안전 VCR 타입 피팅 (Patented) 키텍코리아 www.keytechkorea.co.kr 안전피팅 (Omnisafe fitting) 의한국공식판매및서비스센터임. 대표최상훈 010-5256-1185 keytechkorea@naver.com Exclusive Distributor in Korea, www.omnisafe.net 1
반복재조립횟수 최소 10 배이상 특허받은안전피팅 (Omnisafe) 정품부품으로조립시기존대비최소 10 배이상의반복재조립횟수를보임. 왜?? No Galling ( 금속대금속의회전적마찰에의해깍이는현상 ) 2
누설없는반복재조립회수 : 최소 10 배이상 ( 좌 ) 기존 VCR 타입피팅 : 조립시라인뒤틀림. ( 우 ) 안전피팅 : 조립시너트만회전할뿐라인이뒤틀리지않음. * 잦은테스트진행을수행하는미국의가장공인된연구소인 (Lawrence Livermore National Lab) 에서가장좋은품질의기존 VCR타입을안전피팅 (Omnisafe) 으로교체하여테스트진행하였는데기존 VCR대비최소 10배이상의누설없는반복재조립횟수를보임. 3
안전피팅? 특허받은혁신적피팅임. Why? 현재사용하는 VCR 타입피팅임. But, VCR 타입의영원한숙제인심각한문제들을해결한피팅임. 1. 과조임에의한누설문제 2. 반복조립시누설문제 3. 조립시라인뒤틀어지는문제 4. 라인뒤틀림으로다른쪽연결부위에누설발생시키는문제 5. 조립불안문제 6. 조립후너트풀림문제 ( 진동및충격에취약함.) 7. 조립후시간경과후누설발생문제 8. 조립후비드부분 E.P 깨지는문제 ( 부식성유체의추후누설발생 ) 9. 조립시파티클다량발생문제 (SS 가스켓 : 더많은파티클발생함.) 10. 가스켓없이조립시일시적누설통과가능한착오적밀폐문제 4
안전 VCR 타입피팅은? 완전밀폐와재조립능력. 안전피팅은? ( 특허받은 Omni-Safe fitting : 모든곳에안전한피팅이란의미로어떠한독가스도또어떠한장소에도안전하다는뜻임 ) 1. 과조임에의한누설문제해결 : 비드손상에의한누설이슈해결 2. 반복조립시누설이슈해결 3. 라인뒤틀어짐해결 4. 라인뒤틀어짐에따른반대쪽연결구의누설이슈해결 5. 조립불안문제해결 6. 조립후너트풀림이슈해결 ( 진동및충격에강함.) 7. 조립후시간경과후의누설이슈해결 8. 조립후에도비드부위 E.P 상태유지 ( 부식성유체밀폐유지 ) 9. 파티클발생이슈해결 (NI 는물론 SS 가스켓조립시의파티클도해결 ) 10. 가스켓없이조립시누설통과불가함.(Fail Safe Mode) *Fail Safe Mode: 잘못조립했음을명확히알리는것. 5
안전피팅의대표적실제적용사례 A. 1. Applied Materials: 차세대 300mm 장비개발위한 PMTC 센터 ( 차세대컷팅에지개발등 ) 에서누설과파티클을줄이기위해안전피팅적용함. 2. Texas Instruments : 크리스탈연결구가 VCR 타입조립시발생된뒤틀림에의해깨어지는곳발생에따라초기적용되었으며현재는실란, 포스핀라인등등의가스라인전반에안전피팅적용중임. 3. BOC : 가스실린더의 CGA 피팅조립후뒤틀어지고반복조립시잦은누설발생에따라안전피팅적용됨. 수백번의실린더교체에도누설없이사용중임. 6
안전피팅의대표적실제적용사례 B 4.NIF Fusion reactor : 1/8 VCR 타입피팅의비드 ( 가스켓물리는부위 ) 손상에따른누설발생및재조립시누설발생에따라안전피팅적용됨.(1/16 VCR 타입피팅도공급.) 5. Lawrence Livermore National Labs: 기존 VCR 타입의반복재조립시잦은누설발생으로 2~3 주에한번씩정기교체에따라실험적용함.( 적용후누설없이 5 년이상반복재조립사용됨. 기존 VCR 타입대비최소 10 이상의재조립능력을보여줌.) 6. On Semiconductor : 가스라인과장비사이의연결구에서기존 VCR 타입잦은누설발생에따라안전피팅적용됨. 7
안전피팅의대표적실제적용사례 C 7.IBM : 프로세스가스실린더와연결된피그테일 (Pigtail) 이전달회전력에의해풀리고누설발생이슈가생겨안전피팅적용함. 8. JPL: VCR 타입의누설발생에따른그랜드컷팅과잦은재용접실시에따른막대한비용및시간소비에따라안전피팅적용함. 9. SDL : 장비 PM 시주기적으로챔버위의가스라인을제거한후재조립하여야하는곳에라인뒤틀어짐과잦은누설발생에따라안전피팅적용함. 10. 대표적추가적용사례 : 파티클발생이많은 SS 가스켓을사용해야만하는곳 (Co, 암모니아가스등 ), 고가의 MFC 연결단, 고가의하스텔로이재질의 VCR 타입라인구성해야하는곳. 8
안전 VCR 타입피팅은? 안전피팅 (Omnisafe) 은한쌍의토크제거기가들어감. 토크제거기 : 악성토크인전달토크와잔류토크를제거함. 단면도 9
1. 안전 VCR 타입피팅? 조립후뒤틀림비교 실제조립후뒤틀어짐비교사진임.- 누설과너트풀림에의한누설발생시킴.( 아래실제조립시현동영상은 www.omnisafe.net.) ( 좌 ) 일반 VCR 타입피팅조립후뒤틀어짐발생 ( 우 ) 안전 VCR 타입피팅조립후에도뒤틀어짐없음. 10
2. 안전 VCR 타입피팅? 조립후뒤틀림비교 실제 5 개조립후뒤틀어짐비교로연결라인누설과추후너트풀림에의한누설발생시킴 : 평균 14.17 도의뒤틀어짐발생됨. ( 좌 ) 일반 VCR 타입피팅조립후평균 14.17 도뒤틀어짐발생 ( 우 ) 안전 VCR 타입피팅조립후에도뒤틀어짐없음. 11
3. 안전 VCR 타입피팅? 비드손상비교 정상적조립후그랜드의비드손상비교 조립시파티클발생, 비드부위의 E.P 깨짐 ( 부식취약 ), 재조립시누설발생시킴. ( 좌 ) 기존 VCR 타입피팅 (*200 배 S.E.M) ( 우 ) 안전 VCR 타입 (*200 배 S.E.M) 12
4. 안전 VCR 타입피팅은? 비드손상비교 정상적조립후그랜드의비드손상비교 1000 배 S.E.M 확대비교 비드손상은과조임시누설, 시간경과후누설, 재조립시누설발생시킴. ( 좌 ) 기존 VCR 타입피팅 : 누설과파티클발생시킴 ( 우 ) 안전 VCR 타입 : 누설및파티클발생제거. 13
5. 안전 VCR 타입피팅? 가스켓손상비교 정상적조립후가스켓손상비교사진임.- 누설및파티클발생시키고부식성유체의경우추후부식촉발시킴. ( 좌 ) 일반 VCR 타입의조립후가스켓 200 배확대사진 ( 금속대금속의회전적조립에따른찢겨진자국들이보여짐.) ( 우 ) 안전 VCR 타입가스켓 200 배확대사진. ( 수평적조립에따른찢겨진곳이안보임..) 14
6. 안전 VCR 타입피팅? 진동테스트후누설비교 기존 VCR 타입피팅 : 진동테스트시 3 개중 2 개에서누설발생. 안전 VCR 타입피팅 : 진동테스트 3 개중누설발생없음.( 너트풀림이슈해결 ) 15
7. 안전 VCR 타입피팅? 조립후파티클비교 실제 5 개조립후파티클발생비교 : 회전적조립과수평적조립 ( 좌 ) 일반 VCR 타입의조립후평균파티클이 79.8 개발생하였음.( 회전적조립 ) ( 우 ) 안전 VCR 타입의경우파티클발생이없음.( 수평적조립 ) 16
안전 VCR 타입피팅은? 1, 조립방법은? 현재조립방법대로조립하면됨.- 기존 VCR 타입은손으로조인후 1/8 회전이나너트풀림이슈가상존하여실제현장조립은 1/6 회전 ~1/4 회전으로조립하고있음. 안전 VCR 타입피팅은공식적으로현재현장에서조이는방식그대로인 1/6 회전에서 1/4 회전조립임. (1/4 회전조립이공식추전회전수임.) 2, 재조립횟수는? 기존 VCR 타입은재조립시잦은누설발생으로라인을새로꾸며야하나안전 VCR 타입피팅의재조립능력은실제현장적용테스트에서 50 배이상의재조립횟수를보이고있음. 보수적으로최소 10 배이상의재조립횟수를보여줌. 3, 토크제거기를맞추는것이어렵지아니한가??? 너트를맞추기위해살짝돌리다보면저절로맞추어짐. (Self-centering) 17
안전 VCR 타입피팅의적용 (Applications) 1, 절대누설불가한곳 ( 독가스, 진동, 고온, 고가의유체, 프리커서, 갈덴등..) 2. 자주분해조립요구되는곳 ( 케니스터, 실린더, 장비나설비의유지보수가잦은곳등등 : 최소 10 배이상의재조립능력지님.) 3. 라인의뒤틀림발생이없어야하는곳 ( 진동등에도너트가풀리면안되는곳및라인자체가부스러지기쉬운재질인곳 ) 4. 파티클발생이슈가되는곳또는 SS 가스켓사용해야만하는곳 (SS 가스켓의조립시파티클발생이더많음 ) 5. 라인사이즈가작아쉽게가스켓물리는부위에누설발생되는곳.(1/8 나 1/16 의경우누설발생가능성더높음.) 6. 고가의제품연결부위 ( MFC, ALD 밸브등등 ) 7. 고가의하스텔로이피팅이요구되는곳 ( 고가의피팅의잦은교체를회피코자하는곳 ) 8. 안전이최우선인우주항공분야.( 탐사로봇, 제논추진체 ) 18
요약비교 : 기존 VCR 타입과안전 VCR 타입 기존 VCR 타입 과조임에의한누설이슈 재조립누설이슈 조립시라인뒤틀림이슈 라인뒤틀림으로연결부위누설발생이슈 조립불안이슈 너트풀림이슈 락킹디바이스필요 시간경과후누설이슈 초기조립후비드 E.P 깨짐이슈 파티클발생이슈 가스켓없이조립시착오적누설통과가능성상존 가스켓없이조일시비드손상으로다시재용접해야함. 안전 VCR 타입 (Omnisafe) 과조임누설이슈해결 재조립누설이슈해결 조립시라인뒤틀림없음. 라인뒤틀림이없어연결라인의누설발생이슈해결. 조립불안이슈해결 너트풀림이슈해결 락킹디바이스필요없음 시간경과후누설이슈해결 초기조립후에도비드 E.P 유지 파티클발생이슈해결 가스켓없이조립시누설통과불가함.(Fail Safe mode) 가스켓없이조일시비드손상 19 문제해결.
기존 VCR 타입을안전타입으로변경방법은? 기존 VCR 타입으로이미가스라인구성되었을땐??? 기존 VCR 타입이숫놈 (Male VCR 타입 ) 인경우사용하면됨. 기존 VCR 타입이암놈 (Female VCR 타입 ) 인경우사용하면됨. 20
기존 VCR 타입을안전타입으로변경방법은? 기존 VCR 타입이 MFC 나밸브의몸체에붙은일체형숫놈 (Male VCR 타입 ) 인경우사용하면됨 수백만원의 MFC 또는 ALD 밸브의교체가단지연결부위누설이원인이된경우가 60% 에이르고있음. 21
키텍코리아는안전피팅 (Omnisafe fitting) 의한국내판매및서비스센터입니다.(Official Exclusive Distributor) T.070-8871-1185 www.keytechkorea.co.kr keytechkorea@naver.com 22