진공레귤레이터 IRV10 20 Series RoHS 한면배관사양을시리즈화패널설치시의공간절약을실현 한면배관사양 패널장착용디지털압력스위치일체형 ( 주문제작사양 ) 디지털압력스위치 진공레귤레이터 IRV 시리즈 IRV Series 리프레시 질량 :20% 감소 ( 기존 IRV2

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진혁 한
5 years ago
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1 진공레귤레이터 oh 한면배관사양을시리즈화패널설치시의공간절약을실현 한면배관사양 패널장착용디지털압력스위치일체형 ( 주문제작사양 ) 디지털압력스위치 진공레귤레이터 IV 시리즈 IV eries 리프레시 질량 :20% 감소 ( 기존 IV2000 비교, IV20 피팅부착의경우 ) 최대유량 ( 외관사이즈기존품상당 ) L/min(AN) L/min(AN) 기존 IV20000L/min(AN) 기존 IV0060L/min(AN) 표준배관사양 IV eries IV20 eries 729

2 고정식으로 디지털압력스위치의탈착이용이. 내장 : 종류변경이가능. 디지털압력스위치설치방향변경가능. ( 표준배관사양만해당 ) 표준배관사양 플러그너트 디지털압력스위치 피팅종류 적용튜브외경 (mm) 시리즈 IV IV20 ø8 ø 한면배관사양 ø5/16" ø3/8" 표준배관사양 한면배관사양 디지털압력스위치 디지털압력스위치부착각도 (60 단위 ) 변경이용이. 용도예 워크흡착 리크테스터 P 설치구성 브라켓 표준배관사양 한면배관사양 브라켓 밑면브라켓 밑면브라켓 730

진공레귤레이터 형식표시방법 oh 표준배관사양 20 IV 20 몸체사이즈최대유량 140L/min(AN) 최대유량 240L/min(AN) L 피팅 C08 접속튜브외경 기호 튜브외경 IV IV20 C06 C08 밀리 ø8 C ø N07 N09 인치 ø5/16" N ø3/8" 부속품 q 동봉 B

c1/8 포트가필요한경우, 옵션이게이지너트 Ass'y P60-18 를별도주문해주십시오.(P.738 을참조해주십시오.) 주 2 플러그너트 1 개, 게이지너트 (c1/8) 1 개, 2 개가동봉됩니다., 디지털압력스위치는부속되지않습니다. 주 3 정도 ±3% 플스팬.

) 없음브라켓장착밑면브라켓장착 NPN 오픈콜렉터 1 출력 PNP 오픈콜렉터 1 출력 NPN 오픈콜렉터 2 출력 PNP 오픈콜렉터 2 출력 브라켓 ZE30A-01-N-ML 부착 ZE30A-01-P-ML 부착 ZE30A-01-A-ML 부착 ZE30A-01-B-ML 부착 한면배관사양 20 IV

3 진공레귤레이터 형식표시방법 oh 표준배관사양 20 IV 20 몸체사이즈최대유량 140L/min(AN) 최대유량 240L/min(AN) L 피팅 C08 접속튜브외경 기호 튜브외경 IV IV20 C06 C08 밀리 ø8 C ø N07 N09 인치 ø5/16" N ø3/8" 부속품 q 동봉 B L 부속품w동봉 없음주1 GN 게이지너트 Ass'y 주2 주3주4 G IVGZ33-K-01, IV20GZ43-K-01 ZN ZP ZA ZB 주4 디지털압력스위치 주 1 게이지포트에는플러그너트 2 개가부착되어있습니다. c1/8 포트가필요한경우, 옵션이게이지너트 Ass'y P60-18 를별도주문해주십시오.(P.738 을참조해주십시오.) 주 2 플러그너트 1 개, 게이지너트 (c1/8) 1 개, 2 개가동봉됩니다., 디지털압력스위치는부속되지않습니다. 주 3 정도 ±3% 플스팬. 주 4 플러그너트, 게이지너트가부속됩니다.( 상세는 P.741 을참조해주십시오.) 없음브라켓장착밑면브라켓장착 NPN 오픈콜렉터 1 출력 PNP 오픈콜렉터 1 출력 NPN 오픈콜렉터 2 출력 PNP 오픈콜렉터 2 출력 브라켓 ZE30A-01-N-ML 부착 ZE30A-01-P-ML 부착 ZE30A-01-A-ML 부착 ZE30A-01-B-ML 부착 한면배관사양 20 IV 20 A 몸체사이즈최대유량 140L/min(AN) 최대유량 240L/min(AN) A 기호 C06 C08 C N07 N09 N 한면배관사양한면배관사양 L 튜브외경 밀리 ø8 ø 인치 ø5/16" ø3/8" 피팅 접속튜브외경 C08 부속품 q 동봉 B L 없음브라켓장착밑면브라켓장착 주문제작사양상세는 P.740 을참조해주십시오. 기호 X1 부속품w동봉 GN G ZN ZP ZA ZB 브라켓 밑면브라켓 사양 / 내용패널장착용디지털압력스위치일체형 없음주 1) 게이지너트 Ass'y 주 2) 주3) 주4) IVGZ33-K-01, IV20GZ43-K-01 주4 디지털압력스위치 NPN 오픈콜렉터 1 출력 PNP 오픈콜렉터 1 출력 NPN 오픈콜렉터 2 출력 PNP 오픈콜렉터 2 출력 ZE30A-01-N-ML 부착 ZE30A-01-P-ML 부착 ZE30A-01-A-ML 부착 ZE30A-01-B-ML 부착 주 1) 게이지포트에는플러그너트가부착되어있습니다. c1/8 포트가필요한경우, 옵션의게이지너트 Ass'y P60-18 을별도주문해주십시오.(P.738 을참조하여주십시오.) 주 2) 게이지너트 (c1/8) 1 개, 1 개가동봉됩니다., 디지털압력스위치는부속되지않습니다. 주 3) 의정도 ±3 풀스팬주 4) 게이지너트가부속됩니다. ( 상세는 P.739 를참조해주십시오.) 밑면브라켓 731

4 표준사양 형식사용유체설정압력범위주1) 내압력흡입소비량주2) 핸들분해능주위온도및사용유체온도. 측튜브외경. 측튜브외경표준배관사양질량 ( 부속품없음 ) 한면배관사양 IV IV20 공기 0 1.3kPa 0kPa( 를제외 ) 0.6L/min(AN) 이하 0.13kPa 이하 560, ø8, ø5/16" 135g(IV-C08) 125g(IVA-C08), ø8, ø, ø5/16", ø3/8" 2g(IV20-C) 2g(IV20A-C) 주 1) 진공펌프의압력에따라변화되므로주의해주십시오. 주 2) 부착의경우, 정압을입력하면가파손됩니다. 또, 정압이가해진경우본진공레귤레이터는파손되는경우는없습니다만, 메인밸브부가 열림 상태가되며, 진공펌프까지정압이도입되는것이되므로, 진공펌프가고장날우려가있습니다. 흡착반송시스템등으로본진공레귤레이터를사용할때는하기배관예를참고로하여진공펌프까지정압이도입되지않도록주의해주십시오. 또, 본진공레귤레이터에서는정압의조압은불가능합니다. 컴프레서 냉동식에어드라이어 IDF 시리즈 에어필터 AF 시리즈 미스트세퍼레이터 AM 시리즈 레귤레이터 A 시리즈 진공유니트 ZB 시리즈 진공레귤레이터 IV 시리즈 진공패드 ZP 시리즈 주 3) 항상로부터공기를흡입합니다. 진공펌프 유량특성 ( 대표값 ) 조건 : 진공펌프배기속도 20L/min. 측압력 1kPa 초기설정시 압력특성 ( 대표값 ) IV-C08( ø8 0 IV 설정압력 kpa 측압력 kpa 설정점 유량 L/minAN IV20-C( ø 0 IV 측압력 kpa 설정압력 kpa 측압력 kpa 설정점 유량 L/minAN 측압력 kpa

5 진공레귤레이터 구조도 핸들 설정스프링 흡입밸브 진공실 q 다이어프램 스템 실 밸브 w 작동원리핸들을우회전하면설정스프링의힘으로다이어프램과밸브가눌려내려가며,. 측과. 측이통하여. 측의진공도가높아집니다.( 절대진공에가깝게변화합니다.) 또한,. 측진공압력은에어통로를통하여진공실에이끌려, 다이어프램윗면에작용하고, 설정스프링의압축력과대항하여. 측압력이설정됩니다.. 측이소정의설정값보다진공도가높아진경우 ( 절대진공에가깝게변화합니다.) 에는설정스프링과진공실의. 측압력과평형이무너져다이어프램이위로밀려올라갑니다. 따라서, 밸브가닫혀서흡입밸브가열리고, 가. 측으로유입해서설정스프링압축력과. 측압력이평형을이룬곳에서. 측압력이세팅됩니다. 또한,. 측압력이소정의설정값보다진공도가낮아지는경우는 ( 압에가깝게변화합니다.) 설정스프링과진공실과의평형이무너져다이어프램이아래로밀려내려갑니다. 그러므로흡입밸브가닫혀밸브가열리고. 측에흡입되며설정스프링압축력과. 측압력이평형을이룬곳에서. 측압력이세팅됩니다. 교환부품번호부품명 1 다이어프램 A ssy 2 밸브 A ssy 재질 H-NB 외 H-NB 외 부품품번 IV IV20 P60-2 P P60-3 P

6 외형치수도 IV 표준배관사양 IV-G 부착 ø37.5 ø x4.5 피팅. 측 5 ø 패널구멍커팅치수패널판두께 MAX x5.4, 12 / mm c1/8 접속포트 N P IV-Z 디지털압력스위치부착 A B ø 측 ø x4.5 피팅 5 패널구멍커팅치수패널판두께 MAX x5.4, 7 12 / mm c1/8 접속포트 압력스위치

7 진공레귤레이터 외형치수도 IVA 한면배관사양 IVA-G 부착 ø ø x4.5.5 V 피팅. 측 ø28 패널구멍커팅치수패널판두께 MAX x , 12 / mm V c1/8 접속포트 N P IVA-Z 디지털압력스위치부착 A B ø x V. 측 ø28 피팅 패널구멍커팅치수패널판두께 MAX x5.4, 12 / mm V 압력스위치 c1/8 접속포트

8 외형치수도 IV20 표준배관사양 IV20-G 부착 ø ø 측 6 ø38.5x4.5 피팅 패널구멍커팅치수패널판두께 MAX.4 8x6.5 ø, ø3/8" / c1/8 접속포트 mm N P IV20-Z A 디지털압력스위치부착 B. 측 ø ø x4.5 피팅 6 패널구멍커팅치수패널판두께 MAX x6.5 ø, ø3/8" / c1/8 접속포트 mm 압력스위치

9 진공레귤레이터 외형치수도 IV20A 한면배관사양 IV20A-G 부착 ø x4.5.5 ø43 46 V 피팅 ø38. 측 6 패널구멍커팅치수패널판두께 MAX.4 8x6.5 ø, ø3/8" / mm V c1/8 접속포트 N P IV20A-Z 디지털압력스위치부착 A B ø x V ø38. 측 6 40 피팅 패널구멍커팅치수패널판두께 MAX.4 ø, ø3/8" / mm V x 압력스위치 c1/8 접속포트

옵션 진공레귤레이터용 브라켓 Ass'y IV(A) 용 VVQ00 51A C6 IV(A) 용 P60-17 IV20(A) 용 P6020-17 브라켓 L1 피팅종류 기호 C6 C8 N7 N9 사이즈 ø8 ø5/16" 브라켓 IV20(A) 용

부품명밑면브라켓사각너트 4 십자구멍부착냄비머리작은나사 4 주 ) 번호 1 3 이동봉됩니다. 밑면브라켓 플러그너트 Ass'y 밑면브라켓 사용하지않는접속포트를막아놓습니다.

10 옵션 진공레귤레이터용 브라켓 Ass'y IV(A) 용 VVQ00 51A C6 IV(A) 용 P60-17 IV20(A) 용 P 브라켓 L1 피팅종류 기호 C6 C8 N7 N9 사이즈 ø8 ø5/16" 브라켓 IV20(A) 용 VVQ A C6 밑면브라켓 Ass'y L1 피팅종류 기호 C6 C8 C N7 N9 N 사이즈 ø8 ø ø5/16" ø3/8" IV(A) 용 P60-14 IV20(A) 용 P 세트내용 번호 부품명밑면브라켓사각너트 4 십자구멍부착냄비머리작은나사 4 주 ) 번호 1 3 이동봉됩니다. 밑면브라켓 플러그너트 Ass'y 밑면브라켓 사용하지않는접속포트를막아놓습니다. P60- 세트내용 번호 1 2 부품명플러그너트 O-ring w q w 게이지너트 Ass'y q, 압력스위치의설치나압력의취출에사용합니다. P60-18 세트내용 번호 1 2 부품명게이지너트 O-ring w q c1/8 십자구멍부착냄비머리작은나사체결토크 IV(A) 용 M3 IV20(A) 용 M4 0.32±0.03Nm 0.76±0.05Nm e 738

진공레귤레이터 진공용 부품번호적용기종압력표시범위단위표시눈금각도 GZ33-K-01 IV 180 00kPa kpa GZ43-K-01 IV20 270 GZ33-K-01 ø30 ø3 호흡구멍 육각 9 (17 13 1/8 GZ33 Ass'y P60-12 세트내용번호부품명 1 2 게이지너트 3 O-ring 13이조립된상태로출하됩니다.

11 진공레귤레이터 진공용 부품번호적용기종압력표시범위단위표시눈금각도 GZ33-K-01 IV kPa kpa GZ43-K-01 IV GZ33-K-01 ø30 ø3 호흡구멍 육각 9 ( /8 GZ33 Ass'y P60-12 세트내용번호부품명 1 2 게이지너트 3 O-ring 13이조립된상태로출하됩니다. e w q GZ43-K-01 ø43 ø3 호흡구멍 /8 GZ43 Ass'y P 세트내용 번호 부품명게이지너트 O-ring 13 이조립된상태로출하됩니다. e w q 2 색표시식고정도디지털압력스위치 품번품번 ZE30A-01-N-ML(NPN 오픈콜렉터 1출력 ) ZE30A-01-P-ML(PNP 오픈콜렉터 1출력 ) ZE30A-01-A-ML(NPN 오픈콜렉터 2출력 ) ZE30A-01-B-ML(PNP 오픈콜렉터 2출력 ) 적용기종 IV IV20 사양상세사항은홈페이지상의카탈로그를참조해주십시오. 형식 ZE30A( 진공압 정격압력범위설정압력범위내압력설정최소단위적용유체전원전압소비전류스위치출력 최대부하전류최대인가전압잔류전압응답시간단락보호 kPa.0 5.0kPa 0kPa 0.1kPa 공기 비부식성가스 불연성가스 DC14V±, 리플 (p-p 이하 ( 역접속보호기능내장 ) 40mA 이하 NPN 또는 PNP 오픈콜렉터 1 출력, NPN 또는 PNP 오픈콜렉터 2 출력 ( 선택 80mA 28V(NPN 출력시 1V 이하 ( 부하전류 80mA 일때 2.5ms 이하 ( 채터링방지기능시 20,0,0,00,2000ms 선택 내장 커넥터부착리드선 20±0.1 2xM3x0.5 나사깊이 4 M5x ± /8 디지털압력스위치 ZE30A Ass'y P60 기호 디지털압력스위치형식 ZE30A-01-N-ML ZE30A-01-P-ML ZE30A-01-A-ML ZE30A-01-B-ML 13 디지털압력스위치사양 NPN 오픈콜렉터 1출력커넥터부착리드선 ( 길이 2m PNP 오픈콜렉터 1출력커넥터부착리드선 ( 길이 2m NPN 오픈콜렉터 2출력커넥터부착리드선 ( 길이 2m PNP 오픈콜렉터 2출력커넥터부착리드선 ( 길이 2m 세트내용 번호 대변 12 부품명디지털압력스위치게이지너트 O-ring 13 이조립된상태로출하됩니다. e w q 739

12 주문제작사양상세치수, 사양및납기에관해서는당사로확인해주십시오. Order Made 1 패널장착용디지털압력스위치일체형 형식표시방법 표시기호 X1 한면배관사양 IV 20 A C08 X1 20 몸체사이즈최대유량 140L/min(AN 최대유량 240L/min(AN A 한면배관사양한면배관사양 주문제작사양 X1 패널장착용디지털압력스위치일체형 L 외형치수도 피팅 접속튜브외경 기호 튜브외경 IVA IV20A C06 C08 밀리 ø8 C ø N07 N09 인치 ø5/16" N ø3/8" 디지털압력스위치종류주 기호 출력사양 디지털압력스위치품번 ZN NPN 오픈콜렉터 1출력 ZE30A-C4H-N-MGD 디지털 ZP PNP 오픈콜렉터 1출력 ZE30A-C4H-P-MGD 압력 ZA 스위치 NPN 오픈콜렉터 2출력 ZE30A-C4H-A-MGD ZB PNP 오픈콜렉터 2출력 ZE30A-C4H-B-MGD 주 ) 게이지너트부속. 부속품은동봉됩니다. 디지털압력스위치사양은 P.739를참조해주십시오. IVA 디지털압력스위치 측 ø 패널구멍커팅치수패널판두께 MAX.3 ø4 83 진공레귤레이터 IV20A ø4 커넥터부착리드선 길이 2m 튜브는고객님께서준비해주십시오. 디지털압력스위치 측 ø 패널구멍커팅치수패널판두께 MAX.3 ø4 커넥터부착리드선 길이 2m 6 진공레귤레이터 740 ø4 튜브는고객님께서준비해주십시오.

13 제품개별주의사항q 사용하기전에반드시숙지하십시오. 안전상주의에관해서는서문 42, 공통주의사항에관해서는 P 을확인하시기바랍니다. 경고 1 정전이나진공펌프트러블로인하여진공압력이저하되는경우, 시스템에위험이예측되는경우는안전회로를마련하여위험을피할수있도록시스템을구성해주십시오. 2 진공레귤레이터가고장날경우, 시스템에위험이예측되는경우는안전회로를마련하여위험을피할수있도록시스템을구성해주십시오. 주의 1, 압력스위치등을부착할경우, 플러그분해는설정압력을 0( 압 ) 까지돌려놓은후에실행하여주십시오. 1. 또는압력스위치부착형으로구입한고객의경우 1 1. 부속부품 또는압력스위치 1개 게이지너트 ( O-ring 부착 ) 1개주 ) 게이지너트는또는압력스위치에부착되어있습니다. 플러그너트 ( O-ring 부착 ) 1개 2개주 ) 한면배관사양의경우는 1개로플러그너트를부착할수없습니다. 압력스위치 게이지너트플러그너트 1 2. 또는압력스위치설치 1) 제품의. 측과. 측을확인한후, 고객님께서원하시는게이지포트에를끝까지삽입해주십시오. ( 제품표면과면일치 ) 한면배관사양의경우는접속포트와반대측에를끝까지삽입해주십시오. 2) 을제품측면 ( 를마주보는위치에서왼쪽 ) 에서그림에서나타내는방향으로끝까지삽입해주십시오. 삽입후, 가빠지지않는지를확인해주십시오. 한면배관사양일경우는이것으로종료입니다. 취급 주의 3) 플러그너트를반대측의게이지포트에끝까지삽입해주십시오. 4) 2) 항목과동일하게을제품측면 ( 를마주보는위치에서왼쪽 ) 에서끝까지삽입해주십시오. 플러그너트 주 ) 또는압력스위치를분해할경우는반드시을빼내고똑바로빼내어주십시오. 본체는수지를채용하고있으므로 토크는절대걸지않도록 하십시오. 2부압의압력을인가한채로본체나사를풀지마십시오. 3점검시밸브가이드를분해할경우는설정압력을 0( 압 ) 으로낮추고또한, 진공펌프의압력을완전히차단한후에실행하여주십시오. 4은카세트식으로되어있어손쉽게교환할수있습니다. 은아래그림과같은방향으로삽입되어있는에의해빠지지않게되어있으므로일자드라이버등으로을빼내고교환합니다 ( 분리요령참고 ). 장착은이맞닿는위치까지삽입한후, 을다시소정의위치까지삽입해주십시오. 주 1) 교환하기전에반드시.. 압력이차있지않은지확인하고내부압력을완젼히배기한후에작업해주십시오. 압력이차있는상태로작업을실행하면위험합니다. 주 2) 을빼낼때에는손으로을천천히빼내어주십시오. 강하게잡아당기면이튕겨나갈우려가있으므로위험합니다. 주 3) 교환부품은끝까지확실하게삽입되어있는지확인한후, 을확실하게삽입해주십시오. 삽입이확실하게되어있지않은채사용하면빠질가능성이있으므로위험합니다. 주 4) 타입의에튜브를삽입할경우는피팅본체를손으로유지하면서튜브를삽입해주십시오. 본체를유지하지않고튜브를삽입하면각블록이나에무리한힘이가해져에어누설이나파손의원인이됩니다. 1 2 피팅 Ass'y 741

14 제품개별주의사항w 사용하기전에반드시숙지하십시오. 안전상주의에관해서는서문 42, 공통주의사항에관해서는 P 을확인하시기바랍니다. 주의 빼내는요령 취급 삽입부경사면에드라이버끝단을대고, 그림과같이드라이버를움직여서을들어올립니다. 경고 사용환경 1부식성가스, 화학약품, 바닷물, 물, 수증기의환경또는비산하는장소에서는사용하지마십시오. 2진동또는충격이일어나는장소에서는사용하지마십시오. 3본진공레귤레이터는항상를흡입하므로먼지가없는장소에서사용해주십시오. 4햇빛이내리쬐는경우, 보호커버등으로막아주십시오. 5주위에열원이있는경우, 복사열을차단해주십시오. 경고 1 나사체결토크를엄수하여체결해주십시오. 의뿌리부분에드라이버끝단을삽입합니다. 체결토크를초과하여체결한경우, 설치나사, 본체등이파손될수있습니다. 또한, 체결토크범위미만으로체결한경우, 접속나사부가느슨해지는경우가있습니다. 밑면브라켓부착용십자구멍부착냄비작은나사체결토크 사각너트 진공원 주의 q 본진공레귤레이터는진공펌프의압력조정용이아닙니다. 2 이젝터는본진공레귤레이터보다유량적으로적고, 유량에따라압력변화가크기때문에 진공원 으로사용하기에는적합하지않으므로주의해주십시오. 이젝터의특성에관해서는이젝터카탈로그를참조해주십시오. 공기 주의 q 사용유체는공기를사용하고, 그이외의유체로사용할경우에는당사로연락해주십시오. 2 공기가화학약품, 유기용제를함유하는합성유, 염분, 부식성가스등을포함할때에는작동불량의원인이되므로사용하지마십시오. 밑면브라켓 십자구멍부착냄비머리작은나사체결토크 IVA용 M3 0.32±0.03Nm IV20A용 M4 0.76±0.05Nm 742

15 제품개별주의사항e 사용하기전에반드시숙지하십시오. 안전상주의에관해서는서문 42, 공통주의사항에관해서는 P 을확인하시기바랍니다. 사용상 주의 1 진공펌프에접속할때에는 표시가있는포트에배관을접속하여주십시오. 2압력조정은핸들을우회전하면 압 진공압 으로바뀌고, 좌회전하면 진공압 압 으로바뀝니다. 3압력을조정할때에는몸체옆으로뚫린구멍 ( 흡입구멍 ) 에손이닿지않도록주의해주십시오. 4압력설정후에핸들을잠그는경우는핸들아래에있는주황색띠가보이지않고, 딸칵 소리가날때까지눌러밀어주십시오. 또한, 잠금을해제할경우에는주황색띠가보이고 딸칵 소리가날때까지당겨올려주십시오. 5사용할진공펌프능력이비교적작은경우나사용할배관재의내경이작은경우등에는설정압력의변화 ( 유량없음상태에서유량이흐릴때의압력변화폭 ) 가크게나타날수있습니다. 이러한경우에는진공펌프의변경이나배관구경을변경해주십시오. 진공펌프의변경이무리한경우에는. 측에용량탱크 ( 용적은사용상태에따릅니다.) 를추가해주십시오. 6사용할밸브 ( 전자밸브등 ) 의개폐후압력응답시간은설정측이없는용적 ( 배관내적도포함 ) 의크기가영향을받습니다. 또한, 진공펌프능력도응답시간에영향을미치므로이러한점을충분히유의한후, 사용해주십시오. 7를그림1 방향으로사용하면 0점이어긋나는요인이되므로반드시그림2의방향으로사용하십시오. IV 의경우 0 점위치 하늘 그림 1 바닥 그림 2 0 점위치 IV20 의경우 0 점위치 하늘 바닥 0 점위치 그림 1 그림 2 743

제품개별주의사항 사용전에반드시읽어주십시오. 안전상주의, 게재제품 / 공통주의사항에대해서는서문 P 를확인해주십시오. 경고 취급 1정전과진공펌프의트러블로진공압력이저하했을경우나시스템의위험이예측될경우는안전회로를설치하여위험을피할수있도록시스템을구성해주십시오. 2진공레귤

제품개별주의사항 사용전에반드시읽어주십시오. 안전상주의, 게재제품 / 공통주의사항에대해서는서문 P 를확인해주십시오. 경고 취급 1정전과진공펌프의트러블로진공압력이저하했을경우나시스템의위험이예측될경우는안전회로를설치하여위험을피할수있도록시스템을구성해주십시오. 2진공레귤 진공레귤레이터 2000 3000 Series 3 사이즈 를시리즈화 종래 (T203시리즈) 의 1사이즈에서 3사이즈로종류증가. 유량에맞춰선택이가능. 주 )압을 101kPa, Set압을 80kPa, 유량 0l/min(ANR) 로초기설정했을때의유량입니다. 100 0 l/min(anr) 주 ) l/min(anr) 주 ) 150 l/min(anr) 주 ) 모듈러 F.R.L