정밀위치결정테이블은, 오랜기간에걸쳐쌓아온직동안내기기의기술과최첨단마이크로일렉트로닉스기술의융합에의해태어난제품입니다. 정밀위치결정테이블은, 디테일한사용자의요구에대응하기위해, 엄선된다수의우수부품으로구성하고있습니다. 그중에서도테이블안내부에는, 초정밀기계나공작기계분야에서실적이있는

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1 NIPPON THOMPSON CO., TD. (JAPAN) IKO THOMPSON BEARINGS CANADA, INC.(CANADA) 메카트로닉스시리즈종합카탈로그 Head Office : 7-17 Shiba 2-chome Minato-ku Tokyo -14, Japan : +81 () : +81 () ntt@ikonet.co.jp UR : Plant : Gifu, Kamakura IKO THOMPSON KOREA CO.,TD. (KOREA) Matheson Boulevard East 7th floor Mississauga, Ontario 4W K4, Canada : : itc@ikonet.co.jp IKO THOMPSON BRAZI SERVICE CO.,TD. (BRAZI) IKO THOMPSON ASIA CO., TD. (THAIAND) 2F, 111, Yeouigongwon-ro, Yeongdeungpo-gu, Seoul, Korea : +82 () : +82 () itk@ikonet.co.jp IKO INTERNATIONA, INC. (U.S.A.) Av.Paulista, 84 th floor, Top Center, 1-, Sao Paulo, SP, Brazil : + () : + () itb@ikonet.co.jp NIPPON THOMPSON EUROPE B.V. (EUROPE) 1-7 Zuellig House, rd Floor Silom Road, Silom, Bangrak Bangkok, Thailand : +66 () : +66 () ita@ikonet.co.jp IKO-THOMPSON (SHANGHAI) TD. (CHINA) East Coast Operations (Sales Head Office) 91 Walsh Drive Parsippany, NJ 74 U.S.A. : : : eco@ikonet.co.jp Midwest Operations 1 Mark Street Unit G, Wood Dale, I 6191 U.S.A. : : : mwo@ikonet.co.jp Minnesota Sales Office McAndrews Road West, Suite 2 Burnsville, MN 7 U.S.A. : : : mwo@ikonet.co.jp West Coast Operations 98 Norwalk Boulevard, Suite 198 Santa Fe Springs, CA 967 U.S.A. : : : wco@ikonet.co.jp Silicon Valley Sales Office Wyatt Drive, Suite Santa Clara, CA 94 U.S.A. : : : wco@ikonet.co.jp Southeast Operations 2 Boggs Road, Suite Duluth, GA 96 U.S.A. : : : seo@ikonet.co.jp Southwest Operations 8 N. Beltline Road, Suite 1 lrving, TX 76 U.S.A. : : : swo@ikonet.co.jp The Netherlands (Sales Head Office) Sheffieldstraat 47 AN Rotterdam The Netherlands : +1 () : +1 () nte@ikonet.co.jp Germany Branch Mündelheimer Weg Düsseldorf Germany : +49 () : +49 () ntd@ikonet.co.jp Regensburg Sales Office Im Gewerbepark D 99 Regensburg Germany : +49 () : +49 () ntdr@iko-nt.de Neunkirchen Sales Office Gruben Str. 9c 664 Neunkirchen Germany : +49 () : +49 () ntdn@iko-nt.de U.K. Branch 2 Vincent Avenue, Crownhill Milton Keynes, Bucks, MK8 AB United Kingdom : +44 () : +44 () sales@iko.co.uk Spain Branch Autovia Madrid-Barcelona, Km. 4,7 Polig. Ind. AIDA - Nove A-8, Ofic. 2-1 a 192 Azuqueca de Henares (Guadalajara) Spain : : nts@ikonet.co.jp France Branch Bâtiment le Raphaël Paris Nord 2 22 avenue des Nations BP494 Villepinte 994 ROISSY C.D.G Cedex France : + () : + () contact@iko-france.com Shanghai (Sales Head Office) 168- MetroPlaza No. oushanguan Road ChangNing District Shanghai People's Republic of China 21 : +86 () : +86 () ntc@ikonet.co.jp Beijing Branch Room6, Jingtai Tower, NO.24, Jianguomenwai Avenue, Chaoyang District, Beijing People's Republic of China 22 : +86 () : +86 () *6 ntc@ikonet.co.jp Guangzhou Branch Room 84, Garden Tower, Garden Hotel 68 Huanshi East Road, Yuexiu District, Guangzhou, Guangdong People's Republic of China 64 : +86 () : +86 () ntc@ikonet.co.jp Wuhan Branch Room 2, Truroll Plaza No.72 Wusheng Road, Qiao kou District, Wuhan, Hubei People's Republic of China 4 : +86 () : +86 () ntc@ikonet.co.jp Shenzhen Office Room 42, Oriental Plaza, 72 Jianshe Road, uohu District, Shenzhen, Guangdong People's Republic of China 181 : +86 () : +86 () ntc@ikonet.co.jp Ningbo Office Room 46, Zhongnongxin Building, No.181 Zhongshan East Road, Haishu Ward, Ningbo, Zhejiang People's Republic of China : +86 () : +86 () ntc@ikonet.co.jp Qingdao Office 27 Block A, World Trade Center Building, No.2 Changjiang Middle Road, Development Zone Qingdao People's Republic of China 266 : +86 () : +86 () ntc@ikonet.co.jp Shenyang Office 2-12 Tower I.City Plaza Shenyang, No.26 Nanjing North Street Heping District, Shenyang People's Republic of China 11 : +86 () : +86 () ntc@ikonet.co.jp ISO 91 & 141 Quality system registration certificate NIPPON THOMPSON CO., TD. CAT-176K Printed in Korea (AKA)

2 정밀위치결정테이블은, 오랜기간에걸쳐쌓아온직동안내기기의기술과최첨단마이크로일렉트로닉스기술의융합에의해태어난제품입니다. 정밀위치결정테이블은, 디테일한사용자의요구에대응하기위해, 엄선된다수의우수부품으로구성하고있습니다. 그중에서도테이블안내부에는, 초정밀기계나공작기계분야에서실적이있는직동안내기기가조합구성되어있어, 그우수한성능을아낌없이발휘하고있습니다. 정밀위치결정테이블은, 각종측정기, 가공기, 조립기를시작으로, 최첨단 CD 및반도체제조장비등의고성능위치결정기구로써폭넓게사용되고있으며, 그러한우수성이실제입증되고있습니다. Ⅰ-1 Ⅰ-2

3 메카트로닉스분류메카트로닉스특성볼스크류구동무빙마그네트리니어모터구동무빙코일타이밍벨트구동슬라이드테이블볼스크류가동테이블가동자마그네트고정자코일코어레스타입가동테이블코어부착타입가동자코일고정자마그네트슬라이드테이블모터타이밍벨트 메카트로닉스시리즈모터 의분류와특성 볼스크류구동리니어모터구동시리즈의동메카트로닉스분류와특성직선상하얼라이먼트무빙직선마그네트얼라이먼트무빙코직선일직선 타이밍벨트구운동방향스트로크추력속도가속도위치결정정밀도 기호설명특히우수함우수함보통 Ⅰ- Ⅰ-4

4 메카트로닉스시리즈 라인업 정밀위치결정테이블 TE 정밀위치결정테이블 TU 정밀위치결정테이블 B 나노리니어 NT 주요구성부품에高강도알루미늄합금을사용 高강성 U 자형트랙레일을채택 타이밍벨트구동의고속타입 컴팩트화를지향추구 경량ㆍ저단면ㆍ컴팩트위치결정테이블 용도에맞게테이블사양이각종선택가능 리니어웨이를병렬사용하여안정된높은주행성능 NT8V 는단면높이가불과 11 의超저단면 용도에맞게최적의선택이가능 풍부한제품군 TE B TU TSB NT V NT H NT XZ NT XZH 정밀위치결정테이블 정밀위치결정테이블 H 얼라이먼트스테이지 SA 리니어모터테이블 T 폭넓은분야에서실적이있는스탠다드타입 엄선된부품구성으로신뢰성이높은高정밀도 XYθ 축을조합한단면높이가불과 2 (SA6DE) 고속ㆍ高분해능을모두만족 리니어웨이를병렬사용하여안정된높은주행성능 高강성으로큰탑재질량 XY 축 :.1μm, θ 축 :.6 초의高분해능 (SA12DE) 高가감속ㆍ高응답으로스무즈한동작 C 루브내장장기메인터넌스프리사양 TS M TSH M CTH M SA DE T CE T D T H 高정밀위치결정테이블 TX 크린정밀위치결정테이블 TC 얼라이먼트테이블 AT 얼라이먼트모듈 AM 롤러타입으로궁극의위치결정성능을실현 반도체ㆍ CD 관련제조장비등, 높은청정도가요구되는 高정밀도위치결정에서정밀각도보정이가능 용도에맞게자유롭게스테이지설계가능 풀크로즈드루프제어로高정밀도 환경에서사용하기최적 크로스롤러베어링을채용하여高강성ㆍ컴팩트 높이치수의허용차를 ±μm 로관리 경량ㆍ저단면ㆍ컴팩트위치결정테이블 TX M CTX M TC EB AT AM 마이크로정밀위치결정테이블 TM 연삭볼스크류구동으로, 단면높이 2, 폭 17의극소사이즈 높은위치결정정밀도와우수한내구성 정밀위치결정테이블 TS CT 단면높이가낮고콤팩트한구조 크로스롤러웨이채용에따른신뢰성이높은高정밀도 정밀승강테이블 TZ 독자의경사기구를사용하여, 컴팩트로高정밀도의상하방향의위치결정이가능 TZ X는, C루브리니어롤러웨이슈퍼X를채택하여, 高정밀도ㆍ高강성을실현. TM TS CT TZ TZ H TZ X Ⅰ- Ⅰ-6

5 메카트로닉스시리즈 INDEX 운동방향과이송기구 형상 시리즈 단축사양의형식 다축사양의형식 참조페이지 정밀위치결정테이블 TE TE B ᅳ 4 페이지 정밀위치결정테이블 TU TU ᅳ 페이지 정밀위치결정테이블 TS M ᅳ 96 페이지 직선 볼스크류구동 TE B TS M TC EB 정밀위치결정테이블 H 高정밀위치결정테이블 TX 크린정밀위치결정테이블 TC TSH M TX M TC EB CTH M CTX M ᅳ 116페이지 144페이지 164페이지 마이크로정밀위치결정테이블 TM TM ᅳ 18 페이지 TM CT TX M 정밀위치결정테이블 TSᆞCT TS CT 196 페이지 타이밍벨트구동 정밀위치결정테이블 B TSB ᅳ 218 페이지 직선 TSB 나노리니어 NT NT V NT H NT XZ NT XZH 2 페이지 직선 리니어모터구동 T CE NT V SA DE/X 얼라이먼트스테이지 SA 리니어모터테이블 T SA DE/X T CE T D T H SA DE/XY SA DE/XS SA DE/XYS ᅳ 26페이지 276페이지 볼스크류구동 얼라이먼트테이블 AT AT ᅳ 4 페이지 얼라이먼트 AT 볼스크류구동 얼라이먼트모듈 AM AM ᅳ 16 페이지 얼라이먼트 AM 얼라이먼트 리니어모터구동 SA DE/S 얼라이먼트스테이지 SA SA DE/S SA DE/XS SA DE/XYS 26 페이지 상하 볼스크류구동 TZ 정밀승강테이블 TZ TZ TZ H TZ X ᅳ 페이지 Ⅰ-7 Ⅰ-8

6 형식 ᆞ 사이즈별제품군 1 다양한형식 ᆞ 풍부한제품군 정밀위치결정테이블 TE 정밀위치결정테이블 TE B 볼스크류구동 직선 TS M 볼스크류구동 직선 주요구성부품에高강도알루미늄합금을사용 경량ᆞ저단면ᆞ컴팩트위치결정테이블 高정밀도위치결정 C루브내장장기메인터넌스프리사양 우수한코스트퍼포먼스 폭넓은분야에서실적이있는스탠다드타입 리니어웨이를병렬사용하여안정된높은주행성능 높은주행정밀도와위치결정정밀도 풍부한사이즈별제품군에다축시스템구성이용이 C루브내장장기메인터넌스프리사양 사양 정밀도 사양 정밀도 형식과크기 최대스트로크 () 최고속도 (/s) 볼스크류리드 () 반복위치결정정밀도위치결정정밀도 형식과크기 최대스트로크 () 최고속도 (/s) 볼스크류리드 () 반복위치결정정밀도위치결정정밀도 TEB 2 8 4, 8 로스트모션 TS 9 M, 로스트모션 TE6B 1, 테이블운동의평행도 A TS 12 M 6, 테이블운동의평행도 A TE86B , 2 테이블운동의평행도 B TS 17 M, 테이블운동의평행도 B 자세정밀도 TS 17 S M 1, 자세정밀도 진직도백레쉬 -4 페이지로가기 TS 22 M 1, 진직도백레쉬 -96 페이지로가기 정밀위치결정테이블 TU 정밀위치결정테이블 H 사양 형식과크기 최대스트로크 () 최고속도 (/s) 볼스크류구동 TU 직선 高강성의새로운발상의 U자형트랙레일을채용 용도에맞게테이블사양이각종선택가능 슬라이드테이블은高정밀도ᆞ 高강성의일체구조 필요한기능ᆞ성능을호칭번호에지정하는것만으로간단히주문 정밀도볼스크류리드반복위치결정정밀도 () 위치결정정밀도 사양 TSH M CTH M ( 단축사양 ) (2축사양 ) 엄선된부품구성으로신뢰성이높은高정밀도 高강성으로큰탑재질량 높은주행정밀도와위치결정정밀도 테이블폭치수 42의초대형사이즈까지시리즈화 C루브내장장기메인터넌스프리사양 정밀도 볼스크류구동직선 TU 2 TU TU 4 TU TU 6 TU 86 TU TU , 8,,, 2, 로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 - 페이지로가기 형식과크기 TSH12M TSH22M TSH2M TSH42M CTH12M CTH22M CTH2M 최대스트로크 () 최고속도 (/s) 볼스크류리드 (),,,,,,, 반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 -116 페이지로가기 Ⅰ-9 Ⅰ-

7 형식 ᆞ 사이즈별제품군 2 다양한형식 ᆞ 풍부한제품군 高정밀위치결정테이블 TX 마이크로정밀위치결정테이블 TM TX M CTX M ( 단축사양 ) (2 축사양 ) 롤러타입으로궁극의위치결정성능을실현 볼스크류구동 직선 TM 볼스크류구동 연삭볼스크류구동으로, 단면높이 2, 폭 17의극소사이즈 높은위치결정정밀도와우수한내구성 직선 초高정밀도리니어엔코더탑재의풀크로즈드루프제어로高정밀도 용도에맞게선택하는제어방식 C루브내장장기메인터넌스프리사양 사양 용도로선택하는 2가지타입의슬라이드테이블형상 초소형센서를내장가능 정밀도반복위치결정정밀도 사양 형식과크기 TX 12M TX 22M TX 2M TX 42M 최대스트로크 () 4 8 최고속도 (/s) 볼스크류리드 (),,,, 정밀도반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도 형식과크기 TM1 TM1G 최대스트로크 () 6 최고속도 (/s) 볼스크류리드 ()., 1., 1.., 1., 1. 위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 -18 페이지로가기 CTX 12M CTX 22M 2 4,, 진직도백레쉬 -144 페이지로가기 정밀위치결정테이블 TSᆞCT 사양 형식과크기 TCEB TC6EB TC86EB 최대스트로크 () 2 8 최고속도 (/s) 4 1 크린정밀위치결정테이블 TC TC EB 반도체ᆞCD 관련제조장비등, 높은청정도가요구되는환경에서사용하기최적 경량ᆞ저단면ᆞ컴팩트위치결정테이블 청정도클래스 대응 C루브내장장기메인터넌스프리사양 볼스크류리드 () 4, 8,, 2 정밀도반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 볼스크류구동 직선 -164 페이지로가기 사양 형식과크기 TS / TS 7/ 7 TS 12/ 12 TS 12/ 22 TS 22/ 22 TS 22/ TS 26/ CT / CT 7/ 7 CT 12/ 12 CT 22/ 22 CT 26/ CT / 최대스트로크 () X 축 ± 7. ± 12. ± 2 ± 6 ± 7 ± 12 ± 7. ± 12. ± 2 ± 6 ± 6 ± 9 ± 12 Y 축 ± 7. ± 12. ± 2 ± 6 ± 12 ± 12 TS CT ( 단축사양 ) (2 축사양 ) 단면높이가낮고콤팩트한구조 크로스롤러웨이채용에따른신뢰성이높은高정밀도위치결정이가능 슬라이드테이블의면적을살린컴팩트한설계가가능 최고속도 (/s) 볼스크류리드 () 1 1 1, 2, 2, 2, 2, 2, 1 1 1, 2, 2, 2, 2, 정밀도 반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 볼스크류구동 직선 -196 페이지로가기 Ⅰ-11 Ⅰ-12

8 형식 ᆞ 사이즈별제품군 다양한형식 ᆞ 풍부한제품군 정밀위치결정테이블 B 타이밍벨트구동 TSB 직선 타이밍벨트구동으로 /s의고속이동이가능 리니어웨이를병렬사용하여안정된높은주행성능 최대 12의롱스트로크 나노리니어 NT 스탠다드타입 NT V 컴팩트화를지향추구 NT8V는단면높이가불과 11의超저단면 용도에맞게최적의선택이가능한풍부한제품군 高가감속에서高응답의위치결정을실현 XY2축조합가능 리니어모터구동직선 사양 형식과크기 TSB 9 TSB 12 최대스트로크 () 6 1 최고속도 (/s) 1 1 분해능 ().1.1 정밀도반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 高정밀도타입 NT H 리니어모터구동직선 TSB 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 -218 페이지로가기 컴팩트화를지향추구 높은자세정밀도 높은속도안정성 심플한시스템구성 픽 & 플레이스유닛 NT XZ NT XZH 리니어모터구동직선 컴팩트화를지향추구 빠른택타임의위치결정 초박형 ᆞ 스페이스절감 운전모니터기능 사양 정밀도 형식과크기 최대스트로크 () 최고속도 (/s) 분해능 (μm) 항목 NT V NT H NT XZ 반복위치결정정밀도 NT8V 18.1,. 위치결정정밀도 NTV 6 1.1,. 로스트모션 NT8V ,. 테이블운동의평행도 A NT88H 6 4.1,. 테이블운동의평행도 B NT8XZ 4 1.1,. 자세정밀도 NT9XZH 2 1.1,. 진직도 백레쉬 -2 페이지로가기 Ⅰ-1 Ⅰ-14

9 형식 ᆞ 사이즈별제품군 4 다양한형식 ᆞ 풍부한제품군 얼라이먼트스테이지 SA 리니어모터테이블 T SA DE 리니어모터구동 직선얼라이먼트 콤팩트타입 T CE 리니어모터구동 직선 XY 축을조합한단면높이가불과 2의박형ᆞ컴팩트 (SA6DE) XY축 :.1μm, 축 :.6초의高분해능 (SA12DE) XY 의조합이자유자재 콤팩트 높은정지 ( 靜止 ) 안정성 높은속도안정성 高가감속ᆞ 高응답 C루브내장장기메인터넌스프리사양 사양형식과크기 SA 6 DE/X SA 12 DE/X 최대스트로크최대동작각도 () 2 () 최고속도 (/s) 8(/s) 분해능.1,.(μm).1,.(μm) 정밀도반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 롱스트로크타입 T D 리니어모터구동직선 SA 6 DE/S SA 12 DE/S SA 2 DE/S ( 도 ) 6 ( 도 ) 28 ( 도 ) 72( 도 /s) 42( 도 /s) 27( 도 /s).64( 초 ).6( 초 ).2( 초 ) 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 -26 페이지로가기 超롱스트로크타입 높은정지 ( 靜止 ) 안정성 높은속도안정성 고속ᆞ 高분해능을모두만족 C루브내장장기메인터넌스프리사양 하이스러스트타입 리니어모터구동 T H 직선 高추력 高가감속 ᆞ 高응답으로스무즈한동작 높은정지 ( 靜止 ) 안정성 공냉가능 C 루브내장장기메인터넌스프리사양 사양 정밀도 형식과크기 최대스트로크 () 최고속도 (/s) 분해능 (μm) 항목 T CE T D T H 반복위치결정정밀도 TCE 1 2.1,., 1. 위치결정정밀도 TCE ,., 1. 로스트모션 T1D ,., 1. 테이블운동의평행도 A T17D ,., 1. 테이블운동의평행도 B T17H ,., 1. 자세정밀도 진직도 백레쉬 -276 페이지로가기 Ⅰ-1 Ⅰ-16

10 형식 ᆞ 사이즈별제품군 다양한형식 ᆞ 풍부한제품군 얼라이먼트테이블 AT 정밀승강테이블 TZ 볼스크류구동 볼스크류구동 AT 얼라이먼트 TZ 직선 高정밀도위치결정에서정밀각도보정이가능 크로스롤러베어링을채용하여高강성ᆞ컴팩트 높은반복위치결정정밀도 가지감속비를시리즈화 독자의경사기구를사용하여, 컴팩트로高정밀도의상하방향의위치결정이가능 TZ X는, C루브리니어롤러웨이슈퍼X를채택하여, 高정밀도ᆞ 高강성을실현 리니어엔코더취부가능 사양 정밀도 C 루브내장장기메인터넌스프리 형식과크기 AT12 AT2 AT 최대동작각도 ( 도 ) ± ± ± 볼스크류리드 () 로테이터분해능 (μm) 반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 -4 페이지로가기 사양 형식과크기 TZ12 TZ12X TZ2H TZ2X 최대스트로크 () 최고속도 (/s) 가지감속비를시리즈화 정밀도볼스크류리드반복위치결정정밀도 () 위치결정정밀도 4 로스트모션 4 테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 - 페이지로가기 얼라이먼트모듈 AM AM 볼스크류구동 얼라이먼트 용도에맞게자유롭게스테이지설계가능 높이치수의허용차를 ±μm로관리 XY 의다양한위치결정동작이가능 대형장비에최적 高정밀도ᆞ 高강성ᆞ 高신뢰성 사양 정밀도 형식과크기 최대스트로크 () 트랙레일길이 () 볼스크류리드 () 반복위치결정정밀도위치결정정밀도 AM2 1 4 로스트모션 AM 테이블운동의평행도 A AM 테이블운동의평행도 B AM 자세정밀도 진직도백레쉬 -16 페이지로가기 Ⅰ-17 Ⅰ-18

11 진화를계속하는위치결정기구 1 경량 저단면의신감각테이블이라면초 컴팩트를실현하고자한다면 정밀위치결정테이블 TE TE B 마이크로정밀위치결정테이블 TM TM 연삭볼스크류사양으로, 단면높이 2, 폭 17 의극소사이즈를실현 테이블안내부에트랙레일폭 2의마이크로리니니어웨이, 이송기구에직경 2의미니츄어볼스크류를채택. 연삭볼스크류구동에서는다른종류에유래없는단면높이를실현. 모터 슬라이드테이블 커버 정밀연삭볼스크류 주요구성부품에高강도알루미늄합금을사용 U 자형배드의안쪽에슬라이드테이블을배치한경량 ᆞ 컴팩트구조! 질량 배드폭치수 () 6 86 TU TE B 단위 : 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시합니다. 나노리니어 NT NT V 17 센서 배드 앵귤러베어링 마이크로리니어웨이 컴팩트화를지향추구시리즈최소사이즈의 NT8V 은, 단면높이가불과 11, 테이블폭 8, 전장 62 를실현 2 각종센서는취부홈에직접취부 테이블을 XY 적층상태로배치하여도, 점유스페이스가증대하지않고, 위치결정기구에한층더소형화에공헌합니다. 26 슬라이드테이블과직동안내기기를일체구조로한저단면 ᆞ 컴팩트설계! 형식 NT V NT8V NT8V18 NTV2 NTV6 NT8V2 NT8V6 NT8V12 TU TEB 高강도알루미늄합금재질의슬라이드테이블과배드의채용으로경량화! 형식과크기 단면치수 Ⅰ-19 Ⅰ-2

12 진화를계속하는위치결정기구 2 高정밀도를추구한다면 高정밀도위치결정과고속을양립하고자한다면 高정밀위치결정테이블 TX TX M, CTX M 超高정밀도리니어엔코더탑재에따른, 높은위치결정정밀도와분해능을보증! C 루브리니어롤러웨이수퍼 X 의채용에의한, 궁극의주행성능을실현. 超高 분해능리니어엔코더에의한풀크로즈드루프제어를구성하고, 스트로크 전역에대하여높은위치결정정밀도를보증하고있습니다. 위치결정정밀도 μm 시료 :CTX22M-4 X 축 Y 축 리니어모터테이블 T T D 다이렉트드라이버로부터高정밀도위치결정과고속을양립 롱스트로크의용도에서요구되는고속운전에도대응. 최고속도 /s까지의고속운전이가능합니다. 속도 /s 최고속도 :,/s 실제속도지령속도 스트로크 시간 s ADVA 드라이버를사용했을경우의값입니다. 나노리니어 NT NT H 높은속도안정성을실현하고자한다면 높은자세정밀도! 高정밀도로가공한부품과랙 & 피니언내장형크로스롤러웨이를조합하여, 자세정밀도 초이하를실현하였습니다. 이동에따른자세변화가지극히적고, 위치재현성에우수합니다. 자세정밀도초 요잉 피칭 2 4 스트로크 자세정밀도 : 초이하 6 리니어모터테이블 T T CE, T D, T H 다이렉트드라이브와선진서보기술에의해, 높은속도안정성을실현하고있습니다. 속도 /s /s 속도안정성 ( 측정주파수 1,Hz):±1.78% 시간 s ADVA 드라이버를사용했을경우의값입니다. Ⅰ-21 Ⅰ-22

13 진화를계속하는위치결정기구 풍부한옵션군에서선택한다면크린 환경의용도라면 당장필요한기능 ᆞ 성능을호칭번호에서지정하는것만으로간단히주문이가능! 정밀위치결정테이블 TU TU 정밀위치결정테이블 TE TE B 크린정밀위치결정테이블 TC TC EB 청정도클래스 을실현! 내식성에우수한스테인레스시트, 사이드커버에의한구동부와슬라이드테이블의안내부분을밀폐. 스테인레스시트는슬라이드테이블내에설치된수지제품의롤러에의한사이드커버에밀착되어, 강력한마그네트시트로확실히흡착하는구조를채용하여, 밀폐된내부공간으로부터공기를흡인하는것으로, 테이블주변에서의분진발생을방지합니다. TCEB ( 볼스크류리드 :4) 스트로크: 속 도:2/s 흡 인 량:/min TCEB ( 볼스크류리드 :8) 스트로크:2 속 도:4/s 흡 인 량:/min 클래스 상한 클래스 상한 슬라이드테이블의형상 용도에따라 2 종류의형상으로부터선택이가능합니다. 모터접이식사양 테이블전장을짧게하여, 스페이스절감을도모하는것이가능합니다. 브릿지커버부착 입자농도개 /m 1 1 클래스 1 상한 측정치.1μm 이상.2μm 이상.μm 이상.μm 이상 입자직경 클래스 4 상한 클래스 상한 클래스 2 상한 입자농도개 /m 1 1 클래스 1 상한 측정치 클래스 4 상한 클래스 상한 클래스 2 상한.1μm이상.2μm이상.μm이상.μm이상입자직경 스탠다드쇼트, 스탠다드, 롱 플랜지부착쇼트, 스탠다드, 롱 테이블에서의이물질낙하방지를위해, 브릿지커버부착사양을선택이가능합니다. TC6EB ( 볼스크류리드 :) 스트로크:2 속 도:/s 흡 인 량:/min 클래스 상한 TC6EB6 ( 볼스크류리드 :) 스트로크: 속 도:/s 흡 인 량:/min 클래스 상한 슬라이드테이블의갯수 부하하중이나모멘트크기에대응하여, 트랙레일에조합한슬라이드테이블갯수를 2개로대응이가능합니다. 벨로우즈부착테이블 테이블내부에서의이물침입을방지하는벨로우즈부착사양을선택할수있습니다. 입자농도개 /m 1 1 클래스 1 상한 측정치.1μm 이상.2μm 이상.μm 이상.μm 이상 입자직경 클래스 4 상한 클래스 상한 클래스 2 상한 입자농도개 /m 1 1 클래스 1 상한 측정치.1μm 이상.2μm 이상.μm 이상.μm 이상 입자직경 클래스 4 상한 클래스 상한 클래스 2 상한 TC86EB64 ( 볼스크류리드 :2) 스트로크:2 속 도:/s 흡 인 량:7/min TC86EB94 ( 볼스크류리드 :2) 스트로크:8 속 도:6/s 흡 인 량:4/min 볼스크류종류와리드 요구된정밀도에맞게, 전조볼스크류와연삭볼스크류의선택이가능합니다. 또한, 볼스크류의리드도선택이가능합니다. 흑색크롬피막처리 슬라이드테이블과볼스크류표면에흑색침수성피막을형성하여, 내식성을향상시킵니다. 입자농도개 /m 1 클래스 1 상한 측정치 클래스 상한 클래스 4 상한 클래스 상한 입자농도개 /m 1 클래스 1 상한 측정치 클래스 상한 클래스 4 상한 클래스 상한 1.1μm 이상.2μm 이상.μm 이상.μm 이상 입자직경 클래스 2 상한 1.1μm 이상.2μm 이상.μm 이상.μm 이상 입자직경 클래스 2 상한 Ⅰ-2 Ⅰ-24

14 진화를계속하는위치결정기구 4 메인터넌스프리를고려한다면 지구 환경에 공헌하는 전동체의순환으로윤활유를운반 새로운발상 ᆞ 세계최초의 C 루브 를내장한구조 C 루브내장 전동체표면에직접윤활유를공급 다양한요구에대응하고자한다면 풍부한특주제작스테이지의실적으로, 다양한축구성의스테이지등의고객요망에디테일하게대응합니다. 요청하실때에는로문의해주십시오. 윤활유는트랙레일이아닌, 전동체에직접공급됩니다. 슬라이드유닛의전동체순환로에내장된캐피러리윤활체에전동체가접촉했을때, 전동체표면에윤활유가공급되고, 전동체의순환에의해부하영역으로운반됩니다. 그결과, 부하영역에서는항상최적의오일량이확보되어장기간윤활성능을유지합니다. 캐피러리윤활체의표면은, 항상윤활유로뒤덮여있습니다. 캐피러리윤활체의표면에전동체가접촉하면, 표면장력에의해, 윤활유가끊어지지않고전동체표면에공급됩니다. 전동체가접촉하는캐피러리윤활체의표면에는, 다른부분에서항상새로운윤활유가공급됩니다. C 루브 원통롤러 원통롤러 원통롤러 윤활유막표면장력 트랙레일 슬라이드유닛스트로크방향 C 루브 모세관현상 C 루브 C 루브리니어웨이 아쿠아블루의측판이메인터넌스프리표시입니다. C 루브리니어롤러웨이 아쿠아블루의측판이메인터넌스프리표시입니다. CD 패널제조장비 CD 패널제조장비 전자부품검사장비 CD 검사장비 정밀위치결정테이블 TE 高정밀위치결정테이블 TX 정밀위치결정테이블 정밀위치결정테이블 H 크린정밀위치결정테이블 TC 나노리니어 NT 얼라이먼트스테이지 SA 리니어모터테이블 T 정밀승강테이블 TZ C 루브 를내장한시리즈 CD 검사장비 Ⅰ-2 Ⅰ-26

15 각제품별시리즈의해설과치수표 정밀위치결정테이블 TE 해설 - 치수표 - 17 정밀위치결정테이블 TU 해설 - 1 치수표 - 6 정밀위치결정테이블 해설 - 97 치수표 -1 정밀위치결정테이블 H 해설 -117 치수표 -11 高정밀위치결정테이블 TX 해설 -14 치수표 -17 크린정밀위치결정테이블 TC 해설 -16 치수표 -176 마이크로정밀위치결정테이블 TM 해설 -181 치수표 -19 정밀위치결정테이블 TSᆞCT 해설 -197 치수표 -28 정밀위치결정테이블 B 해설 -219 치수표 -226 나노리니어 NT 해설 -21 치수표 -24 얼라이먼트스테이지 SA 해설 -261 치수표 -27 리니어모터테이블 T 해설 -277 치수표 -294 얼라이먼트테이블 AT 해설 - 치수표 -12 얼라이먼트모듈 AM 해설 -17 치수표 -2 정밀승강테이블 TZ 해설 -1 치수표 -8 리니어모터구동테이블용드라이버사양일람 해설 -44 프로그램컨트롤러 해설 -4 종합해설 종합해설 -2 Ⅱ-1 Ⅱ-2

16 TE B TE B Ⅱ- Ⅱ-4

17 정밀 위치 결정 테이블 TE TE B 볼스크류 직선 Points 용도에 맞는 테이블 사양 선택 가능 경량ᆞ저단면ᆞ高정밀도 위치 결정 테이블 U자형 배드 안쪽에 슬라이드 테이블을 배치한 경량ᆞ 종류가 있습니다. 슬라이드 테이블의 갯수나 모터의 접이식 사양, 볼스크류의 리드, 방진용 커버의 유무, 각종 센서 부착 등을 지정할 수 있으므로, 기계 및 장치 사양에 맞춰 최적의 제품을 선택할 수 있습니다. 저단면ᆞ컴팩트한 위치 결정 테이블 입니다. 슬라이드 테이블 테이블 전체 질량이 TU 시리즈의 약4 로 경감. 단면 높이는, TEB가 26, TE6B가, TE86B가 46의 저단면으로, 각종 센서를 배드의 센서 설치용 홈에 직접 설치하는 구조이므로, 스페이스 절감에도 공헌합니다. 볼스크류 우수한 코스트 퍼포먼스 부품 점유수의 절감, 부품 형상의 최적화하여, 뛰어난 코스트 퍼포먼스를 발휘합니다. 정밀 위치 결정 테이블 TU와 비교 단면 높이 TEB TE6B TU TU6 TE86B TU86 센서 설치 홈 배드 리니어웨이 질량 엔드 브라켓 주요 제품 사양 형식과 크기 정밀도 스트로크 () 전장 () 질량 () 질량/ () TEB TU TE6B TU TE86B TU 단위 구동 정밀 볼스크류 반복 위치 결정 정밀도 ±.2~.2 직동안내기기 리니어웨이 볼 타입 위치 결정 정밀도.~.6 윤활 부품 내장 윤활 부품 C루브 내장 로스트 모션 ᅳ 테이블 ᆞ배드의 재질 高강도 알루미늄 합금 테이블 운동의 평행도 A ᅳ 센서 호칭번호에서 선택 테이블 운동의 평행도 B.8~.16 자세 정밀도 ᅳ 진직도 ᅳ 백레쉬. Ⅱ 다양한 제품군 형상 형식 치수 () 6 86 스탠다드 TE BS 플랜지부착 TE BF Ⅱ 6 TE B 1 주요 구성 부품에 高강도 알루미늄 합금을 사용하고, 모터 브라켓 2 슬라이드 테이블의 형상은 스탠다드와 플랜지 부착 2

18 호칭번호 형식 크기 슬라이드테이블의형상 배드길이 TE B: 정밀위치결정테이블 TE 크기는, 배드폭치수를표시합니다. 표 1 에표시한크기로부터선택합니다. S: 스탠다드테이블 F: 플랜지부착스탠다드테이블 표 1 에표시한배드길이로부터선택합니다. 표 1 크기와배드길이단위 형식과크기배드폭치수배드길이 TEB, 2, 2, TE6B 6, 2,, 4,, 6 TE86B 86 4, 44, 4, 64, 74, 84, 94 비고스트로크는 Ⅱ 17 페이지이후의치수표를참조하여주십시오. 호칭번호의배열예 형식 Ⅱ 7페이지 2 크기 Ⅱ 7페이지 슬라이드테이블의형상 Ⅱ 7페이지 4 배드길이 Ⅱ 7페이지 모터접이식사양ㆍ 모터어터치먼트지정 Ⅱ 7페이지 6 볼스크류의리드 Ⅱ 9페이지 7 슬라이드테이블의갯수 Ⅱ 9페이지 8 커버사양 Ⅱ 9페이지 9 센서사양 Ⅱ 9페이지 호칭번호와사양의상세사항 모터접이식사양ㆍ모터어터치먼트지정 TE B F / AT1 8 S C AT : 모터스트레이트사양모터어터치먼트없음 AT1~AT11 : 모터스트레이트사양모터어터치먼트부착 AR : 모터접이식사양모터어터치먼트없음 AR1~AR8 : 모터접이식사양모터어터치먼트부착모터어터치먼트를지정할경우는, 표2.1, 표2.2에서선택합니다. ㆍ모터접이식사양으로사용할모터에적용하는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ모터스트레이트사양의경우, 모터어터치먼트부착을지정하면, 표 에표시한커플링이본체에취부되어 출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. 모터어터치먼트없음 (AT) 의경우, 커플링은첨부하지않습니다. ㆍ모터접이식사양의경우, 모터어터치먼트부착을지정하면, 지정한모터에적합한하우징, 풀리 ( 모터측 과볼스크류측 ), 커버, 모터브라켓, 벨트및조립에필요한볼트류 가첨부됩니다. 모터취부용볼트는고객사에서준비해주십시오. 호칭번호와사양의상세사항 표 2.1 모터어터치먼트의적용 ( 모터스트레이트사양 ) AC 서보모터 사용모터 종류메이커시리즈형식 스텝핑모터 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 히타치산기시스템 오리엔탈모터 Σ-Ⅴ J, J4 MINAS A AD α 스텝 RK CRK 주 ( 1 ) 모터출력축외경 φ8 에적용합니다. 비고모터상세사양은, 각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. 표 2.2 모터어터치먼트의적용 ( 모터접이식사양 ) AC 서보모터 사용모터 종류메이커시리즈형식 스텝핑모터 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 히타치산기시스템 오리엔탈모터 정격출력 W 플랜지각 모터어터치먼트 TEB TE6B TE86B SGMJV-AA AT1 AT2 SGMAV-AA AT1 AT2 4 SGMJV-1A AT2 SGMAV-1A AT2 SGMJV-2A AT 2 6 SGMAV-2A AT HF-MP, HG-MR AT1 AT2 HF-KP, HG-KR AT1 AT2 4 HF-MP1, HG-MR1 AT2 HF-KP1, HG-KR1 AT2 HF-MP2, HG-MR2 AT 2 6 HF-KP2, HG-KR2 AT MSMDA AT4 AT MSMEA AT4 AT 8 MSMD1 AT MSME1 AT MSMD2 AT6 2 6 MSME2 AT6 ADMA-R AT1 AT2 4 ADMA-1 AT2 ADMA AT AR46 42 AT7 AR66 6 AT8 AR69 6 AT8 RK4ㆍCRK4 42 AT9 RK6ㆍCRK6( 1 ) 6 AT AT11 정격출력 W 플랜지각 모터어터치먼트 TEB TE6B TE86B SGMJV-AA AR1 AR2 SGMAV-AA AR1 AR2 4 SGMJV-1A AR2 Σ-Ⅴ SGMAV-1A AR2 SGMJV-2A AR 2 6 SGMAV-2A AR HF-MP, HG-MR AR1 AR2 HF-KP, HG-KR AR1 AR2 4 HF-MP1, HG-MR1 AR2 J, J4 HF-KP1, HG-KR1 AR2 HF-MP2, HG-MR2 AR 2 6 HF-KP2, HG-KR2 AR MSMDA AR4 AR MSMEA AR4 AR 8 MSMD1 AR MINAS A MSME1 AR MSMD2 AR6 2 6 MSME2 AR6 ADMA-R AR1 AR2 4 AD ADMA-1 AR2 ADMA AR α스텝 AR46 42 AR7 RK CRK 비고자세한모터사양은각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. RK4 ㆍ CRK4 42 AR8 TE B Ⅱ-7 Ⅱ-8

19 호칭번호와사양의상세사항 표 커플링의형식 ( 모터스트레이트사양 ) 모터 어터치먼트 커플링의형식 메이커 커플링의관성 J C ㆍ m 2 AT1 XGS 19C 8 나베야바이텍.62 AT2 XGS 19C 8 나베야바이텍.62 AT XGS C 8 14 나베야바이텍. AT4 XGS 19C 8 나베야바이텍.62 AT XGS 19C 8 나베야바이텍.62 AT6 XGS C 8 11 나베야바이텍. AT7 XGS 19C 6 나베야바이텍.62 AT8 XGS C 8 나베야바이텍. AT9 XGS 19C 나베야바이텍.62 AT XGS 19C 8 나베야바이텍.62 AT11 XGS C 8 8 나베야바이텍. 비고커플링의상세사양은, 각메이커카탈로그를참조해주십시오 볼스크류의리드 슬라이드테이블의갯수 커버사양 센서사양 4: 리드 4 (TEB 에적용 ) : 리드 (TE6B 에적용 ) 8: 리드 8 (TEB 에적용 ) : 리드 (TE6B, TE86B 에적용 ) 2: 리드 2 (TE86B 에적용 ) S:1 개 C:2 개 : 커버없음 C: 브리지커버부착 (TE BF 에적용 ) : 센서없음 2: 센서 2 개부착 ( 리미트 ) : 센서 개부착 ( 리미트, 원점전 ) 4: 센서 4 개부착 ( 리미트, 원점전, 원점 ) : 센서 2 개첨부 ( 리미트 ) 6: 센서 개첨부 ( 리미트, 원점전 ) 7: 센서 4 개첨부 ( 리미트, 원점전, 원점 ) 센서부착 ( 기호 2,, 4) 을지정했을경우, 센서가사이드커버측면의센서설치홈에, 또는, 2 장의차폐판이슬라이드테이블에장착됩니다. 센서첨부 ( 기호, 6, 7) 를지정했을경우, 지정갯수의센서외, 센서취부볼트와너트, 차폐판 (2 장 ), 차폐판취부볼트가첨부됩니다. 각종특성 표 4 정밀도 형식과 크기 배드길이 반복 위치결정정밀도 위치결정정밀도 ( 1 ) 테이블운동의평행도 B 백레쉬 ( 1 ) TEB 2 ±.2. 2 (±.2) ±.2.4 TE6B. 4 (±.2) ±.2. TE86B 64. (±.2) 주 ( 1 ) 모터접이식사양의테이블에는, 적용안합니다. 비고 ( ) 안의값은, 모터접이식사양테이블에대한타이밍벨트의장력이적정하게조정되어있는경우의참고치입니다. 단위 표 최고속도 모터의종류 최고속도 /s 형식과배드길이크기리드리드리드리드리드 TEB 4 8 TE6B 이하 AC 서보 4 이하 모터 TE86B TEB 스텝핑 TE6B 모터 TE86B 94 이하 6 비고실제최고속도는, 사용모터나부하조건등에대응하는운전패턴의검토가필요합니다. TE B 표6 허용모멘트 허용모멘트 Nㆍm 형식과크기 T T X T Y TEB 9.8 TE6B 16.7 TE86B 49. 비고슬라이드테이블 1개의경우입니다. Ⅱ-9 Ⅱ-

20 각종특성 각종특성 표 7 최대탑재질량 표 배드의단면 2 차모멘트 형식과크기 TEB TE6B TE86B 볼스크류의리드 비고플랜지부착스탠다드테이블에서슬라이드테이블 1 개의경우입니다. 수평 최대탑재질량 수직 e Y 축 X 축 TE B 표 8 직동안내부의정격하중 형식과 기본동정격하중 C 기본정정격하중 C 정정격모멘트 ( 1 ) Nㆍm 크기 N N T T X T Y TEB ( 422) 99. ( 8) 99. ( 8) TE6B ( 78) 11 ( 79) 11 ( 79) TE86B (2 22) 472 (2 4) 472 (2 4) 주 ( 1 ) 아래그림의방향값에서, ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의값입니다. 형식과 크기 I X 단면 2 차모멘트 4 TEB TE6B TE86B I Y 중심점 e 표 9.1 볼스크류사양 1 형식과 크기 TEB TE6B TE86B 리드 볼스크류외경 기본동정격하중 N C 기본정정격하중 C N 표 9.2 볼스크류사양 2 단위 형식과크기배드길이볼스크류외경전장 TEB TE6B TE86B T T X T Y 표 11 테이블관성과기동토크 형식과 크기 TEB TE6B TE86B 배드 길이 스탠다드테이블 리드 테이블관성 J T ( 2 ) ㆍ m 2 기동 플랜지부착 스탠다드테이블 주 ( 1 ) 슬라이드테이블을 2 개사용하는경우는약 1. 배가되며, 모터접이식사양의테이블은약 2 배가됩니다. ( 2 ) 모터접이식사양의경우, 표안의수치에아래의값을가산하여주십시오. TEB:.17 ᆞm 2, TE6B:.9 ᆞm 2, TE86B:.86 ᆞm 2 취부 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. 리드 토크 T S ( 1 ) N ㆍ m... Ⅱ-11 Ⅱ-12

21 모터접이식사양 정밀위치결정테이블 TE 는, 모터접이식사양도대응하고있기때문에, 모터를병렬로취부하여테이블전장을짧게하므로써, 스페이스절감을도모합니다. 모터접이식사양의치수는, 각치수표를참조해주십시오. 모터접이식사양의경우, 지정한모터에적합한하우징, 풀리 ( 모터측과볼스크류측 ), 커버, 모터브라켓, 벨트및조립에필요한볼트류 가 첨부되어있으므로, 고객사에서조립하여주십시오. 다만, 모터취부용볼트는고객사에서준비해주십시오. 모터어터치먼트는아래그림과같이 4 방향에취부가가능합니다. 모터접이설치방향에따라, 배드아래면보다모터어터치먼트또는모터가낮게되는치수가달라집니다. Ⅱ 2~Ⅱ 28 페이지의치수표에개략적인값이기재되어있으니, 주변부품이간섭하지않도록여유를갖고설계하여주십시오. 센서사양 표 12 센서타이밍차트 모터스트레이트사양 CW CCW A TE B 모터상방향접이식 모터좌방향접이식 ON 원점 14 B OFF 원점전 C OFF CCW 리미트 모터하방향접이식 모터우방향접이식 OFF 스트로크 CW 리미트 (D) (E) 메카스토퍼 모터접이식사양 슬라이드테이블 2 개사양 CCW CW 정밀위치결정테이블 TE 는, 슬라이드테이블 2 개사양도준비되어있습니다. 모터측슬라이드테이블에는볼스크류너트가취부되어있어, 모 A 터구동이가능합니다. ( 구동테이블 ) 반대모터측슬라이드테이블에는볼스크류너트가취부되어있지않은프리상태입니다. ( 추동테이블 ) 2 개의슬라이드테이블을연결하여사용하는것으로, 모멘트에강한구성이가능합니다. ( 표 8) 슬라이드테이블을연결하는경우는, Ⅱ 17 Ⅱ 28 페이지의치수표에기재되어있는 2 개밀착시중심간치수 이상의간격으로사용하여주십시오. ( 간격을넓히면스트로크는짧아집 니다.) 14 B ON 원점 OFF 원점전 2 개밀착시중심간치수 C OFF CW 리미트 OFF 스트로크 CCW 리미트 (D) (E) 메카스토퍼 추동테이블 구동테이블 형식과 크기 TEB TE6B TE86B 볼스크류의 리드 A B C D( 1 ) E 주 ( 1 ) ( ) 안의값은, 슬라이드테이블갯수가 2 개일경우의치수를표시합니다. 비고 1. 센서취부는, 호칭번호에서지정합니다. 2. 각센서사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조하여주십시오.. 모터접이식사양의경우는 CWᆞCCW 가반전합니다. 6 ( 9 ) 2 9. ( 8.) (11 ) 단위 Ⅱ-1 Ⅱ-14

22 모터스트레이트사양 TEB TE6B 모터접이식사양 TEB AT ( 모터어터치먼트없음 ) φ +.4 φ 드릴 M 깊이 드릴 6. 카운터보어깊이 6. AT ( 모터어터치먼트없음 ) φ +.4 φ M 관통 4-.4 드릴 6. 카운터보어깊이 6. AR ( 모터어터치먼트없음 ) AR7 AT1 φ2 +.4 φ+.2 AT2 φ2 +.4 φ M4 관통 PCD46, 9 등분배치 AT4 6 9 φ2 +.4 φ+.2 4-M4관통 PCD46, 9 등분배치 드릴 6. 카운터보어깊이 6. AT 6 9 φ2 +.4 φ+.2 4-M4 관통 PCD46 9 등분배치 드릴 6. 카운터보어깊이 6. AR1 AR M 관통 PCD4, 9 등분배치 M 관통 M 관통 PCD4 9 등분배치 드릴 6.카운터보어깊이. AR4 AT7 AT9 +.4 φ AT φ2 +. φ6+.2 TE86B AT ( 모터어터치먼트없음 ) 드릴 6. 카운터보어깊이 4 4-M4 깊이 8 4-M4 관통 TE6B AR ( 모터어터치먼트없음 ) TE86B AR ( 모터어터치먼트없음 ) φ8 +.4 φ φ φ 깊이6 4-M4 깊이 8 24 하우징 4-.4 드릴 1 모터브라켓 커버 풀리홀경 φ 드릴 하우징 모터브라켓 커버 풀리홀경 φ8 하우징 모터브라켓 커버 풀리홀경 φ 4-M관통 PCD4, 9 등분배치 하우징 모터브라켓 커버 풀리 홀경 φ φ 42 4-M4 깊이 모터어터치먼트의치수 TE B M4 깊이 φ 깊이 φ 깊이6 AT φ +. φ 드릴 8 카운터보어깊이 M4 관통 PCD46, 9 등분배치 M 관통 PCD7, 9 등분배치 M 관통 PCD7 9 등분배치 AR2 AR 하우징 모터브라켓 커버 풀리 홀경 φ8 하우징 모터브라켓 커버 풀리 홀경 φ14 AT6 φ +. φ 드릴 8 카운터보어깊이 M 관통 PCD4, 9 등분배치 M4관통 PCD7, 9 등분배치 M4 관통 PCD7 9 등분배치 6 4-M4 관통 AR AR6 AT8 AT11 φ +. φ 드릴 8 카운터보어깊이 7 2 하우징 모터브라켓 커버 풀리 홀경 φ8 하우징 모터브라켓 커버 풀리 홀경 φ11 Ⅱ-1 Ⅱ-16

23 정밀위치결정테이블 TE TEBS( 모터스트레이트사양 ) TEBF( 모터스트레이트사양 ) 67(2 개밀착시중심간치수 ) 67(2 개밀착시중심간치수 ) 4-M 깊이 ( 1 ) 8 4-M4 깊이 6( 1 ) 4-M4 깊이 8 TE B (6) S/2 S/2 (2) A (C) (n-1) 8 C A n-4. 드릴 8 카운터보어깊이 4 2 n-4. 드릴 8 카운터보어깊이 4 4-M 깊이 6 ( 양단면 ) S/2 S/2 (2) 11 8 A (8.8).. (C) (n-1) 8 C A 센서부착 센서부착 A-A 단면치수 A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 2 ) C n ( ) ( ) ( 4) ( 9) (14) 4.82 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2 개일때는.7 증가합니다. 비고 1. AC 서보모터용모터어터치먼트는배드아래면보다. 낮게됩니다. 2. 스텝핑모터용모터어터치먼트는배드아래면보다 4. 낮게됩니다. 단위 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 1 ) C n ( 2 ) ( ) ( 4) ( 9) (14) 4.94 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2 개일때는.16 증가합니다. 비고 1. AC 서보모터용모터어터치먼트는배드아래면보다. 낮게됩니다. 2. 스텝핑모터용모터어터치먼트는배드아래면보다 4. 낮게됩니다. 단위 Ⅱ-17 Ⅱ-18

24 정밀위치결정테이블 TE TE6BS( 모터스트레이트사양 ) TE6BF( 모터스트레이트사양 ) 76(2 개밀착시중심간치수 ) 76(2 개밀착시중심간치수 ) 4-M 깊이 6( 1 ) 8 4-M 깊이 7.( 1 ) 4-M깊이6 ( 안쪽면으로부터 ) 8 4-M 깊이 TE B S/2 4 S/2 (24) A A C (n-1) (C) (76) 2 n-. 드릴 9. 카운터보어깊이.4 2 n-. 드릴 9. 카운터보어깊이.4 S/2 4 S/2 (24) A A C (n-1) (C) A-A 단면치수 센서부착 센서부착 A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 2 ) C n ( ) 219 ( ) ( ) (12) (22) (2) (42) 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2개일때는.1 증가합니다. 비고 스텝핑모터용모터어터치먼트는배드아래면보다 9 낮게됩니다. Ⅱ-19 단위 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 1 ) C n ( 2 ) 219 ( ) ( ) (12) (22) (2) (42) 6 2. 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2개일때는.2 증가합니다. 비고 스텝핑모터용모터어터치먼트는배드아래면보다 9 낮게됩니다. 단위 Ⅱ-2

25 정밀위치결정테이블 TE TE86BS( 모터스트레이트사양 ) TE86BF( 모터스트레이트사양 ) 1(2 개밀착시중심간치수 ) 1(2 개밀착시중심간치수 ) 46 4-M 깊이 6( 1 ) M6 깊이 9( 1 ) 4-M 깊이 8 4-M6 깊이 12 TE B S/2 81 S/2 A A 7 (n-1) (7) (9) 2 n-6.6 드릴 11 카운터보어깊이 6. 4-M 깊이 6 ( 안쪽면으로부터 ) 2 n-6.6드릴 11카운터보어깊이6. S/2 81 S/2 () () A A 7 (n-1) (7) 센서부착 A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 2 ) n ( ) ( 9) (19) (29) (9) (49) (9) (69) 9 6. 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2개일때는. 증가합니다. Ⅱ-21 단위 A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 1 ) n ( 2 ) ( 9) (19) (29) (9) (49) (9) (69) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2개일때는.6 증가합니다..6 센서부착 단위 Ⅱ-22

26 정밀위치결정테이블 TE TEBS( 모터접이식사양 ) TEBF( 모터접이식사양 ) 67(2 개밀착시중심간치수 ) 67(2 개밀착시중심간치수 ) 4-M4 깊이 M 깊이 ( 1 ) 8 4-M4 깊이 6( 1 ) S/2 S/2 (2) (C) (n-1) 8 C A A (6) 16 2 n-4. 드릴 8 카운터보어깊이 4 4-M 깊이 6 ( 양단면 ) S/2 S/2 (2) 8 A (9.) (2) (8.8). (C) (n-1) 8 C 1 A 16. (9.) (2) TE B 2 n-4. 드릴 8 카운터보어깊이 센서부착 센서부착 A-A 단면치수 A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 2 ) C n ( ) ( ) ( 4) ( 9) (14) 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2 개일때는.7 증가합니다. 비고 1. 모터어터치먼트용부품은부속품이며, 본그림은고객사에서조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. 2. 좌우방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 9. 낮게됩니다. 또는, 고객사에서 AC 서보모터를취부하실경우는약 2.~., 스탭핑모터를취부하실경우는약 4., 배드의아래면보다낮게됩니다.. 상방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약. 낮게됩니다. 단위 단위 배드길이 전장 스트로크 배드취부홀 질량 ( 참고 ) 1 S( 1 ) C n ( 2 ) ( ) ( 4) ( 9) (14) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2개일때는.16 증가합니다. 비고1. 모터어터치먼트용부품은부속품이며, 본그림은고객사에서조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. 2. 좌우방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약9. 낮게됩니다. 또는, 고객사에서 AC 서보모터를취부하실경우는약 2.~., 스탭핑모터를취부하실경우는약4., 배드의아래면보다낮게됩니다.. 상방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약. 낮게됩니다. Ⅱ-2 Ⅱ-24

27 정밀위치결정테이블 TE TE6BS( 모터접이식사양 ) TE6BF( 모터접이식사양 ) 76(2 개밀착시중심간치수 ) 76(2 개밀착시중심간치수 ) 4-M 깊이 6( 1 ) 8 4-M 깊이 7.( 1 ) M 깊이 6 ( 안쪽면으로부터 ) 8 4-M 깊이 n-. 드릴 9. 카운터보어깊이.4 (76) n-.드릴 9.카운터보어깊이 TE B S/2 4 S/2 (24) S/2 4 S/2 (24) A 2 A 6 (6) (46.4) (6) C (n-1) (C) A 21 (11.) 11 C (n-1) (C) 1 A (11.) A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 2 ) C n ( ) 178. ( ) ( ) (12) (22) (2) (42) 6 2. 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2 개일때는.1 증가합니다. 비고 1. 모터어터치먼트용부품은부속품이며, 본그림은고객사에서조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. 2. 좌우방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 11. 낮게됩니다.. 상방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 9 낮게됩니다. Ⅱ-2 78 센서부착 단위 1 6 A-A 단면치수 센서부착 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 1 ) C n ( 2 ) 178. ( ) ( ) (12) (22) (2) (42) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2 개일때는.2 증가합니다. 비고 1. 모터어터치먼트용부품은부속품이며, 본그림은고객사에서조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. 2. 좌우방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 11. 낮게됩니다.. 상방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 9 낮게됩니다. 78 단위 Ⅱ-26

28 정밀위치결정테이블 TE TE86BS( 모터접이식사양 ) 1(2 개밀착시중심간치수 ) TE86BF( 모터접이식사양 ) 1(2 개밀착시중심간치수 ) M 깊이 6( 1 ) 8 4-M6 깊이 9( 1 ) M 깊이 8 4-M6 깊이 S/2 81 A 4 A 7 (n-1) (7) S/2 () 7 (78) (9) 2 n-6.6 드릴 11 카운터보어깊이 6. 4-M깊이6 ( 안쪽면으로부터 ) S/2 81 S/2 () A (8) (n-1) (7) A (8) TE B 2 n-6.6 드릴 11 카운터보어깊이 (78) A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 2 ) n ( ) ( 9) (19) (29) (9) (49) (9) (69) 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2 개일때는. 증가합니다. 비고 1. 모터어터치먼트용부품은부속품이며, 본그림은고객사에서조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. 2. 좌우방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 8 낮게됩니다.. 상방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 6 낮게됩니다. Ⅱ-27.6 센서부착 단위 A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 1 ) n ( 2 ) ( 9) (19) (29) (9) (49) (9) (69) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2 개일때는.6 증가합니다. 비고 1. 모터어터치먼트용부품은부속품이며, 본그림은고객사에서조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. 2. 좌우방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 8 낮게됩니다.. 상방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 6 낮게됩니다..6 센서부착 단위 Ⅱ-28

29 TU TU Ⅱ-29 Ⅱ-

30 정밀 위치 결정 테이블 TU 볼스크류 TU 직선 Points 슬라이드 테이블은 高정밀도ᆞ高강성의 일체 구조 2 새로운 발상의 U자형 트랙레일을 채용 컴팩트하고 슬림한 위치 결정 테이블 슬라이드 테이블은 직동안내기기와 일체 구조. 큰 사이즈 강구가 2조열로 밸런스 좋게 배치되어, 궤도와 4점 접촉하는 구조이기 때문에, 변동 1 강성 高정밀도 위치 결정이 가능합니다. 배치한 컴팩트하고 슬림한 위치 결정 테이블 입니다. U자형 트랙레일을 채용하여, 모멘트나 비틀림에 슬라이드 테이블 TU 하중이나 복합 하중이 작용하는 용도에서도, 高 U자형 트랙레일의 안쪽에 슬라이드 테이블을 Ⅱ-페이지 풍부한 옵션으로 부터 최적의 테이블 사양이 선택 가능 대한 강성이 대폭으로 향상. 트랙레일을 기계ᆞ 장치의 구조 부자재로써 사용 가능하여, 설계의 자유도가 넓어집니다. 충실한 사이즈군과 풍부한 옵션군으로 부터 필요한 기능ᆞ성능을 호칭번호에서 지정하는 것만으로 간단히 용도에 맞는 최적의 위치 결정 테이블을 구성할 수 있습니다. 볼스크류 트랙레일 다양한 제품군 리니어웨이 형상 스탠다드 형식 트랙레일 폭치수() TU C TU S TU G TU FC TU F TU FG 쇼트 테이블 스탠다드 테이블 롱 테이블 주요 제품 사양 정밀도 플랜지부착 쇼트 테이블 단위 구동 정밀 볼스크류ᆞ전조 볼스크류 반복 위치 결정 정밀도 ±.2~.4 직동안내기기 리니어웨이 볼 타입 위치 결정 정밀도.2~. ᅳ 윤활 부품 내장 내장 없음 호칭번호에서 윤활 부품 C루브 의 장착 선택이 가능 로스트 모션 테이블 운동의 평행도 A ᅳ 테이블ᆞ배드의 재질 탄소강제 테이블 운동의 평행도 B.8~. 센서 호칭번호에서 선택 자세 정밀도 ᅳ 진직도 ᅳ 백레쉬.~. Ⅱ 1 스탠다드 테이블 롱 테이블 Ⅱ 2

31 정밀위치결정테이블 TU 호칭번호에서지정가능한특별사양 슬라이드테이블의형상과길이 모터접이식사양 스탠다드, 플랜지부착의 2 가지타입으로 모터접이식사양의테이블은, 테이블 부터선택가능, 동일단면형상에서쇼트, 전장을짧게하여, 스페이스성력화를 스탠다드, 롱 가지타입의길이의 도모하는것이가능합니다. 슬라이드테이블을라인업. 플랜지부착은, 브리지커버나 XY 브라켓을취부 TU 가능합니다. 스탠다드쇼트 (C), 스탠다드 ( 무기호 ), 롱 (G) 플랜지부착쇼트 (FC), 스탠다드 (F), 롱 (FG) 브릿지커버부착 슬라이드테이블의갯수 플랜지부착은, 브릿지커버를취부할수있습니다. 부하하중이나모멘트크기에대응하여, 트랙레일에조합한슬라이드테이블 갯수를 2 개로대응이가능합니다. 벨로우즈부착테이블 벨로우즈부착테이블은, 직동안내부와 구동부를벨로우즈로커버하여, 테이블 볼스크류종류와리드 내부에이물침입을방지합니다. 요구된정밀도에맞게, 전조볼스크류와정밀볼스크류에서선택할수있습니다. 또한, 볼스크류의리드도 선택이가능합니다. 볼스크류없는사양은, 2 축병렬사용의추동측직동안내기기로사용할수있습니다. 흑색크롬피막처리 센서지정 슬라이드테이블과볼스크류표면에흑색침투성피막을형성하여, 방청능력을향상 시킵니다. 오버런센서나원점센서등의각종센서의취부지정이가능합니다. C 루브장착테이블 XY 브라켓 윤활제를함침시킨윤활부품 C 루브 를 XY 브라켓이시리즈화되어있어서, 용이하게 XY 브라켓 장착하는것으로, 볼스크류나직동안내기기의 XY 테이블을구성할수있습니다. 그리스업등의메인터넌스공수를대폭 절감할수있습니다. X 축 Y 축 Ⅱ- Ⅱ-4

32 호칭번호 호칭번호와사양의상세사항 호칭번호의배열예 형식 TU: 정밀위치결정테이블 TU TU 86 FG 89 / AT G S R Q 2 크기 크기는, 배드폭치수를표시합니다. 표 1 에표시한크기로부터선택합니다. 1 형식 Ⅱ 6페이지 2 크기 Ⅱ 6페이지 슬라이드테이블의형상 C : 쇼트테이블 S : 스탠다드테이블 G : 롱테이블 FC : 플랜지부착쇼트테이블 F : 플랜지부착스탠다드테이블 FG : 플랜지부착롱테이블 TU 슬라이드테이블의형상 Ⅱ 6페이지 4 트랙레일길이 Ⅱ 6페이지 모터접이식사양ㆍ 모터어터치먼트지정 Ⅱ 7페이지 표 1 슬라이드테이블형상의적용 형식과크기 형식기호 TU C TU S TU G TU FC TU F TU FG TU 2 TU TU 4 TU TU 6 TU 86 TU TU1 6 볼스크류의종류 Ⅱ 7페이지 4 트랙레일길이 표 2.1, 표 2.2 에표시한트랙레일길이의 [ 표시 ] 에서선택합니다. 7 볼스크류의리드 Ⅱ 7페이지 8 슬라이드테이블의갯수 Ⅱ 7페이지 9 커버사양 Ⅱ 8페이지 센서사양 Ⅱ 8페이지 표 2.1 트랙레일길이 ( 모터스트레이트사양 ) 단위 형식과크기 트랙레일길이의 [ 표시 ] 와치수 TU 2 [1] 1 [16] 16 [2] 2 TU [14] 14 [18] 18 [22] 22 [26] 26 [] [4] 4 TU 4 [18] 18 [24] 24 [] [6] 6 [42] 42 TU [22] 22 [] [8] 8 [46] 46 [4] 4 [62] 62 [7] 7 TU 6 [29] 29 [9] 9 [49] 49 [9] 9 [69] 69 [79] 79 [99] 99[119]1 19 TU 86 [49] 49 [9] 9 [69] 69 [79] 79 [89] 89 [99] 99[9]1 9[119]1 19[19]1 9[19]1 9 TU [1]1 [116]1 16[11]1 [146]1 46 TU1 [1]1 [116]1 16[11]1 [146]1 46[161]1 6 비고스트로크는 Ⅱ 6 페이지이후의치수표를참조하여주십시오. 11 표면처리사양 Ⅱ 8페이지 12 C루브사양 Ⅱ 8페이지 표 2.2 트랙레일길이 ( 모터접이식사양 ) 형식과크기 트랙레일길이의 [ 표시 ] 와치수 단위 TU 4 [14] 14 [2] 2 [26] 26 [2] 2 [8] 8 TU [18] 18 [26] 26 [4] 4 [42] 42 [] [8] 8 [66] 66 TU 6 [24] 244 [4] 44 [44] 444 [4] 44 [64] 644 [74] 744 TU 86 [44] 442 [4] 42 [64] 642 [74] 742 [84] 842 [94] 942 [4]1 42 [114]1 142 비고스트로크는 Ⅱ 7 페이지이후의치수표를참조하여주십시오. Ⅱ- Ⅱ-6

33 호칭번호와사양의상세사항 표 모터접이식사양의적용 6 7 모터접이식사양ㆍ모터어터치먼트지정 형식과크기 표 4 볼스크류리드의적용 형식과크기 AT : 모터스트레이트사양모터어터치먼트없음 AT1 AT12 : 모터스트레이트사양모터어터치먼트부착 AR : 모터접이식사양모터어터치먼트없음 AR1 AR1 : 모터접이식사양모터어터치먼트부착 모터접이식사양의적용을표 에표시합니다. 모터어터치먼트를지정할경우는, 표 6.1, 표 6.2 에서선택합니다. ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ모터접이식사양으로사용할모터에적용하는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ모터스트레이트사양의경우, 모터어터치먼트부착을지정하면, 표 7 에표시한커플링이본체에취부되 어출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. 모터어터치먼트없음 (AT) 의경우, 커플링은첨부하지않습니다. ㆍ모터접이식사양의경우, 모터어터치먼트부착을지정하면, 지정한모터에적합한하우징, 풀리 ( 모터측 과볼스크류측 ), 커버, 모터브라켓, 벨트및조립에필요한볼트류 가첨부됩니다. 모터취부용볼트는고객사에서준비해주십시오. AC 서보모터 모터어터치먼트부착 스텝핑모터 모터어터치먼트없음 TU 2 TU TU 4 TU TU 6 TU 86 TU TU1 볼스크류의종류 볼스크류의리드 볼스크류의 종류 볼스크류의리드 TU 2 연삭볼스크류 TU 연삭볼스크류 TU 4 전조볼스크류 연삭볼스크류 TU 전조볼스크류 연삭볼스크류 TU 6 전조볼스크류 연삭볼스크류 ( 1 ) ( 1 ) ( 1 ) TU 86 전조볼스크류 ( 2 ) ( 2 ) 연삭볼스크류 ( 2 ) TU 연삭볼스크류 TU1 연삭볼스크류 주 ( 1 ) 트랙레일길이 99와 119에는적용되지않습니다. ( 2 ) 트랙레일길이 19와 19에는적용되지않습니다. 무기호 : 전조볼스크류 G : 연삭볼스크류 N : 볼스크류없음표4에표시한볼스크류종류로부터선택합니다. N 을지정한경우ㆍ 의항목은 AT 또는 AR 을지정하며, 7 의항목은무기호로해주십시오. ㆍ 의항목은, 센서없음 ( 을지정 ) 으로해주십시오. ㆍ 9 의항목에서벨로우즈부착을지정할수없습니다. 표 4 에표시한크기에적용하는볼스크류의리드로부터선택합니다 커버사양 센서사양 표면처리사양 C 루브사양 표 C 루브의적용 : 커버없음 C : 브릿지커버부착 (TU FC, TU F, TU FG 에적용 ) J : 벨로우즈부착 (TU6S, TU86S 에적용 ) ㆍ벨로우즈부착 (J) 를지정한경우, 8 의항목 1 개 (S 를지정 ) 로해주십시오. ㆍ TU6 의트랙레일길이 99, 119 및 TU86 의트랙레일길이 19, 19 에는벨로우즈부착은안됩니다. ㆍ TU6 의트랙레일길이 119 와 TU86 의트랙레일길이 19 은브리지커버부착은안됩니다. : 센서없음, 센서레일없음 2: 센서 2 개첨부 ( 리미트 ), 센서레일부착 : 센서 개첨부 ( 리미트, 원점전 ), 센서레일부착 4: 센서 4 개첨부 ( 리미트, 원점전, 원점 ), 센서레일부착 9: 센서없음, 센서레일부착 무기호 : 처리없음 R : 흑색크롬피막처리 1 슬라이드테이블과트랙레일의표면에흑색크롬피막처리를합니다. : 흑색크롬피막처리 2 흑색크롬피막처리 1 에추가로, 볼스크류및너트에도처리합니다. 무기호 :C루브없음 Q :C루브장착테이블 슬라이드테이블과볼스크류너트의단면에 C 루브를정착합니다. C 루브는, 연통다공소결수지에다량의윤 활유를함침시킨윤활부품입니다. 트랙레일이나볼스크류의궤도면과접촉해서마찰하는것으로, 플레이 트내부의윤활유가상시적당량배어나와궤도면에공급되므로, 급유간격의연장에의한메인터넌스공수절감이가능합니다. 급유가어려운장소에서의그리스소실대책에효과가있습니다. ㆍ Q 를지정할경우 6 의항목은, 연삭볼스크류 (G 를지정 ) 또는볼스크류없음 (N 을지정 ) 으로해주십시오. 형식과크기전조볼스크류연삭볼스크류볼스크류없음 TU 2 TU TU 4 TU TU 6 TU 86( 1 ) TU TU1 주 ( 1 ) TU86 의트랙레일길이 19 와 19 에대해서는에문의하여주십시오. TU 8 슬라이드테이블의갯수 S :1 개 C:2 개 Ⅱ-7 Ⅱ-8

34 호칭번호와사양의상세사항 표 6.1 모터어터치먼트의적용 ( 모터스트레이트사양 ) 사용모터의형식 종류메이커시리즈형식 A C 서보모 야스카와전기SGMAV-8A AT8 미쯔비시전기 터HF-KP7, HG-KR7 AT8 파나소닉 MSME8 AT116 히타치산기시스템ADMA AT8 스텝핑모터오리엔탈모터 Σ-Ⅴ J, J4 정격출력 W 플랜지각 모터어터치먼트 TU2 TU TU4 TU TU6 TU86 TU TU1 SGMMV-A2A 2 AT1 AT1 2 SGMMV-AA AT1 AT1 SGMJV-AA AT2 AT2 SGMAV-AA AT2 AT2 SGMJV-1A 4 AT2 AT2 AT SGMAV-1A AT2 AT2 AT SGMAV-C2A AT SGMJV-2A AT4 AT 2 SGMAV-2A AT4 AT SGMJV-4A 6 AT6 AT7 4 SGMAV-4A AT6 AT7 SGMAV-6A AT6 AT7 SGMJV-8A 7 8 AT8 HG-AK26 2 AT1 AT1 2 HG-AK6 AT1 AT1 HF-MP, HG-MR AT2 AT2 HF-KP, HG-KR AT2 AT2 4 HF-MP1, HG-MR1 AT2 AT2 AT HF-KP1, HG-KR1 AT2 AT2 AT HF-MP2, HG-MR2 AT4 AT 2 HF-KP2, HG-KR2 AT4 AT 6 HF-MP4, HG-MR4 AT6 AT7 4 HF-KP4, HG-KR4 AT6 AT7 HF-MP7, HG-MR7 AT8 7 8 MSMDA AT1 AT1 MSMEA AT1 AT1 8 MSMD1 AT1 AT1 AT111 MSME1 AT1 AT1 AT111 MSMD2 AT112 AT11 MINAS A 2 MSME2 AT112 AT11 6 MSMD4 AT114 AT11 4 MSME4 AT114 AT11 MSMD8 AT AD α 스텝 RK CRK ADMA-R - - AT2 AT ADMA AT2 AT2 AT ADMA AT4 AT ADMA AT6 AT7 - 주 ( 1 ) 모터출력축외경 φ8 에적용합니다. 비고모터상세사양은, 각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. AR46 42 AT117 AT117 AR66 6 AT118 AT119 AR69 6 AT118 AT119 AR98 8 AT12 AT121 AR911 8 AT12 AT121 CRK2 28 AT12 AT12 RK4ㆍCRK4 42 AT122 AT122 RK6ㆍCRK6( 1 ) 6 AT12 AT124 RK9 8 AT12 AT121 표 6.2 모터어터치먼트의적용 ( 모터접이식사양 ) AC 서보모터 사용모터의형식 종류메이커시리즈형식 스텝핑모터 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 히타치산기시스템 오리엔탈모터 비고자세한모터사양은각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. 표 7 커플링의형식 ( 모터스트레이트사양 ) 모터 어터치먼트 정격출력 W 플랜지각 모터어터치먼트 TU4 TU TU6 TU86 SGMJV-AA AR1 AR1 SGMAV-AA AR1 AR1 SGMJV-1A 4 AR1 AR1 AR2 Σ-Ⅴ SGMAV-1A AR1 AR1 AR2 SGMAV-C2A AR2 SGMJV-2A AR AR4 2 6 SGMAV-2A AR AR4 HF-MP, HG-MR AR1 AR1 HF-KP, HG-KR AR1 AR1 4 HF-MP1, HG-MR1 AR1 AR1 AR2 J, J4 HF-KP1, HG-KR1 AR1 AR1 AR2 HF-MP2, HG-MR2 AR AR4 2 6 HF-KP2, HG-KR2 AR AR4 MSMDA AR AR MSMEA AR AR 8 MSMD1 AR AR AR6 MINAS A MSME1 AR AR AR6 MSMD2 AR7 AR8 2 6 MSME2 AR7 AR8 ADMA-R AR1 AR AD ADMA-1 AR1 AR1 AR2 - ADMA AR AR4 α스텝 AR46 42 AR9 AR9 RKㆍCRK RK4ㆍCRK4 42 AR1 AR1 커플링의형식 메이커 커플링의관성 J C - ㆍ m 2 AT1 UA-1C- 사카이제작소.24 AT2 UA-2C- 8 사카이제작소.86 AT UA-2C- 8 8 사카이제작소.29 AT4 UA-C 사카이제작소.6 AT UA-C 사카이제작소.6 AT6 UA-C 사카이제작소 1.4 AT7 UA-4C 사카이제작소 2.61 AT8 UA-4C-1 19 사카이제작소 2.61 AT9 UA-1C- 6 사카이제작소.24 AT1 UA-2C- 8 사카이제작소.86 AT111 UA-2C- 8 8 사카이제작소.29 AT112 UA-C 사카이제작소.6 AT11 UA-C 사카이제작소.6 AT114 UA-C 사카이제작소 1.4 AT11 UA-4C 사카이제작소 2.61 AT116 UA-4C-1 19 사카이제작소 2.61 AT117 MSTS-16C- 6 나베야바이텍.9 AT118 MSTS-2C- 8 나베야바이텍.7 AT119 MSTS-2C- 8 나베야바이텍.7 AT12 MSTS-4C 나베야바이텍 9. AT121 MSTS-4C-14 1 나베야바이텍 9. AT122 MSTS-16C- 나베야바이텍.9 AT12 MSTS-2C- 8 8 나베야바이텍.7 AT124 MSTS-2C- 8 8 나베야바이텍.7 AT12 MSTS-12C- 나베야바이텍.22 비고커플링의상세사양은, 각메이커카탈로그를참조하여주십시오. TU Ⅱ-9 Ⅱ-4

35 각종특성 표 8.1 TU 의정밀도 ( 전조볼스크류 ) 단위 표 8.2 TU 의정밀도 ( 연삭볼스크류 ) 단위 를초과 를초과 트랙레일길이 트랙레일길이반복위치결정정밀도위치결정정밀도 ( 1 ) 테이블운동의평행도 B 이하 쇼트 이하 테이블 스탠다드테이블 롱테이블 쇼트 테이블 스탠다드테이블 롱테이블 쇼트 테이블 4 ( ) ( ) ( ) ( ) 6 ( )..2 6 ( ) 7 ( 7) (1 ) ( 7) 9 ( 9) 8 ( 8) 1 (1 ) 8 ( 8) 1 (1 ) 9 ( 9) 1 (1 ) ±.4 ±.2 (±.2) (±.2) 스탠다드테이블 롱테이블 주 ( 1 ) 모터접이식사양의테이블에는, 적용하지않습니다. 비고반복위치결정정밀도의 ( ) 안의값은, 모터접이식사양테이블에대한타이밍벨트의장력이적정하게조정되어있는경우의참고치입니다. 반복 위치결정정밀도 테이블운동의평행도 B.1 ± (±.4) 백레쉬 ( 1 ) 주 ( 1 ) 모터접이식사양의테이블에는, 적용하지않습니다. 비고반복위치결정정밀도의 ( ) 안의값은, 모터접이식사양테이블에대한타이밍벨트의장력이적정하게조정되어있는경우의참고치입니다.. 백레쉬 ( 1 ). 표 9.1 최고속도 (AC 서보모터 ) 모터의 종류 AC 서보모터 트랙최고속도 /s 형식과레일길이리드리드리드리드리드리드크기 TU 2 2 이하 4 TU 4 이하 TU (9) (79) 4 이하 1 (9) ( 78) TU () ( 7) (27) ( 4) 9 이하 47 9 () ( 66) 1 86 TU () ( 66) (27) ( 6) (16) ( ) 1 19 (1) ( 2) 69 이하 ( ) (1 ) ( ) (1 ) ( ) (1 ) TU ( 4) ( 8) ( ) 27 ( 27) 67 ( 67) ( ) TU TU 비고1. ( ) 안의치수는, 전조볼스크류의경우에적용합니다. 2. 실제최고속도는, 사용모터나부하조건등에대응하는운전패턴의검토가필요합니다. TU Ⅱ-41 표 9.2 최고속도 ( 스텝핑모터 ) 스텝핑모터 모터의종류 형식과크기 트랙레일길이 모터회전수 min -1 리드 4 리드 최고속도 리드 8 /s 리드 리드 2 리드 2 TU 2 2 이하 TU 4 이하 1 8 TU TU 이하 TU 6 99 이하 이하 TU 이하 TU 이하 TU 비고실제최고속도는, 사용모터나부하조건등에대응하는운전패턴의검토가필요합니다. Ⅱ-42

36 각종특성 표 최대탑재질량 형식과 크기 볼스크류의 종류 볼스크류 의리드 슬라이드테이블의 길이 수평 최대탑재질량 TU 2 연삭볼스크류 4 스탠다드 TU 연삭볼스크류 스탠다드 1 쇼트 스탠다드 9 11 연삭볼스크류 롱 9 11 쇼트 스탠다드 9 7 TU 4 롱 46 7 쇼트 스탠다드 9 8 전조볼스크류 롱 9 8 쇼트 24 8 스탠다드 롱 쇼트 1 스탠다드 64 1 연삭볼스크류 롱 1 쇼트 8 스탠다드 44 8 TU 롱 4 8 쇼트 11 스탠다드 전조볼스크류 롱 11 쇼트 9 스탠다드 47 8 롱 47 8 쇼트 스탠다드 88 1 롱 쇼트 연삭볼스크류 스탠다드 8 롱 8 쇼트 29 TU 6 2 스탠다드 28 9 롱 28 9 쇼트 스탠다드 88 1 전조볼스크류 롱 14 1 쇼트 46 8 스탠다드 4 8 롱 4 7 쇼트 스탠다드 연삭볼스크류 롱 1 27 쇼트 스탠다드 7 21 TU 86 롱 7 21 쇼트 97 2 스탠다드 전조볼스크류 롱 쇼트 스탠다드 47 1 롱 TU 연삭볼스크류 2 스탠다드 TU1 연삭볼스크류 2 스탠다드 92 4 비고슬라이드테이블 1 개의경우입니다. 수직 표 11 직동안내부의정격하중 형식과크기 슬라이드테이블의 길이 기본동정격하중 C N 기본정정격하중 C N 정정격모멘트 ( 1 ) N ㆍ m T T X T Y TU 2 스탠다드 ( 4.6).1 (.7) 8.4 ( 4.) TU 스탠다드 ( 69.8) 16.9 ( 87.) 14.2 ( 7.4) 쇼트 ( 167.6) 22.8 ( 18) 22.8 ( 18) TU 4 스탠다드 ( 268). ( 1). ( 1) 롱 ( 42) 11 ( 649) 11 ( 649) 쇼트 ( 12) 9. ( 1) 9. ( 1) TU 스탠다드 ( 6) 114 ( 711) 114 ( 711) 롱 ( 872) 26 (1 42) 26 (1 42) 쇼트 ( 472) 62.7 ( 486) 62.7 ( 486) TU 6 스탠다드 ( 8) 181 (1 ) 181 (1 ) 롱 (1 416) 472 (2 47) 472 (2 47) 쇼트 (1 4) 18 (1 28) 18 (1 28) TU 86 스탠다드 (2 94) 764 (4 12) 764 (4 12) 롱 ( 84) 1 27 (6 29) 1 27 (6 29) TU 스탠다드 (4 46) 1 2 (6 46) 1 2 (6 46) TU1 스탠다드 (7 84) 1 8 (9 6) 1 8 (9 6) T T X T Y 주 ( 1 ) 윗그림의방향값에서, ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의값입니다. TU Ⅱ-4 Ⅱ-44

37 각종특성 표 12.1 볼스크류사양 1 형식과크기 볼스크류의 종류 리드 볼스크류외경 축방향틈새 기본동정격하중 C N 기본정정격하중 C N TU 2 연삭볼스크류 4 6. 이하 TU 연삭볼스크류 8. 이하 TU 4 전조볼스크류 이하 연삭볼스크류 이하 TU 전조볼스크류 이하 연삭볼스크류 이하 전조볼스크류 이하 TU 연삭볼스크류 ( 1 ) 12. 이하 전조볼스크류 ( 2 ) 이하 2 9 TU 연삭볼스크류 ( 2 ) 1. 이하 연삭볼스크류 ( ) 2 2. 이하 TU 연삭볼스크류 2 2. 이하 TU1 연삭볼스크류 2 2. 이하 주 ( 1 ) 트랙레일길이 99와 119에는적용되지않습니다. ( 2 ) 트랙레일길이 19와 19에는적용되지않습니다. ( ) 트랙레일길이 19와 19에적용합니다. 표 12.2 볼스크류사양 2 형식과크기 트랙레일길이 볼스크류의종류 볼스크류외경 전장 1 연삭 146 TU 2 16 연삭 연삭 연삭 연삭 196 TU 22 연삭 연삭 276 연삭 16 4 연삭 6 18 연삭 전조 연삭 전조 218 연삭 전조 연삭 전조 8 TU 4 42 연삭전조 연삭전조 18 2 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 8 8 연삭 전조 연삭 전조 198 연삭 전조 연삭 전조 8 46 연삭 전조 48 4 연삭 전조 연삭 전조 98 TU 7 연삭전조 연삭전조 연삭 전조 연삭 전조 8 42 연삭 전조 48 연삭 전조 18 8 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 26 9 연삭 전조 6 49 연삭 전조 46 9 연삭 전조 6 69 연삭 전조 연삭 전조 76 TU 6 99 전조 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭전조 연삭전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 TU 연삭 연삭 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭전조 연삭전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 972 TU 1 16 연삭 연삭 연삭 연삭 연삭 TU1 1 연삭 연삭 연삭 1 72 단위 TU Ⅱ-4 Ⅱ-46

38 각종특성 표 1 트랙레일의단면 2 차모멘트 형식과크기 e I X Y 축 단면 2차모멘트 4 중심점 e I Y TU TU TU TU TU TU TU TU X 축 표 14.1 테이블관성과기동토크 형식과 크기 TU2 형식과 크기 TU 형식과 크기 TU4 트랙 레일길이 테이블관성 J T - ㆍ m 2 기동토크 T S ( 2 ) N ㆍ m 스탠다드테이블 리드 트랙 레일길이 연삭볼스크류.1 테이블관성 J T ( ) - ㆍ m 2 기동토크 T S ( 2 ) N ㆍ m 스탠다드테이블 리드 트랙레일길이 ( 1 ) 리드 4 연삭볼스크류.1 테이블관성 J T ( ) - ㆍ m 2 기동토크 T S ( 2 ) N ㆍ m 쇼트테이블스탠다드테이블롱테이블 리드 8 리드 4 리드 8 리드 4 리드 8 18(14) (2) (26) (2) (8) 전조볼스크류 연삭볼스크류 리드 4 리드 8 리드 4 리드 (.4).4 (.) TU 변위량 μm TU4S TUS TU6S TU86S 하중 형식과 크기 TU 트랙레일길이 ( 1 ) 리드 테이블관성 J T ( ) - ㆍ m 2 기동토크 T S ( 2 ) N ㆍ m 쇼트테이블스탠다드테이블롱테이블 리드 리드 리드 리드 리드 22(18) (26) (4) (42) () (8) (66) 전조볼스크류 연삭볼스크류 리드 리드 리드 리드.4..4 (.). (.6) 2 2 하중 N 그림 1 하방향하중 - 변위특성 형식과 크기 TU6 트랙레일길이 ( 1 ) 리드 테이블관성 J T ( ) - ㆍ m 2 기동토크 T S ( 2 ) N ㆍ m 쇼트테이블스탠다드테이블롱테이블 리드 리드 2 리드 리드 리드 2 리드 리드 리드 2 29(244) (44) (444) (44) (644) (744) 전조볼스크류 리드.8 리드 연삭볼스크류 리드.8 (.9). 리드 2 주 ( 1 ) ( ) 안의수치는, 모터접이식사양의트랙레일길이를표시합니다. ( 2 ) 슬라이드테이블을 2 개사용하는경우는약 1. 배가되며, 모터접이식사양의테이블은약 2 배가됩니다. ( ) 안의수치는, C 루브사양의기동토크를표시합니다. ( ) 모터접이식사양의경우, 표안의수치에아래의값을가산하여주십시오. TU4 및 TU:.17 - ㆍ m 2, TU6:.86 - ㆍ m 2. (.12) Ⅱ-47 Ⅱ-48

39 각종특성 표 14.2 테이블관성과기동토크 형식과 크기 TU 86 트랙레일길이 ( 1 ) 리드 테이블관성 J T ( ) - ㆍ m 2 기동토크 T S ( 2 ) N ㆍ m 쇼트테이블스탠다드테이블롱테이블 리드 2 리드 리드 2 리드 리드 2 49( 442) ( 42) ( 642) ( 742) ( 842) ( 942) (1 42) (1 142) 전조볼스크류 연삭볼스크류 리드 리드 2 리드 리드 (.12).16 (.18). 모터접이식사양 정밀위치결정테이블 TU 는, 모터접이식사양도대응하고있기때문에, 모터를병렬로취부하여테이블전장을짧게하므로써, 스페이스절감을도모합니다. 모터접이식사양의치수는, 각치수표를참조해주십시오. 모터접이식사양의경우, 지정한모터에적합한하우징, 풀리 ( 모터측과볼스크류측 ), 커버, 모터브라켓, 벨트및조립에필요한볼트류 가 첨부되어있으므로, 고객사에서조립하여주십시오. 다만, 모터취부용볼트는고객사에서준비해주십시오. 모터접이식유닛은아래그림과같이 4 방향에취부가가능합니다. 정밀위치결정테이블 TU 에는, 방진대책으로써브리지커버와벨로우즈를준비대응하고있습니다. 모터상방향접이식 모터좌방향접이식 TU 형식과 크기 TU 트랙레일 길이 테이블관성 J T - ㆍm 2 기동토크 T S ( 2 ) 스탠다드테이블 Nㆍm 리드 연삭볼스크류.2 (.26) 모터하방향접이식 모터우방향접이식 형식과 크기 TU1 트랙레일 길이 테이블관성 J T - ㆍm 2 기동토크 T S ( 2 ) 스탠다드테이블 Nㆍm 리드 연삭볼스크류 주 ( 1 ) ( ) 안의수치는, 모터접이식사양의트랙레일길이를표시합니다. ( 2 ) 슬라이드테이블을 2 개사용하는경우는약 1. 배가되며, 모터접이식사양의테이블은약 2 배가됩니다. ( ) 안의수치는, C 루브사양의기동토크를표시합니다. ( ) 모터접이식사양의경우, 표안의수치에아래의값을가산하여주십시오. TU86:.86 - ᆞm 2.4 (.) 커버사양 벨로우즈부착테이블치수는, Ⅱ-8~Ⅱ-84 페이지의치수표를참조해주십시오. 취부 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. 브릿지커버부착테이블 벨로우즈부착테이블 Ⅱ-49 Ⅱ-

40 슬라이드테이블 2 개사양 정밀위치결정테이블 TU 는, 슬라이드테이블 2 개사양도준비되어있습니다. 모터측슬라이드테이블에는볼스크류너트가취부되어있어, 모 터구동이가능합니다. ( 구동테이블 ) 반대모터측슬라이드테이블에는볼스크류너트가취부되어있지않은프리상태입니다. ( 추동테이블 ) 2 개의슬라이드테이블을연결하여사용하는것으로, 모멘트에강한구성이가능합니다. ( 표 11) 슬라이드테이블을연결하는경우는, Ⅱ-6~ Ⅱ-92 페이지의치수표에기재되어있는 2 개밀착시중심간치수 이상의간격으로사용하여주십시오. ( 간격을넓히면스트로크는짧아집니다.) 센서사양 표 1.1 센서타이밍차트 ( 모터스트레이트사양 ) CW CCW A 2 개밀착시중심간치수 ON 원점 B OFF 원점전 TU C OFF CCW 리미트 OFF 스트로크길이 CW 리미트 메카스토퍼 추동테이블 구동테이블 (D) (E) 형식과 크기 슬라이드테이블의 길이 볼스크류의 리드 A B C D( 1 ) E TU 2 스탠다드 ( 6) 8 TU 스탠다드.9( 6.4) 8 쇼트 (.) 4. TU 4 스탠다드 ( 8.) 8 롱 ( 7.) 8 쇼트 ( 6.2).8 TU 스탠다드 ( 7.2) 8 롱 (.2) (19.6) 쇼트 7.4 2( 2 ) (14.6) TU 6 스탠다드 ( 9.6) 롱 7 9 ( 8.) 쇼트 7 1 (14) 11 ( ) (14)( 4 ) 4 TU 86 스탠다드 7 1 (14) (14) 11 롱 7 1 (14) (14) 11 TU 스탠다드 (19) 2 TU1 스탠다드 (2) 2 주 ( 1 ) ( ) 안의치수는슬라이드테이블갯수가 2 개일경우의치수를표시합니다. ( 2 ) 원점전신호가 OFF 한후, CCW 리미트가 OFF 하기전에 ON 이됩니다. ( ) 트랙레일길이 19 와 19 의경우는 1 입니다. ( 4 ) 트랙레일길이 19 와 19 의경우는 7(9) 입니다. 비고 1. 센서취부는, 호칭번호에서지정합니다. 2. 각센서사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조하여주십시오.. 벨로우즈부착테이블의경우는, 표안의수치는적용하지않습니다. 4. C 루브장착테이블의경우는, 표 1. 을참조해주십시오. 단위 Ⅱ-1 Ⅱ-2

41 센서사양 표 1.2 센서타이밍차트 ( 모터접이식사양 ) 표 1. 센서타이밍차트 ( 모터스트레이트사양, C 루브장착 ) CW CCW A CCW CW ON 원점 B OFF 원점전 TU A C OFF CCW 리미트 ON 원점 OFF 스트로크길이 CW 리미트 B OFF 원점전 메카스토퍼 C OFF CW 리미트 (D) (E) * 모터접이식사양의테이블은, 슬라이드테이블의 CW 방향과 CCW 방향의이동이반대가됩니다. 단위 크기 TU 4 TU TU 6 TU 86 슬라이드테이블의 쇼트 길이 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 볼스크류의 리드 A B C D( 1 ) E (.) ( 8.) ( 7.) ( 6.2) ( 7.2) (.2) (19.6) 7.4 2( 2 ) (14.6) ( 9.6) ( 8.) (14) (14) (14) (14) (14) (14) 11 주 ( 1 ) ( ) 안의치수는슬라이드테이블갯수가 2 개일경우의치수를표시합니다. ( 2 ) 원점전신호가 OFF 한후, CCW 리미트가 OFF 하기전에 ON 이됩니다. 비고 1. 센서취부는, 호칭번호에서지정합니다. 2. 각센서사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조하여주십시오.. 벨로우즈부착테이블의경우는, 표안의수치는적용하지않습니다. 4. C 루브부착테이블의경우는, 표 1.4 를참조해주십시오. OFF (D) 스트로크길이 (E) CCW 리미트 메카스토퍼 형식과 크기 TU 4 TU TU 6 TU 86 슬라이드테이블의 쇼트 길이 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 볼스크류의 리드 A B C D( 1 ) E ( 2 ) (.) 9.( 8.) 9 9.( 7.) 9 7.2( 6.2) 8 8.2( 7.2) 8 9.2( 8.2) 8 9.6( 9.6).4 4.6( 9.6) ( 4.6) ( 9) ( 4) 7 8 (14) (14) ( 9) ( 9) 7 8 ( 9) ( 9) TU 스탠다드 (14) 2 TU1 스탠다드 (18) 2 주 ( 1 ) ( ) 안의치수는슬라이드테이블갯수가 2 개일경우의치수를표시합니다. ( 2 ) 원점전신호가 OFF 한후, CCW 리미트가 OFF 하기전에 ON 이됩니다. 비고 1. 센서취부는, 호칭번호에서지정합니다. 2. 각센서사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조하여주십시오.. 벨로우즈부착테이블의경우는, 표안의수치는적용하지않습니다. 단위 Ⅱ- Ⅱ-4

42 센서사양 표 1.4 센서타이밍차트 ( 모터접이식사양, C 루브장착 ) 모터어터치먼트의치수 모터스트레이트사양 TU2 TU AT ( 모터어터치먼트없음 ) φ φ 드릴 AT ( 모터어터치먼트없음 ) φ +.4 φ 드릴 CCW CW TU A 드릴 PCD 드릴 PCD28. ON 원점 AT1 φ1 +.4 φ2 +.2 AT1 φ1 +.4 φ2 +.2 B OFF 원점전 OFF 스트로크길이 C OFF CW 리미트 CCW 리미트 (D) (E) 메카스토퍼 AT12 φ1 +.4 φ AT12 φ1 +.4 φ * 모터접이식사양의테이블은, 슬라이드테이블의 CW 방향과 CCW 방향의이동이반대가됩니다. 단위 4- 드릴 4- 드릴 형식과 크기 TU 4 TU TU 6 TU 86 슬라이드테이블의 쇼트 길이 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 볼스크류의 리드 A B C D( 1 ) E (.) (8.) (7.) (6.2) (7.2) (8.2) (8.6) 6.4 2( 2 ) (9.6) (.6) (4.6) () (4) 8 7 (6) (6) 12 7 (6) (6) 9 7 (6) (6) 9 주 ( 1 ) ( ) 안의치수는슬라이드테이블갯수가 2 개일경우의치수를표시합니다. ( 2 ) 원점전신호가 OFF 한후, CCW 리미트가 OFF 하기전에 ON 이됩니다. 비고 1. 센서취부는, 호칭번호에서지정합니다. 2. 각센서사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조하여주십시오.. 벨로우즈부착테이블의경우는, 표안의수치는적용하지않습니다. TU4 AT ( 모터어터치먼트없음 ) AT2 AT1 AT117 AT M관통 φ φ φ2 φ2 +.4 φ φ ±.1 4 ± φ M4 관통 PCD46, 9 등분배치 4-.4 드릴 6. 카운터보어깊이 6. 4-M 관통 PCD4, 9 등분배치 4-.4 드릴 6. 카운터보어깊이 드릴 6. 카운터보어깊이 드릴 TU AT ( 모터어터치먼트없음 ) AT2 AT1 AT117 AT φ φ φ2 +.4 φ +.2 φ2 +.4 φ ±.1 4 ± φ M 관통 4 4-M4 관통 PCD46, 9 등분배치 4-.4 드릴 6. 카운터보어깊이 6. 4-M 관통 PCD4, 9 등분배치 4-.4 드릴 6. 카운터보어깊이 드릴 6. 카운터보어깊이 드릴 Ⅱ- Ⅱ-6