<DICER TechInfo Part II, Vol. 4, No. 1, pp13~25, 2005> 역삼투설비의이론및공정설계 (2) 4-2-4. SDSI (STIFF AND DAVIS STABILITY INDEX) 염농도가 5,000ppm을넘을때 LSI 지수는정확도가떨어진다. 높은 TDS의물에대해서는실험으로유도된값으로 LSI를수정한 SDSI가사용된다. SDSI = ph - pca - palk - K ALK : Total Alkalinity Concentration K : 온도와 ionic strength에의존하는상수 4-2-5. 용해도곱 (SOLUBILITY PRODUCT) 포화점에서용해도곱상수는염을구성하는이온들의농도와다음과같은관계를가지고있다. Ksp = [ 양이온 ]x [ 음이온 ]y 또한용해도곱상수는 ph, 온도및용액에존재하는다른염들의특성에영향을받는다. 하지만개략적인계산에서이들은무시될수있다. 특정염에대해서이온들의농도곱이 Ksp 보다클경우염들의침전이일어나게된다. 많은염들의경우에용해도곱상수와 ph, 온도, 다른염과는크게관계가없다. Carbonate 침전이아닌경우대부분은침전이상당히느리게일어나기때문에침전이일어나기시작하는정확한시점을판단하기는어렵다. R/O system에서는물이계속흐르기때문에용해도의한계범위에서일어나는침전은큰문제가되지않는다. 충분한크기의결정이생겨침전하기전에흘러나가기때문이다. 4-2-6. 산주입 (ACID INJECTION) Calcium carbonate scale을막을수있는가장효과적인방법은원수의 ph를낮추는것이다. 산은 bicarbonate를이산화탄소로바꾸어, 일반적으로 ph가 6.0 정도로낮아지면 bicarbonate는약 80% 가량감소한다. 2NaCO3 + H2SO4 <-> CO2(G) + 2H2O + Na2SO4 Bicarbonate는 carbonate의공급원이되므로물의 ph를낮추어 bicarbonate의농도를줄이면 carbonate scale을막을수있으며, ph를낮추면 Calcium carbonate의용해도가커지게된다. 산주입의또다른장점은이미침전해있는 Calcium carbonate를녹일수있다는것이다. 이러한방법으로어느정도침전된 SCALE 들은산을통해다시녹여낼수있지만 sulfate나 silica의침전이일어난경우에이들을없애기는매우어렵다. 어떠한이유로건산을주입하는 R/O system이운전정지를하게되는경우, 과포화된이산화탄소가물에서분리되어 ph가올라가는데, 이럴때후단의분리막에서는고농도의염이존재하므로침전이일어날가능성이높다. 따라서운전정지기간이길어질경우문제를일으킬수있다. 특히 CA막의경우침전되는 calcium carbonate로인한 ph의상승으로막의가수분해현상이일어나기쉽다. 13
산을주입하게되면부유고형물들이응집되는현상이일어나므로산을주입하는위치는 media filter전단이바람직하다. 산주입의가장큰단점은많은양의이산화탄소가스가발생하는것이다. 이산화탄소는역삼투분리막을쉽게통과하여 R/O 생산수의전기전도도를높이게되므로다음공정에서필히이산화탄소를제거해야만초순수를얻을수있다. 4-2-7. SCALE INHIBITION AND DISPERSION Scale inhibitor는염의결정이침전될정도로커지는것을방지한다. 결정을형성하는면에 inhibitor가흡착하여과포화된염이결정의표면으로끌려나가지않도록한다. 대부분의 inhibitor는어느정도의분산작용을한다. 염, 철, 유기고체등의입자를음전하의 scale inhibitor가둘러싸입자들끼리뭉치는과정을방해하기때문이다. Scale inhibitor는 scale이형성되는과정및 scale 입자들이뭉치는과정을늦추는작용을하며 R/O system에서는농축수가 system 밖으로흘러나가는시점까지작용을해야한다. 황산과 inhibitor를동시에주입하는경우 inhibitor는산보다전단에투입해야한다. 산을투입하는과정에서 sulfate의농도가높아침전물결정이형성되는현상을효과적으로막아줄수있어야하기때문이다. 만약 inhibitor가너무많이투입된다면양이온과 inhibitor의화합물이용해도를초과하여이들이침전될수있다. 여러 inhibitor가혼합된약품을사용하여이러한현상을최소화할수있다. Inhibition 효과는부가적이거나혹은그이상이며자체가침전될가능성은줄어들게된다. 각 inhibitor는서로용액내에유지시키는작용을한다. (INHIBITOR 의종류 ) 구분 구분특징비고 SHMP (Sodium Hexa meta phosphate) ORGANOPHOSPHONATE POLYACRYLATE 혼합형 -저가이며 inhibitor로의효과가좋다. -혼합이어렵고불안정하다. -적절한사용이어려워사용이감소하고있는추세이다. - SHMP보다안정적이다. -Inhibition과분산능력은 SHMP와비슷하다 -분산능력이뛰어나다. - Scale inhibition 능력은떨어진다. -과량을투입해도침전되지않는다. -분산력과 inhibition 능력이증대된다. Phosphate로가수분해되어칼슘과침전가능 SHMP를개선분자량 6,000 25,000 대부분의 inhibitor는 COOH나 PO4 작용기를가지며 1,000 5,000 정도의분자량을지닌 polyacrylate가보통사용된다. 이들은 carbonate나 sulfate의 scale을억제하는데최적의효과를나타낸다. 하지만분산작용은상당히제한적이다. 14
4-2-8. WATER SOFTNING R/O system으로들어가는원수의경도성분을이온교환수지로제거하는것을말한다. 주로 calcium, magnesium, iron 등의성분들이제거된다. 일반적으로연수장치는강한음전하를띄는작용기가있는수지를사용한다. 다가의이온들이 Na와교환되는과정을통하여경도성분이제거되며, 재생은 NaCl 수용액으로한다. 4-2-9. SCALE 을막는일반적인방법 SCALE 종류 SCALE 종류제어방법원리 CARBONATE SULFATE SILICA 철혹은망간 산주입연수화 Inhibitor / Dispersant 주입회수율을낮춤연수화 Inhibitor / Dispersant 주입산주입회수율을낮춤회수율을낮춤온도를올림 Dispersant 주입산화후여과연수화 HCO3를 CO2로바꾼다양이온경도를낮춘다입자들의응집을억제시킨다농축수에서의농도를낮춘다양이온경도를낮춘다입자들의응집을억제시킨다 Sulfate 용해도를증가시킨다농축수에서의농도를낮춘다농축수에서의농도를낮춘다용해도를높인다입자들의응집을억제시킨다불용성상태로산화시켜여과한다철과망간을제거한다 5. 역삼투막의세정과보관 5-1. MEMBRANE CLEANING 5-1-1. FOULING이발생하는주요원인 1) 원수의변화 : 미생물발생, 수질의급격한악화 2) 전처리 system의문제 : 설계문제, 가동문제 3) 펌프, 배관및기타재질의문제및약품주입 system의문제 4) 하지않은운전 : 가동조건에맞지않는운전 ( 생산수량, 회수율, 유량등 ) 5) 소량인난용성 scale의장기간누적 5-1-2. CLEANING이요구되는시기 1) 생산수량이 15% 감소한경우 2) 염투과율이 15% 증가한경우 3) 차압이가동초기조건에비해 15% 증가한경우 4) 초기조건과같은생산수량을얻기위한압력이 15% 증가한경우 5-1-3. CLEANING SYSTEM 15
1) 부식되지않는재질을사용한다. 2) Tank는 polypropylene이나 FRP(Fiberglass Reinforced Plastic) 을사용한다. 3) Clean 효과를높이기위해고온을유지하며, 가능한경우냉각장치를구비한다. 4) Sodium lauryl sulfate 같은물질은저온에서침전이가능하다. 5) Cleaning tank의크기 : Pressure vessel의부피 + 배관내부의부피 5-1-4. CLEANING 과정 1) 유속은 3m/sec 이하로유지한다. 2) 정수가나오지않을정도의낮은압력으로운전을해야한다. 3) Cleaning 용액의색이변하거나탁해지면새로운 cleaning 용액을이용해야한다. 4) 산을이용한 cleaning시 ph가 5 이상이면산을더첨가해야한다. 5) 다단 system의경우유량및이물질의문제가있으므로각단을별도로 cleaning 해야한다. 5-1-5. CLEANING 약품 1) 일반적으로염기성 cleaner는유기물질에의한 fouling을제거한다. 2) 일반적으로산성 cleaner는무기물에의한 fouling을제거한다. 3) EDTA : Ethylene Diamine Tetraacetic Acid 4) DDS : DODECYLSULFATE 5) 산계열은 ph를 3정도로맞추고, 염기계열은 ph를 11 정도로맞춘다. 5-1-6. CLEANING 방법 1) 물리적 CLEANING a. FLUSHING 담수로막면을 flushing하는것으로담수로는막여과수를사용한다. b. SPONGE BALL에의한 CLEANING 이방법은 tubular type에만사용할수있으며, 관경보다조금큰 polyethane foam ball을관내로통과시켜막면의오염물을제거한다. 부드러운 scale은거의완벽하게제거된다. 무기염이굳은 scale의경우에는 cleaning 중에막면에손상을줄수있지만유기성 colloid 물질을주성분으로하는오염물제거에는유효한방법이다. c. 초음파세정법실용화되어있지는않으나앞으로유력한 cleaning 방법의하나가될것이다. d. AIR INJECTION 법담수와함께공기등의기체를불어넣어막오염물을제거하는방법으로간단한조작으로초기에받은유기성물질에의한오염물의제거에유효하다. 2) 화학적 CLEANING a. 구연산 CLEANING 1 2% 의구연산용액으로막을 flushing 한다. b. 구연산암모늄 CLEANING 구연산암모늄용액을 ph 2 2.5로조정해막을 cleaning한다 (35 40 로하면효과가증가 ) 이방법은 cleaning에시간이많이필요하지만무기계 scale 제거에유용하다. 16
c. 수성유액에의한 CLEANING 기름과산화철에의한오염을제거하는데효과적이다. d. 산소세제산소를함유하는세제는유기물, 특히단백질, 다당류, 유지등의오염물제거에효과적이다. 산소세제의효과는 50 60 의고온에서기대되지만, acetyl cellulose계, 방향족 polyamide계에서는내열성이낮기때문에실제 30 35 정도에서처리한다. 5-2. FOULING 현상과제거방법 5-2-1. SCALE 염화합물의결정화된입자나침전물이막표면에 coating 되는현상으로, 특히마지막단에서의염제거율저하및차압증가가일어나며생산수량 (normalized permeate flow) 이감소한다. 1) 산투입대부분의지표수와지하수에는 CaCO3가포함되어있으며그용해도는 ph에영향을받는다. Ca+2 + HCO3- <-> H+ + CaCO3 위의반응식에의하면산을첨가하여수소이온농도를증가시켜야 calcium carbonate가용존상태로유지된다는것을알수있다. 사용되는산은주로황산이많이사용되는데이황산은황산염에의한 scale을일으킬수있다는단점을갖고있다. Calcium carbonate scale을방지하기위해서는침전이일어나지않는용존상태로유지해야하는데, 이렇게침전되지않고용존상태를유지하려는경향을나타내는지표로 Langelier Saturation Index(LSI) 와 Stiff & Davis Stability Index(S&DSI) 를사용한다. 여기서 LSI는 brackish water, S&DSI는 sea water에적용한다. LSI = ph - phs (TDS < 10,000 ppm) S&DSI = ph - phs (TDS > 10,000 ppm) phs : 포화상태에서의 ph 단순히산의첨가에의해 calcium carbonate scale을방지하기위해서는 LSI와 S&DSI가 -를유지해야한다. 만약성능이좋은 scale inhibitor를사용한다면 LSI가 1.5이하까지허용된다. 많은 inhibitor는 LSI가 1.8이하까지적용할수있는성능을갖고있다. 그렇게되면투입되는산의양을그만큼줄일수있는것이다. 2) SCALE 방지제투입 Scale inhibitor는 carbonate, sulfate, calcium fluoride scale을조정하기위해사용된다. 가장많이사용되는약품으로는 sodiumhexametaphosphate(shmp) 가있는데주의하지않으면가수분해가일어나효율이떨어지고 calcium phosphate scale이형성되기도한다. SHMP는농축 stream에 20ppm의농도로주입한다. 예를들면 75% 의회수율을갖는 system에는 5ppm을투입한다. 그외에 polymeric organic scale inhibitor도있는데 SHMP보다효율이더좋다. 어떻든 cationic polyelectrolytes 또는 multivalent cation 등과 aluminum, iron 들은침전을일으킬수있으며그침전물은제거하기가힘들다. TDS가 35,000ppm 정도의 sea water는 brackish water와마찬가지로 system의회수율이보통 30 45% 로낮기때문에 scale에대한문제를고려하지않아도된다. 17
System의안전을위해회수율이 35% 이상이되면 scale inhibitor를사용해야한다. 3) 강산성양이온교환수지에의한연수화 Scale을형성하는 +2가양이온을 sodium 이온과교환하여제거하는방법으로교환능력이떨어지면 NaCl로재생해준다. 이과정을통하여동급수의 ph변화는없으며단지 CO2 증가에따른처리수의 conductivity가증가한다. Conductivity를감소시키기위한방법으로는 NaOH를첨가하여 CO2를 bicarbonate로전환시는것이다.(ph8 이상 ) 이러한연수화방법은매우효과적이고안전한방법이나 sea water에는사용할수없다. 4) 약산성양이온교환수지에의한 DEALKALIZATION 이방법은대형 brackish water plant에서재생약품을줄이기위해사용된다. 이과정에서오직 Ca+2, Ba+2, Sr+2 만이 bicarbonate와경합하여제거되고 H+ 에의해치환된다. 그리고 ph는 4 5 정도가된다. 이온교환수지의교환기가 carboxylic group이기때문에이러한이온교환은 ph 4.2에서멈추는데 carboxlylic group이더이상결합하지않기때문이다. 이것은 scale을형성하는양이온을 bicarbonate와결합시키는부분적연수화라할수있다. Bicarbonate는수소와결합하여 CO2가되는데이 CO2는 conductivity를증가시키기때문에 degassing 공정에서제거된다. 그러나높은 CO2는미생물의성장을막는역할을하기도한다. 일반적으로수중의 CO2를제거하기위해서는 ph를높여주는데 ph 6이상에서효율이좋다. a. 장점 - 운전비와환경에미치는영향을줄일수있다 - Bicarbonate salt의제거로 TDS를줄일수있다. b. 단점 - 경도성분이잔류한다. - 처리수의 ph변화가심하다. 5) LIME SOFTENING Hydrate lime을첨가하여 carbonate hardness를제거하는공정이다. Ca(HCO3)2 + Ca(OH)2 -> 2CaCO2 + 2H2O Mg(HCO3)2 + 2Ca(OH)2 -> Mg(OH)2 + 2CaCO3 + 2H2O Noncarbonate calcium hardness는 sodium carbonate(soda ash) 의첨가에의해제거할수있다. CaCl2 + Na2CO3 -> 2NaCl + CaCO3 Lime-soda ash 공정은 silica제거에사용되기도한다. Sodium aluminate와 ferric chloride가첨가되면 calcium carbonate와 silicic acid, aluminium oxide, iron 화합물이침전된다. 고온 (60 70 ) lime silicic acid 제거공정에서 lime과 porous mangnesium oxide의첨가로 silica를 1ppm까지줄일수있다. 6) PREVENTIVE CLEANING 일부에서는 preventive membrane cleaning에의해 scale을조정한다. 이럴경우 softening과약품투입없이 system을운전할수있다. 이런 system은회수율이 25% 정도로낮고 membrane의교체주기도 1 2년으로짧다. 18
5-2-2. COLLOIDAL FOULING 콜로이드입자나미생물이막표면에 coating 되는현상으로초기에는염제거율을약간감소시키나시간이경과하면급속히감소한다. 그리고특히앞단에서차압이증가하며생산수량 (normalized permeate flow) 이감소한다. 1) MEDIA FILTRATION 수중에존재하는부유물질과 colloid물질을제거하기위한방법으로많이사용하며, media는 0.35 0.5mm의 sand와 0.7 0.8mm의 anthracite가사용된다. Media filter의 design flow rate는보통 10 20m/hr이며, backwash rate는 40 50m/hr이다. 만약공급수가 fouling을일으킬경향이높으면 flow rate를 10m/hr 이하로 design 해야하며, 2차 filter 의설치를고려해야한다. 운전압력은 gravity filter의경우 5m 정도의수위차가필요하며, pressure filter의경우는 2 4bar 의압력이필요하다. filter의 backwash는 gravity filter의경우 1.4m, pressure filter의경우는 0.3 0.6bar의차압이발생하면실시하며 backwash 시간은 10분정도로한다. 2) OXIDATION FILTRATION 일부지하수와대부분의 brackish water에는산소가부족하고 +2가양이온금속이온들이존재한다. 이러한물이 chlorinate 되었다가 dechlorinate 되거나산소의농도가 5ppm이상이되면 Fe+2는 Fe+3으로변환되어불용성의 colloidal hydroxide particle이된다. 철과망간의산하는다음과같다. 4Fe(HCO3)2 + O2 + 2H2O -> 4Fe(OH)3 + 8CO2 4Mn(HCO3)2 + O2 + 2H2O -> 4Mn(OH)3 + 8CO2 철에의한 fouling은망간에의한 fouling보다더자주일어난다. 그것은대부분의철이낮은 ph에서도산화되기때문에 SDI가 5 이하일지라도 fouling 현상이발생한다. 그래서 R/O 인입수의철농도를 0.1ppm이하로조정해야한다. Alkalinity가낮은물은일반적으로 alkalinity가높은물보다철의농도가높다. 이것은 Fe+2의농도가일반적으로 FeCO3의용해도에의해제한되기때문이다. 낮은 ph에서는 Fe+2의산화가지연되며, ph6이하와산소농도 0.5ppm이하에서 Fe+2의최대허용농도는 4ppm이다. 3) IN-LINE FILTRATION In-line filter는원수의 SDI가 5를약간넘을때사용한다. 방법은응집제를주입하여 floc을형성시켜 media filter에서제거하는것이다. Ferric sulfate와 ferric chloride는 colloid 표면의 (-) 전하를불안정하게만들어 ferric hydroxide floc을형성시킨다. 그리고 aluminum 응집제도효과적이기는하나잔류할경우 fouling을일으키는단점이있다. 응집제의주입농도는보통 10 30ppm이나경우에따라차이가있다. 4) CARTRIDGE MICROFILTRATION 보통 10micron 이하의 filter를사용하는데 R/O의전처리를위해사용할경우에는주로 5micron cartridge filter가사용된다. Filter는 backwash type을사용하지않는데그이유는효율저하와 19
미생물에의한오염을막기위한것이다. Filter는 nylon이나 polypropylene 같은 synthetic nondegradable 재질로만들어진다. 5) ph 많은유기물들은높은 ph에서용해성이높으며, silica 역시높은 ph에서용해성이높다 (CA type : 8 9, PA type : 11 12) 6) 온도 Biofouling에특히효과적이며높은온도에서는 fouling 물질을연화시켜제거하는데효과적이다. 7) 시간화학반응은투입되는약품량과시간에의하여좌우되므로충분한반응시간과 cleaning 시간이필요하다. 8) 유량많은유량으로와류를크게주면막표면의입자들이쉽게떨어진다. 9) 약품물에녹지않는유기물들을약품이둘러싸제거할수있다. FOULING 원인 SULFATE SCALING CARBONATE SCALING METAL OXIDE INORGANIC COLLOIDS (SILT) SILICA BIOFILMS ORGANICS 약품조성 0.1% NaOH, 0.1% Na-EDTA 0.2% HCl, 2.0% CITRIC ACID 0.5% H3PO4 0.1% NaOH, 0.05% Na-DDS 0.1% NaOH, 0.1% Na-EDTA 0.1% NaOH, 0.1% Na-EDTA 0.1% NaOH, 0.1% Na-EDTA 5-3. 미생물 CONTROLS 미생물이증식하여분리막에 fouling이일어나염제거율이나생산수량에문제가발생하는경우대체로다음과같은약품들로해결할수있다. 5-3-1. ISOTHIAZOLIN 1) 일반적으로판매되는용액은 1.5% 의활성성분을포함한다. 2) 주입농도는 15 25ppm 정도로한다. 5-3-2. SODIUM BISULFITE 1) Sodium bisulfite는생물학적성장억제제로사용가능하다 2) 매일 30 60분동안 500ppm의농도로사용한다. 3) 장기보존제로는 1% sodium bisulfite 용액을사용한다. 5-3-3. FORMALDEHYDE 1) 0.5 3% 농도로사용한다. 2) 취급및세척시주의가필요하다. 20
5-3-4. HYDROGEN PEROXIDE, PERACETIC ACID, PERIODIC ACID 1) 0.01 0.2% 의농도로사용한다. ( 약 20분순환 ) 2) 0.2% 이상의농도에서계속사용하면막에손상을준다. 3) Hydrogen peroxide를사용할때용액의 ph는 4이하여야한다. (ph 3이적절함 ) 4) 온도는 25 이하로유지해야하고철과망간등의산화제존재유무에주의해야한다. 5) 효과를증대시키기위해서는먼저염기성 cleaner로유기물을제거해야한다. 6) 막표면의철을제거하기위해산성 cleaner로 cleaning 해야한다. 5-3-5. CHLORINE 계열 1) 막이 chlorine에영향을받는정도는원수의성질에따라많은차이가있다. 2) 염기성일경우에 chlorine 영향을더받는다. 3) 철과같은중금속의농도가높을때 chlorine에의한파괴는더욱빨라진다. 4) 순수한 chlorine dioxide는 500ppm의농도로일주일정도사용할수있다. ( 일반적인조건에서 chlorine dioxide 농도는일주일이내에 10ppm 이하로됨 ) 5) Chloramine과 chlorine dioxide은모두막에대하여투과성을지니고있다. 5-3-6. Iodine, Quaternary germicide 그리고페놀화합물들은정수량의감소를유발시킬수있다. 5-4. MODULE의보관 Module을보관할때는직사광선을피해서늘하고건조하며온도가 20 35 인곳에보관해야한다. 5-4-1. 단기보관역삼투 module을장착한상태에서설비를 5일에서 30일정도가동하지않을때 1) 원수로역삼투설비를세척한다. 2) Vessel에물이완전히채워지면공기가 system으로들어가는것을방지하기위해적절히밸브를닫아공기의유입을방지한다. 3) 위의과정을 5일마다반복한다. 5-4-2. 장기보관역삼투 module을장착한상태에서설비를 30일이상가동시키지않을때 1) 적절한 ( 가능한생산수 ) 물로설비를 cleaning 한다. 2) Biocide 용액을역삼투설비에넣는다. 3) Biocide 용액이가득차면밸브를닫는다. 4) 30 미만 : 위과정을 30일마다반복한다. 5) 30 이상 : 위과정을 15일마다반복한다. 6) 재가동시 : 저압으로한시간정도세척한후고압으로 5 10분간세척한다. * 막에손상을주는인자와처리방법 전처리사항막에대한영향처리방법 온도조정막에적당한열교환장치 (35 의해수를 25 전후로 ) 21
범위로조정 ph 미생물 실리카 막의허용 ph이하로조정막면에 slime을형성하여막을침식막면에 scale형성 황산및염산첨가 (ph 8.1 8.5를 ph 5 6.5로조정 ) CA막염소주입및활성탄흡착염소주입 ( 피처리액에남은염소를 modul에 PA막들어가기전에 SBS로제거 ) 혼합막 O3 나 UV 소독 SS : cartridge filter로제거불용성 Colloid : 응집침점및응집여과가용성 Ca : Mg(OH)2로직접제거 무기물 막에침전물형성 탄산칼슘황산칼슘 화학적강제침강, 산첨가, 킬레이트제첨가, 용해성이온과교환반응 유기물 막을열화 A/C흡착, 염소및차아염소산으로제거 Fe, Mg 막면에 scale 형성 폭기산화여과법, 접촉산화법 ( 아황산소다 ) 칼슘염, 마그네슘염 막면에 scale 형성 SHMP(Sodium Hexa Meta Phosphate) 와 ph조절용황산과염산주입 산소 막을열화 탈산소법 : SBS 환원법과진공탈기법 polyamide계, 탈염소법 : A/C에의한흡착, 환원법 염소 polyether계환원제 : 중아황산소다 (SBS, NaHSO3), 티오황산및소다 (Hypo ;Na2S2O3), 과산화수소 (H2O2), 아황산 복합막을열화 소다 (Na2SO3) 응집제 PAC, FeCl3 막성능회복제 탈염율개선 PTB(Post Treatment B), XF-4273 6. 기 타 * 수관 BOILER의급수수질예 * 최고사용 1 10~2 20~3 75~10 압력 30~50 50~75 0 0 0 0 (kg/ cm2 ) 100~125 125~150 150 ph 8.5 7 7 7 7 8~9 (25 ) 9.0 8.5 9.0 8.5 9.0 8.5 9.0 경도 2 2 2 0 0 0 0 0 0 22
유지 0 0 0 0 0 0 0 0 0 용존산소 - 0.5 0.1 0.03 0.007 0.007 0.007 0.007 0.007 철 - - - - 0.05 0.03 0.03 0.02 0.02 구리 - - - - - 0.02 0.02 0.01 0.005 히드 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 - - - 라진 0.03 0.03 0.03 0.03 0.03 0.03 실리카 - - - - - - - - 0.02 전도도 (25, MΩ / cm ) - - - - - - - 0.3 0.3 * 반도체용초순수요구수질예 * DEGREE OF 4 M 16 M 256 K 1 M INTEGRATION (ESTIMATED) (ESTIMATED) 전기저항 > 18 > 18.1 > 18.2 > 18.2 입자직경 0.1 0.1 0.1 0.05 마리 / ml < 50 < 10 < 10 < 10 생균 ( 마리 / ml ) < 0.05 < 0.01 < 0.01 < 0.005 TOC(ppb) < 50 < 30 < 10 < 5 DO(ppb) < 100 < 100 < 50 < 10 SiO2 < 10 < 10 < 5 < 1 Cr < 0.007 < 0.007 Fe < 1 < 0.1 < 0.003 < 0.003 Mn < 0.05 < 0.05 IONS(ppb) Zn < 0.02 < 0.02 Cu < 1 < 0.1 < 0.02 < 0.002 Na < 1 < 0.1 < 0.1 < 0.1 K < 0.1 < 0.1 Cl < 1 < 0.1 < 0.1 < 0.1 * DRAM 집적도향상과초순수요구수질의관계 DRAM 집적도수질항목 256 MD 1 MD 4 MD 16 MD 64 MD 전기저항율 ( MΩ cm) 17 18 17.5 18 > 18 > 18.1 > 18.2 미립자 0.1 μm 50 150 10 20 < 5 - - 23
( 개 / ml ) 0.05 μm - - < 10 < 5 < 1 0.03 μm - - - - < 10 세균 ( 개 /l) 50~200 10~50 < 10 < 1 < 0.1 TOC ( μg /l) 50~100 30~50 < 10 < 2 < 1 DO ( μg /l) 50~100 30~50 < 50 < 10 < 5 실리카 ( μg /l) 10 5 < 1 < 1 < 0.5 중금속이온 (ng/l) ~1,000 100~500 < 100 < 10~50 < 5 * 전처리방법 Pre treatment CaC O3 CaS O4 BaSO 4 SrSO 4 CaF4 SiO2 SDI Fe Al 박테 리아 산화 제 유기 물 Acid Injection Scale Inhibitor Softening with IX Dealkalization with IX Lime Softening Preventive Cleaning Adjustment of Operation Parameter Media Filtration Oxidation - Filtration In-Line Coagulation Coagulation - Flocculation Micro / Ultrafiltr 24
-ation Cartridge Filter Chlorination Dechlorin -ation Shock Treatment Preventive Disinfection GAC Filtration : Possible : Very Effective 작성자 : DICER 편집부 25