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1 eries,,,,,, 4 W 0 W Q Q 9 9

2 eries D J -K - X X5 X6 X7 X9 X X3 X4 X5 X6 X7 X X9 X0 X X X X X X6 X7 X X X X X X6 ( 0 ) (5mm/s) ( 0 ),, (U4) U ).,. 40

3 eries Q 4

4 eries,,,,, L F D T F L J K N R H P.43. ( )... N H ( P.43.) mm mm mm mm mm mm mm mm mm mm Rc TN NPT TF -L -F - -D -L -F - -D -L -F - -D -L -F - -D -L -F - -D -L -F - -D,.,, (). -L -F - -D P.4. 4

5 eries,, ).57MPa 0.97MPa 0.05MPa 0mm/s 0.06MPa 0.5mm/s 0 ( ) 0 st :.0 0,,000 st :.4 0,,00,0 st :. 0 st :. 0, st :.6 0 ).46MPa.,,,,, Order Made X X5 X6 ( 0 ) X3 X4 X5 ( ) X6, X X9 X0 X X X X X6 X7, X X X6 U ( ) P , J K. 43

6 eries,,,,, NR NR NR : ) : ) : : JI O-ring PNY, NLP KY, RP mm). (3.73). (.).53 (.4).53 (.4). (.57). (9.09). (.57). (.57) 4.77 (.03) 7.57 (.3). (9.4). (9.4) (kg). 54,,, P... ( ),.,..9 (.).7 (.6).6 (.5).3 (.6).0 (.6). (9.37). (.6).7 (.) 3. (.) () ( :(L (, )./ /00.5kg (kg) () ()

7 eries ( ) P.4.,. 4

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9 D eries,,,, D L M9W L F D T N H. () D- mm mm mm mm mm mm mm mm TN TF Rc NPT ( P.49.) 3 n 3 n. J K N R H P.4. ( )... P.37. () D (Z) ( ) ( ) ( ) ( ) DIN 3(NPN) 3(PNP) 3(NPN) 3(NPN) 3(PNP) 3(NPN) 3(PNP) 4(NPN) 3 (NPN ) 0.5m () M9NW m M () M9NWM 3m L () M9NWL 5m Z () M9NWZ M9N M9P M9 J5 M9NW M9PW M9W M9N M9P M9 FF W. P.4. P.3, 39. D-9, M9, M9W, M9L ().(,.) 4V 4V 4V 5V,V V 5V,V V 5V,V V 5V,V V 5V,V 5V V 5V,V V 00V,V 00V 00V 00V,V V 00V,V K (m) () (M) (L) I I I I I I I, PL, PL PL, PL 4

10 D eries,,.57mpa 0.97MPa 0.05MPa 0mm/s,.MPa 0.7MPa,,.57MPa 0.97MPa 0.06MPa 0.5mm/s 0 ( ) 0 st.0 st.4,,000 st.,,00, ,,,,, Order Made P.373 X X5 X3 X4 X6, X X9 X0 X X X X X6 X7, X X X6 U,,,, :9., :90. P.4~4. ( ) 4

11 D eries NR NR NR JI O-ring PNY, NLP KY, RP : 000, 0 NLP. NLP. (kg) mm) () () L -F - -D -L -F - -D -L -F - -D -L -F - -D,.,, (). -L -F - -D 49

12 D eries (), 00 ~ 0st ~ 0st (), (), ().,, ( P.4.) D ( ) P.4.,. 4

13 eries D (),.,,,,, ( ). --P --P --P D--P #0, #, #, #3, #5 ( g,, g).. R--000g, R--0g N-P N-P N-P N-P #0, #, #, #3, #5 ( g,, g).. R--000g, R--0g DL-P DL-P #0, #, #, #3, #5 000, 0. ( g,, g).. R--000g, R--0g H-P H-P #0, #, #, #3, #5 4

14 eries (),N),H) D L D E H d e f h l mm. E F F J M.5 M.5 M.5 M.5 M.5 M4.5 K K M MM M.5 M.5 M.5 M M64 N P.4. P.444. P

15 L LLNLH DL L D E E 74 6 F F J M.5 M.5 M.5 M.5 M.5 M4.5 K K LD LH 00 3 L 6 36 LT LX 00 3 LY MM M.5 M.5 M.5 M M64 N RT P H RY X Y e 05 d 9 0 f h 6 l L mm.. P.4. P eries

16 4 FD 4 FD 4 FD F FFNFH DF L D E E 74 6 F F FD FT FX FY 00 3 FZ J M.5 M.5 M.5 M.5 M.5 M4.5 K K M N MM M.5 M.5 M.5 M M64 H e 05 d 9 0 f h 6 l P M M RT RY mm.. P.4. P eries

17 eries NH 4 FD D 4 FD L D H d e f h l mm. E E F F FD FT FX FY 00 3 FZ J M.5 M.5 M.5 M.5 M.5 M4.5 K K P.4. P.444. MM M.5 M.5 M.5 M M64 N P

18 NH D L T 37 D E E 74 6 F F J M.5 M.5 M.5 M.5 M.5 M4.5 K K L 65 MM M.5 M.5 M.5 M M64 N RR P H Z e 05 d 9 0 f h 6 6 U 65 l Z Z Z mm.. P.4. P.444. DH X eries

19 eries D DDNDH DD ) L DH U H Z d e f mm. T 37 X h l Z Z D E E F F 74 6 J M.5 M.5 M.5 M.5 M.5 M4.5 K K L MM M.5 M.5 M.5 M M64 N P RR Z Z P.4. P

20 eries T TTNTH DT TY L D TZ H Z d e 05 E E 74 6 F F f h 6 l mm. (, mm.) Z J M.5 M.5 M.5 M.5 M.5 M K K M MM M.5 M.5 M.5 M M64 N P R TDe TT TX Z Z P.4. P

21 eries I l I- I- I- I- I- I- I E L MM M.5 M.5 M.5 M M64 NDH NX : RR U : d Dd9 L l m IY IY IY IY IY IY IY- Y Y- Y- Y- Y- Y- Y- Y- 9 9 E L MM M.5 M.5 M.5 M M64 NDH (.) H. ( H, -XO.),. NX NZ : RR U NT- NT- NT- NT- NT- NT- d M.5 M.5 M.5 M M64 H : D H L H I I- I- I- I-I- I- I- Y Y- Y- Y- Y-Y- Y- Y- H H

22 L F T (.) () W eries,,,,,,,, W DW F N H. () DW-00 L L TN TF Rc NPT mm mm mm mm mm mm mm mm mm mm M9W. J K JJ KK N R H... 3 n ( ) 3 n P.. P.37. () D (Z)( ) 0.5m () M9NW m M () M9NWM. 3m L () M9NWL 5m Z () M9NWZ P.4. P.3, 39. D-9, M9, M9W, M9L ().(,.) 0 ( ) ( ) ( ) DIN 3(NPN) 3(PNP) 3(NPN) 3(NPN) 3(PNP) 3(NPN) 3(PNP) 4(NPN) 4V 4V 3(NPN ) 4V 5V,V V 5V,V V 5V,V V 5V,V V 5V,V 5V V 5V,V V 00V,V 00V 00V 00V,V V 00V,V M9N M9P M9 J5 M9NW M9PW M9W M9N M9P M9 FF W K (m) () (M) (L) I I I I I I I, PL, PL PL, PL

23 W eries Order Made P.373 X X6 ( 0 ) X4 X5 X6, X X X X NR NR NR ( : ) : ) : ) JI O-ring PNYNLP KYRP, ( ). NLP. P.4~4. ( ).57MPa 0.97MPa 0.05MPa 0mm/s 0.97MPa 0.06MPa 0.5mm/s st :.0,000 st :.4,00, st : ,,, 0 () : 0 () 0.46MPa kg mm) ( :(WL-0.(, ).57/ /00.99kg () kg

24 W eries J K mm) W-L W-L W-L W-L W-L W-L W-L -F -F -F -F -F -F -F P.444.

25 W eries,.,, ( ). W ( ) P.4.,. 3

26 W eries W ( ),.,,,,, ( ). W--P W--P W--P W--P W--P W--P ( g,, g, g).. R--000g, R--0g WN-P WN-P WN-P WN-P WN-P WN-P ( g,, g, g).. R--000g, R--0g W-P W-P DW-P DW-P ( g,, g).. R--000g, R--0g WH-P WH-P 4

27 P l f l hl e F l F N N M E L K l f h+l+ e D E L f l h+l e D P K MM K K MM W WWNWH L D E E 74 6 F F J M.5 M.5 M.5 M.5 M.5 M4.5 K K M MM M.5 M.5 M.5 M M64 N 6 H e 05 d 9 0 f h () l () () () P.444. P W eries

28 RcP 4 LD l f l hl e l WL WLWLNWLH LX 00 3 LY MM M.5 M.5 M.5 M M64 N 6 X Y L D E E 74 6 F F J M.5 M.5 M.5 M.5 M.5 M4.5 K K LD LH 00 3 L 6 36 LT H e 05 d 9 0 f h () l () P L () () P W eries

29 4 FD RcP l f l hl e l WF WFWFNWFH L D E E 74 6 F F FD FT FX FY 00 3 FZ J M.5 M.5 M.5 M.5 M.5 M4.5 K K MM M.5 M.5 M.5 M M64 N 6 M 4 6 H e 05 f h () l () P d () () P W eries

30 RcP f l hl Zl/ l l e WT WTWTNWTH L D E E 74 6 F F J M.5 M.5 M.5 M.5 M.5 M4.5 K K M MM M.5 M.5 M.5 M M64 N R TT TX TY TZ H Z e 05 f h 6 Z Z l () () P.444. () d 9 0 P TDe Z Z () W eries

31 Q eries,, L Q D L Q M9W L F D T (). () mm mm mm TN TF P.4. 3 n 3 n. J K R H. P.4. P.37. () D (Z) ( ) ( ) ( ) DIN 3(NPN) 3(PNP) 3(NPN) 3(NPN) 3(PNP) 3(NPN) 3(PNP) 4(NPN) 3(NPN ) M9N M9P M9 J5 M9NW M9PW M9W M9N M9P M9 FF W K ( ) 0.5m () M9NW m M () M9NWM. 3m L () M9NWL 5m Z () M9NWZ P.4. P.3, 39. D-9, M9, M9W, M9L ().(,.) 4V 4V 4V 5V,V V 5V,V V 5V,V V 5V,V V 5V,V 5V V 5V,V V 00V,V 00V 00V 00V,V V 00V,V (m) () (M) (L) I I I I I I I, PL, PL PL, PL 9

32 Q eries 0.005MPa IR.05MPa 0.7MPa 0.005MPa :0 (, :0 ( 0.5l/min(NR),,,,,,,, mm Order Made P.373 X X3 X X X6 X7 (U4) X P.4~4. ( ) 4

33 Q eries -L -F - -D -L -F - -D ( NR -L -F - -D : PNY, NLP J K P ().37.. : ()LQ0() / /00.94kg (kg) MPa MPa 44

34 Q NR P L 53 4 D E E F J M.5 M.5 M.5 K K M MM M.5 N P / / 3 /4 H Q eries

35 Hs Hs Hs Hs Ht Ht Ht Hs Ht Ht D-3l D-3/K3 D-F5l/J5l/D-F5NTL D-F5L/FF D-F5lW/JW D-5l/6l D-44 D-9l9lV D-M9l/M9lV D-M9lW/M9lWV D-M9lL/M9lVL D-Z7l/Z D-Yl/Y69l/Y7P/Y7PV D-Y7lW/Y7lWV D-Y7L D-9 D-9V D-M9 D-M9W D-M9L Hs Ht D-M9V D-M9WV D-M9VL Hs Ht D-Z7/Z D-Y5/Y6 D-Y7P D-Y7PV D-Y7W D-Y7WV D-Y7L Hs Ht D-3 D- D-K Hs D-44 Ht D-5 D-6 D-W Hs Ht D-F5 D-J5 D-F5W D-JW D-F5L D-FF D-F5NTL Hs Ht mm DQ,, D-9 D-9V D-M9 D-M9V D-M9W D-M9WV D-M9L D-M9VL D-Z7/Z D-Y5/Y6 D-Y7P/Y7PV D-Y7W D-Y7WV D-Y7L D-5 D-6 D-3 D-44 D- D-K D-W D-F5W D-JW D-F5L D-F5 D-J5 D-FF D-F5NTL mm.. DQ,, 6. ~ ~.5 4 eries

36 eries D-9 D-9V D-M9 D-M9W D-M9V D-M9WV D-M9L D-M9VL D-5/6 D-W D-F5/J5 D-F5W D-JW D-F5L D-FF D-F5NTL D-3 D- D-K D-44 D-Z7 D-Z D-Y D-Y7P D-Y7W D-Y69 D-Y7PV D-Y7WV D-Y7L (, ) n (, ) n (, ) n (, ) n (, ) (DQ,, n n n, 4, 6, (, ) 00 n 00 n 4 05 n 4 n, 4, 6, n4,,, n4,,, 0 n n 4 n 4 n, 4, 6, n4,,, n4,,, 05 n 05 n 4 n 4 n, 4, 6, n4,,, n4,,, 05 0 n n 4 n 4 n, 4, 6, n4,,, n4,,, n n () n 4 n, 4, 6, n4,,, (, ) nnn () (, ) n n 4 n, 4, 6, n4,,, n 4 n4,,, n 4 n4,,, n n 05 n 4 n 4 n, 4, 6, n4,,, n4,,, (, ) n n n 4 95 n 4 n, 4, 6, n4,,, n4,,, (, ) n n n n n, 4, 6, n, 4, 6, (, ) n 0000n n n n n, 4, 6, n n 4 n 4 n 4 n, 4, 6, n4,,, n4,,, n4,,, n n, 4, 6, 00n n, 4, 6, n n, 4, 6, n n, 4, 6, n 4 n4,,, n 4 n4,,, n 4 n4,,, n 4 n4,,, n n, 4, 6, n n, 4, 6, n n 4 n4,,, n 4 n4,,, n 4 n4,,, n 4 n4,,, 0n n, 4, 6, n n, 4, 6, n n, 4, 6, n n, 4, 6, n 4 n4,,, 444

37 eries D-9/9V D-M9/M9V D-M9W/M9WV D-M9L/M9VL D-Z7/Z D-3/44 D-5/6 D-W D-Y/Y69 D-Y7P/Y7PV D-Y7W/Y7WV D-Y7L D-F5/J5/F5W D-JW/F5L D-F5NTL/FF D-/K mm ,. ( ± ). (DQ),, D-9/9V D-M9/M9V D-M9W/M9WV D-M9L/M9VL D-5/6 D-W D-F5/J5 D-F5NTL D-F5W/JW D-F5L/FF D-3/44 D-/K D-Z7/Z D-Y/Y69 D-Y7P/Y7PV D-Y7W/Y7WV D-Y7L 5- T T T T T ( ),.(.) D-5, 6, F5, J5 D-F5L D-M9L/M9VL, Y7L (5-, 4- M4 L ) P.. D-9(V), M9(V), M9W(V), M9(V)L. P.37. D-V D-93V, V D-Z73, Z76 D-53, D-67 D-Z D-F, F5P, J D-Y, Y, Y7P D-FW, F5PW, JW D-Y7NW, Y7PW, Y7W D-F5L, Y7L D-F5NTL D-M9NV, M9PV, M9V D-Y69, Y69, Y7PV D-M9NWV, M9PWV, M9WV D-Y7NWV, Y7PWV, Y7WV D-M9NVL, M9PVL, M9VL. P.3, 39. Normal losed(n=b) (D-F9, F9H, Y7, Y7H) P., 9. 4

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