2019 PRODUCTS GUIDE High Temperature Low Current High Frequency

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재경 강전
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2 프로빙솔루션 Products Guide ( 주 ) 누비콤은아폴로웨이브 () 의공식대리점입니다 아폴로웨이브소개 아폴로웨이브사는 2000 년 2 월에설립되었으며, 일본오사카에위치하고있습니다 년에세미 - 오토메틱웨이퍼프로브개발및고주파프로브의구개발로일본정부로부터 중소창조적활용촉진법 인증을받았습니다 년에 6GHz 프로토타입프로브카드및 TDDB/EM 프로브카드를개발하였으며, 2003 년에는고주파수직프로브의개발로 지역일으킴대상 을수상하였습니다. 또한 반도체웨이퍼레벨일렉트로마이그레이션평가장치개발 로 중소창조적활용촉진법 인증을받았습니다. 연이어 300 mm 웨이퍼 TDDB/EM 프로브카드와 300 mm WLR 프로빙시스템및프로브카드발표로제 5 회오사카프론티어상, 창업장려부문특별상을수상하였습니다 년에새로운 α 시리즈를출시하였으며, EM350 대응신뢰성시험매뉴얼 PEM300 출시로 내일의일본을지탱하는건강한제품만들기중소기업 300 사 에선정되었습니다. 고 / 저온및미소전류용, 고출력등계속새로운제품을매년발표하는능력을인정받아 2012 년 4 월에는애질런트테크놀로지 ( 현, 키사이트 ) 와솔루션파트너계약을체결하고동사의모든제품에사용할수있는을공급하고있습니다. 가장최근에는세미 - 오토메틱 AP 시리즈출시했습니다. 더자세한정보는 에서볼수있습니다. Contents 컴팩트진공저전류고주파수 (α100) 저전류고주파수하이파워 (α150/200/300) 고온및저온, 미소전류 (α300cs/200cs) RF (α100rf/200rf) WLR (PEM300) 세미 - 오토메틱 (AP-200PW) LED (α2000lx) 고출력 (α200pw) 옵션 ( 매니퓰레이터및포지셔너 )

은주로반도체소자의특성을측정하는장비로, 반도체디바이스와계측장비가쉽게프로빙 (Probing) 될수있도록도와주는장비입니다.

상에서눈에보이지않는디바이스 (Device) 의측정포인트 (Point) 에프로빙 (Probing)

시스템에따라서 DC 부터고주파신호분석이가능하도록수동, 반자동, 자동의기능을제공하며동시에여러측정포인트를측정할수있습니다.

3 262 (Probe Station) 이란? 은반도체, PCB, 전자회로, 부품의조립공정등을진행하기전에제품의전자적특성을측정하기위해서주요측정장비와피측정체를연결하기위해사용됩니다. 은주로반도체소자의특성을측정하는장비로, 반도체디바이스와계측장비가쉽게프로빙 (Probing) 될수있도록도와주는장비입니다. (Probe Station) 은프로브카드 (Probe Card) 나프로브헤드 (Probe Head) 등을이용하여 PCB 나반도체웨이퍼 (Wafer) 상에서눈에보이지않는디바이스 (Device) 의측정포인트 (Point) 에프로빙 (Probing) 을쉽게할수있게해주는장비로반도체디바이스의불량분석에사용됩니다. 시스템에따라서 DC 부터고주파신호분석이가능하도록수동, 반자동, 자동의기능을제공하며동시에여러측정포인트를측정할수있습니다. (Probe Station) 과함께사용되는전자계측장비는커버트레이서 (Curve tracer), 소스미터 (Source meter), 네트워크분석기 (Network Analyzer), LCR 미터 (LCR meter), 시간영역반사계 (Time Domain Reflectometer), 스펙트럼분석기 (Spectrum Analyzer) 등으로측정용도에따라다양하게연결이됩니다. (Probe Station) 의종류 컴팩트 α100 칩 12 인치저온 / 고온및저전류고출력 RF LED WLR 진공

263 Desk Top Type 컴팩트 간단한 IV/CV 측정에최적의솔루션 50 mm사이즈칩까지측정가능!

저렴한가격 글로브박스 (Glove Box) 200 mm 340 mm ( 본체 : 300 mm) 630 mm ( 본체 : 400

3 축 (Triaxial) 프로브 : 3pcs 텅스텐바늘 : 25pcs/box 커넥터판넬 : TXA 4pcs 진공펌프

진공정도는 10-3 Pa 지원 신호분리방법은개별사양에대응 미세전류도측정가능 스테이지도 X Y 50 mm가동 스테이지크기는 100

X, Y 축을 50 mm 단위로이동가능 모든종류의커넥터 (Connector) 가능 미세전류측정가능 다핀대응프로브카드형

4 263 Desk Top Type 컴팩트 간단한 IV/CV 측정에최적의솔루션 50 mm사이즈칩까지측정가능!! 주요특장점 쏠라시뮬레이터장착가능 작은사이즈, 가벼운무게 편리한이동성 안정적이고정확한측정을위해차폐박스설치가능 간단한구조, 저렴한가격 글로브박스 (Glove Box) 200 mm 340 mm ( 본체 : 300 mm) 630 mm ( 본체 : 400 mm) Low leak 측정유닛구성예 본체 (50 mm stage) 마이크로포지셔너 (Micropositioner): 3 pcs 3 축 (Triaxial) 프로브 : 3pcs 텅스텐바늘 : 25pcs/box 커넥터판넬 : TXA 4pcs 진공펌프 (Vacuum pump) 장비도면예 Vacuum Probe Station 진공 4 매니퓰레이터 (manipulator) 타입 진공정도는 10-3 Pa 지원 신호분리방법은개별사양에대응 미세전류도측정가능 스테이지도 X Y 50 mm가동 스테이지크기는 100 mm까지가능 Organic 디바이스 / MEMS 디바이스재료연구개발용 프로브카드타입 10-3 pa 에상응하는진공도 스테이지의 X, Y 축을 50 mm 단위로이동가능 모든종류의커넥터 (Connector) 가능 미세전류측정가능 다핀대응프로브카드형 프로브카드타입으로여러개의핀 (pin) 가능 진공정도는 10-1Pa 에부응 비측정물은프로브카드의교체에따라부응 X,Y,Z 및 θ 스테이지에따라정렬 프로브카드타입

264 α100 시리즈 알파시리즈 저전류, 고주파수용 A100 은알파시리즈중가장콤팩트한매뉴얼입니다. IC, 다이오드, 트랜지스터, 웨이퍼등의전기적인특성을측정하고분석하는용도로사용됩니다. 사용자는합리적인가격으로유용성과높은퍼포먼스를느끼실수있습니다. Just Right, Just Fit!

안정적이고정확한측정을위해차폐박스설치가능 간단한구조, 저렴한가격 표준스펙 Stage travel: Sub-stage travel: 웨이퍼척 (Wafer chuck): 웨이퍼홀더 (Wafer hold): 칩사이즈 : θ- stage travel: 크기및무게 : X: 100mm Y: 100 mm (coarse motion) X: 14mm Y: 14 mm

5 264 α100 시리즈 알파시리즈 저전류, 고주파수용 A100 은알파시리즈중가장콤팩트한매뉴얼입니다. IC, 다이오드, 트랜지스터, 웨이퍼등의전기적인특성을측정하고분석하는용도로사용됩니다. 사용자는합리적인가격으로유용성과높은퍼포먼스를느끼실수있습니다. Just Right, Just Fit! Optimum for chip size up to 4 inch wafer 다양한현미경선택가능 다양한스테이지 (Stage) PCB 홀더 Hot Chuck / Thermo Chuck / Normal Chuck / Chuck for film / Resinous Chuck Others 주요특장점 쏠라시뮬레이터장착가능 작은사이즈, 가벼운무게 편리한이동성 안정적이고정확한측정을위해차폐박스설치가능 간단한구조, 저렴한가격 표준스펙 Stage travel: Sub-stage travel: 웨이퍼척 (Wafer chuck): 웨이퍼홀더 (Wafer hold): 칩사이즈 : θ- stage travel: 크기및무게 : X: 100mm Y: 100 mm (coarse motion) X: 14mm Y: 14 mm (micro motion) Diameter 110mm / thickness: 5 mm 진공 (Vacuuming) Max. 4 inch wafer 360 degree. / Fine: ±5 deg. W400 x H330 x D360mm, 25Kg α150/200/300 시리즈 알파시리즈 저전류! 고주파! 하이파워용 6, 8, 12 선택가능 알파시리즈의컨셉은소형, 낮은가격의놓은퍼포먼스, 유용성입니다. 알파시리즈는 150mm ~ 300mm 의초소형소자측정의필요성증가에따라 IC, Diode, TR, Wafer, Package 등의측정및분석의다양한요구를충족시키기위해가장유연성이좋은모델로디자인되었습니다. 주요특장점 미세전류, 하이파워, RF 측정가능 콤팩트한디자인 건공기주입으로낮은이슬점층의측정 저온측정을위해 Thermal chuck 장착가능 프로브카드를이용하여 WLR 측정가능 표준스펙 본체 : D:600 mm, W: 600 mm, H: 450 mm 무게 : 40 kg Stage Travel: X: 200 mm, Y: 200 mm Sub Stage Travel: X: 25 mm, Y: 25 mm 척크기 : 4~8 인치 웨이퍼홀딩방식 : 진공홀딩 ( 40 mhg 이상 ) Just Right, Just Fit! Versatile, affordable and user-friendly 정밀얼라인먼트 (alignment) 빠른포지셔닝 (positioning) 정밀마이크로미터를갖춘 X,Y,Z, 세타 (Theta) 스테이지. 프로브카드사용을위해얼라인머트 (alignment) 가능합니다. 사용자는스테이지손잡이를사용하여자유자재로 XY 스테이지를움직일수있습니다. XY 트래블 (travel) 범위는척 (Chuck) 사이즈와같습니다.

265 α300cs / α200cs 고온및저온, 미소전류 미세누설전류측정고온측정, 저온측정용 -55 C ~ 350 C 스테이션에장착된콤택트한차폐쉴드를이용하여 fa 단위의저전류측정이가능하고, 내부를질소또는건공기환경으로변경가능하므로유기발광다이오드 (OLED) 측정이가능합니다.

6 265 α300cs / α200cs 고온및저온, 미소전류 미세누설전류측정고온측정, 저온측정용 -55 C ~ 350 C 스테이션에장착된콤택트한차폐쉴드를이용하여 fa 단위의저전류측정이가능하고, 내부를질소또는건공기환경으로변경가능하므로유기발광다이오드 (OLED) 측정이가능합니다. 주요특장점 미세전류, 하이파워, RF 측정가능 콤팩트한디자인 건공기주입으로낮은이슬점층의측정 저온측정을위해 Thermal chuck 장착가능 프로브카드를이용하여 WLR 측정가능 다양한측정고성능 (APW original TXA probe, HV TXA 프로브및고전류프로브 ) 표준스펙 온도 : -55 ~ 350 C Sub-stage travel X: 14 mm Y: 14 mm (micro motion) 웨이퍼척 : 5 mm 칩사이즈 : 4~12 인치 크기및무게 : W500 H500 D365 mm, 50 Kg 빠른포지셔닝사용하는스테이지손잡이를사용하여자유자재로 XY 스테이지르움직일수있습니다. XY 트래블 (travel) 범위는척 (Chuck) 사이즈와같습니다. Pulse IV 측정시스템지원 써모척 (Thermo chuck) -55~300 9 세트매니퓰레이터 (Manipulator). 애질런트 Agilent ASU/RSU 또는키슬리프리앰프를프로브가까이에마운트할수있습니다. 완벽한얼라인먼트 (Alignment). X,Y,Z 및 θ 를위해마이크로미터를갖춘초정밀스테이지 (stage) 를사용합니다. 고저온및초저누설 (leakage) 프로브카드

266 α100rf / α200rf RF 최고의퍼포먼스!! 높은선형성 (<3um) 에의한정확한프루빙 RF & DC 측정가능 α100rf / α200rf 는가장다용도로사용할수있도록디자인된시리즈입니다.

(Cascade Microtech, SUSS MicroTec, GGB, 등 ) 플레이트위에 4 개의매니퓰레이터까지사용가능합니다.

pump) PEM300 WLR WLR 테스트특화장비 TDDB/ EM/ NBTI 등웨이퍼레벨로측정웨이퍼상태로 350 도고온에서까지측정!

질소화의위험성을줄이기위한조절기능장착. CCD카메라의부드러운이동성을위한레일기능. 350도의고온측정.

7 266 α100rf / α200rf RF 최고의퍼포먼스!! 높은선형성 (<3um) 에의한정확한프루빙 RF & DC 측정가능 α100rf / α200rf 는가장다용도로사용할수있도록디자인된시리즈입니다. 낮은가격으로파워풀한측정툴을제공합니다. 일반적으로사용되는 M60 Manipulator 는 MM Wave 측정과 RF 특성테스트시정밀한측정을제공합니다. 모든종류의 RF 프로브를장착하여사용가능합니다. (Cascade Microtech, SUSS MicroTec, GGB, 등 ) 플레이트위에 4 개의매니퓰레이터까지사용가능합니다. 구성예 α100 본체 4 인치용노멀척 (Normal chuck) 현미경암 (arm) 스테레오현미경 (with ring light) RF 매니퓰레이터 (manipulator) M60 (2 pcs) 진공펌프 (Vacuum pump) PEM300 WLR WLR 테스트특화장비 TDDB/ EM/ NBTI 등웨이퍼레벨로측정웨이퍼상태로 350 도고온에서까지측정! probe card lump를사용하여웨이퍼의양방향을모두프루빙할수있는 WRL test (TDDB, EM) 특화장비 (WLR card) 챔버내에질소제거기능 어떠한대미지로부터 Probe card를보호하기위한보호기능장착 질소화의위험성을줄이기위한조절기능장착. CCD카메라의부드러운이동성을위한레일기능. 350도의고온측정. WLR 테스트용프로브카드 컴팩트한챔버 (N2 소모방지 ) CCD 카메라마운트 CCD 트래블범위 : X Y 300mm 챔버에서쉽게웨이퍼로드 / 언로드척스테이지모든작동을안전하게얼라이언먼트가능 이프로브카드는신뢰성및수율 (Yield) 의평가방법에사용, TDDB 에 MOS 소자의산화막평가, EM 의와이어링 (wiring) 평가를위한것입니다. 베이스상에세라믹 PCB 를사용하여내구성뿐만아니라과온도변화에도염려없습니다. 바늘은마이크로스트립의세라믹블레이드로만들어져, 고온에서도높은정밀도를유지하면서안정적으로측정할수있습니다. 광범위한온도측정을위한베스트솔루션 * 키사이트 ( 애질런트 ) 및키슬리의모든제품과함께사용할수있습니다.

267 AP-200PW 세미 - 오토메틱 1. XY 축 : 공기완충장치 (Air suspension) 및저울 (Scale) 장착 Stage travel: 210 (x) x 300 (Y) mm Control resolution ability: 0.5 μm Scale resolution ability: 0.

25 mm/sec. 3. T 축 Stage travel: 3 degree Resolution ability: 0.001 degree Rolling speed: Max. 1 degree/sec.

8 267 AP-200PW 세미 - 오토메틱 1. XY 축 : 공기완충장치 (Air suspension) 및저울 (Scale) 장착 Stage travel: 210 (x) x 300 (Y) mm Control resolution ability: 0.5 μm Scale resolution ability: 0.1 μm ( 옵션 ) Repeatability: within ±0.5 μm Accuracy: within ±20 μm Moving speed: Max. 50 mm/sec. 2. Z 축 Stage travel: ±15 mm Resolution ability: 1 μm Repeatability: within ±3 μm Moving speed: Max. 25 mm/sec. 3. T 축 Stage travel: 3 degree Resolution ability: degree Rolling speed: Max. 1 degree/sec. Leak Data: Probe Leak Chuck Data: Probe Leak α2000lx LED ( 태양광전지시스템 ) 태양전지평가를위한태양광시뮬레이터와트랜지스터특성같은회로분석을위한광출력장치가결합된모델입니다 Solar Cell 측정과 Display 개발에특화된장비 가시광선, 적외선, 자외선타입의광원선택가능 위쪽과아래쪽의광원에대한스펙제공 다양한옵션, 저온 Chuck, 고온 Chuck 선택가능 태양광조사로전기적특성샘플들을측정 광원에따라가시광선및적외선의조사 ( 아웃사이드보라색 ) 가능 스테이지옆면에조도계 (illuminometer) 및강도계 (strength meter) 설치가능 보드위에써모척 (Thermo Chuck) 및핫척 (Hot Chuck) 설치가능

268 α200pw 고출력 High Voltage, High Power 측정에최적의솔루션!

빠른포지셔닝 3 스텝의 Z 축스위칭 포지션미세조정가능 다양한장비사용가능 ( 키사이트및키슬리제품 )

(Chuck) 크기 : 웨이퍼홀더 (Wafer hold): D: 600mm W: 600mm H:

인치 Vacuum absorbing (400mm Hg 이상 ) 5kV, 100A 측정가능.

고전력프로브 키슬리 2600 시리즈용고전압프로브 키슬리 2600 시리즈용고전류프로브 Needle

9 268 α200pw 고출력 High Voltage, High Power 측정에최적의솔루션!! 주요특장점 다양한프로브선택가능, 20 kv 및 100A 측정테스트가능 각각의프로브방전가능 빠른포지셔닝 3 스텝의 Z 축스위칭 포지션미세조정가능 다양한장비사용가능 ( 키사이트및키슬리제품 ) 표준스펙 본체크기 : 본체무게 : Stage travel: Sub stage travel: 척 (Chuck) 크기 : 웨이퍼홀더 (Wafer hold): D: 600mm W: 600mm H: 450mm 40 kg X: 200mm, Y: 2 00mm X: 25mm, Y: 25mm 4~8 인치 Vacuum absorbing (400mm Hg 이상 ) 5kV, 100A 측정가능. 다양한현미경선택가능. 고전력프로브 키슬리 2600 시리즈용고전압프로브 키슬리 2600 시리즈용고전류프로브 Needle Tip Diameter Current(DC) 25 um 8A * 키슬리 2600 시리즈는시스템소스미터 SMU 계측기입니다. (p42 참조 ) 50 um 9A 100 um 12A 150 um 13A

10 269 고전압및고온의 Low Leak 측정 프로브의리크데이터 (Leak Data) 핫척 (Hot Chuck) 의리크데이터 (Leak Data) 고전력용핫척 (Hot Chuck) 및온도척 (Thermo Chuck) 온도범위, 노이즈수준, 고전력, 크기및측정용도등에따라알맞은척 (Chuck) 를선택할수있습니다. Heated 형히터 (heater) 및칠러 (Chiller) 혼합형펠티에 (Peltier) 형 4 ~ 12 인치웨이퍼 RT~400 c 온도범위 저노이즈, Low Leak, 스펙및일반스펙라인업 4 ~ 12 인치웨이퍼 -55 ~ 330 c 온도범위 저노이즈, Low Leak 라인업 5 인치웨이퍼 -40 ~ 125 c 온도범위 저노이즈, Low Leak 라인업 신속한온도조정 약 20 c 를조절가능 칠러형보다더합리적 6 인치핫척 (Hot Chuck) Leak Data

11 270 옵션매니퓰레이터및포지셔너 (Manipulator/Positioner) 다양한옵션으로다양한측정환경에대응할수있습니다. ( 타사프로브에맞게설계변경제작도가능 ) 정확한롱스트록 정확하고크게작동가능 정확하고컴팩트한디자인 저비용고성능 모델 : M60 모델 : M40 모델 : M30 모델 : M20 고정 : 마그네틱또는스크류타입 베이스 ( 온 / 오프레버 ) 스트록 : X,Y,Z ±6.5 mm Theta: 360 deg 선형성 (Linearity): 1 um 트래블 (Travel) 거리 : 0.5 mm/rev 고정 : 마그네틱또는진공베이스 ( 온 / 오프레버 ) 스트록 : X,Y,Z ±6.5 mm 선형성 (Linearity): 1 um 트래블 (Travel) 거리 : 0.5 mm/rev 마이크로미터 : 10 um 고정 : 마그네틱또는진공베이스 ( 온 / 오프레버 ) 스트록 : X,Y,Z ±3.2 mm 선형성 (Linearity): 1 um 트래블 (Travel) 거리 : 0.5 mm/rev 마이크로미터 : 10 um 고정 : 마그네틱고무베이스 스트록 : X,Y,Z ±5 mm 선형성 (Linearity): 30 um 트래블 (Travel) 거리 : 0.5 mm/rev 마이크로미터제외 동축프로브캘빈동축프로브 3 축 (Triaxial) 프로브암 커넥터 : SMA 팁재료 : W (ReW, BeCu 옵션 ) 팁구경 : 5 to 40 um 커넥터 : SSMC 팁구경 : 1 to 40 um 커넥터 : TXA (P) 와이어길이 : ~3m 팁구경 : 1, 2, 5, 10, 30 um ( 텅스텐직선바늘 ) M20/M30/M40 에서조절가능 매뉴얼 (Manual) 프로브주변기기대응표 포지셔너 광학계 프로브 척 프로브카드어뎁터 α1100 α150 α200 α300 α200/300cs M20 M30 M40 M60 (RF 프로브 ) 최대 4 개 ( 동서남북배치 ) 실체현미경 금속현미경 레이저시스템 줌 CCD 트라이축프로브 트라이축캘빈프로브 동축프로브 L 자형암 동축캘빈프로브 고전압 / 고전류프로브 상온척 핫척 (Hot Chuck) 써모척 (Thermo Chuck, 칠러 ) 써모척 (Thermo Chuck, 펠티에 ) 4.5 인치용 8 인치일괄컨텍트용 12 인치일괄컨텍트용 YGA 레이저

12 본사 (Head Office) 주소 전화팩스 Add Tel Fax : 서울특별시영등포구경인로 775 ( 문래동 3가, 에이스하이테크시티 3동 2층 ) : : : 2F, ACE hitech city, 775, Gyeongin-ro, Yeongdeungpo-gu, Seoul, Korea : : ( 주 ) 누비콤 Nubicom,Inc. Test & Measurement 고객지원센터 (CSU:Customers Support Unit) 주소 전화팩스 Add Tel Fax : 서울특별시영등포구경인로 775 ( 문래동 3가, 에이스하이테크시티 3동 2층 ) : : : 2F, ACE hitech city, 775, Gyeongin-ro, Yeongdeungpo-gu, Seoul, Korea : : ( 주 ) 누비콤은국내최대의전자계측기통합솔루션전문회사입니다. * 통합솔루션 : 신품및중고제품, 수리, 교정, 그리고 렌탈등고객이원하는모든것이가능한시스템입니다. 대전사무소 (Daejon Office) 주소 전화팩스이메일 Add Tel FAX : 대전광역시유성구대덕대로 593 ( 도룡동 386-2) 대덕테크비즈센터 203호 : : : inyeom@nubicom.co.kr : Rm#203, Daedeuk Tech-Biz Center, 593, Daedeok-daero, Yuseong-gu, Daejeon, Korea : : Nubicom USA Add Tel Fax Reserve Dr. Suite 120 Roseville, CA USA : : : sjgoh@nubicom.co.kr Nubicom Japan Add Tel Fax 4F, Shin-yokohama214Bldg, , Shin-yokohama, Kohoku-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Japan : : : sales@reprorise.com Nubicom China Add : Nanshan District North New Road No.1 blue light technology park C208 Shenzhen in China Tel : dspark@nubicom.co.kr Nubicom Vina (Vietnam) Add : Unit 307, 3rd floor, MB Bac Ninh Building, No 24, Ly Thai To street, Dai Phuc Ward, Bac Ninh city, Bac Ninh province, Vietnam Mobile : jupark@nubicom.co.kr

Vertical Probe Card Technology Pin Technology 1) Probe Pin Testable Pitch:03 (Matrix) Minimum Pin Length:2.67 High Speed Test Application:Test Socket

Vertical Probe Card for Wafer Test Vertical Probe Card Technology Pin Technology 1) Probe Pin Testable Pitch:03 (Matrix) Minimum Pin Length:2.67 High Speed Test Application:Test Socket Life Time: 500000