입출력 2,048(GM4A/B), 3,584(GM4C) 점의중 소규모제어 명령어처리시간의고속화 (0.12~0.2μs /step) 중 소규모의제조라인네트워크구성가능 리모트시스템구성시 2,048(GM4), 8,192(GM4B), 32,000(GM4C) 점의대규모제어가능 3

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1 GLOFA-GM Series GLOFA-GM7U/GM7 연산처리속도`:`0.1(0.5) GLOFA-GM6 연산처리속도`:`0.5 최대제어점수`:`120 점 /80 점 최대제어점수`:`384 점 프로그램용량`:`132Kbyte/68Kbyte 프로그램용량`:` 최대 68Kbyte 내장기능`:`PID, HSC, 위치결정, Cnet등 GLOFA-GM4 연산처리속도`:`0.12~0.2μs 최대제어점수`:`2,048점 /3,584점 (C타입 ) 프로그램용량최대`:`128Kbyte/1Mbyte(C타입 ) 최대증설단수`:`3단 /6단 (C타입 ) 실수연산처리` 지원및 USB 포트지원 (C타입) GLOFA-GM3 연산처리속도`:`0.2 μs 최대제어점수`:`2,048점 프로그램용량`:` 최대 256Kbyte 최대증설단수`:`3단 GLOFA-GM2 연산처리속도`:`0.12μs 최대제어점수`:`4,096점 프로그램용량`:` 최대 512Kbyte/1Mbyte(B타입 ) 최대증설단수`:`7단 실수연산처리지원 GLOFA-GM1 연산처리속도`:`0.12μs 최대제어점수`:` 최대 16,000점 프로그램용량`:` 최대 512Kbyte/1Mbyte(B타입 ) 최대증설단수`:`31 단 실수연산처리지원 GLOFA-GMR 이중화제어용 연산처리속도`:`0.12μs 최대제어점수`:`7,680점 프로그램용량`:` 최대 512Kbyte/2Mbyte(B타입 ) 최대증설단수`:`15 단 실수연산처리지원및 Hot-Standby GLOFA-GM series 5

2 입출력 2,048(GM4A/B), 3,584(GM4C) 점의중 소규모제어 명령어처리시간의고속화 (0.12~0.2μs /step) 중 소규모의제조라인네트워크구성가능 리모트시스템구성시 2,048(GM4), 8,192(GM4B), 32,000(GM4C) 점의대규모제어가능 32bit Processor 채택 (GM4C) Fast Enet, Cnet, Fnet, Rnet, DeviceNet, Profibus-DP 통신지원 다운사이징화및고기능 고성능실현 다양한특수기능모듈보유 아날로그입출력, PID, 측온저항체입력, 열전대입력, 고속카운터, 위치제어, 아날로그타이머등 제어방식 입출력제어방식 프로그램언어 연산자기본펑션명령어수기본펑션블록전용펑션블록연산자연산처리속도기본펑션기본펑션블록실수연산프로그램메모리용량 32점모듈사용입출력접수 64점모듈사용리모트 I/O 사용직접변수영역데이터메모리심볼릭변수영역타이머 카운터 항목 운전모드정전시데이터보존프로그램블록수스캔정주기태스크외부접점태스크프로그램종류내부접점태스크초기화태스크에러처리태스크자기진단기능리스타트모드플래시메모리모듈프로그램포트최대증설단수내부소비전류 (DC 5V) * 주 ) 고기능 Base 및고기능증설케이블사용시 6 단증설가능 : P31, P95 참조 성능규격 GM4-CPUA GM4-CPUB GM4-CPUC 저장된프로그램반복연산, 정주기연산, 인터럽트연산 스캔동기일괄처리방식 IL (Instruction List) LD (Ladder Diagram) SFC (Sequential Function Chart) μsμsμs LD: 13개, IL: 20개 194개 194개 194+ 실수연산펑션 12개 특수기능모듈별전용펑션블록 0.2 / 명령 0.2 / 명령 0.12 / 명령 불가능 128Kbyte 1,024 점 2,048 점 2,048 점 0.2 μs /step 0.12 μs /step 불가능 128Kbyte 1,024점 2,048점 8,192점 2~16Kbyte 52Kbyte-직접변수영역 50Kbyte-직접변수영역 가능 1Mbyte 1,792 점 3,584 점 32,000 점 8~117Kbyte 428Kbyte- 직접변수영역 점수제한없음, 시간범위 : 초 ~ 초 (1,193 시간 ) 점수제한없음, 계수범위 : ~32767 RUN, STOP, PAUSE, DEBUG 변수정의시보존 (Retain) 으로설정된데이터 180개 180개 - 태스크에서사용한프로그램블럭수 8개 8개 32개 8개 16개 2개 (_INIT, _ H_ INIT) 없음 1개 ( _ ERR _ SYS) 운전상태감시, 연산지연감시, 메모리이상, 입출력이상, 베터리이상, 전원이상등 콜드, 웜, 핫리스타트 외장 (128Kbyte) RS-232C 내장 (512Kbyte) RS-232C 최대 3단 130mA 내장 (6Mbyte) RS-232C, USB 최대 6 단 * 주 ) 비고 즉시입출력펑션에의한즉시입출력가능 GMWIN 에서영역설정 1점당심볼릭변수영역의 20byte점유 1점당심볼릭변수영역의 8byte점유 GM4C ( 프로그램용 1M, 업로드용 5M) 30

3 GLOFA GM Series IL LD SFC 에의해프로그램작성 전원모듈 AC 110V 입력 GM4-PA1A DC5V 4A DC24V 0.7A 출력 GM4-PA1B DC5V 3A DC24V 0.5A 출력 GM4-PA2A DC5V 4A DC24V 0.7A 출력 AC 220V 입력 GM4-PA2B DC5V 3A DC24V 0.5A 출력 GM4-PA2C DC5V 6A 출력 DC 24V 입력 GM4-PD3A DC5V 4A 출력 CPU모듈형명입출력 GM4-CPUA GM4-CPUB GM4-CPUC 2,048점 2,048/8,192점 3,584/32,000점 메모리모듈 ( 옵션 ) * 주1) G4M-M K 구분 32점 입력모듈 AC 110V AC 220V DC 12/24V G4I-A12A G4I-A22A G4I-D22A G4I-D22B - - G4I-D24A G4I-D24B 디지털입출력모듈 출력모듈 릴레이출력트라이출력트랜지스터출력 G4Q-RY2A G4Q-SS2A G4Q-TR2A G4Q-SS2B G4Q-TR2B G4Q-TR4A - - G4Q-TR4B 입 / 출력혼합모듈 DC/ 릴레이 DC/ 트랜지스터 G4H-DR2A G4H-DT2A 점 - - G4I-D28A - - G4Q-TR8A - - 구분 I/O 슬롯수 기본베이스 GM4-B04M GM4-B06M GM4-B08M GM4-B12M 베이스 증설베이스 GM4-B04E GM4-B06E GM4-B08E - * 주 2) 기본베이스 GM4-B4MH GM4-B6MH GM4-B8MH - 고기능베이스 증설베이스 GM4-B4EH GM4-B6EH GM4-B8EH - 0.4m 1.2m 3m 증설케이블 G4C-E041 G4C-E121 G4C-E301 고기능증설케이블 0.6m G4C-E061 6m G4C-E601 10m G4C-E102 15m G4C-E152 Fast Enet I/F 모듈 (Open 형 ) Fast Enet I/F 모듈전용 (Master) Fast Enet I/F 모듈전용 (Slave) * 주 3) Fnet I/F 모듈 Rnet I/F 모듈 Dnet I/F 모듈 Pnet I/F 모듈 Cnet I/F 모듈 G4L-EUTB G4L-EUFB G4L-EU5B G4L-EUTC G4L-EUFC G4L-EU5C G4L-ERTC G4L-ERFC G4L-ER5C G4L-FUEA G4L-FUOA G4L-RUEA G4L-DUEA G4L-PUEA G4L-PUEB G4L-CUEA 통신모듈 10/100BASE-Tx, UTP/STP 100BASE-Fx, Fiber Optic 10BASE-5, AUI 10/100BASE-Tx, UTP/STP 100-BASE-Fx, Fiber Optic 10BASE-5, AUI 10/100BASE-Tx, UTP/STP 100-BASE-Fx, Fiber Optic 10BASE-5, AUI 1Mbps, Twisted Pair cable 1Mbps, Fiber Optic 1Mbps, Twisted Pair cable DeviceNet Master/Slave 모듈 Profibus-DP Master 모듈 (1K) Profibus-DP Master 모듈 (7K) RS-232C/422 각 1 채널 A/D 변환모듈선택 D/A 변환모듈전류전압열전대입력모듈측온저항체입력모듈아날로그타이머모듈 PID 제어모듈 고속카운터모듈 위치결정모듈인터럽트모듈온도제어모듈 * 주 1) GM4-CPUB, GM4-CPUC 에는플래시메모리가내장되어있으므로메모리모듈을사용할수없습니다. * 주 2) GM4-B12M 을사용할경우증설은불가능하며 Slot No.8 이상은베이스번호 1, 슬롯번호 0~3 을설정합니다. GM4-CPUA 를사용할경우 Slot No.8 이상에는통신모듈을사용할수없습니다. * 주 3) Fast Enet I/F 전용 Slave 모듈은리모트시스템에사용합니다. 특수모듈 G4F-AD2A/G4F-AD3A G4F-DA1A G4F-DA2I/G4F-DA3I G4F-DA2V/G4F-DA3V G4F-TC2A G4F-RD2A G4F-AT3A G4F-PIDA/G4F-PIDB G4F-HSCA G4F-HD1A/G4F-HO1A G4F-PPxD (X=1,2,3) G4F-INTA G4F-TMCA 4/8채널 2채널 4/8채널 4/8채널 4채널 4채널 8점 8루프 /16루프 1채널 2채널 1/2/3축 2루프 GLOFA GM Series 31

4 16, 32, 64 점입출력모듈구성 모든모듈포토커플러절연 LED 표시에의한동작확인이가능 단자대방식, 모듈의원터치장착방식으로보수가용이 입력형식 형명입력점수정격입력전압정격입력전류 On 전압 / 전류 Off 전압 / 전류 입력형식형명입력점수정격입력전압정격입력전류동작전압 / 전류 공통방식타입동작표시절연방식내부소비전류 (DC 5V) On Off 공통방식동작표시절연방식내부소비전류 (DC 5V) DC입력 G4I-D22A/C G4I-D22B G4I-D24A/C G4I-D24B G4I-D28A 32점 64점 DC 12/24V * 주1) 5/11mA 3/7mA 3/6mA DC 9.5V 이상 /4mA 이상 DC 9.5V 이상 /3mA 이상 DC 6V 이하 /1.0mA 이하 10ms 이하 10ms 이하 8 점 /1COM 32 점 /1COM 소스 / 싱크타입 ( 무극성 ) 소스타입 (+ 공통 ) 소스 / 싱크타입 ( 무극성 ) 소스타입 (+ 공통 ) 소스 / 싱크타입 ( 무극성 ) LED 표시포토커플러절연 70mA 75mA 250mA AC입력 인터럽트 G4I-A12A G4I-A22A G4F-INTA 8점 AC 100 ~ 120V AC 200 ~ 240V DC 24V 11mA 10mA AC 80V 이상 /6mA 이상 AC 150V 이상 /4.5mA 이상 DC 15V 이상 AC 30V 이하 /3mA 이하 AC 50V 이하 /3mA 이하 DC 5V 이하 15ms 이하 0.5ms 이하 25ms 이하 0.5ms이하 8점 /1COM 1점 /1COM LED 표시 포토커플러절연 70mA 출력종류형명출력점수정격부하전압전류1점정격부하 1공통 공통방식동작표시타입절연방식서지킬러내부소비전류 (DC 5V) 외부공급전원 TR출력 G4Q-TR2A G4Q-TR2B G4Q-TR4A G4Q-TR4B G4Q-TR8A 32점 64점 DC12/24V 0.5A 0.1A 3A/1COM 2A /1COM 2ms 이하 2ms 이하 8점 /1COM 32점 /1COM LED 표시 싱크 (- 공통 ) 소스 (+ 공통 ) 싱크 (- 공통 ) 소스 (+ 공통 ) 싱크 (- 공통 ) 포토커플러절연 배리스터 - 100mA 160mA 250mA DC24V 32 출력종류 릴레이출력 트라이액출력 형명 G4Q-RY2A G4Q-SS2A G4Q-SS2B 출력점수 정격부하전압 DC12/24V, AC110/220V AC100~240V 정격부하 전류 /1점 2A 1A 0.6A 1공통 4A / 1COM 5A /1COM 2.4A /1COM 10ms 이하 0.5cycle + 1ms 이하 12ms 이하 0.5cycle + 1ms 이하 공통방식동작표시타입절연방식 8점 /1COM LED 표시 포토커플러절연 서지킬러내부소비전류 (DC 5V) 외부공급전원 100mA DC24V 배리스터, CR 업소버 330mA -

5 GLOFA GM Series G4I-D22A/C * 주 1) G4I-D22B G4I-D24A/C * 주 1) G4I-D24B G4I-D28A * 주 2) PIN번호 PIN번호 Connector 1 ( 좌측 ) Connector 2 ( 우측 ) G4I-A12A G4I-A22A G4F-INTA * 주 1) G4I-D2xC 는 24V 입력전용이며 0N 전압은 19.6V 입니다. * 주 2) G4I-D28A 는 40 핀커넥터입니다. * 단자대결선시사용설명서를참고하시기바랍니다. GLOFA GM Series 33

6 G4Q-TR2A G4Q-TR2B G4Q-TR4A G4Q-TR4B G4Q-TR8A * 주 1) PIN 번호 PIN 번호 G4Q-RY2A * 주 2) G4Q-SS2A Connector 1 ( 좌측 ) Connector 2 ( 우측 ) G4Q-SS2B * 주 1) G4Q-TR8A 는 40 핀커넥터입니다. * 주 2) 릴레이출력의경우릴레이구동용전원 (DC24V) 를출력모듈에입력해주어야합니다. * 단자대결선시사용설명서를참고하시기바랍니다. 34

7 1 모듈로 4 채널 /8 채널의아날로그입력처리 전압, 전류입력선택가능 (Dip 스위치및단자대 ) 디지털값을 -8,000~8,000 또는 0~16,000 으로채널별선택가능 (G4F-AD2A) 높은정밀도 ( 분해능 1/16,000, 1/4,000) 적용 CPU 아날로그 디지털출력 최대분해능 정밀도 항 전압 최대변환속도절대최대전압입력전류아날로그입력점수오프셋 / 게인절연방식내부소비전류 목 전류입력전압 / 전류선택전압범위선택 DC 1~5V DC 0~10V DC -5~5V DC -10~10V DC -20~20mA DC 4~20mA msmsms G4F-AD2A G4F-AD3A G6F-AD2A* 주 ) GM4-CPUA/B/C GM6-CPUA/B/C DC -5~+5 DC 1~5V DC 1~5V DC -10~+10V DC 0~10V DC 0~10V, -10~+10V DC -20~+20mA DC 4~20mA DC 4~20mA 입력단자연결입력범위스위치 DIP스위치 입력단자연결입력범위스위치 입력범위스위치 프로그램 입력범위스위치 0~16,000 0~4,000 0~4,000-8,000~8,000-2,000~2, mV (1/4,000) 1.0mV (1/4,000) - 2.5mV (1/4,000) 2.5mV (1/4,000) 0.625mV (1/16,000) mV (1/16,000) - 5mV (1/4,000) 2.5μA (1/16,000) μA (1/4,000) 4μA (1/4000) ±0.5% (Full Scale) ±0.5% (Full Scale) ±0.5% (Full Scale) (25 에서 ±0.3%) (25 에서 ±0.3%) (25 에서 ±0.3%) 5 / 채널당 5 / 채널당 5 / 채널당 ±12V ±25mA 4채널 /1모듈 8채널 /1모듈 4채널 /1모듈 사용자설정가능 사용자설정불가 입력단자와 PLC 전원간 Photo-Coupler 절연 ( 채널간비절연 ) 400mA (5V) 500mA (5V) 40mA (5V), 50mA (+15V), 20mA (-15V) * 주 )* GM6 에서아날로그입력모듈 (G6F-AD2A) 을사용하는경우전원모듈 GM6-PAFB 또는 GM6-PDFB 를사용해야합니다. * 제품출하시아날로그입력이전류방식으로설정되어있으며이에대하여오프셋 / 게인값이조정되어있습니다. [ 1/16,000 ] 디지털출력 [ 1/4,000 ] [ 1/16,000 ] 디지털출력 [ 1/4,000 ] 16,000 4,000 16,000 4,000 8,000 2,000 8,000 2, V -5V 5V 10V -10V -5V 1V 3V 5V 10V 아날로그전압입력 (ma) [ 전압입력 ] -20mA -12mA 4mA 12mA 20mA -20mA -12mA 4mA 10mA 20mA 아날로그전류입력 (ma) [ 전류입력 ] GM4-CPU (GM6-CPU) 채널, 데이터타입지정초기화펑션블록 A /D 변환값읽기데이터읽기펑션블록 G4F-AD2A G4F-AD3A (G6F-AD2A) V I COM V I COM 아날로그전압입력 아날로그전류입력 * G4F-AD2A 와 G6F-AD2A 에전류를입력할경우 V 단자와 I 단자를연결해주어야합니다. Pre-Amp 트랜스듀스 전압, 전류 온도, 유량, 압력, 속도 GLOFA-GM Series 67

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rptProductDatasheet INFICON SKY CDG100D 압력계는정확한총압력측정및제어를위한최상의선택입니다. CDG100D 게이지는까다로운반도체및플라즈마공정에서뛰어난성능을발휘하기위해 100 C 에서온도를제어합니다. 이게이지는모든일반플랜지유형과필드버스인터페이스를사용하는 100mTorr~1000Torr 의전체규모범위에사용할수있으며, 가스종류에상관없이선형 0~10V 압력신호를제공합니다.

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歯메뉴얼v2.04.doc 1 SV - ih.. 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 - - - 23 24 R S T G U V W P1 P2 N R S T G U V W P1 P2 N R S T G U V W P1 P2 N 25 26 DC REACTOR(OPTION) DB UNIT(OPTION) 3 φ 220/440 V 50/60

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rptProductDatasheet INFICON SKY CDG160D 고온압력계는정확한총압력측정및제어를위한최상의선택입니다. CDG160D 게이지는까다로운반도체및플라즈마공정에서뛰어난성능을발휘하기위해 160 C 에서온도를제어합니다. 이게이지는모든일반플랜지유형과필드버스인터페이스를사용하는 1Torr~1000Torr 의전체규모범위에사용할수있으며, 가스종류에상관없이선형 0~10V 압력신호를제공합니다.

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