Statistical Parameter and Yield Analysis SPAYN은 모델 파라미터 추출 시퀀스, 전기적 테스트 루틴 및 회로 테스트 측정값의 편차를 분석하기 위한 통계적 모델링 툴입니다. SPAYN은 소자 또는 회로의 퍼포먼스 차이와 공정 변동 사이의 관계 정립에 도움을 줍니다. 워스트-케이스 및 코너 SPICE 모델을 자동으로 생성 앞선 주요 인자/요소 해석 파라미터 그룹의 내부 관계를 정립 통계적 공정 제어, 공정 모니터 및 수율 분석 웨이퍼 vs. 웨이퍼, 다이 vs. 다이 편차를 나타내는 어드밴스 웨이퍼 맵 통계적 회로 설계를 위해 고속 SmartSpice API와 유연하게 통합 히스토그램, 2D/3D 산포도, 반응 표면 모델의 디스플레이 옵션과 함께 유연한 데이터 입출력, 추가, 병합 및 분할 옵션 실바코의 강력한 암호화는 고객 및 서드-파티의 소중한 지적 재산권을 보호하기 위해 이용가능
SPAYN 의목표 SPAYN 은반도체산업에필요한맞춤형통계해석소프트웨어패키지입니다. 이것은두가지주요분야에서사용됩니다 : 추출 공정제어 / 분석 SPAYN 은모델파라미터추출시퀀스, 전기적테스트루틴및회로테스트측정값의편차를분석할수있는이상적인통계모델링툴입니다. SPAYN 은파라미터데이터로통계적인해석을실행하며, 회로설계와공정구성파라미터사이에서복합적인관계를설정할수있게합니다. 아날로그 / 디지털회로의퍼포먼스향상은주로제작공정의내부변동에좌우됩니다. 통계에의한제어는제품의질에필수적입니다. SPAYN 사용자 : 파라미터추출및회로시뮬레이터기술지원인력 소자모델링엔지니어 회로디자이너 공정개발 / 통합엔지니어 SPAYN 의적용 SPAYN 은독자적으로사용하거나회로시뮬레이터와연동하여사용합니다. 또한, 통계지식을상세히알거나사용자가따로프로그램을만들필요가없으므로사용이용이합니다. SPAYN 의사용자는 SPICE 파라미터추출, 공정개발 / 통합, 제품및수율엔지니어에서회로설계자에이르기까지다양합니다. SPAYN 은통계모델링및공정제어에유용하며, 단순하고, 강력하며합리적인가격의툴입니다. 스프레드시트포맷으로다양한데이터를결합하여확인할수있습니다.
데이터베이스필터링 SPAYN 은대규모의속성, 파라미터, 데이터세트를관리할수있으며, 단지메모리및공정의용량에따라제한을받습니다. 스프레드시트로이루어진작업을모두실행하는것은시간이많이소요됩니다. 이문제를해결하기위해, SPAYN 은필터기능으로샘플을정밀하게선택하여사용중인데이터세트의수를줄입니다. 필터링은속성또는파라미터레벨에서할수있습니다. 우선, Filter by Attributes 를이용하여, 데이터베이스설정선택키를정의합니다. 다음, Filter by Parameters 으로값을제한하여기준이되는세트의수를줄입니다. 독립적인 Filter by Attributes" 를이용하여다수샘플에서유연하게위치를선택합니다. 필터는 'Match, Values 또는 Tables 로지정할수있습니다. 강력한 "Filter by Parameters" 로데이터세트의서브세트를정의합니다. compute limits, histogram plot, Automatic Filter 등의툴은필터구성에기여합니다.
통계분석, 데이터관리및시각화 SPAYN 은 UTMOST 로생성한 SPICE 모델, 라이브러리포맷, VWF(Virtual Wafer Fab) 포맷및기타업계포맷 (RS/1 TM, CSV, MS EXCEL TM ) 을사용합니다. SPAYN 은고유의초고속관계형데이터베이스 (RDB) 검색, 병합, 추가및분할기능을제공합니다. 다수의내장된범용통계분석특성은파라미터데이터의검사 - 가우시안, 지수함수, 로그 - 정규및감마분포 - 를지원합니다. 산포도는선형, 로그, 포물선, 상반, 쌍곡선, 지수함수, 제곱, 제곱근또는 3 차다항식에맞는최소제곱법을사용하여파라미터사이의관계를분석합니다. 그결과, 잔여에러, ANOVA 정보및상관계수를생성합니다. Golden Device feature 는비유사성척도에따라특정데이터베이스에서어떠한관찰또는결과가평균편차에가장근접하는지산출합니다. TonyPlot 으로회귀의반응표면모델을보여줍니다. 선택파라미터에대한속성을갖는히스토그램플롯강조 파라미터의 +σ, +2σ, +3σ 분포를나타내는타원형을보여줍니다. 세가지선택파라미터간의관계를 3D 로보여줍니다. 다중선형회귀특성은선택한파라미터와다른사용자정의파라미터세트의관계에대한방정식을생성합니다. 산포도상의임의지점에서 SPICE 모델카드를생성할수있습니다. SmartSpice 링크와사용자넷리스트특성으로각 SPICE 모델카드에대한시뮬레이션을행할수있습니다.
분석을위해선택한상관관계매트릭스. 유의미한상관관계는적색으로표시됩니다. 고급 PCA/PFA 주요요소 / 인자분석 SPAYN 은편차의주요파라미터및인자를지정합니다. 데이터는자동으로그룹화되어, 특정그룹의각파라미터를동일한편차요인으로제어합니다. 각파라미터그룹을분석하여, 그룹내의공정입력, 공정모니터링, 소자, 회로및제조파라미터사이의관계를설정합니다. 다음분석기능을이용할수있습니다 : 고급주요요소 / 인자분석, 주요파라미터지정, VARIMAX/QUARTIMAX 회전, 요소를사용한히스토그램 / 산포도, PCA 파라미터가중치및민감도분석, 고유한사용자지정주요파라미터선택및방정식. 내장 SPICE 모델방정식과결합된강력한인자분석으로탁월한통계모델링성능을제공합니다. PCA/PFA 기능으로주요파라미터를정의하거나자동으로지정하여선형 / 비선형방정식을생성합니다.
워스트 - 케이스및코너 SPICE 모델생성 SPAYN 은분석중인각파라미터와비상관주요인자 / 파라미터사이의관계를설명하는방정식을생성합니다. 이러한독립변수를대화적으로또는자동적으로교란하여, 내장된 SPICE 모델방정식으로실질적인 코너 / 워스트 - 케이스 모델을생성합니다. 고속 SmartSpice API 로사용자지정몬테카를로 ( 왼쪽그림 ), 코너 ( 오른쪽그림 ), 워스트 - 케이스시뮬레이션을수행합니다. 하나의소자부터아주복잡한회로까지시뮬레이션할수있으며, 어떠한분석기능도사용할수있습니다. 통계에의한공정해석및수율분석 SPAYN 으로 IC 제조공정과이것이소자퍼포먼스에미치는효과에대하여기초적인통계특징을결정합니다. SPAYN 은통계적인공정제어 (SPC) 및공정모니터 (PM) 차트를생성하여선택한웨이퍼 / 로트상에서주요파라미터 / 인자의편차를추적합니다. SPC 는속성그룹의파라미터를이용하여, 플롯과축적된 Shewhart 평균및범위 / 합계데이터를차트로나타냅니다. SPAYN 은생산단계에서모니터해야하는주요인자의최소집합을지정하여, 수율제어에효율적인공정모니터링전략을세우게합니다. 이후, 파라미터확인을위해공정모니터링차트를사용합니다. 내장된 SPICE 를이용하여 SPICE 모델을생성합니다. 생성된모델을사용하여 PM 차트에서직접시뮬레이션을실행합니다.
Wafer Map 은다이위치상의분포와함께파라미터및기타측정데이터를보여줍니다. 공정제어한계밖의데이터포인트 ( 이탈값 ) 가사각형으로표시됩니다. Golden Device feature 는비유사성척도에따라특정데이터베이스에서어떠한관찰또는결과가평균편차에가장근접하는지산출합니다. 즉, 주어진데이터베이스를가장잘설명하는측정소자를나타냅니다. Golden Device 의세가지인접결과계산및속성표시.
QUEST SPAYN in Silvaco Inductor PDK Flow UTMOST SPAYN Measurements Inductor PDK (scaling rules) User Inductor SPICE Model SPAYN Inputs/Outputs UTMOST QUEST Measurements TCAD SPAYN SmartSpice SmartView TonyPlot MaskViews is integrated with Silvaco products. ( 주 ) 실바코코리아 134-020 서울특별시강동구천호동 469-1 스타시티빌딩 5층 Phone: 02-447-5421 Fax: 02-447-5420 E-mail: krsales@silvaco.com WWW.SILVACO.CO.KR Rev. 101410_08