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7 ,,, Y N 3 N 31 P 1/ 1/ e f /3.5 1/4 Q ,,.. Q Q øe ø ø f cp ( ) Y N N eries I

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9 L,L Y,,.. Q Q Z Q ø ø f L L cp ( ) 4 ø X1 Y1 LW N X1 Y1 N LX Y /3.5 1/ ±0. ±0. ±0. ±0. ±0.5 L LX L Y1 3 Z e L LX 8 LW f Q X1 3 P 1/ 1/ N 3 N eries I 81

10 , Q Q Q øe ø ø f Y cp 4 ø N N X Z e 1/3.5 1/ ±0. ±0. ±0. ±0. ±0. ±0. ±0.3 ±0.3 Y X X Y 8 Z f Q 3 P 1/ 1/ N 3 N eries 8

11 Y,Y Q Q Q øe ø ø f Y cp 4 ø N N X Z /3.5 1/ ±0. ±0. ±0. ±0. ±0.3 ±0. ±0. ±0.3 X Y e X Y 8 Z f Q 3 P 1/ 1/ N 3 N eries I 83

12 , Q Q Q øe ø ø f Y cp 4 ø N N X Z /3.5 1/ ±0. ±0. ±0. ±0. ±0. ±0. ±0.3 ±0.3 Y X e X Y 8 Z f Q P 1/ 1/ N 3 N eries 84

13 Z,Z Q Q Q øe ø ø f Y cp 4 ø N N X Z /3.5 1/ ±0. ±0. ±0. ±0. ±0.3 ±0. ±0. ±0.3 X Y e X Y 8 Z f Q P 1/ 1/ N 3 N eries I

14 ,,, Q Q Q øe ø ø f Y Y cp 8 ø N N X X Z /3.5 1/ ±0. ±0. ±0. ±0. ±0. ±0. ±0.3 ±0.3 X Y e X 8 Y Z f Q 3 P 1/ 1/ N 3 N eries 86

15 ,,, Q Q Q øe ø ø f Y cp 8 ø N N X Y X Z ±0. ±0. ±0. ±0. ±0. ±0. ±0.3 ±0.3 X Y e X 8 Y Z f Q P 1/ 1/ N 3 N /3.5 1/4 eries I 8

16 1,,, Q Q Q øe ø ø f X cp ø N U L N /3.5 1/ e X U 5 f Q L 84 3 P 1/ 1/ N 3 N eries 88

17 ,,, Q Q Q øe ø ø f W W X U L cp ø/f8 N N /3.5 1/ f e X L 84 f Q U 5 W P 1/ 1/ N 3 N eries I 8

18 ,,, Q Q1/ 1/ Q øe ø ø øe f cp N N X Y±0.3 Y±0.3 Z mm 00mm 1/3.5 1/ e X e X f Q Y 5 Z P 1/ 1/ N 3 N eries 0

19 () 1 I-03 I-04 I-05 I-06 I-08 I- I-03 I-05 I-06 I-06 I- Y-03 Y-04 Y-05 Y-06 Y-08 Y- Y-03 Y-05 Y-06 Y-06 Y P L d d ød ø ød ±0. m ø d P-05 P-08 P- N-0 N-0 N-0 N-0 N- N-15 N-0 N-0 N-0 N-0 N d m 6 6 d ±0. 4±0. 6± L m t t 0. 0 m øf8 f8 L ød L L ø P ) eries I 1

20 -5/5-5NL -5W/5W -5L/5-5/6-5W -/V -W/WV -L/VL -/V -5/5-5W/5W -5L -5/5NL -5/64/5W -3/3-3 - s s s s t t 33 () /( ø6.8ø.6) 1/( ø6.8ø.5) eries s s

21 -V/WV -V 1) s /5-5W/5W -5/5L -5NL -5/6-5W -5/5-5W/5W -5/5L -5NL -5/64-5W s /3-3 ) s ) s s t s t mm -/V -W/WV -L/VL /5-5W/5W -5/5L NL /5-5W/5W -5/5L -5NL / /V ) 5-5/ W 3-5/ W / 3 6 1),, ø-3, 3, 3, ) øφ, øø, ø-, V 3) 1) øø, øø, ø-, V ),, ø-3, 3, 3, eries I 3

22 eries - -W 1) -V -WV 1) -L 1) -VL 1) - ) -V ) W -5W -5L -5-5NL W -5/5-5W -5W -5-5L -5NL -5/64-5W ) - 1) ()1 n ()1 n ()1 n ()1 n ()1 n ()1 n ()1 n ()1 n ()1 n ()1 n ()1 n ø øø (n ) (n,4,6,8 ) (n ) (n,4,6,8 ) (n ) (n,4,6,8 ) (n ) (n,4,6,8 ) (n ) (n,4,6,8 ) (n ) (n,4,6,8 ) (n ) (n,4,6,8 ) (n ) (n,4,6,8 ) (n ) (n,4,6,8 ) (n ) (n,4,6,8 ) ø ø (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) 0 0 (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) 1 1 (n4,8,1, ) 1 1 (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) 0 0 (n4,8,1, ) 1 ø ø 0 0 (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) 5 5 (n4,8,1, ) 0 0 (n4,8,1, ) 0 0 (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) 1 1 (n4,8,1, ) 1 1 (n4,8,1, ) 1 1 (n4,8,1, ) 1 1 (n4,8,1, ) 15 (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) 1 1 (n4,8,1, ) 1 5 (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) 1 5 (n4,8,1, ) 1 5 (n4,8,1, ) 0 0 (n4,8,1, ) 1 1 (n4,8,1, ) 1 n (n ) (n,4,6,8 ) (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) (n,3,4 ) (n,3,4 ) (n,3,4 )(n ) (n,4,6,8 ) (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) (n ) 0(n ) 1(n ) 15(n ) 1(n ) 1(n ) (n,4,6,8 ) (n,4,6,8 ) (n,4,6,8 ) (n,4,6,8 ) (n,4,6,8 ) (n,4,6,8 ) (n,4,6,8 )(n ) (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) (n4, 8, 1, ) (n ) 1(n ) 1(n ) 0(n ) 1(n ) (n ) (n ) 5(n ) 5(n ) 1(n ) (n,3,4 ) (n ) (n ) 5(n ) 00(n ) (n,3,4 ) (n ) (n ) (n ) 0(n ) 1(n ) (n,3,4 ) (n ) (n ) (n ) 0(n ) 1(n ) 0 1 1),, ø -, V, W, WV, L, VL, 3, 3, 3, ) øø, øø, ø, -, V 4 ø (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) 5 5 (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) ø 0 0 (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) 1 1 (n4,8,1, ) 0 0 (n4,8,1, ) 0 0 (n4,8,1, ) (n4,8,1, ) 0 0 (n4,8,1, ) 0 0 (n4,8,1, ) 1 1 (n4,8,1, ) 1 1 (n4,8,1, ) 0

23 I eries -/V -W/WV -L/VL -5/5/5-5W/5W -5L/5NL -5/5/5-5W/5W -5L/5NL -3/3 -/V -5/6-5W -5/64-5W -3/ /V -W/WV -L/VL -5/5/5-5W/5W -5L/5NL -5/5/5-5W/5W -5L/5NL -3/3 -/V -5/6-5W -5/64-5W -3/ /V -W/WV -L/VL -5/5/5-5W/5W -5L/5NL -5/5/5-5W/5W -5L/5NL -3/3 -/V -5/6-5W -5/64-5W -3/ ) ø -3, 3, 3, ) øø, øø, ø -, V (± ) -/V -W/WV -L/VL -/V ) // -5/5-5W/5W -5L/5/5NL -5/6/5W ø ø ø ø ø ø ø ø ø -3/ / -5/5-5W/5W L/5/5NL -5/64/5W -3/ / -5/5-5W/5W L/5/5NL -5/64/5W -3/ / -5/5-5W/5W -5L/5/5NL /64/5W 1),, ø-3, 3, 3, ) øø, øø, ø-, V ø ø ø (V), W(V), (V)L ( ) 1 : -5, 5, 5, 6 3 : -5, 5, 5, 6 )1, 3P.6-5L, 5L, 1, 3 3) -(V)L (-, 5-) L 5

24 eries 1 No L L L L N Y5Y6Y Y5Y6Y () -NV, PV, V -NWV, PWV, WV () -NVL, PVL, VL -5, 5P, 5-5W, 5PW, 5W () -5L -5NL, 5NL -3V, 6V () -0V -53,, 53 () -6 P., 30 ( ) ( ) ( ) ( ) -N(V)-P(V)-(V) -NW(V)-PW(V)-W(V) -N(V)-P(V)-(V) r () q w(4) () e r (.5) t e q w e 1) mm ) (4).Nm 3) (.5) mm, 0.0.Nm 0 6

25 I eries -Z3Z6Z (4) () -5-5P L -5W-5PW-5W -5-5NL W (.5) q (4)() w e (.5) r w 1) mm ) (4).Nm 3) (.5) mm, 0.0.Nm 0 q(4) w () e (4. Nm)

26 eries Order ade 1 X ød ø ød ø ø ød ø ø ø ) mm ). ) mm 1) 1,3,4,5. ) ød ø ød ø ød ø. ) mm ) mm 8

27

28 I/ 3.5Pa Pa W W eries ø, ø, ø, ø, ø, ø () 3.5Pa Pa W L L W ()WL- 4(NPN) 3(NPN) L P.1. P.4. L W 5V,1V 5V mm mm mm mm mm mm N. V V V,0V 0V ø øø ø øø N 3(NPN) 5 5 5V,1V P 3(PNP) 4V 5P 5P 1V 5 5 V,0V 51 3(NPN) 5V,1V 3 1V 3 ( ) ( ) ( ) 3(NPN) 5V,1V 3(PNP) 4V 1V 3(NPN) 5V,1V 3(PNP) 1V 54 1V V 33 V,0V IN ( ) 5W 5W 0.5m ()NW 1m ()NW 3m L ()NWL 5m Z ()NWZ P.6 -,, W, L()(, ) 0 NW 5W PW 5PW W 5W N P W 5PW 5W n 1 3 n. P () (m) () (L) (Z) P.1 I I I I PL, ø-, -V I I I PL PL PL

29 I W W eries Pa mm W W 3.5,,,,, Order ade -X I (P.8) P. ( ) Pa Pa Pa Pa ) P.4,,,, W st 0, 1st 0, 1.5 5st 0, 0st W mm/s ) (P.1, ). () YZ () () () LL () 1

30 W W eries I 8. P ,,, L L (Pa) kg mm) W/O O/W. 1 3 L L (mm ) (Pa) mm) N (Pa)

31 I W W w q @6 r o u # # ( ) 4 ( ) 5 ( ) 6 ( ) N N N N N N N N N W-P W-P W-P W-P W-P W-P W-P W-P W-P 1. W-P W-P W-P W-P W-P W-P W-P W-P W-P 3

32 W,W ø ø cp N N / 1/ N P ø ø W W eries 4

33 WL,WL Z ø ø L L LX Y Y X X LW LW cp N N ø ø ±0. ±0. ±0. ±0.3 ± / 1/ LX LW L L Y X Z P 3 N 4 ø I W W eries 5

34 WL,WL Z ø ø L LW L LX cp N X1 Y1 N X / 1/ LX P LW L L N Z X1 3 Y1 ø ø Y1 4 ø ±0. ±0. ±0. ±0. ± W W eries 6

35 W,W ø ø Y X Z 1 cp N N / 1/ Z X 8 Y P 3 N ø ø 4 ø ±0. ±0. ±0. ±0. ±0. ±0. ±0.3 ± I W W eries

36 W,W 8 ø ø ø X Y Y X Z cp N N / 1/ X Y Z N P ø ø ±0. ±0.3 ±0. ±0. ±0.3 ±0. ±0. ± W W eries 8

37 W,W 1/ ø ø øe X Z cp N N / 1/ Z 5 e Y X P N ø ø Y±0.3 Y± I W W eries

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