Next Generation Scanning Probe Technology Metrology Lithography Material Biology www.nanofocus.kr Room 701. Ace Techno Tower 1, 197-17 Guro 3-Dong, Guro Gu, Seoul, Korea Copyrights 2010, NanoFocus Inc. All rights reserved. Tel : (02) 864-3955 Fax : (02) 864-3956
Company History 주사탐침현미경 2002 서울대물리학부실험실창업 2005 법인전환 나노포커스 기업부설연구소설립 ( 제 20052039 호 ) 벤처기업등록 2006 고속 AFM 기술개발 ( 나노핵심연구개발, 지경부 ) 주사탐침현미경 (SPM) 은나노및바이오분야에서형상과물성분석에사용되는차세대최첨단계측장비기술입니다. SPM은탐침의기능에따라표면구조, 전자기적, 기계적특성을나노수준에서분석이가능합니다. 미세화된반도체공정에서나노수준의결함검사, LED/ 디스플레이분야에서기판표면거칠기측정용도로활용되고있습니다. 최근 SPM의성능, 재현성, 자동화기술의발달로연구분야를넘어산업분야로활용범위가확대되고있습니다. n-tracer 출시 2007 < 나노코리아 2007> 나노산업기술상수상 ( 고속 SPM) Albatross, my-scope, n-tracer II 출시 1 3D Nano-metrology SPM은 0.01nm의수준의고분해능으로일반광학계로는볼수없는미세한형상을이미징하며, 측정시료의특성에따라탐침과시료의접촉유무에따라접촉식또는비접촉식으로사용합니다. SPM 기술은미세영역의형상관찰, 미소결함검사, TSV(Through silicon via) 3D 구조측정, 표면거칠기측정에활용되고있습니다. CEO Message 2008 나노포커스는나노및바이오과학기술분야에핵심적인역할을하는최첨단나노현미경인주사탐침현미경 (Scanning Probe Microscopy) 을개발하여, 이분야연구자나산업체에공급하는벤처기업입니다. 나노포커스는주사탐침현미경관련핵심기술과풍부한경험과노하우를보유하고있으며, 우수한성능의다양한주사탐침현미경을자체개발하였습니다. 아울러축적된기술과노하우를최대한활용하여고객을위한적극적인기술지원과사후관리에최선을다할것입니다. 앞으로도끊임없는도전과 Albatross II 출시 2009 초소형 SPM Finger 출시 AFM in SEM 공동개발 ( 표준연 ) 2 Characterization & Spectroscopy SPM은단순한고분해능의현미경기능외에도시료의나노물성을분석할수있는 characterization 기능과 spectroscopy 기술이있습니다. 물성분석툴로서는 MFM/EFM/KFM/C-AFM 등이있습니다. Spectroscopy 는국소적인위치에서시료의특성을측정하는기술입니다. 대표적으로 Force spectroscopy, I-V spectroscopy, D-E hysterisis mode 등이있습니다. 이기술은시료의전기적특성 (I-V,DE), 분자결합력, 단분자측정, 경도측정에활용되고있습니다. 개척정신으로고객이필요로하는신제품개발에매진하도록하겠습니다. CEO. Jaewan Hong. Ph.D. 산업원천기술사업정부과제선정 ( 지경부 ) 2010 삼성전자웨이퍼검사용 SPM 모듈납품 3 Nano scale lithography & manipulation SPM을이용한 Lithography 기술은탐침으로시료의표면형상및전기 / 화학적구조를변경할수있는나노제작 / 조작기술입니다. 이기술은나노프린팅, 나노정보저장장치, 나노소자제작, 바이오분야등에널리활용되고있습니다. - Ph. D. Dept. Physics, Seoul National University - NanoFocus Inc, CEO and CTO
1 2 최고의 나노 리쏘그라피 기술 SPM의 정교한 조작기술을 이용하여 시료 표면을 전기적, 화학적으로 변형시켜 나노 수준 으로 구조를 형성 또는 조작하는 기술입니다. 나노포커스의 나노 리쏘그라피 툴은 라스터 스캐닝 및 벡터 스캐닝 기술이 사용됩니다. 최적의 스캔 헤드 기술 SPM 스캔 방식에는 시료 스캔, 탐침 스캔, 조합형 스캔 방식이 있습니다. 스캔 방식에 따라 고유의 장단점이 있어 응용 분야 별로 최적의 스캔 방식을 사용하는 것이 이상적입니다. 나노포커스는 최적의 성능, 응용성, 유연성을 확보하기 위하여 사용자 어플리케이션에 적합한 스캔 기술을 적용한 다양한 Anodic oxidation Nano-indentation 제품을 공급하고 있습니다. Force V, I 시료 스캔 substrate electrode Soft substrate 장점 - 최상의 성능 (분해능, 고속 동작) 조합형 탐침 스캔 - 중소형 시료 측정 - 대형 시료 측정 가능 - 시료 조작의 용이성 - 산업용에 적합 - 저속 동작 - 복잡한 구조 - 위치에 따른 오차 발생 - 위치에 따른 오차 없음 - Albatross - Nano-jet - 컴팩트한 구조 - 시료 크기 제한 단점 - 세계 최고 수준의 나노 리쏘그라피 토탈 솔루션 당사 제품 - 편리한 편집기능, 실시간 모니터링, 고속 패터닝 나노포커스 기술 - 라스터/벡터 스캐닝 기술 적용 - 네비게이션과 연동된 편리한 조작 - 다양한 기법 제공 : indentation, oxidation, constant current 3 사용자 중심의 인터페이스 완전 자동화된 Non-contact setting - finger - my-scope - n-tracer 편리한 통합 네비게이션 플랫폼 - 한번의 클릭으로 Q-curve 측정 - 자동 파라메타 설정 (set-point, 주파수, 위상) 편리한 하드웨어 조작성 Adaptive scan Scan Image 자동 및 수동 포커싱 자동 초점 조절 - 탐침과 시료의 위치에 자동 초점 조절 가능 - 탐침 및 시료의 위치 고속 탐색 통합 네비게이션 편리한 조작성 동영상 도움말 지원 - 초보자도 파라메타를 쉽게 세팅 가능 - 각 모드 별로 동영상 도움말 제공 - 기존 방식 보다 정확한 형상 측정 - 초보자 SPM 동작을 쉽게 이해 Optic Image Lithography - 형상에 따라서 스캔 속도 자동 조절 - 탐침 마모 및 측정 오차 최소화 스캐너 교환 카트리지 방식의 탐침 교환 SPM영상, CCD좌표, 리쏘그라피 패턴 좌표를 통합 관리함으로써 편리한 위치 선정
Software Supporting mode Data acquisition - 모든 SPM 모드제공 - 편리한 Spectroscopy - 진보된스캔기술 (Adaptive/Nonlinear scan) - 완전자동화된 non-contact mode 세팅 - 실시간프로파일러 - 실시간컬러조정 - 여러채널이미지동시취득 - 최대픽셀사이즈 : 16Mega pixels/image (128 X 128 to 4096 X 4096) Image processor - 조작이쉬운 3D이미지 - 다양한 flattenning 기능 - Surface analysis (line profile / roughness) - 편리한리포트작성기능 - Contact mode AFM - Non-contact mode AFM - Lateral force microscopy (LFM) - Magnetic force microscopy (MFM) - Conductive AFM (C-AFM) - Electrostatic force microscopy (EFM) - Kelvin force microscopy (KFM) - Force modulation microscopy (FMM) - Phase imaging - Nanolithography (raster/vector) - Confocal microscopy mode - Raman spectroscopy/imaging - Photo luminescence spectroscopy - Spectroscopy (F-D, I-V, D-E) - Liquid imaging Controller - High performance DSP: 300MHz, floating point - Ethernet communication - Dual phase digital lock-in : 1MHz, 2 channel - 24 bit resolution DAC : 5 channel - 16 bit high speed ADC : 1M Samples/sec, 17 channel - Synchronous 32 bit photon counter : 2 channel - High resolution digital CCD (IEEE 1394) - max. 4096 X 4096, (16Mega pixels) Navigation - 확대축소, 패닝이자유로운편리한인터페이스 - 광학계, 리쏘그래피, SPM 영상좌표를통합관리 - 그래픽및 SPM 영상불러오기가능 - 이미지 / 벡터패턴을개체단위로편리하게편집
1 EFM / KFM + Optics 이기술은 EFM/KFM과공초점현미경을융합한것으로전도성탐침과시료사이에레이저빛을조사했을때발생하는 Photovoltage와 Photocurrent를측정할수있는기술입니다. 2 AFM + Optics (PL & Raman) SPM의나노수준의공간분해능과분광 (Raman + PL) 을통한성분정보분석기능이결합된차세대융합현미경으로, 공초점현미경 (Confocal) 에다양한분광장치와 SPM이결합된구조를가지고있습니다. 기능 ~ - SPM의형상정보와화학적인정보를동일위치에서측정가능 - Raman 및 PL 공간분해능을획기적으로개선 (Tip-enhenced Raman spectroscopy) 활용분야 - 반도체, LED, 디스플레이, 태양전지, 화학, 바이오분야 기능 - SPM의형상정보와전기적, 광학적인정보를동일위치에서측정 - Photocurrent, Photovoltage 측정 - Electroluminescence 측정 Topography(probe) Luminescence(laser) Overlay(probe + laser) Optical mismatching X = 327nm 활용분야 - 반도체, LED, 디스플레이, 태양전지, 화학, 바이오분야 융합기술 시료 : 발광나노와이어 3 EFM Electrostatic / Kelvin force microscope 은전도성탐침과시료사이의전압에의하여발생하는정전기력을측정하여시료표면전위및전하의상대적인크기를측정할수있는장치입니다. KFM은 EFM을 closed loop 제어를통하여절대적전위를측정할수있는개선된모드입니다. Spectroscopy Topography Kelvin potential ~ 기능 - 2 channel, dual phase lock-in amp. 내장 - Operation S/W로 external lock-in 제어 활용분야 - 반도체, LCD, 태양전지등의국소적인표면전위를측정 강유전체박막의 D-E Hystesis curve 시료 : 폴리머태양전지
finger 자체감지센서가내장된탐침을이용하여표면형상을측정하는 SPM입니다. 레이저빔을사용하지않아탐침교체가간단하고사용하기가편리합니다. 구조가단순하고소형이라휴대가가능하며 SPM 교육과나노표면측정에활용될수있습니다. my-scope 컴팩트한디자인이돋보이는연구와교육에특화된제품으로대학및연구기관에서나노기술에활용되고있습니다. Active anti-vibration 장치없이저렴한진동테이블로도고분해영상을얻을수있어비용대비성능이우수합니다. 사용자의편이성을높여초보자도쉽게사용할수있도록설계되었으며, 다양한응용모드와세계최고수준의나노리쏘그라피및 EFM/KFM등의측정모드를지원하고있습니다. No laser and detector alignment (self-sensing probe) Easy to change the probe and sample Fully digital frequency detection (digital-pll) Cost effective Small foot-print Compact and stable mechanical design Easy to exchange sample and probe Scanner Tunning-fork sensor Scanner Stage Scan range XY : 30 µm X 30 µm, Z : 6 µm Resolution XY : < 0.2 nm RMS, Z : 0.05 nm Tunning fork - f 0 : ~ 50 khz Probe Scan range XY : 30 µm X 30 µm, Z : 6 µm closed loop XY Resolution XY : < 0.2 nm RMS, Z : 0.05 nm Travel XY : N/A, Z : 15 mm Resolution Z : 0.15 µm Sample stage motorized Z stage Sample Diameter : < 20 mm Height : < 10 mm - Length : 300 µm, thickness : 3.7 µm, width : 39 µm - Material : + n silicon (0.01-0.025 Ohm cm) - Tip radius : < 15 nm, tip height 28 µm - 5 N/m (Si cantilever) Sample & probe Diameter : < 40 mm Height : < 10 mm Optics Field of view : 500 µm Magnification : X 500 Probe : universal unmounted probe cartridge Resolution : 1 µm White LED light source Manual focusing
n-tracer 컴팩트한디자인, 기계적안정성, 편리성, 응용성을가진고성능제품입니다. 나노측정및물성분석에특화된연구용 SPM으로대학, 연구소, 산업체등에많이활용되고있습니다. 초보자도쉽게사용할수있도록설계되었으며, 다양한응용모드와세계최고수준의나노리쏘그라피및 EFM / KFM등의측정모드를지원하고있습니다. Albatross 조합형스캐너기술을적용하여응용성과확장성이우수한고급연구용 SPM입니다. 중소형시료를비롯하여시료의온도변화, 자기장인가, 액상측정이가능합니다. 도립현미경과결합하여레이저 Raman/PL 분광및영상측정이가능한융합형 SPM 입니다. 또한세계최고수준의나노리쏘그라피및 EFM/KFM 측정기술, Photocurrent, Photovoltage, Electroluminescence 을포함한다양한융합측정을지원하고있습니다. Compact and stable mechanical design Integrated AFM with inverted optical microscope Easy to exchange sample and probe Powerful spectroscopy tool Easy probe positioning system Optical + AFM imaging in situ Multi-functional research grade system Liquid sample imaging Scanner Stage Scanner Stage Scan range Standard 30 µm X 30 µm, Z: 6 µm closed loop XY 5 µm X 5 µm (option) 100 µm X 100 µm (option) closed loop XY Resolution XY : < 0.2 nm RMS, Z : 0.05 nm Travel XY : 5 mm X 5 mm, Y : 15 mm Resolution Z : 0.15 µm Sample size 40 mm X 40 mm, 10 mm H Sample stage Manual XY stage, motorized Z stage Scan range XY : 100 µm X 100 µm, Z : 12 µm Resolution XY : < 0.2 nm RMS, Z : 0.05 nm Travel XY : 15 mm X 15 mm, Z : 25 mm Resolution Z : 0.15 µm Sample size 80 mm X 80 mm, 25 mm H Sample stage Manual XY stage, motorized Z stage Sample & probe Optics Tip cartridge Sample & probe Optics Tip cartridge Diameter : < 40 mm Height : < 10 mm Manual probe movement : ± 5 mm in XY Probe : universal unmounted probe cartridge Field of view : 500 µm Magnification : X 500 Resolution : 1 µm White LED light source Manual & auto focusing Contact cartridge Non-contact cartridge STM cartridge EFM cartridge Multi purpose cartridge Diameter : < 80 mm Height : < 20 mm Manual probe movement : ± 15 mm in XY Probe : universal unmounted probe cartridge Field of view : 500 µm Magnification : X 500 Resolution : 1 µm White LED light source Manual focusing Multi purpose cartridge Tip holder for liquid
Accessories Image gallery 500nm 500nm 70nm 3.00um 40.0nm Chamber (for air table) Chamber (for active table) Anti-vibration table Active anti-vabration table Ferroelectric TGS Au nanoparticle PMN-PT nanowire Contact hole External I/O module High voltage amplifier Lock-in amplifier Active Q-controller 10um 10um TGS surface (Amplitude) TGS surface Ferroelectric domain (Amplitude) Ferroelectric domain Cantilever PPP-NCH series - Non-Contact High frequency - C = 42 N/m, f 0 = 330 khz PPP-CONT series - Contact Mode - C = 0.2 N/m, f 0 = 13 khz PPP-EFM series - for Electrostatic Force Microscopy - C = 2.8 N/m, f 0 = 75 khz PPP-MFM series - for Magnetic Force Microscopy - C = 2.8 N/m, f 0 = 75 khz - Backside Reflex coating Magnetic device 1.0um Hard disk surface 4.0um ZIP driver disk LSMO thin film SSS-NCH - SuperSharpSilicon - tip - Non-Contact High frequency - C = 42 N/m, f = 330 khz 0 ATEK-CONT - Contact Mode - C = 0.2 N/m, f = 13 khz 0 CNT-NCH - Carbon Nanotube AFM Probe - Non-Contact / Tapping Mode - High Resonance Frequency - C = 42 N/m, f 0 = 330 khz - Without coating DT-CONTR - Diamond coated Tip - Contact Mode - C = 0.2 N/m, f 0 = 13 khz - Backside Reflex coating 1.2um Shewanella bacterium (Contact mode) 5.0um Actinidia plant cell 0.1um DNA PMN-PT nanowire (Photoluminescence) 2.0um 2.0um 3.0um 0.1um Akiyama Probe - Self-sensing & actuating probe HOPG Sample disk SPM 용표준시료 Indentation (Raster) Anodic oxidation (Raster) Anodic oxidation (Raster) Anodic oxidation (Vector)