이젝터 진공유니트이젝터시스템 진공펌프시스템 ZX Series 사용목적에따라서, 필요한기능을자유롭게조합할수있습니다. 경량 ( 모든기능부착시 120g) 으로 이젝터.. l 이젝터시스템대응 이젝터시스템대응 이젝터 유니트 필터유니트 이젝터 유니트 진유공니스트위치 필터 밸브유니

진공유니트 / ZX 시리즈이젝터시스템 진공펌프시스템대응 ZX ZR ZM ZH 100g 까지의전자부품, 소형정밀부품에 모듈설계에의한최적기능조합가능사용목적에따라서, 필요한기능을자유로이조합할수있습니다. INDEX 특징 용도예 p.632 공통사양 p.633 이젝터시스템 형식표시방법 p.634 공급밸브 파괴밸브의조합표 p.636 구조도 p.637 이젝터유니트 p.638 밸브유니트 p.640 셕션필터유니트 p.642 진공용압력스위치유니트 p.643 외형치수도 / 밸브유니트없음 p.649 외형치수도 / 공급밸브 파괴밸브조합표 K1, K3, K6, K8, J1, J2 타입 p.650~661 매니폴드사양 p.662 외형치수도 p.664~669 진공펌프시스템 형식표시방법 p.670 공급밸브 파괴밸브조합 p.672 구조도 p.673 밸브유니트 p.674 셕션필터유니트 / 진공압력스위치유니트 p.675 외형치수도 / 공급밸브 파괴밸브조합표 K1, K3, K6, K8 타입 p.676~683 매니폴드사양 p.684 외형치수도 p.686~671 유니트구성 이젝터시스템 / 개별, 매니폴드 p.692 진공펌프시스템 / 개별, 메니폴트 p.694 개별에서메니폴드로전환 p.696 주문제작사양 공급밸브 파괴밸브표준외조합 p.698 ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 631

이젝터 진공유니트이젝터시스템 진공펌프시스템 ZX Series 사용목적에따라서, 필요한기능을자유롭게조합할수있습니다. 경량 ( 모든기능부착시 120g) 으로 이젝터.. l 이젝터시스템대응 이젝터시스템대응 이젝터 유니트 필터유니트 이젝터 유니트 진유공니스트위치 필터 밸브유니트 이젝터 유니트 필터유니트 밸브유니트 이젝 터유니트 개별 이젝터 전체 (full) 세트 유니트 밸브유니트 유니트 진유공니스트위치 필터 유니트개별사양 밸브유니트 진공펌프시스템대응 진유공니스트 필터 위치 밸브유니트 필터유니트 밸브유니트 진유공니스트위치 필터 필터유니트 ZX100- - F ZX100- -E 전체 (full) 세트 용도예 칩본딩 (Bonding) 칩마운팅 (Mounting) 극소형부품의흡착반송인쇄기로의종이전송 632

이젝터시스템 / ZX Series 이젝터유니트기본사양 시스템대응 이젝터시스템 진공펌프시스템 구성기기 항목 p.634~669 p.670~695 이젝터유니트 ZX1 시리즈 노즐지름 mm 0.5 0.7 1.0 최대흡입유량 l/min(anr) 5 10 22 공기소비량 l/min(anr) 최고진공압력배기방식 13 23 46-84kPa 소음기내장메니폴드배기 개별배기포트 (RC 1 8 ) ZX ZR ZM 밸브유니트 ZX1-V 구성기기제어방식 공급밸브, 파괴밸브 N.C., N.O. ZH ZU 조작방식전원전압 전자밸브, 에어오퍼레이트 DC 3, 5, 6, 12, 24V, AC 100, 110V (50/60Hz) ZL ZY 진공압력스위치유니트 ZS 시리즈 시리즈설정압력범위응차적용패드지름 (mm) 일반용압력스위치 흡착확인스위치 0 ~-101kPa -20kPa~-101kPa 3% 이하 2~ 25 0.3~ 1.2 일반용압력스위치 흡착확인스위치 0~-101kPa -20kPa~-101kPa 0.5kPa 2~ 25 0.3~ 1.2 ZF ZP ZCU 공급전압 DC 24V DC 24V AMJ 석션필터유니트 ZX1-F 사용압력범위 부압 ~0.5MPa 진공관련 여과도 30 μm 개별 공기공급접속구경진공패드접속구경 M5 ( 표준 ), M6 ( 준표준 ) M5 ( 표준 ), M6 ( 준표준 ) 공통사양 매니폴드 공기공급접속구경배기포트접속구경외부파이로트접속구경 Rc 1 8 Rc 1 8 M5 연수 Max. 8 연 각유니트의상세한사양은, p.638~ 648 을참조십시오. 이젝터시스템개별의주문방법은, p.634, 635 를참조하십시오. 이젝터시스템의메니폴드의주문방법은 p.662 를참조하십시오. 진공펌프시스템의개별의주문방법은, p.670, 671 을참조하여주십시오. P.698~702 개별 매니폴드 개별 매니폴드 진공펌프시스템의매니폴드의주문방법은, p.684 을참조하십시오. 대체용유니트의주문방법은, p.692~695 을참조하십시오. 633

진공유니트 ZX Series/ 이젝터시스템 형식표시방법 해외규격적합기종의상세한것은 SMC 홈페이지를참조하십시오. 이젝터유니트 이젝터유니트 구성기기 밸브유니트 N.C. 타입 밸브유니트 N.O. 타입 유니트 ZX1 10 진공스위치 1 K1 5 L Z E C 유니트 ZX1 10 1 K3 5 L Z E C 진공스위치 이젝터유니트노즐지름 이젝터배기방식 파이로트밸브사양 공급밸브 파괴밸브의조합 전자밸브정격전압 리드선취출방법 램프 서지전압보호회로수동조작 진공스위치유니트필터유니트 진공스위치리드선취출방법 PV, V 포트관접속구경 이젝터유니트 진공스위치유니트 ZX1 10 1 E C 이젝터유니트 필터유니트 ZX1 10 1 F 이젝터유니트노즐지름 05 0.5mm 이젝터배기형식 07 0.7mm 1 소음기부착 10 1.0mm 2 포트배기 Rc1 /8 3 집합배기 ( 매니폴드만해당 ) AC 타입의경우, 정류기를통해서 DC 솔레노이드를사용하고있습니다. 사용할때에는, 반드시정류기부착콘넥터 Ass'y 와전용솔레노이드를조합하십시오. 그외의조합은, 코일소손, 작동불량등의트러블이발생합니다 주의 주의 서지전압보호회로 램프 서지전압보호회로 DC 의경우극성을콘넥터의, 표시에맞춰서접속하십시오. 극성이틀리면, 다이오드, 또는스위칭소자의소손을초래할경우가있으므로, 충분히주의하십시오. 미리리드선이접속되어있는경우에는, 적색, 흑색으로되어있습니다. AC 의경우정류기 Ass'y 에의해서지전압의발생을방지하고있으므로, 서지전압보호회로부착은없습니다. 밸브유니트 / 공급밸브 파괴밸브조합 p.489의표 을참조하십시오. 파이로트밸브사양 DC: 1W 타입무기호 ( 램프부착 : 1.05W) AC타입 Y DC: 0.45W 타입 ( 램프부착 : 0.5W) 0.45W 타입은 DC 24V, 12V만해당됩니다. 전자밸브정격전압 1 AC 100V50/60Hz 3 AC 110V50/60Hz 5 DC 24V 6 DC 12V V DC 6V S DC 5V R DC 3V 무기호에어오퍼레이트 (K6, K8, J3, J4, D3, D4에적용 ) 플러그콘넥터에만적용. 정류기부착콘넥터 Ass'y 가부속되어있습니다. 리드선취출방법 L 리드선길이 0.3m LN 리드선없음 (DC에만적용 ) 플러그 LO 콘넥터없음콘넥터 M 리드선길이 0.3m 타입 MN 리드선없음 (DC에만적용 ) MO G H 무기호 그로매트타입 콘넥터없음리드선길이 0.3m (DC에만적용 ) 리드선길이 0.6m (DC에만적용 ) 에어오퍼레이트 주 ) 공급밸브 파괴밸브의조합이 K1 J1 의경우, M 플러그콘넥터타입은취부할수없습니다. 콘넥터부착리드선품번은, p.635 의표 를참조하십시오. 매니폴드의주문방법은, p.662 를참조하십시오. 대체용유니트의주문방법은, p.692~693 를참조하십시오. 수동조작 무기호 B PV V 포트관접속구경 무기호 Y Non-lock 부쉬식 Lock 식드라이버조작형 램프 서지전압보호회로무기호없음 Z 램프 서지전압보호회로부착 S 서지전압보호회로부착 정격전압이 AC의경우 S는없습니다. M5 0.8 M6 1 ( 준표준 ) 진공스위치리드선취출방법 무기호그로메트 리드선길이 0.6m L 타입 리드선길이 3m C 리드선길이 0.6m CL 콘넥터 리드선길이 3m CN 타입콘넥터없음 ( 리드선없음 ) 콘넥터부착리드선품번은, p.635 의표 을참조하십시오. 진공스위치유니트 / 필터유니트의경우 E 진공용압력스위치 ( 일반용 ) Suction PS 흡착확인노즐지름 0.3~ 0.7 필터부착 PB 스위치노즐지름 0.5~ 1.2 F 석션필터에만해당 진공용디지털압력스위치유니트의경우 D DP kpa 표시 21 22 23 24 2 출력 / 아날로그출력없음 2 출력 / 아날로그출력부착 1 출력, 고장예지출력부착 / 아날로그출력없음 1 출력, 고장예지출력부착 / 아날로그출력부착 주 ) 아날로그출력부착타입은, 그로메트타입만해당됩니다. 634

이젝터시스템 / ZX Series 표 1. 밸브유니트 / 공급밸브 파괴밸브의조합 ( 상세한사양은, p.636 을참조하십시오 ) 밸브유니트구성기기 공급밸브 전자밸브 (N.C.) 전자밸브 (N.O.) 에어오퍼레이트 (N.C.) 파괴밸브 전자밸브 (N.C.) 전자밸브 (N.C.) 외부파괴 에어오퍼레이트에어오퍼레이트 (N.O.) (N.C.) 전자밸브없음 (N.C.) 전자밸브없음 (N.O.) 기호 K1 K3 K6 K8 J1 J2 무기호 N.C. (VJ114) 전자밸브 N.O. (VJ324) 공급밸브에어오퍼레이트 N.C. (ZX1A) N.O. (VJA324) 없음 N.C. (VJ114) 전자밸브 밸브유니트없음 N.C. (VJ314) 에어오퍼레이트는, 외부로부터의 3 포트밸브에서제어. 질량 (g) / K1:82, K3:132, K6:58, K8:132, J1:77, J2:100 외부파괴는, 2 포트에서직접파괴합니다. 표 2 밸브유니트콘넥터부착리드선 콘넥터 Ass'y 품번 (DC 에만적용 ) VJ10 (AC 100V 에만적용 ) VJ10 VJ10 20 36 36 4A 1A (AC 110V 에만적용 ) 3A 6 6 6 리드선길이 무기호 6 10 15 20 25 30 0.3m ( 표준 ) 0.6m 1m 1.5m 2m 2.5m 3m 주문방법리드선길이가 600mm 이상인진공유니트가필요한경우에는, 콘넥터없는진공유니트의품번과콘넥터 Ass'y 의품번을병기하십시오. 예 ) ZX1051-K15LOZ-EC VJ10-20-4A-6 1 개 2 개 파괴밸브에어오퍼레이트 N.C. (VJA314) 외부파괴 ZX1A 표 3 진공스위치콘넥터부착리드선 ZS 10 5A 주 ) 리드선길이가 3m의스위치를주문할경우에는, 콘넥터없는스위치와콘넥터부착리드선의품번을병기하십시오. 예 ) ZX1051-K15LO-EC VJ10-20-4A-6 ZS-10-5A-50 1 개 2 개 1 개 리드선길이 무기호 30 50 0.6m 3m 5m 없음 ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 이젝터시스템의대표적인추천형식 / 하기형식은단기납기품입니다. 노즐지름 (mm) 0.5 0.7 1.0 형식 ZX1051-K15LZ-EC ZX1051-K35MZ-EC ZX1071-K15LZ-EC ZX1071-K35MZ-EC ZX1101-K15LZ-EC ZX1101-K35MZ-EC 이젝터배기형식 소음기부착 공급밸브 파괴밸브조합공급밸브파괴밸브 ( 파이로트밸브 ) ( 직동밸브 ) N.C. N.C. (VJ114) (VJ114) N.O. N.C. (VJ324) (VJ314) N.C. N.C. (VJ114) (VJ114) N.O. N.C. (VJ324) (VJ314) N.C. N.C. (VJ114) (VJ114) N.O. N.C. (VJ324) (VJ314) 전자밸브정격전압 DC 24V 리드선취출방법 플러그콘넥트타입 램프 서지전압보호회로 램프 서지전압보호회로부착 진공스위치유니트 일반용진공압력스위치 (ZSE) 진공스위치리드선취출방법 콘넥터타입 635

ZX Series 이젝터시스템 / 공급밸브 파괴밸브의조합조합기호 K1 공급용밸브로전자밸브 N.C. 타입을사용하고있습니다. 파괴밸브도전자밸브 N.C. 타입을사용하고있습니다. 용도 : 전기신호에따라제어하는경우에사용합니다. 조합기호 K8 공급밸브로에어오퍼레이트밸브 N.O. 타입을사용하고있습니다. 파괴용밸브는에어오퍼레이트밸브 N.C. 타입을사용하고있습니다. 용도 : 에어신호에따라제어하는경우에사용하고있습니다. 공급용밸브가 N.O. 타입이므로, 정전시에이젝터로의공급압력은정지하지않고흡착상태를유지합니다. 정전시의워크의낙하방지의경우에사용합니다 조작방법 상태 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 조합기호 K3 조작 공급용밸브 (N.C.) 전자밸브 파괴용밸브 (N.C.) 전자밸브 조작방법 상태 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 조합기호 J1 조작 공급용밸브 (N.O.) 에어오퍼레이트밸브 파괴용밸브 (N.C.) 에어오퍼레이트밸브 공급용밸브로전자밸브 N.O. 타입을사용하고있습니다. 파괴용밸브는전자밸브 N.C. 타입을사용하고있습니다. 용도 : 전기신호에따라제어하는경우에사용합니다. 공급용밸브가 N.O. 타입이므로, 정전시에이젝터로의공급압력은정지하지않고흡착상태를유지합니다. 정전시의워크의낙하방지의경우에사용합니다. 공급용밸브로전자밸브 N.C. 타입을사용하고있습니다. 파괴용밸브는사용하고있지않습니다. 용도 : 전기신호에따라제어하는경우에사용합니다. 파괴는소음기와패드와워크간의대기가돌아들어가게됩니다. 파괴속도를빠르게할필요가없는경우에사용합니다. 조작방법 상태 1. 워크흡착 2. 3. 작동정지 조합기호 K6 조작 공급용밸브 (N.O.) 전자밸브 파괴용밸브 (N.C.) 전자밸브 조작방법 상태 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 조합기호 J2 조작 공급용밸브 (N.C.) 전자밸브 파괴용밸브없음 공급밸브로외부에 3 포트밸브를설치. 파괴용밸브는외부에 2 포트밸브를설치하십시오. 공급용밸브로전자밸브 N.O. 타입을사용하고있습니다. 또한파괴용밸브는사용하고있지않습니다. 용도 : 에어신호에따라제어하는경우에. 용도 : 전기신호에따라제어하는경우에사용합니다. 공급용밸브가 N.O. 타입이므로, 정전시에이젝터로의공급압력은정지하지않고흡착상태를유지합니다. 정전시의워크의낙하방지의경우에사용합니다파괴는소음기와패드와워크간의대기가돌아들어가게됩니다. 파괴속도를빠르게할필요가없는경우에사용합니다. 조작방법 상태 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 조작 공급용밸브외부 3포트밸브 파괴용밸브외부 2포트밸브 조작방법 상태 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 조작 공급용밸브 (N.O.) 전자밸브 파괴용밸브없음 636

이젝터시스템 / ZX Series 이젝터시스템 / 구조도 ZX ZR ZM ZH 구성부품 번호 1 2 3 4 5 6 7 주 ) 8 번호 부품명포펫밸브 Ass'y 파괴유량조정니들매니폴드진공스위치밸브유니트연결플레이트소음기케이스필터케이스 재질 스테인레스강알루미늄 폴리카보네이트 표 1. 파이로트밸브 / 형식표시방법 1 2 3 4 비고 ZX1-PV-O ZSE2, ZSP1 ZX1-VA -D- (PV PS PD) 번호 부품명파이로트밸브에어오퍼레이트 필터엘리먼트이젝터 Ass'y 구성기기공급밸브파괴밸브 형식 적용밸브조합 전자밸브전자밸브 N.C. (VJ114) N.C. (VJ114) ZX1-VJ114- K1, J1 전자밸브전자밸브 ZX1-VJ3 1 N.O. (VJ324) N.C. (VJ314) 4-2 에어오퍼레이트에어오퍼레이트 ZX1-VJA3 1 4 N.O. (VJA324) N.C. (VJA314) 2 K3, J2 K8 에어오퍼레이트 N.C. (ZX1A) ZX1A- K6 표 2. 전자밸브 / 형식표시방법 ZX1 VJ114 5 ZX1 VJ3 2 4 5 전환방식 1 N.C. (Normal closed) 2 N.O. (Normal open) 몸체옵션무기호 : 파이로트밸브개별배기형 M: 메인밸브파이로트밸브집합배기형 주 ) N.C. 의경우, 무기호의파이로트밸브개별배기형입니다. 파이로트밸브사양 DC: 1W 타입무기호 ( 램프부착 : 1.05W) AC타입 DC: 0.45W 타입 Y ( 램프부착 : 0.5W) 정격전압 1 AC 100V 3 AC 110V 5 DC 24V 6 DC 12V V DC 6V S DC 5V R DC 3V 플러그콘넥터에만적용 0.45W타입은, DC 24, 12 V에만적용됩니다. 주 ) ZX 시리즈용 VJ100, VJ300은나사의길이가표준품과다릅니다. 나사의길이 VJ100 - M1.7 15 VJ300 - M1.7 22 L L Z Z 수동조작방법무기호 Non-lock 푸쉬식 B Lock식드라이버조작형 램프 서지전압보호회로무기호램프 서지전압보호회로없음 S 서지전압보호회로부착 Z 램프 서지전압보호회로부착 리드선취출방법 L 콘넥터 (0.3m) LN 콘넥터 ( 리드선없음 ) LO 콘넥터없음 M 콘넥터 (0.3m) MN 콘넥터 ( 리드선없음 ) MO 콘넥터없음 G 그로메트 (0.3m) H 그로메트 (0.6m) 주 ) ZX1-VJ114 의경우, M MN MO 는부적당합니다. 교환부품 9 10 11 재질 PVF 부품품번표1, 표2, 표3을참조하십시오. ZX1-FE 표4를참조하십시오. 주 ) 필터케이스취급상의주의 1) 케이스의재질은폴리카보네이트이므로, 신나, 사염화탄소, 클로로포름, 초산에스테르, 아닐린, 시크로헥산, 트리크롤에칠렌 (trichloroethylene), 유산 ( 硫酸 ), 유산 ( 乳酸 ), 수용성절삭유 ( 알카리성 ) 등의화학약품의사용, 또는영향권에서의사용은피하십시오. 2) 직사광선을피해서사용하십시오. 표3. 에어오퍼레이트타입 / 형식표시방법 ZX1A M3 포트사이즈 M3 M5 ZX1 W D 05 1 Ass'y 품번 이젝터유니트노즐지름 05 0.5mm 07 0.7mm 10 1.0mm M3 0.5 파이로트포트외부파괴포트 M5 0.8 Ass'y 에아답터를부착하여, 유니트가되고, PV 포트, V 포트의접속이가능하게됩니다. 이젝터 Ass'y 표 4. 이젝터 Ass'y / 형식표시방법 주의 이젝터형식 ( 배기방식 ) 1 소음기배기 2 포트배기 3 집합배기형 조합사용 / ZX-WD 아답터를부착하여개별사용 / ZX-W- 파괴유량조정니들의조정은시계방향으로돌리면, 파괴유량은줄어들어서멈춘곳에서완전히닫힌상태가됩니다. 닫힌상태에서시계반대방향으로 2 회전하면완전히열린상태가됩니다. 4 회전이상회전하게되면, 니들이떨어지므로주의하십시오. ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 637

11.5 ZX Series 이젝터유니트 사양 유니트품번노즐지름 mm 최대흡입유량 l/min(anr) 공기소비량 l/min(anr) 최고진공압력최고사용압력공급압력범위표준공급압력사용온도범위 형식 ( 이젝터배기방식 ) 질량표준장착 1 1 ZX1-W05 2 ZX1-W07 2 ZX1-W10 2 0.5 5 13 0.7 10 23 1.0 22 46-84kPa 0.7MPa 0.2MPa~0.55MPa 0.45MPa 5 ~ 50 기호1 기호2 소음기내장 개별 매니폴드용포트배기 개별 매니폴드용 소음기내장 35g, 포트배기 45g 브라켓 B 기호 1,2 는, 형식표시방법의이젝터배기방식을나타냅니다. 형식표시방법 ZX1 W 05 1 노즐지름 05 0.5mm 07 0.7mm 10 1.0mm PV/V포트의관접속구경무기호 M5 0.8 Y M6 1 ( 준표준 ) 이젝터배기방법 1 소음기 2 포트배기 Rc1/8 외형치수도 /ZX1-W 1 2 표시기호 48.2 47 PD 27 P V 20 8 브라켓 B ( 표준장착 ) 2-3.6 M5 ( 또는 M6) (PD 포트 ) 외부파괴포트플러그주 ) M5 ( 또는 M6) (P 포트 ) 공기공급압포트 D 50 17 (55.4) 18 공기공급 17.5 8 6 10 2-3 3 1 M5 ( 또는 M6) 진공패드접속포트주1) 외부파괴를하는경우, 플러그를빼십시오주2) 치수는브라켓 B취부시의치수입니다. 5.4 638

이젝터시스템 / ZX Series 유량특성 배기특성유량특성은공급압력이 0.45Mpa 때입니다. ZX1-W05 유량특성의그래프보는방법 배기특성 유량특성 ZX ZR 진공압력 kpa 흡입유량 l/min(anr) 공기소비량 l/min(anr) 진공압력 kpa ZM ZH ZU ZL ZX1-W07 배기특성 유량특성 l/min(anr) 유량특성은이젝터의진공압력과흡입유량의관계를나타내고, 흡입유량이변화하면, 진공압력도변화하는것을나타내고있습니다. 일반적으로는이젝터의표준사용압력에서의관계를나타내고있습니다. 그림에서, Pmax 는최고진공압력, Qmax 는최대흡입유량을나타내고있습니다. 카다로그등에서사양으로게재되어있는값은이값입니다. 진공압력의변화의방법순서대로설명하겠습니다. ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공압력 kpa ZX1-W10 배기특성 흡입유량 l/min(anr) 공기소비량 l/min(anr) 진공압력 kpa 유량특성 l/min(anr) 1 이젝터의흡입구를막고, 밀폐하면, 흡입유량은 0 이되고, 진공압력은최고 (Pmax) 가됩니다. 2 흡입구를서서히열어서공기가흐르게하면 ( 공기누설 ), 흡입유량은증가하지만, 진공압력은낮아집니다. (P1 과 Q1 의상태 ) 3 흡입구를더욱열어서완전열린상태로하면, 흡입유량은최대 (Qmax) 가되지만, 이때의진공압력은거의 0 ( 대기압 ) 이됩니다. 이와같이흡입유량이변화하면, 진공압력도변화합니다. 바꿔말하면, 진공포트 ( 진공배관 ) 에누설이없는경우는진공압력은최고가되지만누설량이증가함에따라서진공압력이저하하여누설량과최대흡입유량이같게되면진공압력은거의 0 이됩니다. 통기성이있는워크나누설이있는워크를흡착시킬경우, 진공압력이그다지높아지지않으므로주의하십시오. 진공관련 제품개별주의사항 진공압력 kpa 흡입유량 l/min(anr) 공기소비량 l/min(anr) 진공압력 kpa 사용하기전에반드시숙지하십시오안전상의주의, 게재제품 / 공통주의사항은, 서문 p.26, 27 을확인하여주십시오. MPa l/min(anr) 주의 ZX 의선정및 Sizing 은당사의카다로그진공용기기 CAT.100, 또는 Best Pneumatics No.3 의기술자료를참조하십시오. 639

ZX Series 밸브유니트 / ZX1-VA 사양 / 형식 유니트품번구성 조작방법 ZX1-VA 진공공급밸브 파이로트방식 전자밸브 에어오퍼레이트 전자밸브 N.C. N.O. N.C. N.O. (VJ114) (VJA324) (ZX1A) (VJA324) N.C. (VJA314) 진공파괴밸브직동방식 N.C. (VJ114) 외부파괴 (ZX1A) 유효단면적 mm 2 (Cv 값 ) 3 (0.17) 메인밸브 0.07 0.45 (0.004) (0.025) 동작압력 0.3~0.6MPa 최대작동빈도사용온도범위연결플레이트기호표준장비품 5Hz 5~50 PV PS PD 브라켓 C 에어오퍼레이트 N.C. (VJ314) 전자밸브사양 VJ114 VJ314, VJ324 DC 24 12 6 5 3V AC100, 110V (50/60Hz) L형콘넥터, 그로메트 L형콘넥터, M형콘넥터, 그로메트 정격전압리드선취출방법램프 서지전압보호회로수동조작 플러그콘넥터에만적용. 정류기부착콘넥터 Ass'y가부속되어있습니다. 전자밸브형식 파괴밸브 밸브형식 전자밸브 N.C.(VJ114) 전자밸브 N.C.(VJ314) 외부파괴 (ZX1A) 에어오퍼레이트 N.C.(VJA314) 전자밸브 N.C.(VJ114) 있음, 없음 Non-lock 푸쉬형, Lock 식드라이버조작형 전자밸브 N.O.(VJ324) 공급밸브 에어오퍼레이트 N.C.(ZX1A) K1 [82] K5 [73] D1 [77] K3 [132] K2 [73] K6 [58] K4 [119] 없음 D2 [100] D3 [41] D2 [100] 없음 [ ] 의수치는질량 (g) 입니다. J1 [77] J2 [100] J3 [41] 형식표시방법 / 상세한사항은, p.634 을참조하십시오. ZX1 V A K1 5 L Z 시스템대응 A: 이젝터시스템 B: 진공펌프시스템 공급밸브파괴밸브조합 파이로트밸브사양 정격전압 수동조작 램프 서지전압보호회로 리드선취출방법 PV, V 포트의관접속구경 640

이젝터시스템 / ZX Series AC 100V 용콘넥터 Ass'y AC 100V용의경우는정류기부착콘넥터 Ass'y 가부속되어있습니다. 정류기부착콘넥터 Ass'y 품번 VJ10 36 A 정격전압 기호 정격전압 리드선의색 1 3 AC 100V 50/60Hz AC 110V 50/60Hz (AC 115V/60Hz) 청색 (2개) 회색 (2개) 밸브유니트 N.C. 타입 파이로트 배기 PE 포트 공기공급 PV 포트 파괴출력 D 포트 공기공급출력 A 포트 리드선의길이기호 L치수 mm 무기호 300 6 600 10 1000 15 1500 20 2000 25 2500 30 3000 착 약 30 ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 PE 파괴유량 연결 회로도 (PV 포트 ) 공기공급압포트 N.O. 타입 착 PE 파괴유량 연결 회로도 (PV 포트 ) 공기공급압포트 주 ) 치수는브라켓 C 의취부시 치수는스페이서취부시의치수입니다. 641

ZX Series 석션필터유니트 /ZX1-F 사양 유니트품번사용압력범위사용온도범위여과도여과재질량 ZX1-F 부압 ~0.5MPa 5~50 30 μm PVF 35g 주 ) 사용압력범위및사용온도범위외에서의사용은고장의원인이됩니다. 필터 표시기호 2-R1.8 3.6 필터 M5( 또는 M6) (OUT 포트 ) 2-3.5 M5( 또는 M6) (IN 포트 ) 피치 =11 브라켓 A ( 표준장착 ) 주 ) 치수는브라켓 A 의취부시치수입니다. 필터케이스주의 1 케이스재질은폴라카보네이트이므로신나, 사염화탄소클로로포름, 초산에스테르, 아닐린, 시클로헥산, 트리클로르에틸렌, 유산 ( 酸 ), 유산 ( 乳酸 ) 수용성절삭유 ( 알카리성 ) 등의화학약품을사용하거나그런환경에서의사용은피하십시오. 2 직사광선을피해서사용하십시오. 642

진공압력이젝터시스템 / ZX Series 진공압력스위치유니트 / 진공용압력스위치 : ZSE2-0X 고속응답 / 10ms 소형사이즈 / 39H 20W 15D ( 표준형접속부는제외 ) 배선성향상 / 콘넥터타입확산형반도체압력센서사용 압력검출부 ( 실리콘확산형반도체센서를사용 ) 센서칩 일반용진공압력스위치 유니트품번사용유체설정압력범위응차정도 사용전압관접속구경 ZSE2-0X 공기 0~-101kPa 3% 풀스팬이하 ±3% 풀스팬 (5 ~ 40 ) ±5% 풀스팬 (0 ~ 60 ) DC12~24V ( 리플 ±10% 이하 ) M5 0.8 질량 50g 출력 오픈콜렉터 30V, 80mA 동작표시등 일때점등 소비전류 17mA 이하 (DC 24V 일때 ) 사용온도범위 0 ~ 60 최고사용압력 -0.2MPa 이젝터사용의경우, 순간적으로 0.5MPa의압력이가해져도문제없습니다주 ) 사용압력범위외및사용온도범위외에서의사용은고장의원인이됩니다. 배선 ZSE2 의접속방법 * * 부하 형식표시방법 ZSE2 0X 15 PLC 와의접속예 COM 단자가 인경우 입력단자 ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 필터케이스 주의 1 케이스의재질은폴리카보네이트이므로, 신나, 사염화탄소, 클로로포름, 초산에스테르, 아닐린시클로헥산, 트리클로르에틸렌, 유산 ( 硫酸 ), 유산 ( 乳酸 ), 수용성절삭유 ( 알카리성 ) 등의화학약품의사용, 또는영향권에서의사용은피하십시오. 2 직사광선을피해서사용하십시오. PV, V 포트의관접속구경무기호 M5 0.8 Y M6 1 ( 준표준 ) 진공압력의설정방법 ZSE2 의경우 압력설정트리머에서 압력을설정합니다. 시계방향으로고진공의설정이됩니다. 배관사양무기호그로메트 (0.6m) L 그로메트 (3m) C 콘넥터 (0.6m) CL 콘넥터 (3m) CN 콘넥터없음 흡착확인에사용하는경우에는확실하게흡착될수있는진공압력의최저값을설정합니다. 그이하로설정한경우흡착미스나불충분한흡착상태에서도스위치 이됩니다. 너무높게설정되면, 흡착이양호하더라도, 스위치가 이되지않는경우가있으므로, 주의하십시오. 설정에관하여 주의 진공압력을설정할때에는다음의사항을주의하십시오. 드라이버는손끝에서가볍게돌리도록하십시오. 드라이버의손잡이부가큰것이나선단폭이트리머홈에맞지않는것은트리머홈을파손시킬우려가있으므로사용하지마십시오. 고진공 공급압력 설정압력 대기압 0 확실하게흡착 흡착불안정 흡착하지않음 643

ZX Series 진공압력스위치유니트 / 진공용압력스위치 : ZSE2-0X 진공압력스위치유니트의사용방법 회로 / 워크흡착의경우 이젝터의경우 워크흡착확인에사용하는경우, 워크가확실하게흡착하는압력으로설정하십시오. 경우에따라서불충분한흡착에도스위치가 이되는경우가있습니다. 흡착에작은지름흡착노즐을사용하는경우전자부품 / 정밀소형부품을흡착하는노즐은 2 이하가되는경우가있습니다. 1 정도의경우, 이젝터, 진공펌프의능력에따라서도다르지만, 과 의압력차가작게됩니다. 그런경우에는응차가작고정도가높은흡착확인스위치 ZSP1 을사용해야합니다. 또한흡인력이큰이젝터에서는오히려검지할수없으므로적절한능력의이젝터를사용하십시오. 이젝터, 진공펌프의압력을안정시켜야합니다. 1 개의진공원을분기하여각각의라인에압력스위치를사용하는경우에는흡착과비흡착의개수에따라진공원의압력이변동하기때문에, 스위치의설정값에맞지않는경우가있습니다. 특히, 작은지름노즐에서의흡착의경우에는압력의변동에따른영향이크게됩니다. 아래의대책을세우십시오. 진공용감압밸브 ( 진공조압밸브 ) 진공펌프의경우 진공라인 가압라인 니들에서, 흡착 비흡착의변동압을작게한다. 탱크및진공용감압밸브 ( 진공조압밸브 ) 를넣어서원압을안정시킨다. 따로진공용전환밸브를넣어서미스가생기면곧 가됨으로다른패드에영향을감소시킨다. 진공용압력스위치 / ZSE2-0X-15 표시기호 콘넥터타입 : ZSE2-0X-15C () 이젝터에부착할경우는아답터를떼어주십시오. 아답터 644

진공압력이젝터시스템 / ZX Series 진공압력스위치유니트 / 진공용압력스위치 : ZSE3-0X 고장예지출력기능내장 진공시스템 ( 이젝터 ) 의소음기의눈막힘에의한성능저하, 패드의균열, 진공배관의새어나감등으로진공도달도가저하한경우, 이상을신속하게검지하여시스템정지를사전에외부에출력합니다. 2 점의독립된압력설정이가능 진공흡착패드지름의변경에의해설정압력의 2 출력이필요한경우나, 정압라인의라인전환에의한 2 압확인이필요한경우에적당합니다. 충실한자가진단기능 과전류검지기능 과전압검지기능 데이터에러 데이터유지기능전용의 IC(EEPROM) 를사용하고있으므로, 설정된데이터는전원을꺼도 10만시간 ( 약 11년 ) 유지하고있습니다. 일반용진공압력스위치 유니트품번 ZSE3-0X 사용유체공기 비부식성가스설정압력범위 -101~0kPa 히스테리시스모드가변 (3 digit이상 ) 응차윈도우분할모드고정 (3 digit) 정도 ±1% F.S. 이하사용전압 DC 12~24V ( 리플 ±10% 이하 ) 관접속구경 M5 0.8 질량 50g 동작표시등 일때점등 소비전류 25mA 이하 사용온도범위 0~60 최고사용압력 0.2MPa 배선 배선예 주 주 일 DC DC ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 필터케이스에관하여주의 1 케이스의재질은폴리카보네이트이므로, 신나, 사염화탄소, 클로로포름, 초산에스테르, 아닐린, 시클로헥산, 트리클로르에틸렌, 유산 ( 硫酸 ), 유산 ( 乳酸 ), 수용성절삭유 ( 알카리성 ) 등의화학약품의사용, 또는영향권에서의사용은피하십시오. 2 직사광선을피해서사용하십시오. 형식표시방법 ZSE3 출력사양 21 22 23 24 0X 21 NPN 오픈콜렉터 2출력아날로그출력없음 NPN 오픈콜렉터 2출력아날로그출력부착 NPN 오픈콜렉터 1출력 고장예지출력아날로그출력없음 NPN 오픈콜렉터 1출력 고장예지출력아날로그출력부착 배선사양무기호그로메트타입리드선길이 0.6m L 그로메트타입리드선길이 3m C 콘넥터타입리드선길이 0.6m CL 콘넥터타입리드선길이 3m CN 콘넥터없음단, 아날로그는그로메트타입만해당됩니다. 진공압력의설정방법 Best Pneumatics No4. p.511 를참조하십시오. 진공압력스위치유니트의사용방법 Best Pneumatics No3., p.644 을참조하십시오. 645

ZX Series 진공압력스위치유니트 / 진공용압력스위치 : ZSE3-0X 진공용압력스위치 / ZSE3-0X-21, 22, 23, 24 그로메트타입 : ZSE3-0X- 콘넥터타입 : ZSE3-0X- C 646

진공압력이젝터시스템 / ZX Series 진공압력스위치유니트 / 흡착확인스위치 : ZSP1- S B 작은지름흡착노즐 / 0.3~ 1.2 석션필터부착배선성향상 / 콘넥터타입확산형반도체센서사용 필터케이스주의 1 케이스의재질은폴리카보네이트이므로, 신나, 사염화탄소, 클로로포름, 초산에스테르, 아닐린시클로헥산, 트리클로르에틸렌, 유산 ( 硫酸 ), 유산 ( 乳酸 ), 수용성절삭유 ( 알카리성 ) 등의화학약품의사용, 또는영향권에서의사용은피하십시오. 2 직사광선을피해서사용하십시오. 기타주의 적용흡착노즐범위외의흡착노즐이나흡착패드를사용하게되면, 흡착하지않게되는경우가있으므로, 주의하십시오. 흡착확인스위치 / 사양 적용흡착노즐범위 그래프 1/ZSP1-S 공기압회로와원리 배선방법은 ZSE2 와같습니다. 기호 S B ZSP1 기종적용적용흡착노즐지름 0.3~ 0.7 적용흡착노즐지름 0.5~ 1.2 회로와배선 유니트품번사용유체사용압력범위적용흡착노즐지름응차내부오리피스지름 ZSP1-S 그래프 2/ZSP1-B S 0X 15 PV,V 포트의관접속구경무기호 M5 0.8 Y M6 1 ( 준표준 ) 무기호 L C CL ZSP1-B 공기 -20kPa~-101kPa 0.3~ 0.7 ( 그래프 1 참조 ) 0.5~ 1.2 ( 그래프 2 참조 ) 0.5kPa 0.5 0.8 질량 62g 공급전압 DC 12 ~ 24V ( 리플 ±10% 이하 ) 출력오픈콜렉터 30V 80mA 동작표시등 일때점등 소비전류 17mA ( DC 24V, 일때 ) 사용온도범위 0 ~ 60 관접속구경 M5 0.8 주 ) 사용압력범위외및사용온도범위외에서의사용은고장의원인이됩니다. 형식표시방법 적용흡착노즐범위 압력센서 흡착노즐 ( 0.3~ 1.2) 공급압력과흡착노즐지름과의관계는, 아래의그래프와같습니다. 적용흡착노즐범위 공기압에의한브리지회로를구성하여, 흡착노즐 (S4) 을비흡착상태로하여, 조정용니들 S2 로압력센서에가하는압력을밸런스 (P1 P2) 되게조정합니다. 흡착노즐 (S4) 에부품을흡착할때생기는작은차압 (P2-P1) 을압력센서로검지합니다. 배관사양 그로메트 (0.6m) 그로메트 (3m) 콘넥터 (0.6m) 콘넥터 (3m) ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 주 주회로 릴레이 647

ZX Series 진공압력스위치유니트 / 흡착확인스위치 :ZSP1- S B 응차 흡착확인조정용니들의설정방법 응차라는것은출력신호가 일때의압력과출력신호가 일때의압력의차를말합니다. 설정압력은 일때압력이됩니다. 1 진공및전원을공급하여, 조정용니들이멈출때까지우회전시켜서완전히닫힌상태로합니다. 2 흡착노즐에워크를부착하지않은상태에서조정용니들을좌회전시켜서, 표시등이점등하는위치를확인합니다. 3 2의상태에서조정용니들을 1/4~1 회전정도에서, 오른쪽으로되돌립니다. 4 워크를흡착노즐에흡착시켜서흡착이확실하게되었을때에표시등이점등하도록조정용니들을다시조정을하십시오. 0 조정용니들완전히닫힘 표시등 표시등 흡착확인스위치 / ZSP1-0X-15 콘넥터타입 : ZSP1-0X-15 조정용니들 조정용니들 회로도 리드선길이 콘넥터 리드선길이 진공공급포트 M5 0.8 아답터 () 2-3.3 취부구멍 주 ) 이젝터부착의경우, 아답터를빼주십시오. 648

이젝터배기 필터 이젝터시스템 / ZX Series 밸브유니트없음 구성과조합이젝터유니트 형식 ZX1 진공용압력스위치 (ZSE2) 의경우 ZX1 -E 주 1) E P F + 진공용압력스위치 (ZSE2) 흡착확인스위치 (ZSP1) 필터유니트 (F) 압력설정용 이젝터 + 소음기 공기공급 PV 포트 측 진공패드접속 V 포트 진공스위치유니트이젝터유니트회로도 ( 진공용압력스위치외의조합회로도는 2점연결선의테두리부분만아래의그림처럼됩니다.) ( 표준장착 ) 주 1) 외부파괴를할경우플러그를빼십시오. 주 2) 치수는브라켓 A 의취부시 치수는, 스페이서 1 취부시의치수입니다. 진공용압력스위치의경우 (E) 흡착확인스위치의경우 (P) 압력센서 필터유니트의경우 (F) ( 대기개방 ) ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 흡착확인스위치 (ZSP1) 의경우 ZX1 -P 필터유니트 (F) 의경우 ZX1 -F ( 표준장착 ) 이젝터 + 소음기 이젝터 + 소음기 ( 표준장착 ) 649

ZX Series 밸브유니트 : K1 타입 구성과조합 이젝터유니트 형식 ZX1 + 밸브유니트 (K1) K1 + E D P F 무기호 진공용압력스위치 (ZSE2) 진공용압력스위치 (ZSE3) 흡착확인스위치 (ZSP1) 필터유니트 (F) 스위치, 필터없음 이젝터배기 파이로트배기 PE 포트 공기공급 PV 포트 진공패드접속 V 포트 회로도 진공용압력스위치이외의조합회로도는이점연결선의테두리부분만아래그림처럼됩니다. 진공용압력스위치의경우 (E) 진공용압력스위치 (ZSE2) 의경우 ZX1 K1 E 흡착확인스위치의경우 (P) ( 대기개방 ) 스페이서 ( 측면취부시에사용 ) 압력센서 메뉴얼 압력설정용 trimmer 압력설정용트리머 필터유니트의경우 (F) 이젝터 + 소음기 취부구멍 스위치필터가없는경우 공급용밸브 파괴용밸브 진공스위치 파괴유량조정니들 연결플레이트 포트 또는 M6) (PV 포트 ) 공기공급압포트 A 브라켓 ( 표준장착 ) M5 ( 또는 M6) (V 포트 ) 진공패드접속포트 주 ) 치수는브라켓 A 의취부시, 치수는스페이서 1 의취부시의치수입니다. 650

이젝터시스템 / ZX Series 진공용압력스위치 (ZSE3) 의경우 ZX1 -K1 -D 흡착확인스위치 (ZSP1) 의경우 ZX1 -K1 -P 스페이서 1/ZX1-S1 배기 Rc 1/8 DOWN 측사용 ) 조정용니들 ZX ZR 21.610 9.3 34.4 ZM ZH ZU 공급용밸브 ZL 연결 V 포트 흡착노즐배관포트 ZY ZF 압 피치 십자냄비작은나사 ZP ZCU AMJ 진공관련 필터유니트의경우 ZX1 -K1 -F 스위치, 필터없는경우 ZX1 -K1 표준장착 38 651

ZX Series 이젝터배기 밸브유니트 : K3 타입 구성과조합 이젝터유니트 + 밸브유니트 (K3) 진공압력스위치 (ZSE2) + 흡착확인스위치 (ZSP1) 필터유니트 (F) 파이로트배기 PE 포트 공기공급 PV 포트 진공패드접속 V 포트 스위치, 필터없음 형식 ZX1 K3 E P F 무기호 회로도 ( 진공용압력스위치이외의조합회로도는, 2 점연결선의테두리부분만아래그림처럼됩니다.) 진공용압력스위치의경우 (E) 진공용압력스위치 (ZSE2) 의경우 ZX1 -K3 -E 흡착확인스위치의경우 (P) 스페이서 ( 측면취부일때사용 ) 압력설정용트리머 필터유니트의경우 (F) 이젝터 스위치필터가없는경우 연결플레이트 압 표준장착 주 ) 치수는브라켓 A 의취부시, 치수는스페이서 1 의취부시의치수입니다. 652

이젝터시스템 / ZX Series 흡착확인스위치 (ZSP1) 의경우 ZX1 -K3 -P 스페이서 1/ZX1-S1 ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 필터유니트 (F) 의경우 ZX -K3 -F-F 스위치, 필터없는경우 ZX1 -K3 653

ZX Series 밸브유니트 : K6 타입 구성과조합 이젝터유니트 형식 ZX1 K6 진공용압력스위치 (ZSE2) + 밸브유니트 (K6) + 흡착확인스위치 (ZSP1) 필터유니트 (F) E P F 무기호 스위치, 필터없음 파괴 파이로트 파이로트공기공급 파이로트배기 PE 포트 외부파괴공기공급 공기공급 PV 포트 이젝터배기 진공패드접속 V 포트 회로도 ( 진공용압력스위치이외의조합회로도는, 2 점쇄선의테두리부분만아래그림처럼됩니다 ) 진공용압력스위치의경우 (E) 진공용압력스위치 (ZSE2) 의경우 ZX1 -K6-E 흡착확인스위치의경우 (P) 파이로트포트 측 압력센서 필터유니트의경우 (F) 스위치필터가없는경우 공급용에어오퍼레이트 (ZX1A) 외부파괴 (ZX1A) 연결플레이트 18 착 주 ) 치수는브라켓 B 의취부시 치수는스페이서 2 취부시의치수입니다. 654

이젝터시스템 / ZX Series 흡착확인스위치 (ZSP1) 의경우 ZX1 -K6-P 2 13 조정용니들 90.7 40.8 10 1 스페이서 1 / ZX1-S1 2-R1.8 1 10 1 ZX 2-R1.8 1 10 19 20 41 51 3.6 17.8 18 6 19 3.6 취부구멍 ZR ZM ZH ZU 흡착확인스위치 ZSP1 ZL ZY ZF 6.5 흡착노즐배관포트 M5 0.8 ( 또는 M6 1) 15.5 10.2 18 (63.5) ZP ZCU AMJ 11 17.8 2-3.3 취부구멍 브라켓 A ( 표준장착 ) 4.5 4 진공관련 필터유니트 (F) 의경우 ZX1 -K6-F 스위치, 필터없는경우 ZX1 -K6 2 13 66.2 1 스페이서 1 ( 측면취부시에사용 ) 69.4 49.2 2 7 20 41 51 2-R1.8 3.6 1 10 8.8 19 4.8 필터유니트 브라켓 B 표준장착 8 2-3.6 6.8 17.5 17 38 35.4 8 11.5 20 1 11 8.8 2-3.5 2-3 3 1 M5 ( 또는 M6) (V 포트 ) 진공패드접속포트 5.4 655

ZX Series 밸브유니트 : K8 타입 구성과조합 이젝터유니트 형식 ZX1 K8 진공용압력스위치 (ZSE2) + 밸브유니트 (K8) + 흡착확인스위치 (ZSR1) 필터유니트 (F) E P F 무기호 스위치, 필터없음 파괴밸브용파이로트공기공급 파이로트배기 PE 포트 공급밸브용파이로트공기공급 공기공급 PV 포트 파이로트포트 파이로트포트 이젝터배기 진공패드접속 V 포트 회로도 ( 진공용압력스위치외의조합회로도는, 2점쇄선의테두리만아래그림처럼됩니다.) 진공용압력스위치의경우 (E) 진공용압력스위치 (ZSE2) 의경우 ZX1 -K8-E 흡착확인스위치의경우 (P) M3 0.5 ( 공급밸브용파이로트포트 ) 4.3 78.6 3 압력설정용트리머 31 스페이서 1 ( 측면취부시에사용 ) 1 압력센서 ( 대기개방 ) 21.6 10 5.5 20 41 51 필터유니트의경우 (F) M3 0.5 ( 파괴밸브용파이로트포트 ) 2-R1.8 1 10 19 3.6 7.6 13.6 스위치, 필터없는경우 파괴용밸브 N.O. ( 에어오퍼레이트 VJA324) 메뉴얼 (Non-lock) (PE 포트 ) 파괴용밸브 ( 에어오퍼레이트 VJA314) 파괴유량조정니들연결플레이트 M5 ( 또는 M6) (PV 포트 ) 공기공급압포트 진공용압력스위치 2-3.3 취부구멍 15.5 브라켓 A ( 표준장착 ) 10.2 4 18 63.5 M5 ( 또는 M6) (V 포트 ) 진공패드접속포트 주 ) 치수는브라켓 A 의취부시, 치수는, 스페이서 1 취부시의치수입니다. 656

이젝터시스템 / ZX Series 흡착확인스위치 (ZSP1) 의경우 ZX1 -K8-P 스페이서 1/ZX1-S1 조정용니들 3.6 10 19 ( 표준장착 ) 18 4 (V 포트 ) 흡착노즐배관포트 ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 필터유니트 (F) 의경우 ZX1 -K8-F 스위치, 필터없는경우 ZX1 -K8 3.6 ( 표준장착 ) 657

ZX Series 밸브유니트 : J1 타입 구성과조합 이젝터유니트 형식 ZX1 진공용압력스위치 (ZSE2) + 밸브유니트 (J1) + 흡착확인스위치 (ZSP1) 필터유니트 (F) J1 E P F 무기호 스위치, 필터없음 파이로트배기 PE 포트 이젝터배기 개별공기공급 PV 포트 진공패드접속 V 포트 회로도 ( 진공용압력스위치이외의조합회로도는, 2 점쇄선의테두리부분만아래그림처럼됩니다.) 진공용압력스위치의경우 (E) 진공용압력스위치 (ZSE2) 의경우 ZX1 -J1 -E 흡착확인스위치의경우 (P) 2 메뉴얼 (Non-lock) 11.3 압력설정용트리머 78 31 스페이서 1 ( 측면취부시에사용 ) 압력센서 ( 대기개방 ) 21.6 5.8 5.5 20 41 51 필터유니트의경우 (F) 이젝터 + 소음기 2-R1.8 1 3.6 10 17.6 19 13.6 스위치, 필터없는경우 진공스위치 ZSE2 공급용밸브 VJ114 연결플레이트 파괴유량조정니들 2-3.3 취부구멍 59.5 10.2 64.6 (68.6) 28.5 5.8 M3 (PE포트) 1 4.7 M5 ( 또는 M6) 5 (PV포트) 공기공급압포트 76 10 17.6 6.5 18 15.5 4.2 브라켓 A ( 표준장착 ) 4 M5 ( 또는 M6) (V 포트 ) 진공패드접속포트 주 ) 치수는브라켓 A 의취부시, 치수는스페이서 1 의취부시의치수입니다. 658

이젝터시스템 / ZX Series 흡착확인스위치 (ZSP1) 의경우 ZX1 -J1 -P 조정용니들 90.7 41 10 스페이서 1/ZX1-S1 필터유니트 (F) 의경우 ZX1 -J1 -F 2-R1.8 1 10 19 3.6 17.8 흡착확인스위치 ZSP1 6.5 스위치, 필터없는경우 ZX1 -J1 흡착노즐배관포트 M5 0.8 ( 또는 M6 1) 10.2 11 17.8 4.5 2-3.3 취부구멍 ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 66.2 6.8 1 20 41 51 2-R1.8 3.6 1 10 8.8 19 4.8 필터유니트 69.4 50.4 브라켓 B ( 표준장착 ) 7 8 11.5 2-3.6 17 17 38 50 1 20 M5 ( 또는 M6) (V 포트 ) 진공패드접속포트 35.4 38 11 8.8 2-3.5 2-3 3 1 5.4 8 659

ZX Series 이젝터배기 밸브유니트 : J2 타입 구성과조합 이젝터유니트 형식 ZX1 진공용압력스위치 (ZSE2) + 밸브유니트 (J2) + 흡착확인스위치 (ZSP1) 필터유니트 (F) J2 E P F 무기호 스위치, 필터없음 PD 파이로트배기 PE 포트 공기공급 PV 포트 진공 Pilot 접속 V 포트 회로도 ( 진공용압력스위치이외의조합회로도는, 2 점쇄선의테두리부분만아래그림처럼됩니다.) PE 진공용압력스위치의경우 (E) ZSE2 진공용압력스위치 (ZSE2) 의경우 ZX1 -J2 -E PS PV V 흡착확인스위치의경우 (P) ZSP1 ( 대기개방 ) 메뉴얼 (Lock 식의경우는누른후돌리십시오.) 5.8 23 99.6 압력설정용트리머 31 스페이서 1 ( 측면취부시에사용 ) 20 41 51 압력센서필터유니트의경우 (F) ZX1-F V 2-R1.8 1 10 19 3.6 7.6 13.6 스위치, 필터없는경우 V V 공급용밸브 N.O VJ324M 메뉴얼 진공용압력스위치 (ZSE2) 50.8 M3 (PE 포트 ) 파괴유량조정니들연결플레이트 5.8 1 4.7 5 25 28 78.5 62 M5 (PV포트) 공기공급압포트 6.5 18 50 58 59.5 10 17.6 2-3.3 취부구멍 4.2 15.5 브라켓 A ( 표준장착 ) 10.2 4 18 (82.5) M5( 또는 M6) (V 포트 ) 진공패드접속포트 주 ) 치수는브라켓 A 의취부시, 치수는스페이서 1 의취부시의치수입니다. 660

이젝터시스템 / ZX Series 흡착확인스위치 (ZSP1) 의경우 ZX1 -J2 -P 112.3 41 스페이서 1 ( 측면취부시에사용 ) 스페이서 1/ZX1-S1 ZX 20 41 51 ZR 조정용니들 2-R1.8 3.6 1 10 17.6 19 13.6 3.6 ZM ZH ZU ZL ZY 11 17.8 6.5 흡착노즐배관포트 M5 0.8 ( 또는 M6) 15.5 2-3.3 브라켓 A ( 표준장착 ) 4.5 18 10.2 필터유니트 (F) 의경우 ZX1 -J2 -F 스위치, 필터없는경우 ZX1 - J2 89 1 91.2 7 11.5 20 1 20 41 51 브라켓 B ( 표준장착 ) 8 2-3.6 2-R1.8 1 10 19 3.6 8.8 4.8 필터 50 17 17 38 50 35.4 8 4 ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 11 8.8 2-3.5 3 1 M5 ( 또는 M6) (V 포트 ) 진공패드접속포트 5.4 661

ZX Series 이젝터시스템용 / 매니폴드사양기능 최대유니트연수기능 Max. 8 연매니폴드의 PV 포트에서공기공급을하는것에의해공통공급됩니다. 직관개별스페이서 R1을이용한경우 표준사양 기능 포트명 PV포트 EXH포트질량 매니폴드에서의공통공급을자르고유니트를개별사양으로합니다. 관접속구경기능 Rc 1/8 공기공급접속 Rc 1/8 집합배기 1 연 : 73g이며 1연증가할때마다 50g 증가합니다. (1) PD 포트는전부블랭킹이됩니다. (2) ZX1103 타입의매니폴드 4 연이상으로는 EXH 포트를양측배기로하십시오. 공급방법 매니폴드좌우좌측우측공급포트위치 PV PS PV PS L ( 좌측 ) R ( 우측 ) B ( 양측 ) : 공급합니다. : 플러그가부착되어있습니다. EXH포트는대기개방입니다. 주 ) 각각의밸브유니트의모든포트에는플러그가부착되어있습니다. 포트 매니폴드사양서 ZX 시리즈의매니폴드타입을주문할때에는 p.992 의 ZX 시리즈메니폴드사양서를이용하십시오. 직관개별스페이서 R1을이용한경우의공급방법 개별사양이므로, 밸브유니트의 PV 포트에서공급합니다. PE 는대기개방입니다. 다른포트에는플러그가부착되어있습니다. 주 ) 직관개별스페이서 R1 을이용하면다른유니트에모형스페이서 R16 이부착됩니다. 기능은표준사양과마찬가지로매니폴드에서의공급이공통공급됩니다. 매니폴드형식표시방법 매니폴드하는진공유니트및블랭킹플레이트, 직관개별스페이서를매니폴드베이스형식과병기하여지시하십시오. < 매니폴드베이스 > ZZX1 06 R < 직관개별스페이서 > ZX1 R1 1 01 02... 연수 공급 배기포트나사의종류 무기호 F T 08 1 연 2 연... 8 연 Rc(PT) G(PF) NPTF ( 예 ) ZXX106-R 1 개 ( 매니폴드베이스 ) ZX1101-K15LZ-EC 5 개 ( 진공유니트개별 ) ZX1-BM1 1 개 ( 블랭킹플레이트 ) 공급포트위치 1) R 우측 ( 우측PV포트에서공기공급합니다.) L 좌측 ( 좌측PV포트에서공기공급합니다.) B 양측 ( 양측PV포트에서공기공급합니다.) 1 밸브유니트를앞으로하여좌우를판단하여주십시오. 2 EXH 포트는양측개방입니다. PD 포트는항상플러그가부착됩니다. 밸브의포트는전부플러그가부착됩니다. 밸브측에서보면오른쪽에서 1 연째 배열 ( 밸브측에서보면오른쪽에서밸브연수의 1 연째 ) 무기호 1... 연수모두장착 1 연째만... 8 8연째만 스페이서를교대로장착하는경우에는병기하여지시하여주십시오. ( 예 ) 1연째와 3연째에장착 ZZX106-R 1개 ZX1101- K15LZ-EL 6 개 ZX1-R1-1 ZX1-R1-3 ZX1-R16 4개 662

이젝터시스템 / ZX Series 매니폴드구성 / 시스템회로예 직관개별공기압공급을사용하지않는경우 직관개별공기압공급을사용한경우 좌측 ZX ZR 좌측 ZM ZH 집합배기 모형스페이서 R16 측 집합배기 ZU 우측 공통공기공급 파이로트배기 개별공기공급 직관개별스페이서 R1 측 우측 공통공기공급 ZL ZY ZF PV: 공기공급포트 PS: 공급밸브공급압포트 PD: 파괴밸브공급압포트 PE: 파이로트배기포트 EXH: 집합배기포트 모형스페이서 R16 직관개별스페이서 R1 ZP ZCU AMJ < 시스템회로예 > < 시스템회로예 > 진공관련 모형스페이서 R16 직관개별스페이서 R1 663

ZX Series 이젝터시스템 매니폴드 집합배기 EXH 포트 공통공기공급 PV 포트 메뉴얼 (Lock 의경우는누르면서돌리십시오.) 메뉴얼 (Lock의경우는누르면서그대로돌리십시오..) 몸체 ( 에어오퍼레이트타입 ) (ZX1A) M5 0.8 ( 파이로트포트 ) M5 0.8 ( 외부파괴포트 ) 엔드플레이트매니폴드베이스 아답터 직관개별스페이서 R1 4-5.5 취부구멍 배기아답터 Rc 1/ 8 조정용니들 흡착확인스위치 압력설정트리머진공스위치 필터아답터소음기+이젝터 (VJ324) Closed) 피치 =21 기호 연수 1 L1 33 L2 45 L3 50 2 54 66 71 3 75 87 92 4 96 108 113 5 117 129 134 6 138 150 155 7 159 171 176 (mm) 8 180 192 197 664

이젝터시스템 / ZX Series ( 직관개별공기압공급을사용한경우 ) B 지시도 시스템회로예 ( 표준 ) ( 준표준 ) ( 직관개별진공압공급을사용한경우 ) 직관개별스페이서 R1 ZX ZR 직관개별스페이서 R1 모형스페이서 R16 모형스페이서 R16 직관개별스페이서 R1 A 지시도 외부파괴포트 파이로트포트 압력센서 개별공기공급포트 PV 모형스페이서 P16 모형스페이서 P16 외부파괴포트 파이로트포트 압력센서 ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU 직관개별스페이서 R1 직관개별스페이서 R1 AMJ 파이로트배기포트 (PE 포트 ) 개별공기공급포트 PV 아답터 D 개별공기공급포트 PV 아답터 D 진공관련 피치 =21 M5 ( 또는 M6) 개별공기공급포트 (PV 포트 ) M5 ( 또는 M6) 개별공기공급포트 (PV 포트 ) M5 0.8 ( 또는 M6) 진공패드접속포트 (V 포트 ) M5 0.8 ( 또는 M6) 진공패드접속포트 (V포트) 피치 =21 M5 0.8 ( 또는 M6) 흡착노즐배관포트 665

ZX Series 이젝터시스템 진공패드접속 V 포트 진공패드접속 V 포트 매니폴드 : K1 타입 집합배기 EXH 포트 공통공기공급 PV 포트 K1 타입 ZZX1 - ZX1 -K1 L -E - 취부구멍 압력설정용트리머 메뉴얼 피치 메니폴드베이스엔드플레이트 이젝터 + 소음기 공급용밸브 파괴용밸브 파괴유량조정니들 리드선길이 약 300 진공스위치 필터유니트 피치 2-Rc ⅛ 공통 EXH 포트 2-Rc ⅛ (PV 포트 ) 공통공기공급압포트 기호 연수 1 L1 33 L2 45 L3 50 2 54 66 71 3 75 87 92 4 96 108 113 5 117 129 134 6 138 150 155 7 159 171 176 (mm) 8 180 192 197 666

이젝터시스템 / ZX Series 회로도 ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 진공패드접속포트 M5 0.8 ( 또는 M6) 피치 =21 667

ZX Series 이젝터시스템 진공패드접속 V 포트 진공패드접속 V 포트 매니폴드 : K3 타입 집합배기 EXH 포트 공통공기공급 PV 포트 K3 타입 ZZX1 - ZX1 -K3 -E - 4-5.5 취부구멍압력설정용트리머 메뉴얼 (Lock 식의경우는누른후돌리십시오.) 피치 매니폴드베이스 엔드플레이트 이젝터 + 소음기 공급용밸브 VJ324M 메뉴얼 파괴용밸브 리드선길이 약 300 진공스위치 파괴유량조정니들 필터유니트 피치 2-Rc ⅛ 공통 EXH 포트 2-Rc ⅛ (PV 포트 ) 공통공기공급압포트 기호 연수 1 L1 33 L2 45 L3 50 2 54 66 71 3 75 87 92 4 96 108 113 5 117 129 134 6 138 150 155 7 159 171 176 (mm) 8 180 192 197 668

이젝터시스템 / ZX Series 회로도 ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 진공패드접속포트 M5 X 0.8 ( 또는 M6) 피치 =21 669

진공유니트 ZX Series/ 진공펌프시스템 밸브유니트 NC 타입 구성기기 진공스위치유니트 ZX100 형식표시방법 K1 공급밸브 파괴밸브의조합 파이로트밸브사양 리드선취출방법 전자밸브정격전압 ' 램프 서지전압보호회로수동조작 5 L Z E C 진공스위치유니트필터유니트 PV.V 포트관접속구경 진공스위치리드선취출방법 밸브유니트 NO 타입 진공스위치유니트 ZX100 K3 5 L Z E C 밸브유니트 NC 타입 필터유니트 ZX100 K1 5 L Z F 주의 AC 타입의경우, 정류기를부착하여, DC 솔레노이드를사용하고있습니다. 사용하기전에는반드시정류기부착콘넥터 Ass'y 와전용솔레노이드를조합하여주십시오. 다른조합으로는코일손상, 작동불량등의트러블이발생합니다. 메니폴드의주문방법은 p.684 을참조하십시오. 교환용유니트의주문방법은 p.694~695 을참조하십시오. 밸브유니트 / 공급밸브 파괴밸브조합 p.671의표1 밸브유니트 / 공급밸브 파괴밸브의조합을참조하십시오. 파이로트밸브사양 DC: 1W 타입 무기호 ( 램프부착 : 1.05W) AC 타입 DC: 0.45W 타입 Y ( 램프부착 : 0.5W) 0.45W 타입은 DC24V, 12V에만해당됩니다. 전자밸브정격전압 1 AC100V50/60Hz 3 AC110V50/60Hz 5 DC24V 6 DC12V V DC6V S DC5V R DC3V 에어오퍼레이트무기호 (K6, K8, J3, J4, D3, D4에적용 ) 플러그콘넥터에만적용. 정류기부착 콘넥터 Ass'y가함께들어있습니다. 리드선취출방법 L 리드선길이 0.3m LN 리드선없음 (DC에만적용 ) LO 플러그콘넥터없음 M 콘넥터리드선길이 0.3m 타입 MN 리드선없음 (DC에만적용 ) MO 콘넥터없음 G 그로메트 리드선길이 0.3m(DC에만적용 ) H 타입 리드선길이 0.6m(DC에만적용 ) 무기호 에어오퍼레이트 주 ) 공급밸브 파괴밸브의조합이 K1타 입인경우, M플러그콘넥터타입은 취부하지않습니다. 콘넥터부착리드선품번은 p.671 의표 2 를참조하십시오. 주의 서지전압보호회로적색 램프, 서지전압보호회로 PV V 포트관접속구경 무기호 Y 수동조작무기호 Non-lock식푸쉬식 B Lock식드라이버조작형 램프 서지전압보호회로 무기호 Z S 코일 E PS PB F 없음램프 서지전압보호회로부착 서지전압보호회로부착 M5 0.8 M6 1( 준표준 ) 진공스위치리드선취출방법 무기호그로메트 리드선길이 0.6m L 타입 리드선길이 3m C 리드선길이 0.6m CL 리드선길이 3m 콘넥터콘넥터없음 CN 타입 ( 리드선부착도없음 ) 진공스위치유니트 / 필터유니트의경우진공용압력스위치 ( 일반용 ) 흡착확인노즐지름 0.3~ 0.7 스위치노즐지름 0.5~ 1.2 석션필터만해당됩니다. 진공용디지털압력스위치유니트의경우 D DP kpa 표시 콘넥터부착리드선품번은 p.671 의표 3 을참조하십시오. 21 22 23 24 석션필터부착 2 출력 / 아날로그출력없음 2 출력 / 아날로그출력부착 1 출력, 고장예지출력부착 / 아날로그출력없음 1 출력, 고장예지출력부착 / 아날로그출력부착 주 ) 아날로그출력부착타입은그로메트타입뿐입니다. 정격전압이 AC 인경우, S 는없습니다. DC 의경우극성을콘넥터의, 표시에맞춰서접속하십시오. 극성을다르게하면다이오드또는스위치소자의소손을초래하는경우가있으므로충분히주의하십시오. 리드선이접속되어있는경우에는 적색, 흑색이됩니다. 코일 AC 의경우정류기 Ass'y 로서지전압의발생을방지하고있으므로, 서지전압보호회로부착은없습니다. 670

진공펌프시스템 / ZX Series 표 1. 밸브유니트 / 공급밸브 파괴밸브의조합 밸브유니트구성기기 공급밸브 전자밸브 (N.C.) 전자밸브 (N.O.) 에어오퍼레이트 (N.C.) 에어오퍼레이트 (N.O.) 파괴밸브 전자밸브 (N.C.) 전자밸브 (N.C.) 외부파괴 에어오퍼레이트 (N.C.) 기호 K1 K3 K6 K8 무기호 표2. 밸브유니트콘넥터부착리드선 콘넥터 Ass'y 품번 (DC에만적용 ) VJ10 20 4A 6 (AC 100V 에만적용 ) VJ10 VJ10 36 36 무기호 6 10 15 20 25 30 1A (AC 110V 에만적용 ) 3A 리드선길이 0.3m ( 표준 ) 0.6m 1m 1.5m 2m 2.5m 3m 6 6 공급밸브 파괴밸브 전자밸브 에어오퍼레이트 전자밸브 에어오퍼레이트 N.C. N.O N.C. N.O. 없음 N.C. N.C. N.C. (VJ114) (VJ324) (ZX1A) (VJ324) (VJ114) (VJ314) (VJA314) 주문방법리드선길이가 600mm이상인진공유니트를필요로하는경우에는, 콘넥터가없는진공유니트의품번과콘넥터 Ass'y의품번을병기하십시오. 예 ) ZX100-K15LOZ-EC 1개 VJ10-20-4A-6 2개 밸브유니트없음 ( 상세한사양은 p.672를참조하십시오 ) ZS 10 무기호 30 50 5A 리드선길이 0.6m 3m 5m 표 3. 진공스위치콘넥터부착리드선 외부파괴 ZX1A 주 ) 리드선길이가 5m인스위치를주문하는경우에는, 콘넥터가없는스위치와콘넥터부착리드선의품번을병기하십시오. 예 ) ZX100-K150Z-ECN 1개 VJ10-20-4A-6 2개 ZS-10-5A-50 1개 없음 ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 진공펌프시스템의대표적인추천형식 / 아래의형식은단납기품입니다. 형식 ZX100-K15LZ-F ZX100-K15LZ-EC ZX100-K35MZ-EC 공급밸브 파괴밸브의조합공급밸브파괴밸브 ( 파이로트밸브 ) ( 직동밸브 ) N.C. (VJ114) N.C. (VJ114) N.O. (VJ324) N.C. (VJ114) N.C. (VJ114) N.C. (VJ314) 전자밸브정격전압 DC24V 리드선취출방법 플러그콘넥터타입 램프 서지전압보호회로 램프 서지전압보호회로부착 진공스위치유니트 / 필터유니트 석션필터 (ZX1-F) 진공용압력스위치 (ZSE) 진공스위치리드선취출방법 콘넥터타입 상기형식은단납기품입니다. ZX100-K15LZ-E ZX100-K35MZ-E 671

ZX Series 진공펌프시스템 / 공급밸브 파괴밸브의조합 조합기호 K1 공급용밸브로전자밸브 N.C. 타입을사용하고있습니다. 또한, 파괴밸브도, 전자밸브 N.C. 타입을사용하고있습니다. 용도 : 전기신호에따라제어하는경우에사용합니다. 조합기호 K6 공급용밸브로외부에 3 포트밸브를설치하십시오. 또한, 파괴용밸브는외부에 2 포트밸브를설치하십시오. 용도 : 에어신호에따라제어하는경우에사용합니다. 파괴용밸브 외부파괴포트 공급용밸브 파이로트포트 조작방법 상태 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 조합기호 K3 조작 공급용밸브전자밸브 파괴용밸브전자밸브 공급용밸브로전자밸브 N.O. 타입을사용하고있습니다. 또한파괴용밸브는전자밸브 N.C. 타입을사용하고있습니다. 용도 : 전기신호에따라제어하는경우에사용합니다. 공급용밸브가 N.O. 타입이므로정전시에이젝터의공급압력은정지하지않고흡착상태를유지합니다. 정전시의워크의낙하방지에사용합니다. 조작방법 상태 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 조합기호 K8 조작 공급용밸브전자밸브 파괴용밸브전자밸브 공급용밸브로에어오퍼레이트밸브 N.O. 타입을사용하고있습니다. 또한파괴용밸브는에어오퍼레이트밸브 N.C. 타입을사용하고있습니다. 용도 : 에어신호에따라, 제어하는경우에사용합니다. 공급용밸브가 N.O. 타입이므로, 정전시에이젝터의공급압력은정지하지않고흡착상태를유지합니다. 정전시의워크의낙하방지에사용합니다. 파괴용밸브 파이로트포트파괴용밸브 공급용밸브 파이로트포트공급용밸브 조작방법 상태 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 조작 공급용밸브전자밸브 파괴용밸브전자밸브 조작방법 상태 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 조작 공급용밸브에어오퍼레이트밸브 파괴용밸브에어오퍼레이트밸브 672

진공펌프시스템 / ZX Series 진공펌프시스템 / 구조도 구성부품 주 ) 번호 부품명포펫밸브 Ass'y 파괴유량조정니들매니폴드베이스진공스위치밸브유니트연결플레이트복귀스프링 필터케이스 재질 스테인레스강알루미늄 스테인레스폴리카보네이트 표 1: 파이로트밸브 / 형식표시방법 번호 구성기기공급밸브파괴밸브 형식 1 전자밸브전자밸브 N.C.(VJ114) N.C.(VJ114) ZX1-VJ114-2 전자밸브전자밸브 N.O.(VJ324) N.C.(VJ314) ZX1-VJ3 1 24-3 에어오퍼레이트에어오퍼레이트 1 N.O.(VJA324) N.C.(VJA314) ZX1-VJA3 24 4 전자밸브에어오퍼레이트에어오퍼레이트전자밸브 포트사이즈 M3 M5 M3X0.5 M5X0.8 파이로트포트외부파괴포트 비고 ZX1-PV-O ZSE2, ZSP1 ZX1-VB -D- (PV) (PS PD) 적용밸브조합 K1, J1 K3, J2 K6 No.2~No.3 에만가능품번을각각병기하십시오. 표3: 에어오퍼레이트 / 형식표시방법 ZX1A M3 주의 파괴유량조정니들의조정은시계방향으로조여서멈추는곳이전부닫힘상태가됩니다. 전부닫힘상태에서시계반대방향으로 2회전하면, 전부열림상태가됩니다. 4회전이상회전시키면, 니들이빠지므로주의하십시오. 교환부품 번호 부품명파이로트밸브필터엘레멘트 ZX1-VJ114 ZX1-VJ3 전환방법 1 2 N.C. (Normal Close) N.O. (Normal Open) 몸체옵션파이로트밸브무기호개별배기형파이로트밸브 M 집합배기형주 ) N.C. 의경우, 무기호의파이로트밸브개별배기상태입니다. 파이로트밸브 DC: 1W타입무기호 ( 램프부착 : 1.05W) AC타입 DC: 0.45W타입 Y ( 램프부착 : 0.5W) 5 2 4 5 정격전압 1 AC 100V 3 AC 110V 5 DC 24V 6 DC 12V V DC 6V S DC 5V R DC 3V 플러그콘넥터에만적용 재질 PVF 주 ) 필터케이스취급상의주의 1) 케이스의재질은폴리카보네이트이므로, 신나, 사염화탄소, 클로로포름, 산성에스테르, 아닐린, 시크로헥산, 트리클로로에틸렌, 황산, 유산 ( 乳酸 ), 수용성절삭유 ( 알카리성 ) 등의화학약품의사용또는그영향을받는곳에서의사용은피해주십시오. 2) 직사광선에서사용하지마십시오. 표 2: 전자밸브 / 형식표시방법 0.45W 타입은 DC24V, DC12V 에만해당됩니다. 주 ) ZX 시리즈용 VJ100, VJ300 은, 나사길이가표준품과다릅니다. < 나사의길이 > VJ100-M1.7 15 VJ300-M1.7 22 L L Z Z 부품품번표 2, 표 3 을참조하십시오. ZX1-FE 수동조작방법무기호 Non-lock Push식 B Lock식드라이버조작형 램프 서지전압보호회로무기호램프 서지전압보호회로없음 S 서지전압보호회로부착 Z 램프 서지전압보호회로부착 리드선취출방법 L 콘넥터 (0.3m) LN 콘넥터 ( 리드선없음 ) LO 콘넥터없음 M 콘넥터 (0.3m) MN 콘넥터 ( 리드선없음 ) MO 콘넥터없음 G 그로메트 (0.3m) H 그로메트 (0.6m) 주 ) ZX1-VJ114의경우, M MN MO는해당하지않습니다. ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 673

ZX Series 밸브유니트 /ZX1-VB 상세한사양은, p.640 를참조하십시오. 형식 / 사양 구성 조작방법 유니트품번 유효단면적 mm 2 (Cv 값 ) 3( 주밸브 ) 0.17 동작압력최대작동빈도사용온도범위연결플레이트기호표준장착품 ZX1-VB 진공전환밸브파이로트방식전자밸브에어오퍼레이트전자밸브 N.O. N.C. N.O. N.C (VJ324) (ZX1A) (VJA324) (VJ114) N.C. (VJ114) 0.07 0.004 0.3~0.6MPa 5Hz 5~50 (PV) (PS PD) 브라켓B 스페이서2 진공파괴밸브직동방식 N.C. (VJ314) 0.45 0.025 외부파괴 (ZX1A) 에어오퍼레이트 (VJA314) _ 파이로트배기 PE 포트 진공전환밸브공기공급 PS 포트 진공공급 PV 포트 진공공급출력 A 포트 K1(N.C.) 타입 파이로트배기 PE 포트 진공전환밸브공기공급 PS 포트 진공공급 PV 포트 진공공급출력 A 포트 K3(N.O.) 타입 메뉴얼 메뉴얼 (Non-lock) Lock식의경우는누른후돌리 브라켓 B 십시오. 브라켓 B ( 표준장착 ) ( 표준장착 ) 공급용밸브 파괴용밸브 파괴용밸브 (PE 포트 ) 파괴유량 조정니들연결플레이트 공급용밸브 N.O (PE 포트 ) 메뉴얼 파괴유량조정니들연결플레이트 (PS 포트 ) 진공전환밸브공급압포트 M5( 또는 M6) (PV 포트 ) 진공공급압포트 M5( 또는 M6) (A 포트 ) 진공공급출력포트 (PS 포트 ) 진공공급압포트 M5( 또는 M6) (PV 포트 ) 진공공급압포트 M5( 또는 M6) (V 포트 ) 진공공급출력포트 주 ) 치수는브라켓 B 의취부시, 치수는스페이서취부시의치수입니다. 674

진공펌프시스템 / ZX Series 셕션필터유니트 /ZX1-F 상세한사양은, p.642 를참조하십시오. 사양 유니트품번사용압력범위사용온도범위여과도엘레멘트질량 ZX1-F 부압 ~0.5MPa 5~50 C 30μm PVF 35g 주 ) 사용압력범위외의사용및사용온도범위외의사용은고장의원인이됩니다. 진공압력스위치유니트 /ZSE2 ZSE3 ZSP1 상세한사양은, p.643~648 을참조하십시오. 진공용압력스위치고속응답 /10ms 확산형반도체압력센서사용 일반용진공압력스위치 / 사양 유니트품번사용유체설정압력범위응차빈도 사용압력관접속구경 상세한사양은, Best Pneumatics No.4 P.511를참조하십시오. ZSE2-0X ZSE3-0X 공기 0~-101kPa 3% 풀스팬이하 ±3% 풀스팬 (5~40 C) ±1% ±5% 풀스팬 (0~60 C) 풀스팬 DC12~24V( 리플 ±10% 이하 ) M5X0.8 주 ) 사용압력범위외의사용및사용온도범위외의사용은고장의원인이됩니다. ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 흡착확인스위치소형흡착노즐에최적 / 0.3~ 1.2 석션필터배선성향상 / 콘넥터타입확산형반도체센서사용 흡착확인스위치 / 사양 유니트품번사용유체사용압력범위적용흡착노즐지름응차내부오리피스지름 ZSP1-S ZSP1-B 공기 -20~-101kPa 0.3~ 0.7 0.5~ 1.2 0.5kPa 0.5 0.8 필터케이스에관하여 주의 1 케이스의재질은폴리카보네이트이므로, 신나, 사염화탄소, 클로로포름, 산성에스테르, 아닐린, 시크로헥산, 트리클로르에틸렌, 황산, 유산 ( 乳酸 ), 수용성절삭유 ( 알카리성 ) 등의화학약품의사용또는그런영향권에서의사용은피해주십시오. 2 직사광선에서사용하지마십시오. 기타 주의 적용흡착노즐범위외의흡착노즐이나흡착패트를사용하게되면, 흡착되지않는경우가있으므로주의하십시오. 675

ZX Series 밸브유니트 : K1 타입 구성과조합밸브유니트 (K1) 진공용압력스위치 (ZSE2) + 진공용압력스위치 (ZSE3) 흡착확인스위치 (ZSP1) 필터유니트 (F) 파이로트배기 PE 포트 진공전환밸브공기공급 PS포트진공공급 PV포트 진공패드접속 V 포트 형식 ZX100 K1 E D P F 회로도 ( 진공용압력스위치이외의조합회로도는 2 점쇄선테두리부분만아래그림처럼됩니다.) 진공용압력스위치의경우 (E) 진공용압력스위치 (ZSE2) 의경우 ZX100-K1 -E 흡착확인스위치의경우 (P) 스페이서 1 ( 대기개방 ) 메니폴드 압력설정용트리머 ( 측면취부시에사용 ) 압력센서 필터유니트의경우 (F) 2-R1.8 3.6 공급전환밸브 파괴용밸브 진공스위치 (PD 포트 ) 연결플레이트 파괴유량조정니들 (PE 포트 ) (PS 포트 ) 진공전환밸브공급압포트 M5( 또는 M6) (PV 포트 ) 진공공급압포트 피치 브라켓 A ( 표준장착 ) M5( 또는 M6) 진공패드접속포트 주 ) 치수는브라켓 A 취부시, 치수는스페이서 1 취부시의치수입니다. 676

진공펌프시스템 / ZX Series 진공용압력스위치 (ZSE3) 의경우 ZX100-K1 -D 흡착확인스위치 (ZSP1) 의경우 ZX100-K1 -P 조정용니들 스페이서 1: ZX1-S1 ZX (Non-lock) UP ZR ZM ZH ZU 연결 조정니들 흡착확인스위치 ZL ZY 표준장착 흡착노즐배관포트 M5 0.8 ZF ZP ZCU 취부구멍 AMJ 진공관련 필터유니트 (F) 의경우 ZX100-K1 -F 필터 677

ZX Series 밸브유니트 : K3 타입 형식 ZX100 구성과조합 진공용압력스위치 (ZSE2) 밸브유니트 (K3) + 흡착확인스위치 (ZSP1) 필터유니트 (F) K3 E P F 파이로트배기 PE 포트 진공공급 PV 포트 진공전환밸브공기공급 PS포트 진공패드접속 V 포트 회로도 ( 진공용압력스위치이외의조합회로도는, 2 점쇄선테두리부분만아래와같습니다. 진공용압력스위치의경우 (E) 진공용압력스위치 (ZSE2) 의경우 ZX100-K3 -E 흡착확인스위치의경우 (P) ( 대기개방 ) 87.6 스페이서 1 ( 측면취부시에사용 ) 압력센서 압력선정용트리머 필터유니트의경우 (F) 메뉴얼 Lock식의경우는 ( 누른후돌리십시오. ) 공급용밸브 N. O. 파괴용밸브 진공용압력스위치 메뉴얼 파괴유량 조정니들 연결플레이트 (PS 포트 ) 진공전환밸브공급압포트 (PE 포트 ) M5( 또는 M6) (PV 포트 ) 진공공급압포트 취부구멍 브라켓 A ( 표준장착 ) M5( 또는 M6) (V 포트 ) 진공패드접속포트 주 ) 치수는브라켓 A 취부시, 치수는스페이서 1 취부시의치수입니다. 678

진공펌프시스템 / ZX Series 흡착확인스위치 (ZSP1) 의경우 ZX100-K3 -P 100.3 41 1 스페이서 1/ ZX1-S1 조정용니들 2-R1.8 ((Mounting 취부구멍 ) hole) 1 20 41 51 3.6 10 17.6 19 13.6 11 17.8 흡착확인스위치 ZSP1 6.5 2-3.3 2-R1.8 18 6 흡착 Adsorption 노즐 nozzle 배관 piping 포트port M5X0.8 ( 또는 M6) 15.5 브라켓 A ( 표준장착 ) 1 10 19 3.6 4.5 1 15.5 18 4 ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 필터유니트 (F) 의경우 ZX100-K3 -F 77 20 41 51 1 2-R1.8 3.6 1 10 19 8.8 4.8 필터유니트 6.8 11 8.8 2-3.5 679

ZX Series 밸브유니트 : K6 타입 형식 ZX100 K6 구성과조합 진공용압력스위치 (ZSE2) 밸브유니트 (K6) + 흡착확인스위치 (ZSP1) 필터유니트 (F) E P F 파이로트공기공급 파이로트배기 PE 포트 진공공급 PV 포트 외부파괴공기공급 외부파괴포트 진공패드접속 V 포트 회로도 ( 진공용압력스위치이외의조합회로도는, 2 점쇄선의테두리부분만아래의그림처럼됩니다.) 파이로트포트 진공용압력스위치의경우 (E) 진공용압력스위치 (ZSE2) 의경우 ZX100-K6-E 2 13 66 31 스페이서 1 ( 측면취부시사용 ) 흡착확인스위치의경우 (P) 압력센서 ( 대기개방 ) M5X0.8 파이로트포트 21.6 10 압력설정용트리머 5.5 1 20 41 51 필터유니트의경우 (F) M5X0.8 외부파괴포트 진공스위치 (ZSE2) 2-R1.8 1 10 3.6 19 13.6 공급용에어오퍼레이트 (ZX1A) 파괴용외부파괴 (ZX1A) 진공용압력스위치 (ZSE2) 연결플레이트 파괴유량조정니들 28 25 5.8 18 6.5 50 58 59.5 10.2 15.5 18 (63.5) M3 (PE 포트 ) 1 4.7 5 M5 ( 또는 M6) (PV 포트 ) 진공공급압포트 10 17.6 2-3.3 취부구멍 4.2 4 M5 ( 또는 M6) 브라켓 A (V포트) ( 표준장착 ) 진공패드접속포트 주 ) 치수는브라켓 A 취부시, 치수는스페이서 1 취부시의치수입니다. 680

진공펌프시스템 / ZX Series 흡착확인스위치 (ZSP1) 의경우 ZX100-K6-P 조정용니들 78.7 40.8 10 20 41 51 2-R1.8 3.6 1 10 17.8 19 11 흡착확인스위치 ZSP1 17.8 2-3.3 취부구멍 흡착노즐배기포트 M5X0.8 ( 또는 M6X1) 15.5 브라켓 A ( 표준장착 ) 10.2 18 4 (63.5) 필터유니트 (F) 의경우 ZX100-K6-F 54.2 20 41 51 1 2-R1.8 3.6 1 10 8.8 19 4.8 필터유니트 6.8 스페이서 1/ZX1-S1 6.5 2-R1.8 18 6 1 3.6 4.5 10 19 1 ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 11 8.8 2-3.5 681

ZX Series 밸브유니트 : K8 타입 형식 ZX100 구성과조합밸브유니트 (K8) K8 E P F 진공용압력스위치 (ZSE2) + 흡착확인스위치 (ZSP1) 필터유니트 (F) 공급밸브용파이로트공기공급 Pilot Exhaust PE 포트 진공공급 PV포트 진공전환밸브공기공급 PS 포트 파괴밸브용파이로트공기공급 파이로트포트 파이로트포트 진공패드접속 V 포트 회로도 ( 진공용압력스위치이외의조합회로도는, 2 점쇄선의테두리부분만아래의그림처럼됩니다.) 진공용압력스위치의경우 (E) 진공용압력스위치 (ZSE2) 의경우 ZX100-K8-E 흡착확인압력스위치의경우 (P) ( 대기개방 ) 압력센서 M3X0.5 ( 공급밸브용파이로트포트 ) 4.3 66.6 3 압력설정용트리머 31 스페이서 1 ( 측면취부시사용 ) 1 필터유니트의경우 (F) 21.6 10 5.5 20 41 51 M3X0.5 ( 파괴밸브용파이로트포트 ) 2-R1.8 3.6 1 10 7.6 19 13.6 공급용밸브 N.O. ( 에어오퍼레이트 VJA324) 메뉴얼 (Non-lock) 연결플레이트 50 28 25 5.8 22 파괴용밸브 ( 에어오퍼레이트 VJA314) 파괴유량조정니들 M3 (PS 포트 ) 진공전환밸브공급압포트 M3 (PE포트) 4.7 5 M5( 또는 M6) (PV포트) 진공공급압포트 56.5 10 17.6 진공용압력스위치 (ZSE2) 6.5 18 50 58 59.5 2-3.3 취부구멍 15.5 브라켓 A ( 표준장착 ) 4.2 M5( 또는 M6) (V 포트 ) 진공패드접속포트 4 18 10.2 63.5 주 ) 치수는브라켓 A 취부시, 치수는스페이서 1 취부시의치수입니다. 682

진공펌프시스템 / ZX Series 흡착확인스위치 (ZSP1) 의경우 ZX100-K8-P 79.3 41 20 1 41 51 스페이서 1/ZX-S1 2-R1.8 1 10 1 ZX 조정용니들 2-R1.8 1 10 19 3.6 17.6 13.6 흡착확인스위치 ZSP1 18 6 19 3.6 ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF 10.2 ZP 6.5 15.5 18 ZCU AMJ 11 17.8 2-3.3 취부구멍 브라켓 A ( 표준장착 ) 4.2 4 M5( 또는 M6) (V 포트 ) 흡착노즐배관포트 진공관련 필터유니트 (F) 의경우 ZX100-K8-F 55 41 20 51 1 2-R1.8 3.6 10 8.8 1 19 4.8 필터유니트 6.8 11 8.8 2-3.5 683

ZX Series 진공펌프시스템 / 매니폴드사양 기능최대유니트연수 기능 8 연매니폴드의 PV 포트에서의진공공급은공통공급입니다. PS 포트에서의공기공급은공통공급입니다. 직관개별스페이서 R1을사용한경우 표준사양 기능 포트명 PV 포트 PS 포트 EXH 포트질량 매니폴드에서의공통공급을분리해서, 유니트개별사양으로합니다. 관접속구경기능 Rc1/8 외부진공펌프접속 M5 진공전환밸브구동용공기공급 Rc1/8 집합배기 1연 : 73g으로 1연늘릴때마다 50g증가합니다. (1)PD 포트는전부블랭킹이됩니다. (2)ZX100 타입의외부진공펌프흡인인 6 연이상에서는 PV 포트는양측흡인으로하십시오. 매니폴드사양서 ZX 시리즈의매니폴드타입을주문할때에는, p.993 의 ZX 시리즈의매니폴드사양을이용하십시오. 공급방법 매니폴드좌우 좌측 우측 공급포트위치 포트 PV PS PV PS L R B PV포트에서진공을공급합니다. PS포트에서진공공급합니다. 플러그가부착되어있습니다. 주 ) 밸브유니트의모든포트에는플러그가부착되어있습니다. 직관개별스페이서 R1 을사용한경우 개별사양이므로, 밸브유니트의 PV 포트에서진공공급, PS 포트에서공기공급, PE 포트는대기개방입니다. 그외의포트에는플러그가부착되어있습니다. 매니폴드형식표시방법매니폴드하는진공유니트및블랭킹플레이트, 직관개별스페이서매니폴드베이스를형식과병기하여지시하십시오. < 매니폴드베이스 > ZZX1 06 R < 직관개별스페이서 > ZX1 R1 1 01 02... 08 연수 1 연 2 연... 8 연 공급 배기포트나사종류무기호 Rc F G T NPTF 공급포트위치 기호 공급포트위치 1) 우측 R 우측 PV포트에서 L 좌측좌측 PV포트에서 B 양측양측 PV포트에서 공급방법진공공급공기공급 우측 PS포트에서좌측 PS포트에서양측 PS포트에서 1 밸브유니트를자기앞으로하여좌, 우를판단하십시오. 2 EXH 포트는양측개방입니다. PD 포트는항상플러그가부착됩니다. 밸브의포트는모두플러그가부착됩니다. ( 예 ) ZZX106-R... 1 개 ( 매니폴드베이스 ) ZX100-K15LZ-EC... 5 개 ( 진공유니트개별 ) ZX-BM1... 1 개 ( 블랭킹플레이트 ) 배열 ( 밸브유니트를자기앞으로하여오른쪽에서밸브연수 1번째 ) 무기호모든연수장착 1 1번째만...... 8 8번째만 스페이서를교대로장착하는경우에는병기하여지시하십시오. ( 예 ) 1번째와 3번째에장착 ZZX106-R... 1개 ZZ100-K15LZ-EC... 6개 ZX1-R1-1 ZX1-R1-3 ZX1-R16... 4개 684

진공펌프시스템 / ZX Series 메니폴드구성 / 시스템회로예 직관개별공기압공급을사용하지않는경우 직관개별공기압공급을사용한경우 좌측 < 시스템회로예 > 우측 PV: 진공공급포트 PS: 진공전환밸브공급압포트 PD: 파괴밸브공급압포트 PE: 파이로트배기포트 EXH: 집합배기포트 집합배기 진공전환밸브공통공기공급 공통진공공급 모형스페이서 R16 측 파이로트배기 진공전환밸브공급 개별진공공급 좌측 < 시스템회로예 > 직관개별스페이서 R1 측 모형스페이서 R16 모형스페이서 R16 직관개별스페이서 R1 우측 집합배기 진공전환밸브공통공기공급 공통진공공급 ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 직관개별스페이서 R1 685

ZX Series 진공펌프시스템 매니폴드 집합배기 공통진공전환밸브공기공급 공통진공공급 엔드플레이트메니폴드베이스 4-5.5 취부구멍 조정용니들 메뉴얼 (Lock식의경우는누른후돌리십시오.) 메뉴얼 (Lock식의경우는몸체 ( 에어오퍼레이트타입 ) 그대로돌리십시오.) M5X0.8 (ZX1A) M5X0.8 ( 파이로트포트 ) ( 외부파괴포트 ) 아답터 D 직관개별스페이서 R1 흡착확인스위치 ZSP1 피치 =21 압력설정트리머진공스위치 ZSE2 필터아답터 B 파괴용밸브 (VJ314) (N.C.) 공급전환밸브 (VJ324M) (N.O.) 메뉴얼 (Lock식의경우는그대로돌리십시오.) 공급전환밸브 (VJ114) (N.C.) 파괴용밸브 (VJ114) (N.C.) 파괴유량조정니들 M5 (PD포트) 피치 =21 M5( 또는 M6) 개별진공공급포트 (PV 포트 ) 2-M5 진공전환공통공기공급포트 (PS 포트 ) 2-Rc1/8 집합배기포트 (EXH 포트 ) 2-Rc1/8 공통공기공급포트 (PV 포트 ) 기호 연수 1 L1 33 L2 45 L3 50 2 54 66 71 3 75 87 92 4 96 108 113 5 117 129 134 6 138 150 155 7 159 171 176 (mm) 8 180 192 197 686

진공펌프시스템 / ZX Series ( 직관개별공기압공급을사용한경우 ) B 도 시스템회로예 ( 표준 ) ( 준표준 ) ( 직관개별진공압공급을사용한경우 ) 직관개별스페이서 R1 직관개별스페이서 R1 ZX ZR ZM 모형스페이서 R16 모형스페이서 R16 직관개별스페이서 R1 압력센서 개별진공공급포트 모형스페이서 R16 압력센서 ZH ZU ZL ZY A 도 ZF 외부파괴포트 모형스페이서 R16 외부파괴포트 ZP ZCU 파이로트포트 직관개별스페이서 R1 파이로트포트 직관개별스페이서 R1 AMJ 진공관련 피치 =21 M5( 또는 M6) 개별진공공급포트 (PV 포트 ) M5( 또는 M6) 개별진공공급포트 (PV 포트 ) 개별진공공급포트 PV 아답터 D 개별진공공급포트아답터 D M5X0.8( 또는 M6) 진공패드접속포트 (V포트) M5X0.8( 또는 M6) 진공패드접속포트 (V포트) 피치 =21 M5X0.8( 또는 M6) 흡착노즐배기포트 687

ZX Series 진공펌프시스템 진공패드접속 V 포트 진공패드접속 V포트 매니폴드 : K1 타입 집합배기 공통진공전환밸브공기공급 공통진공공급 K1 타입 ZZX1 - ZX100-K1 L -E - 취부구멍 진공설정용트리어 메뉴얼 피치 10 피치 =21 매니폴드베이스 엔드플레이트 공급용밸브 파괴용밸브 파괴유량조정니들 리드선길이 약 300 진공스위치 필터유니트 피치 =21 포트 (PS 포트 ) 공통진공전환밸브공급압포트 2-Rc1/8 공통 EXH 포트 2-Rc1/8 (PV 포트 ) 공통진공공급압포트 기호 연수 1 L1 33 L2 45 L3 50 2 54 66 71 3 75 87 92 4 96 108 113 5 117 129 134 6 138 150 155 7 159 171 176 (mm) 8 180 192 197 688

12 10.7 진공펌프시스템 / ZX Series PD PE PS PV PD 회로도 PV EXH PS PD V ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 PE 진공패드접속포트 M5X0.8 ( 또는 M6) PS PV PS PD PV EXH V 4.5 피치 = 21 22.5 689

6 6 4.5 6.5 20 L1 L2 ZX Series 진공펌프시스템 진공패드접속 V포트진공패드접속 V포트 매니폴드 : K3 타입 공통진공공급 PV 포트 집합배기 EXH 포트 K3 타입 ZZX1 - ZX100-K3 -E - 공통진공전환밸브공기공급 PS 포트 106.7 61.1 45.1 32 4-5.5 취부구멍 압력설정용트리머 메뉴얼 (Lock 식의경우는, 누른후돌리십시오.) 23 14 10 21.6 10 L3 메니폴드베이스 엔드플레이트 (44) 17.5 10 공급용밸브 VJ324M 메뉴얼 파괴용밸브 VJ314 진공스위치 파괴유량조정니들 필터유니트 79 51.3 28.5 10 21.5 33 60 62.5 피치 =21 22.5 20 피치 =21 5 2-M5 (PS포트) 공통진공전환밸브공급압포트 37.4 3 44 2-Rc 1/8 공통 EXH 포트 2-Rc 1/8 (PV 포트 ) 공통진공공급압포트 기호 연수 1 L1 33 L2 45 L3 50 2 54 66 71 3 75 87 92 4 96 108 113 5 117 129 134 6 138 150 155 7 159 171 176 (mm) 8 180 192 197 690

10.7 진공펌프시스템 / ZX Series ZX 회로도 ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 진공패드접속포트 M5X0.8 ( 또는 M6) 12 4.5 피치 =21 22.5 691

ZX Series 이젝터시스템 / 유니트구성 ( 사양변경, 메인터넌스등에서유니트교환할경우, 아래의형식표시방법을참조하십시오.) 개별의경우 형식표시방법5 참조진공용디지탈압력스위치유니트 ( 교환용 ) ZSE3-O X- -D 십자냄비머리작은나사 M2.5X63 십자냄비머리작은나사 M2.5X63 형식표시방법 2 참조흡착확인스위치유니트 ( 교환용 ) ZSP1- OX-15 -D 형식표시방법4 참조진공용압력스위치유니트 ( 교환용 ) ZSE2-OX-15 -D 십자냄비작은나사 M2.5X51 형식표시방법1 참조밸브유니트공급밸브 N.O.( 교환용 ) ZX1-VAK3 -D-S 플레이트 A P3200150 십자냄비머리작은나사 M2.5X14 형식표시방법 3 참조이젝터 Ass'y ZX1-WD 필터유니트 ( 교환용 ) ZX1-F-D 십자냄비작은나사 P3270148-39 (M2.5X39) 형식표시방법 1 참조밸브유니트공급밸브 N.C.( 교환용 ) ZX1-VAK1 -D-S 형식표시방법 1 참조밸브유니트공급밸브에어오퍼레이트 ( 교환용 ) ZX1-VAK6-D-S 형식표시방법 ( 교환용유니트 ) 692 1 밸브유니트 ZX1 V A K1 5 L Z B D S 이젝터시스템용공급밸브 파괴밸브의조합상세한사항은, p.488을참조하십시오. 파이로트밸브사양 DC: 1W타입무기호( 램프부착 : 1.05W) AC타입 Y DC: 0.45W타입 ( 램프부착 : 0.5W) 0.45W타입은 DC24V, 12V만해당됩니다. 전자밸브정격전압 1 AC100V50/60Hz 3 AC110V50/60Hz 5 DC24V 6 DC12V V DC6V S DC5V R DC3V 2 흡착확인스위치유니트 ZSP1 적용흡착노즐지름 S B B0X 0.3~ 0.7mm 0.5~ 1.2mm 15 C 수동조작 무기호 B 개별용 (PD, PS 포트에플러그가부착되어있습니다.) 교환용유니트 Non-lock 식 Push 식 Lock 식드라이버조작형 램프 서지전압보호회로 무기호 Z 플러그콘넥터에만적용. 정류기부착콘넥터 Ass'y 가부착되어있습니다. 없음램프 서지전압보호회로부착 리드선취출방법 L L형플러그콘넥터 D 교환용유니트배관사양무기호그로메트 (0.6m) L 그로메트 (3m) C 콘넥터 (0.6m) CL 콘넥터 (3m) CN 콘넥터없음 ZSE3 압력표시 무기호 0X 출력사양 3 이젝터 Ass'y ZSE2 5 진공용디지탈압력스위치유니트 P kpa 표시 kpa 표시 21 22 23 24 21 C C ZX1 W D 교환용유니트노즐지름 05 0.5mm 07 0.7mm 10 1.0mm 0X D 15 C 05 1 4 진공용압력스위치유니트 교환용유니트배관사양 콘넥터 (0.6m) D 배관사양 무기호 L C CL CN 2 출력 / 아날로그출력없음 2 출력 / 아날로그출력부착 1 출력, 고장예지출력부착 / 아날로그출력없음 1 출력, 고장예지출력부착 / 아날로그출력부착 주 ) 아날로그출력부착타입은그로메트만해당됩니다. 이젝터배기방식 1 소음기내장포트배기 2 Rc 1 8 그로메트 (0.6m) 그로메트 (3m) 콘넥터 (0.6m) 콘넥터 (3m) 콘넥터없음 D: 교환용유니트라는것은, 제품또는유니트를교환하기위한유니트입니다. 예 )ZX1071-K15LZ-PBC 에서흡착확인스위치유니트를진공압력스위치유니트로교환하는경우, ZSE2-OX-15C-D 의품번이됩니다. 또한, 체결하기위한나사 P3270148-49(2 개사용 ) 이필요합니다. 유니트의조합을하지않고유니트개별로사용하는경우에는, 무기호입니다 ( 밸브유니트와이젝터 Ass'y 와스위치유니트를조합하여사용하는것이아니라, 밸브유니트만이젝터 Ass'y 만, 스위치유니트만으로사용할경우 ) 예. ZSE2-OX-15C, ZX1-VAK15LZ, ZX1-WO51

이젝터시스템 / ZX Series 매니폴드의경우 형식표시방법 1 참조밸브유니트공급밸브 N.O( 교환용 ) ZX1-VAK3 -D-M 십자냄비머리작은나사 P3200152-12 (M2.5X28) 십자냄비머리작은나사 P3200152-12 (M2.5X28) 형식표시방법1 참조밸브유니트공급밸브 N.C.( 교환용 ) ZX1-VAK1 -D-M 십자냄비머리작은나사 P3200152-12 (M2.5X28) 형식표시방법1 참조밸브유니트공급밸브에어오퍼레이트 ( 교환용 ) ZX1-VAK6-D-M 십자냄비머리작은나사 M2.5X12 M2.5X14 형식표시방법3 참조이젝터 Ass'y ZX1-WD 형식표시방법6 참조진공용디지탈압력스위치유니트 ( 교환용 ) ZSE3-OX- -D 십자냄비머리작은나사 아답터 D 주2) P3200159 1 4 형식표시방법 2 참조매니폴드베이스 ZZX1 -A- 직관개별스페이서 R1 ZX1-R1 아답터 D 십자냄비머리작은나사P3200159-P M2.5X12 직관개별스페이서 R1 ZX1-R1 아답터 D 개별스페이서 R1 Ass'y Ass'y 품번 ZX1-DR1 십자냄비작은나사 M2.5X63 블랭킹 Ass'y ZX1-BM1 형식표시방법4 참조흡착확인스위치유니트 ( 교환용 ) ZSP1- OX-15 -D 십자냄비머리작은나사 M2.5X63 형식표시방법5 참조진공용압력스위치유니트 ( 교환용 ) ZSE2-OX-15 -D 십자냄비머리작은나사 M2.5X51 필터유니트 ( 교환용 ) ZX1-F-D 십자냄비머리작은나사 P3270148-39 (M2.5X39) 아답터 B P3200130-1 십자냄비머리작은나사 M 2.5X20 아답터 B P3200130-P 십자냄비머리작은나사 P3200152-7 (M2.5X8) 주 1) 집합배기용은, 집합배기포트가열려있습니다. 개별배기용은닫혀있습니다. 집합배기용이젝터시스템의집합배기형식에만적용합니다. 주 2) 포트가 M5 인경우, 품번끝은 -4, M6 은 -1 입니다. 주 3) 포트가 M5 인경우, 품번끝은 -1, M6 은 -2 입니다. 2 ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련 형식표시방법 ( 교환용유니트 ) 1 밸브유니트 ZX1 V A K1 5 L Z B D M 이젝터시스템용 공급밸브 파괴밸브의조합 파이로트밸브사양 전자밸브정격전압 리드선취출방법 2매니폴드베이스 01... 08 ZX1 연수 1 연 수동조작 ZZX1 05 R A C... 8 연 포트나사의종류 무기호 F T 3 이젝터 Ass'y W D 교환용유니트노즐지름 05 0.5mm 07 0.7mm 10 1.0mm 형식의상세한사항은 p.640 를참조하십시오. Rc1/8 G NPTF 05 1 1 2 3 R L B 소음기내장포트배기 Rc1/8 매니폴드집합배기 교환용유니트 램프 서지전압보호회로 시스템대응이젝터용 (PD, PS포트에플러그가부착되어있습니다.) 공급포트위치 이젝터배기방식 우측좌측양측 매니폴드용모든포트에플러그가부착되어있습니다. 배기형식대응 무기호 C 개별배기용집합배기용 4 흡착확인스위치유니트 ZSP1 적용흡착노즐지름 S 0.3~ 0.7 B 0.5~ 1.2 B 0X ZSE2 15 C 배관사양 무기호 L C CL CN D 교환용유니트 그로메트 (0.6m) 그로메트 (3m) 콘넥터 (0.6m) 콘넥터 (3m) 콘넥터없음 5 진공용압력스위치유니트 0X 15 C 배관사양 무기호 그로메트 (0.6m) CL 콘넥터 (3m) L 그로메트 (3m) CN 콘넥터없음 C 콘넥터 (0.6m) 6진공용디지탈압력스위치유니트 ZSE3 압력표시 kpa 무기호표시 kpa P 표시 0X 출력사양 21 22 23 24 21 C 배관사양 C D D 교환용유니트 콘넥터없음 (0.6m) 교환용유니트 2 출력 / 아날로그출력없음 2 출력 / 아날로그출력부착 1 출력, 고장예지출력부착 / 아날로그출력없음 1 출력, 고장예지출력부착 / 아날로그출력부착 주 ) 아날로그출력부착타입은그로메트타입뿐입니다. 693

ZX Series 진공펌프시스템 / 유니트구성 ( 사양변경, 메인터넌스등으로유니트를교환할경우, 아래의형식표시방법을참조하십시오.) 개별의경우 형식표시방법 3 참조진공용디지털압력스위치유니트 ( 교환용 ) 형식표시방법 2 참조흡착확인스위치유니트 ( 교환용 ) 냄비작은나사 형식표시방법 3 참조진공용압력스위치유니트 ( 교환용 ) 냄비작은나사 필터유니트 ( 교환용 ) 냄비작은나사 플레이트 A 형식표시방법 1 참조밸브유니트공급밸브 N.O.( 교환용 ) 정밀기기용십자구멍형접시작은나사 형식표시방법 1 참조밸브유니트공급밸브 N.C.( 교환용 ) 형식표시방법 1 참조밸브유니트공급밸브에어 Operate ( 교환용 ) 1 밸브유니트 ZX1 V B K1 5 L Z B D S 진공펌프시스템용공급밸브 파괴밸브의조합 ( 상세한사항은 p.673를참조하십시오.) 파이로트밸브사양 DC: 1W타입무기호 ( 램프부착 : 1.05W) AC타입 Y DC: 0.45W타입 ( 램프부착 : 0.5W) 0.45W 타입은 DC 24V, 12V에만해당됩니다. 전자밸브정격전압 1 AC 100V50/60Hz 3 AC 110V50/60Hz 5 DC 24V 6 DC12V V DC 6V S DC 5V R DC 3V 플러그콘넥터만적용. 정류기부착콘넥터 Ass'y 가부착되어있습니다. 형식표시방법 ( 교환용유니트 ) 무기호 Z 개별용 (PD포트만플러그가부착되어있습니다.) 교환용유니트수동조작 무기호 B 램프 서지전압보호회로 없음램프 서지전압보호회로부착 리드선취출방법 L L형플러그콘넥터 Non-lock 식부쉬형 Lock 식드라이버조작형 D: 교환용유니트란, 제품또는유니트를교환하기위한유니트입니다. 예 )ZX100-K15LZ-PBC 에서흡착확인스위치유니트를진공압력스위치유니트로교환하는경우, ZSE2-OX-15C-D 의품번이됩니다. 또한, 체결하기위한나사 P3270148-39(2 개사용 ) 이필요합니다. 유니트의조합을하지않고유니트개별로사용하는경우에는, 무기호입니다. 예. ZSE2-OX-15C, ZX1-VBK15LZ 3 진공용디지털압력스위치유니트 ZSE3 압력표시 무기호 P 2 흡착확인스위치유니트 kpa 표시 ZSP1 S B kpa 표시 적용흡착노즐지름 0.3~ 0.7 mm 0.5~ 1.2 mm 0X 출력사양 21 22 23 24 B0X 배관사양 21 C 15 C D D 교환용유니트 무기호그로메트 (0.6m) L 그로메트 (3m) C 콘넥터 (0.6m) CL 콘넥터 (3m) CN 콘넥터없음 교환용유니트 배관사양 C 콘넥터 (0.6m) 2 출력 / 아날로그출력없음 2 출력 / 아날로그출력부착 1 출력, 고장예지출력부착 / 아날로그출력없음 1 출력, 고장예지출력부착 / 아날로그출력부착 주 ) 아날로그출력부착타입은그로메트타입뿐입니다. 694

진공유니트 : 진공펌프시스템 / ZX Series 매니폴드의경우 형식표식방법 6 참조진공용디지탈압력스위치유니트 ( 교환용 ) 십자냄비머리작은나사 형식표식방법 3참조흡착확인스위치유니트 ( 교환용 ) 플러스마이너스냄비작은나사 형식표식방법 5 참조진공용압력스위치유니트 ( 교환용 ) 형식표식방법 1 참조밸브유니트공급밸브 N.O( 교환용 ) 형식표식방법 1 참조밸브유니트공급밸브 N.C( 교환용 ) 형식표식방법 1 참조밸브유니트공급밸브에어오퍼레이트 ( 교환용 ) 1 밸브유니트 ZX1 V B K1 5 L Z B D M 진공펌프시스템용 공급밸브 파괴밸브의조합파이로트밸브 전자밸브정격사양전압 2 매니폴드베이스 리드선취출방법 ZZX1 06 R B 01 08 연수 1연 8 연 ZSP1 B0X 적용흡착노즐지름 S 0.3~ 0.7mm B 0.5~ 1.2mm 포트나사의종류무기호 Rc1/8 F G T NPTF 3 흡착확인스위치유니트 15 C 직관개별스페이서 R1 아답터 D 개별스페이서 R1 Ass y품번 ZX1-DR1 D 교환용유니트배관사양 무기호 L C CL CN 형식표시방법 ( 교환용유니트 ) 형식의상세한사항은 p.674 을참조하십시오. 형식의상세한사항은 p.684 을참조하십시오. 수동조작 교환용유니트 램프 서지전압보호회로 공급포트위치 R 우측 L 좌측 B 양측 그로메트 (0.6m) 그로메트 (3m) 콘넥터 (0.6m) 콘넥터 (3m) 콘넥터없음 매니폴드용모든포트에플러그가부착되어있습니다. 시스템대응진공펌프용 PD 포트에플러그가부착됩니다. 직관개별스페이서 R1 P3200159-P ZSE3 4 진공용압력스위치유니트 ZSE2 압력표시 kpa 무기호표시 kpa P 표시 0X 15 C 배관사양무기호그로메트 (0.6m) L 그로메트 (3m) C 콘넥터 (0.6m) CL 콘넥터 (3m) CN 콘넥터없음 0X 출력사양 21 22 23 24 십자냄비머리작은나사 블랭킹플레이트 Ass y 필터유니트 ( 교환용 ) 십자냄비머리작은나사 십자냄비머리작은나사아답터 B 주 2) 십자냄비머리작은나사 십자냄비머리작은나사 아답터 D 주 1) 십자냄비머리작은나사 십자냄비머리작은나사 형식표식방법 2 참조매니폴드베이스 아답터 D 십자냄비머리작은나사 주 1) 포트가 M5 인경우에는품번끝은 -4, M6 은, -1 이됩니다. 주 2) 포트가 M5 인경우에는품번끝은 -1, M6 은 -2 가됩니다. 21 C 아답터 B 십자냄비머리작은나사 D 배관사양 C D 교환용유니트 5 진공용디지털압력스위치유니트 교환용유니트 콘넥터 (0.6m) 2출력 / 아날로그출력없음 2출력 / 아날로그출력부착 1출력, 고장예지출력부착 / 아날로그출력없음 1출력, 고장예지출력부착 / 아날로그출력부착 주 ) 아날로그출력부착타입은그로메트타입뿐입니다. 695 ZX ZR ZM ZH ZU ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 진공관련

ZX Series 진공펌프시스템 / 개별에서매니폴드로조합 개별에서매니폴드의조합 1. 십자냄비작은나사를뺀다. 2. 정밀기기용십자구멍부착냄비머리작은나사를뺀다. 3. 밸브유니트에플러그를취부한다. 4. 밸브유니트를십자접시작은나사 (P3200152-12) 3 개로매니폴드에취부한다. 5. 진공스위치를십자접시작은나사 2 개로매니폴드에취부한다. 체결토오크는표.1 에따라서하십시오. 밸브유니트 1(PV)(PS PD) PD PE PS PV 진공스위치 십자냄비머리작은나사 주 ).1 주 ). 1 조합에따라사용나사 ( 표.2) 는달라집니다만, 개별과매니폴드는공통나사입니다. 1(PV)(PS PD) PD PE PS PV 표. 2 조합진공스위치 ZSE3, ZSP1 조합진공스위치 ZSE2의경우필터유니트 ZX1-F의경우 품번 M2.5 51 P3270148-39 (M2.5 39) P3200152-12 (M2.5 28) 1(PV)(PS PD) PD PE 플레이트 A P3200150 정밀기기용 십자구멍부착냄비머리작은나사 P3200152-24 PS PV PD EXH PS P3200152-12 (M2.5 28) M-3P 플러그 1(PV)(PS PD) PD PE PS PV 매니폴드베이스 십자냄비머리작은나사 PV M-5P 플러그 표. 1 품번주 ).1 P3200150 P3200152-24 M-3P M-5P P3200152-12 (M2.5 28) 명칭십자냄비머리작은나사플레이트 A 정밀기기용십자구멍부착냄비머리작은나사플러그플러그 십자냄비머리작은나사 개수 2 1 1 2 1 3 적정체결토오크값 0.28±0.1(N m) 0.28±0.1(N m) 0.46±0.05(N m) 1.6±0.15(N m) 0.28±0.1(N m) 매니폴드의경우사용한다. 사용하지않는다사용하지않는다사용한다사용한다사용한다. 개별의경우사용한다사용한다사용한다사용하지않는다사용하지않는다사용하지않는다 696

진공유니트 : 진공펌프시스템 / ZX Series 이젝터시스템 / 개별에서매니폴드로조합 개별에서매니폴드의조합 1. 십자냄비머리작은나사를뺀다. 2. 십자냄비머리작은나사를빼고, 이젝터 ass'y 를밸브유니트에서뺀다. 3. 밸브유니트에플러그를취부한다. 4. 밸브유니트를십자냄비머리작은나사 (P3200152-12) 3 개로매니폴드에취부한다. 5. 이젝터 Ass'y 를십자냄비머리작은나사 (M2.5 14) 1 개로매니폴드에취부할수있다. 6. 진공스위치를십자냄비머리작은나사 2 개로매니폴드에취부한다. 1(PV PS PD) PD PE PS PV 밸브유니트 진공스위치 십자냄비머리작은나사주 ).1 ZX ZR ZM ZH ZU 주 ). 1 조합에따라사용나사 ( 표.2) 는달라집니다만, 개별과매니폴드는공통나사입니다. 체결토오크는표.1 에따라서하십시오. 표. 2 조합진공스위치 ZSE3, ZSP1 경우진공스위치 ZSE2의경우필터유니드 ZX1-F의경우 품번 M2.5 63 M2.5 51 P3270148-39 (M2.5 39) 1(PV PS PD) PD PE PS PV 플레이트 A P3200150 십자냄비머리작은나사 M2.5 14 ZL ZY ZF ZP ZCU AMJ 이젝터 Ass'y 진공관련 1(PV PS PD) PD PE PS PV PD EXH M-3P 플러그 1(PV)(PS PD) PD PE PS PV P3200152-12 (M2.5 28) 십자냄비머리작은나사 PV PS 매니폴드베이스 M-5P 플러그 표. 1 품번주 ).1 P3200150 M2.5 14 M-3P M-5P P3200152-12 (M2.5 28) 명칭십자냄비머리작은나사플레이트 A 십자냄비머리작은나사플러그플러그십자냄비머리작은나사 개수 2 1 1 1 1 3 적정체결토오크값 0.28±0.1(N m) 0.28±0.1(N m) 0.46±0.05(N m) 1.6±0.15(N m) 0.28±0.1(N m) 매니폴드의경우사용한다. 사용하지않는다사용한다사용한다사용한다사용한다. 개별의경우사용한다사용한다사용한다사용하지않는다사용하지않는다사용하지않는다 697

ZX Series ( 상세한사양 치수및납기는당사에문의하십시오 ) 주문제작사양 Order Made 밸브유니트 / 공급밸브 파괴밸브의표준외조합 ( 이젝터유니트의경우 ) 이젝터유니트 밸브유니트의공급밸브 파괴밸브의표준조합 (p.635 을참조하십시오.) 이외의조합은용도에따라서아래의조합중에서선정하십시오. ( 형식표시방법은, p.634 을참조하십시오.) 조합기호 K2 조합기호 외부파괴포트 공급용밸브 파이로트포트 파괴용밸브 공급용밸브 K4 공급용밸브로전자밸브 N.C. 타입을사용하고있습니다. 또한, 파괴용밸브는외부에 2 포트밸브 ( 진공용밸브 ) 를설치하십시오. 용도 : 공급의제어는전기신호에따라서하며, 파괴는외부로부터의에어로합니다. 조작방법 조작공급용밸브 파괴용밸브 상태 전자밸브 외부 2포트밸브 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 공급용밸브로전자밸브 N.O. 타입을사용하고있습니다. 또한, 파괴용밸브는에어오퍼레이트밸브 N.C. 타입을사용하고있습니다. 용도 : 공급의제어는전기신호에따라서하고, 파괴는, 에어신호로합니다. 공급용밸브가 N.O. 타입이므로, 정전시에이젝터로의공급압력은정지하지않고, 흡착상태를유지합니다. 정전시에워크의낙하를방지하는경우에사용합니다. 조합기호 K7 파괴용밸브 파이로트포트 공급용밸브 조합기호 J1 공급용밸브 공급용밸브로에어오퍼레이트밸브 N.O. 타입을사용하고있습니다. 또한, 파괴용밸브는전자밸브 N.C. 타입을사용하고있습니다. 용도 : 공급의제어는, 외부로부터의에어신호로하며, 파괴는전자밸브로합니다. 공급용밸브가 N.O. 타입이므로, 정전시에이젝터로의공급압력은정지하지않고, 흡착상태를유지합니다. 정전시에워크의낙하를방지하는경우에사용합니다. 조작방법 조작공급용밸브 상태 에어오퍼레이트밸브 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 파괴용밸브전자밸브 공급용밸브로전자밸브 N.C. 타입을사용하고있습니다. 또한, 파괴용밸브는사용하고있지않습니다. 용도 : 전기신호에따라서제어하는경우에사용합니다. 파괴는소음기와패드와워크간의대기압의흐름으로됩니다. 파괴의속도를빠르게할필요가없는경우에사용합니다. 조합기호 K5 파괴용밸브 파이로트포트 조작방법 조작공급용밸브 파괴용밸브 상태 전자밸브 에어오퍼레이트밸브 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 공급용밸브로외부에 3 포트밸브를설치하십시오. 또한파괴용밸브는전자밸브 N.C. 타입을사용하고있습니다. 용도 : 공급의제어는외부로부터의에어신호에따라하고, 파괴는전자밸브로합니다. 조합기호 J2 공급용밸브 조작방법 조작공급용밸브 상태 전자밸브 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 파괴용밸브 공급용밸브로전자밸브 N.O. 타입을사용하고있습니다. 또한파괴용밸브는사용하고있지않습니다. 용도 : 전기신호로제어하는경우에사용합니다. 공급용밸브가 N.O. 타입이므로, 정전시에이젝터의공급압력은정지하지않고, 흡착상태를유지합니다. 정전시에워크의낙하를방지하는경우에사용합니다. 파괴는소음기와패드와워크간의대기압의흐름으로됩니다. 파괴의속도를빠르게할필요가없는경우에사용합니다. 698 조작방법 조작공급용밸브 상태 외부 3포트밸브 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 파괴용밸브전자밸브 조작방법 조작공급용밸브 상태 전자밸브 1. 워크흡착 2. 파괴 3. 작동정지 파괴용밸브