(72) 발명자 강경태 서울서초구반포본동반포주공아파트 110 동 105 호 강희석 경기용인시수지구풍덕천동삼성쉐르빌 102 동 202 호 박문수 경기용인시기흥구신갈동도현마을현대 호 박승인 경기수원시영통구영통동 층 - 2 -
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- 희진 황보
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1 (51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) B81B 7/00 ( ) (21) 출원번호 (22) 출원일자 2007 년 01 월 23 일 심사청구일자 2007 년 01 월 23 일 (65) 공개번호 (43) 공개일자 2008 년 07 월 28 일 (56) 선행기술조사문헌 KR A* Sensors and Actuators A 120 pp ( )* * 는심사관에의하여인용된문헌 (45) 공고일자 2008년09월30일 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2008년09월23일 (73) 특허권자 한국생산기술연구원 충남천안시입장면홍천리 35-3 (72) 발명자 황준영 경기용인시수지구동천동수진마을써니벨리 호 이상호 서울관악구봉천 9 동 ( 뒷면에계속 ) (74) 대리인 공인복 전체청구항수 : 총 23 항심사관 : 민정임 (54) 상변화방식마이크로구동기, 이구동기의작동액실내온도제어방법및이구동기를적용한마이크로펌프 (57) 요약 본발명에따른마이크로펌프에사용되는마이크로구동기는, 전압을인가하면열을발생하는마이크로히터를내장하고있는하부기판 ; 상기히터를내장하고있는하부기판상부에작동액을넣을수있도록형성된작동액실 ; 및히터에서발생된열에의해작동액이기화하면서팽창되도록제작된구동박막을포함하여, 전압을인가하면히터에서발생된열로작동액실에채워진작동액이기화되면서발생하는압력으로박막이팽창하고, 히터에인가되고있는전압을끊으면증기가응축하면서박막이원상으로수축되도록한다. 또한, 본발명에서는작동액실의온도를측정하는온도센서 ; 및일정하게유지시키고자하는작동액실의기준온도를설정하고, 상기작동액실의온도가상기기준온도인지그여부를판단하며, 상기작동액실의온도가상기기준온도이면현상태를계속유지하고, 상기작동액실의온도가상기기준온도가아니면히터전력을제어하여작동액실의온도를상기기준온도로유지하는제어부를더포함하여, 상기기준온도로유지된작동액실내의작동액을상변화하고자할경우, 히터에인가되는전력의미세조정을통해작동액의상변화를최대한빨리이루어지도록하는것을특징으로한다. 대표도 - 도 2-1 -
2 (72) 발명자 강경태 서울서초구반포본동반포주공아파트 110 동 105 호 강희석 경기용인시수지구풍덕천동삼성쉐르빌 102 동 202 호 박문수 경기용인시기흥구신갈동도현마을현대 호 박승인 경기수원시영통구영통동 층 - 2 -
3 특허청구의범위청구항 1 마이크로펌프에사용되는마이크로구동기에있어서, 전압을인가하면열을발생하는마이크로히터를내장하고있는하부기판 ; 상기히터를내장하고있는하부기판상부에작동액을넣을수있도록형성된작동액실 ; 및히터에서발생된열에의해작동액이기화하면서팽창되도록제작된구동박막을포함하여, 전압을인가하면히터에서발생된열로작동액실에채워진작동액이기화되면서발생하는압력으로박막이팽창하고, 히터에인가되고있는전압을끊으면증기가응축하면서박막이원상으로수축되도록하며, 작동액실의온도를측정하는온도센서 ; 및일정하게유지시키고자하는작동액실의기준온도를설정하고, 상기작동액실의온도가상기기준온도인지그여부를판단하며, 상기작동액실의온도가상기기준온도이면현상태를계속유지하고, 상기작동액실의온도가상기기준온도가아니면히터전력을제어하여작동액실의온도를상기기준온도로유지하는제어부를더포함하여, 상기기준온도로유지된작동액실내의작동액을상변화하고자할경우, 히터에인가되는전력의미세조정을통해작동액의상변화를최대한빨리이루어지도록하고, 상기작동액실의표면을요철형상으로설계하여상기작동액실내작동액과히터부착면의접촉면적을증가시켜작동액의기화및응축이빨리이루어지도록하는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기. 청구항 2 제 1항에있어서, 상기구동박막과상기하부기판간접착은, 상기하부기판에상기구동박막을선택적으로접착하기위하여감광막을도포하고패터닝하고, 상기감광막이패터닝된하부기판을소정의시간동안산소플라즈마로표면처리한후, 표면처리된하부기판표면에실리코운러버재질의상기구동박막을소정의압력으로소정의시간동안밀착시킴으로써, 밀착표면에서발생하는공유결합에의해상기구동박막과하부기판간접착이이루어지는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기. 청구항 3 제 1항에있어서, 상기히터전력제어방식은히터에인가되는전압펄스의듀티비 (%) 를제어하는방식인것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기. 청구항 4 제 1항에있어서, 상기히터전력제어방식은히터에인가되는전압펄스의주기를제어하는방식인것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기. 청구항 5 제 1항에있어서, 상기작동액실의온도측정은 RTD 센서를이용하는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기. 청구항 6-3 -
4 삭제청구항 7 제 2항에있어서, 상기히터전력제어방식은히터에인가되는전압펄스의듀티비 (%) 를제어하는방식인것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기. 청구항 8 제 2항에있어서, 상기히터전력제어방식은히터에인가되는전압펄스의주기를제어하는방식인것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기. 청구항 9 제 2항에있어서, 상기작동액실의온도측정은 RTD 센서를이용하는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기. 청구항 10 제 2항에있어서, 상기작동액실의표면을요철형상으로설계하여상기작동액실내작동액과히터부착면의접촉면적을증가시켜작동액의기화및응축이빨리이루어지도록하는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기. 청구항 11 제 3항에있어서, 상기작동액실의온도측정은 RTD 센서를이용하는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기. 청구항 12 제 3항에있어서, 상기작동액실의표면을요철형상으로설계하여상기작동액실내작동액과히터부착면의접촉면적을증가시켜작동액의기화및응축이빨리이루어지도록하는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기. 청구항 13 제 4항에있어서, 상기작동액실의온도측정은 RTD 센서를이용하는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기. 청구항 14 제 4항에있어서, 상기작동액실의표면을요철형상으로설계하여상기작동액실내작동액과히터부착면의접촉면적을증가시켜작동액의기화및응축이빨리이루어지도록하는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기. 청구항 15 제 1항내지 5항, 7항내지 14항중어느한항의상변화방식마이크로구동기에, 상기구동박막의상측에상기구동박막과경계로유체공간및유로를더포함하여이루어지는것을특징으로하는마이크로펌프. 청구항
5 제 1항내지 5항, 7항내지 14항중어느한항의상변화방식마이크로구동기에, 상기구동박막의운동에의해부피가변화하는공간인펌핑액실 ; 상기펌핑액실에연결되어유체가드나드는유입구와유출구 ; 및상기펌핑액실과유입구사이, 상기펌핑액실과유출구사이에설계된한쌍의디퓨저를포함하는상부기판을추가로접합하여이루어지는것을특징으로하는마이크로펌프. 청구항 17 상변화방식마이크로구동기에서의작동액실내온도를일정하게유지하기위한온도제어방법에있어서, 일정하게유지시키고자하는작동액실의기준온도를설정하는단계 ; 상기작동액실의온도를측정하는단계 ; 상기작동액실의온도가상기기준온도인지그여부를판단하는단계 ; 및상기작동액실의온도가상기기준온도이면현상태를계속유지하고, 상기작동액실의온도가상기기준온도가아니면히터전력을제어하여작동액실의온도를상기기준온도로유지하는단계 ; 를포함하여, 상기기준온도로유지된작동액실내의작동액을상변화하고자할경우, 히터에인가되는전력의미세조정을통해작동액의상변화를최대한빨리이루어지도록하며, 상기작동액실의표면을요철형상으로설계하여상기작동액실내작동액과히터부착면의접촉면적을증가시켜작동액의기화및응축이빨리이루어지도록하는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법. 청구항 18 제 17항에있어서, 일정하게유지시키고자하는작동액실의기준온도를상기작동액의상변화온도미만이면서최대온도로설정하는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법. 청구항 19 제 17항에있어서, 일정하게유지시키고자하는작동액실의기준온도를, 상기작동액의상변화온도를초과하면서최저온도로설정하는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법. 청구항 20 제 17항내지제 19항중어느한항에있어서, 상기히터전력제어방식은히터에인가되는전압펄스의듀티비를제어하는방식인것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법. 청구항 21 제 17항내지제 19항중어느한항에있어서, 상기히터전력제어방식은히터에인가되는전압펄스의주기를제어하는방식인것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법. 청구항 22 제 17항내지제 19항중어느한항에있어서, 상기작동액실의온도측정은 RTD 센서를이용하는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법
6 청구항 23 삭제청구항 24 제 20항에있어서, 상기작동액실의표면을요철형상으로설계하여상기작동액실내작동액과히터부착면의접촉면적을증가시켜작동액의기화및응축이빨리이루어지도록하는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법. 청구항 25 제 21항에있어서, 상기작동액실의표면을요철형상으로설계하여상기작동액실내작동액과히터부착면의접촉면적을증가시켜작동액의기화및응축이빨리이루어지도록하는것을특징으로하는상변화방식마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법. 명세서 발명의상세한설명 발명의목적 <20> <21> <22> <23> 발명이속하는기술및그분야의종래기술본발명은마이크로펌프에사용되는상변화구동방식마이크로구동기및상기구동기의작동액실내온도제어방법에관한것으로, 특히히터에인가되는전력의미세조정을통해서도작동액의상변화를최대한빨리이루어지도록한마이크로구동기및이구동기의작동액실내온도제어방법에관한것이다. 지금까지개발된마이크로펌프는분석시스템의유체이송에사용될목적으로고안되었으며, 이경우전체시스템의전력소모에비하여마이크로펌프의전력소모비율이크지않아서마이크로펌프의전력소모량은중요한이슈가아니었다. 그러나최근대두되고있는초소형연료전지나각종휴대용 착용 IT 기기및바이오 의료기기에사용되는마이크로펌프의경우는마이크로펌프의전력소모량이상기기기의 1회충전사용시간에영향을주는가장큰요인으로작용하고있다. 이러한배경에서, 상기초소형연료전지나휴대용 착용 IT 기기및바이오 의료기기에사용되는마이크로펌프는정밀한제어나개선된구동원리를적용하여본래의펌프기능을수행하면서도고에너지효율, 저전력소모의특징을갖추는것이매우중요하다. 본발명에서는초소형연료전지나휴대용 착용 IT 기기및바이오 의료기기분야의적용에서요구되는고에너지효율, 저전력소모의마이크로펌프용상변화방식마이크로구동기와그마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법을제시하고자한다. <24> <25> <26> 발명이이루고자하는기술적과제본발명의목적은히터에인가되는전력의미세조정을통해서도작동액의상변화를최대한빨리이루어지도록하기위해평시에작동액실내의온도를일정하게유지시키는상변화방식마이크로구동기, 이구동기의작동액실내온도제어방법및이구동기를적용한마이크로펌프를제공하는데있다. 본발명에서제시한상변화구동마이크로펌프는초당수나노 (10-9 ) 리터에서수백마이크로 (10-6 ) 리터의액체시료를정량적으로공급하고제어할수있다. 본발명의마이크로펌프는액체에서기체로의상변화시에발생하는부피팽창현상을이용하는열공압형마이크로구동장치이다. 상변화구동방식은낮은전압으로큰구동력을얻을수있다. 상변화마이크로구동기에사용되는막으로는작은구동력에도큰변형을얻을수있는고신축성의실리코운러버를사용한다. 본발명의마이크로펌프에는한쌍의수동형마이크로밸브가있으며이수동형마이크로밸브는역류를방지하는체크밸브의기능을갖는다
7 본발명의마이크로펌프는그구조가간단하며마이크로머시닝기술로제작할수있고제작공정이간단하며 집적화가가능하다. <27> <28> <29> <30> <31> <32> <33> <34> <35> <36> <37> <38> <39> <40> <41> 발명의구성및작용상기와같은목적을이루기위해본발명은마이크로펌프에사용되는마이크로구동기에있어서, 전압을인가하면열을발생하는마이크로히터를내장하고있는하부기판 ; 상기히터를내장하고있는하부기판상부에작동액을넣을수있도록형성된작동액실 ; 및히터에서발생된열에의해작동액이기화하면서팽창되도록제작된구동박막을포함하여, 전압을인가하면히터에서발생된열로작동액실에채워진작동액이기화되면서발생하는압력으로박막이팽창하고, 히터에인가되고있는전압을끊으면증기가응축하면서박막이원상으로수축되도록하며, 작동액실의온도를측정하는온도센서 ; 및일정하게유지시키고자하는작동액실의기준온도를설정하고, 상기작동액실의온도가상기기준온도인지그여부를판단하며, 상기작동액실의온도가상기기준온도이면현상태를계속유지하고, 상기작동액실의온도가상기기준온도가아니면히터전력을제어하여작동액실의온도를상기기준온도로유지하는제어부를더포함하여, 상기기준온도로유지된작동액실내의작동액을상변화하고자할경우, 히터에인가되는전력의미세조정을통해작동액의상변화를최대한빨리이루어지도록하는것을특징으로한다. 상기구동박막과상기하부기판간접착은상기하부기판에상기구동박막을선택적으로접착하기위하여감광막을도포하고패터닝하고, 상기감광막이패터닝된하부기판을소정의시간동안산소플라즈마로표면처리한후, 표면처리된하부기판표면에실리코운러버재질의상기구동박막을소정의압력으로소정의시간동안밀착시킴으로써, 밀착표면에서발생하는공유결합에의해상기구동박막과하부기판간접착이이루어지는것을특징으로한다. 또한, 본발명에서는상기상변화방식마이크로구동기에, 상기구동박막의상측에상기구동박막과경계로유체공간및유로를더포함하여마이크로펌프를구성시킬수있다. 또한, 본발명에서는상기상변화방식마이크로구동기에, 상기구동박막의운동에의해부피가변화하는공간인펌핑액실 ; 상기펌핑액실에연결되어유체가드나드는유입구와유출구 ; 및상기펌핑액실과유입구사이, 상기펌핑액실과유출구사이에설계된한쌍의디퓨저를포함하는상부기판을추가로접합하여마이크로펌프를구성시킬수있다. 또한, 본발명은상변화마이크로구동기에서의작동액실내온도를일정하게유지하기위한온도제어방법에있어서, 일정하게유지시키고자하는작동액실의기준온도를설정하는단계 ; 상기작동액실의온도를측정하는단계 ; 상기작동액실의온도가상기기준온도인지그여부를판단하는단계 ; 및상기작동액실의온도가상기기준온도이면현상태를계속유지하고, 상기작동액실의온도가상기기준온도가아니면히터전력을제어하여작동액실의온도를상기기준온도로유지하는단계 ; 를포함하여, 상기기준온도로유지된작동액실내의작동액을상변화하고자할경우, 히터에인가되는전력의미세조정을통해작동액의상변화를최대한빨리이루어지도록하는것을특징으로한다. 본발명에서는상기일정하게유지시키고자하는작동액실의기준온도를상기작동액의상변화온도미만이면서최대온도로설정할수도있고, 상기작동액의상변화온도를초과하면서최저온도로설정할수도있다. 상기히터전력제어방식에는그일례로, 히터에인가되는전압펄스의듀티비를제어하는방식또는히터에인가되는전압펄스의주기를제어하는방식등이있다. 상기작동액실의온도측정은 RTD 센서를이용하는것이바람직하다. 본발명에서는상기작동액실의표면을요철형상으로설계하여상기작동액실내작동액과히터부착면의접촉면적을증가시켜작동액의기화및응축이빨리이루어지도록하는것을특징으로한다. 이하, 첨부된도면을참조하여본발명에따른바람직한실시예를상세하게설명하고자한다. 도 1은본발명의일실시예에따른마이크로구동기의단면도이다
8 <42> <43> <44> <45> <46> <47> <48> <49> <50> <51> <52> <53> <54> <55> <56> <57> 도면을참조하면, 본발명에따른마이크로구동기는전압을인가하면열을발생하는마이크로히터 (1) 를내장하고있는하부기판 (3); 상기히터 (1) 를내장하고있는하부기판상부에작동액주입구 (6) 를통하여작동액을넣을수있도록형성된작동액실 (5); 히터 (1) 에서발생된열에의해작동액이기화하면서발생하는증기압에의하여팽창되도록제작된구동박막 (4) 을포함하여, 전압을인가하면히터 (1) 에서발생된열로작동액실 (5) 에채워진작동액이기화되면서발생하는압력으로구동박막 (4) 이팽창하고, 히터 (1) 에전압을인가하지않으면기화된증기가응축하면서박막 (4) 이원상으로수축되도록구성된다. 또한, 본발명에서는온도센서 (2) 및제어부 ( 미도시됨 ) 를더포함하는데, 상기온도센서 (2) 는작동액실 (5) 의온도를측정한다. 제어부는일정하게유지시키고자하는작동액실 (5) 의기준온도를설정하고, 상기작동액실 (5) 의온도가상기기준온도인지그여부를판단하며, 상기작동액실의온도가상기기준온도이면현상태를계속유지하고, 상기작동액실 (5) 의온도가상기기준온도가아니면히터 (1) 에인가되는전력을제어하여작동액실 (5) 의온도를상기기준온도로유지하도록한다. 도 7에서도상세히설명되겠지만, 일정하게유지시키고자하는작동액실의기준온도는작동액실에있는작동액의종류에따라달라지며, 또한상변화방식에따라달라진다. 여기서, 상변화방식이라함은, 액체에서기체로의상변화, 기체에서액체로의상변화를말한다. 상기와같이, 작동액실의온도를일정하게유지시키는이유는추후작동액실내의작동액의상변화를용이하면서빠르게이루어지도록하기위한것이다. 다시말하면, 작동액실의온도를일정하게유지한상태에서상기히터에인가되는전력의미세조정을통해작동액의상변화를최대한빨리이루어지도록할수있으며, 이로인해밸브의빠른온 / 오프제어도가능해진다.( 도 7 참조 ) 상기히터전력제어방식은다양하나, 그일례로, 히터에인가되는전압펄스의듀티비 (%) 를제어하는방식, 히터에인가되는전압펄스의주기를제어하는방식등이있다. 상기히터 (1) 의재질로는금속재질이바람직하며, 상기온도센서 (2) 는백금재질의 RTD 센서가바람직하다. 도 2는본발명의일실시예로서히터가부착된하부기판과작동액실내작동액과의접촉면을요철형상으로제작하여상기접촉면을증가시킨마이크로구동기의단면도이다. 도면에도도시된바와같이, 본발명에서는상기작동액실 (5) 내작동액과접촉하는하부기판 (3) 의접촉면적을증가시키기위해, 하부기판 (3) 의히터 (1) 및온도센서 (2) 부착면을요철 ( 凹凸 ) 형상으로설계하였다. 도면부호 7a는돌출부이고, 7b는요홈부이다. 이를보다상세히설명하면, 본발명에서는상기히터 (1) 로가열하여작동액실 (5) 내작동액을기화시키는과정에서, 상기히터 (1) 에서발생된열은작동액에비해전기전도도가높은하부기판 (3) 의온도를신속히상승시키므로, 작동액실로의열전달은상기히터 (1) 뿐만아니라상기하부기판 (3) 의표면을통해서도이루어진다. 반대로기화된작동액증기를냉각하여응축시키는과정에서도, 상대적으로온도가낮은외기에의하여상기하부기판 (3) 이냉각되면, 상기하부기판 (3) 과작동액과의접촉표면을통하여열전달이이루어진다. 따라서도 2와같이상기하부기판의표면을요철형상으로설계하여작동액과의접촉면적으로증가시키면더욱신속히더욱많은양의작동액을기화또는응축시킴으로서구동기의응답특성을개선시킬수있다. 도 3은본발명의일실시예에따른마이크로구동기의하부기판 (3) 의평면도이다. 도면은도 2에서설명한하부기판 (3) 에설계된요철모양의접촉면과히터 (1) 및온도센서 (2) 의배치의일례를보다쉽게이해할수있도록도시하였다. 도 4와도 5는본발명의일실시예에따른마이크로구동기의적용예로서, 상기구동기에유 출입구와밸브및펌핑액실이포함된상부기판을접합하여구성한마이크로펌프의단면도와분해사시도이다. 본발명에서는상기구동박막 (5) 의운동에의해부피가변화하는공간인펌핑액실 (15); 상기펌핑액실 (15) 에연결되어유체가드나드는유입구 (11) 와유출구 (12); 상기펌핑액실 (15) 과상기유입구 (11) 사이, 펌핑액실 (15) 과유출구 (12) 사이에설계된한쌍의디퓨저 (13) 를포함하는상부기판 (14) 을마이크로구동기에추가로접합함으로써도 3과같이마이크로펌프를구성할수있다
9 <58> <59> <60> <61> <62> <63> <64> <65> <66> <67> <68> <69> <70> <71> <72> 도 6은본발명의일실시예에따른마이크로구동기의제작공정도이다. 도 6a에서와같이먼저 P 타입실리콘기판 (21) 위에가열로를사용하여실리콘옥사이드 (22) 를증착하였다. 상기실리콘옥사이드 (22) 는감광제와함께에칭공정진행시실리콘웨이퍼를보호하는보호막역할을하여정확한형상의구동기제작을돕는다. 다음은도 6b와같이 Deep RIE (Reactive Ion Etching) 장비를이용한사진식각공정을통하여요철모양의작동액실 (5) 을형성시킨다. 다음은식각면의절연을위하여도 6c와같이 CVD (Chemical Vapor Deposition) 공정을이용하여실리콘옥사이드 (22) 를다시한번증착시킨다. 다음은감광막을도포한후패터닝하여히터와온도센서가증착될부분을제외한나머지부분에선택적으로감광막을도포한후 E-Beam Evaporator를사용하여타타늄, 백금순서로증착시킨다. 백금만을증착할경우에는실리콘옥사이드와접착이좋지않아서공정후에저항이떨어질위험이있으므로접착력을높이기위하여실리콘옥사이드및백금에접착력이좋은티타늄을먼저증착한다. 증착이끝난후감광제를녹여도 6d와같이원하는부위만금속층 (23) 이남아히터 (1) 층및온도센서 (2) 를구성하게된다. 다음은금속층 (23) 윗면의절연을위하여도 6e와같이 CVD (Chemical Vapor Deposition) 공정을이용하여실리콘옥사이드 (22) 를다시한번증착시킨다. 다음은하부기판의열용량을줄이기위해도 6f와같이 Deep RIE (Reactive Ion Etching) 장비를이용한사진식각공정으로기판의아래부분을식각하여작동액실 (5) 과접하는하부기판의두께를얇게만든다. 마지막으로, 상기공정으로제작된하부기판 (3) 에구동박막 (4) 을접착하기위한일련의단계로서, 접착면 (2 4) 만을선택적으로접착하기위하여감광막을도포하고패터닝하는단계 ; 상기감광막이패터닝된하부기판을소정의시간동안산소플라즈마로표면처리하는단계 ; 표면처리된하부기판표면에실리코운러버재질의상기구동박막 (4) 을소정의압력으로소정의시간동안밀착시킴으로써, 밀착된접착면 (24) 에서발생하는공유결합에의하여상기구동박막 (4) 과상기하부기판 (3) 이접착하는단계를순서대로수행한다. 도 7a는본발명의일실시예에따른상변화마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법을설명하기위한그래프이고, 도 7b는본발명의다른일실시예에따른상변화마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법을설명하기위한그래프이다. 또한, 도 8은본발명의일실시예에따른상변화마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법을나타내는순서도이다. 도 7a 및도 7b에서직선 (a) 는작동액실내에있는작동액의상변화온도를나타내고, 직선 (b) 는일정하게유지시키고자하는작동액실의기준온도이다. 또한구동파 (c) 는히터에인가되는전압펄스이고, (d) 파형은 (c) 파형과같은전압이히터에인가되었을때, 작동액의온도를나타낸다. 도 7a 및도 7b의차이는도 7a에서는직선 (b) 가직선 (a) 의아래에위치하고, 도 7b에서는직선 (b) 가직선 (a) 의위에위치한다. 이를보다상세히설명하면, 도 7a에서는히터등을제어하여작동액실내의온도 (b) 를작동액의상변화온도 (a) 보다낮게설정해놓는다. 그런후, 상변화를통한유체를순방향으로진행하고자할때, 현재히터에인가되는온도를조금더 ( Δt 이상 ) 상승시켜작동액을기화상태로만든다. 여기서 Δt는상변화온도 - 현재작동액실내온도를말한다. 작동액을기화상태에서액화상태로변경할때는작동액실내의온도를낮춰 (b) 온도로일정하게유지시키면된다. 본발명의요지는상기 Δt를최소화시켜히터에가해지는전압을미세조정하여빠른상변화가이루어지도록하기위한것이다. 이를위해작동액실내의온도를일정하게유지시키는것이다. 한편, 도 7b에서는히터등을제어하여작동액실내의온도 (b) 를작동액의상변화온도 (a) 보다높게설정해놓은다. 그런후, 상변화를통한유체를순방향으로진행하고자할때, 현재히터에인가되는온도를조금더낮춰 (Δt 이상 ) 시켜작동액을액화상태로만든다. 작동액을다시기화상태로변경할때는작동액실내의온도를높여 (b) 온도로일정하게유지시키면된다. 이에따라, 본발명에서는작동액실내의온도 (b) 를작동액의상변화온도 (a) 와최대한근접하게유지시키는것이바람직하다. 즉, 일정하게유지시키고자하는작동액실의기준온도를도 7a인경우처럼상기작동액의상변화온도미만이면서최대온도로설정하거나, 도 7b인경우처럼상기작동액의상변화온도를초과하면서최저 - 9 -
10 온도로설정하는것이바람직하다. 다시말하면, Δt 가 '0' 이아니면서 '0' 에가까운수치이면좋다. <73> <74> <75> <76> <77> <78> <79> <80> <81> <82> 도 8을참조하여본발명의일실시예에따른상변화마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법을설명하면다음과같다. 먼저, 본발명에서는일정하게유지시키고자하는작동액실의기준온도를설정한다.(S101) 상기기준온도는작동액에따라달라진다. 이작동액은증발열이작고, 화학적으로안정한액체이며, 사용환경에최적화된끓는점을갖는액체인것이바람직하다. 또한, 상기기준온도는도 7a 및도 7b와같이두가지경우로설정할수있으나이하설명에서는도 7a의경우에한정하여설명한다. 상기와같이, 본발명에서는일정하게유지시키고자하는작동액실의기준온도를설정한후, 상기작동액실의온도를측정한다.(S102) 단계 101 및 102를동시에실시하여도무방하고, 그순서를바꾸어도무방하다. 그런후, 본발명에서는상기작동액실의온도가상기기준온도인지그여부를판단한다.(S103) 단계 103에서작동액실의온도가단계 101에서설정한기준온도와같으면현상태 ( 시스템 ) 를계속유지 (S104) 하나, 그렇지않은경우, 즉작동액실의온도가기준온도와다르면히터전력을제어 (S105) 하여단계 104처럼작동액실의온도를상기기준온도로유지한다. 상기와같이, 기준온도로유지된작동액실내의작동액을상변화하고자할경우, 히터에인가되는전력의미세조정을통해작동액의상변화를최대한빨리이루어지도록할수있다. 상기와같이, 본발명의바람직한실시예를참조하여설명하였지만, 해당기술분야의숙련된당업자라면하기의특허청구범위에기재된본발명의사상및영역으로부터벗어나지않는범위내에서본발명을다양하게수정및변경시킬수있음을이해할수있을것이다. <83> <84> <85> <86> <87> 발명의효과이상에서와같이, 본발명은상변화방식마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법을제공하여 RTD센서피드백을이용한히터를제어함으로써다음과같은효과가발생한다. 첫째, 불필요한온도변화를최소화하여효율과응답특성을개선시킬수있다. 둘째, 사용환경이변화하더라도작동액실의온도를상변화온도에근접하게유지할수있다. 셋째, 상변화온도와센서온도를비교함으로써최적의전력신호파형및주기를결정할수있다. 또한, 상기와같은본발명에따른상변화방식마이크로구동기는초소형연료전지나휴대용 착용 IT 기기및바이오 의료기기분야의적용에서요구되는고에너지효율, 저전력소모의마이크로펌프에사용되어제한된에너지원으로부터최소한의전력을소모함으로써, 시스템의효율을높이고, 휴대용 착용기기의사용시간을증대시키는데기여함으로써, 상기친환경, 미래형제품의상품성을제고하는데크게기여할것으로기대된다. <1> <2> <3> <4> <5> <6> 도면의간단한설명도 1은본발명의일실시예에따른마이크로구동기의단면도이다. 도 2는본발명의일실시예로서히터가부착된하부기판과자동액실내작동액과의접촉면을요철형상으로제작하여상기접촉면을증가시킨마이크로구동기의단면도이다. 도 3은본발명의일실시예에따른마이크로구동기의하부기판의평면도이다. 도 4는본발명의일실시예에따른마이크로구동기의적용예로서, 상기구동기에유 출입구와밸브및펌핑액실이포함된상부기판을접합하여구성한마이크로펌프의단면도이다. 도 5는본발명의일실시예에따른마이크로구동기의적용예로서, 상기구동기에유 출입구와밸브및펌핑액실이포함된상부기판을접합하여구성한마이크로펌프의분해사시도이다. 도 6은본발명의일실시예에따른마이크로구동기의제작공정도이다
11 <7> <8> <9> <10> <11> <12> <13> <14> <15> <16> <17> <18> <19> 도 7a는본발명의일실시예에따른상변화방식마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법을설명하기위한그래프이다. 도 7b는본발명의다른일실시예에따른상변화방식마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법을설명하기위한그래프이다. 도 8은본발명의일실시예에따른상변화방식마이크로구동기에서의작동액실내온도제어방법을나타내는순서도이다. < 도면의주요부분에대한부호의설명 > 1: 히터 2: 온도센서 3: 하부기판 4: 구동박막 5: 작동액실 6: 작동액주입구 7a: 돌출부 7b: 요홈부 11: 유입구 12: 유출구 13: 디퓨저 14: 상부기판 15: 펌핑액실 21: 실리콘기판 (= 하부기판 ) 22: 실리콘옥사이드 23: 금속층 24: 접착면 도면 도면 1 도면
12 도면 3 도면
13 도면 5 도면 6a 도면 6b
14 도면 6c 도면 6d 도면 6e 도면 6f
15 도면 6g 도면 7a 도면 7b
16 도면
특허청구의 범위 청구항 1 복수개의 프리캐스트 콘크리트 부재(1)를 서로 결합하여 연속화시키는 구조로서, 삽입공이 형성되어 있고 상기 삽입공 내면에는 나사부가 형성되어 있는 너트형 고정부재(10)가, 상기 프리캐스 트 콘크리트 부재(1) 내에 내장되도록 배치되는 내부
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) E01D 19/12 (2006.01) E01D 2/00 (2006.01) E01D 21/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0036938 (22) 출원일자 2011년04월20일 심사청구일자 2011년04월20일 (65) 공개번호 10-2012-0119156
특허청구의범위청구항 1 복수개의관통비아홀이형성된웨이퍼의하나이상의관통비아홀을포함하는전도영역에전도층을형성하는전도층형성단계 ; 상기전도층을포함한웨이퍼전체영역에절연층을증착하는절연층증착단계 ; 상기전도층의상부에감광제를도포하고, 상기관통비아홀이형성된위치에관통비아홀의단면적보다작은단
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) H01L 21/60 (2006.01) (21) 출원번호 10-2010-0028172 (22) 출원일자 2010 년 03 월 29 일 심사청구일자 2010 년 03 월 29 일 (65) 공개번호 10-2011-0108779 (43) 공개일자 2011 년 10 월 06 일 (56)
(72) 발명자 김도규 서울특별시성북구장위 3 동 박준일 서울특별시강서구등촌동 서광아파트 103 동 803 호 유형규 경기도광명시광명 4 동한진아파트 101 동 1801 호 - 2 -
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) F25B 30/06 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0088941 (22) 출원일자 2008 년 09 월 09 일 심사청구일자 전체청구항수 : 총 7 항 2008 년 09 월 09 일 (54) 지중열교환기의공급파이프 (11) 공개번호 10-2010-0030143
실용신안 등록청구의 범위 청구항 1 톤백마대가 설치될 수 있도록 일정간격을 두고 설치되는 한 쌍의 지지프레임과, 상기 지지프레임과 지지프레임의 상부를 서로 연결하는 한 쌍의 연결프레임과, 상기 연결프레임의 상부에 일정간격을 두고 다수 설치되어 상기 톤백마대와 그 투입구
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개실용신안공보(U) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) B65B 67/12 (2006.01) B65D 88/16 (2006.01) (21) 출원번호 20-2012-0003587 (22) 출원일자 2012년05월01일 심사청구일자 2012년05월01일 (11) 공개번호 20-2013-0006479 (43) 공개일자
특허청구의범위청구항 1 복수의영상검출부로부터출력되는영상의히스토그램 (histogram) 을계산하는단계 ; 상기복수의영상검출부로부터출력되는영상을히스토그램평활화 (histogram equalization) 하는단계 ; 상기복수의영상검출부중하나의영상검출부를선택하는단계 ; 및
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2014년12월18일 (11) 등록번호 10-1473415 (24) 등록일자 2014년12월10일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) G06T 5/40 (2006.01) H04N 5/217 (2011.01) (21) 출원번호 10-2012-0156871 (22) 출원일자 2012
(72) 발명자강경태서울서초구반포본동반포주공아파트 110동 105호강희석서울강남구대치1동 888 아이파크 106동 802호 황준영 경기용인시수지구동천동수진마을써니벨리 호 김민수 서울특별시강남구압구정동한양아파트 26 동 701 호 - 2 -
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) H05K 3/14 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-0132946 (22) 출원일자 2009 년 12 월 29 일 심사청구일자 2009 년 12 월 29 일 (65) 공개번호 10-2011-0076279 (43) 공개일자 2011 년 07 월 06 일 (56)
(72) 발명자 강경태 서울서초구반포본동반포주공아파트 110 동 105 호 이상호 서울관악구봉천 9 동 윤규영 인천남구용현동 신권용 서울구로구천왕동천왕이펜하우스 6 단지 601 동 1203 호 이발명을지원한국가연구개발사업 과제고유번호 ES-1
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2013년11월20일 (11) 등록번호 10-1331589 (24) 등록일자 2013년11월14일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) H01L 21/28 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0052189 (22) 출원일자 2012 년 05 월 16 일 심사청구일자
특허청구의 범위 청구항 1 맨홀 일부분에 관통되게 결합되는 맨홀결합구와; 상기 맨홀결합구의 전방에 연통되게 형성되어 토양속에 묻히게 설치되고, 외주면에는 지하수가 유입될 수 있는 다수의 통공이 관통 형성된 지하수유입구와; 상기 맨홀결합구의 후방에 연통되고 수직으로 세워
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개특허공보(A) G01F 23/02 (2006.01) G01F 23/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2007-0096769 (22) 출원일자 2007년09월21일 심사청구일자 전체 청구항 수 : 총 5 항 (54) 지하수위 관측장치 2007년09월21일 (11) 공개번호 10-2009-0031004
(52) CPC 특허분류 B01D 53/62 ( ) Y02C 10/10 ( ) (72) 발명자 이정현 대전광역시서구대덕대로 246 넥서스밸리 B 동 1417 호 박영철 대전광역시유성구반석동로 33 반석마을 5 단지아파트 505 동 201 호 이발명
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B01D 53/22 (2006.01) B01D 53/62 (2006.01) (52) CPC 특허분류 B01D 53/225 (2013.01) B01D 53/228 (2013.01) (21) 출원번호 10-2015-0076621 (22) 출원일자 2015 년
특허청구의범위청구항 1 환경미화에사용되는청소차량의배기통의열을이용해가열매체를가열시키는상기배기통을감싸도록형성되는히팅관 ; 상기청소차량수거함에발생되는오수의결빙을방지할수있도록상기히팅관을통해가열된공기로이루어진가열매체의열을상기수거함으로전달하는가열부 ; 상기가열매체가상기히팅관에서가
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) B65F 3/02 (2006.01) B65F 3/00 (2006.01) B65F 7/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-0023273 (22) 출원일자 2009 년 03 월 18 일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 KR100172217 B1* KR100284275
위해충전효율및온도변화를측정하는신호측정센서층을포함하여구성되는것을그구성상의특징으로한다. 본발명은인체삽입형의료기기의성능평가용인체유사팬텀의제조방법에관한것으로서, 보다구체적으로는인체유사팬텀의제조방법으로서, (1) 정제수, 액체상태의아가로오스 (agarose) 및소듐클로라이드 (
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) A61B 6/00 (2006.01) (52) CPC 특허분류 A61B 6/583 (2013.01) (21) 출원번호 10-2015-0025541 (22) 출원일자 2015 년 02 월 24 일 심사청구일자 2015 년 02 월 24 일 (65) 공개번호 10-2016-0103273
특허청구의범위청구항 1 투입된음식물을분쇄하는분쇄기 ; 상기분쇄된음식물을가열할수있는마그네트론 ; 및탈취작용을하는저온촉매필터를포함하는음식물처리기에있어서, 상기마그네트론이상기저온촉매필터를일정온도로가열할수있는것을특징으로하는, 청구항 2 제 1 항에있어서, 상기음식물처리기는상기
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) F26B 3/347 (2006.01) F23G 5/00 (2006.01) B09B 3/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-0104077 (22) 출원일자 2009 년 10 월 30 일 심사청구일자 (30) 우선권주장 없음 2020090010354 2009
특허청구의 범위 청구항 1 발열원의 일면에 접촉 설치되며, 내부에 상기 발열원의 열에 의해 증발되는 작동유체가 수용되는 작동유체챔버 가 구비되고, 상기 작동유체챔버의 일측에 제1연결구가 형성된 흡열블록; 및 상기 흡열블록의 일측에 결합되며, 흡열블록과 결합되는 부분에
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) G06F 1/20 (2006.01) H01L 23/34 (2006.01) F28D 15/02 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-0087354 (22) 출원일자 2009년09월16일 심사청구일자 2009년09월16일 (65) 공개번호 10-2011-0029605
서 인코딩한 데이터를 무선으로 송신하기 위한 무선 송신 수단; 및 통화중 상기 입력 수단으로부터의 음원 데이터 전송신 호에 따라 상기 저장 수단에 저장되어 있는 해당 음원 데이터를 상기 디코딩 수단에 의해 디코딩하고, 상기 디코딩한 음원 데이터와 상기 입력 수단을 통해
(51) Int. Cl. H04B 1/40 (2006.01) (19)대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2006년11월23일 10-0646983 2006년11월09일 (21) 출원번호 10-2004-0053063 (65) 공개번호 10-2006-0004082 (22) 출원일자 2004년07월08일
특허청구의범위청구항 1 물을여과하는필터부 ; 상기필터부에물을유동시키는정수관 ; 상기정수관에설치되고, 상기정수관의수류를이용하여전기를발생시키는발전모듈 ; 및상기정수관에배치되고, 상기발전모듈에서발생된전기가공급되고, 상기정수관을따라유동되는정수를전기분해하여살균하는살균모듈 ; 을
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) B01D 35/00 (2006.01) C02F 1/461 (2006.01) C02F 1/467 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-0019000 (22) 출원일자 2009 년 03 월 05 일 심사청구일자 없음 전체청구항수 : 총 4 항 (54) 정수기 (11)
마이크로, TAS, 패키지, 범프, 관통홀 명세서 도면의 간단한 설명 도 1은 종래 기술에 따른 외부의 압력을 센싱하는 압력센서 패키지의 단면도 도 2a와 2b는 본 발명에 따라 마이크로 타스(TAS, Total Analysis System)칩이 실장된 패키지 단면도
(51) Int. Cl. 7 H01L 21/60 (19)대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2005년10월07일 10-0519222 2005년09월28일 (21) 출원번호 10-2003-0085619 (65) 공개번호 10-2005-0051933 (22) 출원일자 2003년11월28일 (43)
특허청구의 범위 청구항 1 제1 내지 제6 암이 각각의 관절부를 가지며 형성되며, 상기 제1 내지 제6 암 각각은 제1 내지 제6 링크에 의해 링크되고, 상기 제1 내지 제6 암 내부에는 각각의 암을 구동하는 구동모듈이 각각 내장되며, 상기 구동모듈 각각의 선단에는 1
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) B25J 9/06 (2006.01) B25J 19/02 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0079361 (22) 출원일자 2011년08월10일 심사청구일자 2011년08월10일 (65) 공개번호 10-2013-0017122 (43) 공개일자 2013년02월20일
특허청구의범위청구항 1 청소차량의적재함에적재되는쓰레기로부터발생되는오수를처리하는오수탱크에있어서, 상기오수탱크내의오수결빙을방지하도록오수탱크를가열하는제1 가열부 ; 상기적재함과상기오수탱크를연결하는오수관내의오수결빙을방지하도록상기오수관을가열하는제2 가열부 ; 상기오수탱크로유입되
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) B65F 3/02 (2006.01) B65F 3/00 (2006.01) B65F 7/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-0023275 (22) 출원일자 2009 년 03 월 18 일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 KR100157834 B1* KR100172217
(72) 발명자 황병준 강원도원주시단계동 강경태 서울시서초구반포본동반포주공아파트 110 동 10 5 호 이낙규 인천광역시연수구송도동 23-3 더샵센트럴파크 동 902 호 조영준 경기도용인시기흥구보정동연원마을삼성명가타운아파트 110 동 1303 호
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C23F 13/00 (2006.01) C23F 13/04 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0139800 (22) 출원일자 2011 년 12 월 22 일 심사청구일자 2011 년 12 월 22 일 (65) 공개번호 10-2013-0072406
(72) 발명자 김준기 경기 군포시 광정동 한양목련아파트 1226동 805호 유세훈 인천광역시 연수구 송도동 성지리벨루스 110동 50 1호 방정환 인천 연수구 연수동 578-1 고용호 인천광역시 연수구 해송로30번길 송도 웰카운티 4 단지 20 (송도동) 407동 4
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) H05K 3/34 (2006.01) B23K 1/19 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0091105 (22) 출원일자 2012년08월21일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 JP2004172398 A JP2004255426 A KR1020080083127
본 발명은 중공코어 프리캐스트 슬래브 및 그 시공방법에 관한 것으로, 자세하게는 중공코어로 형성된 프리캐스트 슬래브 에 온돌을 일체로 구성한 슬래브 구조 및 그 시공방법에 관한 것이다. 이를 위한 온돌 일체형 중공코어 프리캐스트 슬래브는, 공장에서 제작되는 중공코어 프
(51) Int. Cl. E04B 5/32 (2006.01) (19)대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2007년03월12일 10-0693122 2007년03월05일 (21) 출원번호 10-2006-0048965 (65) 공개번호 (22) 출원일자 2006년05월30일 (43) 공개일자 심사청구일자
(72) 발명자 김진근 울산광역시울주군삼남면가천리 818 삼성 SDI( 주 ) 김기민 울산광역시울주군삼남면가천리 818 삼성 SDI( 주 ) - 2 -
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) G06F 3/041 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0067375 (22) 출원일자 2008 년 07 월 11 일 심사청구일자 전체청구항수 : 총 12 항 2008 년 07 월 11 일 (54) 터치스크린패널및그제조방법 (11) 공개번호 10-2010-0006987
이발명을지원한국가연구개발사업 과제고유번호 부처명 미래창조부 연구관리전문기관 한국산업기술평가관리원 연구사업명 산업융합원천기술개발 연구과제명 단일노드 48TB 이상을지원하는개방형하둡스토리지어플라이언스 (Hadoop Storage Appliance) 개발 기
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2015년12월03일 (11) 등록번호 10-1573375 (24) 등록일자 2015년11월25일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) G06F 12/08 (2006.01) (21) 출원번호 10-2013-0131411 (22) 출원일자 2013 년 10 월 31 일 심사청구일자
한것으로스마트단말기에의하여드론조종앱을설치하는제 1 단계 ; 스마트단말기에의하여드론의불루투스통 신부에부여된고유식별번호를입력저장하고드론의불루투스를인식하며드론의블루투스통신부로부터회신되 는신호의수신레벨을분석하여최대통신거리를확인하여저장하는제 2 단계 ; 스마트단말기에의하여최대통
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B64C 13/20 (2006.01) B64C 39/02 (2006.01) G05D 1/00 (2006.01) H04M 1/725 (2006.01) (52) CPC 특허분류 B64C 13/20 (2013.01) B64C 39/024 (2013.01) (21)
(72) 발명자 최석문 서울관악구봉천 6 동우성아파트 장범식 경기성남시분당구정자동한솔마을청구아파트 110 동 301 호 정태성 경기화성시반월동신영통현대 4 차아파트
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) H01L 23/12 (2006.01) (21) 출원번호 10-2007-0057147 (22) 출원일자 2007 년 06 월 12 일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 JP2004014722 A US6861288 B2 2007 년 06 월 12 일 (45) 공고일자 2008년10월24일
공개특허 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 (43) 공개일자 2014년06월11일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B65D 81/24 ( ) B65
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 10-2014-0071307 (43) 공개일자 2014년06월11일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B65D 81/24 (2006.01) B65D 25/14 (2006.01) B65D 1/40 (2006.01) B32B 27/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2014-0058932(
공개특허 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 (43) 공개일자 2013년09월25일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B65D 25/14 ( ) C23
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 10-2013-0104189 (43) 공개일자 2013년09월25일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B65D 25/14 (2006.01) C23C 16/26 (2006.01) C08J 7/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0025472 (22) 출원일자
목 차
Ⅴ. 광교지구택지개발사업지구단위계획결정 ( 변경 ) 도서 목 차 Ⅴ. 광교지구택지개발사업지구단위계획결정 ( 변경 ) 도서 1. 지구단위계획구역결정 ( 변경 ) 조서 가. 총괄 ( 변경없음 ) 도면표시번호 구역명위치 기정 면 적 ( m2 ) 변경후 변경 계 1단계 2단계 비고 - 수원시영통구매탄동, 이의동, 광교지구원천동, 하동, 팔달구우만동, 제1종지구단위계장안구연무동일원획구역용인시수지구상현동,
(72) 발명자 정종수 서울특별시 서대문구 모래내로 319, 101동 405호 (홍은동, 진흥아파트) 김정환 서울특별시 구로구 구로동로21길 7 (구로동) - 2 -
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) B01J 23/34 (2006.01) B01J 37/02 (2006.01) B01J 37/08 (2006.01) B01D 53/86 (2006.01) (21) 출원번호 10-2010-0098306 (22) 출원일자 2010년10월08일 심사청구일자 2010년10월08일
- 1 -
- 1 - - 2 - - 3 - - 4 - 장비구성 : - 5 - - 6 - 치 - 7 - μ - 8 - - 9 - 고체흡착관의안정화방법및기기 (Tube conditioner) - 10 - - 11 - - 12 - - 13 - - 14 - - 15 - - 16 - - 17 - 전기냉각저온농축장치 (TD) GC/FPD - 18 - GC/FID Headspace
(72) 발명자강희석서울강남구대치1동 888 아이파크 106동 802호이강원충청남도천안시안서동부경파크빌 강경태 서울특별시서초구반포본동주공아파트 황준영 경기용인시수지구동천동수진마을써니벨리 호 - 2 -
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2010년08월17일 (11) 등록번호 10-0975611 (24) 등록일자 2010년08월06일 (51) Int. Cl. G01N 35/00 (2006.01) G01N 33/53 (2006.01) G01N 33/48 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0119363
등록특허 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) G01R 29/08 ( ) (21) 출원번호 (22) 출원일자 2011 년 12 월 28 일 심사
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) G01R 29/08 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0144999 (22) 출원일자 2011 년 12 월 28 일 심사청구일자 2011 년 12 월 28 일 (65) 공개번호 10-2013-0076416 (43) 공개일자 2013 년 07
도 1 명세서 도면의 간단한 설명 도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉 USB 리더기의 블럭도를 나타낸다. 도 2는 도 1의 비접촉 USB 리더기를 이용한 인프라 구축 시스템의 개략도를 나타낸다. 도 3은 도 1의 비접촉 USB 리더기를 이용한 이용 방법에 대한
(51) Int. Cl. G06K 7/00 (2006.01) (19)대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2006년11월01일 10-0639964 2006년10월24일 (21) 출원번호 10-2004-0077732 (65) 공개번호 10-2006-0028855 (22) 출원일자 2004년09월30일
(72) 발명자 천정훈 서울특별시서초구반포본동주공아파트 조영준 경기도용인시기흥구보정동연원마을삼성명가타운아파트 이상호서울특별시관악구봉천9동 김승택경기도수원시팔달구우만동 4단지 이발명을지원한국가연구개발사업과제고유번호
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) B60K 35/00 (2006.01) B60W 40/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0050841 (22) 출원일자 2008 년 05 월 30 일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 KR1020050041861 A* KR1020070092367 A*
(72) 발명자 장승엽 경기 수원시 장안구 천천동 비단마을 베스트타운 740동 1702호 정원석 경기 용인시 기흥구 보정동 죽현마을 I-Park 208동 1802호 - 2 -
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) E01B 25/30 (2006.01) (21) 출원번호 10-2007-0065197 (22) 출원일자 2007년06월29일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 JP2004346733 A* JP55040028 U KR100198968 B1 2007년06월29일 *는 심사관에
많이 이용하는 라면,햄버그,과자,탄산음료등은 무서운 병을 유발하고 비만의 원인 식품 이다. 8,등겨에 흘려 보낸 영양을 되 찾을 수 있다. 도정과정에서 등겨에 흘려 보낸 영양 많은 쌀눈과 쌀껍질의 영양을 등겨를 물에 우러나게하여 장시간 물에 담가 두어 영양을 되 찾는다
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개실용신안공보(U) A23L 1/307 (2006.01) C02F 1/68 (2006.01) (21) 출원번호 20-2011-0002850 (22) 출원일자 2011년04월05일 심사청구일자 2011년04월05일 (11) 공개번호 20-2011-0004312 (43) 공개일자 2011년05월03일
(72) 발명자 권욱현 서울특별시관악구관악로 1, 서울대학교자동화연구소 133 동 306 호 ( 신림동 ) 신수용 서울특별시양천구목동동로 130, 목동아파트 동 1201 호 ( 신정동 ) 최재영 서울특별시관악구서림 11 길 23, 308 호 ( 신림동 ) 이
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) H04L 12/28 (2006.01) (21) 출원번호 10-2006-0016507 (22) 출원일자 2006 년 02 월 21 일 심사청구일자 2011 년 01 월 19 일 (65) 공개번호 10-2007-0083321 (43) 공개일자 2007 년 08
(71) 출원인 나혜원 대구 달서구 도원동 1438 대곡사계절타운 305-1502 나혜리 대구 달서구 도원동 1438 대곡사계절타운 305-1502 (72) 발명자 나혜원 대구 달서구 도원동 1438 대곡사계절타운 305-1502 나혜리 대구 달서구 도원동 1438 대
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개특허공보(A) E02D 17/20 (2006.01) E02B 3/12 (2006.01) E02D 3/10 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0131302 (22) 출원일자 2008년12월22일 심사청구일자 전체 청구항 수 : 총 4 항 (54) 제직형 지오셀 2008년12월22일
특허청구의 범위 청구항 1 제 1 도전형 기판을 준비하는 제 1 도전형 기판 준비 단계; 상기 제 1 도전형 기판에 포토 레지스트를 패터닝하여 마이크로 와이어를 형성하는 마이크로 와이어 형성 단계; 상기 마이크로 와이어가 형성되지 않은 영역에 나노 와이어를 형성하는 나
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2014년02월26일 (11) 등록번호 10-1366740 (24) 등록일자 2014년02월18일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.) H01L 31/042 (2014.01) H01L 31/18 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0119306 (22) 출원일자 2012년10월25일
(72) 발명자 신일훈 경기 수원시 영통구 영통동 황골마을1단지아파트 151동 702호 나세욱 서울 용산구 용산동2가 18-5 김효준 경기 용인시 기흥구 상갈동 금화마을주공아파트 407동 1204호 윤송호 경기 용인시 수지구 풍덕천2동 삼성5차아파트 523-702 신동
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) G11C 16/10 (2006.01) G11C 16/34 (2006.01) (21) 출원번호 10-2006-0112411 (22) 출원일자 2006년11월14일 심사청구일자 2006년11월14일 (65) 공개번호 10-2008-0043633 (43) 공개일자 2008년05월19일
(72) 발명자 김화용 서울특별시관악구봉천 2 동동아아파트 109 동 803 호 강병희 서울특별시관악구봉천 11 동 번지미림연립 305 호 - 2 -
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2010년04월09일 (11) 등록번호 10-0951955 (24) 등록일자 2010년04월01일 (73) 특허권자 (51) Int. Cl. 재단법인서울대학교산학협력재단 C02F 1/72 (2006.01) C02F 11/06 (2006.01) 서울특별시관악구봉천7동산4의 2번지
이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호 08921-01304 부처명 방송통신위원회 연구사업명 방송통신기술개발사업 연구과제명 안전한 전자파환경 조성 주관기관 한국전자통신연구원 연구기간 2008.01.01 ~ 2012.12.31-2 -
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개특허공보(A) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) H05K 9/00 (2006.01) H04B 1/38 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0134285 (22) 출원일자 2011년12월14일 심사청구일자 없음 기술이전 희망 : 기술양도, 실시권허여, 기술지도 전체 청구항 수 : 총 1 항 (54)
(72) 발명자오규환서울시서초구반포동반포아파트 110동 202호김현종서울시관악구봉천6동 층 102호 신경민 서울시서대문구홍제동 459 번지홍제원현대아파트 113 동 1702 호 류재우 경기도김포시북변동
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) A61L 27/08 (2006.01) A61F 2/82 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-0015001 (22) 출원일자 2009 년 02 월 23 일 심사청구일자 2009 년 02 월 23 일 (65) 공개번호 10-2010-0095942 (43) 공개일자
- 1 -
- 1 - - 2 - - 3 - - 4 - - 5 - - 6 - - 7 - - 8 - - 9 - - 10 - - 11 - - 12 - - 13 - - 14 - - 15 - - 16 - - 17 - 단 계 시간 ( 초 ) 거 리 비고 저온시동시험초기단계저온시동시험안정단계 505 865 9-11분 5.78km (3.59 mile) 6.29km (3.91 mile)
니스터의하부에는구비되어질량을측정하는저울 ; 상기캐니스터의일측에연결되어열원을공급하는히터 ; 로 구성되며, 니들밸브를열고진공장치로일정시간펌핑하는 1 단계 ; 펌핑이전의캐니스터질량을저울을이용하여 측정하고일정시간펌핑이후캐니스터질량을측정하는 2 단계 ; 캐니스터를히터로가열하여증
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2016년07월22일 (11) 등록번호 10-1642021 (24) 등록일자 2016년07월18일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) H01L 21/02 (2006.01) (21) 출원번호 10-2014-0109718 (22) 출원일자 2014 년 08 월 22 일 심사청구일자
(72) 발명자 강문진 경기 고양시 일산구 일산3동 후곡마을 영풍한진 201-203 김정한 서울 서초구 방배4동 847-34 - 2 -
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) B23K 9/133 (2006.01) B23K 9/28 (2006.01) B23K 9/26 (2006.01) (21) 출원번호 10-2006-0133016 (22) 출원일자 2006년12월22일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 2006년12월22일 (45) 공고일자 2007년10월26일
Ⅰ. 석면 1 1) American Geological Institute, Glossary of geology, 2008, http://glossary.agiweb.org 2) US OSHA standard 29CFR1910.1001(b) 2 석면분석전문가양성교육교재 : 편광현미경을이용한고형시료중석면분석 1) Cornelis Klein, The Manual
특허청구의 범위 청구항 1 앵커(20)를 이용한 옹벽 시공에 사용되는 옹벽패널에 있어서, 단위패널형태의 판 형태로 구성되며, 내부 중앙부가 후방 하부를 향해 기울어지도록 돌출 형성되어, 전면이 오 목하게 들어가고 후면이 돌출된 결속부(11)를 형성하되, 이 결속부(11
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) E02D 29/02 (2006.01) E02D 17/20 (2006.01) E02B 3/14 (2006.01) (21) 출원번호 10-2010-0089517 (22) 출원일자 2010년09월13일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 JP2006037700 A* KR100920461
(52) CPC 특허분류 C25B 15/02 ( ) C25B 9/04 ( ) C25B 9/10 ( ) C25B 9/18 ( ) Y02E 60/366 ( ) 이발명을지원한국가연구개발사업 과제고유번호
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C25B 1/04 (2006.01) C25B 13/08 (2006.01) C25B 15/02 (2006.01) C25B 9/04 (2006.01) C25B 9/10 (2006.01) C25B 9/18 (2006.01) (52) CPC 특허분류 C25B 1/04
특허청구의 범위 청구항 1 일반전화를 이용한 위험 알림시스템 및 실시간 영상전송 장치에서 CID(콜백넘버) 장치를 포함한 서버 및 그 장 비를 포함하며, 영상서버와 연동한 형태를 상황실에 전송하여 출동하는 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 일반전화를 이용한 위험 알
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개특허공보(A) (11) 공개번호 10-2014-0008486 (43) 공개일자 2014년01월21일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.) G08B 25/08 (2014.01) G08B 21/02 (2006.01) G08B 13/196 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0075069 (22) 출원일자
(72) 발명자 박세웅 서울특별시관악구신림동산 56-1 서울대학교뉴미디어통신공동연구소 최진구 서울특별시영등포구당산동 2 가대우메종아파트 101 동 909 호 - 2 -
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) H04B 7/26 (2006.01) H04B 7/155 (2006.01) H04Q 7/30 (2006.01) H04Q 7/20 (2006.01) (21) 출원번호 10-2006-0085572 (22) 출원일자 2006 년 09 월 06 일 심사청구일자 2006 년 09 월
특허청구의범위청구항 1 노본체의내부에다단의컨베이어를그양단양측에구동스프로켓과종동스프로켓을설치하여엔드리스체인으로연결하고, 상기종동스프로켓의일측면에지지판을설치하여상기지지판에공압실린더를설치하여서그피스톤로드에종동스프로켓축을설치한가이드플레이트를연결하며, 상기가이드플레이트를상기지지
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2012년12월13일 (11) 등록번호 10-1211952 (24) 등록일자 2012년12월07일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B65G 23/44 (2006.01) B65G 17/38 (2006.01) B65G 17/30 (2006.01) F27B 9/24 (2006.01)
(72) 발명자 강경태 서울특별시서초구반포본동주공아파트 강희석 서울강남구대치 1 동 888 아이파크 106 동 802 호 신권용 서울특별시금천구시흥동관악벽산아파트 524 동 1607 호 장재혁서울특별시서초구반포4동미도2차아파트 정창렬서울특별
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2010년10월11일 (11) 등록번호 10-0987113 (24) 등록일자 2010년10월05일 (73) 특허권자 (51) Int. Cl. 한국생산기술연구원 H01M 8/04 (2006.01) H02N 2/02 (2006.01) 충청남도천안시서북구입장면홍천리 35-3 (21)
특허청구의범위청구항 1 방열판 ; 상기방열판상부에형성된세라믹박막 ; 및상기세라믹박막상부에형성된회로패턴을포함하여이루어지는방열기판. 청구항 2 제1항에있어서, 상기방열판은 Al, Cu, Mo, W, Ti, Mg 중에서선택된어느하나의물질로이루어지는것을특징으로하는방열기판. 청
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) H01L 33/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2007-0140279 (22) 출원일자 2007 년 12 월 28 일 심사청구일자 전체청구항수 : 총 10 항 2007 년 12 월 28 일 (54) 방열기판및이를구비한발광다이오드패키지 (11) 공개번호 10-2009-0072226
(72) 발명자 오승용 경기도안산시상록구오목로 11 길 45, 202 호 ( 본오동 ) 박영욱 경기도수원시권선구당진로 31 번길 16, 한라비발디 202 동 1201 호 ( 당수동 ) 고대화 경기도수원시권선구금호로 189 번길 82-12, 202 호 ( 구운동 ) 김준
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2013년06월24일 (11) 등록번호 10-1278021 (24) 등록일자 2013년06월18일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B65G 1/12 (2006.01) B65G 1/06 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01) B25J 5/00 (2006.01)
(72) 발명자 한상욱 서울특별시 노원구 공릉2동 81 태강아파트 1014동 201호 김진관 경기도 고양시 일산동구 마두동 강촌마을 2단지 한 신아파트 216-402 - 2 -
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) E03B 3/03 (2006.01) E03F 1/00 (2006.01) C02F 1/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0136139 (22) 출원일자 2011년12월16일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 KR100795918 B1* KR101036279
Korean Patent No. KR
From the SelectedWorks of Adam Stephenson December 22, 2008 Korean Patent No. KR1020067027478 Adam R Stephenson Available at: https://works.bepress.com/adam_stephenson/8/ (51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR)
[ 물리 ] 과학고 R&E 결과보고서 유체내에서물체의마찰력에미치는 표면무늬에대한연구 연구기간 : ~ 연구책임자 : 홍순철 ( 울산대학교 ) 지도교사 : 김영미 ( 울산과학고 ) 참여학생 : 김형규 ( 울산과학고 ) 노준영 (
![[ 물리 ] 과학고 R&E 결과보고서 유체내에서물체의마찰력에미치는 표면무늬에대한연구 연구기간 : ~ 연구책임자 : 홍순철 ( 울산대학교 ) 지도교사 : 김영미 ( 울산과학고 ) 참여학생 : 김형규 ( 울산과학고 ) 노준영 (](/thumbs/103/157216582.jpg "[ 물리 ] 과학고 R&E 결과보고서 유체내에서물체의마찰력에미치는 표면무늬에대한연구 연구기간 : ~ 연구책임자 : 홍순철 ( 울산대학교 ) 지도교사 : 김영미 ( 울산과학고 ) 참여학생 : 김형규 ( 울산과학고 ) 노준영 (")
[ 물리 ] 과학고 R&E 결과보고서 유체내에서물체의마찰력에미치는 표면무늬에대한연구 연구기간 : 2013. 4. 1 ~ 2014. 12. 31 연구책임자 : 홍순철 ( 울산대학교 ) 지도교사 : 김영미 ( 울산과학고 ) 참여학생 : 김형규 ( 울산과학고 ) 노준영 ( 울산과학고 ) 권범석 ( 울산과학고 ) 김진영 ( 울산과학고 ) 조희제 ( 울산과학고 ) .
(72) 발명자 이대훈 경기도 성남시 분당구 정자동 파크뷰 611동 901호 박준호 경기도 안산시 상록구 사1동 1323-14 - 2 -
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) G01N 3/30 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0090352 (22) 출원일자 2008년09월12일 심사청구일자 2008년09월12일 (65) 공개번호 10-2010-0031318 (43) 공개일자 2010년03월22일 (56) 선행기술조사문헌 KR200430499
명세서청구범위청구항 1 일단이아래로경사지게형성되고타단의측면은제 1 링크 (11) 및제 2 링크 (12) 를갖는원형링크 (13) 의상기제 2 링크에연결되고상기원형링크를매개로회전가능한사용자의안착을위한좌석 (10); 일단이상기좌석의일단과상응하게아래로경사지게형성되고제 3 링크
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) A61G 5/14 (2006.01) A47C 7/62 (2006.01) (21) 출원번호 10-2014-0162951 (22) 출원일자 2014 년 11 월 20 일 심사청구일자 전체청구항수 : 총 6 항 2016 년 05 월 19 일 (11) 공개번호 10-2016-0060891
특허청구의범위청구항 1 물을여과하여정수로만드는필터유닛 ; 상기필터유닛에서토출된정수가유동하는정수관 ; 및상기정수관이경유하고, 상기정수관을냉각시켜냉수를생성하는냉각유닛 ; 을포함하며, 상기냉각유닛은 : 증발된냉매가유입되는증발기 ; 및상기정수관이경유하고, 상기증발기의냉기가상기
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) B01D 35/18 (2006.01) B01D 35/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0037298 (22) 출원일자 2008 년 04 월 22 일 심사청구일자 2008 년 04 월 22 일 (65) 공개번호 10-2008-0095780 (43) 공개일자
물의 증기압과 증발 엔탈피 실험 일자 : 2016년 1월 11일 (월) 공동실험자 : 이주찬, 이주찬 제 출 자 : 이주찬 실험 개요 I 실험 목적 온도에 따른 물의 증기압을 실험으로 측정한다. 측정 결과를 이용하여 물의 증발
물의 증기압과 증발 엔탈피 실험 일자 : 2016년 1월 11일 (월) 공동실험자 : 14088 이주찬, 14088 이주찬 제 출 자 : 14088 이주찬 실험 개요 I. 1.1. 실험 목적 온도에 따른 물의 증기압을 실험으로 측정한다. 측정 결과를 이용하여 물의 증발 엔탈피를 구한다. 1.2. 이론적 배경 증기압 증기가 고체 또는 액체와 동적 평형 상태에
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키토큰앱매뉴얼 KeyToken App Manual - 20131126 키페어 www.keypair.co.kr [Blank Page] i 목차 I. KeyToken App 소개...1 1. KeyToken App 의목적... 1 2. KeyToken App 의사용환경... 1 3. 주의사항... 2 II. 스마트폰의 NFC 모듈켜기...4 1. 안드로이드 v4.0.3(
특허청구의범위청구항 1 콘크리트전주의균열이발생한둘레면을감싸는메인시트 ; 상기메인시트와상기콘크리트전주의사이에개재되는타공성섬유시트 ; 상기메인시트의상하전면에접하는플레이트와, 상기플레이트에형성되어상기플레이트의둘레를조임으로써상기메인시트를상기콘크리트전주측으로가압하는클립밴드와,
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) E04G 23/02 (2006.01) E04H 12/12 (2006.01) E04C 3/34 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-0044279 (22) 출원일자 2009 년 05 월 21 일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 KR1020030059736
명세서청구범위청구항 1 갠트리의헤드로부터방사선을조사하는선형가속기에사용되고, 상기헤드에설치되고, 방사선이조사되는환자의치료중심을향해레이저를쏘고환자의체표면에서반사된레이저를감지하여환자의체표면까지의거리를측정하는레이저거리측정기 ; 상기레이저거리측정기의데이터를수신하여 SSD(sou
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) A61N 5/10 (2006.01) (21) 출원번호 10-2014-0107105 (22) 출원일자 2014 년 08 월 18 일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 JP2012024909 A* JP2012501792 A* US20100280374 A1
도 3 은 본 발명에 따른 제거수단을 보인 사시도 도 4 는 본 발명에 따른 제거수단의 해파필터와 카본필터의 구성을 보인 개략단면도 <도면의 주요부분에 대한 부호의 설명> (1) : 케이싱 (1a) : 천연음이온 도료 (2) : 제거수단 (3) : UV살균장치 (4)
(51) Int. Cl. 7 A61L 9/20 (19)대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2005년05월25일 10-0491080 2005년05월13일 (21) 출원번호 10-2004-0022173 (65) 공개번호 10-2004-0037034 (22) 출원일자 2004년03월31일 (43)
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Test 1. 일반적인측정용어 1.1 면저항 1.2 누설전류 1.3 파괴시험 1.4 Resolution 2. 산화막평가 2.1 확산층평가 2.2 산화막중의전하 2.3 절연파괴강도 2.4 장기신뢰성평가 3. Photo-etch 검사측정기술 3.1 검사측정기술 3.2 Selectivity, Etch-rate, Anisotropy 4. 박막평가 4.1 관련용어 a.
이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호 A1100-0801-2739 부처명 지식경제부 연구관리전문기관 연구사업명 IT핵심기술개발 연구과제명 융합형 포털서비스를 위한 이용자 참여형 방송기술개발 기여율 주관기관 전자부품연구원 연구기간 2008년 03월 01일 ~ 2
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) G06Q 30/00 (2006.01) G06Q 50/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0133476 (22) 출원일자 2008년12월24일 심사청구일자 2008년12월24일 (65) 공개번호 10-2010-0074918 (43) 공개일자 2010년07월02일
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교육문의 : 031-546-6245( 수원 ), 054-479-2185( 구미 ), 052-217-2640( 울산 ) 일월화수목금토 1 2 3 4 5 6 7 나노내부결정분석 8 9 10 11 12 13 14 나노박막증착공정 15 16 17 18 19 20 21 나노표면특성분석 나노결정물질구조및성분분석기술 22 23 24 25 26 27 28 29 30 나노광소자공정
브와 IP 인터콤의연결만으로시스템이간편하고용이하게확장될수있어확장성이증대되고, 특히선박에적용되어종래의 PA/GA 시스템구축에필요한많은전선에대한비용의절감과전선무게절감에의한선박중량감소로유류비의절감이도모될수있는기술적특징을갖는다. 본발명에따른이더넷기반 PA/GA 용인터콤스테이션
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) H04L 29/06 (2006.01) H04L 12/10 (2006.01) H04L 29/12 (2006.01) (52) CPC 특허분류 H04L 65/1013 (2013.01) H04L 12/10 (2013.01) (21) 출원번호 10-2016-0011139
(72) 발명자 오인환 서울 노원구 중계로 195, 101동 803호 (중계동, 신 안동진아파트) 서혜리 서울 종로구 평창14길 23, (평창동) 한훈식 서울 강남구 언주로71길 25-5, 301호 (역삼동, 영 훈하이츠) 이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2014년04월14일 (11) 등록번호 10-1384704 (24) 등록일자 2014년04월07일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.) F16L 9/18 (2006.01) F17D 1/00 (2006.01) F16L 3/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0113933
특허청구의 범위 청구항 1 알람을 출력하기 위한 출력 인터페이스; 사용자의 안구전도값을 측정하기 위한 안구전도 측정부; 및 상기 안구전도 측정부가 측정한 안구전도값을 이용하여 사용자의 졸음 상태를 감지하고, 그에 따라 상기 출력 인터페이스로 알람을 출력하는 졸음상태 판
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) A61B 5/0496 (2006.01) A61B 5/18 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-0051767 (22) 출원일자 2009년06월11일 심사청구일자 2009년06월11일 (65) 공개번호 10-2010-0133070 (43) 공개일자 2010년12월21일
특허청구의범위청구항 1 선박의안티재머 (Anti-Jammer) 위성항법시스템으로서, GPS 신호및 DGPS 신호를자함의 INS(Intertial Navigation System) 신호와비교하여기준오차범위초과시수신되는 GPS 신호와 DGPS 신호를재밍 (Jamming)
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 10-2014-0044048 (43) 공개일자 2014년04월14일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) G01S 19/07 (2010.01) (21) 출원번호 10-2012-0109967 (22) 출원일자 2012 년 10 월 04 일 심사청구일자 없음 전체청구항수 : 총 4
도 1 특허청구의범위 청구항 1. 자성금속박막을형성하는단계 ; 상기자성금속박막위에알루미늄을증착하는단계 ; 증착된상기알루미늄위에자성금속을증착하여알루미나이드박막을형성하는단계 ; 그리고 상기알루미나이드박막위에자성금속박막을증착하는단계로이루어지고, 상기자성금속은 Co, Fe 및
(51) Int. Cl. G11B 5/31 (2006.01) (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2007 년 05 월 09 일 10-0716104 2007 년 05 월 02 일 (21) 출원번호 10-2003-0075402 (65) 공개번호 10-2005-0040248 (22)
특허청구의범위청구항 1 친환경농축산물의산출량정보를포함하는소정의친환경농축산물정보를입력받아저장하는정보입력단계 ; 상기입력된친환경농축산물의산출량정보에기초하여상기친환경농축산물에고유하게설정되는고유코드가발급되도록제어하고, 상기고유코드와연계하여상기소정의친환경농축산물정보를저장하는고유
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) G06Q 10/00H0 (2006.01) (21) 출원번호 10-2006-0090196 (22) 출원일자 2006 년 09 월 18 일 심사청구일자 전체청구항수 : 총 11 항 2006 년 09 월 18 일 (54) 친환경농축산물혼입방지관리방법 (11) 공개번호 10-2008-0025562
항은 발명의 상세한 설명에는 그 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자 (이하 통상의 기술자 라고 한다)가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 그 발명의 목적 구성 및 효과를 기재하여야 한다고 규정하고 있다. 이는 특허출원된 발명의 내용을 제 3자가 명세서만으로
대 법 원 제 2 부 판 결 사 건 2013후518 권리범위확인(특) 원고, 상고인 코오롱인더스트리 주식회사 소송대리인 변리사 경진영 외 2인 피고, 피상고인 토요보 가부시키가이샤(변경 전: 토요 보세키 가부시키가이샤) 소송대리인 변호사 박성수 외 4인 원 심 판 결 특허법원 2013. 1. 25. 선고 2012허6700 판결 판 결 선 고 2015. 9.
대 표 도 - 2 -
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개특허공보(A) (11) 공개번호 10-2013-0062307 (43) 공개일자 2013년06월12일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.) G06Q 30/02 (2012.01) (21) 출원번호 10-2013-0053925(분할) (22) 출원일자 2013년05월13일 심사청구일자 2013년05월13일 (62) 원출원
4-Ç×°ø¿ìÁÖÀ̾߱â¨ç(30-39)
항공우주 이야기 항공기에 숨어 있는 과학 및 비밀장치 항공기에는 비행 중에 발생하는 현상을 효율적으로 이용하기 위해 과 학이 스며들어 있다. 특별히 관심을 갖고 관찰하지 않으면 쉽게 발견할 수 없지만, 유심히 살펴보면 객실 창문에 아주 작은 구멍이 있고, 주 날 개를 보면 뒷전(trailing edge) 부분이 꺾어져 있다. 또 비행기 전체 형 상을 보면 수직꼬리날개가
등록특허 (51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) G01B 11/16 ( ) (21) 출원번호 (22) 출원일자 2005 년 09 월 23 일 심사청구일자 2005
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) G01B 11/16 (2006.01) (21) 출원번호 10-2005-0088727 (22) 출원일자 2005 년 09 월 23 일 심사청구일자 2005 년 09 월 23 일 (65) 공개번호 10-2007-0095493 (43) 공개일자 2007 년 10 월 01 일 (56)
특허청구의범위청구항 1 내부하방에쓰레기바구니 (11) 가투입되도록공간이마련된본체케이스 (10); 상기본체케이스 (10) 저면에배치되고응축수를저장하기위한응축수통 (20); 상기본체케이스 (10) 의내부상방에배치되어팬하우징 (31) 에의해덮어씌워지고내부공기를순환시키는팬 (
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) B09B 3/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2007-0133277 (22) 출원일자 2007 년 12 월 18 일 심사청구일자 2007 년 12 월 18 일 (65) 공개번호 10-2009-0065789 (43) 공개일자 2009 년 06 월 23 일 (56)
Corporation Limited MODEL 제 품 제 원 스텐레스장축 NS_100 10A -사용압력 : 5.0 MPa -사용온도: -196 ~+60 -사용유체 : LN₂, LO₂, LAr, -사용용도 : 초저온배관, 초저온 저장탱크, 기타 50A Cryogenic
( 주 ) 엔에스티이 GAS MARKET Corporation Limited MFR Cryogenic Valve Multi-Functional Regulator for Cryogenic Storage -MFR-ELP( 감압 / 승압기능 ) -MFR-EL( 기액절제방식감압 ) MC 500 Regulator (sus belows type) - 대유량 (300~700N
Microsoft Word - Lab.4
Lab. 1. I-V Lab. 4. 연산증폭기 Characterist 비 tics of a Dio 비교기 ode 응용 회로 1. 실험목표 연산증폭기를이용한비교기비교기응용회로를이해 응용회로를구성, 측정및평가해서연산증폭기 2. 실험회로 A. 연산증폭기비교기응용회로 (a) 기본비교기 (b) 출력제한 비교기 (c) 슈미트트리거 (d) 포화반파정류회로그림 4.1. 연산증폭기비교기응용회로
등록특허 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) E03B 11/10 ( ) B01D 35/02 ( ) E03B 11/02 ( ) (52) CPC 특허분류
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) E03B 11/10 (2006.01) B01D 35/02 (2006.01) E03B 11/02 (2006.01) (52) CPC 특허분류 E03B 11/10 (2013.01) B01D 35/02 (2013.01) (21) 출원번호 10-2016-0048932
(72) 발명자 백종협 대전광역시서구만년동강변아파트 109 동 401 호 이상헌 부산광역시금정구부곡 3 동 SK 아파트 110 동 504 호 진정근 경기도군포시산본동세종아파트 650 동 702 호 전성란 광주광역시광산구월계동첨단라인 6 차 602 동 506 호 김상묵
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) H01L 33/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0045186 (22) 출원일자 2008 년 05 월 15 일 심사청구일자 전체청구항수 : 총 12 항 2008 년 05 월 15 일 (54) 수직형발광다이오드패키지및그의제조방법 (11) 공개번호 10-2009-0119259
<4D F736F F F696E74202D20342EBFADBFAAC7D02D32B9FDC4A22E BC8A3C8AF20B8F0B5E55D>
4. 열역학 : 제 2 법칙 이광남 열역학 : 제 2 법칙칙 1 엔트로피 자발적변화 (spontaneous change) ~ 시간에는무관 비자발적변화 (nonspontaneous change) 4.1 자발적인변화의방향 무질서해지려는에너지와물질의경향 물질의분산방향 에너지의분산방향 열역학 : 제 2 법칙칙 2 자발적인물리적과정 1. 물질이무질서해지려한다. 2.
(72) 발명자 류명관 경기도용인시수지구신봉 2 로 26, LG 신봉자이 1 차아파트 124 동 1002 호 ( 신봉동 ) 이상윤 서울특별시서초구서초중앙로 200, 13 동 707 호 ( 서초동, 삼풍아파트 ) 이광희 경기수원시영통구망포동벽산아파트 김태
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 10-2012-0021454 (43) 공개일자 2012년03월09일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) H01L 29/786 (2006.01) G02F 1/136 (2006.01) (21) 출원번호 10-2010-0074404 (22) 출원일자 2010 년 07 월 30 일
소화설비규정
소화설비규정 - 총목차 - Ⅰ. 통칙 Ⅱ. 초기소화설비규정 Ⅲ. 소화전설비규정 Ⅳ. 소화펌프자동차설비규정 Ⅴ. 자동화재탐지설비규정 Ⅵ. 스프링클러설비규정 Ⅶ. 자동화재속보설비규정 Ⅷ. 포소화설비규정 Ⅸ. 이산화탄소소화설비규정 Ⅹ. 할론1301소화설비규정 Ⅺ. 청정소화약제소화설비규정 Ⅻ. 소화설비할인율표 ⅩⅢ. 부록 Ⅰ. 통칙 Ⅰ. 통칙 Ⅱ. 초기소화설비규정
01 증착의종류 증착은금속증기를만드는원리에따라화학적기상증착 (Chemical Vapor Deposition, ) 과물리적기상증착 (Physical Vapor Deposition, PVD) 으로나뉜다. 화학적기상증착은공정압력과주입원의상태, 에너지원등에따라나뉘고물리적기상증
ABS 소재개발팀이수경 lsklg@lgchem.com 증착기술소개 우리일상에서 증착 이이용된제품을찾는것은어렵 지않다. 금속이아니면서은빛을내는알루미늄포장지와램프하우징 (lamp housing) 을비롯하여반도체, OLED 는모두금속을증착한제품이다. 증착 (deposition) 이란기체상태의금속입자를금속, 플라스틱과같은물체표면에수마이크로미터의얇은고체막을입히는방법이다.
등록특허 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B21C 25/02 ( ) B21C 31/00 ( ) (21) 출원번호 (22) 출원일
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B21C 25/02 (2006.01) B21C 31/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0125153 (22) 출원일자 2011 년 11 월 28 일 심사청구일자 2011 년 11 월 28 일 (65) 공개번호 10-2013-0059056
10: 전면글라스 11: 유지전극 11a: 투명전극 11b: 버스전극 12: 유전체 13: 보호층 20: 후면글라스 21: 격벽 21a: 블랙매트릭스 22: 어드레스전극 23: 형광체막 24: 잉크젯헤드 25: 형광체잉크 31: 압전체 32: 다이아프램 33: 잉크챔버
(51) Int. Cl. 7 H01J 9/20 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 (43) 공개일자 10-2005-0057809 2005 년 06 월 16 일 (21) 출원번호 10-2003-0090000 (22) 출원일자 2003년12월11일 (71) 출원인엘지전자주식회사서울특별시영등포구여의도동 20 번지 (72)
(b) 미분기 (c) 적분기 그림 6.1. 연산증폭기연산응용회로
Lab. 1. I-V Characteristics of a Diode Lab. 6. 연산증폭기가산기, 미분기, 적분기회로 1. 실험목표 연산증폭기를이용한가산기, 미분기및적분기회로를구성, 측정및 평가해서연산증폭기연산응용회로를이해 2. 실험회로 A. 연산증폭기연산응용회로 (a) 가산기 (b) 미분기 (c) 적분기 그림 6.1. 연산증폭기연산응용회로 3. 실험장비및부품리스트
특허청구의 범위 청구항 1 고유한 USB-ID를 가지며, 강제 포맷이나 프로그램 삭제가 불가능한 CD영역과 데이터의 읽기, 쓰기가 가능한 일 반영역으로 분할되어 있고 상기 CD영역에 임산부 도우미 프로그램이 임산부 PC(200)에 연결되면 자동 설치 및 실행되게 탑재된
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개특허공보(A) (11) 공개번호 10-2010-0042502 (43) 공개일자 2010년04월26일 (51) Int. Cl. G06Q 50/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0101675 (22) 출원일자 2008년10월16일 심사청구일자 전체 청구항 수 : 총 13 항 2008년10월16일 (71)
슬라이드 1
1. 서론 수리학의정의 수리학 (hydraulics) 또는수리공학 (hydraulic engineering) 은유체 (liquid) 특히물의역학을다루는분야로물의기본성질및물과물체간에작용하는힘뿐만아니라물과관련된구조물이나시스템의계획및설계를연구하는응용과학의한분야이다. 1 장강의내용 - 유체의정의 - 물의상태변화 - 차원및단위 - 점성 - 밀도, 단위중량및비중 - 표면장력및모세관현상
< 서식 5> 탐구보고서표지 제 25 회서울학생탐구발표대회보고서 출품번호 유글레나를이용한산소발생환경의탐구 소속청학교명학년성명 ( 팀명 ) 강서교육청서울백석중학교 3 임산해 [ 팀원이름 ]
![< 서식 5> 탐구보고서표지 제 25 회서울학생탐구발표대회보고서 출품번호 유글레나를이용한산소발생환경의탐구 소속청학교명학년성명 ( 팀명 ) 강서교육청서울백석중학교 3 임산해 [ 팀원이름 ]](/thumbs/97/133534027.jpg "< 서식 5> 탐구보고서표지 제 25 회서울학생탐구발표대회보고서 출품번호 유글레나를이용한산소발생환경의탐구 소속청학교명학년성명 ( 팀명 ) 강서교육청서울백석중학교 3 임산해 [ 팀원이름 ]")
< 서식 5> 탐구보고서표지 제 25 회서울학생탐구발표대회보고서 출품번호 유글레나를이용한산소발생환경의탐구 2010. 09. 28. 소속청학교명학년성명 ( 팀명 ) 강서교육청서울백석중학교 3 임산해 [ 팀원이름 ] 목 차 Ⅰ. 탐구주제 02 Ⅱ. 탐구하게된동기 02 Ⅲ. 배경이론 02 1. 유글레나의특징가. ph 나. 온도 Ⅳ. 선행연구고찰 03 1. 산소결핍과인체에미치는영향
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북한의 주요 농업 관련 법령 해설 1) 이번 호와 다음 호에서는 북한의 주요 농업 관련 법령을 소개하려 한다. 북한의 협동농장은 농업협동조합기준규약초안 과 농장법 에 잘 규정되어 있다. 북한 사회주의 농업정책은 사회 주의농촌문제 테제 2), 농업법, 산림법 등을 통해 엿볼 수 있다. 국가계획과 농업부문의 관 계, 농산물의 공급에 관해서는 인민경제계획법, 사회주의상업법,
1 9 2 0 3 1 1912 1923 1922 1913 1913 192 4 0 00 40 0 00 300 3 0 00 191 20 58 1920 1922 29 1923 222 2 2 68 6 9
(1920~1945 ) 1 9 2 0 3 1 1912 1923 1922 1913 1913 192 4 0 00 40 0 00 300 3 0 00 191 20 58 1920 1922 29 1923 222 2 2 68 6 9 1918 4 1930 1933 1 932 70 8 0 1938 1923 3 1 3 1 1923 3 1920 1926 1930 3 70 71
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2014년07월10일 (11) 등록번호 10-1418046 (24) 등록일자 2014년07월03일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) H03K 5/156 (2006.01) H03K 7/08 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0148658 (22) 출원일자 2012
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Dry etch 1. Wet etch and dry etch 2. Wet etch and dry etch의장. 단점 3. Dry etch의종류 4. Plasma etch의특성 5. Dry etch에서고려하여야할점 6. Film etch 6.1 Si etch 6.2 SiO 2 etch 6.3 Si 3 N 4 etch 6.4 Al etch 6.5 Silicide
실험 5
실험. apacitor 및 Inductor 의특성 교류회로 apacitor 의 apacitance 측정 본실험에서는 capacitor를포함하는회로에교류 (A) 전원이연결되어있을때, 정상상태 (steady state) 에서 capacitor의전압과전류의관계를알아본다. apacitance의값이 인 capacitor의전류와전압의관계는다음식과같다. i dv = dt
특허청구의 범위 청구항 1 몸체(110)의 일측에는 테스트의 필요성에 따라 여타한 디젤 자동차(100)에서 분리시킨 상태의 분리형 커먼레일 인젝트(110)를 고정할 수 있는 분리형 인젝터 고정부(20)가 구비되고, 그 고정부(20)의 하측에는 분리형 커먼 레일 인젝터(
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개특허공보(A) (11) 공개번호 10-2010-0038259 (43) 공개일자 2010년04월14일 (51) Int. Cl. G01M 15/09 (2006.01) G01M 15/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0097443 (22) 출원일자 2008년10월04일 심사청구일자 전체 청구항 수 :