AC-A-C1

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1 F.R.L. New 50% MPa 0.3 New R New R New RoHS R MPa 0.3MPa 500L/minNR R L/minNR F, W 46% F- F- F mm 75mm 35mm C Series CT.KS-56

2 C Series 360 W0 W0- F FM 90g W FD W 360g F- F 450g F- F L R W R W 50% MPa 0.3 New R New R R20-02 q R20-02 w 500 L/minNR 0.5MPa 0.3MPa 500L/minNR F, R, L, W New R-, F-, L-, W- 1

3 F.R.L. C Series 1/4 3/8 1/2 INDEX ++ F R L C20- C25- C- P.1 C- C C20- W L C- P.7 C- C C20- F R C25- C- P.11 C- C F FM R C20C- C25C- CC- CC- CC-06- P.15 + W FM C20D- CD- CD- CD-06- P.19 1

4 C Series 1/4 3/8 1/2 INDEX FF20- F- P.28 F- F-06- FMFM20- FM- P.28 FM- FM-06- FDFD20- FD- P.28 FD- FD-06- R R20- R25- R- P.44 R-06- R- 2

5 1/4 3/8 1/2 L F.R.L. C Series INDEX L20- L- L- L-06- P.52 W W20- W- P.58 W- W-06-3

6 C Series P.22 P.23 C0- C0-06 C0- C0- C0- C0C- C0D-T P.23 3 P.24 T T 3 3 C0- C0- C0C- C0- C0- C0- C0C- C0D- 4 P.24 P.25

7 F.R.L. C Series P.25 P.26 2 Uni 1/2 2 E310-U02 Y0T- F- 5

8 C20-C- C q 03 e D r t y w am1 )C-F03DM-KSTV-13NR- q Rc NPT N F w 1/4 3/8 1/ e r 1) C 2) D 3) a N.C.(Normal Closed) N.O.(Normal Open) M 4) b () () 5) K t c FRKL S 6) d FRSL T 6) T e FTRL V 3 f FRLV 1 7) y g MPa MPa C h L 2 1 1

9 C20-C- Series C20- C- y i 8) 1/4 W j 3 9) k N l R, (ø6ø4 ) m Z 10) 1), M 2) 3) (0.75kW, 100L/min[NR] ) N.C. 4) (0.7MPa )1.0MPa, 0.2MPa 0.4MPa MPa psi, F 5) 06 6) T 7) 8) 9) W 11) 11) q 11) 11) 10) M5, NPT SI MPapsi M 11) NPT / (kg) C20- C25- C- C- C-06- F20- R20- L20- F- R25- L- F- R- L- F- R- L- F-06- R-06- L-06-1/4 1/43/8 1/43/8 1/43/81/2 560 () 1.5MPa 1.0MPa MPa 5μm 1(ISO V32) () ()

10 C20-C- Series ) 0.7MPa C20- Rc 1/4 C25- Rc 3/8 C- Rc 3/ MPa MPa MPa L/min(NR) L/min(NR) L/min(NR) C- Rc 1/2 C-06- Rc MPa MPa L/min(NR) L/min(NR) ) C C MPa0.2MPa20L/min(NR) C- 0.3 MPa MPa MPa MPa MPa MPa C-/C MPa MPa 3

11 C20-C- Series., F.R.L. SMC.. q q 5μm q,,, Lock,.. qt (KM w3 e Lock 4

12 T /4 M /Rc,ø10 /NPTø3/8" N.C. N.O. U S R OUT IN U S R N F C IN OUT P2 ( ) () M V Q2 Q1 Q1 2P1 () N F C P2 ( ) E V Q1 Q1 M () 2P1 () H H C20- C25-C- H ø37.5 ø37.5 ø37.5 ø42.5 ø H ø37.5 ø37.5 ø37.5 ø42.5 ø () C20- C25- C- C- C-06- P1 P2 1/4 1/43/8 1/43/8 1/43/81/ C E F M N 80.2 Q Q2 33 R S U V C20- C25- C- C- C-06- (N.O./N.C.) N.C.) C20- C25-C- 5 C20-C- Series

13 6

14 C20-C- 1 2 L C 03 D q w e r t y al1 )C-F03DM-KSV-13NR- q 20 w e r t y 1) WLVa b c d e f g h 4) 3 7) N F C 2) D 3) M K S 6) V 1 C 8) W Rc NPT 1/4 3/8 1/2 N.C.(Normal Closed) N.O.(Normal Open) () () WKL WSL MPa MPa 1/4 (ø6ø4 ) 5) 7

15 C20-C- Series C20- C- y psi, Fi j k l 3 9) N R MPa Z 10) 1), M 2) 3) (0.75kW, 100L/min[NR] ) N.C. 4) (0.7MPa )1.0MPa, 0.2MPa 0.4MPa 5) 06 6) 7) 8) 9) W q 20 11) 11) 11) 10) M5, NPT SI MPapsi M 11) NPT / (kg) C20- W20- L20-1/4 () 0.33 C- C- C-06- W- W- W-06- L- L- L-06-1/43/8 1/43/81/2 560 () 1.5MPa 1.0MPa MPa 5μm 1(ISO V32) ()

16 U R S U S R OUT IN F P2 ( ) C IN OUT () M 2P1 () V Q2 Q1 Q1 H C F P2 ( ) () M V Q1 Q1 2P1 () E H 17 1/4 M /Rc,ø10 /NPTø3/8" N.C. N.O. T0604 C20- C-, C- )CUnlock (N.O./N.C.) N.C.) C20- C-, C- H ø37.5 ø37.5 ø42.5 ø H ø37.5 ø37.5 ø42.5 ø () C20- C- C- C-06- P1 P2 1/4 1/43/8 1/43/81/ C ) E F M Q Q2 33 R S U V C20- C- C- C-06-9 C20-C- Series

17 10

18 C20-C- aj1 )C-F03DM-SV-1NR- q Rc NPT N F C 2) D 3) w 1/4 3/8 1/ e r 1) a N.C.(Normal Closed) N.O.(Normal Open) M 4) b () () S 5) T 5) T t c FSR FTR V V1 6) 3 d FRV VFR 1 7) y e MPa MPa 8) W g 1/4 (ø6ø4 ) C f C q 03 e D r t y w L

19 C20-C- Series C20- C- y i R h N j MPa 10) 10) 10) psi, F Z 9) 1), M 2) 3) (0.75kW, 100L/min[NR] ) N.C. 4) (0.7MPa )1.0MPa, 0.2MPa 0.4MPa 5) T q 10) 9M5, NPT SI MPapsi M 10) NPT / (kg) C20- F20- R20-1/4 () 0.27 C25- C- C- C-06- F- F- F- F-06- R25- R- R- R-06-1/43/8 1/43/8 1/43/81/2 560 () 1.5MPa 1.0MPa MPa 5μm ()

20 17 1/4 M /Rc,ø10 /NPTø3/8" N.C. N.O. U R S OUT IN H U R S OUT F C P2 ( ) Q2 V Q1 Q1 M () 2P1 () F C P2 ( ) V Q1 Q1 M () 2P1 () E H IN T0604 C20- C25-C- (N.O./N.C.) (N.C.) C20- C25-C- H ø37.5 ø37.5 ø37.5 ø42.5 ø H ø37.5 ø37.5 ø37.5 ø42.5 ø () C20- C25- C- C- C-06- P1 P2 1/4 1/43/8 1/43/8 1/43/81/ C E F M Q Q2 33 R S U V C20- C25- C- C- C C20-C- Series

21 14

22 w e r t aj1 )CC-F03DM-SV-1NR- C20C-CC- Rc NPT N F M C 2) D 3) S 5) T 5) T 1/4 3/8 1/2 N.C.(Normal Closed) N.O.(Normal Open) () ()1) b a c V V1 6) 3 d q FFMSR FFMTR FFMRV VFFMR y C 1 N 7) 8) W 1/4 (ø6ø4 ) f e h MPa MPa g C C q 03 e D r t y w L L 2 1 4) 15

23 C20C-CC- Series C20C- CC- 20 q 25 y i j R Z 9) 1), M 2) 3)(0.75kW, 100L/min[NR] ) N.C. MPa psi, F 4) (0.7MPa )1.0MPa, 0.2MPa 0.4MPa 5) T 6) ) 10) 10) 10) 9) M5, NPT SI MPapsi M 10) NPT L/min(NR) 1) / (kg) C20C- F20- FM20- R20-1/4 200 () 0.38 C25C- F- FM- R25-1/43/8 560 () 1.5MPa 1.0MPa 0.05MPa MPa F5μm, FM0.3μm(99.9) MX1.0mg/m 3 (NR)(0.8ppm) 2)3) ) 0.7MPa. 2) mg/m 3 (NR) 3) O-ring O-ring CC- F- FM- R- 1/43/8 450 () 0.82 CC- F- FM- R- 1/43/81/ CC-06- F-06- FM-06- R

24 1/4 M50.8 /Rc,ø10 /NPTø3/8" U R S OUT U S R OUT IN N F IN C V Q2 Q1 Q1 M 2P1 P2 ( ) () N F P2 ( ) M V Q1 Q1 H E 2P1 C () H C20C- C25C-CC-06- C20C- C25C-CC-06- H ø37.5 ø37.5 ø37.5 ø42.5 ø H ø37.5 ø37.5 ø37.5 ø42.5 ø () C20C- C25C- CC- CC- CC-06- P1 P2 1/4 1/43/8 1/43/8 1/43/81/ C E F M N 80.2 Q Q2 33 R S U V C20C- C25C- CC- CC- CC-06- T N.C. N.O. N.C.) (N.O./N.C.) 17 C20C-CC- Series

25 18

26 C20D-CD- 1 2 L L C D 03 D q w e r t y aj1 )CD-F03DM-SV-1NR- 20 q w e r t y 1) 3a b c d e f g h i 4) 7) N F C 2) D 3) M S 5) V V1 6) 1 C 8) W N R Rc NPT 1/4 3/8 1/2 N.C.(Normal Closed) N.O.(Normal Open) () () WSFM WFMV VWFM MPa MPa 1/4, (ø6ø4 ) 19

27 C20D-CD- Series y C20D- CD-j Z 9 1, M 2) 3(0.75kW, 100L/min[NR] ) N.C. MPa psi, F 4(0.7MPa )1.0MPa, 0.2MPa 0.4MPa q NPT SI MPapsi M 10) NPT L/minNR 1 / (kg) C20D- W20- FM20-1/4 150 () 0.32 CD- W- FM- 1/43/8 1) 0.5MPa. 2) mg/m 3 (NR) 3) O-ring O-ring 560 () 1.5MPa 1.0MPa 0.05MPa MPa W5μm, FM0.3μm MX1.0mg/m 3 NR0.8ppm CD- W- FM- 1/43/81/2 800 () 1.22 CD-06- W-06- FM

28 17 1/4 M /Rc,ø10 /NPTø3/8" N.C. N.O. U S R OUT U S R OUT IN F C IN P2 ( ) () M 2P1 () V Q2 Q1 Q1 H F C M V Q1 Q1 () P2 ( ) H 2P1 () E T0604 C20D- CD-CD-06- )CUnlock (N.O./N.C.) (N.C.) C20D- CD-CD-06- H ø37.5 ø37.5 ø42.5 ø H ø37.5 ø37.5 ø42.5 ø () C20D- CD- CD- CD-06- P1 P2 1/4 1/43/8 1/43/81/ C ) E F M Q Q2 33 R S U V C20D- CD- CD- CD C20D-CD- Series

29 C Series 3) MPa 1) ( ) MPa 2)3) T 2)3) 3 3) C20- C20- C20- C20C- C20D- Y200- Y200T- KM (02)- IS10M-20- Y (02)- VHS E IS10E Y C25- C25- C25C L L Y0- Y0T- KM00-(01)- 02- IS10M-- Y310-(01)- 02- VHS ). R, NPT N. NPT psi 2) ( ). 3). 02 E IS10E Y C- C- C- CC- CD- C- C- C- CC- CD- Y0- Y0T- KM00-(02)- 03- IS10M-- Y410-(02) VHS E IS10E Y L L C-06- C-06- C-06- CC-06- CD-06- Y500- Y500T- IS10M-50- Y510-(02)- 03- VHS-06 E Y (K)1/43/8 KM w e q N F Rc NPT 1/4 3/8 20 (mm 2 ) KM KM00-55 KM L w q e IN D C E OUT C D E KM2000- KM00- KM00-1/4 1/4 1/43/ C20-, C20- C25- C-, C- C-, C- ) )C-06- C. 22

30 C Series (S) IS10M (OFF) C, DC q w ac1 )IS10M--6LP w ba 6 1) L Z 560 () 1.0MPa 0.7MPa MPa 0.08MPa 1a C2VDC2W 100V CDC12V24V50m CDC48Vm CDC100V20m ) IS10 T(T)1/43/ MPa MPa 0.5m 3m 5m c MPa P 2) MPapsi 1)6P(L,Z)0.20.6MPa(90psi) 2) q IS10M-20- IS10M-- IS10M-- IS10M C D C ) 23 D 500 F.R.L. C20- C25-, C- C- C-06- T E T C D F.R.L. KM. ) Y Y Y Y /4 1/4 Y Y Y Y /4 1/4 3/8 3/ C20-, C20- C20C- C25-, C25- C25C-, C- C-, CC- C-, C- CC- C-06-, C-06- CC-06- ). Rc, NPT N, F.. C P.22. C D E

31 2 C Series (V) 3. VHS 03 q w e r ab1. )VHS-03-RZ INOUT IN, OUT EXH C(dm 3 /sbar) b Cv C(dm 3 /sbar) VHS20 VHS / / /4 3/ VHS VHS-06 1/4 3/8 1/2 3/8 1/ w Rc N ) NPT F ) 01 e 02 1/4 03 3/8 04 1/2 06 a R r b MPa Z ) psi NPTSI OUTEXH b q Cv IN 3 1 VHS20 VHS VHS VHS-06 SUP. øi 3 1 E D C SUP 3 EXH. ø10 EXH H F Key OUT 3 2 2P1 () P2 () P1 P2 C D E F H I 1/4 1/43/8 1/43/81/2 1/4 3/8 1/ /43/81/2 C F F.R.L. F E E E E4Rc F E D 1. KM C ) Y Y Y Y Y Y Y Y /4 1/4 1/4 3/8 3/8 1/ C D C20- C25-, C- C- C-06- )RcNPTN, F IN,OUT 2 24

32 C Series 1/43/81/2. D F.R.L. E E E E0-02- E0-03- E0-04- E0-02- E0-03- E0-04- E0-06- E /4 3/8 1/4 3/8 1/2 1/4 3/8 1/ D C20- F20-, R20-, W20- L20-, FM20-, FD20- C25-, C-, F-, R- W-, L-, FM-, FD- WM-, WD- C- F-, R-, W- L-, FM-, FD- C-06-, F-06-, R-06- W-06-, L-06-, FM-06- FD-06- ). Rc, NPT N, F.. C. IS10E q w 03 e r ad 1.,. IS10E-N03-6PRZ Rc w N NPT F /4 e 03 3/8 04 1/ MPa a MPa 0.5m L 3m Z 5m r MPa c P 2 MPapsi d R 16PL, R, Z0.20.6MPa90psi 2 NPT. SI, b 20 q E C D F.R.L. (OFF) C, DC MPa 0.7MPa MPa 0.08MPa 1a C2VDC2W 100V CDC12V24V50m CDC48Vm CDC100V20m 1 IS10E IS10E IS10E IS10E-02- IS10E-03- IS10E-04- IS10E-02- IS10E-03- IS10E-04- IS10E-06-1/4 3/8 1/4 3/8 1/2 1/4 3/8 1/ C C- R-, W- 1. Rc, NPT N, F. 2C-06-. C-06-E X501Rc IS10-01 D E C20- R20-, W20- C25-, C- R25-, R-, W-

33 HNR Y200- Y220P-050S Y0- Y320P-050S Y0- Y420P-050S Y500- Y520P-050S Y0T- Y200- Y0- Y0- Y500- C20- C25- C- C- C C D C20- C25- C- C- C C D E EE Y200T- Y0T- Y0T- Y500T- F K H HNR Y200T- Y220P-050S Y0T- Y320P-050S Y0T- Y420P-050S Y500T- Y520P-050S Y200T- Y200- Y0- () () X-X X-X C D X X F.R.L. E E EE(Y120T, Y220T) C H F D K X X F.R.L. C Series ) 26

34 T T S K V 1 IN OUT OUT IN K S T V KS KT KV KST C20- C25- C- C- C KSV KTV KSTV ST SV STV TV C20- C25- C- C- C T S TV SV V SV TV1 V C20- C25- C- C- C K KS V S KV KSV SV C20- C- C- C S V T V1 TV SV1 TV SV C20C- C25C- CC- CC- CC S V SV V SV1 C20D- CD- CD- CD C Series

35 F FM P.2935 P.3742 P.3742 FD FM20- FM- FM- FM-06- FD20- FD- FD- FD-06-1/4 1/43/8 1/43/81/2 1/4 1/43/8 1/43/81/2 1/4 1/43/8 1/43/81/2 μm F20- F- F- F F/FM/FD Series

36 F20-F L L F20- F- F q w 03 e D r t af 1.,. F-03D-CR- w e rta b c d e f 6 N 1 F C 4 D 5 C 8 W R Z 9 Rc NPT 1/4 3/8 1/2 N.C.(Normal Closed) N.O.(Normal Open) 1/4, (ø6ø4 ) MPa psi, F q 20 1NPTF20-, NPT1/4F-F- ø3/8" F-F- 2F20-, 1/4F-F kW, 100L/min[NR] N.C. 6P NPTSI, 10NPT

37 F20-F- Series (cm 3 ) (kg) F20-1/ F- 1/43/8 F- 1/43/81/2 F MPa 1.0MPa 5μm ss'y 1 23 NC NO F20- F- F- F-06- F22P-050S F32P-050S F42P-050S F42P-070S D27- D37- D38- D47- D48- ss y NC 23 NO 3 1) (2) ss y. 2) N.O.0.1MPa, N.C0.1MPaD27-, 0.15MPaD37-D47- psi, F 3NPT F20-F-ss y O-ring F20- C2SF-C- D27-C- C2SF-- C2SF-C- F- C3SF-- C3SF-W- F- C4SF-- C4SF-W- F-06-

38 F20-F- Series () F20- Rc1/4 F- Rc3/ MPa P1=0.1MPa P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa MPa P1=0.1MPa P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa L/min(NR) L/min(NR) F- Rc1/2 F-06- Rc MPa P1=0.1MPa P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa MPa P1=0.1MPa P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa L/min(NR) L/min(NR) 31

39 F20-F- Series., F.R.L. SMC.. q,,,.,,,,,. IP q 2 0.1MPa.. q Lock,.. Lock 32

40 F20-F- Series N.O. D38-D48- N.C. D37-D47- D27- q r e w t i y u o!0!1 q r e w t i u y o!0!1 q w e r t y : Seal.. : 0.1MPa, Seal. Seal. : Seal., Seal,., Seal. : Seal,.. : Seal. Seal. : Seal., Seal,., Seal. : Seal.. : Seal. : Seal. Seal. 33

41 F20-F- Series F20- F-F-06- IN OUT q IN OUT r w q r w e t e t O-ring SS'Y ) PT NR F20P-060S F22P-0S C2SFP-260S C2SF- FP-060S F32P-0S C32FP-260S C3SF- O-ring psi F ss'y. F20- F- F- F-06- FP-060S F42P-0S C42FP-260S C4SF- 34

42 U R S OUT IN U S R T N T N C IN OUT M D V Q () E 2P V M D () Q 2P T /4 M /Rc,ø10 /NPTø3/8" N.C. N.O. C F20- F-F-06- P 1/4 1/43/8 1/43/81/ C D E M N Q R S T U V F20- F- F- F F20- F- F- F N.O./N.C. N.C. F20- F-F F20-F- Series

43 36

44 FM20-FM- FD20-FD- FM0.3μm FD0.01μm 1 1 L L 2 2 FM20- FD20- FM- FD- FM FD 03 D 03 D af1 FM-03D-CR- q w e r t w e rt psi, Fa b c d e f 6 N 1 F C 4 D 5 C 8 Rc NPT 1/4 3/8 1/2 N.C.(Normal Closed) N.O.(Normal Open) 1/4, (ø6ø4 ) W R MPa Z 9 q 20 1 NPTFM20-FD20-, NPT1/4FM-FM-/FD-FD- ø3/8" FM-FM-/FD-FD- 2FM20-FD20-, 1/4FM-FM-/FD-FD kW, 100L/min[NR] )N.C. 6P NPTSI 10NPT

45 FM20-FM- Series FD20-FD- Series L/minNR 1 cm 3 kg 1)0.7MPa. 2)mg/m 3 (NR) 3) O-ring O-ring ss'y 1 23 FM20-FM-06- FD20-FD-06- FM20-FM-06- FD20-FD-06- FM20-FM-06- FD20-FD-06- NC NO FM20- FM- FM- FM-06- FD20- FD- FD- FD-06-1/4 1/43/8 1/43/81/2 560 ) 1.5MPa 1.0MPa 0.05MPa 0.3μm99.9%) 0.01μm99.9%) MX1.0mg/m 3 (NR)(0.8ppm) 23) MX0.1mg/m 3 (NR)0.01mg/m 3 (NR) 0.008ppm) 23) ) 0.09 FM20- FD20- F22P-050S D ) FM- FD- F32P-050S D37- D38- FM- FM-06- FD- FD-06- F42P-050S F42P-070S D47- D48- ss y NC 23) NO 3) 1)(2) ss y. 2)NO0.1MPa, NC0.1MPa(D27-), 0.15MPa(D37-D47-) psi, F 3)NPT ) ss y O-ring FM20- FD20- C2SF-C- D27-C- C2SF-- C2SF-C- FM- FD- C3SF-- C3SF-W- FM- FD- C4SF-- C4SF-W- FM-06- FD-06-38

46 FM20-FM- Series FD20-FD- Series () FM20- FD20- MPa P1=0.3MPa P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa P1=0.7MPa MPa P1=0.3MPa P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa P1=0.7MPa L/minNR L/minNR FM- FD- MPa P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa MPa P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa 0.01 P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa 0.01 P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa L/minNR L/minNR FM- FD P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa MPa 0.02 MPa P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa 0.01 P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa L/minNR L/minNR 39

47 FM20-FM- Series FD20-FD- Series., F.R.L. SMC.. q,,,.,,,,,. IP q F w FM e q 2 0.1MPa.. q 0.1MPa q Lock,.. Lock q w

48 FM20-FM- Series FD20-FD- Series FM20- FD20- IN OUT N.C. q e w r M50.8 FM-FM-06- FD-FD-06- IN OUT N.C. N.O. q e w r /Rc,ø10 /NPTø3/8" /Rc,ø10 /NPTø3/8" 1 FM20-FM-06- FD20-FD-06- FM20- FD20- FM- FD- FM- FD- FM-06- FD-06-2 ss'y FM20 FM20P-060S FMP-060S FMP-060S FD20 FD20P-060S FDP-060S FDP-060S 3 4 ss'y ) NR C2SFP-260S C2SF- C32FP-260S C3SF- C42FP-260S C4SF- psi, F. 41

49 U R S OUT IN U S R T N C T N C IN OUT M D V Q () E 2P V M D () Q 2P T /4 M N.C. N.O. /Rc,ø10 /NPTø3/8" FM20- FD20- FM-FM-06- FD-FD-06- P 1/4 1/43/8 1/43/81/ C D E M N Q R S T U V FM20-/FD20- FM-/FD- FM-/FD- FM-06-/FD FM20-/FD20- FM-/FD- FM-/FD- FM-06-/FD N.O./N.C. N.C. FM20-/FD20- FM-FM-06-/FD-FD FM20-FM- Series FD20-FD- Series

50 43

51 R Series R R20-1/4 R25-1/43/8 R- R- 1/43/81/2 R-06- P.4550 R Series 44

52 R- R20- R20-R- R - q 03 e r t w ag1 R-03-1N- 1,, H, M 2 3R20--.7MPa 1.0MPa, 0.2MPa 0.4MPa 5 6NPT SI M 7 NPT 25 Rc NPT N F w q 1/4 3/8 1/ e 2 H 4 r 1ta 3 R e M b () () 1 5 c MPa MPa 20 N d Y f Z 6 g MPa psi

53 R20-R- Series kg R20-1/ R25-1/43/ R- 1/43/8 560 ) 1.5MPa 1.0MPa MPa R- 1/43/81/2 R ss'y MPa MPa R20- R22P-270S R22P-260S R25- R27P-270S R22P-260S L L R- R32P-270S R32P-260S R- R42P-270S R42P-260S L L R-06- R42P-270S R42P-260S 1ss y. 2RNPTNNPT psi., F.R.L. SMC.. q 0.15MPa q q w q Lock, Lock.. Lock.. Lock. Lock.. w,... 46

54 R20-R- Series () R20- Rc 1/4 0.7 MPa R25- Rc 3/ MPa MPa L/minNR L/minNR R- Rc 3/8 R- Rc 1/ MPa MPa L/minNR L/minNR R-06- Rc MPa L/minNR 47

55 R20-R- Series () R R MPa, 0.2MPa, 20L/minNR MPa MPa MPa R MPa MPa MPa R-/R MPa MPa 48

56 t q w e r IN OUT R ss'y ss'y ss'y SUSHNR NR R20- R22P-060S R22P-150S R22P-050S R25- R- R32P-060S R32P-150S R32P-050S R- R42P-060S R42P-150S R42P-050S R R20-R- Series

57 R20-R25- MX.4 R-R-06-MX.8 U S OUT IN R T N 2P2 ( ) () F H 2P1 C Q V M D Y W IN OUT Z R20-R-06- Unlock. P1 1/4 1/43/8 1/43/8 1/43/81/2 P C D F M361.5 M361.5 M451.5 M521.5 M H H ø37.5 ø37.5 ø37.5 ø42.5 ø42.5 ø37.5 ø37.5 ø37.5 ø42.5 ø42.5 M N Q R S U V W Y Z R20- R25- R- R- R-06- ( T R20-R- Series

58 51

59 L Series L L20-1/4 L- 1/43/8 L- 1/43/81/2 P.5357 L-06-52

60 L20-L- L20- L- L 03 ad1 q w e r t L-03-R- q 20 w e r t a b c d N F C 3 3W R Z 3 Rc NPT 1 2 3NPTSI 4 NPT 1/4 3/8 1/2, (ø6ø4 ) MPa psi, F

61 L20-L- Series L/minNR cm 3 kg L20-1/ L- 1/43/8 1.5MPa 1.0MPa 560 ) 1/4 3/8 L- 1/43/81/2 1/4 3/8 1/ ISO V MPa, 1ISO V32, 20, 5/ 2 L-06- ss'y F22P-050S F32P-050S F42P-050S F42P-070S L20- L- L- L ss y ss y O-ring psi, F L20- C2SL-3- C2SL-C- C2SL-3C- L- C3SL-3- C3SL-3W- L- C4SL-3- C4SL-3W- L-06-54

62 L20-L- Series ) L20- Rc1/4 MPa MPa L-06- MPa L- MPa L P1=0.1MPa L/minNR Rc3/8 P1=0.1MPa L/minNR Rc1/ L/minNR Rc P1=0.1MPa P1=0.1MPa P1=0.3MPa P1=0.3MPa P1=0.3MPa P1=0.3MPa P1=0.5MPa P1=0.5MPa P1=0.5MPa P1=0.5MPa P1=0.7MPa P1=0.7MPa P1=0.7MPa P1=0.7MPa L/minNR., F.R.L. SMC.. q,. w,,,.,,,,,. IP q KM ql20- wl20-- ss'y 3 q11 q Lock,.. Lock 55

63 L20-L- Series L20- w q t e IN OUT y r u L-L- IN w q t OUT e r y u 1 L20-L- L20- L- L- L ss'y ss'y ss'y ss'y ss'y NR L22P-060S L20P-0S L20P-0S C2SFP-260S C2SL- L20P-080S L32P-060S LP-0S LP-0S C32FP-260S C3SL- psi, F L42P-060S LP-0S LP-0S C42FP-260S C4SL- 56

64 U R S OUT IN U R S OUT IN T N C M D Q 2P T N C M D Q E 2P L- L- L20- P 1/4 1/43/8 1/43/81/ C D E M N Q R S T U L20- L- L- L L20- L- L- L-06- L20- L-L- T L20-L- Series

65 W Series W W20-1/4 W- 1/43/8 W- 1/43/81/2 P.5965 W-06- W Series 58

66 W20-W- 1 2 L W 03 q w e r t ai1 W-03-1N- 20 q w e r t3 a b c d e N 1 F H C 5 D 6 M 1 C Rc NPT 1/4 3/8 1/2 N.C.(Normal Closed) N.O.(Normal Open) () () MPa MPa

67 W20-W- Series W20- W- q 20 tf g h i 11 W N R Z 12 1NPTW20-, NPT1/4W-W- ø3/8" W-W- 2W20-, 1/4 W-W- 3,,H,M 4 5, 1/4, (ø6ø4 ) MPa psi, F 6(0.75kW, 100L/min[NR] ) N.C. 70.7MPa )1.0MPa, 0.2MPa 0.4MPa 8 9P NPT SI M 13NPT cm 3 (kg) W20-1/4 8 () 0.21 W- 1/43/8 25 W- 1/43/81/2 560 ) 1.5MPa 1.0MPa MPa 5μm 45 () W

68 W20-W- Series ss'y 1) ss y NC 34 NO MPa MPa N.C. N.O. 4 W20- W- R22P-270S R32P-270S R22P-260S R32P-260S L L D27- W20- C2SF-C- D27-C- C2SF-- C2SF-C- D37- D38- W- C3SF-- C3SF-W- W- W-06- R42P-270S R42P-260S L L D47- D48-1 ss y. 2. R, NPT N. NPT PSI. 3N.O.0.1MPa, N.C.0.1MPaD27-, 0.15MPaD37-D47-. psi, F. 4 NPT. ss y O-ring W- C4SF-- C4SF-W- W-06-61

69 W20-W- Series., F.R.L. SMC.. q 0.15MPa w,,,.,,,,,. IP q20.1mpa q w q Lock, Lock.. Lock.. Lock. Lock.. w,... elocklock,.. Lock 62

70 W20-W- Series () W20- Rc 1/4 W- Rc 3/8 0.7MPa W- Rc 1/ MPa L/minNR W-06- Rc MPa L/minNR () W20- MPa MPa L/minNR W- MPa MPa MPa L/minNR 0.7MPa0.2MPa 20L/minNR W-/W MPa MPa MPa 63

71 W20-W- Series W20- W-W-06- IN OUT w t q w t q y e r u IN OUT y e r u 1 2 W20- W- W- W ss'y ss'y ss'y SUSHNR NR NR W22P-060S F20P-060S R22P-150S C2SFP-260S C2SF- W32P-060S FP-060S R32P-150S C32FP-260S C3SF- W42P-060S FP-060S R42P-150S C42FP-260S C4SF- psi, Fss'y 64

72 W20-W- Series W20- F T N S M D U W-W-06- T N F S R M D U IN OUT R C H () V Q 2P1 IN OUT C H () V Q 2P2 ( ) E 2P1 Y W 2P2 ( ) Y W IN Z OUT IN Z OUT W20-Max.4 W-W-06-MX.8 W20- W-W- N.C. N.O./N.C. N.O. N.C. O S M /Rc,ø10 /NPTø3/8" 17 1/4 T0604 W20- W- W- W-06-1/4 1/43/8 1/43/81/2 P1 P2 C D E F M M M M H H ø ø ø ø ø ø ø ø W20- W- W- W-06- M N C 65 Q R S T U V W Y Z

73 66

74

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