제품개별주의사항 사용전에반드시읽어주십시오. 안전상의주의, 게재제품 / 공통주의사항에관해서는서문 P.34,35, 각시리즈의공통주의사항은 P.5~P.522 를확인하십시오. 경고 취급. 취급시떨어지거나, 타격이가해지거나, 과대한충격 (980m/s 2 ) 이가해지지않도록하십시

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1 고정도디지털압력스위치 ZSE50(60) ISE50(60) 진공용 정압용 Series 스테인레스다이아프램채용측정유체가직접센서부에닿지않는스테인레스다이아프램구조 접액, 접가스부 SUS6 압력센서배관피팅 피팅부 SUS4 미세누설량 센서부, 피팅부는전자빔용접. 설비측의배관피팅에 VCR 및 Swedgelok 사용으로미세누설실현 ZSE50F / ISE50 x 0-5 Pa m 3 /s ZSE60F / ISE60 x 0-0 Pa m 3 /s 스테인레스다이아프램 정범용유체용 고정도 고분해능연성압 /00(0.kPa) 정압 /000(0.00MPa) 반복정도 ±0.2%F.S. ±digit 이하 IP65 대응내진 / 방분류형 다양한기능채터링방지기능, 오토 Preset 기능, 오토쉬프트기능 Key Lock 기능, 상한 하한표시기능, 초기설정기능 반도체용특수피팅 ( 메탈가스켓 Seal피팅 ) 타입누설량 : 0-0 Pa. m 3 /s ZSE/ ISE60(F)-A2 ZSE/ ISE60(F)-B2 TSJ / 4 URJ / 4 폭넓은유체의압력검출이가능 유압작동유 (JIS-K223) 실리콘오일(JIS-K223) 윤활유 (JIS-K6) 카본 알곤 드레인포함공기 암모니아 프레온 이산화탄소 질소 Load lock 챔버대기압확인 옵션 판넬취부 브라켓부착 판넬취부 + 전면보호카바 584

2 제품개별주의사항 사용전에반드시읽어주십시오. 안전상의주의, 게재제품 / 공통주의사항에관해서는서문 P.34,35, 각시리즈의공통주의사항은 P.5~P.522 를확인하십시오. 경고 취급. 취급시떨어지거나, 타격이가해지거나, 과대한충격 (980m/s 2 ) 이가해지지않도록하십시오. 센서몸체본체가파손되지않아도내부가파손되어오작동할가능성이있습니다. 2. 코드를잡아당기는강도는 49N 입니다. 이이상의힘으로잡아당기면고장의원인됩니다. 취급시에본체를들어주십시오. 3. 배관시나사삽입강도는 3.6 N m 입니다. 이이상의힘으로배관하면고장의원인이됩니다. 4. 부식성및인화성이있는가스나유체에는사용하지말아주십시오. 경고 접속. 오배선은스위치의파손, 고장, 및오작동을일으킵니다. 2. 접속작업은전원을차단한상태에서하여주십시오. 3. 동력선이나고압선과동일배선경로에서사용되면, 노이즈에따른오작동의원인이됩니다. 개별배선경로에서사용하십시오. 4. 시판스위칭레귤레이터를사용할경우는반드시 F.G. 단자의접지를하시기바랍니다. 경고 사용환경. 본압력스위치는 CE 마킹적합품입니다만, 낙뢰서지에대한내성은가지고있지않습니다. 낙뢰서지에대한보호에관해서는장치측에서대책하십시오. 2. 본압력스위치는방폭구조가아닙니다. 가열성가스또는폭발성가스의환경에서절대로사용하지말아주십시오. 경고 주의 압력원. 독성, 부식성, 연소가스의사용에관하여본스위치의압력센서및피팅부의재질은 SUS6, SUS4 이므로, 독성, 부식성의가스는사용하지말아주십시오. 또한본스위치는방폭대응을하지않으므로, 연소가스는반드시사용하지말아주십시오. 2. 사용유체에관하여접유체부에는 SUS6( 압력센서 ), SUS4( 피팅 ) 로되어있으므로, 이재질을부식시키지않는유체를사용하십시오. ( 유체의부식성에관해서는유체제조회사에문의하십시오.) <ZSE60F/ISE60> 헬륨누설검사에관하여용접부는헬륨누설검사를하고있습니다. TSJ 피팅은크로포드피팅사제품 ferrule(swagelok 피팅 ), URJ 피팅은 Cajon(VCR 피팅 ) 사제품의패킹, 그라운드등을사용하여주십시오. 타사피팅의 ferrule 및패킹, 그라운드를사용하는경우에는반드시피팅부의헬륨누설검사를하고나서사용하십시오. 취부방법. 판넬취부아답터로취부 전면보호커버 ( 옵션선택에따름 ) 판넬 ZSE ISE PS ZSP IS ZSM PF IF 주의. 비산유체가기름계 용제계등인장소에서는사용하지말아주십시오. 2. 물 먼지등이스위치본체에닿는장소에서는대기개방포트에서스위치내부에물이나먼지등이진입할가능성이있습니다. 대기개방포트에 4 튜브 ( 내경 2.5) 를삽입, 반대측을물등이비산하지않는안전한장소까지배관하여주십시오. 튜브는도중에굽혀지거나구멍이막히지않도록하십시오. 올바른압력을측정할수없게됩니다. 판넬취부아답터 A 2. 브라켓으로취부브라켓을취부나사 M3 5L(2 개 ) 로본체에취부, 육각구멍부착볼트로배관에설치하여주십시오. 설치장소에따라서횡방향으로취부하는것이가능합니다. 취부나사 M3 5L 판넬취부아답터 B 대기개방포트 물 먼지가닿지않는안전한장소로 에어튜브 브라켓 A 또는 D 브라켓취부나사의체결토오크는 0.98N m 이하로체결하여주십시오. 에어튜브는대기개방포트끝까지삽입되어있는지를확인하십시오. 에어튜브는당사 TU0425 ( 재질 : 폴리우레탄외경 : 4, 내경 : 2.5) 를사용하십시오 ) 585

3 범용유체용고정도디지털압력스위치 ZSE50F/ISE50 Series 형식표시방법 정압용 ISE L M 연성압용 ZSE50 F L M 02 T2 G2 준표준 배관사양 R /4 (M5 암나사부착 ), 배관배면방향 NPT /4 (M5 암나사부착 ), 배관배면방향 G /4 (M5 암나사부착 ), 배관배면방향 옵션무기호없음브라켓 A A 입출력사양 NPN 오픈콜렉터 2출력 + 아날로그출력 NPN 오픈콜렉터 2출력 + 오토쉬프트입력 PNP 오픈콜렉터 2출력 + 아날로그출력 PNP 오픈콜렉터 2출력 + 오토쉬프트입력 준표준주 ) 오토쉬프트입력은오토쉬프트기능을사용하게될때에사용하는입력입니다. 상세한것은 p.5 " 오토쉬프트기능 " 참조하십시오 리드선길이 L 3m D E 브라켓 D 브라켓 A, D의차이는외형치수도에서확인하십시오. 판넬취부 아날로그출력 판넬취부 + 전면보호커버 적합형식 : ZSE50F/ISE /62(L)-(M) ISE50 Series ZSE50F Series 아날로그출력값 (V) 5 0.0MPa 압력 아날로그출력값 (V) 5 s00kpa 압력 옵션옵션개별이필요한경우는아래의품번으로주문하십시오. 00kPa F 단위사양 무기호주) 단위전환기능부착주2) M SI 단위고정주) 단위전환기능부착은신계량법상 ( 일본에서는 SI단위 ), 일본외해외에서만판매됩니다. 주2) 고정단위 : 진공압용 / 연성압력 : kpa 정압용 : MPa 옵션브라켓 A 브라켓 D 판넬취부판넬취부 + 전면호보커버 부품품번 ZS-24-A ZS-24-D ZS-24-E ZS-24-F 수량 비고취부나사 2개부착취부나사 2개부착 586

4 범용유체용고정도디지털압력스위치 ZSE50F/ISE50 Series 사양 정격압력범위사용압력범위 설정압력범위내압력 kpa MPa 주) kgf/cm 2 설정압력분해능 bar psi mmhg inhg 적용유체전원전압소비전류스위치출력반복정도 히스테리시스모드응차윈도우분할모드응답시간출력단락보호표시표시정도동작표시등아날로그출력주2) 오토쉬프트입력주3) 내환경 온도특성접액부재질관접속구경리드선질량 ( 중량 ) 보호구조주위온도범위주위습도범위내전압절연저항내진동내충격 ZSE50F ( 연성압 ) -00 ~ 00kPa -00 ~ 00kPa 500kPa 주 ) 단위전환기능부착일경우 ( 단위전환기능이없는타입에관해서는 SI 단위 (kpa 또는 MPa) 로고정됩니다.) 주 2) 아날로그출력부착을선택한경우주 3) 오토쉬프트부착을선택한경우주 4) psi 표시일경우, 0.03~0.04psi 가됩니다. 주 5) psi 표시일경우, 0 점조절은 ±0.0psi 범위내가됩니다. ISE50 ( 정압 ) ~.000MPa ~.000MPa.5MPa SUS 6 및4를부식시키지않는유체 DC2 ~ 24V, 리플 (p-p) 0% 이하 55mA 이하 ( 무부하시 ) NPN 또는 PNP 2출력 ( 최대인가전압 V (NPN), 최대부하전류 80mA) ±0.2% F.S. ± digit 이하 ±0.3% F.S. ± digit 이하가변 (0 에서가변 ) 고정 (3 digits) 주4) 2.5ms 이하 ( 채터링방지기능시 : 24ms, 92ms, 768ms 이하 ) 장비 3 /2 digit LED 표시 ( 샘플링주기 : 5회 /sec) ±2% F.S. ± digit 이하 ( 주위온도 25 ± 3 에서 ) 녹색 LED (OUT: ON시점등 ), 적색 LED (OUT2: ON시점등 ) 출력전압 : ~ 5V ±5% F.S. 이하출력전압 : ~ 5V ±2.5% F.S. 이하무전압입력 ( 유접점또는무접점 ), 입력 5ms 이상 IP65 동작시 : 0 ~ 50, 보존시 : -0 ~ 60 ( 결로및빙결없을것 ) 동작시 보존시 : 35 ~ 85% RH ( 결로없을것 ) AC250V 분간, 리드선과케이스사이 2MΩ이상 (DC50V 메가에서 ) 리드선과케이스사이 0 ~ 500Hz 복진폭.5mm 또는 98m/s 2 의작은쪽에서 980m/s 2 X, Y, Z 각방향 3회 ( 무통전 ) 0 ~ 50 의온도범위에서, 25 시의측정압력의 ±3%F.S 이하수압부 : SUS 6, 피팅부 : SUS 4 02: R/4, M5 0.8 T2: NPT /4, M 심내유캡타이어케이블 (0.5mm 2 ) 약g ( 각리드선 3m 포함 ) 주기 ) 오토쉬프트기능부착일경우, 설정가능범위는아래와같이됩니다. 설정압력범위 ~ 00.0kPaa -0. ~.000MPa 설정가능범위 ~ 00.0kPa ~.000MPa ZSE ISE PS ZSP IS ZSM PF IF 기능 측정유체의상태에맞는측정이나스위치동작, 측정값의체크등을용이하게하기위해풍부한부가기능을준비하고있습니다. 주) 오토쉬프트 (Auto shift) 기능채터링방지기능 Key lock 기능상한값유지기능하한값유지기능초기설정기능주) 단위설정기능 ( 일본외 ) 주 ) 형식에서선정, 주문하십시오. 원압의압력변동에맞춰서스위치출력의압력설정값을보정하는것이가능합니다. 응답시간을조정하여압력의급격한변동에따른오작동을방지합니다. 조작스위치의오조작을방지하기위해키조작의 Lock 이가능합니다. 측정중의최고압력표시값을유지하는것이가능합니다. 측정중의최소압력표시값을유지하는것이가능합니다. 대기개방상태일때압력표시를 0 으로조정하는것이가능합니다. 표시단위전환이가능합니다. ( 일본외에서만 ) P. 5 P.6 587

5 ZSE50F/ISE50 Series 출력방법 [P] YES ON OFF P_2 P_ 압력, 진동도커짐 H H 히스테리시스모드 H ( 고정응차 ) = 3 digits OUT 출력모드 NO ON OFF P_ 압력, 진동도커짐 P_2 윈도우분할모드 OUT2 도동일합니다.. [n] YES NO ON OFF ON OFF H n_ n_2 n_ 압력, 진동도커짐 압력, 진동도커짐 H n_2 히스테리시스모드 H ( 고정응차 ) = 3 digits 윈도우분할모드 588

6 범용유체용고정도디지털압력스위치 ZSE50F/ISE50 Series 내부회로와배선예 ZSE 60 F/ISE (L)-(M) ZSE 60 F/ISE (L)-(M) 아날로그출력부착 오토쉬프트입력부착 주회로 kϊ DC(+) ( 갈색 ) 아날로그출력 ( 회색 ) OUT ( 흑색 ) OUT2 ( 백색 ) DC(-) ( 청색 ) DC(+) ( 갈색 ) 오토쉬프트입력 ( 회색 ) OUT ( 흑색 ) OUT2 ( 백색 ).2KΪ 부부하부하 6.8KΪ 하부하 DC2~24V 주회로 DC(-) ( 청색 ) DC2~24V ZSE ISE PS ZSP IS ZSM PF IF ZSE 60 F/ISE (L)-(M) ZSE 60 F/ISE (L)-(M) 아날로그출력부착 오토쉬프트입력부착 주회로 kϊ DC(+) ( 갈색 ) 아날로그출력 ( 회색 ) OUT ( 흑색 ) OUT2 ( 백색 ) DC(-) ( 청색 ) 부하 DC2~24V 주회로.2KΪ 6.8KΪ DC(+) ( 갈색 ) 오토쉬프트입력 ( 회색 ) OUT ( 흑색 ) OUT2 ( 백색 ) 부부하부하하 DC(-) ( 청색 ) DC2~24V 589

7 ZSE50F/ISE50 Series 오토쉬프트기능부착 오토쉬프트 부착 여, 2 설정값의기능입니다. 의. 오토쉬프트를사용하지않는경우원압이변동하면바른판단을할수없게됩니다. 원압 P P2 스위치출력,2 ON OFF 원압정상원압저하원압증가 오토쉬프트를경우원압이로, 이, 그값에보정되며, 바른. 시간 오토쉬프트기능조건. 입력시, 표시기는 설명 5ms 이상, 압력을일정하 약 초간표시하고, 그시. 또는 [ ] ~. 오토쉬프트입력값후에스위치출력이작동하기까지의시간은 0ms. 오토쉬프트입력으로보정된설정값이설정가능범위를넘을경우, 보정값은않으며, 상한값을넘는경우는를, 하한를. 전원을차단하면다. ( 초기값 ) 로. * 보정값의기억장소로는 EEPROM 은사용할수없습니다. 오토쉬프트기능부착일경우, 설정가능범위는아래와같이됩니다. 설정압력범위 ~ 00.0kPa -0. ~ -.000MPa 설정가능범위 ~ 00.0kPa ~.000MPa 원압 P P2 원압정상원압저하원압증가 ON 스위치출력,2 OFF Hi 오토쉬프트입력 Lo 5ms 이상 0ms 이하 시간 오토쉬프트입력시의 ( 스위치출력응답시간) 채터링방지기능 대구경실린더나등은그작동시에에어를., 가그때설정을변경함으로써이상압력으로검출하는방지하는. 원리임의로설정된응답시간내에처리. 스위치. 설정값 압력 P P2 일시적인변동 t (ms) t (ms) Time < 평균화처리 > < 평균화처리 > Normal 시스위치출력동작 채터링방지기능시스위치출력동작 ON OFF ON OFF 시간 시간 590

8 범용유체용고정도디지털압력스위치 ZSE50F/ISE50 Series 에러발생시처리 에러발생시는다음과같이처리하여주십시오. 에러명칭에러표시내용처리방법 과전류에러 OUT OUT 2 스위치출력의부하에 80mA 를넘는전류가흐르고있습니다. 전원를차단하고, 과전류가발생한출력요인을제거하며, 다시전원을투입하여주십시오. 잔압에러 가압에러 오토쉬프트에러 0점조절조작시에대기압에대하여다음의압력이인가되고있습니다. ISE50 60시 : ±0.07MPa 이상 [ ZSE50F 60(F) 시 : ±7.kPa 이상 ] * 약 3초간표시후, 자동적으로측정모드로 복귀합니다. 설정압력범위상한을넘는압력이인가되고있습니다. 설정압력범위하한을넘는압력이인가되고있습니다. 설정압력범위상한을넘고있습니다. * 약 초간표시후, 측정모드로복귀합니다. 설정압력범위하한을넘고있습니다. * 약 초간표시후, 측정모드로복귀합니다. 압력을대기압으로되돌리고나서, 다시 0 점조절조작을하여주십시오., 인가되고있는압력을설정압력범위이내로하여주십시오. 오토쉬프트입력시의인가압과설정압력값을가산한값이설정압력범위를넘지않도록재설정하여주십시오. ZSE ISE PS ZSP IS ZSM PF IF 내부데이터에러시표시됩니다. 시스템에러 내부데이터에러시표시됩니다. 내부데이터에러시표시됩니다. 전원을차단하고다시전원을투입하여주십시오. 복귀되지않을경우는당사에서조사가필요합니다. 내부데이터에러시표시됩니다. * 상한측, 하한측은아래표와같습니다. 설정압력범위연성압 -00.0~ 00.0kPa 정압 -0.00~.000MPa 하한측 -00.0kPa -0.00MPa 상한측 00.0kPa.000MPa 연성압정압 오토쉬프트기능부착설정가능범위하한측 -00.0~00.0kPa -00.0kPa -.000~.000MPa -.000MPa 상한측 00.0kPa.000MPa 59

9 ZSE50F/ISE50 Series 외형치수도 ZSE50F/ISE50-02 T2 G (NPT 의경우 23.9) M3 0.5 깊이 배관포트 R, NPT /4 배관포트 M5 x 0.8 깊이 배관포트 G /4 배관포트 G 의경우 592

10 범용유체용고정도디지털압력스위치 ZSE50F/ISE50 Series 외형치수도 브라켓 A A ZSE ISE PS 45 ZSP IS.6 브라켓 A ZS-24-A A 지시도 6.5 ZSM PF IF 브라켓 D A 판넬취부용전단치수 판넬취부 이상 이상 브라켓 D ZS-24-D A 지시도 전면보호커버 판넬두께는 ~3.2mm. 593

11 범용유체용고정도디지털압력스위치 ZSE60F/ISE60 Series 형식표시방법 정압용 ISE L M 연성압용 ZSE60 F L M A2 B2 URJ/4 주 ), 배관배면방향 TSJ/4 주 ), 배관배면방향 주 ) URJ /4 와 TSJ/4 는반도체장치용특수피팅입니다. 배관사양 옵션무기호없음브라켓 A 입출력사양 NPN 오픈콜렉터 2출력 + 아날로그출력 NPN 오픈콜렉터 2출력 + 오토쉬프트입력 PNP 오픈콜렉터 2출력 + 아날로그출력 PNP 오픈콜렉터 2출력 + 오토쉬프트입력 준표준주 ) 오토쉬프트입력은오토쉬프트기능을사용하게될때에사용하는입력입니다. 상세한것은 P.5 " 오토쉬프트기능 " 참조하십시오 리드선길이 L 3m A D E 브라켓 D 브라켓 A, D의차이는외형치수도에서확인하십시오. 판넬취부 아날로그출력 판넬취부 + 전면보호커버 적합형식 : ZSE60F/ISE /62(L)-(M) ISE60 Series ZSE60F Series 아날로그출력값 (V) 5 0.0MPa 압력 아날로그출력값 (V) 5 s00kpa 00kPa 압력 옵션 옵션개별체가필요한경우는아래의품번으로주문하십시오. 옵션 부품품번 수량 비고 브라켓 A ZS-24-A 취부나사 2개부착 브라켓 D ZS-24-D 취부나사 2개부착 판넬취부 ZS-24-E 판넬취부 + 전면호보커버 ZS-24-F F 단위사양 무기호주) 단위전환기능부착주2) M SI 단위고정주) 단위전환기능부착은신계량법상 ( 일본에서는 SI단위 ), 일본외해외에서만판매됩니다. 주2) 고정단위 : 진공압용 / 연성압력 : kpa 정압용 : MPa 594

12 범용유체용고정도디지털압력스위치 ZSE60F/ISE60 Series 사양 정격압력범위사용압력범위 설정압력범위내압력 kpa MPa 주) kgf/cm 2 설정압력분해능 bar psi mmhg inhg 적용유체전원전압소비전류스위치출력반복정도 히스테리시스모드응차윈도우분할모드응답시간출력단락보호표시표시정도동작표시등아날로그출력주2) 오토쉬프트입력주3) 내환경 온도특성접액부재질관접속구경리드선질량 ( 중량 ) 보호구조주위온도범위주위습도범위내전압절연저항내진동내충격 ZSE60F ( 연성압 ) -00 ~ 00kPa -00 ~ 00kPa 500kPa 주 ) 단위전환기능부착일경우 ( 단위전환기능이없는타입에관해서는 SI 단위 (kpa 또는 MPa) 로고정됩니다.) 주 2) 아날로그출력부착을선택한경우주 3) 오토쉬프트부착을선택한경우주 4) psi 표시일경우, 0.03~0.04psi 가됩니다. 주 5) psi 표시일경우, 0 점조절은 ±0.0psi 범위내가됩니다. ISE60 ( 정압 ) ~.000MPa ~.000MPa.5MPa SUS 6 및4를부식시키지않는유체 DC2 ~ 24V, 리플 (p-p) 0% 이하 55mA 이하 ( 무부하시 ) NPN 또는 PNP 2출력 ( 최대인가전압 V (NPN), 최대부하전류 80mA) ±0.2% F.S. ± digit 이하 ±0.3% F.S. ± digit 이하가변 (0 에서가변 ) 고정 (3 digits) 주4) 2.5ms 이하 ( 채터링방지기능시 : 24ms, 92ms, 768ms 이하 ) 장비 3 /2 digit LED 표시 ( 샘플링주기 : 5회 /sec) ±2% F.S. ± digit 이하 ( 주위온도 25 ± 3 에서 ) 녹색 LED (OUT: ON시점등 ), 적색 LED (OUT2: ON시점등 ) 출력전압 : ~ 5V ±5% F.S. 이하출력전압 : ~ 5V ±2.5% F.S. 이하무전압입력 ( 유접점또는무접점 ), 입력 5ms 이상 IP65 동작시 : 0 ~ 50, 보존시 : -0 ~ 60 ( 결로및빙결없을것 ) 동작시 보존시 : 35 ~ 85% RH ( 결로없을것 ) AC250V 분간, 리드선과케이스사이 2MΩ이상 (DC50V 메가에서 ) 리드선과케이스사이 0 ~ 500Hz 복진폭.5mm 또는 98m/s 2 의작은쪽에서 980m/s 2 X, Y, Z 각방향 3회 ( 무통전 ) 0 ~ 50 의온도범위에서, 25 시의측정압력의 ±3%F.S 이하수압부 : SUS 6, 피팅부 : SUS 4 02: R/4, M5 0.8 T2: NPT /4, M 심내유캡타이어케이블 (0.5mm 2 ) 약g ( 각리드선 3m 포함 ) 주기 ) 오토쉬프트기능부착일경우, 설정가능범위는아래와같이됩니다. 설정압력범위 ~ 00.0kPaa -0. ~.000MPa 설정가능범위 ~ 00.0kPa ~.000MPa ZSE ISE PS ZSP IS ZSM PF IF 기능 측정유체의상태에맞는측정이나스위치동작, 측정값의체크등을용이하게하기위해풍부한부가기능을준비하고있습니다. 주) 오토쉬프트 (Auto shift) 기능채터링방지기능 Key lock 기능상한값유지기능하한값유지기능초기설정기능주) 단위설정기능 ( 일본외 ) 주 ) 형식에서선정, 주문하십시오. 원압의압력변동에맞춰서스위치출력의압력설정값을보정하는것이가능합니다. 응답시간을조정하여압력의급격한변동에따른오작동을방지합니다. 조작스위치의오조작을방지하기위해키조작의 Lock 이가능합니다. 측정중의최고압력표시값을유지하는것이가능합니다. 측정중의최소압력표시값을유지하는것이가능합니다. 대기개방상태일때압력표시를 0 으로조정하는것이가능합니다. 표시단위전환이가능합니다. ( 일본외에서만 ) P. 5 P.6 595

13 ZSE60F/ISE60 Series 외형치수도 ZSE60F/ISE60- A2 B M3 0.5 깊이 배관포트 URJ / 배관포트 TSJ /4 배관포트 TSJ 의경우 아래항목에관해서는 ZSE50F/ISE50 Series와공통입니다. 항목참조페이지출력방식 P.3 내부회로와배선예 P.4 오토쉬프트기능, 채터링방지기능 P.5 에러발생시의처리 P.6 596

14 범용유체용고정도디지털압력스위치 ZSE60F/ISE60 Series 외형치수도 브라켓 A A ZSE ISE PS 45 ZSP IS.6 브라켓 A ZS-24-A A 지시도 6.5 ZSM PF IF 브라켓 D A 판넬취부용전단치수 판넬취부 이상 or more 브라켓 D ZS-24-D A 지시도 전면보호커버 배관포트 URJ /4 판넬두께는 ~ 3.2mm. 597

15 50 50 ZSE60 60F/ISE Series 조작부명칭 (ZSE50F/ISE50 ZSE60F/ISE60 공통 ) 3/2digit LED 현재압력표시각모드표시에러모드표시 LED ( 녹색 ) OUT 의스위치출력상태를표시 ON 시점등 UP 버튼 모드및설정값전환 OUT SET kpa OUT2 LED ( 적색 ) OUT2 스위치출력상태를표시 ON 시점등 DOWN 버튼 모드및설정값전환 SET 버튼 각모드전환및설정값확정 설정방법순서 (ZSE50F/ISE50 ZSE60F/ISE60 공통 ) 설정순서 수동으로압력설정 스위치출력을하는압력을설정합니다. 초기설정 P.4 0점조절 통상동작 [ 출력모드 ], [ 응답시간 ], [ 오토 / 매뉴얼모드 ] 를설정합니다. 대기압의 0 점을조정합니다. Auto P.4 Preset P.6 압력을검출하여표시, 스위치동작을합니다. 흡착확인이나원압확인을할경우에는자동으로압력을설정합니다. P.5 단위전환 수동으로압력미세조정 Key lock 상한값유지 하한값유지 표시단위전환이가능합니다. (-M 타입제외 ) 오토 Preset 에서자동설정한데이터를미세조정할수있습니다. 실수로설정값을변경해버리는등의오조작을방지가능합니다. 측정중의최고압력표시값을유지할수있습니다. 측정중의최소압력표시값을유지할수있습니다. 598

16 범용유체용 고정도디지털압력스위치 ZSE60 60 F/ISE Series 설정방법 (ZSE50F/ISE50 ZSE60F/ISE60 공통 ) 초기설정. 초기설정모드 2. OUT 출력모드선택 3. OUT2 출력모드선택 [SET] 버튼을 2초이상눌러주십시오. 표시가 [ ] 로되었을때버튼을놓아주십시오. 단위사양 : 단위전환기능부착일경우는 P.60 단위설정 ( 일본외판매용 ) 을참조하십시오. 버튼또는 버튼으로 OUT 의 [ 출력모드 ] 를선택을합니다. [ ] Normal Open Mode [ ] Normal Closed Mode 4. 응답시간선택 SET 버튼또는 버튼으로 OUT2 의 [ 출력모드 ] 를선택을합니다. [ ] Normal Open Mode [ ] Normal Closed Mode 5. 오토 / 매뉴얼설정 ZSE ISE PS ZSP IS ZSM PF IF SET SET SET [SET] 버튼을누르면설정은종료됩니다 버튼또는 버튼으로응답시간을 설정합니다. ( [ : 2.5ms], [ : 247ms], [ : 92ms]. [ : 768ms]) 에서선택하여주십시오. 버튼또는 버튼으로오토프리세트모드 / 매뉴얼세트모드를설정합니다.. _ [ ] Auto Preset Mode [ ] Manual Set Mode P.5 " 채터링방지기능 " 참조하십시오. 수동으로압력설정압력설정값에따라서출력방식이결정됩니다.. 매뉴얼세트모드 2. OUT() 설정값입력 3. OUT(2) 설정값입력 SET 초기설정모드에서매뉴얼설정모드를선택하고, [SET] 버튼을눌러서 [ ] 또는 [ ] 를표시한시점에서보턴을놓습니다 버튼 : 설정값을크게합니다. 버튼 : 설정값을작게합니다.. [ ] 또는 [ ] 의설정값이교대로점등합니다 버튼 : 설정값을크게합니다. 버튼 : 설정값을작게합니다.. [ ] 또는 [ ] 의설정값이교대로점등합니다 4. OUT2() 설정값입력 5. OUT2(2) 설정값입력 6. 오토쉬프트입력표시 SET SET SET SET [SET] 버튼을누르면설정은종료됩니다. 버튼 : 설정값을크게합니다. 버튼 : 설정값을작게합니다.. [ ] 또는 [ ] 의설정값이교대로점등합니다 버튼 : 설정값을크게합니다. 버튼 : 설정값을작게합니다.. [ ] 또는 [ ] 의설정값이교대로점등합니다 [ ] 와보정값이교대로점등합니다. 오토쉬프트입력이되어있지않은경우는제로를표시합니다. 입출력사양이오토쉬프트부착 (-/ -70) 의경우에만표시합니다아날로그출력부착 (-22/-62) 의경우는표시되지않습니다. 599

17 50 50 ZSE60 60 F/ISE Series 설정방법 (ZSE50F/ISE50 ZSE60F/ISE60 공통 ) Auto Preset( 예 : 흡착확인의경우 ). 오토 Preset 모드 2. 오토 Preset 준비 3. OUT 오토프리세트 SET 초기설정모드에서오토 Preset 모드를선택하고, [SET] 버튼을눌러서 [ ] 을표시한시점에서보턴을놓습니다. 이상태에서설정하려는장치준비를합니다. OUT 의설정이필요하지않을경우에는이상태에서 버튼과 버튼을동시에눌러주십시오... [ ] 로넘어갑니다. 느 이상태에서흡착, 비흡착을수차례반복해서눌러주십시오. 자동적으로적당한설정값을결정합니다. 4. 오토 Preset 준비 5. OUT2 오토 Preset SET SET SET [SET] 버튼을누르면설정은종료됩니다. 흡착노즐등워크의조건을바꾸어, 진공압력을공급합니다. OUT2 의설정이필요하지않을경우에는이상태에서 버튼과 버튼을동시에눌러주십시오... 측정모드로넘어갑니다. 이상태에서흡착, 비흡착을수차례반복해서눌러주십시오. 자동적으로적당한설정값을결정합니다. 고진공 Max.A ON점 흡착워크 워크2 워크 n OFF 점 Min.B 대기 비흡착 워크 워크 2 워크 n Max.A : 워크흡착시최대압력값 Min.B : 워크비흡착시최소압력값 ON 점 = A - OFF 점 = B+ A-B 4 A-B 4 600

18 범용유체용 고정도디지털압력스위치 ZSE60 60 F/ISE Series 설정방법 (ZSE50F/ISE50 ZSE60F/ISE60 공통 ) Key lock 모드 스위치전면부에있는조작보턴의오조작을미리예방할수있습니다. Key lock 개시 Key lock 해제 ZSE ISE SET [SET] 버튼을누르면설정은종료합니다 SET [SET] 버튼을누르면설정은종료됩니다 PS ZSP [SET] 버튼을 4초이상계속눌러주십시오. 표시가 [ ] 로되었을때보턴을놓아주십시오. 버튼또는 버튼으로표시를 [ ] 로합니다. [SET] 보턴을 4초이상계속눌러주십시오. 표시가 [ ] 로되었을때보턴을놓아주십시오. 버튼또는 버튼으로표시를 [ ] 로합니다. IS ZSM PF IF 상한값유지, 하한값유지표시기능 측정중의최고압력표시값 ( 상한값 ), 최소압력표시값 ( 하한값 ) 을유지하는것이가능합니다. 상한값유지 하한값유지 측정중의최고압력표시값을유지할수있습니다. 압력표시중에 버튼을 초이상계속누르면, 여기부터상한표시모드로되고, 표시값이점멸합니다. 원래값으로복귀할경우는다시 버튼을 초이상눌러주십시오. 주 ) 상한값표시와하한값표시구별은없습니다. 측정중의최소압력표시값을유지할수있습니다. 압력표시중에 버튼을 초이상계속누르면, 하한표시모드로되고, 표시값이 점멸합니다. 원래값으로복귀할경우는다시 버튼을 초이상눌러주십시오. 주 ) 상한값표시와하한값표시구별은없습니다. 0(Zero) 점조절 측정되는압력이대기압상태에서 ±70digits 의범위에있어서표시값을 0( 제로 ) 로조정하는것이가능합니다. 단위설정 ( 일본외판매용 ) ZSE F/ISE - - (L) 만대상으로합니다. 60 단위선택 60 OUT 출력모드선택 공급압력을대기개방상태로하여, + 버튼을동시에계속누르면표시값이제로로리셋되며, 0 점조절동작이완료하고, 측정모드로돌아갑니다. SET P.4 " 초기설정 " 의 [2. OUT 출력모드의선택 ] 으로이동합니다. 버튼또는 버튼으로단위설정을합니다. : kpa 또는 MPa : kgf/cm 2 : bar : psi : inhg 주) : mmhg 주) 주 ) ZSE50 시리즈와 ZSE60 시리즈에서설정할수있습니다. 60

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