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희원 강
5 years ago
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1 온난화 / 오존층파괴물질대체기능성세정제및세척시스템개발 염규설

2 목 차 Ⅰ. 온난화물질대체기능수세정제및세척시스템개발 1 1. 서론 1 2. 본론 기술의특징 기술( 시장) 동향 국내기술( 시장) 동향 국내기술전망 해외기술( 시장) 동향 국외기술전망 4 3. 결론 5 Ⅱ. 오존층파괴물질대체난연성탄화수소세정제및무방류세정시스템개발 6 1. 서론 6 2. 본론 기술의특징 기술( 시장) 동향 국내기술( 시장) 동향 해외기술( 시장) 동향 8 3. 결론 8-2 -

3 Ⅲ. 참고문헌 10

4 Ⅰ.. 세부제목 : 온난화물질대체기능수세정제및세척시스템개발 1. 서론 2000 년대들어서면서지구의온난화및오존층파괴로인해기후적인재앙이세계곳곳에서 발생되고있으며대홍수, 쓰나미등으로수만명의사상자가발생하는등기후이변이계속되 고있다. 이러한원인으로는 CFC 물질류및 HFC 등의과다사용에의한문제로밝혀지고있 으며이에따라유럽등선진각국에서는화학물질들에대한규제조치를촉구하고있다. 그러 나할로겐계화학물질들은정밀부품및반도체산업에매우필요한물질들로보다친환경적이 며무해한물질들의연구가세계적인기업들을대상으로개발되어지고있다. Dupont 사와 Elf-Atochem 하였으며주된내용으로는 사는공동으로유럽시장용으로새로운세정건조제를개발하기로 HFC-43-10mee 에기초한대체세정제를개발하는것이다. 기존의세 정분야에서는 CFC, HCFC, 1,1,1-TCE 등이가장광범위하게사용되었다. HFC-43-10mee의중 요한특성은비가연성이며오존파괴지수가제로이며지구온난화지수가낮다. 또한, 이물질의 물리적특징은낮은표면장력을갖고있고, 선택적용해능력이있으며고온안전성을갖고있 어증기탈지장치에적당하다. 이제품은현재공조혼합물시장에서판매되고있으나그가격 이매우고가로일반세정업체및세정방법들에는적용하기가어려운실정이다. HFC 계통의세정제이외에도최근많은혼합물세정제가개발되어시장에나오고있으며많 은국가에서수요가증가하고있다. 이러한혼합물세정제중에는염화브롬화메탄과 n-propyl bromide 등이있으나이러한브롬계세정제는모두오존파괴지수를갖고있다. 오존파괴지 수도 CFC-113이나 1,1,1-TCE 와비슷한정도의아주높은오존파괴지수를갖고있고또한, N-propyl bromide는 사이에서조건에따라발화점을갖기때문에독일과스위스 등지에서는개방형세정분야에는적당치않은것으로판정하고있다. 또한, 독성문제가일부에 서지적되고있어미국 EPA의 SNAP 프로그램에서는대부분의세정에브롬계물질의사용을 금지하고있다

5 2. 본론 LCD 샷시세정을위한초전해수세정제및장치 는이러한엄격한환경문제를완전해결 할수있는것으로전기, 전자기기및반도체부품의세정으로인한환경오염을혁신적으로줄 이고세정비용도줄일수있는친환경적인대체세정시스템의개발이라할수있다. 2.1 기술의특징 세정장치는원료수로서수도수, 공업용수등을사용하며, 이것을전해수생성기내에서특수 전기분해하여 ph( 수소이온농도) 8.5~11.0 의알카리성전해수를생성하고, 생성된전해수를 4 0~ 50 로가열하여세정액으로서이용하고, 탈지-물탈수-건조를진행하여제품의청정도를높 이고, 세정후의폐액은유분분리장치, sludge separator 등으로물과기름을분리하여, 재생된 물은전해수생성을위한원료수로재사용하고기름은폐처리한다. 세정시스템의획기적인특징은첫번째, 원료수는물만으로일체의세제와용제를사용하지 않는다는것으로폐액등의환경규제에대응할수있다. 두번째는전해수는공작유의유성제, 광물유등과반응하여유화, 분산되는것으로세정력을높이고전해수의고환원성에의한방청 력도강화된다. 그리고세번째는순환형시스템에따라물의재이용이가능하기때문에비용 이극히저액으로제로에미션( 매립폐기물제로) 에도대응할수있다. 더욱이전해수는박테리아가번식하는양분을일체사용하지않기때문에잡균의번식이적 어악취의발생이없으며, 표면장력이낮아 습윤성 이좋기때문에부품의간격등무기질의 먼지등의제거에도성과를발휘할수있다고사료된다. In-Line type 전해수세정장비의구성은 In-Line type 세정 module, In-Line type 건조 module, 전해수(EW : Electrolyzed Water) 생성 module, 순수(R/O Water) 생성 module, 유수 분리 module, 유분농축 module과 system control module 로구분된다

6 In-Line type 세정 module은피세정물인 LCD TV 샷시표면에오염된기계가공오일을세 정 chamber 안에서 chain으로이동하며전해수생성 module에서생성된전해수를 spray 방법 으로분사하여세척하고, 순수생성 module에서생성된순수를이용하여 rinse를진행하는세 정 module 이다. In-Line type 건조 module은세정이완료된 LCD TV 샷시를건조하는공정으 로 air cutting, hot air cutting 및 hot air dry 공정처리로완료된다. 전해수생성 module은 in-line type 세정 module에서세정액으로사용하는전해수를생성하는 module 이다. 전해수를생성할때사용되는원수는수도수를이용하고, 수도수에전기를인가하여산성의특 징을갖는산성전해수와알카리의특징을가진알카리전해수를동시에생성한다. 순수생성 module은 in-line type 세정 module에서전해수를이용한 spray 세정후 rinse 목적으로사용 되는 rinse수를생성하는 module 이다. 유수분리 module은 in-line type 세정 module에서 spray를이용하여전해수세정과순수 rinse를진행한후피세정물인 LCD TV 샷시표면에오 염된기계가공오일이폐액( 전해수, 순수및가공오일의혼합물) 에첨가하여발생되는데, 세정 후발생되는폐액을 oil과물또는 oil 과물로분리하여, 분리된물을전해수생성 module과 순수생성 module의원수공급라인에연결하여재사용하게하는 module 이다. 유분농축 module은유수분리 module에서폐액안에서분리된 oil을농축하여배출되는 oil을최소화 시키는 module 이다. System control module은 PLC touch panel상에서장비운영에필요한 recipe 를설정할수있고, 장비의자동운전이가능하게 control 하는 module 이다. 2.2 기술 ( 시장 ) 동향 국내기술 ( 시장 ) 동향 국내세정기술은역사가매우짧아 90년대이후로관심이고조되고있으나기술적축적이완성되 지않은상황으로염소계세정시스템및수계세정시스템, 일부의다조식탄화수소계세정시스템이 같이이용되고있으며아직까지도국제환경규제물질인염소계세정시스템이주류를이루고있어 이의대체가시급한실정이다. 현재많은종류의대체세정제및장치가개발되고있으나 TCE, CFC-113 등에비견되는세정 Cost 및세정력, 건조력등을갖춘세정시스템의개 발이활발하지는못한실정으로나름대로학계의세정연구회및일부기업체등에서수계및 준수계, 탄화수소계로의대체시스템이개발되고있다. 그러나이들개발업체들은대부분이중 소기업이하의영세기업으로개발자금력에한계가있으며체계적인학계의연구가부재하고, - 4 -

7 기술의낙후성을면치못하고있어반도체및정밀전자부품산업에있어서필수불가결한세정 시스템의선진화를위해서는국가적인차원의지원및관심이시급한실정이다 국내기술전망 우리나라의산업현황은반도체및 IT를중심으로한부품소재산업이새로이각광을받고 있는추세로이들부품소재들의완성도를높이기위한고효율, 고정밀의세정과작업장내환 경규제물질의강화로인한친환경세정시스템의도입이절실히요구되고있다. 특히, OECD 경제국으로써지구온난화및오존층파괴와관련된국제협약의회원국의의 무를다하기위해서는기존세정방법중에서오존층을파괴하는염소계세정시스템및온난 화의주범인 HFC 계세정제및세정시스템을대체하는기술이개발될전망이다 해외기술 ( 시장 ) 동향 미국에서는 CFC-12의전폐로인해 HFC-134a를대체사용하고있으나 CFC-12 중일부로이 미오염되어재생처리시설에서는부가적인장비를구입해야만하는문제점들이발생되었고 신 HFC-134a 밸브나압축기기름등과호환성의문제를일으켜시스템이망가지는일이종종 발생하고있다. CFC-12와 HCFC-22 등의대체물로 MT-31를개발하여지금까지공항의에어컨 시스템, 제빙기, 버스에어컨시스템등에도사용해왔으나독성물질이검출됨에따라상업용 혼합냉매는모든용도의냉동및공기조화기에사용할수없게되었다. 이러한문제를해결하기위하여 IMI 에어컨디셔닝사는탄화수소를냉매로사용하는여러종 류의냉방장치를개발하였으며, 시중에상용화되어호평을받고있다. 또한, 베이어사와월플 사의공동연구에서 HFC-245fa는 HCFC-141b를성공적으로대체할수있는기술적특성들을 지닌것으로판정했다. 개발초기에 HFC-245fa를사용할때문제점으로제기된것은이물질의 비등점이 15 로낮아서( 즉, 증기압이커서) 새로운장비에대한투자비가너무크게되는것 아니냐는것이었으나이들의연구에따라 에서의공정과정을필요로하지않는것으로드러났다. HFC-245fa는지금사용중인온도보다더낮은온도 - 5 -

8 CFC 의대체물질로개발된메틸브로마이드는오존층파괴지수및독성물질의검출에따라 사용금지의문제점이발생했고미국플로리다주에소재한 "Champon 100% Natural Products" 사는메틸브로마이드를대체할수있는신물질을개발했다. 다티졸(Datizol) 이라는이름의이 신물질은무독성의자연산액체스프레이상품으로그안의주성분은겨자와칠리고추에서 얻은필수기름이다. 미국 EPA 는다티졸의사용을승인했다. 현재다티졸은몇몇개발도상국 을포함한 9 개국에서판매중이다. 인도의시플라(Cipla) 사는유럽과미국밖에서처음으로비CFC 흡입제를개발한회사이다. 이새로운흡입제는아스탈린 HFA라는상표명을갖고시플라사의국내시장에출시될예정 이다. 또한, 이회사는현재유럽과남미등을포함하는대규모시장에수출하기위해등록업 무를수행하고있다. 아스탈린 HFA의개발에는 4년간의연구와많은투자비가들어갔으나시 플라사는자기들의흡입제가현재시중에서팔리고있는대부분의흡입제보다훨씬싼값으로 팔리게될것이므로금방모든비용을회수할수있을것으로기대하고있다. 인도네시아는 PS/PE 폼제조시 CFC 를제거하는기술을개발하였다. 이계획의성공으로 인해 95 ODP톤의 CFC 가제거되었다. 이것은 HCFC-22 기술이아닌하이드로카본(LPG) 기술 을이용한것으로장기적관점에서비용이저렴하고 ODP가 0.0이며 GWP가거의 0.0이기때 문이다. 또한, 가정용냉장고부분에서도 HCFC-141b를 HFC-134a로대체하여 72.3 ODP톤의 CFC 를제거할수있게되었다. 터키에서는경질폴리우레탄폼단열재패널제조를위해한개의연속라미네이터와다른한 개의불연속라미네이터를펜탄시스템으로개조하는계획을통해 250 ODP톤의 CFC를제거 할수있게되었다. 말레이시아에서는자동차에어컨분야에서 CFC-12를사용하는시스템을 HFC-134a를사용하 는시스템으로전환시키는계획이이루어져 120 ODP톤의 CFC 제거를이룰수있었다. 의 필리핀에서는세정분야에서고순도수세정시스템으로의전환계획이이루어져 CFC-113 제거를이룰수있게되었다 ODP톤 - 6 -

9 일본의듀퐁사는최근에자기들이테프론이라는이름으로생산하고있는플루오로폴리머제조를위한반응용세정제로초임계이산화탄소를사용하는것을검증하기위해미국노쓰캐롤라이나주공장에미화사천만달러상당의개발시설을짓겠다는계획을발표했고그성공에따라초임계 CO₂를수세정제와 CFC계열세정제를대체하기위한대체물로사용하기위한가능성도연구하고있다. 초임계상태에있는몇몇물질들은이미메틸렌클로라이드등을대체하기위해사용되고있으며규제조치에걸리는가여부를조사받고있는중이다. 미쓰비시중공업(Mitsubishi Heavy Industries, MHI) 은 ODP가 0.0인 HFC 혼합냉매 R-407C (HFC-32/HFC-125/HFC-134a 의혼합냉매 ) 를개발하였으며이새로운냉매는기존의 HCFC-22 냉매의대체물로개발된것이다. 새로운냉매를이용하는시스템을개발하면서 MHI는새로운 스크롤압축기개발, 열교환기성능향상, 설계압력증대, 고압보호컨트롤러향상등을포함 한여러가지설계상개발을병행했다. 일본다까하시금속( 주) 은전해수를이용한세정시스템을개발하여최근 5년간약 1,000대를 공급하였다. 세정용액으로사용하는전해수는수도수를원료수로하는전기분해기술을적용시 켜 ph( 수소이온농도) 의알카리성이온수를생성하여세정장치에투입하여 spray 등의 물리적수단과병용하여높은세정력을얻었다. 세정액은유수( 油水 ) 분리장치와순환하는것으 로재이용이가능하게하고, 폐액에있어서도감용화장치를이용하여액을농축시켜산업폐기 물로버리는양을최대한줄인장비를개발하여판매하고있다 국외기술전망 반도체및정밀전자광학부품들의세정에있어서세계세정기술을선도하고있는일본은 매해 10월에국제적인세정전시회를개최하고있으며선진각국의우수제품들이전시되고 있고이들의유형은수계및염소계세정시스템에서대체세정시스템으로의전환이이루어지 고있다. 현재일본의경우 60% 이상이대체세정시스템으로전화되었다. 또한, 이들의유형은 친환경적인특징을가지고있어세척수의재활용이가능하고세정폐기물의양이매우적은 형태로개발되고있어초기비용에비해운전비용이저렴한세정시스템을전화되고있어세계 각국의세정트랜드는이경향을따라가고있는실정이다

10 최근일본은지구온난화및오존층파괴물질대체세정시스템으로친환경적이며운전비용이 저렴한다까하시금속( 주) 社의 전해수를이용한세정시스템 이각광받고있다

11 3. 결론 우리나라의산업현황은반도체및 IT를중심으로한부품소재산업이새로이각광을받고있는추 세로이들부품소재들의완성도를높이기위한고효율, 고정밀의세정과작업장내환경규제물질의 강화로인한친환경세정시스템의도입이절실히요구되고있다. 반도체및정밀전자부품들의세정에있어서세계 1위의세정기술을가지고있는일본은매해 10 월달에국제적인세정전시회를개최하고있으며선진각국의우수제품들이전시되고있고이들의 유형은수계및염소계세정시스템에서난연성탄화수소계등을이용한세정시스템으로의전환이이 루어지고있으며현재일본인경우 60% 이상이대체세정시스템으로전환되었다. 또한, 이들의유형 은소형이면서도표준화되어있어대량생산이가능하고수요기업들은자신들에게가장적합한세정 시스템을맞춤형보다 40% 이상저가에구입하여현장에즉시투입할수있다는장점에그시장규모 가날로급격히증가하고있는실정이다. 따라서, 기존세정방법중에서오존층을파괴하는염소계및브롬계세정시스템, 지구온난화 의주범인 HFC계세정시스템을대체하여정밀세정을구현하고현재일본에전적으로의존하 고있는 전해수를이용한세정시스템 을수입대체할수있는 초전해수세정제및세정시스 템의개발 은매우중요한사업이다

12 Ⅱ.. 세부제목 : 온난화물질대체난연성탄화수소세정제및무방류세정시스템개발 1. 서론 반도체및전자부품의기능이날로집적화, 정밀화, 소형화되어가면서이들의품질을관리 하기위한방안또한많은발전을이룩하였다. 그중에서도 2차가공공정의중요단계인세척공 정은부품소재류의최종품질을결정하는중요한공정으로, 이에따라후가공공정에서의제 반사항들이영향을받게된다. 이들세척시스템은크게수계세척시스템, 염소계세척시스템, 탄화수소계세척시스템의 3 가지분류로나눌수있으며수계세척제로는중성세척제, 알칼리계 세척제등이있다. 염소계세척제로는 CFC-113, 1,1,1-TCE, TCE, PCE, HCFC, MC 등이있으며 탄화수소계세척제로는 C 6 ~C 14 까지의공비혼합물이있으나이들모두는폐액으로인한 적인환경오염문제와대기및수질을통한인체유해문제로그사후처리가매우어렵고비용 이막대하게소요되는심각한문제점을가지고있다. 따라서이들폐기물들의발생을줄일수 있는대체세척시스템의도입이절실하나공업선진국인일본, 미국등과비교해볼때우리의 수준은아직까지요원한실정이다. 2차 87년오존층파괴물질의생산및사용을규제한몬트리올의정서를시작으로기술선진국 등에서는청정생산개념이정착되어원료도입및제품생산, 폐기물및부산물의재자원화, 생태계로폐기될때까지의전과정에서환경오염물질을원천적으로방지하고폐해를최소화하 여환경보전과제조원가절감을동시에추구하는 Win-Win 전략의사전예방경영기법을도입 함으로써인간과환경보호위주의생활방식을실현하고있고, 이들개념을기술장벽화하여 무역규제수단으로삼고있다. 또한, 89년바젤협약을통해유해적특성을가진폐기물 47종의 국경간이동을금지시켰으며, 92년리우선언이후 200여개의국제협약이체결되어새로운 TBT 로등장한국제적환경규제는제품및생산공정으로까지확대되고있고, 지구환경오염 물질사용규제와관련해서는의정서비가입국으로부터의수입을제한하고있으며, 94년의기 후변화협약은온실가스배출생산공정및화석연료사용을규제하고있다

13 2. 본론 오존층파괴물질대체난연성탄화수소세정제및무방류세정시스템개발 은 TCE, TCE, MC, PCE 등염소계오존층파괴물질을완전대체하는친환경세정시스템으로반도체 부품및정밀전기전자부품 소재등을난연성탄화수소계용제를이용하여친환경적으로무 방류 One-step 정밀세정할수있는기술개발이다. 피세정물의오염물질들에물리적인힘을 가하는초음파는적용형태를 28kHz, 40kHz 등의단주파또는침투성이좋고, 정재파가작은 40~90kHz의멀티주파를사용한초음파를적용하며난연성세정용제를 95% 이상의순도를유 지하면서도연속적으로고속(100 L/h) 것이다. 리사이클링하여세정에재사용하는기술을개발하는 2.1 기술의특징 난연성탄화수소세정제및세척시스템의특징은난연성및자기소화성으로개방된일반적인세정환경에서도화재발생안되고프레온과대등한빠른세정속도및건조성으로세정잔사가없다. 무방류 One-step형소형구조에서다양한크기의부품을세정할수있는구조이며탈기작용으로케비테이션효과증가를통한세정력향상시킨다. 표준소형및대형품으로맞춤형대비가격저렴하다. 저압증기세정시스템및특징( 샤워세정ㆍ회전기구를포함) 은세정대가상부세정실로상 승하여저압증기세정전에감압증류재생액으로샤워, 린스되므로청정도를높이고, 작업 온도가낮은특징이있다. 저압하에서비점을약 100 전후로컨트롤하여증기세정을함으 로써세정작업에대한영향을최소화할수있고, 저압하에서의세정및방폭장치를내장하 기때문에화재에대한위험이없는것이특징이다. 용제증기는물론이고증류물을리사이클링 하는구조로, 작업표면의응축린스는마무리세정으로서최적이다. 감압증기세정을함으로써, 작업의 加溫이단시간으로짧아지기때문에다음공정인진공건조시의열칼로리로서유효하 게사용이가능하다. 이와같은방법을사용함으로서다른진공방식과비교할때 One-step 구 조가가능하다. 난연성세척용제리사이클링은감압증기발생증류재생기능이내장되어있으므로, 침적세 - 6 -

14 정 증기세정의세정액중에용해된기름등의찌꺼기에대해서는연속적으로회수하여, 재생한깨끗한액을순환시키는시스템이다. 또한, 오염된액등에대해서는간단히배액가능 한구조로되어있으므로배액도용이하다. 증류 환경적인효과로서는오존층파괴물질인염소계, 할로겐계세정용제 100% 대체할수있고 탄화수소계세정용제들의인화성으로인한화재위험율 60% 이상저감할수있다. 무방류세 척용제재생시스템채택으로 2차환경오염석유계용제발생율 90% 이상대체할수있으며 오염물질유발수계세정시스템의폐수발생량 100% 대체한다. 다양한 One-step 세정구조로 대기분야 VOCs 휘발량 70% 이상저감할수있다. 폐기물처리관련페세정제및폐유화물 찌꺼기 80% 이상저감한다. 경제적효과는수입품에전량의존하는난연성세정용제들을 30% 이상대체할수있다. 일 본등에서생산되고있는난연성세정용제및세척시스템대비가격이 65% 정도이므로대외 수출강화를통한무역도기대된다. 맞춤형세정시스템을소형화함으로서대당생산비용을기 존제품대비 30% 이상절감할수있다. 파급효과로서는환경적으로폐수및프레온가스, 온실가스등으로인한 2차환경문제를방지 하고유기용제화재로인한산업경제피해를 제거하여연간 40% 1000 억원이상의세정파급효과창출이기대된다. 이상저감하며산업세정의불필요한비용을 난연성세정용제개발은일본에종속되고있는정밀화학제품의하나로이에대한국가차원 의경쟁력을갖추는것이매우필요한사업이다. 2.2 기술 ( 시장 ) 동향 국내기술 ( 시장 ) 동향 - 7 -

15 국내세정기술은역사가매우짧아 90년대이후로관심이고조되고있으나기술적축적이완성되 지않은상황으로염소계세정시스템및수계세정시스템, 일부의다조식탄화수소계세정시스템이 같이이용되고있으며아직까지도국제환경규제물질인염소계세정시스템이주류를이루고있어 이의대체가시급한실정이다. 현재많은종류의대체세정제및장치가개발되고있으나 TCE, CFC-113 등에비견되는세정 Cost 및세정력, 건조력등을갖춘세정시스템의개발 이활발하지는못한실정으로나름대로학계의세정연구회및일부기업체등에서수계및준 수계, 탄화수소계로의대체시스템이개발되고있다. 그러나이들개발업체들은대부분이중소 기업이하의영세기업으로개발자금력에한계가있으며체계적인학계의연구가부재하고, 기 술의낙후성을면치못하고있어반도체및정밀전자부품산업에있어서필수불가결한세정시 스템의선진화를위해서는국가적인차원의지원및관심이시급한실정이다 해외기술 ( 시장 ) 동향 반도체및정밀전자부품들의세정에있어서세계 1위의세정기술을가지고있는일본은매해 10 월달에국제적인세정전시회를개최하고있으며선진각국의우수제품들이전시되고있고, 이들의 유형은수계및염소계세정시스템에서난연성탄화수소계등을이용한세정시스템으로의전환이이 루어지고있으며현재일본인경우 60% 이상이대체세정시스템으로전환되었다. 또한, 이들의유형 은소형이면서도표준화되어있어대량생산이가능하고수요기업들은자신들에게가장적합한세정 시스템을맞춤형보다 40% 이상저가에구입하여현장에즉시투입할수있다는장점에그시장규모 가날로급격히증가하고있는실정이다. 1999년미국 Union Carbide 사는화합물촉진제(chemical trigger) 에의해쉽게계면활성제가소수 성물질로분해되는환경친화적인계면활성제(splittable surfactant) 를개발하였다. 이계면활성제를 함유한폐수는계면활성제의분해에따라에멀젼현상이깨져오일과물층이급속히분리되어처리 가용이하고분해된계면활성물질은쉽게생분해되어생태계에무해한물질로변하기때문에매우 환경친화적이다. 또한, 미국의 Solvent Kleene Inc. 사는탈지력( 세정력) 에있어서 1,1,1-trichloroethane 에비견되는세 정제인 D-Greeze 500-LO 를개발하였는데이세정제는추가투자없이기존세정시스템에적용할수 있고쉽게재활용이가능하여폐기물발생량을최소화할수있는세정제를개발하였다. 초음파를이 - 8 -

16 용한세척시스템에있어서는우리나라에서주로사용하는 28Khz, 40Khz 및 60Khz, 90Khz의단주파 식세척기이외에 28Khz~70Khz 또는 40Khz~90Khz 대역의초음파를발생시켜피세척물의손상 을방지하고정밀세정할수있으며, 세정액의높이, 세제의종류, 온도변화, 제품의투입등에도변화 없이안정된출력을제공하고, 발진부와진동부의호환성이있는다주파식초음파세척기및반도체, LCD 등의초정밀세척을위한고주파(1Mhz) 초음파세척기가개발되어침지식, 갸워식, 제트식, 펄 스식의제품이생산되고있어세척장비에서도고도의기술을보유하고있다

17 3. 결론 오존층파괴를일으키는염소계및할로겐계세정제를대체하여일본에서는 90년대후반부 터탄화수소계세정제를개발하였으나인화성으로인한위험이높아화재가발생하는등의문 제점이대두되어난연성세정제의개발에관심이고조되고있다. 우리나라의산업현황은반도체 및 IT를중심으로한부품소재산업이새로이각광을받고있는추세로이들부품소재들의완성도를 높이기위한고효율, 고정밀의세정과작업장내환경규제물질의강화로인한난연성친환경세정시 스템의도입이절실히요구되고있다. 반도체및정밀전자광학부품산업등의세정공정애로사항인친환경, 고정밀세정을위해화재위험이없으며세정비용이비교적저렴한본세정시스템을개발보급함으로서반도체및정밀전자광학부품소재분야고정밀신기술, 신공정개발을위한기술을선도하는것은매우필요하다. 따라서본기술은난연성이며세정력이높은고기능성탄화수소세정제및폐세척액을재생하여연속사용할수있는무방류형의세척시스템을개발하는것이며이사업은환경적측면및세정안정성을확보하기위한매우필요한사업이다

18 < 참고문헌 > [1] 일본산업세정협의회편 [ 세정제 세정장치활용노트] 공업조사회 (2004) [2] 일본산업세정협의회앙케이트조사결과보고서 [3] 국내산업용세정 세척제업계의현황과전망(2004), 한국플라스틱기술정보센터. 플라스틱사 이언스 7 월호( 제18권 7 호). pp106~120. [4] 염소계세정제는去하고수계세정제가來하다(1995). 케미칼리포트 6 월호( 제28 호). < [5] 한국과학기술정보연구원 탄산가스를이용한새로운세정기술, 과학기술동향 (2003) [6] 한국과학기술정보연구원 증기를사용하는반도체세정기술, 과학기술동향 (2004) [7] 小川洋輝 ( 오가와히로키) 堀池靖浩 ( 호리이케야스히로) 著 ( 저): 초기의반도체세정기술, 공업조사회 (2002) [8] 전자부품및반도체세정의기초, 일본산업세정협회(2003) [9] 초음파를이용한산업세정기술, 일본산업세정협회(2001) [10] 진공탈기기술에대한기초응용분야, 일본산업세정협회(1998) [11] M. Cheryan, "Ultrafiltration and Microfiltration Handbook", pp 384, Technomic Publishing Company, LanCASter Basel, [12] Membrane Products Kiryat Weizmann Ltd. Catalogue, P.O. Box 138, Rehovot 76101Israel. [13] S.U, Shin, J.J. Kim, "Water Treatment Engineering", p.592, Donghwa Technology, Seoul,

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<5B30345F435220205DBBFDBBEAC0DAC3A5C0D3C0E7C8B0BFEB28BFA9C1D8C8A3292E687770>

<5B30345F435220205DBBFDBBEAC0DAC3A5C0D3C0E7C8B0BFEB28BFA9C1D8C8A3292E687770> 3-10%성장, 가중치(.5,.3,.2) 재활용율 % 3년평균 의무율(%) 가중치 의무율(%) 83 78 % 73 68 63 58 2006 2007 2008 2009 2010 2011 2012 2013 2014 2015 연도 3-10%성장, 가중치(.5,.3,.2) 기존식의무량 3년평균의무량 가중치의무량 115 105 톤 95 85 75 65 2006 2007