Interferometer
Automated Precision Inc. 1987 년설립 (Rockville, MD, USA) 기존 Laser 측정장비와차별화된 Laser Measurement System 과 Control System 연구개발 Machine Tools 과 CMM 장비를위한 5/6D Laser Measurement System 개발 새로운방식의 Laser Tracker 를개발하여독점의 NIST 인증취득 한단계발전한 XD Laser Measurement System 개발
Automated Precision Inc. Products
Automated Precision Inc. Customers
Interferometer 원리 간섭 (Interference) 이란? 같은진동수를가지는 2 개이상의파동이한점에서만날때, 그점에서의진동이각각의파동의진동이합으로나타나는현상. 성분파의위상관계로합성파의진폭이변동하는현상. 즉, 한쪽파동의마루와다른쪽파동의마루가중첩된부분에서는마루는그높이의합이되고, 합성파의진폭은각파동진폭의합이된다.
Interferometer 구성 Laser Head (with Interferometer / Controller) 5/6D Sensor Head (or Corner Cube) Weather Station (Material Temp. Probe / Air Temp. Probe / Air Pressure Probe) Turning Mirror with Post Options - 6D Roll Measurement Sensor (with Reference Roll Sensor) - Pentaprism for Squareness Measurement - Parallelism Measurement Kit - Flatness Measurement Kit / Rotary Measurement Kit
Interferometer 사양 Laser Specification Type Wavelength Output Power Beam Diameter Helium Neon (HeNe), Frequency Stabilized 632.99054 nanometers <1.0 milliwatt 5 millimeters (0.197 inches)
Interferometer 사양 ppm (part per million) 1/10 6 을나타냄. 즉거리 1M 일때 1µm 의 Error 가발생.
Interferometer 구분 Model 별가능한측정범위 XD-1 Corner Cube 사용 Linear 측정 (Accuracy / Repeatability) XD-3 Corner Cube 사용 Linear + Straightness + Flatness 측정 Squareness 측정 (Option) XD-5 5D Sensor 사용 Linear + Straightness + Flatness + Yaw + Pitch 측정 Squareness 측정 (Option) XD-6 6D (Roll) Sensor 사용 Linear + Straightness + Flatness + Yaw + Pitch + Roll 측정 Squareness 측정 (Option) Parallelism 측정 (Option) 기구 Flatness 측정 (Option)
Interferometer 특징 6 개의 Error (Linear, Straightness (X/Y), Pitch, Yaw, Roll) 에대한동시측정이가능하여최단시간에측정가능. 간단한구성 (2 Piece) 으로휴대사용하기가편리. - Interferometer 와 Controller 가 Laser Head 와일체형 무선네트웍기능채택으로빠른무선데이터송신가능. 사용자편의의운용소프트웨어사용. (Winner Software) 지속적인기술지원및정기적인교육실시. 다양하고편리한액세서리제공. Basic Measurement Unit - Accuracy ( 정밀도 ) - Repeatability ( 반복정밀도 ) - Straightness XX / YY ( 진직도 ) - Squareness ( 직각도 ) - Yaw, Pitch, Roll 측정 Option Measurement Unit -Flatness ( 편평도 ) - Angular ( 각도 ) - Parallelism ( 평행도 )
Interferometer 활용 Applications Machine Tool 과 CNC 축 Error 보상. 정밀스테이지정도측정 CMM 과 CNC의 total error mapping 과 Error 보상. Acceleration 과 Velocity 측정. Rotary ( 회전 ) 축측정. Diagonal ( 대각선 ) 측정. Squareness ( 직각도 ) 측정. Parallelism ( 평행도 ) 측정. Flatness ( 편평도 ) 측정. X-Y Table 조립중 Alignment
Laser Interferometer Setting Laser Interferometer Alignment Laser Interferometer Zero Setting
X-Y Table Alignment 측정 Straightness Alignment Digital Data Angle Alignment Digital Data Analog Data
기본 Linear 측정
Turning Mirror 를이용한측정
Pentaprism 을이용한측정
Diagonal 측정
Rotary 측정 Optical Polygon 이용 API Swivel Check 이용
Flatness 측정 (Union Jack 방식 ) Roll Sensor 이용 Flatness Jig 이용
Parallelism 측정
WINNER Software 지속적인 Software Upgrade 지원. 사용자편의의 Interface 지원. 고유의 Serial Number 제공.
WINNER Software Set-Up
WINNER Software Set-Up
WINNER Software Data Acquisition
WINNER Software Data Analysis 다양한 Standard 규격지원 - ASME B5.54 - ISO 230 2 : 1997 - NMTBA - VDI / DGQ 3441 - JIS B 6192 : 1999 - GB 17421.2 2000 Straightness Data 의 Zero Fitting 지원 X-Y Table Alignment Tool 지원 (Digital / Analog) 그래픽 Data 와 TXT Data 지원 그래픽 Data 를.jpg /.bmp 파일로변환 편리한 Data 확인을위한다양한 Tool 지원 (Zoom, Cusor Capture 등 ) API 측정 Data 를 Renishaw 측정 Data 로변환가능
WINNER Software Data Analysis Linear (Accuracy / Repeatability) Measurement Data
WINNER Software Data Analysis Straightness XX / YY Measurement Data
WINNER Software Data Analysis Before Zero Fitting After Zero Fitting Straightness XX / YY Zero Fitting Data
WINNER Software Data Analysis Angular (Yaw, Pitch, Roll) Measurement Data
WINNER Software Data Analysis Squareness Measurement Data
WINNER Software Data Analysis Rotary Measurement Data
WINNER Software Data Analysis Velocity Measurement Data
WINNER Software Data Analysis Flatness Measurement Data
WINNER Software Data Analysis Parallelism Measurement Data
Interferometer 비교 API 경쟁업체 Renishaw Hewlett Packard (Agilent) Optodyne Limtek Others
Interferometer 비교 API 경쟁업체사양비교 API Renishaw HP (Agilent) Linear Interferometer Interferometer Interferometer Straightness (XX / YY) Combined Separate Optics Separate Optics Angle Combined Separate Optics Separate Optics (Yaw / Pitch) Angle Combined None None (Roll)
Interferometer 비교 API 경쟁업체사양비교 타업체제품에비해 50~60% 측정시간절약. 타업체제품에비해 Squareness Option이간단함. 삼각대를사용하지않고장비에직접 Mount 하므로, 더욱안정적인 Data 산출. 타업체제품에비해구성요소가적어휴대및운반이용이. Roll 측정이가능함. Interferometer가내장되어있어빠른 Set-Up이가능.
Interferometer 감사합니다