형상측정기 조도 / 윤곽형상측정기 카탈로그번호 K15012 검출기교환으로표면조도측정과윤곽형상측정을한측정기로실현가능한고정도일체형조도 / 윤곽형상측정기
표면조도측정과윤곽형상측정의하이브리드측정기 SV-C4500S4 윤곽형상측정기능 새로운윤곽형상검출기 4500 시리즈만의새로운기능 NEW 스트레이트암을채용한검출기측정범위의확대와함께워크간섭을최소화 신규설계된스트레이트암은워크에대한간섭을줄이고 Z1 축 ( 검출부 ) 측정범위의확대를실현합니다 편각스타일러스 SPH-71 를부착한경우 상하면연속측정기능을탑재트윈원추스타일러스의조합으로상하면연속측정이가능합니다. 기존측정하는것이어려웠던나사의유효경등을상하면연속데이터를이용하여간단히해석할수있습니다. 하향 ( 하면 ) 측정 상향 ( 상면 ) 측정 SV-C3100/4100( 기존모델 ) SV-C3200/4500 50 mm 10 mm 60 mm 19 mm 유효경해석 상하의측정방향은소프트웨어에서전환 홀직경해석 Z1 축측정범위가 10mm UP 암부착은원터치탈착 ( 특허출원중 : 일본 ) 암부착부에마그넷조인트를사용하여스피드한암교환이가능합니다. 또한탈착부에안전장치를내장하고있습니다. SV-C3100/4100 ( 기존모델 ) SV-C3200/4500 번거로운교정도상하연속일괄교정 SV-C4500 시리즈용의일괄교정키트 ( 표준부속품 ) 는상하양방향에스타일러스가있는트윈원추스타일러스도간단하게교정가능하도록리뉴얼하였습니다. Z1 축게인, 대칭성, 스타일러스반경등의번거로운교정작업을한번에할수있습니다. 암은나사고정 마그넷탈착 암측탈착부 SV-C4500 용교정키트 핀게이지 ( 스타일러스반경 / 위치보정용 ) 구 ( 대칭성보정용 ) 게이지블록 (Z1 축게인조정용 ) 검출기측탈착부 측정력가변기능을탑재측정력은데이터처리부 (FORMTRCEPK) 에서지정 (5단계) 할수있습니다. 무게추의교환이나위치조정에의한측정력조정작업은불필요합니다. 또한경사자세에서도지정된측정력을유지합니다. 측정력 1
SV-C3200 SV-C4500 SV-C3200S4 표면조도측정기능 각종표면조도규격에대응 JIS'82/'94/'01, ISO, NSI, VD 등각국표면조도규격에대응하고있습니다. 표면조도검출기도측정력마다라인업 표준검출기도측정력 0.75mN 사양 ( 팁각도 : 60, 팁반경 : 2μm), 측정력 4mN 사양 ( 팁각도 : 90, 팁반경 : 5μm ) 에서선택할수 있어서규격에맞는측정이가능합니다. 측정시간의단축, 측정작업자의부담을최소화측정기본체의고속이동에더해오토레벨링테이블 ( 옵션 ) 을 사용하면번거로운측정면의레벨링조정도자동으로실행되고, 셋팅시간과작업자의부담이줄어듭니다. 공통사양 고속이동으로측정효율을 UP X 축 ( 구동부 ): 80mm/s( 최대 ) Z2 축 ( 컬럼상하이동 ): 30mm/s( 최대 ) 이동속도의고속화로총측정시간이단축됩니다. Z2 축 ( 컬럼상하이동 ) 리모트박스로안전하고간단하게고속조작리모트박스로위치결정에서측정까지고속이동으로가능합니다. 또고속이동시의안전성을향상시키기위하여리모트박스에비상정지스위치와구동스피드컨트롤손잡이를배치하였습니다. X 축 ( 구동부 ) 비상정지스위치 구동스피드컨트롤손잡이 신형리모트박스 고속이동시자동정지로안전측정고속이동할때의안전성을향상시키기위하여 Z1축검출기에안전장치 ( 충돌시자동정지기능 ) 를탑재하였습니다. 윤곽검출기는암이탈착부에서떨어지거나어긋난경우에도안전장치가작동하여자동으로정지합니다. 원점설정불필요로복수단면측정가능 Z2축 ( 컬럼상하이동 ) 에 BS( 절대 ) 스케일을탑재하여단차측정이나복수단면반복측정시의번거로운원점설정이불필요합니다. 안전장치작동충돌방향 윤곽검출기 탈착부 표면조도검출기 2
데이터처리부 : FORMTRCEPK 윤곽형상측정 윤곽형상해석기능 해석의기본요소인커맨드는점 (10 종 ), 선 (6종), 원 (6종) 으로다양하며, 요소를조합한각도, 피치, 거리등풍부한계산커맨드나윤곽조합기능, 설계값생성기능도표준으로준비되어있습니다. 평상시사용하지않는커맨드를숨기는등계산커맨드버튼의커스터마이즈기능과함께사용환경에맞춘화면의커스터마이즈가가능합니다. 표면조도측정 표면조도해석기능 FORMTRCEPK은 ISO, JIS, NSI, VD 등의규격에준거한표면조도를해석할수있습니다. 측정값의허용한계치와의비교룰로 16% 룰, 최대값룰을이용하고있습니다. 또한파라미터계산뿐만이아니라풍부한그래프해석기능도갖추고있어서일상의품질관리에서부터 R&D 부문까지폭넓게활용할수있습니다. 경사나 R면등의형상제거 ( 보정 ) 기능, 데이터제거기능등에도충분히활용가능합니다. 윤곽조합기능을표준탑재 설계값생성기능 데이터합성기능 간단한피치계산기능 미세윤곽해석기능 도면지시기호에의한간단입력 복수위치측정기능 복수위치측정에의한해석기능 기준길이다이얼로그박스 프리뷰해석조건변경 R 면자동측정기능 그외의기능에관해서는 Catalog No.4386 표면조도. 윤곽해석프로그램 FORMTRCEPK 카탈로그를참조해주십시오. 3
통합레이아웃 표면조도, 윤곽형상, 진원도의측정결과나측정도형등을간단하게조작하여종이 1 장에레이아웃할수있습니다. 또한보존된파일을지정한붙여넣기가가능해져여러개의결과파일을붙여넣기가쉽습니다. 별도로진원도. 원통형상해석프로그램 ROUNDPK( 대응버전은별도문의 ) 이필요합니다. 요소정보바붙여넣은항목의속성값을표시합니다. 붙여넣은측정데이터의내용확인이간단합니다. 시스템레이아웃인쇄 연산결과, 측정조건, 측정도형등인쇄하고싶은항목을선택하는간단한조작으로검사성적서를자동레이아웃하여인쇄합니다. 측정도형사이즈, 측정결과, 폰트등의상세설정도가능합니다. 간단하게인쇄하려는용도로이용해주십시오. 요소삽입바 요소삽입바에표시된해석내용을마우스로드래그앤드롭하면레이아웃위에붙일수있습니다. 또한윤곽해석결과에대해원이나선만의해석결과를선택하여붙여넣을수있습니다. WEB 페이지로결과보존 인터넷익스플로러나 MS-WORD 로표시가능한 html, mhtml 형식으로보존할수있어레이아웃편집프로그램이설치되어있지않은 PC 에서도결과를확인할수있습니다. 보고서작성기능 측정결과 / 조건 / 도형그리고코멘트 / 원 / 선 / 화살표등도자유롭게레이아웃할수있어 측정결과보고서 로인쇄할수있습니다. 또한비트맵파일의붙여넣기도가능하여워크외관이미지나회사명로고등도레이아웃할수있습니다. 그리고한번작성한레이아웃을보존하여동일한측정시에다시이용할수있습니다. 4
자동화를추진하는옵션 Y 축테이블 No.178-097 측정파트를여러개나열해서자동측정하거나, 하나의측정면을여러군데측정하는것이가능합니다. 이동범위분해능위치결정정도구동속도최대적재질량질량 200mm 0.05 μm ±3 μm 최대 80mm/s 및수동 50kg 28kg 회전테이블 θ1 축테이블원주상에표면조도나윤곽형상측정, Y축테이블과조합하여원통형상측정파트의자동레벨링조정, 측정파트의깊이방향이나회전방향을이동시켜자동측정이가능합니다. (SV-C3200/4500 본체테이블에직접설치하여사용하는경우에는별도로 θ1축설치플레이트 ( 옵션 : No.12E630) 가필요합니다 ) 이동범위 360 분해능 0.004 최대적재질량 12kg 구동속도최대 10 / s 질량 7kg 회전테이블 θ2 축테이블 No.178-078 원통형상측정파트의복수위치측정이나앞뒷면측정의자동화가가능합니다. (SV-C3200/4500 본체테이블에직접설치하여사용하는경우에는별도로 θ2축설치플레이트 ( 옵션 : No.12E718) 가필요합니다 ) 이동범위 360 분해능 0.0072 최대적재질량 ( 적재물모멘트 ) 구동속도질량 4kg ( 모멘트 343N. cm 이하 ) 최대 18 / s 5kg 센터링척 ( 룰렛링고정 ) No.211-032 소형부품의측정으로조작성이좋으며룰렛링으로용이하게고정할수있습니다. 내부죠에서의외경 φ1~φ36mm 유지범위내부죠에서의내경φ16~φ69mm 외부죠에서의외경φ25~φ79mm 외관치수 D H φ118 41mm 질량 1.2kg 마이크로척 No.211-031 센터링척에서는유지할수없는 φ1mm 이하의극소경부품을고정할수있습니다. 유지범위외관치수 D H 질량 외경 φ0.1~φ1.5mm φ118 48.5mm 0.6kg 오토레벨링테이블 No.178-087 표면조도측정시의번거로운측정면의레벨링조정을측정스타트에연동하여전자동으로 레벨링조정을하는재물대입니다. 전자동이므로누구나빠르게할수있으며간단하고확실 합니다. 경사조정각도 ±2 최대적재질량 7kg 테이블치수 130 100mm 질량 3.5kg 5
옵션 3 축조정테이블 No.178-047 원통형상워크의표면조도, 윤곽형상측정에서워크의 모선축과측정축을평행하게세트하면서동시에레벨링조정도하는것은고정도를위해필요합니다. 3축조정테이블을사용하면가이던스에따라조작하기만하면센터링과레벨링 조정을간단히할수있습니다. 따라서, 경험과감은필요하지않습니다. 기타 XY 레벨링테이블 ( 버니어타입 ) 178-043-1 XY 레벨링테이블 ( 디지매틱타입 ) 178-042-1 레벨링테이블 178-016 레벨링테이블 ( DT 용 ) 178-048 교정용대 1 12M100 교정용대 2 12G175 교정용대 3 12M309 V 블록대 998291 정밀바이스 178-019 크로스테이블 218-001 크로스테이블 218-041 회전바이스 218-003 센터지지대 172-142 센터지지대라이저 172-143 스위블센터지지대 172-197 클램프장치 176-107 V 블록대 172-234 V 블록대 172-378 방진대 방진대 4 ( 펌프공급식 ) No.178-023 방진대 4 ( 에어공급식 ) No.178-025 방진용가대 방진대 (No.178-023, No.178-025) 를설치하는전용가대입니다. 외관치수 (W D H): 640x470x660mm 질량 :25kg No.178-024 제진대제진대 4 ( 테이블일체형, 에어공급식 ) No.12K110 모니터암 5 No.12K120 사이드테이블 5 No.12L019 조합예 : 모니터암없음, 사이드테이블있음. ( 본체및 PC 미포함 ) 조합예 : 모니터암있음. 사이드테이블없음 6 ( 본체및 PC 미포함 ) 1:SV-C3200 시리즈상향측정교정시에필요합니다. ( 윤곽형상측정시 ) 2: 레벨링테이블, Y축테이블을사용하지않고스트레이트암 / 스몰홀암을장착하여일괄교정할때필요합니다. ( 윤곽형상측정시 ) 3: 레벨링테이블, Y축테이블을사용하지않고스트레이트암 / 편심암 / 스몰홀암을장착하여일괄교정할때필요합니다. ( 윤곽형상측정시 ) 4: 상품명끝의 S4, S8, H4, H8용입니다. W4, W8( 대형베이스사양 ) 용은별도문의주십시오. 5: 제진대 (No.12K110) 과병행 6: 프린터용랙은별도주문주십시오. 6
검출기. 스타일러스 ( 표면조도측정용 ) 검출기 코드 No. φ 측정력 φ 스 드레스노스 즈 검 기 178-396-2 0.75mN '97ISO, '01JIS 준거검출기 178-397-2 4mN 종래규격이나일반적으로사용되던검출기 연장로드 12G202 연장로드 50 연장량 50mm 12G203 연장로드 100 연장량 100mm 연장로드는 2 개이상연결할수없습니다. 스타일러스 표준스타일러스 44.7 12E882 (1μm) 1 0.9 12E924 (1μm) 12C731 (2μm) 1 12B403 (5μm) 식별색 3 12B415 (10μm) 12E883 (250μm) 4 부상 90 스몰홀용 1.6 0.4 극세홀용 0.6 90 부상 S5/1 1.2 0.4 90 부상 S5/1 φ0.6 φ0.3 3.4 1.6 1.2 12C732 (2μm) 1 12B404 (5μm) 12B416 (10μm) 12C73 (2μm) 1 12B405 (5μm) 12B417 (10μm) 초소형홀용 12C734 (2μm) 1 0.4 44.2 12B406 (5μm) 12B418 (10μm) 8.9 φ0.3 0.8 90 부상 S5/1 0.8 44.4 0.6 15 8.9 φ0.6 φ0.6 2.5 2.5 2.4 44.2 식별색 3 식별색 3 식별색 3 깊은홀 2배용 2 12E898 (2μm) 1 0.9 94.7 87.7 12E914 (5μm) 3 1.8 0.6 스몰홀용, 깊은홀 2배 2 2 12E892 (2μm) 1 0.6 94.4 12E908 (5μm) 0.6 87.7 φ0.6 30 부상 3.4 1.6 2 4 스몰홀형상용 12E884 φ1.6 초경구 극세홀형상용 4 φ0.5 초경구 φ0.3 부상 2.4 3.1 41 8.5 2.4 (φ1.6mm) 93.8 2 87.7 43.8 12J662 (φ0.5mm) 깊은홀용 2 94.7 144.7 깊은소형홀 2배용 2 12E938 (2μm) 1 0.9 87.7 0.9 1 12E940 (5μm) 식별색 3 식별색 3 94.4 43.8 0.6 0.6 7 87.7 부상 90 2배 12C740 (2μm) 1 12B413 (5μm) 12B425 (10μm) 1: 팁각도 60 2: 아래방향측정시에만가능 부상 90 3배 12C741 (2μm) 1 12B414 (5μm) 12B426 (10μm) 1.6 0.4 부상 φ0.5 φ0.6 3: 팁반경 1μm 2μm 5μm 10μm 250μm 식별색흰색검정색없음노랑노치및색없음 4: 교정용으로단차표준편 (No.178-611, 옵션 ) 이별도필요 φ0.3 45 7 7
스타일러스 ( 표면조도측정용 ) 스타일러스 깊은홈용 (10mm) 12C735 (2μm) 1 12B409 (5μm) 1 12B421 (10μm) 1 깊은홈용 2 (20mm) 44.7 12C736 (2μm) 1 12B408 (5μm) 12B420 (10μm) 깊은홈용 2 (30mm) 12C737 (2μm) 1 기어용 부상 부상 부상 식별색 3 식별색 3 부상 식별색 3 식별색 3 14.2 13 24.2 23 33 31.8 6.4 0.9 90 90 60 90 60 43.8 4 12B407 (5μm) 12B419 (10μm) 12B339 (2μm) 1 12B410 (5μm) 1 12B422 (10μm) 1 깊은홈용. 깊은홀 2 배 2 (20mm) 12E893 (2μm) 1 23 21.8 12E909 (5μm) 깊은홈용 2 (40mm) 12E895 (2μm) 1 12E911 (5μm) 깊은홈용 (30mm). 12E894 (2μm) 1 깊은홀 2배 2 93.8 87.7 40mm 12E910 (5μm) 36.5 35 43.8 42.6 2.4 1.2 9 87.7 4 2.4 기어용. 93.8 깊은홀 2배 2 87.7 12E896 (2μm) 1 12E912 (5μm) 1 30mm 2 36.5 35 6.77 1.2 1.2 2.4 1.2 3 60 3 롤링원웨이브 4 12B338 (φ1.588) 롤링원웨이브. 깊은홀 2 배 2 4 12E886 (250μm) 44.7 0.9 94.7 0.9 87.7 1.2 Ball 1.588 2.4 6.4 1.2 2.4 2 나이프엣지표출용 44.7 0.9 부상 식별색 3 90 12C738 (2μm) 1 12B411 (5μm) 12B423 (10μm) 홀측정코너용. 깊은홀 2배 2 12M601 (2μm) 93.8 1 12M603 (5μm) 1 2 87.7 6.4 60 1.2 60 2.4 편심암용 2 12C739 (2μm) 1 4 12B412 (5μm) 10 0.9 12B424 (10μm) 식별색 3 90 부상 홀바닥용 0.5 7.4 6.2 2 44.3 1 5 2.4 12E899 (2μm) 1 12E915 (5μm) 1: 팁각도 60 2: 아래방향측정시에만가능 스타일러스의주문제작이가능합니다. 대응가능한사양에대해서는폐사영업부에문의주십시오. 3: 팁반경 2μm 5μm 10μm 식별색 검정 색없음 노랑 4: 교정용으로단차표준편 (No.178-611, 옵션 ) 이별도필요 8
암. 스타일러스 ( 윤곽형상측정용 ) 암 암적합표 스트레이트암 편심암 스몰홀암 스타일러스명부호파트 No. 적용스타일러스 1 SPH-5*, 6*, 7*, 8*, 스트레이트암 9* B-31 12M101 SPHW 2-56, 66, 76 편심암 B-32 12M102 SPH-5*, 6*, 7*, 8*, 9* SPHW 2-56, 66, 76 스몰홀암 B-33 12M103 SPH-41, 42, 43 1 : 표준부속품입니다. 2 : SV-C4500 시리즈용스타일러스입니다. 3 : 편각스타일러스 SPH-71( 표준부속품 ) 부착시 스타일러스 스타일러스적합표 스타일러스명 부호 파트 No. 적용암 No. H (mm) SPHW-56 12M095 2 B-31, B-32 20 트윈원추 1 스타일러스 SPHW-66 12M096 B-31, B-32 32 SPHW-76 12M097 B-31, B-32 48 편각스타일러스 양각스타일러스 원추스타일러스팁각도 30 재질 : 사파이어 원추스타일러스팁각도 30 재질 : 초경합금 원추스타일러스팁각도 20 재질 : 초경합금 원추스타일러스팁각도 50 재질 : 다이아몬드 나이프엣지스타일러스 볼스타일러스 SPH-51 354882 B-31, B-32 6 SPH-61 354883 B-31, B-32 12 SPH-71 354884 2 3 B-31, B-32 20 SPH-81 354885 B-31, B-32 30 SPH-91 354886 B-31, B-32 42 SPH-52 354887 B-31, B-32 6 SPH-62 354888 B-31, B-32 12 SPH-72 354889 B-31, B-32 20 SPH-82 354890 B-31, B-32 30 SPH-92 354891 B-31, B-32 42 SPH-53 354892 B-31, B-32 6 SPH-63 354893 B-31, B-32 12 SPH-73 354894 B-31, B-32 20 SPH-83 354895 B-31, B-32 30 SPH-93 354896 B-31, B-32 42 SPH-56 12566 B-31, B-32 6 SPH-66 12567 B-31, B-32 12 SPH-76 12568 B-31, B-32 20 SPH-86 12569 B-31, B-32 30 SPH-96 12570 B-31, B-32 42 SPH-57 12E865 B-31, B-32 6 SPH-67 12E866 B-31, B-32 12 SPH-77 12E867 B-31, B-32 20 SPH-87 12E868 B-31, B-32 30 SPH-97 12E869 B-31, B-32 42 SPH-79 355129 B-31, B-32 20 SPH-54 354897 B-31, B-32 6 SPH-64 354898 B-31, B-32 12 SPH-74 354899 B-31, B-32 20 SPH-84 354900 B-31, B-32 30 SPH-94 354901 B-31, B-32 42 SPH-55 354902 B-31, B-32 6 SPH-65 354903 B-31, B-32 12 SPH-75 354904 B-31, B-32 20 SPH-85 354905 B-31, B-32 30 SPH-95 354906 B-31, B-32 42 스몰홀스타일러스 4 SPH-42 12M105 B-33 4 SPH-41 12M104 B-33 2 SPH-43 12M106 B-33 6.5 1:SV-C4500 시리즈용스타일러스입니다. 2:SV-C4500 시리즈표준부속품입니다. 3:SV-C3200 시리즈표준부속품입니다. 4:SV-C3100/4100 시리즈용스타일러스 SPH-21, 22, 23 은 사용할수없습니다. 원 스타일러스 편각스타일러스 30 25µm 12 25µm 각스타일러스 원 스타일러스 (30 ) 나이프엣지스타일러스 30 (SPH-7950 ) 25µm (SPH-79 원 스타일러스 (20 ) 20 25µm 20 3mm 25µm 스타일러스 1mm 암스타일러스 ( 암과스타일러스일체형 ) 스몰홀스타일러스 SPH-41 φ φ 스몰홀스타일러스 SPH-42 20 25µm 20 25µm 스몰홀스타일러스 SPH-43 암스타일러스명 부호 파트 No. H(mm) 트윈스몰홀암스타일러스 5 SPHW-32 12M109 5 SPHW-31 12M108 2.4 SPHW-33 12M110 9 5: SV-C4500 시리즈용암스타일러스입니다. 트윈스몰홀암스타일러스 SPHW-31 트윈스몰홀암스타일러스 SPHW-32 φ 트윈스몰홀암스타일러스 SPHW-33 30 25µm 20 25µm 30 25µm 30 25µm 9
외관도 ( 측정본체부 ) X 축 ( 구동부 ) 측정범위 100mm 타입 (S4/H4/W4) 단위 : mm T 홈치 ( 전기 ) X 축 ( 구동부 ) 측정범위 200mm 타입 (S8/H8/W8) T X 축 ( 구동부 ) 측정범위 100mm 200mm 부호 3200 시리즈 4500 시리즈 H1 (mm) H2 (mm) H3 (mm) W1 (mm) W2 (mm) SV-C3200S4 SV-C4500S4 966 854 100 438 600 SV-C3200H4 SV-C4500H4 1166 1054 100 438 600 SV-C3200W4 SV-C4500W4 1176 1054 110 838 1000 SV-C3200S8 SV-C4500S8 966 854 100 438 600 SV-C3200H8 SV-C4500H8 1166 1054 100 438 600 SV-C3200W8 SV-C4500W8 1176 1054 110 838 1000 10
사양 부호 ( 코드 No.) 표면조도측정시 측정범위 SV-C3200S4 (525-481-1/-2) SV-C4500S4 (525-441-1/-2) SV-C3200H4 (525-482-1/-2) SV-C4500H4 (525-442-1/-2) SV-C3200W4 (525-483-1/-2) SV-C4500W4 (525-443-1/-2) SV-C3200S8 (525-486-1/-2) SV-C4500S8 (525-446-1/-2) SV-C3200H8 (525-487-1/-2) SV-C4500H8 (525-447-1/-2) X 축 ( 구동부 ) 100mm 200mm Z1 축 ( 검출부 ) 800µm / 80µm / 8µm 진직정도 (0.05+L/1000)µm L: 구동길이 (mm) 0.5µm / 200mm 분해능 Z1 축 ( 검출부 ) 0.01µm(800µm), 0.001µm(80µm), 0.0001µm(8µm) 측정력 0.75mN( 본체코드 No. 끝이 -1 인기종 ) / 4mN( 본체코드 No. 끝이 -2 인기종 ) 스타일러스팁형상 60, 2μmR ( 본체코드 No. 끝이 -1 인기종 ) / 90, 5μmR ( 본체코드 No. 끝이 -2 인기종 ) 대응규격 파라미터 평가곡선 해석그래프 곡선보정 필터 윤곽형상측정시 측정범위 SV-C3200W8 (525-488-1/-2) SV-C4500W8 (525-448-1/-2) JIS1982/JIS1994/JIS2001/ISO1997/NSI/VD Pa, Pq, Psk, Pku, Pp, Pv, Pz, Pt, Pc, PSm, PΔq, Pm(rC), Pmr, Pδc, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rp, Rv, Rz, Rt, Rc, RSm, RΔq, Rm(rC), Rmr, Rδc, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wp, Wv, Wz, Wt, Wc, WSm, WΔq, Wm(rC), Wmr, Wδc, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, 1, 2, Rx, R, R, Wx, W, W, Wte, Ry, RyDIN, RzDIN, R3y, R3z, S, HSC, Lo, Ir, Δa, λa, λq, Vo, Htp, NR, NCRX, CPM, SR, SR, NW, SW, SW 단면곡선, 조도곡선, 노파기복곡선, 기복곡선, 구름원기복단면곡선, 구름원기복곡선, 인벨로프레지듀얼곡선, DF 곡선 (DIN4776/ISO13565-1), 조도모티프 ( 엔벨로프기복곡선은모티프평가시에표시 ) 부하곡선, 진폭분포곡선, 파워스펙트럼, 자기상관, Walsh 파워스펙트럼, Walsh 자기상관, 산높이분포, 경사각분포, 파라미터분포 ( 마모량, 중첩은윤곽해석으로면적등의해석가능 ) 최소이승직선, R면보정, 타원보정, 포물선보정, 쌍곡선보정, 코닉보정, 다항식보정 ( 자동또는임의 2차 ~7차 ), 보정없음 Gaussian, 2CRPC75, 2CRPC50, 2CR75, 2CR50, Robust Spline X 축 ( 구동부 ) 100mm 200mm Z1 축 ( 검출부 ) 60mm( 암수평상태보다 ±30mm) 진직정도 0.8µm / 100mm 2µm / 200mm X축 ( 구동부 ) ±(0.8+0.01L)µm L: 구동길이 (mm) ±(0.8+0.02L)µm L: 구동길이 (mm) 지시정도 Z1축 ( 검출부 ) SV-C3200시리즈 :±(1.6+ 2H /100)µm, SV-C4500시리즈 :±(0.8+ 2H /100)µm H: 수평위치로부터의측정높이 (mm) 분해능 X 축 ( 구동부 ) Z1 축 ( 검출부 ) 0.05µm SV-C3200 시리즈 :0.04µm, SV-C4500 시리즈 :0.02µm Z2 축 ( 컬럼 ) 1µm 측정력 SV-C3200 시리즈 : 30mN( 무게에의한조정 ), SV-C4500 시리즈 : 10, 20, 30, 40, 50mN ( 소프트웨어에의한변환 ) 측정면방향 SV-C3200 시리즈 : 상하양방향 ( 단독측정 ), SV-C4500 시리즈 : 상하양방향 ( 상하면연속측정가능 ) 공통사양 Z2 축 ( 컬럼 ) 이동범위 300mm 500mm 300mm 500mm X 축경사각도 ±45 구동속도 측정속도 X 축 0 80mm/s 및수동 Z 축 ( 컬럼 ) 0 30mm/s 및수동 0.02 5mm/s 구입문의 435-040 경기도군포시엘에스로 153-8, 6 층 ( 산본동, 금정하이뷰 ) 한국미쓰도요 ( 주 ) TEL 82 31 361-4200 FX 82 31 361-4201 디자인, 사양등은상품개량을위해일부변경되는경우도있습니다. 본제품에게재된사양은 2012 년 2 월현재입니다 395 1205(1)-(KOO)HR