(51) Int. Cl. 6 H01L 21/68 (21) 출원번호 10-1999-0006000 (22) 출원일자 1999년02월24일 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (30) 우선권주장 98-58921 1998 년 02 월 24 일일본 (JP) (71) 출원인동경엘렉트론주식회사히가시데쓰로 일본국도쿄도미나토구아카사카 5 초메 3 반 6 고 (72) 발명자오오츠카히로미 (11) 공개번호특 1999-0072869 (43) 공개일자 1999 년 09 월 27 일 일본국후쿠오카켄쿠루메시히가시 - 쿠시하라마치 477-1B106 마쯔모토카즈히사 일본국사가켄토스시무라타마치 524-5 (74) 대리인이종일 심사청구 : 없음 (54) 기판보지구및그세정 건조장치와세정 건조방법 요약 본발명은기판보지구및그세정 건조장치와세정 건조방법에관한것이다. 종래의웨이퍼반송척 ( 기판보지구 ) 는복수의부재를조립하여형성되기때문에, 웨이퍼가대형이되면웨이퍼척및그세정 건조장치가대형화되고, 세정 건조효율이저하하는문제점이있었다. 본발명은기판보지구의보지부재를하나의부재로형성함으로써보지부재의강도를저하시키지않고기판보지구및그보지홀을소형화함과동시에, 건조시간의단축및스루풋향상을도모할수있는기판보지구와, 세정용기의상면에한쌍의개구부를갖고, 2 개의보지부재를동시에세정 건조처리할수있는세정 건조장치및, 기판보지구와세정용기를상대적으로이동가능하게형성함으로써기판보지구를효율적으로세정 건조처리할수있는기판보지구의세정 건조방법을제시하고있다. 대표도 도 4 명세서 도면의간단한설명 도 1 은본발명에관련된웨이퍼반송척및그세정 건조장치를도입한반도체웨이퍼의세정처리시스템의일예를도시한개략평면도이다. 도 2 는본발명에관련된웨이퍼반송척및그세정 건조장치의요부를도시한사시도이다. 도 3 은본발명에서의비산방지판의다른형태를도시한사시도이다. 도 4 는본발명에관련된웨이퍼반송척의세정 건조장치를도시한정면단면도이다. 도 5 는도 4 의 P-P 선단면도이다. 도 6 은도 4 의 Q-Q 선단면도이다. 도 7 은본발명에서의보지부재의측면도 (a) 및그단면도 (b) 이다. 도 8 은도 7 의 R-R 선단면도 (a) 및 S-S 선단면도 (b) 이다. 도 9 는본발명에관련된웨이퍼반송척의세정 건조방법의순서도이다. 도 10 은웨이퍼반송척을세정용기내에위치시키는공정을도시한개략단면도이다. 도 11 은본발명에관련된상부보지부를세정하는공정 (a) 와, 하부보지부를세정하는공정 (b) 를도시한개략단면도이다. 도 12 는본발명에관련된상부보지부를건조하는공정 (a) 와, 하부보지부를건조하는공정 (b) 를도시한개략단면도이다. 16-1
도 13은본발명에관련된웨이퍼반송척이세정용기내에서꺼내지는공정을도시한개략단면도이다. 도 14는종래의기판보지구및그세정 건조장치의일예를도시한개략사시도이다. 도면의주요부분에대한부호의설명 1 : 캐리어 2 : 반입 반출부 3 : 처리부 4 : 인터페이스부 5a : 캐리어반입부 5b : 캐리어반출부 6 : 웨이퍼반출입부 7 : 덮개개폐장치 8 : 매핑센서 9 : 웨이퍼반송아암 10 : 웨이퍼반송척 ( 기판보지구 ) 11 : 보지부재 12 : 상부보지부 12a : 상부보지홀 13 : 하부보지부 13a : 하부보지홀 14, 15a, 16a : 엣지 ( 액빠짐부 ) 15 : 축부 15b : 심봉 15c : 보호부재 16, 16b, 25 : 비산방지판 16c : 엣지부재 17 : 원호상부 20 : 척세정건조장치 21 : 세정용기 21a : 브래킷 21b : 실린더 22 : 개구부 23 : 순수분사관 24 : 기체분사관 23a, 24a : 분사노즐 23f, 24g : 개폐밸브 23g : 순수공급원 24h : 공기공급원 23b, 23c, 23d, 23e : 제1, 제2, 제3, 제4공급관 24b, 24d, 24e, 24f : 제1, 제2, 제3, 제4공급관 24c : 양팔컨넥터 26, 29 : 컨넥터 27a : 측벽 27b : 안내벽 27c : 가이드롤러 27d : 가이드판 27e : 가이드돌조 28 : 받이용기 30 : 자세변환장치 50 : 반송로 52 : 제1처리부 52a : 제1처리유니트 53 : 제2처리부 53a : 제2처리유니트 54 : 제3처리부 54a : 세정건조처리유니트 55 : 제4처리부 a : 웨이퍼척 b : 보지부재 c : 상부보지봉 d : 하부보지봉 e : 틀부재 f : 축부 g : 보지홀 h : 세정 건조장치 i : 세정용기 j : 건조가스공급수단 k : 세정액공급수단 W : 반도체웨이퍼 ( 기판 ) L : 순수 ( 세정액 ) K : 공기 ( 건조가스 ) 발명의상세한설명 발명의목적 발명이속하는기술및그분야의종래기술 본발명은기판보지구및그세정 건조장치와세정 건조방법에관한것이다. 일반적으로, 기판예를들어반도체웨이퍼 ( 이하웨이퍼라한다 ) 를사이에끼워서지지하는종래의기판 16-2
보지구및그세정 건조장치로서는, 예를들어일본국특개평 7-58074 호공보에기재된것등이알려져있다. 이와같은기판보지구및그세정 건조장치의일예를, 도 14 를참조하여설명한다. 기판보지구예를들어웨이퍼척 (a) 는좌우대칭으로형성되어있고, 마주보게배설된한쌍의보지부재 (b) 로구성되어있다. 이경우, 각보지부재 (b) 는기부가수평으로서로평행하게배설되어있고, 그양단이수직하향으로굽어진약ㄷ자모양의한쌍의틀부재 (e) 와, 양쪽틀부재 (e) 의하부측의대향하는위치에서로평행하게가설된상부보지봉 (c) 및하부보지봉 (d) 와, 양쪽틀부재 (e) 의일측면에서기부의길이방향을향해돌출한한쌍의축부 (f) 로구성되어있다. 또한, 상부및하부보지봉 (c), (d) 에는각각웨이퍼를정렬상태로집기위한복수의보지홀 (g) 가배설되어있다. 한편, 웨이퍼척 (a) 의세정 건조장치는, 상하에개구한사각형상의통모양으로형성된세정용기 (i) 와, 이세정용기 (i) 의내부상방의양측부에배설된건조가스공급수단 (j) 와, 각건조가스공급수단 (j) 의하측에배설된세정액공급수단 (k) 로주로구성되어있다. 건조가스공급수단 (j) 에는상부보지봉 (c) 또는하부보지봉 (d) 를향해건조가스를분사하기위해, 적당한간격을두고복수의분사공 ( 도시하지않음 ) 이구멍나설치되어있고, 또, 세정액공급수단 (k) 에는상부보지봉 (c) 또는하부보지봉 (d) 를향해세정액을분사하기위해, 적당한간격을두고복수의분사노즐 ( 도시하지않음 ) 이구멍나설치되어있다. 또, 상기와같이구성되는웨이퍼척 (a) 의세정 건조장치 (h) 에서세정용기 (i) 는, 도시하지않은승강수단에연결되어있어, 세정액또는건조가스가상부보지봉 (c) 또는하부보지봉 (d) 에효율좋게분사될수있도록위치맞춤을하기위해, 이승강수단의구동에의해상대적으로상하이동가능하게형성되어있다. 이와같이구성되는웨이퍼척 (a) 와그세정 건조장치는상기승강수단의구동에의해상대적으로상하이동함으로써위치맞춤이이루어지고, 상부보지봉 (c) 와하부보지봉 (d) 에순서대로세정액을분사하여세정처리를한후, 동일하게건조가스를분사하여건조처리를행한다. 발명이이루고자하는기술적과제 그런데, 상기웨이퍼척 (a) 는복수의부재를조립함으로써형성되기때문에, 특히웨이퍼가대형이되면, 각보지부재 (b) 에충분한강도를갖게하기위해서는각구성부재를두껍게형성할필요가있고, 게다가웨이퍼를안정상태로보지하기위해서는보지홀 (g) 를필요이상으로깊게그리고크게형성할필요가있었다. 이로써, 웨이퍼척 (a) 및그세정 건조장치 (h) 전체가대형화하는문제가있었고, 또, 웨이퍼척 (a) 상의세정액의액빠짐이나빠짐과동시에, 세정처리후에비교적대량의세정액이보지홀 (g) 내에잔류한다고하는문제가있었다. 게다가, 건조가스가상부보지봉 (c) 또는하부보지봉 (d) 를향해분사되어도건조가스가접촉하기어려운영역이있기때문에, 건조처리시간이길어짐과동시에, 건조가스의사용량이증가하고, 건조효율및스루풋이저하하는문제가있었다. 본발명은상기와같은문제점을해결하기위해이루어진것으로, 보지부재를하나의부재로형성함으로써, 보지부재의강도를저하시키지않고기판보지구및그보지홀의소형화를도모함과동시에, 건조가스가보지부재에모두접촉할수있도록형성하고, 건조시간의단축및스루풋의향상을도모하는것을제 1 목적으로하고, 이보지부재에적합한세정 건조처리시간의단축및스루풋의향상을도모할수있는기판보지구의세정 건조를행하는것을제 2 목적으로한다. 상기목적을달성하기위해, 본발명은이하와같이구성된다. (1) 본원의제 1 발명의기판보지구는, 기판을사이에끼워서지지하는한쌍의보지부재를구비하는기판보지구에있어서, 상기한쌍의보지부재는대향하는면측의상부및하부에각각돌출한상부보지부와하부보지부를갖고, 상기상부보지부및상기하부보지부는각각기판의보지부측을향해원호상으로형성되어있음과동시에, 배열된복수의보지홀을갖는것을특징으로한다. 이경우, 상기상부보지부및상기하부보지부는각각기판의보지부측을향해원호상으로형성되어있음과동시에, 배열설치된복수의보지홀을갖도록, 일체적으로구성되어있다. 또, 상기보지부재의상단부를볼록 ( 凸 ) 형상을한원호상으로형성하는편이바람직하고, 또, 상기보지부재의하단부에하방을향해돌출하는끝이뾰족한형상의액빠짐부를설치하는것이바람직하다. 더욱바람직하게는, 상기보지부재의길이방향의일단부에, 보지부재의길이방향으로축부를돌출설치하고, 이축부의보지부재측부근에비산방지판을축부에대해교차상태로장착하는편이좋다. 이경우, 상기비산방지판의하부측에, 하방을향해돌출하는끝이뾰족한형상의액빠짐부를설치하는것이바람직하고, 또, 상기축부의하부측에하방을향해돌출하는끝이뾰족한형상의액빠짐부를설치하는편이바람직하고, 또한, 상기축부는상기보지부재의길이방향의일단하방부에돌출설치되어있는편이바람직하다. 본원의제 1 발명에의하면, 보지부재가하나의부재로형성되기때문에, 강도가향상됨과동시에, 상부보지부및하부보지부를작게할수있다. 이로써, 보지홀도작게할수있기때문에, 보지홀에침투하는세정액의잔류량을적게할수있다. 또, 상부및하부보지부가보지부측을향해원호상로형성되어있기때문에, 세정액의액빠짐이좋고, 분사된건조가스가보지부재의한쪽표면을따라신속히흘러, 건조가스를상부또는하부보지부전체에효율좋게접촉시킬수있다. 이경우, 보지부재의상단부를볼록형상을한원호상으로형성함으로써, 보지부재상부에세정액이잔류하는것을방지할수있음과동시에, 건조가스가보지부재의상측표면을더욱신속하게흐르게된다. 또, 보지부재의하단부에액빠짐부를설치함으로써, 기판보지구의세정후에표면에부착한세정액을신속히제거할수있다. 또, 보지부재에축부를설치함으로써, 기판을확실하게보지할수있고, 또한이축부에비산방지판을장착함으로써, 기판보지구의세정중에세정액의물방울이세정용기외부로비산하는것을방지할수있다. 게다가, 비산방지판이나축부의하부축에액빠짐부를설치함으로써, 기판보지구의세정중또는세정후에비산방지판이나축부에부착한세정액을신속하게제거할수있다. 16-3
또, 상기축부는상기보지부재의길이방향의일단하방부에돌출설치되어있기때문에, 기판의중량에대한보지부재의강도가유지되고, 기판을보지홀에재치한상태에서상기보지부재끼리를근접격리방향으로상기축부의주위에용이하게회전이동시킬수있다. (2) 본원의제 2 발명의기판보지구의세정 건조장치는기판보지구를세정 건조처리하는기판보지구의세정 건조장치로서, 상기기판보지구는기판을사이에끼워서지지하는한쌍의보지부재를구비하는기판보지구에있어서, 상기한쌍의보지보재는대향하는면측의상부및하부에각각돌출한상부보지부와하부보지부를갖고, 상기상부보지부및상기하부보지부는각각기판의보지부측을향해원호상으로형성되어있음과동시에, 배열설치된복수의보지홀을갖는것으로, 상기세정 건조장치는, 하방에개구한상자모양으로형성되어그상면과일측면에서로평행하게연결된한쌍의개구부를갖는세정용기와, 상기세정용기의내부상방에배설되는세정액공급수단과, 상기세정용기의내부상방의개구부근방에배설되는건조가스공급수단을구비하고, 상기기판보지구와상기세정용기를상대적으로상하이동가능하게형성하여이루어지는것을특징으로한다. 이경우, 상기세정액공급수단을배설하는위치는, 기판보지구를세정할수있으면임의로좋으나, 바람직하게는양개구부사이에배설하는편이좋다. 또, 상기건조가스공급수단의위치에관해서도, 기판보지구를건조할수있으면임의로좋으나, 바람직하게는각개구부의양측부근방에배설하는편이좋다. 게다가, 상기개구부의측면부에세정용기의내방을향해돌출하는비산방지판을돌출설치하는편이바람직하다. 또, 상기기판보지구와상기세정용기를보지부재의길이방향에대해상대적으로왕복이동가능하게형성하는편이바람직하다. 본원의제 2 발명에의하면, 세정용기의상면에한쌍의개구부를갖기때문에, 2 개의보지부재를동시에세정처리할수있다. 또, 기판보지구와세정용기를상대적으로상하이동가능하게형성함으로써, 세정액공급수단으로부터분사되는세정액을상부및하부보지부에빠짐없이접촉시킬수있음과동시에, 건조가스공급수단으로부터분사되는건조가스를상부및하부보지부에빠짐없이접촉시킬수있다. 따라서, 세정및건조를효율좋게행할수있다. 이경우, 세정액공급수단을양개구부사이에배설함으로써, 1 개의세정액공급수단으로부터양보지부재를향해세정액을분사할수있다. 또, 건조가스공급수단을각개구부의양측부근방에배설함으로써, 보지부재의양측을향해건조가스를분사할수있다. 게다가, 개구부의측면부에세정용기의내방을향해돌출하는비산방지판을돌출설치함으로써, 기판보지구의세정중에세정액의물방울이세정용기의외부로비산하는것을방지할수있다. 또, 기판보지구와세정용기를보지부재의길이방향에대해상대적으로왕복이동가능하게형성함으로써, 건조가스분사중에기판보지구를건조가스공급수단에대해이동시킬수있어, 건조가스를상부또는하부보지부에배열설치된각보지홀에빠짐없이분사시킬수있다. (3) 본원의제 3 발명의기판보지구의세정 건조방법은기판보지구를세정 건조처리하는기판보지구의세정 건조방법으로, 상기기판보지구는기판을사이에끼워서지지하는한쌍의보지부재를구비하는기판보지구에있어서, 상기한쌍의보지부재는대향하는면측의상부및하부에각각돌출한상부보지부와하부보지부를갖고, 상기상부보지부및상기하부보지부는각각기판의보지부측을향해원호상으로형성되어있음과동시에, 배열설치된복수의보지홀을갖는것으로, 상기세정 건조방법은, 세정용기와상기기판보지구를상대적으로이동시켜상기기판보지구의양보지부재를상기세정용기내에위치시키는공정과, 상기양보지부재의상부보지부를향해세정액을분사하는공정과, 상기양보지부재의하부보지부를향해세정액을분사하는공정과, 상기양보지부재의상부보지부를향해건조가스를분사하는공정과, 상기양보지부재의하부보지부를향해건조가스를분사하는공정을갖는것을특징으로한다. 이경우, 상기양보지부재의상부보지부에건조가스를분사함과동시에, 기판보지구와세정용기를보지부재의길이방향에대해상대적으로왕복이동시키는공정과, 상기양보지부재의하부보지부에건조가스를분사함과동시에, 기판보지구와세정용기를보지부재의길이방향에대해상대적으로왕복이동시키는공정을더갖는편이바람직하다. 본원의제 3 발명에의하면, 세정액을상부보지부및하부보지부를향해순서대로분사한후, 건조가스를상부보지부및하부보지부를향해순서대로분사함으로써, 기판보지구의상부보지부및하부보지부를효율적으로세정 건조할수있다. 이경우, 기판보지구에건조가스를분사함과동시에, 기판보지구와세정용기를보지부재의길이방향에대해상대적으로왕복이동시킴으로써, 건조가스를각보지홀에빠짐없이분사할수있다. 발명의구성및작용 이하, 본발명의실시형태를첨부도면에기초하여상세히설명한다. 여기서는본발명에관련된기판보지구및그세정 건조장치를, 반도체웨이퍼 ( 기판 ) 의보지구예를들어웨이퍼반송척및그세정 건조를행하는척세정 건조장치에적용한경우에대해설명하고, 또한, 이것을반도체웨이퍼의세정처리시스템에도입한경우에대해설명한다. 도 1 은본발명의기판보지구및그세정 건조장치를도입한반도체웨이퍼의세정처리시스템의일예를도시한개략평면도이다. 상기세정처리시스템은피처리용기판예를들어반도체웨이퍼 ( 이하웨이퍼라한다 )(W) 를수평상태로수납하는용기예를들어캐리어 (1) 을반입 반출하기위한반입 반출부 (2) 와, 웨이퍼 (W) 를약액, 세정액등에의해액처리함과동시에건조처리하는처리부 (3) 과, 반입반출부 (2) 와처리부 (3) 사이에위치하여웨이퍼 (W) 의인수인도, 위치조정, 자세변환및간격조정등을행하는웨이퍼 (W) 의인수인도부예를들어인터페이스부 (4) 로구성되어있다. 16-4
상기반입 반출부 (2) 는, 세정처리시스템의일측단부에는캐리어반입부 (5a) 와캐리어반출부 (5b) 가병설됨과동시에, 웨이퍼반출입부 (6) 이설치되어있다. 이경우, 캐리어반입부 (5a) 와웨이퍼반출입부 (6) 사이에는도시하지않은반송기구가배설되어있고, 이반송기구에의해캐리어 (1) 이캐리어반입부 (5a) 로부터웨이퍼반출입부 (6) 으로반송되도록구성되어있다. 또, 상기처리부 (3) 에는, 웨이퍼 (W) 에부착하는파티클이나유기오염물질을제거하는제 1 처리유니트 (52a) 를구비하는제 1 처리부 (52) 와, 웨이퍼 (W) 에부착하는금속오염물질을제거하는제 2 처리유니트 (53a) 를구비하는제 2 처리부 (53) 과, 웨이퍼 (W) 에부착하는산화막을제거함과동시에, 건조처리를하는세정 건조처리유니트 (54a) 를구비하는제 3 처리부 (54) 와, 후술하는웨이퍼반송척 ( 기판보지구 )(10) 의세정 건조처리를행하기위한, 본발명에관련된척세정 건조장치 (20) 을구비하는제 4 처리부 (55) 로구성되어있다. 또한, 제 4 처리부 (55) 는반드시제 3 처리부 (54) 와인터페이스부 (4) 사이에위치할필요는없고, 예를들어제 2 처리부 (53) 과제 3 처리부 (54) 사이에위치해도좋고, 또는, 제 1 처리부 (52) 에인접하는위치에배치해도좋다. 또, 캐리어반출부 (5b) 와웨이퍼반출입부 (6) 에는각각캐리어리프터 ( 도시하지않음 ) 가배설되고, 이캐리어리프터에의해빈캐리어 (1) 을반입 반출부 (2) 상방에설치된캐리어대기부 ( 도시하지않음 ) 로인수인도및캐리어대기부로부터수취를행할수있도록구성되어있다. 이경우, 캐리어대기부에는수평방향 (X, Y 방향 ) 및수직방향 (Z 방향 ) 으로이동가능한캐리어반송로봇 ( 도시하지않음 ) 이배설되어있고, 이캐리어반송로봇에의해웨이퍼반출입부 (6) 으로부터반송된빈캐리어 (1) 을정렬함과동시에, 캐리어반출부 (5b) 에반출할수있도록되어있다. 또, 캐리어대기부에는빈캐리어뿐만아니라, 웨이퍼 (W) 가수납된상태의캐리어 (1) 을대기시켜두는것도가능하다. 상기캐리어 (1) 은일측에도시하지않은개구부를갖고, 내벽에복수예를들어 25 매의웨이퍼 (W) 를적당한간격을두고수평상태로보지하는보지홀 ( 도시하지않음 ) 을갖는용기본체 ( 도시하지않음 ) 와, 이용기본체의개구부를개폐하는덮개체 ( 도시하지않음 ) 로구성되어있고, 후술하는덮개개폐기구 (7) 에의해상기덮개체를개폐할수있도록구성되어있다. 상기웨이퍼반출입부 (6) 은상기인터페이스부 (4) 에개구되어있고, 그개구부에는덮개개폐장치 (7) 이배설되어있다. 이덮개개폐장치 (7) 에의해캐리어 (1) 의도시하지않은덮개체가열림또는닫히도록되어있다. 따라서, 웨이퍼반출입부 (6) 에반송된미처리웨이퍼 (W) 를수납하는캐리어 (1) 의덮개체를덮개개폐장치 (7) 에의해열어캐리어 (1) 내의웨이퍼 (W) 를반출가능하게하고, 모든웨이퍼 (W) 가반출된후, 재차덮개개폐장치 (7) 에의해상기덮개체를닫을수있다. 또, 상기캐리어대기부로부터웨이퍼반출입부 (6) 에반송된빈캐리어 (1) 의덮개체를덮개개폐장치 (7) 에의해열어캐리어 (1) 내로웨이퍼 (W) 의반입을가능하게하고, 모든웨이퍼 (W) 가반입된후, 재차덮개개폐장치 (7) 에의해덮개체를닫을수있다. 또한, 웨이퍼반출입부 (6) 의개구부근방에는캐리어 (1) 내에수용된웨이퍼 (W) 의매수를검출하는매핑센서 (8) 이배설되어있다. 상기인터페이스부 (4) 에는, 복수매예를들어 25 매의웨이퍼 (W) 를수평상태로보지함과동시에, 웨이퍼반출입부 (6) 의캐리어 (1) 사이에서수평상태로웨이퍼 (W) 를인수인도하는웨이퍼반송아암 (9) 와, 복수매예를들어 50 매의웨이퍼 (W) 를소정간격을두고수직상태로보지하는간격조정수단예를들어피치변환기 ( 도시하지않음 ) 와, 웨이퍼반송아암 (9) 와피치변환기사이에위치하여, 복수매예를들어 25 매의웨이퍼 (W) 를수평상태에서수직상태로, 또는수직상태에서수평상태로변환하는보지수단예를들어자세변환장치 (30) 와, 수직상태로변환된웨이퍼 (W) 에설치된노치 ( 도시하지않음 ) 를검출하는위치검출수단예를들어노치정렬기 ( 도시하지않음 ) 가배설되어있다. 또, 인터페이스부 (4) 에는처리부 (3) 과연결되는반송로 (50) 이설치되어있고, 이반송로 (50) 에는웨이퍼 (W) 를보지하여반송로 (50) 상을반송하여상기제 1 내지제 3 처리유니트 (52a ~ 54a) 중어느하나에웨이퍼 (W) 를인수인도하기위한, 본발명에관련된기판보지구예를들어웨이퍼반송척 (10) 이이동자유롭게배설되어있다. 이어, 본발명에관련된웨이퍼반송척 ( 기판보지구 )(10) 및그세정 건조장치 (20) 을첨부도면에기초하여상세히설명한다. 도 2 는웨이퍼반송척 (10) 및그세정 건조장치 (20) 의요부를도시한개략사시도, 도 4 는척세정 건조장치 (20) 의전체를도시한개략단면도, 도 5 는도 4 의 P-P 선단면도, 도 6 은도 4 의 Q-Q 선단면도이다. 웨이퍼반송척 (10) 은내식성및내약품성이뛰어난부재예를들어폴리에테르에테르케톤 ( 이하 PEEK 라한다 ) 수지로형성되고, 웨이퍼 (W) 를사이에끼워서지지할수있도록배설된한쌍의보지부재 (11) 과, 이보지부재 (11) 의길이방향의일단부에, 보지부재 (11) 의길이방향을따라돌출설치된축부 (15) 로주로구성되어있다. 또한, 이축부 (15) 의타단은도시하지않은이동수단및구동수단에접속되어있고, 상기반송로 (50) 상을왕복이동가능하게형성됨과동시에, 보지부재 (11) 끼리가웨이퍼 (W) 를사이에끼워서지지 ( 보지 ) 할수있도록근접격리방향으로이동가능하게형성되고, 또한, 보지부재 (11) 의길이방향으로왕복이동가능하게형성되어있다. 또, 축부 (15) 는보지부재 (11) 의길이방향의일단하방부에돌출설치되어있기때문에, 웨이퍼 (W) 의중량에대한보지부재의강도가유지되어, 웨이퍼 (W) 를하부보지홀 (13a) 에재치한상태로보지부재 (11) 끼리를근접격리방향으로축부 (15) 의주위에용이하게회전이동시킬수있다. 상기보지부재 (11) 은도 2 및도 7 에서도시하듯이, 그대향하는면측의상부및하부에각각상부보지부 (12) 와하부보지부 (13) 이돌출설치되고, 상단부에는볼록 ( 凸 ) 형상을한원호상부 (17) 이형성되고, 또, 하단부에는하방을향해돌출하는끝이뾰족한형상의액빠짐부예를들어엣지 (14) 가돌출설치되어있다. 이경우, 상부보지부 (12) 와하부보지부 (13) 은각각웨이퍼 (W) 의보지부측을향해원호상으로형성됨과동시에, 상부보지부 (12) 에는복수예를들어 50 개소의상부보지홀 (12a) 가차례대로설치되고, 또, 하부보지부 (13) 에도상부보지홀 (12a) 와동수의하부보지홀 (13a) 가차례대로설치되어있다. 또한이경우, 하부보지홀 (13a) 는웨이퍼 (W) 의가장자리끝부를보지하기위해단면이약 V 자형으로형 16-5
성되어있다 ( 도 8(a) 참조 ). 또, 상부보지홀 (12a) 는웨이퍼 (W) 의흔들림이나전도를방지하기위해단면이약 Y 자형으로형성되어있다 ( 도 8(b) 참조 ). 상기축부 (15) 는, 예를들어스테인레스제의봉형상의부재로이루어지는심봉 (15b) 와, 이심봉 (15b) 의외주에피착되는예를들어 PEEK 수지제의보호부재 (15c) 로형성되고, 축부 (15) 의하부측즉보호부재 (15c) 의하부측에는하방을향해돌출한끝이뾰족한형상의액빠짐부예를들어엣지 (15a) 가설치되어있다 ( 도 7(a) 참조 ). 이와같이구성함으로써, 웨이퍼반송척 (10) 의세정중에축부 (15) 에부착하는후술하는세정액예를들어순수를신속히제거할수있다. 또, 이축부 (15) 의보지부재 (11) 측부근에는예를들어 PEEK 수지제의원판형상으로형성된비산방지판 (16) 이, 축부 (15) 에대해교차상태로장착되어있다. 이와같이구성함으로써, 웨이퍼반송척 (10) 의세정중에후술하는세정용기 (21) 의외부로세정액예를들어순수의물방울이비산하는것을방지할수있다. 또한이경우, 도 3(a) 에서도시하듯이, 비산방지판 (16) 의하부측에하방을향해돌출하는끝이뾰족한형상의액빠짐부예를들어엣지 (16a) 를설치하는것이바람직하다. 이와같이비산방지판 (16) 의하부측에엣지 (16a) 를설치함으로써, 세정중에비산방지판 (16a) 에부착하는세정액예를들어순수를신속히제거할수있다. 또, 비산방지판 (16) 은상기형상의것에만한정되는것이아니라, 예를들어도 3(b) 에서도시하듯이, 상방으로뻗은사각형상의비산방지판 (16b) 와, 하단에엣지 (16a) 를갖는엣지부재 (16c) 의 2 부재로비산방지판 (16) 을형성해도좋다. 또한, 비산방지판 (16b) 와엣지부재 (16c) 를일체로형성해도좋다. 이와같이, 비산방지판 (16) 에상방으로뻗은부분을설치함으로써, 웨이퍼반송척 (10) 이하강한상태에서도상방으로부터비산하는순수의물방울을받아내는것이가능하다. 이어, 척세정 건조장치 (20) 의구성을도 2 내지도 6 을참조하여설명한다. 척세정 건조장치 (20) 은, 예를들어하방으로개구한상자모양으로형성되고, 그상면과일측면에서로평행하게연결된한쌍의개구부 (22) 를갖는세정용기 (21) 과, 이세정용기 (21) 의내부상방그리고양개구부 (22) 의중간에배설되어웨이퍼반송척 (10) 에세정액예를들어순수 (L) 을분사하는세정액공급수단예를들어순수분사관 (23) 과, 세정용기 (21) 의내부상방의개구부 (22) 양측근방에배설되어웨이퍼반송척 (10) 에건조가스예를들어공기를분사하는건조가스공급수단예를들어기체분사관 (24) 로주로구성되어있다. 또한, 상기건조가스에는공기외에예를들어질소가스등의기체를이용해도좋다. 이와같이구성함으로써, 상부보지홀 (12a) 또는하부보지홀 (13a) 에순수 (L) 또는기체를효과적으로접촉시킬수있기때문에, 웨이퍼반송척 (10) 을확실히세정 건조할수있음과동시에, 세정 건조시간의단축을도모할수있다. 이경우, 양개구부 (22) 의간격및각개구부 (22) 의폭은상기한쌍의보지부재 (11) 을동시에수용할수있도록형성되어있고, 각개구부 (22) 의측면부에는세정용기 (21) 의내방을향해돌출한비산방지판 (25) 가돌출설치되어있다. 이로써, 세정공정중에순수 (L) 의물방울이세정용기 (21) 의외부로비산하는것을방지할수있다. 또, 세정용기 (21) 의하부측방에는외측방을향해브래킷 (21a) 이돌출설치되어있고, 이브래킷 (21a) 에, 세정용기 (21) 을상하운동시키기위한승강수단예를들어실린더 (21b) 가연결되어있다 ( 도 6 참조 ). 또, 세정용기 (21) 의양측방근방에는한쌍의측벽 (27a) 가배설되어있고, 이들양측벽 (27a) 의단부로부터대향하는측벽에안내벽 (27b) 가돌출설치되어있고, 또, 양안내벽 (27b) 사이에는, 수직방향으로회전자유로운가이드롤러 (27c) 를중심고착한가이드판 (27d) 가취착되어있다. 이경우, 가이드롤러 (27c) 는가이드판 (27d) 에서의세정용기 (21) 측면의서로평행한수직방향으로적당한간격을두고복수부착되어있다. 한편, 세정용기 (21) 의외측면에는가이드롤러 (27c) 가회전운동하여접촉하는가이드돌조 (27e) 가돌출설치되어있다. 따라서, 실린더 (21d) 의구동에의해가이드롤러 (27c) 와가이드돌조 (27e) 가접촉하면서세정용기 (21) 을안전하고확실하게승강시킬수있다. 또한, 측벽 (27a) 사이의하방에는보지부재 (11) 의세정에공급되는순수를받아내기위한받이용기 (28) 이배설되어있다. 상기순수분사관 (23) 의양측방의대향하는위치에는적당한간격을두고복수 ( 도 5 에서는양측에각 5 개소씩 ) 의분사노즐 (23a) 가돌출설치되어있고, 순수 (L) 을세정용기 (21) 에수용된보지부재 (11) 의길이방향으로확개하도록분사할수있게되어있다. 또, 순수분사관 (23) 은각각의공급관을매개로하여세정용기 (21) 의외부에설치된순수공급원 (23g) 에접속되어있다. 이경우, 도 2 에서도시하듯이, 순수분사관 (23) 의하부측에는그적당한위치로부터세정용기 (21) 내를수직낙하하도록제 1 공급관 (23b) 의일단이접속되어있고, 제 1 공급관 (23b) 의타단은세정용기 (21) 의하단부에서컨넥터 (26) 을매개로하여제 2 공급관 (23c) 에접속되어있다. 이제 2 공급관 (23c) 는예를들어휘어지는성질이있는튜브로길게형성되어있어, 상술한세정용기 (21) 의상승이동에대응할수있도록되어있다. 또한, 제 2 공급관 (23c) 의하단부는컨넥터 (26) 을매개로하여제 3 공급관 (23d) 의일단에접속되고, 제 3 공급관 (23d) 의타단부는컨넥터 (29) 를매개로하여제 4 공급관 (23e) 에접속되어있다. 제 4 공급관 (23e) 에는개폐밸브 (23f) 가개설되어있고, 그타단부에상기순수공급원 (23g) 가접속되어있다. 상기기체분사관 (24) 는세정용기 (21) 의각개구부 (22) 의양측에배설된것끼리가대향하는측에, 적당한간격을두고복수의분사노즐 (24a) 가돌출설치되어있고, 기체예를들어공기를세정용기 (21) 내에수용된보지부재 (11) 을향해효과적으로분사할수있도록형성되어있다. 또한, 분사노즐 (24a) 를기체분사관 (24) 에돌출설치하는것대신에, 기체분사관 (24) 에구멍을내서설치하여형성해도좋다. 또, 각기체분사관 (24) 는각각의공급관을매개로하여기체공급원예를들어공기공급원 (24h) 에접속되어있다. 이경우, 도 2 에서도시하듯이, 각기체분사관 (24) 의하부측에는그적당한위치에서세정용기 (21) 내를수직낙하하도록제 1 공급관 (24b) 가접속되어있고, 세정용기 (21) 의하부개구근방에각각인접하는제 1 공급관 (24b) 끼리는양팔컨넥터 (24c) 에접속되고, 각양팔컨넥터 (24c) 의하단에컨넥터 (26) 을매개로하여제 2 공급관 (24d) 가접속되어있다. 제 2 공급관 (24d) 는예를들어휘어지는성질이있는튜브로길게형성되어있어, 상술한세정용기 (21) 의승강이동에대응할수있게되어있다. 또한, 제 2 공급관 (24d) 에서의각각의하단부는컨넥터 (26) 을매개로하여양팔형상의분기관으로형성된제 3 공급관 (24e) 에접속되어있다. 제 3 공급관 (24e) 의단부에는컨넥터 (29) 를매개로하여개폐밸브 (24g) 를개설한 16-6
제 4 공급관 (24f) 의일단이접속되고, 제 4 공급관 (24f) 의타단에공기공급원 (24h) 가접속되어있다. 웨이퍼반송척 (10) 을상기와같이구성함으로써, 보지부재 (11) 을소형화해도웨이퍼 (W) 를보지하는데충분한강도를얻을수있어, 이로써상부및하부보지홀 (12a), (13a) 도가능한한작게형성할수있기때문에, 보지부재 (11) 을효율좋게세정할수있음과동시에, 상부및하부보지홀 (12a), (13a) 로의세정액예를들어순수 (L) 의잔류량을적게할수있다. 또, 보지부재 (11) 의상단부에볼록형상을한원호상부 (17) 을형성함과동시에, 상부보지부 (12) 와하부보지부 (13) 을웨이퍼 (W) 의보지부측을향해원호상으로형성함으로써, 세정액의액빠짐이양호해지며, 보지부재 (11) 표면상을건조가스예를들어공기가신속히그리고구석구석까지흐르게할수있다. 또한, 보지부재 (11) 의하단부에엣지 (14) 를설치함으로써, 보지부재 (11) 표면에부착한순수 (L) 이엣지 (14) 를따라신속히흘러내리기때문에, 세정처리후에보지부재 (11) 에부착한순수 (L) 을효과적으로제거할수있다. 따라서, 세정및건조에요하는시간을단축할수있음과동시에, 공기의사용량을저감할수있기때문에, 세정및건조효율의향상및스루풋의향상을도모할수있다. 이어, 상기웨이퍼반송척 (10) 의세정 건조장치 (20) 을이용한세정 건조방법의각공정에대해, 도 9 의순서도및도 10 내지도 13 에서도시한공정도를기초로하여순서대로설명한다. 먼저, 웨이퍼 (W) 의세정 건조처리에관련된일련의공정을종료하고, 상기인터페이스부 (4) 에웨이퍼 (W) 를다넘겨준웨이퍼반송척 (10) 이상기제 4 처리부 (55) 로이동하여, 척세정 건조장치 (20) 의세정용기 (21) 상부에서정지한다 ( 공정 A). 그후, 세정용기 (21) 의브래킷 (21a) 에연결된상기실린더 (21b) 를구동하여세정용기 (21) 의상승을개시한다 ( 도 10 참조 ). 이상승이동에의해, 세정용기 (21) 의양개구부 (22) 의상면측으로부터세정용기 (21) 내에각보지부재 (11) 이수용된다. 그리고, 세정용기 (21) 이, 각보지부재 (11) 의상부보지부 (12) 에배열설치된상부보지홀 (12a) 에순수분사관 (23) 의분사노즐 (23a) 로부터분사되는순수 (L) 가가장효율좋게접촉할수있는위치 ( 이하상부세정위치라한다 ) 에달했을때, 실린더 (21b) 의구동을정지하여세정용기 (21) 의상승을정지한다 ( 공정 B). 그후, 상기개폐밸브 (23f) 를열림상태로하여순수공급원 (23g) 로부터순수 (L) 을공급하고, 순수분사관 (23) 의분사노즐 (23a) 로부터상부보지부 (12) 를향해분사시켜, 상부보지부 (12) 및상부보지홀 (12a) 의세정을행한다 ( 공정 C, 도 11(a) 참조 ). 상부보지홀 (12a) 의세정이종료한후, 개폐밸브 (23f) 를닫힘상태로하여순수 (L) 의공급을정지함과동시에, 실린더 (21b) 를구동하여세정용기 (21) 을하강시켜, 세정용기 (21) 이, 각보지부재 (11) 의하부보지부 (13) 에배열설치된하부보지홀 (13a) 에순수분사관 (23) 의분사노즐 (23a) 로부터분사되는순수 (L) 이가장효율좋게접촉할수있는위치 ( 이하하부세정위치라한다 ) 에달했을때, 실린더 (21b) 의구동을정지하여세정용기 (21) 의하강을정지한다 ( 공정 D). 그후, 상기개폐밸브 (23f) 를열림상태로하여순수공급원 (23g) 로부터순수 (L) 을공급하고, 순수분사관 (23) 의분사노즐 (23a) 로부터하부보지부 (13) 을향해분사시켜, 하부보지부 (13) 및하부보지홀 (13a) 의세정을행한다 ( 공정 E, 도 11(b) 참조 ). 또한, 순수 (L) 의공급에있어서, 상술한바와같이상부보지홀 (12a) 를세정한후, 일단공급을정지해도좋고, 공급을계속하는상태에서세정용기 (21) 을하부세정위치까지하강시켜도좋다. 하부보지홀 (13a) 의세정이종료한후, 개폐밸브 (23f) 를닫힘상태로하여순수 (L) 의공급을정지함과동시에, 실린더 (21b) 를구동하여세정용기 (21) 을상승시키고, 세정용기 (21) 이, 각보지부재 (11) 의상부보지부 (12) 에배열설치된상부보지홀 (12a) 에기체분사관 (24) 의분사노즐 (24a) 로부터분사되는기체예를들어공기 (K) 가가장효율좋게접촉할수있는위치 ( 이하상부건조위치라한다 ) 에달했을때, 실린더 (21b) 의구동을정지하여세정용기 (21) 의상승을정지한다 ( 공정 F). 그후, 상기개폐밸브 (24g) 를열림상태로하여공기공급원 (24h) 로부터공기 (K) 를공급하고, 각공기분사관 (24) 의분사노즐 (24a) 로부터상부보지부 (12) 의양측을향해분사시켜, 상부보지부 (12) 의건조를행한다 ( 공정 G, 도 12(a) 참조 ). 이때, 보지부재 (11) 의축부 (15) 에접속된상기의도시하지않은구동수단을구동시켜, 웨이퍼반송척 (10) 을보지부재 (11) 의길이방향으로왕복이동시킨다 ( 공정 G). 이로써, 모든상부보지홀 (12a) 에구석구석까지공기 (K) 를접촉시킬수있기때문에, 더욱건조효율이상승하여, 건조시간을단축할수있다. 상부보지홀 (12a) 의건조가종료한후, 개폐밸브 (24g) 를닫힘상태로하여공기 (K) 의공급을정지함과동시에, 실린더 (21b) 를구동하여세정용기 (21) 을하강시켜, 세정용기 (21) 이, 각보지부재 (11) 의하부보지부 (13) 에배열설치된하부보지홀 (13a) 에기체분사관 (24) 의분사노즐 (24a) 로부터분사되는공기 (K) 가가장효율좋게접촉할수있는위치 ( 이하하부건조위치라한다 ) 에달했을때, 실린더 (21b) 의구동을정지하여세정용기 (21) 의하강을정지한다 ( 공정 H). 그후, 상기개폐밸브 (24g) 를열림상태로하여공기공급원 (24h) 로부터공기 (K) 를공급하고, 기체분사관 (24) 의분사노즐 (24a) 로부터하부보지부 (13) 의양측을향해공기 (K) 를분사시켜, 하부보지부 (13) 의건조를행한다 ( 공정 I, 도 12(b) 참조 ). 또한, 공기 (K) 의공급에있어서, 상술하는바와같이상부보지홀 (12a) 를건조한후, 일단공급을정지해도좋고, 공급을계속하는상태에서세정용기 (21) 을하부건조위치까지하강시켜도좋다. 이때, 보지부재 (11) 의축부 (15) 에접속된상기의도시하지않은구동수단을구동시켜, 웨이퍼반송척 (10) 을보지부재 (11) 의길이방향으로왕복이동시킨다 ( 공정 I). 이로써, 모든하부보지홀 (13a) 에구석구석까지공기 (K) 를접촉시킬수있기때문에, 더욱건조효율이상승되어, 건조시간을단축할수있다. 하부보지홀 (13a) 의건조가종료한후, 개폐밸브 (24g) 를닫힘상태로하여공기 (K) 의공급을정지함과동시에, 실린더 (21b) 를구동하여세정용기 (21) 을하강시켜, 원래의위치로되돌린다 ( 공정 J, 도 13 참조 ). 이상에서웨이퍼반송척 (10) 의세정 건조에관한일련의공정이종료되고, 그후, 재차인터페이스부 (4) 에서웨이퍼 (W) 를인수받아, 웨이퍼 (W) 의세정 건조를행할수있다. 또한, 상술한웨이퍼반송척 (10) 의세정 건조장치및세정 건조방법에서는, 세정용기 (21) 에승강수단 16-7
예를들어실린더 (21b) 를연결하여세정용기 (21) 을상하운동시킨경우에대해설명하였으나, 승강수단은웨이퍼반송척 (10) 과세정용기 (21) 을상대적으로상하운동시킬수있는것이면되고, 실린더이외의승강수단예를들어볼나사기구나, 피니언과래크등을사용해도물론좋다. 또, 승강수단을세정용기 (21) 에연결하는경우뿐아니라, 웨이퍼반송척 (10) 에연결해도좋다. 또, 상술한건조공정에있어서, 웨이퍼반송척 (10) 의축부 (15) 에, 웨이퍼반송척 (10) 을보지부재 (11) 의길이방향으로왕복이동가능하게하는구동수단 ( 도시하지않음 ) 을접속한경우에대해설명하였으나, 세정용기 (21) 과웨이퍼반송척 (10) 을보지부재 (11) 의길이방향으로상대적으로왕복이동시켜, 상부또는하부보지홀 (12a), (13a) 에구석구석까지건조가스예를들어공기 (K) 를접촉시킬수있으면되기때문에, 상기축부 (15) 에한하지않고, 예를들어세정용기 (21) 에상기구동수단을연결해도좋다. 또한, 상기실시형태에서는, 본발명에관련된기판보지구및그세정 건조장치와세정 건조방법을반도체웨이퍼의보지구및그세정 건조장치와세정 건조방법에적용한경우에대해설명하였으나, 반도체웨이퍼이외의기판예를들어 LCD 용유리기판에도적용할수있음은물론이다. 또, 상기기판보지구의세정 건조장치는, 상기실시형태에서설명한바와같이반도체웨이퍼의세정 건조처리시스템에도입되어이시스템의일부로서사용되는경우에한정되지않고, 단일개체로서도사용할수있다. 발명의효과 상술한바와같이, 본발명에의하면이하와같은효과를얻을수있다. (1) 본원의제 1 발명의기판보지구에의하면, 보지부재가하나의부재로형성되기때문에, 강도가향상됨과동시에, 상부및하부보지부를작게할수있다. 이로써, 보지홀을작게할수있기때문에, 보지홀에침입하는세정액의잔류량을적게할수있다. 또, 상부및하부보지부가보지부측을향해원호상으로형성되어있기때문에, 분사된세정액의액빠짐이좋고, 분사된건조가스가보지부재의한쪽표면을따라신속하게흘러, 건조가스를보지홀전체에효율좋게접촉시킬수있다. 따라서, 건조시간의단축과함께스루풋의향상을도모할수있다. 이경우, 보지부재의상단부를볼록형상을한원호상으로형성하고있기때문에, 보지부재상부에세정액이잔류하는것을방지할수있음과동시에, 건조가스가보지부재의상측표면을더욱신속하게흐르게된다. 따라서, 보지부재의건조효율을더욱향상시킬수있다. 또, 보지부재의하단부에액빠짐부를설치함으로써, 기판보지구의세정후에표면에부착한세정액을신속히제거할수있다 ( 청구항 3). 또, 보지부재에축부를설치하고있기때문에기판을확실히보지할수있고, 게다가이축부에비산방지판을장착하고있기때문에세정처리중에세정액의물방울이세정용기외부로비산하는것을방지할수있다. 또, 비산방지판이나축부의하부측에액빠짐부를설치하고있기때문에, 기판보지구의세정중또는세정후에비산방지판이나축부에부착한세정액을신속히제거할수있다. 또, 상기축부는상기보지부재의길이방향의일단하방부에돌출설치되어있기때문에, 기판을보지홀에재치한상태에서상기보지부재끼리를근접격리방향으로상기축부의주위에용이하게회전이동시킬수있다. (2) 본원의제 2 발명에의하면, 세정용기의상면에한쌍의개구부를갖기때문에, 2 개의보지부재를동시에세정처리할수있다. 따라서, 건조시간의단축을도모할수있음과동시에, 스루풋의향상을도모할수있다. 또, 기판보지구와세정용기를상대적으로상하이동가능하게형성하고있기때문에, 세정액공급수단으로부터분사되는세정액을상부및하부보지부에빠짐없이접촉시킬수있음과동시에, 건조가스공급수단으로부터분사되는건조가스를상부및하부보지부에빠짐없이접촉시킬수있다. 따라서, 세정및건조를효율좋게행할수있다. 이경우, 세정액공급수단을양개구부사이에배설함으로써, 1 개의세정액공급수단으로부터양보지부재를향해세정액을분사할수있다. 또, 건조가스공급수단을각개구부의양측부근방에배설함으로써, 보지부재의양측을향해건조가스를분사할수있다. 또한, 개구부의측면부에세정용기의내방을향해돌출하는비산방지판을돌출설치하고있기때문에, 기판보지구의세정중에세정액의물방울이세정용기의외부로비산하는것을방지할수있다. 또, 기판보지구와세정용기를보지부재의길이방향에대해상대적으로왕복이동가능하게형성함으로써, 건조가스분사중에기판보지구를건조가스공급수단에대해이동시킬수있어, 건조가스를상부또는하부보지부에배열설치된각보지홀에빠짐없이분사할수있어, 건조효율의향상을더욱도모할수있다 ( 청구항 11). (3) 본원의제 3 발명에의하면, 세정액을상부보지부및하부보지부를향해순서대로분사한후, 건조가스를상부보지부및하부보지부를향해순서대로분사하기때문에, 기판보지구의상부보지부및하부보지부를효율적으로세정 건조할수있다. 따라서, 건조시간의단축을도모할수있음과동시에, 세정액및건조가스의사용량을저감할수있다. 이경우, 기판보지구에건조가스를분사함과동시에, 기판보지구와세정용기를보지부재의길이방향에대해상대적으로왕복이동시킴으로써, 건조가스를각보지홀에빠짐없이분사할수있어, 건조효율을더욱향상시킬수있다. (57) 청구의범위 청구항 1 기판을사이에끼워서지지하는한쌍의보지부재를구비하는기판보지구에있어서, 상기한쌍의보지부재는대향하는면측의상부및하부에각각돌출한상부보지부와하부보지부를갖고, 상기상부보지부및상기하부보지부는각각기판의보지부측을향해원호상으로형성되어있음과동시에, 배열설치된복수의보지홀을갖는것을특징으로하는기판보지구. 16-8
청구항 2 청구항 1 에있어서, 상기상부보지부및상기하부보지부는각각기판의보지부측을향해원호상으로형성되어있음과동시에, 배열설치된복수의보지홀을갖도록일체적으로형성되어있는것을특징으로하는기판보지구. 청구항 3 청구항 1 에있어서, 상기보지부재의상단부를볼록형상을한원호상으로형성하여이루어지는것을특징으로하는기판보지구. 청구항 4 청구항 1 에있어서, 상기보지부재의하단부에하방을향해돌출하는뾰족한형상의액빠짐부를설치하여이루어지는것을특징으로하는기판보지구. 청구항 5 청구항 1 에있어서, 상기보지부재의길이방향의일단부에보지부재의길이방향으로축부를돌출설치하고, 이축부의보지부재측부근에비산방지판을축부에대해교차상태로장착하여이루어지는것을특징으로하는기판보지구. 청구항 6 청구항 5 에있어서, 상기비산방지판의하부측에하방을향해돌출하는뾰족한형상의액빠짐부를설치하여이루어지는것을특징으로하는기판보지구. 청구항 7 청구항 5 에있어서, 상기축부의하부측에하방을향해돌출하는뾰족한형상의액빠짐부를설치하여이루어지는것을특징으로하는기판보지구. 청구항 8 청구항 5 에있어서, 상기축부는상기보지부재의길이방향의일단하방부에돌출설치되어있는것을특징으로하는기판보지구. 청구항 9 기판보지구를세정 건조처리하는기판보지구의세정 건조장치에있어서, 기판보지구는기판을사이에끼워서지지하는한쌍의보지부재를구비하는기판보지구로서, 상기한쌍의보지부재는대향하는면측의상부및하부에각각돌출한상부보지부와하부보지부를갖고, 상기상부보지부및상기하부보지부는각각기판의보지부측을향해원호상으로형성되어있음과동시에, 배열설치된복수의보지홀을갖는것이며, 상기세정 건조장치는 하방에개구한상자모양으로형성되고, 그상면과일측면에서로평행하게연결된한쌍의개구부를갖는세정용기와, 상기세정용기의내부상방에배설되는세정액공급수단과, 상기세정용기의내부상방의개구부근방에배설되는건조가스공급수단을구비하고, 상기기판보지구와상기세정용기를상대적으로상하이동가능하게형성하여이루어지는것을특징으로하는기판보지구의세정 건조장치. 청구항 10 청구항 9 에있어서, 상기세정액공급수단을양개구부사이에배설하여이루어지는것을특징으로하는기판보지구의세정 건조장치. 청구항 11 16-9
청구항 9 에있어서, 상기건조가스공급수단을각개구부의양측부근방에배설하여이루어지는것을특징으로하는기판보지구의세정 건조장치. 청구항 12 청구항 9 에있어서, 상기개구부의측면부에세정용기의내방을향해돌출하는비산방지판을돌출설치하여이루어지는것을특징으로하는기판보지구의세정 건조장치. 청구항 13 청구항 9 에있어서, 상기기판보지구와상기세정용기를보지부재의길이방향에대해상대적으로왕복이동가능하게형성하여이루어지는것을특징으로하는기판보지구의세정 건조장치. 청구항 14 기판보지구를세정 건조처리하는기판보지구의세정 건조방법에있어서, 상기기판보지구는기판을사이에끼워서지지하는한쌍의보지부재를구비하는기판보지구로서, 상기한쌍의보지부재는대향하는면측의상부및하부에각각돌출한상부보지부와하부보지부를갖고, 상기상부보지부및상기하부보지부는각각기판의보지부측을향해원호상으로형성되어있음과동시에, 배열설치된복수의보지홀을갖는것이며, 상기세정 건조방법은 세정용기와상기기판보지구를상대적으로이동시켜상기기판보지구의양보지부재를상기세정용기내에위치시키는공정과, 상기양보지부재의상부보지부를향해세정액을분사하는공정과, 상기양보지부재의하부보지부를향해세정액을분사하는공정과, 상기양보지부재의상부보지부를향해건조가스를분사하는공정과, 상기양보지부재의하부보지부를향해건조가스를분사하는공정을갖는것을특징으로하는기판보지구의세정 건조방법. 청구항 15 청구항 14 에있어서, 상기양보지부재의상부보지부에건조가스를분사함과동시에, 상기기판보지구와상기세정용기를상기보지부재의길이방향에대해상대적으로왕복이동시키는공정과, 상기양보지부재의하부보지부에건조가스를분사함과동시에, 상기기판보지구와상기세정용기를상기보지부재의길이방향을대해상대적으로왕복이동시키는공정을더갖는것을특징으로하는기판보지구의세정 건조방법. 도면 16-10
도면 1 도면 2 16-11
도면 3 도면 4 도면 5 16-12
도면 6 도면 7 도면 8 16-13
도면 9 도면 10 16-14