서광원 경원테크 031-706-2886 031-706-2887 주소 (463-828) 경기도성남시분당구야탑로 81 번길 10, 505 호 with0928@kw-tech.co.kr www.kw-tech.co.kr * K-SPEED : 반도체및디스플레이의핵심공정들인식각및증착공정들의물리화학적인현상들을고려하여실제엔지니어들이사용하는공전변수에따른실험결과들을사전에예측하기위한전산해석프로그램 * Simerics : CAD 기반의고품질자동격자를사용하는범용열유동해석프로그램 ( 해석분야 - Flow, Heat, Cavitation, Turbulence Species, Particle) 최은하 광운대학교플라즈마바이오과학연구센터 02-940-5661 02-940-5664 pdprc@kw.ac.kr www.pbrc.co.kr 주소 (139-701) 서울시노원구광운길 26 ( 월계동 447-1) 광운대학교다산재 101 호 * DBD Plasma generator * Soft Plasma Jet Generator * Plasma Sign 정진섭 ( 주 ) 나노베이스 02-852-9012 02-852-0913 yumihan@nanobase.co.kr www.nanobase.co.kr 주소 (153-789) 서울시금천구가산동 470-5 에이스테크노타워 10 차 1402 호 * 공초점라만이미징시스템 (Confocal Raman Imaging System) : 라만스펙트럼을통해반도체혹은디스플레이소재및제품개발과정에서이물질을검사하거나, 공정과정에서불량을확인할수있는시스템 김동준 디앤제이베큠 031-717-7048 031-717-7049 djkim@djvac.co.kr www.djvac.co.kr 주소 (463-741) 경기도성남시분당구구미동 18 시그마 2 오피스텔 A-134 호 * RV3 Rotary Pump / next240d Turbo Pump / APG100-XM Gauge / EMF10 Mist Filter / Catalogue / XDS Scroll Pump 사진 / Auto306 증착기사진등 칼리크리스토퍼배져 리차드슨일렉트로닉스코리아 02-539-4734 02-556-4734 주소 (135-090) 서울시강남구삼성동 150-30 예성빌딩 5 층 shhong@rell.com www.rell.com * 마이크로웨이브발생장치 (power supply, Magnetron Head, Directional Coupler, Tuner, Waveguide, Magnetron) 주파수는및 power level 5.8GHz (700W Output Power) 2.45GHZ (300W Output Power 에서 30KW 까지 ), 2.45GHZ 2KW Pulse Power generator 915MHz 는 (5KW, 30KW, 60KW, 75KW, 100KW 까지 ) 의 Generator 및부품
정원호 브이티에스 042-634-8500 042-634-9595 주소 (305-509) 대전광역시유성구관평동 1331 번지 jjw@vtsc.co.kr www.vtsc.co.kr * Web Coater/RaON - 기능성필름제조에생산성증대를위한공정기술개발 - 고효율증착 ( 빠른증착이가능한고효율의자체개발 Cathode 설치 ) - 부착력우수 ( 표면처리용자체개발 Ion source 설치 ) * MOCVD System/ZiON - 고성능박막형성 ( 다원계및다층 epi 성장 ) - Autodoping * R&D System / Sputtering System / Evaporator System / OLED System 등 이정우 ( 주 ) 수림교역 031-420-8670 031-420-8673 주소 (431-767) 경기도안양시동안구관양 2 동 799 안양메가밸리 623 호 slc@chol.com www.sulim.com * 독일 Vacuubrand 제품 - Chemistry Diaphragm Vacuum Pump, Rotary Vane Pump (Oil Pump) - Chemistry Hybrid Pump, Roots Pump, High Vacuum Pump - Vacuum Gauge & Sensor, Vacuum Controller 최헌 주식회사신코 02-2143-8343 02-2143-8354 주소 (135-090) 서울시강남구봉은사로 627 jwlee@scinco.com www.scinco.com * HIDEN QIC-20 Quadruple Mass Spectrometer - HIDEN 사의 QIC-20 정량가스분석시스템은대기압근처압력에서가스와증기의연속적인분석이가능하며 Inlet accessory 를사용하면 30bar 까지의 sampling 이가능 1. 실시간으로다양한종류의가스와증기분석 2. sampling 압력범위 : 100 mbar ~ 2 bar 3. Detection Limit : 100 ppb 4. 빠른농도변화 sample 을위한 500ms 이내의반응시간 5. 최대 80 개의 multi-stream 자동분석가능 6. Histogram, Trend Analysis, Analogue spectrum 의분석 / 표시기능
조영상 아텍시스템 032-508-8060 032-508-8069 주소 (403-853) 인천시부평구청천 2 동 175-25 atech@atechsystem.co.kr www.atechsystem.co.kr * ATS-PVD Series Multisputter with 3 2in ot 3 3in gun * ATS-PVD Series Compact Magnetron sputter System * ATS-PVD Series In-line Sputter System for Large Area Deposition * ATS-CVD Series PECVD-PVD Cluster System for Graphene Synthesis * ATS-CVD Series Thermal CVD System for Nanowire Synthesis * ATS-CVD Series Thermal CVD System With Uniform Heating Zone * ATS-CVD Series ICP CVD System for Graphene and Boron Carbide Layers * Standard System Manufactured by A-tech System * Etch-200 ICP-RIE System for Nano-Patterning * Cluster Etch-300 High Density Plasma Etching System for Waveguides * FIB(Focused Ion Beam) : Nano Pattern Etching, Deposition, Observation, um scale Cross Section, Etching 안성환 아토벡 031-695-6233 031-695-6221 jspark@atovac.com www.atovac.com 주소 (443-734) 경기도수원시영통구신동 486 번지디지털엠파이어 2, 101 동 611 호 * Capacitance Manometer * Mass Flow Controller * Throttle Valve * APC Controller * Vacuum Gauge Readout * Convection Pirani * Hot Cathode Gauge 김홍길 주식회사에스크 031-451-5600 031-451-5605 ask@askcorp.co.kr www.askcorp.co.kr 주소 (431-050) 경기도안양시동안구비산동 1107 번지안양무역센터 1702 호 * UHV Ultra Low Temperature SPM System * Pulsed Laser Deposition (PLD) System * Sputtering Systems / Sources * Vacuum Gauges / Controllers * Thin Film Monitor & Controller for Deposition * Cryopump & Replacement Parts * Vacuum Components
김동현 유니나노텍 ( 주 ) 031-546-8733 031-285-6195 unithink@unithink.co.kr www.uninanotech.com 주소 (446-529) 경기도용인시기흥구동백중앙로 199 동백에이스프라자 506 호 * UniRAM-series(Micro Raman measurement system) * Uni-G2D(Micro Raman system for Graphene) * UniPROi(Fiber coupled Micro Raman module) * UniSAM(Macro sample chamber for Raman or PL) * UniPLE-3000(Macro PL/PLE measurement system) * Uni-EL(Micro/Macro EL measurement system) * Graphene, BN(Boron Nitride), MoS2(Molybdenum Disulfide), WS2(Tungsten Disulfide), CNT 민윤기 인포라드 ( 주 ) 070-4640-2581 070-8233-2590 주소 (410-839) 경기도고양시일산동구장항동 596 엠시티타워 11007 호 * Teledyne Vacuum / Massflow * Sensor / Gauge * Mass Flow Meter / Controller info@inforad.co.kr www.teledyne.co.kr 김용환 ( 주 ) 인포비온 02-2672-7287 02-2672-7290 주소 (150-095) 서울시영등포구문래동 5 가 5-3 * AMOLED System * Cluster Sputter System * UHV Sputter System * CIGS(Solar Cell) Cluster System * E-beam Evaporator System * Ion Source jinhee.kim@infovion.com www.infovion.com 이학원 ( 주 ) 제니어스 031-303-8765 031-303-8768 gths@genius-tech.net www.genius-tech.net 주소 (443-702) 경기도수원시영통구영통동 980-3 디지털엠파이어빌딩 1 B 동 505 호 * 팬들럼밸브, 쓰로틀밸브, 게이트밸브및제품카탈로그 박종호 ( 주 ) 중앙진공 042-636-0050 042-635-5959 주소 (306-823) 대전시대덕구대전로 1395 번길 13 kyj0130@javacuum.com www.javacuum.com * Brooks MFC / Capacitance Manometer Gauge / Thickness Monitor / Rotary Motion Feedthrough / Electrical Feedthrough / View Port / Pneumatic valve 그외각종진공부품
조광연 지브이티 ( 주 ) 031-663-1122 031-663-1404 주소 (459-050) 경기도평택시칠괴동 577-4 djkim@gvt.kr www.gvt.kr * Cryopump 는 OLED, Semiconductor, Sputter, Evaporator, Furnace, Medical Diagnostic, Surface Analysis, High Vacuum Research Applications 등반도체생산을포함하여고진공및초고진공을필요로하는산업체에많이사용된다. 원리는 G-M 냉동원리를이용한 Cryocooler 를진공펌프에적용한것으로써, 펌프내부의특정부위 (2nd STG Charcoal Array) 의온도를극저온 (10K, -263) 으로떨어뜨려이표면에펌프가장착된챔버내의가스들을포집하는것이특징이다. 극저온표면에서의포집은크게응축 ( 분자를얼리는방법 ) 과흡착 ( 분자를가두는방법 ) 의원리로이루어지며, 이로인해 Cryopump 는수분에강하고분자류영역 ( 고진공 ) 에서다른원리의펌프들에비해메인챔버내의자유운동하는가스들의수를줄이는데탁월한성능을가진다. 정진한 케이원솔루션 ( 주 ) 02-838-2866 02-838-2867 주소 (423-050) 경기도광명시소하동 1345 광명 SK 테크노파크 A-1313 hoyang@k1solution.com www.k1solution.com * nspec : 웨이퍼표면 Defect Mapping 검수장비로서 Bare Wafer, Epi wafer, PSS, 패턴 Die 등에나타나는 Gross, Hexagonal, Micropipe, Particle, CRACK 등을측정하는데있어 Analysis/Counting/Mapping/Report 구현 * LEI: 비접촉표면저항측정및홀측정장비 : 웨이퍼박막의 Sheet Resistance, Hall Measurement 를비접촉으로측정 김용태 주식회사티티엘 031-203-1048 031-203-1049 주소 (445-340) 경기도화성시반정동 124-31 * Etching System (1)ICP(Inductively Coupled Plasma) System (2)RIE(Reactive Ion Etching) System (3)PE(Plasma Etching) System * Deposition System * PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) System * System Type (1)Manual Loading(Non-Loadlock) System (2)Manual Loadloack System (3)Cassette Handling System * Application (1)General C-MOS Application (2)Opto-Telecommunication (3)Compound Semiconductor (4)Various R&D yhlee@ttltd.net www.ttltd.net
김용균 ( 주 ) 프로브스 070-7836-5319 031-451-5605 주소 (446-908) 경기도용인시기흥구영덕동 986-1 가은프라자 308 호 ch@probes.co.kr www.probes.co.kr * Particle, Powder, Wire, CNT, Graphene, AFM, RAMAN, 3D Microscopy 김도형 ( 주 ) 프론틱스 02-884-8025 02-875-8018 주소 (153-023) 서울시금천구가산동 481-4 벽산디지털밸리 6 차 407 호 sales@frontics.com www.frontics.com * NANO-AIS(NANO Advanced Indentation System) : 나노영역에서잔류응력및인장물성을평가할수있는계장화압입시험시스템 - 측정항목 : 잔류응력, 인장물성, 나노경도, 탄성계수 - 적용분야 : 코팅, 박막, 필름, 폴리머개발, 반도체, Bond pad, MEMS, PDP Glass, 휴대폰액정등, 복합소재, 나노구조체, 바이오소재, 용접부등 김상훈 ( 주 )PSI Trading 031-303-8658 031-258-8660 jwsong@psiopt.com www.psitd.com 주소 (443-702) 경기도수원시영통구영통동 980-3 디지털엠파이어빌딩 A 동 1104 호 * 일본 Sigma-koki 사 Manual, Motorized Stage 류 - 일반및진공전용 Manual, Motorized Stage * 일본 Kohzu 사 Manual, Motorized Stage 류 - 일반및진공전용 Manual, Motorized Stage 백충렬 한국알박 02-3473-2920 02-3473-0885 주소 (137-860) 서울시서초구서초동 1338-23 클리포드빌딩 5 층 * 전시판넬 DRP / Rotory Pump Helium Leak Detector Vacuum Gauge ( 신형 ) 外 * Helium Leak Detector han-jin_cho@ulvac.co m www.ulvackorea.co.kr 조성래 Effucell 052-223-5976 052-223-5975 주소 (680-749) 울산광역시남구무거 2 동울산대학교산학협동관 307 호 UHV heater, Effusion cell info@effucell.com www.effucell.com