정밀위치결정테이블은, 오랜기간에걸쳐쌓아온직동안내기기의기술과최첨단마이크로일렉트로닉스기술의융합에의해태어난제품입니다. 정밀위치결정테이블은, 디테일한사용자의요구에대응하기위해, 엄선된다수의우수부품으로구성하고있습니다. 그중에서도테이블안내부에는, 초정밀기계나공작기계분야에서실적이있는

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1 NIPPON THOMPSON CO., TD. (JAPAN) IKO THOMPSON BEARINGS CANADA, INC.(CANADA) 메카트로닉스시리즈종합카탈로그 Head Office : 7-17 Shiba 2-chome Minato-ku Tokyo -14, Japan : +81 () : +81 () ntt@ikonet.co.jp UR : Plant : Gifu, Kamakura IKO THOMPSON KOREA CO.,TD. (KOREA) Matheson Boulevard East 7th floor Mississauga, Ontario 4W K4, Canada : : itc@ikonet.co.jp IKO THOMPSON BRAZI SERVICE CO.,TD. (BRAZI) IKO THOMPSON ASIA CO., TD. (THAIAND) 2F, 111, Yeouigongwon-ro, Yeongdeungpo-gu, Seoul, Korea : +82 () : +82 () itk@ikonet.co.jp IKO INTERNATIONA, INC. (U.S.A.) Av.Paulista, 84 th floor, Top Center, 1-, Sao Paulo, SP, Brazil : + () : + () itb@ikonet.co.jp NIPPON THOMPSON EUROPE B.V. (EUROPE) 1-7 Zuellig House, rd Floor Silom Road, Silom, Bangrak Bangkok, Thailand : +66 () : +66 () ita@ikonet.co.jp IKO-THOMPSON (SHANGHAI) TD. (CHINA) East Coast Operations (Sales Head Office) 91 Walsh Drive Parsippany, NJ 74 U.S.A. : : : eco@ikonet.co.jp Midwest Operations 1 Mark Street Unit G, Wood Dale, I 6191 U.S.A. : : : mwo@ikonet.co.jp Minnesota Sales Office McAndrews Road West, Suite 2 Burnsville, MN 7 U.S.A. : : : mwo@ikonet.co.jp West Coast Operations 98 Norwalk Boulevard, Suite 198 Santa Fe Springs, CA 967 U.S.A. : : : wco@ikonet.co.jp Silicon Valley Sales Office Wyatt Drive, Suite Santa Clara, CA 94 U.S.A. : : : wco@ikonet.co.jp Southeast Operations 2 Boggs Road, Suite Duluth, GA 96 U.S.A. : : : seo@ikonet.co.jp Southwest Operations 8 N. Beltline Road, Suite 1 lrving, TX 76 U.S.A. : : : swo@ikonet.co.jp The Netherlands (Sales Head Office) Sheffieldstraat 47 AN Rotterdam The Netherlands : +1 () : +1 () nte@ikonet.co.jp Germany Branch Mündelheimer Weg Düsseldorf Germany : +49 () : +49 () ntd@ikonet.co.jp Regensburg Sales Office Im Gewerbepark D 99 Regensburg Germany : +49 () : +49 () ntdr@iko-nt.de Neunkirchen Sales Office Gruben Str. 9c 664 Neunkirchen Germany : +49 () : +49 () ntdn@iko-nt.de U.K. Branch 2 Vincent Avenue, Crownhill Milton Keynes, Bucks, MK8 AB United Kingdom : +44 () : +44 () sales@iko.co.uk Spain Branch Autovia Madrid-Barcelona, Km. 4,7 Polig. Ind. AIDA - Nove A-8, Ofic. 2-1 a 192 Azuqueca de Henares (Guadalajara) Spain : : nts@ikonet.co.jp France Branch Bâtiment le Raphaël Paris Nord 2 22 avenue des Nations BP494 Villepinte 994 ROISSY C.D.G Cedex France : + () : + () contact@iko-france.com Shanghai (Sales Head Office) 168- MetroPlaza No. oushanguan Road ChangNing District Shanghai People's Republic of China 21 : +86 () : +86 () ntc@ikonet.co.jp Beijing Branch Room6, Jingtai Tower, NO.24, Jianguomenwai Avenue, Chaoyang District, Beijing People's Republic of China 22 : +86 () : +86 () *6 ntc@ikonet.co.jp Guangzhou Branch Room 84, Garden Tower, Garden Hotel 68 Huanshi East Road, Yuexiu District, Guangzhou, Guangdong People's Republic of China 64 : +86 () : +86 () ntc@ikonet.co.jp Wuhan Branch Room 2, Truroll Plaza No.72 Wusheng Road, Qiao kou District, Wuhan, Hubei People's Republic of China 4 : +86 () : +86 () ntc@ikonet.co.jp Shenzhen Office Room 42, Oriental Plaza, 72 Jianshe Road, uohu District, Shenzhen, Guangdong People's Republic of China 181 : +86 () : +86 () ntc@ikonet.co.jp Ningbo Office Room 46, Zhongnongxin Building, No.181 Zhongshan East Road, Haishu Ward, Ningbo, Zhejiang People's Republic of China : +86 () : +86 () ntc@ikonet.co.jp Qingdao Office 27 Block A, World Trade Center Building, No.2 Changjiang Middle Road, Development Zone Qingdao People's Republic of China 266 : +86 () : +86 () ntc@ikonet.co.jp Shenyang Office 2-12 Tower I.City Plaza Shenyang, No.26 Nanjing North Street Heping District, Shenyang People's Republic of China 11 : +86 () : +86 () ntc@ikonet.co.jp ISO 91 & 141 Quality system registration certificate NIPPON THOMPSON CO., TD. CAT-176K Printed in Korea (AKA)

2 정밀위치결정테이블은, 오랜기간에걸쳐쌓아온직동안내기기의기술과최첨단마이크로일렉트로닉스기술의융합에의해태어난제품입니다. 정밀위치결정테이블은, 디테일한사용자의요구에대응하기위해, 엄선된다수의우수부품으로구성하고있습니다. 그중에서도테이블안내부에는, 초정밀기계나공작기계분야에서실적이있는직동안내기기가조합구성되어있어, 그우수한성능을아낌없이발휘하고있습니다. 정밀위치결정테이블은, 각종측정기, 가공기, 조립기를시작으로, 최첨단 CD 및반도체제조장비등의고성능위치결정기구로써폭넓게사용되고있으며, 그러한우수성이실제입증되고있습니다. Ⅰ-1 Ⅰ-2

3 메카트로닉스분류메카트로닉스특성볼스크류구동무빙마그네트리니어모터구동무빙코일타이밍벨트구동슬라이드테이블볼스크류가동테이블가동자마그네트고정자코일코어레스타입가동테이블코어부착타입가동자코일고정자마그네트슬라이드테이블모터타이밍벨트 메카트로닉스시리즈모터 의분류와특성 볼스크류구동리니어모터구동시리즈의동메카트로닉스분류와특성직선상하얼라이먼트무빙직선마그네트얼라이먼트무빙코직선일직선 타이밍벨트구운동방향스트로크추력속도가속도위치결정정밀도 기호설명특히우수함우수함보통 Ⅰ- Ⅰ-4

4 메카트로닉스시리즈 라인업 정밀위치결정테이블 TE 정밀위치결정테이블 TU 정밀위치결정테이블 B 나노리니어 NT 주요구성부품에高강도알루미늄합금을사용 高강성 U 자형트랙레일을채택 타이밍벨트구동의고속타입 컴팩트화를지향추구 경량ㆍ저단면ㆍ컴팩트위치결정테이블 용도에맞게테이블사양이각종선택가능 리니어웨이를병렬사용하여안정된높은주행성능 NT8V 는단면높이가불과 11 의超저단면 용도에맞게최적의선택이가능 풍부한제품군 TE B TU TSB NT V NT H NT XZ NT XZH 정밀위치결정테이블 정밀위치결정테이블 H 얼라이먼트스테이지 SA 리니어모터테이블 T 폭넓은분야에서실적이있는스탠다드타입 엄선된부품구성으로신뢰성이높은高정밀도 XYθ 축을조합한단면높이가불과 2 (SA6DE) 고속ㆍ高분해능을모두만족 리니어웨이를병렬사용하여안정된높은주행성능 高강성으로큰탑재질량 XY 축 :.1μm, θ 축 :.6 초의高분해능 (SA12DE) 高가감속ㆍ高응답으로스무즈한동작 C 루브내장장기메인터넌스프리사양 TS M TSH M CTH M SA DE T CE T D T H 高정밀위치결정테이블 TX 크린정밀위치결정테이블 TC 얼라이먼트테이블 AT 얼라이먼트모듈 AM 롤러타입으로궁극의위치결정성능을실현 반도체ㆍ CD 관련제조장비등, 높은청정도가요구되는 高정밀도위치결정에서정밀각도보정이가능 용도에맞게자유롭게스테이지설계가능 풀크로즈드루프제어로高정밀도 환경에서사용하기최적 크로스롤러베어링을채용하여高강성ㆍ컴팩트 높이치수의허용차를 ±μm 로관리 경량ㆍ저단면ㆍ컴팩트위치결정테이블 TX M CTX M TC EB AT AM 마이크로정밀위치결정테이블 TM 연삭볼스크류구동으로, 단면높이 2, 폭 17의극소사이즈 높은위치결정정밀도와우수한내구성 정밀위치결정테이블 TS CT 단면높이가낮고콤팩트한구조 크로스롤러웨이채용에따른신뢰성이높은高정밀도 정밀승강테이블 TZ 독자의경사기구를사용하여, 컴팩트로高정밀도의상하방향의위치결정이가능 TZ X는, C루브리니어롤러웨이슈퍼X를채택하여, 高정밀도ㆍ高강성을실현. TM TS CT TZ TZ H TZ X Ⅰ- Ⅰ-6

5 메카트로닉스시리즈 INDEX 운동방향과이송기구 형상 시리즈 단축사양의형식 다축사양의형식 참조페이지 정밀위치결정테이블 TE TE B ᅳ 4 페이지 정밀위치결정테이블 TU TU ᅳ 페이지 정밀위치결정테이블 TS M ᅳ 96 페이지 직선 볼스크류구동 TE B TS M TC EB 정밀위치결정테이블 H 高정밀위치결정테이블 TX 크린정밀위치결정테이블 TC TSH M TX M TC EB CTH M CTX M ᅳ 116페이지 144페이지 164페이지 마이크로정밀위치결정테이블 TM TM ᅳ 18 페이지 TM CT TX M 정밀위치결정테이블 TSᆞCT TS CT 196 페이지 타이밍벨트구동 정밀위치결정테이블 B TSB ᅳ 218 페이지 직선 TSB 나노리니어 NT NT V NT H NT XZ NT XZH 2 페이지 직선 리니어모터구동 T CE NT V SA DE/X 얼라이먼트스테이지 SA 리니어모터테이블 T SA DE/X T CE T D T H SA DE/XY SA DE/XS SA DE/XYS ᅳ 26페이지 276페이지 볼스크류구동 얼라이먼트테이블 AT AT ᅳ 4 페이지 얼라이먼트 AT 볼스크류구동 얼라이먼트모듈 AM AM ᅳ 16 페이지 얼라이먼트 AM 얼라이먼트 리니어모터구동 SA DE/S 얼라이먼트스테이지 SA SA DE/S SA DE/XS SA DE/XYS 26 페이지 상하 볼스크류구동 TZ 정밀승강테이블 TZ TZ TZ H TZ X ᅳ 페이지 Ⅰ-7 Ⅰ-8

6 형식 ᆞ 사이즈별제품군 1 다양한형식 ᆞ 풍부한제품군 정밀위치결정테이블 TE 정밀위치결정테이블 TE B 볼스크류구동 직선 TS M 볼스크류구동 직선 주요구성부품에高강도알루미늄합금을사용 경량ᆞ저단면ᆞ컴팩트위치결정테이블 高정밀도위치결정 C루브내장장기메인터넌스프리사양 우수한코스트퍼포먼스 폭넓은분야에서실적이있는스탠다드타입 리니어웨이를병렬사용하여안정된높은주행성능 높은주행정밀도와위치결정정밀도 풍부한사이즈별제품군에다축시스템구성이용이 C루브내장장기메인터넌스프리사양 사양 정밀도 사양 정밀도 형식과크기 최대스트로크 () 최고속도 (/s) 볼스크류리드 () 반복위치결정정밀도위치결정정밀도 형식과크기 최대스트로크 () 최고속도 (/s) 볼스크류리드 () 반복위치결정정밀도위치결정정밀도 TEB 2 8 4, 8 로스트모션 TS 9 M, 로스트모션 TE6B 1, 테이블운동의평행도 A TS 12 M 6, 테이블운동의평행도 A TE86B , 2 테이블운동의평행도 B TS 17 M, 테이블운동의평행도 B 자세정밀도 TS 17 S M 1, 자세정밀도 진직도백레쉬 -4 페이지로가기 TS 22 M 1, 진직도백레쉬 -96 페이지로가기 정밀위치결정테이블 TU 정밀위치결정테이블 H 사양 형식과크기 최대스트로크 () 최고속도 (/s) 볼스크류구동 TU 직선 高강성의새로운발상의 U자형트랙레일을채용 용도에맞게테이블사양이각종선택가능 슬라이드테이블은高정밀도ᆞ 高강성의일체구조 필요한기능ᆞ성능을호칭번호에지정하는것만으로간단히주문 정밀도볼스크류리드반복위치결정정밀도 () 위치결정정밀도 사양 TSH M CTH M ( 단축사양 ) (2축사양 ) 엄선된부품구성으로신뢰성이높은高정밀도 高강성으로큰탑재질량 높은주행정밀도와위치결정정밀도 테이블폭치수 42의초대형사이즈까지시리즈화 C루브내장장기메인터넌스프리사양 정밀도 볼스크류구동직선 TU 2 TU TU 4 TU TU 6 TU 86 TU TU , 8,,, 2, 로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 - 페이지로가기 형식과크기 TSH12M TSH22M TSH2M TSH42M CTH12M CTH22M CTH2M 최대스트로크 () 최고속도 (/s) 볼스크류리드 (),,,,,,, 반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 -116 페이지로가기 Ⅰ-9 Ⅰ-

7 형식 ᆞ 사이즈별제품군 2 다양한형식 ᆞ 풍부한제품군 高정밀위치결정테이블 TX 마이크로정밀위치결정테이블 TM TX M CTX M ( 단축사양 ) (2 축사양 ) 롤러타입으로궁극의위치결정성능을실현 볼스크류구동 직선 TM 볼스크류구동 연삭볼스크류구동으로, 단면높이 2, 폭 17의극소사이즈 높은위치결정정밀도와우수한내구성 직선 초高정밀도리니어엔코더탑재의풀크로즈드루프제어로高정밀도 용도에맞게선택하는제어방식 C루브내장장기메인터넌스프리사양 사양 용도로선택하는 2가지타입의슬라이드테이블형상 초소형센서를내장가능 정밀도반복위치결정정밀도 사양 형식과크기 TX 12M TX 22M TX 2M TX 42M 최대스트로크 () 4 8 최고속도 (/s) 볼스크류리드 (),,,, 정밀도반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도 형식과크기 TM1 TM1G 최대스트로크 () 6 최고속도 (/s) 볼스크류리드 ()., 1., 1.., 1., 1. 위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 -18 페이지로가기 CTX 12M CTX 22M 2 4,, 진직도백레쉬 -144 페이지로가기 정밀위치결정테이블 TSᆞCT 사양 형식과크기 TCEB TC6EB TC86EB 최대스트로크 () 2 8 최고속도 (/s) 4 1 크린정밀위치결정테이블 TC TC EB 반도체ᆞCD 관련제조장비등, 높은청정도가요구되는환경에서사용하기최적 경량ᆞ저단면ᆞ컴팩트위치결정테이블 청정도클래스 대응 C루브내장장기메인터넌스프리사양 볼스크류리드 () 4, 8,, 2 정밀도반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 볼스크류구동 직선 -164 페이지로가기 사양 형식과크기 TS / TS 7/ 7 TS 12/ 12 TS 12/ 22 TS 22/ 22 TS 22/ TS 26/ CT / CT 7/ 7 CT 12/ 12 CT 22/ 22 CT 26/ CT / 최대스트로크 () X 축 ± 7. ± 12. ± 2 ± 6 ± 7 ± 12 ± 7. ± 12. ± 2 ± 6 ± 6 ± 9 ± 12 Y 축 ± 7. ± 12. ± 2 ± 6 ± 12 ± 12 TS CT ( 단축사양 ) (2 축사양 ) 단면높이가낮고콤팩트한구조 크로스롤러웨이채용에따른신뢰성이높은高정밀도위치결정이가능 슬라이드테이블의면적을살린컴팩트한설계가가능 최고속도 (/s) 볼스크류리드 () 1 1 1, 2, 2, 2, 2, 2, 1 1 1, 2, 2, 2, 2, 정밀도 반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 볼스크류구동 직선 -196 페이지로가기 Ⅰ-11 Ⅰ-12

8 형식 ᆞ 사이즈별제품군 다양한형식 ᆞ 풍부한제품군 정밀위치결정테이블 B 타이밍벨트구동 TSB 직선 타이밍벨트구동으로 /s의고속이동이가능 리니어웨이를병렬사용하여안정된높은주행성능 최대 12의롱스트로크 나노리니어 NT 스탠다드타입 NT V 컴팩트화를지향추구 NT8V는단면높이가불과 11의超저단면 용도에맞게최적의선택이가능한풍부한제품군 高가감속에서高응답의위치결정을실현 XY2축조합가능 리니어모터구동직선 사양 형식과크기 TSB 9 TSB 12 최대스트로크 () 6 1 최고속도 (/s) 1 1 분해능 ().1.1 정밀도반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 高정밀도타입 NT H 리니어모터구동직선 TSB 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 -218 페이지로가기 컴팩트화를지향추구 높은자세정밀도 높은속도안정성 심플한시스템구성 픽 & 플레이스유닛 NT XZ NT XZH 리니어모터구동직선 컴팩트화를지향추구 빠른택타임의위치결정 초박형 ᆞ 스페이스절감 운전모니터기능 사양 정밀도 형식과크기 최대스트로크 () 최고속도 (/s) 분해능 (μm) 항목 NT V NT H NT XZ 반복위치결정정밀도 NT8V 18.1,. 위치결정정밀도 NTV 6 1.1,. 로스트모션 NT8V ,. 테이블운동의평행도 A NT88H 6 4.1,. 테이블운동의평행도 B NT8XZ 4 1.1,. 자세정밀도 NT9XZH 2 1.1,. 진직도 백레쉬 -2 페이지로가기 Ⅰ-1 Ⅰ-14

9 형식 ᆞ 사이즈별제품군 4 다양한형식 ᆞ 풍부한제품군 얼라이먼트스테이지 SA 리니어모터테이블 T SA DE 리니어모터구동 직선얼라이먼트 콤팩트타입 T CE 리니어모터구동 직선 XY 축을조합한단면높이가불과 2의박형ᆞ컴팩트 (SA6DE) XY축 :.1μm, 축 :.6초의高분해능 (SA12DE) XY 의조합이자유자재 콤팩트 높은정지 ( 靜止 ) 안정성 높은속도안정성 高가감속ᆞ 高응답 C루브내장장기메인터넌스프리사양 사양형식과크기 SA 6 DE/X SA 12 DE/X 최대스트로크최대동작각도 () 2 () 최고속도 (/s) 8(/s) 분해능.1,.(μm).1,.(μm) 정밀도반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 롱스트로크타입 T D 리니어모터구동직선 SA 6 DE/S SA 12 DE/S SA 2 DE/S ( 도 ) 6 ( 도 ) 28 ( 도 ) 72( 도 /s) 42( 도 /s) 27( 도 /s).64( 초 ).6( 초 ).2( 초 ) 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 -26 페이지로가기 超롱스트로크타입 높은정지 ( 靜止 ) 안정성 높은속도안정성 고속ᆞ 高분해능을모두만족 C루브내장장기메인터넌스프리사양 하이스러스트타입 리니어모터구동 T H 직선 高추력 高가감속 ᆞ 高응답으로스무즈한동작 높은정지 ( 靜止 ) 안정성 공냉가능 C 루브내장장기메인터넌스프리사양 사양 정밀도 형식과크기 최대스트로크 () 최고속도 (/s) 분해능 (μm) 항목 T CE T D T H 반복위치결정정밀도 TCE 1 2.1,., 1. 위치결정정밀도 TCE ,., 1. 로스트모션 T1D ,., 1. 테이블운동의평행도 A T17D ,., 1. 테이블운동의평행도 B T17H ,., 1. 자세정밀도 진직도 백레쉬 -276 페이지로가기 Ⅰ-1 Ⅰ-16

10 형식 ᆞ 사이즈별제품군 다양한형식 ᆞ 풍부한제품군 얼라이먼트테이블 AT 정밀승강테이블 TZ 볼스크류구동 볼스크류구동 AT 얼라이먼트 TZ 직선 高정밀도위치결정에서정밀각도보정이가능 크로스롤러베어링을채용하여高강성ᆞ컴팩트 높은반복위치결정정밀도 가지감속비를시리즈화 독자의경사기구를사용하여, 컴팩트로高정밀도의상하방향의위치결정이가능 TZ X는, C루브리니어롤러웨이슈퍼X를채택하여, 高정밀도ᆞ 高강성을실현 리니어엔코더취부가능 사양 정밀도 C 루브내장장기메인터넌스프리 형식과크기 AT12 AT2 AT 최대동작각도 ( 도 ) ± ± ± 볼스크류리드 () 로테이터분해능 (μm) 반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 -4 페이지로가기 사양 형식과크기 TZ12 TZ12X TZ2H TZ2X 최대스트로크 () 최고속도 (/s) 가지감속비를시리즈화 정밀도볼스크류리드반복위치결정정밀도 () 위치결정정밀도 4 로스트모션 4 테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 - 페이지로가기 얼라이먼트모듈 AM AM 볼스크류구동 얼라이먼트 용도에맞게자유롭게스테이지설계가능 높이치수의허용차를 ±μm로관리 XY 의다양한위치결정동작이가능 대형장비에최적 高정밀도ᆞ 高강성ᆞ 高신뢰성 사양 정밀도 형식과크기 최대스트로크 () 트랙레일길이 () 볼스크류리드 () 반복위치결정정밀도위치결정정밀도 AM2 1 4 로스트모션 AM 테이블운동의평행도 A AM 테이블운동의평행도 B AM 자세정밀도 진직도백레쉬 -16 페이지로가기 Ⅰ-17 Ⅰ-18

11 진화를계속하는위치결정기구 1 경량 저단면의신감각테이블이라면초 컴팩트를실현하고자한다면 정밀위치결정테이블 TE TE B 마이크로정밀위치결정테이블 TM TM 연삭볼스크류사양으로, 단면높이 2, 폭 17 의극소사이즈를실현 테이블안내부에트랙레일폭 2의마이크로리니니어웨이, 이송기구에직경 2의미니츄어볼스크류를채택. 연삭볼스크류구동에서는다른종류에유래없는단면높이를실현. 모터 슬라이드테이블 커버 정밀연삭볼스크류 주요구성부품에高강도알루미늄합금을사용 U 자형배드의안쪽에슬라이드테이블을배치한경량 ᆞ 컴팩트구조! 질량 배드폭치수 () 6 86 TU TE B 단위 : 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시합니다. 나노리니어 NT NT V 17 센서 배드 앵귤러베어링 마이크로리니어웨이 컴팩트화를지향추구시리즈최소사이즈의 NT8V 은, 단면높이가불과 11, 테이블폭 8, 전장 62 를실현 2 각종센서는취부홈에직접취부 테이블을 XY 적층상태로배치하여도, 점유스페이스가증대하지않고, 위치결정기구에한층더소형화에공헌합니다. 26 슬라이드테이블과직동안내기기를일체구조로한저단면 ᆞ 컴팩트설계! 형식 NT V NT8V NT8V18 NTV2 NTV6 NT8V2 NT8V6 NT8V12 TU TEB 高강도알루미늄합금재질의슬라이드테이블과배드의채용으로경량화! 형식과크기 단면치수 Ⅰ-19 Ⅰ-2

12 진화를계속하는위치결정기구 2 高정밀도를추구한다면 高정밀도위치결정과고속을양립하고자한다면 高정밀위치결정테이블 TX TX M, CTX M 超高정밀도리니어엔코더탑재에따른, 높은위치결정정밀도와분해능을보증! C 루브리니어롤러웨이수퍼 X 의채용에의한, 궁극의주행성능을실현. 超高 분해능리니어엔코더에의한풀크로즈드루프제어를구성하고, 스트로크 전역에대하여높은위치결정정밀도를보증하고있습니다. 위치결정정밀도 μm 시료 :CTX22M-4 X 축 Y 축 리니어모터테이블 T T D 다이렉트드라이버로부터高정밀도위치결정과고속을양립 롱스트로크의용도에서요구되는고속운전에도대응. 최고속도 /s까지의고속운전이가능합니다. 속도 /s 최고속도 :,/s 실제속도지령속도 스트로크 시간 s ADVA 드라이버를사용했을경우의값입니다. 나노리니어 NT NT H 높은속도안정성을실현하고자한다면 높은자세정밀도! 高정밀도로가공한부품과랙 & 피니언내장형크로스롤러웨이를조합하여, 자세정밀도 초이하를실현하였습니다. 이동에따른자세변화가지극히적고, 위치재현성에우수합니다. 자세정밀도초 요잉 피칭 2 4 스트로크 자세정밀도 : 초이하 6 리니어모터테이블 T T CE, T D, T H 다이렉트드라이브와선진서보기술에의해, 높은속도안정성을실현하고있습니다. 속도 /s /s 속도안정성 ( 측정주파수 1,Hz):±1.78% 시간 s ADVA 드라이버를사용했을경우의값입니다. Ⅰ-21 Ⅰ-22

13 진화를계속하는위치결정기구 풍부한옵션군에서선택한다면크린 환경의용도라면 당장필요한기능 ᆞ 성능을호칭번호에서지정하는것만으로간단히주문이가능! 정밀위치결정테이블 TU TU 정밀위치결정테이블 TE TE B 크린정밀위치결정테이블 TC TC EB 청정도클래스 을실현! 내식성에우수한스테인레스시트, 사이드커버에의한구동부와슬라이드테이블의안내부분을밀폐. 스테인레스시트는슬라이드테이블내에설치된수지제품의롤러에의한사이드커버에밀착되어, 강력한마그네트시트로확실히흡착하는구조를채용하여, 밀폐된내부공간으로부터공기를흡인하는것으로, 테이블주변에서의분진발생을방지합니다. TCEB ( 볼스크류리드 :4) 스트로크: 속 도:2/s 흡 인 량:/min TCEB ( 볼스크류리드 :8) 스트로크:2 속 도:4/s 흡 인 량:/min 클래스 상한 클래스 상한 슬라이드테이블의형상 용도에따라 2 종류의형상으로부터선택이가능합니다. 모터접이식사양 테이블전장을짧게하여, 스페이스절감을도모하는것이가능합니다. 브릿지커버부착 입자농도개 /m 1 1 클래스 1 상한 측정치.1μm 이상.2μm 이상.μm 이상.μm 이상 입자직경 클래스 4 상한 클래스 상한 클래스 2 상한 입자농도개 /m 1 1 클래스 1 상한 측정치 클래스 4 상한 클래스 상한 클래스 2 상한.1μm이상.2μm이상.μm이상.μm이상입자직경 스탠다드쇼트, 스탠다드, 롱 플랜지부착쇼트, 스탠다드, 롱 테이블에서의이물질낙하방지를위해, 브릿지커버부착사양을선택이가능합니다. TC6EB ( 볼스크류리드 :) 스트로크:2 속 도:/s 흡 인 량:/min 클래스 상한 TC6EB6 ( 볼스크류리드 :) 스트로크: 속 도:/s 흡 인 량:/min 클래스 상한 슬라이드테이블의갯수 부하하중이나모멘트크기에대응하여, 트랙레일에조합한슬라이드테이블갯수를 2개로대응이가능합니다. 벨로우즈부착테이블 테이블내부에서의이물침입을방지하는벨로우즈부착사양을선택할수있습니다. 입자농도개 /m 1 1 클래스 1 상한 측정치.1μm 이상.2μm 이상.μm 이상.μm 이상 입자직경 클래스 4 상한 클래스 상한 클래스 2 상한 입자농도개 /m 1 1 클래스 1 상한 측정치.1μm 이상.2μm 이상.μm 이상.μm 이상 입자직경 클래스 4 상한 클래스 상한 클래스 2 상한 TC86EB64 ( 볼스크류리드 :2) 스트로크:2 속 도:/s 흡 인 량:7/min TC86EB94 ( 볼스크류리드 :2) 스트로크:8 속 도:6/s 흡 인 량:4/min 볼스크류종류와리드 요구된정밀도에맞게, 전조볼스크류와연삭볼스크류의선택이가능합니다. 또한, 볼스크류의리드도선택이가능합니다. 흑색크롬피막처리 슬라이드테이블과볼스크류표면에흑색침수성피막을형성하여, 내식성을향상시킵니다. 입자농도개 /m 1 클래스 1 상한 측정치 클래스 상한 클래스 4 상한 클래스 상한 입자농도개 /m 1 클래스 1 상한 측정치 클래스 상한 클래스 4 상한 클래스 상한 1.1μm 이상.2μm 이상.μm 이상.μm 이상 입자직경 클래스 2 상한 1.1μm 이상.2μm 이상.μm 이상.μm 이상 입자직경 클래스 2 상한 Ⅰ-2 Ⅰ-24

14 진화를계속하는위치결정기구 4 메인터넌스프리를고려한다면 지구 환경에 공헌하는 전동체의순환으로윤활유를운반 새로운발상 ᆞ 세계최초의 C 루브 를내장한구조 C 루브내장 전동체표면에직접윤활유를공급 다양한요구에대응하고자한다면 풍부한특주제작스테이지의실적으로, 다양한축구성의스테이지등의고객요망에디테일하게대응합니다. 요청하실때에는로문의해주십시오. 윤활유는트랙레일이아닌, 전동체에직접공급됩니다. 슬라이드유닛의전동체순환로에내장된캐피러리윤활체에전동체가접촉했을때, 전동체표면에윤활유가공급되고, 전동체의순환에의해부하영역으로운반됩니다. 그결과, 부하영역에서는항상최적의오일량이확보되어장기간윤활성능을유지합니다. 캐피러리윤활체의표면은, 항상윤활유로뒤덮여있습니다. 캐피러리윤활체의표면에전동체가접촉하면, 표면장력에의해, 윤활유가끊어지지않고전동체표면에공급됩니다. 전동체가접촉하는캐피러리윤활체의표면에는, 다른부분에서항상새로운윤활유가공급됩니다. C 루브 원통롤러 원통롤러 원통롤러 윤활유막표면장력 트랙레일 슬라이드유닛스트로크방향 C 루브 모세관현상 C 루브 C 루브리니어웨이 아쿠아블루의측판이메인터넌스프리표시입니다. C 루브리니어롤러웨이 아쿠아블루의측판이메인터넌스프리표시입니다. CD 패널제조장비 CD 패널제조장비 전자부품검사장비 CD 검사장비 정밀위치결정테이블 TE 高정밀위치결정테이블 TX 정밀위치결정테이블 정밀위치결정테이블 H 크린정밀위치결정테이블 TC 나노리니어 NT 얼라이먼트스테이지 SA 리니어모터테이블 T 정밀승강테이블 TZ C 루브 를내장한시리즈 CD 검사장비 Ⅰ-2 Ⅰ-26

15 각제품별시리즈의해설과치수표 정밀위치결정테이블 TE 해설 - 치수표 - 17 정밀위치결정테이블 TU 해설 - 1 치수표 - 6 정밀위치결정테이블 해설 - 97 치수표 -1 정밀위치결정테이블 H 해설 -117 치수표 -11 高정밀위치결정테이블 TX 해설 -14 치수표 -17 크린정밀위치결정테이블 TC 해설 -16 치수표 -176 마이크로정밀위치결정테이블 TM 해설 -181 치수표 -19 정밀위치결정테이블 TSᆞCT 해설 -197 치수표 -28 정밀위치결정테이블 B 해설 -219 치수표 -226 나노리니어 NT 해설 -21 치수표 -24 얼라이먼트스테이지 SA 해설 -261 치수표 -27 리니어모터테이블 T 해설 -277 치수표 -294 얼라이먼트테이블 AT 해설 - 치수표 -12 얼라이먼트모듈 AM 해설 -17 치수표 -2 정밀승강테이블 TZ 해설 -1 치수표 -8 리니어모터구동테이블용드라이버사양일람 해설 -44 프로그램컨트롤러 해설 -4 종합해설 종합해설 -2 Ⅱ-1 Ⅱ-2

16 TE B TE B Ⅱ- Ⅱ-4

17 정밀 위치 결정 테이블 TE TE B 볼스크류 직선 Points 용도에 맞는 테이블 사양 선택 가능 경량ᆞ저단면ᆞ高정밀도 위치 결정 테이블 U자형 배드 안쪽에 슬라이드 테이블을 배치한 경량ᆞ 종류가 있습니다. 슬라이드 테이블의 갯수나 모터의 접이식 사양, 볼스크류의 리드, 방진용 커버의 유무, 각종 센서 부착 등을 지정할 수 있으므로, 기계 및 장치 사양에 맞춰 최적의 제품을 선택할 수 있습니다. 저단면ᆞ컴팩트한 위치 결정 테이블 입니다. 슬라이드 테이블 테이블 전체 질량이 TU 시리즈의 약4 로 경감. 단면 높이는, TEB가 26, TE6B가, TE86B가 46의 저단면으로, 각종 센서를 배드의 센서 설치용 홈에 직접 설치하는 구조이므로, 스페이스 절감에도 공헌합니다. 볼스크류 우수한 코스트 퍼포먼스 부품 점유수의 절감, 부품 형상의 최적화하여, 뛰어난 코스트 퍼포먼스를 발휘합니다. 정밀 위치 결정 테이블 TU와 비교 단면 높이 TEB TE6B TU TU6 TE86B TU86 센서 설치 홈 배드 리니어웨이 질량 엔드 브라켓 주요 제품 사양 형식과 크기 정밀도 스트로크 () 전장 () 질량 () 질량/ () TEB TU TE6B TU TE86B TU 단위 구동 정밀 볼스크류 반복 위치 결정 정밀도 ±.2~.2 직동안내기기 리니어웨이 볼 타입 위치 결정 정밀도.~.6 윤활 부품 내장 윤활 부품 C루브 내장 로스트 모션 ᅳ 테이블 ᆞ배드의 재질 高강도 알루미늄 합금 테이블 운동의 평행도 A ᅳ 센서 호칭번호에서 선택 테이블 운동의 평행도 B.8~.16 자세 정밀도 ᅳ 진직도 ᅳ 백레쉬. Ⅱ 다양한 제품군 형상 형식 치수 () 6 86 스탠다드 TE BS 플랜지부착 TE BF Ⅱ 6 TE B 1 주요 구성 부품에 高강도 알루미늄 합금을 사용하고, 모터 브라켓 2 슬라이드 테이블의 형상은 스탠다드와 플랜지 부착 2

18 호칭번호 형식 크기 슬라이드테이블의형상 배드길이 TE B: 정밀위치결정테이블 TE 크기는, 배드폭치수를표시합니다. 표 1 에표시한크기로부터선택합니다. S: 스탠다드테이블 F: 플랜지부착스탠다드테이블 표 1 에표시한배드길이로부터선택합니다. 표 1 크기와배드길이단위 형식과크기배드폭치수배드길이 TEB, 2, 2, TE6B 6, 2,, 4,, 6 TE86B 86 4, 44, 4, 64, 74, 84, 94 비고스트로크는 Ⅱ 17 페이지이후의치수표를참조하여주십시오. 호칭번호의배열예 형식 Ⅱ 7페이지 2 크기 Ⅱ 7페이지 슬라이드테이블의형상 Ⅱ 7페이지 4 배드길이 Ⅱ 7페이지 모터접이식사양ㆍ 모터어터치먼트지정 Ⅱ 7페이지 6 볼스크류의리드 Ⅱ 9페이지 7 슬라이드테이블의갯수 Ⅱ 9페이지 8 커버사양 Ⅱ 9페이지 9 센서사양 Ⅱ 9페이지 호칭번호와사양의상세사항 모터접이식사양ㆍ모터어터치먼트지정 TE B F / AT1 8 S C AT : 모터스트레이트사양모터어터치먼트없음 AT1~AT11 : 모터스트레이트사양모터어터치먼트부착 AR : 모터접이식사양모터어터치먼트없음 AR1~AR8 : 모터접이식사양모터어터치먼트부착모터어터치먼트를지정할경우는, 표2.1, 표2.2에서선택합니다. ㆍ모터접이식사양으로사용할모터에적용하는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ모터스트레이트사양의경우, 모터어터치먼트부착을지정하면, 표 에표시한커플링이본체에취부되어 출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. 모터어터치먼트없음 (AT) 의경우, 커플링은첨부하지않습니다. ㆍ모터접이식사양의경우, 모터어터치먼트부착을지정하면, 지정한모터에적합한하우징, 풀리 ( 모터측 과볼스크류측 ), 커버, 모터브라켓, 벨트및조립에필요한볼트류 가첨부됩니다. 모터취부용볼트는고객사에서준비해주십시오. 호칭번호와사양의상세사항 표 2.1 모터어터치먼트의적용 ( 모터스트레이트사양 ) AC 서보모터 사용모터 종류메이커시리즈형식 스텝핑모터 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 히타치산기시스템 오리엔탈모터 Σ-Ⅴ J, J4 MINAS A AD α 스텝 RK CRK 주 ( 1 ) 모터출력축외경 φ8 에적용합니다. 비고모터상세사양은, 각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. 표 2.2 모터어터치먼트의적용 ( 모터접이식사양 ) AC 서보모터 사용모터 종류메이커시리즈형식 스텝핑모터 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 히타치산기시스템 오리엔탈모터 정격출력 W 플랜지각 모터어터치먼트 TEB TE6B TE86B SGMJV-AA AT1 AT2 SGMAV-AA AT1 AT2 4 SGMJV-1A AT2 SGMAV-1A AT2 SGMJV-2A AT 2 6 SGMAV-2A AT HF-MP, HG-MR AT1 AT2 HF-KP, HG-KR AT1 AT2 4 HF-MP1, HG-MR1 AT2 HF-KP1, HG-KR1 AT2 HF-MP2, HG-MR2 AT 2 6 HF-KP2, HG-KR2 AT MSMDA AT4 AT MSMEA AT4 AT 8 MSMD1 AT MSME1 AT MSMD2 AT6 2 6 MSME2 AT6 ADMA-R AT1 AT2 4 ADMA-1 AT2 ADMA AT AR46 42 AT7 AR66 6 AT8 AR69 6 AT8 RK4ㆍCRK4 42 AT9 RK6ㆍCRK6( 1 ) 6 AT AT11 정격출력 W 플랜지각 모터어터치먼트 TEB TE6B TE86B SGMJV-AA AR1 AR2 SGMAV-AA AR1 AR2 4 SGMJV-1A AR2 Σ-Ⅴ SGMAV-1A AR2 SGMJV-2A AR 2 6 SGMAV-2A AR HF-MP, HG-MR AR1 AR2 HF-KP, HG-KR AR1 AR2 4 HF-MP1, HG-MR1 AR2 J, J4 HF-KP1, HG-KR1 AR2 HF-MP2, HG-MR2 AR 2 6 HF-KP2, HG-KR2 AR MSMDA AR4 AR MSMEA AR4 AR 8 MSMD1 AR MINAS A MSME1 AR MSMD2 AR6 2 6 MSME2 AR6 ADMA-R AR1 AR2 4 AD ADMA-1 AR2 ADMA AR α스텝 AR46 42 AR7 RK CRK 비고자세한모터사양은각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. RK4 ㆍ CRK4 42 AR8 TE B Ⅱ-7 Ⅱ-8

19 호칭번호와사양의상세사항 표 커플링의형식 ( 모터스트레이트사양 ) 모터 어터치먼트 커플링의형식 메이커 커플링의관성 J C ㆍ m 2 AT1 XGS 19C 8 나베야바이텍.62 AT2 XGS 19C 8 나베야바이텍.62 AT XGS C 8 14 나베야바이텍. AT4 XGS 19C 8 나베야바이텍.62 AT XGS 19C 8 나베야바이텍.62 AT6 XGS C 8 11 나베야바이텍. AT7 XGS 19C 6 나베야바이텍.62 AT8 XGS C 8 나베야바이텍. AT9 XGS 19C 나베야바이텍.62 AT XGS 19C 8 나베야바이텍.62 AT11 XGS C 8 8 나베야바이텍. 비고커플링의상세사양은, 각메이커카탈로그를참조해주십시오 볼스크류의리드 슬라이드테이블의갯수 커버사양 센서사양 4: 리드 4 (TEB 에적용 ) : 리드 (TE6B 에적용 ) 8: 리드 8 (TEB 에적용 ) : 리드 (TE6B, TE86B 에적용 ) 2: 리드 2 (TE86B 에적용 ) S:1 개 C:2 개 : 커버없음 C: 브리지커버부착 (TE BF 에적용 ) : 센서없음 2: 센서 2 개부착 ( 리미트 ) : 센서 개부착 ( 리미트, 원점전 ) 4: 센서 4 개부착 ( 리미트, 원점전, 원점 ) : 센서 2 개첨부 ( 리미트 ) 6: 센서 개첨부 ( 리미트, 원점전 ) 7: 센서 4 개첨부 ( 리미트, 원점전, 원점 ) 센서부착 ( 기호 2,, 4) 을지정했을경우, 센서가사이드커버측면의센서설치홈에, 또는, 2 장의차폐판이슬라이드테이블에장착됩니다. 센서첨부 ( 기호, 6, 7) 를지정했을경우, 지정갯수의센서외, 센서취부볼트와너트, 차폐판 (2 장 ), 차폐판취부볼트가첨부됩니다. 각종특성 표 4 정밀도 형식과 크기 배드길이 반복 위치결정정밀도 위치결정정밀도 ( 1 ) 테이블운동의평행도 B 백레쉬 ( 1 ) TEB 2 ±.2. 2 (±.2) ±.2.4 TE6B. 4 (±.2) ±.2. TE86B 64. (±.2) 주 ( 1 ) 모터접이식사양의테이블에는, 적용안합니다. 비고 ( ) 안의값은, 모터접이식사양테이블에대한타이밍벨트의장력이적정하게조정되어있는경우의참고치입니다. 단위 표 최고속도 모터의종류 최고속도 /s 형식과배드길이크기리드리드리드리드리드 TEB 4 8 TE6B 이하 AC 서보 4 이하 모터 TE86B TEB 스텝핑 TE6B 모터 TE86B 94 이하 6 비고실제최고속도는, 사용모터나부하조건등에대응하는운전패턴의검토가필요합니다. TE B 표6 허용모멘트 허용모멘트 Nㆍm 형식과크기 T T X T Y TEB 9.8 TE6B 16.7 TE86B 49. 비고슬라이드테이블 1개의경우입니다. Ⅱ-9 Ⅱ-

20 각종특성 각종특성 표 7 최대탑재질량 표 배드의단면 2 차모멘트 형식과크기 TEB TE6B TE86B 볼스크류의리드 비고플랜지부착스탠다드테이블에서슬라이드테이블 1 개의경우입니다. 수평 최대탑재질량 수직 e Y 축 X 축 TE B 표 8 직동안내부의정격하중 형식과 기본동정격하중 C 기본정정격하중 C 정정격모멘트 ( 1 ) Nㆍm 크기 N N T T X T Y TEB ( 422) 99. ( 8) 99. ( 8) TE6B ( 78) 11 ( 79) 11 ( 79) TE86B (2 22) 472 (2 4) 472 (2 4) 주 ( 1 ) 아래그림의방향값에서, ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의값입니다. 형식과 크기 I X 단면 2 차모멘트 4 TEB TE6B TE86B I Y 중심점 e 표 9.1 볼스크류사양 1 형식과 크기 TEB TE6B TE86B 리드 볼스크류외경 기본동정격하중 N C 기본정정격하중 C N 표 9.2 볼스크류사양 2 단위 형식과크기배드길이볼스크류외경전장 TEB TE6B TE86B T T X T Y 표 11 테이블관성과기동토크 형식과 크기 TEB TE6B TE86B 배드 길이 스탠다드테이블 리드 테이블관성 J T ( 2 ) ㆍ m 2 기동 플랜지부착 스탠다드테이블 주 ( 1 ) 슬라이드테이블을 2 개사용하는경우는약 1. 배가되며, 모터접이식사양의테이블은약 2 배가됩니다. ( 2 ) 모터접이식사양의경우, 표안의수치에아래의값을가산하여주십시오. TEB:.17 ᆞm 2, TE6B:.9 ᆞm 2, TE86B:.86 ᆞm 2 취부 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. 리드 토크 T S ( 1 ) N ㆍ m... Ⅱ-11 Ⅱ-12

21 모터접이식사양 정밀위치결정테이블 TE 는, 모터접이식사양도대응하고있기때문에, 모터를병렬로취부하여테이블전장을짧게하므로써, 스페이스절감을도모합니다. 모터접이식사양의치수는, 각치수표를참조해주십시오. 모터접이식사양의경우, 지정한모터에적합한하우징, 풀리 ( 모터측과볼스크류측 ), 커버, 모터브라켓, 벨트및조립에필요한볼트류 가 첨부되어있으므로, 고객사에서조립하여주십시오. 다만, 모터취부용볼트는고객사에서준비해주십시오. 모터어터치먼트는아래그림과같이 4 방향에취부가가능합니다. 모터접이설치방향에따라, 배드아래면보다모터어터치먼트또는모터가낮게되는치수가달라집니다. Ⅱ 2~Ⅱ 28 페이지의치수표에개략적인값이기재되어있으니, 주변부품이간섭하지않도록여유를갖고설계하여주십시오. 센서사양 표 12 센서타이밍차트 모터스트레이트사양 CW CCW A TE B 모터상방향접이식 모터좌방향접이식 ON 원점 14 B OFF 원점전 C OFF CCW 리미트 모터하방향접이식 모터우방향접이식 OFF 스트로크 CW 리미트 (D) (E) 메카스토퍼 모터접이식사양 슬라이드테이블 2 개사양 CCW CW 정밀위치결정테이블 TE 는, 슬라이드테이블 2 개사양도준비되어있습니다. 모터측슬라이드테이블에는볼스크류너트가취부되어있어, 모 A 터구동이가능합니다. ( 구동테이블 ) 반대모터측슬라이드테이블에는볼스크류너트가취부되어있지않은프리상태입니다. ( 추동테이블 ) 2 개의슬라이드테이블을연결하여사용하는것으로, 모멘트에강한구성이가능합니다. ( 표 8) 슬라이드테이블을연결하는경우는, Ⅱ 17 Ⅱ 28 페이지의치수표에기재되어있는 2 개밀착시중심간치수 이상의간격으로사용하여주십시오. ( 간격을넓히면스트로크는짧아집 니다.) 14 B ON 원점 OFF 원점전 2 개밀착시중심간치수 C OFF CW 리미트 OFF 스트로크 CCW 리미트 (D) (E) 메카스토퍼 추동테이블 구동테이블 형식과 크기 TEB TE6B TE86B 볼스크류의 리드 A B C D( 1 ) E 주 ( 1 ) ( ) 안의값은, 슬라이드테이블갯수가 2 개일경우의치수를표시합니다. 비고 1. 센서취부는, 호칭번호에서지정합니다. 2. 각센서사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조하여주십시오.. 모터접이식사양의경우는 CWᆞCCW 가반전합니다. 6 ( 9 ) 2 9. ( 8.) (11 ) 단위 Ⅱ-1 Ⅱ-14

22 모터스트레이트사양 TEB TE6B 모터접이식사양 TEB AT ( 모터어터치먼트없음 ) φ +.4 φ 드릴 M 깊이 드릴 6. 카운터보어깊이 6. AT ( 모터어터치먼트없음 ) φ +.4 φ M 관통 4-.4 드릴 6. 카운터보어깊이 6. AR ( 모터어터치먼트없음 ) AR7 AT1 φ2 +.4 φ+.2 AT2 φ2 +.4 φ M4 관통 PCD46, 9 등분배치 AT4 6 9 φ2 +.4 φ+.2 4-M4관통 PCD46, 9 등분배치 드릴 6. 카운터보어깊이 6. AT 6 9 φ2 +.4 φ+.2 4-M4 관통 PCD46 9 등분배치 드릴 6. 카운터보어깊이 6. AR1 AR M 관통 PCD4, 9 등분배치 M 관통 M 관통 PCD4 9 등분배치 드릴 6.카운터보어깊이. AR4 AT7 AT9 +.4 φ AT φ2 +. φ6+.2 TE86B AT ( 모터어터치먼트없음 ) 드릴 6. 카운터보어깊이 4 4-M4 깊이 8 4-M4 관통 TE6B AR ( 모터어터치먼트없음 ) TE86B AR ( 모터어터치먼트없음 ) φ8 +.4 φ φ φ 깊이6 4-M4 깊이 8 24 하우징 4-.4 드릴 1 모터브라켓 커버 풀리홀경 φ 드릴 하우징 모터브라켓 커버 풀리홀경 φ8 하우징 모터브라켓 커버 풀리홀경 φ 4-M관통 PCD4, 9 등분배치 하우징 모터브라켓 커버 풀리 홀경 φ φ 42 4-M4 깊이 모터어터치먼트의치수 TE B M4 깊이 φ 깊이 φ 깊이6 AT φ +. φ 드릴 8 카운터보어깊이 M4 관통 PCD46, 9 등분배치 M 관통 PCD7, 9 등분배치 M 관통 PCD7 9 등분배치 AR2 AR 하우징 모터브라켓 커버 풀리 홀경 φ8 하우징 모터브라켓 커버 풀리 홀경 φ14 AT6 φ +. φ 드릴 8 카운터보어깊이 M 관통 PCD4, 9 등분배치 M4관통 PCD7, 9 등분배치 M4 관통 PCD7 9 등분배치 6 4-M4 관통 AR AR6 AT8 AT11 φ +. φ 드릴 8 카운터보어깊이 7 2 하우징 모터브라켓 커버 풀리 홀경 φ8 하우징 모터브라켓 커버 풀리 홀경 φ11 Ⅱ-1 Ⅱ-16

23 정밀위치결정테이블 TE TEBS( 모터스트레이트사양 ) TEBF( 모터스트레이트사양 ) 67(2 개밀착시중심간치수 ) 67(2 개밀착시중심간치수 ) 4-M 깊이 ( 1 ) 8 4-M4 깊이 6( 1 ) 4-M4 깊이 8 TE B (6) S/2 S/2 (2) A (C) (n-1) 8 C A n-4. 드릴 8 카운터보어깊이 4 2 n-4. 드릴 8 카운터보어깊이 4 4-M 깊이 6 ( 양단면 ) S/2 S/2 (2) 11 8 A (8.8).. (C) (n-1) 8 C A 센서부착 센서부착 A-A 단면치수 A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 2 ) C n ( ) ( ) ( 4) ( 9) (14) 4.82 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2 개일때는.7 증가합니다. 비고 1. AC 서보모터용모터어터치먼트는배드아래면보다. 낮게됩니다. 2. 스텝핑모터용모터어터치먼트는배드아래면보다 4. 낮게됩니다. 단위 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 1 ) C n ( 2 ) ( ) ( 4) ( 9) (14) 4.94 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2 개일때는.16 증가합니다. 비고 1. AC 서보모터용모터어터치먼트는배드아래면보다. 낮게됩니다. 2. 스텝핑모터용모터어터치먼트는배드아래면보다 4. 낮게됩니다. 단위 Ⅱ-17 Ⅱ-18

24 정밀위치결정테이블 TE TE6BS( 모터스트레이트사양 ) TE6BF( 모터스트레이트사양 ) 76(2 개밀착시중심간치수 ) 76(2 개밀착시중심간치수 ) 4-M 깊이 6( 1 ) 8 4-M 깊이 7.( 1 ) 4-M깊이6 ( 안쪽면으로부터 ) 8 4-M 깊이 TE B S/2 4 S/2 (24) A A C (n-1) (C) (76) 2 n-. 드릴 9. 카운터보어깊이.4 2 n-. 드릴 9. 카운터보어깊이.4 S/2 4 S/2 (24) A A C (n-1) (C) A-A 단면치수 센서부착 센서부착 A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 2 ) C n ( ) 219 ( ) ( ) (12) (22) (2) (42) 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2개일때는.1 증가합니다. 비고 스텝핑모터용모터어터치먼트는배드아래면보다 9 낮게됩니다. Ⅱ-19 단위 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 1 ) C n ( 2 ) 219 ( ) ( ) (12) (22) (2) (42) 6 2. 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2개일때는.2 증가합니다. 비고 스텝핑모터용모터어터치먼트는배드아래면보다 9 낮게됩니다. 단위 Ⅱ-2

25 정밀위치결정테이블 TE TE86BS( 모터스트레이트사양 ) TE86BF( 모터스트레이트사양 ) 1(2 개밀착시중심간치수 ) 1(2 개밀착시중심간치수 ) 46 4-M 깊이 6( 1 ) M6 깊이 9( 1 ) 4-M 깊이 8 4-M6 깊이 12 TE B S/2 81 S/2 A A 7 (n-1) (7) (9) 2 n-6.6 드릴 11 카운터보어깊이 6. 4-M 깊이 6 ( 안쪽면으로부터 ) 2 n-6.6드릴 11카운터보어깊이6. S/2 81 S/2 () () A A 7 (n-1) (7) 센서부착 A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 2 ) n ( ) ( 9) (19) (29) (9) (49) (9) (69) 9 6. 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2개일때는. 증가합니다. Ⅱ-21 단위 A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 1 ) n ( 2 ) ( 9) (19) (29) (9) (49) (9) (69) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2개일때는.6 증가합니다..6 센서부착 단위 Ⅱ-22

26 정밀위치결정테이블 TE TEBS( 모터접이식사양 ) TEBF( 모터접이식사양 ) 67(2 개밀착시중심간치수 ) 67(2 개밀착시중심간치수 ) 4-M4 깊이 M 깊이 ( 1 ) 8 4-M4 깊이 6( 1 ) S/2 S/2 (2) (C) (n-1) 8 C A A (6) 16 2 n-4. 드릴 8 카운터보어깊이 4 4-M 깊이 6 ( 양단면 ) S/2 S/2 (2) 8 A (9.) (2) (8.8). (C) (n-1) 8 C 1 A 16. (9.) (2) TE B 2 n-4. 드릴 8 카운터보어깊이 센서부착 센서부착 A-A 단면치수 A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 2 ) C n ( ) ( ) ( 4) ( 9) (14) 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2 개일때는.7 증가합니다. 비고 1. 모터어터치먼트용부품은부속품이며, 본그림은고객사에서조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. 2. 좌우방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 9. 낮게됩니다. 또는, 고객사에서 AC 서보모터를취부하실경우는약 2.~., 스탭핑모터를취부하실경우는약 4., 배드의아래면보다낮게됩니다.. 상방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약. 낮게됩니다. 단위 단위 배드길이 전장 스트로크 배드취부홀 질량 ( 참고 ) 1 S( 1 ) C n ( 2 ) ( ) ( 4) ( 9) (14) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2개일때는.16 증가합니다. 비고1. 모터어터치먼트용부품은부속품이며, 본그림은고객사에서조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. 2. 좌우방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약9. 낮게됩니다. 또는, 고객사에서 AC 서보모터를취부하실경우는약 2.~., 스탭핑모터를취부하실경우는약4., 배드의아래면보다낮게됩니다.. 상방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약. 낮게됩니다. Ⅱ-2 Ⅱ-24

27 정밀위치결정테이블 TE TE6BS( 모터접이식사양 ) TE6BF( 모터접이식사양 ) 76(2 개밀착시중심간치수 ) 76(2 개밀착시중심간치수 ) 4-M 깊이 6( 1 ) 8 4-M 깊이 7.( 1 ) M 깊이 6 ( 안쪽면으로부터 ) 8 4-M 깊이 n-. 드릴 9. 카운터보어깊이.4 (76) n-.드릴 9.카운터보어깊이 TE B S/2 4 S/2 (24) S/2 4 S/2 (24) A 2 A 6 (6) (46.4) (6) C (n-1) (C) A 21 (11.) 11 C (n-1) (C) 1 A (11.) A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 2 ) C n ( ) 178. ( ) ( ) (12) (22) (2) (42) 6 2. 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2 개일때는.1 증가합니다. 비고 1. 모터어터치먼트용부품은부속품이며, 본그림은고객사에서조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. 2. 좌우방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 11. 낮게됩니다.. 상방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 9 낮게됩니다. Ⅱ-2 78 센서부착 단위 1 6 A-A 단면치수 센서부착 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 1 ) C n ( 2 ) 178. ( ) ( ) (12) (22) (2) (42) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2 개일때는.2 증가합니다. 비고 1. 모터어터치먼트용부품은부속품이며, 본그림은고객사에서조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. 2. 좌우방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 11. 낮게됩니다.. 상방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 9 낮게됩니다. 78 단위 Ⅱ-26

28 정밀위치결정테이블 TE TE86BS( 모터접이식사양 ) 1(2 개밀착시중심간치수 ) TE86BF( 모터접이식사양 ) 1(2 개밀착시중심간치수 ) M 깊이 6( 1 ) 8 4-M6 깊이 9( 1 ) M 깊이 8 4-M6 깊이 S/2 81 A 4 A 7 (n-1) (7) S/2 () 7 (78) (9) 2 n-6.6 드릴 11 카운터보어깊이 6. 4-M깊이6 ( 안쪽면으로부터 ) S/2 81 S/2 () A (8) (n-1) (7) A (8) TE B 2 n-6.6 드릴 11 카운터보어깊이 (78) A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 2 ) n ( ) ( 9) (19) (29) (9) (49) (9) (69) 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2 개일때는. 증가합니다. 비고 1. 모터어터치먼트용부품은부속품이며, 본그림은고객사에서조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. 2. 좌우방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 8 낮게됩니다.. 상방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 6 낮게됩니다. Ⅱ-27.6 센서부착 단위 A-A 단면치수 배드길이전장스트로크배드취부홀질량 ( 참고 ) 1 S( 1 ) n ( 2 ) ( 9) (19) (29) (9) (49) (9) (69) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시하며, 슬라이드테이블 2 개일때는.6 증가합니다. 비고 1. 모터어터치먼트용부품은부속품이며, 본그림은고객사에서조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. 2. 좌우방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 8 낮게됩니다.. 상방향에접이식의경우, 모터어터치먼트는배드아래면보다약 6 낮게됩니다..6 센서부착 단위 Ⅱ-28

29 TU TU Ⅱ-29 Ⅱ-

30 정밀 위치 결정 테이블 TU 볼스크류 TU 직선 Points 슬라이드 테이블은 高정밀도ᆞ高강성의 일체 구조 2 새로운 발상의 U자형 트랙레일을 채용 컴팩트하고 슬림한 위치 결정 테이블 슬라이드 테이블은 직동안내기기와 일체 구조. 큰 사이즈 강구가 2조열로 밸런스 좋게 배치되어, 궤도와 4점 접촉하는 구조이기 때문에, 변동 1 강성 高정밀도 위치 결정이 가능합니다. 배치한 컴팩트하고 슬림한 위치 결정 테이블 입니다. U자형 트랙레일을 채용하여, 모멘트나 비틀림에 슬라이드 테이블 TU 하중이나 복합 하중이 작용하는 용도에서도, 高 U자형 트랙레일의 안쪽에 슬라이드 테이블을 Ⅱ-페이지 풍부한 옵션으로 부터 최적의 테이블 사양이 선택 가능 대한 강성이 대폭으로 향상. 트랙레일을 기계ᆞ 장치의 구조 부자재로써 사용 가능하여, 설계의 자유도가 넓어집니다. 충실한 사이즈군과 풍부한 옵션군으로 부터 필요한 기능ᆞ성능을 호칭번호에서 지정하는 것만으로 간단히 용도에 맞는 최적의 위치 결정 테이블을 구성할 수 있습니다. 볼스크류 트랙레일 다양한 제품군 리니어웨이 형상 스탠다드 형식 트랙레일 폭치수() TU C TU S TU G TU FC TU F TU FG 쇼트 테이블 스탠다드 테이블 롱 테이블 주요 제품 사양 정밀도 플랜지부착 쇼트 테이블 단위 구동 정밀 볼스크류ᆞ전조 볼스크류 반복 위치 결정 정밀도 ±.2~.4 직동안내기기 리니어웨이 볼 타입 위치 결정 정밀도.2~. ᅳ 윤활 부품 내장 내장 없음 호칭번호에서 윤활 부품 C루브 의 장착 선택이 가능 로스트 모션 테이블 운동의 평행도 A ᅳ 테이블ᆞ배드의 재질 탄소강제 테이블 운동의 평행도 B.8~. 센서 호칭번호에서 선택 자세 정밀도 ᅳ 진직도 ᅳ 백레쉬.~. Ⅱ 1 스탠다드 테이블 롱 테이블 Ⅱ 2

31 정밀위치결정테이블 TU 호칭번호에서지정가능한특별사양 슬라이드테이블의형상과길이 모터접이식사양 스탠다드, 플랜지부착의 2 가지타입으로 모터접이식사양의테이블은, 테이블 부터선택가능, 동일단면형상에서쇼트, 전장을짧게하여, 스페이스성력화를 스탠다드, 롱 가지타입의길이의 도모하는것이가능합니다. 슬라이드테이블을라인업. 플랜지부착은, 브리지커버나 XY 브라켓을취부 TU 가능합니다. 스탠다드쇼트 (C), 스탠다드 ( 무기호 ), 롱 (G) 플랜지부착쇼트 (FC), 스탠다드 (F), 롱 (FG) 브릿지커버부착 슬라이드테이블의갯수 플랜지부착은, 브릿지커버를취부할수있습니다. 부하하중이나모멘트크기에대응하여, 트랙레일에조합한슬라이드테이블 갯수를 2 개로대응이가능합니다. 벨로우즈부착테이블 벨로우즈부착테이블은, 직동안내부와 구동부를벨로우즈로커버하여, 테이블 볼스크류종류와리드 내부에이물침입을방지합니다. 요구된정밀도에맞게, 전조볼스크류와정밀볼스크류에서선택할수있습니다. 또한, 볼스크류의리드도 선택이가능합니다. 볼스크류없는사양은, 2 축병렬사용의추동측직동안내기기로사용할수있습니다. 흑색크롬피막처리 센서지정 슬라이드테이블과볼스크류표면에흑색침투성피막을형성하여, 방청능력을향상 시킵니다. 오버런센서나원점센서등의각종센서의취부지정이가능합니다. C 루브장착테이블 XY 브라켓 윤활제를함침시킨윤활부품 C 루브 를 XY 브라켓이시리즈화되어있어서, 용이하게 XY 브라켓 장착하는것으로, 볼스크류나직동안내기기의 XY 테이블을구성할수있습니다. 그리스업등의메인터넌스공수를대폭 절감할수있습니다. X 축 Y 축 Ⅱ- Ⅱ-4

32 호칭번호 호칭번호와사양의상세사항 호칭번호의배열예 형식 TU: 정밀위치결정테이블 TU TU 86 FG 89 / AT G S R Q 2 크기 크기는, 배드폭치수를표시합니다. 표 1 에표시한크기로부터선택합니다. 1 형식 Ⅱ 6페이지 2 크기 Ⅱ 6페이지 슬라이드테이블의형상 C : 쇼트테이블 S : 스탠다드테이블 G : 롱테이블 FC : 플랜지부착쇼트테이블 F : 플랜지부착스탠다드테이블 FG : 플랜지부착롱테이블 TU 슬라이드테이블의형상 Ⅱ 6페이지 4 트랙레일길이 Ⅱ 6페이지 모터접이식사양ㆍ 모터어터치먼트지정 Ⅱ 7페이지 표 1 슬라이드테이블형상의적용 형식과크기 형식기호 TU C TU S TU G TU FC TU F TU FG TU 2 TU TU 4 TU TU 6 TU 86 TU TU1 6 볼스크류의종류 Ⅱ 7페이지 4 트랙레일길이 표 2.1, 표 2.2 에표시한트랙레일길이의 [ 표시 ] 에서선택합니다. 7 볼스크류의리드 Ⅱ 7페이지 8 슬라이드테이블의갯수 Ⅱ 7페이지 9 커버사양 Ⅱ 8페이지 센서사양 Ⅱ 8페이지 표 2.1 트랙레일길이 ( 모터스트레이트사양 ) 단위 형식과크기 트랙레일길이의 [ 표시 ] 와치수 TU 2 [1] 1 [16] 16 [2] 2 TU [14] 14 [18] 18 [22] 22 [26] 26 [] [4] 4 TU 4 [18] 18 [24] 24 [] [6] 6 [42] 42 TU [22] 22 [] [8] 8 [46] 46 [4] 4 [62] 62 [7] 7 TU 6 [29] 29 [9] 9 [49] 49 [9] 9 [69] 69 [79] 79 [99] 99[119]1 19 TU 86 [49] 49 [9] 9 [69] 69 [79] 79 [89] 89 [99] 99[9]1 9[119]1 19[19]1 9[19]1 9 TU [1]1 [116]1 16[11]1 [146]1 46 TU1 [1]1 [116]1 16[11]1 [146]1 46[161]1 6 비고스트로크는 Ⅱ 6 페이지이후의치수표를참조하여주십시오. 11 표면처리사양 Ⅱ 8페이지 12 C루브사양 Ⅱ 8페이지 표 2.2 트랙레일길이 ( 모터접이식사양 ) 형식과크기 트랙레일길이의 [ 표시 ] 와치수 단위 TU 4 [14] 14 [2] 2 [26] 26 [2] 2 [8] 8 TU [18] 18 [26] 26 [4] 4 [42] 42 [] [8] 8 [66] 66 TU 6 [24] 244 [4] 44 [44] 444 [4] 44 [64] 644 [74] 744 TU 86 [44] 442 [4] 42 [64] 642 [74] 742 [84] 842 [94] 942 [4]1 42 [114]1 142 비고스트로크는 Ⅱ 7 페이지이후의치수표를참조하여주십시오. Ⅱ- Ⅱ-6

33 호칭번호와사양의상세사항 표 모터접이식사양의적용 6 7 모터접이식사양ㆍ모터어터치먼트지정 형식과크기 표 4 볼스크류리드의적용 형식과크기 AT : 모터스트레이트사양모터어터치먼트없음 AT1 AT12 : 모터스트레이트사양모터어터치먼트부착 AR : 모터접이식사양모터어터치먼트없음 AR1 AR1 : 모터접이식사양모터어터치먼트부착 모터접이식사양의적용을표 에표시합니다. 모터어터치먼트를지정할경우는, 표 6.1, 표 6.2 에서선택합니다. ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ모터접이식사양으로사용할모터에적용하는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ모터스트레이트사양의경우, 모터어터치먼트부착을지정하면, 표 7 에표시한커플링이본체에취부되 어출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. 모터어터치먼트없음 (AT) 의경우, 커플링은첨부하지않습니다. ㆍ모터접이식사양의경우, 모터어터치먼트부착을지정하면, 지정한모터에적합한하우징, 풀리 ( 모터측 과볼스크류측 ), 커버, 모터브라켓, 벨트및조립에필요한볼트류 가첨부됩니다. 모터취부용볼트는고객사에서준비해주십시오. AC 서보모터 모터어터치먼트부착 스텝핑모터 모터어터치먼트없음 TU 2 TU TU 4 TU TU 6 TU 86 TU TU1 볼스크류의종류 볼스크류의리드 볼스크류의 종류 볼스크류의리드 TU 2 연삭볼스크류 TU 연삭볼스크류 TU 4 전조볼스크류 연삭볼스크류 TU 전조볼스크류 연삭볼스크류 TU 6 전조볼스크류 연삭볼스크류 ( 1 ) ( 1 ) ( 1 ) TU 86 전조볼스크류 ( 2 ) ( 2 ) 연삭볼스크류 ( 2 ) TU 연삭볼스크류 TU1 연삭볼스크류 주 ( 1 ) 트랙레일길이 99와 119에는적용되지않습니다. ( 2 ) 트랙레일길이 19와 19에는적용되지않습니다. 무기호 : 전조볼스크류 G : 연삭볼스크류 N : 볼스크류없음표4에표시한볼스크류종류로부터선택합니다. N 을지정한경우ㆍ 의항목은 AT 또는 AR 을지정하며, 7 의항목은무기호로해주십시오. ㆍ 의항목은, 센서없음 ( 을지정 ) 으로해주십시오. ㆍ 9 의항목에서벨로우즈부착을지정할수없습니다. 표 4 에표시한크기에적용하는볼스크류의리드로부터선택합니다 커버사양 센서사양 표면처리사양 C 루브사양 표 C 루브의적용 : 커버없음 C : 브릿지커버부착 (TU FC, TU F, TU FG 에적용 ) J : 벨로우즈부착 (TU6S, TU86S 에적용 ) ㆍ벨로우즈부착 (J) 를지정한경우, 8 의항목 1 개 (S 를지정 ) 로해주십시오. ㆍ TU6 의트랙레일길이 99, 119 및 TU86 의트랙레일길이 19, 19 에는벨로우즈부착은안됩니다. ㆍ TU6 의트랙레일길이 119 와 TU86 의트랙레일길이 19 은브리지커버부착은안됩니다. : 센서없음, 센서레일없음 2: 센서 2 개첨부 ( 리미트 ), 센서레일부착 : 센서 개첨부 ( 리미트, 원점전 ), 센서레일부착 4: 센서 4 개첨부 ( 리미트, 원점전, 원점 ), 센서레일부착 9: 센서없음, 센서레일부착 무기호 : 처리없음 R : 흑색크롬피막처리 1 슬라이드테이블과트랙레일의표면에흑색크롬피막처리를합니다. : 흑색크롬피막처리 2 흑색크롬피막처리 1 에추가로, 볼스크류및너트에도처리합니다. 무기호 :C루브없음 Q :C루브장착테이블 슬라이드테이블과볼스크류너트의단면에 C 루브를정착합니다. C 루브는, 연통다공소결수지에다량의윤 활유를함침시킨윤활부품입니다. 트랙레일이나볼스크류의궤도면과접촉해서마찰하는것으로, 플레이 트내부의윤활유가상시적당량배어나와궤도면에공급되므로, 급유간격의연장에의한메인터넌스공수절감이가능합니다. 급유가어려운장소에서의그리스소실대책에효과가있습니다. ㆍ Q 를지정할경우 6 의항목은, 연삭볼스크류 (G 를지정 ) 또는볼스크류없음 (N 을지정 ) 으로해주십시오. 형식과크기전조볼스크류연삭볼스크류볼스크류없음 TU 2 TU TU 4 TU TU 6 TU 86( 1 ) TU TU1 주 ( 1 ) TU86 의트랙레일길이 19 와 19 에대해서는에문의하여주십시오. TU 8 슬라이드테이블의갯수 S :1 개 C:2 개 Ⅱ-7 Ⅱ-8

34 호칭번호와사양의상세사항 표 6.1 모터어터치먼트의적용 ( 모터스트레이트사양 ) 사용모터의형식 종류메이커시리즈형식 A C 서보모 야스카와전기SGMAV-8A AT8 미쯔비시전기 터HF-KP7, HG-KR7 AT8 파나소닉 MSME8 AT116 히타치산기시스템ADMA AT8 스텝핑모터오리엔탈모터 Σ-Ⅴ J, J4 정격출력 W 플랜지각 모터어터치먼트 TU2 TU TU4 TU TU6 TU86 TU TU1 SGMMV-A2A 2 AT1 AT1 2 SGMMV-AA AT1 AT1 SGMJV-AA AT2 AT2 SGMAV-AA AT2 AT2 SGMJV-1A 4 AT2 AT2 AT SGMAV-1A AT2 AT2 AT SGMAV-C2A AT SGMJV-2A AT4 AT 2 SGMAV-2A AT4 AT SGMJV-4A 6 AT6 AT7 4 SGMAV-4A AT6 AT7 SGMAV-6A AT6 AT7 SGMJV-8A 7 8 AT8 HG-AK26 2 AT1 AT1 2 HG-AK6 AT1 AT1 HF-MP, HG-MR AT2 AT2 HF-KP, HG-KR AT2 AT2 4 HF-MP1, HG-MR1 AT2 AT2 AT HF-KP1, HG-KR1 AT2 AT2 AT HF-MP2, HG-MR2 AT4 AT 2 HF-KP2, HG-KR2 AT4 AT 6 HF-MP4, HG-MR4 AT6 AT7 4 HF-KP4, HG-KR4 AT6 AT7 HF-MP7, HG-MR7 AT8 7 8 MSMDA AT1 AT1 MSMEA AT1 AT1 8 MSMD1 AT1 AT1 AT111 MSME1 AT1 AT1 AT111 MSMD2 AT112 AT11 MINAS A 2 MSME2 AT112 AT11 6 MSMD4 AT114 AT11 4 MSME4 AT114 AT11 MSMD8 AT AD α 스텝 RK CRK ADMA-R - - AT2 AT ADMA AT2 AT2 AT ADMA AT4 AT ADMA AT6 AT7 - 주 ( 1 ) 모터출력축외경 φ8 에적용합니다. 비고모터상세사양은, 각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. AR46 42 AT117 AT117 AR66 6 AT118 AT119 AR69 6 AT118 AT119 AR98 8 AT12 AT121 AR911 8 AT12 AT121 CRK2 28 AT12 AT12 RK4ㆍCRK4 42 AT122 AT122 RK6ㆍCRK6( 1 ) 6 AT12 AT124 RK9 8 AT12 AT121 표 6.2 모터어터치먼트의적용 ( 모터접이식사양 ) AC 서보모터 사용모터의형식 종류메이커시리즈형식 스텝핑모터 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 히타치산기시스템 오리엔탈모터 비고자세한모터사양은각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. 표 7 커플링의형식 ( 모터스트레이트사양 ) 모터 어터치먼트 정격출력 W 플랜지각 모터어터치먼트 TU4 TU TU6 TU86 SGMJV-AA AR1 AR1 SGMAV-AA AR1 AR1 SGMJV-1A 4 AR1 AR1 AR2 Σ-Ⅴ SGMAV-1A AR1 AR1 AR2 SGMAV-C2A AR2 SGMJV-2A AR AR4 2 6 SGMAV-2A AR AR4 HF-MP, HG-MR AR1 AR1 HF-KP, HG-KR AR1 AR1 4 HF-MP1, HG-MR1 AR1 AR1 AR2 J, J4 HF-KP1, HG-KR1 AR1 AR1 AR2 HF-MP2, HG-MR2 AR AR4 2 6 HF-KP2, HG-KR2 AR AR4 MSMDA AR AR MSMEA AR AR 8 MSMD1 AR AR AR6 MINAS A MSME1 AR AR AR6 MSMD2 AR7 AR8 2 6 MSME2 AR7 AR8 ADMA-R AR1 AR AD ADMA-1 AR1 AR1 AR2 - ADMA AR AR4 α스텝 AR46 42 AR9 AR9 RKㆍCRK RK4ㆍCRK4 42 AR1 AR1 커플링의형식 메이커 커플링의관성 J C - ㆍ m 2 AT1 UA-1C- 사카이제작소.24 AT2 UA-2C- 8 사카이제작소.86 AT UA-2C- 8 8 사카이제작소.29 AT4 UA-C 사카이제작소.6 AT UA-C 사카이제작소.6 AT6 UA-C 사카이제작소 1.4 AT7 UA-4C 사카이제작소 2.61 AT8 UA-4C-1 19 사카이제작소 2.61 AT9 UA-1C- 6 사카이제작소.24 AT1 UA-2C- 8 사카이제작소.86 AT111 UA-2C- 8 8 사카이제작소.29 AT112 UA-C 사카이제작소.6 AT11 UA-C 사카이제작소.6 AT114 UA-C 사카이제작소 1.4 AT11 UA-4C 사카이제작소 2.61 AT116 UA-4C-1 19 사카이제작소 2.61 AT117 MSTS-16C- 6 나베야바이텍.9 AT118 MSTS-2C- 8 나베야바이텍.7 AT119 MSTS-2C- 8 나베야바이텍.7 AT12 MSTS-4C 나베야바이텍 9. AT121 MSTS-4C-14 1 나베야바이텍 9. AT122 MSTS-16C- 나베야바이텍.9 AT12 MSTS-2C- 8 8 나베야바이텍.7 AT124 MSTS-2C- 8 8 나베야바이텍.7 AT12 MSTS-12C- 나베야바이텍.22 비고커플링의상세사양은, 각메이커카탈로그를참조하여주십시오. TU Ⅱ-9 Ⅱ-4

35 각종특성 표 8.1 TU 의정밀도 ( 전조볼스크류 ) 단위 표 8.2 TU 의정밀도 ( 연삭볼스크류 ) 단위 를초과 를초과 트랙레일길이 트랙레일길이반복위치결정정밀도위치결정정밀도 ( 1 ) 테이블운동의평행도 B 이하 쇼트 이하 테이블 스탠다드테이블 롱테이블 쇼트 테이블 스탠다드테이블 롱테이블 쇼트 테이블 4 ( ) ( ) ( ) ( ) 6 ( )..2 6 ( ) 7 ( 7) (1 ) ( 7) 9 ( 9) 8 ( 8) 1 (1 ) 8 ( 8) 1 (1 ) 9 ( 9) 1 (1 ) ±.4 ±.2 (±.2) (±.2) 스탠다드테이블 롱테이블 주 ( 1 ) 모터접이식사양의테이블에는, 적용하지않습니다. 비고반복위치결정정밀도의 ( ) 안의값은, 모터접이식사양테이블에대한타이밍벨트의장력이적정하게조정되어있는경우의참고치입니다. 반복 위치결정정밀도 테이블운동의평행도 B.1 ± (±.4) 백레쉬 ( 1 ) 주 ( 1 ) 모터접이식사양의테이블에는, 적용하지않습니다. 비고반복위치결정정밀도의 ( ) 안의값은, 모터접이식사양테이블에대한타이밍벨트의장력이적정하게조정되어있는경우의참고치입니다.. 백레쉬 ( 1 ). 표 9.1 최고속도 (AC 서보모터 ) 모터의 종류 AC 서보모터 트랙최고속도 /s 형식과레일길이리드리드리드리드리드리드크기 TU 2 2 이하 4 TU 4 이하 TU (9) (79) 4 이하 1 (9) ( 78) TU () ( 7) (27) ( 4) 9 이하 47 9 () ( 66) 1 86 TU () ( 66) (27) ( 6) (16) ( ) 1 19 (1) ( 2) 69 이하 ( ) (1 ) ( ) (1 ) ( ) (1 ) TU ( 4) ( 8) ( ) 27 ( 27) 67 ( 67) ( ) TU TU 비고1. ( ) 안의치수는, 전조볼스크류의경우에적용합니다. 2. 실제최고속도는, 사용모터나부하조건등에대응하는운전패턴의검토가필요합니다. TU Ⅱ-41 표 9.2 최고속도 ( 스텝핑모터 ) 스텝핑모터 모터의종류 형식과크기 트랙레일길이 모터회전수 min -1 리드 4 리드 최고속도 리드 8 /s 리드 리드 2 리드 2 TU 2 2 이하 TU 4 이하 1 8 TU TU 이하 TU 6 99 이하 이하 TU 이하 TU 이하 TU 비고실제최고속도는, 사용모터나부하조건등에대응하는운전패턴의검토가필요합니다. Ⅱ-42

36 각종특성 표 최대탑재질량 형식과 크기 볼스크류의 종류 볼스크류 의리드 슬라이드테이블의 길이 수평 최대탑재질량 TU 2 연삭볼스크류 4 스탠다드 TU 연삭볼스크류 스탠다드 1 쇼트 스탠다드 9 11 연삭볼스크류 롱 9 11 쇼트 스탠다드 9 7 TU 4 롱 46 7 쇼트 스탠다드 9 8 전조볼스크류 롱 9 8 쇼트 24 8 스탠다드 롱 쇼트 1 스탠다드 64 1 연삭볼스크류 롱 1 쇼트 8 스탠다드 44 8 TU 롱 4 8 쇼트 11 스탠다드 전조볼스크류 롱 11 쇼트 9 스탠다드 47 8 롱 47 8 쇼트 스탠다드 88 1 롱 쇼트 연삭볼스크류 스탠다드 8 롱 8 쇼트 29 TU 6 2 스탠다드 28 9 롱 28 9 쇼트 스탠다드 88 1 전조볼스크류 롱 14 1 쇼트 46 8 스탠다드 4 8 롱 4 7 쇼트 스탠다드 연삭볼스크류 롱 1 27 쇼트 스탠다드 7 21 TU 86 롱 7 21 쇼트 97 2 스탠다드 전조볼스크류 롱 쇼트 스탠다드 47 1 롱 TU 연삭볼스크류 2 스탠다드 TU1 연삭볼스크류 2 스탠다드 92 4 비고슬라이드테이블 1 개의경우입니다. 수직 표 11 직동안내부의정격하중 형식과크기 슬라이드테이블의 길이 기본동정격하중 C N 기본정정격하중 C N 정정격모멘트 ( 1 ) N ㆍ m T T X T Y TU 2 스탠다드 ( 4.6).1 (.7) 8.4 ( 4.) TU 스탠다드 ( 69.8) 16.9 ( 87.) 14.2 ( 7.4) 쇼트 ( 167.6) 22.8 ( 18) 22.8 ( 18) TU 4 스탠다드 ( 268). ( 1). ( 1) 롱 ( 42) 11 ( 649) 11 ( 649) 쇼트 ( 12) 9. ( 1) 9. ( 1) TU 스탠다드 ( 6) 114 ( 711) 114 ( 711) 롱 ( 872) 26 (1 42) 26 (1 42) 쇼트 ( 472) 62.7 ( 486) 62.7 ( 486) TU 6 스탠다드 ( 8) 181 (1 ) 181 (1 ) 롱 (1 416) 472 (2 47) 472 (2 47) 쇼트 (1 4) 18 (1 28) 18 (1 28) TU 86 스탠다드 (2 94) 764 (4 12) 764 (4 12) 롱 ( 84) 1 27 (6 29) 1 27 (6 29) TU 스탠다드 (4 46) 1 2 (6 46) 1 2 (6 46) TU1 스탠다드 (7 84) 1 8 (9 6) 1 8 (9 6) T T X T Y 주 ( 1 ) 윗그림의방향값에서, ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의값입니다. TU Ⅱ-4 Ⅱ-44

37 각종특성 표 12.1 볼스크류사양 1 형식과크기 볼스크류의 종류 리드 볼스크류외경 축방향틈새 기본동정격하중 C N 기본정정격하중 C N TU 2 연삭볼스크류 4 6. 이하 TU 연삭볼스크류 8. 이하 TU 4 전조볼스크류 이하 연삭볼스크류 이하 TU 전조볼스크류 이하 연삭볼스크류 이하 전조볼스크류 이하 TU 연삭볼스크류 ( 1 ) 12. 이하 전조볼스크류 ( 2 ) 이하 2 9 TU 연삭볼스크류 ( 2 ) 1. 이하 연삭볼스크류 ( ) 2 2. 이하 TU 연삭볼스크류 2 2. 이하 TU1 연삭볼스크류 2 2. 이하 주 ( 1 ) 트랙레일길이 99와 119에는적용되지않습니다. ( 2 ) 트랙레일길이 19와 19에는적용되지않습니다. ( ) 트랙레일길이 19와 19에적용합니다. 표 12.2 볼스크류사양 2 형식과크기 트랙레일길이 볼스크류의종류 볼스크류외경 전장 1 연삭 146 TU 2 16 연삭 연삭 연삭 연삭 196 TU 22 연삭 연삭 276 연삭 16 4 연삭 6 18 연삭 전조 연삭 전조 218 연삭 전조 연삭 전조 8 TU 4 42 연삭전조 연삭전조 18 2 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 8 8 연삭 전조 연삭 전조 198 연삭 전조 연삭 전조 8 46 연삭 전조 48 4 연삭 전조 연삭 전조 98 TU 7 연삭전조 연삭전조 연삭 전조 연삭 전조 8 42 연삭 전조 48 연삭 전조 18 8 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 26 9 연삭 전조 6 49 연삭 전조 46 9 연삭 전조 6 69 연삭 전조 연삭 전조 76 TU 6 99 전조 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭전조 연삭전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 TU 연삭 연삭 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭전조 연삭전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 전조 연삭 972 TU 1 16 연삭 연삭 연삭 연삭 연삭 TU1 1 연삭 연삭 연삭 1 72 단위 TU Ⅱ-4 Ⅱ-46

38 각종특성 표 1 트랙레일의단면 2 차모멘트 형식과크기 e I X Y 축 단면 2차모멘트 4 중심점 e I Y TU TU TU TU TU TU TU TU X 축 표 14.1 테이블관성과기동토크 형식과 크기 TU2 형식과 크기 TU 형식과 크기 TU4 트랙 레일길이 테이블관성 J T - ㆍ m 2 기동토크 T S ( 2 ) N ㆍ m 스탠다드테이블 리드 트랙 레일길이 연삭볼스크류.1 테이블관성 J T ( ) - ㆍ m 2 기동토크 T S ( 2 ) N ㆍ m 스탠다드테이블 리드 트랙레일길이 ( 1 ) 리드 4 연삭볼스크류.1 테이블관성 J T ( ) - ㆍ m 2 기동토크 T S ( 2 ) N ㆍ m 쇼트테이블스탠다드테이블롱테이블 리드 8 리드 4 리드 8 리드 4 리드 8 18(14) (2) (26) (2) (8) 전조볼스크류 연삭볼스크류 리드 4 리드 8 리드 4 리드 (.4).4 (.) TU 변위량 μm TU4S TUS TU6S TU86S 하중 형식과 크기 TU 트랙레일길이 ( 1 ) 리드 테이블관성 J T ( ) - ㆍ m 2 기동토크 T S ( 2 ) N ㆍ m 쇼트테이블스탠다드테이블롱테이블 리드 리드 리드 리드 리드 22(18) (26) (4) (42) () (8) (66) 전조볼스크류 연삭볼스크류 리드 리드 리드 리드.4..4 (.). (.6) 2 2 하중 N 그림 1 하방향하중 - 변위특성 형식과 크기 TU6 트랙레일길이 ( 1 ) 리드 테이블관성 J T ( ) - ㆍ m 2 기동토크 T S ( 2 ) N ㆍ m 쇼트테이블스탠다드테이블롱테이블 리드 리드 2 리드 리드 리드 2 리드 리드 리드 2 29(244) (44) (444) (44) (644) (744) 전조볼스크류 리드.8 리드 연삭볼스크류 리드.8 (.9). 리드 2 주 ( 1 ) ( ) 안의수치는, 모터접이식사양의트랙레일길이를표시합니다. ( 2 ) 슬라이드테이블을 2 개사용하는경우는약 1. 배가되며, 모터접이식사양의테이블은약 2 배가됩니다. ( ) 안의수치는, C 루브사양의기동토크를표시합니다. ( ) 모터접이식사양의경우, 표안의수치에아래의값을가산하여주십시오. TU4 및 TU:.17 - ㆍ m 2, TU6:.86 - ㆍ m 2. (.12) Ⅱ-47 Ⅱ-48

39 각종특성 표 14.2 테이블관성과기동토크 형식과 크기 TU 86 트랙레일길이 ( 1 ) 리드 테이블관성 J T ( ) - ㆍ m 2 기동토크 T S ( 2 ) N ㆍ m 쇼트테이블스탠다드테이블롱테이블 리드 2 리드 리드 2 리드 리드 2 49( 442) ( 42) ( 642) ( 742) ( 842) ( 942) (1 42) (1 142) 전조볼스크류 연삭볼스크류 리드 리드 2 리드 리드 (.12).16 (.18). 모터접이식사양 정밀위치결정테이블 TU 는, 모터접이식사양도대응하고있기때문에, 모터를병렬로취부하여테이블전장을짧게하므로써, 스페이스절감을도모합니다. 모터접이식사양의치수는, 각치수표를참조해주십시오. 모터접이식사양의경우, 지정한모터에적합한하우징, 풀리 ( 모터측과볼스크류측 ), 커버, 모터브라켓, 벨트및조립에필요한볼트류 가 첨부되어있으므로, 고객사에서조립하여주십시오. 다만, 모터취부용볼트는고객사에서준비해주십시오. 모터접이식유닛은아래그림과같이 4 방향에취부가가능합니다. 정밀위치결정테이블 TU 에는, 방진대책으로써브리지커버와벨로우즈를준비대응하고있습니다. 모터상방향접이식 모터좌방향접이식 TU 형식과 크기 TU 트랙레일 길이 테이블관성 J T - ㆍm 2 기동토크 T S ( 2 ) 스탠다드테이블 Nㆍm 리드 연삭볼스크류.2 (.26) 모터하방향접이식 모터우방향접이식 형식과 크기 TU1 트랙레일 길이 테이블관성 J T - ㆍm 2 기동토크 T S ( 2 ) 스탠다드테이블 Nㆍm 리드 연삭볼스크류 주 ( 1 ) ( ) 안의수치는, 모터접이식사양의트랙레일길이를표시합니다. ( 2 ) 슬라이드테이블을 2 개사용하는경우는약 1. 배가되며, 모터접이식사양의테이블은약 2 배가됩니다. ( ) 안의수치는, C 루브사양의기동토크를표시합니다. ( ) 모터접이식사양의경우, 표안의수치에아래의값을가산하여주십시오. TU86:.86 - ᆞm 2.4 (.) 커버사양 벨로우즈부착테이블치수는, Ⅱ-8~Ⅱ-84 페이지의치수표를참조해주십시오. 취부 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. 브릿지커버부착테이블 벨로우즈부착테이블 Ⅱ-49 Ⅱ-

40 슬라이드테이블 2 개사양 정밀위치결정테이블 TU 는, 슬라이드테이블 2 개사양도준비되어있습니다. 모터측슬라이드테이블에는볼스크류너트가취부되어있어, 모 터구동이가능합니다. ( 구동테이블 ) 반대모터측슬라이드테이블에는볼스크류너트가취부되어있지않은프리상태입니다. ( 추동테이블 ) 2 개의슬라이드테이블을연결하여사용하는것으로, 모멘트에강한구성이가능합니다. ( 표 11) 슬라이드테이블을연결하는경우는, Ⅱ-6~ Ⅱ-92 페이지의치수표에기재되어있는 2 개밀착시중심간치수 이상의간격으로사용하여주십시오. ( 간격을넓히면스트로크는짧아집니다.) 센서사양 표 1.1 센서타이밍차트 ( 모터스트레이트사양 ) CW CCW A 2 개밀착시중심간치수 ON 원점 B OFF 원점전 TU C OFF CCW 리미트 OFF 스트로크길이 CW 리미트 메카스토퍼 추동테이블 구동테이블 (D) (E) 형식과 크기 슬라이드테이블의 길이 볼스크류의 리드 A B C D( 1 ) E TU 2 스탠다드 ( 6) 8 TU 스탠다드.9( 6.4) 8 쇼트 (.) 4. TU 4 스탠다드 ( 8.) 8 롱 ( 7.) 8 쇼트 ( 6.2).8 TU 스탠다드 ( 7.2) 8 롱 (.2) (19.6) 쇼트 7.4 2( 2 ) (14.6) TU 6 스탠다드 ( 9.6) 롱 7 9 ( 8.) 쇼트 7 1 (14) 11 ( ) (14)( 4 ) 4 TU 86 스탠다드 7 1 (14) (14) 11 롱 7 1 (14) (14) 11 TU 스탠다드 (19) 2 TU1 스탠다드 (2) 2 주 ( 1 ) ( ) 안의치수는슬라이드테이블갯수가 2 개일경우의치수를표시합니다. ( 2 ) 원점전신호가 OFF 한후, CCW 리미트가 OFF 하기전에 ON 이됩니다. ( ) 트랙레일길이 19 와 19 의경우는 1 입니다. ( 4 ) 트랙레일길이 19 와 19 의경우는 7(9) 입니다. 비고 1. 센서취부는, 호칭번호에서지정합니다. 2. 각센서사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조하여주십시오.. 벨로우즈부착테이블의경우는, 표안의수치는적용하지않습니다. 4. C 루브장착테이블의경우는, 표 1. 을참조해주십시오. 단위 Ⅱ-1 Ⅱ-2

41 센서사양 표 1.2 센서타이밍차트 ( 모터접이식사양 ) 표 1. 센서타이밍차트 ( 모터스트레이트사양, C 루브장착 ) CW CCW A CCW CW ON 원점 B OFF 원점전 TU A C OFF CCW 리미트 ON 원점 OFF 스트로크길이 CW 리미트 B OFF 원점전 메카스토퍼 C OFF CW 리미트 (D) (E) * 모터접이식사양의테이블은, 슬라이드테이블의 CW 방향과 CCW 방향의이동이반대가됩니다. 단위 크기 TU 4 TU TU 6 TU 86 슬라이드테이블의 쇼트 길이 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 볼스크류의 리드 A B C D( 1 ) E (.) ( 8.) ( 7.) ( 6.2) ( 7.2) (.2) (19.6) 7.4 2( 2 ) (14.6) ( 9.6) ( 8.) (14) (14) (14) (14) (14) (14) 11 주 ( 1 ) ( ) 안의치수는슬라이드테이블갯수가 2 개일경우의치수를표시합니다. ( 2 ) 원점전신호가 OFF 한후, CCW 리미트가 OFF 하기전에 ON 이됩니다. 비고 1. 센서취부는, 호칭번호에서지정합니다. 2. 각센서사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조하여주십시오.. 벨로우즈부착테이블의경우는, 표안의수치는적용하지않습니다. 4. C 루브부착테이블의경우는, 표 1.4 를참조해주십시오. OFF (D) 스트로크길이 (E) CCW 리미트 메카스토퍼 형식과 크기 TU 4 TU TU 6 TU 86 슬라이드테이블의 쇼트 길이 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 볼스크류의 리드 A B C D( 1 ) E ( 2 ) (.) 9.( 8.) 9 9.( 7.) 9 7.2( 6.2) 8 8.2( 7.2) 8 9.2( 8.2) 8 9.6( 9.6).4 4.6( 9.6) ( 4.6) ( 9) ( 4) 7 8 (14) (14) ( 9) ( 9) 7 8 ( 9) ( 9) TU 스탠다드 (14) 2 TU1 스탠다드 (18) 2 주 ( 1 ) ( ) 안의치수는슬라이드테이블갯수가 2 개일경우의치수를표시합니다. ( 2 ) 원점전신호가 OFF 한후, CCW 리미트가 OFF 하기전에 ON 이됩니다. 비고 1. 센서취부는, 호칭번호에서지정합니다. 2. 각센서사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조하여주십시오.. 벨로우즈부착테이블의경우는, 표안의수치는적용하지않습니다. 단위 Ⅱ- Ⅱ-4

42 센서사양 표 1.4 센서타이밍차트 ( 모터접이식사양, C 루브장착 ) 모터어터치먼트의치수 모터스트레이트사양 TU2 TU AT ( 모터어터치먼트없음 ) φ φ 드릴 AT ( 모터어터치먼트없음 ) φ +.4 φ 드릴 CCW CW TU A 드릴 PCD 드릴 PCD28. ON 원점 AT1 φ1 +.4 φ2 +.2 AT1 φ1 +.4 φ2 +.2 B OFF 원점전 OFF 스트로크길이 C OFF CW 리미트 CCW 리미트 (D) (E) 메카스토퍼 AT12 φ1 +.4 φ AT12 φ1 +.4 φ * 모터접이식사양의테이블은, 슬라이드테이블의 CW 방향과 CCW 방향의이동이반대가됩니다. 단위 4- 드릴 4- 드릴 형식과 크기 TU 4 TU TU 6 TU 86 슬라이드테이블의 쇼트 길이 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 쇼트 스탠다드 롱 볼스크류의 리드 A B C D( 1 ) E (.) (8.) (7.) (6.2) (7.2) (8.2) (8.6) 6.4 2( 2 ) (9.6) (.6) (4.6) () (4) 8 7 (6) (6) 12 7 (6) (6) 9 7 (6) (6) 9 주 ( 1 ) ( ) 안의치수는슬라이드테이블갯수가 2 개일경우의치수를표시합니다. ( 2 ) 원점전신호가 OFF 한후, CCW 리미트가 OFF 하기전에 ON 이됩니다. 비고 1. 센서취부는, 호칭번호에서지정합니다. 2. 각센서사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조하여주십시오.. 벨로우즈부착테이블의경우는, 표안의수치는적용하지않습니다. TU4 AT ( 모터어터치먼트없음 ) AT2 AT1 AT117 AT M관통 φ φ φ2 φ2 +.4 φ φ ±.1 4 ± φ M4 관통 PCD46, 9 등분배치 4-.4 드릴 6. 카운터보어깊이 6. 4-M 관통 PCD4, 9 등분배치 4-.4 드릴 6. 카운터보어깊이 드릴 6. 카운터보어깊이 드릴 TU AT ( 모터어터치먼트없음 ) AT2 AT1 AT117 AT φ φ φ2 +.4 φ +.2 φ2 +.4 φ ±.1 4 ± φ M 관통 4 4-M4 관통 PCD46, 9 등분배치 4-.4 드릴 6. 카운터보어깊이 6. 4-M 관통 PCD4, 9 등분배치 4-.4 드릴 6. 카운터보어깊이 드릴 6. 카운터보어깊이 드릴 Ⅱ- Ⅱ-6

43 모터어터치먼트의치수 TU6 TU TU1 AT ( 모터어터치먼트없음 ) φ8 +.4 φ2 +.2 (8) 4-M4 깊이 AT111 8 φ φ M 관통 PCD4, 9 등분배치 2 AT ( 모터어터치먼트없음 ) 22 8 φ φ M 관통 4 7 AT ( 모터어터치먼트없음 ) 2 8 φ1 +.4 φ M 깊이 M 관통 4-4. 드릴 8 카운터보어깊이 M4 관통 PCD46, 9 등분배치 M4 관통 PCD7, 9 등분배치 AT φ 드릴 AT φ2 +.4 φ M6 관통 PCD9, 9 등분배치 4 8 TU AT 11 φ φ 드릴 8 카운터보어깊이 4. 4-M 관통 PCD7, 9 등분배치 AT φ +.4 φ 드릴 8 카운터보어깊이 7. 4-M4 관통 AT φ M 관통 PCD7, 9 등분배치 드릴 AT φ2 +.4 φ 드릴 9. 카운터보어깊이 4-M 관통 PCD9, 9 등분배치 4 8 AT4 φ +.4 φ AT118 AT12 φ φ M4 관통 PCD7, 9 등분배치 드릴 9. 카운터보어깊이 드릴 8 카운터보어깊이 드릴 8 카운터보어깊이 M6 깊이 M6 깊이 12 TU (84) 4-M4 관통 M4 깊이 8 PCD7, 9 등분배치 AT12 φ2 +.4 φ 드릴 9. 카운터보어깊이 18 AT121 φ2 +.4 φ 드릴 9. 카운터보어깊이 18 AT ( 모터어터치먼트없음 ) φ8 +.4 φ AT11 φ4 +.4 φ 드릴 8 카운터보어깊이 M 깊이 PCD7, 9 등분배치 M4 깊이 8 PCD7, 9 등분배치 AT φ4 +.4 φ AT114 φ9 +.4 φ 드릴 8 카운터보어깊이 드릴 8 카운터보어깊이 M 관통 PCD7, 9 등분배치 M4관통 4 AT6 φ9 +.4 φ AT119 AT124 φ4 +. φ 드릴 8 카운터보어깊이 드릴 8 카운터보어깊이 4. Ⅱ-7 Ⅱ-8

44 모터어터치먼트의치수 모터접이식사양 TU6 TU4 AR ( 모터어터치먼트없음 ) TU AR ( 모터어터치먼트없음 ) AR ( 모터어터치먼트없음 ) M4 깊이 8 4-M4 관통 PCD46, 9 등분배치 AR M4 깊이 M4 깊이 φ φ φ 풀리홀경 φ 하우징 모터브라켓 커버 TU AR AR6 TU4, TU 4-M 관통 PCD7, 9 등분배치 M 관통 PCD4, 9 등분배치 AR1 AR 4-M4 관통 PCD46, 9 등분배치 M 관통 PCD4, 9 등분배치 풀리홀경 φ 풀리홀경 φ8.2.2 커버 커버 하우징 모터브라켓 하우징 모터브라켓 AR7 하우징모터브라켓커버풀리홀경 φ8 하우징 모터브라켓 커버 풀리홀경 φ8 4 4-M4관통 16 6 PCD7,9 등분배치.2.2 AR9 AR 드릴 드릴 하우징 모터브라켓 커버 풀리홀경 φ11 TU86 하우징 모터브라켓 커버 풀리홀경 φ6 하우징 모터브라켓 커버 풀리홀경 φ AR AR4 ( 모터어터치먼트없음 ) M4 깊이 8 4-M 관통 PCD7, 9 등분배치 φ8 풀리홀경 φ 커버 하우징 모터브라켓 AR8 4-M4 관통 PCD7, 9 등분배치 풀리홀경 φ 하우징 모터브라켓 커버 Ⅱ-9 Ⅱ-6

45 조합의예 정밀위치결정테이블 TU 는, XY 브라켓을사용하여다양한 2 축조합을구성할수있습니다. XY 브라켓은, 경량의알루미늄합금제품이며, 플 랜지부착스탠다드테이블에조합구성할수있습니다. 표 16 에 XY 브라켓의형식을표시합니다. 의뢰하실때에는표안의호칭번호로지정해주십시오. 표 17.1 XY 브라켓의치수 4-M 1 헬리서트 2D 표 16 2 축조합의구성과 XY 브라켓의형식 W W 4 4 XY 브라켓에따른조합 브라켓을사용하지않아도가능한조합 H 4-d 1 드릴 H 2 H XY 브라켓 Y 축 d 2 카운터보어깊이 h 1 H 4 12 H H 1 TU X 축 W 1 W W Y 축 X 축 단위 X 축 Y 축 XY 브라켓의호칭번호 X 축 Y 축 XY 브라켓의호칭번호 TU 2F TU 2 불필요 TU F TU 불필요 TU 4F TU 4 TAE412-BR TU F TU 4 TAE41-BR TU F TU TAE414-BR TU 6F TU TAE41-BR TU 6F TU 6 TAE49-BR TU 86F TU 6 TAE4-BR TU 86F TU 6 불필요 TU 86F TU 86 TAE411-BR TU 86F TU 86 불필요 TU1F TU 불필요 호칭번호 W W 1 W 2 W W 4 H H 1 H 2 H H 4 H M 1 d 1 d 2 h 1 TAE412-BR M TAE41-BR M TAE414-BR M 표 17.2 XY 브라켓의치수 4-M 1 헬리서트 2D W W 4 H d 1 드릴 d 2 카운터보어깊이 h 1 H 2 H 1 H H 4 H 6 H 7 W 1 W W 단위 호칭번호 W W 1 W 2 W W 4 H H 1 H 2 H H 4 H 6 H M 1 d 1 d 2 h 1 TAE41-BR M TAE49-BR M. 9.. TAE4-BR M TAE411-BR M Ⅱ-61 Ⅱ-62

46 TU2 정밀위치결정테이블 TU TU 1(2 개밀착시중심간치수 ) A-A 단면치수 24 9(2 개밀착시중심간치수 ) A-A 단면치수 M 깊이 4 2 n 드릴 4.8 카운터보어깊이 1.6 ( 정밀기기용십자둥근머리소형볼트M2.용 ) TU2S 2 n 드릴 카운터보어깊이 M 깊이. (1.8) (1.6) TUS TU 28 9 (1.6) M 깊이 6 4-M2. 깊이 (1.8) M 깊이 6 4-M2. 깊이 2-M2. 깊이 4( 1 ) 양면가공 S TU2F S M2. 깊이 ( 1 ) 양면가공 TUF (1) A A A A (8) (2) (n 1-1) 센서부착 2 (2) (n 1-1) 센서부착 1 1 주 ( 1 ) TU2F 에는취부홀이없습니다. 치수단위 형식과크기 TU2S TU2F 트랙레일길이 1 전장 스트로크 S( 1 ) 1 16 ( ) n 1 슬라이드테이블 질량 질량 ( 2 ) (4) (8) ( ) (4) (8).4 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시합니다. 비고 트랙레일과케이싱의재질은, 스텐레스강입니다..1. 주 ( 1 ) TUF 에는취부홀이없습니다. 치수 형식과크기 TUS TUF 트랙레일길이 1 전장 스트로크 S( 1 ) ( ) n 1 슬라이드테이블 질량 단위 질량 ( 2 ) ( 4) ( 8) (12) (16) (2) ( ) ( 4) ( 8) (12) (16) (2) 8.87 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시합니다. 비고 트랙레일과케이싱의재질은, 스텐레스강입니다 Ⅱ-6 Ⅱ-64

47 정밀위치결정테이블 TU TU4 슬라이드테이블치수 형식과크기 n n 4 질량 단위 TU4C (2개밀착시중심간치수 ) n -M 깊이 n 4 -M4 깊이 TU4S TU4G TU4F TU 트랙레일치수 단위 2 n 드릴 6. 카운터보어깊이.1 트랙레일 길이 1 전장 스트로크 S( 1 ) 질량 ( 2 ) n 1 TU4S TU4C TU4G TU4C TU4S TU4G TU4F TU4F ( ) ( ) ( ) S ( 7) 9 ( 4) 8 ( ) M 깊이 ( 1 ) 양면가공 A 6 16 (1) () 14 ( 7) (19) 2 (16) 2 (1) (2) 27 (22) 26 (19) (4) 4.(6.)( 2 ) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시합니다. ( 7 ) A (n 1-1) 6 1 A-A 단면치수 (1.9) 19 (1.9) TU4C, TU4S, TU4G TU4F 센서부착 주 ( 1 ) TU4F 에는취부홀이없습니다. ( ) 안의치수는, 모터어터치먼트기호 AT117, AT122 에적용합니다. Ⅱ-6 Ⅱ-66

48 TU 정밀위치결정테이블 TU 6 (2개밀착시중심간치수 ) n -M4 깊이 6 슬라이드테이블치수 형식과크기 n 질량 TUC TUS TUG TUF 단위 2 TU 2 n 1-4. 드릴 8 카운터보어깊이 4.1 S M 깊이 ( 1 ) 양면가공 A 4 트랙레일치수 트랙레일 길이 1 전장 단위 스트로크 S( 1 ) 질량 ( 2 ) n 1 TUS TUC TUG TUC TUS TUG TUF TUF ( ) 6 ( ) ( ) (11) 14 ( 7) 12 ( ) (19) 22 (1) 2 (1) (27) (2) 28 (19) () 8 (1) 6 (27) (4) 46 (9) 44 () (1) 4 (47) 2 (4) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시합니다. 49. () (6)( 2 ) ( 7 ) () (n 1-1) 8 A 1 A-A 단면치수 (1.9) 2 (1.9) TUC, TUS, TUG TUF 센서부착 주 ( 1 ) TUF 에는취부홀이없습니다. ( ) 안의치수는, 모터어터치먼트기호 AT117, AT122 에적용합니다. Ⅱ-67 Ⅱ-68

49 정밀위치결정테이블 TU TU6 < 볼스크류리드, > 슬라이드테이블치수 단위 6 (2개밀착시중심간치수 ) n -M 깊이 8 형식과 크기 n E E 1 질량 TU6C E 1 7 TU6S TU6G TU6FC TU6F TU6FG TU 트랙레일치수단위 2 n 1 -. 드릴 9. 카운터보어깊이.4 트랙레일 길이 1 전장 스트로크 S( 1 ) 질량 ( 2 ) n 1 TU6C TU6S TU6G TU6C TU6S TU6G TU6FC TU6F TU6FG TU6FC TU6F TU6FG ( ) ( ) 7 ( ) S 4 E () 2 (12) 17 ( 6) M4 깊이 6( 1 )( 2 ) 양면가공 6 M4 깊이 6( 1 ) 양면가공 A (2) (22) 27 (16) () 4 (2) 7 (26) (4) (42) 47 (6) () 6 (2) 7 (46) (7) 8 (72) 77 (66) (64) (9) 1 (92) 97 (86) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시합니다. ( 7 ) () (n 1-1) 1 A < 볼스크류리드 2> 슬라이드테이블치수 단위 형식과크기 n E E 1 질량 TU6C TU6S A-A 단면치수 TU6G TU6FC TU6F TU6FG (2.6) TU6C, TU6S, TU6G TU6FC, TU6F, TU6FG 센서부착 주 ( 1 ) TU6FC, TU6F, TU6FG에는취부홀이없습니다. ( 2 ) TU6C는 φ 깊이 2 입니다 (2.6) 트랙레일치수 단위 트랙레일스트로크 S( 1 ) 질량 ( 2 ) 전장길이 n 1 TU6C TU6S TU6G TU6C TU6S TU6G TU6FC TU6F TU6FG 1 TU6FC TU6F TU6FG ( ) 9 ( ) 6 ( ) (1) 19 (11) 16 ( ) (2) 29 (21) 26 (1) () 9 (1) 6 (2) (4) 49 (41) 46 () () 9 (1) 6 (4) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시합니다. Ⅱ-69 Ⅱ-7

50 정밀위치결정테이블 TU TU86 슬라이드테이블치수 형식과 크기 단위 n n 4 질량 TU86C TU86S (2 개밀착시중심간치수 ) n 4 -M6 깊이 12 TU86G TU86FC n -M6 깊이 12( 1 ) 72 TU86F TU86FG TU 트랙레일치수단위 트랙레일 길이 1 전장 스트로크 S( 1 ) 질량 ( 2 ) n 1 TU86C TU86S TU86G TU86C TU86S TU86G TU86FC TU86F TU86FG TU86FC TU86F TU86FG ( 22) 2 ( 12) 22 ( ) ( 2) ( 22) 2 ( 17) n 1-7드릴 11카운터보어깊이 ( 42) 4 ( 2) 42 ( 27) ( 2) ( 42) 2 ( 7) ( 62) 6 ( 2) 62 ( 47) S 4 8( 4 ) ( 72) 7 ( 62) 72 ( 7) M4깊이6( 2 )( ) 양면가공 M4깊이6( 2 ) 양면가공 ( 82) 8 ( 72) 82 ( 67) ( 92) 9 ( 82) 92 ( 77) A (1 12) 1 (1 2) 1 12 ( 97) (1 2) 1 (1 22) 1 2 (1 17) (74) 74 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시합니다. ( 7 ) A () (n 1-1) 1 A-A 단면치수 (6) 42 (6) TU86C, TU86S, TU86G TU86FC, TU86F, TU86FG 센서부착 주 ( 1 ) TU86F는 M 깊이 12 입니다. ( 2 ) TU86FC, TU86F, TU86FG에는취부홀이없습니다. ( ) TU86C는 φ 깊이 2 입니다. ( 4 ) TU86C, TU86FC에서트랙레일길이가 19 또는 19의경우, 9이됩니다. Ⅱ-71 Ⅱ-72

51 TU 정밀위치결정테이블 TU TU (2 개밀착시중심간치수 ) 4-M8 깊이 1( 2 ) (2 개밀착시중심간치수 ) 4-M 깊이 2( 2 ) n 1-9 드릴 14 카운터보어깊이 9 2 n 1-11 드릴 17. 카운터보어깊이.6 TU S M4 깊이 6( 1 ) 양면가공 A S 2-M4 깊이 6( 1 ) 양면가공 A (84) (4) 7. () (n 1-1) (1.2) A () (n 1-1) 8 (178) A 1 1 A-A 단면치수 A-A 단면치수 (8) (8) (9.4) 6 (9.4) TUS TUF 센서부착 TU1S TU1F 센서부착 주 ( 1 ) TUF에는취부홀이없습니다. ( 2 ) TUF는 M6 깊이 12 입니다. 비고 트랙레일에는, M12의아이볼트용탭홀이있습니다. 주 ( 1 ) TU1F에는취부홀이없습니다. ( 2 ) TU1F는 M8 깊이 1 입니다. 비고 트랙레일에는, M12의아이볼트용탭홀이있습니다. 치수단위 형식크기 TUS TUF 트랙레일길이 1 전장 스트로크 S( 1 ) ( ) 7 n 1 2 슬라이드테이블질량 질량 ( 2 ) ( 7) ( 8) (1 ) ( ) ( 7) ( 8) (1 ) 9.9 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시합니다 치수 형식과크기 TU1S TU1F 트랙레일길이 1 전장 스트로크 S( 1 ) ( 49) 7 n 1 2 슬라이드테이블질량 ( 64) 8.6 단위 질량 ( 2 ) ( 79) ( 94) (1 9) ( 49) ( 64) ( 79) ( 94) (1 9) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시합니다 Ⅱ-7 Ⅱ-74

52 정밀위치결정테이블 TU TU4 모터접이식사양 슬라이드테이블치수 형식과크기 n n 4 질량 단위 6 (2개밀착시중심간치수 ) n 4 -M4 깊이 6 TU4C TU4S TU4G TU4F n -M 깊이 트랙레일치수 단위 2 트랙레일 길이 1 전장 스트로크 S( 1 ) 질량 ( 2 ) n 1 TU4S TU4C TU4G TU4C TU4S TU4G TU4F TU4F TU ( ) ( ) ( ) ( 7) 9 ( 4) 8 ( ) (1) () 14 ( 7) n 1 -.4드릴 6.카운터보어깊이 (19) 2 (16) 2 (1) (2) 27 (22) 26 (19) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시합니다. S 4 2-M 깊이 ( 1 ) 양면가공 A 9. ( 7 ) A () (n 1-1) 6 1 A-A 단면치수 (1.9) 19 4 (1.9) TU4C, TU4S, TU4G TU4F 센서부착 주 ( 1 ) TU4F에는취부홀이없습니다. 비고 모터어터치먼트용부품은첨부품입니다. 본그림은고객사에서모터어터치먼트조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. Ⅱ-7 Ⅱ-76

53 정밀위치결정테이블 TU TU 모터접이식사양 슬라이드테이블치수단위 형식과크기 n 질량 2 6 (2 개밀착시중심간치수 ) n -M4 깊이 TUC TUS TUG TUF n 1-4. 드릴 8 카운터보어깊이 트랙레일치수 트랙레일 길이 1 전장 단위 스트로크 S( 1 ) 질량 ( 2 ) n 1 TUS TUC TUG TUC TUS TUG TUF TUF ( ) 6 ( ) ( ) (11) 14 ( 7) 12 ( ) (19) 22 (1) 2 (1) TU (27) (2) 28 (19) () 8 (1) 6 (27) (4) 46 (9) 44 () (1) 4 (47) 2 (4) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시합니다. S 4 2-M 깊이 ( 1 ) 양면가공 A ( 7 ) A () (n 1-1) A-A 단면치수 (1.9) 2 (1.9) TUC, TUS, TUG TUF 센서부착 주 ( 1 ) TUF에는취부홀이없습니다. 비고 모터어터치먼트용부품은첨부품입니다. 본그림은고객사에서모터어터치먼트조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. Ⅱ-77 Ⅱ-78

54 정밀위치결정테이블 TU TU6 모터접이식사양 8 2 n 1 -.드릴 9.카운터보어깊이.4 S n -M깊이8 6 (2개밀착시중심간치수 ) ()( ) 2 4 E 42(47)( ) (7)( ) 172(184)( ) < 볼스크류리드, > 슬라이드테이블치수 형식과 크기 n E TU6C TU6S TU6G TU6FC TU6F TU6FG 단위 트랙레일치수단위 트랙레일 길이 1 전장 스트로크 S( 1 ) 질량 ( 2 ) n 1 TU6C TU6S TU6G TU6C TU6S TU6G TU6FC TU6F TU6FG TU6FC TU6F TU6FG ( ) 9( ) ( ) () 19(11) 16( ) (2) 29(21) 26(1) () 9(1) 6(2) (4) 49(41) 46() () 9(1) 6(4) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시합니다. 질량 TU M4깊이6( 1 )( 2 ) 양면가공 M4깊이6( 1 ) 양면가공 A < 볼스크류리드 2> (7)( ) 72(78.)( ) 슬라이드테이블치수 형식과크기 n E 단위 질량 TU6C () (n 1-1) ( 7 ) 89 A 12(.)( ) TU6S TU6G TU6FC TU6F A-A 단면치수 TU6FG 트랙레일치수단위 트랙레일스트로크 S( 1 ) 질량 ( 2 ) 전장길이 n 1 TU6C TU6S TU6G TU6C TU6S TU6G TU6FC TU6F TU6FG 1 TU6FC TU6F TU6FG ( ) 9 ( ) ( ) (1) 19 (11) 16 ( ) (2.6) 6 (2.6) (2) 29 (21) 26 (1) () 9 (1) 6 (2) (4) 49 (41) 46 () () 9 (1) 6 (4) TU6C, TU6S, TU6G TU6FC, TU6F, TU6FG 센서부착 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1 개일때의테이블전체질량을표시합니다. 주 ( 1 ) TU6FC, TU6F, TU6FG에는취부홀이없습니다. ( 2 ) TU6C는 φ 깊이 2 입니다. ( ) ( ) 안의치수는, 모터어터치먼트기호 AR, AR7에적용합니다. 비고 모터어터치먼트용부품은첨부품입니다. 본그림은고객사에서모터어터치먼트조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. Ⅱ-79 Ⅱ-8

55 정밀위치결정테이블 TU TU86 모터접이식사양 슬라이드테이블치수 형식과 크기 단위 n n 4 질량 TU86C (2 개밀착시중심간치수 ) n 4 -M6깊이 TU86S TU86G TU86FC n -M6 깊이 12( 1 ) 2 TU86F n 1-7 드릴 11 카운터보어깊이 TU86FG 트랙레일치수단위 트랙레일길이 1 전장 스트로크 S( 1 ) 질량 ( 2 ) n 1 TU86C TU86S TU86G TU86C TU86S TU86G TU86FC TU86F TU86FG TU86FC TU86F TU86FG (21) 24 (11) 22 ( ) (1) 4 (21) 2 (16) TU (41) 44 (1) 42 (26) (1) 4 (41) 2 (6) (61) 64 (1) 62 (46) S (71) 74 (61) 72 (6) (81) 84 (71) 82 (66) M4깊이6( 2 )( ) 양면가공 M4깊이6( 2 ) 양면가공 (91) 94 (81) 92 (76) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. ( 2 ) 스탠다드테이블 1개일때의테이블전체질량을표시합니다 ( 7 ) () (n 1-1) 87 1 A-A 단면치수 (6) 42 7 (6) TU86C, TU86S, TU86G TU86FC, TU86F, TU86FG 센서부착 주 ( 1 ) TU86F는 M 깊이 12 입니다. ( 2 ) TU86FC, TU86F, TU86FG에는취부홀이없습니다. ( ) TU86C는 φ 깊이 2 입니다. 비고 모터어터치먼트용부품은첨부품입니다. 본그림은고객사에서모터어터치먼트조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. Ⅱ-81 Ⅱ-82

56 정밀위치결정테이블 TU TU6S 벨로우즈부착테이블 TU86S 벨로우즈부착테이블 F S 1 / S 1 /2 G F S 1 /2 7 S 1 /2 G TU 12 4-M6 깊이 M 깊이 M- 깊이 트랙레일길이 1 전장 한계스트로크 ( 1 ) 스트로크 ( 2 ) S 1 S 29(244) (2.2) 7.6 ( 68.6) 6 ( 6) 9 ( 9) 9 ( 2) 9(44) 99.2 (.2) (142.6) 14 (1) 72 ( 72) 6 ( 6) 49(444) (4.2) (214.6) 2 (2) 86 ( 86) 12 ( 79) 9(44) 99.2 (.2) 29.6 (288.6) 28 (28) 99 ( 99) 1 ( 92) 69(644) (6.2) 9.6 (88.6) 8 (7) 99 ( 99) 1 ( 92) 79(744) (7.2) 46.6 (46.6) 4 (4) 11 (11) 147 (6) 주 ( 1 ) 슬라이드테이블이이동가능한스트로크의한계치를표시합니다. ( 2 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. 비고1. ( ) 안의치수는, 모터접이식사양의벨로우즈부착테이블에적용합니다. 2. 트랙레일의취부에대해서는, TU6 치수표를참조해주십시오.. C루브장착에도적용합니다. F G 단위 트랙레일길이 1 전장 한계스트로크 ( 1 ) 스트로크 ( 2 ) S 1 S 49( 442) ( 41.2) 2 (198) 19 (19) 72 ( 72) 8 ( 6) 9( 42) 99.2 ( 1.2) 27 (27) 26 (26) 86 ( 86) 122 ( 79) 69( 642) ( 61.2) 49 (44) 4 () 99 ( 99) 1 ( 92) 79( 742) ( 71.2) 421 (416) 4 (4) 11 (11) 149 (6) 89( 842) ( 81.2) 21 (16) () 11 (11) 149 (6) 99( 942) ( 91.2) 9 (88) 8 (7) 127 (127) 16 (12) 1 9(1 42) (1 1.2) 667 (662) 6 (6) 14 (14) 176 (1) 1 19(1 142) (1 11.2) 79 (74) 7 (72) 14 (14) 19 (147) 주 ( 1 ) 슬라이드테이블이이동가능한스트로크의한계치를표시합니다. ( 2 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. 비고 1. ( ) 안의치수는, 모터접이식사양의벨로우즈부착테이블에적용합니다. 2. 트랙레일의취부에대해서는, TU86 치수표를참조해주십시오.. C 루브장착에도적용합니다. F G 단위 Ⅱ-8 Ⅱ-84

57 정밀위치결정테이블 TU TU4, TU C 루브장착테이블 형식과크기 트랙레일길이 1 전장 스트로크 ( 1 ) S E ( ) 6 14 ( 9) (17) 6 (2 개밀착시중심간치수 ) TUC (2) () (4) (49) ( ) 6 12 ( ) TU TUS TUF (1) (2) (29) (7) (4) 6 ( ) ( ) S 4 E TUG (16) (24) (2) 7 76 (4) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의값은슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. 비고 슬라이드테이블과트랙레일의치수는, 각각의크기치수표를참조해주십시오. ( 7 ) 1 단위 형식과크기 트랙 레일길이 1 전장 스트로크 ( 1 ) S E ( ) ( 4) TU4C 6 () (16) (22) ( ) TU4S TU4F 6 14 ( 7) (1) (19) ( ) TU4G 6 12 ( ) () (16) Ⅱ-8 Ⅱ-86

58 TU6, TU86, TU, TU1 형식과크기 TU6C TU6FC TU6S TU6F TU6G TU6FG 정밀위치결정테이블 TU 트랙레일길이 1 전장 리드 리드 C 루브장착테이블 스트로크 ( 1 ) S E ( ) 7 ( ) (14) 17 (12) (24) 27 (22) (4) 7 (2) (44) 47 (42) (4) 7 (2) ( ) 7 ( ) (1) 17 () (2) 27 (2) () 7 () (4) 47 (4) () 7 () ( ) ( ) ( ) 1 ( ) () 2 () (2) (2) () 4 () (4) (4) S 6 (2 개밀착시중심간치수 ) 1 리드 2 리드 리드 4 ( 7 ) 리드 2 단위 E 형식과크기 TU86C TU86FC TU86S TU86F TU86G TU86FG TUS TUF TU1S TU1F 트랙레일길이 1 전장 스트로크 ( 1 ) S ( 19) ( 29) ( 9) ( 49) ( 9) ( 69) ( 79) ( 89) ( 12) 9 98 ( 22) ( 2) ( 42) ( 2) ( 62) ( 72) ( 82) ( ) 9 98 ( 17) ( 27) ( 7) ( 47) ( 7) ( 67) ( 77) ( 4) ( 69) ( 84) ( 99) ( 48) ( 6) ( 78) ( 9) E (1 8) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다.( ) 안의수치는슬라이드테이블 2개밀착시의치수입니다. 비고 슬라이드테이블과트랙레일의치수는, 각각의크기치수표를참조해주십시오. TU Ⅱ-87 Ⅱ-88

59 정밀위치결정테이블 TU TU4, TU C 루브장착테이블ㆍ모터접이식사양 형식과크기 트랙레일길이 1 전장 스트로크 ( 1 ) S E ( ) ( 9) (17) 6 (2 개밀착시중심간치수 ) TUC (2) 6 8 () (4) (49) ( ) ( ) TU TUS TUF (1) (2) 6 6 (29) (7) (4) ( ) ( 8) TUG (16) 6 4 (24) (2) (4) S 4 E 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의값은슬라이드테이블 2 개밀착시의치수입니다. 비고 1. 모터어터치먼트용부품은첨부품입니다. 본그림은고객사에서모터어터치먼트조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. 2. 슬라이드테이블과트랙레일의치수는, 각각의크기치수표를참조해주십시오. ( 7 ) 1 단위 형식과크기 트랙 레일길이 1 전장 스트로크 ( 1 ) S E ( ) ( 4) TU4C () (16) (22) ( ) TU4S TU4F ( 7) (1) (19) ( ) TU4G ( ) () (16) Ⅱ-89 Ⅱ-9

60 정밀위치결정테이블 TU TU6, TU86 C 루브장착테이블ㆍ모터접이식사양 형식과크기 트랙레일길이 1 전장 스트로크 ( 1 ) S E (19) 42 (29) 6 (2 개밀착시중심간치수 ) TU86C TU86FC (9) (49) (9) (69) (79) (89) (12) TU 42 (22) (2) TU86S TU86F (42) (2) (62) (72) (82) ( ) S 4 E 42 (17) (27) TU86G TU86FG (7) (47) (7) (67) (77) ( 7 ) 주 ( 1 ) 리미트센서를취부한경우에허용가능한스트로트를표시합니다. ( ) 안의수치는슬라이드테이블 2 개밀착시의값입니다. 비고 1. 모터어터치먼트용부품은첨부품입니다. 본그림은고객사에서모터어터치먼트조립을시행한후, 완성상태를표시합니다. 2. 슬라이드테이블과트랙레일의치수는, 각각의크기치수표를참조해주십시오. 1 형식과크기 TU6C TU6FC TU6S TU6F TU6G TU6FG 트랙레일길이 1 전장 리드 리드 스트로크 ( 1 ) S E ( ) 7 ( ) (14) 17 (12) (24) 27 (22) (4) 7 (2) (44) 47 (42) (4) 7 (2) ( ) 7 ( ) (1) 17 () (2) 27 (2) () 7 () (4) 47 (4) () 7 () ( ) ( ) 44 2 ( ) 1 ( ) () 2 () 44 2 (2) (2) () 4 () (4) (4) 리드 2 리드 리드 리드 2 단위 Ⅱ-91 Ⅱ-92

61 정밀위치결정테이블 TU 볼스크류없는사양 형식과크기 트랙레일 사양 트랙레일길이 브릿지커버없음 브릿지커버부착 1 F 1 G 1 F 1 G 모터접이식하지않음 F 1 G 1 TU TU 모터접이식사양 형식과크기 TU 2 TU TU 4 트랙레일사양 모터접이식하지않음 모터접이식하지않음 모터접이식하지않음 모터접이식사양 모터접이식하지않음 단위 트랙레일길이 브릿지커버없음 브릿지커버부착 1 F 1 G 1 F 1 G 모터접이식하지않음 TU 모터접이식사양 TU 모터접이식하지않음 TU 1 모터접이식하지않음 비고슬라이드테이블과트랙레일의치수는, 각각의크기치수표를참조해주십시오. TU 모터접이식사양 Ⅱ-9 Ⅱ-94

62 TS M TS M Ⅱ-9 Ⅱ-96

63 정밀 위치 결정 테이블 TS M 볼스크류 직선 Points 높은 주행 정밀도와 위치 결정 정밀도 고속 및 롱 스트로크 위치 결정 테이블 볼스크류와 조합시켜, 높은 주행 정밀도와 高 정밀도 위치 결정을 실현하고 있습니다. 배드로 구성된 경량의 롱 스트로크 위치 결정 테이블 입니다. 슬라이드 테이블 TS M 1 高강도 알루미늄 합금 재질의 슬라이드 테이블과 브릿지 커버 2 리니어웨이 2세트 병렬로 조합 구성하여, 정밀 XY 브라켓으로 다축 시스템 구성이 가능 테이블 폭 치수 9에서 22까지 4가지 사이즈를 시리즈화. XY 브라켓에 의한 다축 구성도 용이합니다. 리니어웨이 다양한 제품군 형상 볼스크류 형식과 크기 테이블 폭 치수 () 스트로크 () TS 9 M 9 TS12 M 12 TS17 M 17 TS17SM 17 TS22 M 22 9 배드 주요 제품 사양 정밀도 17 단위 구동 정밀 볼스크류 반복 위치 결정 정밀도 ±.2 직동안내기기 리니어웨이 볼 타입 위치 결정 정밀도.1~.6 윤활 부품 내장 윤활 부품 C루브 내장 로스트 모션 ᅳ 테이블ᆞ배드의 재질 高강도 알루미늄 합금 테이블 운동의 평행도 A ᅳ 센서 표준 장착 테이블 운동의 평행도 B.2~.7 자세 정밀도 ᅳ 진직도 ᅳ 백레쉬. Ⅱ Ⅱ 98

64 호칭번호 호칭번호의배열예 TS 9 M - / AT21 1 형식 Ⅱ 99페이지 2 크기 Ⅱ 99페이지 스트로크 Ⅱ 99페이지 4 모터어터치먼트의지정 Ⅱ 99페이지 볼스크류의리드 Ⅱ 99페이지 표 2 모터어터치먼트의적용 A C 서보모터 사용모터의형식 종류메이커시리즈형식 스텝핑모터 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 히타치산기시스템 오리엔탈모터 Σ-Ⅴ J, J4 MINAS A AD α 스텝 RK CRK 주 ( 1 ) 모터출력축외경 φ8 로적용합니다. 비고모터상세사양은, 각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. 정격출력 W 플랜지각 TS 9M TS17M 모터어터치먼트 TS12M TS17SM TS22M SGMJV-1A AT21 AT21 4 SGMAV-1A AT21 AT21 SGMJV-2A AT22 AT SGMAV-2A AT22 AT22 HF-MP1, HG-MR1 AT21 AT21 4 HF-KP1, HG-KR1 AT21 AT21 HF-MP2, HG-MR2 AT22 AT HF-KP2, HG-KR2 AT22 AT22 MSMD1 AT2 AT2 8 MSME1 AT2 AT2 MSMD2 AT24 AT MSME2 AT24 AT24 ADMA-1 4 AT21 AT ADMA AT22 AT22 AR66 6 AT2 AT26 AR69 6 AT2 AT26 AR98 8 AT27 AT2 AR911 8 AT27 AT2 RK6ㆍCRK6( 1 ) 6 AT28 AT29 RK9 8 AT27 AT2 TS M 호칭번호와사양의상세사항 1 2 형식 크기 스트로크 TS M: 정밀위치결정테이블 크기는, 테이블폭치수를표시합니다. 표 1 에표시한크기로부터선택합니다. 표 1 에표시한스트로크로부터선택합니다. 표 1 크기와테이블폭치수및스트로크단위 형식과크기테이블폭치수스트로크 TS 9 M 9,,, 2, 2, TS12 M 12,, 2, 2,, 4,, 6 TS17 M 17, 2, 2,, 4, TS17S M 17, 4,, 6, 8, 1 TS22 M 22, 4,, 6, 8, 1 표 커플링의형식 모터어터치먼트 커플링의형식 메이커 커플링의관성 J C - ㆍ m 2 AT21 UA-2C- 8 8 사카이제작소.29 AT22 UA-C 사카이제작소 1.4 AT2 UA-2C- 8 8 사카이제작소.29 AT24 UA-C 사카이제작소 1.4 AT2 MSTS-2C- 8 나베야바이텍.71 AT26 MSTS-2C- 8 나베야바이텍.71 AT27 MSTS-2C 나베야바이텍 2.7 AT28 MSTS-2C- 8 8 나베야바이텍.2 AT29 MSTS-2C- 8 8 나베야바이텍.71 AT2 MSTS-2C 나베야바이텍 2.7 비고커플링의상세사양은, 각메이커카탈로그를참조하여주십시오. 4 모터어터치먼트의지정 볼스크류의리드 모터어터치먼트는표 2 에서선택합니다. ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ사용하시고자하는모터에적용되는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ표 에표시한커플링이본체에취부되어출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. ㆍ AC 서보모터용어터치먼트를지정한경우, 원점센서는첨부하지않습니다. : 리드 : 리드 Ⅱ-99 Ⅱ-

65 각종특성 표 4 정밀도단위 표 6 최대탑재질량 형식과크기스트로크반복위치결정정밀도위치결정정밀도테이블운동의평행도 B 백레쉬 TS 9 M TS12 M TS17 M TS17SM TS22 M ± ± ± ± 형식과크기 TS 9M TS12M TS17M TS17SM TS22M 표7 직동안내부의사양 /2 /2 슬라이드유닛 2 볼스크류의리드 Y 슬라이드유닛 1 X 최대탑재질량 수평 수직 TS M 슬라이드유닛 4 l /2 l l /2 슬라이드유닛 표 최고속도 모터의종류 AC 서보모터 스텝핑모터 형식과크기 TS 9 M TS12 M TS17 M TS17SM TS22 M TS 9 M TS12 M TS17 M TS17SM TS22 M 스트로크 비고실제최고속도는, 사용모터나부하조건등에대응하는운전패턴의검토가필요합니다. 리드 최고속도 /s 리드 2 6 이하 형식과크기 기본동정격하중 ( 1 ) C N Z 기본정정격하중 ( 1 ) C N TS 9 M TS12 M TS17 M TS17SM TS22 M 주 ( 1 ) 슬라이드유닛 1개당값입니다. X l Z 배치 Y d 구동위치 (Y d, Z d ) Y Z d Ⅱ-1 Ⅱ-2

66 각종특성 표 8.1 볼스크류사양 1 형식과크기 TS 9 M TS12 M TS17 M TS17SM TS22 M 리드 볼스크류외경 축방향틈새 기본동정격하중 C N 기본정정격하중 C N 표 8.2 볼스크류사양 2 단위 형식과크기 스트로크 볼스크류외경 전장 TS 9 M TS12 M TS17 M TS17SM TS22 M 표 9 테이블관성과기동토크 취부 형식과크기 TS 9 M TS12 M TS17 M TS17SM TS22 M 스트로크 리드 J T 테이블관성 - ㆍm 2 기동토크 T S Nㆍm 리드 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오 TS M Ⅱ- Ⅱ-4

67 센서사양 표 센서타이밍차트 모터어터치먼트의치수 TS9M TS12M M4깊이8 PCD46, 9 등분배치 2 4-M4 관통 PCD46, 9 등분배치 CW CCW AT21 φ8 φ28 φ +. AT21 φ8 φ +. 1 B A M 깊이 6 PCD4, 9 등분배치 2 4-M 깊이 6 PCD4, 9 등분배치 ON 원점 AT2 1 φ8 φ28 φ +. AT2 φ8 φ +. TS M C D OFF OFF 원점전 CCW 리미트 원점센서부착의경우커플링삽입량을표시합니다 ( 6) 4-M4 깊이 8 2 원점센서부착의경우 ( 7.) 커플링삽입량을표시합니다. 4-M4 관통 OFF 스트로크 CW 리미트 AT2 AT28 φ8 φ28 φ6 +.9 AT26 AT29 φ8 φ6 +.9 메카스토퍼 1 (E) (F) TS17M TS17SM 단위 형식과크기 볼스크류리드 A B C D E F TS 9 M 7 2 TS12 M TS17 M TS17SM TS22 M 비고 각센서의상세사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조해주십시오. AT21 AT2 AT2 AT28 원점센서부착의경우커플링삽입량을표시합니다 ( 6.) 1 φ8 φ8 φ8 φ28 φ28 φ28 φ +. φ +. φ M4 깊이 8 PCD46, 9 등분배치 4-M 깊이 6 PCD4, 9 등분배치 4-M4 깊이 8 AT22 AT24 AT27 원점센서부착의경우커플링삽입량을표시합니다 ( 17.) φ12 φ12 φ12 φ4 φ +.9 φ +.9 φ M 깊이 PCD7, 9 등분배치 4-M4 깊이 8 PCD7, 9 등분배치 4-M6 깊이 11 Ⅱ- Ⅱ-6

68 모터어터치먼트의치수 TS22M XY 브라켓 정밀위치결정테이블 은, 그림 2 에표시한 XY 브라켓 ( 알루미늄합금 ) 을사용하여다양한 2 축조합을구성할수있습니다. 의뢰하실때에는그림의호칭번호로지정해주십시오. 4-M 관통 PCD7, 9 등분배치 AT22 AT24 1 φ12 φ12 φ +.9 φ M4 깊이 8 PCD7, 9 등분배치 TS M 1 원점센서부착의경우커플링삽입량을표시합니다. 4 ( 17) 7 4-M6 깊이 12 AT2 φ12 φ4 φ 그림 1 2 축조합의구성예 Ⅱ-7 Ⅱ-8

69 XY 브라켓 TS9-AG TS12-AG TS9M 정밀위치결정테이블 4-M 탭홀 8 (B) 6 B 8 (2) 6 A M4 탭홀 M4 깊이 4-M 깊이 M4 깊이 8 TS M (4) (E 1 ) S/2 9 S/2 (E 2 ) (1.) 12 TS9-AGI TS12-AGI M4깊이 4-M4탭홀 4-M4깊이 M4탭홀 M깊이 4-M깊이 4-M탭홀 단위 스트로크치수 테이블치수 질량 호칭번호전장배드취부홀 ( 참고 ) S E 1 E 2 A B TS9M TS9M TS9M TS9M TS9M TS9M TS9-AGT TS12-AGT M4 깊이 4-M4 탭홀 M 깊이 4-M 탭홀 φ M4 탭홀 22. 그림 2 XY 브라켓 Ⅱ-9 Ⅱ-1

70 TS12M 정밀위치결정테이블 TS17M (B) C B (D) 8 A 8 D (B) 16 B A () C φ M 깊이 () (E 1 ) S/2 12 S/ (E 2 ) (1) M6깊이12 n-m6탭홀 6 4-M6탭홀 (6) (E 1 ) S/2 1 S/2 (E 2 ) TS M (1.) n-m 탭홀 22. φ 호칭번호 TS12M- 스트로크치수 S E 1 E 2 전장 테이블치수 배드취부홀 A B C D n TS12M TS12M 단위 질량 ( 참고 ) TS12M TS12M TS12M TS12M TS12M 호칭번호 TS17M- 스트로크치수 S E 1 E 2 전장 테이블치수 배드취부홀 A B C( 갯수 피치 ) n 단위 TS17M (2 17) TS17M (2 2) 9.1 질량 ( 참고 ) TS17M TS17M (2 2).4 TS17M (2 ) 11.6 Ⅱ-111 Ⅱ-112

71 TS17SM 정밀위치결정테이블 TS22M () 12 A 12 A 12 (7) (B) 16 B A M6 깊이 12 (2) (E 1 ) S/2 2 S/2 (E 2 ) (.) M8 깊이 16 4-M8 탭홀 TS M φ1 (2) (E 1 ) S/2 2 S/2 (E 2 ) ( 1 ) n-m6 탭홀 φ1 4 (1) 9 1 2( 1 ) n-m8 탭홀 2 호칭번호 TS17SM- 스트로크치수 S E 1 E 2 전장 테이블치수 배드취부홀 A( 갯수 피치 ) n 단위 질량 ( 참고 ) TS17SM TS17SM TS17SM TS17SM (2 16) TS17SM (2 21) 주 ( 1 ) AT27 에적합합니다. 호칭번호 TS22M- 단위 스트로크치수테이블치수질량 S E 1 E 2 전장 배드취부홀 A( 갯수 피치 ) B n ( 참고 ) 8 44 (2 22) TS22M (2 27) TS22M (2 2) TS22M (4 18) TS22M (4 2) TS22M (4 28) 주 ( 1 ) AT2 에적합합니다. Ⅱ-11 Ⅱ-114

72 TSH M CTH M TE TSH MᆞCTH M Ⅱ-11 Ⅱ-116

73 정밀위치결정테이블 H 볼스크류 TSH M 볼스크류 슬라이드테이블 리니어웨이 직선 배드 Points 1 高정밀도 高강성위치결정테이블高강성으로진동감쇠성이높은주철제슬라이드테이블과배드로구성된高정밀도ᆞ 高강성위치결정테이블입니다. 다양한제품군 2 높은주행정밀도와위치결정정밀도정밀연삭가공을한주철제슬라이드테이블과배드에리니어웨이 2세트병렬로조합구성하여, 정밀볼스크류와조합시켜, 높은주행정밀도와高 정밀도위치결정을실현하고있습니다. 高강성으로큰탑재질량하중에강한구조입니다. 高강성배드에 2 세트리니어웨이를최적으로 배치하여서, 탑재질량이크고, 모멘트나복합 TSH MᆞCTH M 형상 형식과크기 테이블폭치수 () 2 스트로크 () Y 테이블 12 TSH12M TSH22M 22 ( ) ( ) CTH M 2 TSH2M 2 ( ) ( ) ( ) X 테이블 TSH42M 42 ( ) 42 주요제품사양 정밀도 단위 구동 정밀볼스크류 반복위치결정정밀도 ±.2 직동안내기기 리니어웨이 ( 볼타입 ) 위치결정정밀도.~. 윤활부품내장 윤활부품 C 루브 내장 로스트모션 ᅳ 테이블 ᆞ 배드의재질 주철 테이블운동의평행도 A.~. 센서 표준장착 테이블운동의평행도 B ᅳ 자세정밀도 ᅳ 진직도.~.2 백레쉬.1 Ⅱ-117 Ⅱ-118

74 호칭번호 호칭번호와사양의상세사항 호칭번호의배열예 ( 단축사양 ) 형식 TSH M: 정밀위치결정테이블 H( 단축사양 ) TSH 12 M - / AT1 J R 2 크기 크기는, 테이블폭치수를표시합니다. 표 1 에표시한크기로부터선택합니다. 스트로크 표 1 에표시한스트로크로부터선택합니다. 1 형식 Ⅱ 12페이지 벨로우즈부착테이블은, 사용가능한스트로크가약간짧기때문에, 치수표를참조해주십시오. 표 1 크기와테이블폭치수및스트로크 단위 2 크기 Ⅱ 12페이지 스트로크 Ⅱ 12페이지 4 모터어터치먼트의지정 Ⅱ 12페이지 볼스크류의리드 Ⅱ 12페이지 형식과크기테이블폭치수스트로크 TSH12M 12,, 2, 2, TSH22M 22, 2, 2,, 4 (, 6) TSH2M 2, 4, ( 6, 8, 1 ) TSH42M 42, 6, 8 (1 ) 비고 ( ) 안에표시된스트로크를요청하실때에는, 로문의하여주십시오. 4 모터어터치먼트의지정 모터어터치먼트는표 에서선택합니다. ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ사용하시고자하는모터에적용되는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ표 4 에표시한커플링이본체에취부되어출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. ㆍ AC 서보모터용어터치먼트를지정한경우, 원점센서는첨부하지않습니다. TSH MᆞCTH M 6 벨로우즈의지정 Ⅱ 12페이지 볼스크류의리드 : 리드 : 리드 7 표면처리 Ⅱ 12페이지 6 벨로우즈의지정 무기호 : 벨로우즈없음 J : 벨로우즈부착 벨로우즈부착테이블은, 사용가능한스트로크가약간짧기때문에, 치수표를참조해주십시오. 7 표면처리 무기호 : 흑색크롬피막처리 R : 흑색크롬피막처리 1 : 흑색크롬피막처리 2 흑색크롬피막처리 : 리니어웨이, 볼스크류, 볼베어링을제외한주요부품에처리합니다. 흑색크롬피막처리 1: 상기의흑색크롬피막처리에추가로, 리니어웨이표면에도처리합니다. 흑색크롬피막처리 2: 흑색크롬피막처리 1 에추가로, 볼스크류및너트에도처리합니다. 흑색크롬피막처리는, 표면에흑색침투성피막을형성하여, 내식성을향상시킵니다. 본체상하면및각부품의기준면에대해서는, 표면처리가제거됩니다. Ⅱ-119 Ⅱ-12

75 호칭번호 호칭번호의배열예 (2 축사양 ) CTH 12 M - 2 / AT1 J R C 호칭번호와사양의상세사항 1 2 형식 크기 CTH M: 정밀위치결정테이블 H(2 축사양 ) 크기는, 테이블폭치수를표시합니다. 표 2 에표시한크기로부터선택합니다. 다른크기의테이블을조합시키는것도가능합니다. 1 형식 Ⅱ 122페이지 4 X 축스트로크 Y 축스트로크 표 2 에표시한스트로크로부터선택합니다. 여러축의스트로크를 cm 단위로표시합니다. X, Y 축에서지정가능한길이가다릅니다. 벨로우즈부착테이블은, 사용가능한스트로크가약간짧기때문에, 치수표를참조해주십시오. 2 크기 Ⅱ 122페이지 표 2 크기와테이블폭치수및스트로크 단위 X 축스트로크 Ⅱ 122 페이지 4 Y축스트로크 Ⅱ 122페이지 모터어터치먼트의지정 Ⅱ 122페이지 6 볼스크류의리드 Ⅱ 122페이지 7 벨로우즈의지정 Ⅱ 122페이지 형식과크기 테이블폭치수 CTH12M 12 CTH22M 22 CTH2M 2 X 축 스트로크 Y 축 TSH MᆞCTH M 8 표면처리 Ⅱ 122페이지 모터어터치먼트의지정 모터어터치먼트는표 에서선택합니다. 9 조합방향의지정 Ⅱ 122페이지 ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ사용하시고자하는모터에적용되는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ표 4 에표시한커플링이본체에취부되어출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. ㆍ AC 서보모터용어터치먼트를지정한경우, 원점센서는첨부하지않습니다. 6 볼스크류의리드 : 리드 : 리드 7 벨로우즈의지정 무기호 : 벨로우즈없음 J : 벨로우즈부착 벨로우즈부착테이블은, 사용가능한스트로크가약간짧기때문에, 치수표를참조해주십시오. 8 표면처리 무기호 : 흑색크롬피막처리 R : 흑색크롬피막처리 1 : 흑색크롬피막처리 2 흑색크롬피막처리 : 리니어웨이, 볼스크류, 볼베어링을제외한주요부품에처리합니다. 흑색크롬피막처리 1: 상기의흑색크롬피막처리에추가로, 리니어웨이표면에도처리합니다. 흑색크롬피막처리 2: 흑색크롬피막처리 1 에추가로, 볼스크류및너트에도처리합니다. 흑색크롬피막처리는, 표면에흑색침투성피막을형성하여, 내식성을향상시킵니다. 본체상하면및각부품의기준면에대해서는, 표면처리가제거됩니다. 9 조합방향의지정 무기호 : 정방향 C : 역방향 정방향 :X 축모터측을앞에두고, Y 축모터측이오른쪽이되는조합의방향. 역방향 :X 축모터측을앞에두고, Y 축모터측이왼쪽이되는조합의방향. Ⅱ-121 Ⅱ-122

76 호칭번호와사양의상세사항 표 모터어터치먼트의적용 사용모터의형식 종류메이커시리즈형식 AC 서보모터 스텝핑모터 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 히타치산기시스템 오리엔탈모터 주 ( 1 ) 모터출력축외경 φ8 로적용합니다. 비고모터상세사양은, 각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. 표 4 커플링의형식 모터어터치먼트 정격출력 W 플랜지각 모터어터치먼트 TSH12M TSH22M TSH2M CTH12M CTH22M CTH2M TSH42M SGMJV-1A AT1 4 SGMAV-1A AT1 Σ-Ⅴ SGMJV-2A AT2 AT 2 SGMAV-2A AT2 AT 6 SGMJV-4A AT AT4 4 SGMAV-4A AT AT4 SGMJV-8A AT AT6 7 8 SGMAV-8A AT AT6 HF-MP1, HG-MR1 AT1 4 HF-KP1, HG-KR1 AT1 J. J4 HF-MP2, HG-MR2 AT2 AT 2 HF-KP2, HG-KR2 AT2 AT 6 HF-MP4, HG-MR4 AT AT4 4 HF-KP4, HG-KR4 AT AT4 HF-MP7, HG-MR7 AT AT6 7 8 HF-KP7, HG-KR7 AT AT6 MSMD1 AT7 8 MSME1 AT7 MSMD2 AT8 AT9 AT11 2 MSME2 AT8 AT9 AT11 MINAS A 6 MSMD4 AT AT12 4 MSME4 AT AT12 MSME8 AT1 AT MSME8 AT1 AT14 ADMA-1 4 AT AD ADMA-2 2 AT2 AT ADMA AT AT4 - ADMA AT AT6 α스텝 AR66 AT1 6 AR69 AT1 AR98 AT17 AT18 8 AR911 AT17 AT18 RK RK6ㆍCRK6( 1 ) 6 AT16 CRK RK9 8 AT17 AT18 커플링의형식 메이커 커플링의관성 J C - ㆍ m 2 AT1 UA-2C- 8 8 사카이제작소.29 AT2 UA-C 사카이제작소.6 AT UA-C 사카이제작소 1.4 AT4 UA-C-14 1 사카이제작소 1.4 AT UA-4C-1 19 사카이제작소 2.61 AT6 UA-4C-1 19 사카이제작소 2.61 AT7 UA-2C- 8 8 사카이제작소.29 AT8 UA-C 사카이제작소.6 AT9 UA-C 사카이제작소 1.4 AT UA-C 사카이제작소 1.4 AT11 UA-C-11 1 사카이제작소 1.4 AT12 UA-C-14 1 사카이제작소 1.4 AT1 UA-4C-1 19 사카이제작소 2.61 AT14 UA-4C-1 19 사카이제작소 2.61 AT1 MSTS-2C- 8 나베야바이텍.71 AT16 MSTS-2C- 8 8 나베야바이텍.71 AT17 MSTS-2C 나베야바이텍 2.7 AT18 MSTS-4C-14 1 나베야바이텍 9. 비고 커플링의상세사양은, 각메이커카탈로그를참조하여주십시오. 각종특성 표 정밀도 축사양2축사양형식과크기 X축 Y TSH12M 축단TSH22M TSH2M TSH42M CTH12M CTH22M CTH2M 표 6 최고속도 모터의종류 AC 서보모터 스텝핑모터 스트로크 반복위치결정정밀도 위치결정정밀도 테이블운동의평행도 A 진직도 XY 운동의직각도 단위 백레쉬... 2 ± ± ± ± ± ± ± 형식과크기 최고속도 /s 단축사양 2축사양 리드 리드 TSH12M CTH12M TSH22M CTH22M 2 TSH2M TSH42M CTH2M TSH12M CTH12M TSH22M CTH22M TSH2M CTH2M 비고실제최고속도는, 사용모터나부하조건등에대응하는운전패턴의검토가필요합니다. TSH MᆞCTH M Ⅱ-12 Ⅱ-124

77 각종특성 표 7 최대탑재질량 표 8 직동안내부의사양 형식과크기 TSH12M TSH22M TSH2M TSH42M /2 /2 슬라이드유닛 2 볼스크류의리드 l/2 l/2 슬라이드유닛 1 슬라이드유닛 4 l 슬라이드유닛 Y X 수평 최대탑재질량 수직 표 9.1 볼스크류사양 1 형식과크기 TSH12M TSH22M TSH2M TSH42M 표 9.2 볼스크류사양 2 리드 볼스크류외경 축방향틈새 기본동정격하중 C N 기본정정격하중 C N 형식과크기 스트로크 볼스크류외경 전 장 26 6 TSH12M TSH22M TSH2M TSH42M 단위 TSH MᆞCTH M Z Z 구동위치 (Y d, Z d ) X Y 형식과크기 기본동정격하중 ( 1 ) C N 기본정정격하중 ( 1 ) C N TSH12M TSH22M TSH2M TSH42M 주 ( 1 ) 슬라이드유닛 1 개당값입니다. l 배치 Y d Z d Ⅱ-12 Ⅱ-126

78 각종특성 표 테이블관성과기동토크 센서사양 표 11.1 센서타이밍차트 ( 벨로우즈없음 ) 형식과크기 스트로크 J T 테이블관성 기동토크 T S - ㆍm 2 Nㆍm 축사양2축사양X축 Y축리드 리드 리드 리드 TSH12M 단TSH22M TSH2M TSH42M CTH12M CTH22M CTH2M 비고 2 축사양테이블은, X 축값을표시합니다. Y 축값은, 단축사양의값을참조해주십시오. 취부 형식과크기 TSH12M TSH22M TSH2M TSH42M 볼스크류의 리드 OFF (E) A B C D E F 비고 1. 각센서의상세사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조해주십시오 축사양테이블은, 각축모두단축사양테이블과동일합니다. CW 스트로크 CCW B C D ON (F) A OFF OFF 원점 원점전 CCW 리미트 CW 리미트 메카스토퍼 단위 TSH MᆞCTH M 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. Ⅱ-127 Ⅱ-128

79 센서사양 표 11.2 센서타이밍차트 ( 벨로우즈부착 ) 모터어터치먼트의치수 TSH12M, CTH12M TSH2M, CTH2M M4 깊이 8 PCD46, 9 등분배치 M 깊이 PCD7, 9 등분배치 CW CCW AT1 φ8 φ +. AT4 φ1 φ OFF (E) 스트로크 형식과크기 볼스크류리드 A B C D E F TSH12M-/J 7. 7 TSH12M-/J TSH12M-2/J TSH12M-2/J TSH12M-/J 8 7 TSH22M-/J TSH22M-2/J TSH22M-2/J TSH22M-/J TSH22M-4/J TSH2M-/J 8 7 TSH2M-4/J 9 7 TSH2M-/J 9 7 TSH42M-/J 9 7 TSH42M-6/J 9 7 TSH42M-8/J 11 7 비고1. 각센서의상세사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조해주십시오. 2. 2축사양테이블은, 각축모두단축사양테이블과동일합니다. B C ON D (F) A OFF OFF 원점 원점전 CCW 리미트 CW 리미트 메카스토퍼 단위 AT2 AT7 AT8 AT1 AT16 원점센서부착의경우 커플링삽입량을표시합니다. 2 모터브라켓 모터브라켓 모터어터치먼트 ( ) 1 φ8 φ8 φ8 φ φ +.9 φ φ8 φ φ +.9 모터어터치먼트 TSH22M, CTH22M AT AT9 AT 원점센서부착의경우커플링삽입량을표시합니다. ( 1) φ φ12 φ12 φ +.9 φ 드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) M 관통 ( 모터브라켓에가공 ) PCD7, 9 등분배치 4-M깊이6 PCD4, 9 등분배치 4-4. 드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) 4-M4 깊이 8( 모터브라켓에가공 ) PCD7, 9 등분배치 4-M4 깊이 8 4-M 깊이 PCD7, 9 등분배치 8 4-M4 깊이 8 PCD7, 9 등분배치 8 4-M6 관통 AT AT11 AT12 AT1 AT18 TSH42M AT6 AT14 원점센서부착의경우커플링삽입량을표시합니다 (6) φ1 φ4 φ4 모터어터치먼트모터브라켓 ( 16) φ1 11 φ φ 모터어터치먼트모터브라켓 모터어터치먼트모터브라켓 모터어터치먼트 1 모터브라켓 2 1 φ1 φ44 φ φ1 φ +.9 φ1 φ φ φ1 φ φ M6 관통 PCD9, 9 등분배치 드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) 4-M 깊이 ( 모터브라켓에가공 ) PCD9, 9 등분배치 12 4-M6깊이11 PCD9, 9 등분배치 M4깊이8 PCD7, 9 등분배치 4-6 드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) 4-M 관통 ( 모터브라켓에가공 ) PCD9, 9 등분배치 M6 관통 TSH MᆞCTH M AT17 φ12 φ φ Ⅱ-129 Ⅱ-1

80 TSH12M 정밀위치결정테이블 H TSH22M 1 (.7) 12 4-M 깊이 M 깊이 M8깊이16 4-M깊이 ( 1 ) (2) S/2 1 S/2 (2) (1) S/2 22 S/2 (1) 47 9 TSH MᆞCTH M (12.) A A (2) A 18 A n-m8 탭홀 8-M 탭홀 단위 호칭번호 스트로크 S 전장 배드취부홀 A 단위 질량 ( 참고 ) TSH12M TSH12M TSH12M TSH12M TSH12M 주 ( 1 ) AT2, AT8 를선택했을때는 21 가됩니다. 호칭번호 스트로크 S 전장 배드취부홀 질량 ( 참고 ) A( 갯수 피치 ) n TSH22M TSH22M TSH22M TSH22M TSH22M (2 ) (TSH22M-) 7 26 (2 1) (TSH22M-6) 6 8 (2 1) 12 1 비고 ( ) 안에표시한호칭번호의제품을요청하실때에는, 로문의하여주십시오. Ⅱ-11 Ⅱ-12

81 TSH2M 정밀위치결정테이블 H TSH42M 4-M 깊이 M8 깊이 16 4-M 깊이 M 깊이 ( 1 ) (1) S/2 2 S/2 (1) (1) S/2 42 S/2 (1) 1( 1 ) TSH MᆞCTH M (2) A 28 A n-m 탭홀 () A 8 A 19.2 호칭번호 스트로크 S 전장 단위 배드취부홀 질량 ( 참고 ) A( 갯수 피치 ) n TSH2M TSH2M TSH2M (TSH2M- 6) (TSH2M- 8) (2 2) (TSH2M-) 1 1 (2 2) 주 ( 1 ) AT 를선택했을때는 26 가됩니다. AT1 을선택했을때는 2 가됩니다. 비고 ( ) 안에표시한호칭번호의제품을요청하실때에는, 로문의하여주십시오. 호칭번호 스트로크 S 전장 배드취부홀 질량 ( 참고 ) A( 갯수 피치 ) n TSH42M TSH42M TSH42M (2 2) (TSH42M-) (2 2) 주 ( 1 ) 모터브라켓만의치수를표시합니다. AT6 을선택했을때는 27 가됩니다. AT14 을선택했을때는 2 가됩니다. 비고 ( ) 안에표시한호칭번호의제품을요청하실때에는, 로문의하여주십시오. n-m 탭홀 단위 Ⅱ-1 Ⅱ-14

82 CTH12M 정밀위치결정테이블 H CTH22M 1( 1 ) Y M 깊이 Y M 깊이 TSH MᆞCTH M 18 8-M 탭홀 4-M 깊이 n-m8 탭홀 4-M8 깊이 (12.) A A 12. (2) A 18 A 2 X 1( 1 ) X 1 호칭번호 스트로크 S 전장배드취부홀 X축 Y축 X Y A 단위 질량 ( 참고 ) CTH12M CTH12M CTH12M CTH12M CTH12M 주 ( 1 ) AT2, AT8 를선택했을때는 21 가됩니다. 비고상기이외의스트로크나다른크기의테이블조합도대응가능하기때문에, 로문의해주십시오. 호칭번호 단위 스트로크 S 전장배드취부홀질량 ( 참고 ) X 축 Y 축 X Y A( 갯수 피치 ) n CTH22M CTH22M CTH22M CTH22M (2 ) 12 8 CTH22M (2 ) 비고상기이외의스트로크나다른크기의테이블조합도대응가능하기때문에, 로문의해주십시오. Ⅱ-1 Ⅱ-16

83 CTH2M 정밀위치결정테이블 H TSH12M /J 벨로우즈부착테이블 12 4-M 깊이 ( 1 ) Y 1( 1 ) M8 깊이 16 1 (.7) (7.) 1( 2 ) (2.) E S/2 1 S/2 E (2.) 12 TSH MᆞCTH M M 탭홀 2 4-M 깊이 2 호칭번호 스트로크 S 전장 E 질량 ( 참고 ) TSH12M-/J TSH12M-/J TSH12M-2/J TSH12M-2/J TSH12M-/J 단위 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. 주 ( 2 ) AT2, AT8를선택했을때는 21가됩니다. 비고1. 수직축으로사용하는경우에는벨로우즈치수가달라지기때문에, 로문의하여주십시오. 2. 배드취부방법에대해서는, TSH12M 치수표를참조해주십시오 (2) A 28 A 2 X 1( 1 ) 단위 호칭번호 스트로크 S 전장배드취부홀 X축 Y축 X Y A 질량 ( 참고 ) CTH2M CTH2M CTH2M CTH2M CTH2M 주 ( 1 ) AT 를선택했을때는 26 가됩니다. AT1 을선택했을때는 2 가됩니다. 비고상기이외의스트로크나다른크기의테이블조합도대응가능하기때문에, 로문의해주십시오. Ⅱ-17 Ⅱ-18

84 정밀위치결정테이블 H TSH22M /J, TSH2M /J, TSH42M /J 벨로우즈부착테이블 CTH12M /J 벨로우즈부착테이블 W (t) 1( 1 ) (.2) E S/2 W S/2 E (.2) 호칭번호 스트로크 S 전장 TSH22M- /J 1 4 W H E t 단위 질량 ( 참고 ) TSH22M- 2/J TSH22M- 2/J 18 8 TSH22M- /J TSH22M- 4/J (TSH22M- /J) (TSH22M- 6/J) TSH2M- /J 2 6 TSH2M- 4/J TSH2M- /J (TSH2M- 6/J) (TSH2M- 8/J) (TSH2M-/J) TSH42M- /J 4 9 TSH42M- 6/J TSH42M- 8/J (TSH42M-/J) 주 ( 1 ) AT 를선택했을때는 26 가됩니다. AT6 를선택했을때는 27 가됩니다. AT1 을선택했을때는 2 가됩니다. AT14 를선택했을때는 2 가됩니다. 비고 1. 수직축으로사용하는경우에는벨로우즈치수가달라지기때문에, 로문의하여주십시오. 2. ( ) 안에표시한호칭번호의제품을요청하실때에는, 로문의하여주십시오.. 취부방법에대해서는, TSH22M, TSH2M, TSH42M 의치수표를참조해주십시오. 6 W 4 18 H 호칭번호 Y (7.) 1( 1 ) (7.) X 1( 1 ) 7 스트로크 S 배드전장질량 ( 참고 ) X 축 Y 축 X Y CTH12M-/J CTH12M-2/J CTH12M-22/J CTH12M-2/J CTH12M-/J 주 ( 1 ) AT2, AT8 를선택했을때는 21 가됩니다. 비고 1. 수직축으로사용하는경우에는벨로우즈치수가달라지기때문에, 로문의하여주십시오. 2. 취부방법에대해서는, TSH12M 치수표를참조해주십시오 M 깊이 단위 TSH MᆞCTH M Ⅱ-19 Ⅱ-14

85 정밀위치결정테이블 H CTH22M /J 벨로우즈부착테이블 CTH2M /J 벨로우즈부착테이블 Y (8.2) 1 X (8.2) 1 Y (9.2) 1( 1 ) (9.2) X 1( 1 ) TSH MᆞCTH M 호칭번호 스트로크 S 배드전장질량 ( 참고 ) X 축 Y 축 X Y CTH22M-22/J CTH22M-2/J CTH22M-/J CTH22M-4/J CTH22M-44/J 비고 1. 수직축으로사용하는경우에는벨로우즈치수가달라지기때문에, 로문의하여주십시오. 2. 취부방법에대해서는, TSH22M 치수표를참조해주십시오. 단위 호칭번호 스트로크 S 배드전장질량 ( 참고 ) X 축 Y 축 X Y CTH2M-/J CTH2M-4/J CTH2M-44/J CTH2M-4/J CTH2M-/J 주 ( 1 ) AT 를선택했을때는 26 가됩니다. AT1 을선택했을때는 2 가됩니다. 비고 1. 수직축으로사용하는경우에는벨로우즈치수가달라지기때문에, 로문의하여주십시오. 2. 취부방법에대해서는, TSH2M 치수표를참조해주십시오. 단위 Ⅱ-141 Ⅱ-142

86 TX M CTX M TX MᆞCTX M Ⅱ-14 Ⅱ-144

87 高정밀 위치 결정 테이블 TX 볼스크류 TX M 직선 Points 슬라이드 테이블 롤러 안내 방식으로 궁극의 高정밀도 테이블 볼스크류 1 2 高정밀도ᆞ高강성인 정밀 위치 결정 테이블 H를 베이스로, 궁극의 롤러 안내 C루브 리니어롤러웨이 슈퍼X를 조합 구성하여, 각부 정밀도를 철저하게 추구해, 에어 스테이지에 요구하는 위치 결정 정밀도를 실현한 위치 리니어롤러웨이 결정 테이블 입니다. 리니어 엔코더 분해능.16μm의 超高정밀도 리니어 엔코더로 부터 위치 정보를 다이렉트로 피드백하여 풀 헤드 스케일 크로스 루프 제어를 구성하고, 스트로크 전역의 위치 결정 정밀도를 보증하고 있습니다. 롤러 타입 직동안내기기의 채택으로 궁극의 주행 성능을 실현 高정밀도로 가공ᆞ조립 구성한 부품과 롤러 안내기기로 최고 레벨의 주행 성능을 발휘하는 Ｃ 루브 리니어롤러웨이 슈퍼X를 조합하였기 때문에, 궁극의 주행 정밀도가 얻어 집니다. 위치 결정 정밀도 Y 테이블 배드 시료 : CTX22M-4 X축 피칭 Y축 피칭 자세 정밀도 초 시료 : CTX22M-4 X축 Y축 스트로크 CTX M X축 요잉 Y축 요잉 스트로크 심플한 시스템 구성이 가능 4 에어 스테이지와 같은 구동용 에어 공급 장치 등이 불필요하기 때문에, 시스템 구성이 심플하게 되고, 스페이스 절감 및 장치 코스트 절감이 가능합니다. 다양한 제품군 X 테이블 형상 주요 제품 사양 정밀도 형식과 크기 테이블 폭 치수 () TX12M 스트로크 () TX22M 22 TX2M 2 TX42M 단위 구동 정밀 볼스크류 반복 위치 결정 정밀도 ±.~. 직동안내기기 리니어롤러웨이(롤러 타입) 위치 결정 정밀도.~.2 22 윤활 부품 내장 윤활 부품 C루브 내장 로스트 모션.1 테이블ᆞ배드의 재질 주철 테이블 운동의 평행도 A.~.11 센서 표준 장착 테이블 운동의 평행도 B ᅳ 자세 정밀도 ~11초 진직도.~.8 백레쉬 ᅳ Ⅱ Ⅱ 146 TX MᆞCTX M 超高정밀도 리니어 엔코더 탑재에 따른 높은 위치 결정 정밀도와 분해능을 실현 리미트 센서

88 호칭번호 호칭번호의배열예 ( 단축사양 ) TX 22 M - / AT42 호칭번호 호칭번호의배열예 (2 축사양 ) CTX 12 M - 2 / AT41 C 1 형식 Ⅱ 148페이지 1 형식 Ⅱ 147페이지 2 크기 Ⅱ 148페이지 2 크기 Ⅱ 147페이지 4 X 축스트로크 Y 축스트로크 Ⅱ 148 페이지 Ⅱ 148 페이지 스트로크 Ⅱ 147페이지 4 모터어터치먼트의지정 Ⅱ 147페이지 볼스크류의리드 Ⅱ 147페이지 6 리니어엔코더의지정 Ⅱ 147페이지 호칭번호와사양의상세사항 형식 크기 스트로크 모터어터치먼트의지정 볼스크류의리드 리니어엔코더의지정 Ⅱ-147 TX M: 高정밀위치결정테이블 TX( 단축사양 ) 크기는, 테이블폭치수를표시합니다. 표 1 에표시한크기로부터선택합니다. 표 1 에표시한스트로크로부터선택합니다. 모터어터치먼트는표 에서선택합니다. ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ사용하시고자하는모터에적용되는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ표 4 에표시한커플링이본체에취부되어출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. : 리드 : 리드 무기호 : 리니어엔코더없음 : 분해능.16~.μm ( 야스카와전기 AC 서보모터용 ) 1 : 분해능.1~.2μm ( 미쯔비시전기 및파나소닉 AC 서보모터용 ) 2 : 분해능.1~.μm ( 미쯔비시전기 및파나소닉 AC 서보모터용 ) 스텝핑모터용어터치먼트를지정할경우는, 무기호로해주십시오. 분해능의상세사항은, 최고속도의항목을참조하여주십시오. 리니어엔코더를지정할경우는, 표 을참조하여주십시오. 모터어터치먼트의지정 Ⅱ 148페이지 6 볼스크류의리드 Ⅱ 148페이지 7 조합방향의지정 Ⅱ 148페이지 8 리니어엔코더의지정 Ⅱ 148페이지 호칭번호와사양의상세사항 형식 크기 X 축스트로크 Y 축스트로크 모터어터치먼트의지정 볼스크류의리드 조합방향의지정 리니어엔코더의지정 CTX M: 高정밀위치결정테이블 TX(2 축사양 ) 크기는, 테이블폭치수를표시합니다. 표 2 에표시한크기로부터선택합니다. 다른크기의테이블을조합시키는것도가능합니다. 표 2 에표시한스트로크로부터선택합니다. 여러축의스트로크를 cm 단위로표시합니다. X, Y 축에다른길이를지정가능합니다. 모터어터치먼트는표 에서선택합니다. ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ사용하시고자하는모터에적용되는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ표 4 에표시한커플링이본체에취부되어출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. : 리드 : 리드 무기호 : 정방향 C : 역방향 정방향 :X 축모터측을앞에두고, Y 축모터측이오른쪽이되는조합의방향. 역방향 :X 축모터측을앞에두고, Y 축모터측이왼쪽이되는조합의방향. CTX22M 에서 Y 축스트로크 2 를선택했을경우는, 무기호로해주십시오. 무기호 : 리니어엔코더없음 : 분해능.16~.μm ( 야스카와전기 AC 서보모터용 ) 1 : 분해능.1~.2μm ( 미쯔비시전기 및파나소닉 AC 서보모터용 ) 2 : 분해능.1~.μm ( 미쯔비시전기 및파나소닉 AC 서보모터용 ) 스텝핑모터용어터치먼트를지정할경우는, 무기호로해주십시오. 분해능의상세사항은, 최고속도의항목을참조하여주십시오. 리니어엔코더를지정할경우는, 표 을참조하여주십시오. Ⅱ-148 TX MᆞCTX M

89 호칭번호와사양의상세사항 각종특성 표 1 크기와스트로크 표 정밀도 단위 표 2 크기와테이블폭치수및스트로크 형식과크기 테이블폭치수 CTX12M 12 CTX22M 22 표 모터어터치먼트의적용 사용모터의형식 종류메이커시리즈형식 A C 서보모터 스텝핑 모터 형식과크기 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 오리엔탈모터 테이블폭치수 스트로크 TX12M 12,, 2, 2, TX22M 22, 2, 2,, 4 TX2M 2, 4, TX42M 42, 6, 8 정격출력 W X 축 스트로크 Y 축 플랜지각 TX12M CTX12M 모터어터치먼트 TX22M CTX22M TX2M TX42M SGMAV-2A 2 AT41 Σ-Ⅴ SGMAV-4A 4 6 AT42 SGMAV-6A AT4 SGMAV-8A 7 8 AT44 HF-KP2, HG-KR2 2 AT41 6 J, J4 HF-KP4, HG-KR4 4 AT42 AT4 HF-KP7, HG-KR7 7 8 AT44 MSME2 2 AT4 6 MINAS A MSME4 4 AT46 AT47 MSME8 7 8 AT48 α스텝 AR66 AT49 6 AR69 AT49 AR98 AT411 AT412 8 AR911 AT411 AT412 RK RK6ㆍRKS6 6 AT4 RK9ㆍRKS9 8 AT411 AT412 비고자세한모터사양은각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. 축사양2축사양형식과크기 X축 Y TX12M TX22M 축단TX2M TX42M CTX12M CTX22M 스트로크 반복위치결정정밀도 위치결정정밀도. (.6) ±. 2 (±.1).4 2 (.8). (.6) 2 ±..4 2 (±.1) (.8) 4. (.1).4 ±. (.8) 4 (±.1). (.1). (.1) 6 ±..6 (±.1) (.16) 8.8 (.2). (.7) ±. (±.1) ±. (±.1) 주 ( 1 ) 리니어엔코더미부착시는백레쉬값을표시합니다. ( 2 ) 피칭및요잉을표시합니다. 비고 ( ) 는, 리니어엔코더미부착시의값을표시합니다.. (.).6 (.).8 (.) 로스트모션 ( 1 ) 테이블운동의평행도 A 자세정밀도 ( 2 ) 초 수직진직도 수평진직도 XY 운동의직각도.... TX MᆞCTX M 표 4 커플링의형식 모터어터치먼트커플링의형식메이커 커플링의관성 J C - ㆍ m 2 AT41 RA-C 사카이제작소.281 AT42 RA-C 사카이제작소.847 AT4 RA-C-14 1 사카이제작소.847 AT44 RA-4C-1 19 사카이제작소 1.6 AT4 RA-C 사카이제작소.281 AT46 RA-C 사카이제작소.847 AT47 RA-C-14 1 사카이제작소.847 AT48 RA-4C-1 19 사카이제작소 1.6 AT49 RA-C- 8 사카이제작소.281 AT4 RA-C- 8 8 사카이제작소.281 AT411 RA-C 사카이제작소.847 AT412 RA-C-14 1 사카이제작소.847 비고커플링의상세사양은, 각메이커카탈로그를참조해주십시오. Ⅱ-149 Ⅱ-

90 각종특성 표 6 야스카와전기모터사용시의최고속도 ( 리니어엔코더부착의경우 ) 분해능 μm/pulse 리드 최고속도 /s 리드 (224) 2 (224).12 2 (224) (448).2 2 (224) (448). 2 (224) (448) 주 ( 1 ) 시리얼교환유닛가첨부되어있습니다. 비고 1. ( ) 안의값은, TX2M 및 TX42M 에적용합니다. 2. 실제최고속도는, 부하조건등에따라변할수있습니다.. 최고속도를변경할경우는, 드라이버의전자기어비설정에의해분해능을변경해주십시오. 표 7 파나소닉 제품의모터사용시의최고속도 ( 리니어엔코더부착의경우 ) 분해능 μm/pulse 시리얼교환유닛 ( 1 ) JZDP-D--E 야스카와전기 최고속도 /s 리니어엔코더리드 리드 신호교환유닛 ( 1 ) APE71[TT ] 하이덴하인 (224) 264 APE71[TT ].2 2 (224) (448) 하이덴하인 주 ( 1 ) 분해능에대응하는리니어엔코더신호변환유닛이첨부되어있습니다. 비고 1. ( ) 안의값은, TX2M 및 TX42M 에적용합니다. 2. 실제최고속도는, 부하조건등에따라변할수있습니다.. 최고속도를변경할경우는, 본체에첨부된리니어엔코더신호교환유닛의내부스위치에의해분해능을변경해주십시오. 표 8 미쯔비시전기 모터사용시의최고속도 ( 리니어엔코더부착의경우 ) 분해능 μm/pulse 최고속도 /s 리니어엔코더리드 리드 신호교환유닛 ( 1 ) APE71[TT ] 하이덴하인 (224) 4 APE71[TT ].2 2 (224) (448) 하이덴하인 주 ( 1 ) 분해능에대응하는리니어엔코더신호변환유닛이첨부되어있습니다. 비고 1. ( ) 안의값은, TX2M 및 TX42M 에적용합니다. 2. 실제최고속도는, 부하조건등에따라변할수있습니다.. 최고속도를변경할경우는, 본체에첨부된리니어엔코더신호교환유닛의내부스위치에의해분해능을변경해주십시오. 표 9 리니어엔코더없음의경우의최고속도 모터의종류 형식과크기 TX12M TX22M AC 서보모터 TX2M TX42M TX12M 스텝핑모터 TX22M TX2M 비고 2축사양테이블은, 각축모두단축사양테이블과동일합니다. 리드 최고속도 /s 리니어엔코더 IP81 하이덴하인 리니어엔코더 IP81 하이덴하인 리니어엔코더 IP81 하이덴하인 리드 표 리니어엔코더의형식 항목 내용 형식 IP81R 메이커 하이덴하인 스케일본체재질 글래스 선팽창계수 / 8-6 정밀도등급 μm/m ±1 출력신호 정현파 신호주기 Vpp/4μm 1 최대조작속도 m/s 1.2 케이블직경 φ4. 케이블굴곡반경 이상 표 11 야스카와전기시리얼변환유닛사양 항목 내용 메이커 야스카와전기 형식 JZDP-D--E 신호분해능 입력 2상정현파피치의 1/26 최고응답주파수 khz 2 크기 질량.1 표 12 파나소닉, 미쯔비시전기 용리니어엔코더신호변환유닛사양 항목 내용 메이커 하이덴하인 형식 APE71[TT ] APE71[TT ] 신호분해능 내부스위치설정에따른 최고응답주파수 내부스위치설정에따른 변환기부 크기 컨넥터부 케이블길이 1 질량.2 표 1 최대탑재질량 형식과크기 TX12M TX22M TX2M TX42M 볼스크류의리드 최대탑재질량 수평 수직 TX MᆞCTX M Ⅱ-11 Ⅱ-12

91 각종특성 표 14 직동안내부의사양 /2 /2 형식과크기 표 1.1 볼스크류사양 1 형식과크기 TX12M TX22M TX2M TX42M 슬라이드유닛 2 슬라이드유닛 4 기본동정격하중 ( 1 ) C N 볼스크류 의종류 연삭볼스크류 연삭볼스크류 연삭볼스크류 연삭볼스크류 기본정정격하중 ( 1 ) C N TX12M TX22M TX2M TX42M 주 ( 1 ) 슬라이드유닛 1 개당값입니다. 비고 2 축사양테이블은, 각축모두단축사양테이블과동일합니다. 리드 비고 2 축사양테이블은, 각축모두단축사양테이블과동일합니다. Y l/2 l/2 l Z 슬라이드유닛 1 슬라이드유닛 볼스크류외경 X X l 축방향틈새 기본동정격하중 C N 기본정정격하중 C N 배치 Z 구동위치 (Y d, Z d ) Y d Y Z d 표 1.2 볼스크류사양 2 형식과크기스트로크볼스크류외경전장 TX12M TX22M TX2M TX42M 표 16 테이블관성과기동토크 단축사양2축사양형식과크기 TX12M TX22M TX2M TX42M CTX12M CTX22M X 축 스트로크 Y 축 리드 테이블관성 J T - ㆍ m 2 커플링 리드 비고 2 축사양테이블은, X 축값을표시합니다. Y 축값은, 단축사양의테이블을참조해주십시오. 관성 J C - ㆍ m 2 단위 기동토크 T S N ㆍ m TX MᆞCTX M 취부 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. Ⅱ-1 Ⅱ-14

92 센서사양 표 17 센서타이밍차트 모터어터치먼트의치수 TX12M, CTX12M TX22M, CTX22M 드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) 4-M 관통 ( 모터브라켓에가공 ) PCD7, 9 등분배치 φ M깊이 PCD7, 9 등분배치 C W CCW AT41 φ8 φ φ +.9 AT42 φ A 모터브라켓 모터어터치먼트 4-4. 드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) 4-M4 깊이 8( 모터브라켓에가공 ) PCD7, 9 등분배치 φ12 φ M4깊이8 PCD7, 9 등분배치 8 B ON AT4 φ8 φ φ +.9 AT46 1 ON G C OFF S/2( 1 ) S/2( 1 ) OFF 원점 ( 리니어엔코더없음 ) 원점 ( 리니어엔코더 ) 원점전 ( 포토센서 ) CW리미트 ( 포토센서 ) AT49 AT4 모터브라켓 2 원점센서부착의경우의커플링삽입량을표시합니다 ( 9.) 모터어터치먼트 φ8 φ M4 깊이 8 6 AT411 원점센서부착의경우의커플링삽입량을표시합니다. 42 ( 1) φ φ12 1 φ M6 관통 8 TX MᆞCTX M OFF CCW 리미트 ( 포토센서 ) 1 메카스토퍼 TX2M TX42M 형식과크기 TX12M TX22M TX2M TX42M (E) 볼스크류의 리드 A B C E F G /2( 1 ) /2( 1 ) /2( 1 ) /2( 1 ) 주 ( 1 ) Ⅱ 17~Ⅱ 162 페이지의치수표를참조해주십시오. 비고 1. 각센서의상세사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조해주십시오 축사양테이블은, 각축모두단축사양테이블과동일합니다. (F) 단위 AT4 AT47 원점센서부착의경우의커플링삽입량을표시합니다 ( 12) φ1 1 φ1 1 φ1 φ φ +.9 φ +.9 φ M 깊이 PCD7, 9 등분배치 8 4-M4 깊이 8 PCD7, 9 등분배치 8 4-M6 관통 8 AT44 AT M6깊이12 PCD9, 9 등분배치 42. φ1 1 φ1 1 φ φ M 깊이 PCD9, 9 등분배치 12 AT412 1 Ⅱ-1 Ⅱ-16

93 高정밀위치결정테이블 TX TX12M TX22M 4-M 깊이 4-M 깊이 4-M8 깊이 16 4-M 깊이 (4.2) n-m8 탭홀 8 12 리니어엔코더 1 21( 1 ) (2.) n-m 탭홀 리니어엔코더 (4) 9 TX MᆞCTX M (1) S/2 22 S/2 (1) (2) S/2 1 S/2 (2) 47 (12.) 호칭번호 스트로크 S 전장 단위 배드취부홀질량 ( 참고 ) A B C n TX12M TX12M TX12M TX12M TX12M 주 ( 1 ) AT41, AT4 에적용합니다. C B A A 12. B C (2) A 18 A 2 호칭번호 스트로크 S 전장 단위 배드취부홀 질량 ( 참고 ) A( 갯수 피치 ) n TX22M TX22M TX22M TX22M TX22M (2 ) Ⅱ-17 Ⅱ-18

94 TX2M 高정밀위치결정테이블 TX TX42M 4-M 깊이 2 4-M8 깊이 M 깊이 2 4-M 깊이 리니어엔코더 (4) 12 8-M 탭홀 29 9 리니어엔코더 (4) 14 n-m 탭홀 TX MᆞCTX M (1) S/2 42 S/2 (1) (1) S/2 2 S/2 (1) 74 6 () A 8 A (2) 호칭번호 A 스트로크 S 28 전장 배드취부홀 A 단위 질량 ( 참고 ) TX2M TX2M TX2M A 2 호칭번호 스트로크 S 전장 단위 배드취부홀 질량 ( 참고 ) A( 갯수 피치 ) n TX42M TX42M TX42M (2 2) Ⅱ-19 Ⅱ-16

95 高정밀위치결정테이블 TX CTX12M CTX22M Y 21( 1 ) 1 (.7) M 깊이 n-m 탭홀 1 Y M 깊이 TX MᆞCTX M 4-M 깊이 리니어엔코더 리니어엔코더 n-m8 탭홀 4-M 깊이 16 (.7) (CTX12M-2 의경우만 ) 7 (CTX12M-2 의경우만 ) (12.) A A X 21( 1 ) 2 A 18 A 2 X 1 호칭번호 스트로크 S 전장배드취부홀질량 ( 참고 ) X 축 Y 축 X Y A n CTX12M CTX12M CTX12M CTX12M 주 ( 1 ) AT41, AT4에적용합니다. 비고 상기이외의스트로크나다른크기의테이블조합, 케이블베어사양제작도대응가능하기때문에, 로문의해주십시오. 단위 호칭번호 단위 스트로크 S 전장배드취부홀질량 ( 참고 ) X 축 Y 축 X Y A( 갯수 피치 ) n CTX22M CTX22M CTX22M CTX22M (2 ) 비고상기이외의스트로크나다른크기의테이블조합, 케이블베어사양제작도대응가능하기때문에, 로문의해주십시오. Ⅱ-161 Ⅱ-162

96 TC EB TC EB Ⅱ-16 Ⅱ-164

97 크린 정밀 위치 결정 테이블 TC TC EB 볼스크류 직선 1 경량ᆞ저단면ᆞ컴팩트한 정밀 위치 결정 테이블 TE를 베이스로, 테이블 내부의 밀폐성을 높인 구조의 위치 슬라이드 테이블 2 Ⅱ-167페이지 슬라이드 테이블내의 수지제 롤러로 스텐레스 시트를 경량 저단면 컴팩트한 크린 테이블 커플링 커버 모터 브라켓 Points 청정도 클래스 대응 사이드 커버에 꽉 눌려, 강력한 마그네트 시트로 확실히 흡착해, 구동 부분이나 슬라이드 테이블 안내부를 밀폐. 밀폐 공간으로 부터 공기를 흡인하는 것으로, 주변에서의 분진 발생을 막아, 측정 결정 테이블. 직동안내부와 볼스크류의 최적 설계에 방법에 의한 청정도 평가로 클래스 을 실현하고 의해 높이 치수는, TCEB가, TC6EB가 있습니다. 슬라이그 테이블 안내부와 볼스크류 에는, 4, TC86EB가 67의 저단면을 실현하고 크린 환경용 低발진 그리스 CG을 주입하여, 발진을 있습니다. 센서는, 사이드 커버의 센서 설치용 홈에 억제하고 있습니다. 직접 설치하는 구조이므로, 스페이스 절감에도 수지제 롤러 리니어웨이 스텐레스 시트 슬라이드 테이블 사이드 커버 사이드 커버 패킹 패킹 高내식성 사이드 커버 주요 구성 부품은, 알루마이트 처리를 한 高강도 진공 배관 처리용 볼트 스텐레스 시트 알루미늄 합금과 스텐레스강(스텐레스 시트)를 사용하고 있어, 내식성에 우수합니다. 마그네트 시트 밀폐 구조 볼스크류 배드 다양한 제품군 형상 엔드 브라켓 형식 TC EB 배드 폭 치수() 6 86 진공 배관 처리용 볼트 주요 제품 사양 정밀도 단위 구동 정밀 볼스크류 반복 위치 결정 정밀도 ±.2 직동안내기기 리니어웨이 볼 타입 위치 결정 정밀도.~.6 윤활 부품 내장 윤활 부품 C루브 내장 로스트 모션 ᅳ 테이블ᆞ배드의 재질 高강도 알루미늄 합금 테이블 운동의 평행도 A ᅳ 센서 호칭번호에서 선택 테이블 운동의 평행도 B.8~.16 자세 정밀도 ᅳ 진직도 ᅳ 백레쉬. Ⅱ 16 Ⅱ 166 TC EB 공헌합니다.

98 크린정밀위치결정테이블 TC 청정도측정에관하여 청정도실측데이터 청정도란, 단위체적당부유입자의크기 ( 입자직경 ) 와갯수로공기의청정한정도를분류한것입니다. 그럼, 이하에표시한방법에따라청정도측정을시행하고있습니다. 측정데이터예 [ 청정도클래스상한농도그래프 ] 측정조건 시험장치외관 TCEB ( 볼스크류의리드 :4) 스트로크 : 속도 :2/s 흡인량 :/min TCEB ( 볼스크류의리드 :8) 스트로크 :2 속도 :4/s 흡인량 :/min 항 목 내 용 클래스 상한 클래스 상한 측정기기측정부공기유속측정공기량측정시간 파티클카운터 2.m/s 28.(1cf) 48h(min/ 회, 1회 /h) 입자농도개 /m 1 TC6EB ( 볼스크류의리드 :) 측정치 클래스 4 상한 클래스 상한 클래스 2 상한 클래스1 상한.1μm이상.2μm이상.μm이상.μm이상입자직경 스트로크 :2 속도 :/s 흡인량 :/min 입자농도개 /m 1 클래스 4 상한 클래스 상한 클래스 2 상한 클래스1 상한 측정치.1μm이상.2μm이상.μm이상.μm이상입자직경 TC6EB6 스트로크 : 속도 :/s 흡인량 :/min ( 볼스크류의리드 :) TC EB 시험장치개략도 클래스 상한 클래스 상한 측정환경 크린룸내크린벤치 ( 아크릴커버내크린에어인입 ) 크린에어 입자농도개 /m 클래스 1 상한 측정치 클래스 4 상한 클래스 상한 입자농도개 /m 클래스 1 상한 측정치 클래스 4 상한 클래스 상한 아크릴커버 1.1μm이상.2μm이상.μm이상.μm이상입자직경 TC86EB64 ( 볼스크류의리드 :2) 클래스 2 상한 스트로크 : 속도 :/s 흡인량 :7/min 1.1μm이상.2μm이상.μm이상.μm이상입자직경 TC86EB94 클래스 2 상한 스트로크 :8 ( 볼스크류의리드 :2) 속도 :6/s 흡인량 :4/min 측정부공기유속 2.m/s 입자농도개 /m 클래스 상한클래스4 상한클래스 상한 입자농도개 /m 측정치 클래스 상한클래스4 상한클래스 상한 클래스 1 상한 측정치 클래스 1 상한 흡인펌프쪽으로파티클카운터쪽으로 1 클래스2 상한.1μm이상.2μm이상.μm이상.μm이상입자직경 1 클래스2 상한.1μm이상.2μm이상.μm이상.μm이상입자직경 청정도클래스상한농도 (JIS B 992 : 22) 단위개 /m 청정도측정결과 청정도클래스클래스1 클래스2 클래스 클래스4 클래스 클래스6.1μm 측정입자직경.2μm μm μm 형식과크기 TCEB TC6EB TC86EB 배드길이 볼스크류의리드 스트로크 속도 /s 흡인량 /min 청정도클래스 (JIS B 992:22) 클래스2 클래스2 클래스2 클래스 클래스 클래스 클래스 클래스 클래스 클래스 Ⅱ-167 비고청정도는사용환경및운전조건에따라다를수있습니다. Ⅱ-168

99 호칭번호 호칭번호와사양의상세사항 호칭번호의배열예 형식 TC EB: 크린정밀위치결정테이블 TC TC EB 2 / AT1 8 2 크기 크기는, 배드폭치수를표시합니다. 표 1 에표시한크기로부터선택합니다. 배드길이 표 1 에표시한배드길이로부터선택합니다. 1 형식 Ⅱ 17페이지 표 1 크기와배드폭치수및배드길이 단위 2 크기 Ⅱ 17페이지 형식과크기배드폭치수배드길이 ( 스트로크 ) TCEB ( ) 2 () 2 () (2) TC6EB 6 ( ) 2 () (2) 4 () (4) 6 () TC86EB 86 4 (2) 44 () 4 (4) 64 () 74 (6) 84 (7) 94 (8) 배드길이 Ⅱ 17페이지 4 모터어터치먼트의지정 AT: 모터어터치먼트없음모터어터치먼트를지정할경우, 표 2 에서선택합니다. 4 모터어터치먼트의지정 Ⅱ 17페이지 볼스크류의리드 Ⅱ 17페이지 ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ사용하시고자하는모터에적용되는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ모터어터치먼트를지정하면, 표 에표시한커플링이본체에취부되어출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. ㆍ모터어터치먼트없음 (AT) 의경우, 커플링은첨부하지않습니다. TC EB 볼스크류의리드 4: 리드 4(TCEB 에적용 ) 6 센서사양 Ⅱ 17페이지 : 리드 (TC6EB 에적용 ) 8: 리드 8(TCEB 에적용 ) : 리드 (TC6EB, TC86EB 에적용 ) 2: 리드 2(TC86EB 에적용 ) 6 센서사양 : 센서없음 2: 센서 2 개부착 ( 리미트 ) : 센서 개부착 ( 리미트, 원점전 ) 4: 센서 4 개부착 ( 리미트, 원점전, 원점 ) : 센서 2 개첨부 ( 리미트 ) 6: 센서 개첨부 ( 리미트, 원점전 ) 7: 센서 4 개첨부 ( 리미트, 원점전, 원점 ) 센서부착 ( 기호 2,, 4) 을지정했을경우, 센서가사이드커버측면의센서설치홈에, 또는 2 장의차폐판이슬라이드테이블에장착됩니다. 센서첨부 ( 기호, 6, 7) 를지정했을경우, 지정갯수의센서외, 센서취부나사와너트가첨부되며, 2 장의차폐판이슬라이드테이블에장착됩니다. Ⅱ-169 Ⅱ-17

100 호칭번호와사양의상세사항 표 2 모터어터치먼트의적용 사용모터의형식 종류메이커시리즈형식 AC 서보모터 스텝핑 모터 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 히타치산기시스템 오리엔탈모터 Σ-Ⅴ J, J4 MINAS A AD α 스텝 RK CRK 주 ( 1 ) 모터출력축외경 φ8 에적용합니다. 비고모터상세사양은, 각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. 표 커플링의형식 모터 어터치먼트 정격출력 W 플랜지각 모터어터치먼트 TCEB TC6EB TC86EB SGMJV-AA AT1 AT2 SGMAV-AA AT1 AT2 4 SGMJV-1A AT2 SGMAV-1A AT2 SGMJV-2A AT 2 6 SGMAV-2A AT HF-MP, HG-MR AT1 AT2 HF-KP, HG-KR AT1 AT2 4 HF-MP1 HG-MR1 AT2 HF-KP1, HG-KR1 AT2 HF-MP2 HG-MR2 AT 2 6 HF-KP2, HG-KR2 AT MSMDA AT4 AT MSMEA AT4 AT 8 MSMD1 AT MSME1 AT MSMD2 AT6 2 6 MSME2 AT6 ADMA-R AT1 AT2-4 ADMA-1 - AT2 - ADMA AT AR46 42 AT7 AR66 6 AT8 AR69 6 AT8 RK4ㆍCRK4 42 AT9 RK6ㆍCRK6( 1 ) 6 AT AT11 커플링의형식 메이커 커플링의관성 J C - ㆍ m 2 AT1 XGS-19C- 8 나베야바이텍.62 AT2 XGS-19C- 8 나베야바이텍.62 AT XGS-C-8 14 나베야바이텍. AT4 XGS-19C- 8 나베야바이텍.62 AT XGS-19C- 8 나베야바이텍.62 AT6 XGS-C-8 11 나베야바이텍. AT7 XGS-19C- 6 나베야바이텍.62 AT8 XGS-C-8 나베야바이텍. AT9 XGS-19C- 나베야바이텍.62 AT XGS-19C- 8 나베야바이텍.62 AT11 XGS-C-8 8 나베야바이텍. 비고커플링의상세사양은, 각메이커카탈로그를참조해주십시오. 각종특성 표 4 정밀도 형식과 크기 TCEB TC6EB TC86EB 표 최고속도 모터의종류 배드길이 반복 위치결정정밀도 위치결정정밀도 테이블운동의평행도 B 백레쉬. 2 ± ± ± 형식과크기 배드길이 리드 4 리드 최고속도 /s 리드 8 리드 단위 리드 2 TCEB 2 4 TC6EB 2 AC 서보 64 이하 1 모터 74 1 TC86EB TCEB 스텝핑 TC6EB 모터 84 이하 6 TC86EB 94 6 비고실제최고속도는, 사용모터나부하조건등에대응하는운전패턴의검토가필요합니다. 표 6 허용모멘트 형식과크기 허용모멘트 Nㆍm TCEB. TC6EB 6. TC86EB. 비고 모든방향에적용합니다. TC EB 표7 최대탑재질량형식과크기 TCEB TC6EB TC86EB 볼스크류의리드 최대탑재질량 수평 수직 Ⅱ-171 Ⅱ-172

101 각종특성 표 8 직동안내부의정격하중 표 9.1 볼스크류사양 1 형식과크기 TCEB TC6EB TC86EB 표 베드의단면 2 차모멘트 리드 볼스크류외경 Y 축 기본동정격하중 N C 기본정정격하중 C N 표 9.2 볼스크류사양 2 단위 형식과크기배드길이볼스크류외경전장 TCEB TC6EB TC86EB 기본동정격하중 C N 기본정정격하중 C N 정정격모멘트 형식과크기 T T X T Y TCEB TC6EB TC86EB T T X T Y N ㆍ m 표 11 테이블관성과기동토크 형식과크기 TCEB TC6EB TC86EB 취부 표 12 센서타이밍차트 테이블관성 J 배드길이 T - ㆍm 2 기동토크 T S Nㆍm 리드리드리드리드리드리드리드리드리드리드 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. 센서사양 스트로크 CW 1 B CCW C ON OFF OFF A 원점 원점전 CCW 리미트 TC EB OFF CW 리미트 (D) (E) 형식과크기 e I X 단면 2차모멘트 4 중심점 e I Y TCEB TC6EB TC86EB Ⅱ-17 X 축 형식과 크기 TCEB TC6EB TC86EB 볼스크류의 리드 A B C D E 비고 1. 센서취부는, 호칭번호에서지정합니다. 2. 각센서의상세사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조해주십시오. 메카스토퍼 단위 Ⅱ-174

102 모터어터치먼트의치수 크린정밀위치결정테이블 TC TCEB TC6EB TCEB 드릴 21 4-M 깊이 M 관통 AT ( 모터어터치먼트없음 ) φ φ AT ( 모터어터치먼트없음 ) φ +.4 φ 드릴 6. 카운터보어깊이 AT1 φ2 +.4 φ 드릴 6. 카운터보어깊이 6. AT2 φ M4 관통 PCD46, 9 등분배치 4-M4 깊이 4-M4 관통 PCD46, 9 등분배치 드릴 6. 카운터보어깊이 6. S/2 8 S/2 9 4 AT4 AT7 AT φ φ2 +.4 φ M 관통 PCD4, 9 등분배치 드릴 6. 카운터보어깊이 드릴 6. 카운터보어깊이 AT AT 8 2 φ2 φ φ M 관통 PCD4, 9 등분배치 드릴 6. 카운터보어깊이 n-m4깊이 지정깊이이상의볼트를삽입하지말아주십시오. (A) (n-1) 6 A Rc1/8 반대면에도있음 TC EB 4-M4 관통 17 4-M 관통 TC86EB AT ( 모터어터치먼트없음 ) φ8 +.4 φ M4 깊이 Rc1/8 2 (7.8) 센서부착 단위 AT φ +. φ 드릴 8 카운터보어깊이 8 2 배드길이 1 전장 스트로크 S A 배드취부홀 n 질량 ( 참고 ) M 관통 PCD7, 9 등분배치 드릴 8 카운터보어깊이 8 AT6 φ +. φ M4 관통 PCD7, 9 등분배치 M4관통 4-4.드릴 8카운터보어깊이7 AT8 AT11 φ +. φ Ⅱ-17 Ⅱ-176

103 TC6EB 크린정밀위치결정테이블 TC TC86EB M 깊이 S/2 84 S/ n-m6 깊이 7 지정깊이이상의볼트를삽입하지말아주십시오. A M6 깊이 12 S/2 S/2 (A) (n-1) 9. (2) 2 n-m8깊이9 지정깊이이상의볼트를삽입하지말아주십시오. (n-1) TC EB Rc1/8 반대면에도있음 Rc1/8 반대면에도있음 Rc1/8 6 (67.8) 센서부착 2-Rc1/ (9.4) 센서부착 배드길이 1 전장 스트로크 S A 배드취부홀 n 질량 ( 참고 ) 비고스텝핑모터용모터어터치먼트는배드아래면보다 8 낮게되어있습니다. 단위 배드길이 1 전장 스트로크 S 배드취부홀 n 질량 ( 참고 ) 단위 Ⅱ-177 Ⅱ-178

104 TM TM Ⅱ-179 Ⅱ-18

105 마이크로정밀위치결정테이블 TM 볼스크류 TM 직선 Points 앵귤러롤러베어링 모터 연삭볼스크류구동으로, 단면높이 2, 폭 17의극소형위치결정테이블 1 테이블안내부에레일폭 2의마이크로리니어웨이, 이송기구에외경 2의미니츄어볼스크류를조합구성하여, 연삭볼스크류구동에서는유래없는극소사이즈위치결정테이블입니다. 용도에맞는테이블사양선택가능슬라이드테이블의형상은스탠다드테이블과롱 테이블 2종류타입. 롱테이블은슬라이드유닛을 2개탑재한마이크로리니어웨이을 2 세트병렬로조합구성하였기때문에, 모멘트나복합하중에강한구조입니다. 모터는, 표준타입, 高토크타입 2종류의 AC 서보모터와스텝핑모터에서용도에맞게선택할수 있습니다. 슬라이드테이블 2 테이블최고속도 /s를발휘가능합니다. 하이리드볼스크류와고토크 AC 서보모터를조합 구성하여, 정밀도를떨어트리지않고, 고속이동이 4 옵션으로극소형센서도내장가능리미트의각각의센서내장을지정할수있습니다. 외형치수는그대로, 원점 원점전 CW 리미트 CCW TM 커버 볼스크류 센서 배드 이러한분야에추천합니다! 극소사이즈이면서高정밀도의위치결정을실현하고있으므로, 초소형장치의위치결정기구의高정밀도화에적합합니다. 또는, 강제부품에는스텐레스강을사용하고있어, 방청유등의유분을꺼려하는개소나수분이비산하는환경에서의사용도가능합니다. 고객요망에대응합니다! 개폐테이블사양이나슬립스크류사양, 스텐레스커버사양등, 고객사의용도에맞게테이블도제작하고있으므로, 요망시에는로문의하여주십시오. 리니어웨이 초소형장치의위치결정기구에적합니다! 특주사양의예 : 개폐테이블사양 측정기기 시계조립기 로봇 전자부품조립장치 바이오장치 권선기등... 의료기기 개폐 슬라이드테이블 주요제품사양 정밀도 다양한제품군 단위 구동직동안내기기윤활부품내장테이블ᆞ배드의재질 정밀볼스크류리니어웨이 ( 볼타입 ) 내장안함스텐레스강 반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A ±.1~.2.1 ᅳ ᅳ 1 형상 스탠다드테이블 형식과크기 TM1 2 스트로크 () 4 6 센서 호칭번호에서선택 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도백레쉬 ᅳ ᅳ ᅳ ᅳ 2 17 롱테이블 TM1G Ⅱ-181 Ⅱ-182

106 호칭번호 호칭번호의배열예 TM 1 G - A / Y61 1 호칭번호와사양의상세사항 1 2 형식 TM: 마이크로정밀위치결정테이블 TM 크기 1: 테이블폭치수 1 슬라이드테이블의형상 무기호 : 스탠다드테이블 G: 롱테이블 1 형식 Ⅱ 184페이지 2 크기 Ⅱ 184페이지 4 유효스트로크 표 1 슬라이드테이블의형상과유효스트로크 슬라이드테이블의형상유효스트로크 스탠다드테이블 2, 4, 6 롱테이블,, 표 1 에표시한유효스트로크로부터선택합니다. 슬라이드테이블의형상 Ⅱ 184페이지 모터부착 A: 모터부착 4 유효스트로크 Ⅱ 184페이지 모터부착 Ⅱ 184페이지 6 모터의종류 Ⅱ 184페이지 7 볼스크류의리드 Ⅱ 184페이지 6 7 모터의종류볼스크류의리드 Y61:AC 서보모터 ( 표준타입 ) Y62:AC 서보모터 ( 高토크타입 ) T2: 스텝핑모터 ( 상 ) T: 스텝핑모터 (2 상 ) Y62 를지정한경우, 7 볼스크류의리드. 를지정할수없습니다. 모터사양의상세사항은 Ⅱ 189 페이지, Ⅱ 191 페이지를참조해주십시오. 표준이외의모터를사용하실경우에는, 로문의해주십시오. : 리드. : 리드 1. 1: 리드 1. TM 볼스크류의리드. 를지정한경우, 6 의 Y62: AC 서보모터 ( 高토크타입 ) 는지정할수없습니다. 8 센서사양 Ⅱ 184페이지 8 센서사양 : 센서없음 1: 센서있음 ( 반대모터측으로부터봐서우측에배치 ) 2: 센서있음 ( 반대모터측으로부터봐서좌측에배치 ) 센서없음을지정한경우, 센서를나중에취부하는것은불가능합니다. 센서없음을지정한경우, 모터배선은반대모터측으로부터우측에배치됩니다. 센서있음을지정한경우, 모터배선은센서배선방향과동일한방향이됩니다. 비고수지제테이블커버를사용하고있지만, 스텐레스강제테이블커버제작대응도가능합니다. 요청하실때에는, 로문의하여주십시오. Ⅱ-18 Ⅱ-184

107 각종특성 표2 정밀도 단위 형식 볼스크류의리드 반복위치결정정밀도 위치결정정밀도. ±.1 TM ± ±.1 TM ± ±.1 TM ± ±.1 TM1G- 1.1 ± ±.1 TM1G- 1.1 ± ±.1 TM1G- 1.1 ±.2 1. 표 최고속도 모터의종류 모터회전수최고속도 /s min -1 리드. 리드 1 리드 1. AC 서보모터 6 스텝핑모터 비고 실제최고속도는, 사용모터나부하조건등에대응하는운전패턴의검토가필요합니다. 표 4 최대탑재질량 형식과크기 TM1 TM1G 볼스크류의리드 표 볼스크류사양 단위 형식과크기 슬라이드테이블의형상 스트로크 볼스크류외경 전장 2 4 스탠다드 4 74 TM 롱 수평 최대탑재질량 수직 표6 테이블관성, 커플링관성및기동토크 형식과크기 테이블관성 J T - ㆍm 2 커플링의관성 J 기동토크 C - ㆍm 2 Nㆍm 리드. 리드 1 리드 1. T S TM TM TM TM1G TM1G TM1G 센서사양 표 7 센서타이밍차트 CW OFF C 4.2 CCW 6 A ON 26.8 OFF OFF ON (1) (1) 원점 (AC 서보모터 C 상 ) 원점 ( 스텝핑모터 ) 원점전 CCW 리미트 CW 리미트 메카스토퍼 형식과크기볼스크류의리드 A 유효스트로크 ( 1 ) TM1-2 TM1-4 TM1-6 TM1G- TM1G- TM1G 주 ( 1 ) 센서위치는조정불가합니다. 유효스트로크는. 리미트센서간에확실히확보가능한스트로크를표시합니다. 비고 1. 센서의유뮤, 배선방향은, 호칭번호에서지정합니다. 2. 각센서의상세사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조해주십시오.. 원점의센서는스텝핑모터용입니다. 케이블길이 하우징 42-6( 일본몰렉스제품 ) 터미널 6개 41-( 일본몰렉스제품 ) 질량.17 CCWPOWER ORG PORG CW 4 6. 센서에 ( 케이블길이) M 깊이 2 삽입깊이 이하일것 C ( 참고 ) 2 유효스트로크 +2 4 유효스트로크 +2 6 유효스트로크 +2 유효스트로크 +. 유효스트로크 +. 유효스트로크 +. 단위 TM 취부 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. Ⅱ-18 취부홀치수 ( 안쪽면 ) 그림 1 센서엠프의외형치수 Ⅱ-186

108 시스템구성 마이크로정밀위치결정테이블 TM 에는, 전용드라이버가준비되어있으며, 시스템구성은 Ⅱ 187,Ⅱ 188 페이지와같습니다. 드라이버사양 에대해서는, Ⅱ 189~Ⅱ 192 페이지의모터 ᆞ 드라이버사양을참조해주십시오. 주문시에는, 표 8,9 에표시된호칭번호에서별도로지정해주십시오. 표 9 스탭핑모터 (T2,T) 시스템구성 표 8 AC 서보모터 (Y61, Y62) 시스템구성 센서엠프 1 센서엠프 1 상위장치 PC, 스위치등 주회로 DC 전원 8 DC24V 전원 TM 제어회로 DC 전원 8 No. 명칭호칭번호 1 테이블본체 ( 모터기호 ) Y61 AC 서보모터 ( 표준타입 ) 2 드라이버 ( 2 ) SGDV-1R7EP1A 모터케이블 (m)( 2 )( ) JZSP-CF1M2--E 4 엔코더케이블 (m)( 2 )( ) JZSP-CMP--E 센서중계케이블 (m) ( 2 )( )( 4 ) TAEW-C 6 I/O 커넥터 TAE2W1-CN( ) 7 디지털오퍼레이터 ( 2 )( 6 ) JUSP-OPA-1-E 8 디지털오퍼레이터중계케이블 ( 2 )( 6 ) JZSP-CF1S-A-E 9 PC 접속케이블 ( 2 )( 6 ) JZSP-CVS6-2-E 전원용케이블 ( 2 )( 4 )( 7 ) JZSP-CF1G- -E 11 전원 ( 8 ) 12 상위장치 고객사에서준비하여주십시오. 1 I/O 커넥터연결케이블 Y62 AC 서보모터 ( 高토크타입 ) 주 ( 1 ) 센서없음을지정한경우, 센서엠프는첨부되지않습니다. ( 2 ) 야스카와전기제품입니다. ( ) 특수한케이블길이에대해서는 로문의하여주십시오. ( 4 ) 케이블의상위장치측은전선이낱개로나와있습니다. ( ) I/O 커넥터 TAE2W1-CN은쓰리엠재팬 126-PE( 커넥터 ) 와 26-2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. ( 6 ) 파라메터설정시에는디지털오퍼레이터또는범용 PC가필요합니다. ( 7 ) 호칭번호 로 1~m까지 1m 단위로길이를지정합니다. (m인경우의예 : JZSP-CF1G--E) ( 8 ) 주회로전원은 DC24V 전원뿐만아니라 DC48V에도대응할수있습니다. 제어회로전원은 DC24V입니다. 각종전원은별도로고객이 준비하여주십시오. 비고1 모터케이블, 엔코더케이블, 센서중계케이블은耐굴곡성이우수한케이블입니다. 2 AC 서보모터용드라이버는파라메터초기설정이필요합니다. 범용 PC로파라메터설정을실시하는경우는 야스카와전기웹사이트에서설정용소프트웨어를다운로드해주십시오. (UR: No. 명칭호칭번호 1 테이블본체 ( 모터기호 ) T2 스텝핑모터 ( 상 ) T 스텝핑모터 (2 상 ) 2 드라이버 ( 2 ) TD-M1- etd-24a 모터케이블 TAE2S6-SM (TAE2S7-SN ) 4 프로그램컨트롤러 CTN481G 티칭박스 TAEM-TB 6 펄스 리미트케이블 ( 4 ) TAEU7-D (TAEU8-D ) TAE2S8-SM (TAE2S9-SN ) TAEU9-D (TAEV-D ) 7 전원케이블고객사에서준비하여주십시오.( ) 고객사에서준비하여주십시오.( 6 ) 주 ( 1 ) 센서없음을지정한경우, 센서엠프는첨부되지않습니다. ( 2 ) 토한전자기기 제품입니다. ( ) DC24V 전원은별도로고객사에서준비하여주십시오. ( 4 ) CTN481G 이외프로그램컨트롤러를사용하실경우, 펄스 ᆞ 리미트케이블을고객사에서준비하여주십시오. ( ) 드라이버에커넥터가첨부되어있습니다. Ⅱ 191 페이지의모터 ᆞ 드라이버사양의항목을참조해주십시오. ( 6 ) 전원케이블을직접접속해주십시오. 비고 1 모터케이블, 펄스 ᆞ 리미트케이블은耐굴곡성이우수한케이블입니다. 2 펄스 ᆞ 리미트케이블의펄스케이블길이는 1.m 입니다. 모터케이블, 펄스 ᆞ 리미트케이블의리미트케이블길이는, 호칭번호말단의 에서최대 m 까지 1m 단위로지정합니다. (m 인경우의예 : TAE2S6-SM) Ⅱ-187 Ⅱ-188

109 모터ㆍ드라이버사양 야스카와전기 AC 서보모터 (Y61, Y62) 표 1 AC 서보모터 Y61, Y62 용 야스카와전기드라이버 표 모터사양 48(Y61) 4(Y62) 2. 2-M2 깊이 모터의 종류 모터 기호 모터 호칭번호 정격출력전압사양 W 정격토크 N m 순시최대토크 N m 정격회전수 r /min 모터관성 J M -4 m 2 표준 Y61 SGMMV-BE2A21 DC24V DC48V 高토크 Y62 SGMMV-BE2A21 DC24V DC48V 비고1 주회로전원은 DC24V뿐만아니라 DC48V에도대응할수있습니다. 2 모터의회전수가 r/min를초과하면모터토크는저하합니다. 엔코더 분해능 pulse/rev 172 (17bit) 172 (17bit) 질량 TM 표11 모터배선과커넥터사양 모터기호 Y61,Y62 Pin No. 내용 선색 1 U상 적 2 V상 백 W상 청 4 FG 녹 모터측커넥터호칭번호 커넥터 컨텍트 41-1 일본몰렉스합동회사 상대측커넥터호칭번호 커넥터 42-4 컨텍트 4-1 일본몰렉스합동회사 No. 명칭기능 1 CN1 I/O 커넥터 펄스케이블을접속합니다. 2 CN2 엔코더커넥터 엔코더케이블을접속합니다. CN 구동용전원커넥터 구동용전원을접속합니다. 4 CN4 모터커넥터 모터케이블을접속합니다. CN 디지털오퍼레이터용커넥터 디지털오퍼레이터중계케이블을접속합니다. 6 CN7 PC 접속용커넥터 PC 접속케이블을접속합니다. 표 12 엔코더배선과커넥터사양 모터기호 Y61,Y62 Pin No. 내용 선색 1 PG V 주황색 2 PG V 녹색 BAT(+) 적색 / 분홍색 4 BAT(-) 흑색 / 분홍색 PS 적색 / 하늘색 6 /PS 흑색 / 하늘색 쉘 FG FG 모터측커넥터호칭번호 소켓커넥터납땜타입 일본몰렉스합동회사 상대측커넥터호칭번호 커넥터압착타입 -67 일본몰렉스합동회사 표 14 드라이버사양 드라이버호칭번호 SGDV-1R7EP1A( 1 ) 적용모터기호 Y61 Y62 적용모터정격출력.W.W 피드백 시리얼엔코더 17bit 지령펄스입력방식 ( 1 ) CW/CCW 신호, 펄스신호 / 회전방향신호 지령펄스입력형태 ( 1 ) 라인드라이버, 오픈콜렉터 주회로전원전압 ( 2 ) DC24V±1%, DC48V±1% 제어회로전원 DC24V±1% 연속출력전류 Arms 1.7 최대출력전류 Arms 4.1 동작온도범위 ~ 보관온도범위 -2~8 사용습도 9%RH 이하 ( 동결, 결로가없을것 ) 질량. 주 ( 1 ) 본드라이버는펄스열지령형입니다. 네트워크통신지령형 ᆞ 아날로그전압지령형이필요하신경우에는로문의하여주십시오. ( 2 ) 주회로전원은 DC24V 뿐만아니라 DC48V 에도대응할수있습니다. Ⅱ-189 Ⅱ-19

110 모터ㆍ드라이버사양 타마가와정기 스탭핑모터 (T2, T) 표 1 모터 기호 모터사양 모터호칭번호 기본스텝각 도 여자최대정지토크 N ㆍ m 전류 A/ 상 모터관성 J M 질량 ( 참고 ) -4 ㆍm 2 T2 TS682N T TS692N 표 16 모터배선과컨넥터사양 Pin No. 리드선피복색상 모터기호 T2 모터기호 T 1 청 흑 2 적 미사용 등 청 4 녹 적 흑 등 6 미사용 녹 주 ( 1 ) 상대측컨넥터는고객사에서준비하여주십시오. 비고커넥터는일본몰렉스합동회사제품입니다. 표 17 스탭핑모터 T2 용토한전자기기 드라이버 (RoHS 인증규격품 ) φ4 φ1 2 모터측컨넥터호칭번호상대측컨넥터호칭번호 ( 1 ) 4 하우징 42-6 터미널 M2 깊이 하우징 42-6 터미널 41-7 표 18 스탭핑모터 T2 용드라이버사양 비고 드라이버호칭번호 적용모터기호 TD-M1- T2 여자방식마이크로스텝핑최대 분할 입력방식포토커플러입력저항 22Ω CW/CCW 신호입력형식펄스신호 / 회전방향신호전원입력 DC1~V 2.A 주위온도 ( 사용시 ) ~4 ( 결로가없을것 ) 주위습도 ( 사용시 ) 8% 이하 ( 결로가없을것 ) 질량.17 전원입력은 DC24V 를추천합니다. 전원은고객사에서준비하여주십시오. 표 19 스탭핑모터 T2 용드라이버부속품 명칭 하우징 CN1 전원컨넥터 EHR-2 CN2 제어신호컨넥터 EHR- CN 구동전원컨넥터 EHR- 표 2 스탭핑모터 T 용토한전자기기 드라이버 (RoHS 인증규격품 ) 스텝핑모터 T2 토크특성도 토크 [N ㆍ m] 호칭번호 풀스텝 모터기호모터호칭번호드라이버호칭번호 T2 TS682N2 TD-M1- 컨텍트 BEH-1T-P.6 하프스텝 모터회전수 [r/min] 1 비고 일본압착단자제조 TM No. 명칭기능 1 I/F 커넥터전원, 펄스케이블, 모터케이블을접속합니다. 8 No. 명칭기능 1 CN1 전원컨넥터전원을접속합니다. 4 2 CN2 I/O 커넥터 펄스케이블을접속합니다. CN 모터컨넥터 모터케이블을접속합니다 표 21 스탭핑모터 T 용드라이버사양 드라이버호칭번호 적용모터기호 etd-24a T 여자방식마이크로스텝핑최대 분할 입력방식포토커플러입력저항 22Ω CW/CCW 신호, 입력형식펄스신호 / 회전방향신호전원입력 DC24V±% A 주위온도 ( 사용시 ) ~4 ( 결로가없을것 ) 주위습도 ( 사용시 ) 8% 이하 ( 결로가없을것 ) 질량.6 비고 DC24V 전원은별도로고객사에서준비하여주십시오. 스텝핑모터 T 토크특성도..2 토크 [N ㆍ m].2 하프스텝.1 풀스텝.. 2 모터회전수 [r/min] 모터기호 모터호칭번호 드라이버호칭번호 T TS692N2 etd-24a Ⅱ-191 Ⅱ-192

111 마이크로정밀위치결정테이블 TM TM1 AC 서보모터사양 TM1 스텝핑모터사양 롱테이블 :TM1G 26.( 롱테이블길이 ) 롱테이블 :TM1G ( 롱테이블길이 ) 2 6-M2 깊이 M2 깊이 ( 스탠다드테이블길이 ) 11 1( 스탠다드테이블길이 ) 2 4-M2 깊이 M2 깊이 ( 테이블폭 ) 7 CW C(CW 리미트 ) 1 CCW 11 센서케이블케이블길이 : ( 센서엠프로 ) 48(Y61) 4(Y62) 케이블길이 : 26.8( 원점위치 ) 6(CCW 리미트 ) 14.8( 테이블폭 ) 7 CW C(CW 리미트 ) 1 CCW 센서케이블케이블길이 : ( 센서엠프로 ) 46. 케이블길이 :2 2.8( 원점위치 ) (CCW 리미트 ) TM A 2 n-m2 깊이 2. 이하 A 2 n-m2 깊이 2. 이하 단위 스트로크치수테이블치수질량 ( 1 ) 형식과크기 CW 리미트위치전장 배드취부홀 ( 참고 ) 유효스트로크 ( 2 ) C 1 Y61 Y62 2 A( 갯수 피치 ) n TM (2 2) 6.1 TM ( 2) 8.16 TM (4 24).17 TM1G (2 2) 6.16 TM1G ( 2) 8.17 TM1G (4 24).18 주 ( 1 ) Y61을지정한경우의값입니다. Y62를지정한경우는.1 증가합니다. ( 2 ) 센서위치는조정할수없습니다. 유효스트로크는. 리미트센서간의확실히확보가능한스트로크를표시합니다. 비고 수지제테이블커버를사용하고있지만, 스텐레스강제테이블커버제작대응도가능합니다. 요망시에는 로문의하여주십시오. 형식과크기 유효스트로크 ( 1 ) 단위 스트로크치수테이블치수질량 CW 리미트위치 C 전장 1 2 배드취부홀 A( 갯수 피치 ) n TM (2 2) 6.18 TM ( 2) 8.19 TM (4 24).2 TM1G (2 2) 6.19 TM1G ( 2) 8.2 TM1G (4 24).21 주 ( 1 ) 센서위치는조정불가합니다. 유효스트로크는. 리미트센서간에확실히확보가능한스트로크를표시합니다. 비고 수지제테이블커버를사용하고있지만, 스텐레스강제테이블커버제작대응도가능합니다. 원하시는경우는 로문의하여주십시오. ( 참고 ) Ⅱ-19 Ⅱ-194

112 TS ㆍ CT TSᆞCT Ⅱ-19 Ⅱ-196

113 크린 정밀 위치 결정 테이블 TSᆞCT 볼스크류 TS 슬라이드 테이블 볼스크류 직선 Points 高정밀도 컴팩트한 위치 결정 테이블 1 2 크로스롤러웨이 高강성으로 진동 감쇠성이 높은 주철제 슬라이드 테이블과 배드에, 크로스롤러웨이를 조합 구성한 高정밀도ᆞ컴팩트한 위치 결정 테이블 입니다. 유지기 이탈 방지 기구를 내장한 안심 설계 테이블 상면에 직접 작업하는 용도에 최적 배드 정밀하게 연삭 가공된 큰 면적 테이블을 채용하였기 직동안내기기에 유지기 이탈이 발생하지 않도록 랙& 때문에, 테이블 상면 전부를 작업면으로 사용할 수 피니언 내장형 크로스롤러웨이를 채용하였기 때문에, 있습니다. 수직축 사용이나 高가감속 운전에서도 안심하고 사용할 수 있습니다. (TS/, CT/는 제외) 랙&피니언 내장형 크로스롤러웨이의 구조와 특징 TSᆞCT CT Y 테이블 수직축의 고속 택타임 운전에서도 유지기 이탈을 일으키지 않습니다 내구시험 시험 조건 볼스크류 형번 시험 방법 X 테이블 운전 조건 랙 기어 피니언 기어 최고 속도 가속도 주기 스트로크 가동부 질량 왕복횟수 독자적인 랙&피니언 구조 랙 기어 진동시험기 취부 자세 수직축 가진장치 1억 회 시험결과 유지기 이탈이 발생하지 않으며, 각 부품에서도 이상이 없었습니다. 크로스롤러웨이 다양한 제품군 센서 형상 형식 단축 사양 테이블 폭 () 배드 TS 주요 제품 사양 정밀도 단위 구동 정밀 볼스크류 반복 위치 결정 정밀도 ±.2~. 직동안내기기 크로스롤러웨이 위치 결정 정밀도.~.2 윤활 부품 내장 내장 안함 로스트 모션 ᅳ 테이블ᆞ배드의 재질 주철 테이블 운동의 평행도 A.~.12 센서 호칭번호에서 선택 테이블 운동의 평행도 B.1~. 자세 정밀도 ᅳ 진직도 ᅳ 백레쉬 ᅳ Ⅱ 197 2축 사양 테이블 길이 () CT 는, 랙&피니언 내장형 크로스롤러웨이를 사용하였습니다. Ⅱ 198

114 호칭번호 1 2 호칭번호의배열예 형식 Ⅱ 199페이지 2 슬라이드테이블치수 Ⅱ 199페이지 모터어터치먼트의지정 Ⅱ 199페이지 4 볼스크류의리드 Ⅱ 2페이지 특별사양 Ⅱ 2페이지 호칭번호와사양의상세사항 형식 슬라이드테이블치수 표 1 형식과직동안내기기, 슬라이드테이블치수및스트로크 CT 12 / 12 / AT62 SC TS : 정밀위치결정테이블 TS ( 단축사양 ) CT : 정밀위치결정테이블 CT (2축사양 ) 표 1 에표시한슬라이드테이블치수로부터선택합니다. 슬라이드테이블의폭치수와길이치수를 단위로표시합니다. CT (2 축사양 ) 의경우는, Y 테이블의폭치수와길이치수를표시합니다. 형식직동안내기기폭치수 / 길이치수스트로크 TS CT 모터어터치먼트의지정 크로스롤러웨이 / 1 7/ /12 랙 & 피니언내장형 12/22 12 크로스롤러웨이 22/ / 18 26/ 2 크로스롤러웨이 / X축 : 1, Y축 : 1 7/ 7 X축 : 2, Y축 : 2 12/12 X축 :, Y축 : 랙 & 피니언내장형 22/22 X축 :12, Y축 :12 크로스롤러웨이 26/ X축 :, Y축 :2 / X축 :2, Y축 :2 모터어터치먼트는표 2 에서선택합니다. ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ사용하시고자하는모터에적용되는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ표 에표시한커플링이본체에취부되어출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. 단위 표 2 모터어터치먼트의적용 표 커플링의형식 모터어터치먼트 사용모터 종류메이커시리즈형식 AC 서보모터 스텝핑모터 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 히타치산기시스템 오리엔탈모터 주 ( 1 ) 모터출력축외경 φ8에적용합니다. 비고 모터상세사양은, 각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. 커플링의형식 메이커 커플링의관성 J C - ㆍ m 2 AT61 MWSS-12- 나베야바이텍.18 AT62 MSTS-2C- 8 8 나베야바이텍.71 AT6 MSTS-2C- 8 8 나베야바이텍.71 AT64 MSTS-2C- 6 8 나베야바이텍.71 AT6 MSTS-2C- 6 8 나베야바이텍.71 AT66 MSTS-2C 나베야바이텍 2.7 AT67 MSTS-2C 나베야바이텍 2.7 AT68 MSTS-19C- 6 8 나베야바이텍.277 AT69 MSTS-2C- 6 8 나베야바이텍.71 AT6 MSTS-2C 나베야바이텍 2.7 비고커플링의상세사양은, 각메이커카탈로그를참조해주십시오. 4 볼스크류의리드 특별사양 정격출력 W 플랜지각 TS/ TS7/7 CT/ CT7/7 모터어터치먼트 TS12/12 TS12/22 TS22/22 CT12/12 CT22/22 TS26/ TS22/ CT26/ CT/ Σ-Ⅴ SGMJV-1A AT62 AT64 4 SGMAV-1A AT62 AT64 SGMJV-2A AT SGMAV-2A AT66 J, J4 HF-MP1, HG-MR1 AT62 AT64 4 HF-KP1, HG-KR1 AT62 AT64 HF-MP2, HG-MR2 AT HF-KP2, HG-KR2 AT66 MINAS A MSMD1 AT6 AT6 8 MSME1 AT6 AT6 MSMD2 AT MSME2 AT67 AD ADMA AT62 AT64 - ADMA AT66 PX PXMH 8 AT61 RKㆍCRK RK6ㆍCRK6( 1 ) 6 AT68 AT69 RK9 8 AT6 1: 리드 1(/, 7/7, 12/12에적용합니다.) 2: 리드 2(/, 7/7에는적용하지않습니다.) : 리드 (/, 7/7에는적용하지않습니다.) 무기호 : 표준사양 A : 알루미늄합금재질의테이블 (/, 7/7에는적용하지않습니다.) BE : 옵션베이스 (/에적용합니다.) R : 흑색크롬피막처리 SC : 센서부착테이블 알루미늄합금재질의테이블 : 슬라이드테이블과배드및모터브라켓을알루미늄합금주물로한사양. 정밀도가표준사양과다르기때문에주의가필요합니다. 옵션베이스 : 본체를하방향으로취부하기위한베이스플레이트를준비하였습니다. 상세사항은치수표를참조하여주십시오. 흑색크롬피막처리 : 표면에흑색의침투성피막을형성하는것으로, 내식성을향상시킵니다. 슬라이드테이블과배드및모터브라켓의표면에처리를합니다. 각부품의기준면에대해서는, 표면처리가제거됩니다. 센서부착테이블 : 리미트, 원점전, 원점센서가부착됩니다. 다만, AC 서보모터용어터치먼트를선택한경우, 원점센서는부착하지않습니다. 엔코더의 C상또는 Z상신호를사용하여주십시오. 비고복수의특별사양을조합해서지정할때는, 보조기호를알파벳순으로배열하여주십시오. TSᆞCT Ⅱ-199 Ⅱ-2

115 각종특성 표 4 정밀도단위 표 7 볼스크류사양 단위 단축사양 호칭번호 2 축사양 TS / 반복 위치결정정밀도 위치결정정밀도. CT /. TS 7/ 7 CT 7/ 7. TS12/12 CT12/12 (.8) ±.2 TS12/22 (±.).8 TS22/22 CT22/22 (.12) TS22/ TS26/ CT26/ CT/.1 (.2) 테이블운동의평행도 A. (.8).8 (.12) 테이블운동의평행도 B.1 (.22).2 (.) 주 ( 1 ) 2 축사양의테이블에적용합니다. 비고 ( ) 안의값은, 알루미늄합금재질의테이블 ( 특별사양 A) 의정밀도로, 표준사양의테이블과는다른것으로표시합니다. 표 최고속도 모터의종류 최고속도 /s 리드 1 리드 2 리드 AC 서보모터 2 스텝핑모터 6 비고실제최고속도는, 사용모터나부하조건등에대응하는운전패턴의검토가필요합니다. 표 6.1 TS 의최대탑재질량 형식과크기 볼스크류의리드 수평 최대탑재질량 TS / TS 7/ TS12/ TS12/ TS22/ TS22/ TS26/ 2 18 비고최대탑재질량이 - 로되어있을경우는구동불가능합니다. 표 6.2 CT 의최대탑재질량 형식과크기 볼스크류의리드 최대탑재질량 수직 수평수직 ( 1 ) CT / CT 7/ CT12/ CT22/ CT26/ CT/ 주 ( 1 ) Y 축이수직으로구동하는경우입니다. 비고최대탑재질량이 - 로되어있을경우는구동불가능합니다. Ⅱ-21 XY 운동의직각도 ( 1 )..8 형식과크기볼스크류의리드축명볼스크류외경전 TS / TS 7/ TS12/ 장단축 TS12/22 사 양 TS22/ TS22/ TS26/ 2 4 CT / 1 X축, Y축 6 68 CT 7/ 7 1 X축, Y축 X축, Y축 CT12/12 2 X축, Y축 X축, Y축 X축, Y축 CT22/22 X축, Y축 양X축 2 2 Y축 2 4 CT26/ X축 2 Y축 2 4 CT/ 2 X축, Y축 2 4 X축, Y축 축사표 8 테이블관성과기동토크 리드 1 리드 2 리드 단축사호칭번호 J T 테이블관성 - ㆍm 2 기동토크 T S Nㆍm 양TS12/ TS /.1. TS 7/ 7.1. TS12/ 축사TS22/ TS22/ TS26/ CT / CT 7/ 7 CT12/12 양취부 CT22/22 CT26/ CT/ X축.1 Y축.1 X축.1 Y축.1 X축 Y축.2.2. X축 Y축 X축 Y축.8.6 X축 Y축 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오 Ⅱ-22 TSᆞCT

116 센서사양 표 9.1 TS ( 단축사양 ) 의센서타이밍차트 표 9.2 CT(2 축사양 ) 의센서타이밍차트 OFF C W CCW ON OFF 원점전 CCW 리미트 CW 리미트 ON C B OFF 원점 원점전 CCW CCW CW CW B ON C 원점 (CT7/7 이외 ) 원점 (CT7/7) E E Y 축 TSᆞCT OFF D D OFF CCW 리미트 CW 리미트 호칭번호볼스크류의리드 B C D TS / TS 7/ TS12/ TS12/ TS22/ TS22/ TS26/ 비고 1. 센서취부는, 호칭번호에서지정합니다. 2. 각센서의상세사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조해주십시오.. AC 서보모터용어터치먼트를선택한경우, 원점센서는부착하지않습니다. 엔코더의 C 상또는 Z 상신호를사용하여주십시오. 4. 센서취부위치는각형번마다다릅니다. 상세사항은각형번의치수표를참조하여주십시오. 단위 OFF ON OFF D ON B X 축 C D OFF 원점 (CT7/7 이외 ) 원점 (CT7/7) 원점전 CCW 리미트 CW 리미트 호칭번호볼스크류의리드 B C D E CT / CT 7/ CT12/ CT22/ CT26/ CT/ 비고 1. 센서취부는, 호칭번호에서지정합니다. 2. 각센서의상세사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조해주십시오.. AC 서보모터용어터치먼트를선택한경우, 원점센서는부착하지않습니다. 엔코더의 C 상또는 Z 상신호를사용하여주십시오. 4. 센서취부위치는각형번마다다릅니다. 상세사항은각형번의치수표를참조하여주십시오. OFF 단위 Ⅱ-2 Ⅱ-24

117 모터어터치먼트의치수 TS/, CT/ TS7/7, CT7/7 TS22/22, CT22/22 TS22/ 드릴 드릴 (7) 6 4-M4관통 ( 모터어터치먼트에가공 ) 4-드릴관통 ( 모터브라켓에가공 ) PCD46, 9 등분배치 (7) 6 4-M4관통 ( 모터어터치먼트에가공 ) 4-드릴관통 ( 모터브라켓에가공 ) PCD46, 9 등분배치 AT61 φ φ22 +. AT61 φ φ22 +. AT62 모터브라켓 72 φ6 φ8 φ +. 모터어터치먼트 AT64 모터브라켓 1 φ6 φ8 φ +. 모터어터치먼트 주 : 본그림은 Y 축을표시하며, X 축은상하가반대로되어있습니다. 4 주 : 본그림은 Y 축을표시하며, X 축은상하가반대로되어있습니다. 4 주 : 본그림은 Y 축을표시하며, X 축은상하가반대로되어있습니다. TS12/12, CT12/12 TS12/22 AT M관통 ( 모터어터치먼트에가공 ) (7) M관통 4-드릴관통 (7) ( 모터브라켓에가공 ) PCD4, 9 등분배치 φ6 φ8 φ +. AT6 φ6 φ8 φ +. ( 모터어터치먼트에가공 ) 4- 드릴관통 ( 모터브라켓에가공 ) PCD4, 9 등분배치 7 2. (7) 6 4-M4관통 ( 모터어터치먼트에가공 ) 4-드릴관통 ( 모터브라켓에가공 ) PCD46, 9 등분배치 (7) 6 4-M4관통 ( 모터어터치먼트에가공 ) 4-드릴관통 ( 모터브라켓에가공 ) PCD46, 9 등분배치 모터브라켓 72 모터어터치먼트 주 : 본그림은 Y 축을표시하며, X 축은상하가반대로되어있습니다. 모터브라켓 1 모터어터치먼트 AT62 φ6 φ8 φ +. 모터브라켓모터어터치먼트 2 주 : 본그림은 Y축을표시하며, X축은상하가반대로되어있습니다. AT62 모터브라켓 71 φ6 φ8 φ +. 모터어터치먼트 AT68 (7) φ6 φ φ 드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) 2-M4관통 ( 각인모터브라켓에가공 ) 2-M4깊이8 ( 각인모터브라켓에가공 ) AT (7) 2 φ6 φ φ 드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) 2-M4관통 ( 각인모터브라켓에가공 ) 2-M4깊이8 ( 각인모터브라켓에가공 ) TSᆞCT 모터브라켓 72 모터어터치먼트 모터브라켓 1 모터어터치먼트 주 : 본그림은 Y 축을표시하며, X 축은상하가반대로되어있습니다 (7) 6 4-M관통 ( 모터어터치먼트에가공 ) 4-드릴관통 ( 모터브라켓에가공 ) PCD4, 9 등분배치 M관통 ( 모터어터치먼트에가공 ) (7) 4-드릴관통 ( 모터브라켓에가공 ) PCD4, 9 등분배치 TS26/ CT26/ AT6 모터브라켓 2 φ6 φ8 φ +. 모터어터치먼트 주 : 본그림은 Y 축을표시하며, X 축은상하가반대로되어있습니다. AT6 모터브라켓 71 φ6 φ8 φ +. 모터어터치먼트 AT φ12 φ M 관통 PCD7, 9 등분배치 AT66 X 축 φ12 φ +.9 Y 축 8. 8 φ12 φ M 관통 PCD7, 9 등분배치 AT68 7 모터브라켓 2 2. (7) 2 φ6 φ φ6 +. 모터어터치먼트 6 주 : 본그림은 Y 축을표시하며, X 축은상하가반대로되어있습니다. 4-4.드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) 2-M4관통 ( 각인모터브라켓에가공 ) 2-M4깊이8 ( 각인모터브라켓에가공 ) AT (7) 모터브라켓 71 2 φ6 φ φ6 +.9 모터어터치먼트 드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) 2-M4관통 ( 각인모터브라켓에가공 ) 2-M4깊이8 ( 각인모터브라켓에가공 ) AT φ12 φ M4 관통 PCD7, 9 등분배치 AT67 X 축 φ12 φ +.9 Y 축 φ12 φ M4 관통 PCD7, 9 등분배치 AT (8) 모터브라켓 12 φ12 φ4 φ 모터어터치먼트 드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) 2-M6관통 ( 각인모터브라켓에가공 ) 2-M6깊이12 ( 각인모터브라켓에가공 ) AT6 X축모터브라켓. (8) 4. Y축모터어터치먼트 φ12 φ4 φ 모터브라켓 (8) φ12 φ4 φ 모터어터치먼트 드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) 2-M6관통 ( 각인모터브라켓에가공 ) 2-M6깊이12 ( 각인모터브라켓에가공 ) Ⅱ-2 Ⅱ-26

118 모터어터치먼트의치수 정밀위치결정테이블 TS ㆍ CT CT/ TS/ M 관통 PCD7, 9 등분배치 센서없는사양 AT66 φ12 φ 주 : 본그림은 Y 축을표시하며, X 축은상하가반대로되어있습니다 M4 관통 PCD7, 9 등분배치 AT67 φ12 φ M 깊이 4.( 1 ) 12 주 : 본그림은 Y 축을표시하며, X 축은상하가반대로되어있습니다. 센서부착사양 (6) (6) (21.7). 9 AT (8) φ12 φ4 φ 드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) 2-M6관통 ( 각인모터브라켓에가공 ) 2-M6깊이12 ( 각인모터브라켓에가공 ) () (12.) ( 배드취부홀 ) 4-M4깊이8 2 TSᆞCT 모터브라켓 모터어터치먼트 12 주 : 본그림은 Y 축을표시하며, X 축은상하가반대로되어있습니다. 스트로크 :1 참고질량 ( 2 ):.8 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 센서질량은포함하지않습니다. Ⅱ-27 Ⅱ-28

119 TS12/12, TS22/22 센서없는사양 Y E Y P Y P Y 센서부착사양 X (26) X P X t TS7/7 센서없는사양 정밀위치결정테이블 TS ㆍ CT M 6-M4 깊이.( 1 ) H Y H (B 1 ) B 2 B 1 A 1 A 2 d (A 1 ) TSᆞCT (7.) M4 탭 62 (6.) 센서부착사양 7 (16.) 원점원판 원점센서 주 ) AC 서보모터용어터치먼트를선택한경우, 원점센서및원점원판은부착하지않습니다. 단위 호칭번호 테이블치수 X Y H 스트로크 E Y 축심높이 H Y TS12/12( 1 ) 스트로크 :2 참고질량 ( 2 ):1.6 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 센서질량은포함하지않습니다. Ⅱ-29 TS22/ 호칭번호 취부볼트 배드취부관계치수 M( ) P X P Y d t A 1 A 2 B 1 B 2 참고질량 ( 2 ) TS12/12( 1 ) 6-M 깊이 7 4-M 탭 TS22/22 6-M6 깊이 M6 탭 주 ( 1 ) 모터브라켓은, 테이블상면보다 1. 높게되어있습니다. ( 2 ) 센서질량은포함하지않습니다. ( ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. Ⅱ-2

120 TS12/22, TS22/, TS26/ CT/ 센서없는사양 센서없는사양 Y E Y X P X M 깊이 4.( 1 ) 4 센서부착사양 X (26) 4 센서부착사양 (46) () 4 4-M4 깊이 4. (21.7) t 정밀위치결정테이블 TS ㆍ CT M P y P y H Y H (B 1 ) B 2 B 1 A 1 A 2 (A 1 ) d 원점센서 원점원판 주 ) AC 서보모터용어터치먼트를선택한경우, 원점센서및원점원판은부착하지않습니다 (12.) ( 배드취부홀 ) TSᆞCT 단위 호칭번호 테이블치수 X Y H 스트로크 E Y 축심높이 H Y TS12/22( 1 ) TS22/ TS26/ (21.7) (46) 호칭번호 취부볼트 배드취부관계치수 M( ) P X P Y d t A 1 A 2 B 1 B 2 참고질량 ( 2 ) XY 축스트로크 :1 참고질량 ( 2 ):1.7 TS12/22( 1 ) 6-M 깊이 M 탭 TS22/ 6-M6 깊이 12 4-M6 탭 TS26/ 6-M6 깊이 M8 탭 주 ( 1 ) 모터브라켓은, 테이블상면보다 1. 높게되어있습니다. ( 2 ) 센서질량은포함하지않습니다. ( ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. Ⅱ-211 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 센서질량은포함하지않습니다. Ⅱ-212

121 정밀위치결정테이블 TS ㆍ CT CT7/7 CT12/12 센서없는사양 센서없는사양 M4 깊이.( 1 ) M 깊이 ( 1 ) TSᆞCT (7.) 6 7. (17.) M4 깊이. (1) 9 1 (22.) M탭홀 센서부착사양 센서부착사양 원점원판 원점센서 7 (6) 12 원점센서 원점원판 7 (6) (26) (26) 12 주 ) AC 서보모터용어터치먼트를선택한경우, 원점센서및원점원판은부착하지않습니다. XY 축스트로크 :2 참고질량 ( 2 ):2. 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 센서질량은포함하지않습니다. XY 축스트로크 : 참고질량 ( 2 ):7. 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 센서질량은포함하지않습니다. Ⅱ-21 Ⅱ-214

122 정밀위치결정테이블 TS ㆍ CT CT22/22, CT26/, CT/ TS/, CT/ 용옵션베이스치수 센서없는사양 H Y t 9 E Y M Y P Y P Y P x X E X (A 1 ) A 1 A 드릴 드릴8카운터보어깊이4. (TS/, CT/고정용 ) H H x TS/, CT/ 용옵션베이스 드릴 4. 카운터보어깊이.2 (B 1 ) B 2 B B 2 B 1 d TSᆞCT 센서부착사양 원점원판 원점센서 (26)( ) (26) (26) 원점센서원점원판 (26)( ) 주 ) AC 서보모터용어터치먼트를선택한경우, 원점센서및원점원판은부착하지않습니다. 호칭번호 단위 테이블치수스트로크축심높이 E X E Y X Y H X축 Y축 H X H Y CT22/ CT26/ CT/ 호칭번호 취부볼트 배드취부관계치수 M( 1 ) P X P Y d t A 1 A 2 B 1 B 2 B 참고질량 ( 2 ) CT22/22 6-M6 깊이 M6 탭 CT26/ 6-M6 깊이 M8 탭 CT/ 6-M6 깊이 M8 탭 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 센서질량은포함하지않습니다. ( ) CT22/22 에적용합니다. 센서가취부될때의치수입니다. Ⅱ-21 Ⅱ-216

123 TSB TSB Ⅱ-217 Ⅱ-218

124 정밀위치결정테이블 B TSB 타이밍벨트 직선 Points 1 고속및롱스트로크위치결정테이블 슬라이드테이블이송기구에내구성이우수한高장력스틸심을넣은타이밍벨트를사용하여, 고속이동이가능한롱스트로크타입의위치결정테이블입니다. 슬라이드테이블 브릿지커버 2 경량롱스트로크 高강도알루미늄합금재질의슬라이드테이블과 배드를채용하여, 경량화를실현. 스트로크는, 최대 12 까지시리즈화. 안정된높은주행정밀도주행성능을실현했습니다. 리니어웨이를 2 세트병렬조합하여, 안정된높은 배드 정밀위치결정테이블 과비교 스트로크 () 최고속도 (/s) 리니어웨이 TSB9 6 9 TSB 타이밍벨트 TS9M 6 9 TSB TS12M 7 12 TSB TS17M 9 17 주요제품사양 정밀도 단위 다양한제품군 구동직동안내기기 高장력타이밍벨트리니어웨이 ( 볼타입 ) 반복위치결정정밀도위치결정정밀도 ±.7~. ᅳ 형상 형식과크기 테이블폭치수 () 4 스트로크 () 윤활부품내장테이블ᆞ배드의재질 내장안함高강도알루미늄합금 로스트모션테이블운동의평행도 A ᅳ ᅳ 9 TSB 9 9 센서 표준장착 테이블운동의평행도 B 자세정밀도.~.7 ᅳ 12 TSB12 12 진직도백레쉬 ᅳ ᅳ 17 TSB17 17 Ⅱ-219 Ⅱ-22

125 호칭번호 호칭번호와사양의상세사항 호칭번호의배열예 형식 TSB: 정밀위치결정테이블 B TSB 12-7 / ATA1 2 크기 크기는테이블폭치수를표시합니다. 표 1 에표시한크기로부터선택합니다. 스트로크 표 1 에표시한스트로크로부터선택합니다. 1 형식 Ⅱ 222페이지 2 크기 Ⅱ 222페이지 표 1 크기와테이블폭치수및스트로크단위 형식과크기테이블폭치수스트로크 TSB 9 9, 4,, 6 TSB , 7, 8, 9, 1 TSB , 1, 1 2 스트로크 Ⅱ 222페이지 4 모터어터치먼트의지정 표 2 에표시한모터어터치먼트가취부되어있습니다. 4 모터어터치먼트의지정 Ⅱ 222페이지 ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ표 에표시한커플링이본체에취부되어출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. 표 2 모터어터치먼트의적용 스텝핑모터 사용모터 종류메이커시리즈형식 오리엔탈모터 RK CRK 주 ( 1 ) 모터출력축외경 φ8 로적용합니다. 비고모터상세사양은, 각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. 플랜지각 TSB 9 TSB12 모터어터치먼트 TSB17 RK6ㆍCRK6( 1 ) 6 ATA1 RK9 8 ATA2 TSB 표 커플링의형식 형식과크기 커플링의형식 메이커 커플링의관성 J C - ㆍm 2 ATA1 MO-2C 나베야바이텍 1.4 ATA2 MO-4C 나베야바이텍 4.1 비고커플링의상세사양은, 각메이커카탈로그를참조해주십시오. Ⅱ-221 Ⅱ-222

126 각종특성 센서사양 표 4 정밀도단위 표 8 센서타이밍차트 형식과크기스트로크반복위치결정정밀도테이블운동의평행도 B TSB 9 4 ± CW CCW TSB12 ±..7 TSB17 ±..7 표 최고속도와분해능 형식과크기 최고속도 ( 1 ) /s 분해능 ( 2 ) TSB 9 TSB12 TSB 주 ( 1 ) 실제최고속도는, 사용모터나부하조건등에대응하는운전패턴의검토가필요합니다. ( 2 ) 모터분할수가pulse/rev. 일때의값입니다. C OFF A ON 원점 원점전 D OFF CCW 리미트 표 6 최대탑재질량단위 형식과크기 최대탑재질량 OFF 스트로크길이 CW 리미트 TSB 9 TSB12 27 TSB17 29 비고 수평의경우에적용합니다. (E) (F) 메카스토퍼 TSB 표 7 테이블관성과기동토크 형식과크기 테이블관성 J T 기동토크 T S - ㆍm 2 Nㆍm TSB TSB TSB 형식과크기 A C D E F TSB TSB TSB 비고각센서의상세사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조해주십시오. 단위 취부 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. Ⅱ-22 Ⅱ-224

127 모터어터치먼트의치수 TSB9 TSB12 TSB9 정밀위치결정테이블 B M4 깊이 M4 깊이 ATA1 61. φ4 φ6 +.9 φ12 ATA1 64. φ4 φ6 +.9 φ12 () 6 A A TSB 드릴 ( 모터어터치먼트에가공 ) M6깊이12( 모터브라켓에가공 ) 42 2 (8) S/2 9 S/2 () M4 깊이 8 ATA2 φ φ4 φ12 -M4 탭홀 22. TSB 모터어터치먼트 모터브라켓 호칭번호 스트로크 S 전장 배드취부홀 A 질량 ( 참고 ) 단위 TSB TSB TSB TSB Ⅱ-22 Ⅱ-226

128 정밀위치결정테이블 B TSB12 TSB17 (7.) 8 A A 8 7. (4) 12 A A (8) S/2 12 S/2 () M 깊이 M6 깊이 (9) S/2 17 S/2 (14) 1 1 -M 탭홀 M6 탭홀 2 9 호칭번호 스트로크 S 전장 배드취부홀 A 단위 질량 ( 참고 ) 호칭번호 스트로크 S 전장 배드취부홀 A 질량 ( 참고 ) 단위 TSB TSB TSB TSB TSB TSB TSB TSB TSB Ⅱ-227 Ⅱ-228

129 NT (NT V, NT H, NT XZ, NT XZH) NT Ⅱ-229 Ⅱ-2

130 나노리니어 NT 리니어 모터 NT 컴팩트함을 극대화한 선진 리니어 모터 테이블 NT 시리즈 직선 나노리니어 NT는 무빙 마그네트 방식의 단면 높이가 매우 낮은 리니어 모터 테이블입니다. 가동 테이블 안내부에는 소형 직동안내기기 분야에서 정평이 있는 리니어웨이, 또는 크로스롤러웨이를 사용하여, 리니어 모터와 高 분해능 리니어 엔코더를 조합시켜 더욱 高정밀도 위치 결정을 실현합니다. 高성능 네오디뮴 자석을 채택하여 큰 추력을 얻을 수 있기 때문에, 소형이면서 고속ᆞ高응답 위치 결정이 가능합니다. 또한, 가동 케이블이 없는 획기적인 구동 방식을 채택하였으며, 기계적 접촉 부분은 직동안내기기 뿐이기에, 높은 크린도를 발휘합니다. 나노리니어 NT 스팩 일람 스탠다드 타입 NT V NT8V 형식과 크기 NT8V18 NTV2 8 NTV6 NT8V2 NT8V6 NT8V 단면 형상 26 최대 추력 N 정격 추력 N 최대 가반 질량.. 유효 스트로크 분해능 μm 최고 속도 /s ±..1. ±. ±...1 ±. 高정밀도 타입 NT H ±. ±.. 1 ±. 픽&플레이스 유닛 NT XZ 高추력 픽&플레이스 유닛 NT XZH NT8XZ4 NT9XZH2 NT88H6 NT88H 형식과 크기 2 18 주요 제품 사양 정밀도 단위 구동 리니어 모터 반복 위치 결정 정밀도 ±.1~. 직동안내기기 리니어웨이 볼 타입 크로스롤러웨이 (롤러 타입) 위치 결정 정밀도 ᅳ 로스트 모션 ᅳ 테이블 운동의 평행도 A ᅳ 윤활 부품 내장 윤활 부품 C루브 내장 (NT8V, NTV, NT H는 제외) 테이블ᆞ배드의 재질 탄소강 센서 표준 장착 Ⅱ 21 테이블 운동의 평행도 B ᅳ 16 (168) 26 단면 형상 29. (268) X축 Z축 X축 Z축 최대 추력 N 정격 추력 N 자냉 16 공냉 2 자냉 16 공냉 2 최대 가반 질량 유효 스트로크 분해능 μm 최고 속도 /s 반복 위치 결정 정밀도 μm ᅳ ± ±.1 ᅳ 27 ±. 8 ± ±. ±. 나노리니어NT의 동작 원리 마그네트 요크 (가동자) 나노리니어 NT는, 가동자에 마그네트와 리니어 엔코더용 스케일을 고정자에 공심 코일과 리니어 엔코더용 헤드를 컴팩트하게 배치한 구조 입니다. 좌측 그림과 같이, 마그네트 요크에 의해 항상 수직 방향에 작용하는 자속과 코일 전류에 의해 코일 자세 정밀도 ᅳ 주변에 발생하는 회전 자속에 따라, 코일은 수평 방향으로 힘을 받습니다. (플레밍의 진직도 ᅳ 왼손 법칙) 자속의 방향에 코일의 전류를 전환하는 것으로, 한방향의 연속적인 백레쉬 ᅳ 테이블 이동 방향 마그네트 (가동자) 코일 (고정자) 자속 코일 요크 추력을 얻을 수 있어 가동자는 직선 운동을 지속합니다 전류량에 따른 가속도 제어와 리니어 엔코더에 의한 피드백으로 이동과 정확한 위치 결정을 실행합니다. Ⅱ 22 NT 반복 위치 결정 정밀도 μm

131 나노리니어 NT NT ㆍ V NT V는, 테이블안내부에소형직동안내기기의리니어웨이 를사용하여, 부품점유수절감, 부품형상의재검토를통해, 뛰어난코스트퍼포먼스를실현한리니어모터테이블입니다. [ 스탠다드타입 ] 가동테이블가동자마그네트고정자코일 병렬로배치된 2대의 NT V를결합하여, 1대의전용 2 축병렬운전 드라이버로구동하는것으로써, 큰추력과안정된 자세정밀도를얻을수있습니다. X2 테이블 2축병렬운전의특징 2축구동에의한, 큰추력을얻을수있습니다. 좌우테이블구동에따른, 테이블의지연이나케이스의뒤틀림을최소한으로억제할수있습니다. 테이블의지연이나케이스의뒤틀림이적기때문에, 높은위치결정정밀도를확보할수있습니다. 2축동기제어시스템과비교하여, 코스트를절감할수있습니다. 시리즈최소사이즈의 NT8V 는, 단면높이가 불과 11, 테이블폭 8, 전장 62를실현. 위치결정기구의한층새로운소형화에공헌합니다. 또는, 모션네트워크 EtherCAT 대응드라이버및 SSCNETⅢ/H 대응드라이버도대응하고있어, 배선공수절감과스무즈한고속, 高정밀도동작을실현합니다. 배드 리니어웨이 리니어엔코더용스케일 리니어엔코더용헤드 이동방향 X1 테이블 전용드라이버 상위컨트롤러 Points 1컴팩트화를지향추구하였습니다. 특히, 시리즈최소사이즈의 NT8V은, 단면높이가불과 11, 테이블 超컴팩트 폭 8, 전장 62 를실현. 다수의테이블을적층상태로배치하여도, 점유스페이스가증대하지않아, 위치결정기구에한층더소형화에공헌합니다. 모터케이블 (X1 테이블용 ) 모터케이블 (X2 테이블용 ) 엔코더케이블비고 :2축병렬운전을주문하실경우에는, 로문의하여주십시오. XY 2 축조합사양 4NT8V 를 2 대직접조합하여, 별도의어터치먼트가불필요하며, 저단면 XY 테이블을간단히구축할수있습니다. NT 형식과크기 NT8V NT8V18 NTV2 NTV6 NT8V2 NT8V6 NT8V12 단면형상 () Y 축 ( 스트로크 :2) 2 수직축사양에대응개별대응스프링방식의밸런스기구를조합구성하여, 전원차단시, 가동테이블의낙하를방지합니다. NT V의저단면ᆞ컴팩트한특성을살려, 다축의픽 & 플레이스기구등을구축할수있습니다. 다축의픽 & 플레이스기구 ( 이미지 ) 스프링방식의밸런스기구 X축 ( 스트로크 :6) 가동테이블 스프링 모션네트워크 EtherCAT, SSCNET /H, 모션네트워크대응 MECHATROINK에대응하는드라이버도준비되어있어, 배선을절감하여, 보다고도의시스템구축이가능합니다. 컨트롤러 전용드라이버 전용드라이버 나노리니어나노리니어 전용드라이버 나노리니어 비고 : 수직축사양은, 개별대응품이됩니다. 고객사의사용조건에맞게스프링을선정하고있으니, 원하실때는, 로문의하여주십시오. 비고 :EtherCAT 은, 독일 Beckhoff Automation GmbH 로부터라이센스허가된특허취득기술이며, 등록상표입니다. SSCNET /H 은, 미쯔비시전기 가개발한서보시스템제어를위한모션네트워크통신입니다. MECHATROINK 는, 오픈필드네트워크로써, MECHATROINK 협회로부터관리되고있습니다. Ⅱ-2 Ⅱ-24

132 나노리니어 NT NT ㆍ H [ 고정밀도타입 ] NT ㆍ XZ [ 픽 & 플레이스유닛 ] C 루브리니어웨이 NT H는, 테이블안내부에롤러타입의랙 & 피니언내장형크로스롤러웨이를사용하여, 1μm 이하의위치결정정밀도와주행진직도로, 높은강성과공기정압베어링에 리니어엔코더용헤드 가동자마그네트 가동테이블 NT XZ는, 테이블안내부에소형직동안내기기의 C루브리니어웨이 를사용하여, X축의가동테이블과 Z축의배드를일체화한것으로, 두께 18의초박형화를실현한 리니어엔코더용헤드리니어엔코더용스케일 가까운맥동없이스무즈한작동을실현한高정밀도리니어 리니어모터구동의픽 & 플레이스유닛입니다. 위치결정 배드 모터테이블입니다. 프로그램을입력하여, 자유자재의운전패턴이가능하며, 워크에맞춘스트로크변경도간단하게대응할수있습니다. 고정자코일 가동자마그네트 배드 가동테이블 랙 & 피니언내장형크로스롤러웨이 리니어엔코더용스케일 고정자코일 Points Points 1 높은자세정밀도 高정밀도로가공한부품과랙 & 피니언내장형 크로스롤러웨이를조합하여, 자세정밀도 초이하를실현하였습니다. 이동에 따른자세변화가지극히적고, 위치재현성에우수합니다. 자세정밀도초 자세정밀도 :초이하 피칭 요잉 리니어모터구동에의한유례없는구조의픽 & 플레이스 빠른택타임의위치결정 유닛입니다. 두축모두광학식리니어엔코더를탑재하여, 정밀하고빠른택타임의위치결정이가능합니다. NT 위치 2 높은속도안정성 스무즈한동작의크로스롤러웨이, 코어레스 무빙마그네트타입의리니어모터와고성능 서보드라이버에의한, 속도안정성이한층더향상되었습니다. 속도 /s 11.8 /s 속도안정성 ( 측정주파수 Hz):±1% 이하 시간 s 2X 축가동테이블과 Z축배드를일체화한 초박형 스페이스절감 것으로, 두께 18 의초박형화를실현. 폭 의스페이스에 4 대병렬설치가 가능하고, 공간절약배치로효율극대화에공헌합니다. 견본 1 엔동전 케이블을제외한치수입니다. 높은주행정밀도 구성부품을정밀도좋게조립한것으로, 진직도 1μm 이하라는높은 주행정밀도를실현하고 있습니다. 진직도오차 μm 주행진직도 :1μm 이하 4 6 드라이버의모니터기능을사용하여, PC 운전모니터기능 로궤도를검증할수있습니다. 위치 Ⅱ-2 Ⅱ-26

133 나노리니어 NT NT XZH는, 테이블 안내부에 소형 직동안내기기의 C루브 高추력 픽&플레이스 유닛 배드 X축 테이블 2 두축 모두 광학식 리니어 엔코더를 탑재하여, 풀 크로즈드 정정(整定)시간 2ms 사이클 횟수 4회/분 루프 제어에 의한 高분해능과 高응답을 실현합니다. 측정 조건 C루브 리니어웨이 리니어웨이 을 사용하여, X축과 Z축을 콤팩트하게 실효 추력 X축 14.8N 탑재 질량 g 스트로크 X축 22 가감속 시간 X축 24ms 고정자 코일 일체화한 리니어 모터 구동의 高추력 픽&플레이스 유닛 가동자 마그네트 Z축 테이블 입니다. 링크 기구를 이용하여 가동 테이블을 구동하는 방식을 채택함으로써, 리니어 모터의 高추력화와 가동부의 Z축 1.7N Z축 Z축 9ms X축 실제 속도 X축 위치 결정 완료 신호 Z축 실제 속도 Z축 위치 결정 완료 신호 경량화를 양립시켜, 택타임 단축을 실현합니다. 위치 결정 프로그램을 입력하여, 자유자재의 운전 패턴이 가능하며, 속 도 /s NTㆍ ㆍ ㆍXZH 高분해능 高응답 - - 워크에 맞춘 스트로크 변경도 간단하게 대응할 수 - 있습니다. 링크 가이드 C루브 리니어웨이 가동 테이블 Points 리니어 엔코더용 헤드 2 2 시 간 ms 공냉 발열원이 되는 코일을 고정자로 집약한 구조로 되어 NT9XZH 온도 환경 온도2 있어, 냉각이나 취부 베이스에 방열이 용이합니다. 공냉 옵션을 지정하여, 한층 택타임 단축이 강제 공냉 없음 강제 공냉 있음 가능하게 됩니다. 배드 온도 高추력 빠른 택타임 X축과 Z축을 평면상에 배치하고, 링크 기구를 이용하여 가동 테이블을 로 구동하는 방식을 채택함으로써, 유 리니어 모터의 高추력화와 가동부의 실효 추력 경량화를 양립시켜, 택타임 단축을 X축 실현하였습니다. Z축 X축 가동부 Z축 가동부 4 X축 모터 가동부 케이블 레스 확실히 다축 유닛이면서, 가동부에 케이블이 없는 무빙 마그네트 방식을 채택하고 있어, 배선 처리가 용이하면서 높은 크린도를 실현합니다. Z축 모터 링크 가이드 C루브 리니어웨이 ) 가동 테이블 Ⅱ 27 NT 1 리니어 엔코더용 스케일 운전 모니터 기능 NT XZ와 동일하게, 드라이버의 모니터 기능을 사용하여, PC로 궤도를 검증할 수 있습니다. Ⅱ 28

134 호칭번호 NT V 의호칭번호의배열예 NT V 2 / SC 1 호칭번호 NT H 의호칭번호의배열예 NT 88 H 6 / R 1 형식 Ⅱ 29페이지 2 크기 Ⅱ 29페이지 스트로크 Ⅱ 29페이지 4 리니어엔코더분해능 Ⅱ 29페이지 커버 Ⅱ 29페이지 6 케이블취출방향 Ⅱ 29페이지 7 센서지정 Ⅱ 29페이지 8 사양번호 Ⅱ 29페이지 호칭번호와사양의상세사항 형식 크기 스트로크 리니어엔코더분해능 커버 케이블취출방향 센서지정 사양번호 NT V: 나노리니어 NT V 8: 폭치수 8 : 폭치수 8: 폭치수 8 : (NT8V 에적용 ) 18: 18 (NT8V 에적용 ) 2: 2 (NTV, NT8V 에적용 ) 6: 6 (NTV, NT8V 에적용 ) 12:12(NT8V 에적용 ) 1 :.1μm 1F:.1μm :.μm 고속사양 (NTV, NT8V 에적용 )1F 을선택하는경우는전용드라이버 ADVA 를사용한시스템구성이필요합니다. 무기호 : 커버없음 D : 커버부착 (NT8V 에적용 ) : 좌방향 R: 우방향그림 1 의케이블취출방향중에서선택합니다.( 엔코더를아래쪽으로했을때의취출방향 ) 무기호 : 센서없음 SC : 센서 ( 리미트, 원점전 ), 센서브라켓취부 NTV, NT8V에적용나노리니어 NTV 및 NT8V에는 ADVA와 SSCNETⅢ/H 대응의 MR-J4-B 2종류의전용드라이버가있으며, MR-J4-B를사용하는경우는 SC 선택이필수입니다. 1: 사양번호 1 사양번호는 1 으로만해당됩니다. 1 형식 Ⅱ 24페이지 2 크기 Ⅱ 24페이지 스트로크 Ⅱ 24페이지 4 리니어엔코더분해능 Ⅱ 24페이지 케이블취출방향 Ⅱ 24페이지 호칭번호와사양의상세사항 형식 크기 스트로크 리니어엔코더분해능 케이블취출방향 NT H: 나노리니어 NT H 88: 폭치수 88 2:2 6:6 1:.1μm :.μm : 좌방향 R: 우방향그림 2 의케이블취출방향중에서선택합니다.( 엔코더를아래쪽으로했을때의취출방향 ) : 좌방향 R: 우방향 그림 2 NT88H 의케이블취출방향 NT Ⅱ-29 : 좌방향 R: 우방향 그림 1 NT V 의케이블취출방향 Ⅱ-24

135 호칭번호 NT XZ, NT XZH 의호칭번호의배열예 형식 Ⅱ 241페이지 2 크기 Ⅱ 241페이지 X축스트로크 Ⅱ 241페이지 NT 9 XZH 2 / CA 각종특성 표 1 NT8V 사양ㆍ성능 항목 형식과크기 NT8V NT8V18 최대추력 ( 1 ) N 정격추력 ( 2 ) N.6.8 최대가반질량. 유효스트로크 18 분해능 μm 최고속도 /s 반복위치결정정밀도 ( ) μm ±. 가동부질량.6( 커버부착.4).48( 커버부착.2) 총질량 ( 4 ).19( 커버부착.198).2( 커버부착.29) 사용주위온도ㆍ습도 ~4 C ㆍ 2~8%RH( 결로가없을것 ) 주 ( 1 ) 최대추력의지속시간은최대 1 초입니다. ( 2 ) 주위온도 2 C, 금속제상대물에취부했을경우입니다. ( ) 제품본체의온도가일정한경우입니다. ( 4 ) 케이블질량은포함하지않습니다. 4 Z축스트로크 Ⅱ 241페이지 리니어엔코더분해능 Ⅱ 241페이지 6 냉각사양 Ⅱ 241페이지 호칭번호와사양의상세사항 형식 크기 X 축스트로크 Z 축스트로크 리니어엔코더분해능 냉각사양 NT XZ : 나노리니어 NT XZ NT XZH : 나노리니어 NT XZH 高추력타입 8:Z 축폭치수 8(NT XZ 에적용 ) 9:Z 축폭치수 9(NT XZH 에적용 ) 2:2(NT XZH 에적용 ) 4:4(NT XZ 에적용 ) : 1 :.1μm 1F:.1μm :.μm 고속사양 무기호 : 자냉 CA : 공냉 (NT XZH 에적용 ) 표 2 NTV 사양ㆍ성능 항목 형식과크기 NTV2 NTV6 최대추력 ( 1 ) N 2 정격추력 ( 2 ) N 7 최대가반질량 유효스트로크 2 6 분해능 μm 최고속도 /s 27 1 ( ) ( ) 1 반복위치결정정밀도 ( ) μm ±. 가동부질량 총질량 ( 4 ).42. 사용주위온도ㆍ습도 ~4 C ㆍ 2~8%RH( 결로가없을것 ) 주 ( 1 ) 최대추력의지속시간은최대 1 초입니다. ( 2 ) 주위온도 2 C, 금속제상대물에취부했을경우입니다. ( ) 제품본체의온도가일정한경우입니다. ( 4 ) 케이블질량은포함하지않습니다. ( ) 고속사양에적용합니다. 표 NT8V 사양ㆍ성능 항목 형식과크기 NT8V2 NT8V6 NT8V12 최대추력 ( 1 ) N 6 정격추력 ( 2 ) N 8 최대가반질량 유효스트로크 분해능 μm 최고속도 /s 27 1 ( ) ( ) ( ) 1 반복위치결정정밀도 ( ) μm ±. 가동부질량 총질량 ( 4 ) 사용주위온도ㆍ습도 ~4 C ㆍ 2~8%RH( 결로가없을것 ) 주 ( 1 ) 최대추력의지속시간은최대 1 초입니다. ( 2 ) 주위온도 2 C, 금속제상대물에취부했을경우입니다. ( ) 제품본체의온도가일정한경우입니다. ( 4 ) 케이블질량은포함하지않습니다. ( ) 고속사양에적용합니다. NT Ⅱ-241 Ⅱ-242

136 각종특성 표 4 NT H 사양ㆍ성능 항목 형식과크기 표 NT XZ, NT XZH 사양ㆍ성능 NT88H2 NT88H6 최대추력 ( 1 ) N 2 정격추력 ( 2 ) N 최대가반질량 유효스트로크 2 6 분해능 μm 최고속도 /s 위치결정정밀도 ( ) μm 1 반복위치결정정밀도 ( 4 ) μm ±.1 운동평행도 A μm 자세정밀도 ( ) 초 수직진직도ㆍ수평진직도 μm 1 가동부질량.7.9 총질량 ( 6 ) 사용주위온도ㆍ습도 ~4 C ㆍ 2~8%RH( 결로가없을것 ) 주 ( 1 ) 최대추력의지속시간은최대 1초입니다. ( 2 ) 주위온도 2 C, 금속제상대물에취부했을경우입니다. ( ) 주위및제품본체의온도가 2 일때의값입니다. ( 4 ) 제품본체의온도가일정한경우입니다. ( ) 피칭및요잉을표시합니다. ( 6 ) 케이블질량은포함하지않습니다. NTV 조합하는드라이버가 ADVA-1N, MR-J4 의경우 추력 N 4 2 테이블의이동속도 /s 그림 6 NTV 추력특성 조합하는드라이버가 ADVA-RM 의경우 추력 N 4 2 NTV2 NTV6 정격추력 N 그림 7 NTV 정격추력특성 비고금속제상대물에취부했을경우입니다. 정격추력 N 환경온도 동적가반질량 비고 동적가반질량 가속도 m/s 2 그림 8 NTV 동적가반질량 테이블이동속도 /s 일때의추력으로부터산출한값입니다. 1.1 NTV2 NTV6 항목 형식과크기 NT8XZ4 NT9XZH2 X 축 Z 축 X 축 Z 축 최대추력 ( 1 ) N 2 7 정격추력 ( 2 ) N 2. 자냉 :16 공냉 ( ):2 최대가반질량.1.2 유효스트로크 4 2 분해능 μm 최고속도 /s 27 1 ( 7 ) ( 7 ) ( 7 ) ( 7 ) 1 반복위치결정정밀도 ( 4 ) μm ±. ±. 가동부질량.6( ) 총질량 ( 6 ) 사용주위온도ㆍ습도 ~4 C ㆍ 2~8%RH( 결로가없을것 ) 주 ( 1 ) 최대추력의지속시간은최대 1초입니다. ( 2 ) 주위온도 2 C, 금속제상대물에취부했을경우입니다. ( ) 공기기류량 2N/min일때입니다. ( 4 ) 제품본체의온도가일정한경우입니다. ( ) Z축가동부질량을포함합니다. ( 6 ) 케이블질량은포함하지않습니다. ( 7 ) 고속사양에적용합니다. NT8V 조합하는드라이버가 ADVA-1N, MR-J4 의경우 추력 N 4 2 테이블의이동속도 /s 그림 9 NTV 추력특성 정격추력 N 환경온도 그림 NTV 정격추력특성 비고금속제상대물에취부했을경우입니다. 2 4 비고 동적가반질량 가속도 m/s 2 그림 11 NTV 동적가반질량 테이블이동속도 /s 일때의추력으로부터산출한값입니다. NT8V12 NT8V2 NT8V6.1 1 NT 테이블의이동속도 /s 환경온도 가속도 m/s 2 NT V 추력특성 NT8V 그림 12 NT8V 추력특성 조합하는드라이버가 ADVA-RM 의경우 그림 1 NT8V 정격추력특성 비고금속제상대물에취부했을경우입니다. 비고 그림 14 NT8V 동적가반질량 테이블이동속도 /s 일때의추력으로부터산출한값입니다. 추력 N 테이블의이동속도 /s 정격추력 N NT8V18..2 NT8V 환경온도 동적가반질량 NT8V NT8V18 1 가속도 m/s 2 추력 N 4 2 NT8V12 NT8V6 NT8V2 테이블의이동속도 /s 정격추력 N 환경온도 동적가반질량 NT8V6 NT8V2 NT8V12 1 가속도 m/s 2 그림 NT8V 추력특성 그림 4 NT8V 정격추력특성 그림 NT8V 동적가반질량 그림 1 NT8V 추력특성 그림 16 NT8V 정격추력특성 그림 17 NT8V 동적가반질량 비고금속제상대물에취부했을경우입니다. 비고 테이블이동속도 /s 일때의추력으로부터산출한값입니다. 비고금속제상대물에취부했을경우입니다. 비고 테이블이동속도 /s 일때의추력으로부터산출한값입니다. Ⅱ-24 Ⅱ-244

137 각종특성 NT H 추력특성 취부 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. NT88H6 추력 N 2 NT88H2 정격추력 N 센서사양 표 6 NTV/SC, NT8V/SC 센서타이밍차트 환경온도 4 테이블의이동속도 /s 그림 18 NT88H 추력특성 그림 19 NT88H 정격추력특성 비고금속제상대물에취부했을경우입니다. NT XZ, NT XZH 추력특성 A A 조합하는드라이버가 ADVA-1N 의경우 원점 원점 원점전센서 OFF B B OFF 원점전센서 8 6 NT9XZH XZ 축공통 2 NT9XZH( 공냉 )XZ 축공통 NT9XZH( 자냉 ) XZ축공통 + 방향리미트 -방향리미트메카스토퍼 OFF C (D) (E) C OFF (D) OFF (D) C (E) C (D) OFF + 방향리미트 -방향리미트메카스토퍼 추력 N 4 NT8XZ X 축 정격추력 N NT8XZ X 축 NT V/SC 의경우 NT V/RSC 의경우 단위 NT 2 NT8XZ Z축 테이블의이동속도 /s 그림 2 NT XZ, NT XZH 추력특성 NT8XZ Z축 2 4 환경온도 그림 21 NT XZ, NT XZH 정격추력특성 비고금속제상대물에취부했을경우입니다. 형식과크기 A B( 1 ) C( 1 ) D( 1 ) E( 1 ) NTV 2/SC NTV 6/SC NT8V 2/SC NT8V 6/SC NT8V12/SC 주 ( 1 ) 각수치는참고치이며, 보증치가아닙니다. 상세한치수가필요시에는, 로문의하여주십시오. 비고각센서사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조하여주십시오. 조합하는드라이버가 ADVA-RM 의경우 NT V, NT XZ, NT XZH 에는, 센서가내장되어있지않습니다. 추력 N NT9XZH XZ축공통 NT8XZ X축 정격추력 N 2 NT9XZH( 공냉 )XZ축공통 NT9XZH( 자냉 ) XZ축공통 NT8XZ X축 드라이버 ADVA 를사용한시스템구성및 NT8V 시스템구성에서의원점복귀는, 외부입력으로실행합니다. 원점복귀동작은가동테이블메 카스토퍼에접촉후에반전하여, 원점위치에서정지합니다. 다만, NTV, NT8V 는보조기호 (/SC) 에의해리미트센서및원점전센서를취부가능하기때문에, 각센서를이용한원점복귀도가능합니다. 드라이버 ADVA 를사용한시스템구성에대한 ± 방향리미트검출은, 드라이버의소프트리미트기능으로실행합니다. 드라이버파라메터에따 라스트로크범위설정이가능합니다. 또한, 소프트리미트기능은위치제어모드에서만유효하며, 원점복귀완료가조건이됩니다. 속도제어모드, 추력제어모드의경우는, 외부센서를설치하여주십시오. 2 NT8XZ Z 축 NT8XZ Z 축 테이블의이동속도 /s 2 4 환경온도 그림 22 NT XZ, NT XZH 추력특성 그림 2 NT XZ, NT XZH 정격추력특성 비고금속제상대물에취부했을경우입니다. Ⅱ-24 Ⅱ-246

138 센서사양 시스템구성 NT8V 시스템구성 나노리니어 NT8V 는전용드라이버가준비되어있으며, 표 7 에시스템구성을표시합니다. 드라이버상세사양에대해서는, Ⅱ-4 페이지의드라이버사양을참조해주십시오. 주문시에는, 표 7 에표시된호칭번호에서별도로지정해주십시오. 표 7 NT8V 시스템구성 6 데이터편집소프트웨어 2 드라이버 PC 접속케이블 PC 원점 + 방향리미트 -방향리미트메카스토퍼 OFF 14 OFF 14 (17) (17) NT88H2/ 의경우 OFF OFF (17) (17) NT88H2/ R의경우 원점 + 방향리미트 -방향리미트메카스토퍼 상위장치 PC, 스위치, 센서등 나노리니어 NT8V DC24V 원점 + 방향리미트 -방향리미트메카스토퍼 OFF 4 (7) 4 (7) NT88H6/ 의경우 OFF 그림 24 NT H 센서타이밍차트 NT88H6/ R 의경우 비고 1. 표준시스템구성에서의원점복귀는, 드라이버원점복귀기능 ( 리미트반전방식 ) 을사용합니다. 엔코더인터페이스에서출력되는리미트신호출력을드라이버에입력이필요합니다. 2. 원점전센서출력은없습니다.. 각센서의상세사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조해주십시오. OFF 4 (7) 4 (7) OFF 원점 + 방향리미트 -방향리미트메카스토퍼 No. 명칭 호칭번호 1 나노리니어 NT V NT8V 2 드라이버 NCR-DCEDB-21D-S1 모터중계케이블 (m( 1 )) TAE2T8-AM 4 엔코더중계케이블 (1.m( 1 )) TAE2U8-EC 고객사에서준비해주십시오. PC 접속케이블 USB 케이블 A플러그-미니 B플러그 6 데이터편집소프트웨어 NCR-XCR-S1 7 입출력신호용컨넥터 TAE2U9-CN( 2 ) 8 전원케이블 9 상위장치 상위장치접속케이블 고객사에서준비하여주십시오. 11 DC24V 전원 주 ( 1 ) 특수한케이블길이에대해서는 로문의하여주십시오. ( 2 ) 입출력신호용컨넥터 TAE2U9-CN은, 쓰리엠재팬 16-PE( 컨넥터 ) 와 6-2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. NT Ⅱ-247 Ⅱ-248

139 R 시스템구성 NTV, NT8V, NT XZ, NT XZH 시스템구성 나노리니어 NTV, NT8V, NT XZ, NT XZH 에는전용드라이버인 ADVA 와 MR-J4 2 가지시리즈가준비되어있으며, 사용하는 드라이버에따라시스템구성이달라집니다. ADVA 는펄스열사양과고속네트워크 EhterCAT 의 2 가지사양을선택할수있으며, MR-J4 는고속네트워크 SSCNETⅢ/H 사양만선택가능합니다. 표 8 은드라이버와테이블대응형식을나타냅니다. 표 9 는 ADVA 호칭번호의배열, 표 은테이블과적용하는 MR-J4 의호칭번호를나타냅니다. 드라이버상세사양에대해서는 Ⅱ 47~ 페이지의드라이버사양을참조해주십시오. 또한, MECHATROINK 에대한드라이버는개별대응가능하므로, 필요하신경우로문의하여주십시오. 표 8 나노리니어 NT V, NT XZ, NT XZH 와적용드라이버의호칭번호 드라이버종류 ADVA MR-J4 비고 MR-J4 는, 센서부착사양 /SC 에만적용합니다. 표 9 ADVA 의호칭번호 2 전류전압 1N RM 지령방식 무기호 EC 표 NT V 와적용되는 MR-J4 의호칭번호 테이블호칭번호 NTV 2 NTV 6 NT8V 2 NT8V 6 NT8V12 비고 MR-J4-B 는, 센서부착사양 /SC 에만적용합니다. 표 11 적용나노리니어형식 NTV, NT8V, NT XZ, NT XZH NTV, NT8V ADVA - 1N EC / NTV2 1 형식 2 4 단상 /상 2V 단상 V 펄스열지령 EtherCAT 드라이버 ADVA 를사용한 NT V 의시스템구성 9 2 드라이버 ACSERVO ADV Series 셋업소프트웨어 PC 상위장치 PC, 스위치, 센서등 1 나노리니어 NT V 드라이버호칭번호 MR-J4-B-RJ/NTV2 MR-J4-B-RJ/NTV6 MR-J4-B-RJ/NT8V2 MR-J4-B-RJ/NT8V6 MR-J4-B-RJ/NT8V12 4 적용나노리니어형식 NTV 2 NTV 2 NTV 6 NTV 6 NT8V 2 NT8V 2 NT8V 6 NT8V 6 NT8V12 NT8V12 NT8XZ-X NT8XZ의 X축 NT8XZ-Z NT8XZ의 Z축 NT9XZH NT9XZH의 X축, Z축공용 No. 명칭호칭번호 4 모터중계케이블 (m)( 1 ) 엔코더중계케이블 (2m)( 1 ) TAE2V-AM TAE2V4-EC2 센서중계케이블 ( 2 ) TAEV8-C 6 7 PC 접속케이블 셋업소프트웨어 USB mini B 케이블고객사에서준비하여주십시오. ProDriveNext 히타치산기시스템웹사이트로부터다운로드하여주십시오. 8 I/O 커넥터 TAE2R-CN( ) 9 11 전원케이블 상위장치 I/O 커넥터연결케이블 주 ( 1 ) 특수한케이블길이에대해서는 로문의하여주십시오. ( 2 ) 센서중계케이블길이는, 호칭번호말단의 에 ~m까지 1m 단위로지정합니다. ( ) I/O 컨넥터 TAE2R-CN은, 쓰리엠재팬 -PE( 컨넥터 ) 와 -2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. 고객사에서준비하여주십시오. 셋업소프트웨어 나노리니어 NTV, NT8V, NT XZ, NT XZH 를동작시키기위해서는, 드라이버파라메터의초기설정이필요합니다. 드라이버의파라메터설정은, 셋업소프트웨어에서실행합니다. 또는, 게인조정이나운전상황의확인에도이용가능합니다. 드라이버본체에는, 셋업소프트웨어, PC 접속케이블이포함되어있지않습니다. 이러한구성품들은복수의드라이버에서공용으로사용가능합니다만, 최소한 1 세트는필요합니다. 고객사조건에맞게별도주문또는준비를해주십시오. 표 12 드라이버 ADVA EC 를사용한 NT V 의시스템구성 2 드라이버 ACSERVO ADV Series ET1 ET 셋업소프트웨어 PC 11 상위장치 PC, 스위치, 센서등기타 EtherCAT 대응기기 상위장치 PC, 스위치, 센서등 1 나노리니어 NT V No. 명칭호칭번호 4 모터중계케이블 (m)( 1 ) 엔코더중계케이블 (2m)( 1 ) TAE2V-AM TAE2V4-EC2 센서중계케이블 ( 2 ) TAEV8-C USB mini B 케이블 6 PC 접속케이블고객사에서준비하여주십시오. ProDriveNext 7 셋업소프트웨어 히타치산기시스템웹사이트로부터다운로드하여주십시오. 8 I/O 커넥터 TAE2V-CN( ) 9 Ethernet 케이블 전원케이블 상위장치 I/O 커넥터연결케이블 주 ( 1 ) 특수한케이블길이에대해서는 로문의하여주십시오. ( 2 ) 센서중계케이블길이는, 호칭번호말단의 에 ~m까지 1m 단위로지정합니다. ( ) I/O 컨넥터 TAE2V-CN은, 쓰리엠재팬 12-PE( 컨넥터 ) 와 2-2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. 표 1 드라이버 MR-J4-B 를사용한 NT V 의시스템구성 (SSCNETⅢ/H 대응 ) 9 2 드라이버 단상또는 상 AC2V(/6Hz) 7 셋업소프트웨어 PC 상위장치 DC24V 전원 SSCNET /H 대응모션컨트롤러위치결정유닛 1 나노리니어 NT V 고객사에서준비하여주십시오. No. 명칭호칭번호 모터중계케이블 (m)( 1 ) 엔코더중계케이블 (2m)( 1 ) 센서중계케이블 ( 2 ) TAE2V-AM TAE2V6-EC2 PC 접속케이블 (m) MR-JUSBCBM 셋업소프트웨어 SW1DNC-MRC2-J 입출력접속용컨넥터 MR-CCN1( ) 전원케이블 상위장치 ( 4 ) 고객사에서준비하여주십시오. SSCNET /H 접속케이블 주 ( 1 ) 특수한케이블길이에대해서는 로문의하여주십시오. ( 2 ) 센서중계케이블길이는, 호칭번호말단의 에 ~m까지 1m 단위로지정합니다. ( ) 입출력접속용컨넥터 MR-CCN1은, 쓰리엠재팬 12-PE( 컨넥터 ) 와 2-2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. ( 4 ) 상위장치는미쯔비시전기 SSCNETⅢ/H 대응모션컨트롤러, 위치결정유닛, DC24V 전원이됩니다. TAEV8-C NT Ⅱ-249 Ⅱ-2

140 ACSERVO ACSERVO 시스템구성 표 14 NT XZ, NT XZH 의시스템구성 9 2 X 축드라이버 ADV Series 8 Z 축드라이버 ADV Series No. 명칭 수량 호칭번호 1 나노리니어 NT XZ, NT XZH 1 NT8XZ4 NT9XZH2 2 ADVA-1N/NT8XZ-X(2V 사양 ) ADVA-1N/NT9XZH(2V 사양 ) X축용드라이버 1 ADVA-RM/NT8XZ-X(V 사양 ) ADVA-RM/NT9XZH(V 사양 ) ADVA-1N/NT8XZ-Z(2V 사양 ) ADVA-1N/NT9XZH(2V 사양 ) Z축용드라이버 1 ADVA-RM/NT8XZ-Z(V 사양 ) ADVA-RM/NT9XZH(V 사양 ) 4 모터중계케이블 (m)( 1 ) 2 TAE2V-AM 엔코더중계케이블 (2m)( 1 ) 2 TAE2V4-EC2 6 PC 접속케이블 1 USB mini B 케이블 ( 고객사에서준비하여주십시오.) 7 ProDriveNext 셋업소프트웨어 1 히타치산기시스템웹사이트로부터다운로드하여주십시오. 8 I/O 커넥터 2 TAE2R-CN( 2 ) 9 전원케이블 상위장치 고객사에서준비하여주십시오. 11 I/O 커넥터연결케이블 주 ( 1 ) 특수한케이블길이에대해서는 로문의하여주십시오. ( 2 ) I/O 컨넥터 TAE2R-CN은, 쓰리엠재팬 -PE( 컨넥터 ) 와 -2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. 11 상위장치 PC, 스위치, 센서등 PC 7 셋업소프트웨어 1 나노리니어 NT XZ, NT XZH NT H 의시스템구성 나노리니어 NT H 에는전용드라이버가준비되어있으며, 표 1 에시스템구성을표시합니다. 드라이버상세사양에대해서는, Ⅱ 46 페이지의드라이버사양을참조해주십시오. 주문시에는, 표 1 에표시된호칭번호에서별도로지정해주십시오. 표 1 NT H 의시스템구성 8 VC TB1 J ACV (/6Hz) 2 드라이버 r s TB2 J1 R S (T) B1 J2 B2 U CN2 V W DBK DBC CN1 데이터편집소프트웨어 데이터편집소프트웨어 9 상위장치 PC, 스위치, 센서등 DC24V 전원 ( 1 ) 1 나노리니어 NT H 엔코더인터페이스 PC No. 명칭호칭번호 1 나노리니어 NT H NT88H 2 드라이버 NCR-DDAA1A-1D-T8 나노리니어 NT H 를동작시키기위해서는, 드라이버파라메터의초기설정이필요합니다. 드라이버의파라메터설정은, 데이터편집소프트웨어로실행합니다. 드라이버본체에는, 데이터편집소프트웨어, PC 접속케이블이포함되어있지않습니다. 이러한구성품들은복수의드라이버에서공용으로사용가능합니다만, 최소한 1 세트는필요합니다. 고객사조건에맞게주문하여주십시오. 4 모터중계케이블 (2m)( 2 ) 엔코더중계케이블 (2m)( 2 ) TAE2T8-AM TAE2T9-EC2 고객사에서준비하여주십시오. PC 접속케이블 USB 케이블 A플러그-B플러그 6 데이터편집소프트웨어 NCR-XCR-S1 7 컨넥터세트 TAE2U-CN( ) 8 9 전원케이블 상위장치 I/O 커넥터연결케이블 주 ( 1 ) DC24V 전원은별도로고객사에서준비하여주십시오. ( 2 ) 특수한케이블길이에대해서는로문의하여주십시오. ( ) 컨넥터세트 TAE2U-CN 는, I/O 컨넥터와센서용컨넥터세트 ( 압착배선처리 (2)) 입니다. I/O 컨넥터는, 쓰리엠재팬 16-PE( 컨넥터 ) 와 6-2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. 센서용컨넥터는, 타이코일렉트로닉스제팬합동회사제품 176-1( 컨텍트 ) 과 ( 하우징 ) 의조합입니다. 고객사에서준비하여주십시오. NT Ⅱ-21 Ⅱ-22

141 운전패턴예 NT XZ 의픽 & 플레이스운전패턴예 NT8V 나노리니어 NT 이하에픽 & 플레이스운전패턴의대표적인예를표시합니다. 표 16 사용조건 항목 사용조건 탑재질량 g X축이동량 28 Z축이동량 8 P1ㆍP2에서의정지 ( 靜止 ) 시간 s.9 1 싸이클시간 s.4 X축실효추력 N 8.9 Z축실효추력 N 2. 엔코더 엔코더 모터모터 4-M2깊이2( 1 ) 62 4-M2탭용 11 4-M2깊이2( 1 ) M2탭용 11. (12) (12) 8 2. () 12( 원점위치 ) 케이블취출방향 R: 우방향 () 9 2 (1/2 12( 원점스트로크위치 ) 케이블취출방향 R: 우방향 8 (1/2스트로크 ) 9 2 (1/2스트로크 (.) ) 1( 메카스토퍼 8 간 ) (1/2스트로크 ) NT8V18 엔코더 엔코더 모터 모터 (.) 4-M2깊이2( 1 ) 4-M2깊이2( 1 ) (12) (12) 1( 메카스토퍼간 ) M2탭용 4-M2탭용 () 16( 원점위치 ) 케이블취출방향 R: 우방향 () 12 9(1/2 16( 원점스트로크위치 ) 4 9(1/2스트로크케이블취출 ) 방향 R: 우방향 12 (.) 7( 메카스토퍼간 ) 9(1/2스트로크 ) 4 9(1/2스트로크 ) (.) 7( 메카스토퍼간 ) NT8V/D NT g 이상 수직이동 P1 28 P2 8 엔코더 엔코더 모터 모터 4-M2깊이2( 1 ) 4-M2깊이2( 1 ) (119) (119) 64 4-M2탭용 M2탭용 속도 /s X축.1 Z축 시간 시간 s s NT8V18/D 엔코더 엔코더 모터 모터 () 27( 원점위치 ) 케이블취출방향 () 2. 27( 원점위치 ) (1/2스트로크 케이블취출방향 (1/2스트로크 ) 2. 8 (1/2스트로크 ) (6.) 1( 메카스토퍼간 ) (1/2스트로크 ) 8 (6.) 4-M2깊이2( 1 ) 4-M2깊이2( 1 ) (119) (119) 1( 메카스토퍼간 ) M2탭용 4-M2탭용 R: 우방향 R: 우방향 P1 P2 로이동정지 ( 靜止 ) 시간 P2 P1 로이동정지 ( 靜止 ) 시간 비고속도파라메터도는프로그램패턴이며, 실제동작을표시한것이아닙니다. () 9( 원점위치 ) 케이블취출방향 () 2. 9(1/2 9( 원점스트로크위치 ) 9(1/2스트로크케이블 ) 취출방향 (1/2스트로크 (6.) ) 7( 메카스토퍼 간 ) 9(1/2스트로크 ) 4 (6.) 7( 메카스토퍼간 ) 41 R: 우방향 R: 우방향 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. Ⅱ-2 Ⅱ-24

142 NTV2 나노리니어 NT NT8V2 12. (1/2스트로크) 리미트 2( 원점위치 ) (2) 모터 (2) (4.) 111( 메카스토퍼간 ) (1/2 스트로크 ) 4-M 깊이 4( 1 ) (16) 리미트 (4.) 12. (1/2 스트로크 ) 2( 원점위치 ) (2) 111( 메카스토퍼간 ) (1/2 스트로크 ) 6-M 깊이 ( 1 ) (16) 엔코더 모터 (2) 엔코더 NTV6 엔코더 리미트 모터 () 4-M 탭홀 (4.) 2. (1/2스트로크) 4( 원점위치 ) (2) (2) () 8-M 탭홀 ( 메카스토퍼간 ) 케이블취출방향 R: 우방향 2. (1/2 스트로크 ) 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. 비고치수도면에파선부분은, 센서부착사양 /SC 를표시합니다. 8 4-M 깊이 4( 1 ) (16) 14 케이블취출방향 R: 우방향 NT8V6 엔코더 리미트 모터 () 4-M 탭홀 (4.) 11( 메카스토퍼간 ) 2. 8 (1/2스트로크) ( 원점위치 ) (2) (2) () M탭홀 케이블취출방향 R: 우방향 2. (1/2 스트로크 ) 6-M 깊이 ( 1 ) (16) 케이블취출방향 R: 우방향 NT NT8V12 리미트 (4.) 271( 메카스토퍼간 ) ( 원점위치 ) (1/2스트로크) (1/2스트로크) -M깊이( 1 ) (2) (16) 모터 (2) 엔코더 () 12-M 탭홀 케이블취출방향 R: 우방향 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. 비고 1. 치수도면에파선부분은, 센서부착사양 /SC 를표시합니다. 2. NT8V 을조합한 XY 2 축사양의테이블에서, NT8V2 가윗축이되는사양은, 에서조립부착해서출하합니다. Ⅱ-2 Ⅱ-26

143 NT88H2 나노리니어 NT NT8XZ 17( 메카스토퍼위치 ) 12. (1/2스트로크) (2) 모터 M깊이 (6 1 ) 17( 메카스토퍼위치 ) 12. (1/2스트로크) (8) 엔코더 4-M 모터 (6) 엔코더 (14) 18 (14) M 탭홀 12 2-M 탭홀 케이블취출방향 R: 우방향 모터 (2) M 깊이 ( 1 ) ( 원점위치 ) 엔코더인터페이스 DIN 레일에취부 (EN22) ( 원점위치 ) 메카스토퍼 X 축유효스트로크 메카스토퍼 Z 축유효스트로크 -M4 깊이 NT88H NT9XZH 에어커플러취부구 M 깊이 8 ( 공냉옵션 ) 4. NT 12-M깊이 (6 1 ) 7( 메카스토퍼위치 ) ( 메카스토퍼위치 ) (1/2스트로크) (1/2스트로크) (8) 엔코더 (1) 9 4 (2) 모터 엔코더 4 명판 (14) 모터 (2) ( 공냉옵션 ) 4 모터 () 8-M 탭홀 M탭홀 케이블취출방향 R: 우방향 에어커플러취부구 M 깊이 8 (2) M관통 ( 공냉옵션 ) ( 원점위치 ) 29 2 메카스토퍼 X축유효스트로크 7. ( 원점위치 ) 메카스토퍼 Z 축유효스트로크 4-M4 깊이 8 엔코더인터페이스 DIN 레일에취부 (EN22) 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. Ⅱ-27 Ⅱ-28

144 SA DE SA DE/X SA DE/S Ⅱ-29 Ⅱ-26

145 얼라이먼트스테이지 SA 리니어모터구동 SA DE 크로스롤러베어링가동자마그네트 θ 테이블 직선얼라이먼트 Points 1 컴팩트한 XYθ 테이블 2 XYθ 조합이자유 직동안내부에소형직동안내기기리니어웨이, 회전안내부에크로스롤러베어링을사용하여, 구동부에다이렉트드라이브방식을채택한저단면컴팩트 XYθ 운동을실현하는얼라이먼트스테이지입니다. 직선이동용 X 테이블과회전위치결정 θ 테이블을기본구성으로하여라인업. X축과 θ축의조합이나 XY축의얼라이먼트테이블을간단히구성할수있습니다. 슬림형 컴팩트 코어레스리니어모터와리니어웨이, 크로스롤러베어링을채택. 볼스크류구동스테이지와비교해서, 지극히낮은단면높이를실현하고있습니다. 메카스토퍼 크레지트카드 고정자코일 X 테이블 가동자마그네트 X Y 축 X θ 축 X Y θ 축 고정자코일 주요제품사양 구동리니어모터 XY축 : 리니어웨이 ( 볼타입 ) 직동안내기기ᆞ베어링 θ축 : 크로스롤러베어링윤활부품 C루브 내장윤활 (θ축및 SA6DE/X는제외 ) 테이블ᆞ배드의재질탄소강센서표준장착 메카스토퍼 정밀도 반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도 ᅳ ᅳ ᅳ ᅳ ᅳ 리니어웨이 리니어엔코더용헤드 XY 축 :±. θ 축 :±.~1. 초 단위 4 高분해능 高응답구동조건 高분해능리니어엔코더를내장한다이렉트드라이브방식의스테이지를풀크로즈드루프제어하여, 高분해능과高정밀도를실현하였습니다. SA12DE/1X 속도 : /s 가감속시간 : 2ms 스트로크 : 2 탑재질량 : 2g 속도 지령속도 위치결정완료신호 시간 얼라이먼트스테이지 SA 스팩일람 형식과크기 단면형상 최대추력 N 정격추력 N 최대가반질량 유효스트로크 분해능 μm 실제속도 측정조건 SA12DE/1S 탑재질량 : g 이송지령 : 1.44초 최대토크.N m 2.2 유효동작각도 도 이동량초 이동시간 SA6DE/X SA12DE/X SA2DE/X( 1 ) SA6DE/S SA12DE/S SA2DE/S 정격토크.6N m.64 초 62pulse/ 도 최대토크 2.N m 정격토크.4N m 6.8 유효동작각도 6 도.6 초 pulse/ 도 2 2 최대토크 4.N m 정격토크 1.2N m 12. 유효동작각도 28 도.2 초 144pulse/ 도 SA DE/X SA DE/S Ⅱ-261 진직도백레쉬 ᅳ ᅳ 최고속도 /s 반복위치결정정밀도 μm 도 /s 4 도 /s 27 도 /s ±. ±. ±. ±1. 초 ±.8 초 ±. 초 주 ( 1 ) SA2DE/X 는고객의요구에따라개별제작이가능합니다. 필요하신경우로문의하여주십시오. Ⅱ-262

146 호칭번호 호칭번호의배열예 형식 Ⅱ 26페이지 2 크기 Ⅱ 26페이지 분해능 Ⅱ 26페이지 4 축구성 Ⅱ 26페이지 표면처리 Ⅱ 26페이지 6 사양번호 Ⅱ 26페이지 호칭번호와사양의상세사항 형식 크기 분해능 축구성 표 1 축구성과적용 SA 12 DE / XYS R SA DE: 얼라이먼트스테이지 SA 6: 6, φ 6 12: 12, φ12 2: φ2 1:.1μm :.μm X 축또는 XY 축의엔코더분해능을지정합니다. 4 의항목에서, S:θ 축만을선택할경우는, 분해능은무기호로해주십시오. 표 1 에표시한축구성으로부터선택합니다. 축구성 SA6DE SA12DE SA2DE X :X축만 ( 1 ) S :θ축만 XY :XY 의 2축구성 XS :Xθ 의 2축구성 ( 1 ) XYS :XYθ 축구성 주 ( 1 ) 고객의요구에따라개별적으로제작대응합니다. 요망시에는 로문의하여주십시오. 6 표면처리 사양번호 무기호 : 무전해니켈도금 R : 흑색크롬피막처리표면처리는테이블과배드의표면에처리합니다. : 사양번호 사양번호는 으로만해당됩니다. 각종특성 표 2.1 사양ㆍ성능 항목 호칭번호 SA6DE/1X SA6DE/X SA12DE/1X SA12DE/X 최대추력 ( 1 ) N 2 7 정격추력 ( 2 ) N. 1 유효스트로크 2 최대가반질량 분해능 μm 최고속도 ( ) /s 반복위치결정정밀도 ( 4 ) μm ±. 가동부질량 총질량 ( ). 2. 사용주위온도ㆍ습도 ~4 C ㆍ 2~8%RH( 결로가없을것 ) 주 ( 1 ) 최대추력의지속시간은최대 1 초입니다. ( 2 ) 주위온도 2 C, 금속제상대물에취부했을경우입니다. ( ) 표시의속도를초과하는경우에대해서는, 로문의하여주십시오. ( 4 ) 제품본체의온도가일정한경우입니다. ( ) 케이블질량은포함하지않습니다. 표 2.2 사양ㆍ성능 항목 호칭번호 SA6DE/S SA12DE/S SA2DE/S 최대토크 ( 1 ) Nㆍm 정격토크 ( 2 ) Nㆍm 최대가반질량 유효동작각도 도 6 28 분해능 초 pulse/ 도 최고속도 ( ) 도 /s 반복위치결정정밀도 ( 4 ) 초 ±1. ±.8 ±. 가동부관성모멘트 ㆍm 총질량 ( ). 2 6 사용주위온도ㆍ습도 ~4 C ㆍ 2~8%RH( 결로가없을것 ) 주 ( 1 ) 최대토크의지속시간은최대 1 초입니다. ( 2 ) 주위온도 2 C, 금속제상대물에취부했을경우입니다. ( ) 표시의속도를초과하는경우에대해서는, 로문의하여주십시오. ( 4 ) 제품본체의온도가일정한경우입니다. ( ) 케이블질량은포함하지않습니다. 동적가반질량 1.1 X(Y) 축.1 1 가속도 m/s 2 그림 1 동적가반질량 비고 θ 축의동적가반질량은강철의입방체로하여계산한값입니다. 또는, 가속도는스테이지외륜원주의값으로하여개산합니다. 취부 SA12DE/X SA6DE/X 동적가반질량 1.1 θ 축.1 1 외륜의가속도 m/s 2 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. SA2DE/S SA12DE/S SA6DE/S SA DE/X SA DE/S Ⅱ-26 Ⅱ-264

147 센서사양 표.1 SA DE/X(X 축 ) 의센서타이밍차트 표.2 SA DE/S(θ 축 ) 의센서타이밍차트 CCW CW + ON 원점 D A 유효동작각도 +C B ON ON 원점전 CCW 리미트 CW 리미트 메카스토퍼 ON ON 형식과크기 A B C D E F SA6DE/X SA12DE/X 비고 1. 각수치는참고치이며, 보증치가아닙니다. 상세한치수가필요시에는, 로문의하여주십시오. 2. 각센서의상세사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조해주십시오. E C A B 유효스트로크 +D F ON 원점 원점전 + 방향리미트 - 방향리미트 메카스토퍼 단위 형식과크기 A B C D E SA6DE/S 4 11 SA12DE/S 6 SA2DE/S 비고 1. 각수치는참고치이며, 보증치가아닙니다. 상세한치수가필요시에는, 로문의하여주십시오. 2. 각센서의상세사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조해주십시오. E 단위 도 SA DE/X SA DE/S Ⅱ-26 Ⅱ-266

148 R R 시스템구성 얼라이먼트스테이지 SA 에는전용드라이버인 ADVA 와 MR-J4 2 가지시리즈가준비되어있으며, 사용하는드라이버에따라, 시스템구성이달라집니다. ADVA 는펄스열사양과고속네트워크 EtherCAT 사양 2 가지사양을선택할수있으며, MR-J4 는고속네트워크 SSCNETⅢ/H 사양만선택가능합니다. 표 4 에 ADVA 호칭번호의배열, 표 테이블과적용하는 MR-J4 호칭번호를표시합니다. 각드라이버상세사양에대해서는, Ⅱ 47~ 페이지의드라이버사양을참조해주십시오. 표 4 ADVA 의호칭번호 ADVA - 1N EC / SA6DE-S 1 형식 전류전압 1N RM 지령방식 무기호 EC 표 SA DE 와적용되는 MR-J4 의호칭번호 테이블호칭번호 단상 /상 2V 단상 V 펄스열지령 EtherCAT 드라이버호칭번호 SA6DE /S MR-J4-B-RJ /SA6DE -S SA6DE /X MR-J4-B-RJ /SA6DE -X SA12DE /S MR-J4-B-RJ /SA12DE -S SA12DE /X MR-J4-B-RJ /SA12DE -X SA2DE /S MR-J4-B-RJ /SA2DE -S 표 6 드라이버 ADVA 를사용한 SA6DE, SA12DE 의시스템구성 7 2 드라이버 ACSERVO ADV Series 셋업소프트웨어 PC 8 상위장치 PC, 스위치, 센서등 엔코더인터페이스 ( 1 ) 1 얼라이먼트스테이지 SA DE 4 적용얼라이먼트스테이지형식 SA6DE -S SA6DE /S SA6DE -X SA6DE /X SA12DE -S SA12DE /S SA12DE -X SA12DE /X SA2DE -S SA2DE /S No. 명칭호칭번호 엔코더중계케이블 TAE2V4-EC2 (2m)( 2 ) USB mini B 케이블 4 PC 접속케이블고객사에서준비하여주십시오. ProDriveNext 셋업소프트웨어 히타치산기시스템웹사이트로부터다운로드하여주십시오. 6 I/O 커넥터 TAE2R-CN( ) 7 전원케이블 8 상위장치고객사에서준비하여주십시오. 9 I/O 커넥터연결케이블 주 ( 1 ) SA6DE 의 XY 축에는, 엔코더인터페이스는없습니다. ( 2 ) 특수한케이블길이에대해서는로문의하여주십시오. ( ) I/O 컨넥터 TAE2R-CN 은, 쓰리엠재팬 -PE( 컨넥터 ) 와 -2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. 표 7 드라이버 ADVA 를사용한 SA2DE/S 의시스템구성 9 2 드라이버 ACSERVO ADV Series 셋업소프트웨어 PC 1 얼라이먼트스테이지 SA DE 상위장치 PC, 스위치, 센서등 엔코더인터페이스 No. 명칭호칭번호 모터중계케이블 (m)( 1 ) TAE2V-AM 4 엔코더중계케이블 (2m)( 1 ) TAE2V4-EC2 센서중계케이블 ( 2 ) TAEV8-C 6 USB mini B 케이블 PC 접속케이블고객사에서준비하여주십시오. ProDriveNext 7 셋업소프트웨어 히타치산기시스템웹사이트 로부터다운로드하여주십시오. 8 I/O 커넥터 TAE2R-CN( ) 9 전원케이블 상위장치 고객사에서준비하여주십시오. 11 I/O 커넥터연결케이블 주 ( 1 ) 특수한케이블길이에대해서는 로문의하여주십시오. ( 2 ) 센서중계케이블길이는, 호칭번호말단의 에 ~m까지 1m 단위로지정합니다. ( ) I/O 컨넥터 TAE2R-CN은, 쓰리엠재팬 -PE( 컨넥터 ) 와 -2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. Ⅱ-267 셋업소프트웨어 얼라이먼트스테이지 SA를동작시키기위해서는, 드라이버파라메터의초기설정이필요합니다. 드라이버의파라메터설정은, 셋업소프트웨어에서실행합니다. 또는, 게인조정이나운전상황의확인에도이용가능합니다. 드라이버본체에는, 셋업소프트웨어, PC 접속케이블이포함되어있지않습니다. 이러한구성품들은복수의드라이버에서공용으로사용가능합니다만, 최소한 1세트는필요합니다. 고객사조건에맞게별도주문또는준비를해주십시오. 표 8 드라이버 ADVA EC 를사용한 SA6DE, SA12DE 의시스템구성 8 2 드라이버 ACSERVO ADV Series ET1 ET 셋업소프트웨어 PC 9 상위장치 (EtherCAT 대응기기 ) PC, 스위치, 센서등 9 상위장치 PC, 스위치, 센서등 엔코더인터페이스 ( 1 ) 1 얼라이먼트스테이지 SA DE No. 명칭호칭번호 4 엔코더중계케이블 (2m)( 2 ) PC 접속케이블 TAE2V4-EC2 USB mini B 케이블고객사에서준비하여주십시오. ProDriveNext 셋업소프트웨어 히타치산기시스템웹사이트로부터다운로드하여주십시오. 6 I/O 커넥터 TAE2V-CN( ) 7 Ethernet 케이블 8 전원케이블고객사에서준비하여주십시오. 9 상위장치 I/O 커넥터연결케이블 주 ( 1 ) SA6DE 의 XY 축에는, 엔코더인터페이스는없습니다. ( 2 ) 특수한케이블길이에대해서는로문의하여주십시오. ( ) I/O 컨넥터 TAE2V-CN 은, 쓰리엠재팬 12-PE( 컨넥터 ) 와 2-2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. 표 9 드라이버 ADVA EC 를사용한 SA2DE/S 의시스템구성 2 드라이버 ACSERVO ADV Series ET1 ET 셋업소프트웨어 PC 11 상위장치 PC, 스위치, 센서등 엔코더인터페이스 1 얼라이먼트스테이지 SA DE 11 상위장치 (EtherCAT 대응기기 ) PC, 스위치, 센서등 No. 명칭호칭번호 모터중계케이블 (m)( 1 ) TAE2V-AM 4 엔코더중계케이블 (2m)( 1 ) TAE2V4-EC2 센서중계케이블 ( 2 ) TAEV8-C 6 USB mini B 케이블 PC 접속케이블고객사에서준비하여주십시오. ProDriveNext 7 셋업소프트웨어 히타치산기시스템웹사이트 로부터다운로드하여주십시오. 8 I/O 커넥터 TAE2V-CN( ) 9 Ethernet 케이블 전원케이블 11 상위장치 고객사에서준비하여주십시오. 12 I/O 커넥터연결케이블 주 ( 1 ) 특수한케이블길이에대해서는 로문의하여주십시오. ( 2 ) 센서중계케이블길이는, 호칭번호말단의 에 ~m까지 1m 단위로지정합니다. ( ) I/O 컨넥터 TAE2V-CN은, 쓰리엠재팬 12-PE( 컨넥터 ) 와 2-2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. Ⅱ-268 SA DE/X SA DE/S

149 시스템구성 얼라이먼트스테이지 SA 표 드라이버 MR-J4-B 를사용한 SA DE 의시스템구성 (SSCNETⅢ/H 대응 ) SA6DE/X 셋업소프트웨어 엔코더 7 2 드라이버 6 단상또는 상 AC2V(/6Hz) 4 9 PC 8 상위장치 DC24V 전원 SSCNET /H 대응모션컨트롤러위치결정유닛 엔코더인터페이스 ( 1 ) 1 얼라이먼트스테이지 SA DE No. 명칭호칭번호 엔코더중계케이블 (2m)( 2 ) TAE2V6-EC2 4 PC 접속케이블 (m) MR-JUSBCBM 셋업소프트웨어 SW1DNC-MRC2-J 6 입출력접속용컨넥터 MR-CCN1( ) 7 전원케이블 8 상위장치 ( 4 ) 고객사에서준비하여주십시오. 9 SSCNETⅢ/H 접속케이블 주 ( 1 ) SA6DE의 XY축에는, 엔코더인터페이스는없습니다. ( 2 ) 특수한케이블길이에대해서는 로문의하여주십시오. ( ) 입출력접속용컨넥터 MR-CCN1은, 쓰리엠재팬 12-PE( 컨넥터 ) 와 2-2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. ( 4 ) 상위장치는미쯔비시전기 SSCNETⅢ/H 대응모션컨트롤러, 위치결정유닛, DC24V 전원이됩니다. R.-4 O 형압착단자 () PORG +IM -IM +24V GND F.G. U V W F.G. () () 리미트 모터 케이블길이 :() 케이블길이 :(14) 에는 XY 중하나가들어갑니다. 4-M2. 깊이 4( 1 ) 7. 4-M 깊이 4( 테이블 )( 1 ) 6 9 X축 M 탭홀 표 11 드라이버 MR-J4-B 를사용한 SA2DE/S 의시스템구성 (SSCNETⅢ/H 대응 ) 2 드라이버 8 9 단상또는 상 AC2V(/6Hz) 셋업소프트웨어 PC 1 얼라이먼트스테이지 SA DE 상위장치 DC24V 전원 SSCNET /H 대응모션컨트롤러위치결정유닛 엔코더인터페이스 No. 명칭호칭번호 모터중계케이블 (m)( 1 ) TAE2V-AM 4 엔코더중계케이블 (2m)( 1 ) TAE2V6-EC2 센서중계케이블 ( 2 ) TAEV8-C 6 PC 접속케이블 (m) MR-JUSBCBM 7 셋업소프트웨어 SW1DNC-MRC2-J 8 입출력접속용컨넥터 MR-CCN1( ) 9 전원케이블 상위장치 ( 4 ) 고객사에서준비하여주십시오. 11 SSCNETⅢ/H 접속케이블 주 ( 1 ) 특수한케이블길이에대해서는 로문의하여주십시오. ( 2 ) 센서중계케이블길이는, 호칭번호말단의 에 ~m까지 1m 단위로지정합니다. ( ) 입출력접속용컨넥터 MR-CCN1은, 쓰리엠재팬 12-PE( 컨넥터 ) 와 2-2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. ( 4 ) 상위장치는미쯔비시전기 SSCNETⅢ/H 대응모션컨트롤러, 위치결정유닛, DC24V 전원이됩니다. SA6DE/S R.-4 O 형압착단자 () ORG CW CCW +24V GND F.G. U V W F.G. () 엔코더 () 모터 리미트 케이블길이 :() 케이블길이 :(14) S 8-M 깊이 4( 1 ) ( 등분배치 ) 4-M 탭홀 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. 비고모터 ᆞ 리미트케이블의케이블튜브에기재된문자방향은제품에따라다를수있습니다. ccw 9 6 cw φ φ9 φ (76.) SA DE/X SA DE/S Ⅱ-269 Ⅱ-27

150 SA6DE/XY 얼라이먼트스테이지 SA SA12DE/X 케이블길이 :() () () 4-M2.깊이4( 1 ) 4-M깊이4( 테이블 )( 1 ) 7. Y축 9 6 X 축 R.-4 O 형압착단자 () U V W F.G. PORG +IM -IM +24V GND F.G. 엔코더 모터 리미트 에는 XY 중하나가들어갑니다. X축 M4 깊이 6( 1 ) 1 SA6DE/XS 9 φ깊이2 θ축 CCW CW 4-M깊이4( 1 ) ( 등분배치 ) 4-M깊이4( 1 ) ( 등분배치 ) M 탭홀 케이블길이 :(14) φ9 4-M4 탭홀 (76.) φ18 SA12DE/S 1 SA6DE/XYS φ 깊이 2 X축 θ축 CCW CW φ9 X 축 (76.) φ18 4-M 깊이 4( 1 ) ( 등분배치 ) 4-M깊이4( 1 ) ( 등분배치 ) M 탭홀 R.-4 O 형압착단자 엔코더 () PORG CW CCW +24V GND F.G. U V W F.G. () 케이블길이 :(14) 케이블길이 :() 리미트 모터 () S 8-M4 깊이 8( 1 ) ( 등분배치 ) 6 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. 비고모터 ᆞ 리미트케이블의케이블튜브에기재된문자방향은제품에따라다를수있습니다. ccw θ 축 12 cw M4 탭홀 SA DE/X SA DE/S Y축 M 탭홀 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. 비고 케이블길이에대해서는, SA6DE/X 및 SA6DE/S의치수표를참조해주십시오. Ⅱ-271 Ⅱ-272

151 SA12DE/XY 얼라이먼트스테이지 SA SA2DE/S 8-M4 깊이 6( 1 ) 케이블길이 :(14) 16 2 엔코더 ccw θ 축 cw Y축 1 12 X 축 1 12 모터 리미트 케이블길이 :(2) S φ6 φ M4 탭홀 8-M 깊이 ( 1 ) ( 등분배치 ) φ14 SA12DE/XS M6 탭홀 θ축 CCW CW φ6 깊이 2 φ12 8-M4 깊이 8( 1 ) ( 등분배치 ) φ9 1 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. SA12DE/XYS φ6 깊이 2 8-M4 깊이 8( 1 ) ( 등분배치 ) X축 θ축 CCW CW Y축 φ12 X 축 1 φ M4 탭홀 4-M4 탭홀 엔코더인터페이스 컨넥터 고정용브라켓 ( 첨부되어있습니다.) 2.9 육각렌치볼트 M4 추천 ( 첨부되어있지않습니다.) SA DE/X SA DE/S 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. 비고 케이블길이에대해서는, SA12DE/X 및 SA12DE/S 의치수표를참조해주십시오. Ⅱ-27 Ⅱ-274

152 T (T CE, T D, T H) T Ⅱ-27 Ⅱ-276

153 리니어모터테이블 T T리니어모터 컴팩트 高추력 롱스트로크 T 시리즈! 리니어모터테이블 T는, 가동테이블과배드사이에 AC 리니어서보모터를조합구성하여, 광학식리니어엔코더를내장한컴팩트한高정밀도위치결정테이블입니다. 경량의가동테이블과큰추력으로, 高가감속ᆞ 高응답성동작이가능합니다. 게다가, 선진서보기술에의해, 높은속도안정성을실현하고있습니다. 컴팩트타입의 T CE, 롱스트로크타입의 T D, 하이스러스트타입의 T H 종류를라인업하고있어, 용도에맞게최적의형식을선택할수있습니다. 직선 리니어모터테이블 T 스팩일람 형식과크기 TCEG 콤팩트타입 T CE TCEG 롱스트로크타입 T D T1DG T17DG T17DV 단면형상 최대추력 N 정격추력 N 최대가반질량 유효스트로크 분해능 μm 최고속도 /s 반복위치결정정밀도 μm.1 7 ± ± ± ± ± ± ± ±. 1. ± ± ± ± ± ±. 1. ±1. 형식과크기 하이스러스트타입 T H T17H T 단면형상 최대추력 N 9 주요제품사양 정밀도 정격추력최대가반질량유효스트로크분해능 N μm.1 자냉 :12 공냉 : 구동 리니어모터 반복위치결정정밀도 ±.. 단위 최고속도 /s 반복위치결정정밀도 μm 7 ±. (2) ±. (2) ±1. 직동안내기기 리니어웨이 ( 볼타입 ) 위치결정정밀도 ᅳ 윤활부품내장 윤활부품 C 루브 내장 로스트모션 ᅳ 테이블 ᆞ 배드의재질 高강도알루미늄합금 (TCE의배드만탄소강제 ) 테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B ᅳ ᅳ 센서 호칭번호에서선택 자세정밀도 ᅳ 진직도 ᅳ 백레쉬 ᅳ Ⅱ-277 Ⅱ-278

154 리니어모터테이블 T 리니어모터테이블 T 의단면구조 T CE, T D 의구조 T ㆍ CE [ 콤팩트타입 ] C 루브리니어웨이 가동테이블 가동자코일 코일기판 리니어엔코더용헤드 T CE는, 테이블안내부에소형직동안내기기의 C루브리니어웨이 을사용하여, 가동테이블에는 가동테이블 고정자마그네트 배드 마그네트요크 리니어엔코더용스케일 경량의알루미늄합금을채택한컴팩트하며큰추력을발생하는리니어모터테이블입니다. 가동자코일 배드 고정자마그네트 원점마크 리니어엔코더용스케일 리니어엔코더용헤드 T H 의구조 코일모듈형공냉용배관가동테이블 C 루브리니어웨이 리니어엔코더용헤드 Points C 루브리니어웨이 배드 1C 루브리니어웨이 과소형광학식리니어엔코더를 컴팩트 채택하여, 컴팩트화를지향추구한저단면설계. 최소 2선진서보기술에의해, 높은정지 ( 靜止 ) 안정성을 정지 ( 靜止 ) 안정성 실현하고있습니다. 마그네트요크 고정자마그네트 원점마크 리니어엔코더용스케일 단면높이 (TCE) 를실현했습니다. 정확히 리니어모터테이블 T 의동작원리 정지 ( 靜止 ) 안정성 :±.1μm 이하 리니어모터테이블 T는, 계자코일의가동자와 C형요크의내측에배치된마그네트고정자로구성되어있습니다. 마그네트요크에의해항상수직방향에 자속의방향에코일의전류를전환하는것으로, 한방향의연속적인추력을얻을수있어, 가동자는직선운동을지속합니다하이스러스트시리즈는, 위치 T 작용하는자속과전류에의해코일주변에발생하는 코일요크의상하대가되어발생하는수직자속속에 회전자속에따라, 코일은수평방향으로힘을받습니다. ( 플레밍의왼손법칙 ) T CE, T D 코일을고밀도로배치하고있어, 컴팩트하면서높은추력을얻을수있습니다. T H N S N S N S 다이렉트드라이브와선진서보기술에의해, 높은속도안정성 높은속도안정성을실현하고있습니다. 시간 ADVA 드라이버를사용했을경우의값입니다. N S S N N S S N N S S N N S N S S N N S N N S S 마그네트요크 ( 고정자 ) 마그네트 ( 고정자 ) /s 속도안정성 ( 측정주파수 Hz):±1.78% 4컴팩트하더라도큰추력을발생. 알루미늄합금의 高가감속 高응답 가벼운가동테이블로高가감속 高응답의위치 결정을실현하였습니다. 택타임단축에공헌합니다. 마그네트요크 ( 고정자 ) 코일 ( 가동자 ) S N N S 마그네트 ( 고정자 ) 코일요크 ( 가동자 ) 테이블이동방향 S N N S 코일 ( 가동자 ) 자속 테이블이동방향 N S S N 수직자속 속도 Ⅱ-279 시간 ADVA 드라이버를사용했을경우의값입니다. Ⅱ-28

155 리니어모터테이블 T T ㆍ D [ 롱스트로크타입 ] T ㆍ H [ 하이스러스트타입 ] T D 는, 테이블안내부에연결사양의 가동테이블 T H 는, 테이블안내부에 C 루브리니어웨이 E 를 가동테이블 트랙레일의 C루브리니어웨이E를사용하여, 롱스트로크와고속운전을실현하는리니어모터 고정자마그네트 사용하여, 콤팩트성을해치는일없이, 리니어모터테이블 T 중에서가장큰추력을발휘하는, 고정자마그네트 가동자코일 테이블입니다. 가동자코일 중량물의정밀위치결정에최적인리니어모터 테이블입니다. 배드 리니어엔코더용스케일 리니어엔코더용스케일 배드 리니어엔코더용헤드 리니어엔코더용헤드 C 루브리니어웨이 E C 루브리니어웨이 E Points Points 1 고속 다이렉트드라이버로부터高정밀도위치결정과 고속을양립하고있습니다. 롱스트로크의 용도에서요구되는고속운전에도 대응. 최고속도 /s까지의고속운전이가능합니다. 2 超롱스트로크타입 연결사양의트랙레일의 C 루브리니어웨이 E 를 채택하여, 리니어모터구동에서는최대 276 의롱스트로크를실현했습니다. 속도 최고속도 :/s 시간 ADVA 드라이버를사용했을경우의값입니다. 실제속도지령속도 1 高추력 컴팩트한형상이면서, 최대추력 9N 을실현하고있습니다. 중량물의정밀위치결정에 최적입니다. 2경량테이블과高추력으로 高가감속 高가감속 ᆞ 高응답을실현 하고있습니다. 속도추력 최대추력 :9N 시간속도가속도 T ( 이길이이상의스트로크제품에대해서는로상담해주십시오.) 가속도 :2G 시간 스트로크 스트로크 스트로크 스트로크 공냉 모터의발열을억제하는냉각기구를 옵션으로설정하고있습니다. 택타임 단축을실현하고, 생산 온도 냉각無공냉 효율향상에공헌합니다. 코일테이블엔코더 T17H 실효추력 12N 에대한냉각효과 Ⅱ-281 Ⅱ-282

156 호칭번호 호칭번호의배열예 형식 Ⅱ 28페이지 2 크기 Ⅱ 28페이지 추력ㆍ속도사양 Ⅱ 28페이지 4 가동테이블의형상 Ⅱ 284페이지 스트로크 Ⅱ 284페이지 6 분해능 Ⅱ 284페이지 7 냉각사양 Ⅱ 284페이지 8 커버지정 Ⅱ 284페이지 9 센서지정 Ⅱ 284페이지 가동테이블사양 Ⅱ 284페이지 11 사양번호 Ⅱ 284페이지 호칭번호와사양의상세사항 1 2 형식 크기 추력ㆍ속도사양 표 1 추력ㆍ속도기호의적용 형식크기 T CE G F - 4 / D SC T2 1 T CE : 리니어모터테이블 T 컴팩트시리즈 T D : 리니어모터테이블 T 롱스트로크시리즈 T H : 리니어모터테이블 T 하이스러스트시리즈 : 폭치수 (T CE에적용 ) : 폭치수 (T CE에적용 ) 1: 폭치수 1(T D에적용 ) 17: 폭치수 17(T D, T H에적용 ) G : 高추력 ( 고속 ) 사양 V : 고속사양 각사양의적용은표1을참조해주십시오. 무기호 추력ㆍ속도사양 G V 무기호 T CE T D 1 17 T H 17 4 가동테이블의형상 스트로크 표 2 스트로크 형식과크기 S : 표준 F : 플랜지부착 S 를선택한경우는, 8 의커버지정항목에서, 무기호를선택하여주십시오. F 를선택한경우는, 8 의커버지정항목에서, D 를선택하여주십시오. 표 2 에표시한스트로크로부터선택합니다. 1:.1μm :.μm :1.μm 무기호 : 자냉 CA : 공냉 (T H 에적용 ) 무기호 : 커버없음 ( 표준가동테이블에적용 ) D : 커버부착 ( 플랜지부착가동테이블에적용 ) 무기호 : 센서없음 SC : 센서 ( 리미트, 원점전 ), 센서레일부착 (T CE 에적용 ) T D, T H 는센서를내장하고있습니다. 9 에서는무기호로해주십시오. 무기호 : 싱글테이블 T2 : 트윈테이블 1 : 사양번호 1 스트로크 TCEG(S, F) 2, 4, 6, 8, 1 TCEG(S, F) /T2 2, 4, 6, 8 TCEG(S, F) 4, 6, 8, 1, 1 2 TCEG(S, F) /T2,, 7, 9 T1DGS 24, 72, 1 2, 1 68, 2 16, 2 64, 2 76 T1DGS /T2, 98, 1 46, 1 94, 2 42, 2 4 T1DGF 24, 72, 1 2, 1 68 T1DGF /T2, 98, 1 46 T17D(G, V)S 68, 1 16, 1 64, 2 12, 2 6, 2 72 T17D(G, V)S /T2 42, 9, 1 8, 1 86, 2 4, 2 46 T17D(G, V)F 68, 1 16, 1 64 T17D(G, V)F /T2 42, 9, 1 8 T17HS 6, 1 1, 1 6, 2 9, 2 7, 2 67 T17HS T2 4, 89, 1 7, 1 8, 2, 2 4 T17HF 6, 1 1, 1 6 T17HF T2 4, 89, 1 7 분해능 냉각사양 커버지정 센서지정 가동테이블사양 사양번호 사양번호는 1 으로만해당됩니다. T Ⅱ-28 Ⅱ-284

157 각종특성 표 T CE 성능 항목 형식과크기 TCEG TCEG 최대추력 ( 1 ) N (12) 4() 정격추력 N 1 6 최대가반질량 1(12) 4() 분해능 μm 최고속도 ( 2 ) /s 반복위치결정정밀도 ( ) μm ±. ±. ±1. ±. ±. ±1. 주 ( 1 ) 최대추력의지속시간은최대 1초입니다. ( 2 ) 사용하는컨트롤러의최대출력주파수에따라, 이속도에도달하지않는경우도있습니다. ( ) 제품본체의온도가일정한경우입니다. 비고 ( ) 안의값은 ADVA 드라이버를사용했을경우의값입니다. T CE 추력특성 추력 N 2 사용드라이버 NCD171G ADVA 동적가반질량 사용드라이버 NCD171G ADVA TCEGS TCEGF 표 4 T D 성능 항목 형식과크기 T1DG T17DG T17DV 최대추력 ( 1 ) N (12) 4() 19(14) 정격추력 N 최대가반질량 1(12) 4() 28(2) 분해능 μm 최고속도 ( 2 ) /s 반복위치결정정밀도 ( ) μm ±. ±. ±1. ±. ±. ±1. ±. ±. ±1. 주 ( 1 ) 최대추력의지속시간은최대 1초입니다. ( 2 ) 사용하는컨트롤러의최대출력주파수에따라, 이속도에도달하지않는경우도있습니다. ( ) 제품본체의온도가일정한경우입니다. 비고 ( ) 안의값은 ADVA 드라이버를사용했을경우의값입니다. 표 T H 성능 항목 형식과크기 T17H 최대추력 ( 1 ) N 9 정격추력 ( 2 ) 자체냉각 N 12 공냉 ( ) N 최대가반질량 9 분해능 μm 최고속도 ( 4 )( ) /s 7 1 (2 ) 1 (2 ) 반복위치결정정밀도 ( 6 ) μm ±. ±. ±1. 주 ( 1 ) 최대추력의지속시간은최대 1초입니다. ( 2 ) 주위온도가 ~2, 철제플레이트에고정했을경우입니다. 상세사항은 Ⅱ-288페이지의그림12를참조해주십시오. ( ) 공기기류량 N/min일때입니다. ( 4 ) /s를초과하는속도에대해서는, 로문의하여주십시오. ( ) 사용하는컨트롤러의최대출력주파수에따라, 이속도에도달하지않는경우도있습니다. ( 6 ) 제품본체의온도가일정한경우입니다. 추력 N 테이블의이동속도 /s 그림 1 TCEG 추력특성 사용드라이버 NCD171G ADVA 2 테이블의이동속도 /s 그림 TCEG 추력특성 동적가반질량.1 1 가속도 m/s 그림 2 TCEG 동적가반질량 비고테이블이동속도 /s 일때의추력으로부터산출한값입니다..1 1 가속도 m/s 2 사용드라이버 NCD171G ADVA TCEGS TCEGF 그림 4 TCEG 동적가반질량 비고테이블이동속도 /s 일때의추력으로부터산출한값입니다. T Ⅱ-28 Ⅱ-286

158 각종특성 T D 추력특성 T H 추력특성 추력 N 2 사용드라이버 NCD171G ADVA 동적가반질량 사용드라이버 NCD171G ADVA T1DGS T1DGF 추력 N 정격추력 N 12 T17H/CA( 공냉 ) T17H( 자체냉각 ) 테이블의이동속도 /s.1 1 가속도 m/s 2 테이블의이동속도 /s 2 4 환경온도 그림 T1DG 추력특성 그림 6 T1DG 동적가반질량 그림 11 T17H 추력특성 그림 12 T17H 정격추력특성 비고테이블이동속도 /s 일때의추력으로부터산출한값입니다. 추력 N 4 2 사용드라이버 NCD171G ADVA 동적가반질량 4 1 사용드라이버 NCD171G ADVA T17DGS T17DGF 동적가반질량 테이블의이동속도 /s.1 1 가속도 m/s 가속도 m/s 2 그림 7 T17DG 추력특성 그림 8 T17DG 동적가반질량 비고테이블이동속도 /s 일때의추력으로부터산출한값입니다. 그림 1 T17H 동적가반질량 비고테이블이동속도 /s 일때의추력으로부터산출한값입니다. T 추력 N 2 사용드라이버 NCD171G ADVA 동적가반질량 사용드라이버 NCD171G ADVA T17DVS T17DVF 취부 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. 2 2 테이블의이동속도 /s.1 1 가속도 m/s 2 그림 9 T17DV 추력특성 그림 T17DV 동적가반질량 비고테이블이동속도 /s 일때의추력으로부터산출한값입니다. Ⅱ-287 Ⅱ-288

159 센서사양 표 6.1 T CE, T D, T H 의싱글테이블의센서타이밍차트 - + 시스템구성 리니어모터테이블 T에는전용드라이버 ADVA와 NCD171G가준비되어있으며, 사용하는드라이버에따라시스템구성이달라집니다. ADVA는펄스열사양과고속네트워크 EtherCAT 사양 2가지사양을준비하고있습니다. 표7에드라이버와테이블대응형식을표시합니다. 표8에 ADVA 호칭번호의배열, 표9~11에각드라이버의시스템구성을표시합니다. 각드라이버상세사양에대해서는, Ⅱ 47~, 1페이지의드라이버사양을참조하여주십시오. 또한, SSCNETⅢ/H에대한드라이버 ( 미쯔비시전기 MR-J4-B), MECHATROINK에대한드라이버 ( 야스카와전기 AC 서보앰프 Σ-7 시리즈 ) 는개별대응이가능하므로, 필요하신경우로문의하여주십시오. 표 7 리니어모터테이블 T CE, T D, T H 와적용드라이버의호칭번호 A ON B 원점 드라이버종류 ADVA NCD171G 적용리니어모터테이블형식 T CE, T D, T H OFF C OFF (D) 스트로크 (D) OFF 원점전 -방향리미트 +방향리미트메카스토퍼 표 8 ADVA 의호칭번호 ADVA - 1N EC / TCEG 1 형식 2 4 단위 형식과크기 A B( 1 ) C( 1 ) D( 1 ) TCE /SC 4 16 TCE /SC T1D 4 T17D 44 9 T17H 주 ( 1 ) 각수치는참고치이며, 보증치가아닙니다. 상세한치수가필요시에는, 로문의하여주십시오. 비고각센서사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조하여주십시오. 2 전류전압 최대적용모터용량 1N 8N 지령방식 무기호 EC 셋업소프트웨어 단상 /상 2V, W (T CE, T D에적용 ) 단상 /상 2V, 7W (T17H에적용 ) 펄스열지령 EtherCAT 4 적용리니어모터테이블형식 TCEG TCEG TCEG TCEG T1DG T1DG T17DG T17DG( 高추력사양 ) T17DV T17DV( 고속사양 ) T17H T17H 표 6.2 T CE, T D, T H 의트윈테이블의센서타이밍차트 나노리니어테이블 T를 ADVA로동작시키는경우에는, 드라이버파라메터의초기설정이필요합니다. 드라이버의파라메터설정은, 셋업소프트웨어에서실행합니다. 또는, 게인조정이나운전상황의확인에도이용가능합니다. 드라이버본체에는, 셋업소프트웨어, PC 접속케이블이포함되어있지않습니다. 이러한구성품들은복수의드라이버에서공용으로사용가능합니다만, 최소한 1세트는필요합니다. 고객사조건에맞게별도주문또는준비를해주십시오 모션네트워크 리니어모터구동테이블 T 용드라이버 ADVA 는모션네트워크 EtherCAT 에대응합니다. 모션네트워크는, 펄스열지령에서의펄스주파수제약, 아날로그지령 ( 전압지령 ) 에서의노이즈영향, 케이블길이에의한전압강하, 온도드리 A A 프트의영향을받지않고, 장치의高성능화 高정밀도화를실현합니다. 또한, 배선절감이가능하며, 복수의테이블동기시스템을용이하게구축할수있습니다. T B ON OFF OFF C (D) B C ON OFF (D) OFF 원점원점전 -방향리미트 +방향리미트메카스토퍼 단위 형식과크기 A B( 1 ) C( 1 ) D( 1 ) TCE /SCT TCE /SCT T1D /T2 4 T17D /T T17H /T 주 ( 1 ) 각수치는참고치이며, 보증치가아닙니다. 상세한치수가필요시에는, 로문의하여주십시오. 비고각센서사양에대해서는, 종합해설페이지의센서사양항목을참조하여주십시오. 비고형식 EtherCAT SSCNET Ⅲ/H MECHATROINK 컨트롤러 전용드라이버 전용드라이버 전용드라이버 나노리니어 NT V 또한, SSCNETⅢ/H 에대한드라이버 ( 미쯔비시전기 MR-J4-B), MECHATROINK 에 대한드라이버 ( 야스카와전기 AC 서보앰프 Σ-7 시리즈 ) 는개별대응가능하므로, 필요하신경우로문의하여주십시오. 특징독일의 Beckhoff가개발한리얼타임제어를가능하게한 Ethernet 베이스의오픈네트워크통신입니다. 고속통신과高정밀도단말장치간동기에의해, 장치의高성능화ㆍ高정밀도화를실현합니다또한, 시판중인 Ethernet 케이블을사용할수있어, 다양한배선형태의대응이가능합니다. 미쯔비시전기 가개발한서보시스템제어를위한모션네트워크통신입니다. 광화이버케이블을채택하여, 종래의 SSCNET 에비해, 노이즈대책이향상되었습니다. 컨트롤러와각종컴퍼넌트를접속하는오픈필드네트워크통신입니다. 야스카와전기가개발하여, MECHATROINK 협회로부터관리되고있습니다. 얼라이먼트스테이지 SA DE 리니어모터테이블 T Ⅱ-289 Ⅱ-29

160 시스템구성 표 9 드라이버 ADVA( EC) 를사용한 T 의시스템구성 표 컨트롤러유닛 NCD171G 를사용한시스템구성 싱글테이블의시스템구성예 셋업소프트웨어 싱글테이블의시스템구성예 드라이버 ACSERVO ADV Series PC 상위장치 PC, 스위치, 센서등기타 EtherCAT 대응기기 티칭박스또는 PC 2 컨트롤유닛 NCD171G 시퀀서 1 리니어모터테이블 상위장치 PC, 스위치, 센서등 리니어모터테이블 T 단상 AC17~2V /6Hz 트윈테이블의시스템구성예 트윈테이블의시스템구성예 No. 명칭 호칭번호 리니어모터테이블 Ⅱ 294~Ⅱ 페이지를참조해주십시오. 드라이버 표8을참조하여리니어모터테이블의형식에적합한드라이버를선택해주십시오. TAE2V7-AM (T CE, T D에적용 ) 모터중계케이블 TAE2V9-AM (T H에적용 ) TAE2V8-EC (T CE, T D에적용 ) 엔코더중계케이블 TAE2W-EC (T H에적용 ) 센서중계케이블 ( ) TAEV8-C 리미트분기케이블 (.1m) TAE2V2-BC TAE2R-CN( I/O ) ( 펄스열지령용드라이버에적용 ) 커넥터 TAE2V-CN( 2 ) (EtherCAT용드라이버에적용 ) USB mini B 케이블 PC 접속케이블고객사에서준비하여주십시오. ProDriveNext 셋업소프트웨어 히타치산기시스템웹사이트로부터다운로드하여주십시오. Ethernet 케이블 전원케이블 ⓫ 상위장치 I/O 커넥터연결케이블 ❷ 드라이버 ACSERVO ADV Series ❼ ❹ ❿ ❷드라이버 ACSERVO ADV Series 고객사에서준비하여주십시오. ❸ ❼ ❸ ⓭ ❹ ❽ ❿ ❺ ❻ ⓬ 상위장치 PC, 스위치, 센서등기타 EtherCAT 대응기기 ⓬ 상위장치 PC, 스위치, 센서등 ❶ 리니어모터테이블 T A 테이블 ❾ 셋업소프트웨어 B 테이블 티칭박스또는 PC No. 명칭 8 단상 AC17~2V /6Hz 2 컨트롤유닛 4 NCD171G 컨트롤유닛 NCD171G 호칭번호 1 리니어모터테이블 T CE T CE/SC T D T H 1 리니어모터테이블 Ⅱ 294~Ⅱ 페이지를참조해주십시오. 2 컨트롤유닛 NCD171G-262 NCD171G-682 티칭박스 TAE-TB 4 전원케이블 고객사에서준비하여주십시오. 모터중계케이블 TAE2C8-MC 6 엔코더중계케이블 ( 1 ) TAE2S-EC 리미트ㆍ엔코더중계케이블 TAE2V-EC TAE2V1-EC 7 리미트분기케이블 (.1m) TAE2V2-BC 8 통신케이블 (2.m) TAE98-RS 9 축간케이블 (1.m) TAE99-C 주 ( 1 ) 센서를장착하지않은 T CE 에적용합니다. 구성예제에표시한리미트센서접속용케이블은없습니다. 비고모터중계케이블, 엔코더중계케이블, 리미트 ᆞ 엔코더중계케이블길이는, 호칭번호끌단 에 ~m 까지 1m 단위로지정합니다. ( 리미트케이블은, 1.m 짧게됩니다.) 케이블길이가 m 미만의경우도 2 자리로지정합니다. (m 의경우의예 :TAE2C8-MC) 6 시퀀서 7 T 주 ( 1 ) I/O 커넥터 TAE2R-CN 은, 쓰리엠재팬 -PE( 커넥터 ) 와 -2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. ( 2 ) I/O 커넥터 TAE2V-CN 은, 쓰리엠재팬 12-PE( 커넥터 ) 와 2-2F-8( 커버 ) 의조합품입니다. ( ) B 테이블용센서중계케이블의 9 번과 11 번신호선은사용하지않습니다. 비고모터중계케이블, 엔코더중계케이블, 센서중계케이블길이는, 호칭번호말단의 에 ~m 까지 1m 단위로지정합니다. 케이블길이가 m 미만의경우도 2 자리로지정합니다. (m 의경우의예 :TAE2V7-AM) Ⅱ-291 Ⅱ-292

161 리니어모터테이블 T 2 축병렬운전 TCEGS 싱글테이블 병렬로배치한 2 대의리니어모터테이블 T 를결합하여, 2 축구동에의한병렬운전을실행할수있습니다. 종래의 1 축구동ㆍ 1 축추종방식과비교하여, 이 2 축병렬운전은, 케이스의뒤틀림이나좌우구동축의동작지연이최소한으로안정된위치결정기구를실현합니다. CD 제조장치등, 큰워크의반송이나넓은작업공간이요구되는검사장치에최적입니다. 2 축병렬운전은개별대응이됩니다. 제품사양에대한상세사항은, 로문의하여주십시오. 구동방식에따른특성비교 (14) 리미트 24. (2) N 92 K( 취부홀 :8피치) 2 축병렬운전 1 축구동ㆍ 1 축추동방식 ㆍ 2 축을구동하기때문에, 큰추력이얻어집니다. ㆍ좌우테이블구동에따른, 테이블의지연이나케이스의뒤틀림이적은위치결정기구를실현. ㆍ테이블의지연이나케이스의뒤틀림이적기때문에, 높은위치결정정밀도를확보할수있습니다. ㆍ 2 축동기제어시스템과비교하여, 코스트를절감할수있습니다. ㆍ단축구동이기에, 큰추력을얻을수없습니다. ㆍ구동은 1 축뿐이기에, 추종측테이블의지연이나케이스의틀어지기쉽습니다. ㆍ추종측의동작지연이나케이스의틀어짐이발생하기때문에, 위치결정정밀도확보가불가능합니다. 8 모터 S( 스트로크 ) n-m4 탭홀 4-M4 깊이 7( 1 ) 컨트롤러유닛 NCD171G 를사용한시스템구성의예 컨트롤유닛 NCD171G X1 테이블용 X2 테이블용 Y 테이블용 프로그램컨트롤러 CTN481G 엔코더 호칭번호 (1) 스트로크 S( 2 ) 전장 배드취부홀 N K n 테이블총질량 단위 가동부질량 TCEGS TCEGS TCEGS TCEGS TCEGS 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. 비고치수도면에파선부분은, 센서부착사양 /SC 를표시합니다. Y 테이블 X1 테이블 X2 테이블 TCEGS/T2 트윈테이블 리미트 (2) N K( 취부홀 :8 피치 ) T (14) 모터 S M4깊이7( 1 ) 4-M4깊이7( 1 ) 4 n-m4 탭홀 이구성예는, 프로그램컨트롤러 CTN481G 을상위지령장치로하는 X1, X2 테이블의병렬운전시스템구성입니다. Ⅱ-29 엔코더 호칭번호 (1) 스트로크 S( 2 ) 전장 배드취부홀 N K n 테이블총질량 TCEGS 2/T TCEGS 4/T TCEGS 6/T TCEGS 8/T 단위 가동부질량 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. 비고치수도면에파선부분은, 센서부착사양 /SC 를표시합니다..8 Ⅱ-294

162 리니어모터테이블 T TCEGF/D 커버부착싱글테이블 TCEGS 싱글테이블 (14) 리미트 24. (2) N 92 K( 취부홀 :8 피치 ) 리미트 (2) (14) 4 2. N K( 취부홀 : 피치 ) 8 14 모터 ( 1 ) 4-M깊이7( 1 ) 4-M4깊이7 n-m탭홀 S( 스트로크 ) 16 호칭번호 스트로크전장배드취부홀테이블총질량 S( 1 ) N K n TCEGF 2/D TCEGF 4/D TCEGF 6/D TCEGF 8/D TCEGF /D 주 ( 1 ) 기타스트로크에대해서는 로문의하여주십시오. 비고 치수도면에파선부분은, 센서부착사양 /SC를표시합니다. 단위 가동부질량 엔코더 호칭번호 (12) 스트로크 S( 2 ) 전장 배드취부홀 N K n 테이블총질량 TCEGS TCEGS TCEGS TCEGS TCEGS 단위 가동부질량 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. 비고치수도면에파선부분은, 센서부착사양 /SC 를표시합니다. 1. TCEGS/T2 트윈테이블 리미트 (2) N (14) K( 취부홀 : 피치 ) n-m 탭홀 모터 S( 스트로크 ) 16 4-M4깊이8 4 n-m4 탭홀 엔코더 (1).9 TCEGF/DT2 커버부착트윈테이블 (14) 리미트 (2) N 24. K( 취부홀 :8피치) T 호칭번호 스트로크 S( 1 ) 전장 배드취부홀 N K n 테이블총질량 TCEGF 2/DT TCEGF 4/DT TCEGF 6/DT TCEGF 8/DT 주 ( 1 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. 비고치수도면에파선부분은, 센서부착사양 /SC 를표시합니다. Ⅱ-29 8 모터 엔코더 (1) S M4깊이8 4-M4깊이8 4 n-m4 탭홀 단위 가동부질량.9 모터 8 엔코더 (12) 호칭번호 2 16 ( 1 ) 4-M깊이7( 1 ) 4-M4깊이7 4-M깊이7( 1 ) 4-M4깊이7( 1 ) 스트로크 S( 2 ) 242 S 전장 배드취부홀 N K n 테이블총질량 TCEGS /T TCEGS /T TCEGS 7/T TCEGS 9/T 단위 가동부질량 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. 비고치수도면에파선부분은, 센서부착사양 /SC 를표시합니다. 1. Ⅱ-296

163 리니어모터테이블 T TCEGF/D 커버부착싱글테이블 T1DGS 싱글테이블 (14) 리미트 6 2. (2) N K( 취부홀 : 피치 ) N 2 12 K( 취부홀 :12 피치 ) S( 스트로크 ) (2) 14 8 모터 M 깊이 4-M4 깊이 S( 스트로크 ) n-m 탭홀 16 4-M 깊이 9( 1 ) n-m4 탭홀 엔코더 호칭번호 (12) 스트로크 S( 1 ) 전장 배드취부홀 N K n 테이블총질량 TCEGF 4/D TCEGF 6/D TCEGF 8/D TCEGF /D TCEGF 12/D 주 ( 1 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. 비고치수도면에파선부분은, 센서부착사양 /SC 를표시합니다. 단위 가동부질량 호칭번호 리미트 스트로크 S( 2 ) 전장 배드취부홀 N K n 테이블총질량 T1DGS T1DGS T1DGS T1DGS T1DGS T1DGS T1DGS 단위 가동부질량 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. 1.7 TCEGF/DT2 커버부착트윈테이블 T1DGS/T2 트윈테이블 (14) 리미트 6 2. (2) N K( 취부홀 : 피치 ) n-m 탭홀 N 2 12 K( 취부홀 :12 피치 ) S( 스트로크 ) n-m4 탭홀 T M 깊이 4-M4 깊이 M 깊이 4-M4 깊이 엔코더 호칭번호 스트로크 S( 1 ) 전장 배드취부홀 N K n 테이블총질량 TCEGF /DT TCEGF /DT TCEGF 7/DT TCEGF 9/DT 주 ( 1 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. 비고치수도면에파선부분은, 센서부착사양 /SC 를표시합니다. Ⅱ 모터 (12) S 단위 가동부질량 호칭번호 (2) 리미트 스트로크 S( 2 ) 전장 4-M 깊이 9( 1 ) 배드취부홀 N K n 테이블총질량 T1DGS /T T1DGS 98/T T1DGS 146/T T1DGS 194/T T1DGS 242/T T1DGS 24/T M 깊이 9( 1 ) 단위 가동부질량 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. 1.7 Ⅱ-298

164 리니어모터테이블 T T1DGF/D 커버부착싱글테이블 T17DGS 싱글테이블ㆍ高추력사양 T17DVS 싱글테이블ㆍ고속사양 6 N 2 12 K( 취부홀 :12 피치 ) S( 스트로크 ) 1 N K( 취부홀 :16피치) S( 스트로크 ) 호칭번호 4 스트로크 S( 1 ) 전장 배드취부홀 N K n 테이블총질량 T1DGF 24/D T1DGF 72/D T1DGF 12/D T1DGF 168/D 주 ( 1 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오 (2) 리미트 T1DGF/DT2 커버부착트윈테이블 4-M 깊이 n-m4 탭홀 12 단위 가동부질량 호칭번호 T17DGS 68 T17DVS 68 T17DGS 116 T17DVS 116 T17DGS 164 T17DVS 164 T17DGS 212 T17DVS 212 T17DGS 26 T17DVS 26 T17DGS 272 T17DVS 272 (2) 8. 4 리미트 12 스트로크 S( 2 ) 전장 4-M6 깊이 9( 1 ) 배드취부홀 N K n n-m 탭홀 테이블총질량 단위 가동부질량 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. T17DGS/T2 트윈테이블ㆍ高추력사양 T17DVS/T2 트윈테이블ㆍ고속사양 N K( 취부홀 :12피치) 2 12 S( 스트로크 ) N K( 취부홀 :16 피치 ) S( 스트로크 ) T n-m4 탭홀 호칭번호 스트로크 S( 1 ) 전장 배드취부홀 N K n 테이블총질량 T1DGF /DT T1DGF 98/DT T1DGF 146/DT 주 ( 1 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. Ⅱ (2) 리미트 M 깊이 M 깊이 12 단위 가동부질량 리미트 호칭번호 (2) T17DGS 42/T2 T17DVS 42/T2 T17DGS 9/T2 T17DVS 9/T2 T17DGS 18/T2 T17DVS 18/T2 T17DGS 186/T2 T17DVS 186/T2 T17DGS 24/T2 T17DVS 24/T2 T17DGS 246/T2 T17DVS 246/T 스트로크 S( 2 ) 전장 4-M6 깊이 9( 1 ) 배드취부홀 N K n 테이블총질량 단위 가동부질량 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오 M6 깊이 9( 1 ) n-m 탭홀 2. Ⅱ-

165 리니어모터테이블 T T17DGF/D 커버부착싱글테이블ㆍ高추력사양 T17DVF/D 커버부착싱글테이블ㆍ고속사양 1 7 N K( 취부홀 :16 피치 ) S( 스트로크 ) 9 T17HS 싱글테이블 1 6 N K( 취부홀 :16피치) 2 22 S 호칭번호 T17DGF 68/D T17DVF 68/D T17DGF 116/D T17DVF 116/D T17DGF 164/D T17DVF 164/D 스트로크 S( 1 ) 주 ( 1 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오 (2) 리미트 전장 4-M6 깊이 12 배드취부홀 N K n n-m 탭홀 테이블총질량 단위 가동부질량 2.8 (49) 9. 호칭번호 () 스트로크 S( 2 ) 리미트 72 전장 배드취부홀 6-M6 깊이 12( 1 ) N K n n-m 탭홀 테이블총질량 T17HS T17HS T17HS T17HS T17HS T17HS 단위 가동부질량 4. 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. T17DGF/DT2 커버부착트윈테이블ㆍ高추력사양 T17DVF/DT2 커버부착트윈테이블ㆍ고속사양 T17HS/T2 트윈테이블 1 7 N K( 취부홀 :16피치) S( 스트로크 ) N 2 K( 취부홀 :16피치) 22 S n-m 탭홀 2 T A 테이블 B 테이블 호칭번호 6 T17DGF 42/DT2 T17DVF 42/DT2 T17DGF 9/DT2 T17DVF 9/DT2 T17DGF 18/DT2 T17DVF 18/DT2 스트로크 S( 1 ) 주 ( 1 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. (2) 리미트 전장 4-M6 깊이 12 배드취부홀 11. N K n 테이블총질량 M6깊이12 n-m탭홀 단위 가동부질량 2.8 (49) 9. 호칭번호 () 리미트 스트로크 S( 2 ) 전장 6-M6 깊이 12( 1 ) 6-M6 깊이 12( 1 ) 배드취부홀 N K n 테이블총질량 T17HS 4/T T17HS 89/T T17HS 17/T T17HS 18/T T17HS 2/T T17HS 24/T 단위 가동부질량 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면가동테이블의주행성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. 4. Ⅱ-1 Ⅱ-2

166 리니어모터테이블 T T17HF/D 커버부착싱글테이블 1 78 N 2 7 K( 취부홀 :16피치) 22 S 2 7 AT 17 (6) 호칭번호 9. 스트로크 S( 1 ) 전장 배드취부홀 N K n 테이블총질량 T17HF 6/D T17HF 11/D T17HF 16/D 주 ( 1 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. (49) () 리미트 M6 깊이 12 n-m 탭홀 단위 가동부질량 4.4 T17HF/DT2 커버부착트윈테이블 1 78 N K( 취부홀 :16피치) S n-m 탭홀 2 17 (6) 9. 호칭번호 (49) 18 스트로크 S( 1 ) 전장 배드취부홀 N K n 테이블총질량 T17HF 4/DT T17HF 89/DT T17HF 17/DT 주 ( 1 ) 기타스트로크에대해서는로문의하여주십시오. () 리미트 17 A 테이블 6-M6 깊이 B 테이블 M6 깊이 단위 가동부질량 4.4 AT Ⅱ- Ⅱ-4

167 얼라이먼트테이블 AT 볼스크류 AT 회전 Points 테이블 크로스롤러베어링 1 직선운동을회전운동으로변환하는회전위치결정테이블크로스롤러베어링을조합장착하였습니다. 리니어웨이와볼스크류를조합한로테이터구조로써, 직선운동을회전운동으로변환하여, 정밀한각도보정이가능한위치결정테이블입니다. 高강성강제테이블과배드를사용하였으며, 테이블을지탱하는축에 2 저단면설계로高강성高정밀도를실현. 모든방향에대하여높은강성을발휘하는크로스롤러베어링을채용하고있으므로, 저단면ᆞ 高강성ᆞ 다축구성의얼라이먼트테이블으로써사용가능 4 정밀위치결정테이블 H의슬라이드테이블위에설치하여, 높이가낮은 XY-θ 다축위치결정구조를구성할수있습니다. 반복위치결정정밀도는 ±1 초 직선운동을원운동으로변환하는로테이터는, 리니어웨이과정밀볼스크류를조합하여, 정확히가이드하고있기때문에, ±1초의높은반복위치결정정밀도를실현하고있습니다. 얼라이먼트테이블 AT 를사용한다축구성예 배드 얼라이먼트테이블 AT 의구동기구 AT는, 볼스크류구동에의한테이블외륜면과연결된로테이터를직선방향으로움직이는구동을합니다. 로테이터가이동함에따라변화하는테이블중앙으로부터의거리과각도를조정하기위해, 로테이터내부에는테이블각도에맞춰추종작동을하는직선및회전운동기구가조합장착되어있습니다. 따라서, AT는, 로테이터를동일한피치로이동시켜도테이블의회전각도는위치에따라다르며, 등속으로이동시켜도회전속도는일정하게됩니다. AT 볼스크류 로테이터 주요제품사양 정밀도 테이블중앙으로부터의거리 호칭번호 AT12 AT2 1 단위 단위초 AT 186 구동직동안내기기ᆞ베어링윤활부품내장테이블ᆞ배드의재질센서 정밀볼스크류리니어웨이 ( 볼타입 ) 크로스롤러베어링내장안함탄소강표준장착 반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도 A 테이블운동의평행도 B 자세정밀도진직도 ±1 ᅳ ᅳ ᅳ ᅳ ᅳ ᅳ 다양한제품군 형상 테이블의직경 형식과크기 AT12 AT2 테이블의직경 () 12 2 동작각도범위 ( 도 ) ± 백레쉬 ᅳ AT ± Ⅱ- Ⅱ-6

168 호칭번호 호칭번호의배열예 형식 Ⅱ 8페이지 2 크기 Ⅱ 8페이지 AT 12 / AT71 호칭번호와사양의상세사항 1 2 형식 크기 모터어터치먼트의지정 AT: 얼라이먼트테이블 AT 12: 테이블의직경 12 2: 테이블의직경 2 : 테이블의직경 모터어터치먼트는표 1 에서선택합니다. ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ사용하시고자하는모터에적용되는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ표 2 에표시한커플링이본체에취부되어출하됩니다만, 임시로고정해놓았기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. 모터어터치먼트의지정 Ⅱ 8페이지 표 1 모터어터치먼트의적용 A C 서보모터 스텝핑 모터 사용모터의형식 종류메이커시리즈형식 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 히타치산기시스템 오리엔탈모터 Σ-Ⅴ J, J4 MINAS A AD α 스텝 RK CRK 주 ( 1 ) 모터출력축외경 φ8에적용합니다. 비고 모터상세사양은, 각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. 정격출력 W 플랜지각 AT12 AT2 모터어터치먼트 AT SGMJV-AA AT71 SGMAV-AA AT71 4 SGMJV-1A AT71 AT72 SGMAV-1A AT71 AT72 HF-MP, HG-MR AT71 HF-KP, HG-KR AT71 4 HF-MP1, HG-MR1 AT71 AT72 HF-KP1, HG-KR1 AT71 AT72 MSMDA AT7 MSMEA AT7 8 MSMD1 AT7 AT74 MSME1 AT7 AT74 ADMA-R AT71-4 ADMA-1 AT71 AT72 AR46 42 AT7 AR66 6 AT76 AR69 6 AT76 RK4ㆍCRK4 42 AT77 RK6ㆍCRK6( 1 ) 6 AT78 표 2 커플링의형식 모터 어터치먼트 커플링의형식 메이커 커플링의관성 J C - ㆍ m 2 AT71 MSTS-16-8 나베야바이텍.84 AT72 UA-2C-8 8 나베야바이텍.29 AT7 MSTS-16-8 나베야바이텍.84 AT74 UA-2C-8 8 나베야바이텍.29 AT7 MSTS-16-6 나베야바이텍.84 AT76 MSTS-2C-8 나베야바이텍.71 AT77 MSTS-16- 나베야바이텍.84 AT78 MSTS-2C-8 8 나베야바이텍.71 비고커플링의상세사양은, 각메이커카탈로그를참조하여주십시오. AT Ⅱ-7 Ⅱ-8

169 각종특성 표 볼스크류사양단위 형식과크기 볼스크류외경 전장 AT12 6. AT2 6. AT 18 조합의예 XY-θ 다축위치결정기구의구성 얼라이먼트테이블 AT 는, 단축사양ㆍ다축사양의 정밀위치결정테이블과조합시킨것으로써, 간단히 XY-θ 다축위치결정기구를구 성할수있습니다. 조립높이가낮은컴팩트高정밀도위치결정이가능하기때문에, 정밀측정기ㆍ검사기ㆍ조립기등의얼라이먼트용테이블로사용할수있습니다. 표 4 각종특성 표 6 다축위치결정구조의구성예 단위 크기 항목 볼스크류의 리드 로테이터의 분해능 μm 동작각도범위 도 반복 위치결정정밀도 초 테이블관성 J T - ㆍ m 2 기동토크 T S N ㆍ m AT ( 1 ) ± AT2 ±1.14. AT 2 2( 1 ) ±.18.4 주 ( 1 ) 모터분할수가 pulse/rev. 일때의값입니다. 다축위치결정구조의외관 얼라이먼트테이블 AT 에조합한 정밀위치결정테이블의형식 단축사양 X 축 스트로크 TS12/12 TS12/22 12 TS22/22 12 TS22/ 18 Y 축 정밀위치결정테이블 TS ㆍ CT TS26/ 2 표 최대탑재질량단위 형식과크기 최대탑재질량 AT12 22 AT2 12 AT 44 비고 수평ᆞ수직틀어짐의경우에적용합니다. 취부 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. 센서사양 CCW CW 모터측 정밀위치결정테이블 H 2 축사양 단축사양 2 축사양 CT12/12 CT22/ CT26/ 2 CT/ 2 2 TSH12M TSH22M TSH2M TSH42M CTH12M CTH22M CTH2M, 2 2 2, 2, 4 4, AT 동작각도범위 OFF OFF CW 리미트 CCW 리미트 그림 1 센서타이밍차트 Ⅱ-9 Ⅱ-

170 모터어터치먼트의치수 얼라이먼트테이블 AT AT12, AT2 AT AT M4 깊이 8 PCD46, 9 등분배치 M4 깊이 8 PCD46, 9 등분배치 AT71 φ φ22 φ AT72 φ +. AT7 4-M6 탭홀 4-M6관통 ( 1 ) ( 등분배치 ) 관통 φ φ12 φ φ M 깊이 6 PCD4, 9 등분배치 M 깊이 6 PCD4, 9 등분배치 φ φ22 φ AT74 φ8 φ (2)( 2 ) M4 깊이 AT7 AT φ φ 관통 6.카운터보어깊이12. 반대면으로부터가공 ( 각인부위) 48. AT76 AT78 φ8 φ φ 관통 6.카운터보어깊이1. 반대면으로부터가공 ( 각인부위) AT 질량 4.4 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) ( ) 내치수는 AT71, AT7 에적용합니다. Ⅱ-11 Ⅱ-12

171 AT2 얼라이먼트테이블 AT AT 4-M6관통 ( 1 ) ( 등분배치 ) 4-M8 탭홀 M6 탭홀 φ18 φ2 관통 φ (14)( 2 ) φ 6-M8 관통 ( 1 ) ( 등분배치 ) φ1 관통 φ (66) AT 질량 9.9 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. ( 2 ) ( ) 내치수는 AT71, AT7 에적용합니다. 질량 21. 주 ( 1 ) 취부볼트의길이가너무길면테이블회전성능에악영향을끼칠수있기때문에, 취부나사홀의깊이보다긴볼트를삽입하지않도록해주십시오. Ⅱ-1 Ⅱ-14

172 AM AM Ⅱ-1 Ⅱ-16

173 얼라이먼트 모듈 AM 볼스크류 AM 직선ᆞ회전 Points 용도에 맞게 스테이지를 자유롭게 설계 가능 다양한 동작을 실현하는 위치 결정 모듈 다양한 스테이지와 베이스에 얼라이먼트 모듈 AM 을 조합하여, 용도에 맞는 얼라이먼트 스테이지가 자유롭게 설계 가능 합니다. 1 2 정밀 위치 결정 테이블 TU를 베이스로 高강성 크로스롤러베어링와 리니어웨이를 조합하여, 2급 대형 스테이지 대응 얼라이먼트 스테이지용으로 개발된 위치 결정 리니어웨이 모듈 입니다. 높이 조정 필요 없음 높이 치수의 허용차를 ±μm로 高정밀도 관리하고 있습니다. 각 얼라이먼트 모듈 AM의 높이를 조정하지 않고도 얼라이먼트 스테이지 볼스크류 2 2 구성이 가능합니다. 모터 브라켓 얼라이먼트 모듈 AM 얼라이먼트 스테이지의 구성 예와 동작 원리 크로스롤러베어링 센서 스테이지 구성 예 X운동 Y운동 중심 기준 각도 보정 임의 위치 기준 각도 보정 기준 위치 트랙레일 XY운동 정밀도 단위 구동 정밀 볼스크류 반복 위치 결정 정밀도 ±.2 직동안내기기ᆞ베어링 리니어웨이 볼 타입 크로스롤러베어링 위치 결정 정밀도.2 로스트 모션 ᅳ 테이블 운동의 평행도 A ᅳ 테이블 운동의 평행도 B.8 자세 정밀도 ᅳ 진직도 ᅳ 백레쉬. 윤활 부품 내장 내장 안함 테이블ᆞ배드의 재질 탄소강 센서 표준 장착 Ⅱ 17 AM 주요 제품 사양 다양한 제품군 형상 형식과 크기 W H W 크기 H 스트로크 () AM AM AM AM Ⅱ 18

174 호칭번호 호칭번호의배열예 형식 Ⅱ 19페이지 2 크기와스트로크 Ⅱ 19페이지 모터어터치먼트의지정 Ⅱ 19페이지 4 볼스크류종류및유무 Ⅱ 2페이지 볼스크류의리드 Ⅱ 2페이지 호칭번호와사양의상세사항 1 2 형식 크기와스트로크 모터어터치먼트의지정 AM 4- / AT82 G 4 AM: 얼라이먼트모듈 AM 2- : 폭치수 2 스트로크, 높이치수 : 폭치수 4 스트로크, 높이치수 : 폭치수 6 스트로크 9, 높이치수 : 폭치수 86 스트로크 12, 높이치수 148 AT8: 모터어터치먼트없음모터어터치먼트를지정할경우, 표 1 에서선택합니다. ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ사용하시고자하는모터에적용되는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ모터어터치먼트를지정하면, 표 2 에표시한커플링이본체에취부되어출하됩니다. 다만, 임시고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. ㆍ모터어터치먼트없음 (AT8) 의경우, 커플링은첨부하지않습니다. 표 1 모터어터치먼트의적용 사용모터 종류메이커시리즈형식 AC 서보모터 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 히타치산기시스템 Σ-Ⅴ J, J4 MINAS A 비고자세한모터사양은각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. 표 2 커플링의형식 모터 어터치먼트 AD 정격출력 W 플랜지각 모터어터치먼트 AM2 AM4 AM6 AM86 SGMMV-A2A 2 AT81 2 SGMMV-AA AT81 SGMJV-AA AT82 SGMAV-AA AT82 SGMJV-1A 4 AT82 AT8 SGMAV-1A AT82 AT8 SGMAV-C2A AT8 SGMJV-2A AT84 2 SGMAV-2A AT84 6 SGMJV-4A AT8 4 SGMAV-4A AT8 HG-AK26 2 AT81 2 HG-AK6 AT81 HF-MP, HG-MR AT82 HF-KP, HG-KR AT82 4 HF-MP1, HG-MR1 AT82 AT8 HF-KP1, HG-KR1 AT82 AT8 HF-MP2, HG-MR2 AT84 2 HF-KP2, HG-KR2 AT84 6 HF-MP4, HG-MR4 AT8 4 HF-KP4, HG-KR4 AT8 MSMDA AT87 MSMEA AT87 8 MSMD1 AT87 AT88 MSME1 AT87 AT88 MSMD2 AT89 2 MSME2 AT89 6 MSMD4 AT8 4 MSME4 AT8 ADMA-R - AT ADMA-1 - AT82 AT8 - ADMA AT84 6 ADMA AT8 커플링의형식 메이커 커플링의관성 J C - ㆍ m 2 AT81 UA-1C- 사카이제작소.24 AT82 UA-2C- 8 사카이제작소.86 AT8 UA-2C- 8 8 사카이제작소.29 AT84 UA-C- 14 사카이제작소.6 AT8 UA-C- 14 사카이제작소 1.4 AT87 UA-2C- 8 사카이제작소.86 AT88 UA-2C- 8 8 사카이제작소.29 AT89 UA-C- 11 사카이제작소.6 AT8 UA-C- 14 사카이제작소 1.4 비고커플링의상세사양은, 각메이커카탈로그를참조해주십시오. AM 4 볼스크류종류및유무 볼스크류의리드 G: 정밀연삭볼스크류 N: 볼스크류없음 N을선택했을경우, 는 AT8을지정하고 는무기호로지정해주십시오. 4: 리드 4(AM2, AM4에적용합니다.) : 리드 (AM6, AM86에적용합니다.) Ⅱ-19 Ⅱ-2

175 각종특성 표 정밀도단위 형식과크기 스트로크트랙레일 ( 1 ) 길이 AM2 1 AM4 18 AM AM 주 ( 1 ) 볼스크류없음사양에는적용하지않습니다. 반복위치결정정밀도 ( 1 ) 위치결정정밀도 ( 1 ) 운동의평행도 B 백레쉬 ( 1 ) ± 센서사양 표 9 센서타이밍차트 표4 높이치수 단위 형식과크기 모듈높이치수 높이치수의허용차 AM2 47 AM4 78 AM6 1 ±. AM 비고상하축이직교하며, 또한각축의직동안내부가스트로크중앙에있는상 태에서의설치면으로부터모듈상면중앙까지값입니다. 원점 ( 엔코더C상 ) 원점전센서 CCW리미트센서 CW리미트센서 OFF 메카스토퍼반대모터측 B ON C D 스트로크길이 (F) OFF OFF (E) 모터측 A( 1 ) 표 최고속도 형식과크기 볼스크류의리드 최고속도 /s AM2 AM4 4 2 AM6 AM86 2 비고실제최고속도는, 사용모터나부하조건등에대응하는운전패턴의검토 가필요합니다. 표 6 볼스크류사양단위 형식과크기 볼스크류외경 전장 AM AM AM AM 단위 형식과크기 A B C D E F AM AM AM AM 주 ( 1 ) 원점은스트로크중심입니다. 동작사양예 AM 을조합하여, 아래와같이테이블구성이가능합니다. 또한, 조합취부하여납품도가능하기때문에, 원하시는경우에는로문의해주십시오. 표 7 최대탑재질량단위 형식과크기 수평 최대탑재질량 수직 AM AM4 9 AM AM 표 8 테이블관성과기동토크 형식과크기 테이블관성기동토크 - ㆍm 2 Nㆍm T S AM AM4.8.4 AM6.9.9 AM J T 기준위치 X 운동 Y 운동 AM 취부 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. XY 운동중심기준각도보정임의위치기준각도보정 Ⅱ-21 Ⅱ-22

176 모터어터치먼트의치수 AM2 AM4 AM6 AM86 AT8 ( 모터어터치먼트없음 ) φ +.4 φ 드릴 AT8 ( 모터어터치먼트없음 ) φ +.4 φ M 관통 AT8 ( 모터어터치먼트없음 ) φ8 +.4 φ2 +.2 (8) 4-M4 깊이 AT8 ( 모터어터치먼트없음 ) φ +.4 φ9 +.2 (84) 4-M4 관통 AT81 4 φ1 +.4 φ 드릴 PCD28. AT φ2 +.4 φ M4 관통 PCD46, 9 등분배치 4-.4 드릴 6. 카운터보어깊이 6. AT φ +.2 φ M4 관통 PCD46, 9 등분배치 드릴 8 카운터보어깊이 4. AT φ4 +.4 φ M 깊이 PCD7, 9 등분배치 드릴 8 카운터보어깊이 M 관통 PCD4, 9 등분배치 M 관통 PCD4, 9 등분배치 AT φ9 +.4 φ M 깊이 PCD7, 9 등분배치 2 6 AT87 φ2 +.4 φ +.2 AT88 φ φ 드릴 8 카운터보어깊이 드릴 6. 카운터보어깊이 드릴 8 카운터보어깊이 M4 깊이 8 PCD7, 9 등분배치 AT89 φ4 +.4 φ 드릴 8 카운터보어깊이 M4 깊이 8 PCD7, 9 등분배치 AT8 φ9 +.4 φ 드릴 8 카운터보어깊이 7. AM Ⅱ-2 Ⅱ-24

177 얼라이먼트모듈 AM AM2 모터어터치먼트없음ㆍ볼스크류부착 AM4 모터어터치먼트없음ㆍ볼스크류부착 -M4 깊이 M 관통 7 (24) (1) (24) 1.. (46.4) (2) (7) (2) (1.6) 47 ± 드릴 4.8 카운터보어깊이 (1.9) 78 ± 질량 드릴 6. 카운터보어깊이.1 18 질량 2. AM2 볼스크류없음 AM4 볼스크류없음 M 관통 12 -M4 깊이 (24) (1) (24) (2) (7) (2) AM (1.6) 47 ±. (14) (4) (4) (14) 78 ±. (2) (.2) (.2) (18) (1.9) 드릴 4.8 카운터보어깊이 드릴 6. 카운터보어깊이.1 18 질량.4 질량 1. Ⅱ-2 Ⅱ-26

178 얼라이먼트모듈 AM AM6 모터어터치먼트없음ㆍ볼스크류부착 AM86 모터어터치먼트없음ㆍ볼스크류부착 22 (9) (2) (9) M6 깊이 12 (2.6) 1 ± 드릴 9. 카운터보어깊이.4 29 질량 6 질량 17 AM6 볼스크류없음 22 -M6 깊이 12 (9) (2) (9) M8 깊이 16 (99) (12) (99) (6) 148 ± 드릴 11 카운터보어깊이 7 9 AM86 볼스크류없음 M8 깊이 16 (99) (12) (99) AM (2.6) 1 ±. (2) (81.8) (81.8) (42) (6) 148 ±. (2) (1.) (1.) (19) 드릴 9.카운터보어깊이.4 29 질량 드릴 11카운터보어깊이7 9 질량 1 Ⅱ-27 Ⅱ-28

179 TZ TZ Ⅱ-29 Ⅱ-

180 정밀 승강 테이블 TZ 볼스크류 TZ 직선 Points 리니어 엔코더 취부로 1랭크상의 위치 결정이 가능 테이블 컴팩트한 정밀 승강 테이블 1 2 독자의 경사 기구를 사용하여, 컴팩트로 高정밀도 경사 구조 4 옵션으로 리니어 엔코더 부착을 지정해, 풀 크로즈 상하 방향의 위치 결정을 실행하는 승강 테이블 입니다. 루프 제어를 실시하여, 한층 더 高정밀도 위치 결정을 실현할 수 있습니다. 센서 표준 장착 용도에 따라 선택할 수 있는 2가지 타입 2가지 사이즈 롤러 타입의 직동안내기기를 조합 구성한 高정밀도ᆞ 高강성 타입과 코스트 퍼포먼스가 뛰어난 스탠다드 타입의 2 타입에 각각의 테이블 치수 12 와 2 를 라인 업. 2종류의 경사 감속비가 준비되어 있어, 최대 스트로크 24의 상하 방향 위치 결정이 가능합니다. 리미트 센서, 원점ᆞ원점 전 센서를 표준 장착 센서를 본체 내부에 컴팩트하게 내장하고 있기 때문에, 기계장치에 조합 구성이 용이합니다. 다축 구성의 Z축으로써 사용 가능 정밀 위치 결정 테이블의 슬라이드 테이블 위에 설치하여, 다축 테이블의 Z축 위치 결정 기구로써 사용 가능합니다. 정밀 승강 테이블 TZ를 사용한 XYZ 위치 결정 테이블의 조합 예 Z축 정밀 승강 테이블 TZ 플러스 볼스크류 모터 브라켓 정밀 위치 결정 테이블 CT 리니어롤러웨이, 리니어웨이 배드 Y축 X축 TZ12과 CT12/12의 조합 센서 주요 제품 사양 다양한 제품군 정밀도 단위 구동 정밀 볼스크류 리니어롤러웨이 롤러 타입 리니어웨이 볼 타입 윤활 부품 내장 윤활 부품 C루브 내장 TZ H, TZ X 테이블ᆞ배드의 재질 알루미늄 압출 소재 (알루마이트) 센서 표준 장착 위치 결정 정밀도 로스트 모션..1 TZ12-4 TZ12X-4 테이블 운동의 평행도 B ᅳ TZ2H-2 백레쉬 ᅳ ᅳ ᅳ TZ2H-4 TZ2X-2 TZ2X-4 직동안내기기의 형식 볼 타입 경사 감속비 TZ12X-2 ᅳ 자세 정밀도 테이블 폭 치수 () TZ12-2 테이블 운동의 평행도 A 진직도 Ⅱ 1 ±.1 형식과 크기 1 2 롤러 타입 볼 타입 롤러 타입 1 4 Ⅱ 2 TZ 직동안내기기 반복 위치 결정 정밀도 형상

181 호칭번호 호칭번호의배열예 형식 Ⅱ 페이지 2 크기 Ⅱ 페이지 경사구조 Ⅱ 페이지 4 모터어터치먼트의지정 Ⅱ 페이지 리니어엔코더의지정 Ⅱ 페이지 6 리니어엔코더취부방향 Ⅱ 페이지 TZ 12 X - 2 / AT91 Y1 1 표 1 모터어터치먼트의적용 AC 서보모터 모터형식 종류메이커시리즈형식 스텝핑모터 야스카와전기 미쯔비시전기 파나소닉 오리엔탈 모터 Σ-Ⅴ J, J4 MINAS A α 스텝 RK CRK 주 ( 1 ) 모터출력축외경 φ8 에적용합니다. 비고모터상세사양은, 각모터메이커의카탈로그를참조해주십시오. 정격출력 W 플랜지각 TZ12 TZ12X 모터어터치먼트 TZ2H TZ2X SGMJV-AA AT91 SGMAV-AA AT91 SGMJV-1A 4 AT91 AT92 SGMAV-1A AT91 AT92 SGMAV-C2A AT92 HF-MP, HG-MR AT91 HF-KP, HG-KR AT91 4 HF-MP1, HG-MR1 AT91 AT92 HF-KP1, HG-KR1 AT91 AT92 MSMDA AT9 MSMEA AT9 8 MSMD1 AT9 AT94 MSME1 AT9 AT94 AR46 42 AT9 AR66 6 AT96 AR69 6 AT96 RK4ㆍCRK4 42 AT97 RK6ㆍCRK6( 1 ) 6 AT98 호칭번호와사양의상세사항 1 2 형식 크기 경사구조 TZ : 정밀승강테이블 ( 크기 12 에적용합니다.) TZ H : 정밀승강테이블 ( 크기 2 에적용합니다.) TZ X : 정밀승강테이블高정밀도ㆍ高강성타입 ( 크기 12 ㆍ 2 에적용합니다.) 12: 테이블폭치수 12 2: 테이블폭치수 2 2: 경사감속비 1:2 4: 경사감속비 1:4 볼스크류이송량에대한상하방향의이동량감속비를표시합니다. 표 2 커플링의형식 모터 어터치먼트 커플링의형식 메이커 커플링의관성 J C - ㆍ m 2 AT91 UA-2C- 8 사카이제작소.86 AT92 UA-2C-8 8 사카이제작소.29 AT9 UA-2C- 8 사카이제작소.86 AT94 UA-2C-8 8 사카이제작소.29 AT9 UA-2C- 6 사카이제작소.86 AT96 UA-2C-8 사카이제작소.29 AT97 UA-2C- 사카이제작소.86 AT98 UA-2C-8 8 사카이제작소.29 비고커플링의상세사양은, 각메이커카탈로그를참조해주십시오. 4 모터어터치먼트의지정 리니어엔코더의지정 모터어터치먼트는표 1 에서선택합니다. ㆍ모터는고객사에서준비해주십시오. ㆍ사용하시고자하는모터에적용되는모터어터치먼트를지정해주십시오. ㆍ표 2 에표시한커플링이본체에취부되어출하됩니다. 다만, 임시로고정되어있기때문에, 최종위치조정은고객사에서시행하여주십시오. ㆍ AC 서보모터용어터치먼트를지정한경우, 원점센서는첨부하지않습니다. 무기호 : 리니어엔코더없음리니어엔코더를지정할경우는, 표 을참조하여주십시오. ㆍ리니어엔코더부착은, TZ H 및 TZ X 의 AC 서보모터의경우에만적용합니다. 적용할형식과모터어터치먼트에대해서는, 표 1 을참조하여주십시오. 표 리니어엔코더의형식 항목 대상형식 TZ12X TZ2H, TZ2X 리니어엔코더의지정기호 Y1 J1 P1 Y2 J2 P2 대응드라이버메이커 야스카와전기미쯔비시전기 파나소닉 야스카와전기미쯔비시전기 파나소닉 메이커 레니슈어 레니슈어 리니어엔코더헤드 T1-A RGH2BA RGH2YDA 리니어엔코더 A-97-4 A 인터페이스 TiAV Ti2A4A 레퍼런스마크 A 리니어엔코더취부방향 무기호 : 반대모터측으로부터봐서우측에배치 1 : 반대모터측으로부터봐서좌측에배치 ㆍ리니어엔코더의취부방향과센서케이블의취출방향은동일합니다. TZ Ⅱ- Ⅱ-4

182 각종특성 표 4 사양 형식과크기 경사감속비 볼스크류의리드 분해능 ( 1 ) μm/pulse 스트로크 TZ12-2 1:2 2 TZ12-4 1:4 1 TZ12X -2 1: (.1) TZ12X -4 1:4 1. (.1) TZ2H-2 1:2 2. (.1) TZ2H-4 1:4 12 (.1) 2. TZ2X -2 1:2 24 (.1) TZ2X -4 1:4 1.2 (.1) 12 주 ( 1 ) 모터분할수가pulse/rev. 일때의값입니다. 비고 ( ) 는, 리니어엔코더부착이며, 미쯔비시전기 J 시리즈또는파나소닉 MINAS A 시스템을선택할때의값을표시합니다. 야스카와전기 ΣV 시스템을선택한경우는,.7812μm/pulse가됩니다. 표 8 볼스크류사양단위 형식과크기볼스크류외경전장 TZ12 8 TZ12X TZ2H TZ2X 표 9 테이블관성과기동토크 형식과크기 경사 감속비 테이블관성기동토크 T S - ㆍm 2 Nㆍm TZ12-2 1:2.76. TZ12-4 1: TZ12X -2 1:2.76. TZ12X -4 1: TZ2H-2 1: TZ2H-4 1: TZ2X -2 1: TZ2X -4 1: J T 표 정밀도단위 형식과크기 경사감속비 TZ12-2 1:2 TZ12-4 1:4 TZ12X -2 1:2 TZ12X -4 1:4 TZ2H-2 1:2 TZ2H-4 1:4 TZ2X -2 1:2 TZ2X -4 1:4 반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블승강시의평행도 테이블승강시의 ±.1 ±.1 ±.1 ±.1 비고 ( ) 는, 리니어엔코더부착시의값을표시합니다. (.) (.) (.) 직각도 취부 정밀위치결정테이블취부면의가공정밀도나고정나사의체결토크에대해서는 Ⅲ 29 를참조해주십시오. 센서사양 표 센서타이밍차트 표 6 최고속도 형식과크기 경사감속비 볼스크류의 리드 AC 서보모터 최고속도 /s 스텝핑모터 TZ12-2 1:2 6 TZ12-4 1:4 4 TZ12X -2 1:2 6 TZ12X -4 1:4 TZ2H-2 1: TZ2H-4 1: TZ2X -2 1: TZ2X -4 1: 비고실제최고속도는, 사용모터나부하조건등에대응하는운전패턴의검토가필요합니다. 원점원점전 CW 리미트 CCW 리미트메카스토퍼상하방향위치 ON OFF OFF OFF A B C D 스트로크길이 Hmin 스트로크길이 CW CCW 단위 표 7 최대탑재질량단위 형식과크기 TZ12 TZ12X TZ2H TZ2X 경사감속비 수평 최대탑재질량 수직 1:2 6 1:4 6 1:2 82 1: : :4 9 1: :4 16 호칭번호 A B C D TZ12-2 TZ12X -2 TZ12-4 TZ12X -4 TZ2H-2 TZ2X -2 TZ2H-4 TZ2X TZ Ⅱ- Ⅱ-6

183 모터어터치먼트의치수 정밀승강테이블 TZ TZ12, TZ12X TZ2H, TZ2X TZ M4 관통 PCD46, 9 등분배치 M4 관통 PCD46, 9 등분배치 φ AT91 φ2 φ AT92 φ27 φ M 관통 PCD4, 9 등분배치 φ φ M 관통 PCD4, 9 등분배치 φ8 2 AT9 φ2 φ AT94 φ27 φ 드릴 6.카운터보어깊이. 반대면으로부터가공 M4 관통 φ8 (126) M 깊이 S AT9 AT97 φ φ AT96 AT98 φ27 4 Hmax φ Hmin (2) M 탭홀 호칭번호 경사감속비 질량 ( 참고 ) Hmin (CW 리미트위치 ) 배드취부홀 Hmax (CCW 리미트위치 ) TZ12-2 1:2.8 9 TZ12-4 1: 스트로크 S 단위 TZ Ⅱ-7 Ⅱ-8

184 정밀승강테이블 TZ TZ12X 리니어엔코더없음 TZ12X 리니어엔코더부착 2 (126) M 깊이 Hmax Hmin 2 (89) (126) M 깊이 S Hmax Hmin (2) M 탭홀 S 1 호칭번호 경사감속비 질량 ( 참고 ) Hmin (CW 리미트위치 ) 배드취부홀 Hmax (CCW 리미트위치 ) TZ12X-2 1:2.8 9 TZ12X-4 1: 단위 스트로크 S 호칭번호 (2) 7 7 경사감속비 질량 ( 참고 ) Hmin (CW 리미트위치 ) 4-M 탭홀 배드취부홀 Hmax (CCW 리미트위치 ) TZ12X-2 1: TZ12X-4 1: 스트로크 S 단위 TZ Ⅱ-9 Ⅱ-4

185 정밀승강테이블 TZ TZ2H, TZ2X 리니어엔코더없음 TZ2H, TZ2X 리니어엔코더부착 2 (26) Hmax Hmin S 2 (1) M6 깊이 12 4-M6 깊이 Hmax Hmin S (26) (24) 66 4-M6 탭홀 (24) 66 4-M6 탭홀 호칭번호 경사감속비 질량 ( 참고 ) Hmin (CW 리미트위치 ) 배드취부홀 Hmax (CCW 리미트위치 ) TZ2H-2 1: TZ2H-4 1: TZ2X-2 1: TZ2X-4 1: 단위 스트로크 S 호칭번호 경사감속비 질량 ( 참고 ) Hmin (CW 리미트위치 ) 배드취부홀 Hmax (CCW 리미트위치 ) TZ2H-2 1: TZ2H-4 1: TZ2X-2 1: TZ2X-4 1: 스트로크 S 단위 TZ Ⅱ-41 Ⅱ-42

186 리니어모터구동테이블용드라이버사양일람 Ⅱ-4 Ⅱ-44

187 2 1 4 NCR NT8V 용드라이버 NCR 의사양 저전압 (DC24V) 사양으로, 사이즈 11.8 로컴팩트설계. 장치소형화, 스페이스절감화에공헌합니다. 관성ㆍ점성마찰의 2 종류파라메터를설정하여, 피드포워드토크제어를실행함으로써정정 ( 整定 ) 시간의단축을실현합니다. PC 편집소프트웨어는, 파라메터편집기능이외, 4ch 리얼타임 오실로스코프기능, 리모트운전기능, 공진주파수측정기능등을갖추고있어, 기계진단, 리니어모터의기동ㆍ조정이용이합니다 NT H 용드라이버 NCR 사양 드라이버와위치결정유닛을일체화하여, 시스템상의배선간소, 소형화를실현했습니다. 디지털제어로, 드리프트레스, 조정불균형의해소, 인간과머신의인터페이스의충실등, 신뢰성, 사용편리성을추구했습니다. 간이위치결정운전, 펄스열운전이모드선택으로대응가능하여, 광범위한용도에서의적용이가능합니다. 토크제어, 속도제어가가능합니다. 배선 /S 자커브가감속, 피드포워드, 토크지령필터, 정지시및저 속시게인전환, 외란보상제어등, 본격적인소프트웨어서보에의해, 기계강성에피트한제어가가능합니다. 시리얼통신으로, 터치패널, 상위컨트롤러등의주변기기와의접속이가능합니다. USB 2.(Full speed) 으로전용편집소프트웨어와의접속이가능합니다 VC. (7) 11 표 1 NCR 사양 항목 전기적사양 기능사양 질량 환경 입력전호칭번호 NCR-DCEDB-21D-S1 원전압사양 연속 :DC24V ±% (min.22.8v~max.2.2v) 순시 :DC21.6V~DC28V ( 토크보증범위外 ) 방식 주전원ㆍ제어회로전원분리형 전류사양 DC8.A ( 정격출력시 ) 연속출력전류 6.Arms 최대출력전류 1.Arms 캐리어주파수 khz 입출력신호 입력 8점, 출력 4점 (DC12~24V 포토커플러절연 ) 통신 USB2.(Full Speed):1ch, RS-422A 시리얼통신 :1ch 주기능 운전모드 펄스열운전 속도제어운전 속도제어 / 펄스열운전, 토크제어, 자기진단, 역전반전전환 외부펄스열지령 방향별펄스 / 방향 + 이송펄스 /9 위상차펄스전환 라인드라이버 :4MHz (4 채배시 16MHz) 위상순서전환, 전자기어 ( 펄스열지령비 ), 지령평균화기능 내부펄스열지령 JOG, 위치결정 7 점, 원점복귀, 가감속 2 점, S 자가감속 ( 지령평균화기능사용 ) 아날로그지령전압게인전환, 내부속도지령 7 점가감속시간 :~9.999sec 토크제한파라메터설정 2 점 ( 정역별도 ) 서보성능향상기능 제어입력신호 (8 점 ) 제어출력신호 (4 점 ) 모니터기능 보호기능 속도게인전환 :점( 통상, 저속, GSE 전환 ), 토크지령필터피드포워드 ( 속도, 점성마찰 ), 넛치필터 점기동, 서보온, 토크제한, 속도게인선택, 리셋, 모드선택, 지령선택, 지령펄스입력금지, 지령방향반전, 비상정지, 내부펄스기동, 원점 S, 원점마커정방향오버트레블, 역방향오버트레블, 현재위치데이터출력요구정방향 JOG, 역방향 JOG, 알람코드출력요구, 지령데이터반영금지레디, 알람, 편차범위 AㆍB, 브레이크해제, 속도제로, 마커출력, 비상정지중, 원점복귀완료 4점상태표시용 ED에의한상태확인 PWR( 녹 ) ㆍRDY( 녹 ) ㆍRUN( 녹 ) ㆍAM( 적 ) 옵션의전용편집소프트웨어에서이하의모니터가가능각종상태표시, 알람표시, 오실로스코프기능에의한상태표시등엔코더이상, 자극검출이상, 과속도, 과부하, 부족전압, 과전압, 과전류이상, 편차이상, DSP 이상, 과열보호 주위온도 ~, 보관 :-2~6 주위습도 9%RH이하 ( 결로가없을것 ), 보관 :8%RH이하( 결로가없을것 ) 내진동.G (~Hz) 단, 공진없는조건 내충격 G.41 표 2 NCR 사양 항목 기본사양 입출력기능 내부기능 사용환경 질량 최대정격전류 최대순시전류 전원설비용량 호칭번호 NCR-DDAA1A-1D-T8 1.1Arms.Arms.1kVA 입력전원 ( 주회로 & 제어회로 ) 단상 AC~11V ( 허용전압변동 AC9~121V)/6Hz ±% 제어방식 상정현파 PWM 방식 제어모드위치 ( 위치제어데이터 / 펄스열 ) 지령입력 접점입력신호 접점출력신호 엔코더피드백펄스출력 엔코더피드백펄스입력 모니터출력 보호기능 통신기능 펄스열지령 라인드라이버방식에대응최대입력주파수는이하에기재 19 위상차펄스 4Mpps(4채배로 16Mpps)2 방향별펄스 4Mpps 방향+이송펄스 4Mpps 속도제어운전아날로그속도지령, 내부속도지령 ( 점 ) 토크제어운전아날로그토크지령, 내부토크지령 ( 점 ) 간이위치결정운전 사용주위온도 / 보관온도 수동모드 / 원점복귀모드 / 간이위치결정모드의 가지위치결정모드 [ 기본입력신호 8 점 ( 초기치 )] 서보온, 리셋, 지령펄스입력금지, 모드선택 1, 모드선택 2, 기동, 속도선택, 토크선택 < 이하의신호는, 리모트제어또는입력신호를할당해서사용 > 비상정지, 비례제어, 어드레스지정, 속도오버라이드, 편차클리어, 토크제한, 정방향오버트레블, 역방향오버트레블등 [ 기본출력신호 4 점 ( 초기치 )] 서보레디, 알람, 워닝, 위치결정완료 < 이하의신호는, 리모트제어또는출력신호를할당가능 > 토크제한중, 속도제로, 속도운전모드중, 토크운전모드중, 간이위치결정모드중, 펄스열운전모드중, 엔코더마커등 9 위상차펄스열출력 ( 분주출력가능. A/B 상 2 신호의최고출력주파수는 4 채배로 2Mpps) 9 위상차펄스열입력 (A/B 상 2 신호의최고입력주파수는 4 채배로 2Mpps) 1아날로그모니터 :2점( 각종동작상태중에서파라메터로선택한 2점을모니터가능.) 2USB 대응전용편집소프트웨어로각종모니터가능 IPM 이상, 과전압, 부족전압, 과속도, 과부하, 회생저항과부하, 편차오버플로워, 통신이상, 데이터이상, CPU 이상, 엔코더이상, 자동자극검출이상, 엡솔루트엔코더이상등시리얼통신 (RS-422A) 에의한, 각종데이터송수신이가능합니다. USB 2.(Full speed) 에의한, 전용편집소프트웨어와의접속이가능 ~ /-2~66 사용습도 8%RH이하 ( 결로가없을것 ) 내진동.G ~Hz 사용장소표고 m이하, 옥내 ( 부식가스, 먼지가없는곳 ) 1. Ⅱ-4 Ⅱ-46

188 ADVA ADVA 사양 적용형번 NT 시리즈 :NTV, NT8V, NT XZ, NT XZH SA 시리즈 : 모든형번 T 시리즈 : 모든형번 종래의펄스열지령입력에추가로고속모션네트워크 EtherCAT 에도대응. 인텔리전트단자에서, 입력단자및 6 출력단자, 아날로그입력 ~±V 제어가가능합니다. 높은제어성에의한정정 ( 整定 ) 시간을단축하고, 생산성향상을실현합니다. 셋업소프트웨어의파라메터설정, 모니터표시, 운전트레이스나오토튜닝기능을통한기계진단이나리니어모터기동ㆍ조정이용이해집니다. 셋업소프트웨어 드라이버파라메터설정ㆍ참조ㆍ변경ㆍ인쇄ㆍ저장을실행합니다. 리얼타임에운전상태및출력상태의모니터를실행할수있습니다. 속도, 전류등을그래프로표시합니다. 시운전이나게인튜닝을보조합니다. 표 4 셋업소프트웨어동작환경 항목 조건 PC CPU : Pentium4 1.8GHz 이상하드디스크여유용량 :1GB 이상디스플레이해상도 : 이상추천 OS Windows Vista 2bit SP1 Windows 7 (2bit, 64bit) Windows 8 (2bit, 64bit) 비고 Windows 은, Microsoft Corporation 의미국및그외나라의등록상표입니다. Pentium 은 Intel Corporation 의미국및그외나라의등록상표입니다. 그림 1 운전트레이스기능 6 6 표 ADVA 의사양 입력전원양호칭번호 ADVA-1N ADVA-8N ADVA-RM 항목 ADVA-1NEC ADVA-8NEC ADVA-RMEC 단상 /상 AC2~2V 단상 AC~11V /6Hz /6Hz 전원설비용량.kVA 1.kVA.kVA 정격전류 / 순간전류 1.2Arms/.6Arms.1Arms/1.Arms 1.2Arms/.6Arms 보 호 구 조 ( 1 ) 반폐쇄형 IP2 기본사제어모드위치제어 / 속도제어 / 추력제어입출력관계기능[ 입력 ] 인텔리전트단자로, 입력단자 (EtherCAT 사양은 6입력단자 ) 를파라미터로기능선택 DC12 24V 접점신호 / 오픈콜렉터신호입력 ( 내부 DC24V 전원공급있음 ) 접점입출력 속 도 지 령 아날로그입력 : ~±V 최고속도 ( 게인설정가능 ) 또는 EtherCAT 추 력 명 령 아날로그입력 : ~±V 최고추력 ( 게인설정가능 ) 또는 EtherCAT 위 치 지 령 라인드라이버신호 : 2Mpps( 비절연입력 4채배후 ) 오픈콜렉터신호 : 2Mpps( 절연입력 4채배후 ) 또는 EtherCAT [ 출력 ] 인텔리전트단자로, 6출력단자 (EtherCAT 사양은 4출력단자 ) 를파라미터로기능선택 ( 오픈콜렉터신호출력 : 싱크출력 ) 내부기능사용환경내장오퍼레이터 펄스열지령사양 : 자리숫자표시기, Key 푸쉬버튼 / 딥스위치 ( 양방향통신설정 ) EtherCAT 사양 : 2자리숫자표시기, 딥스위치 (EtherCAT의노멀어드레스설정 ) 외부오퍼레이터 Windows 7/8 (2bit, 64bit) PC 접속가능 (USB2. FU SPEED) 회생제동회로 내장 다이나믹브레이크 ( 2 ) 내장 ( 동작조건은설정가능 ) 보 호 기 능 과전류, 과부하, 제동저항기과부하, 주회로과전압, 메모리이상, 주회로부족전압, CT 이상, CPU 이상1, 외부트립 ( 모터온도이상 ), 서보 ON시지락검출, 제어회로부족전압, 서보앰프온도이상, 구동금지이상, 파워모듈이상, 세이프티회로이상, 긴급차단, 엔코더이상, 언매치에러, 전원재투입요구, 자극위치추정이상, 자극위치추정미실행, 위치편차이상, 속도편차이상, 과속도이상, 순시정전, 주회로전원이상, 구동범위이상 ( 네트워크통신이상, DC 동기이상, 부족전압표시 ) 사용시주위온도 / 보관온도 ( ) ~ /-~7 사용습도 2~9%RH( 결로가없을것 ) 내진동 ( 4 ).9m/s 2 (.6G) ~Hz 사 용 장 소 표고 m 이하옥내 ( 부식가스, 먼지가없는곳 ) 질 량 주 ( 1 ) 보호방식은 JEM에준합니다. ( 2 ) 다이나믹브레이크는비상정지용으로사용하여주십시오. ( ) 보관온도는운송중의온도입니다. ( 4 ) JIS C : 2에준합니다. Ⅱ-47 Ⅱ-48

189 ADVA MR-J4 오토튜닝기능 MR-J4 사양 ADVA 용셋업소프트웨어의오토튜닝기능을사용하면, 숙련자가아니더라도간단히高정밀도게인조정이가능합니다. 조건 본체 :NTV2/R+ADVA-1N/NTV2 탑재질량 :2g 속도 :/s 위치결정완료폭 :±μm 이동거리 : 가감속시간 :12ms 튜닝전 지령속도에대해서실제속도가지연되고있어, 정정 ( 整定 ) 시간이약 4ms 로되어있다. 적용형번 NT 시리즈 :NTV, NT8V SA 시리즈 : 모든형번 SSCNETⅢ/H( 고속시리얼버스 ) 에 대응. 광통신방식에의한고속, 高정밀도화를실현합니다. 원터치튜닝기능을 ON하는것만으로도, 기계공진억제필터, 언밸런스제진제어 Ⅱ, 로우버스트필터를포함한서보게인조정이완료합니다. 선진진동억제기능을손쉽게구사하여, 머신성능을최대한발휘시킵니다. 셋업소프트웨어 (MR Configurator2) 의 파라메터설정, 모니터표시, 머신어널라이져등에의한, 기계진단, 리니어모터기동ㆍ조정이용이해집니다. φ (8) 1 표 MR-J4 사양 지령속도 실제속도 튜닝후 튜닝조건 풀다운에서간단한조정조건을선택할뿐. 지령속도에대한실제속도가거의일치하고있으며, 정정 ( 整定 ) 시간이약 1ms 로되고있다. 항목 기본사양 입출력기능 내부기능 사용환경 질량 호칭번호 MR-J4-B-RJ 출력 정격전압 상 AC17V 정격전류 1.1A 전압ㆍ주파수단상 / 상 AC2~24V / 6Hz 주회로허용전압변동단상 / 상 AC17~264V 전원허용주파수변동 ± % 이내 전압ㆍ주파수 단상 AC2~24V / 6Hz 제어회로 허용전압변동 단상 AC17~264V 전원 허용주파수변동 ± % 이내 소비전력 W 인터페이스용전원 DC24V ± %( 필요전류용량 :.A(CN8 컨넥터신호를포함 )) 구조 ( 보호등급 ) 자냉, 개방 (IP2) 제어방식 정현파 PWM 제어ㆍ전류제어방식 기계단엔코더인터페이스 미쯔비시고속시리얼통신 / ABZ 상차동입력신호 엔코더출력펄스 대응 (ABZ 상펄스 ) 아날로그모니터 2ch 통신기능 USB:PC 등의접속 (MR Configurator2 대응 ) 다이나믹브레이크 내장 과전류차단, 회생과전압차단, 과부하차단 ( 전자써멀 ), 서보모터과열보호 보호기능 엔코더이상보호, 회생이상보호, 부족전압보호, 순시정전보호, 과속도보호, 오차과대보호, 자극검출보호, 리니어서보제어이상보호 주위온도 ~ ( 동결방지 ), 보관 :-2~6 ( 동결방지 ) 주위습도 9%RH 이하 ( 결로가없을것 ), 보관 :9%RH 이하 ( 결로가없을것 ) 분위기 옥내 ( 직사광선을피할것 ), 부식성가스ㆍ인화성가스ㆍ오일미스트ㆍ먼지등이없을것 표고 해발 1 m 이하 내진동.9m/s 2 이하, Hz~Hz (X,Y,Z 각방향 ).8 그림 2 오토튜닝기능 Ⅱ-49 Ⅱ-

190 ACV /2V NCD 모션네트워크 T 시리즈용컨트롤러유닛 NCD171G 사양 프로그램컨트롤러와서보드라이버를컴팩트하게일체화했습니다. 접속케이블이짧아서, 배선공수를대폭으로절감할수있습니다. 본체를복수로사용하는경우에도티칭박스는 1대만있으면됩니다. 외부입출력용, 센서용 DC24V 전원을내장하고있습니다. I/O 시퀀스기능을내장하고있어서, 간단한시스템이면시퀀스가필요없습니다. 각종체크기능을통한외부입출력의접속확인이용이합니다. 프로그램은이해하기쉬운명령어로구성되어, 프로그램작성이용이합니다. 플래시메모리를사용하여, 메모리백업용전지교환이필요없습니다. 이동중의추력감시, 추력제한이가능합니다. 티칭박스를보조기억장치로이용가능합니다. 다양한원점복귀방식을통한, 센서를외부에취부하지않아도원점복귀가가능합니다. RS22C 인터페이스를통한 PC와접속이가능합니다. CE 마킹 ( 저전압지령, EMC지령 ) 에적합을확인하고있습니다. ( ) 안의수치는 N C D G 의치수를표시합니다. (1) U MOTOR 8(9) 6 (1) 6 E. N PE UP DOWN SET CN1 T.BOX COM. TB 1 ID RS-48 PS/ MTOUT ENC/ MTIN NCD171G-26 POWER ORG CN2 CN CN4 CN (94) 2 2 (7) 리니어모터구동테이블용드라이버에는, 모션네트워크 EtherCAT, SSCNETⅢ/H, MECHATROINK 에대응한드라이버를라인업하고있습니다. 모션네트워크는, 펄스열지령에서의펄스주파수제약, 아날로그지령 ( 전압지령 ) 에서의노이즈영향, 케이블길이에의한전압강하, 온도드리 프트의영향을받지않고, 장치의高성능화ㆍ高정밀도화를실현합니다. 또한, 배선절감이가능하며, 복수의테이블동기시스템을용이하게구축할수있습니다. 컨트롤러 전용드라이버 전용드라이버 전용드라이버 나노리니어 NT V 얼라이먼트스테이지 SA DE 리니어모터테이블 T 표 7 컨트롤유닛사양 호칭번호항목 NCD171G-262 NCD171G-682 제어축수 1축 적용리니어모터 TCE, TCE, T1D, T17D T17H 피드백 인크리멘탈리니어엔코더 제어사양 분해능.1μm,.μm, 1.μm 외부 +방향 /-방향펄스, 위치지령펄스 / 방향지령, A/B상에서선택최대 MHz 지령위치제어프로그램 ± 펄스 ( 지령최대치 ) 입력속도제어아날로그 ±V/ 정격속도 ( 파라메터를통해가변 ) 분해능 V/72 분할 입력방법 MDI, 티칭, RS22C를통한 PC 입력 지령입력방식 앱솔루트지령또는인크리멘탈지령 프로그램 프로그램용량 11K 바이트 (1 스텝이상 ) 사양 위치결정포인트수 12 포인트 기능 점프, 콜, 반복, 속도설정, 가감속설정, 타이머제어, I/O 제어, 입력조건분기, 각종편집기능 ( 작성, 삭제, 삽입등 ) 입력점수 S 입력 :점, I/O 입력 :2점 입력 조작입력 스타트, 스톱, 비상정지, +/- 방향이동수동운전, 원점복귀, 알람리셋, 편차카운터리셋, 서보제어, 인터럽트등 (I/O 입력에서파라메터로할당 ) 입력방식 포토커플러양방향입력 ( 무전압접점, 오픈콜렉터, 오픈에이터대응 ) 입출력사양 출력점수 I/O 출력 :12점 출력 조작출력 자동운전중, 리미트동작, 비상정지, 원점복귀완료, 준비완료, 알람, 위치결정완료, 원점전센서 (I/O 출력에서파라메터로할당 ) 출력방식 오픈에미터출력 ( 최대개폐전압 :V 최대부하전류 :ma) 입출력용전원 DC24V±% ma 보호기능 과전류, 과전압, 과부하, 전압저하, 엔코더이상, 편차이상, 회생저항과열, CPU 이상등 기타주요기능 RS22C( 읽어오기, 쓰기, 다이렉트실행등 ), 소프트리미트, 추력제한, 추력감시, 이동중속도변경, S 논리변경, 각종체크기능 주전원전압 단상 AC2~2V±%( 1 ) /6Hz 연속정격전류.6Arms 2.4Arms 일반사양 순간최대전류 4.7Arms 1.Arms 주위온도 ~4, 보관시 :-~6 주위습도 ~8%RH ( 결로가없을것 ) 정전대책 플래시메모리 ( 전지교환필요없음 ) 질량 본체 : 1.7 본체 : 1.9 티칭박스 :. 티칭박스 :. 주 ( 1 ) NCD171G-262의 ACV 사양이필요하신경우는, 로문의하여주십시오. CE 마킹에관해서 컨트롤러유닛의 CE 마킹은, 다음의평가규격에서의적합확인에따릅니다. 저전압지령 :EN178 EMC 지령 :EN11 Gr1 Class A, EN6-6-2 EMC 지령의경우는당사가선정한시스템구성에대해확인하고있습니다. 실제의기계ㆍ장치에조합구성한상태에서는, 배선이나설치조건등이다를수있기때문에, 기계ㆍ장치로의 EMC 지령적합에대해서는, T 를조합구성한최종의기계ㆍ장치에서의측정이필요하게됩니다. Ⅱ-1 형식 EtherCAT SSCNET Ⅲ/H MECHATROINK 특징 독일의 Beckhoff 가개발한리얼타임제어를가능하게한 Ethernet 베이스의오픈네트워크통신입니다. 고속통신과高정밀도단말장치간동기에의해, 장치의高성능화ㆍ高정밀도화를실현합니다또한, 시판중인 Ethernet 케이블을사용할수있어, 다양한배선형태의대응이가능합니다. 미쯔비시전기 가개발한서보시스템제어를위한모션네트워크통신입니다. 광화이버케이블을채택하여, 종래의 SSCNET 에비해, 노이즈대책이향상되었습니다. 컨트롤러와각종컴퍼넌트를접속하는오픈필드네트워크통신입니다. 야스카와전기가개발하여, MECHATROINK 협회로부터관리되고있습니다. Ⅱ-2

191 CTN481G Ⅱ- Ⅱ-4

192 프로그램컨트롤러 CTN481G(RoHS 인증규격품 ) 프로그램컨트롤러는, 高기능에한층조작성을중시한위치결정제어용컨트롤러이며, CTN481G 는기존제품 CTN48G 와의호환성을확보한상태에서새로운기능을추가한고급모델입니다. 기존제품 CTN48G 와외관치수, 설치치수, 커넥터사양이동일하므로 CTN48G 에서그대로교체할수있습니다. 드라이버와의연결코드는기존제품 CTN48G 용코드를그대로사용할수있습니다. 상세사항은로문의하여주십시오. 1 최대 스텝까지프로그램입력이가능한超高기능타입 2 최대 8MHz 의고속펄스출력으로고속ㆍ高분해능제어를모두실현 4 축직선보간ㆍ 2 축원호보간기능을표준장착 4 리니어엔코더를통한위치보정제어에대응 시판하는 USB 메모리를사용하여데이터저장, 이동이가능 6 I/O 시퀀스기능, 타이머, 카운터, 연산기능을내장하여, 시퀀서가필요하지않으며, 간 단하게시스템을구성가능 7 USB1.1 인터페이스를표준장착하여, PC 로부터전용커멘드를사용한데이터편집이 나컨트롤러조작, 다이렉트실행이가능 8 야스카와전기, 파나소닉, 미쯔비시전기 의앱솔루트엔코더에대응하므로, 장치 기동시의원점복귀동작이불필요 9 동기제어기능을통하여, 임의의 2 축동시실행ㆍ정지가가능 ( 겐트리기구의제어가 가능 ) 멀티테스크기능을사용하여, 최대 개의프로그램을동시에실행가능 11 미리위치결정보정데이터를입력해두고, 위치결정정밀도보정제어가가능 12 축전용입출력기능을통해, 드라이버와의배선ㆍ제어가용이 1RS48 연결을통해컨트롤러를최대 4 대까지연결 (16 축제어 ) 가능 14 RS422 인터페이스를표준장착하여, 시판하는 AN 케이블을사용한터치패널또는시퀀서와의데이터통신을통해배선절감연결이가능 티칭박스 CTN481G 표 2 일반사양 항목 형식 CTN481G 전원전압 DC24V ±% 최대소비전류 4.A 주위온도 ~, 보관시 :-~6 주위습도 2~8%RH ( 결로가없을것 ) 정전대책 플래시메모리 본체 :1.2 질량 ( 참고 ) 티칭박스 :. I/O 증설유닛 :.4 비고전용티칭박스 ( 별매품 ) 의형번은, TAEM-TB 입니다. CTN481G 외형도 CTN481G PWR RUN AM ID RS422 TB S1 I N K U SB D A T A + - FG φ4. 16 Program Controller DC24V 기능ㆍ성능 표 1 기능ㆍ성능 항목 지령펄스 출력사양 프로그램 사양 입출력사양 형식 CTN481G 제어축수 4 축 ( 동시실행가능 ) 최대지령치 ± 펄스 ( 부호포함 2비트길이 ) 최대출력주파수 8MHz 가감속시간 ~6.sec ( 직선ㆍ사이클로이드ㆍS자가감속 ) 출력방식 CW/CCW 펄스, 방향명령 / 정역펄스, 9 위상차펄스 입력방법 MDI, 티칭, USB를통한 PC 입력 지령입력방식 프로그램용량 입력 출력 기능 입력점수 앱솔루트지령또는인크리멘탈지령 스텝 점프, 콜, 반복, 사칙연산, 논리연산, 속도설정, 가감속설정, 타이머제어, I/O 제어, 입력조건분기, 각종편집기능 ( 작성, 지우기, 삭제, 삽입, 복사등 ) S 입력 16점전용입력 16점범용입력 2점 (8점확장가능 ) 스타트, 스톱, 비상정지, 정ㆍ역수동운전, 원점복귀, 현재위치리셋, 인터럽트, 위치결정완료, 드라이버알람입력등 ( 범용입력에서파라미터로선택및할당 ) 입력방식포토커플러입력 ( 무전압접점또는오픈콜렉터대응 ) 전용출력 28점출력점수범용출력 2점 (8점확장가능 ) 자동운전중, 리미트센서검출, 비상정지, 펄스출력중, 원점복귀완료, 조작출력서보온, 드라이버알람리셋, 비례제어, 편차카운터클리어등 ( 범용출력으로파라메터에서선택할당가능 ) 출력방식 입출력용전원 외부기기와의통신 오픈콜렉터출력 (DCV ma MAX) I/O용 DC24V 4 A 리미트용 DC24V ma USB1.1( 커넥터 : Mini-B 타입 ) RS422 ( 커넥터 : RJ-4 타입 ) 데이터저장 USB1.1( 커넥터 : A 타입 ) USB 시리얼통신 ( 데이터읽어오기, 쓰기, 다이렉트실행등 ), 시판중인 USB 메모리로프로그램의저장ㆍ이동, 리니어스케일에의한위치보정, 백레쉬보정, 기타주요기능소프트리미트, 리미트센서신호논리변경, 4축직선보간, 2축원호보간, 체크기능 (I/O 모니터, 리미트센서모니터, 정지조건모니터 ) 등 표 CTN481G 부속품일람 종류 형식 수량 비고 I/O 커넥터 -PE ( 플러그 ) 1-2Y-8 ( 커버 ) 1 쓰리엠재팬 전원컨넥터 XW4B-B1-H1 1 오므론 Schurter AG 링크컨넥터 CFS1/4C1J ( 종단저항 ) 1 KOA DRT-1 1 타카치전기공업 DIN 레일바인드 M 4 취부부품 4 ( 취부비스 ) 표 4 옵션품 종류 형식 비고 티칭박스 TAEM-TB I/O 증설유닛 TAEM6-KB 입력 4전, 출력 4점확장 ( 최대 2대증설 ) Ⅱ- Ⅱ-6

193 종합해설 Ⅲ-1 Ⅲ-2

194 정밀위치결정테이블의선정 1 정밀위치결정테이블의선정 위치결정테이블의선정은, 요구되는조건에대하여, 관련상세사항을중점으로고려합니다. 일반적인순서를아래와같이표시합니다. 1 사용조건의확인 사용하는스트로크 취부베이스 ( 높이, 폭, 길이 ) 취부방법 하중의크기와방향 운전패턴 사용환경 2 요구정밀도의확인 위치결정정밀도 반복위치결정정밀도 테이블운동의평행도 A, B 진직도 직각도 테이블형식의가선정 슬라이드테이블의이송기구 크기 스트로크 축수 재검4 모터의가선정 모터의종류와크기 8 최종확인 사용조건의재확인 가격ㆍ납기 추가가공 특주테이블 7 시스템의검토 컨트롤러의선정 센서유무 접속케이블 외부기기와의인터페이스 결정 6 운전패턴의검토 한계가속시간 실효토크 관성 위치결정시간 최고속도와분해능의검토 볼스크류의리드 모터최고회전수 엔코더사양 정밀위치결정테이블의특성 시리즈형식 스트로크 반복위치결정정밀도 위치결정정밀도 고속성 강성 이송기구 적용모터 센서장착 직동안내기기 용도 정밀위치결정테이블 TE 정밀위치결정테이블 TU 정밀위치결정테이블 정밀위치결정테이블 H 高정밀위치결정테이블 TX TE B TU TS M TSH M CTH M TX M CTX M ~ ~ ~ ~ ~ ~ ~ C 루브볼스크류 볼스크류 C 루브볼스크류 AC 서보ㆍ스탭핑 AC 서보 선택표준장착 토C루브내장 U자형트랙레일리니어웨이 U자형트랙레일리니어웨이 C루브리니어웨이 2개병렬 C루브리니어롤러웨이수퍼X 2개병렬 Ⅲ- Ⅲ-4 조립기, 가공기, 측정기 조립기, 가공기, 측정기 조립기, 가공기, 측정기 정밀가공기, 정밀측정기공작기계, 조립기 정밀가공기, 정밀측정기공작기계, 조립기 크린정밀위치결정테이블 TC TC EB ~ 8 C 루브내장 U 자형트랙레일리니어웨이 반도체관련장비, CD 관련장비 마이크로정밀위치결정테이블 TM 정밀위치결정테이블 TSᆞCT TM TS CT ~ 2 ~ 1 ~ 볼스크류 AC 서보ㆍ스탭핑 선택 리니어웨이 랙 & 피니언내장형크로스롤러웨이 크로스롤러웨이 2 개병렬 정밀측정기, 조립장비 정밀측정기, 프로버화상처리장치, 노광장비 정밀위치결정테이블 B TSB ~ 1 2 타이밍벨트 스텝핑 리니어웨이 2 개병렬 고속반송, 파렛트체인저 나노리니어 NT NT V, XZ, XZH NT H ~ 2 ~ 12 6 C 루브리니어웨이리니어웨이 랙 & 피니언내장형크로스롤러웨이 2 개병렬 반도체관련장비, 의료기기 반도체관련장비, 정밀측정기 얼라이먼트스테이지 SA 리니어모터테이블 T SA DE/X T CE T D ~ 2 ~ 24 ~ AC 리니어서보모터 표준장착 C 루브리니어웨이 2 개병렬 반도체관련장비, 의료기기 반도체관련장비, 고속반송장비 T H 4 ~ 2 67 얼라이먼트모듈 AM AM ~ 12 볼스크류 AC 서보ㆍ스탭핑 U 자형트랙레일리니어웨이 반도체관련장비, CD 관련장비

195 정밀위치결정테이블의선정 2 정밀위치결정테이블의크기 정밀위치결정테이블의스트로크 정밀위치결정테이블의형식과크기TEB TE6B TE86B TU2 TU TU4 TU TU6 TU86 TU TU1 TS9M TS12M TS17M TS17SM TS22M TSH12M TSH22M TSH2M TSH42M TX12M TX22M TX2M TX42M TCEB TC6EB TC86EB TM1 TSㆍCT TSB NT V NT H NT8XZ NT9XZH SA DE T AT AM 2 4 정밀위정테이블의형식과크치결기TEB TE6B TE86B TU2 TU TU4 TU TU6 TU86 TU TU1 TS9M TS12M TS17M TS17SM TS22M TSH12M TSH22M TSH2M TSH42M TX12M TX22M TX2M TX42M TCEB TC6EB TC86EB TM1 TSㆍCT TSB NT V NT H NT8XZ NT9XZH SA DE T AM 스트로크 테이블폭치수 그래프보는법 그래프보는법 그래프값은참고치이며, 상세사항에대해서는형식별설명을참조해주십시오. 그래프값은참고치이며, 상세사항에대해서는형식별설명을참조해주십시오. 막대그래프의길이는, 표준화되어있는스트로크의범위를표시합니다. Ⅲ- Ⅲ-6

196 정밀위정밀위정테이블의형식과크기정테이블의형식과크정밀위치결정테이블의선정 정밀위치결정테이블의반복위치결정정밀도 정밀위치결정테이블의위치결정정밀도 치결TEB TE6B TE86B TU2 TU TU4 TU TU6 TU86 TU TU1 TS9M TS12M TS17M TS17SM TS22M TSH12M TSH22M TSH2M TSH42M CTH12M CTH22M CTH2M TX12M TX22M TX2M TX42M CTX12M CTX22M TCEB TC6EB TC86EB TM1 TS ㆍ CT TSB NT V NT H NT8XZ NT9XZH SA DE T AM ±1 ±2 ± ±4 ± ±6 기반복 ±2 ±4 ±6 ±8 ± 위치결정정밀도 μm 치결TEB TE6B TE86B TU2 TU TU4 TU TU6 TU86 TU TU1 TS9M TS12M TS17M TS17SM TS22M TSH12M TSH22M TSH2M TSH42M CTH12M CTH22M CTH2M TX12M TX22M TX2M TX42M CTX12M CTX22M TCEB TC6EB TC86EB TM1 TSㆍCT TSB NT V NT H NT8XZ NT9XZH SA DE T AM 위치결정정밀도 μm 그래프보는법 그래프값은참고치이며, 상세사항에대해서는형식별설명을참조해주십시오. 볼스크류구동의형식은, 연삭볼스크류를선택한경우의값을표시합니다. 2 개이상의값이표시되는형식은, 스트로크등에따라값이달라짐을의미합니다. TU 는, 스탠다드테이블의값을표시합니다. CTH M, CTX M, CT 는, 2 축사양의테이블입니다. SA DE 는, X 축의값을표시합니다. 그래프보는법 그래프값은참고치이며, 상세사항에대해서는형식별설명을참조해주십시오. 볼스크류구동의형식은, 연삭볼스크류를선택한경우의값을표시합니다. 2 개이상의값이표시되는형식은, 스트로크등에따라값이달라짐을의미합니다. TU 는, 스탠다드테이블의값을표시합니다. CTH M, CTX M, CT 는, 2 축사양의테이블입니다. Ⅲ-7 Ⅲ-8

197 정밀위치결정테이블의선정 4 정밀위치결정테이블의최고속도 정밀위치결정테이블의탑재질량 정밀위치결정테이블의형식과크기TEB TE6B TE86B TU2 TU TU4 TU TU6 TU86 TU TU1 TS9M TS12M TS17M TS17SM TS22M TSH12M TSH22M TSH2M TSH42M TX12M TX22M TX2M TX42M TCEB TC6EB TC86EB TM1 TSᆞCT TSB9 TSB12 TSB17 NT8V NTV NT8V NT88H NT8XZ NT9XZH SA6DE SA12DE TCEG TCEG T1DG T17DG T17DV T17H AM2 AM4 AM6 AM86 치결기TEB TE6B TE86B TU2 TU TU4 TU TU6 TU86 TU TU1 TS9M TS12M TS17M TS17SM TS22M TSH12M TSH22M TSH2M TSH42M TX12M TX22M TX2M TX42M TCEB TC6EB TC86EB TM1 TSᆞCT TSB NT V NT H NT8XZ NT9XZH SA6DE SA12DE SA2DE TCEG TCEG T1DG T17DG T17DV T17H AT12 AT2 AT AM2 AM4 AM6 AM 최대탑재질량 정밀위정테이블의형식과크최고속도 /s 그래프보는법 그래프보는법 그래프값은참고치이며, 상세사항에대해서는형식별설명을참조해주십시오. 볼스크류구동의형식은, 선택가능한최장의볼스크류리드의값을표시합니다. 상단은 AC 서보모터, 하단은스탭핑모터사양의값을표시합니다. 볼스크류구동의형식은, 스트로크에따라볼스크류의허용회전수에제한되는경우가있습니다. 그래프값은참고치이며, 상세사항에대해서는형식별설명을참조해주십시오. T, NT V, NT H, NT XZ, NT XZH, SA DE 의값은, 최대가반질량을표시합니다. Ⅲ-9 Ⅲ-

198 정밀도 정밀위치결정테이블의정밀도규격은형식에따라다르며, 그측정방법을아래에표시합니다. 또한, 원하시는동작특성시험등의사용조건에맞게모델시험도시행하고있으니, 로문의하여주십시오. 정밀위치결정테이블에는, 각형식의정밀도규격에관한검사성적표또는검사합격증이첨부되어있습니다. 반복위치결정정밀도 임의의 1 점에같은방향으로위치결정을 7 회반복하여정지위치를측정한최대차의 1/2 를선정합니다. 이측정을원칙으로하여, 스트로크의중앙및거의양단의각각의위치에서실시하여, 얻어진값중에서최대치를측정치로합니다. 최대차의 1/2 에 ± 를붙여서표시합니다. l1 l2 l7 측정치 l1, l2, l7 의최대차의 1/2 위치결정정밀도 기준위치에서일정방향으로순차위치결정을실시하여, 각각의 측정간격 위치에서실제로이동한거리와이동해야만하는거리와의차를측정하여, 그것들의스트로크내에최대차를절대치로표시합니다. Δ 기준위치테이블운동의평행도 B 슬라이드테이블의운동과평면 ( 테이블취부면 ) 과의평행도 ( 인디케이터고정측정 ) 를말합니다. 슬라이드테이블중앙에인디케이터를고정하고, 정밀위치결정테 이블을취부한정반위에테스트인디케이터를접촉하여, X 방향및 Y 방향의스트로크의대부분전역에걸쳐서측정하여, 이때의최대차를측정치로합니다. 진직도 직선이어야만하는슬라이드테이블의운동이이상적인직선이아닌상태를말합니다. ㆍ수평진직도 : 슬라이드테이블의이동축좌우 ( 수평 ) 방향의동작. ㆍ수직진직도 : 슬라이드테이블의이동축상하 ( 수직 ) 방향의동작. 테스트바와인디케이터또는레이져진직도측정시스템으로측정 Δ 진직도 합니다. 측정치를서로평행한두개의직선으로하여, 그간격이최소로되도록끼웠을때의두직선의간격으로표시합니다. XY 운동의직각도 X 축과 Y 축의운동직각도를말합니다. 슬라이드테이블위에직각자를어느쪽이든이동축방향을기준으 로정해놓고, 기준의이동축과직각에, 테스트인디케이터를접촉하여, 그축의스트로크내의값을읽어, 최대차를측정치로합니다. Y X 이동거리 Δ=( 실제로이동한거리 ) ( 이동거리의지령치 ) 테이블운동의평행도 A 슬라이드테이블의운동과평면 ( 정밀위치결정테이블취부면 ) 과의평행도 ( 인디케이터고정측정 ) 를말합니다. 백레쉬 슬라이드테이블을움직여서, 약간움직였을때의테스트인디케이 터의값을기준으로하여, 다시한번그상태로부터이송장치를통 슬라이드테이블길이보다스트로크가짧은경우 정밀위치결정테이블을취부한정반위에테스트인디케이터를고 정하고, 슬라이드테이블위에는스트레이트엣지를놓고, 그중안 에테스트인디케이터를접촉합니다. X 방향및 Y 방향의스트로크의대부분전역에걸쳐서측정하여, 이때의최대차를측정치로합니다. X Y 하지않고, 슬라이드테이블을같은방향으로소정의힘으로움직였다가, 그힘을없앴을때에기준치와의차를구합니다. 이측정을스트로크의중앙및거의양단의각각의위치에서실시하여, 얻어진값중에서최대치를측정치로합니다. 로스트모션 l 1 슬라이드테이블길이보다스트로크가긴경우 정밀위치결정테이블을취부한정반위에테스트인디케이터를고 정하고, 슬라이드테이블위에는스트레이트엣지를놓고, 그중앙 에테스트인디케이터를접촉합니다. X 방향및 Y 방향의스트로크 중에서, 테이블길이만큼씩테이블을이동시키면서, 스트로크의대부분전역에걸쳐서측정하여, 이때의최대차를측정치로합니다. 먼저한곳의위치에대하여, 정방향으로위치결정을실행하고, 그 위치를측정합니다.( 그림의 l 1) 다음으로같은방향으로지령하여 이동시키고, 그위치로부터반대방향으로같은지령을하여이동시 키고, 그위치를측정합니다.( 그림의 l 1 ) 다시한번반대방향으 로지령하여이동시키고, 그위치로부터정방향으로동일의지령을 하여이동시켜서, 그위치를측정합니다.( 그림의 l 2) 이하의이동 작및측정을반복하여, 정방향및역방향에서각각 7 회의위치결정을한후, 정지위치의평균치의차를구합니다. 이측정을동작의중앙및거의양단각각의위치에서실시하여, 얻어진값중에서최대치를측정치로합니다. l 2 l l 1 l 2 l 로스트모션의측정치 = 1 7 (l 1+l 2 + l 7 ) 1 7 (l 1 +l 2 + +l 7 ) max Ⅲ-11 Ⅲ-12

199 정밀도 탑재질량ㆍ가반질량ㆍ내하중 테이블승강시의평행도측정 최대탑재질량 테이블의최하단 (H min ) 의위치에서, 테이블의취부면을기준으로, 테이블상면의측정포인트 E 점에서인디케이터를 점으로맞추고, 그값을기준으로남은 8 포인트 (A~I) 의높이를측정합니다 테이블을상승시켜, 중간단 (H mid ), 상단 (H max ) 에서도, 동일한측정을 수행하며, 하단, 중간단, 상단에대한동일포인트의측정치의최대차를각각구합니다. 모두 9 포인트에대해최대차의최대치를테이블승강시의평행도로합니다. 테이블승강시의평행도계산예제 상단 A B C 최대탑재질량이란, 아래의 12 을만족하는질량으로, TE B, TU, TS M, TSH M, TX M, TC EB, TM, TS ㆍ CT, TSB, AT, AM, TZ, TZ X 에설정되어있습니다. 탑재하는질량의위치 ( 길이치수, 높이치수 H) 의의해값이달라집니다만,(, H)=(, ) 으로계산하고있습니다. 1 각형식ㆍ크기의최고속도, 가감속시간.2s 로연속운전했을때에사용하고있는직동안내기기, 볼스크류또는베어링의정격수명이 18 시간이되는질량. 2 원칙으로가속도.G 가얻어지는질량. 사용하고있는직동안내기기의기본정정격하중을기본으로산출한질량. 또한, 산출된수치는, 크기ㆍ볼스크류사양ㆍ슬라이드테이블길이ㆍ스트로크등의다양한조건에따라달라집니다. 각형식의각종특성에기재한수치는각각의크기마다대표로가장가혹한조건에서의수치를표시합니다. 상세수치가필요한경우는, 로문의하여주십시오. 측정치 (μm) 중간단 D E F 측정포인트 하단중간단상단최대차 A B C 4 2 D E F G -2 H I 하단 G H I 측정포인트 최대가반질량 최대가반질량이란, 필요한가속도가얻어지는최대질량을말하며, 직선운동의경우는가속도.G, 회전운동의경우는원주의가속도.G 가얻어지는철의입방체최대질량이됩니다. 사용하는모터의추력 ( 토크 ) 특성에따라제한되며, 탑재질량이커지는것에따라, 한계가속시간 은길어집니다. 리니어모터구동의형식 (T, NT V, NT H, NT XZ, NT XZH) 및다이렉트드라이브의형식 (SA DE) 에적용하여, 기준의이동형식에있어서의가속도와가반질량의관계를표시한동적가반질량이설정되어있습니다. 측정치가표와같은경우, 각포인트의최대차의최대치는, H 점의 6μm 이됩니다. 결과로써, 이테이블의승강시의평행도는 6μm 이됩니다. 측정방법 탑재질량 W 테이블승강시의직각도측정 테이블승강시의직각자에대한직각성을테이블승강시의직각도로합니다. 테이블하단 (H min ) 에대해서, 직각자에대해, 인디케이터를 으로맞 축방향의측정 (X 방향 ) H 춥니다. 그상태로테이블하단 (H min ) 에서상단 (H max ) 까지스트로크 (, ) 를움직였을때의피크테스트의진동최대편차를테이블승강시의 직각도로합니다.( 테이블스트로크시의진직도요소를포함합니다.) 직각자는테이블의단면으로부터 위치에설치하여, 볼스크류의축방향과축으로직각인 2 방향에대하여측정을실시하고, 2 개값의최대치를테이블승강시의직각도로합니다. 축에직각방향의측정 (Y 방향 ) 그림 1 탑재질량의위치 Ⅲ-1 Ⅲ-14

200 최고속도와분해능 최고속도 정밀위치결정테이블의최고속도는, 다음의식에의해정의되어있습니다. 볼스크류구동의형식은, 스트로크에따라볼스크류의허용회전수에제한됩니다. 타이밍벨트구동의경우는, 모터의최고회전수를 9(min -1 ) 으로하고있습니다. 상세사항은각형식의각종특성항목을참조하여주십시오. 리니어모터구동의형식은, 최고속도가정해져있기때문에, 각형식의각종특성항목을참조하여주십시오. 운전패턴의검토 위치결정시간의산출 정밀위치결정테이블이실제로이동할때의위치결정시간은, 다음의식에의해계산가능합니다. 高정밀도위치결정이요구되는용도에대해서는, 정속이동시간이나가감속시간외에, 지령펄스입력이완료하고나서테이블이완전히위치결정포인트에정지하기까지의정정 ( 整定 ) 시간이나기계장치의진동감쇄시간등을고려할필요가있습니다. 볼스크류구동 타이밍벨트구동 최고속도 (/s)= 볼스크류의리드 () 볼스크류의허용회전수 (min-1 ) 6 최고속도 (/s)= 풀리의피치외경 π() 모터의최고회전수 (min-1 ) 6 ( 풀리의피치외경 π=) 실제의위치결정시간을구하려면, 가감속시간이나스트로크등의조건에의한운전패턴을검토할필요가있습니다. 운전패턴의검토항목을참조하여주십시오. 장거리위치결정 여기서말하는장거리란, 가감속시간을고려해도충분히정속이동시간이있는거리입니다. 1 t a+t b t= + +td V1 2 여기서, t : 위치결정시간 s t a, t b : 가감속시간 s t c: 정속이동시간 s t d: 정정 ( 整定 ) 시간 s 1: 이동거리 V 1: 이동속도 ( 설정속도 ) /s V1 속도 ta 이동거리 1 tc t tb 테이블의동작이동지령시간 td 분해능 분해능이란, 정밀위치결정테이블의최소이송량을말하며, 다음의식에의해구할수있습니다. 리니어모터구동의형식은, 분해능이정해져있기때문에, 각형식의각종특성항목을참조하여주십시오. 볼스크류구동 타이밍벨트구동 볼스크류의리드 () 분해능 (/pulse)= 모터 1회전분할수 (pulse) 분해능 (/pulse)= ( 풀리의피치외경 π=) 풀리의피치외경 π() 모터 1 회전분할수 (pulse) 단거리위치결정 여기서말하는단거리란, 정속이동에이르기까지감속해버리는정속이동시간이없는거리입니다. 2 t a+t b t= + +td V2 2 여기서, t : 위치결정시간 s t a, t b : 가감속시간 s t d: 정정 ( 整定 ) 시간 s 2: 이동거리 V 1: 설정속도 /s V 2: 이동속도 /s V1 V2 속도 ta 이동거리 2 t tb 테이블의동작 이동지령 td 시간 Ⅲ-1 Ⅲ-16

201 운전패턴의검토 한계가속시간의산출 정밀위치결정테이블이구동할때에필요한토크 ( 추력 ) 은, 가속시에가장크게됩니다. 이가속에필요한토크 ( 추력 ) 은, 모터의출력토크 ( 리니어모터의추력 ) 에따라제한됩니다. 따라서, 테이블을수평사용하는경우의한계가속시간은, 다음의식에의해산출됩니다. 볼스크류구동ㆍ타이밍벨트구동의경우 부하토크 T l T =T +μwgㆍ [Nㆍm] 볼스크류구동 2πη l T =T +(Wg 경사감속비 ) ㆍ [Nㆍm] TZ에적용 2πη r T =T +μwgㆍ [Nㆍm] 타이밍벨트구동 η 가속토크 T a 2πN T a=(j T+J M+J C+J ) ㆍ [Nㆍm] 6ta l J =Wㆍ ( ) 2 [ㆍm 2 ] 볼스크류구동 2π l J =Wㆍ ( ) 2 경사감속비[ 2 ㆍm 2 ] TZ에적용 2π J =Wㆍr 2 [ㆍm 2 ] 타이밍벨트구동 가속에필요한토크 T P T P=T +T a[n ㆍ m] (T P k<t M) 한계가속시간 t a 2πN k t a=(j T+J M+J C+J ) ㆍㆍ [s] 6 TM-T [AT 의경우 ] 부하토크 T l T =T +μwg ㆍ 2πη 탑재질량의관성 J lㆍ R J =Wㆍ ( ) 2 2π 로테이터까지의거리 형식 l[m] [m] AT12A.1. AT2A.1.1 ATA T : 기동토크 N ㆍ m μ : 구름베어링의마찰계수 (.1) W : 탑재질량 l : 볼스크류의리드 m r : 풀리피치반지름 (.19m) η : 효율.9 J T : 테이블관성 ㆍm 2 J M : 모터관성 ㆍm 2 J C : 커플링관성 J : 탑재질량의관성 ㆍm 2 N : 모터회전수 min -1 t a : 가속시간 s g : 중력가속도 (9.8m/s 2 ) T M : 모터의출력토크 Nㆍm ㆍ스태핑모터의경우는, 회전수N에대한토크입니다. ㆍ AC 서보모터의경우는, 회전수 N 에대한 ( 순시 ) 최대토크입니다. k : 안전계수 (AC 서보모터 :1.) ( 스텝핑모터 :1.~2) 경사감속비 1:2 일때. 1:4 일때.2 R : 테이블중심에서탑재물중심까지의거리 m : 테이블중심에서로테이터까지의거리 m 리니어모터구동의경우 가속에따른힘 F a V F a=(w +W T) ㆍ [N] ta 가속에필요한추력 F P=F a+f [N] F P 한계가속시간 t a (W +W T) ㆍVㆍk t a= [s] FM-F μ : 구름베어링의마찰계수 (.1) W T: 가동부질량 W : 탑재질량 F R : 주행저항 N (T17H:4N) F c : 케이블저항 ( 1 ) N (T 시리즈 : 약1.N) (NT 시리즈 : 없음 ) F M : 리니어모터추력 N ( 이동속도V에대한최대추력 ) t a : 가속시간 s V : 이동속도 m/s g : 중력가속도 9.8m/s 2 k : 안전계수 (1.) 주 ( 1 ) 케이블저항은, 케이블질량이나가동방법에따라변동합니다. 가상의저항치를이용하여계산해주십시오. [T CE, T D 의경우 ] 구름베어링의마찰저항 F f F f=μ(w +W T) g[n] 단, F f 의최소치는다음의값으로합니다. TCE 일때 2.N TCE 일때.N T1D 일때 6.N T17D 일때 6.N 주행저항에따른힘 F =F f+f c[n] [T H 의경우 ] 주행저항 F R T17H:4N 속도계수 f V [NT8V 의경우 ] [NTV, NT8V 의경우 ] [NT8XZ 의경우 ] [NT9XZH 의경우 ] F 이동속도 V[m/s] T17H. 이하 1. 초과 1. 이하 초과 1. 이하 2.2 주행저항에따른힘 F =f V ㆍF R+F c[n] F 주행저항에따른힘 F F =.2N 주행저항에따른힘 F F =1.N 주행저항에따른힘 F 수평축 :F =1.N 수직축 :F =.N( 2 ) 주행저항에따른힘 F 수평축 :F =2.N 수직축 :F =2.N( 2 ) [NT88H 의경우 ] 주행저항에따른힘 F F =.N 주 ( 2 ) 수직축은스프링에의한밸런스기구를가정하여, 스트로크범위의중앙부근에서합당한점으로부터 ± 이동시키는경우의저항값을표시합니다. 실제의계산에서는, 스프링의설치위치나스트로크양에따라다르기때문에, 실제장치에서확인하여주십시오. Ⅲ-17 Ⅲ-18

202 t 운전패턴의검토 다이렉트드라이브 (SA DE) 의경우 [SA DE/X(Y) 의경우 ] 구름베어링의마찰저항 F f F f 는다음의값으로합니다. SA6DE/X 일때.N SA12DE/X 일때.N 주행저항에따른힘 F =F f+f c[n] F 가속에따른힘 F a V F a=(w +W T) ㆍ [N] ta W T : 가동부질량 W : 탑재질량 F c : 케이블저항 ( 1 ) N F M : 리니어모터추력 N ( 이동속도V에대한최대추력 ) t a : 가속시간 s V : 이동속도 m/s k : 안전계수 (1.) 주 ( 1 ) 케이블저항은, 케이블질량이나가동방법에따라변동합니다. 가상의저항치를이용하여계산해주십시오. 실효토크ㆍ실효추력의계산 정밀위치결정테이블이구동할때는, 가감속시에큰토크 ( 추력 ) 를필요로하기때문에, AC 서보모터를사용하는경우및리니어모터구동의 경우, 운전패턴의가동율에따라서는, 실효토크 ( 실효추력 ) 가모터의정격토크 ( 정격추력 ) 보다커지는일이있습니다. 이상태로운전을계 속하면, 모터가과열, 소손될우려가있기때문에, 실효토크 ( 실효추력 ) 가모터의정격토크 ( 정격추력 ) 보다작은가를확인해주십시오. 테이블의운전패턴에따른실효토크 ( 실효추력 ) 는다음식에의해산출됩니다. 모터의정격토크 ( 정격추력 ) 가실효토크 ( 실효추력 ) 보다크면, 그운전패턴으로연속운전이가능합니다. AC 서보모터를사용하는경우 실효토크 T rms V 가속에필요한추력 F P F P=F a+f [N] TP T rms= 2 ta+(tp 2 T) 2 ta+t 2 tc[nㆍm] t 속도 시간 한계가속시간 t a (W +W T) ㆍVㆍk t a= [s] FM-F [SA DE/S 의경우 ] 구름베어링의마찰저항 M f M f 는다음의값으로합니다. SA6DE/S일때.Nㆍm SA12DE/S일때.1Nㆍm SA2DE/S일때.2Nㆍm 회전저항에따른토크 M M =M f+m c[n ㆍ m] 가속에따른토크 M a R M a=(j +J T) ㆍ [N ㆍ m] ta J : 적재물관성모멘트 ㆍ m 2 J T : 가동부관성모멘트 ㆍ m 2 M c : 케이블저항 ( 2 ) N ㆍ m M M : 얼라이먼트스테이지의토크 N ㆍ m t a : 가속시간 s R : 이동속도 rad/s k : 안전계수 (1.) 주 ( 2 ) θ 축가동부에케이블이없기때문에, 적재물이케이블을감섭하지않는경우에는케이블저항을 로하여주십시오. 적재물관성모멘트는이하에표시한계산식을참고하여계산해주십시오. 리니어모터구동의경우 실효추력 F rms F rms= FP 2 ta+(fp 2 F) 2 ta+f 2 tc [N] t 다이렉트드라이브 (SA DE) 의경우 실효추력 (SA DE/X(Y) 에적용 ) F rms 토크 ( 추력 ) TP (FP) T (F) V ta Ta (Fa) tc 1 사이클시간 t ta 시간 가속에필요한토크 M P M P=M a+m [Nㆍm] 한계가속시간 t a (J +J T) ㆍRㆍk t a= [s] MM-M F rms= FP 2 ta+(fp 2 F) 2 ta+f 2 tc [N] t 속도 ( 회전속도 ) 시간 관성모멘트의계산 p: 밀도 m: 질량원기둥사각기둥옵셋회전 r a b r 실효토크 (SA DE/S에적용 ) M rms MP M rms= 2 ta+(mp 2 M) 2 ta+m 2 tc [Nㆍm] t 추력 ( 토크 ) FP (MP) F (M) ta Fa (Ma) tc ta 시간 c 1 사이클시간 t 1 J= ㆍπㆍpㆍtㆍr = ㆍmㆍr J = ㆍpㆍaㆍbㆍcㆍ (a 2 +b 2 ) 12 1 = ㆍmㆍ (a 2 +b 2 ) 12 J =J +m ㆍ r 2 J : 회전중심에서의 관성모멘트 J : 무게중심을중심에회전할때의 관성모멘트 Ⅲ-19 Ⅲ-2

203 운전패턴의검토 운전패턴의검토예 리니어모터구동의경우 AC 서보모터를사용하는경우 사용조건 취부방법 수평사용 탑재질량 W 스트로크 이동속도 ( 설정속도 ) V /s 가감속시간 t a.2s 정속이동시간 t c.8s 1 싸이클시간 t 2.s 가속에필요한토크의계산 ㆍ부하토크 T l T =T S+μWgㆍ 2πη.1 = π.9.9n ㆍ m 리니어모터테이블의가동률에따라서는실효추력이정격추력을초과하여, 모터의과열이나소손에의한고장의원인이될가능성이있습니다. 운전전에는반드시실효추력이정격추력이하인지를확인하여주십시오. 이하에 T17HS를사용한경우의운전패턴의검토예를표시합니다. Ⅱ 288페이지의동적가반질량의그래프에서탑재질량과가속도를고려하여하기와같은운전패턴을가설정합니다. STEP1 가속에필요한추력의계산 1주행저항에따른힘 F F =f V F R+F c= =91N 2가속에의한힘 F a V F a=(w+wt) ㆍ ta 1. =(+4.) =17N. 속도 /s 스트로크 시간 s ㆍ가속토크 T a l J =Wㆍ ( ) 2 2π.1 = ( ) ㆍm 2 2 π 6 6 N=V =. =18min l.1-1 2πN T a=(j T+J M+J C+J ) ㆍ 6ta 2 π 18 =( ) N ㆍ m 속도 V 시간 가속에필요한추력 F P F P=F a+f =17+91=261N 여기서, F P k( 안전계수 ) 가 Ⅱ 288 페이지의추력특성커브이하인 지를확인하여주십시오. 이값을초과하는경우는, 운전패턴의최고속도나가감속시간의재검토를시행하여주십시오. 예제의패턴에서는아래와같이추력특성커브이하인지를알수있습니다. 1.m/s 시의최대추력 F M= 약 N F P k=261 1.=9.N<F M FP ㆍ가속에필요한토크 T P T P=T +T a=.9+.9=.18n ㆍ m Fa STEP2 실효추력의검토 토크 N. m 위치결정테이블의가선정 TU6S49/ATGS 를가선정. 기본사양 볼스크류의리드 l 스트로크 최고속도 /s 기동토크 T S.8Nㆍm 테이블관성 J T.9 - ㆍ m 2 커플링관성 J C.29 - ㆍ m 2 모터사양 사용 AC 서보모터 정격토크 TP T Ta SGMAV-1A.18Nㆍm 시간 s 모터관성 J M.8 - ㆍ m 2 2. 여기서, T P k( 안전계수 ) 가모터의출력토크 T M 보다작은것을확인합니다. 이값을초과하는경우는, 최고속도나가감속시간의재검토를시행하여주십시오. 검토중의운전패턴은, 아래와같이출력토크T M 보다작은값이됩니다. T M=.18.9Nㆍm T P k=.18 1.=.2Nㆍm<T M 실효토크의검토ㆍ실효토크 T rms T rms = TP 2 ta+(tp 2 T) 2 ta+t 2 tc t.2 = 2.2+(.2 2.9) Nㆍm 모터정격토크는, 실효토크 T rms 보다크기때문에, 검토중의운전패턴에서의연속사용이가능하다라고판단가능합니다. 추력 설정항목 F ta tc ta 테이블사양이동속도 V 에대한최대추력 t 형식 T17HS( 자냉 ) 가동부질량 W T 4. Ⅱ 2페이지참조 F M 약 N Ⅱ 288 페이지참조 주행저항 F R 한계가속시간의산출항목 속도계수 f V [T H의경우 ] 참조 탑재질량 W 이동거리 1.2m 이동속도 ( 설정속도 ) V 1.m/s t a.s 시간 t c.s t 2.s 케이블저항 F c 1.N 가정치입니다. 안전계수 k 1. 환경온도 시간 ㆍ실효추력 F rms 는아래와같이구해집니다. F rms= FP 2 ta+(fp 2 F) 2 ta+f 2 tc t 261 = 2.+( ) N 여기서, F rms 가정격추력이하인지를확인하여주십시오. 정격추력을 초과하는경우는, 운전패턴의최고속도나가감속시간의재검토를 시행하여주십시오. (T H 는환경온도에따라추력특성이변화하 기때문에, 정격추력특성도를참조하여주십시오.) 예제의패턴에서는환경온도 C 일때의정격추력은약 117N 이기 때문에, N<117N( 정격추력 ) 이되어연속운전이가능하다라고판단됩니다. Ⅲ-21 Ⅲ-22

204 운전패턴의검토 얼라이먼트스테이지 SA 의경우 STEP Y 축의가속에필요한추력ㆍ실효추력의검토 STEP 실효토크의검토 얼라이먼트스테이지 SA 의가동율에따라서는실효추력이정격추 력을초과하여 ( 혹은, 실효토크가정격토크를초과 ), 모터의과열이나 소손에의한고장의원인이될가능성이있습니다. 운전전에는반드 시실효추력이정격추력이하인지 ( 혹은, 실효토크가정격토크이하인지 ) 를확인하여주십시오. 이하에얼라이먼트스테이지 SA12DE/XYS 를사용한경우의운전패턴의검토예를표시합니다. 한계가속시간을고려하여아래와같은운전패턴을가설정합니다. 설정항목 X 축운테이블의형식 SA12DE/XYS 적재질량 W. Y 축운적재물관성모멘트 J ㆍ m 2 전패턴전패턴가감속시간 ta.s 등속이동시간 tc.s 가동부질량 WT.9 설정스트로크.1m 최고속도 V.1m/s 싸이클시간 t.4s 케이블저항 Fc 1.N 가감속시간 ta.s 등속이동시간 tc.s 가동부질량 WT.4 설정스트로크.1m 최고속도 V.1m/s 싸이클시간 t.4s STEP1 X 축의가속에필요한추력의계산 1 주행저항에따른힘 F F =F f+f c=.+1.=4.n 2 가속에의한힘 F a V F a=(w +W T ) ㆍ ta.1 =(.+.9) =21.8N. 가속에필요한추력 F P F P=F a+f = =2.8N 여기서, F P k( 안전계수 ) 가 Ⅱ 264 페이지의최대추력이하인지를 확인하여주십시오. 이값을초과하는경우는, 운전패턴의최고속도나가감속시간의재검토를시행하여주십시오. 예제의패턴에서는아래와같이최대추력이하인지를알수있습니다. SA12DE/X 의최대추력 F M=7N F P k=2.8 1.=.4N<F M V 속도 X 축과같은계산을수행합니다. 운전패턴이같은경우에는가동부질량이작은만큼, Y 축의경우가조건이가볍게되기때문에, 본예제에서는생략합니다. STEP4 θ 축의가속에필요한토크의검토 1 회전저항에따른토크 M M =M f+m c =.1+.=.1N ㆍ m 2 가속에따른토크 M a R M a=(j +J T) ㆍ ta π =(.1+.2).74Nㆍm. 가속에필요한토크 M P M P =M a+m =.74+.1=.84N ㆍ m 여기서, M P k( 안전계수 ) 가 Ⅱ 264 페이지의최대토크이하인지를 확인하여주십시오. 이값을초과하는경우는, 운전패턴의최고속도 나가감속시간의재검토를시행하여주십시오. 예제의패턴에서는아래와같이최대토크이하인지를알수있습니다. ㆍ실효토크 M rms 는아래와같이구해집니다. M rms = MP 2 ta+(mp 2 M) 2 ta+m 2 tc t.84 = 2.+( ) Nㆍm 여기서, M rms 가정격토크이하인지를확인하여주십시오. 정격토크 를초과하는경우는, 운전패턴의최고속도나가감속시간의재검토 가필요합니다. 예제의패턴에서는연속운전이가능하다라고판단됩니다. 주의적재물이회전중심에서옵셋해있는경우에는, XY 축의가감 속이 θ 축에토크부하로작용하기때문에, 주의가필요합니다. Fc 축운전패턴18 /s 최고속도가감속시간 R ta πrad/s.s 가동부관성모멘트 JT 2. ㆍm 2 설정동작각도 1.Nθ.1πrad 18 케이블저항 등속이동시간 tc.s 싸이클시간 t.4s 케이블저항 Mc.Nㆍm 안전계수 k 1. STEP2 실효추력의검토 ta tc ta t 시간 SA12DE/S 의최대토크 M M=2.N ㆍ m M P k= N ㆍ m<m M ㆍ실효추력 F rms 는아래와같이구해집니다. F rms = FP 2 ta+(fp 2 F) 2 ta+f 2 tc t 2.8 = 2.+( ) N 여기서, F rms 가정격추력이하인지를확인하여주십시오. 정격추력을 초과하는경우는, 운전패턴의최고속도나가감속시간의재검토를 시행하여주십시오. 예제의패턴에서는연속운전이가능하다라고판단됩니다. Ⅲ-2 Ⅲ-24

205 센서사양 정밀위치결정테이블에는, 오버런방지용 CW ㆍ CCW 리미트센서와기계원점검출용원점전ㆍ원점센서가있습니다. 테이블의형식에따라, 이러한센서가표준장착되고있는제품과호칭번호로취부여부를지정하는것이있습니다. 정밀위치결정테이블에사용되고있는센서의종류를표 1 에, 각센서의사양을표 2~ 표 4 에표시합니다. NT V, SA2DE/S, T, TM 의컨넥 터사양은표.1~.2 을참조하여주십시오. 그외의각테이블은, 개방배선사양이기때문에, 센서출력컨넥터및상대컨넥터는고객사에서준비해주십시오. 센서의타이밍차트에대해서는, 각형식의센서사양의항목을참조하여주십시오. 또한, 특별한기재가없는한, 센서위치는미세조정이가능하므로, 조정은고객사에서실행하여주십시오. 표2 포토센서사양센서항목메이커 1 PM-2 2 PM-K6 리미트, 원점전, 원점 파나소닉디바이스 SUNX PM-T6 4 PM-6 표 1 센서의종류 원점전 CCW 리미트 형상 () CW 리미트 CW CCW 원점 출력컨넥터형식 ( 1 ) - CN-14A-C1( 리드선길이 1m) 또는 CN-14A-C( 리드선길이 m) 전원전압 DC~24V ±% 소비전류 1mA이하 NPN 트랜지스터오픈컬렉터 ㆍ최대유입전류 :ma 출력 ㆍ인가전압 :VDC이하 ㆍ잔류전압 : 유입전류 ma로 2V이하 16mA로 1V이하 출력동작 입광시 ON/OFF 선택식 ( 2 ) 동작표시주황색 ED( 입광시점등 ) 테이블의형식 센서 개방배선사양에는, 신호명 (ORG, PORG, CW, CCW) 을인쇄한케이블튜브가삽입되어있습니다. CW 리미트 CCW 리미트원점전 (PORG) 원점 (ORG) TE B( 1 ) 근접센서 근접센서 근접센서 근접센서 TU( 1 ) 근접센서 근접센서 근접센서 근접센서 TS M 근접센서 근접센서 근접센서 포토센서4( 2 ) TSH MㆍCTH M 포토센서 포토센서 포토센서 포토센서4( 2 ) TX MㆍCTX M 포토센서 포토센서 포토센서 포토센서4( 2 ) TC EB( 1 ) 근접센서 근접센서 근접센서 근접센서 TM( 1 )( 4 ) 자기센서 ( ) 자기센서 ( ) 자기센서 ( ) 자기센서 ( ) TS/ㆍCT/ 마이크로스위치 ( 6 ) 마이크로스위치 ( 6 ) 근접센서 포토센서 TSㆍCT( 1 ) TS7/7 포토센서1 포토센서1 포토센서1 포토센서1 CT7/7 포토센서 포토센서 포토센서( ) 포토센서( ) 상기이외 포토센서 포토센서 포토센서 포토센서2( 2 ) TSB 근접센서 근접센서 근접센서 근접센서 T CE( 1 ) 근접센서 ( ) 근접센서 ( ) 근접센서 ( ) 엔코더 ( )( ) T D 근접센서 ( )( ) 근접센서 ( )( ) 근접센서 ( )( ) 엔코더 ( )( ) T H 근접센서 ( )( ) 근접센서 ( )( ) 근접센서 ( )( ) 엔코더 ( )( ) NT V( 1 ) 근접센서 근접센서 근접센서 엔코더 ( )( ) AT 근접센서 ( ) 근접센서 ( ) AM 근접센서 근접센서 근접센서 ( 2 ) SA DE SA2DE/S 근접센서 ( ) 근접센서 ( ) 근접센서 ( ) 엔코더 ( )( ) 상기이외자기센서 ( )( 6 ) 자기센서 ( )( 6 ) 자기센서 ( )( 6 ) 엔코더 ( )( )( 6 ) TZ 근접센서 ( ) 근접센서 ( ) 근접센서 ( ) 근접센서 ( 2 )( ) 주 ( 1 ) 센서취부는, 호칭번호에서지정합니다. 다른형식은표준장착되어있습니다. ( 2 ) AC 서보모터용어터치먼트또는리니어엔코더부착을선택한경우, 원점센서는부착하지않습니다. 고객사에서취부하는 AC 서보모터또는리니어엔코더의 C 상또는 Z 상신호를사용하여주십시오. AM 의경우는, AC 서보모터만선택됩니다. ( ) 적용하는전용컨트롤러유닛또는전용드라이버에서각신호가출력됩니다. ( 4 ) 테이블내부에센서가내장되어있어, 전용센서앰프에서각신호가출력됩니다. AC 서보모터를사용하는경우, 원점신호는엔코더의 C 상을사용하여주십시오. ( ) 센서 ( 엔코더 ) 위치는미세조정이불가합니다. ( 6 ) 기판에내장되어있습니다. 회로도 주회로 VCC ( 갈 ) OUT1 ( 흑 ) OUT2 ( 백 ) GND ( 청 ) 주 ( 1 ) 적용하는형식에대응하여선택됩니다. ( 2 ) CT7/7 에대해서는, CW 리미트및 CCW 리미트는 OUT1( 흑 ) 을사용하고, 원점전및원점은 OUT2( 백 ) 를사용해주십시오. 이외의형식은모두 OUT1( 흑 ) 을사용해주십시오. 비고 1. 센서케이블은고객사에서배선하여주십시오. 2. 리드선은테이블단에서적어도 2 이상나와있습니다. 실제길이는스트로크에따라달라집니다. Ⅲ-2 Ⅲ-26

206 센서사양 표 근접센서의사양 항목 대상형식 SA2DE / S TZ12, TZ2H, TZ2X 기타형식 TZ12X 메이커아즈빌 오므론 APM-DB1-S 원점전 APM-DA1F-S APM-DB1F-S E2S-W14 1M APM-DB1F-S 형식 ( 1 ) CW 리미트 APM-DB1-S E2S-W14 1M APM-DA1-S APM-DB1-S CCW 리미트 APM-DB1F-S E2S-W14 1M 원점엔코더 APM-DA1-S APM-DA1-S E2S-W1B 1M 형상 검출면중심 전원전압 DC12~24V ±% 소비전류 ma이하 1mA이하 NPN 오픈컬렉터 NPN 오픈컬렉터 출력 ㆍ최대유입전류 :ma( 저항부하 ) ㆍ최대유입전류 :ma ㆍ인가전압 :DC26.4V이하ㆍ인가전압 :DCV이하 ㆍ잔류전압 : 유입전류 ma로 1V이하 ㆍ잔류전압 : 유입전류 ma로 1V이하 원점전 근접시 ON 근접시 OFF 출력동작 리미트 근접시 ON 근접시 OFF 원점 엔코더 근접시 ON 원점전 등색 ED( 검출시 ON) 등색 ED( 검출시 OFF) 동작표시 리미트 등색 ED( 검출시 ON) 등색 ED( 검출시 OFF) 원점 등색 ED( 검출시 ON) 2 M2. 탭홀 검출면 표.1 컨넥터사양 (NTV/SC, NT8V/SC, SA2DE/S, T) 핀 No. 표.2 컨넥터사양 (TM 용 ) 핀 No. 신호명 신호명 1 원점전 ( 1 ) 2 원점전 +방향리미트 4 -방향리미트 전원입력 ( 원점전 ) ( 1 ) 6 GND( 원점전 ) ( 1 ) 7 전원입력 ( 원점전 ) 8 GND( 원점전 ) 9 전원입력 (+방향리미트 ) GND(+방향리미트 ) 11 전원입력 (-방향리미트 ) 12 GND(-방향리미트 ) 주 ( 1 ) T/T2 의 B 테이블용입니다. 1 원점 2 원점전 CW 리미트 4 CCW 리미트 전원입력 6 GND 사용콘넥터 ( 일본몰렉스합동회사제품 ) 센서측 하우징 42-6 터미널 41- 사용콘넥터 ( 일본몰렉스합동회사제품 ) 센서측 하우징 R1 터미널 18T 상대측 하우징 P1 터미널 184T 상대측 하우징 42-6 터미널 4-7 비고 AC 서보모터를사용하는경우, 원점신호는엔코더의 C 상을사용하여주십시오. VCC ( 갈 ) 회로도 주회로 OUT ( 흑 ) GND ( 청 ) 비고 1. 센서케이블은고객사에서배선하여주십시오.(NT V/SC 는제외 ) 2. 리드선은테이블단에서적어도 2 이상나와있습니다. 실제길이는스트로크에따라달라집니다. 주 ( 1 ) 각메이커표준품의형식입니다. 대상형식제품의전장에따라서는케이블길이가표준품과다른타입을사용하는경우가있습니다. 표 4 자기센서의사양 항목 센서 TM SA6DE, SA12DE 전원전압 DC12~24V ±% DC~24V ±% 소비전류 6mA 이하 ( 1 ) ma 이하 출력 ( 2 ) NPN 오픈콜렉터 NPN 오픈콜렉터 최대유입전류 : 12mA 최대유입전류 : ma 인가전압 : DC6V 이하 인가전압 : DC26.4V 이하 잔류전압 : 유입전류 12mA로 1.7V 이하 잔류전압 : 유입전류 ma로 1V 이하 : 유입전류 4mA로 1.1V 이하 원점전 근접시 OFF 근접시 ON 출력동작 리미트 근접시 OFF 근접시 ON 원점 근접시 ON 엔코더 동작표시 원점전 적색 ED( 검출시 ON) CW(+) 리미트 황색 ED( 검출시 ON) CCW(-) 리미트 적색 ED( 검출시 ON) 原点 적색 ED( 검출시 ON) VCC VCC 회로도 주회로 OUT 주회로 OUT GND GND 주 ( 1 ) 센서앰프를포함한시스템전체의소비전류입니다. ( 2 ) 1 회로당출력입니다. Ⅲ-27 Ⅲ-28

207 취부 취부면의가공정밀도 정밀위치결정테이블의정밀도나성능은, 상대취부면의정밀도에따라영향을받습니다. 따라서, 요구하는운동성능이나위치결정정밀도등의사용조건에알맞게, 취부면의가공정밀도를고려할필요가있습니다. 표 6 에일반적인사용조건일때의상대취부면의평면정밀도의참고치를표시합니다. 또한, 테이블이장착되는플레이트는큰반발력을받기때문에, 플레이트의강성에도충분히고려하여주십시오. 표 6 취부면의정밀도 형식 취부면의평면도 NT H TX 8 TM TSㆍCT NT V NT XZ NT XZH SA DE TSH M 1 TE B TU TS M TC EB T AM TSB 고정나사의체결토크 단위 μm 정밀위치결정테이블을고정하기위한일반적인체결토크를표7에표시합니다. 급가속이나급감속이빈번한경우나모멘트가부하가있는경우에는, 표의값에 1.배정도의토크로체결하는것을추천합니다. 또한, 진동이나충격이없고높은정밀도가필요한때에는, 표의값보다작은토크로체결하며, 체결볼트의풀림방지를위해접착제를병용하는것도추천합니다. 표 7 나사의체결토크단위 N ㆍ m 암나사부자재 나사의호칭 알루미늄합금 철 나사인서트 M2.4.1 M. 1.7( 1 ) M M 철수치의약6% 철수치의약8% M M M 주 ( 1 ) NT V의체결토크는 1.1Nᆞm를추천합니다.( 가대재질 : 철인경우 ) 사용상의주의 안전상의주의 ㆍ접지단자는, 반드시접지 ( 제 종접지 ) 를해주십시오. 감전, 화재의원인이됩니다. ㆍ기기에표시된전원전압이외사용은삼가하여주십시오. 화재, 고장의원인이됩니다. ㆍ젖은손으로전장부품을만지지말아주십시오. 감전의원인이됩니다. ㆍ케이블은, 무리하게구부리거나, 꼬거나, 잡아당기거나, 가열하거나, 무거운물건으로압착하지말아주십시오. 감전, 화재의원인이됩니다. ㆍ테이블운전중에는, 개구부에손가락등을넣지말아주십시오. 부상등의안전사고의원인이됩니다. ㆍ테이블운전중에는, 가동부를만지지말아주십시오. 부상등의안전사고의원인이됩니다. ㆍ전장부의커버를제거할때는, 반드시전원을차단하여주십시오. 감전의원인이됩니다. ㆍ전원을차단한후, 분간은단자에접촉하지말아주십시오. 잔류전압에의한감전의원인이됩니다. ㆍ접속단자를탈착할때는, 반드시전원을차단하여주십시오. 감전, 화재의원인이됩니다. 사용상의주의 ㆍ정밀위치결정테이블은정밀기계이므로, 과대한하중이나충격을주면, 정밀도저하나부품파손등의원인이되기때문에, 취급시에충분히주의하여주십시오. ㆍ테이블취부면에는, 이물이나유해한돌기등이없는지를확인하여주십시오. ㆍ물, 기름, 분진등이없는청정한환경에서사용하여주십시오. ㆍ정밀위치결정테이블에구성조합된직동안내기기와볼스크류에는그리스가도포되어있어서, 내부에이물등의혼입이되지않도록방진처리를실시하여주십시오. 만약, 먼지가혼입되었을경우에는오염된그리스를충분히제거하고, 청정한그리스로재도포하여주십시오. ㆍ정밀위치결정테이블의윤활은, 사용조건에따라다릅니다만, 일반적으로 6개월마다, 장거리를항상왕복운동하는용도등에서는 개월마다낡은그리스를닦아내고, 청정한그리스를재도포하여주십시오. 또한, C루브를내장한정밀위치결정테이블은, 장기간의메인터넌스프리를실현한제품으로, 직동안내기기나볼스크류에윤활을위한급유기구나급유공수가경감되어, 유지코스트를대폭절감할수있습니다. ㆍ정밀위치결정테이블은, 高정밀도가공및조립조정을실시하고있기때문에, 함부로분해나개조등을하지말아주십시오. ㆍ리니어모터구동제품은, 내부에강력한자석을가지고있습니다. 자성체를접근하면흡인될우려가있기때문에주의하여주십시오. 또한, 자기의영향을받기쉬운장치의근처에서사용하실경우에는로문의하여주십시오. ㆍ리니어모터구동제품은, 구동시키기위한컨트롤러유닛또는드라이버의파라미터설정이필요합니다. 구동모터에맞는파라미터설정을확실히하여주십시오. ㆍ리니어모터테이블 T 시리즈는, 이동하는테이블에모터케이블등이접속되기때문에, 본체의설치스페이스이외로케이블을잘처리하기위한스페이스확보가필요합니다. 또한, 케이블처리는, 주행저항의증가나무리한힘이더해지는원인되므로, 여유있는곡율처리를하여주십시오. 제품의외관ㆍ사양등은개선을위해, 예고없이변경될수도있습니다. Ⅲ-29 Ⅲ-

208 메카트로닉스시리즈전용사이트소개 " 메카트로닉스시리즈전용사이트 " 는홈페이지에서이용하실수있습니다. 메카트로닉스제품을간단히선정할수있는툴을비롯하여다양한서비스를배포하고있으므로메카트로닉스제품선정시, 활용해주십시오. 1. 기술계산 메카트로닉스사이트의수명계산에서는사용조건을입력함으로써하중계산을하여정격수명을산출합니다. 또한모터토크계산에서는운전에필요한모터토크를산출하고리니어모터테이블의실효추력계산에서는운전시의실효추력을산출하여, 각계산결과를 PDF로출력하는것도가능합니다 간단선정툴 메카트로닉스사이트의간단선정툴은속도, 스트로크, 적재물의중량등검토중이신사용조건으로부터최적의메카트로닉스제품을선정하는툴입니다. 또한, 선정한형번으로부터사양을선정하여주문할호칭번호도간단하게선정할수있습니다. 선정된제품의스팩확인및 CAD 데이터다운로드, 수명계산을할수있으며, 선정결과를 PDF로출력할수도있습니다.. CAD 다운로드 2 차원 CAD 데이터 (DXF 파일 ) 차원 CAD 데이터 도면은정면도 측면도 평면도의 도면으로구성되어있습니다. 척도는실제치수 (1:1) 이며치수선은기재하지않았습니다. 기계부품 CAD 라이브러리인 'PART counity' 에링크되어있습니다. 옵션내용을자세하게입력하면사양에맞는 2D/D의 CAD 데이터를무료로볼수있습니다. 4. 카탈로그및사용설명서다운로드 메카트로닉스시리즈의각제품카탈로그또는사용설명서의 PDF 파일, 정밀위치결정테이블의지원소프트웨어 를다운로드할수있습니다. 카탈로그책자를희망하시는경우에는번거롭더라도홈페이지에서신청하거나가까운지사또는영업소로문의해주십시오. 메카트로닉스시리즈의사용설명서및지원소프트웨어는 ' 테크니컬서비스사이트 ' 에서다운로드할수있습니다. Ⅳ-17 Ⅳ-18

209 테크놀로지의발전을지원하는제품. 지구환경에공헌하는 일본톰슨은일본에서최초로니들베어링자사기술로개발하여, 높은기술력을바탕으로직동안내기기 ( 직동시리즈와메커트로닉스시리즈 ) 분야에진출했습니다. 세계시장에선두하여개발한 C루브 메인터넌스프리시리즈를비롯해, 창조력을살린풍부한제품군으로다양화되는요구에부응하여테크놀로지의발전을지원하고있습니다. 일본톰슨은친환경제품개발을계속하고있습니다. ' 제품을통해고객의기계 장치의신뢰성을높이고지구환경에공헌한다 ' 이러한당사의개발자세를이미지화하는키워드가 'Oil Minimum' 입니다. 오일미니멈추구의성과가독자적인윤활부품 'C루브' 입니다. ' 오일 미니멈 ' 의발상에서생겨난 C 루브 메인터넌스프리시리즈제품. 고객의급유관리공수를절감하기위해, 당사는다량의윤활유를함침한윤활부품 'C루브' 를개발하여베어링과직동안내기기에조합했습니다. 'C루브' 는윤활유의사용량을최소한으로억제하고장기간에걸쳐최적량의윤활유를공급하기때문에, 제품의장기메인터넌스프리를실현함과더불어지구환경에도크게공헌합니다. 니들베어링모든산업에서없어서는안될기계요소부품. 직동안내기기 / 직동시리즈극소형에서초대형까지폭넓게라인업. 직동안내기기는, 지구환경부하를절감하는관리시스템 ISO141 및품질향상을위한 ISO91을취득가능한높은품질수준으로생산하고있습니다. 본카탈로그에기재되어있는표준품은, 유럽연합 RoHS 지정 6대유해물질규제규정을만족합니다. 직동안내기기 / 메커트로닉스시리즈정밀가공기술과일렉트로닉스의융합. Ⅳ-19 Ⅳ-2