INFICON SKY CDG100D 압력계는정확한총압력측정및제어를위한최상의선택입니다. CDG100D 게이지는까다로운반도체및플라즈마공정에서뛰어난성능을발휘하기위해 100 C 에서온도를제어합니다. 이게이지는모든일반플랜지유형과필드버스인터페이스를사용하는 100mTorr~1000Torr 의전체규모범위에사용할수있으며, 가스종류에상관없이선형 0~10V 압력신호를제공합니다. INFICON 용량형압력계는부식방지되는초고순도의알루미나세라믹격막을사용합니다. 세라믹센서의장점은신호안정성향상, 대기에서더빨라진복구, 짧은예열시간및이례적인수명입니다. INFICON CDG 는까다로운반도체, 플라즈마및진공적용개소에적합한고품질의경제적인압력센서입니다. 장점 CoO( 소유비용 ) 절감, 예열속도 50% 증가, 에너지효율적인저전력소비 간편한통합, 다양한규모, 플랜지및인터페이스, 2개의설정점을포함한표준 손쉬운하나의누름버튼또는원격신호제로명령, 제로오프셋조정가능 신속한서비스및유지보수를위한진단포트 2년보증, 고급가열개념을이용한수명연장및게이지보호 열악한플라즈마응용분야에서도탁월한신호안정성과반복성으로인해장기간재교정없음 규정준수및표준 : CE, EN, UL, SEMI, RoHS 1
주문정보 2
정확성 (1) % of reading 0.2 0.2 0.4 온도영향 제로 percent FS/ C 0.0025 0.0025 0.005 온도영향 구간 % of reading / C 0.02 스팬 % of reading / C 0.02 0.02 최대압력 kpa (absolute) 400 260 130 해상도 percent FS 0.003 0.003 0.003 최저측정값 percent FS 0.01 0.01 0.01 권장최저측정값 percent FS 0.05 0.05 최저권장제어압력 percent FS 0.5 0.5 0.5 온도 작동 ( 주변 ) (5) C +10 +50 +10 +50 +10 +50 플랜지에서베이크아웃 C 110 110 110 보관 C 20 +65 20 +65 20 +65 공급전압 전력소모량 ±15 V (±5%) ±15 V (±5%) ±15 V (±5%) 히팅하는동안 W 15 15 15 작동온도 W 10 10 10 출력신호 ( 아날로그 ) V (dc) 0 +10 0 +10 0 +10 응답시간 (2) ms 30 30 130 / 30 (³) 보호수준 IP 40 IP 40 IP 40 표준 CE 준수 EN 61000 6 2/-6-3, EN 61010 & RoHS ETL 인증 UL 61010 1, CSA 22.2 No.61010 1 EN 61000 6 2/-6-3, EN 61010 & RoHS UL 61010 1, CSA 22.2 No.61010 1 EN 61000 6 2/-6-3, EN 61010 & RoHS UL 61010 1, CSA 22.2 No.61010 1 SEMI 준수 (5) SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2 전기연결 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male 개수 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 릴레이접점 V (dc) 30 30 30 3
릴레이접점 A (dc) 0.5 0.5 0.5 히스테리시스 percent FS 1 1 1 진단포트 프로토콜 RS232-C RS232-C RS232-C 읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID 설정 진공에노출된재료 내부용적 Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L (⁴)) Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L (⁴)) Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L (⁴)) 내부볼륨 1/2" 튜브 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 내부볼륨 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 내부볼륨 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 내부볼륨 8 VCR cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 무게 무게 1/2" 튜브 g 837 837 837 무게 DN 16 ISO KF g 852 852 852 무게 DN 16 CF-R g 875 875 875 무게 8 VCR g 897 897 897 프로토콜 protocol specialized for protocol specialized for protocol specialized for 통신표준 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge 노드주소 Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification 4
물리적레이어 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 디지털기능읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID 디지털기능설정 사서함 (CoE) 프로세스데이터 커넥터 케이블 adjust, reset, SDO requests, responses and information Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT shielded Ethernet CAT5e or higher adjust, reset, SDO requests, responses and information Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT shielded Ethernet CAT5e or higher adjust, reset, SDO requests, responses and information Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT shielded Ethernet CAT5e or higher 케이블길이 m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330) 디바이스넷 프로토콜 DeviceNet, group 2 slave only MAC ID address 00-63 by DeviceNet, group 2 slave only address 00-63 by DeviceNet, group 2 slave only address 00-63 by 디지털기능읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID 디지털기능설정 사양 DeviceNet "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) 장치유형 ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge I/O 슬레이브메시징 polling only polling only polling only 게이지 D-sub 커넥터에서공급전압 마이크로스타일커넥터에서디바이스넷트랜시버공급전압 ±15 V / 12 W 24 V nom / <2 W (11 25 V) ±15 V / 12 W 24 V nom / <2 W (11 25 V) ±15 V / 12 W 24 V nom / <2 W (11 25 V) 디바이스넷커넥터 microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male 5
CDG 커넥터 ( 아날로그출력, 공급전압 CDG, ) 디바이스넷 데이터속도 kbaud 125, 250, 500 by 디바이스넷 D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male 125, 250, 500 by 125, 250, 500 by 케이블길이 125kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650) 케이블길이 250kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825) 케이블길이 500kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330) Profibus DP 전송속도 kbaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 Profibus DP 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 전송속도 Mbaud 1.5 / 12 1.5 / 12 1.5 / 12 Profibus DP 주소 address 00-125 by address 00-125 by address 00-125 by 디지털기능읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID 디지털기능설정 Profibus DP 커넥터 D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female CDG 커넥터 ( 아날로그출력, 공급전압, ) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male 최저권장값 percent FS 0.05 (1) 2 시간작동후온도영향없이 25 C 주변작동온도에서비선형성, 이력현상, 반복성. (2) 10 90% FS 증가 (3) 압력제어유형전용. (4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe (5) 주변온도가 40 C 를초과하면표면온도가 SEMI S2 적합수준보다높아질수있습니다. 6
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