(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2014년06월18일 (11) 등록번호 10-1408644 (24) 등록일자 2014년06월11일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) H01L 51/56 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01) B23Q 1/26 (2006.01) (21) 출원번호 10-2013-0019753 (22) 출원일자 2013 년 02 월 25 일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 KR1020040096490 A KR1020040004082 A KR1020120054860 A 2013 년 02 월 25 일 (73) 특허권자 주식회사톱텍 경상북도구미시산동면산호대로 1105-65 (72) 발명자 김태원 충남아산시둔포면아산밸리북로 110, 아산 1 사업장 안치홍 충남아산시둔포면아산밸리북로 110, 아산 1 사업장 ( 뒷면에계속 ) (74) 대리인 오종환전체청구항수 : 총 9 항심사관 : 김효욱 (54) 발명의명칭합착기판의스테이지평탄도보정장치 (57) 요약 기판의합착시기판이안착된어느하나의스테이지가소정의각도로기울어지더라도이에대응하는스테이지의평탄도가자동으로보정되도록함으로써스테이지의평탄도일치에따른기판의균일한가압력이이루어지도록하여기판의합착공정에따른수율향상및제품의품질을향상시키는합착기판의스테이지평탄도보정장치에관한것으로, 베이스와 ; 상기베이스의상측에구비되며, 기판이안착되는하부스테이지와 ; 상기베이스상에안착된상태로상기하부스테이지중심에결합되며, 상기하부스테이지를승강시키면서수평방향의전후좌우로자유회동시키는회동유닛 ; 및상기회동유닛을중심으로소정간격이격되게상기베이스상에방사상으로안착되어상기하부스테이지와결합되며, 상기하부스테이지의자유회동에따라승강하면서상기하부스테이지의회동된상태를유지시키는복수개의사이드고정유닛 ; 을포함하여구성된다. 대표도 - 도 1-1 -
(72) 발명자 신용욱 경기평택시평택로 17, 106 동 1104 호 ( 평택동, 롯데인벤스스카이 ) 장재혁 충남천안시서북구직산읍천안대로 1718, 108 동 301 호 ( 부영아파트 ) - 2 -
특허청구의범위청구항 1 베이스 (B) 와 ; 상기베이스 (B) 의상측에구비되며, 기판 (P) 이안착되는하부스테이지 (110) 와 ; 상기베이스 (B) 상에안착된상태로상기하부스테이지 (110) 중심에결합되며, 상기하부스테이지 (110) 를승강시키면서수평방향의전후좌우로자유회동시키는회동유닛 (120); 및상기회동유닛 (120) 을중심으로소정간격이격되게상기베이스 (B) 상에방사상으로안착되어상기하부스테이지 (110) 와결합되며, 상기하부스테이지 (110) 의자유회동에따라승강하면서상기하부스테이지 (110) 의회동된상태를유지시키는복수개의사이드고정유닛 (130); 을포함하여구성된것을특징으로하는합착기판의스테이지평탄도보정장치 (100). 청구항 2 제1항에있어서, 상기회동유닛 (120) 은, 볼조인트결합을통해상기하부스테이지 (110) 를자유회동시키는것을특징으로하는합착기판의스테이지평탄도보정장치 (100). 청구항 3 제2항에있어서, 상기회동유닛 (120) 은, 상기하부스테이지 (110) 의저면중앙에결합되며, 저부에는저부로부터연장되며단부에구형상의제1볼 (121a) 이형성된고정플레이트 (121) 와 ; 내부에는상기제1볼 (121a) 이수용된상태로자유회동가능토록상기제1볼 (121a) 과대응하는제1수용홈 (123a) 이형성된제1수용체 (123) 와 ; 상기제1수용체 (123) 가삽입고정되는제1외부캡 (125); 및상기베이스 (B) 상에상기제1볼 (121a) 의중심과일치되게안착되며, 상기제1외부캡 (125) 과결합되어상기제1 외부캡 (125) 을승강시키는로드 (127a) 가구비된구동부재 (127); 로구성된것을특징으로하는합착기판의스테이지평탄도보정장치 (100). 청구항 4 제3항에있어서, 상기구동부재 (127) 는, 에어실린더, 스핀들모터및서보모터중선택된어느하나인것을특징으로하는합착기판의스테이지평탄도보정장치 (100). 청구항 5 제1항내지제3항중어느한항에있어서, 상기사이드고정유닛 (130) 은, 볼조인트결합을통해상기하부스테이지 (110) 의회동된상태를유지시키는것을특징으로하는합착기판의스테이지평탄도보정장치 (100). 청구항 6 제5항에있어서, 상기사이드고정유닛 (130) 은, - 3 -
상기하부스테이지 (110) 방향으로소정의길이를가지며상기베이스 (B) 에결합된고정블럭 (131) 과 ; 상기고정블럭 (131) 에구비되어상기하부스테이지 (110) 의자유회동에따라승강하는이동블럭 (132) 과 ; 상기이동블럭 (132) 에결합되며, 길이방향상측단부에는구형상의제2볼 (134a) 이형성된지지축 (134) 과 ; 내부에는상기지지축 (134) 의상기제2볼 (134a) 이수용되도록상기제2볼 (134a) 과대응하는형상의제2수용홈 (135a) 이형성되며, 상기제2볼 (134a) 을중심으로자유회동하는제2수용체 (135); 및상기제2수용체 (135) 가삽입고정되어상기하부스테이지 (110) 의저면에결합된제2외부캡 (136); 으로구성된것을특징으로하는합착기판의스테이지평탄도보정장치 (100). 청구항 7 제6항에있어서, 상기고정블럭 (131) 과상기이동블럭 (132) 사이에는상기이동블럭 (132) 이승강하도록 L/M가이드 (133) 구조또는암. 수결합구조중어느하나의구조가구비된것을특징으로하는합착기판의스테이지평탄도보정장치 (100). 청구항 8 제7항에있어서, 상기고정블럭 (131) 의일측에는에어의공급및차단을통해상기하부스테이지 (110) 의자유회동에따른상기이동블럭 (132) 의승강된상태가고정되도록하는에어락클램프 (137) 가구비된것을특징으로하는합착기판의스테이지평탄도보정장치 (100). 청구항 9 제8항에있어서, 상기에어락클램프 (137) 로공급되는에어는콘트롤러에의해공급및차단되는것을특징으로하는합착기판의스테이지평탄도보정장치 (100). 명세서 [0001] 기술분야본발명은합착기판의스테이지평탄도보정장치에관한것으로, 보다상세하게는기판의합착시기판이안착된어느하나의스테이지가소정의각도로기울어지더라도이에대응하는스테이지의평탄도가자동으로보정되도록함으로써스테이지의평탄도일치에따른기판의균일한가압력이이루어지도록하여기판의합착공정에따른수율향상및제품의품질을향상시키는합착기판의스테이지평탄도보정장치에관한것이다. [0002] [0003] [0004] [0005] 배경기술정보화사회가발전함에따라표시장치에대한요구도다양한형태로점증하고있으며, 이에부응하여근래에는 OLED(Organic Light-Emitting Diode), LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등여러가지평판표시장치가연구되어왔고일부는이미여러장비에서표시장치로활용되고있다. 이중, OLED는형광성유기화합물에전류가흐르면빛을내는전계발광현상을이용하여스스로빛을내는 ' 자체발광형유기물질 ' 을말하며, 낮은전압에서구동이가능하고얇은박형으로만들수있으며, 넓은시야각과빠른응답속도를갖고있어현재의 LCD를대체하는차세대디스플레이장치로각광받고있다. OLED는구동방식에따라수동형인 PMOLED와능동형인 AMOLED로나눌수있으며, 특히 AMOLED는자발광형디스플레이로서기존의디스플레이보다응답속도가빠르며색감도자연스럽고전력소모가적다는장점이있다. 또한, AMOLED는유리기판이아닌필름 (Film) 등에적용하면플렉시블디스플레이 (Flexible Display) 의기술을구현할수있는단계에까지도달된상태이다. - 4 -
[0006] [0007] [0008] [0009] [0010] [0011] [0012] [0013] [0014] [0015] [0016] 이러한 OLED의제조공정은크게패턴 (Pattern) 형성공정, 유기박막증착공정, 봉지공정, 그리고유기박막이증착된기판과봉지공정을거친기판을붙이는합착공정이있다. 합착공정에서는합착장치를통해봉지공정을거친기판과증착공정을거친기판을붙이는합착과정이진행되는데, 주로봉지공정을거친기판이하판 ( 이하, 제1기판이라함 ) 이되고, 증착공정을거친기판이상판 ( 이하, 제2기판이라함 ) 이된다. 상기제1기판과제2기판의합착과정이이루어지기에앞서, 먼저척이구비된상부스테이지에제2기판을흡착하는흡착과정이진행된다. 이때사용되는척은정전기력으로기판을부착하는정전척으로진공력에의해기판을흡착하는진공척및점착력에의해기판을점착하는점착척이사용될수있다. 이와함께, 상부스테이지의하부에는대응하는위치에하부스테이지를구비하여하부스테이지의상부에제1기판을안착시킨다. 이후, 제2기판이흡착된척은하강하면서하부스테이지에안착된제1기판에제2기판을합착시키게되는데, 이과정에서상부스테이지와하부스테이지의평탄도는서로동일한각도를반드시이뤄야하기때문에상부스테이지와하부스테이지의평탄도를정밀하게유지시킨상태에서합착공정을진행하게된다. 그러나, 종래의합착장치는다음과같은문제를갖는다. 첫째, 상. 하스테이지의평탄도조절이어려운문제가있다. 즉, 종래합착장치는작업자가상부스테이지의평탄도측정후하부스테이지에마련된복수개의조정볼트를이용하여하부스테이지를상부스테이지에대응하게셋팅하기때문에조정볼트의산포 ( 散布 ) 에따른정확하고일률적인셋팅이어려운문제가있는것이다. 더하여, 작업자의숙련도에만의존하여평탄도셋팅이이루어지기때문에셋팅시간소요로인한생상수율이저하되는문제가있다. 둘째, 조정볼트가국소 ( 局所 ) 별로조정되기때문에만일어느하나의조정볼트의조정이맞지않을경우상. 하스테이지의평탄도가틀어져기판의합착수율이떨어져기판의불량을초래함과더불어상. 하스테이지의손상을초래하는치명적인문제를갖게된다. 셋째, 종래의합착장치는합착되는기판의전용스테이지가적용되기때문에다른기판의합착공정에는사용할수없는문제가있다. 발명의내용 [0017] 해결하려는과제본발명은상기와같은문제점및기술적편견을해소하기위해안출된것으로, 기판의합착시기판이안착된어느하나의스테이지가소정의각도로기울어지더라도이에대응하는스테이지의평탄도가자동으로보정되도록함으로써스테이지의평탄도일치에따른기판의균일한가압력이이루어지도록하여기판의합착공정에따른수율향상및제품의품질을향상시키는합착기판의스테이지평탄도보정장치를제공하는데그목적이있다. [0018] [0019] [0020] [0021] 과제의해결수단상기의목적을달성하기위한본발명의합착기판의스테이지평탄도보정장치는, 베이스와 ; 상기베이스의상측에구비되며, 기판이안착되는하부스테이지와 ; 상기베이스상에안착된상태로상기하부스테이지중심에결합되며, 상기하부스테이지를승강시키면서수평방향의전후좌우로자유회동시키는회동유닛 ; 및상기회동유닛을중심으로소정간격이격되게상기베이스상에방사상으로안착되어상기하부스테이지와결합되며, 상기하부스테이지의자유회동에따라승강하면서상기하부스테이지의회동된상태를유지시키는복수개의사이드고정유닛 ; 을포함하여구성되어있다. 이때, 상기회동유닛은, 볼조인트결합을통해상기하부스테이지를자유회동시키는것이바람직하다. 또한, 상기회동유닛은, 상기하부스테이지의저면중앙에결합되며, 저부에는저부로부터연장되며단부에구형상의제1볼이형성된고정플레이트와 ; 내부에는상기제1볼이수용된상태로자유회동가능토록상기제1볼과 - 5 -
대응하는제 1 수용홈이형성된제 1 수용체와 ; 상기제 1 수용체가삽입고정되는제 1 외부캡 ; 및상기베이스상에 상기제 1 볼의중심과일치되게안착되며, 상기제 1 외부캡과결합되어상기제 1 외부캡을승강시키는로드가구비 된구동부재 ; 로구성된것이바람직하다. [0022] [0023] [0024] [0025] [0026] [0027] 이때, 상기구동부재는, 에어실린더, 스핀들모터및서보모터중선택된어느하나인것이바람직하다. 그리고, 상기사이드고정유닛은, 볼조인트결합을통해상기하부스테이지의회동된상태를유지시키는것이바람직하다. 이경우, 상기사이드고정유닛은, 상기하부스테이지방향으로소정의길이를가지며상기베이스에결합된고정블럭과 ; 상기고정블럭에구비되어상기하부스테이지의자유회동에따라승강하는이동블럭과 ; 상기이동블럭에결합되며, 길이방향상측단부에는구형상의제2볼이형성된지지축과 ; 내부에는상기지지축의상기제2 볼이수용되도록상기제2볼과대응하는형상의제2수용홈이형성되며, 상기제2볼을중심으로자유회동하는제2수용체 ; 및상기제2수용체가삽입고정되어상기하부스테이지의저면에결합된제2외부캡 ; 으로구성된것이바람직하다. 한편, 상기고정블럭과상기이동블럭사이에는상기이동블럭이승강하도록 L/M가이드구조또는암. 수결합구조중어느하나의구조가구비된것이바람직하다. 더하여, 상기고정블럭의일측에는에어의공급및차단을통해상기하부스테이지의자유회동에따른상기이동블럭의승강된상태가고정되도록하는에어락클램프가구비된것이바람직하다. 더하여, 상기에어락클램프로공급되는에어는콘트롤러에의해공급및차단되는것이바람직하다. [0028] [0029] [0030] [0031] 발명의효과상기와같은구성을가진본발명의합착기판의스테이지평탄도보정장치에의하면, 기판의합착시기판이안착된어느하나의스테이지가소정의각도로기울어지더라도이에대응하는스테이지의평탄도가자동으로보정되도록함으로써스테이지의평탄도일치에따른기판의균일한가압력이이루어지도록하여기판의합착공정에따른수율향상및제품의품질을향상시키는장점이있다. 또한, 상. 하스테이지의평탄도가자동으로셋팅됨에따라셋팅시간의단축과더불어작업자가필요치않는장점이있다. 또한, 본발명의보정장치는다양한크기및형상을갖는여러합착장치에적용가능함에따라합착장치의구매에따른비용이절감되는장점이있다. [0032] 도면의간단한설명 도 1 은본발명에따른합착기판의스테이지평탄도보정장치를나타낸분해사시도이고, 도 2는도 1의결합된상태정면도이며, 도 3은도 2의회동유닛요부종단면도이고, 도 4는도 2의사이드고정유닛요부종단면도이며, 도 5 내지도 8은본발명의합착기판의스테이지평탄도보정장치를통해스테이지의평탄도가보정되는과정을나타낸작용도이다. [0033] [0034] 발명을실시하기위한구체적인내용이하, 본발명의바람직한실시예들을첨부된도면을참고하여더욱상세히설명한다. 본발명의실시예들은여러가지형태로변형될수있으며, 본발명의범위가아래에서설명하는실시예들에한정되는것으로해석되어서는안된다. 본실시예들은당해발명이속하는기술분야에서통상의지식을가진자에게본발명을더욱상세하게설명하기위해서제공되는것이다. 따라서도면에나타난각요소의형상은보다분명한설명을강조하기위하여과장될수있다. 제1, 제2 등의용어는다양한구성요소들을설명하는데사용될수있지만, 구성요소들은용어들에의해한정되어서는안된다. 용어들은하나의구성요소를다른구성요소로부터구별하는목적으로만사용된다. - 6 -
[0035] [0036] [0037] [0038] [0039] [0040] [0041] [0042] [0043] [0044] [0045] [0046] [0047] [0048] [0049] 본출원에서사용한용어는단지특정한실시예를설명하기위해사용된것으로, 본발명을한정하려는의도가아니다. 단수의표현은문맥상명백하게다르게뜻하지않는한, 복수의표현을포함한다. 본출원에서, " 포함하다 " 또는 " 가지다 " 등의용어는명세서상에기재된특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품또는이들을조합한것이존재함을지정하려는것이지, 하나또는그이상의다른특징들이나숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품또는이들을조합한것들의존재또는부가가능성을미리배제하지않는것으로이해되어야한다. 도 1은본발명에따른합착기판의스테이지평탄도보정장치를나타낸분해사시도이고, 도 2는도 1의결합된상태정면도이며, 도 3은도 2의회동유닛요부종단면도이고, 도 4는도 2의사이드유닛요부종단면도이다. 설명에앞서, 이하에서설명될기판이란, OLED 또는 LCD 및그밖의다른기판을포함하며, 재질은유리, 압축강화플라스틱또는필름 (Film) 등과같은합성고분자재질로형성될수있다. 또한, 합착공정에있어서하부스테이지에안착되는기판은봉지공정을거친기판이며, 상부스테이지에안착되는기판은증착공정을거친기판으로예를들어설명하기로한다. 또한, 이하에서설명되는평탄도는면의평평한정도를나타내는것으로, 상부스테이지와하부스테이지가동일한각도를유지하면서원활한합착이이루어질수있는각도를의미한다. 도 1 내지도 4에도시된바와같이본발명의합착기판의스테이지평탄도보정장치 (100) 는, 베이스 (B) 와 ; 상기베이스 (B) 의상측에구비되며, 기판 (P) 이안착되는하부스테이지 (110) 와 ; 상기베이스 (B) 상에안착된상태로상기하부스테이지 (110) 중심에결합되며, 상기하부스테이지 (110) 를승강시키면서수평방향의전후좌우로자유회동시키는회동유닛 (120); 및상기회동유닛 (120) 을중심으로소정간격이격되게상기베이스 (B) 상에방사상으로안착되어상기하부스테이지 (110) 와결합되며, 상기하부스테이지 (110) 의자유회동에따라승강하면서상기하부스테이지 (110) 의회동된상태를유지시키는복수개의사이드고정유닛 (130); 을포함하여구성되어있다. 베이스 (B) 는소정의두께를갖는상태로판상의사각형상을유지하고있으며, 하부스테이지 (110) 와연결되는회동유닛 (120) 및복수개의사이드고정유닛 (130) 을지지한다. 한편, 베이스 (B) 의하부및양측에는본발명의합착기판의스테이지평탄도보정장치 (100) 가다양한형상및크기를갖는기판 (P) 의합착이이루어지는여러합착장치에적용되어사용가능토록복수개의지지프레임 (20) 이결합될수도있다. 하부스테이지 (110) 는소정의두께를갖는상태로판상의사각형상을유지하면서베이스 (B) 의상측과소정간격이격되게배치되어있으며, 상부면은기판 (P) 의안착이안정적으로이루어지도록평평한면을이루고있다. 본실시예에서는하부스테이지 (110) 를사각형상으로도시하고있으나, 기판 (P) 의합착공정시앞서서술된상부스테이지의형상과대응되게형성되는것이바람직함에따라그형상을반드시한정하지는않는다. 회동유닛 (120) 은하부스테이지 (110) 를승강시키면서수평방향의전후좌우로자유회동시키는것으로, 베이스 (B) 상부표면중앙에안착결합된상태로상측이하부스테이지 (110) 중심과결합되어있다. 이때, 회동유닛 (120) 은볼조인트결합을통해하부스테이지 (110) 가자유회동되도록하는구조로이루어져있으며, 고정플레이트 (121) 와, 제1수용체 (123) 와, 제1외부캡 (125) 및구동부재 (127) 로구성되어있다. 고정플레이트 (121) 는판상의형상으로하부스테이지 (110) 의저면중앙과결합되어있으며, 고정플레이트 (121) 의저부에는고정플레이트 (121) 로부터도면상베이스 (B) 방향으로연장되고연장된단부에구형상을갖는제1볼 (121a) 이형성되어있다. 이때, 제1볼 (121a) 의위치는고정플레이트 (121) 의중앙즉하부스테이지 (110) 의중앙과일치되게형성되는것이바람직하다. 이는, 후술하게되는구동부재 (127) 에의해고정플레이트 (121) 와함께하부스테이지 (110) 가상승할때하부스테이지 (110) 의중심이지지되도록하기위함이며, 더하여후술하게되는복수개로구성된사이드고정유닛 (130) 의지지력이어느일방향으로치우치지않고고르게분산되도록하기위함이다. 제1수용체 (123) 는제1볼 (121a) 과볼조인트되는것으로, 내부에제1볼 (121a) 이수용된상태로자유회동가능토록제1볼 (121a) 과대응하는구형상의제1수용홈 (123a) 이형성되어있다. 즉, 고정플레이트 (121) 에형성된제1 볼 (121a) 이제1수용홈 (123a) 에수용된상태로제1수용홈 (123a) 을중심으로제1볼 (121a) 이자유회동되도록하는것이다. - 7 -
[0050] [0051] [0052] [0053] [0054] [0055] [0056] [0057] [0058] [0059] [0060] [0061] [0062] [0063] [0064] [0065] 정확하게는제1볼 (121a) 의자유회동을통해고정플레이트 (121) 가결합된하부스테이지 (110) 또한자유회동이이루어지도록함으로써결국기판 (P) 의합착과정에서하부스테이지 (110) 가상부스테이지 (10) 와접촉될때상부스테이지 (10) 가소정의각도로기울어진경우하부스테이지 (110) 가상부스테이지 (10) 와대응하는각도로회동되도록하여합착시상. 하부스테이지 (10,110) 가동일한평탄도를유지토록하기위함인것이다. 제1외부캡 (125) 은제1수용체 (123) 가삽입고정되는것으로, 제1수용체 (123) 가외부의환경으로부터차단되도록하며제1볼 (121a) 의자유회동시유동이발생되지않도록제1수용체 (123) 를안정적으로지지한다. 구동부재 (127) 는하부스테이지 (110) 를승강시키기위한것으로, 베이스 (B) 상에제1볼 (121a) 의중심과일치되게베이스 (B) 상에안착되며중심부에는제1외부캡 (125) 의저면과결합되어제1외부캡 (125) 을승강시키는로드 (127a) 가구비되어있다. 즉, 구동부재 (127) 는구동을통해제1외부캡 (125) 과결합된로드 (127a) 를승강시킴에따라결국하부스테이지 (110) 를승강시키게되는것이다. 이때, 구동부재 (127) 는, 에어실린더, 스핀들모터및서보모터중선택된어느하나가사용될수도있으며, 바람직하게는에어실린더가사용된것이가장이상적이다. 이는, 에어실린더가에어를통해구동하기때문에상부스테이지 (10) 및하부스테이지 (110) 의합착시가해지는데미지가다른모터에비해적기때문이고, 더하여시설설비에따른제작단가가저렴한장점이있기때문이다. 사이드고정유닛 (130) 은구동부재 (127) 의구동에의해하부스테이지 (110) 가승강하여상부스테이지 (10) 와합착시하부스테이지 (110) 가상부스테이지 (10) 와대응하는평탄도를유지토록하는것으로, 회동유닛 (120) 을중심으로소정간격이격되게베이스 (B) 상에방사상으로안착된상태로상측이하부스테이지 (110) 와결합되며, 하부스테이지 (110) 의자유회동에따라승강하면서하부스테이지 (110) 의회동된상태를유지시키도록복수개로구비된다. 이때, 각각의사이드고정유닛 (130) 은볼조인트결합을통해하부스테이지 (110) 의회동된상태를유지시키는구조를이루고있으며, 고정블럭 (131) 과, 이동블럭 (132) 과, 지지축 (134) 과, 제2수용체 (135) 및제2외부캡 (136) 으로구성되어있다. 본실시예에서는사이드고정유닛 (130) 이회동유닛 (120) 을중심으로사각의베이스 (B) 각코너에설치된것으로도시하고있으며, 그개수는반드시한정하지않는다. 고정블럭 (131) 은하부스테이지 (110) 방향으로소정의길이를가지고있으며, 베이스 (B) 의각코너에 4개가결합되어있다. 이동블럭 (132) 은하부스테이지 (110) 의자유회동에따라승강하도록고정블럭 (131) 의일측에구비되어있다. 이때, 고정블럭 (131) 과이동블럭 (132) 사이에는이동블럭 (132) 의승강이원활하게이루어지도록 L/M가이드 (13 3) 구조또는암. 수결합구조중어느하나의구조가구비되며, 바람직하게는 L/M가이드 (133) 구조가가장이상적인데이는 L/M가이드 (133) 구조가보다넓은면접촉으로이동하기때문에이동블럭 (132) 의안정적인승강을이룰수있기때문이다. 지지축 (134) 은이동블럭 (132) 의승강시함께연동하는소정의길이를갖는형상으로, 하측이이동블럭 (132) 의상측에나사결합되어있으며길이방향상측단부에는구형상의제2볼 (134a) 이형성되어있다. 제2수용체 (135) 는제2볼 (134a) 과볼조인트되는것으로, 내부에는지지축 (134) 의제2볼 (134a) 이수용되도록제2 볼 (134a) 과대응하는구형상의제2수용홈 (135a) 이형성되며제2볼 (134a) 을중심으로자유회동한다. 제2외부캡 (136) 은제2수용체 (135) 가삽입고정되는것으로, 상부가하부스테이지 (110) 의저면과결합되며, 제2 수용체 (135) 가외부의환경으로부터차단되도록함과더불어자유회동시유동이발생되지않도록안정적으로지지한다. 즉사이드고정유닛 (130) 은, 구동부재 (127) 의구동에의해하부스테이지 (110) 가상부스테이지 (10) 와합착될때합착과정에서상부스테이지 (10) 가소정의각도로기울어진경우, 하부스테이지 (110) 는상부스테이지 (10) 와대응하는평탄도를유지하기위해회동하게된다. 이때, 복수개의이동블럭 (132) 들은각각서로다른상승을하면서하부스테이지 (110) 의기울기를고정시키며, 더하여제2외부캡 (136) 은제2볼 (134a) 을중심으로하부스테이지 (110) 의중심을기준으로높고낮음에따라회동하게된다. - 8 -
[0066] [0067] [0068] [0069] [0070] [0071] [0072] [0073] [0074] [0075] [0076] [0077] [0078] [0079] [0080] [0081] [0082] [0083] 한편, 각고정블럭 (131) 의일측에는에어의공급및차단을통해하부스테이지 (110) 의자유회동에따른이동블럭 (132) 의승강된상태가고정되도록하는에어락클램프 (137) 가구비되는것이바람직하다. 즉, 에어락클램프 (137) 는외부로부터공급되는에어를 L/M가이드 (133) 내부로공급되도록함으로써하부스테이지 (110) 의회동에의한이동블럭 (132) 의승강즉 L/M가이드 (133) 의이동된상태를고정하는것이다. 이때, 각에어락클램프 (137) 에는에어를공급하는에어관 (137a) 이연결되며, L/M가이드 (133) 의내부에는에어관 (137a) 을통해공급되는에어가유동할수있는유로 ( 미도시 ) 가형성되는것은물론이다. 이때, 에어락클램프 (137) 로공급되는에어는콘트롤러 ( 미도시 ) 에의해공급및차단되는것이바람직하며, 복수개의에어관 (137a) 은콘트롤러와연결된상태임은물론이다. 이는, 에어가콘트롤러에의해제어됨에따라이동블럭 (132) 의승강에따른 L/M가이드 (133) 의이동시상부스테이지 (10) 에의해하부스테이지 (110) 의평탄도가결정될때에어를공급및차단함으로써하부스테이지 (110) 의결정된평탄도가유지되도록하기위함이다. 더하여, 콘트롤러는하부스테이지 (110) 의평탄도가결정되면평탄도값을셋팅화하여데이터를저장하여하부스테이지 (110) 의평탄도를유지시키면서합착공정이진행되도록한다. 이하, 첨부된도 5 내지도 8을참고로본발명에따른합착기판의스테이지평탄도보정장치 (100) 에의해하부스테이지 (110) 의평탄도가보정되는과정을설명하기로한다. 먼저, 본발명의보정장치를선택된합착장치의상부스테이지 (10) 와복수개의지지프레임 (20) 을이용하여결합한다. 이때, 합착장치의상부스테이지 (10) 수직센터와본발명보정장치의수직센터가서로일치되게결합한다. 이후, 도 5와같이기판 (P) 의합착공정을위한샘플기판 (P) 을이용하여하부스테이지 (110) 의평탄도를셋팅하게된다. 먼저, 봉지공정을거친기판 (P) 이하부스테이지 (110) 의상부표면으로공급되어안착되고, 증착공정을거친기판 (P) 이상부스테이지 (10) 측으로공급되어상부스테이지 (10) 의저면표면에진공흡착에의해안착된다. 이때, 상부스테이지 (10) 의평탄도는확인되지않은상태이고, 하부스테이지 (110) 는평탄도가 "0" 일수도있고소정의각도를유지한상태일수도있다. 도 5에서는본발명의설명이쉽게이해가능하도록상부스테이지 (10) 가소정의각도로도면상좌측방향으로기울어진상태로도시하였다. 이후, 도 6과같이구동부재 (127) 의구동에의해로드 (127a) 가상승하게되면하부스테이지 (110) 도함께상승하게되고, 이과정에서하부스테이지 (110) 의일측이좌측방향으로기울어진상부스테이지 (10) 의하방측부위또는기판 (P)( 안착된기판의크기에따라접촉되는부위가달라짐 ) 와접촉을이루게된다. 이때, 하부스테이지 (110) 의저면에결합된복수개의사이드고정유닛 (130) 의각제2외부캡 (136) 도함께상승하기때문에이동블럭 (132) 또한 L/M가이드 (133) 를타고상승하게되고, 상기 L/M가이드 (133) 내부로는고정블럭 (131) 의일측에구비된에어락클램프 (137) 에의해에어가공급되는상태이다. 상기의상태에서하부스테이지 (110) 가구동부재 (127) 에의해계속적인상승을하게되면, 하부스테이지 (110) 는상부스테이지 (10) 와접촉된부위를기점으로상부스테이지 (10) 방향으로회동을하게된다. 이경우, 제1수용체 (123) 의제1수용홈 (123a) 에수용된제1볼 (121a) 은하부스테이지 (110) 가상부스테이지 (10) 와접촉된부위를기점으로회동하기때문에제1수용홈 (123a) 을중심으로시계반대방향으로회동하게된다 ( 도 3 참조 ). 더하여, 제1볼 (121a) 의회전이발생되는동안로드 (127a) 의상승은계속적으로이루어지기때문에상부스테이지 (10) 와접촉된부위에구비된사이드고정유닛 (130) 의제2외부캡 (136) 의상승은멈추게되고, 반면상승하는하부스테이지 (110) 의타측에구비된다른제2외부캡 (136) 은계속적인상승을하게된다 ( 도 3 참조 ). 이때, 각사이드고정유닛 (130) 의제2외부캡 (136) 은하부스테이지 (110) 의회동방향에따라지지축 (134) 의제2볼 (134a) 을중심으로시계반대방향으로회동하게된다 ( 도 4 참조 ). 이후, 하부스테이지 (110) 가도 7과같이계속적인회동에의해상부스테이지 (10) 와동일한각도즉상부스테이지 (10) 와대응하는평탄도가 "0" 에이르는순간상. 하부스테이지 (110) 상에안착된두개의기판 (P) 은합착을이 - 9 -
루게된다. [0084] [0085] [0086] [0087] [0088] [0089] [0090] [0091] [0092] 이때, 하부스테이지 (110) 가상부스테이지 (10) 와대응하는평탄도를유지하면에어락클램프 (137) 를통해 L/M가이드 (133) 로공급되는에어를차단하여 L/M가이드 (133) 내부의유로압력을유지시켜 L/M가이드 (133) 의승강을멈추게함으로써하부스테이지 (110) 를고정하고, 이와함께콘트롤러에하부스테이지 (110) 의평탄도값을셋팅화한데이터를저장하게된다. 이렇게되면, 하부스테이지 (110) 는도 8과같이상부스테이지 (10) 와대응하는평탄도를유지함과더불어콘트롤러에데이터가저장된상태임에따라항상셋팅된상태를유지하게된다. 이후, 샘플기판 (P) 을제거하고상부스테이지 (10) 및하부스테이지 (110) 에합착하고자하는기판 (P) 을공급하면서기판 (P) 의합착공정을진행한다. 한편, 본발명의합착기판의스테이지평탄도보정장치 (100) 가다른합착장치에적용되는경우앞서서술된과정을거쳐기판 (P) 의합착공정을수행하면된다. 지금까지서술된바와같이본발명의합착기판의스테이지평탄도보정장치는, 기판의합착시기판이안착된어느하나의스테이지가소정의각도로기울어지더라도이에대응하는스테이지의평탄도가자동으로보정되도록함으로써스테이지의평탄도일치에따른기판의균일한가압력이이루어지도록하여기판의합착공정에따른수율향상및제품의품질을향상시키는장점이있다. 또한, 상. 하스테이지의평탄도가자동으로셋팅됨에따라셋팅시간의단축과더불어작업자가필요치않는장점이있다. 또한, 본발명의합착기판의스테이지평탄도보정장치는다양한크기및형상을갖는여러합착장치에적용가능함에따라합착장치의구매에따른비용이절감되는장점이있다. 이상, 본발명의합착기판의스테이지평탄도보정장치를바람직한실시예및첨부된도면에의해설명하였으나, 이는발명의이해를돕고자하는것일뿐발명의기술적범위를이에한정하고자함이아님은물론이다. 즉, 본발명의기술적요지를벗어나지않고도당해발명이속하는기술분야에서통상의지식을가진자라면다양한변형이나개조가가능함은물론이고, 그와같은변경이나개조는청구범위의해석상본발명의기술적범위내에있음은말할나위가없다. [0093] 부호의설명 10 : 상부스테이지 20 : 지지프레임 100 : 합착기판의스테이지평탄도보정장치 110 : 하부스테이지 120 : 회동유닛 121 : 고정플레이트 121a : 제1볼 123 : 제1수용체 123a : 제1수용홈 125 : 제1외부캡 127 : 구동부재 127a : 로드 130 : 사이드고정유닛 131 : 고정블럭 132 : 이동블럭 133 : L/M 가이드 134 : 지지축 134a : 제 2 볼 135a : 제 2 수용홈 135 : 제 2 수용체 136 : 제 2 외부캡 137 : 에어락클램프 137a : 에어관 B : 베이스 P : 기판 - 10 -
도면 도면 1-11 -
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