부에배치될수있다. 그리고, 상기더미패턴들은각각이분리된패턴을가질수있다. 또한, 상기더미패턴들은상기제1 감지패턴들사이의더미영역에배치되도록상기투명기판상에형성된다수의제1 더미패턴들과, 상기제2 감지패턴들사이의더미영역에배치되도록상기제1 절연막상에형성된다수의제2 더미패턴들을포함할수있다. 여기서, 상기제1 더미패턴들은상기제2 감지패턴들과중첩되도록배치되고, 상기제2 더미패턴들은상기제1 감지패턴들과중첩되도록배치되되, 상기투명기판및제1 절연막상에교호적으로배치된제1 및제2 더미패턴은그가장자리영역일부가서로중첩되도록형성될수있다. 본발명의제2 측면은, 투명기판상에제1 방향을따라연결되는다수의제1 감지패턴들 (X 패턴들 ) 을형성하는단계와, 상기제1 감지패턴들상에제1 절연막을형성하는단계와, 상기제1 절연막상에제2 방향을따라연결되도록형성되며상기제1 감지패턴들과중첩되지않도록배치되는다수의제2 감지패턴들 (Y 패턴들 ) 을형성하는단계를포함하며, 상기제1 감지패턴들을형성하는단계와상기제2 감지패턴들을형성하는단계중적어도하나의단계에서, 상기제1 감지패턴들사이의더미영역과상기제2 감지패턴들사이의더미영역중적어도하나에다수의더미패턴들을더형성함을특징으로하는터치스크린패널의제조방법을제공한다. 또한, 상기제1 및제2 감지패턴들을형성하는각단계에서, 상기투명기판및제1 절연막상의상기제1 및제 2 감지패턴들사이의더미영역에각각상기더미패턴들을형성하며, 상기투명기판및제1 절연막상에각각교호적으로배치된상기더미패턴들의가장자리영역일부가서로중첩되도록형성할수있다. <16> 효과 이와같은본발명에의하면, 제 1 방향을따라연결되는제 1 감지패턴들과제 2 방향을따라연결되는제 2 감지 - 5 -

6 패턴들을서로다른레이어에배치함에의하여, 마스크수를저감시키고공정을단순화할수있다. <17> 또한, 제 1 감지패턴들사이의더미영역및 / 또는제 2 감지패턴들사이의더미영역에더미패턴들을형성함에의하 여, 제 1 및제 2 감지패턴들이서로다른레이어에배치됨에따른감지패턴들의반사율차를개선할수있다. <18> <19> <20> <21> <22> <23> <24> <25> <26> <27> <28> <29> <30> <31> 발명의실시를위한구체적인내용이하, 첨부된도면을참조하여본발명의실시예를보다상세히설명하기로한다. 도 1은본발명의실시예에의한감지패턴들의배치를나타낸평면도이다. 도 1을참조하면, 본발명의실시예에의한감지패턴들은, 서로교호적으로배치되며 X 좌표가동일한하나의열또는 Y 좌표가동일한하나의행단위로서로연결되도록형성된제1 및제2 감지패턴들 (12, 14) 을포함한다. 예를들어, 제1 감지패턴들 (12) 은제1 방향 ( 열방향 ) 을따라 X 좌표가동일한하나의열에배치된감지패턴들끼리서로연결되도록형성된다수의 X 패턴들로구성될수있다. 그리고, 제2 감지패턴들 (14) 은제2 방향 ( 행방향 ) 을따라 Y 좌표가동일한하나의행에배치된감지패턴들끼리서로연결되도록형성된다수의 Y 패턴들로구성될수있다. 단, 본발명에서제1 감지패턴들 (12) 과제2 감지패턴들 (14) 은각각서로다른레이어에배치된다. 예를들어, 제1 감지패턴들 (12) 은하부레이어에위치되고, 제2 감지패턴들 (14) 은상부레이어에위치될수있다. 그리고, 이들사이에는도시되지않은절연막이개재된다. 전술한바와같이, 제1 감지패턴들 (12) 과제2 감지패턴들 (14) 을서로다른레이어에배치하면, 제1 감지패턴들 (12) 을패터닝함과동시에동일한열에위치된제1 감지패턴들 (12) 을서로연결하고, 제2 감지패턴들 (14) 을패터닝함과동시에동일한행에위치된제2 감지패턴들 (14) 을서로연결할수있다. 따라서, 별도의컨택홀및연결패턴들을형성하는과정을생략할수있어, 마스크수가저감되고공정이단순화된다. 도 2는본발명의일실시예에의한터치스크린패널의분해평면도이고, 도 3은도 2에도시된터치스크린패널의결합평면도이다. 도 2 내지도 3을참조하면, 본발명의일실시예에의한터치스크린패널 (10) 은투명기판 (11) 과, 투명기판 (11) 상에순차적으로형성된제1 감지패턴들 (12), 제1 절연막 (13), 제2 감지패턴들 (14), 금속패턴들 (15) 및제 2 절연막 (16) 을포함한다. 여기서, 제1 감지패턴들 (12) 사이의더미영역과제2 감지패턴들 (14) 사이의더미영역에는다수의더미패턴들 (DX, DY) 이형성된다. 제1 감지패턴들 (12) 은투명기판 (11) 의일면상에제1 방향을따라연결되도록형성된다. 예컨대, 제1 감지패턴들 (12) 은투명기판 (11) 의상부면상에다이아몬드패턴과같이규칙적인패턴으로밀접되도록형성되며, X 좌표가동일한하나의열에위치된제1 감지패턴들 (12) 끼리서로연결되도록형성된다수의 X 패턴들로구성될수있다. 여기서, 제1 감지패턴들 (12) 의형상은다이아몬드형상에한정되는것은아니며, 감지패턴들이밀접될수있는다양한형상으로구현될수있다. 그리고, 제1 감지패턴들 (12) 은열단위로금속패턴들 (15) 과전기적으로연결될수있도록패드 (12a) 를구비한다. 제1 감지패턴들 (12) 의패드 (12a) 는열단위로상, 하측에교번적으로구비되거나, 혹은상, 하측모두에구비될수있다. 단, 제1 감지패턴들 (12) 은제2 감지패턴들 (14) 과중첩되는영역에는형성되지않는다. 그리고, 제1 감지패턴들 (12) 사이의더미영역, 즉, 제2 감지패턴들 (14) 과중첩되는영역을포함한투명기판 (11) 상의더미영역에는 X 더미패턴들 (DX)( 제1 더미패턴들 ) 이형성된다. 이와같은제1 감지패턴들 (12) 과 X 더미패턴들 (DX) 은동일한공정단계에서서로동일한물질로형성된다. 이때, 터치스크린패널 (10) 의하부에배치되는표시패널 ( 미도시 ) 등에서방출되는빛이터치스크린패널 (10) 을투과할수있도록제1 감지패턴들 (12) 과 X 더미패턴들 (DX) 은투명전극물질로형성된다. 예를들어, 제1 감지패턴들 (12) 과 X 더미패턴들 (DX) 은 100 내지 300 A 두께의인듐-틴옥사이드 ( 이하, ITO) 패턴으로형성될수있다. 제1 절연막 (13) 은제1 감지패턴들 (12) 및 X 더미패턴들 (DX) 상에이들을커버하도록형성된다. 예를들어, 제1-6 -

7 절연막 (13) 은제 1 감지패턴들 (12) 및 X 더미패턴들 (DX) 상에 400 내지 1000 A 두께로형성될수있다. <32> <33> <34> <35> <36> <37> <38> <39> <40> <41> <42> <43> <44> <45> 제2 감지패턴들 (14) 은제1 절연막 (13) 상에제2 방향을따라연결되도록형성되되, 제1 감지패턴들 (12) 과중첩되지않도록상기제1 감지패턴들 (12) 과교호적으로배치된다. 예컨대, 제2 감지패턴들 (14) 은제1 감지패턴들 (12) 과동일한다이아몬드패턴으로밀접되도록형성되며, Y 좌표가동일한하나의행에위치된제2 감지패턴들 (14) 끼리서로연결되도록형성된다수의 Y 패턴들로구성될수있다. 그리고, 제2 감지패턴들 (14) 은행단위로금속패턴들 (15) 과전기적으로연결될수있도록패드 (14a) 를구비한다. 제2 감지패턴들 (14) 의패드 (14a) 는행단위로좌, 우측에교번적으로구비되거나, 혹은좌, 우측모두에구비될수있다. 단, 제2 감지패턴들 (14) 사이의더미영역, 즉, 제1 감지패턴들 (12) 과중첩되는영역을포함한제1 절연막 (13) 상의더미영역에는 Y 더미패턴들 (DY)( 제2 더미패턴들 ) 이형성된다. 이와같은제2 감지패턴들 (14) 및 Y 더미패턴들 (DY) 은동일한공정단계에서서로동일한물질로형성된다. 예컨대, 제2 감지패턴들 (14) 및 Y 더미패턴들 (DY) 은제1 감지패턴들 (12) 및 X 더미패턴들 (DX) 과동일한투명전극물질로형성될수있다. 예를들어, 제2 감지패턴들 (14) 과 Y 더미패턴들 (DY) 은 100 내지 300 A 두께의 ITO 패턴으로형성될수있다. 금속패턴들 (15) 은제1 및제2 감지패턴들 (12, 14) 이형성되는영역의가장자리영역, 특히, 제1 및제2 감지패턴들 (12, 14) 의패드 (12a, 14a) 와대응되는영역에배치된다. 이와같은금속패턴들 (15) 은하나의열또는행단위의감지패턴들 (12, 14) 을각각위치검출라인 ( 미도시 ) 과전기적으로연결하여도시되지않은구동회로등으로접촉위치검출신호가공급되도록한다. 제2 절연막 (16) 은제2 감지패턴들 (14) 및 Y 더미패턴들 (DY) 상에이들을커버하도록형성된다. 예를들어, 제2 절연막 (16) 은제2 감지패턴들 (14) 및 Y 더미패턴들 (DY) 상에 400 내지 1000 A 두께로형성될수있다. 이와같은제2 절연막 (16) 은제품설계에따라생략될수도있다. 전술한바와같은터치스크린패널 (10) 의각구성요소들이도 3에도시된바와같이결합된상태에서, 사람의손또는물체가터치스크린패널 (10) 에접촉되면제1 및제2 감지패턴들 (12, 14), 금속패턴들 (15) 및위치검출라인을경유하여구동회로측으로접촉위치에따른정전용량의변화가전달된다. 그리고, X 및 Y 입력처리회로 ( 미도시 ) 등에의해정전용량의변화가전기적신호로변환됨에의해접촉위치가파악된다. 전술한바와같은터치스크린패널 (10) 에있어서, X 및 Y 더미패턴들 (DX, DY) 은각각이분리된패턴을갖는것으로, 접촉위치를감지하는등의기능을수행하지는않는다. 하지만, X 더미패턴들 (DX) 은제2 감지패턴들 (14) 과중첩되도록제2 감지패턴들 (14) 의하부에배치되고, Y 더미패턴들 (DY) 은제1 감지패턴들 (12) 과중첩되도록제1 감지패턴들 (12) 의상부에배치됨으로써, 제1 및제2 감지패턴들 (12, 14) 이서로다른레이어에배치됨에따른감지패턴들 (12, 14) 의반사율차를개선할수있다. 이에대한보다상세한설명은도 4를참조하여후술하기로한다. 도 4는도 2에도시된터치스크린패널의요부결합단면도이다. 도 4를설명할때, 도 2 내지도 3과동일한부분에대해서는동일부호를부여하고, 이에대한상세한설명은생략하기로한다. 도 4를참조하면, 제1 감지패턴들 (12) 사이의더미영역에는제2 감지패턴들 (14) 과대응되도록 X 더미패턴들 (D X) 이형성됨과아울러, 제2 감지패턴들 (14) 사이의더미영역에는제1 감지패턴들 (12) 과대응되도록 Y 더미패턴들 (DY) 이형성된다. 이에따라, 제1 감지패턴들 (12) 이형성되는레이어와제2 감지패턴들 (14) 이형성되는레이어가서로대응되는유사패턴을포함하게되어, 터치스크린패널 (10) 에동일한입사각으로입사된광은거의동일한정도로반사 ( 또는투과 ) 된다. 또한, 도 4에서는터치스크린패널 (10) 로입사된외광이상부의제2 감지패턴들 (14) 및 Y 더미패턴들 (DY) 에의하여반사되는경로만을도시하였지만, 제2 감지패턴들 (14) 및 Y 더미패턴들 (DY) 을투과한광들도제1 감지패턴들 (12) 및 X 더미패턴들 (DX) 에의하여동일한정도로반사된다. 또한, 터치스크린패널 (10) 의하부, 예컨대, 액정표시패널등의표시패널 ( 미도시 ) 로부터의광이터치스크린패널 (10) 로입사될때에도더미패턴들 (DX, DY) 에의하여제1 감지패턴들 (12) 및제2 감지패턴들 (14) 이형성된영역모두에서동일한정도로반사및투과된다

8 <46> <47> <48> <49> <50> <51> <52> <53> <54> <55> <56> <57> <58> <59> <60> 즉, 본실시예에서와같이 X 더미패턴들 (DX) 및 Y 더미패턴들 (DY) 을형성함에의하여, 감지패턴들 (12, 14) 의반사율차를개선할수있다. 이에의해, 균일한영상을표시할수있다. 한편, 감지패턴들 (12, 14) 과더미패턴들 (DX, DY) 이형성된투명기판 (11) 의일면과반대되는타측면, 예컨대, 투명기판 (11) 의하부면에는투명접지전극 (17) 과, 투명접지전극 (17) 을커버하는제3 절연막 (18) 이더형성될수있다. 단, 투명접지전극 (17) 및 / 또는제3 절연막 (18) 은제품설계에따라생략되는것도가능하다. 투명접지전극 (17) 은터치스크린패널 (10) 과표시패널등의사이에서안정성을확보하는데이용될수있고, 터치스크린패널 (10) 의설계방식에따라서는제1 및제2 감지패턴들 (12, 14) 과정전용량을형성하는데에도이용될수있다. 즉, 정전용량의터치스크린패널 (10) 에서, 접촉위치를감지하기위해제1 감지패턴 (12) 과제2 감지패턴 (14) 사이의정전용량이이용되거나, 혹은제1 및제2 감지패턴 (12, 14) 과투명접지전극 (17) 사이의정전용량이이용될수있는것으로, 이는다양하게변형실시가가능하다. 도 5a 내지도 5e는도 4에도시된터치스크린패널의제조방법을순차적으로도시한단면도이다. 우선, 도 5a를참조하면, 투명기판 (11) 상부에 ITO와같은투명전극물질을성막한후패터닝하여제1 감지패턴들 (12) 및 X 더미패턴들 (DX) 을형성한다. 여기서, 제1 감지패턴들 (12) 및 X 더미패턴들 (DX) 의패턴을명확하게도시하기위하여제1 감지패턴들 (12) 의연결부를도시하지않았지만, 제1 감지패턴들 (12) 은제1 방향 ( 예컨대, 열방향 ) 을따라연결되도록패터닝된다. 여기서, X 더미패턴들 (DX) 은제1 감지패턴들 (12) 사이의더미영역에형성된다. 이후, 도 5b에도시된바와같이, 제1 감지패턴들 (12) 및 X 더미패턴들 (DX) 상에프린팅기법을이용하여제1 절연물질을프린팅하고소성하여제1 절연막 (13) 을형성한다. 한편, 제1 절연막 (13) 을프린팅기법으로형성하는것은단지하나의실시예로본발명이이에한정되는것은아니다. 예를들어, 제1 절연막 (13) 은 CVD나스퍼터링등을통해서도형성될수있음은물론이다. 이후, 도 5c에도시된바와같이, 제1 절연막 (13) 상에 ITO와같은투명전극물질을성막한후패터닝하여제2 감지패턴들 (14) 및 Y 더미패턴들 (DY) 을형성한다. 여기서, 제2 감지패턴들 (14) 은제1 감지패턴들 (12) 과중첩되지않도록 X 더미패턴들 (DX) 상에배치된다.( 단, 제2 감지패턴들 (14) 의연결부는제외될수있음 ) 그리고, Y 더미패턴들 (DY) 은제2 감지패턴들 (14) 사이의더미영역에형성되며, 제1 감지패턴들 (12) 과중첩되도록제1 감지패턴들 (12) 상에배치된다.( 단, 제1 감지패턴들 (12) 의연결부와는중첩되지않을수있음 ) 이때, 도시되지는않았으나, 제2 감지패턴들 (14) 은제2 방향 ( 예컨대, 행방향 ) 을따라연결되도록패터닝된다. 한편, 제2 감지패턴들 (14) 및 Y 더미패턴들 (DY) 을형성한이후에는몰리브덴 / 알루미늄 / 몰리브덴의삼중막또는크롬막등과같이투명전극물질보다면저항이낮은저저항재료를이용하여도 2 내지도 3에도시된금속패턴들 (15) 이형성된다. 이후, 도 5d에도시된바와같이, 제2 감지패턴들 (14), Y 더미패턴들 (DY) 및금속패턴들 ( 도 2 내지도 3의 15) 상에프린팅기법, CVD 또는스퍼터링등을이용하여제2 절연물질을프린팅하고소성하여제2 절연막 (16) 을형성한다. 이후, 도 5e에도시된바와같이, 투명기판 (11) 의하부면에투명접지전극 (17) 을전면적으로성막함과아울러, 프린팅기법, CVD 또는스퍼터링등을이용하여투명접지전극 (17) 을커버하도록제3 절연막 (18) 을형성한다. 한편, 도 2 내지도 5e를참조하여전술한본발명의일실시예에서는, 제1 감지패턴들 (12) 사이의더미영역및제2 감지패턴들 (14) 사이의더미영역에 X 및 Y 더미패턴들 (DX, DY) 을모두형성하였지만, 본발명이이에한정되는것은아니다. 예를들어, 도 6a에도시된바와같이제1 감지패턴들 (12) 사이의더미영역에만 X 더미패턴들 (DX) 이형성되거나, 도 6b에도시된바와같이제2 감지패턴들 (14) 사이의더미영역에만 Y 더미패턴들 (DY) 이형성될수도있다. 이경우, 제1 및제2 감지패턴들 (12, 14) 은서로다른투명전극물질로형성될수있고, X 또는 Y 더미패턴들 (DX, DY) 은감지패턴들 (12, 14) 의반사율차를개선하기위해선택적으로제1 감지패턴들 (12) 사이또는제2 감지패턴들 (14) 사이에배치될수있다. 도 7은본발명의또다른실시예에의한터치스크린패널의분해평면도이고, 도 8은도 7에도시된터치스크 - 8 -

9 린패널의요부결합단면도이다. 도 7 내지도 8 을설명할때, 전술한실시예들과동일한부분에대한상세한 설명은생략하기로한다. <61> <62> <63> 도 7 내지도 8을참조하면, X 및 Y 더미패턴들 (DX', DY') 은각각제1 감지패턴들 (12) 및제2 감지패턴들 (14) 에보다인접되도록확장되어형성된다. 예컨대, X 및 Y 더미패턴들 (DX', DY') 은각각제1 감지패턴들 (12) 및제2 감지패턴들 (14) 과의간격이 5 내지 20 μm가되도록형성될수있다. 이때, 제1 및제2 감지패턴들 (12, 14) 의연결부주변에서는상기연결부의형상을따라 X 및 Y 더미패턴들 (DX', DY') 의형상이변경될수있다. 이경우, 도 8에도시된바와같이투명기판 (11) 및제1 절연막 (13) 상에각각교호적으로배치된 X 더미패턴 (DX') 과 Y 더미패턴 (DY') 의가장자리영역일부가서로중첩될수있다. 이에따라, 평면상에서제1 및제2 감지패턴들 (12, 14) 과 X 및 Y 더미패턴들 (DX', DY') 사이의라인형상의갭 (gap) 이사용자에게인식됨으로인한화질저하를방지할수있다. 본발명의기술사상은상기바람직한실시예에따라구체적으로기술되었으나, 상기한실시예는그설명을위한것이며그제한을위한것이아님을주의하여야한다. 또한, 본발명의기술분야의통상의지식을가진자라면본발명의기술사상의범위내에서다양한변형예가가능함을이해할수있을것이다. <64> <65> <66> <67> <68> <69> <70> <71> <72> <73> <74> <75> <76> 도면의간단한설명도 1은본발명의실시예에의한감지패턴들의배치를나타낸평면도이다. 도 2는본발명의일실시예에의한터치스크린패널의분해평면도이다. 도 3은도 2에도시된터치스크린패널의결합평면도이다. 도 4는도 2에도시된터치스크린패널의요부결합단면도이다. 도 5a 내지도 5e는도 4에도시된터치스크린패널의제조방법을순차적으로도시한단면도이다. 도 6a 및도 6b는본발명의다른실시예에의한터치스크린패널의분해평면도이다. 도 7은본발명의또다른실시예에의한터치스크린패널의분해평면도이다. 도 8은도 7에도시된터치스크린패널의요부결합단면도이다. < 도면의주요부분에대한부호의설명 > 10, 10', 10", 10'": 터치스크린패널 11: 투명기판 12: 제1 감지패턴 13: 제1 절연막 14: 제2 감지패턴 15: 금속패턴 16: 제2 절연막 DX, DX', DY, DY': 더미패턴 도면 도면 1-9 -

10 도면 2 도면

11 도면 4 도면 5a 도면 5b 도면 5c

12 도면 5d 도면 5e

13 도면 6a

14 도면 6b

15 도면 7 도면