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P.1 40 P.1 P.1,2 P.4,5 P.2,3 AF30-X2105 SUS P.5 P.7,8 2 ON/OFF P.6,7 P.5,6 3

P.7,8 P.3 P.3 ON/OFF P.6 P.5 P.4 50 150 SU S P.8 2 SRH4000-X218 SRH4000-X219 SRH4000-X224 15A 20A 25A IN OUT SUS 100 /1 2 120μm 4

P.10 IW21 -X28 IW21 -X42 IW21 -X140 IW21 -X189 IW222-02 IW21 L 0.14MPa AW30 AW30-02B-8-X480 SUS AW30--X430 30 60 AW30--X440 5 80 P.10 P.11. IL100 1 1 IL100-02,03 1 1 IL100-02,03-X12 1 2 Lock Up P.11 Lock Up P P.11 5

P.10 XYA XYB N2 P.9 P-10-5 P.1 SUP P.12 P.11 P CPA2,CPS1 CP5000 CP8000 P-K06-11 6

VBAT HAA 40 HAW 40 L/min ANR L/min ANR HAA 7.5 37kW 1000 5700 HAW 2.2 110kW 300 18000 L VBAT 3/8,1/2,3/4 5,10,20,38 IDF E/IDU E MAX.40 MAX.40 R134a HFCIDF1E 15E1/IDU3E 15E1 R407C HFCIDF22E 240D/IDU22E 75E IDF4E 75E/IDU3E 75E IDF/IDU E, D, B 45, 60 25 R407C HFC IDF F IDF1E 75E IDF190D, 240D IDF370B IDU3E 75E 0.75 75kW 190,240kW 370kW 2.2 75kW m 3 /min ANR 50Hz 60Hz 0.10 11.0 0.12 12.4 32.0,43.0 38.0,50.0 54.0 65.0 0.32 11.0 0.37 12.5 IDF100F IDF125F IDF150F 100kW 125kW 150kW m 3 /min ANR 50Hz 60Hz 16 18.8 20.1 23.7 25 30 IDFA E EC CE AC230V 50Hz R134a HFC, R407C HFC 0 IDFA4E 75E EU IDFA F 45, 60 25 3 AC380V, AC400V EU R407C HFC EU 1 IDFA3E 75E m 3 /h ANR 3 7 10 12 660 15 720 17 822 CE EU IDFA100F-38 IDFA125F-38 IDFA150F-38 IDFA100F-40 IDFA125F-40 IDFA150F-40 10 3 m 3 /h ANR 960 1210 1500 CE 860 1100 1340

IDFB E UL AC115V, 230V 60Hz, 3AC460V 60Hz R134a HFC), R407C HFC 0 IDFB4E 75E ID 30 m 3 /h ANR L/min ANR L/min ANR IDFB3E 75E 37 F 2.8 10 17 300 510 45 F 7.2 11 19 353 600 50 F 10 12 20 406 690 UL,CSA ID 80 780 100 975 IDG 99 AMG IDG1 100 IDG3H 100H IDG30L 100L IDG60S 100S L/min ANR 10 1000 25 1000 75 300 50 150 20 15 40 60 AMG L/min ANR 300 12000 1/8 2 AFF, 0.3μm AM μm L/min ANR μm L/min ANR AFF 3 99 300 42000 1/8 4 B AM 0.3 99.9 300 12000 1/8 2 AMD 0.01μm AMAMD 0.01μm μm L/min ANR μm L/min ANR AMD 0.01 99.9 200 40000 1/8 6 B AMH 0.01 99.9 2 AMH 200 12000 1/8 2

IS10 52mm, 15mm IS3000 10mA IS10 0.1 0.4MPa 0.1 0.6MPa 1a IS3000 0.1 0.7MPa IP44 ISG2 IS2761 ISG ISG11, 21 ISG12, 22 ISG13, 23 ISG19, 29 IS2761 0.02 0.3MPa 0.05 0.7MPa 0.1 1.0MPa 10 100kPa 0.1 1.0MPa 1a1b 2ab 1ab1b PFM PFM 2 3 DIN L/min 0.2 10 0.2 5 0.5 25 0.5 12.5 1 50 1 25 2 100 2 50 CO2 PF2A 5 PF2A IP65 L/min 1 10 5 50 10 100 20 200 50 500 150 3000 300 6000 600 12000 3 2 3 40 PF2W IP65 0 90 0 100L/min3 PF3W 90 IP65 PF2W PF3W L/min 0.5 4 2 16 5 40 10 100 PF2W L/min 0.5 4 2 16 5 40 10 100

ZSE30A F /ISE30A 2 10 3 ZSE40A F /ISE40A IP65 10 2 3 ZSE30AF ZSE30A ISE30A 100.0 100.0kPa 0.0 101.0kPa 0.100 1.000MPa ZSE40AF ZSE40A ISE40A 100.0 100.0kPa 0.0 101.3kPa 0.100 1.000MPa 9.8mm 1/2 ZSE/ISE30A 10 3 ZSE10 F /ISE10 ISE70/75 H IP67 2 M12 ZSE10F ZSE10 ISE10 100.0 100kPa 0.0 101.0kPa 0.100 1.000MPa ISE70 ISE75 ISE75H 0 1MPa 0 10MPa 0 15MPa ZSE/ISE80 IP65 2 3 VCR, Swagelok PSE53 ZSE80F ZSE80 ISE80 ISE80H 100.0 100.0kPa 0.0 101.0kPa 0.100 1.000MPa 0.100 2.000MPa PSE531 PSE533 PSE532 PSE530 0 101kPa 101 101kPa 0 101kPa 0 1MPa PSE54 PSE541 PSE543 PSE540 0 101kPa 100 100kPa 0 1MPa 4

IS10 52mm, 15mm IS3000 10mA IS10 0.1 0.4MPa 0.1 0.6MPa 1a IS3000 0.1 0.7MPa IP44 ISG2 IS2761 ISG ISG11, 21 ISG12, 22 ISG13, 23 ISG19, 29 IS2761 0.02 0.3MPa 0.05 0.7MPa 0.1 1.0MPa 10 100kPa 0.1 1.0MPa 1a1b 2ab 1ab1b PFM PFM 2 3 DIN L/min 0.2 10 0.2 5 0.5 25 0.5 12.5 1 50 1 25 2 100 2 50 CO2 PF2A 5 PF2A IP65 L/min 1 10 5 50 10 100 20 200 50 500 150 3000 300 6000 600 12000 3 2 3 40 PF2W IP65 0 90 0 100L/min3 PF3W 90 IP65 PF2W PF3W L/min 0.5 4 2 16 5 40 10 100 PF2W L/min 0.5 4 2 16 5 40 10 100

IFW5 3/4,1 IP42 IP44 IF3 IFW5 L/min 1 10 10 20 20 50 1ab IF3 L/min 14 60 20 1500 36 2600 1ab VX2 2 20% UP 10% Down 30%Down Al,, C37, SUS mmø VX21/22/23 N.C. 1/8 1/2 ø6 ø12 2 10 Y 2 VXK VXD 2 mmø mmø VXK21/22/23 N.C. N.O. 1/8 3/8 2 8 VXD2 N.C. N.O. 1/4 1 8A 50A 10 50 VXZ 2 mmø VXZ22/23 N.C. N.O. 1/4 1 10 25 6

VXE 1/3 2 2 VXP VXE2 VXE2 VXED2 N.C. 1/8 1/2 1/4 1 32A 50A mmø 2 10 10 50 VXP21/22/23 N.C. N.O. 1/4 2 32A 50A mmø 10 50 VXEZ2 1/4 1 10 25 VXR 2 VXH ø10 2MPa 2 mmø mmø VXR21/22/23 N.C. N.O. 1/2 2 20 50 VXH N.C. 1/4 1/2 10 VXA 2 mmø VXA21/22 N.C. N.O. 1/8 1/2 3 10 FGD FGE MAX.60L/min FGDEFGDF SUS316 MAX.230L/min V SUS304 FGD Rc3/8,1/2,3/4 0.7,1MPa MAX.80 FGE R1,2 0.7MPa MAX.80 7

FGG MAX.350L/min V MAX.3200L/min FGA FGG Rc2 0.7MPa MAX.80 FGA JIS 10KFF 25 150A 1 B 6 B 1MPa MAX.80 MAX.3800L/min Ass'y FGB MAX.80L/min 4Mpa FGC FGB JIS 10KFF 25 150A 1 B 6 B 1MPa MAX.80 FGC JIS JPI 1/2 B 1 B 1.2,4MPa MAX.80 FGF MAX.2000L/min 99 0.2, 0.4, 2, 4, 6.13μm FGH FGF Rc2,4 B, 6 B 0.5MPa MAX.80 FGH Rc3/8 1 1MPa MAX.80 MAX.30L/min FQ1 FQ1 Rc1/2,3/4,1 1MPa MAX.80 8

HRS LCD W377 H615 D500, 40kg AC200 230V, AC100V,115V CE, UL HRS 5 40 1300W 1900W 2400W 5100W ±0.1 HRZ UL, SEMI CE HRZ DC 1 UL, SEMI, CE HRZ HRZ 20 40 20 90 20 90 1 15kW ±0.1 HRZ 20 90 1.8 10kW ±0.1 HRZD 1 2 DC 23 1 1 SEMICE HRW UL, SEMI, CE HRZD 30 90 9.5kW 2 ±0.1 HRW 20 90 2 30kW ±0.3 HEC ULCE HEC 10 60 9 230, 600W 140, 320, 600, 1200W ±0.01 0.03 ±0.01 0.03

L XL XLA XLAV() XLC XLCV() XLF XLFV() XLG XLGV() XLD XLDV() XLH XLS Seal Seal O-ring Seal Seal O-ring Seal Seal N.C. N.C. N.C. N.C. SUS316L SUS316L SUS316L 16 80 16 160 16 80 25 80 16 50 16,25 XLAQ/XLDQ L XM/XY L XL L XM XLAQ XLDQ Seal Seal Seal O-ring Seal N.C. SUS316L 16 50 40,50 L XMA XYA XMC XYC XMD XYD XMH XYH Seal 16 SCS13 SUS304 Seal N.C. 16 80 SUS316L Seal SCS13 SUS304 25 80 O-ring Seal N.C. SUS316L SCS13 SUS304 Seal 16 50 SUS316L IW IW Rc1/4 IP8 00/IP8 01 MPa 0.02 0.2 0.02 0.3 0.02 0.5 5μm JISF8007 IP65 IEC 60529 - TIIS Exd BT5 ATEX 2G Ex ib CT5/T6 ATEX 1G Ex ia CT4/T5/T6 HART IP5000/5100 - IP8000 IP8100 IP8001 IP8101 Rc, NPT, G MPa 1/4 0.14 0.7 4 20mADC 0.3 0.7 IP5000/5100 Rc1/4 MPa 0.14 0.7 MPa 0.02 0.1 10

IL d2g4. IT Lock Up IL IS IP200 MPa MPa IP200 Rc1/4 0.3 0.7 0.02 0.1 IL100 Rc1/4,3/8 1 1 MAX.0.7MPa Lock-Up IL201/211 MPa Rc1/4 0.14 0.7 MAX.0.7MPa IT600 IT601 Rc1/4 MPa 0.14 0.24 0.24 0.7 4 20mADC Exd2BT4 50-VFE3000 50-VEF 50-VPE 3 5 50-VFE/50-VPE IS100 Rc1/4 MPa 0.02 0.1 1ab 50-VFE3000 50-VFE5000 50-VPE500 50-VPE700 5 3 mm Cv 2 18 1.0 45 2.5 41.4 2.3 72 4 W 3.5 25 series 11 2504-002 2505-003 2506-004 2507-006 2508-010 2510-002 2511-003 R 1/4 3/8 1/2 3/4 1 1/4 3/8

SUP P SUPR EXH A B P, EA, EB A, B Cv mm 2 5 SS5Y3-X460 SS5Y5-X460 SS5Y7-X460 SY3 20 1/8 M5 0.8 C4 ø4 C6 ø6 SY5 20 SUP EXH 2 20 1/4 1/8 C4 ø4 C6 ø6 C8 ø8 SY7 20 1/4 C8 ø8 C10 ø10 P A/B P A/B P A/B 0.17 3 0.43 7.8 0.74 13.4 C6 C8 C10 A/B EA/EB A/B EA/EB A/B EA/EB 0.19 3.5 0.46 8.4 0.7 12.7 )10 SS5Y75 P EA, EB SY3000 SY3320SY3220 SY3120 1/4 q w e 0.1W r51-sy t SS5Y7-49--X167 yvq4000 5000, VFR, VFS CC-Link, NKE EA P EB A B A B A B A B A B EA P EB 12