필름소재는액정 PDP 의광학필름을시작으로식품 의약품등의폭넓은용도가있습니다. 제조공정에서는 원료의용해, 필름베이스제조, 각종용제도포, 감기, 감아내기 등수많은공정이있어 방폭사양, 정전기제거나온도컨트롤등의니즈가있습니다. 공정별로제품테마와제품를소개합니다. ( 이하공정은일반적

전공정前후공工程工程後테마정전기종텐션컨트롤방폭 ( 저마찰제어 ) 내식 오존대책 1 용해 2 유연 3 연신 4 감기 5 감아내기 6 도포 7 건조 클린 ( 블로 ) 배선절약온조 고진공 8 재단감아내기 P-K06-11A-A

필름소재는액정 PDP 의광학필름을시작으로식품 의약품등의폭넓은용도가있습니다. 제조공정에서는 원료의용해, 필름베이스제조, 각종용제도포, 감기, 감아내기 등수많은공정이있어 방폭사양, 정전기제거나온도컨트롤등의니즈가있습니다. 공정별로제품테마와제품를소개합니다. ( 이하공정은일반적인예를든것으로테마, 제품을한정하는것은아닙니다. 기기선정시참고로이용해주십시오.) PET 필름제조공정예 전공정 각공정방폭구역에서사용하는경우는방폭용기기를선정해주십시오. 원료용액 ( 도프 ) 1 원재료용해 방폭용기기 공업용필터 내식성향상 덕트개도컨트롤 밸브개도컨트롤 계장시스템 서문 3 호퍼 정량펌프 필터 캐스팅 설치대 횡연신 종연신 드럼캐스트 2 유연 서문 4 열처리 3 연신 서문 5 내식성향상 온도컨트롤 감기 온도컨트롤 4 감기 서문 6 저마찰제어관련기기 정전기대책, 클린블로 서문 1

8 재단감기 서문 12 후공정 저마찰제어관련기기 정전기대책, 클린블로 에어부상유니트 비접촉패드 클린룸용기기 각공정방폭구역에서사용하는경우에는방폭용기기를선정해주십시오. 또한, 클린룸환경에서사용하는경우는클린룸의청정도에적합한기기를선정해주십시오. 건조 UV 조사 재단 감기 도포 7 건조 UV조사서문11 클린룸용기기 정전기대책, 클린블로 온도콘트롤 6 도포 서문 9 5 감아내기 서문 7 저마찰제어관련기기 정전기대책, 클린블로 클린룸용기기 방폭용기기다이어프램식펌프 정전기대책, 클린블로 배선절약시스템 클린룸용기기 내식성향상 온도콘트롤 코로나방전등으로대책 고진공밸브 도포건조 UV 조사 재단 롤감기 롤감기 서문 2

전공정 1 원재료용해 건조한 PET 원료칩을호퍼에투입, 압출기에공급하여완전용해시킵니다. 원료용액 ( 도프 ) 호퍼 정량펌프 필터 원료의조합 방폭용기기 본질안전방폭형 5포트솔레노이드밸브 /51-SY P.2 방폭형솔레노이드밸브 /50-VFE/VPE P.2 5포트솔레노이드밸브 /SY P.2 5포트솔레노이드밸브 /VQC P.2 방폭사양은없습니다. 비방폭구역에서사용해주십시오. 공업용필터 용제계환경 내식성향상 스테인리스실린더 /CJ5 S/CG5 S P.7 플로팅조인트 ( 스테인리스 )/JS P.7 SUS316 원터치피팅 /KQG2 P.10 SUS316 인서트피팅 /KFG2 P.10 스테인리스스피드컨트롤러 /ASG P.7 FEP 튜브 /TH/TIH P.11 불소수지제튜브 /TL/TIL P.11 클린레귤레이터 /SRH P.10 공업용필터 /FG P.21 방폭사양이아닙니다. 비방폭구역에서사용해주십시오. 공조덕트제어원재료정량제어 덕트개도컨트롤밸브개도컨트롤계장시스템 전-공포지셔너 /IP8000/8100 P.4 정밀레귤레이터 /IR1000/2000/3000-A P.10 선정포인트와주의 방폭구역에서사용하는경우는방폭용기기를선정해주십시오. 전자밸브를장시간통전상태로사용하는경우는저소비전력타입의전자밸브를사용해주십시오. 상세한사양은 P.26 을참조해주십시오. 용제계환경에서사용하는경우는제품품질에영향을미치는경우가있으므로기기사양, 재질에주의해주십시오. 고온, 용제환경등에서사용하는경우, 제품사양 ( 사용온도, 재질등 ) 을확인한후선정해주십시오. 서문 3

전공정 2 유연 설치대에서축방향으로유연한후냉각드럼에밀착, 급격고화시키면 PET 시트가제조됩니다. 설치대 드럼캐스트 용제계환경 내식성향상 스테인리스실린더 /CJ5 S/CG5 S P.7 플로팅조인트 ( 스테인리스 )/JS P.7 SUS316 원터치피팅 /KQG2 P.10 SUS316 인서트피팅 /KFG2 P.10 스테인리스스피드컨트롤러 /ASG P.7 FEP 튜브 /TH/TIH P.11 불소수지제튜브 /TL/TIL P.11 드럼냉각 온도컨트롤 서모칠러 ( 표준타입 )/HRS P.19 서모칠러항온수순환장치 ( 고기능타입 )/HRZ P.20 선정포인트와주의 클린룸환경에서사용하는경우에는클린룸의청정도에적합한기기를선정해주십시오. 용제계환경에서사용하는경우는제품품질에영향을미치는경우가있으므로기기사양, 재질에주의해주십시오. 고온, 용제환경등에서사용하는경우, 제품사양 ( 사용온도, 재질등 ) 을확인한후선정해주십시오. 서문 4

전공정 3 연신 롤을보내는속도를바꾸어종방향으로연신, 고온건조로안에서횡방향으로연신시킵니다. 횡연신 종연신 빠름 느림 롤 롤온도조절 온도컨트롤 서모칠러 ( 표준타입 )/HRS P.19 서모칠러항온수순환장치 ( 고기능타입 )/HRZ P.20 선정포인트와주의 열원주변에서기기를사용하는경우, 기기의사양 ( 사용온도범위 ) 을확인해주십시오. 서문 5

전공정 4 감기 몇개의롤을통과하여안정적인치수로만들어감습니다. 감기 텐션컨트롤 저마찰제어관련기기 저마찰실린더 ( 메탈 Seal 타입 )/MQQ/MQM P.6 저속저마찰실린더 / CJ2Y/CM2Y/MBY/CA2Y/CS2Y/CQ2Y P.5 전공레귤레이터 /ITV1000/2000/3000 P.9 정밀레귤레이터 /IR1000/2000/3000-A P.10 이물부착방지 정전기대책 이오나이저 /IZS40/41/42 P.12 클린블로 클린에어모듈 /LLB P.16 선정포인트와주의 열원주변에서기기를사용하는경우, 기기의사양 ( 사용온도범위 ) 을확인해주십시오. 서문 6

후공정 5 감아내기 일정하게텐션컨트롤하면서감아냅니다. 감아내기 텐션컨트롤 저마찰제어관련기기 저마찰실린더 ( 메탈 Seal 타입 )/MQQ/MQM/MQP P.6 저속저마찰실린더 / CJ2Y/CM2Y/MBY/CA2Y/CS2Y/CQ2Y P.5 전공레귤레이터 /ITV1000/2000/3000 P.9 정밀레귤레이터 /IR1000/2000/3000 -A P.10 이물부착방지품질향상 정전기대책 이오나이저 /IZS40/41/42 P.12 클린블로 클린에어모듈 /LLB P.16 직동형 2포트솔레노이드밸브 /VX2 P.17 클린원터치피팅블로용 /KP P.11 폴리오레핀튜브 /TPH P.11 선정포인트와주의 텐션컨트롤을실행할때에는접동저항이낮은실린더와고정도압력제어가필요합니다. 저마찰타입의실린더와정밀감압밸브나전공레귤레이터를조합하여사용하십시오. 클린룸환경에서사용하는경우는클린룸의청정도에적합한기기를선정해주십시오. 클린룸사양 클린룸용공기압기기 클린 P.22 서문 7

감기, 감아내기할때텐션컨트롤 ( 예 ) 1 댄서롤제어 감는구경이커지면댄서롤의텐션을감소시킵니다. ( 필름의늘어짐이나변형을교정하여장력을유지합니다.) 실린더는기계손실이적은저마찰 CYL 등을사용합니다. 전공레귤레이터 E P 저마찰실린더 2에어브레이크제어감긴구경을검출하여변위를전공변환기에전달하여에어브레이크를작동시킵니다. 에어브레이크 감기는구경검출 E P 서문 8

후공정 6 도포 용도에따른각종용제를도포. 도공헤드 탱크 산, 알칼리각종약액환경 내식성향상 약액용에어오퍼레이트밸브 /LV P.17 불소수지제피팅하이퍼피팅 /LQ1 P.17 불소수지제피팅플레어타입 /LQ3 P.17 스테인리스실린더 /CJ5 S/CG5 S P.7 플로팅조인트 ( 스테인리스 )/JS P.7 SUS316 원터치피팅 /KQG2 P.10 SUS316 인서트피팅 /KFG2 P.10 스테인리스스피드컨트롤러 /ASG P.7 FEP 튜브 /TH/TIH P.11 불소수지제튜브 /TL/TIL P.11 용제의이송 방폭용기기 본질안전방폭형 5포트솔레노이드밸브 /51-SY P.2 내압방폭형솔레노이드밸브 /50-VFE/VPE P.2 5포트솔레노이드밸브 /SY P.2 5포트솔레노이드밸브 /VQC P.2 비방폭구역에서사용. 다이어프램식펌프 프로세스펌프 / 불소수지타입 /PA/PAP P.19 프로세스펌프 /PAF P.19 방폭사양이아닙니다. 비방폭구역에서사용해주십시오. 조송액제어 배선절약시스템 시리얼전송시스템 /EX P.4 시리얼전송시스템 /EX510 P.4 SUP 스톱밸브부착매니폴드 /SS5Y -X460 P.3 방폭용기기 본질안전방폭형 5포트솔레노이드밸브 /51-SY P.2 내압방폭형솔레노이드밸브 /50-VFE/VPE P.2 선정포인트와주의 전자밸브를장시간통전상태로사용하는경우는저소비전력타입의전자밸브를사용해주십시오. 상세는 P.26 을참조해주십시오. 용제계환경에서사용하는경우는제품품질에영향을미치는경우가있으므로기기사양, 재질에주의해주십시오. 고온, 용제환경등에서사용하는경우, 제품사양 ( 사용온도, 재질등 ) 을확인한후사용하십시오. SUP 스톱밸브부착매니폴드 (P.3 참조 ) 를사용하여라인전체를정지시키지않고부분적으로기기를교환할수있으며신속하게재가동할수있습니다. 방폭구역에서사용하는경우는방폭용기기를선정해주십시오. 클린룸환경에서사용하는경우는클린룸의청정도에적합한기기를선정해주십시오. 서문 9

약액온도 유량관리 온도컨트롤 서모칠러 ( 표준타입 )/HRS P.19 서모칠러항온수순환장치 ( 고기능타입 )/HRZ P.20 플로스위치 /PFM/PF2A/PF3W P.17 오존대책 내오존성향상 오존대책기기 P.30 선정포인트와주의 롤 용제를일정온도로컨트롤하여안정되고균일한도포를가능하게합니다. 칠러로고정도온도조절이가능합니다. 탈기처리 고진공밸브 스테인리스제고진공 L형밸브 /XM P.20 스테인리스제고진공스트레이트형밸브 /XY P.20 고진공스트레이트전자밸브 /XSA P.20 클린룸사양 클린룸용공기압기기 클린룸 P.22 이물부착방지 정전기대책, 클린블로 이오나이저 /IZS40/41/42 P.12 클린블로 클린에어모듈 /LLB P.16 선정포인트와주의 롤감기나감아내기의박리시에는정전기에의해이물부착 달라붙는등의현상이발생합니다. 정전기제거를위해이오나이저를사용해주십시오. 클린룸환경에서사용하는경우는클린룸의청정도에적합한기기를선정해주십시오. 서문 10

후공정 7 건조 UV 조사 건조시킨도공성분을필름에고착시켜 UV 조사로표면을경화시킵니다. 클린룸사양 클린룸용공기압기기 클린룸 P.22 이물부착방지 정전기대책, 클린블로 이오나이저 /IZS40/41/42 P.12 클린블로 클린에어모듈 ( 주문제작사양 )/LLB P.16 선정포인트와주의 고온에의해대전하여정전기가발생합니다. 이물부착달라붙음정전기방지에이오나이저를사용해주십시오. 클린룸환경에서사용하는경우에는클린룸의청정도에적합한기기를선정해주십시오. UV 열원온조 온도컨트롤 서모칠러 ( 표준타입 )/HRS P.19 서모칠러항온수순환장치 ( 고기능타입 )/HRZ P.20 서문 11

후공정 8 재단감기 감으면서종방향으로재단 ( 슬릿 ) 하여필름을일정한텐션으로감아냅니다. 재단 감기 텐션컨트롤 저마찰제어관련기기 저마찰실린더 ( 메탈 Seal 타입 )/MQQ/MQM/MQP P.6 저속저마찰실린더 / CJ2Y/CM2Y/MBY/CA2Y/CS2Y/CQ2Y P.5 전공레귤레이터 /ITV1000/2000/3000 P.9 정밀레귤레이터 /IR1000/2000/3000 P.10 이물부착방지품질향상 정전기대책 이오나이저 /IZS40/41/42 P.12 클린블로 클린에어모듈 ( 주문제작사양 )/LLB P.16 직동형 2포트솔레노이드밸브 /VX2 P.17 클린원터치피팅블로용 /KP P.11 폴리오레핀튜브 /TPH P.11 소프트폴리오레핀튜브 /TPS P.11 클린룸사양 클린룸용공기압기기 클린 P.22 품질향상 에어부상유니트비접촉척 선정포인트와주의 텐션컨트롤을실행할때에는접동저항이낮은실린더와고정도압력제어가필요합니다. 저마찰타입의실린더와정밀감압밸브나전공레귤레이터의조합으로사용해주십시오. 재단용실린더에는고강성, 고정밀도가뛰어난가이드부착실린더를사용해주십시오. 제품품질향상을위해공기의질을높이는청정화기기를사용해주십시오. 클린룸환경에서사용하는경우는클린룸의청정도에적합한기기를선정해주십시오. 서문 12

C O N T E N T S 필름제조공정용기기 방향제어기기본질안전방폭시스템대응 5포트솔레노이드밸브 /51-SY P.2 방폭형솔레노이드밸브 /50-VFE/VPE P.2 5포트솔레노이드밸브 /SY P.2 5포트솔레노이드밸브 /VQC P.2 SUP 스톱밸브부착매니폴드 /SS5Y -X460 P.3 시리얼전송시스템시리얼전송시스템 /EX P.4 시리얼전송시스템 /EX500 P.4 계장기기전-공포지셔너 /IP8000/8100 P.4 압력스위치 / 유량센서 2색표시식디지털압력스위치 /ZSE80(F)/ISE80(H) 2색표시식디지털플로스위치 /PFM 공기용디지털플로스위치 /PF2A 3색표시물용디지털플로스위치 /PF3W 유체제어용밸브직동용 2포트솔레노이드밸브 /VX2 약액용에어오퍼레이트밸브 / 피팅일체형 /LVC 약액용에어오퍼레이트밸브 / 나사체결형 /LVA 불소수지제피팅불소수지제피팅하이퍼피팅 /LQ1 불소수지피팅플레어타입 /LQ3 P.16 P.17 P.17 P.17 P.17 P.18 P.18 P.17 P.17 구동기기저속저마찰실린더 /CJ2Y/CM2Y/CG1Y/MBY/CA2Y/CS2Y/CQSY/CQ2Y P.5 저마찰실린더 ( 메탈 Seal 타입 )/MQQ/MQM P.6 스테인리스실린더 /CJ5 S/CG5 S P.7 구동제어기기 / 부속관련기기스테인리스스피드컨트롤러 /ASG P.7 플로팅조인트 ( 스테인리스 )/JS P.7 프로세스펌프프로세스펌프 / 복동펌프 /PA/PAP/PAX 비메탈펌프 / 복동펌프 /PAF 온조기기서모칠러 /HRS 서모칠러 /HRS090 서모칠러 /HRS100/150 서모칠러 /HRZ P.19 P.19 P.19 P.20 P.20 P.20 압력제어기기박형전공레귤레이터 /ITV0000 P.8 전공레귤레이터 /ITV1000/2000/3000 P.9 정밀레귤레이터 /IR1000/2000/3000-A P.10 클린레귤레이터 /SRH P.10 피팅 / 튜브 SUS316 원터치피팅 /KQG2 P.10 SUS316 인서트피팅 /KFG2 P.10 클린원터치피팅블로용 /KP P.11 폴리오레핀튜브 /TPH P.11 소프트폴리오레핀튜브 /TPS P.11 불소수지튜브 /TL/TIL P.11 FEP 튜브 /TH/TIH P.11 제전기기이오나이저 /IZS40/41/42 P.12 필터클린에어모듈 /LLB P.16 클린에어필터 /SFD P.16 고진공기기고진공스트레이트전자밸브 /XSA P.20 스테인리스제고진공 L형 / 스트레이트형밸브 /XM/XY P.20 공업용필터공업용필터 /FG P.21 클린룸용공기압기기클린룸용공기압기기 P.22 비접촉척비접촉척 P.24 에어부상레일에어부상레일 P.28 기술자료밸브의장기통전 P.29 오존대책기기 P.30 1

본질안전방폭시스템대응 5 포트솔레노이드밸브 51-SY5000/7000/9000 방폭 탄성체 Seal Exia Ⅱ BT4(TIIS 인정품 ) 3 종류의커넥터선택이가능 L 형플러그커넥터, 커버부착 L 형플러그커넥터, 단자대형 3 종류의배리어를선택가능 매니폴드형식 :51-SS5Y5, 51-SS5Y7 유량특성 4/2 5/3(A/B EA/EB) 소비전력 (W) C[dm 3 /(s bar)] b Cv 51-SY5000 2.8 0.29 0.66 0.52 51-SY7000 4.1 0.29 1.0 0.52 51-SY9000 9.6 0.43 2.6 0.52 방폭형 3 5 포트솔레노이드밸브 50-VFE/50-VPE 방폭 탄성체 Seal Exia Ⅱ BT4(TIIS 인정품 ) 방수성 :IPX6 시험에합격 파일럿밸브배기대책이불필요 ( 메인밸브 파일럿밸브집합배기형 [50-VFE3000]) 매니폴드화가능 (50-VEF) 셀렉터밸브, 디바이더밸브또는진공용으로도사용가능 (50-VPE) 매니폴드형식 :50-VV5FE3, 50-VV5FE5 형식 유효단면적 mm 2 (Cv) 소비전력 (W) 50-VFE3000 5포트 18(1.0) 3.5 50-VFE5000 5포트 45(2.5) 3.5 50-VPE500 3포트 41.4(2.3) 3.5 50-VPE700 3포트 72(4) 3.5 5 포트솔레노이드밸브 SY3000/5000/7000/9000 탄성체 Seal 3 포트밸브와 5 포트밸브의혼합설치가가능 소비전력 :01W( 절전회로부착 ) 알루미늄일체형매니폴드, DIN 레일, 분할형매니폴드등다양한매니폴드옵션 매니폴드형식 :SS5Y3, SS5Y5, SS5Y7, SS5Y9 유량특성 4/2 5/3(A/B EA/EB) 실린더구동사이즈 C[dm 3 /(s bar)] b Cv SY3000 1.1 0.30 0.26 ø40 SY5000 2.8 0.29 0.66 ø63 SY7000 4.5 0.27 1.1 ø80 SY9000 1.0 0.29 2.5 ø100 소비전력 (W) 035( 표준 ) 01( 절전회로부착 ) 5 포트솔레노이드밸브 VQC1000/2000 메탈 Seal 탄성체 Seal 보호구조 IP67 대응가능 커넥터접속매니폴드의채용으로증연이나사양변경에도유연하게대응가능 편측솔레노이드와피팅을모두한면에배치하고설치방향을자유롭게한공간절약설계 무나사, 원클램프구조로교환공수삭감 다양한집중배선방식 4 위치듀얼 3 포트밸브 매니폴드형식 :VV5QC11, VV5QC21 유량특성 4/2 5/3(A/B R1/R2) 실린더구동사이즈 소비전력 (W) C[dm 3 /(s bar)] b Cv VQC1000 1.0 0.30 0.25 ø40 0.4W( 표준 ) VQC2000 3.2 0.30 0.80 ø63 0.4W( 표준 ) 2

5 포트솔레노이드밸브 VQC4000/5000 메탈 Seal 탄성체 Seal 소형 & 대용량 VQC4000 ø160 까지의실린더구동이가능 VQC5000 ø180 까지의실린더구동이가능 다양한대응프로토콜 전력절약소비전력 :0.4W( 저와트타입 ) 장수명 :1 억회 ( 당사라이프조건에따름 ) 보호구조 IP67 대응 유량특성 4/2 5/3(A/B EA/EB) C[dm 3 /(s bar)] b Cv 실린더구동사이즈 VQC4000 7.3 0.38 2.0 ø160 VQC5000 17 0.31 4.7 ø180 소비전력 (W) 1.0 0.4( 저와트타입 ) 1.0 0.4( 저와트타입 ) SUP 스톱밸브부착매니폴드 SS5Y -X460 공급압력을개별로정지가능. 비상시에원압의차단없이솔레노이드밸브교환이가능 형식 SS5Y3-X460 5 포트밸브 SS5Y5-X460 SS5Y7-X460 적용밸브 SY3 20 SY5 20 SY7 20 매니폴드형식 단일베이스형베이스마운트 P(SUP) R(EXH) 방식 공통 SUP 공통 EXH 밸브연수 2~20 연주 ) A B 포트배관장소 밸브 P, EA, EB 포트 Rc1/8 Rc1/4 Rc1/4 배관접속구경 A, B 포트 M5 0.8 C4(ø4 원터치피팅 ) C6(ø6 원터치피팅 ) Rc1/8 C4(ø4 원터치피팅 ) C6(ø6 원터치피팅 ) C8(ø8 원터치피팅 ) Rc1/4 C8(ø8 원터치피팅 ) C10(ø10 원터치피팅 ) Cv 값 ( 밸브유효단면적 mm 2 ) P A/B 0.17()) C6: A/B EA/EB 0.19(3.5) P A/B 0.43(7.8) C8: A/B EA/EB 0.46(8.4) P A/B 0.74(13.4) C10: A/B EA/EB 0.7(12.7) 주 ) 10 연이상 (SS5Y7 은 5 연이상 ) 의경우는양측 P 포트에가압하여양측 EA, EB 포트에서배기하여주십시오. 상세한사항은 P.G Information(PG97-1) 을참조해주십시오. 1메인터넌스성향상 / 전체정지하지않고각각의액추에이터밸브의교환이가능 2풋프린터의향상 / 설치면적의공간절약화 3장기통전대응 0.1W 솔레노이드밸브탑재가능 4본질안전방폭솔레노이드밸브탑재가능 51-SY 5개별배선대응베이스 SS5Y7-49- -X167 6VQ4000 5000, VFR, VFS의각에도용이특주대응 공기압회로 (SY3000 의경우 ) (SY3320)(SY3220) (SY3120) A B A A A A B B B B 논실리콘그리스사양솔레노이드밸브 각종배선절약시스템대응 /CC-Link, NKE( 주 ) 등 EA P EB EA P EB 서플라이스톱밸브는일시적인공급압력의정지를목적으로하고있습니다. 상시닫힘으로사용하지마십시오. ( 상시닫힘을필요로하는경우는블랭킹플레이트를사용해주십시오.) 3

시리얼전송시스템 EX 배선절약 EX120 EX122 EX124 EX140 EX121 EX123 EX126 EX180 출력대응 에따라적용프로토콜은다릅니다상세내용은각의카탈로그를참조해주십시오보호구조통신프로토콜 적용밸브 EX120 IP20 DeviceNet CC-Link CompoNet CompoBus/S S-LINK NKE 배선절약시스템 S-LINK NKE 배선절약시스템 DeviceNet CC-Link CompoBus/S SY3000, 5000, 7000(Plug-in) VQ1000, 2000 SV1000, 2000, 3000, 4000 EX121 IP20 SY3000, 5000 EX122 IP20 SY3000, 5000 EX123 EX124 IP65 IP65 EX126 IP67 CC-Link EX140 EX180 IP20 IP20 DeviceNet CC-Link CompoBus/S S-LINK NKE 배선절약시스템 DeviceNet CC-Link VQ2000, 4000, 5000 VQ2000, 4000, 5000 SY3000, 5000, 7000(Plug-in) VQC1000, 2000, 4000, 5000 SV1000, 2000, 3000 SQ1000, 2000 SZ3000 SJ2000, 3000 S0700 시리얼전송시스템 EX500 배선절약 입력 출력대응, 게이트웨이방식 에따라적용프로토콜은다릅니다상세내용은각의카탈로그를참조해주십시오 보호구조통신프로토콜 적용밸브 EX500 IP67 DeviceNet PROFIBUS DP EtherNet/IP SY3000, 5000, 7000(Plug-in) VQC1000, 2000, 4000, 5000 SV1000, 2000, 3000, 4000 S0700(IP40) 전 - 공포지셔너 / 스마트포지셔너 IP8 00/IP8 01 IP8001 레버타입 IP8101 로터리타입 보호구조 :JISF8007 IP65(IEC 60529 준거 ) 모니터링기능 방폭구조 전 - 공포지셔너 :TIIS 내압방폭구조 (Exd ⅡBT5) ATEX 본질안전방폭구조 (Ⅱ2G Ex ib ⅡCT5/T6) 스마트포지셔너 :ATEX 본질안전방폭구조 (Ⅱ1G Ex ia ⅡCT4/T5/T6) HART 통신기능 ( 스마트포지셔너 ) 종류타입 관접속구경 (Rc, NPT, G) 공급공기압력 (MPa) 입력전류 전-공포지셔너 IP8000 레버타입 1/4 0.14~0.7 4~20mADC 전-공포지셔너 IP8100 로터리타입 1/4 0.14~0.7 4~20mADC 스마트포지셔너 IP8001 레버타입 1/4 0.14~0.7 4~20mADC 스마트포지셔너 IP8101 로터리타입 1/4 0.3~0.7 4~20mADC 4

저속 저마찰실린더 CJ2Y/CM2Y/CG1Y/MBY/CA2Y/CS2Y/CQSY/CQ2Y 텐션컨트롤 저속도에서스틱슬립저감저속 저마찰실린더 C Y 5mm/s 에서안정작동을실현 JIS B8377 준거 양방향작동일지라도저접동을실현가압방향을신경쓰지않고사용가능합니다. 경량 기능향상 표준품과동등한신구조 오토스위치시인성향상 CJ2Y-Z, CM2Y-Z, CG1Y-Z 에서 D-M9, A9 사용일때만해당 로드선단형상암나사표준화 CG1Y-Z, CM2Y-Z, CQSY, CQ2Y-Z 에어실린더 CJ2Y-Z, MBY-Z 추가설정 표준품과설치호환 CJ2Y-Z, CM2Y-Z, MBY-Z, CA2Y-Z, CS2Y CJ2Y-Z ø10, ø16 CM2Y-Z ø20 ø40 CG1Y-Z ø20 ø100 MBY-Z ø32 ø100 CA2Y-Z ø40 ø100 CS2Y ø125 ø160 CQSY ø12 ø25 CQ2Y-Z ø32 ø100 형식 작동방식 튜브내경 (mm) 최저사용압력 (MPa) 에어실린더 CJ2Y-Z 복동 10, 16 0.03 에어실린더 CM2Y-Z 복동 20, 25, 32, 40 0.02 에어실린더 CG1Y-Z 복동 20, 25, 32, 40 0.02 에어실린더 CG1Y-Z 복동 50, 63, 80, 100 0.01 에어실린더 MBY-Z 복동 32, 40 0.02 에어실린더 MBY-Z 복동 50, 63, 80, 100 0.01 에어실린더 CA2Y-Z 복동 40 0.02 에어실린더 CA2Y-Z 복동 50, 63, 80, 100 0.01 에어실린더 CS2Y 복동 125,140,160 0.005 박형실린더 CQSY 복동 12, 16 0.03 박형실린더 CQSY 복동 20, 25 0.02 박형실린더 CQ2Y-Z 복동 32, 40 0.02 박형실린더 CQ2Y-Z 복동 50, 63, 80, 100 0.01 5

저마찰실린더 / 메탈 Seal MQQ/MQM/MQP 텐션컨트롤 접동저항이작은메탈 Seal 구조로일반실린더에서는사용할수없는구동속도영역 출력컨트롤을커버. 형식 접동저항이적은메탈 Seal 구조사용할수없는구동속도영역 출력 튜브내경 (mm) 사용압력범위 (MPa) 구동속도 (mm/s) 표준형 MQQT 10, 16, 20, 25, 30, 40 0.005~0.5 0.3~300 내횡하중형 MQQL 10, 16, 20, 25, 30, 40 0.005~0.7 0.5~500 내횡하중형 MQML 6 0.02~0.7 0.5~1000 내횡하중형 MQML 10, 16, 20, 25 0.005~0.7 0.5~1000 고속 고빈도 MQML H 10, 16, 20, 25 0.01~0.7 5~3000 단동형 MQP 4, 6, 10, 16, 20 0.001~0.7 ー 저압구동 접동저항이적어 0.005 MPa 에서저압구동이가능. 진공에서사용하실경우는별도확인해주십시오. 로드 : 탄소강재 ( 크롬도금처리 ) ( 메탈 Seal) 저속 등속구동 구동속도범위 0.3mm/s 부터의저속영역에서부드러운구동및등속구동이가능. 슬리브 : 특수스테인리스강 ( 메탈 Seal) 긴수명 10,000km 또는 1 억회왕복의긴수명. 피스톤 : 특수스테인리스강 ( 메탈 Seal) 볼부시내장에의해내횡하중향상 MQQT타입은불소수지입니다. 저마찰 접동저항이낮아안정되어있으므로 0.05N단위정도의출력컨트롤이가능. ( 실린더수압면적 압력정도에의함 ) 또한, 장기간정지후에도접동저항의변화가없음. 추천회로예 플로팅기구 (PAT.) 로축어긋남에의한마모가없고접동저항이안정되어있음 내횡하중 베어링부에볼부시를내장하여내횡하중성을향상. (MQQL/MQML) 예 1) 등속 저속구동 ( 실린더출력의컨트롤은불가능합니다.) W 정밀교축밸브 전자밸브 미스트세퍼레이트 (0.3 µm 이하 ) 전자밸브를사용하실경우는메탈Seal타입 (VQ, VQZ, SQ 등 ) 을사용하십시오. 예3) 고속 고빈도구동전자밸브 W IR ( 정밀감압밸브 ) 에어필터 (5µm 이하 ) 에어필터 (5µm 이하 ) 전자밸브를사용하실경우는메탈 Seal 타입 (VQ, VQZ, SQ 등 ) 을사용하십시오. 예2) 저속및출력컨트롤 ITV ( 전공레귤레이터 ) IR ( 정밀감압밸브 ) 미스트세퍼레이트 (0.01µm 이하 ) (0.3µm 이하 ) 에어필터 (5µm 이하 ) 실린더의출력컨트롤을할경우는스피드컨트롤러등으로교축회로를마련하지마십시오. 실린더내부압력이저하되어컨트롤할수없게됩니다. 반드시압력제어로컨트롤구동을해주십시오. 또한, 정압 텐션컨트롤 ( 외력구동 ) 로써사용했을경우실린더내의에어는감압밸브릴리프포트에의해배출됩니다. 변위 ( 스트로크 ) 와구동속도등에의해실린더내압력이상승할경우는실린더사이에에어탱크를설치하십시오. 저마찰사양으로사용했을경우 1) 편하중에의해접동저항은변화합니다. 로드축심과부하 이동방향은반드시일치되도록연결해주십시오. 편하중이예측될경우는플로팅조인트등을설치해주십시오. 2) 클린에어 ( 대기압노점온도는 -10 C 이하 ) 를사용하고미스트세퍼레이터 AM ( 여과도 0.3 µm 이하 ) 또는 AM + AMD ( 여과도 0.01 µm 이하 ) 의설치를추천합니다. 6

스테인리스실린더 CJ5 S/CDJ5 S/CG5 S/CDG5 S 내식 식품기계등물방울비산환경에서의사용에대응 오토스위치부착 (CDJ5 S :CDJ5 S, CDG5 S :CDG5 S) 형식 작동방식 튜브내경 (mm) 표준형 CJ5 S 복동 10, 16 표준형 CG5 S 복동 20, 25, 32, 40, 50, 63, 80, 100 스테인리스스피드컨트롤러 ( 엘보타입 ) ASG 내식 재질 :SUS316 Seal 재 : 특수 FKM 시트링 :SUS303 적용튜브재질 FEP, PFA, 나일론, 소프트나일론, 폴리우레탄, 폴리오레핀 타입 실린더측접속구경 적용튜브외경 엘보타입 ASG M5~1/2 ø4~ø12 플로팅조인트 ( 스테인리스 ) JS 내식 형식 적용실린더튜브내경 (mm) 스테인리스타입 JS 10, 15, 16, 20, 25, 32, 40, 50, 63 7

전공레귤레이터 ITV 텐션컨트롤 전기신호에비례하여공기압력을무단계로제어 감도 :0.2kPa (100kPa 사양 ) 리니어리티 :±1% 이내 (F.S.) 히스테리시스 :0.5% 이내 (F.S.) 통신 :CC-Link, DeviceNet, PROFIBUS DP, RS-232C 관접속구경설정압력 (MPa) ITV0000 원터치피팅내장 ø4, ø5/32 ITV1000 1/8, 1/4 ITV2000 1/4, 3/8 ITV3000 1/4, 3/8, 1/2 0.001~0.1 0.001~0.5 0.001~0.9-1~-100kPa 0.005~0.1 0.005~0.5 0.005~0.9 박형 15mm 불필요한것을없앤고밀도기판설계로최대한의박형화를이루었습니다. 경량 100g 박형전공레귤레이터 ITV0000 Series 매니폴드시공간절약 경량화를실현 DIN 레일방식이기때문에연수의증감작업이간단 케이블커넥터스트레이트형, 라이트앵글형의 2 종류를준비 스트레이트형 라이트앵글형 원터치피팅내장 에러표시 LED 부착 브라켓플랫브라켓, L 형브라켓의 2 종류를준비 형식압력범위전원전압입력신호출력신호옵션 ITV001 0.1MPa 케이블커넥터 DC4 20mA ITV003 0.5MPa 아날로그스트레이트형 DC24V DC0 20mA 라이트앵글형출력 ITV005 0.9MPa DC12V DC0 5V 브라켓 DC1 5V DC0 10V 플랫브라켓 ITV009 100kPa L형브라켓 플랫브라켓 L 형브라켓 IP65 상당 리니어리티 :±1%F.S. 이하 히스테리시스 :0.5%F.S. 이하 반복성 :±0.5%F.S. 이하 고속응답 :0.1sec( 무부하시 ) 주 ) 사용환경에의존하기때문에보증값은아닙니다. 고안정성감도 0.2%F.S. 이하 에어필터 (5μm 이하 ) 미스트세퍼레이터 (0.3μm 이하 )(0.01μ 이하 ) IR( 정밀감압밸브 ) ITV( 전공레귤레이터 ) 8

전공레귤레이터 ITV1000 2000 3000 Series ITV1000 2000 3000 Series 에 시리얼통신사양을표준화! 省配線배선절약 대응통신네트워크 ITV1000 ITV2000 ITV3000 ITV2090 시리얼통신 RS-232C 사양을추가! 감도 :0.2% F.S. 이하 2 방향의케이블취출이가능 리니어리티 :±1% F.S. 이하 히스테리시스 :0.5% F.S. 이하 IP65 스트레이트형 라이트앵글형 그리스무도포사양 (ITV1000 ) 용도예 다단제어를아날로그로제어 전자밸브감압밸브 OUT. 정전기도장제어미스트세퍼레이터 SUP. 전 공레귤레이터 제어기 전 공레귤레이터 OUT. 제어신호 도료 SUP. 미스트세퍼레이터미스트세퍼레이터 제어기도장노즐 SUP. 제어기아날로그제어 9

정밀레귤레이터 IR1000-A/2000-A/3000-A 텐션컨트롤 공기소비량 : 최대약 90% 삭감 ( 종래품비교 ) 대유량 : 최대약 2 배 ( 종래품비교 ) 경량 : 최대약 27% 삭감 ( 종래품비교 ) 감도 :0.2%( 풀스팬 ) 반복성 :±0.5%( 풀스팬 ) 관접속구경 설정압력 (MPa) IR1000-A 1/8 0.005~0.2 0.01~0.4 0.01~0.8 IR2000-A 1/4 0.005~0.2 0.01~0.4 0.01~0.8 IR3000-A 1/4, 3/8, 1/2 0.01~0.2 0.01~0.4 0.01~0.8 클린레귤레이터 SRH 내식 불순물이관리된스테인리스레귤레이터 금유 2 종류의다이어프램재질 :PTFE, 불소고무 릴리프기구관접속구경설정압력 (MPa) SRH 비릴리프 Rc1/8, 1/4, 3/8, 1/2 9/16-18UNF, 7/8-14UNF SRH 릴리프 Rc1/8, 1/4, 3/8, 1/2 저압타입 :0.02~0.2 고압타입 :0.05~0.7 SUS316 원터치피팅 KQG2 내식 소형, 경량 사용유체온도 :-5~150 재질 : 금속부 SUS316, Seal 부특수 FKM 그리스무도포, 증기사용가능. 식품위생법적합 사이즈적용튜브외경접속나사 KQG2 KQG2 밀리 인치 ø3.2, ø4, ø6, ø8, ø10, ø12, ø16 ø1/8", ø5/32", ø1/4", ø5/16", ø3/8", ø1/2" M5 R Rc 1/8, 1/4, 3/8, 1/2 UNF10-32 NPT1/8, 1/4, 3/8, 1/2 SUS316 인서트피팅 KFG2 내식 소형, 경량 사용유체온도 :-65~260 ( 스위블엘보는 -5~150 ) 재질 :SUS316, 고무재질미사용 ( 스위블엘보제외 ) 그리스무도포, 증기사용가능. 식품위생법적합 사이즈 적용튜브외경 접속나사 KFG2 밀리 ø4, ø6, ø8, ø10, ø12, ø16 R Rc 1/8, 1/4, 3/8, 1/2 KFG2 인치 ø1/8", ø5/32", ø1/4", ø5/16" ø3/8", ø1/2" NPT1/8, 1/4, 3/8, 1/2 10

클린원터치피팅블로용 KP 클린 ( 블로 ) 클린룸내의블로시스템에적합한원터치피팅 완전금유처리 ( 고무류에불소코팅 ) 액체접촉부는비금속. 클린룸내에서부품세정, 조립, 2 중포장 진공사용가능 (-100kPa) 적용튜브외경 접속나사 KP ø4, ø6, ø8, ø10, ø12 1/8, 1/4, 3/8, 1/2 폴리오레핀튜브 TPH 클린 ( 블로 ) 최고사용압력 ø4, ø6:1.0mpa ø8, ø10, ø12:0.7mpa(20 일때 ) 적용튜브외경 색 사용유체 TPH ø4, ø6, ø8, ø10, ø12 흑, 백, 적, 청, 황, 녹 공기, 물, 기타 소프트폴리오레핀튜브 TPS 클린 ( 블로 ) 최고사용압력 ø4~ø12:0.7mpa(20 일때 ) 적용튜브외경 색 사용유체 TPS ø4, ø6, ø8, ø10, ø12 흑, 백, 적, 청, 황, 녹 공기, 물, 기타 불소수지튜브 TL/TIL 내식 최고사용압력 1.0MPa 이하 (20 일때 ) 최고사용온도 :260 ( 조건에따라다릅니다.) TL/TIL 밀리사이즈 ø4, ø6, ø8, ø10 ø12, ø19 튜브외경인치사이즈 ø1/8", ø3/16", ø1/4" ø3/8", ø1/2", ø3/4", ø1" 색 반투명 FEP 튜브 ( 불소수지 ) TH/TIH 내식 최고사용압력 2.3MPa 이하 (20 일때 ) 식품위생법시험에적합 FDA( 미국식품의약품국 ) 177-1550 용출시험에적합 최고사용온도 :200 ( 조건에따라다릅니다.) 사이즈에따라다릅니다. 밀리사이즈 튜브외경 인치사이즈 색 TH/TIH ø4, ø6, ø8, ø10, ø12 ø1/8", ø3/16", ø1/4", ø3/8", ø1/2", ø3/4" 반투명, 흑, 적, 청 11

이오나이저 / 바타입 IZS40/41/42 정전기 듀얼 AC 방식타입 IZS42 Series 전위진폭저감사양 전위진폭 25V 이하 종래비 80% 저감 IZS31 설치높이 300mm 시비교 SMC 독자적인듀얼 AC 방식채용으로전위진폭을저감. 정전기에민감한디바이스등에도정전기방전 ESD 파괴하는경우가없이제전이가능. 근거리설치라도대상워크에가해지는전위진폭을저감. 40 전위진폭 설치높이 300mm AC 방식 전위진폭 V 20 0 듀얼 AC 방식 IZS42 25V 이하 20 40 시간 독자적인듀얼 AC 방식을채용 듀얼 AC 방식 IZS42 이온과 이온이동시에방출되어 가균일하게워크에도달하기때문에전위진폭이작아진다. 유리기판제전 AC 방식 동일주기로 이온과 이온이띠가되어워크에도달하기때문에전위진폭이커진다. 정반에서픽업시, 박리대전으로인한정전파괴를방지 전기기판제전 다이싱후픽업시, 박리대전으로인한정전파괴를방지 표준타입 IZS40 Series 심플조작, 전원투입만으로사용가능 원거리설치시 1000mm 의제전속도향상 3.2 초 41% 단축 1000V 100V 제전시의제전데이터 조건 이온발생주파수 30Hz 공급압력 0.1MPa IZS40 은고속제전카트리지 제전시간 sec 11 10 9 8 7 6 5 4 3 2 1 0 41% 종래품 IZS40 0 500 1000 1500 2000 설치거리 mm 12

피드백센서타입 IZS41 Series 고속제전사양 피드백센서로고속제전 주 이온밸런스센서는내장되어있습니다. 워크의대전전위를피드백센서 옵션 로읽어내고역극성의이온을연속방출하여제전속도를고속화 피드백센서 대전량 kv 3 2 1 0 1 2 3 센서있음센서없음 센서없음센서있음 1 2 3 4 시간 sec 대전대상물의극성과대전량을측정. 제전시간 sec 제전후 이온밸런스 :±30V 이내 의운전모드를선택가능 에너지절약운전모드 제전후, 이온발생을중단하여, 소비전력을절감. 연속제전운전모드 제전후, AC 동작으로변화. ±30 이내에서도 0V에가깝도록제전을계속. 연속제전운전모드시 대전량 공급압력 0.1MPa 구동주파수 30Hz 고속제전카트리지 8.6L/min ANR / 카트리지 센서설치높이 25mm 10 이오나이저 8 센서없음 6 4 워크 2 센서있음 0 L 500 1000 1500 2000 설치거리L mm ±30V 이상에서는역극성의이온을발생 시간 ±30V 이내에서 AC 동작 센싱A모드 에너지절약운전 이온방출파형 운전정지 C 연속제전운전 AC 센서없음 워크대전상태 제전완료 전기기판제전 방전으로인한소자파손방지 먼지의부착방지 유리기판제전 부착, 방전으로인한파손방지 먼지의부착방지 AC 어댑터전원을구비 수지, 고무부품 소형부품 의제전, 제진에적합합니다. e-con 커넥터채용 페트병제전 성형품제전 e-con 커넥터 반송시의쓰러짐방지 먼지의부착방지 금형에서성형품의이탈성을향상 13

이오나이저 / 바타입 IZS40/41/42 정전기 오토밸런스센서로조정공수 메인터넌스공수삭감 IZS 41 IZS 42 내장타입 ( 표준장비 ) 이오나이저본체에내장, 설치장소를선택하지않습니다. 이오나이저에서발생한이온을접지라인에서감시하고, +와 의이온공급량을조정하여초기상태의이온밸런스를유지하도록제어 이온밸런스 ( 그림 ) 150 고정도타입 ( 옵션 ) 워크부근에이온밸런스를고정도로조정. 설치높이나외란의영향으로이온밸런스변화를감소오토밸런스센서이온밸런스의상태를측정 100 이온밸런스 (V) 50 0 50 100 이온밸런스를제어 150 0 300 600 900 1200 1500 1800 2100 시간 (h) 워크 워크부근의이온밸런스를조정 + 와 의복귀전류를감시 복귀전류 + 복귀전류 메인터넌스전극카트리지채용 IZS 40 IZS 41 IZS 42 전극침주위로압축공기를방출하여전극침의오염을저감 2종류의전극침재질텅스텐 : 이온밸런스 ±30V 단결정실리콘 : 이온밸런스 ±30V, 실리콘웨이퍼의제전에대응 텅스텐 ( 전극카트리지색 : 백색 ) 전극침 전극침을에어가커버 실리콘 ( 전극카트리지색 : 회색 ) 14

리모콘설정가능 IZS 41 IZS 42 외부신호입력시이온밸런스조정 과 상시이온밸런스조정 을선택가능. 이온밸런스조정시만접속하는것도가능 이온밸런스값 (V) 50 25 0 25 50 신호입력으로자동이온밸런스 시간 떨어진장소에서복수의이오나이저조정과설정이가능 어드레스설정으로 16 대의식별이가능 주파수설정 이온밸런스조정 전극오염감지알람변환기준치변경 (3 단계 ) 내장센서유효 / 무효전환 병렬배선가능 접속가능대수 IZS41: 최대 8 대 IZS42: 최대 5 대 조건 바길이 340 2500mm, 전원케이블 3m, 병렬배선케이블 2m 일때전원과배선공수삭감 IZS41 의경우 8 대째 IZS 41 IZS 42 7 대째에서 3 대째로병렬배선케이블 2 번째 POWER 로 2 대째 안전기능 IZS 40 IZS 41 IZS 42 전극카트리지낙하방지기능더블액션잠금 1 대째 전원케이블 1 대째 POWER 로 낙하방지커버전극카트리지로보다확실한낙하방지가가능 본체장착시 고속제전카트리지, 에너지절약제전카트리지를준비 고속제전카트리지 에너지절약제전카트리지에너지절약제전카트리지의소비유량은고속제전카트리지의소비유량에대해약 50% 입니다. 제전속도는 20 30% 정도저하합니다. 공기압노즐 2 개로이온을효율좋게워크로반송하여제전성능향상 공기압노즐 1 개로공기소비량을억제하여제어. 15

이오나이저 / 바타입 IZS40/41/42 정전기 듀얼 AC 방식에의해전위폭저감 25V 이하 ( 설치높이 300mm 일때 ) 피드백센서로고속제전 오토밸런스센서로조정, 메인터넌스공수를삭감 간단조작, 전원투입만으로도사용가능 ( 표준타입 ) 리모컨설정가능 병렬배선가능 고속제전카트리지, 에너지절약제전카트리지를구비 타입 이온발생방식 이온밸런스 IZS42 듀얼 AC 타입 코로나방전식 ±30V IZS41 피드백센서타입 코로나방전식 ±30V IZS40 표준타입 코로나방전식 ±30V 클린에어모듈 LLB LLB3 LLB4 클린 ( 블로 ) 클린기기를모듈화 ( 배관공수삭감 / 공간절약 ) 간편하게클린에어를얻을수있습니다 여과도 :0.01μm( 포집효율 99.99%) 유체접촉부 : 그리스무도포, 무실리콘 클린룸조립 2 중포장출하 24 종류의조합이가능주 ) 입구공기조건 ISO8573-1 품질등급 1.4.1~1.6.1 상당 사용유체 설정압력 유량범위 L/min(ANR) LLB3 클린에어, N2 가스주 ) 0.05~0.4 MPa 5~100 LLB4 클린에어, N2 가스주 ) 0.05~0.4 MPa 50~500 클린에어필터중공계엘리먼트 SFD 클린 ( 블로 ) 중공계엘리먼트내장 압력강하 :0.03MPa(1 차압 0.7MPa, 최대유량시 ) 환경유해화학물질삭감 RoHS 대응 SFD100 종류 사용압력 여과도 (μm) SFD100 일회용 ( 엘리먼트교환불가 ) MAX.1.0MPa 0.01( 포집효율 :99.99%) SFD200 카트리지형 ( 엘리먼트교환가능 ) MAX.1.0MPa 0.01( 포집효율 :99.99%) SFD200 2 색표시식디지털압력스위치 ZSE80(F)/ISE80(H) 스테인리스다이어프램으로폭넓은유체에적용 IP65 RoHS 대응 낮은리크 VCR, Swagelok 대응피팅의선택가능 뒷면배관, 아래방향배관 종류 정격압력범위 ZSE80F 연성압 100.0~100.0kPa ZSE80 진공압 0.0~ 101.0kPa ISE80 정압 -0.100~1.000 MPa ISE80H 정압 -0.100~2.000 MPa 16

2 색표시식디지털플로스위치 PFM 공기, N2, Ar, CO2 그리스무도포사양 유량조정밸브일체화 소형, 경량, 공간절약대응 PFM 정격유량범위 (L/min) 0.2~10(0.2~5) 0.5~25(0.5~12.5) 1~50(1~25) 2~100(2~50) ( ) 는 CO2일경우 공기용디지털플로스위치 PF2A 일체형, 모니터분리형을구비 스위치출력, 적산펄스출력, 아날로그출력 적산유량, 순간유량전환가능 IP65 PF2A 정격유량범위 (L/min) 1~10, 5~50, 10~100, 20~200, 50 500, 150~3000, 300~6000, 600~12000 3 색표시물용디지털플로스위치 PF3W 3 색표시 2 화면표시의유량센서 온도센서를일체화 40% 소형화 ( 당사 PF2W 비교 ) IP65 대응, 그리스무도포사양 사용유체온도 :0~90 염화비닐제배관타입 : 탈이온수 ( 순수 ) 약액에대응 PF3W 정격유량범위 (L/min) 0.5~4 2~16 5~40 10~100 50~250 직동형 2 포트솔레노이드밸브 VX2 공기 중진공 물 기름 증기 ( 온수도가능 ) 유량 20% UP 높이치수 10% Down 질량 30% Down 몸체재질 :Al, 수지, C37, SUS 원터치피팅부착 ( 수지몸체 ) 을구비 당사종래품비교 매니폴드형식 :VVX21, VVX22, VVX23 밸브형식 관접속구경 오리피스지름 (mmø) VX21/22/23 N.C./N.O. 1/8~1/2 ø6~ø12 2~10 17

약액용에어오퍼레이트밸브 / 피팅일체형 LVC 내식 몸체재질 :New PFA 동일형상의 N.C./N.O./ 복동 유체온도 100 에대응 매니폴드형식 :LLC2, LLC3, LLC4, LLC5 타입밸브형식적용튜브외경 LVC 피팅일체형 N.C./N.O./ 복동 밀리 :3~25 인치 :1/8~1 오리피스지름 (mmø) 4~22 약액용에어오퍼레이트밸브 / 나사체결형 LVA 내식 몸체재질 :New PFA/SUS/PPS 다이어프램재질 :PTFE, EPR, NBR 선택가능 매니폴드형식 :LLA2, LLA3, LLA4, LLA5 타입 밸브형식 관접속구경 오리피스지름 (mmø) LVA 나사체결형 N.C./N.O./ 복동 1/8~1 2~22 유기용제대응 몸체재질 :SUS 액추에이터부재질 :ADC 버퍼재질 :FKM/EPDM 피팅종류 : 더블페룰피팅 / 메탈가스켓 Seal 피팅 / 튜브일체 타입밸브형식적용튜브외경 LVA 더블페룰피팅메탈가스켓 Seal 피팅튜브일체 N.C./N.O./ 복동 밀리 :6~19 인치 :1/4~1 오리피스지름 (mmø) 4~22 불소수지제피팅하이퍼피팅 / 인서트부시타입 LQ1 내식 재질 :New PFA 4 중 Seal 구조 레듀서방식으로몸체의변경없이튜브사이즈의교환이가능 최고사용압력 사용온도 ( ) LQ1 1.0MPa 0~200 불소수지제피팅하이퍼피팅 / 플레어타입 LQ3 내식 재질 :New PFA 3 중 Seal 구조 조립시공성이뛰어남 최고사용압력 사용온도 ( ) LQ3 1.0MPa 너트재질 PVDF:0~150 너트재질 PFA:0~200 18

프로세스펌프 / 복동펌프 PA/PAP/PAX 방폭 내식 구동방식 토출량 (L/min) PA3 0 자동운전형 1~20 PA3 13 에어오퍼레이트형 0.1~12 PA5 0 자동운전형 5~45 PA5 13 에어오퍼레이트형 1~24 PAP3310 자동운전형 1~13 PAP3313 에어오퍼레이트형 0.1~9 PAX1 12 맥동감쇠기내장자동운전형 0.5~10 액접촉부재질 ADC12( 알루미늄 ) SCS14( 스테인리스 ) ADC12( 알루미늄 ) SCS14( 스테인리스 ) ADC12( 알루미늄 ) SCS14( 스테인리스 ) ADC12( 알루미늄 ) SCS14( 스테인리스 ) New PFA ( 불소수지 ) New PFA ( 불소수지 ) ADC12( 알루미늄 ) SCS14( 스테인리스 ) 비메탈펌프 / 복동펌프 PAF 방폭 내식 PAF3410-X68 은체결볼트, 에어전환밸브 : 스테인리스사양입니다. 불산등전체비메탈펌프가필요한경우는 PAF 표준품을사용해주십시오. 구동방식 토출량 (L/min) PAF3410 자동운전형 1~20 PAF3413 에어오퍼레이트형 1~15 PAF3410-X68 자동운전형 1~20 PAF5410 자동운전형 5~45 PAF5413 에어오퍼레이트형 5~38 액접촉부재질 New PFA ( 불소수지 ) New PFA ( 불소수지 ) New PFA ( 불소수지 ) New PFA ( 불소수지 ) New PFA ( 불소수지 ) 서모칠러 / 표준타입 HRS 온조 표준타입 공냉기종은간단설치, 간단조작으로, 어디에서라도필요한장소에냉각수를얻을수있습니다. 레이저가공기 / 분석장치 /LCD 제조장치 / 금형온조등폭넓은용도에실적다수 콤팩트 W377 H615 D500mm, 40kg(HRS012/018/024) 타이머운전, 액면저하, 정전복귀, 동결방지기능등 자기진단기능 해외수출용장치에최적 ( 단상 AC200~230V, 단상 AC100V, 115V) CE 마킹, UL 에적합 설정온도범위 HRS012 060 5~40 냉각능력 1.3kW, 1.9kW 2.4kW, 3.2kW 5.1kW, 5.9kW (60Hz 의경우 ) 온도안정성 ±0.1 냉각방식 공냉냉동식수냉냉동식 순환액 청수탈이온수 ( 순수 ) 에틸렌글리콜수용액 (15%) 19

서모칠러 / 표준타입 HRS090 온조 경량 콤팩트 냉각능력 :9kW 온도안정성 :±0.5 C 설정온도범위 HRS090 5~35 냉각능력 9kW (60Hz 의경우 ) 설정온도범위 :5~35 C 최고사용주위온도 :45 C 전원 :3 상 AC200~230V, AC380~415V 온도안정성 ±0.5 냉각방식 공냉냉동식수냉냉동식 순환액 청수탈이온수 ( 순수 ) 에틸렌글리콜수용액 (15%) 서모칠러 / 표준타입 HRS100/150 온조 히터없이도냉동회로의배열이용에의해순환액의가열이가능 전원은 EU 아시아 오세아니아 북미 중남미에대응가능 정음설계 70dB(A) 실외설치 :IPX4 소형 공간절약 HRS100 HRS150 설정온도범위 5 35 냉각능력 9.5kW, 14.5kW (60Hz 의경우 ) 온도안정성 ±1.0 냉각방식 공냉냉동식수냉냉동식 순환액 청수탈이온수 ( 순수 ) 에틸렌글리콜수용액 (15%) 서모칠러 / 고기능타입 HRZ 온조 고기능칠러 높은온도안정성, 폭넓은온도범위, 고장진단, 외부통신등충실한장비로반도체프로세스장치에실적다수 각종안전규격에대응. UL, SEMI 규격적합, CE 마킹 HRZ 설정온도범위 -20~40 20~90-20~90 냉각능력 1kW, 2kW 4kW, 8kW 온도안정성 냉각방식 ±0.1 수냉냉동식 순환액 불소화액청수탈이온수 ( 순수 ) 에틸렌글리콜수용액 (60%) 상시닫힘형고진공전자밸브 XSA 고진공 최저사용압력 :1 10 6 Pa(abs) 소비전력 : 최대 25% 삭감 누설량 : 내부 1.3 10 9 Pa m 3 /s, 외부 1.3 10 11 Pa m 3 /s 질량 : 최대 18% 삭감 0.5kg 0.41kg 2종의피팅을구비 밸브형식사용유체배관접속방식배관사이즈 XSA 상시닫힘 공기비활성가스 Face Seal 피팅컴프레션피팅 1/4B, 3/8B 스테인리스제고진공 L 형 / 스트레이트형밸브 XM/XY 고진공 가스잔류가없는정밀주조일체구조 알루미늄제고진공 L 형밸브 XL 와호환성이있는설치 (XM ) 주 ) 스트레이트형에사이즈 16 은없습니다. 조작방식 축 Seal 방식 밸브형식 재질 플랜지사이즈 XMA/XYA 벨로스 Seal 단동 (N.C.) 16~80 주 ) XMC/XYC 에어벨로스 Seal 복동 16~80 오퍼레이트몸체 :SCS13(SUS304 상당 ) 벨로스 Seal XMD/XYD 단동 (N.C.) 벨로스 :SUS316L 25~80 O-ring Seal XMH/XYH 수동 벨로스 Seal 수동 16~50 주 ) 20

공업필터 / 베셀 FGD 소유량여과 (MAX.60L/min) 대전방지사양 (FGDE, FGDF) 선택가능 접속구경 최고사용압력 사용온도 ( ) FGD Rc3/8, 1/2, 3/4 0.7, 1MPa MAX.80 공업필터 / 베셀 FGE 중유량여과 (MAX.230L/min) V 밴드타입은엘리먼트교환이용이 ( 커버비산방지기구부착 ) 접속구경 최고사용압력 사용온도 ( ) FGE R1, 2 0.7MPa MAX.80 공업필터 / 베셀 FGA 대유량여과 (MAX.3200L/min) 접속구경 최고사용압력 사용온도 ( ) FGA 25~150(1B~6B) JIS 10KFF 1MPa MAX.80 공업필터 / 베셀 FGC 소유량여과 (MAX.80L/min) 접속구경 최고사용압력 사용온도 ( ) FGC 15~25(1/2B~1B) JIS 10KFF 1, 2, 4MPa MAX.80 21

SMC 클린룸용공기압기기 클린 10-/11-/12-/13- 클린환경에대응클린룸안으로의발진을방지 적용기종액추에이터 ( 실린더, 로터리액추에이터, 에어척 ), 방향제어기기, 구동제어기기, 필터 압력제어기기, 피팅 튜브, 압축공기청정화기기, 압력스위치주 ) 11-/12-/13-은액추에이터에만적용 특수클린 클린보다도클린도향상을요구클린환경에서의사용을전제로구조, 재질, 조립환경등을고려하여개발한제품입니다. 적용기종클린로드레스실린더, 클린레귤레이터, 클린원터치피팅, 클린튜브, 클린가스필터, 클린에어필터 동 불소 실리콘계불가 + 저발진 21-/22- 동계, 불소계, 실리콘계재질주 1) 의규제가있는환경에대응구조는클린와동등 ( 그리스, 포장형태는클린와다릅니다.) 주 1) 실리콘계재질이란실리콘 ( 규소 ) 을다량으로포함한고분자화합물로써실록산결합을가진 ' 실리콘 ' 이대표적인예이다. 적용기종액추에이터 ( 실린더, 로터리액추에이터, 에어척 ), 방향제어기기, 구동제어기기, 압력제어기기, 피팅주 ) 22-는액추에이터에만적용 22

파티클이클린룸으로유입되지않습니다. 검사후클린환경내에서높은청정도의공기를사용하여블로 ( 클린벤치 /ISO Class 5 상당 ) 을실시합니다. 포장은대전방지봉투를사용하고이중으로포장하여출하합니다. 10-/11-/12-/13-( 클린 ) 클린룸내조립품 ( 특수클린 ) 일반작업장조립 검사 클린룸 ISO Class 8 상당표면을알코올로닦아낸다.( 유분제거 ) 클린룸 ISO Class 8 상당클린부스 ISO Class 5 상당표면을클린에어로블로한후내장 ( 정전기대책 ) 클린룸 ISO Class 8 상당외장 ( 이중포장 ) 출하 클린부스 ISO Class 5 상당 클린룸 ISO Class 7 상당내로클린벤치 ISO Class 5 상당 부품세정조립 검사이중포장출하 21-/22- 는일반포장 ( 일반작업장조립 검사 포장 출하 ) 입니다. 클린포장이필요한경우는별도로연락해주십시오. 23

비접촉척 XT661 워크의비접촉반송을어시스트 워크흡인가능거리 :10mm P.1216 1218 리프트력워크와의거리 를참조하십시오. 에어층 워크 10mm 워크와패드의사이에에어층이있어접촉하는일없이흡인이가능 2 종의타입을구비 사이클론타입 고 ( 高 ) 리프트력 : 최대 44N 몸체외경 :ø100 리프트력 리프트력 (N) 50 40 30 20 10 0 0 박형타입 ( 공급압력 :0.4MPa) 사이클론타입 20 40 60 80 100 사이즈 (mm) 고리프트 전체 5 사이즈 : ø20/ø40/ø60/ø80/ ø100 박형사이클론타입 1.8mm 베르누이타입 파지시의워크진폭 : ±0.01mm 이하 태양전지용실리콘셀 ( 125mm, t=250μm) 당사조건에따름 ( 측정방법 P.1208 참조 ) 진동 진폭 (mm) 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0 0.1 0.2 0.3 0.4 진폭 ±0.01mm 이하 비접촉척 진동저감 워크 ( 태양전지용실리콘셀 ) ( 공급압력 :0.1MPa) 0.5 0 0.5 1 1.5 2 2.5 시간 ( 초 ) 전체 6 사이즈 : ø40/ø60/ø80/ø100/ 120/ 150 전체 2 사이즈 :ø20, ø25 24

사이클론타입 고리프트 저공기소비량 몸체재질 Al 독자적인홈형상에따른사이클론효과로큰흡인면적과균일한압력분포를실현! 노즐 몸체외경 (mm) ø20 ø40 ø60 ø80 ø100 공기소비량 [L/min(ANR)] 77 148 148 148 258 공급압력 :0.4MPa 리프트력 (N) 4.3 14 21 26 44 다양한워크흡인에대응 투과성이있는워크등홀기반등봉투에들어있는워크 워크두께 (μm) 높이방향의압력분포 동원 작리 직경방향의압력분포 에어를선회방향으로방출 워크 공급포트 사이클론타입공급포트에서도입된에어는흡착면측오목부측면에있는노즐로부터분출되며, 선회흐름이됩니다. 선회흐름은비접촉척과워크의틈새에서대기로방출됩니다. 그결과, 사이클론효과에의해선회흐름내부에진공영역이발생하고, 비접촉에서의워크리프트가가능해집니다. 선회흐름의원심력의작용에의해보다강한리프트력를발생시킬수있습니다. 300 그리스무도포 분해하여내부청소가가능 주문제작품 우레탄패드부착 (-X207) 리프트시의충격완화와상처의방지 가이드의병설불필요 ø20 을제외 멀티포트부착 (-X211) 센서등를설치하여워크의유무의확인이가능 멀티포트 에어공급포트 우레탄패드 추천센서 압력센서 PSE540 Series 유량센서 PFMV Series 센서의선정, 사용방법은취급설명서를참조하십시오. 25

비접촉척 XT661 박형사이클론타입 (-X260) 박형 주문제작품 두께 :1.8mm 질량 : 약 1.3g 몸체외경 ø20 일때 몸체외경 (mm) ø20 ø25 공기소비량 [L/min(ANR)] 31 31 리프트력 (N) 1.4 2 공급압력 :0.4MPa 로봇 Arm 선단에설치가능 2 사이즈 (ø20, ø25) 구비 비접촉척 로봇 Arm 워크 ( 웨이퍼등 ) 설치방법 비접촉척의에어공급구측의면에접착제를도포하고, 장치에붙여주십시오. ( 접착제가에어공급구를막지않도록주의해주십시오.) 26

베르누이타입 독자적인홈구조에따른베르누이효과로파지시의워크진폭을억제! 워크진동폭저감 진동저감형 몸체재질수지 사이즈 : 120 사이즈 :ø100 측정방법 0.5 0.4 0.5 0.4 레이저변위계 진폭 (mm) 0.3 0.2 0.1 0 0.1 0.2 0.3 진폭 (mm) 0.3 0.2 0.1 0 0.1 0.2 0.3 변위량 진폭 비접촉척 가이드 워크 ( 태양전지용실리콘셀 ) 0.4 0.5 0 0.5 1 1.5 2 2.5 시간 ( 초 ) 0.4 0.5 0 0.5 1 1.5 2 2.5 시간 ( 초 ) 조건 태양전지실리콘셀 125mm 깊이 :250μm 공급압력 :0.1MPa 몸체외경 (mm) ø40 ø60 ø80 ø100 120 150 공기소비량 [L/min(ANR)] 98 98 98 156 291 291 리프트력 (N) 2.2 4.1 5.1 7.8 17 14 공급압력 :0.4MPa 동원 작리 에어를방사모양으로토출 워크 공급포트 베르누이타입공급포트에서도입된에어는흡착면측볼록부측면에있는노즐에서방사모양으로분출됩니다. 방사흐름은비접촉척과워크의틈새에서대기로방출됩니다. 비접촉척과워크사이의에어가외주방향으로인장시켜서중심부에진공영역이발생하고, 비접촉에서의워크리프트가가능해집니다. 또한, 독자적인홈형상에의해에어를방사모양으로토출하여, 맥동이나선회흐름에따른일렁거림등을억제, 워크진폭을억제하는것이가능해집니다. 다양한워크흡인에대응 회전가중저감 선회에어의방향성없음 300 태양전지셀등 전극재등 절연시트등 멀티포트의표준화 ø40 은제외 워크두께 (μm) 그리스무도포 0 분해하여내부청소가가능 27

에어부상레일주문제작품 비접촉으로워크의 굴곡 진동 을방지 비접촉기술 ( 공기층 ) 으로워크의상처, 오염방지 ( 기존비교도 ) 워크 부상원리 공기층 SMC 기존 이동용롤러 이동용롤러 접촉부분 접촉부분 기판사이즈에맞춘자유로운레일배치 G4 4 열 G6 G8 8 열 11 열 다공질엘리먼트 (SUS316L) 를레일형으로유니트화 클린환경에대응 ( 등급 100) 레일표면에특종코팅을가공하여에어다운시워크의상처, 오염물부착을절감 ( 옵션 ) 엘리먼트 1 열타입 엘리먼트 2 열타입 부상정도 :±0.05mm 전체높이 40% 다운 ( 기존대비 ) 표면 부 ( 에어탱크 ) 를일체화 37 22 기존품 내장형 28

기술자료 밸브의장기연속통전에대해서 밸브를장기간연속적으로통전하면코일의발열에의해온도상승하여전자밸브의성능저하및수명저하나근접하는주변기기에악영향을미치는경우가있습니다. 이로인해장시간연속적으로통전하는경우또는 1 일당총계통전시간이비통전시간보다길어지는경우에는하기주의점및대책을실시해주십시오. ( 밸브의통전대수와온도상승값에대해서는당사에문의해주십시오.) 주의점 1 밸브를제어반내에부착한경우등은밸브사양의온도범위내 ( 10~50 ) 가되도록방열대책을마련해주십시오. 2 특히매니폴더가까이에 3 연이상을동시에장기연속통전하는경우나듀얼 3 포트밸브로 A 측과 B 측을동시에장기연속통전하는경우는온도상승이커지므로주의해주십시오. 3 래칭타입으로는연속통전하지마십시오. 래칭타입은더블솔레노이드와같이순간통전 (20ms 이상 ) 으로전환위치를유지하기위한연속통전은필요없습니다.( 래칭타입으로장기연속통전이필요한경우는당사에문의해주십시오.) 대책 1 소비전력이작은전자밸브를사용하십시오. 추천기종은아래와같습니다. SY/VQZ 소비전력 0.35W:DC24V,12V,6V,5V,3V 0.1W( 절전회로부착 ):DC24V,12V SY3000/5000/7000/9000 SYJ3000/5000/7000 VQZ1000/2000/3000 VQ/SQ/ VQC 소비전력 0.5W( 저와트타입 ):DC24V, 12V 0.3W( 절전회로부착 ):DC24V, 12V(SQ 에대응 ) VQZ1000/2000/3000 는 0.1W( 절전회로부착 ) 설정이없습니다. VQ0000/1000/2000/4000 SQ1000/2000 VQC1000/2000/4000 전자밸브의선정에대해서는소비전력이외의사양에대해서도확인해주십시오. 절전회로부착및저와트타입은최고사용압력, 응답시간등이표준과다릅니다. 상세한사항은각의카탈로그를참조해주십시오. 2 비통전시에에어가나오는 N.O.(Nomal Open) 의에어회로로변경하는것을검토해주십시오. 29

기술자료 오존대책기기 고무재질의변경등에의한내오존성을향상시킨기기구성. 오존은어떤고장이날까? 공기압기기에이용되고있는고무재질 ( 일반적으로 NBR 이많음 ) 은오존농도에의해균열이발생하여누설이나작동불량등의부적합현상을일으킬가능성이있습니다. 기기별고장내용 감압밸브 속도제어밸브 기종고장부품, 부위현상 다이어프램 메인밸브시트부 체크밸브의밸브시트고무체크패킹 사진 1 사진 2 호흡구멍에서상시누설 조압불능 호흡구멍에서상시누설 조압불능 조정불능 전자밸브 메인밸브패킹 가스켓 사진 3 누설, 작동불량 누설, 작동불량 실린더 ( 액추에이터 ) 패킹류에는윤활용그리스가도포되어있으므로오존열화는볼수없습니다. 급유타입에서는기름막에서와같은효과가있습니다. 무급유에서도그리스가충진되어보호되므로노하가없습니다. 사진 1 다이어프램의균열 사진 2 체크패킹의균열사진 3 메인밸브패킹의균열 30

오존대책기기 오존대책에대하여이하 3종류의방법으로대응하고있습니다. 1 표준대응표준으로오존대책이끝난상태입니다. 저농도오존 (0.03ppm 이하 ) 의오존환경에대응가능합니다. 2 80- ( 주문제작 ) 제품품번의끝머리에 80-을기입하여오존대책품으로대응합니다. 예 )80-VK3140-5G-01 3 특주대응특주품으로대응합니다. 당사에연락해주십시오. 31

기술자료 전자밸브 1 표준대응 2 80- 명칭 4 5 포트전자밸브 3 포트전자밸브 대형 5 포트전자밸브대형 3 포트전자밸브 에어오퍼레이트밸브 핸드밸브잔압제거 3 포트 사이렌서 SJ2000,3000 SV1000,2000,3000,4000 SZ3000 SY3000,5000,7000,9000 SYJ3000,5000,7000 SX3000,5000,7000 VQC1000,2000,4000 SQ1000,2000 VQ0000,1000,2000 VQ4000 VQ5000 VQZ1000,2000,3000 VQD1000 V100 SY100 SY300,500 SYJ300,500,700 VQ100 VQZ100,200,300 VP4 50,4 70 VP3145,3165,3185 VPA3145,3165,3185 SYA3000,5000,7000 SYJA3000,5000,7000 VPA4 50,4 70 SYJA300,500,700 VH VHS20 50 AN AMC 명칭 VK3000 VZ1000,3000,5000 VF1000,3000,5000 4 5포트전자밸브 VQ7-6,7-8 VP7-6,7-8 VPN-6,-8 VFR2000 6000 VK300 VKF300 VZ100,300,500 VT307,317 3포트전자밸브 VT315,325 VP300,500,700 VG342 VS3115,3110,3135,3145 VFA3000,4000,5000 VFRA3000,5000 에어오퍼레이트밸브 VTA301,315 VPA300,500,700 메커니컬밸브 VM,VZM,VFM VR2110 VR1210,1220 중계기기 VR3200,3201 VR3100,3110 VHS40 VHS50 잔압제거 3포트 VHS2000 4000 VHS2500 4500 VEX1 복합다기능밸브 VEX3 기종에따라서는특주대응이됩니다. 3 특주대응 명칭 4 5 포트전자밸브 3 포트전자밸브 에어오퍼레이트밸브 대형 3 포트전자밸브핑거밸브복합다기능밸브 3 포트전자밸브 VFR2000 6000 VFS1000 6000 VS4 10 VZ200,400 VZA2000,4000 VSA4 20,4 30,4 40 VZA200,400 VGA342 VHK VEX5 VKF300 특정품번만 80- 의품번으로대응이가능. 32

진공 / 구동제어기기 1 표준대응 2 진공이젝터 석션필터 명칭 진공용드레인세퍼레이터 스피드컨트롤러 이그조스트컨트롤러배기교환밸브퀵이그조스트밸브에어세이빙밸브 ZX ZU ZQ ZMA ZM ZH ZFC ZFB ZFA AMJ ASD -F-T ASD -F-D ASD AS 2 0-T AS 2 0-D AS F( 원터치 ) AS 1F-T AS 1F-D AS 1F-3 AS M AS FM AS FG AS FE AS E AS 2 1FPQ AS 2 1FPG AS( 금속엘보타입 ) AS Uni타입 ASP ASV ASN2 AQ F ASR,ASQ 80- 명칭진공이젝터퀵이그조스트밸브 체크밸브 스피드컨트롤러 3 특주대응 ZR AQ AKH AKB AK AS( 대용량금속인라인형 ) AS( 금속인라인형 ) 명칭진공이젝터 ZL 돌출방지시스템 ASS(SSC) 진공이젝터 ZYY,ZYX 진공패드 ZP,ZPT,ZPTX 진공용실린더 ZCUK 패드재질에따라달라지므로당사에확인해주십시오. 33

기술자료 보조기기 / 배관재 1 필터 명칭 클린가스필터레귤레이터루브리케이터 필터레귤레이터 필터 레귤레이터 매니폴드레귤레이터 에어콤비네이션정밀레귤레이터클린레귤레이터 스페이서감압밸브 MR 유니트소프트스타트업밸브블로건진공비례밸브용앰프 압력계 루브리케이터 윤활기기 피팅 표준대응 AF AFM AFD SF AR-A/AR-B AL-A AW-A/AW-B AWG AWG K AWM AWD AF800,900 ARJ AR 25, 35 ARM ARM5 ARM10/11 ACG ARP3000 SRP1000 ARBYJ5000,7000 ARBQ4000,5000 AMR AV5000 VMG VEA G G46E G49 G46- - -SRA,B GP46 GS40 PPA AL800,900 ALF ALT ALD ALB KQ2,KQ2 Uni KS,KX KM KF M H,D,L,LL KC KK KK13 KKA KKH DM KDM KB KR KRM 피팅 튜브 명칭 증압밸브용에어탱크 2 80- 명칭 정밀레귤레이터 진공레귤레이터 증압밸브소프트스타트업밸브진공레귤레이터 3 특주대응 명칭루브유니트레귤레이터 진공비례밸브 전공하이레그밸브 KG KA MS T TKS,TM,TMA,TK,TG VBAT05A,10A,20A,38A VBAT05S,10S,20S,38S IR1000,2000,3000-A VEX1 30,1 33 ITV0000 ITV1000 ITV2000,3000 ITV209 VBA AV2000,3000,4000 IRV1000,2000,3000 AU ARX20 VEF,VEP VER2000,4000 VY1 34

검출기기 / 청정화기기 유체제어용기기 1 표준대응 1 표준대응 압력스위치 명칭 에어캐치센서 압력스위치 플로스위치 애프터쿨러 에어탱크 드라이어 드레인캐치 필터 오토드레인 차압계 ZSE30,ISE30 ZSE40,ISE40 PSE510 PSE530 PSE540 PSE550 PSE560 ZSE4 D,ISE4 D ZSE5B,ISE5B ZSE6B,ISE6B ZSE3,ISE3 PS1000 ZSE1,ISE1 ZSE2,ISE2 ZSP1 IS1000 IS3000 ISE70,ISE75(H) ISE35 ISA ISA2 IS2761 ISG ZSM1 PF2A IFW5 IF3 PFM7 HAA HAW AT IDU,IDF ID IDG AMG AFF AM AMD AMH AME AMF AD402,600 ADM200 ADH4000 GD40-2-01 명칭 2 3 포트전자밸브 불소수지기기 프로세스펌프 옵션대응 명칭 2 3 포트전자밸브 프로세스밸브 특주대응 명칭 프로세스펌프 VDW10,20,30 VDW200,300 VX2 VXD2 VXP2 VX3 VXA VXZ VXH VXF VNA VNB VNC VNH SGC 옵션에서 Seal 재질 : 불소고무를선정해주십시오. 3 VCA VCB VCL VCS VCW VQ20,30 VXR2 VND LV LQ TL,TIL PA(P)33 PAF PA PAX PB 35

MEMO

MEMO

한국 SMC 공압 ( 주 ) www.smckorea.co.kr 서울시영등포구국회대로 62 길 14( 여의도동 ) 스카우트빌딩 8 층 TEL: 02-3219-0700 FAX: 02-3219-0702 주본카탈로그게재상품의사양및외관은개선을위해예고없이변경되는경우가있으므로양해해주시기바랍니다. 고객지원센터 서비스이용시간 평일 :09:00~18:00 c2017 SMC Pneumatics Korea Co., Ltd. All Rights Reserved. 초판 LV 인쇄 VT