<313620B1E8BFB5C3E12D4E4D4F C0C720486F742D BFADC8ADC7F6BBF32E687770>

Size: px

Start display at page:

Download "<313620B1E8BFB5C3E12D4E4D4F53464554C0C720486F742D4361727269657220BFADC8ADC7F6BBF32E687770>"

영대 담
7 years ago
Views:

1 한국산학기술학회논문지 Vol. 10, No. 12, pp , 2009 NMOSFET의 Hot-Carrier 열화현상 백종무 1, 김영춘 2*, 조문택 3 1 대원대학 전자정보통신과, 2 공주대학교 기계자동차공학부, 3 대원대학 전기전자계열 Hot-Carrier Degradation of NMOSFET Jong-Mu Baek 1, Young-Choon Kim 2* and Moon-Taek Cho 3 1 Dept. of Electronic Teleconmunication Engineering, Daewon University College 2 Division of Mechanical & Automotive Engineering, Kong Ju Unversity 3 Division of Electrical & Electronic Engineering, Daewon University College 요 약 본 논문에서는 아날로그 회로에 사용되는 NMOSFET에 대한 Hot-Carrier 열화특성을 조사하였다. 여러 값을 갖는 게이트 전압으로 스트레스를 인가한 후, 소자의 파라미터 열화를 포화 영역에서 측정하였다. 스트레스 게이트 전압의 범위에 따라 계면 상태(interface state) 뿐 아니라 전자와 정공의 포획이 드레인 근처 게이트 산화막에서 확인 되었다. 그리고 특히 낮은 게이트 전압의 포화영역에서는 정공의 포획이 많이 발생하였다. 이러한 전하들의 포획은 전달 컨덕턴스 (g m) 및 출력 컨덕턴스 (g ds)의 열화의 원인이 된다. 아날로그 동작 범위의 소자에서 파라미터 열화는 소자의 채널 길이에 매우 민감하게 반응한다. 채널길이가 짧을수록 정공 포획이 채널 전도도에 미치는 영향이 증가하 게 되어 열화가 증가되었다. 이와 같이 아날로그 동작 조건 및 아날로그 소자의 구조에 따라 g m 및 g ds의 변화가 발 생하므로 원하는 전압 이득(A V=g m/g ds)을 얻기 위해서는 회로 설계시 이러한 요소들에 대한 고려가 필요하다. Abstract This study has provided some of the first experimental results of NMOSFET hot-carrier degradation for the analog circuit application. After hot-carrier stress under the whole range of gate voltage, the degradation of NMOSFET characteristics is measured in saturation region. In addition to interface states, the evidences of hole and electron traps are found near drain depending on the biased gate voltage, which is believed to the cause for the variation of the transconductance(g m) and the output conductance(g ds). And it is found that hole trap is a dominant mechanism of device degradation in a low-gate voltage saturation region, The parameter degradation is sensitive to the channel length of devices. As the channel length is shortened, the influence of hole trap on the channel conductance is increased. Because the magnitude of g m and g ds are increased or decreased depending on analog operation conditions and analog device structures, careful transistor design including the level of the biased gate voltage and the channel length is therefore required for optimal voltage gain (A V=g m/g ds) in analog circuit. Key Words : Analog, Hot-carrier, Degradation 1. 서론 아날로그 회로에 사용되는 MOS(Metal oxide semiconductor)트랜지스터의 동작점은 디지털용 트랜지 스터와 비교해 전류-전압 특성 곡선상에서 다른 곳에 존 재하기 때문에 회로 설계 시 고려해야 할 두 종류의 트랜 지스터의 주요 파라미터는 일치하지 않는다. 아날로그용 MOS 트랜지스터의 경우, 주로 낮은 게이트 전압의 포화 영역에서 동작하게 되며, 주요 파라미터로는 전달 컨덕턴 스 및 드레인 출력 컨덕턴스, 정합 특성 등이 있다[1,2]. 우수한 정합특성을 유지하기 위해 일반적으로 채널 길이 가 디지털 트랜지스터에 비해 매우 길게 설계되며, 이러 한 채널 길이는 트랜지스터의 소신호(small signal) 특성 들을 개선시키게 된다[3,4]. * 교신저자 : 김영춘(yckim59@kongju.ac.kr) 접수일 09년 11월 02일 수정일 (1차 09년 12월 01일, 2차 09년 12월 15일) 게재확정일 09년 12월 16일 3626

2 NMOSFET의 Hot-Carrier 열화현상 아날로그용 트랜지스터의 Hot-Carrier에 의한 특성 열 화는 집적화된 NMOSFET의 Hot-Carrier 효과에 의해 기 판전류와 문턱전압의 증가, 트랜스컨덕턴스 및 소자의 수 명이 감소되는 심각한 문제점을 안고 있으며, 이러한 긴 채널로 인하여 집적도가 뛰어난 디지털용 트랜지스터에 비해 그 영향이 무시되어 왔다. 그러나 반도체 제조 공정 의 빠른 발전으로 인하여 빠른 속도를 갖는 submicron 아 날로그 소자의 개발이 필요하게 되었고[7], 이에 따라 소 자 파라미터의 조그마한 변화가 아날로그 회로에 매우 큰 영향을 미치게 되었다[8,9]. 또한 아날로그 회로에서의 공급 전원의 크기는 디지털 회로에 비해 여전히 높은 편 이다. 이러한 이유로 CMOS 아날로그 트랜지스터의 Hot-Carrier 열화에 대한 연구가 필요하게 되었다. 즉, 집 적회로설계시는 절환속도를 감소시키는 커패시턴스의 생 성을 억제하며 유효 게이트 길이를 최대화하여 트랜지스 터 동작시 게이트 전압에 의한 수직 전계 및 드레인 전압 에 의한 수평전계의 Hot-Carrier 발생현상을 제어할 수 있 어야 한다. 본 논문에서는 아날로그 동작 범위에서 NMOSFET의 Hot-Carrier 열화시켜 트랜지스터의 소 신호 특성 변화를 분석하였다. 아날로그 회로 내에는 여러 종류의 아날로그 전기 및 센서 신호가 외부로부터 입력 될 수 있으므로 여 러 범위의 게이트 전압에서 Hot-Carrier 스트레스를 행하 였다. 또한 아날로그 소자의 일반적인 동작 범위인 낮은 게이트 전압의 포화 영역에서 Hot-Carrier 스트레스도 행 하였다. 2. 실험 방법 실험에 사용된 NMOSFET는 아날로그/디지털 혼합 공 정에 의해 제조되었으며, 7nm의 게이트 산화막, surface-channel과 LDD (Lightly-Doped Drain) 구조를 갖 는다. 측정에 사용된 소자들의 채널 폭은 10.0μm로 일정 하였으며, 채널 길이는 0.6, 0.8, 2.0 및 10.0μm으로 그 길 이를 변화시켜 채널 길이에 따른 특성 열화 경향을 조사 하였다. Hot-Carrier 스트레스에 사용된 드레인 전압(V DS) 은 포화 드레인 전류의 2배의 드레인 전류가 흐를 때의 드레인 전압을 선택하였다. 스트레스 게이트 전압(V G)은 각 소자의 문턱 전압보다 50mV 또는 300mV 높은 전압 값 을 선택하여 아날로그 범위에서 Hot-Carrier 스트레스를 행하였다. 그러나 스트레스 게이트 전압에 따른 소자의 열화 특성 조사에서는 게이트 전압을 6V 까지 증가시켜 각 게이트 전압에서 소자 특성을 비교하였다. 소자의 소 신호 측정은 선형 영역의 경우, V G=V t+300mv, V DS=0.24V, 그리고 포화 영역의 경우, V G=V t+300mv, V DS = 3.04V에서 각각 이루어졌다. 스트레스 및 측정 과정은 상온에서 이루어졌으며, 각 결과 값은 동일 웨이퍼 상에 서 제조된 20개 소자에 대한 평균값이다. 3. 실험 결과 NMOSFET의 Hot-Carrier 스트레스에 인가되는 게이 트 전압(Vgs)의 크기에 따라 NMOSFET의 열화 특성이 달라지게 된다. 그림 1은 스트레스 게이트 전압에 의존하 는 선형 및 포화 영역에서 드레인 전류의 변화를 나타낸 다. 이는 차동 증폭기나 전류 미러 등과 같은 아날로그 회 로 설계 시 고려해야 할 트랜지스터의 전류 정합 특성을 의미하기도 한다. 선형 및 포화 영역에서 드레인 전류 변 화에서 세 종류의 변화 영역이 발생하게 되는데 이는 각 각 다른 열화 원인을 갖는다. 스트레스 게이트 전압이 낮 은 경우 (V gs=1v)에 드레인 전류의 변화가 적게 나타나 고 있으며, 특히 포화 영역에서 측정된 드레인 전류는 Hot-Carrier 스트레스 동안 조금씩 증가하고 있는 경향을 보인다. 스트레스 게이트 전압이 3V(V gs=v ds/2)인 범위에서 선 형 및 포화 영역의 드레인 전류가 모두 감소하며, 특히 선형 영역에서는 가장 심한 열화 특성을 나타내고 있다. 높은 스트레스 게이트 전압 (V gs=v ds=6v)에서 드레인 전 류의 감소율은 포화영역의 경우에는 계속 증가하고 있지 만 선형 영역에서는 둔화되고 있다 이러한 현상은 낮은 게이트 전압 스트레스 동안에는 정공의 포획, 게이트 전압이 V gs=v ds/2 인 경우에는 억셉 터 형태의 계면 상태의 형성 및 높은 게이트 전압 스트레 스 동안에는 전자의 포획이 게이트 산화막내에 각각 발 생하기 때문이다. 그림 1의 결과로부터 아날로그 동작 영 역인 낮은 게이트 전압에서 스트레스를 행하면 정공의 포획 뿐 아니라 억셉터 형태의 계면 상태도 동시에 존재 하고 있다고 판단된다. 3627

이러한 이유로 CMOS 아날로그 트랜지스터의 Hot-Carrier 열화에 대한 연구가 필요하게 되었다. 즉, 집 적회로설계시는 절환속도를 감소시키는 커패시턴스의 생 성을 억제하며 유효 게이트 길이를 최대화하여 트랜지스 터 동작시 게이트 전압에 의한 수직 전계 및 드레인 전압 에 의한 수평전계의 Hot-Carrier 발생현상을 제어할 수 있 어야 한다.

3 한국산학기술학회논문지 제10권 제12호, 2009 [그림 1] 스트레스 전압에 의존하는 선형영역과 포화영역 에서 드레인 전류변화 이러한 현상은 낮은 게이트 전압 스트레스 동안에는 정공의 포획, 게이트 전압이 V gs=v ds/2 인 경우에는 억셉 터 형태의 계면 상태의 형성 및 높은 게이트 전압 스트레 스 동안에는 전자의 포획이 게이트 산화막내에 각각 발 생하기 때문이다. 그림 1의 결과로부터 아날로그 동작 영 역인 낮은 게이트 전압에서 스트레스를 행하면 정공의 포획 뿐 아니라 억셉터 형태의 계면 상태도 동시에 존재 하고 있다고 판단된다. 포화 동작 영역에서 드레인 근처의 의사 페르미 준위 (quasi-fermi level)는 전도대역으로부터 떨어져 있으므로 형성된 억셉터 형태의 계면 상태는 포화 동작 영역에서 대부분 비어 있게 되어 중성을 띄게된다. 이러한 이유로 포화 영역에서 중성인 억셉터 형태의 계면 상태보다는 양전하를 띤 정공의 영향으로 드레인 전류는 스트레스동 안 증가하였으며, 선형 영역에서는 채널 전자에 의해 채 워진 억셉터 형태의 계면 상태와 정공의 영향을 동시에 받게되어 드레인 전류가 스트레스동안 감소하는 경향을 보였다. 그림 2는 여러 범위의 게이트 전압에서 스트레스를 진 행한 NMOSFET에 대해서 드레인 전압(V ds)에 따른 드레 인 전류의 변화를 나타낸다. 그림 2는 여러 범위의 게이트 전압에서 스트레스를 진 행한 NMOSFET에 대해서 드레인 전압(V ds)에 따른 드레 인 전류의 변화를 나타낸다. 낮은 게이트 전압(V gs=1v)에 서 스트레스를 행한 소자에서 포화 영역 드레인 전류가 증가하였다. 그림 2는 여러 범위의 게이트 전압에서 스트레스를 진 행한 NMOSFET에 대해서 드레인 전압(V ds)에 따른 드레 인 전류의 변화를 나타낸다. 낮은 게이트 전압(V gs=1v)에 서 스트레스를 행한 소자에서 포화 영역 드레인 전류가 증가하였다. 각 결과 그림에서 화살표로 표시된 부분은 스트레스를 받은 후 이동한 핀치 오프(pinch-off) 전압을 표시한다. 드레인 근처의 게이트 산화막내에 양 전하가 포획되면 채널 전자의 생성이 용이해져 채널의 핀치 오 프가 비교적 높은 게이트 전압에서 발생하게 될 것이다. 그림 2에서 4V 이상의 드레인 전압에서는 드레인 전류의 성분중 많은 양이 기판 전류에 의해 구성된다. 그러므로 소자의 파라미터는 기판 전류의 변화에 의존하게된다. 그 러나 이 영역은 아날로그 소자의 동작범위가 아니므로 본 논문에서는 이 영역에 대한 열화 특성은 생략한다. [그림 3] 스트레스 게이트 전압에 의존하는 문턱전압의 변 화 [그림 2] 전 범위의 드레인 전압에서 측정된 스트레스 게 이트 전압에 의존하는 드레인 전류 변화 그림 3은 Hot-Carrier 스트레스 진행에 따라 변화되는 문턱 전압을 나타낸다. 문턱 전압은 낮은 게이트 전압 스 트레스 공정에서는 감소하였으며, 다른 조건의 스트레스 에서는 증가함을 확인하였다. 이러한 결과들로부터 낮은 게이트 전압에서 스트레스 행한 후 정공이 게이트 산화 막에 포획되었음을 확인 할 수 있다. 그림 4는 게이트 산화막내에 정공이 포획되어 있을 때 NMOSFET의 전달 컨덕턴스 변화를 나타낸다. 전달 컨덕 3628

포화 동작 영역에서 드레인 근처의 의사 페르미 준위 (quasi-fermi level)는 전도대역으로부터 떨어져 있으므로 형성된 억셉터 형태의 계면 상태는 포화 동작 영역에서 대부분 비어 있게 되어 중성을 띄게된다.

4 NMOSFET의 Hot-Carrier 열화현상 턴스는 선형영역에서 약 4.15% 감소하였으며, 포화영역 에서 약 0.45% 증가하였다. 전달 컨덕턴스의 변화는 채 널 내 전자의 이동도의 변화와 직접적인 관계가 있다. [그림 5] 인가되는 게이트 전압에 의존하는 출력 컨덕턴스 의 변화 [그림 4] 낮은 게이트 전압에서 스트레스를 행한 소자의 전달 컨덕턴스 변화 선형 및 포화 영역에서 전달 컨덕턴스의 변화(Δ g m/g m) 및 드레인 전류의 변화(ΔI ds/i ds)는 식 (1), (2), (3) 및 (4)로 각각 나타낼 수 있다. Δ Δ Δ Δ Δ Δ Δ Δ Δ Δ Δ 여기서 μ는 채널내 전자의 이동도를 나타낸다. 그림 2에서 정공의 포획으로 인해 포화 영역 드레인 전류의 증 가는 그림 4에서 측정된 전달 컨덕턴스 변화율과 식 (4) 으로부터 구할 수 있다. 본 실험에서 측정된 문턱전압은 약 수 십 mv 범위에서 변화되기 때문에 식 (2)와 식 (4)의 두 번째 항은 첫 번째 항에 비해 그 값이 작게 나타난다. 그러므로 포화 영역 드레인 전류의 증가율과 전달 컨덕 턴스의 증가율은 거의 비슷하게 나타났다. 스트레스가 진행된 소자에서 출력 컨덕턴스의 변화는 드레인 전류 및 전달 컨덕턴스의 경우와는 다르게 그 변 화율(Δg ds/g ds)이 매우 크게 나타난다. 그림 5는 스트레스 게이트 전압의 크기에 의존하는 출 력 컨덕턴스의 변화를 측정 드레인 전압에 대해 나타냈 다. (1) (2) (3) (4) 선형영역에서 측정된 출력 컨덕턴스는 낮은 게이트 전 압(V gs=1v)에서 스트레스를 행한 소자에서 증가하는 반 면, 높은 게이트 전압 (V gs=3v 또는 V gs=6v)에서 스트레 스를 행한 소자에서는 감소함을 보였다. 그러나 포화영역 에서 측정된 출력 컨덕턴스는 낮은 게이트 전압(V gs=1v) 에서 스트레스를 행한 소자에서 낮은 증가율을 보였다. 선형영역에서 출력 컨덕턴스는 채널 내 전자의 이동도의 변화 및 문턱전압 변화와 관련이 있다. 그리고 포화영역 에서 출력 컨덕턴스의 변화는 드레인 전압 변화에 대한 전이 영역 길이의 변화를 고려함으로써 보다 쉽게 해석 할 수 있다. 각 영역에서 출력 컨덕턴스의 변화를 식 (5) 와 식 (6)에 나타냈다. Δ Δ Δ (5) Δ Δ Δ (6) 여기서 I' ds 및 ΔL'는 스트레스 후에 측정된 드레인 전 류 및 드레인 근처의 전이영역 길이를 각각 나타낸다. 게 이트 산화막에 정공이 포획되어 있을 때 포화 드레인 전 류는 증가하지만 그 양은 매우 적음을 그림 2로부터 확인 하였다. 그러므로 식 (6)으로 부터 출력 컨덕턴스는 드레 인 전압에 대한 드레인 근처의 전이영역 길이 변화율에 의존하게 된다. 그림 5의 결과로부터 게이트 산화막에 정 공이나 전자가 포획되었을 때 (V gs=1v 또는 V gs=6v 스트 레스 공정) 포화 영역에서 출력 컨덕턴스 변화가 비교적 적게 나타났다. 드레인 근처의 게이트 산화막에 억셉터 형태의 계면 상태가 존재하면 드레인 전압의 크기에 따 라 계면 상태가 쉽게 비워지거나 전자로 채워질 수 있어 3629

Δ Δ Δ Δ Δ Δ Δ Δ Δ Δ Δ 여기서 μ는 채널내 전자의 이동도를 나타낸다. 그림 2에서 정공의 포획으로 인해 포화 영역 드레인 전류의 증 가는 그림 4에서 측정된 전달 컨덕턴스 변화율과 식 (4) 으로부터 구할 수 있다.

5 한국산학기술학회논문지 제10권 제12호, 2009 유효 채널의 길이가 변화되기 쉽다고 판단된다. 정공의 포획은 포화영역에서 발생하므로 드레인 근처의 전이 영 역 길이(ΔL)와 관련이 있을 것으로 판단된다. 전이 영역 길이는 전이 영역에 인가되는 퍼텐셜(potential)에 비례한 다. 그림 6(a) 및 6(b)는 여러 종류의 채널 길이를 갖는 소 자를 동일한 열화 조건에서 스트레스를 인가한 후 측정 된 선형 및 포화 영역의 드레인 전류 변화를 각각 나타낸 다. 스트레스에 사용된 게이트 전압은 문턱 전압보다 300 mv 높게 유지하였고 드레인 전압은 캐리어 충돌 비율 (impact rate)을 각 소자마다 동일하게 하기 위해 I sub/i ds 값이 일정한 전압으로 유지하였다. 그러므로 채널 길이가 짧을수록 스트레스 드레인 전압의 크기는 줄어들게 되고 포화 영역에서 전이 영역 길이(ΔL)도 짧아지게 된다. 채 널 길이가 0.8μm 이상인 경우는 선형 및 포화 영역에서 드레인 전류의 변화가 거의 동일하게 나타났다. 또한 정 공의 포획을 포화 드레인 전류의 변화로부터 확인할 수 있다. 그러나 채널 길이가 0.6μm인 경우에는 정공의 포획 보다는 억셉터 형태의 계면 상태가 많이 발생되어 스트 레스 후 선형 및 포화 드레인 전류가 모두 감소하고 있 다. 이 결과로부터 정공이 포획되기 위해서는 전이 영역 길이(ΔL)가 임계값 이상을 유지해야한다고 판단된다. [그림 7] 스트레스 드레인 전압에 의존하는 드레인 포화 전류의 변화 스트레스 드레인 전압이 증가할수록 포화 영역의 드레 인 전류가 증가하고 있어 정공 포획의 증가를 확인 할 수 있다. 즉, 전이 영역 길이(ΔL)가 길수록 정공의 포획이 많아짐을 알 수 있다. 그림 7의 결과에서 얻은 측정값으 로 0.6μm채널 길이를 갖는 소자에 대한 전이 영역 길이 (ΔL)를 식 (7)을 사용하여 계산할 수 있다. Δ 여기서 I' ds는 채널의 핀치 오프 시 측정된 드레인 전류 이다. 여러 드레인 전압에서 스트레스를 행한 소자에서 ΔL/L 의 값을 계산 한 결과 전이 영역의 길이가 채널 길 이의 약 20% 이상이 되도록 인가된 드레인 전압에서부 터 정공의 포획이 활발하게 진행된다고 판단된다. 그러므 로 아날로그 동작에서 발생할 수 있는 정공의 포획은 소 자의 채널 길이와는 무관하고 드레인 근처의 전이 영역 의 길이와 관련이 있으므로 낮은 스트레스 게이트 전압 하에서 스트레스 드레인 전압의 크기에 비례하여 그 양 이 증가하게 된다. (7) 4. 결론 [그림 6] 낮은 게이트 전압에서 스트레스를 행한 후 측정 된 채널 길이에 의존하는 드레인 전류의 변화 그림 7에서 정공의 포획과 전이 영역 길이(ΔL)의 관 계를 확인하기 위해 0.6μm의 채널을 갖는 소자를 여러 종 류의 드레인 전압에서 스트레스 인가 한 후 드레인 전류 변화를 조사하였다. 아날로그 동작 범위에서 일어날 수 있는 NMOSFET의 Hot-Carrier 열화 특성을 스트레스 게이트 전압 및 소자의 채널 길이에 따라 조사하였다. 스트레스 게이트 전압이 1.0V 미만인 경우 드레인 근처의 게이트 산화막에 정공 이 포획될 확률이 많아진다. 이러한 양 전하를 갖는 정공 포획은 드레인 전류를 증가시켜 전달 컨덕턴스의 증가 및 출력 컨덕턴스의 감소의 결과를 나타냈다. 소자의 채 널 길이가 짧아질수록 포획된 정공이 채널 전자의 이동 3630

스트레스에 사용된 게이트 전압은 문턱 전압보다 300 mv 높게 유지하였고 드레인 전압은 캐리어 충돌 비율 (impact rate)을 각 소자마다 동일하게 하기 위해 I sub/i ds 값이 일정한 전압으로 유지하였다. 그러므로 채널 길이가 짧을수록 스트레스 드레인 전압의 크기는 줄어들게 되고 포화 영역에서 전이 영역 길이(ΔL)도 짧아지게 된다.

6 NMOSFET의 Hot-Carrier 열화현상 도에 미치는 영향이 커지게 된다. 그러므로 채널 길이가 짧아질수록 열화 특성이 많이 나타났으며, 본 실험에서는 채널 길이가 약 0.8μm미만인 소자에서 열화 현상이 뚜렷 하게 나타나므로 이들 소자에 종래구조의 문턱전압조절 의 효과를 유지하면서 소스, 드드레인 영역을 형성하거나 혹은 트렌티구조를 활용한 매우 미세한 구조의 게이트 형성기술을 통해 유효게이트 길이를 최대화하는 구조의 연구가 필요할 것으로 사료된다. 참고문헌 Transistor, New York: McGraw-Hill, 백 종 무(Jong-Mu Baek) [정회원] 1992년 2월 : 경북대학교 공과대 학원 전자공학과(공학 석사) 2002년 6월 : 경북대학교 공과대 학원 전자공학과(공학 박사) 1995년 3월 ~ 현재 : 대원대학 전자정보통신과 부교수 [1] R. Thewes, C. Linnenbank, U. Kollmer, S. Burges, U. Schaper, R. Brederlow, W. Weber, Mismatch of MOSFET small signal parameters under analog operation, IEEE Electron Device Lett., vol. 21, pp , [2] R. Thewes, M. Brox, K. F. Goser, and W.Weber, Hot-carrier degradation of p-mosfets under analog operation, IEEE Trans. Electron Devices, vol. 44, pp , [3] J. E. Jung, K. N. Quader, C. G. Sodini, P. K. Ko, and C. Hu, The effect of hot-electron degradation on analog MOSFET performance, in Int. Electron Devices Meet Tech. Dig., pp , [4] V. H. Chan and J. E. Chung, The impact of NMOSFET hot-carrier degradation on CMOS analog subcicuit performance, IEEE J. Solid-State Circuits, vol. 30, pp , [5] M. Yotsuyan, T. Etoh, and K. Hirata, "A 10-b 50 MHz pipeline CMOS A/D converter with S/H," IEEE J. Solid-State Circuits, vol. 28, no. 3, pp , Mar [6] J. Chung, K. Quader, C. Sodini, P. Ko, and C. Hu, "The effects of hot electron degradation on analog MOSFET performance," in Int. Electron Devices Meet. Tech. Dig., pp , [7] B.Stadlober, About long-term effects of hot-carrier stress on n-mosfets, Microelectronics Reliability, vol. 40, pp , [8] B. S. Doyle, M. Bourcerie, C. Bergonzoni, R. Benecchi, A.Bravis, K.R.Mistry, and A. Boudou, "The generation and characterization of electron and hole traps created by hole injection during low gate voltage hot-carrier stressing of n-mos transistors," IEEE Trans. Electron Devices, vol. 37, no.8, pp , [9] Y. P. Tsividis, Ed., Operation and Modeling of the MOS <관심분야> 반도체소자, 디스플레이, 대체에너지 김 영 춘(Young-Choon Kim) [정회원] 1987년 2월 : 대전공업대학교 전 기공학과 (공학사) 1989년 8월 : 명지대학교 전기공 학과 (공학석사) 1997년 2월 : 명지대학교 전기공 학과(공학박사) 2006년 3월 ~ 현재 :공주대학교 기계자동차 교수 <관심분야> 전기자동차전력변환, 전장제어, 하이브리드자동차 조 문 택(Moon-Taek Cho) [정회원] 1988년 2월 : 명지대학교 전기공 학과 (공학사) 1990년 2월 : 명지대학교 전기공 학과 (공학석사) 1998년 2월 : 명지대학교 전기공 학과(공학박사) 2006년 3월 ~ 현재 : 대원과학 대학 전기전자과 부교수 <관심분야> 전력변환장치, 대체에너지, 철도차량, 전기자동차 3631

참고문헌 Transistor, New York: McGraw-Hill, 1987. 백 종 무(Jong-Mu Baek) [정회원] 1992년 2월 : 경북대학교 공과대 학원 전자공학과(공학 석사) 2002년 6월 : 경북대학교 공과대 학원 전자공학과(공학 박사) 1995년 3월 ~ 현재 : 대원대학 전자정보통신과 부교수 [1] R. Thewes, C.

PowerPoint Presentation

PowerPoint Presentation 신호조절 (Signal Conditioning) 메카트로닉스 시스템의 구성 ECU 인터페이스 회로 (시그널 컨디셔닝) 마이컴 Model of 기계 시스템 인터페이스 회로 (드라이빙 회로) 센서 액츄에이터 (구동기) 기계 시스템 PN 접합 다이오드 [1] 다이오드의 DC 해석과 등가모델 [1] 다이오드의 DC 해석과 등가모델 [1] 다이오드 응용회로 [1] 다이오드