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제품소개 Com SECS 드라이버, Gem GEM 드라이버를 이용해서 SECS/GEM을 보다 쉽고 간편하게 구현하십시오. 1. Com / ComPro 개요 1) Com / ComPro 정의 반도체 및 평판 디스플레이 생산 장비의 통신 표준인 SECS 규격에 적합한 Com SECS 드라이버와 장비 운영 표준인 GEM 규격에 적합한 Gem GEM 드라이버를 자체 개발하여 생산설비업체가 효율적으로 자동화 시스템을 개발할 수 있도록 지원하고 있습니다. Com / ComPro SECS 드라이버는 반도체 및 평판 디스플레이 장비 간 표준 통신 프로토콜인 SECS (SEMI Equipment Communications Standard)를 보다 쉽고 간편하게 사용할 수 있도록 지원하는 통신용 드라이버 입니다. 특히 동일한 컨트롤을 이용하여 RS-232C 통신을 이용한 SECS-I과 TCP/IP를 이용한 HSMS 방식을 모두 지원하므로 필요에 따라 동일한 컨트롤과 사용법으로 작업환경 변화에 효과적으로 대응할 수 있습니다. Com / ComPro SECS 통신 드라이버 SEMI E4, E5, E37 지원 반도체 및 평판 디스플레이 장비를 위한 표준 통신 프로토콜 지원 64비트 지원 (ComPro에 한함) 2) Com / ComPro 지원 표준 SEMI E5 (SECS-II) SEMI E4 (SECS-I) / E37 (HSMS) Gem / Gem300 GEM 통신 드라이버 SEMI E4, E5, E37, E30, E40, E87, E90, E94 지원 Com 기능, GEM 기능, 300mm 시나리오 지원 GemLite for PLC 3) Com / ComPro 사용 예 PLC 장비용 GEM 통신 서비스 별도 개발 없이 설정만으로 GEM 구축 지원 Host TCP/IP(HSMS) / RS-232C(SECS-I) 설비 1 설비 2 설비 n Com SE Com SE Com SE LINKGENESIS 1 2
Will make it easy to apply use the SECS protocol 2. Com / ComPro 특징과주요기능 4. Com / ComPro 를이용한개발절차 1) Com / ComPro 특징 Active 기반의 C 지원 (ComPro는 DLL 추가지원 ) SECS-I 및 HSMS-SS 동시지원 (Configuration 툴에서설정변경 ) STEP 1 SECS 통신파라미터설정 SECS 메시지작성 STEP 2 Com C 를이용한개발 STEP 3 시뮬레이터를이용한통신테스트 다양한개발툴지원 (Visual C++, Visual Basic, C#, Delphi, C++ Builder) SECS 통신오류자동검사후 Stream 9 계열메시지자동송신 1 개의라이선스로최대 8 개의 SECS 통신가능 2) Com, ComPro 비교표 5. 지원시스템사양 구분 Com ComPro 64비트 API 지원 Active 기반 C 기원 DLL 라이브러리지원메시지단위별처리 CPU : 펜티엄듀얼코어이상 Memory : 2GB 이상 S : Windows P SP3 / Windows Server 2003 SP3 / Windows Server 2008 / Windows Vista SP3 / Windows 7 / Windows 8 / Windows 10 Protection Key 용 Port : Parallel Port 또는 USB Port 로그형식 SECS-II 텍스트로그 최적화된바이너리로그 전용로그뷰어제공 소켓옵션설정비동기전송모드 6. Com / ComPro 도입필요성과응용범위 1) 도입필요성 3. Com / ComPro 개발지원툴 Simulator Tool - 메시지시나리오기능 - 응답메시지자동 Reply - 메시지아이템별값설정 - 메시지별통신테스트 LogViewer (ComPro에한함 ) - ComPro 바이너리로그파일분석 - 생성중인로그파일의실시간보기 - 오류에대한상세정보및대처방법제공 - 복수로그파일에서의빠른검색기능 Configuration Tool - SECS-I & HSMS 통신방법설정 - 통신파라미터설정 - 다양한운용로그자동관리 - SECS-II, Event, Alarm, Binary 로그형식선택 - 로그파일자동삭제 - 간편한 SECS 메시지작성기능 반도체설비간 SECS 통신의무화 개발생산성향상 관리비용절감 변경에대한유연한대응 안정성확보 (2001년이래약 2만5천카피판매 ) 2) 응용범위 반도체설비 평판디스플레이설비 LED 설비 태양광설비 배터리제조설비 SMT 설비 LINKGENESIS 3 4
Will make it easy to apply GEM Communications to your equipment 1. Gem / Gem300 개요 2. 제품라인업비교 1) Gem 정의 Gem GEM 드라이버는반도체장비의 GEM 통신 / 제어를보다쉽고간편하게대응할수있는 GEM 통신용드라이버로 SEMI E30 GEM 사양을지원합니다. 복잡한 GEM 시나리오와관련된데이터를 Configuration 툴상에서간단히정의하여 GEM 통신 / 제어를자동으로수행하기때문에개발비용을절감하고생산성을향상시킵니다. 구분 Gem GemPro Gem300 GEM 시나리오지원 (SEMI E30) 300mm 시나리오지원 (SEMI E40, E87, E90, E94) Gem300Pro 2) Gem300 정의 64 비트 API 지원 Gem300 은 Gem 을기본으로포함하고있으며, 300mm 라인에서사용하는시나리오를추가지원하는제품입니다. SEMI E30, E40, E87, E90, E94 사양을지원합니다. Gem300 은 Carrier, Substrate, Control Job, Process Job 등의 bject 를생성, 관리하여사용자가쉽게 300mm 시나리오를대응할수있게도와줍니다. 3. 지원시스템사양 3) Gem / Gem300 지원표준 CMS (E87) PM (E40) GEM (E30) CJM (E94) SECS-II (E5) STS (E90) CPU : 펜티엄듀얼코어이상 Memory : 3GB 이상 S : Windows P SP2 / Windows Server 2003 SP2 / Windows Server 2008 / Windows Vista SP1 / Windows 7 / Windows 8 / Windows 10 (Configuration 툴은 Microsoft.NET Framework 4.0 이상동작 ) Protection Key 용 Port : Parallel Port 또는 USB Port SECS-I (E4) HSMS (E37) 4) Gem 특징 SEMI E30(GEM) 지원 검증된 SECS 통신 (Com SECS 드라이버사용 ) Active 기반의 C 형태 다양한개발툴지원 (Visual C++, Visual Basic, C#, Delphi, C++ Builder) GEM SECS 메시지자동구성및처리 GEM 시나리오에서사용하는기본데이터자동생성 사용자메시지등록후사용가능 사용자시나리오구성가능 5) Gem300 특징 Gem 기반 ( 기본특징동일 ) E40(PM), E87(CMS), E90(STS), E94(CJM) 지원 GEM, 300mm SECS 메시지자동구성및처리 GEM, 300mm 시나리오에서사용하는기본데이터자동생성 4. Gem / Gem300 도입필요성과응용범위 1) 도입필요성 반도체설비 GEM 사용의무화 개발생산성향상 업체의경쟁력증가 관리비용절감 안정성확보 (2008년이래국내외 100여개업체, 약 2천카피판매 ) 2) 응용범위 반도체설비 LED 설비 태양광설비 LINKGENESIS 5 6
Will make it easy to apply GEM Communications to your equipment 5. GemPLC 개요 6. Gem300 for EDA 1) GemPLC 정의 GemPLC 는 PLC 용 GEM 지원툴로써, Configuration Tool 을통한데이터설정만으로 PLC 기반장비의 GEM 통신서비스를손쉽게구축할수있도록도와줍니다. GEM 통신을위한별도어플리케이션개발이필요없으므로개발기간단축및개발비용절감이가능하며, 소규모장비에적합합니다. 1) Gem300 for EDA 정의 Gem300 for EDA는 Gem300 을포함하고있으며, EDA 제품인 CIMPortal Plus와자동연동기능을지원합니다. GEM300 기능을구현함으로써추가개발없이 EDA 기능을동시에지원할수있습니다. 2) GemPLC 특징 설정을통한 GEM 기능지원 개발기간단축 다양한 PLC 지원 2) Gem300 for EDA 특징 별도개발없이 Gem300 기반으로자동 EDA 서비스지원 Gem300 및 CIMPortal Plus 기반 300mm SECS 메시지자동구성및처리 300mm 시나리오에서사용하는기본데이터자동생성 3) GemPLC 구성도 3) Gem300 for EDA 구성도 일반적인 GEM 구축구성도 GemPLC 를활용한 GEM 구축구성도 LINKGENESIS 7 8
Will make it easy to apply real-time monitoring to your production process RTM 솔루션을 이용하여 공장 내 실시간 장비 가동 현황 시스템을 보다 쉽게 구축하십시오. RTM 솔루션은 공장 내 장비 가동 현황을 실시간으로 파악하여 문제 발생 시 즉각 대응을 통해 장비 가동율을 극대화할 수 있도록 도와주는 Real-Time Monitoring Solution 입니다. 공정 안정화 수율 향상 장비 가동률 향상 2. RTM 주요기능 설비 정보 관리 실시간 현황 모니터링 설비 이력 관리 설비별 알람 발생 현황 실시간 모니터링 설비 상세 정보 관리 라인별 설비 현황 실시간 모니터링 알람 정보 관리 설비별 실시간 상세 정보 조회 3. RTM 시스템 구성도 제품 불량률 감소 RTM 시스템 모니터링 (WEB Browser) 설비 1 모니터링 포탈 서비스 EI 서비스 HTTP SAP 설비 2 설비 정보 관리 실시간 현황 모니터링 (데이터 수집 서비스) 이상발생 즉시 대응 지원 모니터링 DBMS 1. RTM 개요 PC HSMS 모바일 기기 설비 n RTM 솔루션을 통해 제조 과정 관리 및 실시간 설비 모니터링을 할 수 있으며, 타블렛, 스마트폰 등 스마트 디바이스를 통해 실시간으로 수집한 현장 정보를 바탕으로 제조 라인에서 발생하는 이슈에 대해 신속히 대응할 수 있도록 도와주는 솔루션입니다. 4. RTM 주요 도입사 설비 정보 관리 효율적인 설비 관리 실시간 현황 모니터링 설비 이상발생 처리 프로세스 확립 이상발생 즉시 대응 LINKGENESIS 9 10