Metrology System 1213 최상의인라인측정솔루션 콤팩트한사이즈및경량, 신축성있는장착옵션 고성능계측을위한다양한어플리케이션대응 견고한외관과신뢰할수있는고성능측정 업계내산업용최고의고속스캐닝시스템 3 가지술을하나로결합 특허된마이크로디스플레이방식을통한센서헤드 - 시스템 제품설명및특징 인라인측정솔루션 Sensofar 의인라인계측센서시스템은계측시스템개발에서 14 년이상의노하우로개발되었습니다. 시스템은처음부터복잡한제조환경에통합될수있도록설계되었으며소형, 경량및유연한장착옵션을갖춘 S mart 및 S onix 센서는다양한산업계측응용분야에서고성능계측을구현할수있습니다. 견고한신뢰성 생산환경에인라인센서는모두적용될수없습니다. 다양한조건, 진동및까다로운재료등이측정환경을어렵게만들수있기때문입니다. 그러나 센서는어려운측정조건속에서의계측상황을염두해두고설계되었습니다. 밀봉된센서헤드는광학어셈블리에움직임이없는동안파편과입자를제거하며센서는항상깨끗하게유지되고정렬됩니다. 다양한기능 산업별적용분야 l 적층가공 l 항공우주산업 l 자동차 l 가전제품 l 레이저마킹 l LCD l 초소형전자기기 l 극세가공 l 종이인쇄 l 공작기계 l 반도체 두타입의인라인시스템 (S mart & S onix) 은소형크기이고견고하며쉽게통합되도록설계되었습니다. S mart 인라인패키지는궁극적인측정유연성에대한요구를충족시키며계측시장에서다목적산업용시스템으로자리잡았습니다. 또한 S onix 는정확한속도와이에따른생산현장에서의높은처리량의인라인계측에대한필요성을제시하며오늘날가장빠른산업용시스템으로자리잡았습니다. 센서변위 계측센서머신비전마킹시스템광학 기 TMS-100 TMS-350 TMS-500 TMS-500-R TMS-1200 S neox S lynx S mart 최고의측정다양성 S mart 는다양한유형및지형에대응할수있으며측정에필요한다목적기능을제공합니다. Sensofar 의 3-in-1 기술 ( 특허받은마이크로디스플레이접근성을통해단일센서헤드에결합된 3 가지술 ) 을통해시스템을손쉽게가장적절한기술로전환할수있습니다. 다목적기능은어느한면에서최대의측정유연성을제공할뿐만아니라수시로변화하는어플리케이션요구사항에대한탁월한대응력을제공해드립니다. www.ekais.kr 1213
1214 제품설명및특징 고속측정 작고가볍우며방향에구애받지않는측정 작은크기와저중량으로인해통합설계가용이합니다. 어떠한방향이라도 S mart 와 S onix 는애플리케이션의지시에따라배치될수있으며케이블길이는최대 14m 까지가능합니다. 그리고이는인라인시스템과로봇장착어플리케이션에도완벽하게적용될수있습니다. S onix 새로운고속측정방식 S onix 는높은처리량의산업계량시스템에있어필요한빠른속도를갖고있습니다. 초고속카메라와최적화된광학기계설계로 S onix 는현존하는다른간섭계제품보다최대 7 배빠른측정력을과시합니다. 수직해상도와더불어향상된진동저항력과내구성이추가되어더욱강력한모습을띄게되었습니다. 센서 변위 계측센서머신비전마킹시스템광학 기 뛰어난공학기술 거친샘플부드러운샘플마이크로스케일기능 (XY/Z) 영역의높은경사 / 두께 광학 기 2D 프로파일 스캐너분광방사계 / 색채휘도계현미경 초점변화 Focus variation( 초점변화 ) 은거친의형상을측정하기위해개발된광학기술입니다. 공초점및간섭계 결합측정분야의 Sensofar의광범위한전문기술을기반으로하며, 특히저배율에서공초점측정을보완하도록설계되었습니다. 이기술의특이점은높은경사면 ( 최대 86 ), 최고측정속도 ( mm /s) 및넓은수직범위를포함한다는것입니다. 이러한능의결합은주로 tooling ( 공구세공, 금형비교등 ) 어플리케이션에대응합니다. 공초점 Confocal profilers( 공초점현미경 ) 는부드러운부터거친까지측정가능하도록개발되었습니다. 공초점프로파일링은광학프로파일러로제공가능한가장높은후면분해능을제공합니다. 따라서공간샘플링을 0.01 μm로줄일수있어임계치수측정에이상적입니다. 높은 NA(0.95) 및배율 (150X) 을사용하여 70 이상의가파른경사면을가진매끄러운을측정할수있습니다. ( 거친의경우최대 86 ) 공초점알고리즘은나노미터급의 Sensofar 고유의수직반복성을제공합니다. 간섭계 백색광수직간섭계 (VSI) 는지형또는투명필름구조와같은특성을측정하기위해많이사용되는가장강력한기술입니다. 부드러운부터거친을측정하는데가장적합하며대상의 NA 또는배율에관계없이나노미터수직해상도를제공합니다. 움직임이없는공초점 Sensofar의시스템에서구현된공초점스캐닝기술은특허받은마이크로디스플레이스캐닝기술을사용합니다. 마이크로디스플레이는 FLCoS 기술을기반으로하며, 움직임이없는고속스위칭장치를만들며, 데이터수집을빠르고안정적이며정확하게수행합니다. 이와관련된알고리즘으로, Sensofar의공초점기술은타社공초점접근방식보다비교위의우수한수직해상도를제공하며공초점레이저스캐닝시스템보다훨씬뛰어납니다. 수직분해능 Sensofar 공초점레이저 / 디스크스캐닝현미경 5x 10x 20x 50x 100x 150x 배율 1214
1215 제품설명및특징 SensoSCAN SensoSCAN 소프트웨어는명확하고직관적인사용자인터페이스로시스템을작동할수있습니다. 소프트웨어사용자는 환경을통해특별한경험을할수있으며 SensoSCAN 소프트웨어는측정을손쉽게수행할수있는인터페이스뿐만아니라데이터표시및분석을위한포괄적인도구세트를제공합니다. 보다완벽한분석도구가필요한응용프로그램의경우고급분석소프트웨어패키지 (SensoMAP 및 SensoPRO) 를선택적으로사용할수있습니다. ISO 파라미터 모든 Sensofar 소프트웨어패키지는 ISO 25178 을준수합니다. 높이, 공간, 하이브리드, 기능및용적매개변수의완벽한 ISO 텍스처파라미터를사용할수있습니다. 센서 변위 계측센서 머신비전 마킹시스템 SDK 광학 기 SensoSCAN 소프트웨어개발키트 (SDK) 는 SensoSCAN 을통신하고관리할수있는독점적인응용프로그램을만드는데필요한도구와프로토콜을제공합니다. 개발자는제한없이응용프로그램개발을위한플랫폼과언어를선택할수있습니다. SensoSCAN SDK 명령및이벤트는샘플을원격으로검사하고획득하는방법을기반으로측정을수행하는수단을제공합니다. SensoSCAN SDK 를사용하여독점응용프로그램을개발하면여러시스템에서사용할수있습니다. 센서시스템 센서센서유저측 PC PC TMS-100 TMS-350 TMS-500 TMS-500-R TMS-1200 S neox S lynx SensoPRO 추가하드웨어 생산라인에서빠른속도로품질관리를하기란매우까다롭습니다. 하지만 SensoPRO 를사용함으로써생산라인의운영자는샘플을로딩하고안내지침을따르기만하면됩니다. 현재기능에는 LED 모듈 ( 코닉, 메사및통합된 LED), 범프, 홀, 이중홀, 텍스처, 단차, 이중단차, 트레이스, 트렌치, 실버트렌치및프리즘이있으며새로운모듈은다른산업요구사항에맞게쉽게맞춤화될수있습니다. www.ekais.kr 1215
1216 사양 (S mart) 렌즈 구분 광학면 간섭계 확대배율 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X 150X 5X 10X 20X 50X 100X NA 0.075 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.95 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70 WD ( mm ) 6.5 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 0.2 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0 FOV 1 ( μm ) 7016 5280 3508 2640 1754 1320 877 660 351 264 175 132 117 88 3508 2640 1754 1320 877 660 351 264 175 132 공간샘플링 2 ( μm ) 5.16 2.58 1.29 0.65 0.26 0.13 0.09 2.58 1.29 0.65 0.26 0.13 광학해상도 3 ( μm ) 2.23 1.11 0.55 0.37 0.20 0.18 0.17 1.29 0.55 0.41 0.30 0.23 측정시간 4 (s) >3s 센서변위 계측센서머신비전마킹시스템광학 기광학 기 2D 프로파일 공초점 수직해상도 5 ( nm ) 300 75 25 8 3 2 1 1 최대기울기 6 ( ) 3 8 14 21 42 51 71 3 8 14 21 42 최소측정조도 초점변화 Sa > 10 nm 최대기울기 6 ( ) 최대 86 1 최대시야 2/3 카메라에 0.5X 뷰어 / 2 픽셀크기 3 L & S : Line과 Space의줄임말, 레일리기준에따른회절한계의절반. 청색 LED 값. 공간샘플링은간섭계물체에대해광학해상도를제한할수있습니다. 4 광학면렌즈의경우, 21개의스캐닝면 ( 공초점 ). / 5 시스템소음은광축에수직으로배치된교정미러의두개의연속측정간의차이로측정됩니다. 6 매끄러운의경우, 거친에서최대 86 다른방법으로사용할수있습니다. 시스템사양 VSI 스캐너 측정배열 1360 x 1024 픽셀 분광방사계 / 색채휘도계 LED 광원백색 ( 디폴트, 기본수명 40000 시간 - 옵션사용가능 ) 현미경 Z 이동범위 40 mm (1.6 ) Z 스테이지직선성 <0.5 μm / mm Z 스테이지분해능 2 nm 최대수직측정범위스텝높이반복성 초점변화 25mm ; 공초점 36mm ; VSI 7mm <3nm 소프트웨어 샘플반사율 0.05% ~ 100% 디스플레이해상도 0.01nm 컴퓨터 최신인텔프로세서 ; 2560 x 1440 픽셀해상도 (27 ) 운영체제 Microsoft Windows 8 / 64비트 시스템 라인전압 100-240V AC; 주파수 50 / 60Hz 단상 사용자관리권한 기술인증 측정타입 고급소프트웨어분석 관리자, 기술운영자, 운영자 공초점, VSI 및초점변화 이미지,, 두께, 프로파일및좌표 SensoMAP 및 SensoPRO ( 선택사항 ) 환경 온도 : 10 ~ 35 ; 습도 <80% RH; 고도 <2000m 원격제어 SDK ( 소프트웨어개발키트 ) ( 선택사항 ) 1216
1217 사양 (S onix) 렌즈 구분 간섭계 확대배율 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X NA 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70 WD ( mm ) 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0 FOV 1 ( μm ) 5040 3780 2520 1890 1260 945 630 472 252 189 126 94 공간샘플링 2 ( μm ) 7.88 3.94 1.97 0.98 0.39 0.19 광학해상도 3 ( μm ) 2.23 1.29 0.55 0.41 0.30 0.23 측정시간 4 (s) 25 수직해상도 5 ( nm ) 1 최대기울기 6 ( ) 3 8 14 21 25 42 1 최대시야 1/3 카메라에 0.375X 뷰어 / 2 픽셀크기 3 L & S : Line과 Space의줄임말, 레일리기준에따른회절한계의절반. 청색 LED 값. 공간샘플링은간섭계물체에대해광학해상도를제한할수있습니다. 4 측정속도 1X. / 5 시스템노이즈는광축에수직으로배치된교정미러의두개연속측정간의차이로측정됩니다. 6 매끄러운 VSI 센서변위 계측센서머신비전마킹시스템광학 기 시스템사양 측정배열 680 x 480 픽셀 LED 광원 백색 ( 기본수명 40000 시간 ) Z 이동범위 40mm (1.6 ) Z 스테이지직선성 <0.5μm / mm Z 스테이지분해능 2nm TMS-100 TMS-350 TMS-500 TMS-500-R 최대수직측정범위스텝높이반복성 7mm <3nm 소프트웨어 TMS-1200 S neox 샘플반사율 0.05% ~ 100% 디스플레이해상도 0.01nm 컴퓨터 최신인텔프로세서 ; 1920 x 1080 픽셀해상도 (23 ) 운영체제 Microsoft Windows 8 / 64비트 시스템 라인전압 100-240V AC; 주파수 50 / 60Hz 단상 사용자관리권한 기술인증 측정타입 고급소프트웨어분석 관리자, 기술운영자, 운영자 VSI 이미지,, 두께 SensoMAP 및 SensoPRO ( 선택사항 ) S lynx 환경 온도 : 10 ~ 35 ; 습도 <80% RH; 고도 <2000m 원격제어 SDK ( 소프트웨어개발키트 ) ( 선택사항 ) www.ekais.kr 1217
1218 치수 S mart S onix 147 mm (5.8 ) 232 mm (9.1 ) 150 mm (5.9 ) 82 mm (5.8 ) 센서변위 계측센서머신비전마킹시스템광학 기 120 mm (4.7 ) 296 mm (11.7 ) 무게 5.5kg (12.1 lbs) 무게 3.6kg (7.9 lbs) 125mm (4.9 ) 220mm (8.7 ) 210mm (8.3 ) 212mm (8.3 ) 220mm (8.7 ) 281 mm (11.1 ) 133 mm (5.2 ) 무게 2.4 kg (5.3 lbs) 무게 2.4 kg (5.3 lbs) 광학 기 2D 프로파일 스캐너분광방사계 / 색채휘도계현미경 1218