COMPANY PROFILE YOU VE TAKEN A CHANCE 에너진 ( 주 ) 보유기술 / 생산장비소개 Energyn Inc. 경기도평택시청북면옥길리 199-3 T 031) 647-3050 F 032) 232-0202 E sales@energyn.com www.energyn.com
INDEX. 1. Company Overview 1) 에너진개요 ----------- 03P 2) 에너진연혁 ----------- 04P 3) 에너진보유기술 ----------- 05P 2. 생산장비 Line-UP 1) CIP, DIP& Hybrid CIP ---------- 05-11P 2) HIP ---------- 12-13P 3) WIP ---------- 14P 4) HPP --------- 15P 5) Furnace --------- 16-18P (Sintering, Hot Press, GPS) 6) CVI, CVD ---------- 19P 7) HYD PRESS ----------- 20P 3. Advanced Material 1) Fine Ceramics, PGS -------21-22P 2) Diffusion Bonding --------23P 2
1-1 에너진개요 Energyn Overview. Energyn is established in February 2011. Company location, Gyeong gi-do Pyeong-taek City. Business Area Extreme environmental Machines and Applications CIP, HIP, WIP, HPP, HOT PRESS, Sintering Furnace, GPS, CVI/CVD, Hydraulic Press, etc. Tech. Outsourcing Diffusion Bonding, Cold Isostatic Pressing, Sintering, Ceramic forming, SiC Coating etc. Advanced materials PGS, Heat Spreader, Fine Ceramics etc. 3
1-2 에너진연혁 Energyn History Energyn History 2016 2015 06월 ASME U&U3 해외규격인증취득 03월 챔버 & 프레스유닛일체형 HOT-PRESS ( 중형 ) 판매완료 12월 Hot Isostatic Press장비공급 08월 대형 Diffusion Bonding HOT-PRESS, Dry type CIP 수출 06월 사각챔버형소형수소로개발및판매완료 03월 챔버 & 프레스유닛일체형 HOT-PRESS ( 소형 ) 개발및판매완료 2014 2013 2012 07월 3000 초고온, 고진공, 대용량 Diffusion Bonding 장비구축완료. 접합아웃소싱시작 HPP(High Pressure Processing, 식품용초고압장비 ) 장비개발완료 한국생산기술연구원파트너기업선정 03월 한국생산기술연구원 2014기업주문형 Super IP R&D 지원사업선정 12월 FPCB/ 칩부품용급속온도가변형고온WIP개발 ( 세계최초 ) 11월 챔버 & 프레스유닛일체형 HOT-PRESS 개발 (Diffusion bonding 장비 ) 07월 국내최초유도가열방식의 SiC/SiC CVI 장비개발공급 (JNTP) 06월 탄소복합재용 HIP개발 (1200, 500bar, D-ADD) 12월 세계최초 Hybrid CIP 개발 / 납품 ( 국내최대 CIP, W 社 ) 03월 ISO9001, ISO14001 획득 01월 서보제어와이어와인딩장비자체개발구축 2011 08월 형광체용고온고압로개발 (2000, 100bar ) 06월 Lab HIP 개발 ( 한국생산기술연구원 ) 04월 신공법 FRP제조기술개발 ( 특허등록 ), 무동력태양전지냉각기술개발 ( 특허등록 ) 02월 에너진 ( 주 ) 설립 4
1-3 에너진보유기술 Energyn Technologies 열확산, 방열기술 Heat Spreading / Cooling Solutions 평판 / 입체형히트스프레더제조기술 고출력 LED 모듈냉각기술 PGS(Pyrolytic Graphite Sheet) 제작기술 고온사막및열대지방용태양전지패널 화인세라믹장비제작기술 Production Equip. for Fine Ceramics 초고온세라믹소결로 흑연 / 고순화로 방탄방폭타일용소결로 초고압가스가압로 결정성장로 사파이어, 실리콘카바이드, 화합물반도체단결정등 초고압장비제작기술 Ultra-High Pressure Equipment Production 에너진의 *Wire Winding 공법을이용하여제작된 CIP (Cold isostatic Press) ~6000bar 세라믹, 메탈분말등방압성형장치 HIP (Hot isostatic Press) ~2000bar, ~2000, 분말성형품의고밀도, 고강도화처리장치 HPP (High Pressure Processing) ~6000Bar 초고압공정을통한비가열멸균처리장치 5
2-1 생산장비 Line-Up CIP & Hybrid CIP CIP (Cold Isostatic Press) 냉간등방압성형기 (CIP) 는상온에서성형체에높은유압 ( 流壓 ) 을모든방향에서일정하게가하여치밀화를이루는장비입니다. 재료분말 (Ceramic, Metal, Carbon Powder etc ) 을이론밀도의 60~95% 에달하도록성형가능합니다. Application 세라믹, 메탈, 카본등의분말성형 ECIP Series Pressure Performance Division ECIP Series SPECIFICATIONS ECIP-120/360 ECIP-200/600 ECIP-200/900 Old Model KCIP-120/360 KCIP-200/600 KCIP-200/900 Work Zone Ø120x360L (4l) Ø200x600L (19l) Ø200x900 (28l) Working Pressure 3,000bar 2,000bar 2,000bar Tested Pressure 3,500bar 2,600bar 2,600bar Pressure rate ~25bar ~25bar ~25bar Decompression Control Manual / Automatic(Optional) 에너진에서는고객의요구에맞는 시스템사양을제공합니다. Pressure Pressure Medium Work Zone Height Production Capacity 500~6,000Bar Water ID ø120~2,000mm 360~4,000mm 6
2-1 생산장비 Line-Up CIP & Hybrid CIP DRY-CIP (Dry bag-cold Isostatic Press) 냉간등방압성형기 (CIP) 는상온에서성형체에높은유압 ( 流壓 ) 을모든방향에서일정하게가하여치밀화를이루는장비입니다. 재료분말 (Ceramic, Metal, Carbon Powder etc ) 을이론밀도의 60~95% 에달하도록성형가능합니다. Application 세라믹, 메탈, 카본등의분말성형 ECIP Series Pressure Performance Division EDIP Series SPECIFICATIONS EDIP-100/500 EDIP-200/600 EDIP-200/900 Work Zone Ø100x500L (4l) Ø200x600L (19l) Ø200x900 (28l) Working Pressure 1,500bar 1,500bar 1,500bar Tested Pressure 2,000bar 2,000bar 2,000bar Pressure rate ~25bar ~25bar ~25bar Decompression Control Manual / Automatic(Optional) 에너진에서는고객의요구에맞는 시스템사양을제공합니다. Pressure Pressure Medium Work Zone Height Production Capacity 500~6,000Bar Water ID ø120~2,000mm 360~4,000mm 7
2-1 생산장비 Line-Up DRY CIP DRY-CIP (Dry bag-cold Isostatic Press) 8
2-1 생산장비 Line-Up DRY CIP 9
2-1 생산장비 Line-Up CIP & Hybrid CIP Hybrid CIP (Powder Press & Wet CIP Combining) 에너진의진보적인 Hybrid CIP는 2013년 12월기준국내최대규모의 CIP( 내경Ø1,400 높이2,500H) 와 25,000Ton Powder Press. 두가지의장비가결합된복합형장비로특허등록이완료된장비입니다. Specifications Model : EPCIP-1400 Cold Isostatic Press 1) Work Zone : Ø1,400x2,500H 2) 상용압력 : 140 Mpa 3) 최대압력 : 180 Mpa 4) 압력매체 : Water 5) 충수시간 : 10분이내 ( 공운전 ) 6) 충수후가압시간 (0~140 Mpa) : 15분이내 7) 프로그래밍제어 Powder Press 1) Work Zone : Ø1,500 이내의원형및직사각형 2) 최대가압력 : 25,000Ton 3) Day-light : 750mm 4) Main Cylinder Stroke : 500mm 자체제작 Wire Winding Yoke Frame 10
2-1 생산장비 Line-Up CIP & Hybrid CIP ( 自體製作 Wire Winding Yoke Frame ) 11
2-2 생산장비 Line-Up HIP HIP (Hot Isostatic Press) 열간등방압성형기 (HIP) 는 0~2000 의고온에서높은유압 ( 流壓 ) 을모든방향에서일정하게가하여소결 / 확산접합을행하는장비입니다. 이론밀도의 99~100% 에달하는치밀한소결성형체를구현합니다. Application Carbon-Carbon Composite, 로켓노즐생산초고밀도 / 고강도세라믹, 터빈블레이드, 특수합금등 EHIP Series EHIP Series Division SPECIFICATIONS 에너진에서는고객의요구에맞는 EHIP-LAB60 EHIP-250 EHIP-500 EHIP-1000 시스템사양을제공합니다. Old Model KHIP-LAB60 KHIP-250 KHIP-500 KHIP-1000 Work Zone Ø60 120 Ø256 350 Ø500 1500 Ø1000 2000 Production Capacity Temperature ~2000 ~2000 ~2000 ~2000 Pressure 500~2,000Bar Pressure ~2000 Bar ~2000 Bar ~2000 Bar ~2000 Bar Max Temp. ~2000 Vacuum Degree 5 10-3 torr 5 10-3 torr 5 10-3 torr 5 10-3 torr Work Zone ID ø60~1,000mm Heating material Graphite / Molybdenum Height 100~2,500mm 12
2-2 생산장비 Line-Up HIP HIP (Hot Isostatic Press) 13
2-3 생산장비 Line-Up WIP (Laminator) WIP (Warm Isostatic Press, Laminator) 온간등방압성형기 (WIP) 는 0~250 의중온에서성형체에높은유압 ( 流壓 ) 을모든방향에서일정하게가해치밀화를이루는장비입니다. 2014년새로이개발된급속온도가변형 WIP : eril Series는기존의문제점을해결한혁신적인결과물을제공합니다. Application Chip Parts Production Chip Inductor, Varister, MLCC, MLPC 등의 세라믹 / 폴리머 / 컴퍼짓칩제조, 무소결세라믹, 폴리머 + 페라이트시트 (Ferrite Sheet), 초고강도플라스틱, 고체연료로켓, 수열합성, 배터리등 eril Series 에너진에서는고객의요구에맞는 시스템사양을제공합니다. SPOTLIGHT > eril Series 에너진의 WIP : eril Series는급속온도변화를실현할수는장비로서승온 가압 온도유지 냉각 감압을하나의공정에서처리할수있습니다. 그결과, MLCC 재료내부의 Void, Delamination 등의불량이근본적으로제거됩니다. 또한, 현존하는 WIP 중가장높은온도로운전가능하여상당부분의후공정을생략하고, 단순화할수있습니다. Production Capacity Pressure 500~2,000Bar Max Temp. ~250 Work Zone ID ø200~1,000mm Height 400~2,000mm 14
2-4 생산장비 Line-Up HPP HPP(High Pressure Processing) HPP 란주로식품업계에서초고압공정을통해비가열멸균처리및품질개선의목적으로사용되는 장비입니다. 비가열멸균처리공정으로식품의맛과향의유지는물론, 유통기한의연장까지얻어 나트륨 감소 유통기한 연장 낼수있어각광받고있는장비입니다. 비가열 멸균처리 HPP 획기적인 신선도 유지 친환경 Application 육류, 과일및채소, 생과일주스, 냉동식품, 즉석밥등각종식음료 공정 최고의신선도와맛을유지초고압처리는다른처리방법들에비해획기적인신선도와맛을유지합니다. 오직순수한물만을사용하여가압하기때문에열, 화학물질에의한식품의질과맛의변화가없을뿐만아니라유통기한의연장으로각종식료품점및레스토랑등의식품폐기량을줄일수있습니다. 소비자의안전 HPP 공정처리제품들은화학물질이나방부제없이미생물을불활성화시키고살균처리할수있으며리스테리아균과살모넬라균등같은병원균또한박멸할수있습니다. 에너진의 HPP 초고압장비제작전문기업의노하우로안정성을확보할수있습니다. HACCP ( 위생관리시스템 ) 관리에서요구되는공정관리필수사항을충족하도록제작합니다. 압력매체를오로지 물 만을사용하여작업환경개선을실현합니다. 특별한공정온도가요구되는경우 5~150 의온도제어기능을추가할수있습니다. (Optional) 15
2-5 생산장비 Line-Up Furnace (Sintering) Sintering Furnace 소결로는고온소결과베이킹, 그리고진공과불활성기체의분위기등다양한조건 (1000 ~3000, 10^-3~10^-7torr) 의분위기에서공정을수행할수있도록설계하였습니다. 에너진은자체보유한설비를통해서소결 / 고순화처리등다양한공정의아웃소싱서비스를제공합니다. Application MIM (Metal Injection Molding), 반응소결제품, AlN heater, EC Chuck ESF Series Model Crucible dimension WxHxL Max.Temp [ o C] ESF-200H 200x200x400 ~2,400 ESF-350 350x350x350 ~1,500 ESF-500H 520x520x1040 ~3,000 ESF-550H 550x550x600 ~3,000 ESF-1000 1000x1000x1200 ~2,400 Vacuum Degree [torr] 5x10-3 ~ 5x10-7 (Optional) 발열체 Graphite or Molybdenum 에너진에서는고객의요구에맞는 Atmosphere Production Capacity Non-oxide, Vacuum Max Temp. ~3,000 Work Volume Gas Pressure 시스템사양을제공합니다. 8L~3,000L 150bar 16
2-5 생산장비 Line-Up Furnace (Hot Press) High Vacuum Hot Press 에너진의핫프레스는 ~3,000 까지의고온에서 10ton ~ 500ton, 혹은그이상의압력을일축또는양압으로가하여확산접합, 가압소결등을행하는장비입니다. 에너진은자체보유한설비를통해확산접합아웃소싱서비스를제공합니다. Application 이종재확산접합, 티타늄소결제품, 첨단세라믹소결부품 ( 방탄 / 폭타일등 ) EHP Series Model EHP-200 EHP-200L EHP-350 Loading Type ( 히터배치 ) Front door (4 면가열 ) Front door (4 면가열 ) Front door (4 면가열 ) EHP- 800HV Front/Rear door (4 면가열 ) EHP-1000 Front/Rear door (6 면가열 ) EHP- 1000HV Front/Rear door (6 면가열 ) Work Zone (W*L*H) 200x200 x H200 200x200 x H350 350x350 x H350 800x800 x H1200 1,000 x 1,000 x H1,000 에너진에서는고객의요구에맞는시스템사양을제공합니다. Production Capacity Atmosphere Non-oxide, Vacuum Max Temp. ~3,000 Pressure 5~1,000Ton Vacuum Degree ~10-7 torr Stroke 50 100 100 250 250 250 Max.Pressure 5, 10 ton 10 ton 30 ton 300 ton 500 ton 500 ton Punch Size Ø75 Ø100 Ø200 Ø320 Ø450 Ø320 Vacuum Degree Hot zone 10-3 torr ~ 10-7 torr Graphite (Optional - Mo, W, Iridium) Max.Temp 1250, 1700, 2400, 3000 Control ETC OPTION Semi Auto, Auto HMI, 원격제어, 페이퍼리스레코더, 데이터로거 Touch Screen, Chiller, Linear scale, Dilatometer, Load Cell 17
2-5 생산장비 Line-Up Furnace (GPS) Gas Pressure Sintering Furnace 에너진의 GPS는 2300 이상의초고온에 100~200bar의가스압을가해제품을소결하는장비입니다. 가스가압소결, 고온소결, 건조, 그밖의다양한진공과불활성분위기속에서의프로세스를진행하기위해서디자인되었습니다. 기존의가압식소결로에비해서다목적으로사용하실수있습니다. 상부개폐식으로설계된챔버가적용되어시편의장입과장출이용이합니다. EGPS Series Application AlN, Si3N4, 초경합금, LED 형광체 etc. 에너진에서는고객의요구에맞는시스템사양을제공합니다. Production Capacity Work zone ~Ø1,300x1300L Max Temp. ~2,500 Pressure ~250bar Heat-Up late 20 /min Temp. Pressure Division For LAB SPECIFICATIONS For PRODUCTION LINE Work Zone Ø100 100 Ø300 400 Ø360 500 Heater Materials Vacuum Degree Graphite Designed 2000 ~3000 Max. Temp 1900~2400 Working Pressure Tested 5 10-3 torr 150bar 200bar Gas Inlet Ar, He, N 2, Sheids Cooling Water Graphite 2 3kgf / cm2 18
2-6 생산장비 Line-Up CVI, CVD CVI, CVD (Chemical Vapor Infiltration, Deposition) 에너진의 CVI, CVD장비는 ~3000 의초고온상태에서표면증착, 단결정육성, 화학침착등을행하는장비입니다. SiC 단결정을생산하거나, 적층화이버에 CVI공정을통한 C-SiC 또는 SiC-SiC 복합소재를제조할수있습니다. Application 단결정 (SiC, ZnSe, GaN), AlN/CC/CSiC, 표면코팅 / 침투등 Specifications Model : ETGCVI-350 SiC Single Crystal 1) ~20kHz 250kW Induction Heating 2) Max. 1900 PID Continuous Control 3) Work Zone Dimension : Ø350mm X 500mmH 4) MTS(Methyl-Trichloro-Silane) Supply System 5) Gas Delivery System 6) Integral Control by PLC & Touch Screen with HMI Function 7)Safety Interlock C/C Composite SiC Composite 19
2-7 생산장비 Line-Up Hydraulic Press Hydraulic Press 에너진의 Press 장비는설계, 제작, 시운전의전공정을실시하고있음 구조해석 / 와이어권선형베셀 & 프레임제작 / 최고 100,000ton 까지시현 국내대형유압프레스 Making 선두적기술과 Engineering System 기술보유 Application Forming, Hole Punching, Notching 등 Specifications Model : EPRE-Series 20
3-1 Advanced Material Fine Ceramics Fine Ceramics (Bulk Ceramic, CVD Ceramic, AlN, Si₃N₄) 비산화물중의하나인 AlN은고온내식성이뛰어난소재로 LED, 반도체장비의핵심부품입니다. 이전에는 SiC가대부분이던내화학부품시장에 AlN의우수성이알려지면서빠른속도로대체할것으로예상됨에따라에너진은장비기술을바탕으로 AlN 소결제품및 CVD AlN제품의생산기술을확보하였습니다. Application AlN 더미웨이퍼, 세틀라이트, 메인디스크, AlN Heatsink, 세라믹기판등 21
3-1 Advanced Material PGS PGS (Pyrolytic Graphite Sheet) PGS란 PI폴리머를원재료로제작된인조흑연시트입니다. 에너진은초고온 / 고압장비제작기술및활용기술을기반으로 PGS 제조기술을확보하였으며, 스마트폰, 테블릿PC, 노트북, LCD,LED 백라이트등의방열이필요한여러산업분야에적용할수있습니다. Specifications - 열확산에최적 ( 열전도율 1,000~2,000W/mK ) - 구리나천연흑연시트보다 3~10배의열전도율 - 99% 이상의 EMI 차폐 - 유연하고가벼운방열소재 - 종래의방열판과팬등의열관리소재대체가능 2013년독자기술로공정개발시작, 기술정립완료! 2014년 PGS 제조기술및핵심제조공정장비개발완료! 현재시제품생산장비보유양산장비 1기생산성 = 200m2 /day 전공정내재화가능 22
3-2 Diffusion Bonding Diffusion Bonding( 확산접합 ) 접합부에필러를넣지않고모재의접합 - 동종의소재 (Al+ Al) - 이종소재 ( 동 + 철 세라믹 + 금속 ) - 다층적재접합 - 입체형상접합 Heat Spreader( 히트스프레더 ) 상기 2 가지기능을결합, RHTM 기술은활용! * Rapid Heat Transfer Mold 23
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